JP2019117107A - ラインスキャナ - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施形態に係るスキャナシステム1を説明する。図1は、スキャナシステム1の構成を模式的に示した図である。スキャナシステム1は、検知対象8をY軸方向に走査するラインスキャナ11と、ラインスキャナ11をZ軸方向に搬送する搬送部12を備える。
Claims (7)
- 電磁波の送受信を行うラインスキャナであって、スキャンミラーと対物レンズとを着脱可能に保持する構成としたラインスキャナ。
- 電磁波の送信方向に対するスキャンミラーの基準角度を調整する角度調整機構を有する請求項1に記載のラインスキャナ。
- 電磁波の送信方向と垂直な方向におけるスキャンミラーの位置を調整する位置調整機構を有する
請求項1又は2に記載のラインスキャナ。 - 直径の異なる対物レンズを着脱可能に保持する構成とした
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のラインスキャナ。 - スキャンミラーの回転中心が電磁波の送信方向上にある場合に送信された電磁波を最大の透過率で透過する透過板を備える
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のラインスキャナ。 - 電磁波の送信方向に対するスキャンミラーの角度を測定する角度測定部を備える
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のラインスキャナ。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のラインスキャナと、
前記ラインスキャナを搬送する搬送部と
を備えるスキャナシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017250958A JP2019117107A (ja) | 2017-12-27 | 2017-12-27 | ラインスキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017250958A JP2019117107A (ja) | 2017-12-27 | 2017-12-27 | ラインスキャナ |
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JP2019117107A true JP2019117107A (ja) | 2019-07-18 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017250958A Pending JP2019117107A (ja) | 2017-12-27 | 2017-12-27 | ラインスキャナ |
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Country | Link |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112304431A (zh) * | 2019-07-26 | 2021-02-02 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种成像系统及成像方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006030296A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Olympus Corp | 光走査型顕微鏡装置 |
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JP2007279021A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-10-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 光学式欠陥検査装置 |
-
2017
- 2017-12-27 JP JP2017250958A patent/JP2019117107A/ja active Pending
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