JP2019113372A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】圧力検出部の塑性変形を生じさせることなく、圧力検出領域を拡大する。【解決手段】圧力センサ１は、上プレート部材３と、下プレート部材４と、圧力検出部２と、緩衝部材５とを有する。下プレート部材４は、上プレート部材３と対向して配置されている。圧力検出部２は、上下のプレート部材３，４の間に設けられている。この圧力検出部２は、一対の電極層２ａ，２ｂと、一対の電極層２ａ，２ｂによって挟持された抵抗体２ｃとを有し、抵抗体２ｃの弾性変形量に応じた電気信号を出力する。緩衝部材５は、上下のプレート部材３，４の間において、圧力検出部２の周囲に設けられており、圧力検出部２の弾性変形を緩衝する。【選択図】図５

Description

本発明は、一対の電極層によって挟持された抵抗体の弾性変形量に基づいて圧力を検出する圧力センサに関する。

例えば、特許文献１には、下部電極基板に補助スペーサ、上部電極基板に補助スペーサをそれぞれ形成して、これらの補助スペーサを対向状態で下部電極基板と上部電極基板とを配置したメンブレンスイッチが開示されている。具体的には、このメンブレンスイッチの接点部は、対向状態で配置された２つの電極基板と、これらの電極基板のいずれか一方に形成されており、この電極基板の接点部を露出させる開口を有するスペーサを備える。このスペーサの開口の断面形状は、テーパ状、あるいは、階段状に形成されており、その開口寸法がいずれか一方の電極基板の表面から離れるに従って、大きくなっている。このような構成によれば、メンブレンスイッチに過度な操作荷重が加わっても、スペーサが分散して受け止めるため、電極基板にクリープが発生し難くなる。

また、特許文献２には、荷重の変化を抵抗値の変化として検出する重量センサにおいて、荷重を加える場合と減じていく場合のいずれの場合でも略同一の抵抗値（ヒステリシス特性）を得るための構成が開示されている。この重量センサでは、金属製の第１の基板に対向して、金属製の第２の基板が配置されている。第１の基板の周縁部と、第２の基板の周縁部の間には、リング状の金属製の第１のスペーサが接合されている。第１の基板の第２の基板側には、合成樹脂層が形成されていると共に、この合成樹脂層上には、電極層が形成されている。第２の基板における第１の基板側には、合成樹脂層が形成されていると共に、この合成樹脂層上には、抵抗層が形成されている。基板に加わった荷重の検出は、第１の基板および第２の基板の少なくとも一方に加わる荷重の変化によって、電極層に対する抵抗体層の接触面積が変化し、この接触面積変化に応じた抵抗値変化を検出することによって行われる。

特開平１０−２５５５９１号公報 特開２０１５−１２１４５５号公報

ところで、上述した特許文献１のメンブレンスイッチや特許文献２の重量センサとは構成や機序が異なるものとして、一対の電極層によって挟持された抵抗体の弾性変形量に基づいて圧力を検出する圧力センサが知られている。この類いの圧力センサは、抵抗体が大きな圧力が加わると塑性変形が生じ易いため、圧力センサとしての圧力検出領域（弾性変形領域）が狭いという問題がある。

そこで、本発明の目的は、圧力検出部の塑性変形を生じさせることなく、圧力検出領域を拡大することである。

かかる課題を解決すべく、本発明は、第１のプレート部材と、第２のプレート部材と、圧力検出部と、緩衝部材とを有する圧力センサを提供する。第２のプレート部材は、第１のプレート部材と対向して配置されている。圧力検出部は、第１のプレート部材と、第２のプレート部材との間に設けられている。この圧力検出部は、一対の電極層と、一対の電極層によって挟持された抵抗体とを有し、抵抗体の弾性変形量に応じた電気信号を出力する。緩衝部材は、第１のプレート部材と、第２のプレート部材との間に設けられており、圧力検出部の弾性変形を緩衝する。

ここで、本発明において、上記緩衝部材は、圧力検出部の周囲に設けられた第１の緩衝部材を有していてもよい。また、上記第１のプレート部材と、圧力検出部の略中央と、第２のプレート部材とを貫通する貫通孔を有していてもよい。この場合、上記第１の緩衝部材に代えて、または、上記第１の緩衝部材と併せて、上記緩衝部材は、圧力検出部における貫通孔の周囲に設けられた第２の緩衝部材を有していてもよい。

本発明において、上記緩衝部材は、圧力検出部よりも硬いことが好ましく、上記第１および第２のプレート部材は、緩衝部材よりも硬いことが望ましい。

本発明において、上記緩衝部材の厚みは、圧力検出部の厚みよりも小さくてもよい。この場合、上記緩衝部材は、第１のプレート部材から厚み方向に突出した第１の緩衝部材と、第１の緩衝部材と空隙をあけて対向し、第２のプレート部材から厚み方向に突出した第２の緩衝部材とを有することが好ましい。

また、本発明において、上記緩衝部材の厚みは、圧力検出部の厚みと略等しくてもよい。

さらに、本発明において、第１の接着層および第２の接着層をさらに設けてもよい。第１の接着層は、第１のプレート部材および第２のプレート部材の少なくとも一方と、圧力検出部との間に設けられる。第２の接着層は、第１のプレート部材および第２のプレート部材の少なくとも一方と、緩衝部材との間において、第１の接着層と分離して設けられる。

一方、本発明において、第１のプレート部材および第２のプレート部材を緩衝部材を介して連結する連結部材をさらに設けてもよい。この連結部材は、第１のプレート部材および第２のプレート部材の主面から陥没した取付部位に取り付けられ、かつ、第１のプレート部材と、緩衝部材と、第２のプレート部材とを貫通する貫通孔に挿通されている。この場合、連結部材の両端は、第１のプレート部材および第２のプレート部材の主面よりも低いことが好ましい。また、連結部材の両端は、第１のプレート部材および第２のプレート部材の主面と取付部位との間に存在する段差部位から離れて配置されており、連結部材の外径は、貫通孔の内径よりも小さいことが好ましい。さらに、上記緩衝部材を、第１のプレート部材から厚み方向に突出した第１の緩衝部材と、第１の緩衝部材と空隙をあけて対向し、第２のプレート部材から厚み方向に突出した第２の緩衝部材とで構成する場合、連結部材の一端および第１のプレート部材の主面の間における第１のクリアランスと、連結部材の他端および第２のプレート部材の主面との間における第２のクリアランスとの和は、第１の緩衝部材および第２の緩衝部材の間における第３のクリアランスよりも大きいことが好ましい。

本発明によれば、第１のプレート部材と第２のプレート部材との間に緩衝部材を設け、この緩衝部材によって圧力（外力）の一部を負荷することで、圧力による圧力検出部の弾性変形が緩衝される。これにより、圧力検出部の塑性変形を生じさせることなく、圧力検出領域を拡大することができる。

第１の実施形態に係る圧力センサの外観斜視図 圧力センサの斜視展開図 緩衝部材の配置例を示す上面図 緩衝部材の配置例を示す上面図 圧力センサの断面図 圧力センサの断面図 圧力センサの断面図 圧力センサの断面図 圧力センサの出力特性図 圧力センサの比較出力特性図 第２の実施形態に係る圧力センサの外観斜視図 第２の実施形態に係る圧力センサの上面図 第２の実施形態に係る圧力センサの断面図 第３の実施形態に係る圧力センサの外観斜視図 第３の実施形態に係る圧力センサの断面図 第３の実施形態に係る圧力センサの断面図

（第１の実施形態）
図１は、本実施形態に係る圧力センサの外観斜視図であり、図２は、その斜視展開図である。この圧力センサ１Ａは、圧力検出部２と、上下のプレート部材３，４と、緩衝部材５とを主体に構成されている。圧力検出部２は、圧力（外力）が加わった際の抵抗体の弾性変形量に応じて、可変電圧を電気信号として出力する。本実施形態では、圧力検出部２として、市販されているフィルム型圧力センサが用いられる。一般に、この類いの圧力センサは、数ｋＮクラスの荷重では塑性変形してしまうという課題があり、大重量物を計測する耐久性に乏しい。圧力検出部２には、電気信号を外部に取り出すためのフラットケーブル６が接続されている。

上下のプレート部材３，４は、互いに対向して配置されている。これらのプレート部材３，４は矩形状の上面形状を有する。プレート部材３，４は、圧力検出部２を保護するため、および、応力を均一に与えるために設けられている。上プレート部材３と下プレート部材４との間には、上面視で略中央に位置決めされて圧力検出部２が設けられている。

また、上プレート部材３と下プレート部材４との間には、圧力検出部２を囲むように緩衝部材５が設けられている。この緩衝部材５は、圧力センサ１Ａに加わる外力の一部を負荷する。これによって、圧力検出部２（抵抗体）の変形を緩衝して、弾性変形後に生じる塑性変形を抑制する。緩衝部材５は、圧力検出部２の周囲（圧力検出部２の外周部よりも領域の外側）に存在すればどのように配置してもよく、一例として、上下のプレート部材３，４における対向する２つの縁部にそれぞれ配置することができる。また、図３に示すように、上下のプレート部材３，４における３つの縁部を繋ぐように略コ字状に配置してもよいし、図４に示すように、上下のプレート部材３，４の４つの角部のそれぞれに配置してもよい。

図５は、圧力センサ１ＡのＡ−Ａ断面図である。圧力検出部２は、一対の電極層２ａ，２ｂと、これらの電極層２ａ，２ｂによって挟持された抵抗体２ｃとによって構成されている。一対の電極層２ａ，２ｂは、銀、銅、カーボンなどによって形成されており、通電部として機能する。抵抗体２ｃは、例えばカーボンや導電ゴムなどのように、電極層２ａ，２ｂよりも抵抗値が高い抵抗体によって構成されている。また、一対の電極２ａ，２ｂおよび抵抗体２ｃによって構成される構造体（圧力検出部２）は、ＰＥＴやシリコンなどの保護層２ｄで全体的または部分的に覆われていてもよい。保護層２ｄを設ける場合、少なくとも一対の電極層２ａ，２ｂの外面を覆うように設けることが好ましい。

圧力検出部２は、抵抗体２ｃの弾性変形量に応じた電気信号を出力する。具体的には、例えば、外部から一定の電流を供給する形態では、抵抗体２ｃの弾性変形量に応じて抵抗値が変化し、これに起因した電圧の変化が電気信号（検知信号）として用いられる。また、例えば、抵抗体２ｃが圧電体で構成されている形態では、この圧電体の弾性変形量に応じて自己が起電する電圧が変化し、これが電気信号（検知信号）として用いられる。

圧力検出部２および緩衝部材５は、上プレート部材３の下面に設けられた接着層７と、下プレート部材４の上面に設けられた接着層８とによって、それぞれの面に取り付けられている。緩衝部材５の厚みは、圧力検出部２の厚みと略等しく設定されている。また、上下の接着層７，８は、両面テープを貼着することによって、あるいは、接着剤を塗布することによって形成される。なお、同図には示していないが、上プレート部材３の上面および下プレート部材４の下面の少なくとも一方に衝撃を緩衝するための緩衝材（発泡プラスチック、特に低発泡ポリスチレンや低発泡ポリエチレンなど）をさらに設けてもよい。

抵抗体２ｃの塑性変形を招くことなく、圧力センサ１Ａとしての圧力検出領域の拡大を図るためには、圧力検出部２、上下のプレート部材３，４および緩衝部材５の三者間の硬さの大小関係が重要になる。本実施形態において、緩衝部材５は圧力検出部２よりも硬く、プレート部材３，４は緩衝部材５よりも硬い。プレート部材３，４および緩衝部材としては、鉄、ＳＵＳ、アルミニウム、真ちゅうなどの金属類、プラスチックやゴム材などの樹脂類を適宜用いることができる。

図６に示すように、緩衝部材５の厚みは、圧力検出部２の厚みよりも小さくしてもよい。すなわち、緩衝部材５は、上プレート部材３から厚み方向（下方）に突出した上緩衝部材５ａと、下プレート部材４から厚み方向（上方）に突出した下緩衝部材５ｂとを有する。上下の緩衝部材５ａ，５ｂは、空隙（クリアランス）をあけて対向している。ここで、上緩衝部材５ａの厚みをＨ１、下緩衝部材の厚みをＨ２、圧力検出部の厚みをＨ３とすると、緩衝部材５全体の厚み（Ｈ１＋Ｈ２）は圧力検出部の厚みＨ３よりも小さくなる（Ｈ１＋Ｈ２＜Ｈ３）。なお、上緩衝部材５ａおよび下緩衝部材５ｂの一方のみを設け、これが上記大小関係を満たすようにしてもよい（Ｈ１＜Ｈ３またはＨ２＜Ｈ３）。クリアランスは、圧力検出部２を保護する上で有効であり、このクリアランス幅は、圧力検出部２の厚みに対して１０〜７５％の範囲であることが好ましい。

緩衝部材５は上下のプレート部材３，４のいずれか一方に一体形成してもよい。例えば、図７に示すように、下プレート部材４の一部を厚み方向（上方）に突出させることによって突出部４ａを設け、この突出部４ａに緩衝部材５としての役割を担わせるといった如くである。また、上述したように緩衝部材５を上下に分割する場合、上緩衝部材５ａを上プレート部材３、下緩衝部材５ｂを下プレート部材４にそれぞれ一体形成してもよい。

また、接着層７，８は、圧力センサ１Ａの特性を良好化するという観点から、圧力検出部２が取り付けられる領域と、緩衝部材５が取り付けられる領域とで分離して設けてもよい。例えば、図８に示すように、上プレート部材３の下面に設けられた接着層７を接着層７ａおよび接着層７ｂに分離して、接着層７ａによって圧力検出部２を取り付け、接着層７ｂによって緩衝部材５を取り付ける。また、下プレート部材４の上面に設けられた接着層８を接着層８ａおよび接着層８ｂに分離して、接着層８ａによって圧力検出部２を取り付け、接着層８ｂによって緩衝部材５を取り付ける。なお、このような分離構造は、上下のプレート部材３，４の一方のみ採用してもよい。

図９は、上述したクリアランスが存在しない圧力センサ１Ａの出力特性図であり、図１０は、圧力センサの比較出力特性図である。実線はクリアランス無し、破線はクリアランスが０．０５ｍｍ、一点鎖線はクリアランスが０．１ｍｍである。横軸は荷重（ｔ）であり、縦軸は出力電圧（ｍＶ）である。クリアランス無しの圧力センサ１Ａの場合、比較的線形的な特性が得られる。一方、クリアランス有り の圧力センサ１Ａの場合、荷重の比較的小さい領域（グラフの左側）における検出感度を高めることができる。

このように、本実施形態によれば、圧力検出部２の周囲に緩衝部材５を配置し、この緩衝部材５によって外力の一部を負荷することで、外力による圧力検出部２の弾性変形が緩衝される。これにより、圧力検出部２の塑性変形を生じさせることなく、圧力センサ１Ａの圧力検出領域を拡大することができる。特に、大型荷重用センサと比べて、軽薄、安価かつ製造性に優れていること、取り付けが容易であること、取付場所における取付穴などの加工が不要になること、センサ高が低いことから重量物の載荷バランスが不安定にならないことなどの利点がある。

なお、上述した実施形態において、圧力検出部２としては、フィルム型圧力センサに限らず、一対の電極層によって抵抗体が挟持された構成であれば、感圧ゴム等の感圧素子による感圧センサ、半導体による静電容量センサ、圧電素子による圧電式センサなどを用いてもよい。この点は、次に述べる第２の実施形態についても同様である。また、圧力検出部２と緩衝部材５は、図５から図８に示したように所定のクリアランスを介し離間して設けられてもよいし、空隙なく接触して設けられてもよい。ただし、圧力検出部２を緩衝部材５と離間させた方が、荷重計測の検出特性を向上させることができる。

（第２の実施形態）
図１１は、第２の実施形態に係る圧力センサの外観斜視図である。この圧力センサ１Ｂは、第１の実施形態に係る圧力センサ１Ａと同様の基本構成を有することに加え、貫通孔９を備えている。この貫通孔９は、上プレート部材３と，圧力検出部５（略中央の部位）と、下プレート部材４との間を上下に貫通している。貫通孔９は、圧力センサ１Ｂを設置面に取り付ける際、取付ボルトなどを挿通するために用いられる。なお、それ以外の点については、第１の実施形態で述べた各種の変形例も含めて圧力センサ１Ａと同様であるから、同一の符号を付して、ここでの説明を省略する。

図１２は、圧力センサ１Ｂの上面図であり、図１３は、そのＡ−Ａ断面図である。圧力検出部２において、その略中央を上下に貫通する貫通孔９の周囲には、圧力検出部２と離間して、円筒状の緩衝部材１０が設けられている。貫通孔９周りの緩衝部材１０は、特に、貫通孔９に挿通された取付ボルトによる締め付けなどの外力に起因した、圧力検出部２の塑性変形を抑制する。この場合、圧力検出部２の周囲に設けられた緩衝部材５は省略しても構わないが、圧力検出部２の両側に緩衝部材５及び１０を設けることにより、外力による圧力検出部２の塑性変形を更に効果的に抑制することができる。また、上述した第１の実施形態と同様、圧力検出部２は緩衝部材５及び緩衝部材１０と離間していてもよいし、互いに接触していてもよいが、離間させた方が荷重計測の検出特性を向上させることができる点で好ましい。

このように、本実施形態によれば、上述した第１の実施形態と同様の効果を奏するほか、貫通孔９に挿通された取付ボルトなどの締め付けに起因した抵抗体２ｃの変形を有効に抑制できる。

（第３の実施形態）
図１４は、第３の実施形態に係る圧力センサの外観斜視図である。この圧力センサ１Ｃは、上述した各実施形態に係る圧力センサ１Ａ，１Ｂの基本構成に、連結部材１０を追加したものである。この連結部材１０は、上プレート部材３と下プレート部材４とを緩衝部材５を介して上下方向において連結する（繋ぎ合わせる）。連結部材１０は、構造体である圧力力センサ１Ｃの一体性（強度）を高めるため、より具体的には、圧力センサ１Ｃの分解やプレート部材３，４の横ずれを防止するために用いられる。連結部材１０としては、典型的には、リベット等のカシメによって構成することができるが、それ以外にネジの締結などを用いてもよい。本実施形態では、圧力センサ１Ｃの四隅に対応して４つの連結部材１０が取り付けられている。

図１５は、圧力センサ１Ｃの一例を示すＡ−Ａ断面図である。連結部材１０が取り付けられる部位は、上下のプレート部材３，４の主面に対して陥没している。そして、この陥没した取付部位には、上プレート部材３と、緩衝部材５と、下プレート部材４とを上下に貫通する貫通孔１１が形成されており、この貫通孔１１に連結部材１０が挿通される。そして、上プレート部材３の上面より露出した連結部材１０の上端、および、下プレート部材４の下面より露出した連結部材１０の下端のそれぞれに対してカシメ処理等を施すことで、連結部材１０が固定される。この状態において、連結部材１０の上端は、上プレート部材３の主面よりも低くなっており、両者の間にクリアランスＹ１が存在する（Ｙ１＞０）。また、連結部材１０の下端は、下プレート部材４の主面よりも低くなっており、両者の間にクリアランスＹ２が存在する（Ｙ２＞０）。このような縦方向のクリアランスＹ１，Ｙ２を設けることで、上下方向に変位させる荷重が圧力センサ１Ｃに加わった場合でも、この外力による変形を連結部材１０が規制しないので、圧力センサ１Ｃの強度を高めつつ正確に圧力を測定することができる。

また、連結部材１０の外径は貫通孔１１の内径よりも若干小さくなっており、これによって、両者の間に若干の空隙、すなわち、クリアランスＸ１が形成されている（Ｘ１＞０）。それとともに、連結部材１０の両端は、上下のプレート部材３，４の主面と、そこから陥没した取付部位との間に存在する段差部位から離れて、換言すれば、両者の間にクリアランスＸ２が存在するように配置されている（Ｘ２＞０）。このような横方向のクリアランスＸ１，Ｘ２を設けることで、横方向に変位させる荷重が圧力センサ１Ｃに加わった場合でも、この外力による変形を連結部材１０が規制しないので、圧力センサ１Ｃの強度を高めつつ正確に圧力を測定することができる。

図１５は、圧力センサ１Ｃの別の一例を示すＡ−Ａ断面図である。この構成は、図１４に示した緩衝部材５を上下の緩衝部材５ａ，５ｂに分割した構成に連結部材１０を適用したものであり、それ以外は図１４に示した構成と同様である。ここで、縦方向のクリアランスについて、連結部材１０の上端と上プレート部材３の主面との間のクリアランスをＹ１、連結部材１０の下端と下プレート部材４の主面との間のクリアランスをＹ２、上緩衝部材５ａと下緩衝部材５ｂとの間のクリアランスをＹ３とすると、Ｙ１＋Ｙ２＞Ｙ３であることが好ましい。これにより、上下方向に変位させる荷重が圧力センサ１Ｃに加わって、上下の緩衝部材５ａ，５ｂのクリアランスＹ３が０になった場合でも、連結部材１０の一端がプレート部材３，４の主面から突出することを防止できる。

このように、本実施形態によれば、上述した各実施形態と同様の効果を奏するほか、連結部材１０を用いることで、構造体である圧力力センサ１Ｃの一体性（強度）を高めることができる。なお、本実施形態では、緩衝部材５に設けられた貫通孔１１に連結部材１０を挿通する構成としたが、連結部材１０により挿通可能な場所は緩衝部材５に限定されない。例えば、緩衝部材５が設けられていない領域において、図７のように上プレート部材３と下プレート部材４とを緩衝部材５を介さずに連結させるようにし、当該領域（図７であれば、突出部４ａ）に上プレート部材３及び下プレート部材４を貫通する貫通項を形成し、当該貫通項に連結部材１０を設ける構成としてもよい（このとき、上プレート部材３及び下プレート部材４における連結部材１０の取付部位は、それぞれ図１５にのように陥没していることが好ましい。）。ただし、第３の実施形態のように、緩衝部材５に設けられた貫通孔１１に連結部材１０を挿通する構成であれば、連結部材１０により緩衝部材５を含めた固定が可能となるため、圧力センサ１Ｃの強度をより高めることができる。

１Ａ〜１Ｃ 圧力センサ
２ 圧力検出部
２ａ，２ｂ 一対の電極層
２ｃ 抵抗体
２ｄ 保護層
３ 上プレート部材
４ 下プレート部材
５，１０ 緩衝部材
６ フラットケーブル
７，８ 接着層
９，１１ 貫通孔
１０ 連結部材

Claims (14)

1. 圧力センサにおいて、
   第１のプレート部材と、
   前記第１のプレート部材と対向して配置された第２のプレート部材と、
   前記第１のプレート部材と、前記第２のプレート部材との間に設けられ、一対の電極層と、前記一対の電極層によって挟持された抵抗体とを有し、前記抵抗体の弾性変形量に応じた電気信号を出力する圧力検出部と、
   前記第１のプレート部材と、前記第２のプレート部材との間に設けられ、前記圧力検出部の弾性変形を緩衝する緩衝部材と
   を有することを特徴とする圧力センサ。
2. 前記緩衝部材は、前記圧力検出部の周囲に設けられた第１の緩衝部材を有することを特徴とする請求項１に記載された圧力センサ。
3. 前記第１のプレート部材と、前記圧力検出部の略中央と、前記第２のプレート部材とを貫通する貫通孔を有し、
   前記緩衝部材は、前記圧力検出部における前記貫通孔の周囲に設けられた第２の緩衝部材を有することを特徴とする請求項１または２に記載された圧力センサ。
4. 前記緩衝部材は、前記圧力検出部よりも硬いことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載された圧力センサ。
5. 前記第１のプレート部材および前記第２のプレート部材は、前記緩衝部材よりも硬いことを特徴とする請求項４に記載された圧力センサ。
6. 前記緩衝部材の厚みは、前記圧力検出部の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載された圧力センサ。
7. 前記緩衝部材は、
   前記第１のプレート部材から厚み方向に突出した第１の緩衝部材と、
   前記第１の緩衝部材と空隙をあけて対向し、前記第２のプレート部材から厚み方向に突出した第２の緩衝部材と
   を有することを特徴とする請求項６に記載されたた圧力センサ。
8. 前記緩衝部材の厚みは、前記圧力検出部の厚みと略等しいことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載された圧力センサ。
9. 前記第１のプレート部材および前記第２のプレート部材の少なくとも一方と、前記圧力検出部との間に設けられた第１の接着層と、
   前記第１のプレート部材および前記第２のプレート部材の少なくとも一方と、前記緩衝部材との間において、前記第１の接着層と分離して設けられた第２の接着層と
   をさらに有することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載された圧力センサ。
10. 前記圧力検出部は、少なくとも、前記一対の電極層の外面を覆うように設けられた保護層を有することを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載された圧力センサ。
11. 前記第１のプレート部材および前記第２のプレート部材を前記緩衝部材を介して連結する連結部材をさらに有し、
    前記連結部材は、
    前記第１のプレート部材および前記第２のプレート部材の主面から陥没した取付部位に取り付けられ、かつ、
    前記第１のプレート部材と、前記緩衝部材と、前記第２のプレート部材とを貫通する貫通孔に挿通されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載された圧力センサ。
12. 前記連結部材の両端は、前記第１のプレート部材および前記第２のプレート部材の主面よりも低いことを特徴とする請求項１１に記載された圧力センサ。
13. 前記連結部材の両端は、前記第１のプレート部材および前記第２のプレート部材の主面と前記取付部位との間に存在する段差部位から離れて配置されており、
    前記連結部材の外径は、前記貫通孔の内径よりも小さいことを特徴とする請求項１１または１２に記載された圧力センサ。
14. 前記緩衝部材は、
    前記第１のプレート部材から厚み方向に突出した第１の緩衝部材と、
    前記第１の緩衝部材と空隙をあけて対向し、前記第２のプレート部材から厚み方向に突出した第２の緩衝部材とを有し、
    前記連結部材の一端および前記第１のプレート部材の主面の間における第１のクリアランスと、前記連結部材の他端および前記第２のプレート部材の主面との間における第２のクリアランスとの和は、前記第１の緩衝部材および前記第２の緩衝部材の間における第３のクリアランスよりも大きいことを特徴とする請求項１１から１３のいずれかに記載された圧力センサ。
    
    

Images