JP2019113150A - Actuator - Google Patents

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Abstract

To provide an actuator that allows health monitoring of a differential transformer to be performed.SOLUTION: An actuator 10 comprises a cylinder 11, a piston unit 12 slidably provided in the cylinder, a differential transformer 20 for detecting a position of the piston unit with respect to the cylinder, a closed loop structure body 50 comprising a closed loop structure of which at least a portion is provided in the differential transformer, and a sensor unit 30 for detecting a physical change in the closed loop structure body.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本開示は、アクチュエータに関する。本開示は、より具体的には、差動変圧器を備えたアクチュエータに関する。   The present disclosure relates to an actuator. The present disclosure relates more specifically to an actuator provided with a differential transformer.

航空機等の輸送機器及び各種産業機械では、可動部材を駆動するためにアクチュエータが用いられている。アクチュエータの一種として流体圧式アクチュエータがある。流体圧式アクチュエータは、一般に、シリンダと、当該シリンダの内部空間を2つの圧力室に区画するピストンを有するピストンユニットと、シリンダに対するピストンユニットの位置を検出する位置検出器と、を有している。ピストンユニットには、シリンダの外部へ突出するピストンロッドが設けられており、このピストンロッドが駆動対象の可動部材と連結される。   In transportation equipment such as aircraft and various industrial machines, an actuator is used to drive a movable member. One type of actuator is a hydraulic actuator. A hydraulic actuator generally includes a cylinder, a piston unit having a piston that divides the internal space of the cylinder into two pressure chambers, and a position detector that detects the position of the piston unit relative to the cylinder. The piston unit is provided with a piston rod that protrudes to the outside of the cylinder, and the piston rod is connected to a movable member to be driven.

流体圧式アクチュエータでは、サーボ機構によりピストンユニットの位置が制御される。サーボ機構は、位置検出器により検出されたピストンユニットの位置に基づいて2つの圧力室に供給される作動流体の圧力を調整することで、ピストンユニットのシリンダ内での位置を制御する。   In the hydraulic actuator, the servo mechanism controls the position of the piston unit. The servo mechanism controls the position of the piston unit in the cylinder by adjusting the pressure of the working fluid supplied to the two pressure chambers based on the position of the piston unit detected by the position detector.

流体圧式アクチュエータに適用可能な位置検出器として、差動変圧器が知られている。特開2011−127674号公報(特許文献1)には、航空機の舵面を駆動するための流体圧式アクチュエータが開示されており、当該アクチュエータにおけるピストンの位置は、差動変圧器の一種である線形可変差動変圧器(LVDT)により検出されている。   A differential transformer is known as a position detector applicable to a hydraulic actuator. The hydraulic actuator for driving the control surface of an aircraft is disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-127674 (patent document 1), and the position of the piston in the said actuator is linear which is 1 type of a differential transformer. It is detected by a variable differential transformer (LVDT).

LVDTは、一般に、ピストン又はピストンロッドに固定された棒状のプローブと、当該プローブの先端に設けられたコアと、シリンダに固定されたコイルアッセンブリと、を備える。コイルアッセンブリは、交流の入力電圧によって励磁される一次コイルと、当該一次コイルの軸方向両側に設けられた一組の二次コイルと、を有している。LVDTは、ピストンユニットの変位に応じて、コイルアッセンブリに対するコアの位置が変化するように構成される。このコイルアッセンブリに対するコアの位置の変化により、各二次コイルに生じる誘導電圧の差である差動電圧が変化するため、この差動電圧に基づいてコアの基準位置に対する位置が検出される。コアの基準位置は、差動電圧がゼロとなるヌル点におけるコアの位置である。コアはピストンユニットと一体に移動するため、差動電圧に基づいてピストンユニットの位置を検知することができる。   The LVDT generally comprises a rod-like probe fixed to a piston or a piston rod, a core provided at the tip of the probe, and a coil assembly fixed to a cylinder. The coil assembly has a primary coil excited by an AC input voltage, and a pair of secondary coils provided on both axial sides of the primary coil. The LVDT is configured to change the position of the core relative to the coil assembly in response to the displacement of the piston unit. The change in the position of the core relative to the coil assembly changes the differential voltage which is the difference between the induced voltages generated in the respective secondary coils, so that the position relative to the reference position of the core is detected based on the differential voltage. The reference position of the core is the position of the core at the null point where the differential voltage is zero. Since the core moves integrally with the piston unit, the position of the piston unit can be detected based on the differential voltage.

特開2011−127674号公報JP 2011-127674 A

アクチュエータが正常に作動するためには、LVDT等の差動変圧器によりピストンユニットの位置を正しく検出することが必要である。   In order for the actuator to operate properly, it is necessary to correctly detect the position of the piston unit by a differential transformer such as LVDT.

本開示の目的の一つは、差動変圧器のヘルスモニタリングを行うことが可能なアクチュエータを提供することである。本開示のこれ以外の目的は、本明細書全体を参照することにより明らかとなる。   One of the objects of the present disclosure is to provide an actuator capable of performing health monitoring of differential transformers. Other objects of the present disclosure will become apparent by reference to the entire specification.

本発明の一態様によるアクチュエータは、シリンダと、前記シリンダに摺動可能に設けられたピストンユニットと、前記シリンダに対する前記ピストンユニットの位置を検出する差動変圧器と、少なくとも一部が前記差動変圧器内に設けられた閉ループ構造体と、前記閉ループ構造体における物理的な変化を検出するセンサユニットと、を備える。   An actuator according to one aspect of the present invention includes a cylinder, a piston unit slidably provided in the cylinder, a differential transformer for detecting the position of the piston unit with respect to the cylinder, and at least a part of the differential A closed loop structure provided in a transformer, and a sensor unit for detecting a physical change in the closed loop structure.

上記のアクチュエータによれば、センサユニットによって閉ループ構造体における物理的な変化が検出されるので、この検出結果に基づいて差動変圧器の健全性を判断することができる。また、閉ループ構造体により、差動変圧器に対して構造的な冗長性を付与することができる。これにより、差動変圧器に破断が起こりにくくすることができる。   According to the above-described actuator, since the sensor unit detects a physical change in the closed loop structure, the soundness of the differential transformer can be determined based on the detection result. Also, the closed loop structure can provide structural redundancy to the differential transformer. Thereby, breakage can be made less likely to occur in the differential transformer.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流または磁束に関する物理量を検出するように構成されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the sensor unit is configured to detect a physical quantity related to current or magnetic flux flowing through the closed loop structure.

上記のアクチュエータによれば、センサユニットによって閉ループ構造体を流れる電流又は磁束を検出することにより、差動変圧器の健全性を判断することができる。例えば、差動変圧器が破断または劣化すると閉ループ構造体の電気抵抗や磁気抵抗が変化するので、差動変圧器内に形成された閉ループ構造体を流れる電流または磁束の変化を検知することにより、差動変圧器の健全性をモニタリングすることができる。   According to the above-described actuator, the soundness of the differential transformer can be determined by detecting the current or magnetic flux flowing through the closed loop structure by the sensor unit. For example, when the differential transformer breaks or degrades, the electrical resistance or magnetic resistance of the closed loop structure changes, so by detecting a change in current or magnetic flux flowing through the closed loop structure formed in the differential transformer, The soundness of the differential transformer can be monitored.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the sensor unit is configured to detect that the closed loop structure is opened.

上記のアクチュエータによれば、センサユニットによって差動変圧器内に形成された閉ループ構造体が開放されたことを検知することにより、差動変圧器の破断または劣化を検知することができる。   According to the above-described actuator, breakage or deterioration of the differential transformer can be detected by detecting that the closed loop structure formed in the differential transformer is opened by the sensor unit.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流の電流値に基づいて前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the sensor unit is configured to detect that the closed loop structure is opened based on the current value of the current flowing through the closed loop structure.

上記のアクチュエータによれば、閉ループ構造体を流れる電流の電流値によって当該閉ループ構造体が開放されたことを検知することにより、差動変圧器の破断または劣化を検知することができる。   According to the above-mentioned actuator, it is possible to detect breakage or deterioration of the differential transformer by detecting that the closed loop structure is opened by the current value of the current flowing through the closed loop structure.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、磁性材料からなり、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体からの漏れ磁束を検知することにより前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the closed loop structure is made of a magnetic material, and the sensor unit detects that the closed loop structure is opened by detecting a leakage flux from the closed loop structure. Is configured as.

上記のアクチュエータによれば、閉ループ構造体からの漏れ磁束によって当該閉ループ構造体が開放されたことを検知することにより、差動変圧器の破断または劣化を検知することができる。   According to the above-described actuator, it is possible to detect breakage or deterioration of the differential transformer by detecting that the closed loop structure is opened by leakage flux from the closed loop structure.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記差動変圧器は、前記ピストンユニットに取り付けられたプローブを有し、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブに形成されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the differential transformer has a probe attached to the piston unit, and at least a part of the closed loop structure is formed on the probe.

上記のアクチュエータによれば、プローブの破断または劣化を検知することができる。   According to the above-described actuator, breakage or deterioration of the probe can be detected.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、前記プローブよりも靱性が高い材料からなる。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the closed loop structure is made of a material having higher toughness than the probe.

上記のアクチュエータによれば、高靱性の閉ループ構造体により、プローブに対して構造的強度を付与することができる。これにより、プローブが破断されにくくなる。   According to the above-described actuator, structural strength can be imparted to the probe by the high toughness closed loop structure. This makes it difficult for the probe to be broken.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記差動変圧器は、前記プローブに設けられたコアを有し、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアに形成されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the differential transformer has a core provided to the probe, and at least a part of the closed loop structure is formed on the probe and the core.

上記のアクチュエータによれば、コアの破断または劣化も検知することができる。   According to the above-described actuator, breakage or deterioration of the core can also be detected.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、前記コアよりも靱性が高い材料からなる。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the closed loop structure is made of a material having higher toughness than the core.

上記のアクチュエータによれば、高靱性の閉ループ構造体により、コアに対して構造的強度を付与することができる。これにより、コアが破断されにくくなる。   According to the above-described actuator, structural strength can be imparted to the core by the high toughness closed loop structure. This makes it difficult for the core to be broken.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に形成された貫通孔内に設けられている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, at least a part of the closed loop structure is provided in a through hole formed in at least one of the probe and the core.

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の動作の障害とならないように閉ループ構造体を形成できる。   The above-described actuator can form a closed loop structure so as not to disturb the operation of the differential transformer.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記貫通孔は、第1内径を有する第1孔部分と、前記第1内径よりも小さな第2内径を有する第2孔部分と、を有するように形成され、前記第2孔部分は、前記第1孔部分よりも、前記プローブが前記ピストンユニットに取り付けられる取付位置から遠位に配されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the through hole is formed to have a first hole portion having a first inner diameter and a second hole portion having a second inner diameter smaller than the first inner diameter. The second hole portion is disposed more distally than the first hole portion from an attachment position at which the probe is attached to the piston unit.

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器に溜まった水を貫通孔経由で掻き出すことができる。   According to the above-described actuator, water accumulated in the differential transformer can be scraped out via the through hole.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に形成された溝の内部に設けられている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, at least a part of the closed loop structure is provided inside a groove formed in at least one of the probe and the core.

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の動作の障害とならないように閉ループ構造体を形成できる。   The above-described actuator can form a closed loop structure so as not to disturb the operation of the differential transformer.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記溝は、第1外径を有する第1溝部分と、前記第1外径よりも大きな第2外径を有する第2溝部分と、を有するように形成され、前記第2溝部分は、前記第1溝部分よりも、前記プローブが前記ピストンユニットに取り付けられる取付位置から遠位に配されている、   In the actuator according to one aspect of the present invention, the groove is formed to have a first groove portion having a first outer diameter and a second groove portion having a second outer diameter larger than the first outer diameter. The second groove portion is arranged more distally than the first groove portion from an attachment position where the probe is attached to the piston unit

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器に溜まった水を溝経由で掻き出すことができる。   According to the above-described actuator, water accumulated in the differential transformer can be scraped out via the groove.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に螺旋形状に形成されている。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the closed loop structure is formed in a helical shape on at least one of the probe and the core.

上記のアクチュエータによれば、螺旋形状の閉ループ構造体により、プローブ及びコアの少なくとも一方を補強することができる。   According to the above-described actuator, at least one of the probe and the core can be reinforced by the spiral shaped closed loop structure.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体における物理的な変化に応じて、点灯、点滅、又は消灯するランプをさらに備える。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the sensor unit further includes a lamp that lights, blinks, or extinguishes in response to a physical change in the closed loop structure.

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の破断または劣化をランプで伝達することができる。   According to the above-described actuator, breakage or deterioration of the differential transformer can be transmitted by the lamp.

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体における物理的な変化に応じて生成した信号を外部装置に送信するように構成される。   In the actuator according to one aspect of the present invention, the sensor unit is configured to transmit a signal generated in response to a physical change in the closed loop structure to an external device.

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の破断または劣化を外部装置でモニタリングできる。   According to the above-described actuator, breakage or deterioration of the differential transformer can be monitored by an external device.

本発明の実施形態によって、差動変圧器のヘルスモニタリングを行うことが可能なアクチュエータが提供される。   Embodiments of the present invention provide an actuator capable of performing health monitoring of differential transformers.

本発明の一実施形態によるアクチュエータが用いられるシステムを模式的に示す図である。FIG. 1 schematically shows a system in which an actuator according to an embodiment of the present invention is used. 図1のアクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the actuator of FIG. 図1のアクチュエータが備える差動変圧器を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the differential transformer with which the actuator of FIG. 1 is provided. 図3の差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。It is a typical sectional view of a probe and a core with which a differential transformer of Drawing 3 is provided. 図4aのI−I線に沿った断面を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed the II line of FIG. 4 a. 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。It is a typical sectional view of a probe and core with which a differential transformer in another embodiment of the present invention is provided. 図5aのII−II線に沿った断面を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed the II-II line of FIG. 5 a. 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。It is a typical sectional view of a probe and core with which a differential transformer in another embodiment of the present invention is provided. 図6aのIII−III線に沿った断面を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed the III-III line of FIG. 6 a. 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。It is a typical sectional view of a probe and core with which a differential transformer in another embodiment of the present invention is provided. 図7aのIV−IV線に沿った断面を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed the IV-IV line of FIG. 7 a. 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるコアの模式的な断面図である。It is a typical sectional view of the core with which the differential transformer in another embodiment of the present invention is provided. 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるコアの模式的な断面図である。It is a typical sectional view of the core with which the differential transformer in another embodiment of the present invention is provided. 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの断面を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross section of the probe with which the differential transformer in another embodiment of this invention is provided, and a core. 本発明の別の実施形態におけるセンサユニットを説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the sensor unit in another embodiment of the present invention. 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。It is a typical sectional view of a probe and core with which a differential transformer in another embodiment of the present invention is provided. 図12aのV−V線に沿った断面を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed the VV line | wire of FIG. 12 a.

以下、添付の図面を適宜参照し、本発明の様々な実施形態を説明する。各図面において共通する構成要素に対しては同一の参照符号が付されている。各図面は、説明の便宜上、必ずしも正確な縮尺で記載されているとは限らない点に留意されたい。   Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings as appropriate. The same referential mark is attached | subjected to the component which is common in each drawing. It should be noted that the drawings are not necessarily drawn to scale for the convenience of the description.

本発明は、シリンダと、当該シリンダに摺動可能に設けられたピストンユニットと、当該ピストンユニットの位置を検出する差動変圧器と、を備えるアクチュエータに適用され得る。図1及び図2を参照して、本発明の一態様によるアクチュエータ及び当該アクチュエータが用いられるシステムについて説明する。   The present invention can be applied to an actuator including a cylinder, a piston unit slidably provided in the cylinder, and a differential transformer that detects the position of the piston unit. An actuator according to an aspect of the present invention and a system in which the actuator is used will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

図1は、本発明の一態様によるアクチュエータ10を作動させることにより航空機の動翼1Aを駆動する動翼駆動システム1を模式的に示す図であり、図2は、アクチュエータ10の断面を模式的に示す図である。動翼1Aは、例えば、補助翼(エルロン)、方向舵(ラダー)、及び昇降舵(エレベータ)などの主操縦翼面、または、フラップ及びスポイラーなどの二次操縦翼面である。動翼駆動システム1は、本発明によるアクチュエータが用いられるシステムの一例である。本発明によるアクチュエータは、動翼駆動システム以外にも様々なシステムにおいて用いられ得る。   FIG. 1 is a view schematically showing a moving blade drive system 1 for driving a moving blade 1A of an aircraft by operating an actuator 10 according to one aspect of the present invention, and FIG. FIG. The moving blade 1A is, for example, a main control surface such as an aileron, a rudder and an elevator, or a secondary control surface such as a flap and a spoiler. The moving blade drive system 1 is an example of a system in which the actuator according to the present invention is used. The actuator according to the present invention can be used in various systems other than the rotor blade drive system.

動翼駆動システム1は、動翼1Aを駆動させるためのアクチュエータ10と、アクチュエータ10に圧油を供給する油圧源2と、アクチュエータ10から排出された油を貯留するリザーバ3とを備えている。図示の実施形態において、アクチュエータ10は、油圧式アクチュエータである。本発明を適用可能なアクチュエータは油圧式アクチュエータには限られないことに留意されたい。例えば、本発明は、圧油以外の作動液体により作動される液体圧式アクチュエータや、圧縮空気により作動される空気圧式アクチュエータにも適用され得る。   The moving blade drive system 1 includes an actuator 10 for driving the moving blade 1A, a hydraulic pressure source 2 for supplying pressure oil to the actuator 10, and a reservoir 3 for storing the oil discharged from the actuator 10. In the illustrated embodiment, the actuator 10 is a hydraulic actuator. It should be noted that the actuators to which the present invention can be applied are not limited to hydraulic actuators. For example, the present invention may also be applied to hydraulic actuators actuated by a hydraulic fluid other than pressure oil, and pneumatic actuators actuated by compressed air.

アクチュエータ10は、中空のシリンダ11と、シリンダ11内に設けられたピストンユニット12と、を有する。シリンダ11は、その長手方向(軸線Aに沿う方向)の一方が開口し、他方が閉塞されている。シリンダ11は、第1シリンダ部材11aと、第2シリンダ部材11bと、第3シリンダ部材11cと、を有する。第1シリンダ部材103a、第2シリンダ部材103b、及び第3シリンダ部材103cは、互いに固定されている。   The actuator 10 has a hollow cylinder 11 and a piston unit 12 provided in the cylinder 11. One of the longitudinal directions (directions along the axis A) of the cylinder 11 is open and the other is closed. The cylinder 11 has a first cylinder member 11a, a second cylinder member 11b, and a third cylinder member 11c. The first cylinder member 103a, the second cylinder member 103b, and the third cylinder member 103c are fixed to one another.

第1シリンダ部材11aは、長手方向の一方が開口し他方が閉塞された有底の筒状に形成されている。第3シリンダ部材11cは、長手方向の両端が開口した筒状に形成されており、第1シリンダ部材11aの内側に螺合されている。第2シリンダ部材11bは、長手方向の両端が開口した筒状に形成されており、第1シリンダ部材11a及び第3シリンダ部材11cの内側に嵌め合わされている。図示の実施形態では、本明細書で説明されている第1シリンダ部材103a、第2シリンダ部材103b、及び第3シリンダ部材103cは例示であり、第1シリンダ部材103a、第2シリンダ部材103b、及び第3シリンダ部材103cの形状、配置、及び接合態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。シリンダ11は、第1シリンダ部材103a、第2シリンダ部材103b、及び第3シリンダ部材103c以外の部材を含んでもよい。   The first cylinder member 11a is formed in a bottomed cylindrical shape in which one in the longitudinal direction is open and the other is closed. The third cylinder member 11c is formed in a cylindrical shape with both ends in the longitudinal direction open, and is screwed into the inside of the first cylinder member 11a. The second cylinder member 11b is formed in a cylindrical shape with both ends in the longitudinal direction open, and is fitted inside the first cylinder member 11a and the third cylinder member 11c. In the illustrated embodiment, the first cylinder member 103a, the second cylinder member 103b, and the third cylinder member 103c described in this specification are examples, and the first cylinder member 103a, the second cylinder member 103b, and the second cylinder member 103b are illustrated. The shape, arrangement, and joining aspect of the third cylinder member 103c are not limited to the aspect explicitly described herein. The cylinder 11 may include members other than the first cylinder member 103a, the second cylinder member 103b, and the third cylinder member 103c.

ピストンユニット12は、ピストン13と、ピストン13に接続されたピストンロッド14と、ピストンロッド14に取り付けられたクレビス15と、を有する。ピストン13及びピストンロッド14は、シリンダ11の内部に配置されている。ピストンロッド14は、その一部がシリンダ11の開口を介してシリンダ11の外部に突出している。   The piston unit 12 has a piston 13, a piston rod 14 connected to the piston 13, and a clevis 15 attached to the piston rod 14. The piston 13 and the piston rod 14 are disposed inside the cylinder 11. The piston rod 14 partially protrudes to the outside of the cylinder 11 through the opening of the cylinder 11.

ピストン13は、円筒形状に形成されている。ピストン13は、その外周面が第1シリンダ部材13aの内周面と当接するように、第1シリンダ部材11aの内側に配置されている。これにより、ピストン13は、シリンダ11を第1油圧室19aおよび第2油圧室19bに区画する。   The piston 13 is formed in a cylindrical shape. The piston 13 is disposed inside the first cylinder member 11a such that the outer peripheral surface thereof abuts on the inner peripheral surface of the first cylinder member 13a. Thus, the piston 13 divides the cylinder 11 into the first hydraulic chamber 19a and the second hydraulic chamber 19b.

ピストンロッド14は、中空の筒状に形成された第1筒状部材14aと、第1筒状部材14aの一方の端部を閉塞する中実部14bと、中実部14bから第1筒状部材14とは反対側に延びる円筒形状の第2筒状部材14cと、を有する。ピストンロッド14は、その外周面が第2シリンダ部材103bの内周面と当接するように設けられている。ピストンロッド14の外周面と第2シリンダ部材103bの内周面との間は、Oリング等のシール部材が配されている。このシール部材により、圧油が第1油圧室19a内に封止される。   The piston rod 14 has a first cylindrical member 14a formed in a hollow cylindrical shape, a solid portion 14b closing one end of the first cylindrical member 14a, and a first cylindrical portion from the solid portion 14b. And a cylindrical second cylindrical member 14c extending to the side opposite to the member 14. The piston rod 14 is provided such that its outer peripheral surface abuts on the inner peripheral surface of the second cylinder member 103 b. A seal member such as an O-ring is disposed between the outer peripheral surface of the piston rod 14 and the inner peripheral surface of the second cylinder member 103b. The pressure oil is sealed in the first hydraulic chamber 19a by the seal member.

クレビス15は、動翼1Aに回動可能に取り付けられる取付部15aと、この取付部15aから突出する軸部15bとを有する。軸部15bの外表面には雄ねじが形成されており、第2筒状部材14cの内周面には雌ねじが形成されている。軸部15bは、第2筒状部材14cに螺合されている。軸部15bには、キー部材16を介して固定リング17が螺合されている。軸部15bは、固定リング17により、第2筒状部材14cに締め付けられる。   The clevis 15 has an attaching portion 15a rotatably attached to the moving blade 1A, and a shaft portion 15b projecting from the attaching portion 15a. An external thread is formed on the outer surface of the shaft portion 15b, and an internal thread is formed on the inner circumferential surface of the second cylindrical member 14c. The shaft portion 15 b is screwed into the second cylindrical member 14 c. The fixing ring 17 is screwed into the shaft portion 15 b via the key member 16. The shaft portion 15 b is tightened to the second cylindrical member 14 c by the fixing ring 17.

ピストンユニット12は、シリンダ11に対してその中心軸Aに沿って移動可能に設けられている。ピストンユニット12が中心軸Aに沿った第1移動方向W1に移動するとアクチュエータ10は伸長し、ピストンユニット12が中心軸A沿った第2移動方向W2に移動するとアクチュエータ10は収縮する。図2には、収縮したアクチュエータ10が示されている。アクチュエータ10は、油圧室19a及び油圧室19bに対して圧油が給排されることで作動する。アクチュエータ10が作動されるとピストン13がシリンダ11内で変位することにより、ピストンロッド14及びクレビス15を介して動翼1Aが駆動される。   The piston unit 12 is provided movably along the central axis A with respect to the cylinder 11. When the piston unit 12 moves in the first movement direction W1 along the central axis A, the actuator 10 extends, and when the piston unit 12 moves in the second movement direction W2 along the central axis A, the actuator 10 contracts. A contracted actuator 10 is shown in FIG. The actuator 10 operates by supplying and discharging pressure oil to the hydraulic chamber 19a and the hydraulic chamber 19b. When the actuator 10 is actuated, the piston 13 is displaced in the cylinder 11, whereby the moving blade 1A is driven through the piston rod 14 and the clevis 15.

図示され本明細書で説明されているピストンユニット12は例示であり、ピストンユニット12の構成部材の形状、配置、及び接合態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。例えば、ピストンユニット12において、ピストンロッド14とクレビス15とは一部材として形成されてもよい。   The piston unit 12 illustrated and described herein is an example, and the shapes, arrangements, and joining aspects of the components of the piston unit 12 are not limited to the aspects explicitly described herein. For example, in the piston unit 12, the piston rod 14 and the clevis 15 may be formed as one member.

ピストンロッド14の第1筒状部材14aの内部には、ピストンユニット12の位置を検出する差動変圧器20が設けられている。差動変圧器20は、円筒形状のハウジング20aを備えており、このハウジング20a内に後述する様々な構成部材を収容している。ハウジング20aは、その一方の端部において、第1シリンダ部材11aに固定されている。差動変圧器20からは、電力ケーブル28がハウジング11の外部に引き出されている。差動変圧器20の詳細については後述する。   Inside the first cylindrical member 14 a of the piston rod 14, a differential transformer 20 for detecting the position of the piston unit 12 is provided. The differential transformer 20 includes a cylindrical housing 20a, and accommodates various components described later in the housing 20a. The housing 20a is fixed to the first cylinder member 11a at one end thereof. A power cable 28 is drawn out of the housing 11 from the differential transformer 20. Details of the differential transformer 20 will be described later.

図1に示されているように、アクチュエータ10と油圧源2およびリザーバ3との間には、制御弁4が設けられている。制御弁4は、油圧源2と油路7aにより接続されており、リザーバ3とは油路7bにより接続されている。また、制御弁4は、油圧アクチュエータ11の第1油圧室19aと油路8aにより接続されており、油圧アクチュエータ11の第2油圧室19bと油路8bにより接続されている。シリンダ11は、第1ポート18a及び第2ポート18bを有する。油路8aは、第1ポート18aを介して第1油圧室19aと連通し、油路8bは、第2ポート18bを介して第2油圧室19bと連通している。   As shown in FIG. 1, a control valve 4 is provided between the actuator 10 and the hydraulic pressure source 2 and the reservoir 3. The control valve 4 is connected to the hydraulic pressure source 2 by an oil passage 7a, and to the reservoir 3 by an oil passage 7b. The control valve 4 is connected to a first hydraulic chamber 19a of the hydraulic actuator 11 by an oil passage 8a, and connected to a second hydraulic chamber 19b of the hydraulic actuator 11 by an oil passage 8b. The cylinder 11 has a first port 18a and a second port 18b. The oil passage 8a communicates with the first hydraulic chamber 19a via the first port 18a, and the oil passage 8b communicates with the second hydraulic chamber 19b via the second port 18b.

制御弁4は、例えばソレノイドバルブであり、フライトコントローラ5の指令に基づいてアクチュエータコントローラ6から入力される制御信号に基づいて、各油圧室19a,15bへ連通する圧油の経路を切り替え可能に構成される。制御弁4は、例えば、第1油圧室19aに油を供給し第2油圧室19bから油を排出する第1連通位置、第1油圧室19aから油を排出し第2油圧室19bに油を供給する第2連通位置、および、各油圧室19a,15bへの油の供給および各油圧室19a,15bからの油の排出を遮断する遮断位置に切り替え可能に構成される。   The control valve 4 is, for example, a solenoid valve, and is configured to be able to switch the path of the hydraulic fluid communicated to each of the hydraulic chambers 19a, 15b based on a control signal input from the actuator controller 6 based on the command of the flight controller 5. Be done. For example, the control valve 4 supplies oil to the first hydraulic chamber 19a and discharges the oil from the second hydraulic chamber 19b, and discharges oil from the first hydraulic chamber 19a to the second hydraulic chamber 19b. It is configured to be switchable to a second communication position for supplying and a blocking position for blocking the supply of oil to the hydraulic chambers 19a and 15b and the discharge of oil from the hydraulic chambers 19a and 15b.

フライトコントローラ5は、位置検出機構20からの検知信号に基づいてピストンユニット12の位置を特定し、特定されたピストンユニット12の位置に基づいて、動翼1Aの位置が航空機の飛行状態に応じた目標位置となるようにフィードバック制御を行うことができる。   The flight controller 5 identifies the position of the piston unit 12 based on the detection signal from the position detection mechanism 20, and based on the identified position of the piston unit 12, the position of the moving wing 1A corresponds to the flight state of the aircraft Feedback control can be performed to achieve the target position.

次に、図3をさらに参照して、ピストンユニット12の位置を検出する差動変圧器20について説明する。図3は、差動変圧器20の一部分を拡大して示す模式的な拡大断面図である。図3においては、ハウジング20aの図示が省略されている。   Next, with further reference to FIG. 3, the differential transformer 20 for detecting the position of the piston unit 12 will be described. FIG. 3 is a schematic enlarged cross-sectional view showing a part of the differential transformer 20 in an enlarged manner. In FIG. 3, the illustration of the housing 20a is omitted.

図示の実施形態において、差動変圧器20は、線形可変差動変圧器(LVDT)である。差動変圧器20は、インナーケース22a、アウターケース22b、一次コイル23a、一組の二次コイル23b,23c、プローブ24、及びコア25を有している。   In the illustrated embodiment, differential transformer 20 is a linear variable differential transformer (LVDT). The differential transformer 20 includes an inner case 22a, an outer case 22b, a primary coil 23a, a pair of secondary coils 23b and 23c, a probe 24, and a core 25.

アウターケース22bは、第1アウターケース22b1と、第2アウターケース22b2と、を有する。第1アウターケース22b1及び第2アウターケース22b2はいずれも円筒形状に形成されている。第2アウターケース22b2は、第1アウターケース22b1の内側に設けられている。インナーケース22aは、第1アウターケース22b1の一方の開放端を閉塞する基部22a1と、この基部22a1から中心軸A方向に延伸する円筒形状の円筒部22a2と、を有する。第1アウターケース22b1の一方の開放端がインナーケース22aの基部22a1で閉塞されているため、差動変圧器20は、有底の筒形状を有する。   The outer case 22b has a first outer case 22b1 and a second outer case 22b2. The first outer case 22b1 and the second outer case 22b2 are both formed in a cylindrical shape. The second outer case 22b2 is provided inside the first outer case 22b1. The inner case 22a has a base 22a1 closing one open end of the first outer case 22b1, and a cylindrical cylindrical portion 22a2 extending in the central axis A direction from the base 22a1. Since one open end of the first outer case 22b1 is closed by the base 22a1 of the inner case 22a, the differential transformer 20 has a bottomed cylindrical shape.

一次コイル23a及び二次コイル23b,23cはそれぞれ、インナーケース22aとアウターケース22bとの間に保持されている。これらのコイルは、中心軸Aに沿って差動変圧器20の底から開口に向かって、二次コイル23b、一次コイル23a、二次コイル23cの順に配置されている。   The primary coil 23a and the secondary coils 23b and 23c are respectively held between the inner case 22a and the outer case 22b. These coils are disposed in the order of the secondary coil 23b, the primary coil 23a, and the secondary coil 23c from the bottom of the differential transformer 20 along the central axis A toward the opening.

一次コイル23aは、交流の入力電圧によって励磁される。二次コイル23b,23cは、コア25を介して一次コイル23aと磁気結合する。よって、一次コイル23aが励磁されることにより、二次コイル23b,23cには誘導電圧が生じる。   The primary coil 23a is excited by an AC input voltage. The secondary coils 23 b and 23 c are magnetically coupled to the primary coil 23 a via the core 25. Therefore, when the primary coil 23a is excited, an induced voltage is generated in the secondary coils 23b and 23c.

プローブ24は、中心軸Aに沿って延伸する棒状のプローブ本体24aと、このプローブ24aの一端に設けられた固定軸部24bと、を有する。プローブ24は、固定軸部24bにおいて、ピストンロッド14に固定される。具体的には、固定軸部24bの外表面には雄ねじが形成されており、図2に示されているようにこの固定軸部24bがピストンロッド14の中実部14bに螺合されることにより、プローブ24がピストンロッド14に固定される。プローブ24は、ピストンユニット12と一体に変位するように構成及び配置される。   The probe 24 has a rod-like probe main body 24 a extending along the central axis A, and a fixed shaft portion 24 b provided at one end of the probe 24 a. The probe 24 is fixed to the piston rod 14 at the fixed shaft portion 24 b. Specifically, an external thread is formed on the outer surface of the fixed shaft portion 24b, and the fixed shaft portion 24b is screwed to the solid portion 14b of the piston rod 14 as shown in FIG. Thus, the probe 24 is fixed to the piston rod 14. The probe 24 is configured and arranged to be displaced integrally with the piston unit 12.

コア25は、円柱状に形成され、プローブ24の先端に固定されている。コア25は、プローブ24と一体に変位するように構成及び配置される。コア25は、例えば、パーマロイ、電磁軟鉄、またはこれら以外の材料から形成される。   The core 25 is formed in a cylindrical shape and is fixed to the tip of the probe 24. The core 25 is constructed and arranged to be displaced integrally with the probe 24. The core 25 is made of, for example, permalloy, electromagnetic soft iron, or a material other than these.

差動変圧器20においては、ピストンユニット12の変位に応じてコア25が中心軸Aに沿って移動すると、一次コイル23a及び二次コイル23b,23cに対してコア25が移動する。一次コイル23aが励磁されているときに一次コイル23a及び二次コイル23b,23cに対するコア25の位置が変化すると、二次コイル23bに生じる誘導電圧と二次コイル23cに生じる誘導電圧との差である差動電圧が変化するため、この差動電圧に基づいてコアの基準位置に対する位置が検出される。コアの基準位置は、差動電圧がゼロとなるヌル点におけるコアの位置である。コア25はピストンユニット12と一体に移動するため、差動電圧に基づいてピストンユニット12の位置を検知することができる。差動電圧は、フライトコントローラ5またはこれ以外の情報処理ユニットに対して出力される   In the differential transformer 20, when the core 25 moves along the central axis A according to the displacement of the piston unit 12, the core 25 moves with respect to the primary coil 23a and the secondary coils 23b and 23c. When the position of the core 25 with respect to the primary coil 23a and the secondary coils 23b and 23c changes when the primary coil 23a is excited, the difference between the induced voltage generated in the secondary coil 23b and the induced voltage generated in the secondary coil 23c Since a certain differential voltage changes, the position relative to the reference position of the core is detected based on this differential voltage. The reference position of the core is the position of the core at the null point where the differential voltage is zero. The core 25 moves integrally with the piston unit 12 so that the position of the piston unit 12 can be detected based on the differential voltage. The differential voltage is output to the flight controller 5 or other information processing unit

本明細書で具体的に説明されている差動変圧器20は例示であり、差動変圧器20の構成部材の形状、配置、及び接合態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。例えば、プローブ24は螺合以外の方法でピストンロッド14に接合され得る。また、プローブ24は、プローブ24及びコア25がピストンユニット12と一体に移動することができる限り、ピストンユニット12に任意の方法で取り付けられる。   The differential transformer 20 specifically described in the present specification is an example, and the shapes, arrangements, and junction modes of components of the differential transformer 20 are the aspects explicitly described in the present specification. It is not limited to For example, the probe 24 may be joined to the piston rod 14 in a manner other than screwing. Also, the probe 24 is attached to the piston unit 12 in any manner as long as the probe 24 and the core 25 can move integrally with the piston unit 12.

次に、差動変圧器の破断または劣化を検出するための閉ループ構造体及び閉ループ構造体における物理的な変化を検出するセンサユニットについて説明する。アクチュエータ10には、閉ループ構造を有する閉ループ構造体50が設けられている。閉ループ構造体50は、少なくともその一部が差動変圧器20の内部に設けられる。   Next, a closed loop structure for detecting breakage or deterioration of the differential transformer and a sensor unit for detecting a physical change in the closed loop structure will be described. The actuator 10 is provided with a closed loop structure 50 having a closed loop structure. The closed loop structure 50 is at least partially provided inside the differential transformer 20.

閉ループ構造体50には、閉ループ構造体50における物理的な変化を検出するセンサユニット30が設けられる。センサユニット30により検出される物理量は、閉ループ構造体50における物理的な変化に応じて変化する。センサユニット30により検出される物理量は、閉ループ構造体50に破断または劣化が生じたときに、その破断または劣化の発生の前後で変化する任意の物理量である。例えば、センサユニット30は、閉ループ構造体50を流れる電流または磁束に関する物理量を検出することができる。閉ループ構造体50を流れる電流に関する物理量は、例えば、閉ループ構造体50に所定の電圧を印加した際に閉ループ構造体50に流れる電流の電流値である。閉ループ構造体50を流れる磁束に関する物理量は、例えば、閉ループ構造体50から漏れ出す漏れ磁束の磁束である。   The closed loop structure 50 is provided with a sensor unit 30 that detects a physical change in the closed loop structure 50. The physical quantities detected by the sensor unit 30 change in response to physical changes in the closed loop structure 50. The physical quantity detected by the sensor unit 30 is any physical quantity that changes before and after the occurrence of breakage or deterioration when the closed loop structural body 50 is broken or deteriorated. For example, the sensor unit 30 can detect a physical quantity related to the current or magnetic flux flowing through the closed loop structure 50. The physical quantity related to the current flowing through the closed loop structure 50 is, for example, the current value of the current flowing through the closed loop structure 50 when a predetermined voltage is applied to the closed loop structure 50. The physical quantity related to the magnetic flux flowing through the closed loop structure 50 is, for example, the flux of leakage flux leaking from the closed loop structure 50.

本発明の一実施形態における閉ループ構造体について、図4a及び図4bをさらに参照してさらに説明する。図4aは、本発明の一実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図4bは、図4aのI−I線に沿った断面を模式的に示す断面図である。   The closed loop structure in one embodiment of the present invention will be further described with further reference to FIGS. 4a and 4b. FIG. 4a schematically shows a cross section of a probe and core provided in a differential transformer according to an embodiment of the present invention and a sensor unit, and FIG. 4b is a sectional view taken along line I-I of FIG. 4a. It is a sectional view showing typically the section taken along.

図示のように、アクチュエータ10に設けられている閉ループ構造体50は、導電性に優れたワイヤ27、このワイヤ27に接続された電源31、及び、この電源31と直列に設けられたLEDランプ等のランプ32を備える。図示の実施形態では、センサユニット30は、電源31とランプ32とを含んでいる。センサユニット30は、アクチュエータ10に、ピストンユニット12と一体に移動できるように設けられる。センサユニット30をピストンユニット12と一体に移動できるように設けることにより、センサユニット30をシリンダ11に設けた場合よりも、ワイヤ27の長さを短縮することができる。   As shown, the closed loop structure 50 provided in the actuator 10 includes a wire 27 excellent in conductivity, a power supply 31 connected to the wire 27, an LED lamp provided in series with the power supply 31, etc. The lamp 32 is provided. In the illustrated embodiment, sensor unit 30 includes a power supply 31 and a lamp 32. The sensor unit 30 is provided on the actuator 10 so as to be able to move integrally with the piston unit 12. By providing the sensor unit 30 so as to be able to move integrally with the piston unit 12, the length of the wire 27 can be shortened compared to the case where the sensor unit 30 is provided in the cylinder 11.

閉ループ構造体50においては、電源31から印可される電圧によって、ワイヤ27及びランプ32に電流が流れ、ランプ32が点灯する。このように、閉ループ構造体50の閉ループ構造に沿って、電気的な閉回路が構成されている。ワイヤ27が破断した場合には、閉ループ構造体50内の電気的な閉回路は開放され、ワイヤ27及びランプ32には電流が流れなくなるため、ランプ32は消灯する。   In the closed loop structure 50, the voltage applied from the power supply 31 causes a current to flow through the wire 27 and the lamp 32, and the lamp 32 is lit. Thus, an electrically closed circuit is configured along the closed loop structure of the closed loop structure 50. If the wire 27 breaks, the electrically closed circuit in the closed loop structure 50 is opened, and no current flows through the wire 27 and the lamp 32, so the lamp 32 is turned off.

このように、ランプ32は、閉ループ構造体50の一部分を構成するとともに、閉ループ構造体50の破断の有無を検知するセンサユニット30の構成部品としても機能する。   Thus, the lamp 32 constitutes a part of the closed loop structure 50 and also functions as a component of the sensor unit 30 for detecting the presence or absence of breakage of the closed loop structure 50.

図示の実施形態においては、プローブ24及びコア25に、ワイヤ27を挿通させるための穴構造26が形成されている。この穴構造26は、第1貫通孔26a、第2貫通孔26b、第3貫通孔26c、第4貫通孔26d、及び第5貫通孔26eを有する。第1貫通孔26a及び第2貫通孔26bは、プローブ24に形成されている。第1貫通孔26a及び第2貫通孔26bはいずれも、中心軸Aに沿ってプローブ24の一端から他端まで延伸している。第3貫通孔26c及び第4貫通孔26dは、コア25に形成されている。第3貫通孔26c及び第4貫通孔26dはいずれも、中心軸Aに沿ってコア25の一端から他端まで延伸している。第3貫通孔26cは、第1貫通孔26aと連通するように形成されており、第4貫通孔26dは、第2貫通孔26bと連通するように形成されている。また、第3貫通孔26cと第4貫通孔26dとは、中心軸Aに垂直な方向に伸びる第5貫通孔26eにより接続されている。   In the illustrated embodiment, the probe 24 and core 25 are formed with a hole structure 26 for inserting the wire 27 therethrough. The hole structure 26 includes a first through hole 26a, a second through hole 26b, a third through hole 26c, a fourth through hole 26d, and a fifth through hole 26e. The first through holes 26 a and the second through holes 26 b are formed in the probe 24. Each of the first through holes 26 a and the second through holes 26 b extends along the central axis A from one end of the probe 24 to the other end. The third through hole 26 c and the fourth through hole 26 d are formed in the core 25. The third through holes 26 c and the fourth through holes 26 d both extend along the central axis A from one end of the core 25 to the other end. The third through hole 26c is formed to be in communication with the first through hole 26a, and the fourth through hole 26d is formed to be in communication with the second through hole 26b. Further, the third through hole 26 c and the fourth through hole 26 d are connected by a fifth through hole 26 e extending in a direction perpendicular to the central axis A.

第3貫通孔26c、第4貫通孔26d、及び第5貫通孔26eは、図4bに示されているように、コア25となる円柱形状の素体を中心軸Aに沿って半割りとした半割部材25a,25bを準備し、この半割部材25a,25bのそれぞれの接合面に、第3貫通孔26c、第4貫通孔26d、及び第5貫通孔26eにそれぞれ対応する形状の溝を形成したのち、当該半割部材25a,25bを互いに接合することで形成される。これと同様に、第1貫通孔26a及び第2貫通孔26bは、プローブ24となる円柱形状の素体を中心軸Aに沿って半割りとした半割部材に溝を形成した後、これらの半割部材を接合することで形成される。   The third through hole 26c, the fourth through hole 26d, and the fifth through hole 26e are divided in half along the central axis A along the central axis A of the cylindrical body to be the core 25, as shown in FIG. 4b. Prepare the half members 25a and 25b, and form the grooves corresponding to the third through holes 26c, the fourth through holes 26d, and the fifth through holes 26e on the joint surfaces of the half members 25a and 25b, respectively. It forms by joining the said half members 25a and 25b mutually after forming. Similarly to this, the first through holes 26a and the second through holes 26b are formed by forming grooves in a half-split member in which a cylindrical element body to be the probe 24 is split along the central axis A, It is formed by joining the half members.

ワイヤ27の一部は、プローブ24及びコア25内に、第1貫通孔26a、第3貫通孔26c、第5貫通孔26e、第4貫通孔26d、及び第2貫通孔26bを通過するように配置されている。ワイヤ27のうちプローブ24及びコア25の外側にある部分は、図2に示されているように、固定軸部24bの端部からピストンロッド14の第2筒状部材14cに入り、この第2筒状部材14c内を中心軸Aに沿って案内され、次に、第2シリンダ部材11bと固定リング17との間の隙間からシリンダ11の外部に引き出され、シリンダ11の外部においてセンサユニット30(具体的には、電源31及びランプ32)に接続される。   A portion of the wire 27 passes through the first through hole 26a, the third through hole 26c, the fifth through hole 26e, the fourth through hole 26d, and the second through hole 26b in the probe 24 and the core 25. It is arranged. The portion of the wire 27 outside the probe 24 and the core 25 enters the second cylindrical member 14c of the piston rod 14 from the end of the fixed shaft 24b, as shown in FIG. It is guided along the central axis A in the cylindrical member 14c and then pulled out of the gap between the second cylinder member 11b and the fixing ring 17 to the outside of the cylinder 11, and the sensor unit 30 ( Specifically, it is connected to the power supply 31 and the lamp 32).

上記の実施形態では、ワイヤ27の一部分は、プローブ24及びコア25の両方の内部に配置されているが、ワイヤ27の一部分は、プローブ24及びコア25の少なくとも一方の内部に配置されていればよい。ワイヤ27を流れる電流が漏れ出さないようにするために、プローブ24及びコア25のうち少なくともワイヤ27と接する部位は、絶縁性に優れた絶縁材料から形成される。また、第2シリンダ部材11bのうちワイヤ27と接する部位も絶縁材料から形成される。   In the above embodiment, a portion of the wire 27 is disposed within both the probe 24 and the core 25, but a portion of the wire 27 is disposed within at least one of the probe 24 and the core 25. Good. In order to prevent the current flowing through the wire 27 from leaking out, at least a portion of the probe 24 and the core 25 in contact with the wire 27 is formed of an insulating material having excellent insulation. Further, a portion of the second cylinder member 11 b in contact with the wire 27 is also formed of an insulating material.

本明細書で説明されているワイヤ27は例示であり、ワイヤ27の形状、アクチュエータ10内における配置、センサユニット30との接続態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。   The wire 27 described in the present specification is an example, and the shape of the wire 27, the arrangement in the actuator 10, and the connection aspect with the sensor unit 30 are not limited to the aspect explicitly described in the present specification. .

本明細書で説明されているセンサユニット30は例示であり、センサユニット30の配置、構成部材、及び閉ループ構造体の物理的な変化の検出原理は本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。   The sensor unit 30 described herein is exemplary, and the arrangement of the sensor unit 30, the constituent members, and the detection principle of the physical change of the closed loop structure are the embodiments explicitly described herein. Is not limited.

次に、動翼駆動システム1及びアクチュエータ10の動作について説明する。動作開始時に、ピストンユニット12は中立位置にあるものとする。このとき、コア25は、差動電圧がゼロとなる基準位置にある。   Next, operations of the moving blade driving system 1 and the actuator 10 will be described. At the start of operation, the piston unit 12 is in the neutral position. At this time, the core 25 is at the reference position where the differential voltage is zero.

アクチュエータコントローラ6は、アクチュエータ10を収縮させる場合、フライトコントローラ5からの指令に基づいて、制御弁4を第1連通位置とすることで、第1油圧室19aに油を供給し第2油圧室19bから油を排出する。これにより、ピストンユニット12は、中立位置から第2移動方向W2に移動する。   When the actuator controller 6 contracts the actuator 10, the control valve 4 is set to the first communication position based on the command from the flight controller 5, thereby supplying the oil to the first hydraulic chamber 19a and the second hydraulic chamber 19b. Drain oil from Thus, the piston unit 12 moves from the neutral position in the second movement direction W2.

ピストンユニット12が第2移動方向W2への移動を開始すると、コア25もピストンユニット12の移動に応じて移動方向W2へ移動する。これにより、コア25は、基準位置から二次コイル23bに近づく方向へ移動する。これにより、生じる差動電圧がフライトコントローラ5に出力される。   When the piston unit 12 starts moving in the second moving direction W2, the core 25 also moves in the moving direction W2 according to the movement of the piston unit 12. Thereby, the core 25 moves in the direction approaching the secondary coil 23b from the reference position. As a result, the generated differential voltage is output to the flight controller 5.

一方、アクチュエータ10を伸長させる場合、アクチュエータコントローラ6は、制御弁4を第2連通位置とすることで、第2油圧室19bに油を供給し第1油圧室19aから油を排出する。これにより、ピストンユニット12は、第1移動方向W1に移動する。   On the other hand, when the actuator 10 is extended, the actuator controller 6 sets the control valve 4 to the second communication position to supply the oil to the second hydraulic chamber 19 b and discharge the oil from the first hydraulic chamber 19 a. Thus, the piston unit 12 moves in the first movement direction W1.

ピストンユニット12が第1移動方向W1への移動を開始すると、コア25もピストンユニット12の移動に応じて移動方向W1へ移動する。これにより、コア25は、二次コイル23cに近づく方向へ移動する。これにより、生じる差動電圧がフライトコントローラ5に出力される。   When the piston unit 12 starts moving in the first moving direction W1, the core 25 also moves in the moving direction W1 according to the movement of the piston unit 12. Thereby, the core 25 moves in the direction approaching the secondary coil 23c. As a result, the generated differential voltage is output to the flight controller 5.

フライトコントローラ5では、差動電圧に基づいてピストンユニット12の位置が特定され、この特定されたピストンユニット12の位置に基づいて、アクチュエータ10のフィードバック制御が行われる。   The flight controller 5 identifies the position of the piston unit 12 based on the differential voltage, and feedback control of the actuator 10 is performed based on the identified position of the piston unit 12.

以上のように、アクチュエータ10を作動させると、プローブ24及びコア25がピストンロッド14内を移動する。プローブ24及びコア25は、他の部材との焼き付き、応力腐食割れ、またはこれら以外の原因により完全にまたは部分的に破断する可能性がある。   As described above, when the actuator 10 is actuated, the probe 24 and the core 25 move in the piston rod 14. The probe 24 and the core 25 may completely or partially break due to seizure with other members, stress corrosion cracking, or other causes.

上記実施形態によれば、閉ループ構造体50の少なくとも一部がプローブ24及びコア25の少なくとも一方の内部に設けられており、センサユニット30により閉ループ構造体50における物理的な変化を検出することができるため、プローブ24やコア25に破断が生じた場合には、この破断により閉ループ構造体50において生じる物理的な変化をセンサユニット30で検知することができる。具体的には、プローブ24やコア25において、閉ループ構造体50内の電気的な閉回路が開放される程度の破断または劣化が生じた場合には、センサユニット30において電源31により電圧が印加されてもランプ32が点灯しないため、センサユニット30により、プローブ24やコア25における破断や劣化を検出することができる。   According to the above embodiment, at least a part of the closed loop structure 50 is provided inside at least one of the probe 24 and the core 25, and the sensor unit 30 detects a physical change in the closed loop structure 50. Therefore, if a break occurs in the probe 24 or the core 25, the sensor unit 30 can detect a physical change that occurs in the closed loop structure 50 due to the break. Specifically, when breakage or deterioration occurs to the extent that the electrical closed circuit in the closed loop structure 50 is opened in the probe 24 or the core 25, a voltage is applied by the power supply 31 in the sensor unit 30. However, since the lamp 32 does not light, the sensor unit 30 can detect breakage or deterioration of the probe 24 or the core 25.

上記実施形態によれば、閉ループ構造体50を構成するワイヤ27は、プローブ24及びコア25の少なくとも一方に形成された穴構造26内に設けられているため、差動変圧器20の動作の障害とならない。   According to the above embodiment, since the wire 27 constituting the closed loop structure 50 is provided in the hole structure 26 formed in at least one of the probe 24 and the core 25, the operation of the differential transformer 20 is impaired. It does not take.

本発明の別の実施形態について、図5a及び図5bを参照して説明する。図5aは、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図5bは、図5aのII−II線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図5a及び図5bに示されている実施形態では、図4a及び図4bの実施形態におけるコア25の代わりにコア125が設けられている。   Another embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. 5a and 5b. Fig. 5a schematically shows a cross section of a probe and core provided in a differential transformer according to another embodiment of the present invention and a sensor unit, and Fig. 5b shows a II-II line of Fig. 5a. It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed. In the embodiment shown in FIGS. 5a and 5b, a core 125 is provided instead of the core 25 in the embodiment of FIGS. 4a and 4b.

コア125は、プローブ24に接続された第1部分125aと、この第1部分に接続された第2部分125bと、を有する。第1部分125aと第2部分125bとは一体に形成されている。第2部分125bは、第1部分125aよりも固定軸部24bから遠位に配されている。   The core 125 has a first portion 125 a connected to the probe 24 and a second portion 125 b connected to the first portion. The first portion 125a and the second portion 125b are integrally formed. The second portion 125 b is disposed farther from the fixed shaft portion 24 b than the first portion 125 a.

コア125の第1部分125aには、コア第1貫通孔126a及びコア第2貫通孔126bが形成されている。コア第1貫通孔126a及びコア第2貫通孔126bはいずれも、中心軸Aに沿ってコア125の第1部分125aの一端から他端まで延伸している。コア第1貫通孔126aは、プローブ24に形成された第1貫通孔26aと連通しており、コア第2貫通孔126bは、プローブ24に形成された第2貫通孔26bと連通している。コア第1貫通孔126aは、第1貫通孔26aと同じ内径を有するように形成されてもよく、コア第2貫通孔126bは、第2貫通孔26bと同じ内径を有するように形成されてもよい。   A core first through hole 126 a and a core second through hole 126 b are formed in the first portion 125 a of the core 125. Each of the core first through hole 126 a and the core second through hole 126 b extends along the central axis A from one end to the other end of the first portion 125 a of the core 125. The core first through holes 126 a communicate with the first through holes 26 a formed in the probe 24, and the core second through holes 126 b communicate with the second through holes 26 b formed in the probe 24. The core first through hole 126a may be formed to have the same inner diameter as the first through hole 26a, and the core second through hole 126b may be formed to have the same inner diameter as the second through hole 26b. Good.

コア125の第2部分125bには、コア第3貫通孔127a、コア第4貫通孔127b、及び、コア第3貫通孔127aとコア第4貫通孔127bとを接続するコア第5貫通孔127cが形成されている。コア第3貫通孔127a及びコア第4貫通孔127bはいずれも、中心軸Aに沿ってコア125の第2部分125bの一端から他端まで延伸している。コア第3貫通孔127aはコア第1貫通孔126aと連通されており、コア第4貫通孔127nはコア第2貫通孔126bと連通されている。   A core third through hole 127a, a core fourth through hole 127b, and a core fifth through hole 127c for connecting the core third through hole 127a and the core fourth through hole 127b are provided in the second portion 125b of the core 125. It is formed. Each of the core third through hole 127 a and the core fourth through hole 127 b extends along the central axis A from one end of the second portion 125 b of the core 125 to the other end. The core third through hole 127a is in communication with the core first through hole 126a, and the core fourth through hole 127n is in communication with the core second through hole 126b.

コア第3貫通孔127aは、コア第1貫通孔126aよりも小さな内径を有するように形成され、コア第4貫通孔127bは、コア第2貫通孔126bよりも小さな内径を有するように形成される。コア第3貫通孔127aの内径がコア第1貫通孔126aの内径よりも小さく、また、コア第4貫通孔127bの内径がコア第2貫通孔126bの内径よりも小さいため、第1部分125aと第2部分125bとの境界には段差が生じる。これと同様に、コア第4貫通孔127bは、コア第2貫通孔126bよりも小さな内径を有するように形成される。   Core third through hole 127a is formed to have an inner diameter smaller than core first through hole 126a, and core fourth through hole 127b is formed to have an inner diameter smaller than core second through hole 126b. . The inner diameter of the core third through hole 127a is smaller than the inner diameter of the core first through hole 126a, and the inner diameter of the core fourth through hole 127b is smaller than the inner diameter of the core second through hole 126b. A step is generated at the boundary with the second portion 125b. Similarly to this, the core fourth through hole 127 b is formed to have an inner diameter smaller than that of the core second through hole 126 b.

上記実施形態によれば、有底の差動変圧器20の底に溜まった水を、コア第3貫通孔127aとコア第1貫通孔126aとの境界に形成された段差、及び、コア第4貫通孔127bとコア第1貫通孔126bとの境界に形成された段差によりトラップし、このトラップされた水をプローブ24及びコア125の第1移動方向W1への移動によって差動変圧器20の外部に排出することができる。   According to the above-described embodiment, the water accumulated at the bottom of the bottomed differential transformer 20 is formed on the boundary between the third core through hole 127a and the first core through hole 126a, and the fourth core The trapped water is trapped by the step formed at the boundary between the through hole 127b and the core first through hole 126b, and the trapped water is moved to the outside of the differential transformer 20 by the movement of the probe 24 and the core 125 in the first movement direction W1. Can be discharged.

本発明のさらに別の実施形態においては、プローブ24に形成されている第1貫通孔26aのうち固定軸部24bから遠位にある部分を小径に形成することにより、上記と同様の原理で、差動変圧器20の底に溜まった水を差動変圧器20の外部に排出することができる。   In yet another embodiment of the present invention, by forming a portion of the first through hole 26a formed in the probe 24 at a position distal to the fixed shaft portion 24b to a small diameter, the principle similar to the above is obtained. Water accumulated at the bottom of the differential transformer 20 can be discharged to the outside of the differential transformer 20.

次に、図6a及び図6bを参照して本発明のさらに別の実施形態について説明する。図6aは、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図6bは、図6aのIII−III線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図6a及び図6bに示されている実施形態では、図4a及び図4bの実施形態におけるプローブ24の代わりにプローブ224が設けられ、コア25の代わりにコア225が設けられている。   Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6a and 6b. Fig. 6a schematically shows a cross section of a probe and core provided in a differential transformer according to another embodiment of the present invention and a sensor unit, and Fig. 6b shows a line III-III in Fig. 6a. It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed. In the embodiment shown in FIGS. 6a and 6b, a probe 224 is provided instead of the probe 24 in the embodiment of FIGS. 4a and 4b and a core 225 is provided instead of the core 25.

プローブ224の外表面には、プローブ第1溝226a及びプローブ第2溝226bが形成されている。プローブ第1溝226a及びプローブ第2溝226bはいずれも、中心軸Aに沿って延伸している。プローブ第1溝226a及びプローブ第2溝226bはいずれも断面V字形状に形成されている。   The outer surface of the probe 224 is formed with a first probe groove 226a and a second probe groove 226b. Each of the probe first groove 226 a and the probe second groove 226 b extends along the central axis A. Each of the probe first groove 226a and the probe second groove 226b is formed in a V-shaped cross section.

コア225の外表面には、コア第1溝227a及びコア第2溝227bが形成されている。コア第1溝227a及びコア第2溝227bはいずれも、中心軸Aに沿って延伸している。図6bに示されているように、コア第1溝227a及びコア第2溝227bはいずれも断面V字形状に形成されている。コア225には、コア第1溝227aの底部とコア第2溝227bの底部とを連結する連結孔228が形成されている。   In the outer surface of the core 225, a core first groove 227a and a core second groove 227b are formed. Each of the core first groove 227 a and the core second groove 227 b extends along the central axis A. As shown in FIG. 6b, the core first groove 227a and the core second groove 227b are both formed in a V-shaped cross section. The core 225 is formed with a connection hole 228 which connects the bottom of the core first groove 227a and the bottom of the core second groove 227b.

ワイヤ27は、その一部が、プローブ第1溝226a、コア第1溝227a、連結孔228、コア第2溝227b、及びプローブ第2溝226bを通過するように配置されている。   The wire 27 is arranged such that a portion thereof passes through the probe first groove 226a, the core first groove 227a, the connection hole 228, the core second groove 227b, and the probe second groove 226b.

当該実施形態によれば、上記の実施形態と同様の原理で、センサユニット30により、プローブ24やコア25における破断や劣化を検出することができる。また、閉ループ構造体50を構成するワイヤ27は、プローブ224及びコア225に形成された溝内に設けられているため、差動変圧器20の動作の障害とならない。   According to this embodiment, the sensor unit 30 can detect breakage or deterioration of the probe 24 or the core 25 on the same principle as the above embodiment. In addition, since the wire 27 constituting the closed loop structure 50 is provided in the groove formed in the probe 224 and the core 225, it does not disturb the operation of the differential transformer 20.

次に、本発明のさらに別の実施形態について、図7a及び図7bを参照して説明する。図7aは、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図7bは、図7aのIV−IV線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図7a及び図7bに示されている実施形態では、図6a及び図6bの実施形態におけるコア225の代わりにコア325が設けられている。   Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7a and 7b. Fig. 7a schematically shows a cross section of a probe and core provided in a differential transformer according to another embodiment of the present invention and a sensor unit, and Fig. 7b shows a line IV-IV of Fig. 7a. It is sectional drawing which shows typically the cross section which followed. In the embodiment shown in FIGS. 7a and 7b, a core 325 is provided instead of the core 225 in the embodiment of FIGS. 6a and 6b.

コア325は、プローブ224に接続された第1部分325aと、この第1部分にプローブ224と反対側において接続された第2部分325bと、を有する。第2部分325bは、第1部分325aよりも固定軸部24bから遠位に配されている。   The core 325 has a first portion 325 a connected to the probe 224 and a second portion 325 b connected to the first portion on the opposite side of the probe 224. The second portion 325b is disposed more distally than the fixed shaft portion 24b than the first portion 325a.

コア325の第1部分325aには、コア第1溝327a及びコア第2溝327bが形成されている。コア第1溝327a及びコア第2溝327bはいずれも、中心軸Aに沿ってコア325の第1部分325aの一端から他端まで延伸している。   A core first groove 327 a and a core second groove 327 b are formed in the first portion 325 a of the core 325. Each of the core first groove 327a and the core second groove 327b extends along the central axis A from one end of the first portion 325a of the core 325 to the other end.

コア325の第2部分325bには、コア第3溝329a、コア第4溝329b、及び、コア第3溝329aとコア第4溝329bとを接続する連通孔328が形成されている。コア第3溝329a及びコア第4溝329bはいずれも、中心軸Aに沿ってコア325の第2部分325bの一端から他端まで延伸している。   A core third groove 329a, a core fourth groove 329b, and a communication hole 328 connecting the core third groove 329a and the core fourth groove 329b are formed in the second portion 325b of the core 325. Each of the core third groove 329 a and the core fourth groove 329 b extends along the central axis A from one end of the second portion 325 b of the core 325 to the other end.

コア第3溝329aはコア第1溝327aよりも浅く形成され、コア第4溝329bはコア第2溝327bよりも浅く形成されている。これにより、コア325の第1部分325aと第2部分325bとの境界には段差が形成される。   The core third groove 329a is shallower than the core first groove 327a, and the core fourth groove 329b is shallower than the core second groove 327b. Thus, a step is formed at the boundary between the first portion 325 a and the second portion 325 b of the core 325.

上記実施形態によれば、有底の差動変圧器20の底に溜まった水を、コア325の第1部分325aと第2部分325bとの境界には段差によりトラップし、このトラップされた水をプローブ24及びコア325の第1移動方向W1への移動によって差動変圧器20の外部に排出することができる。   According to the above embodiment, the water accumulated at the bottom of the bottomed differential transformer 20 is trapped by the step in the boundary between the first portion 325 a and the second portion 325 b of the core 325, and the trapped water Can be discharged to the outside of the differential transformer 20 by the movement of the probe 24 and the core 325 in the first movement direction W1.

本発明のさらに別の実施形態においては、プローブ224に形成されているプローブ第1溝226a及びプローブ第2溝226bの各々において、固定軸部24bから遠位にある部分を小径に形成することにより、上記と同様の原理で、差動変圧器20の底に溜まった水を差動変圧器20の外部に排出することができる。   In still another embodiment of the present invention, in each of the probe first groove 226a and the probe second groove 226b formed in the probe 224, the portion distal to the fixed shaft portion 24b is formed in a small diameter. The water accumulated at the bottom of the differential transformer 20 can be discharged to the outside of the differential transformer 20 according to the same principle as described above.

ワイヤ27が配置される溝は、断面V字形状ではなく、図8及び図9に示されているように、平坦な底部を有していてもよい。   The groove in which the wire 27 is disposed may not have a V-shaped cross section, but may have a flat bottom as shown in FIGS. 8 and 9.

図8は、図6に示されている実施形態の変形例を示す。図8に示されている実施形態においては、図6に示されているコア225に代えてコア425が設けられている。図8のコア425には、コア第1溝227aに代えてコア第1溝427aが形成されており、コア第2溝227bに代えてコア第2溝427bが形成されている。コア第1溝427a及びコア第2溝427bの底部はそれぞれ、平坦に形成されている。   FIG. 8 shows a variant of the embodiment shown in FIG. In the embodiment shown in FIG. 8, a core 425 is provided instead of the core 225 shown in FIG. In the core 425 of FIG. 8, a core first groove 427a is formed instead of the core first groove 227a, and a core second groove 427b is formed instead of the core second groove 227b. The bottoms of the core first groove 427a and the core second groove 427b are each formed flat.

図9は、図7に示されている実施形態の変形例を示す。図9に示されている実施形態においては、図7に示されているコア325に代えてコア525が設けられている。図9のコア525には、コア325のコア第1溝327a、コア第2溝327b、コア第3溝329a、及びコア第4溝329bに代えて、コア第1溝527a、コア第2溝527b、コア第3溝529a、及びコア第4溝529bがそれぞれ形成されている。コア第1溝527a、コア第2溝527b、コア第3溝529a、及びコア第4溝529bの底部はいずれも平坦に形成されている。   FIG. 9 shows a variant of the embodiment shown in FIG. In the embodiment shown in FIG. 9, a core 525 is provided instead of the core 325 shown in FIG. Instead of the core first groove 327a, the core second groove 327b, the core third groove 329a, and the core fourth groove 329b in the core 525 of FIG. 9, the core first groove 527a and the core second groove 527b are used. The third core groove 529a and the fourth core groove 529b are formed. The bottoms of the core first groove 527a, the core second groove 527b, the core third groove 529a, and the core fourth groove 529b are all formed flat.

これと同様に、プローブ224の外表面に形成されるワイヤ27を収容するための溝も、図8及び図9に示されているように、平坦な底部を有する形状に形成されてもよい。   Similarly, the groove for receiving the wire 27 formed on the outer surface of the probe 224 may also be shaped to have a flat bottom, as shown in FIGS. 8 and 9.

次に、本発明のさらに別の実施形態について、図10を参照して説明する。図10は、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面を模式的に示す図である。図10に示されている実施形態では、図7a及び図7bの実施形態におけるプローブ224の代わりにプローブ624が設けられ、コア225の代わりにコア625が設けられている。   Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a view schematically showing a cross section of a probe and a core provided in a differential transformer according to another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIG. 10, a probe 624 is provided instead of the probe 224 in the embodiment of FIGS. 7a and 7b, and a core 625 is provided instead of the core 225.

図示のように、プローブ624の外表面には、螺旋形状のプローブ溝624aが二重に形成されており、コア625の外表面には、螺旋形状のコア溝625aが二重に形成されている。図示のように、プローブ溝624a及びコア溝625aは、中心軸Aの周りに巻回されながら中心軸Aの方向に並進する螺旋形状に形成されている。   As shown, a spiral shaped probe groove 624a is formed doubly on the outer surface of the probe 624, and a spiral shaped core groove 625a is formed on the outer surface of the core 625. . As illustrated, the probe groove 624 a and the core groove 625 a are formed in a helical shape which is wound around the central axis A and translated in the direction of the central axis A.

このプローブ溝624a及びコア溝625a内には導電材料からなるワイヤ127が設けられている。ワイヤ127は、二重螺旋であるプローブ溝624aの一方の螺旋経路内をコア625の方向に向かって延伸し、次に二重螺旋であるコア溝625aの一方の螺旋経路内をコア625の先端に向かって延伸し、コア溝625aの先端で折り返される。ワイヤ127は、コア溝625aの先端で折り返された後、コア溝625aの他方の螺旋経路内をプローブ624に向かって延伸し、次に、プローブ溝624aの他方の螺旋経路内をプローブ624の基端に向かって延伸する。このように配されたワイヤ127の両端部を引き出して、センサユニット30に接続することにより、閉回路構造が形成される。   A wire 127 made of a conductive material is provided in the probe groove 624a and the core groove 625a. The wire 127 extends in the direction of the core 625 in one spiral path of the probe groove 624a which is a double helix, and then the tip of the core 625 in one spiral path of the core groove 625a which is a double helix. And is folded back at the tip of the core groove 625a. The wire 127 is folded back at the tip of the core groove 625a, and then extends toward the probe 624 in the other spiral path of the core groove 625a, and then the base of the probe 624 in the other spiral path of the probe groove 624a. Stretch towards the end. A closed circuit structure is formed by pulling out both ends of the wire 127 arranged in this way and connecting it to the sensor unit 30.

図10に示されている実施形態によれば、螺旋形状のワイヤ127により、プローブ624及びコア625を補強することができる。   According to the embodiment shown in FIG. 10, the probe 624 and the core 625 can be reinforced by the wire 127 in a helical shape.

次に、センサユニットの変形例について説明する。上記のように、センサユニット30は、閉ループ構造体50またはそれ以外の本発明に適用される閉ループ構造体における物理的な変化を検出するように構成される。センサユニット30の変形例の一つを図11に示す。図11は、本発明の別の実施形態におけるセンサユニット30を説明するブロック図である。   Next, a modification of the sensor unit will be described. As noted above, the sensor unit 30 is configured to detect physical changes in the closed loop structure 50 or other closed loop structures applied to the present invention. One modification of the sensor unit 30 is shown in FIG. FIG. 11 is a block diagram illustrating a sensor unit 30 according to another embodiment of the present invention.

図11に示されている実施形態におけるセンサユニット30は、電源31と直列に接続された電流センサ33と、コントローラ34と、LEDランプ等のランプ32と、を備えている。   The sensor unit 30 in the embodiment shown in FIG. 11 includes a current sensor 33 connected in series with the power supply 31, a controller 34, and a lamp 32 such as an LED lamp.

電流センサ33は、ワイヤ27を流れる電流の電流値を検出し、検出した電流値をコントローラ34に出力するように構成される。   The current sensor 33 is configured to detect the current value of the current flowing through the wire 27 and to output the detected current value to the controller 34.

コントローラ34は、各種の演算処理を行うCPUと、各種プログラム及び各種データを格納するメモリと、電流センサ33、ランプ32、及びこれら以外の機器と接続される機器インタフェースと、外部装置40と通信を行うための通信インタフェースと、を備える。   The controller 34 communicates with the CPU for performing various arithmetic processing, the memory for storing various programs and various data, the current sensor 33, the lamp 32, and the device interface connected to other devices, and the external device 40. And a communication interface for performing.

一実施形態において、コントローラ34は、電流センサ33からの電流値に基づいて、閉ループ構造体50に破断及び劣化の少なくとも一方が発生したことを特定できるように構成されてもよい。コントローラ34は、例えば、電流センサ33からの電流値が、所定の下限値よりも低くなったときに、閉ループ構造体50に破断または劣化が起こったと判定するように構成される。閉ループ構造体50が開放されたときには、ワイヤ27を流れる電流はゼロとなるため、コントローラ34は、電流センサ33からの電流値がゼロとなったときに閉ループ構造体50が開放されたと判定するように構成されてもよい。   In one embodiment, controller 34 may be configured to be able to identify that at least one of breakage and deterioration has occurred in closed loop structure 50 based on the current value from current sensor 33. The controller 34 is configured, for example, to determine that the closed loop structure 50 has a break or deterioration when the current value from the current sensor 33 becomes lower than a predetermined lower limit value. Since the current flowing through the wire 27 is zero when the closed loop structure 50 is opened, the controller 34 determines that the closed loop structure 50 is opened when the current value from the current sensor 33 becomes zero. May be configured.

コントローラ34は、閉ループ構造体50に破断または劣化が起こったと判定したときに、ランプ32を点灯又は点滅させるように構成されてもよい。ランプ32は、正常時に点灯しており、閉ループ構造体50に破断または劣化が起こった場合に、コントローラ34の制御により消灯するように構成されてもよい。   The controller 34 may be configured to turn on or blink the lamp 32 when it determines that the closed loop structure 50 is broken or degraded. The lamp 32 is normally on and may be configured to be extinguished under the control of the controller 34 when the closed loop structure 50 is broken or deteriorated.

コントローラ34は、その通信インタフェースを介して、各種データを外部装置40に送信することができる。例えば、コントローラ34は、電流センサ33からの電流値またはそれ以外の閉ループ構造50の物理的な変化に応じて生成される信号を外部装置40に送信することができる。閉ループ構造50の物理的な変化に応じて生成される信号は、電流センサ33以外の様々なセンサにより検出される閉ループ構造50の物理的な状態を表す様々な物理量を示す信号であってもよい。コントローラ34と外部装置40との間の通信リンクは、無線リンクであってもよく、有線リンクであってもよい。コントローラ34は、閉ループ構造体50に破断または劣化が起こったと判定したときに、異常検出信号を外部装置40に対して送信するように構成されてもよい。異常検出信号は、閉ループ構造体50に破断または劣化が起こったことを示す信号である。   The controller 34 can transmit various data to the external device 40 via the communication interface. For example, the controller 34 can transmit to the external device 40 a signal generated in response to the current value from the current sensor 33 or other physical change of the closed loop structure 50. The signals generated in response to physical changes in the closed loop structure 50 may be signals indicating various physical quantities that represent the physical state of the closed loop structure 50 detected by various sensors other than the current sensor 33. . The communication link between the controller 34 and the external device 40 may be a wireless link or a wired link. The controller 34 may be configured to transmit an anomaly detection signal to the external device 40 when it determines that the closed loop structure 50 is broken or deteriorated. The abnormality detection signal is a signal indicating that the closed loop structure 50 has been broken or deteriorated.

オペレータは、外部装置40において、コントローラ34から受信したデータを用いて、差動変圧器20の破断または劣化をモニタリングすることができる。   The operator can use the data received from the controller 34 in the external device 40 to monitor breakage or deterioration of the differential transformer 20.

次に、図12a及び図12bを参照して、センサユニット30において閉ループ構造体を流れる磁束に関する物理量が検出される実施形態について説明する。図12aは、本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図であり、図12bは、図12aのV−V線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図示の実施形態における差動変圧器は、プローブ724と、コア725と、一部分がプローブ724及びコア725の内部に設けられた閉ループ構造体150と、を備える。   Next, with reference to FIGS. 12a and 12b, an embodiment in which a physical quantity related to the magnetic flux flowing in the closed loop structure is detected in the sensor unit 30 will be described. 12a is a schematic cross-sectional view of a probe and a core provided in a differential transformer according to another embodiment of the present invention, and FIG. 12b schematically shows a cross-section along line VV of FIG. 12a. FIG. The differential transformer in the illustrated embodiment comprises a probe 724, a core 725, and a closed loop structure 150 partially provided inside the probe 724 and the core 725.

図示のように、プローブ724及びコア725には、磁性材料からなる閉ループ構造体150の一部が埋め込まれている。閉ループ構造体150は、その全体がプローブ724及びコア725の少なくとも一方の内部に埋め込まれていてもよい。閉ループ構造体150は、磁性材料から成る構造体であり、閉ループ構造を有するように形成される。閉ループ構造体150に沿って閉磁路が構成されるようにするため、プローブ724及びコア725のうち少なくとも閉ループ構造体150と接する部位は、非磁性材料から形成される。   As shown, in the probe 724 and the core 725, a part of the closed loop structure 150 made of a magnetic material is embedded. The closed loop structure 150 may be entirely embedded within at least one of the probe 724 and the core 725. The closed loop structure 150 is a structure made of a magnetic material and is formed to have a closed loop structure. In order to form a closed magnetic path along the closed loop structure 150, at least a portion of the probe 724 and the core 725 in contact with the closed loop structure 150 is formed of nonmagnetic material.

閉ループ構造体150の周囲には、コイル37が巻回されている。コイル37には、電源36が接続されている。コイル37は、電源36から印可される交流電圧によって励磁されるように構成されている。励磁されたコイル37から発生する磁束は、閉ループ構造体150に沿って形成される閉磁路を通過する。   A coil 37 is wound around the closed loop structure 150. A power supply 36 is connected to the coil 37. The coil 37 is configured to be excited by an alternating voltage applied from the power supply 36. The magnetic flux generated from the excited coil 37 passes through a closed magnetic path formed along the closed loop structure 150.

本実施形態におけるセンサユニット30は、磁気センサ38とコントローラ34とを備えている。磁気センサ38は、閉ループ構造体150からの漏れ磁束を検出するように構成される。磁気センサ38は、例えば、ホール素子である。磁気センサ38の検出値は、コントローラ34に対して出力される。   The sensor unit 30 in the present embodiment includes a magnetic sensor 38 and a controller 34. Magnetic sensor 38 is configured to detect leakage flux from closed loop structure 150. The magnetic sensor 38 is, for example, a Hall element. The detected value of the magnetic sensor 38 is output to the controller 34.

コントローラ34は、磁気センサ38からの検出値が、所定の上限値よりも高くなったときに、閉ループ構造体150に破断または劣化が起こったと判定するように構成されてもよい。閉ループ構造体150に破断または劣化が起こったときには、閉ループ構造体150の磁気抵抗が高くなるため、閉ループ構造体150からその外部への磁束の漏れが発生しやすくなる。磁気センサ38の検出値は、閉ループ構造体150からの漏れ磁束またはその磁束密度を示すため、コントローラ34は、磁気センサ38の検出値が上限値よりも高くなったときに、閉ループ構造体150に破断または劣化が起こったと判定することができる。   The controller 34 may be configured to determine that breakage or deterioration has occurred in the closed loop structure 150 when the detected value from the magnetic sensor 38 becomes higher than a predetermined upper limit value. When the closed loop structure 150 is broken or deteriorated, the magnetic resistance of the closed loop structure 150 is increased, so that the leakage of the magnetic flux from the closed loop structure 150 to the outside tends to occur. Since the detection value of the magnetic sensor 38 indicates the leakage flux from the closed loop structure 150 or the magnetic flux density thereof, the controller 34 causes the closed loop structure 150 to be detected when the detection value of the magnetic sensor 38 becomes higher than the upper limit. It can be determined that breakage or deterioration has occurred.

センサユニット30は、ランプを備えてもよい。コントローラ34は、閉ループ構造体150に破断または劣化が起こったと判定したときに、当該ランプを点灯、消灯、または点滅させるように構成されてもよい。   The sensor unit 30 may comprise a lamp. The controller 34 may be configured to turn on, turn off, or blink the lamp when it determines that the closed loop structure 150 is broken or deteriorated.

コントローラ34は、磁気センサ38の検出値を外部装置40に送信するように構成されてもよい。コントローラ34は、閉ループ構造体150に破断または劣化が起こったと判定したときに、異常検出信号を外部装置40に対して送信するように構成されてもよい。   The controller 34 may be configured to transmit the detection value of the magnetic sensor 38 to the external device 40. The controller 34 may be configured to transmit an anomaly detection signal to the external device 40 when it determines that the closed loop structure 150 is broken or deteriorated.

本発明の一実施形態において、閉ループ構造体50は、プローブ24、プローブ224、及びプローブ624よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。閉ループ構造体150は、プローブ724よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。閉ループ構造体50は、コア25、コア125、コア225、コア325、コア425、コア525、及びコア625よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。閉ループ構造体150は、コア725よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。このように閉ループ構造体50及び閉ループ構造体150を高靱性の材料から形成することにより、各プローブ及び各コアに構造的冗長性を付与することができるので、各プローブ及び各コアが破断しにくくなる。   In one embodiment of the present invention, the closed loop structure 50 may be formed of a material that is tougher than the probe 24, the probe 224, and the probe 624. The closed loop structure 150 may be formed of a material that is tougher than the probe 724. The closed loop structure 50 may be formed of a material that is tougher than the core 25, the core 125, the core 225, the core 325, the core 425, the core 525, and the core 625. The closed loop structure 150 may be formed of a material that is tougher than the core 725. Thus, by forming the closed loop structure 50 and the closed loop structure 150 from a material of high toughness, it is possible to provide structural redundancy to each probe and each core, so that each probe and each core is less likely to break. Become.

本明細書で説明された各構成要素の寸法、材料、及び配置は、実施形態中で明示的に説明されたものに限定されず、この各構成要素は、本発明の範囲に含まれうる任意の寸法、材料、及び配置を有するように変形することができる。また、本明細書において明示的に説明していない構成要素を、説明した実施形態に付加することもできるし、各実施形態において説明した構成要素の一部を省略することもできる。   The dimensions, materials, and arrangements of each component described herein are not limited to those explicitly described in the embodiments, and each component is optional within the scope of the present invention. Can be deformed to have the dimensions, materials, and arrangement of In addition, components that are not explicitly described in the present specification can be added to the described embodiments, or some of the components described in the embodiments can be omitted.

例えば、本明細書で明示的に説明されたアクチュエータ10及び差動変圧器20の構成部材の具体的な形状及び配置は例示である。本発明の趣旨に反しない限り、アクチュエータ10及び差動変圧器20の各構成部材の形状、配置、及び機能は、適宜変更され得る。   For example, the specific shapes and arrangements of the components of the actuator 10 and differential transformer 20 explicitly described herein are exemplary. The shapes, arrangements, and functions of the components of the actuator 10 and the differential transformer 20 may be changed as appropriate, as long as not departing from the spirit of the present invention.

コントローラ34により行われる制御及び演算の一部は、フライトコントローラ5及びアクチュエータコントローラ6の少なくとも一方で実行されてもよい。コントローラ34により行われる制御及び演算の一部又は全部は、システム1に備えられる又はシステム1の外部にある複数のコントローラによって分散して実行されてもよい。   Some of the control and operations performed by the controller 34 may be performed by at least one of the flight controller 5 and the actuator controller 6. Some or all of the control and operations performed by the controller 34 may be distributed and executed by a plurality of controllers provided in the system 1 or external to the system 1.

センサユニット30により検出される物理量は、本明細書で明示的に挙げられたものには限定されない。例えば、センサユニット30で検出される物理量には、閉ループ構造体50、閉ループ構造体150、またはこれら以外の本発明に適用可能な閉ループ構造体の電気抵抗、電気容量、磁気抵抗、及びこれら以外の閉ループ構造体50に破断または劣化が生じたときにその破断または劣化の発生の前後で変化する任意の物理量が含まれ得る。   The physical quantities detected by the sensor unit 30 are not limited to those explicitly mentioned in the present specification. For example, the physical quantities detected by the sensor unit 30 include the electrical resistance, the electrical capacitance, the magnetoresistance, and the other of the closed loop structure 50, the closed loop structure 150, or any other closed loop structure applicable to the present invention. It may include any physical quantity that changes before or after the break or deterioration occurs when the closed loop structure 50 is broken or deteriorated.

10 アクチュエータ
11 シリンダ
12 ピストンユニット
20 差動変圧器
24,224,624,724 プローブ
25,125,225,325,425,525,625,725 コア
27,127 ワイヤ
30,130 センサユニット
31,36 電源
32 ランプ
33 電流センサ
37 コイル
38 磁気センサ
40 外部装置
50,150 閉ループ構造体
125a,325a 第1部分
125b,325b 第2部分
126a コア第1貫通孔
126b コア第2貫通孔
127a コア第3貫通孔
127b コア第4貫通孔
226a プローブ第1溝
226b プローブ第2溝
227a,327a,427a,527a コア第1溝
227b,327b,427b,527b コア第2溝
325a 第1部分
325b 第2部分
329a,529a コア第3溝
329b,529b コア第4溝
624a プローブ溝
625a コア溝
REFERENCE SIGNS LIST 10 actuator 11 cylinder 12 piston unit 20 differential transformer 24, 224, 624, 724 probe 25, 125, 225, 325, 425, 525, 625, 725 core 27, 127 wire 30, 130 sensor unit 31, 36 power supply 32 Lamp 33 current sensor 37 coil 38 magnetic sensor 40 external device 50, 150 closed loop structure 125a, 325a first portion 125b, 325b second portion 126a core first through hole 126b core second through hole 127a core third through hole 127b core Fourth through hole 226a Probe first groove 226b Probe second groove 227a, 327a, 427a, 527a Core first groove 227b, 327b, 427b, 527b Core second groove 325a First portion 325b Second portion 329a, 29a Core third groove 329b, 529b core fourth grooves 624a probes groove 625a core groove

Claims (16)

シリンダと、
前記シリンダに摺動可能に設けられたピストンユニットと、
前記シリンダに対する前記ピストンユニットの位置を検出する差動変圧器と、
少なくとも一部が前記差動変圧器内に設けられた閉ループ構造体と、
前記閉ループ構造体における物理的な変化を検出するセンサユニットと、
を備えるアクチュエータ。
With the cylinder,
A piston unit slidably provided in the cylinder;
A differential transformer for detecting the position of the piston unit relative to the cylinder;
A closed loop structure at least partially provided in the differential transformer;
A sensor unit for detecting a physical change in the closed loop structure;
An actuator comprising:
前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流または磁束に関する物理量を検出するように構成されている、請求項1に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 1, wherein the sensor unit is configured to detect a physical quantity related to current or magnetic flux flowing through the closed loop structure. 前記センサユニットは、前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている、請求項1または請求項2に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 1, wherein the sensor unit is configured to detect that the closed loop structure has been opened. 前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流の電流値に基づいて前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている、請求項3に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 3, wherein the sensor unit is configured to detect that the closed loop structure is opened based on a current value of a current flowing through the closed loop structure. 前記閉ループ構造体は、磁性材料からなり、
前記センサユニットは、前記閉ループ構造体からの漏れ磁束を検知することにより前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている、
請求項3に記載のアクチュエータ。
The closed loop structure is made of a magnetic material,
The sensor unit is configured to detect that the closed loop structure is opened by detecting a leakage flux from the closed loop structure.
The actuator according to claim 3.
前記差動変圧器は、前記ピストンユニットに取り付けられたプローブを有し、
前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブに形成されている、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のアクチュエータ。
The differential transformer has a probe attached to the piston unit,
At least a portion of the closed loop structure is formed on the probe,
The actuator according to any one of claims 1 to 5.
前記閉ループ構造体は、前記プローブよりも靱性が高い材料からなる、請求項6に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 6, wherein the closed loop structure is made of a material having higher toughness than the probe. 前記差動変圧器は、前記プローブに設けられたコアを有し、
前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアに形成されている、
請求項6または請求項7に記載のアクチュエータ。
The differential transformer has a core provided to the probe,
At least a portion of the closed loop structure is formed on the probe and the core,
The actuator according to claim 6 or 7.
前記閉ループ構造体は、前記コアよりも靱性が高い材料からなる、請求項8に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 8, wherein the closed loop structure is made of a material having higher toughness than the core. 前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に形成された貫通孔内に設けられている、
請求項6から請求項9のいずれか1項に記載のアクチュエータ。
At least a portion of the closed loop structure is provided in a through hole formed in at least one of the probe and the core.
The actuator according to any one of claims 6 to 9.
前記貫通孔は、第1内径を有する第1孔部分と、前記第1内径よりも小さな第2内径を有する第2孔部分と、を有するように形成され、
前記第2孔部分は、前記第1孔部分よりも、前記プローブが前記ピストンユニットに取り付けられる取付位置から遠位に配されている、
請求項10に記載のアクチュエータ。
The through hole is formed to have a first hole portion having a first inner diameter and a second hole portion having a second inner diameter smaller than the first inner diameter.
The second hole portion is disposed more distally than the first hole portion from an attachment position at which the probe is attached to the piston unit.
The actuator according to claim 10.
前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に形成された溝の内部に設けられている、
請求項6から請求項11のいずれか1項に記載のアクチュエータ。
At least a portion of the closed loop structure is provided within a groove formed in at least one of the probe and the core.
The actuator according to any one of claims 6 to 11.
前記溝は、第1外径を有する第1溝部分と、前記第1外径よりも大きな第2外径を有する第2溝部分と、を有するように形成され、
前記第2溝部分は、前記第1溝部分よりも、前記プローブが前記ピストンユニットに取り付けられる取付位置から遠位に配されている、
請求項12に記載のアクチュエータ。
The groove is formed to have a first groove portion having a first outer diameter and a second groove portion having a second outer diameter larger than the first outer diameter.
The second groove portion is disposed more distally than the first groove portion from an attachment position where the probe is attached to the piston unit.
The actuator according to claim 12.
前記閉ループ構造体は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に螺旋形状に形成されている、請求項12又は請求項13に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 12, wherein the closed loop structure is formed in a helical shape on at least one of the probe and the core. 前記センサユニットは、前記閉ループ構造体における物理的な変化に応じて、点灯、点滅、又は消灯するランプをさらに備える、
請求項1から請求項14のいずれか1項に記載のアクチュエータ。
The sensor unit further comprises a lamp that lights up, flashes or extinguishes in response to a physical change in the closed loop structure.
The actuator according to any one of claims 1 to 14.
前記センサユニットは、前記閉ループ構造体における物理的な変化に応じて生成した信号を外部装置に送信するように構成される、
請求項1から請求項17のいずれか1項に記載のアクチュエータ。
The sensor unit is configured to transmit the generated signal to an external device in response to a physical change in the closed loop structure.
The actuator according to any one of claims 1 to 17.
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0738706U (en) * 1993-12-17 1995-07-14 帝人製機株式会社 Sensor support structure for fluid pressure actuator
JPH10110710A (en) * 1996-10-03 1998-04-28 Yuken Kogyo Co Ltd Single rod type hydraulic cylinder
JP2004085578A (en) * 2003-09-26 2004-03-18 S G:Kk Position detection device
JP2012073135A (en) * 2010-09-29 2012-04-12 Nabtesco Corp Position detector for actuator
JP2013072653A (en) * 2011-09-26 2013-04-22 Nabtesco Corp Position detector for actuator
JP2015511359A (en) * 2012-02-08 2015-04-16 クレサテック リミテッド Metal conductor turbulence detection apparatus and method
US20170219118A1 (en) * 2016-01-28 2017-08-03 Hamilton Sundstrand Corporation Bleed valve position sensor
JP2017150971A (en) * 2016-02-25 2017-08-31 多摩川精機株式会社 Edge ground structure of linear sensor

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0738706U (en) * 1993-12-17 1995-07-14 帝人製機株式会社 Sensor support structure for fluid pressure actuator
JPH10110710A (en) * 1996-10-03 1998-04-28 Yuken Kogyo Co Ltd Single rod type hydraulic cylinder
JP2004085578A (en) * 2003-09-26 2004-03-18 S G:Kk Position detection device
JP2012073135A (en) * 2010-09-29 2012-04-12 Nabtesco Corp Position detector for actuator
JP2013072653A (en) * 2011-09-26 2013-04-22 Nabtesco Corp Position detector for actuator
JP2015511359A (en) * 2012-02-08 2015-04-16 クレサテック リミテッド Metal conductor turbulence detection apparatus and method
US20170219118A1 (en) * 2016-01-28 2017-08-03 Hamilton Sundstrand Corporation Bleed valve position sensor
JP2017150971A (en) * 2016-02-25 2017-08-31 多摩川精機株式会社 Edge ground structure of linear sensor

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