JP2019109171A - Scintillator panel and radiation image detection device - Google Patents

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Abstract

To provide a scintillator panel capable of suppressing film peeling of a phosphor layer of the scintillator panel and occurrence of scraped waste of the phosphor even in the case where a content of binder resin is small.SOLUTION: A scintillator panel has a phosphor layer containing a phosphor and binder resin on a substrate, and the content of the binder resin in relation to the content of 100 pts.vol. of the phosphor in the phosphor layer is 18 pts.vol. or less. The scintillator panel has a coating layer on an outer peripheral side face of the phosphor layer.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、シンチレータパネルとこれを用いた離型シート付きシンチレータパネルおよび放射線画像検出装置に関する。   The present invention relates to a scintillator panel, a scintillator panel with a release sheet using the same, and a radiation image detecting apparatus.

従来、医療現場において、フィルムを用いた放射線画像が広く用いられてきた。しかし、フィルムを用いた放射線画像はアナログ画像情報であるため、近年、コンピューテッドラジオグラフィ(computed radiography:CR)やフラットパネル型の放射線ディテクタ(flat panel detector:FPD)等のデジタル方式の放射線画像検出装置が開発されている。このFPDには、直接方式と間接方式とがある。直接方式は放射線を直接電気信号に変換して検出する方式である。一方、間接方式は、放射線をシンチレータパネルで一旦可視光に変換した後、該可視光を光電変換撮像素子で検出する方式である。そのため、間接方式の放射線画像検出装置は、光電変換撮像素子基板とシンチレータパネルの基板2枚から構成される。光電変換撮像素子基板とシンチレータパネルを密着させて、光電変換撮像素子基板とシンチレータパネルとの間における蛍光光の拡散による解像度の低下を抑制するために、光学的に透明な接着層を形成し、光電変換撮像素子基板とシンチレータパネルを接着することが行われている。   In the past, radiographic images using films have been widely used in medical settings. However, since radiographic images using films are analog image information, digital radiographic images such as computed radiography (CR) and flat panel detectors (FPD) have recently been used. Detection devices have been developed. There are direct and indirect methods in this FPD. The direct method is a method of converting radiation directly into an electrical signal for detection. On the other hand, the indirect method is a method in which radiation is once converted to visible light by a scintillator panel, and then the visible light is detected by a photoelectric conversion imaging device. Therefore, the indirect type radiation image detection apparatus is composed of a photoelectric conversion imaging element substrate and two substrates of a scintillator panel. An optically transparent adhesive layer is formed in order to closely contact the photoelectric conversion imaging element substrate and the scintillator panel and to suppress the reduction in resolution due to the diffusion of fluorescent light between the photoelectric conversion imaging element substrate and the scintillator panel, Bonding of a photoelectric conversion imaging element substrate and a scintillator panel is performed.

光電変換撮像素子基板は、ガラス基板上に、フォトダイオード、薄膜トランジスタ、電気配線などを含む50〜300μmの画素を2次元的に有することが一般的である。フォトダイオードなどによりシンチレータパネルで発生した可視光を電気信号に変換することにより、放射線の情報をデジタル信号に変換する。   In general, a photoelectric conversion imaging element substrate two-dimensionally has 50 to 300 μm pixels including a photodiode, a thin film transistor, an electrical wiring, and the like on a glass substrate. The radiation information is converted into a digital signal by converting visible light generated in the scintillator panel into an electrical signal by a photodiode or the like.

シンチレータパネルは、酸硫化ガドリニウム(GOS)やヨウ化セシウム(CsI)などの蛍光体を含有する蛍光体層を備えており、照射された放射線に応じて蛍光体が可視光を発光する。   The scintillator panel includes a phosphor layer containing a phosphor such as gadolinium oxysulfide (GOS) or cesium iodide (CsI), and the phosphor emits visible light in response to the irradiated radiation.

接着層としては、OCA(Optical Clear Adhesive)と呼ばれる、フィルム状の粘着シートが一般的に用いられる。接着層を2枚の離型シートで挟んだ構造のものが一般的であり、塗布工程を要することなく、転写加工のみで接着層を形成できるため、簡便な方法で歩留り良く接着することができる。   As the adhesive layer, a film-like pressure-sensitive adhesive sheet called OCA (Optical Clear Adhesive) is generally used. A structure having a bonding layer sandwiched between two release sheets is generally used, and the bonding layer can be formed only by transfer processing without requiring a coating step, so that high-yield bonding can be achieved by a simple method. .

シンチレータパネルは、例えば、シート状のプラスチック基板上に蛍光体とバインダー樹脂を含有する蛍光体層を塗布した後、乾燥することにより形成することができる。接着層は、OCAの一方の離型シートを剥がした後、露出した接着層をシンチレータパネル基板の表面にラミネータロールなどを用いて圧着することにより形成することができる。次に、OCAの反対側の離型シートを剥離し、露出した接着層を、ラミネータロールを用いて光電変換撮像素子基板に圧着することにより、光電変換撮像素子基板とシンチレータパネルを密着させて貼り合わせることができる。   The scintillator panel can be formed, for example, by applying a phosphor layer containing a phosphor and a binder resin on a sheet-like plastic substrate and then drying it. The adhesive layer can be formed by pressure-bonding the exposed adhesive layer onto the surface of the scintillator panel substrate using a laminator roll or the like after peeling off one release sheet of OCA. Next, the release sheet on the opposite side of the OCA is peeled off, and the exposed adhesive layer is pressure-bonded to the photoelectric conversion imaging element substrate using a laminator roll, thereby bringing the photoelectric conversion imaging element substrate into close contact with the scintillator panel It can be adjusted.

蛍光体層は、蛍光体を多く含有するほど輝度が高くなり、FPDとしての特性が良化する。一方、バインダー樹脂の含有量が少なくなるほど、蛍光体層が脆くなり膜の強度が低下するため、シンチレータパネルの製造時やその後の運搬、光電変換撮像素子基板との貼り合わせ時に、膜剥がれや蛍光体層の削れが発生しやすい傾向にある。特に、蛍光体層の外周部分は、曲がりや擦れによる膜剥がれや蛍光体層の削れが発生しやすい。そこで、かかる課題に対して、対抗する二辺の端部の蛍光体層の厚さが、その蛍光体層の平均厚さよりも薄くされており、かつ端部周辺における蛍光体の充填密度が蛍光体層中における蛍光体の平均充填密度よりも高くされている放射線像変換パネル(例えば、特許文献1参照)、蛍光体層の周縁の側面に縁貼り部材が設けられている放射線変換シート(例えば、特許文献2参照)、蛍光体層の非積層面側に、金属を含有する金属含有層を少なくとも1層含むコーティング層が形成されている放射線像変換パネル(例えば、特許文献3参照)などが提案されている。   The higher the content of the phosphor, the higher the luminance of the phosphor layer, and the better the characteristics as an FPD. On the other hand, as the content of the binder resin decreases, the phosphor layer becomes brittle and the strength of the film is reduced. Therefore, film peeling or fluorescence may be caused during manufacture of the scintillator panel or subsequent transportation or bonding to the photoelectric conversion imaging element substrate. There is a tendency for scraping of the body layer to occur easily. In particular, in the outer peripheral portion of the phosphor layer, film peeling due to bending or rubbing or scraping of the phosphor layer is likely to occur. Therefore, in order to cope with such a problem, the thickness of the phosphor layer at the end of the two opposing sides is thinner than the average thickness of the phosphor layer, and the packing density of the phosphor around the end is the fluorescence A radiation image conversion panel (see, for example, Patent Document 1) which is higher than the average filling density of phosphors in a body layer, a radiation conversion sheet (for example, having an edge sticking member provided on the side of the periphery of the phosphor layer) 2), a radiation image conversion panel (see, for example, Patent Document 3) or the like in which a coating layer including at least one metal-containing metal-containing layer is formed on the non-laminated surface side of the phosphor layer Proposed.

特開昭61−228399号公報JP-A-61-228399 特開2010−101722号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2010-101722 特開2007−85797号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-85797

シンチレータパネルを光電変換撮像素子基板に貼り付ける工程において、離型シートを有するOCAを用いる場合には、シンチレータパネル上に形成された離型シートのみを剥離する必要があるが、特許文献1に記載の技術は、離型シートを有するOCAを用いる場合には、離型シートの剥離時に蛍光体層の膜剥がれが発生する課題があった。特に、蛍光体層における蛍光体含有量が多く、バインダー樹脂含有量が少ないほど、蛍光体層が脆くなり、基板との密着性も低下することから、蛍光体層の膜剥がれや削れ屑が発生しやすい。特許文献2〜3の技術により、蛍光体外周部からの蛍光体削れ屑の発生は抑制できるものの、FPD特性向上のために蛍光体含有量を多く、バインダー樹脂含有量を少なくすると、蛍光体層の膜剥がれが発生しやすい課題があることが、本発明者らの検討により分かった。   When an OCA having a release sheet is used in the step of attaching the scintillator panel to the photoelectric conversion imaging element substrate, only the release sheet formed on the scintillator panel needs to be peeled off, as described in Patent Document 1 In the case of using the OCA having a release sheet, the technique described in (1) has a problem that film peeling of the phosphor layer occurs at the time of peeling of the release sheet. In particular, as the phosphor content in the phosphor layer is high and the binder resin content is low, the phosphor layer becomes brittle and the adhesion with the substrate is also reduced, so that film peeling and scraps of the phosphor layer are generated. It's easy to do. Although the generation of phosphor scraps from the outer peripheral portion of the phosphor can be suppressed by the techniques of Patent Documents 2 and 3, the phosphor layer is increased when the phosphor content is increased and the binder resin content is reduced to improve FPD characteristics. The inventors of the present invention have found that there is a problem that the film peeling is likely to occur.

そこで本発明は、バインダー樹脂含有量が少ない場合においてもシンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれと蛍光体削れ屑の発生を抑制することができるシンチレータパネルを提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a scintillator panel capable of suppressing the film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel and the generation of phosphor scraps even when the binder resin content is small.

上記の目的は、基板上に、蛍光体およびバインダー樹脂を含有する蛍光体層を有するシンチレータパネルであって、前記蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量が18体積部以下であり、前記蛍光体層の外周部側面に被覆層を有するシンチレータパネルによって達成される。   The above object is a scintillator panel having a phosphor layer containing a phosphor and a binder resin on a substrate, wherein the content of the binder resin is 18 volumes relative to 100 parts by volume of the phosphor content in the phosphor layer. This is achieved by a scintillator panel having a covering layer on the outer peripheral side surface of the phosphor layer.

本発明によれば、シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれや蛍光体削れ屑の発生を抑制することができる。   According to the present invention, the film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel and the generation of phosphor scraps can be suppressed.

本発明のシンチレータパネルの一態様を模式的に表した断面図である。It is sectional drawing which represented typically the one aspect | mode of the scintillator panel of this invention. 本発明のシンチレータパネルの一態様の端部を模式的に表した断面図である。It is sectional drawing which represented typically the edge part of the one aspect | mode of the scintillator panel of this invention. 本発明の放射線画像検出装置の一態様を模式的に表した断面図である。It is sectional drawing which represented typically the one aspect | mode of the radiographic image detection apparatus of this invention.

本発明のシンチレータパネルは、基板上に、蛍光体層を有し、蛍光体層の外周部側面に被覆層を有する。基板は、蛍光体層を支持する作用を有する。蛍光体層は、照射された放射線を、より長い波長の光に変換する作用を有する。変換される光としては、可視光が好ましい。本発明のシンチレータパネルは、蛍光体層の外周部側面に被覆層を有することを特徴とする。蛍光体層側面に被覆層を有することにより、蛍光体層の外周部分における蛍光体削れ屑の発生を抑制することができる。また、蛍光体層の膜剥がれが発生しやすいバインダー樹脂含有量が少ない場合においても、蛍光体層と基材との密着力を向上させて蛍光体層の膜剥がれを抑制することができる。   The scintillator panel of the present invention has a phosphor layer on a substrate and has a covering layer on the outer peripheral side of the phosphor layer. The substrate has the function of supporting the phosphor layer. The phosphor layer has the function of converting the irradiated radiation into light of a longer wavelength. The light to be converted is preferably visible light. The scintillator panel of the present invention is characterized by having a covering layer on the side surface of the peripheral portion of the phosphor layer. By providing the covering layer on the side surface of the phosphor layer, it is possible to suppress the generation of phosphor scraps in the outer peripheral portion of the phosphor layer. In addition, even when the binder resin content in which the film peeling of the phosphor layer is likely to occur is small, the adhesion between the phosphor layer and the substrate can be improved to suppress the film peeling of the phosphor layer.

図1は、本発明のシンチレータパネルを模式的に表した断面図である。シンチレータパネル2は、基板4上に蛍光体層5を有し、蛍光体層5の外周部側面に被覆層8を有する。ここで、蛍光体層の外周部側面とは、蛍光体層のうち、基板面に対して略垂直方向の端部を言う。蛍光体層5上に、必要に応じて接着層7を有してもよい。接着層7を有することにより、シンチレータパネルと光電変換撮像素子基板との密着性をより向上させて蛍光光の拡散を抑制し、画像鮮鋭度を向上させることができる。この場合、取扱性の観点から、接着層7上に離型シート6を有することが好ましい。   FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a scintillator panel of the present invention. The scintillator panel 2 has a phosphor layer 5 on a substrate 4 and a covering layer 8 on the outer peripheral side of the phosphor layer 5. Here, the side surface of the outer peripheral portion of the phosphor layer refers to an end portion of the phosphor layer in the direction substantially perpendicular to the substrate surface. An adhesive layer 7 may be provided on the phosphor layer 5 as necessary. By providing the adhesive layer 7, the adhesion between the scintillator panel and the photoelectric conversion imaging element substrate can be further improved, the diffusion of fluorescent light can be suppressed, and the image sharpness can be improved. In this case, it is preferable to have the release sheet 6 on the adhesive layer 7 from the viewpoint of handleability.

基板を構成する材質としては、例えば、放射線透過性を有するガラス、セラミック、半導体、高分子化合物、金属、金属酸化物などが挙げられる。ガラスとしては、例えば、石英、ホウ珪酸ガラス、化学的強化ガラスなどが挙げられる。セラミックとしては、例えば、サファイア、チッ化珪素、炭化珪素などが挙げられる。半導体としては、例えば、シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素、ガリウム燐、ガリウム窒素などが挙げられる。高分子化合物としては、例えば、セルロースアセテート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、トリアセテート、ポリカーボネート、炭素繊維強化樹脂などが挙げられる。金属としては、例えば、アルミニウム、鉄、銅などが挙げられる。金属酸化物としては、例えば、酸化チタンなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。これらの中でも、可視光透過率が高く、蛍光体の発光光を高効率に利用することができることから、ガラス、高分子化合物が好ましく、ボイドを含む白色ポリエステルがより好ましい。   As a material which comprises a board | substrate, glass which has radiation permeability, a ceramic, a semiconductor, a high molecular compound, a metal, a metal oxide etc. are mentioned, for example. Examples of the glass include quartz, borosilicate glass, and chemically strengthened glass. Examples of the ceramic include sapphire, silicon nitride, silicon carbide and the like. Examples of the semiconductor include silicon, germanium, gallium arsenide, gallium phosphorus, gallium nitrogen and the like. Examples of the polymer compound include cellulose acetate, polyester, polyamide, polyimide, triacetate, polycarbonate, carbon fiber reinforced resin and the like. As a metal, aluminum, iron, copper etc. are mentioned, for example. As a metal oxide, a titanium oxide etc. are mentioned, for example. Two or more of these may be used. Among these, glass and a polymer compound are preferable, and white polyester containing a void is more preferable, because the visible light transmittance is high and the light emitted from the phosphor can be efficiently used.

基板の厚みは、シンチレータパネルの軽量化の観点から、2.0mm以下が好ましく、1.0mm以下がより好ましい。   In light of weight reduction of the scintillator panel, the thickness of the substrate is preferably 2.0 mm or less, and more preferably 1.0 mm or less.

蛍光体層は、少なくとも蛍光体およびバインダー樹脂を含有する。蛍光体は、照射された放射線を、より長い波長の光に変換する作用を有する。バインダー樹脂は、蛍光体同士の結着力を高め、蛍光体層としての形状を維持する作用を有する。   The phosphor layer contains at least a phosphor and a binder resin. The phosphor has the effect of converting the emitted radiation into longer wavelength light. The binder resin has an effect of enhancing the binding strength between the phosphors and maintaining the shape of the phosphor layer.

蛍光体としては、例えば、CsI、CsBr、GdS(以下、「GOS」)、GdSiO、BiGe12、CaWO、LuS、YS、LaCl、LaBr、LaI、CeBr、CeI、LuSiOなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、GOS、CsIが好ましい。 The phosphor, e.g., CsI, CsBr, Gd 2 O 2 S ( hereinafter, "GOS"), Gd 2 SiO 5, BiGe 3 O 12, CaWO 4, Lu 2 O 2 S, Y 2 O 2 S, LaCl 3, LaBr 3, LaI 3, CeBr 3, CeI 3, etc. LuSiO 5 and the like. Two or more of these may be contained. Among these, GOS and CsI are preferable.

蛍光体には、賦活剤が添加されていてもよく、発光効率を向上させることができる。賦活剤としては、例えば、ナトリウム(Na)、インジウム(In)、タリウム(Tl)、リチウム(Li)、カリウム(K)、ルビジウム(Rb)、ナトリウム(Na)、テルビニウム(Tb)、セリウム(Ce)、ユーロピウム(Eu)、プラセオジム(Pr)などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。化学的安定性が高く、発光効率が高いことから、テルビニウムを添加した硫酸化ガドリニウム(GOS:Tb)、タリウムを添加したヨウ化セシウム(CsI:Tl)が好ましい。   An activator may be added to the phosphor, and the light emission efficiency can be improved. As an activator, for example, sodium (Na), indium (In), thallium (Tl), lithium (Li), potassium (K), rubidium (Rb), sodium (Na), terubinium (Tb), cerium (Ce) And europium (Eu), praseodymium (Pr) and the like. Two or more of these may be contained. From the viewpoints of high chemical stability and high light emission efficiency, sulfated gadolinium (GOS: Tb) to which terbinium is added, and cesium iodide (CsI: Tl) to which thallium is added are preferable.

蛍光体の形状は、球状、扁平状、棒状等が好ましい。蛍光体の粒子径(D50)は、1.0〜20μmが好ましい。ここで、蛍光体の粒子径(D50)は、粒度分布測定装置(例えば、MT3300;日機装(株)製)を用いて、水を満たした試料室に蛍光体を投入し、300秒間超音波処理を行った後に測定した粒度分布から算出することができる。   The shape of the phosphor is preferably spherical, flat, rod-like or the like. The particle size (D50) of the phosphor is preferably 1.0 to 20 μm. Here, the particle size (D50) of the fluorescent substance is determined by introducing the fluorescent substance into a water-filled sample chamber using a particle size distribution measuring apparatus (for example, MT3300; manufactured by Nikkiso Co., Ltd.) and sonicating for 300 seconds It can calculate from the particle size distribution measured after performing.

バインダー樹脂としては、例えば、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセテート、ポリビニルアルコール、エチルセルロース、メチルセルロース、ポリエチレン、ポリメチルシロキサンやポリメチルフェニルシロキサン等のシリコーン樹脂、ポリスチレン、ブタジエン/スチレン共重合体、ポリスチレン、ポリビニルピロリドン、ポリアミド、高分子量ポリエーテル、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイド共重合体、ポリアクリルアミド、アクリル樹脂などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。後述する被覆層を形成する材質に応じて選択することが好ましく、これらの中でも、被覆層との相溶性の観点から、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、エチルセルロース、メチルセルロースが好ましい。   Examples of the binder resin include polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, ethyl cellulose, methyl cellulose, polyethylene, silicone resins such as polymethyl siloxane and polymethyl phenyl siloxane, polystyrene, butadiene / styrene copolymer, polystyrene, polyvinyl pyrrolidone, polyamide And high molecular weight polyethers, ethylene oxide / propylene oxide copolymers, polyacrylamides, acrylic resins and the like. Two or more of these may be contained. It is preferable to select according to the material which forms the coating layer mentioned later, Among these, a viewpoint of compatibility with a coating layer to polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, an ethyl cellulose, and methylcellulose are preferable.

蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は、18体積部以下である。FPD特性向上のためにバインダー樹脂の含有量を18体積部以下とすると、従来の技術においては、蛍光体層の膜剥がれや蛍光体削れ屑が発生しやすい課題があったが、本発明においては、被覆層を設けることにより、これらの課題を解決することができる。また、蛍光体の含有量を相対的に増量することができるため、輝度をより向上させることができる。一方、蛍光体同士の結合を強化し、膜剥がれをより抑制する観点から、バインダー樹脂の含有量は、5体積部以上が好ましい。   The content of the binder resin relative to 100 parts by volume of the phosphor in the phosphor layer is 18 parts by volume or less. When the content of the binder resin is 18 parts by volume or less in order to improve FPD characteristics, in the prior art, there has been a problem that film peeling of the phosphor layer and scraps of phosphor are easily generated. These problems can be solved by providing the covering layer. In addition, since the content of the phosphor can be relatively increased, the luminance can be further improved. On the other hand, the content of the binder resin is preferably 5 parts by volume or more from the viewpoint of strengthening the bonding between the phosphors and further suppressing the film peeling.

蛍光体層を2層以上有してもよい。蛍光体の粒子径(D50)が異なる複数の蛍光体層を有することが好ましく、画像鮮鋭度を向上させることができる。この場合、蛍光体の粒子径(D50)が小さく充填密度が最も高い層、すなわち高充填密度蛍光体層は、可視光の反射率が高いことから、蛍光光の拡散を抑制し画像鮮鋭度を向上させることができるため、放射線の入射側に位置することが好ましい。一方、高密度蛍光体層よりも蛍光体の粒子径が大きな層は、発光光が多いことから、光電変換効率を向上させるために、光電変換撮像素子基板の受光面側に位置することが好ましい。   It may have two or more phosphor layers. It is preferable to have a plurality of phosphor layers in which the particle diameter (D50) of the phosphors is different, and the image sharpness can be improved. In this case, the layer having a small particle diameter (D50) of the phosphor and the highest packing density, that is, the high packing density phosphor layer, has high reflectance of visible light, so diffusion of fluorescent light is suppressed and image sharpness is reduced. It is preferable to be located on the radiation incident side because it can be improved. On the other hand, it is preferable that the layer having a larger particle size of the phosphor than the high density phosphor layer be located on the light receiving surface side of the photoelectric conversion imaging device substrate in order to improve the photoelectric conversion efficiency because the emitted light is large. .

蛍光体層の厚みは、発光効率を向上させる観点から、10μm以上が好ましく、80μm以上がより好ましい。一方、蛍光体層の厚みは、画像鮮鋭度を向上させる観点から、600μm以下が好ましく、250μm以下がより好ましい。   The thickness of the phosphor layer is preferably 10 μm or more, more preferably 80 μm or more, from the viewpoint of improving the light emission efficiency. On the other hand, the thickness of the phosphor layer is preferably 600 μm or less, more preferably 250 μm or less, from the viewpoint of improving the image sharpness.

被覆層を形成する材質としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、これらの共重合体等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。この中でも、ポリビニルアルコールが好ましく、蛍光体層外周部と基板との密着性を向上させ、蛍光体層の膜剥がれをより抑制することができる。また、ポリビニルアルコールは薄膜形成しやすいことから、バリが生じにくく、シンチレータパネルを光電変換撮像素子基板に貼り合せる際に、バリ起因の気泡混入を抑制することができる。   As a material which forms a coating layer, polyvinyl alcohol, polyester, a polyurethane, an acrylic resin, a silicone resin, a fluorine resin, these copolymers etc. are mentioned, for example. Two or more of these may be contained. Among these, polyvinyl alcohol is preferable, and the adhesion between the peripheral portion of the phosphor layer and the substrate can be improved, and film peeling of the phosphor layer can be further suppressed. In addition, since polyvinyl alcohol is easy to form a thin film, it is difficult for burrs to be generated, and when the scintillator panel is bonded to the photoelectric conversion imaging element substrate, it is possible to suppress air bubble mixing due to the burrs.

本発明のシンチレータパネルは、蛍光体層上に保護膜を有してもよい。保護膜としては、透明な有機高分子フィルムなどが挙げられる。   The scintillator panel of the present invention may have a protective film on the phosphor layer. A transparent organic polymer film etc. are mentioned as a protective film.

図2に、本発明のシンチレータパネルの一態様の端部を模式的に表した断面図を示す。蛍光体層の端部12は、その空隙率が、蛍光体層の内部13よりも低いことが好ましく、剥離しやすい蛍光体層外周部において、蛍光体層と基板との密着性が向上することから、蛍光体層の膜剥がれをより抑制することができる。蛍光体層の端部12の空隙率は、10%未満がより好ましい。なお、後述する被覆液を用いて被覆層を形成する場合、蛍光体層の外周側面は、被覆液の浸み込みにより空隙率が低下しやすく、蛍光体層と基材との密着性をより向上させることができる。ここで、蛍光体層の端部12とは、蛍光体層の側面から内側に向かって100μmまでの領域を指し、蛍光体層の内部13とは、蛍光体層の端部を除く内側全ての領域を指す。また、蛍光体層の空隙率は、蛍光体層の断面を精密研磨した後に、走査型電子顕微鏡(例えば、S2400;(株)日立製作所製)を用いて倍率2000倍で拡大観察し、得られた画像における固形分部分(蛍光体およびバインダー樹脂等)と空隙部分を2階調に画像変換し、蛍光体層の断面の面積に占める空隙部分の面積割合から算出することができる。   In FIG. 2, sectional drawing which represented typically the edge part of the one aspect | mode of the scintillator panel of this invention is shown. The porosity of the end 12 of the phosphor layer is preferably lower than that of the inside 13 of the phosphor layer, and the adhesion between the phosphor layer and the substrate is improved in the peripheral portion of the phosphor layer which is easily peeled off. Thus, the film peeling of the phosphor layer can be further suppressed. The porosity of the end 12 of the phosphor layer is more preferably less than 10%. In addition, when forming a coating layer using the coating liquid mentioned later, the porosity tends to fall on the outer peripheral side of a fluorescent substance layer by penetration of a coating liquid, and the adhesiveness of a fluorescent substance layer and a base material is made more It can be improved. Here, the end 12 of the phosphor layer indicates a region up to 100 μm from the side surface of the phosphor layer to the inside, and the inside 13 of the phosphor layer is all the inside except the end of the phosphor layer It points to the area. In addition, the porosity of the phosphor layer can be obtained by precisely observing the cross section of the phosphor layer and then magnifying and observing it at a magnification of 2000 times using a scanning electron microscope (for example, S2400; manufactured by Hitachi, Ltd.) The solid content portion (phosphor, binder resin, etc.) and the void portion in the image can be image-converted into two gradations, and it can be calculated from the area ratio of the void portion to the area of the cross section of the phosphor layer.

本発明のシンチレータパネルは、被覆層表面と、蛍光体層と接する側の基板表面とのなす角度は、90°を超えることが好ましい。かかる角度が90°を超えると、離型シート付きシンチレータパネルとして用いる場合に、離型シートを剥離しやすくなる。ここで、被覆層表面とは、蛍光体層外周部に、基板面に対して略垂直方向に延びる被覆層の、層面方向の最表面を言う。被覆層表面と、蛍光体層と接する側の基板表面とのなす角度は、蛍光体層端部の断面を精密研磨した後に、光学顕微鏡(例えば、VHX−900F;(株)キーエンス)を用いて倍率100倍で拡大観察し、角度測定機能を用いて測定することができる。かかる角度を90°以上にする方法としては、例えば、シンチレータパネルの製造において、後述する好ましい方法により裁断する方法などが挙げられる。   In the scintillator panel of the present invention, the angle between the surface of the covering layer and the surface of the substrate in contact with the phosphor layer is preferably more than 90 °. When the angle exceeds 90 °, the release sheet is likely to be peeled off when used as a release sheet-attached scintillator panel. Here, the surface of the covering layer means the outermost surface in the layer surface direction of the covering layer extending in a direction substantially perpendicular to the substrate surface at the outer peripheral portion of the phosphor layer. The angle between the surface of the covering layer and the surface of the substrate in contact with the phosphor layer is determined by precision polishing the cross section of the end of the phosphor layer, and then using an optical microscope (for example, VHX-900F; Keyence Corporation) It can be magnified and observed at a magnification of 100 times and can be measured using an angle measurement function. As a method of making this angle 90 degrees or more, for example, in the manufacture of a scintillator panel, a method of cutting by a preferable method described later, etc. may be mentioned.

本発明の離型シート付きシンチレータパネルは、シンチレータパネルの蛍光体層上に、接着層および離型シートをこの順に有する。   The scintillator sheet with release sheet of the present invention has an adhesive layer and a release sheet in this order on the phosphor layer of the scintillator panel.

接着層を構成する材質は、強度や作業性の観点から、光学的に透明な熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂が好ましい。具体的には、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ブチラール樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、エチルセルロース樹脂などの透明接着剤が挙げられる。接着層は、必要に応じて、架橋剤、可塑剤、粘着性付与剤、充填剤、劣化防止剤の添加剤を含有してもよい。接着層の厚みは、10〜50μmが好ましい。   The material constituting the adhesive layer is preferably an optically transparent thermosetting resin or a photocurable resin from the viewpoint of strength and workability. Specifically, transparent adhesives, such as an acrylic resin, an epoxy resin, a polyester resin, a butyral resin, a polyamide resin, a silicone resin, and an ethyl cellulose resin, are mentioned, for example. The adhesive layer may optionally contain additives such as a crosslinking agent, a plasticizer, a tackifier, a filler, and an antidegradant. The thickness of the adhesive layer is preferably 10 to 50 μm.

離型シートとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポリプロピレン等の樹脂フィルムが挙げられる。離型シートの接着層との接合面には、離型コート層(シリコーン層)を有してもよい。離型シートの厚みは、10〜75μmがより好ましい。   As a release sheet, resin films, such as a polyethylene terephthalate, a polycarbonate, a polyacrylate, a polypropylene, are mentioned, for example. A release coat layer (silicone layer) may be provided on the bonding surface of the release sheet to the adhesive layer. The thickness of the release sheet is more preferably 10 to 75 μm.

本発明のシンチレータパネルは、例えば、基板上に、少なくとも蛍光体およびバインダー樹脂を含有する蛍光体ペーストを塗布・乾燥して蛍光体層を形成し、蛍光体層の外周部側面に被覆液を塗布・乾燥して被覆層を形成することにより得ることができる。蛍光体層上に接着層および離型シートを形成する場合は、作業性および経済性の観点から、OCA(Optical Clear Adhesive Film)と呼ばれる、接着層を2枚の離型シートで挟んだフィルム状の粘着シートを用いることが好ましい。OCAの一方の離型シートを剥離し、接着層を蛍光体層側にして貼り合わせることにより、蛍光体層上に、接着層および離型シートを積層し、離型シート付きシンチレータパネルとすることができる。   In the scintillator panel of the present invention, for example, a phosphor paste containing at least a phosphor and a binder resin is coated and dried on a substrate to form a phosphor layer, and a coating liquid is applied to the side surface of the peripheral portion of the phosphor layer -It can obtain by drying and forming a coating layer. In the case of forming an adhesive layer and a release sheet on a phosphor layer, from the viewpoint of workability and economy, a film called OCA (Optical Clear Adhesive Film) in which an adhesive layer is sandwiched between two release sheets. It is preferable to use an adhesive sheet of An adhesive layer and a release sheet are laminated on the phosphor layer by peeling off one release sheet of OCA and bonding the adhesive layer on the phosphor layer side to make a scintillator panel with a release sheet. Can.

蛍光体ペーストは、少なくとも前述の蛍光体およびバインダー樹脂を含有する。必要に応じて、増粘剤、可塑剤、沈降防止剤などの添加剤や有機溶媒を含有してもよい。有機溶媒は、バインダー樹脂の良溶媒であり、水素結合力が大きいことが好ましく、例えば、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テルピネオール、ベンジルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、ジヒドロターピネオール、γ−ブチロラクトン、ジヒドロターピニルアセテート、3−メトキシ−3−メチル−メチルブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキシレングリコール、ブロモ安息香酸などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   The phosphor paste contains at least the above-mentioned phosphor and a binder resin. You may contain additives and organic solvents, such as a thickener, a plasticizer, and an antisettling agent, as needed. The organic solvent is a good solvent for the binder resin, and preferably has a large hydrogen bonding ability. Benzyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, dihydroterpineol, γ-butyrolactone, dihydroterpinyl acetate, 3-methoxy-3-methyl-methylbutanol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, N, N-dimethyl Formamide, hexylene glycol, bromobenzoic acid, etc. It is below. Two or more of these may be contained.

蛍光体ペーストの塗布方法としては、例えば、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどを用いる方法などが挙げられる。   Examples of the method for applying the phosphor paste include a method using a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater, and the like.

離型シート付きシンチレータパネルの製造に際しては、大きなサイズのシンチレータパネルと離型シートを貼り合わせてから、所定サイズに裁断する方法が好ましい。プレス裁断機(トムソンカット)を使用して、シンチレータパネルの基板面から離型シート面に向かって刃入れすることが好ましく、蛍光体層の外周部側面と、蛍光体層と接する側の基板表面とのなす角度を、容易に90°より大きくすることができる。   In the production of the release sheet-attached scintillator panel, a method is preferable in which a scintillator panel of a large size and a release sheet are pasted together and then cut into a predetermined size. It is preferable to use a press cutter (Tomson Cut) to insert a blade from the substrate surface of the scintillator panel toward the release sheet surface, and the outer peripheral side surface of the phosphor layer and the substrate surface on the side in contact with the phosphor layer The angle between them can easily be made larger than 90 °.

次に、本発明の放射線画像検出装置について説明する。本発明の放射線画像検出装置は、少なくとも前述のシンチレータパネル、接着層および光電変換撮像素子基板を有する。   Next, a radiation image detection apparatus of the present invention will be described. The radiation image detection apparatus of the present invention has at least the aforementioned scintillator panel, adhesive layer, and photoelectric conversion imaging device substrate.

図3に、本発明の放射線検出装置の一態様を模式的に表した断面図を示す。放射線画像検出装置1は、接着層7を介して、シンチレータパネル2と光電変換撮像素子基板3が貼り合わされてなり、さらに図示されない電源部を有する。光電変換撮像素子基板3は、基板11上に、光電変換層9と出力層10を有する。ただし、図示の都合上、図3の紙面における下方向が、本説明における上方向となる。光電変換層9は、図示しない光電変換素子とTFTを有する画素を2次元状に形成したものが一般的である。シンチレータパネル2の出光面と、光電変換撮像素子基板3の光電変換層9とを、接着層7を介して接着または密着させることが好ましい。   FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing one aspect of the radiation detection apparatus of the present invention. The radiation image detection apparatus 1 is formed by bonding the scintillator panel 2 and the photoelectric conversion imaging element substrate 3 via the adhesive layer 7 and further includes a power supply unit (not shown). The photoelectric conversion imaging element substrate 3 has the photoelectric conversion layer 9 and the output layer 10 on the substrate 11. However, for convenience of illustration, the downward direction in the paper surface of FIG. 3 is the upward direction in the present description. The photoelectric conversion layer 9 generally has a two-dimensional pixel formed with a photoelectric conversion element (not shown) and a TFT. It is preferable that the light emitting surface of the scintillator panel 2 and the photoelectric conversion layer 9 of the photoelectric conversion imaging element substrate 3 be adhered or adhered via the adhesive layer 7.

放射線画像検出装置1に入射した放射線が、蛍光体層5において蛍光体に吸収され、可視光が放射される。放射された可視光が光電変換層9に到達すると、光電変換層9で光電変換され、出力層10を通じて、電気信号として出力される。   The radiation that has entered the radiation image detection device 1 is absorbed by the phosphor in the phosphor layer 5, and visible light is emitted. When the emitted visible light reaches the photoelectric conversion layer 9, it is photoelectrically converted by the photoelectric conversion layer 9 and output as an electrical signal through the output layer 10.

以下に、実施例および比較例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。まず、評価方法について説明する。   Hereinafter, the present invention will be more specifically described by way of examples and comparative examples, but the present invention is not limited thereto. First, the evaluation method will be described.

<蛍光体層の空隙率>
各実施例および比較例により形成した蛍光体層の断面を精密研磨した後に、走査型電子顕微鏡(S2400;(株)日立製作所製)を用いて倍率500倍で蛍光体層を拡大観察した。得られた画像において、固形分部分(蛍光体およびバインダー樹脂等)と空隙部分を画像処理ソフト(Adobe Photoshop;アドビシステムズ(株)製)で2階調に画像変換し、シンチレータ層の断面の面積に占める空隙部分の面積割合を空隙率として算出した。蛍光体層端部の空隙率は、蛍光体層の側面から内側に向かって100μmの範囲において上記記載の方法で算出した。蛍光体層内部の空隙率は、蛍光体層の側面から内側に向かって100μmを超える範囲において上記記載の方法で算出した。
<Void ratio of phosphor layer>
After precisely polishing the cross section of the phosphor layer formed in each Example and Comparative Example, the phosphor layer was observed at a magnification of 500 using a scanning electron microscope (S2400; manufactured by Hitachi, Ltd.). In the obtained image, the solid portion (phosphor, binder resin, etc.) and the void portion are image converted into two gradations by image processing software (Adobe Photoshop; made by Adobe Systems Co., Ltd.), and the area of the cross section of the scintillator layer The area ratio of the void portion occupying in was calculated as the porosity. The porosity of the end portion of the phosphor layer was calculated by the method described above in the range of 100 μm from the side of the phosphor layer toward the inside. The porosity of the inside of the phosphor layer was calculated by the method described above in the range exceeding 100 μm from the side of the phosphor layer toward the inside.

<被覆層表面と、蛍光体層と接する側の基板表面との成す角度>
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルの端部断面を精密研磨した後に、光学顕微鏡(VHX−900F;(株)キーエンス製)を用いて倍率100倍で拡大観察し、角度測定機能を用いて、被覆層表面と、蛍光体層と接する側の基板表面との成す角度を測定した。
<Angle between the surface of the covering layer and the surface of the substrate in contact with the phosphor layer>
After precision polishing of the end section of the release sheet-attached scintillator panel obtained in each of the examples and comparative examples, the magnified view is observed at a magnification of 100 times using an optical microscope (VHX-900F; manufactured by Keyence Corporation), An angle measurement function was used to measure the angle between the surface of the coating layer and the surface of the substrate in contact with the phosphor layer.

<被覆層起因の気泡>
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルの白色PETフィルム基板面を吸着ステージに吸着させた後に、離型シートを剥離して、接着層を介してシンチレータパネルを光電変換撮像素子基板に貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。ただし、実施例7については、シンチレータパネルと光電変換撮像素子基板をポリエステルテープ(559A;ニチバン(株)製)により貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。得られた放射線画像検出装置に対し、シンチレータパネルの基板側から管電圧60kVpのX線を照射して、シンチレータ層からの発光をFPDで検出し発光画像を取得した。取得した発光画像を目視で観察し、シンチレータパネル外周部への被覆層起因の気泡混入を以下の基準で判定した。
○:被覆層起因の気泡混入が確認されない
×:被覆層起因の気泡混入が確認される。
<Air bubbles caused by the covering layer>
After the white PET film substrate surface of the release sheet-attached scintillator panel obtained by each of the examples and the comparative example is adsorbed to an adsorption stage, the release sheet is peeled off, and photoelectric conversion imaging of the scintillator panel is performed via the adhesive layer. It was bonded to the element substrate to produce a radiation image detection apparatus. However, in Example 7, the scintillator panel and the photoelectric conversion imaging element substrate were attached to each other with a polyester tape (559 A; manufactured by Nichiban Co., Ltd.) to produce a radiation image detection apparatus. The obtained radiation image detection apparatus was irradiated with X-ray of a tube voltage of 60 kVp from the substrate side of the scintillator panel, light emission from the scintillator layer was detected by FPD, and a light emission image was acquired. The obtained luminescence image was visually observed, and the inclusion of air bubbles caused by the covering layer on the outer peripheral portion of the scintillator panel was determined according to the following criteria.
○: no bubble inclusion due to the covering layer is confirmed x: bubble inclusion due to the covering layer is confirmed.

<蛍光体層の膜剥がれ>
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネル各50枚の白色PETフィルム基板面を吸着ステージに吸着させた後に、離型シートを剥離し、蛍光体層を目視観察し、膜剥がれの有無を以下の基準で判定した。ただし、実施例7については、離型シートを有しないため、形成した蛍光体層をそのまま目視観察した。
◎:方形の角部200箇所中、蛍光体層の膜剥がれが観察される箇所が4箇所未満
○:方形の角部200箇所中、蛍光体層の膜剥がれが観察される箇所が4箇所以上10箇所未満
×:方形の角部200箇所中、蛍光体層の膜剥がれが観察される箇所が10箇所以上。
<Peeling off of phosphor layer>
Scintillator panels with release sheet obtained by each example and comparative example After each 50 white PET film substrate surfaces of the release sheet are adsorbed to the adsorption stage, the release sheet is peeled off, and the phosphor layer is visually observed. The presence or absence of peeling was determined based on the following criteria. However, in Example 7, since the release sheet was not provided, the formed phosphor layer was visually observed as it was.
:: Less than four locations where film peeling of the phosphor layer is observed in 200 square corner portions ○: four or more locations where film peeling of the phosphor layer is observed in 200 square corners Less than 10 locations x: 10 or more locations where film peeling of the phosphor layer is observed in 200 square corners.

<蛍光体層の削れ屑>
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルの白色PETフィルム基板面を吸着ステージに吸着させた後に、離型シートを剥離し、離型シートを剥離して、接着層を介してシンチレータパネルを光電変換撮像素子基板に貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。ただし、実施例7については、シンチレータパネルと光電変換撮像素子基板をポリエステルテープ(559A;ニチバン(株)製)により貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。得られた放射線画像検出装置に対し、シンチレータパネルの基板側から管電圧60kVpのX線を照射して、シンチレータ層からの発光をFPDで検出し発光画像を取得した。取得した発光画像を目視観察し、蛍光体層の削れ屑起因の異物混入を以下の基準で判定した。
○:蛍光体層の削れ屑起因の異物が確認されない
×:蛍光体層の削れ屑起因の異物がシンチレータパネルと光電変換撮像素子基板の間に混入する。
<Shavings of phosphor layer>
After the white PET film substrate surface of the scintillator sheet with a release sheet obtained by each of the examples and comparative examples is adsorbed to the adsorption stage, the release sheet is peeled off, the release sheet is peeled off, and the adhesive layer is interposed. The scintillator panel was then bonded to the photoelectric conversion imaging device substrate to fabricate a radiation image detection apparatus. However, in Example 7, the scintillator panel and the photoelectric conversion imaging element substrate were attached to each other with a polyester tape (559 A; manufactured by Nichiban Co., Ltd.) to produce a radiation image detection apparatus. The obtained radiation image detection apparatus was irradiated with X-ray of a tube voltage of 60 kVp from the substrate side of the scintillator panel, light emission from the scintillator layer was detected by FPD, and a light emission image was acquired. The obtained luminescence image was visually observed, and the contamination caused by scraping of the phosphor layer was determined according to the following criteria.
Good: Foreign matter attributable to shavings of the phosphor layer is not confirmed. X: Foreign matter attributable to shavings of the phosphor layer is mixed between the scintillator panel and the photoelectric conversion imaging element substrate.

<相対輝度および相対画像鮮鋭度>
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルを、離型シートを剥離してFPD(PaxScan3030;Varian社製)にセットし、放射線画像検出装置を作製した。ただし、実施例7については、シンチレータパネルと光電変換撮像素子基板をポリエステルテープ(559A;ニチバン(株)製)により貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。放射線画像検出装置に対し、シンチレータパネルの基板側から管電圧60kVpのX線を照射して、シンチレータ層からの発光量をFPDで検出し、シンチレータパネルの輝度を評価した。また、シンチレータパネルの画像鮮鋭度を、矩形波チャートの撮影画像に基づき評価した。実施例1に記載のシンチレータパネルの輝度及び画像鮮鋭度を100とした場合の相対輝度および相対画像鮮鋭度を算出した。相対輝度および相対画像鮮鋭度ともに90を下回るとFPDとしての特性は不十分である。算出した相対輝度および相対画像鮮鋭度を以下の基準で判定した。
◎:100以上
○:90以上100未満
×:90未満。
<Relative brightness and relative image sharpness>
The release sheet-attached scintillator panel obtained in each of the examples and comparative examples was peeled off from the release sheet and set in an FPD (PaxScan 3030; manufactured by Varian) to prepare a radiation image detection apparatus. However, in Example 7, the scintillator panel and the photoelectric conversion imaging element substrate were attached to each other with a polyester tape (559 A; manufactured by Nichiban Co., Ltd.) to produce a radiation image detection apparatus. The radiation image detection apparatus was irradiated with X-ray of a tube voltage of 60 kVp from the substrate side of the scintillator panel, the amount of light emission from the scintillator layer was detected by FPD, and the luminance of the scintillator panel was evaluated. Also, the image sharpness of the scintillator panel was evaluated based on the captured image of the rectangular wave chart. The relative brightness and the relative image sharpness were calculated when the brightness and the image sharpness of the scintillator panel described in Example 1 were 100. When the relative luminance and the relative image sharpness are both less than 90, the characteristics as an FPD are insufficient. The calculated relative luminance and relative image sharpness were determined according to the following criteria.
◎: 100 or more ○: 90 or more and less than 100 ×: less than 90.

(蛍光体ペースト1の作製)
20質量部の有機バインダー(エチルセルロース(7mPa・s);比重1.1g/cm)を、80質量部の有機溶媒(テルピネオール、比重0.93g/cm)に80℃で加熱溶解し、有機溶液を得た。また、蛍光体粉末1として、平均粒子径D50が10μmのTb賦活GdS(GOS:Tb、比重7.3g/cm)を準備した。7.0質量部の有機溶液に、93.0質量部の蛍光体粉末を混合して、蛍光体ペースト1を作製した。
(Preparation of phosphor paste 1)
20 parts by mass of an organic binder (ethyl cellulose (7 mPa · s); specific gravity 1.1 g / cm 3 ) is dissolved by heating in 80 parts by mass of an organic solvent (terpineol, specific gravity 0.93 g / cm 3 ) at 80 ° C. A solution was obtained. In addition, Tb-activated Gd 2 O 2 S (GOS: Tb, specific gravity 7.3 g / cm 3 ) having an average particle diameter D50 of 10 μm was prepared as the phosphor powder 1. A phosphor paste 1 was prepared by mixing 93.0 parts by mass of the phosphor powder with 7.0 parts by mass of the organic solution.

(蛍光体ペースト2の作製)
3.6質量部の有機溶液に、96.4質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト1の作製と同様にして、蛍光体ペースト2を作製した。
(Preparation of phosphor paste 2)
A phosphor paste 2 was produced in the same manner as the production of the phosphor paste 1 except that 96.4 parts by weight of the phosphor powder was mixed with 3.6 parts by weight of the organic solution.

(蛍光体ペースト3の作製)
11.9質量部の有機溶液に、88.1質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト1の作製と同様にして、蛍光体ペースト3を作製した。
(Preparation of phosphor paste 3)
A phosphor paste 3 was produced in the same manner as the production of the phosphor paste 1 except that 88.1 parts by weight of the phosphor powder was mixed with 11.9 parts by weight of the organic solution.

(蛍光体ペースト4の作製)
13.1質量部の有機溶液に、86.9質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト1の作製と同様にして、蛍光体ペースト4を作製した。
(Preparation of phosphor paste 4)
A phosphor paste 4 was produced in the same manner as the production of the phosphor paste 1 except that 86.9 parts by weight of the phosphor powder was mixed with 13.1 parts by weight of the organic solution.

(蛍光体ペースト5の作製)
蛍光体ペースト1と同様の方法により有機溶液を得た。また、蛍光体粉末2として、平均粒子径D50が5μmのTb賦活GdS(GdS:Tb、比重6.9g/cm)を準備した。7.4質量部の有機溶液に、92.6質量部の蛍光体粉末2を混合して、蛍光体ペースト5を作製した。
(Preparation of phosphor paste 5)
An organic solution was obtained by the same method as that of the phosphor paste 1. Further, the phosphor powder 2, the average particle size D50 5μm of Tb-activated Gd 2 O 2 S (Gd 2 O 2 S: Tb, a specific gravity of 6.9 g / cm 3) was prepared. 92.6 parts by mass of the phosphor powder 2 was mixed with 7.4 parts by mass of the organic solution to prepare a phosphor paste 5.

(蛍光体ペースト6の作製)
3.8質量部の有機溶液に、96.2質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト5の作製と同様にして、蛍光体ペースト6を作製した。
(Preparation of phosphor paste 6)
A phosphor paste 6 was produced in the same manner as the production of the phosphor paste 5 except that 96.2 parts by weight of the phosphor powder was mixed with 3.8 parts by weight of the organic solution.

(蛍光体ペースト7の作製)
12.5質量部の有機溶液に、87.5質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト5の作製と同様にして、蛍光体ペースト7を作製した。
(Preparation of phosphor paste 7)
A phosphor paste 7 was produced in the same manner as the production of the phosphor paste 5 except that 87.5 parts by weight of the phosphor powder was mixed with 12.5 parts by weight of the organic solution.

(被覆液1の調製)
50質量部のポリビニルアルコール(E−AL−200;アラビックヤマト(株)製)を、50質量部のエタノール(055−00457;和光純薬工業(株)製)に溶解させて被覆液1を調製した。
(Preparation of Coating Solution 1)
A coating solution 1 is prepared by dissolving 50 parts by mass of polyvinyl alcohol (E-AL-200; manufactured by Arabic Yamato Co., Ltd.) in 50 parts by mass of ethanol (055-00457; manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) did.

(実施例1)
200mm×200mmの白色PETフィルム基板(E6SQ;東レ(株)製)上に、前記蛍光体ペースト1を、ダイコーターを用いて、乾燥後の蛍光体層厚みが200μmになるように塗布し、80℃の熱風乾燥炉で4時間乾燥することにより第一の蛍光体層を形成した。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は10体積部であった。
Example 1
Using a die coater, apply the above-mentioned phosphor paste 1 on a 200 mm × 200 mm white PET film substrate (E6SQ; Toray Industries, Inc.) so that the thickness of the phosphor layer after drying becomes 200 μm, 80 The first phosphor layer was formed by drying in a hot air drying oven for 4 hours. The content of the binder resin relative to 100 parts by volume of the phosphor in the first phosphor layer was 10 parts by volume.

厚みが25μmの接着剤層の両面に、厚みが50μmの離型フィルムが積層されたOCAフィルム(8171−CL;スリーエムジャパン(株)製)を準備した。OCAフィルムの一方の離型シートを剥がした後、貼り合わせ装置(HAL−650S;三共(株)製)を用いて、むき出しになった接着層が第一の蛍光体層に接触するように貼り付け、第一の蛍光体層上に接着層と他方の離型シートを積層した。   An OCA film (8171-CL; manufactured by 3M Japan Co., Ltd.) in which a release film having a thickness of 50 μm was laminated on both sides of a 25 μm-thick adhesive layer was prepared. After peeling off one release sheet of the OCA film, using a bonding apparatus (HAL-650S; made by Sankyo Co., Ltd.), it is pasted so that the exposed adhesive layer is in contact with the first phosphor layer Then, the adhesive layer and the other release sheet were laminated on the first phosphor layer.

第一の蛍光体層端部側面の全周に前記被覆液1を塗布し、乾燥することにより、第一の蛍光体層の外周部側面に被覆層を形成し、離型シート付きシンチレータパネルを作製した。   The coating solution 1 is applied to the entire periphery of the first phosphor layer end side surface and dried to form a coating layer on the outer peripheral portion side surface of the first phosphor layer, and a scintillator panel with a release sheet is obtained. Made.

そして、プレス裁断機(MP−600SL;曙機械工業(株)製)と刃先角度が30°のトムソン刃を用いて、シンチレータパネルの基材面から離型シート面に向かって刃入れし、100mm×100mmの方形に裁断した。前述の方法により被覆層表面と、蛍光体層と接する側の基板表面との成す角度を測定したところ、105°であった。   Then, using a press cutter (MP-600SL; manufactured by Sakai Machine Industry Co., Ltd.) and a Thomson blade with a blade angle of 30 °, insert the blade from the substrate surface of the scintillator panel toward the release sheet surface, 100 mm It was cut into a square of 100 mm. It was 105 degrees when the angle of the coating layer surface and the board | substrate surface of the side which contact | connects a fluorescent substance layer to make was measured by the above-mentioned method.

得られた離型シート付きシンチレータパネルについて評価した結果を表1に示す。前述の方法により蛍光体層の空隙率を測定したところ、蛍光体層内部は15%、蛍光体層端部は5%であった。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。シンチレータパネルの輝度および画像鮮鋭度も良好であった。   The results of evaluation of the obtained release sheet-attached scintillator panel are shown in Table 1. When the porosity of the phosphor layer was measured by the above-mentioned method, the inside of the phosphor layer was 15%, and the end of the phosphor layer was 5%. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles due to the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The luminance and image sharpness of the scintillator panel were also good.

(実施例2)
前記蛍光体ペースト1にかえて蛍光体ペースト2を用いたこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は5体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は105であり良好であった。相対画像鮮鋭度は94であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。
(Example 2)
A scintillator sheet with a release sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that the phosphor paste 2 was used instead of the phosphor paste 1. The content of the binder resin relative to 100 parts by volume of the phosphor in the first phosphor layer was 5 parts by volume. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles due to the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The relative luminance was 105, which was good. The relative image sharpness was 94, was over 90, and satisfied the characteristics as an FPD.

(実施例3)
前記蛍光体ペースト1にかえて蛍光体ペースト3を用いたこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は18体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は93であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。相対画像鮮鋭度は107であり良好であった。
(Example 3)
A scintillator sheet with a release sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that the phosphor paste 3 was used instead of the phosphor paste 1. The content of the binder resin relative to 100 parts by volume of the phosphor in the first phosphor layer was 18 parts by volume. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles due to the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The relative luminance was 93, was over 90, and satisfied the characteristics as an FPD. The relative image sharpness was 107, which was good.

(実施例4)
200mm×200mmの白色PETフィルム基板上に、前記蛍光体ペースト5を、ダイコーターを用いて、乾燥後の蛍光体層厚みが40μmになるように塗布した。その上に、前記蛍光体ペースト1を、ダイコーターを用いて、乾燥後の蛍光体層厚みが180μmになるように塗布した。そして、80℃の熱風乾燥炉で4時間乾燥することにより、第一の蛍光体層および第二の蛍光体層を形成した。第一の蛍光体層および第二の蛍光体層における蛍光体の合計含有量100体積部に対するバインダー樹脂の合計含有量は10体積部であった。その後、実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は95であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。相対画像鮮鋭度は115であり良好であった。
(Example 4)
The phosphor paste 5 was applied onto a 200 mm × 200 mm white PET film substrate using a die coater such that the thickness of the phosphor layer after drying was 40 μm. The phosphor paste 1 was applied thereon using a die coater such that the thickness of the phosphor layer after drying was 180 μm. And it dried in 80 degreeC hot-air-drying furnace for 4 hours, and formed the 1st fluorescent substance layer and the 2nd fluorescent substance layer. The total content of the binder resin relative to 100 parts by volume of the total content of the phosphors in the first phosphor layer and the second phosphor layer was 10 parts by volume. After that, a scintillator sheet with a release sheet was obtained by the same method as in Example 1. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles due to the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The relative luminance was 95, was over 90, and satisfied the characteristics as an FPD. The relative image sharpness was 115, which was good.

(実施例5)
前記蛍光体ペースト5にかえて蛍光体ペースト6を、ペースト1にかえて蛍光体ペースト2を用いたこと以外は実施例4と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は5体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は106、相対画像鮮鋭度は104であり良好であった。
(Example 5)
A scintillator sheet with a release sheet was obtained by the same method as in Example 4 except that instead of the phosphor paste 5, the phosphor paste 6 was replaced with the paste 1 and the phosphor paste 2 was used. The content of the binder resin relative to 100 parts by volume of the phosphor in the first phosphor layer was 5 parts by volume. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles due to the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The relative luminance was 106 and the relative image sharpness was 104, which was good.

(実施例6)
前記蛍光体ペースト5にかえて蛍光体ペースト7を、ペースト1にかえて蛍光体ペースト3を用いたこと以外は実施例4と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は18体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は96であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。相対画像鮮鋭度は117であり良好であった。
(Example 6)
A scintillator sheet with a release sheet was obtained by the same method as in Example 4 except that instead of the phosphor paste 5, the phosphor paste 7 was replaced with the paste 1 and the phosphor paste 3 was used. The content of the binder resin relative to 100 parts by volume of the phosphor in the first phosphor layer was 18 parts by volume. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles due to the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The relative luminance was 96, was over 90, and satisfied the characteristics as an FPD. The relative image sharpness was 117, which was good.

(実施例7)
接着層および離型シートを積層しなかったこと以外は実施例1と同様の方法によりシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は100であり良好であった。相対画像鮮鋭度は97であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。
(Example 7)
A scintillator panel was obtained by the same method as in Example 1 except that the adhesive layer and the release sheet were not laminated. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles due to the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The relative luminance was 100, which was good. The relative image sharpness was 97, was over 90, and satisfied the characteristics as an FPD.

(実施例8)
前記被覆液1にかえてシリコーン樹脂(KE−45;信越化学工業(株)製)を使用したこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所以上10箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生は認められなかったが、被覆層起因の気泡混入が発生した。相対輝度および相対画像鮮鋭度は100であり良好であった。
(Example 8)
A scintillator panel with a release sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that a silicone resin (KE-45; manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used instead of the coating solution 1 described above. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at four or more and less than ten in 200 square corners. Although generation of shavings was not recognized, air bubble mixing caused by the coating layer occurred. The relative luminance and the relative image sharpness were as good as 100.

(比較例1)
被覆層を形成しなかったこと以外は実施例1と同様の方法によりシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中10箇所以上であり不良であった。削れ屑が発生し、光電変換撮像素子基板への貼り付けは不良であった。相対輝度および相対画像鮮鋭度は100であり良好であった。
(Comparative example 1)
A scintillator panel was obtained by the same method as in Example 1 except that the covering layer was not formed. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. Peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was not less than 10 out of 200 at the corner portions of the square. Scrapings were generated, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was poor. The relative luminance and the relative image sharpness were as good as 100.

(参考例)
前記蛍光体ペースト1にかえて蛍光体ペースト4を用いたこと、刃先角度が30°のトムソン刃にかえて離型シート面からシンチレータパネルの基材面に向かって刃入れしたこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。蛍光体層厚みは、蛍光体層端部よりも蛍光体層内部の方が薄く、蛍光体層の空隙率は、蛍光体層内部は11%、蛍光体層端部は2%であった。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入は認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は88であり90を下回っており不良であった。相対画像鮮鋭度は109であり良好であった。
(Reference example)
Example except using the phosphor paste 4 in place of the phosphor paste 1 and inserting the edge of the release sheet from the release sheet surface toward the substrate surface of the scintillator panel instead of using a Thomson blade having a blade angle of 30 ° A scintillator sheet with a release sheet was obtained in the same manner as in 1. The results evaluated in the same manner as Example 1 are shown in Table 1. The thickness of the phosphor layer was thinner at the inside of the phosphor layer than at the end of the phosphor layer, and the porosity of the phosphor layer was 11% at the inside of the phosphor layer and 2% at the end of the phosphor layer. The film peeling of the phosphor layer of the scintillator panel was good at less than 4 out of 200 square corner portions. The generation of chips and the inclusion of air bubbles caused by the coating layer were not observed, and the adhesion to the photoelectric conversion imaging device substrate was good. The relative luminance was 88, which was below 90, which was not good. The relative image sharpness was 109, which was good.

Figure 2019109171
Figure 2019109171

1 放射線画像検出装置
2 シンチレータパネル
3 光電変換撮像素子基板
4 基板
5 蛍光体層
6 離型シート
7 接着層
8 被覆層
9 光電変換層
10 出力層
11 基板
12 蛍光体層の端部
13 蛍光体層の内部
14 被覆層表面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 radiation image detection apparatus 2 scintillator panel 3 photoelectric conversion imaging element substrate 4 substrate 5 fluorescent substance layer 6 release sheet 7 adhesive layer 8 covering layer 9 photoelectric conversion layer 10 output layer 11 substrate 12 end part 13 fluorescent substance layer Inside 14 cladding layer surface

Claims (8)

基板上に、蛍光体およびバインダー樹脂を含有する蛍光体層を有するシンチレータパネルであって、前記蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量が18体積部以下であり、前記蛍光体層の外周部側面に被覆層を有するシンチレータパネル。 A scintillator panel having a phosphor layer containing a phosphor and a binder resin on a substrate, wherein the content of the binder resin is 18 parts by volume or less with respect to 100 parts by volume of the phosphor in the phosphor layer, The scintillator panel which has a coating layer in the outer peripheral part side surface of the said fluorescent substance layer. 前記蛍光体層が蛍光体の粒子径が異なる複数の層を有する請求項1記載のシンチレータパネル。 The scintillator panel according to claim 1, wherein the phosphor layer comprises a plurality of layers having different particle sizes of phosphors. 前記蛍光体層の端部の空隙率が内部の空隙率よりも低い請求項1〜2のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。 The scintillator panel according to any one of claims 1 to 2, wherein the porosity of the end portion of the phosphor layer is lower than the porosity of the inside. 前記蛍光体層の端部の空隙率が10%未満である請求項1〜3のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。 The scintillator panel according to any one of claims 1 to 3, wherein the porosity of the end portion of the phosphor layer is less than 10%. 前記被覆層の表面と、蛍光体層と接する側の基板表面との成す角度が90度を超える請求項1〜4のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。 The scintillator panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the angle formed by the surface of the covering layer and the substrate surface on the side in contact with the phosphor layer exceeds 90 degrees. 前記被覆層がポリビニルアルコールを含む請求項1〜5のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。 The scintillator panel according to any one of claims 1 to 5, wherein the covering layer comprises polyvinyl alcohol. 請求項1〜6のいずれか一項に記載のシンチレータパネルの蛍光体層上に、接着層および離型シートをこの順に有する離型シート付きシンチレータパネル。 The scintillator panel with a release sheet which has an adhesive layer and a release sheet in this order on the fluorescent substance layer of the scintillator panel as described in any one of Claims 1-6. 請求項1〜6のいずれか一項に記載のシンチレータパネル、接着層および光電変換撮像素子基板を有する放射線画像検出装置。 The radiation image detection apparatus which has a scintillator panel as described in any one of Claims 1-6, an adhesive layer, and a photoelectric conversion imaging element board | substrate.
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