JP2019092042A - Atomic oscillator and frequency signal generation system - Google Patents

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峻介 渡邉
Shunsuke Watanabe
峻介 渡邉
康憲 大西
Yasunori Onishi
康憲 大西
幸弘 橋
Yukihiro Hashi
幸弘 橋
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Abstract

To provide an atomic oscillator that can inhibit deformation of a support member.SOLUTION: An atomic oscillator comprises: a substrate; a light source that emits light; an atomic cell that stores alkali metal atoms and on which the light emitted from the light source is incident; a support member on which the light source and the atomic cell are arranged, and includes a portion fixed to the substrate and an end having a gap with the substrate; and a projection that is arranged closer to the end than the fixed portion of the support member and projects toward the substrate.SELECTED DRAWING: Figure 12

Description

本発明は、原子発振器、および周波数信号生成システムに関する。   The present invention relates to an atomic oscillator and a frequency signal generation system.

長期的に高精度な発振特性を有する発振器として、ルビジウム、セシウム等のアルカリ金属原子のエネルギー遷移に基づいて発振する原子発振器が知られている。   An atomic oscillator that oscillates based on energy transition of alkali metal atoms such as rubidium and cesium is known as an oscillator having oscillation characteristics with high accuracy in the long term.

例えば特許文献1には、基板と、金属原子が封入されているガスセルを有するガスセル部と、金属原子に共鳴するための共鳴光対を含む光を出射する光源を有する光源部と、一方の面側でガスセル部と光源部とに接続し、他方の面側で基板に接続している支持部材と、を備えた原子発振器が記載されている。特許文献1では、支持部材は、片持ち状に基板に配置されていてもよい、と記載されている。   For example, in Patent Document 1, a light source unit having a substrate, a gas cell unit having a gas cell in which metal atoms are enclosed, and a light source for emitting light including a resonant light pair for resonating with metal atoms; An atomic oscillator is described which comprises a support member connected on the side to the gas cell part and the light source part and on the other side to the substrate. In Patent Document 1, it is described that the support member may be disposed on the substrate in a cantilever manner.

特開2015−118962号公報JP, 2015-118962, A

しかしながら、上記のような原子発振器では、例えば持ち運びの際に原子発振器に外部から力が加わった場合に、支持部材が撓んで、光源とガスセルとの位置関係がずれることがあった。   However, in the above-described atomic oscillator, for example, when external force is applied to the atomic oscillator during carrying, the support member may be bent and the positional relationship between the light source and the gas cell may be shifted.

本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、支持部材の変形を抑えることができる原子発振器を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、支持部材の変形を抑えることができる周波数信号生成システムを提供することにある。   One of the objects in accordance with some aspects of the present invention is to provide an atomic oscillator that can suppress deformation of a support member. Another object of some aspects of the present invention is to provide a frequency signal generation system capable of suppressing deformation of a support member.

本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。   The present invention has been made to solve at least a part of the above-mentioned problems, and can be realized as the following aspects or application examples.

[適用例1]
本適用例に係る原子発振器は、基板と、光を出射する光源と、アルカリ金属原子が収容され、前記光源から出射された光が入射する原子セルと、前記光源と前記原子セルとが配置され、前記基板に固定された部分と、前記基板との間に空隙を有する端部と、を含む支持部材と、前記支持部材の前記固定された部分よりも前記端部側に配置され、前記基板側に突出する突起と、を含む。
Application Example 1
The atomic oscillator according to this application example includes a substrate, a light source for emitting light, an alkali metal atom contained therein, an atomic cell for receiving light emitted from the light source, the light source, and the atomic cell. A support member including a portion fixed to the substrate and an end portion having an air gap between the substrate and the support member disposed closer to the end portion than the fixed portion of the support member And a protrusion protruding to the side.

本適用例に係る原子発振器では、支持部材の固定された部分よりも端部側に配置され、基板側に突出する突起を含むため、原子発振器に外部から力が加わって、支持部材が撓んだ場合に、突起が基板に接触する。したがって、本適用例に係る原子発振器では、突起が配置されていない場合に比べて、支持部材の変形を抑えることができる。   In the atomic oscillator according to this application example, since the projection disposed on the end side with respect to the fixed portion of the support member and including the protrusion projecting to the substrate side, external force is applied to the atomic oscillator to bend the support member. In the case, the protrusion contacts the substrate. Therefore, in the atomic oscillator according to this application example, the deformation of the support member can be suppressed as compared with the case where the protrusion is not disposed.

[適用例2]
本適用例に係る原子発振器において、前記突起は、前記支持部材が撓んで端部が基板に近づいた場合に、前記支持部材よりも先に前記基板に接触してもよい。
Application Example 2
In the atomic oscillator according to the application example, the protrusion may contact the substrate earlier than the support member when the support member is bent and an end approaches the substrate.

本適用例に係る原子発振器では、突起は、支持部材が撓んで端部が基板に近づいた場合に、支持部材よりも先に基板に接触するため、突起が配置されていない場合に比べて、支持部材の変形を抑えることができる。   In the atomic oscillator according to this application example, when the support member bends and the end approaches the substrate, the protrusion contacts the substrate earlier than the support member, as compared with the case where the protrusion is not disposed. The deformation of the support member can be suppressed.

[適用例3]
本適用例に係る原子発振器において、前記突起と前記基板との間には、空隙があってもよい。
Application Example 3
In the atomic oscillator according to this application example, an air gap may be present between the protrusion and the substrate.

本適用例に係る原子発振器では、突起と基板との間には、空隙があるため、例えば、支持部材および突起と基板との間での熱の移動を抑えることができる。したがって、突起と基板との間に空隙がない場合と比較して、原子セルまたは光源の温度が安定しやすい。   In the atomic oscillator according to this application example, since there is an air gap between the protrusion and the substrate, for example, the transfer of heat between the support member and the protrusion and the substrate can be suppressed. Therefore, the temperature of the atom cell or the light source tends to be stable as compared with the case where there is no air gap between the protrusion and the substrate.

[適用例4]
本適用例に係る原子発振器において、前記突起の少なくとも前記基板に対向する部分の材質は、断熱材であってもよい。
Application Example 4
In the atomic oscillator according to the application example, a material of at least a portion of the protrusion facing the substrate may be a heat insulating material.

本適用例に係る原子発振器では、突起の少なくとも基板に対向する部分の材質は、断熱材であるため、突起が基板に接触したとしても、例えば、突起と基板との間の熱の移動を抑えることができる。   In the atomic oscillator according to this application example, since the material of at least the portion of the protrusion facing the substrate is a heat insulating material, even if the protrusion contacts the substrate, for example, the heat transfer between the protrusion and the substrate is suppressed. be able to.

[適用例5]
本適用例に係る原子発振器において、前記基板の少なくとも前記突起に対向する部分の材質は、断熱材であってもよい。
Application Example 5
In the atomic oscillator according to the application example, a material of a portion facing at least the protrusion of the substrate may be a heat insulating material.

本適用例に係る原子発振器では、基板の少なくとも突起に対向する部分の材質は、断熱材であるため、突起が基板に接触したとしても、例えば、突起と基板との間の熱の移動を抑えることができる。   In the atomic oscillator according to this application example, since the material of at least the portion of the substrate facing the protrusion is a heat insulating material, even if the protrusion is in contact with the substrate, for example, heat transfer between the protrusion and the substrate is suppressed. be able to.

[適用例6]
本適用例に係る原子発振器において、前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記固定された部分側に前記光源が配置され、前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記端部側に前記原子セルが配置されていてもよい。
Application Example 6
In the atomic oscillator according to the application example, the light source is disposed on the fixed portion side among the fixed portion side and the end portion side of the support member, and the fixed portion side of the support member The atom cell may be disposed on the end side among the end sides.

本適用例に係る原子発振器では、支持部材が撓んだとしても、突起によって、原子セルが光源に対してずれることを抑えることができる。   In the atomic oscillator according to this application example, even if the support member is bent, the projections can suppress the displacement of the atomic cell with respect to the light source.

[適用例7]
本適用例に係る原子発振器において、前記光源、前記原子セル、および前記支持部材を収容し、前記基板および蓋を有する容器を含み、前記原子セルと前記蓋とは、接続されていてもよい。
Application Example 7
In the atomic oscillator according to this application example, the light source, the atomic cell, and the support member may be accommodated, and the container including the substrate and a lid may be included, and the atomic cell and the lid may be connected.

本適用例に係る原子発振器では、原子セルと蓋とは、接続されているため、例えば蓋に力がかかって、原子セルが配置された支持部材が撓んだとしても、突起によって、支持部材の変形を抑えることができる。   In the atomic oscillator according to this application example, since the atomic cell and the lid are connected, for example, even if a force is applied to the lid and the supporting member in which the atomic cell is disposed is bent, the projection Can suppress the deformation of

[適用例8]
本適用例に係る原子発振器において、前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記固定された部分側に前記原子セルが配置され、前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記端部側に前記光源が配置されていてもよい。
Application Example 8
In the atomic oscillator according to the application example, the atomic cell is disposed on the fixed portion side among the fixed portion side and the end portion side of the support member, and the fixed portion of the support member The light source may be disposed on the end side among the side and the end side.

本適用例に係る原子発振器では、支持部材が撓んだとしても、突起によって、光源が原子セルに対してずれることを抑えることができる。   In the atomic oscillator according to this application example, even if the support member is bent, the protrusions can suppress the light source from being displaced with respect to the atomic cell.

[適用例9]
本適用例に係る周波数信号生成システムは、原子発振器を含む周波数信号生成システムであって、前記原子発振器は、基板と、光を出射する光源と、アルカリ金属原子が収容され、前記光源から出射された光が入射する原子セルと、前記光源と前記原子セルとが配置され、前記基板に固定された部分と、前記基板との間に空隙を有する端部と、を含む支持部材と、前記支持部材の前記固定された部分よりも前記端部側に配置され、前記基板側に突出する突起と、を含む。
Application Example 9
The frequency signal generation system according to this application example is a frequency signal generation system including an atomic oscillator, wherein the atomic oscillator contains a substrate, a light source for emitting light, and an alkali metal atom, and is emitted from the light source A support member including an atom cell on which the incident light is incident, a portion where the light source and the atom cell are disposed, and a portion fixed to the substrate, and an end portion having an air gap between the substrate and the support And a projection that is disposed closer to the end than the fixed portion of the member and protrudes toward the substrate.

本適用例に係る周波数信号生成システムでは、支持部材の自由端側に配置され、基板側に突出する突起を含むため、突起が配置されていない場合に比べて、支持部材の変形を抑えることができる。   In the frequency signal generation system according to this application example, since the protrusion disposed on the free end side of the support member and protruding toward the substrate is included, deformation of the support member can be suppressed compared to the case where no protrusion is disposed. it can.

実施形態に係る原子発振器を示す概略図。Schematic which shows the atomic oscillator which concerns on embodiment. 実施形態に係る原子発振器を模式的に示す断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an atomic oscillator according to an embodiment. 実施形態に係る原子発振器を模式的に示す断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an atomic oscillator according to an embodiment. 実施形態に係る原子発振器の原子セルユニットを模式的に示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an atomic cell unit of the atomic oscillator according to the embodiment. 実施形態に係る原子発振器を模式的に示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an atomic oscillator according to an embodiment. 実施形態に係る原子発振器を模式的に示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an atomic oscillator according to an embodiment. 実施形態に係る原子発振器の第1位置決め部材を模式的に示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view schematically showing a first positioning member of the atomic oscillator according to the embodiment. 実施形態に係る原子発振器の第1位置決め部材を模式的に示す平面図。FIG. 2 is a plan view schematically showing a first positioning member of the atomic oscillator according to the embodiment. 実施形態に係る原子発振器を模式的に示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an atomic oscillator according to an embodiment. 実施形態に係る原子発振器を模式的に示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an atomic oscillator according to an embodiment. 実施形態に係る原子発振器の支持部材を模式的に示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view schematically showing a support member of the atomic oscillator according to the embodiment. 実施形態に係る原子発振器を模式的に示す断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an atomic oscillator according to an embodiment. 基板に対する原子セルの位置決めについて説明するための図。The figure for demonstrating the positioning of the atomic cell with respect to a board | substrate. 実施形態の第1変形例に係る原子発振器を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the atomic oscillator which concerns on the 1st modification of embodiment. 実施形態の第2変形例に係る原子発振器を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the atomic oscillator which concerns on the 2nd modification of embodiment. 実施形態の第3変形例に係る原子発振器を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the atomic oscillator which concerns on the 3rd modification of embodiment. 実施形態に係る周波数信号生成システムを示す概略構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic block diagram which shows the frequency signal production | generation system which concerns on embodiment.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. Further, not all of the configurations described below are necessarily essential configuration requirements of the present invention.

1. 原子発振器
1.1. 概略
まず、本実施形態に係る原子発振器について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る原子発振器10を示す概略図である。
1. Atomic Oscillator 1.1. Overview First, an atomic oscillator according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing an atomic oscillator 10 according to the present embodiment.

原子発振器10は、アルカリ金属原子に対して特定の異なる波長の2つの共鳴光を同時に照射したときに当該2つの共鳴光がアルカリ金属原子に吸収されずに透過する現象が生じる量子干渉効果(CPT:Coherent Population Trapping)を利用した原子発振器である。なお、この量子干渉効果による現象は、電磁誘起透明化(EIT:Electromagnetica
lly Induced Transparency)現象とも言う。また、本発明に係る原子発振器は、光およびマイクロ波による二重共鳴現象を利用した原子発振器であってもよい。
The atomic oscillator 10 has a quantum interference effect (CPT) in which when two resonance lights of a specific different wavelength are simultaneously irradiated to an alkali metal atom, a phenomenon that the two resonance lights are transmitted without being absorbed by the alkali metal atoms An atomic oscillator using Coherent Population Trapping. The phenomenon caused by this quantum interference effect is electromagnetically induced transparency (EIT: Electromagnetica)
lly Induced Transparency) phenomenon. In addition, the atomic oscillator according to the present invention may be an atomic oscillator utilizing double resonance phenomenon by light and microwave.

原子発振器10は、図1に示すように、光源ユニット100と、光学系ユニット200と、原子セルユニット300と、光源ユニット100および原子セルユニット300を制御する制御ユニット500と、を含む。以下、まず、原子発振器10の概略について説明する。   As shown in FIG. 1, the atomic oscillator 10 includes a light source unit 100, an optical system unit 200, an atomic cell unit 300, and a control unit 500 that controls the light source unit 100 and the atomic cell unit 300. First, an outline of the atomic oscillator 10 will be described.

光源ユニット100は、ペルチェ素子110と、光源120と、温度センサー130と、を有している。   The light source unit 100 includes a Peltier element 110, a light source 120, and a temperature sensor 130.

光源120は、周波数の異なる2種の光を含んでいる直線偏光の光LLを出射する。光源120は、垂直共振器面発光レーザー(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)などの発光素子である。温度センサー130は、光源120の温度を検出する。ペルチェ素子110は、光源120の温度を第1の温度に制御する第1温度制御素子である。具体的には、ペルチェ素子110は、光源120を加温または冷却する。第1の温度は、例えば、25℃以上35℃以下である。   The light source 120 emits linearly polarized light LL including two types of light of different frequencies. The light source 120 is a light emitting element such as a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL). The temperature sensor 130 detects the temperature of the light source 120. The Peltier element 110 is a first temperature control element that controls the temperature of the light source 120 to a first temperature. Specifically, the Peltier device 110 heats or cools the light source 120. The first temperature is, for example, 25 ° C. or more and 35 ° C. or less.

光学系ユニット200は、光源ユニット100と原子セルユニット300との間に配置されている。光学系ユニット200は、減光フィルター210と、レンズ220と、1/4波長板230と、を有している。   The optical system unit 200 is disposed between the light source unit 100 and the atomic cell unit 300. The optical system unit 200 includes a neutral density filter 210, a lens 220, and a 1⁄4 wavelength plate 230.

減光フィルター210は、光源120から出射された光LLの強度を減少させる。レンズ220は、光LLの放射角度を調整する。具体的には、レンズ220は、光LLを平行光にする。1/4波長板230は、光LLに含まれる周波数の異なる2種の光を、直線偏光から円偏光に変換する。   The neutral density filter 210 reduces the intensity of the light LL emitted from the light source 120. The lens 220 adjusts the radiation angle of the light LL. Specifically, the lens 220 collimates the light LL. The quarter-wave plate 230 converts two types of light of different frequencies contained in the light LL from linearly polarized light to circularly polarized light.

原子セルユニット300は、原子セル310と、受光素子320と、ヒーターユニット380と、温度センサー322と、コイル324と、を有している。   The atomic cell unit 300 includes an atomic cell 310, a light receiving element 320, a heater unit 380, a temperature sensor 322, and a coil 324.

原子セル310は、光源120から出射される光LLを透過する。原子セル310には、アルカリ金属原子が収容されている。アルカリ金属原子は、互いに異なる2つの基底準位と励起準位とからなる3準位系のエネルギー準位を有する。原子セル310には、光源120から出射された光LLが減光フィルター210、レンズ220、および1/4波長板230を介して入射する。   The atom cell 310 transmits the light LL emitted from the light source 120. The atomic cell 310 contains an alkali metal atom. The alkali metal atom has an energy level of a three-level system composed of two ground levels and excitation levels different from each other. The light LL emitted from the light source 120 enters the atom cell 310 via the neutral density filter 210, the lens 220, and the 1⁄4 wavelength plate 230.

受光素子320は、原子セル310を通過した光LLを受光し、検出する。受光素子320は、例えば、フォトダイオードである。   The light receiving element 320 receives and detects the light LL that has passed through the atom cell 310. The light receiving element 320 is, for example, a photodiode.

ヒーターユニット380は、原子セル310を、第1の温度とは異なる第2の温度に制御する第2温度制御素子である。ヒーターユニット380は、原子セル310に収容されたアルカリ金属原子を加熱し、アルカリ金属原子の少なくとも一部をガス状態にする。第2の温度は、例えば、60℃以上70℃以下である。   The heater unit 380 is a second temperature control element that controls the atomic cell 310 to a second temperature different from the first temperature. The heater unit 380 heats the alkali metal atoms contained in the atom cell 310 to bring at least a part of the alkali metal atoms into a gas state. The second temperature is, for example, 60 ° C. or more and 70 ° C. or less.

温度センサー322は、原子セル310の温度を検出する。コイル324は、原子セル310に収容されたアルカリ金属原子に所定方向の磁場を印加し、アルカリ金属原子のエネルギー準位をゼーマン分裂させる。   The temperature sensor 322 detects the temperature of the atomic cell 310. The coil 324 applies a magnetic field in a predetermined direction to the alkali metal atoms accommodated in the atom cell 310 to cause Zeeman splitting of the energy levels of the alkali metal atoms.

アルカリ金属原子がゼーマン分裂した状態において、円偏光した共鳴光対がアルカリ金属原子に照射されると、アルカリ金属原子がゼーマン分裂した複数の準位のうち、所望の
エネルギー準位のアルカリ金属原子の数を他のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数に対して相対的に多くなる。そのため、所望のEIT現象を発現する原子数が増大し、所望のEIT信号が大きくなる。その結果、原子発振器10の発振特性を向上させることができる。
In a state in which an alkali metal atom is Zeeman-split, when a circularly polarized resonant light pair is irradiated to the alkali metal atom, the alkali metal atom is at a desired energy level among a plurality of levels in which the alkali metal atom is Zeeman-split. The number increases relatively to the number of alkali metal atoms at other energy levels. Therefore, the number of atoms that express the desired EIT phenomenon increases, and the desired EIT signal becomes large. As a result, the oscillation characteristics of the atomic oscillator 10 can be improved.

制御ユニット500は、温度制御部510と、光源制御部520と、磁場制御部530と、温度制御部540と、を有している。   The control unit 500 includes a temperature control unit 510, a light source control unit 520, a magnetic field control unit 530, and a temperature control unit 540.

温度制御部510は、温度センサー322の検出結果に基づいて、原子セル310の内部が所望の温度となるように、ヒーターユニット380への通電を制御する。磁場制御部530は、コイル324が発生する磁場が一定となるように、コイル324への通電を制御する。温度制御部540は、温度センサー130の検出結果に基づいて、光源120の温度が所望の温度となるように、ペルチェ素子110への通電を制御する。   The temperature control unit 510 controls energization of the heater unit 380 based on the detection result of the temperature sensor 322 so that the inside of the atomic cell 310 has a desired temperature. The magnetic field control unit 530 controls the energization of the coil 324 so that the magnetic field generated by the coil 324 becomes constant. The temperature control unit 540 controls energization of the Peltier element 110 based on the detection result of the temperature sensor 130 such that the temperature of the light source 120 becomes a desired temperature.

光源制御部520は、受光素子320の検出結果に基づいて、EIT現象が生じるように、光源120から出射された光LLに含まれる2種の光の周波数を制御する。ここで、これら2種の光が原子セル310に収容されたアルカリ金属原子の2つの基底準位間のエネルギー差に相当する周波数差の共鳴光対となったとき、EIT現象が生じる。光源制御部520は、2種の光の周波数の制御に同期して安定化するように発振周波数が制御される電圧制御型発振器(図示せず)を備えており、この電圧制御型発振器(VCO:Voltage Controlled Oscillator)の出力信号を原子発振器10の出力信号(クロック信号)として出力する。   The light source control unit 520 controls the frequencies of two types of light included in the light LL emitted from the light source 120 so that the EIT phenomenon occurs based on the detection result of the light receiving element 320. Here, when these two types of light become resonance light pairs of a frequency difference corresponding to the energy difference between the two ground levels of alkali metal atoms accommodated in the atomic cell 310, an EIT phenomenon occurs. The light source control unit 520 includes a voltage controlled oscillator (not shown) whose oscillation frequency is controlled to be stabilized in synchronization with the control of the frequencies of the two types of light. : Output the output signal of the voltage controlled oscillator as the output signal (clock signal) of the atomic oscillator 10.

1.2. 具体的な構成
次に、原子発振器10の具体的な構成について説明する。図2および図3は、原子発振器10を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図3のII−II線断面図である。また、図2,3、後述する図4〜図13では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
1.2. Specific Configuration Next, a specific configuration of the atomic oscillator 10 will be described. 2 and 3 are cross-sectional views schematically showing the atomic oscillator 10. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. Further, in FIGS. 2 and 3 and FIGS. 4 to 13 described later, the X axis, the Y axis, and the Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

原子発振器10は、図2および図3に示すように、光源ユニット100と、光学系ユニット200と、原子セルユニット300と、支持部材400と、制御ユニット500と、外容器600と、を含む。   The atomic oscillator 10 includes a light source unit 100, an optical system unit 200, an atomic cell unit 300, a support member 400, a control unit 500, and an outer container 600, as shown in FIGS. 2 and 3.

ここで、Z軸は、外基部610の第1外容器面612の垂線Pに沿う軸であり、+Z軸方向は、外基部610の第1外容器面612から第1外容器面612上に配置されている部品へ向かう方向である。X軸は、光源ユニット100から出射される光LLに沿う軸であり、+X軸方向は、光LLの進む方向である。Y軸は、X軸およびZ軸に垂直な軸であり、+Y軸方向は、+Z軸方向を上、+X軸方向を右に向けた時に、手前から奥へ向かう方向である。   Here, the Z-axis is an axis along the perpendicular line P of the first outer container surface 612 of the outer base 610, and the + Z-axis direction is from the first outer container surface 612 of the outer base 610 onto the first outer container surface 612. It is the direction to the part being arranged. The X axis is an axis along the light LL emitted from the light source unit 100, and the + X axis direction is the traveling direction of the light LL. The Y-axis is an axis perpendicular to the X-axis and the Z-axis, and the + Y-axis direction is a direction from the near side to the back when the + Z-axis direction is upward and the + X-axis direction is right.

光源ユニット100は、支持部材400に配置されている。光源ユニット100は、ペルチェ素子110と、光源120と、温度センサー130と、これらを収容している光源容器140と、光源容器140が配置される光源基板150と、を有している。光源基板150は、例えば、ねじ(図示せず)によって支持部材400に固定されている。ペルチェ素子110、光源120、および温度センサー130は、制御ユニット500と電気的に接続されている。   The light source unit 100 is disposed on the support member 400. The light source unit 100 has a Peltier element 110, a light source 120, a temperature sensor 130, a light source container 140 accommodating these, and a light source substrate 150 on which the light source container 140 is disposed. The light source substrate 150 is fixed to the support member 400 by, for example, a screw (not shown). The Peltier device 110, the light source 120, and the temperature sensor 130 are electrically connected to the control unit 500.

光学系ユニット200は、支持部材400に配置されている。光学系ユニット200は、減光フィルター210と、レンズ220と、1/4波長板230と、これらを保持しているホルダー240と、を有している。ホルダー240は、例えば、ねじ(図示せず)に
よって支持部材400に固定されている。
The optical system unit 200 is disposed on the support member 400. The optical system unit 200 includes a neutral density filter 210, a lens 220, a quarter wavelength plate 230, and a holder 240 for holding these. The holder 240 is fixed to the support member 400 by, for example, a screw (not shown).

ホルダー240には、貫通孔250が設けられている。貫通孔250は、光LLの通過領域である。貫通孔250には、減光フィルター210、レンズ220、および1/4波長板230が光源ユニット100側からこの順で配置されている。   The holder 240 is provided with a through hole 250. The through hole 250 is a passage area of the light LL. In the through hole 250, the light attenuating filter 210, the lens 220, and the quarter wavelength plate 230 are disposed in this order from the light source unit 100 side.

ここで、図4は、原子セルユニット300を模式的に示す断面図である。原子セルユニット300は、図2〜図4に示すように、原子セル310と、受光素子320と、第1保持部材330と、ねじ331と、第2保持部材332と、第1原子セル容器340と、第1位置決め部材350と、第2位置決め部材360と、スペーサー369と、第2原子セル容器370と、ヒーターユニット380と、ペルチェ素子390と、を含む。   Here, FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the atomic cell unit 300. As shown in FIG. As shown in FIGS. 2 to 4, the atomic cell unit 300 includes the atomic cell 310, the light receiving element 320, the first holding member 330, the screw 331, the second holding member 332, and the first atomic cell container 340. , A first positioning member 350, a second positioning member 360, a spacer 369, a second atomic cell container 370, a heater unit 380, and a Peltier element 390.

原子セル310には、気体のルビジウム、セシウム、ナトリウム等のアルカリ金属が収容されている。原子セル310には、必要に応じて、アルゴン、ネオン等の希ガス、窒素等の不活性ガスが緩衝ガスとしてアルカリ金属原子とともに収容されていてもよい。   The atomic cell 310 accommodates gaseous alkali metals such as rubidium, cesium, and sodium. In the atom cell 310, if necessary, a rare gas such as argon or neon, or an inert gas such as nitrogen may be accommodated together with an alkali metal atom as a buffer gas.

原子セル310には、光源120から出射された光LLが入射する。原子セル310の壁部の材質は、例えば、ガラスなどである。原子セル310の壁部は、原子セル310の内部空間を規定している。原子セル310の内部空間は、図4に示すように、第1空間312と、第2空間314と、連通孔316と、を含む。   The light LL emitted from the light source 120 is incident on the atom cell 310. The material of the wall portion of the atom cell 310 is, for example, glass. The walls of the atomic cell 310 define the interior space of the atomic cell 310. The internal space of the atom cell 310 includes a first space 312, a second space 314, and a communication hole 316, as shown in FIG.

第1空間312は、例えば、アルカリ金属原子の飽和蒸気圧となっている。光源120から出射された光LLは、第1空間312を通過する。第2空間314は、連通孔316を介して、第1空間312と連通している。第2空間314の体積は、例えば、第1空間312の体積よりも小さい。第2空間314は、第1空間312よりも低温となるように温度調整される。そのため、第2空間314には、例えば、液体のアルカリ金属原子が存在する。これにより、第1空間312の気体のアルカリ金属原子が原子セル310の壁部との反応等により減少した場合、液体のアルカリ金属原子が気化して、第1空間312における気体のアルカリ金属原子の濃度を一定に保つことができる。   The first space 312 is, for example, a saturated vapor pressure of an alkali metal atom. The light LL emitted from the light source 120 passes through the first space 312. The second space 314 is in communication with the first space 312 via the communication hole 316. The volume of the second space 314 is smaller than, for example, the volume of the first space 312. The temperature of the second space 314 is adjusted to be lower than that of the first space 312. Therefore, in the second space 314, for example, a liquid alkali metal atom is present. Thus, when the alkali metal atoms of the gas in the first space 312 decrease due to a reaction with the wall of the atomic cell 310 or the like, the alkali metal atoms of the liquid are vaporized and the alkali metal atoms of the gas in the first space 312 The concentration can be kept constant.

受光素子320は、原子セル310の光源120側とは反対側に配置されている。図示の例では、受光素子320は、第1原子セル容器340に配置されている。受光素子320は、制御ユニット500と電気的に接続されている。   The light receiving element 320 is disposed on the side opposite to the light source 120 side of the atom cell 310. In the illustrated example, the light receiving element 320 is disposed in the first atom cell container 340. The light receiving element 320 is electrically connected to the control unit 500.

第1保持部材330は、第1原子セル容器340内において、原子セル310を保持している。第1保持部材330は、例えば、第1空間312を規定する原子セル310の壁部に接している。図示の例では、第1保持部材330は、ねじ331によって、第1原子セル容器340の壁部345に固定されている。壁部345は、第1原子セル容器340の−Y軸方向側の壁部である。第1保持部材330は、ヒーターユニット380の熱を、第1空間312のアルカリ金属原子に伝える。第1保持部材330の材質は、例えば、アルミニウム、チタン、銅、真鍮などである。   The first holding member 330 holds the atom cell 310 in the first atom cell container 340. The first holding member 330 is, for example, in contact with the wall of the atomic cell 310 that defines the first space 312. In the illustrated example, the first holding member 330 is fixed to the wall 345 of the first atomic cell container 340 by a screw 331. The wall 345 is a wall on the −Y axis direction side of the first atom cell container 340. The first holding member 330 transfers the heat of the heater unit 380 to the alkali metal atoms in the first space 312. The material of the first holding member 330 is, for example, aluminum, titanium, copper, brass or the like.

第1保持部材330には、貫通孔330a,330bが設けられている。光源120から出射された光LLは、貫通孔330aを通って原子セル310に入射する。原子セル310を透過した光LLは、貫通孔330bを通って受光素子320に入射する。貫通孔330a,330bには、光LLを透過させる部材が配置されていてもよい。   The first holding member 330 is provided with through holes 330 a and 330 b. The light LL emitted from the light source 120 enters the atomic cell 310 through the through holes 330 a. The light LL transmitted through the atom cell 310 enters the light receiving element 320 through the through hole 330 b. A member that transmits the light LL may be disposed in the through holes 330a and 330b.

第2保持部材332は、第1原子セル容器340内において、原子セル310を保持している。第2保持部材332は、例えば、第2空間314を規定する原子セル310の壁部に接している。図示の例では、第2保持部材332は、ねじ333によって、第1原子
セル容器340に固定されている。第2保持部材332は、例えば、第2空間314の熱を、ペルチェ素子390に伝える。第2保持部材332は、第1保持部材330と離間して設けられている。これにより、第2空間314を、第1空間312よりも低温となるように調整することができる。第2保持部材332の材質は、例えば、第1保持部材330と同じである。
The second holding member 332 holds the atom cell 310 in the first atom cell container 340. The second holding member 332 is, for example, in contact with the wall of the atomic cell 310 that defines the second space 314. In the illustrated example, the second holding member 332 is fixed to the first atom cell container 340 by a screw 333. The second holding member 332 transfers the heat of the second space 314 to the Peltier element 390, for example. The second holding member 332 is provided separately from the first holding member 330. Thus, the second space 314 can be adjusted to a temperature lower than that of the first space 312. The material of the second holding member 332 is, for example, the same as that of the first holding member 330.

第1原子セル容器340は、原子セル310、受光素子320、および保持部材330,332を収容している。第1原子セル容器340は、位置決め部材350,360を介して、支持部材400に配置されている。第1原子セル容器340は、略直方体の外形形状を有している。第1原子セル容器340の材質は、例えば、鉄、ケイ素鉄、パーマロイ、スーパーマロイ、センダスト、銅などである。このような材料を用いることにより、第1原子セル容器340は、外部からの磁気を遮蔽することができる。これにより、外部からの磁気によって原子セル310内のアルカリ金属原子が影響を受けることを抑え、原子発振器10の発振特性の安定化を図ることができる。ここで、「抑える」とは、ある事象が生じないように、当該事象が生じることを完全にとめる場合と、ある事象が生じても当該事象の程度を少なくする場合と、を含む。   The first atom cell container 340 accommodates the atom cell 310, the light receiving element 320, and the holding members 330 and 332. The first atom cell container 340 is disposed on the support member 400 via the positioning members 350 and 360. The first atom cell container 340 has a substantially rectangular parallelepiped outer shape. The material of the first atom cell container 340 is, for example, iron, silicon iron, permalloy, supermalloy, sendust, copper or the like. By using such a material, the first atom cell container 340 can shield the magnetism from the outside. Thereby, the influence of the alkali metal atoms in the atom cell 310 by the magnetism from the outside can be suppressed, and the oscillation characteristics of the atomic oscillator 10 can be stabilized. Here, "to suppress" includes the case of completely stopping the occurrence of the event and the case of reducing the degree of the event even if the event occurs so that the event does not occur.

第1原子セル容器340には、貫通孔340aが設けられている。光源120から出射された光LLは、貫通孔340aを通って原子セル310に入射する。貫通孔340aには、光LLを透過させる部材が設けられていてもよい。   The first atom cell container 340 is provided with a through hole 340 a. The light LL emitted from the light source 120 enters the atomic cell 310 through the through holes 340 a. The through hole 340a may be provided with a member that transmits the light LL.

第1原子セル容器340の外表面34fには、伝熱部材346が配置されている。図示の例では、伝熱部材346は、板状であり、ねじ331によって、第1原子セル容器340の壁部345に固定されている。伝熱部材346は、第1原子セル容器340とヒーターユニット380との間に配置されている。伝熱部材346の熱伝導率は、例えば、第1原子セル容器340の熱伝導率およびヒーターユニット380のヒーター蓋部383の熱伝導率よりも高い。伝熱部材346は、ヒーターユニット380の熱を第1空間312のアルカリ金属原子に伝える。伝熱部材346の材質は、例えば、アルミニウム、銅などである。   A heat transfer member 346 is disposed on the outer surface 34 f of the first atom cell container 340. In the illustrated example, the heat transfer member 346 is plate-like, and is fixed to the wall 345 of the first atomic cell container 340 by a screw 331. The heat transfer member 346 is disposed between the first atom cell container 340 and the heater unit 380. The thermal conductivity of the heat transfer member 346 is higher than, for example, the thermal conductivity of the first atomic cell container 340 and the thermal conductivity of the heater cover 383 of the heater unit 380. The heat transfer member 346 transfers the heat of the heater unit 380 to the alkali metal atoms in the first space 312. The material of the heat transfer member 346 is, for example, aluminum, copper or the like.

ここで、図5および図6は、本実施形態に係る原子発振器10を模式的に示す斜視図である。図7は、第1位置決め部材350を模式的に示す斜視図である。図8は、第1位置決め部材350を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図5および図6では、原子発振器10の部材を、一部省略して図示している。   Here, FIG. 5 and FIG. 6 are perspective views schematically showing the atomic oscillator 10 according to the present embodiment. FIG. 7 is a perspective view schematically showing the first positioning member 350. As shown in FIG. FIG. 8 is a plan view schematically showing the first positioning member 350. As shown in FIG. For convenience, in FIG. 5 and FIG. 6, the members of the atomic oscillator 10 are partially illustrated.

第1位置決め部材350および第2位置決め部材360は、図5および図6に示すように、支持部材400に配置されている。第1位置決め部材350および第2位置決め部材360は、支持部材400に固定されている。支持部材400と第1位置決め部材350とは、別体である。すなわち、支持部材400と第1位置決め部材350とは、一体的に形成されておらず、別の部材である。同様に、支持部材400と第2位置決め部材360とは、別体である。支持部材400の材質と、位置決め部材350,360の材質とは、異なる。なお、図示はしないが、支持部材400、第1位置決め部材350、および第2位置決め部材360とは、一体的に形成されていてもよい。すなわち、支持部材400に、位置決め部材350,360と同様の形状の構造体が形成されていてもよい。また、少なくとも第1位置決め部材350があれば、位置精度よく原子セル310を支持部材400に配置することができる。すなわち、第2位置決め部材360はなくてもよい。第2位置決め部材360があれば、第1位置決め部材350および第2位置決め部材360の2つの位置決め部材によって、原子セル310の位置を決めることができる。   The first positioning member 350 and the second positioning member 360 are disposed on the support member 400 as shown in FIGS. 5 and 6. The first positioning member 350 and the second positioning member 360 are fixed to the support member 400. The support member 400 and the first positioning member 350 are separate bodies. That is, the support member 400 and the first positioning member 350 are not integrally formed, but are separate members. Similarly, the support member 400 and the second positioning member 360 are separate bodies. The material of the support member 400 and the material of the positioning members 350 and 360 are different. Although not shown, the support member 400, the first positioning member 350, and the second positioning member 360 may be integrally formed. That is, a structure having the same shape as the positioning members 350 and 360 may be formed on the support member 400. In addition, if there is at least the first positioning member 350, the atom cell 310 can be disposed on the support member 400 with high positional accuracy. That is, the second positioning member 360 may be omitted. With the second positioning member 360, the two positioning members of the first positioning member 350 and the second positioning member 360 can determine the position of the atomic cell 310.

第1位置決め部材350は、第1原子セル容器340の+Y軸方向側に配置されている
。第2位置決め部材360は、第1原子セル容器340の−Y軸方向側に配置されている。Z軸方向(垂線P方向)からみて、第1原子セル容器340は、第1位置決め部材350と第2位置決め部材360との間に配置されている。
The first positioning member 350 is disposed on the + Y axial direction side of the first atom cell container 340. The second positioning member 360 is disposed on the −Y axis direction side of the first atom cell container 340. The first atom cell container 340 is disposed between the first positioning member 350 and the second positioning member 360 as viewed in the Z-axis direction (the direction of the perpendicular P).

第1位置決め部材350および第2位置決め部材360は、支持部材400に対して、第1原子セル容器340の位置決めをする部材である。第1原子セル容器340を支持部材400に配置する方法としては、まず、図5に示すように、位置決め部材350,360を支持部材400に固定する。次に、図6に示すように、位置決め部材350,360を用いて支持部材400に第1原子セル容器340を配置して、支持部材400に対する第1原子セル容器340の位置が決められる。   The first positioning member 350 and the second positioning member 360 are members for positioning the first atomic cell container 340 with respect to the support member 400. As a method of arranging the first atom cell container 340 on the support member 400, first, the positioning members 350 and 360 are fixed to the support member 400 as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 6, the first atom cell container 340 is disposed on the support member 400 using the positioning members 350 and 360, and the position of the first atom cell container 340 with respect to the support member 400 is determined.

第1原子セル容器340は、第1角部341と第2角部342とを有している。図6に示す例では、第1角部341は、第1原子セル容器340の−X軸方向側かつ+Y軸方向側の角部である。外表面34a、外表面34b、外表面34cは互いに交わり、これらの3つの面が交わる部分が、第1角部341である。第2角部342は、第1原子セル容器340の+X軸方向側かつ−Y軸方向側の角部である。外表面34a、外表面34c、外表面34dは互いに交わり、これらの3つの面が交わる部分が、第2角部342である。第1位置決め部材350は、第1角部341に接する第1ブロック352と、第2角部342に接する第2ブロック354と、第1ブロック352と第2ブロック354とを接続する接続部356と、を有している。   The first atom cell container 340 has a first corner 341 and a second corner 342. In the example shown in FIG. 6, the first corner 341 is a corner on the −X axis direction side and the + Y axis direction side of the first atom cell container 340. The outer surface 34 a, the outer surface 34 b, and the outer surface 34 c intersect each other, and the portion where these three surfaces intersect is the first corner portion 341. The second corner 342 is a corner on the + X axis direction side and the −Y axis direction side of the first atom cell container 340. The outer surface 34 a, the outer surface 34 c, and the outer surface 34 d intersect each other, and the portion where these three surfaces intersect is the second corner 342. The first positioning member 350 includes a first block 352 in contact with the first corner 341, a second block 354 in contact with the second corner 342, and a connection portion 356 connecting the first block 352 and the second block 354. ,have.

なお、「第1原子セル容器340の角部」は、第1原子セル容器340の3つの外表面がなす頂点と、該頂点近傍の部分と、を含む。「頂点近傍の部分」とは、例えば、3つの外表面がなす頂点から、外表面の各辺の長さの4分の1以内の部分である。   The “corner of the first atom cell container 340” includes an apex formed by the three outer surfaces of the first atom cell container 340 and a portion near the apex. The “portion near the vertex” is, for example, a portion within one-quarter of the length of each side of the outer surface from the vertex formed by the three outer surfaces.

第1ブロック352は、ブロック基部352aと、ブロック基部352aから+Z軸方向に延出するブロック壁部352b,352cと、を有している。ブロック基部352aは、第1原子セル容器340の−Z軸方向側の外表面34aに接している。ブロック壁部352bは、第1原子セル容器340の−X軸方向側の外表面34bに接している。ブロック壁部352cは、第1原子セル容器340の+Y軸方向側の外表面34cに接している。外表面34a、外表面34b、外表面34cは互いに交わり、これらの3つの面が交わる部分が、第1角部341である。このように、第1ブロック352は、第1原子セル容器340の3つの外表面34a,34b,34cに接している。そのため、第1位置決め部材350は、第1原子セル容器340のX軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向の位置決めを行うことができる。   The first block 352 has a block base 352 a and block wall portions 352 b and 352 c extending in the + Z-axis direction from the block base 352 a. The block base 352 a is in contact with the outer surface 34 a on the −Z axial direction side of the first atom cell container 340. The block wall portion 352 b is in contact with the outer surface 34 b on the −X axial direction side of the first atom cell container 340. The block wall portion 352 c is in contact with the outer surface 34 c on the + Y axis direction side of the first atom cell container 340. The outer surface 34 a, the outer surface 34 b, and the outer surface 34 c intersect each other, and the portion where these three surfaces intersect is the first corner portion 341. Thus, the first block 352 is in contact with the three outer surfaces 34a, 34b, 34c of the first atomic cell container 340. Therefore, the first positioning member 350 can position the first atomic cell container 340 in the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction.

第2ブロック354は、ブロック基部354aと、ブロック基部354aから+Z軸方向に延出するブロック壁部354b,354cと、を有している。ブロック基部354aは、第1原子セル容器340の−Z軸方向側の外表面34aに接している。ブロック壁部354cは、第1原子セル容器340の+Y軸方向側の外表面34cに接している。ブロック壁部354bは、第1原子セル容器340の+X軸方向側の外表面34dに対向している。ブロック壁部354bは、外表面34dに接していてもよいし、外表面34dと離間していてもよい。   The second block 354 includes a block base 354a and block wall portions 354b and 354c extending from the block base 354a in the + Z-axis direction. The block base 354 a is in contact with the outer surface 34 a on the −Z axial direction side of the first atom cell container 340. The block wall portion 354 c is in contact with the outer surface 34 c on the + Y axis direction side of the first atom cell container 340. The block wall portion 354 b faces the outer surface 34 d on the + X axis direction side of the first atom cell container 340. The block wall 354b may be in contact with the outer surface 34d or may be separated from the outer surface 34d.

第1ブロック352は、第1固定構造部357で支持部材400に固定されている。第1固定構造部357は、例えば、図5に示すように、第1ブロック352に設けられたねじ穴357aと、ねじ穴357aに挿入されたねじ357bと、によって構成されている。図示の例では、第1固定構造部357は、2つ設けられている。   The first block 352 is fixed to the support member 400 by the first fixing structure 357. For example, as shown in FIG. 5, the first fixing structure portion 357 is configured of a screw hole 357a provided in the first block 352 and a screw 357b inserted in the screw hole 357a. In the illustrated example, two first fixing structures 357 are provided.

第2ブロック354は、第2固定構造部358で支持部材400に固定されている。第
2固定構造部358は、例えば、第2ブロック354に設けられたねじ穴358aと、ねじ穴358aに挿入されたねじ358bと、によって構成されている。図示の例では、第2固定構造部358は、2つ設けられている。
The second block 354 is fixed to the support member 400 by a second fixing structure 358. The second fixing structure 358 is constituted by, for example, a screw hole 358a provided in the second block 354 and a screw 358b inserted in the screw hole 358a. In the illustrated example, two second fixing structures 358 are provided.

第1固定構造部357と第2固定構造部358との間の距離L1は、第1角部341と第2角部342との間の距離L2よりも大きい。これにより、仮に、第1固定構造部357に対して第2固定構造部358の位置が所望の位置よりずれたとしても、距離L1が距離L2以下の場合に比べて、第1位置決め部材350の角度ずれを小さくすることができる。例えば、第2固定構造部358の位置がY軸方向にずれたとしても、第1位置決め部材350のZ軸と平行な軸を回転軸とした回転角度を小さくすることができる。距離L1は、第1固定構造部357と第2固定構造部358との間の最短距離である。距離L2は、第1角部341の頂点と第2角部342の頂点との間の距離である。   The distance L1 between the first fixed structure 357 and the second fixed structure 358 is larger than the distance L2 between the first corner 341 and the second corner 342. Thereby, even if the position of the second fixed structure portion 358 is deviated from the desired position with respect to the first fixed structure portion 357, compared with the case where the distance L1 is equal to or less than the distance L2, The angular deviation can be reduced. For example, even if the position of the second fixed structure portion 358 is shifted in the Y-axis direction, the rotation angle with the axis parallel to the Z-axis of the first positioning member 350 as the rotation axis can be reduced. The distance L1 is the shortest distance between the first fixed structure 357 and the second fixed structure 358. The distance L2 is a distance between the vertex of the first corner 341 and the vertex of the second corner 342.

接続部356は、例えば、ブロック基部352aと、ブロック基部354aと、を接続する梁状の部材である。図示の例では、接続部356は、X軸方向に延出している。接続部356は、第1原子セル容器340に接していてもよいし、第1原子セル容器340と離間してもよい。   The connection portion 356 is, for example, a beam-like member that connects the block base 352 a and the block base 354 a. In the illustrated example, the connection portion 356 extends in the X-axis direction. The connection portion 356 may be in contact with the first atom cell container 340 or may be separated from the first atom cell container 340.

第2位置決め部材360は、図5および図6に示すように、例えば、第1位置決め部材350と同じ形状を有している。第1原子セル容器340は、第3角部343と第4角部344とを有している。図示の例では、第3角部343は、第1原子セル容器340の−X軸方向側かつ−Y軸方向側の角部である。第4角部344は、第1原子セル容器340の+X軸方向側かつ−Y軸方向側の角部である。第2位置決め部材360は、第3角部343に接する第3ブロック362と、第4角部344に接する第4ブロック364と、第3ブロック362と第4ブロック364とを接続する接続部366と、を有している。   The second positioning member 360, for example, has the same shape as the first positioning member 350, as shown in FIGS. The first atom cell container 340 has a third corner 343 and a fourth corner 344. In the illustrated example, the third corner 343 is a corner on the −X axis direction side and the −Y axis direction side of the first atom cell container 340. The fourth corner 344 is a corner on the + X axis direction side and the −Y axis direction side of the first atom cell container 340. The second positioning member 360 includes a third block 362 in contact with the third corner 343, a fourth block 364 in contact with the fourth corner 344, and a connecting portion 366 connecting the third block 362 and the fourth block 364. ,have.

第3ブロック362は、ブロック基部362aと、ブロック壁部362b,362cと、を有している。第4ブロック364は、ブロック基部364aと、ブロック壁部364b,364cと、を有している。ブロック壁部362bは、第1原子セル容器340の−X軸方向側の外表面34bに接している。ブロック壁部362c,364b,364cは、第1原子セル容器340に接していてもよいし、第1原子セル容器340と離間していてもよい。   The third block 362 includes a block base 362 a and block wall portions 362 b and 362 c. The fourth block 364 has a block base 364a and block wall portions 364b and 364c. The block wall 362 b is in contact with the outer surface 34 b on the −X axis direction side of the first atom cell container 340. The block wall portions 362 c, 364 b and 364 c may be in contact with the first atom cell container 340 or may be separated from the first atom cell container 340.

第3ブロック362は、第1ブロック352と同様に、第3固定構造部367で支持部材400に固定されている。第4ブロック364は、第2ブロック354と同様に、第4固定構造部368で支持部材400に固定されている。   Similar to the first block 352, the third block 362 is fixed to the support member 400 by the third fixing structure 367. Similar to the second block 354, the fourth block 364 is fixed to the support member 400 by the fourth fixing structure 368.

第1位置決め部材350および第2位置決め部材360は、断熱部材である。位置決め部材350,360の材質は、例えば、エンジニアリングプラスチック、液晶ポリマー(LCP:Liquid Crystal Polymer)樹脂、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)などの樹脂である。位置決め部材350,360が断熱部材であることにより、例えば、ヒーターユニット380の熱が支持部材400を介して光源120に伝わることを抑えることができる。ヒーターユニット380の熱が支持部材400を介して光源120に伝わると、光源120を所望の温度にすることができない場合がある。なお、「断熱部材」とは、熱伝導率が1W/mK以下の部材である。   The first positioning member 350 and the second positioning member 360 are heat insulating members. The material of the positioning members 350 and 360 is, for example, a resin such as an engineering plastic, a liquid crystal polymer (LCP) resin, a polyetheretherketone (PEEK), or the like. Since the positioning members 350 and 360 are heat insulating members, for example, the heat of the heater unit 380 can be suppressed from being transmitted to the light source 120 via the support member 400. When the heat of the heater unit 380 is transferred to the light source 120 through the support member 400, the light source 120 may not be able to reach a desired temperature. In addition, a "heat insulation member" is a member whose thermal conductivity is 1 W / mK or less.

スペーサー369は、第1原子セル容器340の+Z軸方向側の外表面34eと、第2原子セル容器370と、の間に配置されている。スペーサー369は、図6に示すように、例えば4つ配置されている。図示の例では、スペーサー369は、第1原子セル容器340の+Z軸方向側の角部に配置されている。スペーサー369の材質は、例えば、位置
決め部材350,360と同じである。
The spacer 369 is disposed between the outer surface 34 e on the + Z axial direction side of the first atom cell container 340 and the second atom cell container 370. For example, four spacers 369 are disposed as shown in FIG. In the illustrated example, the spacer 369 is disposed at the corner on the + Z axial direction side of the first atom cell container 340. The material of the spacer 369 is, for example, the same as the positioning members 350 and 360.

ここで、図9は、本実施形態に係る原子発振器10を模式的に示す斜視図である。図10は、図9に示す領域αの拡大図である。なお、便宜上、図9では、原子発振器10の部材を、一部省略して図示している。   Here, FIG. 9 is a perspective view schematically showing an atomic oscillator 10 according to the present embodiment. FIG. 10 is an enlarged view of the region α shown in FIG. For the sake of convenience, in FIG. 9, the members of the atomic oscillator 10 are partially omitted.

第2原子セル容器370は、第1原子セル容器340を収容している。図9に示す例では、第2原子セル容器370は、貫通孔が設けられた板状の固定部372を有し、固定部372は、ねじ374によって支持部材400に固定されている。第2原子セル容器370は、例えば、図4に示すように、3つの固定部372を有し、3箇所で支持部材400に固定されている。   The second atomic cell container 370 contains the first atomic cell container 340. In the example shown in FIG. 9, the second atom cell container 370 has a plate-like fixing portion 372 provided with a through hole, and the fixing portion 372 is fixed to the support member 400 by a screw 374. For example, as shown in FIG. 4, the second atom cell container 370 has three fixing portions 372 and is fixed to the support member 400 at three points.

第2原子セル容器370の材質は、例えば、第1原子セル容器340と同じである。第2原子セル容器370は、外部からの磁気を遮蔽することができる。第1原子セル容器340と第2原子セル容器370との間には、スペーサー369が配置されているため、第1原子セル容器340および第2原子セル容器370は、互いに離間している。そのため、例えば第1原子セル容器340と第2原子セル容器370とが接触している場合に比べて、外部からの磁気を遮蔽する機能を高めることができる。原子セル容器340,370は、切削加工で形成されてもよい。   The material of the second atom cell container 370 is, for example, the same as that of the first atom cell container 340. The second atom cell container 370 can shield the magnetism from the outside. Since the spacer 369 is disposed between the first atom cell container 340 and the second atom cell container 370, the first atom cell container 340 and the second atom cell container 370 are separated from each other. Therefore, compared with, for example, the case where the first atom cell container 340 and the second atom cell container 370 are in contact with each other, the function of shielding the magnetism from the outside can be enhanced. The atomic cell containers 340 and 370 may be formed by cutting.

第2原子セル容器370には、貫通孔370aが設けられている。光源120から出射された光LLは、貫通孔370aを通って原子セル310に入射する。貫通孔370aには、光LLを透過させる部材が設けられていてもよい。   The second atomic cell container 370 is provided with a through hole 370 a. The light LL emitted from the light source 120 enters the atomic cell 310 through the through hole 370a. The through hole 370a may be provided with a member that transmits the light LL.

第2原子セル容器370の固定部372と支持部材400との間には、図10に示すように、断熱部材376が配置されている。これにより、ヒーターユニット380の熱が、第2原子セル容器370および支持部材400を介して、光源120に伝わることを抑えることができる。断熱部材376は、ワッシャーであってもよい。断熱部材376の材質は、例えば、位置決め部材350,360と同じである。   As shown in FIG. 10, a heat insulating member 376 is disposed between the fixed portion 372 of the second atomic cell container 370 and the support member 400. Thereby, the heat of the heater unit 380 can be suppressed from being transmitted to the light source 120 via the second atom cell container 370 and the support member 400. The heat insulating member 376 may be a washer. The material of the heat insulating member 376 is, for example, the same as the positioning members 350 and 360.

ヒーターユニット380は、図4に示すように、伝熱部材346に接している。ヒーターユニット380は、加熱素子381と、ヒーター容器382と、断熱部材386,387と、断熱部材385と、ねじ389と、を有している。   The heater unit 380 is in contact with the heat transfer member 346 as shown in FIG. The heater unit 380 includes a heating element 381, a heater container 382, heat insulating members 386 and 387, a heat insulating member 385, and a screw 389.

加熱素子381は、第1原子セル容器340の外表面34fに配置されている。図示の例では、加熱素子381は、ヒーター容器382に収容された状態で、第1原子セル容器340の外表面34fに配置されている。加熱素子381は、原子セル310を加熱する素子である。具体的には、加熱素子381は、第1空間312のアルカリ金属原子を加熱するための素子である。加熱素子381は、例えば、発熱抵抗体などである。なお、加熱素子381として、発熱抵抗体に代えて、あるいは発熱抵抗体と併用して、ペルチェ素子を用いてもよい。   The heating element 381 is disposed on the outer surface 34 f of the first atom cell container 340. In the illustrated example, the heating element 381 is disposed on the outer surface 34 f of the first atomic cell container 340 while being accommodated in the heater container 382. The heating element 381 is an element that heats the atom cell 310. Specifically, the heating element 381 is an element for heating the alkali metal atom of the first space 312. The heating element 381 is, for example, a heating resistor. As the heating element 381, a Peltier element may be used instead of the heating resistor or in combination with the heating resistor.

ヒーター容器382は、加熱素子381を収容している。ヒーター容器382は、ヒーター蓋部383と、ヒーター基部384と、を有している。   The heater container 382 contains a heating element 381. The heater container 382 has a heater cover 383 and a heater base 384.

ヒーター蓋部383は、加熱素子381と原子セル310との間に配置されている。図示の例では、ヒーター蓋部383は、加熱素子381が配置された凹部を有する形状である。ヒーター蓋部383は、伝熱部材346に接している。ヒーター蓋部383は、ねじ389を通す貫通孔383aを有している。ヒーター基部384は、加熱素子381の原子セル310側とは反対側に配置されている。図示の例では、ヒーター基部384は、板
状である。ヒーター基部384は、ねじ389を通す貫通孔384aを有している。
The heater cover 383 is disposed between the heating element 381 and the atom cell 310. In the illustrated example, the heater cover 383 has a shape having a recess in which the heating element 381 is disposed. The heater cover 383 is in contact with the heat transfer member 346. The heater cover 383 has a through hole 383 a through which a screw 389 passes. The heater base 384 is disposed on the opposite side of the heating element 381 to the atomic cell 310 side. In the illustrated example, the heater base 384 is plate-shaped. The heater base 384 has a through hole 384 a through which a screw 389 passes.

ヒーター蓋部383およびヒーター基部384は、ねじ389によって互い固定されている。さらに、ヒーター容器382は、ねじ389によって第2原子セル容器370に固定されている。図示の例では、ねじ389は2つ配置され、2つのねじ389の間に、加熱素子381が配置されている。ねじ389の材質は、例えば、金属である。   The heater cover 383 and the heater base 384 are fixed to each other by a screw 389. Further, the heater container 382 is fixed to the second atomic cell container 370 by a screw 389. In the illustrated example, two screws 389 are disposed, and the heating element 381 is disposed between the two screws 389. The material of the screw 389 is, for example, metal.

ヒーター蓋部383およびヒーター基部384の材質は、例えば、第1原子セル容器340と同じである。そのため、ヒーター蓋部383およびヒーター基部384は、磁気を遮蔽する。したがって、ヒーター容器382は、加熱素子381から生じる磁気を遮蔽することができる。これにより、加熱素子381からの磁気によって原子セル310内のアルカリ金属原子の影響を受けることを抑え、原子発振器10の発振特性の安定化を図ることができる。なお、ヒーター容器382は、加熱素子381から生じる磁気を遮蔽することができる限り、いくつの部材から構成されていてもよく、形状も任意である。   The material of the heater cover 383 and the heater base 384 is, for example, the same as that of the first atom cell container 340. Therefore, the heater cover 383 and the heater base 384 shield the magnetism. Thus, the heater container 382 can shield the magnetism generated from the heating element 381. Thereby, the influence of the alkali metal atoms in the atom cell 310 due to the magnetism from the heating element 381 can be suppressed, and the oscillation characteristic of the atomic oscillator 10 can be stabilized. The heater container 382 may be composed of any number of members as long as it can shield the magnetism generated from the heating element 381, and the shape is also arbitrary.

断熱部材385,386,387は、ヒーター蓋部383とヒーター基部384との間であって、かつ、加熱素子381よりもヒーター基部384側に配置されている。このように、原子発振器10では、ヒーター蓋部383とヒーター基部384との間であって、かつ、加熱素子381よりもヒーター基部384側には、複数の断熱部材385,386,387が配置されている。断熱部材385,386,387は、少なくとも一部が加熱素子381よりもヒーター基部384側に位置していればよい。断熱部材385,386,387の材質は、例えば、位置決め部材350,360と同じである。   The heat insulating members 385, 386 and 387 are disposed between the heater cover 383 and the heater base 384 and closer to the heater base 384 than the heating element 381. Thus, in the atomic oscillator 10, a plurality of heat insulating members 385, 386, 387 are disposed between the heater cover 383 and the heater base 384 and closer to the heater base 384 than the heating element 381. ing. At least a portion of the heat insulating members 385, 386, 387 may be positioned closer to the heater base 384 than the heating element 381. The material of the heat insulating members 385, 386, 387 is, for example, the same as that of the positioning members 350, 360.

断熱部材385は、ヒーター容器382に収容されている。断熱部材385は、加熱素子381の原子セル310側とは反対側に配置されている。すなわち、断熱部材385は、加熱素子381とヒーター基部384との間に配置されている。これにより、加熱素子381の熱が原子セル310側とは反対側に伝わることを抑えることができ、加熱素子381の熱を、効率よく原子セル310に伝えることができる。なお、断熱部材385は、ヒーター基部384に、断熱性の材料を成膜して形成された膜であってもよい。   The heat insulating member 385 is accommodated in the heater container 382. The heat insulating member 385 is disposed on the opposite side of the heating element 381 to the atomic cell 310 side. That is, the heat insulating member 385 is disposed between the heating element 381 and the heater base 384. Thus, the heat of the heating element 381 can be prevented from being transferred to the side opposite to the atom cell 310 side, and the heat of the heating element 381 can be efficiently transferred to the atom cell 310. The heat insulating member 385 may be a film formed by forming a film of a heat insulating material on the heater base 384.

断熱部材386,387は、ヒーター蓋部383の貫通孔383aに配置されている。断熱部材386,387は、例えば、ヒーター蓋部383とヒーター基部384との間に配置されている第1部分388aと、ヒーター蓋部383の貫通孔383aに配置されている第2部分388bと、を有しているワッシャーである。なお、本実施形態の断熱部材386,387は、第1部分388aと第2部分388bとが一体となった構造であるが、第1部分388aと第2部分388bとは、別体であってもよい。すなわち、第1部分388aに相当する部材と、第2部分388bに相当する部材とを組み合わせてもよい。また、第1部分388aおよび第2部分388bの一方に相当する部材のみを用いてもよい。   The heat insulating members 386 and 387 are disposed in the through holes 383 a of the heater cover 383. The heat insulating members 386 and 387 have, for example, a first portion 388a disposed between the heater cover 383 and the heater base 384, and a second portion 388b disposed in the through hole 383a of the heater cover 383; Is a washer that has The heat insulating members 386 and 387 according to the present embodiment have a structure in which the first portion 388a and the second portion 388b are integrated, but the first portion 388a and the second portion 388b are separate. It is also good. That is, a member corresponding to the first portion 388a and a member corresponding to the second portion 388b may be combined. Alternatively, only a member corresponding to one of the first portion 388a and the second portion 388b may be used.

第1部分388aの直径は、ヒーター蓋部383の貫通孔383aの直径よりも大きく、第2部分388bの直径は、ヒーター蓋部383の貫通孔383aの直径よりも小さい。すなわち、第1部分388aの直径は、第2部分388bよりも大きい。また、第1部分388aの直径は、ヒーター基部384の貫通孔384aよりも大きい。断熱部材386,387には、ねじ389を通す貫通孔が設けられている。第2部分388bの長さは、ヒーター蓋部383の厚さ、言い換えるとヒーター蓋部383の貫通孔383aの長さ、よりも大きい。また、第2原子セル容器370の、ねじ389を通すねじ穴の直径は、断熱部材386,387の第2部分388bの直径よりも小さい。   The diameter of the first portion 388 a is larger than the diameter of the through hole 383 a of the heater cover 383, and the diameter of the second portion 388 b is smaller than the diameter of the through hole 383 a of the heater cover 383. That is, the diameter of the first portion 388a is larger than that of the second portion 388b. Also, the diameter of the first portion 388 a is larger than the through hole 384 a of the heater base 384. The heat insulating members 386 and 387 are provided with through holes through which the screws 389 pass. The length of the second portion 388 b is larger than the thickness of the heater cover 383, in other words, the length of the through hole 383 a of the heater cover 383. Further, the diameter of the screw hole of the second atomic cell container 370 through the screw 389 is smaller than the diameter of the second portion 388 b of the heat insulating member 386, 387.

断熱部材386,387は、ヒーター蓋部383とヒーター基部384とが接触する可
能性を、第1部分388aによって低減できるので、ヒーター蓋部383に伝わった加熱素子381の熱がヒーター基部384に伝わることを抑えることができる。また、ヒーター蓋部383に伝わった加熱素子381の熱がねじ389を介してヒーター基部384に伝わることを、第2部分388bによって抑えることができる。これにより、加熱素子381の熱を、効率よく原子セル310に伝えることができる。さらに、第2部分388bの長さがヒーター蓋部383の厚さよりも大きいので、ヒーター蓋部383と第2原子セル容器370とが接触することを防止できる。また、第2原子セル容器370の、ねじ389を通すねじ穴の直径は、断熱部材386,387の第2部分388bの直径よりも小さいので、これによっても、ヒーター蓋部383と第2原子セル容器370とが接触することを防止できる。したがって、ヒーター蓋部383に伝わった加熱素子381の熱が第2原子セル容器370に伝わることを抑えることができる。図示の例では、断熱部材386は、断熱部材385の+X軸方向側に配置され、断熱部材387は、断熱部材385の−X軸方向側に配置されている。
The heat insulation members 386 and 387 can reduce the possibility of the heater cover 383 and the heater base 384 coming into contact with each other by the first portion 388a, so the heat of the heating element 381 transmitted to the heater cover 383 is transmitted to the heater base 384. You can suppress that. In addition, the heat of the heating element 381 transferred to the heater cover 383 can be suppressed by the second portion 388 b from being transferred to the heater base 384 via the screw 389. Thereby, the heat of the heating element 381 can be efficiently transmitted to the atom cell 310. Furthermore, since the length of the second portion 388 b is larger than the thickness of the heater cover 383, the contact between the heater cover 383 and the second atomic cell container 370 can be prevented. Further, the diameter of the screw hole of the second atomic cell container 370 through the screw 389 is smaller than the diameter of the second portion 388 b of the heat insulating member 386, 387. Contact with the container 370 can be prevented. Therefore, the heat of the heating element 381 transmitted to the heater cover 383 can be suppressed from being transmitted to the second atom cell container 370. In the illustrated example, the heat insulating member 386 is disposed on the + X axial direction side of the heat insulating member 385, and the heat insulating member 387 is disposed on the −X axial direction side of the heat insulating member 385.

なお、温度センサー322は、図2〜図4では図示していないが、原子セル310の近傍に配置されている。温度センサー322は、例えば、サーミスタ、熱電対等の各種温度センサーである。   Although the temperature sensor 322 is not illustrated in FIGS. 2 to 4, it is disposed in the vicinity of the atom cell 310. The temperature sensor 322 is, for example, various temperature sensors such as a thermistor and a thermocouple.

また、コイル324は、図2〜図4では図示していないが、例えば、原子セル310の外周に沿って巻回して設けられているソレノイド型のコイル、または、原子セル310を介して対向するヘルムホルツ型の1対のコイルである。コイル324は、原子セル310の内部に光LLの光軸Aに沿った方向の磁場を発生させる。これにより、原子セル310に収容されたアルカリ金属原子の縮退している異なるエネルギー準位間のギャップをゼーマン分裂により拡げて、分解能を向上させ、EIT信号の線幅を小さくすることができる。   Also, although not shown in FIGS. 2 to 4, the coil 324 faces, for example, a solenoidal coil wound around the outer periphery of the atom cell 310 or the atom cell 310. It is a Helmholtz-type pair of coils. The coil 324 generates a magnetic field in the direction along the optical axis A of the light LL inside the atomic cell 310. As a result, the gap between the degenerate different energy levels of the alkali metal atoms accommodated in the atomic cell 310 can be expanded by Zeeman splitting, the resolution can be improved, and the line width of the EIT signal can be reduced.

また、図示はしないが、加熱素子381に電力を外部から供給するための配線を備えるフレキシブル基板が、断熱部材385の加熱素子381側とは反対側に配置されていてもよい。これにより、加熱素子381の熱がフレキシブル基板に伝わることを抑えることができ、加熱素子381の熱を、効率よく原子セル310に伝えることができる。   Further, although not shown, a flexible substrate provided with a wire for supplying power to the heating element 381 from the outside may be disposed on the side of the heat insulating member 385 opposite to the heating element 381 side. Thus, the heat of the heating element 381 can be suppressed from being transmitted to the flexible substrate, and the heat of the heating element 381 can be efficiently transmitted to the atom cell 310.

ペルチェ素子390は、図2に示すように、第2原子セル容器370に配置されている。図示の例では、ペルチェ素子390は、第2原子セル容器370の+Z軸方向側の外表面に配置されている。ペルチェ素子390は、例えば、第2原子セル容器370から外容器600の外蓋部620に熱を移動させるように、温度制御部510によって制御される。温度制御部510は、温度センサー(図示せず)の検出結果に基づいて、ペルチェ素子390を制御してもよい。   The Peltier device 390 is disposed in the second atomic cell container 370, as shown in FIG. In the illustrated example, the Peltier element 390 is disposed on the outer surface of the second atom cell container 370 in the + Z axial direction. The Peltier element 390 is controlled by, for example, the temperature control unit 510 so as to transfer heat from the second atomic cell container 370 to the outer lid 620 of the outer container 600. The temperature control unit 510 may control the Peltier device 390 based on the detection result of the temperature sensor (not shown).

ペルチェ素子390と、外容器600の外蓋部620と、の間には伝熱部材392が配置されている。伝熱部材392の熱伝導率は、例えば、外蓋部620の熱伝導率よりも高い。伝熱部材392は、例えば、板状、シート状である。伝熱部材392の材質は、例えば、アルミニウム、チタン、銅、または、放熱性の高いシリコーンである。伝熱部材392は、ペルチェ素子390の放熱面から放出される熱を、外蓋部620に伝える。   A heat transfer member 392 is disposed between the Peltier element 390 and the outer cover 620 of the outer container 600. The thermal conductivity of the heat transfer member 392 is higher than, for example, the thermal conductivity of the outer cover 620. The heat transfer member 392 is, for example, plate-like or sheet-like. The material of the heat transfer member 392 is, for example, aluminum, titanium, copper, or silicone having high heat dissipation. Heat transfer member 392 transfers the heat released from the heat dissipation surface of Peltier element 390 to outer cover 620.

支持部材400は、図2に示すように、外容器600の外基部610に片持ちで固定されている。支持部材400は、例えば、外基部610の台座部611に、図3に示すように、2つのねじ602によって固定されている。支持部材400は、固定端402と、自由端404と、を含む。図2に示す例では、支持部材400は、−X軸方向側が固定端402側であり、+X軸方向側が自由端404側である。支持部材400の固定された部分以外の部分、つまり本実施形態では固定端402以外の部分、と、外基部610との間に
は空隙6がある。すなわち、自由端(端部)404と外基部610との間には空隙6がある。支持部材400の材質は、例えば、アルミニウム、銅であってもよく、また、支持部材400は、例えば、炭素繊維を用いたカーボンシートであってもよい。なお、支持部材400は、接着剤によって、外基部610に固定されていてもよい。
The support member 400 is fixed to the outer base portion 610 of the outer container 600 in a cantilever manner, as shown in FIG. The support member 400 is fixed to, for example, the pedestal portion 611 of the outer base 610 by two screws 602 as shown in FIG. The support member 400 includes a fixed end 402 and a free end 404. In the example shown in FIG. 2, in the support member 400, the −X axis direction side is the fixed end 402 side, and the + X axis direction side is the free end 404 side. There is an air gap 6 between the portion other than the fixed portion of the support member 400, that is, the portion other than the fixed end 402 in the present embodiment, and the outer base 610. That is, there is an air gap 6 between the free end (end) 404 and the outer base 610. The material of the support member 400 may be, for example, aluminum or copper, and the support member 400 may be, for example, a carbon sheet using carbon fiber. The support member 400 may be fixed to the outer base 610 by an adhesive.

ここで、図11は、支持部材400を模式的に示す斜視図である。支持部材400は、外基部610と対向する原子セル支持部410と、原子セル支持部410に対して+Z軸方向に位置する光源支持部420と、を有している。原子セル支持部410には、Z軸方向に貫通する貫通孔412が設けられ、原子セル支持部410は、Z軸方向からみて枠状である。光源支持部420には、X軸方向に貫通する貫通孔422が設けられている。光源支持部420は、支持部材400の固定端402側に配置されている。   Here, FIG. 11 is a perspective view schematically showing the support member 400. As shown in FIG. The support member 400 includes an atom cell support 410 facing the outer base 610 and a light source support 420 positioned in the + Z axis direction with respect to the atom cell support 410. The atom cell support portion 410 is provided with a through hole 412 penetrating in the Z axis direction, and the atom cell support portion 410 has a frame shape as viewed from the Z axis direction. The light source support 420 is provided with a through hole 422 penetrating in the X-axis direction. The light source support 420 is disposed on the fixed end 402 side of the support member 400.

支持部材400には、図2および図3に示すように、光源ユニット100と、光学系ユニット200と、原子セルユニット300とが配置されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the light source unit 100, the optical system unit 200, and the atomic cell unit 300 are disposed in the support member 400.

支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、固定端402側に、光源ユニット100が配置されている。光源ユニット100は、光源容器140が貫通孔422に位置するように、例えば、ねじ(図示せず)によって、光源支持部420の−X軸方向側の面に固定されている。図示の例では、光源120は、光源容器140および光源基板150を介して、支持部材400の固定端402側に配置されている。光学系ユニット200は、例えば、ねじ(図示せず)によって、光源支持部420の+X軸方向側の面に固定されている。   The light source unit 100 is disposed on the fixed end 402 side of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400. The light source unit 100 is fixed to the surface of the light source support 420 on the −X-axis direction side, for example, by a screw (not shown) so that the light source container 140 is located in the through hole 422. In the illustrated example, the light source 120 is disposed on the fixed end 402 side of the support member 400 via the light source container 140 and the light source substrate 150. The optical system unit 200 is fixed to the surface on the + X axis direction side of the light source support 420 by, for example, a screw (not shown).

支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、自由端404側に、原子セルユニット300が配置されている。原子セルユニット300は、Z軸方向からみて、貫通孔412と重なるように、自由端404側に配置されている。図示の例では、原子セルユニット300は、ねじ374によって、原子セル支持部410に固定されている。図示の例では、原子セル310は、第1保持部材330、第1原子セル容器340、位置決め部材350,360、および第2原子セル容器370を介して、支持部材400の自由端404側に配置されている。   The atomic cell unit 300 is disposed on the free end 404 side of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400. The atomic cell unit 300 is disposed on the free end 404 side so as to overlap with the through hole 412 as viewed in the Z-axis direction. In the illustrated example, the atomic cell unit 300 is fixed to the atomic cell support 410 by a screw 374. In the illustrated example, the atom cell 310 is disposed on the free end 404 side of the support member 400 via the first holding member 330, the first atom cell container 340, the positioning members 350 and 360, and the second atom cell container 370. It is done.

このように、支持部材400が外基部610に片持ちで固定されていることにより、例えば支持部材400の熱膨張率と外基部610の熱膨張率との差に起因する応力によって支持部材400が変形することを抑えることができる。仮に、支持部材400が外基部610に両持ちで固定されると、両者の熱膨張率の差に起因する応力によって、支持部材400が変形する場合がある。   As described above, since the support member 400 is fixed to the outer base 610 in a cantilever manner, for example, the stress due to the difference between the thermal expansion coefficient of the support member 400 and the thermal expansion coefficient of the outer base 610 causes the support member 400 to It is possible to suppress deformation. If the support member 400 is fixed to the outer base 610 at both ends, the support member 400 may be deformed due to the stress caused by the difference in thermal expansion coefficient between the two.

原子発振器10は、支持部材400に配置された突起440を含む。ここで、図12は、支持部材400、突起440、ねじ442、および外基部610を模式的に示す断面図であって、図11のXII−XII線に相当する断面図である。   Atomic oscillator 10 includes a protrusion 440 disposed on support member 400. Here, FIG. 12 is a cross-sectional view schematically showing the support member 400, the protrusion 440, the screw 442, and the outer base 610, and is a cross-sectional view corresponding to the XII-XII line of FIG.

突起440は、図2および図12に示すように、支持部材400の自由端404側に配置されている。突起440は、支持部材400の外基部610と対向する面に配置され、該面から外基部610側に突出している。図12に示す例では、突起440は、ねじ442によって支持部材400に固定されている。突起440は、ワッシャーであってもよい。   The protrusion 440 is disposed on the free end 404 side of the support member 400 as shown in FIGS. 2 and 12. The protrusion 440 is disposed on the surface of the support member 400 facing the outer base 610 and protrudes from the surface toward the outer base 610. In the example shown in FIG. 12, the protrusion 440 is fixed to the support member 400 by a screw 442. The protrusion 440 may be a washer.

突起440は、支持部材400が外基部610側に撓んで自由端404が外基部610に近づいた場合に、支持部材400よりも先に外基部610に接触する。これにより、例えば、外部からZ軸方向の力が加わっても、突起440によって支持部材400の変形を
抑えることができる。したがって、突起440の位置は、固定端402よりも自由端404側であれば、突起440の高さを適切に設計することで、支持部材400の変形を抑えることができる。なお、突起440の形状は、特に限定されず、例えば、棒状であってもよい。
The protrusion 440 contacts the outer base 610 before the support member 400 when the support member 400 bends toward the outer base 610 and the free end 404 approaches the outer base 610. Thereby, for example, even if a force in the Z-axis direction is applied from the outside, the deformation of the support member 400 can be suppressed by the protrusions 440. Therefore, if the position of the protrusion 440 is closer to the free end 404 than the fixed end 402, the deformation of the support member 400 can be suppressed by appropriately designing the height of the protrusion 440. The shape of the protrusion 440 is not particularly limited, and may be, for example, a rod shape.

図示の例では、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、固定端402側に、光源ユニット100が配置され、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、自由端404側に、原子セルユニット300が配置さている。そのため、突起440によって、原子セル310が光源120に対してずれることを抑えることができる。   In the illustrated example, the light source unit 100 is disposed on the fixed end 402 side of the fixed end 402 side and the free end 404 side of the support member 400, and of the fixed end 402 side and the free end 404 side of the support member 400, An atomic cell unit 300 is disposed on the free end 404 side. Therefore, the protrusion 440 can suppress the displacement of the atom cell 310 with respect to the light source 120.

突起440と外基部610との間には、空隙2がある。突起440の少なくとも外基部610に対向する対向部分444の材質は、断熱材である。具体的には、突起440は、断熱部材であり、突起440の材質は、例えば、位置決め部材350,360と同じである。突起440の対向部分444の材質が断熱材であることにより、突起440が外基部610と接したとしても、ヒーターユニット380の熱が、第2原子セル容器370、支持部材400、および突起440を介して、外基部610に伝わることを抑えることができる。ヒーターユニット380の熱が、突起440を介して外基部610に伝わると、ヒーターユニット380の熱が光源120に伝わり、光源120を所望の温度にすることができない場合がある。なお、図示はしないが、対向部分444の材質は、断熱材であり、突起440の対向部分444以外の部分の材質は、熱伝導率の高い材料であってもよい。また、突起440の材質は、断熱材でなくてもよい。   There is an air gap 2 between the protrusion 440 and the outer base 610. The material of the facing portion 444 facing at least the outer base portion 610 of the protrusion 440 is a heat insulating material. Specifically, the protrusion 440 is a heat insulating member, and the material of the protrusion 440 is the same as, for example, the positioning members 350 and 360. Because the material of the facing portion 444 of the protrusion 440 is a heat insulating material, even if the protrusion 440 contacts the outer base portion 610, the heat of the heater unit 380 causes the second atomic cell container 370, the support member 400, and the protrusion 440 to Transmission to the outer base portion 610 can be suppressed. When the heat of the heater unit 380 is transferred to the outer base 610 via the protrusion 440, the heat of the heater unit 380 may be transferred to the light source 120, and the light source 120 can not be brought to a desired temperature. Although not shown, the material of the facing portion 444 is a heat insulating material, and the material of the portion other than the facing portion 444 of the protrusion 440 may be a material having a high thermal conductivity. Moreover, the material of the protrusion 440 may not be a heat insulating material.

制御ユニット500は、図2に示すように、回路基板502を有している。回路基板502は、複数のリードピン504を介して、外基部610に固定されている。回路基板502は、図示しないIC(Integrated Circuit)チップが配置されており、ICチップは、温度制御部510、光源制御部520、磁場制御部530、および温度制御部540として機能する。ICチップは、光源ユニット100および原子セルユニット300と電気的に接続されている。回路基板502には、支持部材400が挿通されている貫通孔503が設けられている。   The control unit 500 has a circuit board 502, as shown in FIG. The circuit board 502 is fixed to the outer base 610 via a plurality of lead pins 504. An IC (Integrated Circuit) chip (not shown) is disposed in the circuit board 502, and the IC chip functions as a temperature control unit 510, a light source control unit 520, a magnetic field control unit 530, and a temperature control unit 540. The IC chip is electrically connected to the light source unit 100 and the atom cell unit 300. The circuit board 502 is provided with a through hole 503 through which the support member 400 is inserted.

外容器600は、光源ユニット100、光学系ユニット200、原子セルユニット300、支持部材400、突起440、および制御ユニット500を収容している。外容器600は、外基部(基板)610と、外基部610とは別体の外蓋部(蓋)620と、を有している。外容器600の材質は、例えば、第1原子セル容器340と同じである。そのため、外容器600は、外部からの磁気を遮蔽することができ、外部からの磁気によって原子セル310内のアルカリ金属原子が影響を受けることを抑えることができる。   The outer container 600 accommodates the light source unit 100, the optical system unit 200, the atomic cell unit 300, the support member 400, the protrusion 440, and the control unit 500. The outer container 600 has an outer base (substrate) 610 and an outer lid (lid) 620 which is separate from the outer base 610. The material of the outer container 600 is, for example, the same as that of the first atom cell container 340. Therefore, the outer container 600 can shield the magnetism from the outside, and can suppress the influence of the alkali metal atoms in the atom cell 310 by the magnetism from the outside.

外容器600は、第1外容器面612と、第1外容器面612とは異なる第2外容器面622と、を有している。具体的には、外基部610は、第1外容器面612を有し、外蓋部620は、第2外容器面622を有している。   The outer container 600 has a first outer container surface 612 and a second outer container surface 622 different from the first outer container surface 612. Specifically, the outer base portion 610 has a first outer container surface 612, and the outer cover 620 has a second outer container surface 622.

図示の例では、第1外容器面612は、外基部610の+Z軸方向を向く面であり、第1外容器面612の垂線P方向は、Z軸方向である。第1外容器面612は、台座部611の上面である第1領域612aと、Z軸方向からみて、第1領域612aを挟むように配置された第2領域612bおよび第3領域612cと、を有している。支持部材400は、第1外容器面612に配置されている。第2外容器面622は、第1外容器面612と対向する面である。図示の例では、第2外容器面622は、外蓋部620の−Z軸方向を向く面である。   In the illustrated example, the first outer container surface 612 is a surface facing the + Z-axis direction of the outer base 610, and the perpendicular P direction of the first outer container surface 612 is the Z-axis direction. The first outer container surface 612 includes a first area 612a which is an upper surface of the pedestal 611, and a second area 612b and a third area 612c which are arranged to sandwich the first area 612a when viewed from the Z-axis direction. Have. The support member 400 is disposed on the first outer container surface 612. The second outer container surface 622 is a surface facing the first outer container surface 612. In the illustrated example, the second outer container surface 622 is a surface facing the −Z-axis direction of the outer lid 620.

光源ユニット100と第1外容器面612とは、接続されている。図示の例では、光源ユニット100と第1外容器面612とは、支持部材400および伝熱部材614を介して、接続されている。このように「接続」とは、A部材とB部材(またはB面)とが直接的に接続されている場合と、A部材とB部材とがC部材を介して間接的に接続されている場合と、を含む。伝熱部材614は、支持部材400と第1外容器面612との間に設けられている。伝熱部材614は、例えば、板状、シート状である。伝熱部材614の熱伝導率は、支持部材400の熱伝導率および外基部610の熱伝導率よりも高い。伝熱部材614の材質は、例えば、アルミニウム、チタン、銅、または、放熱性の高いシリコーンである。   The light source unit 100 and the first outer container surface 612 are connected. In the illustrated example, the light source unit 100 and the first outer container surface 612 are connected via the support member 400 and the heat transfer member 614. Thus, “connection” refers to the case where the A member and the B member (or the B surface) are directly connected, and the A member and the B member are indirectly connected via the C member. Including cases. The heat transfer member 614 is provided between the support member 400 and the first outer container surface 612. The heat transfer member 614 is, for example, plate-like or sheet-like. The thermal conductivity of the heat transfer member 614 is higher than the thermal conductivity of the support member 400 and the thermal conductivity of the outer base 610. The material of the heat transfer member 614 is, for example, aluminum, titanium, copper, or silicone having high heat dissipation.

光源ユニット100と第2外容器面622との間には、空隙4がある。すなわち、光源ユニット100は、第2外容器面622と離間して配置されている。換言すると、光源ユニット100と第2外容器面622とは、接続されていない。   There is an air gap 4 between the light source unit 100 and the second outer container surface 622. That is, the light source unit 100 is disposed apart from the second outer container surface 622. In other words, the light source unit 100 and the second outer container surface 622 are not connected.

原子セルユニット300と第2外容器面622とは、接続されている。図示の例では、原子セルユニット300と第2外容器面622とは、伝熱部材392を介して、接続されている。原子セル310と外蓋部620とは、接続されている。図示の例では、原子セル310と外蓋部620とは、保持部材330,332、第1原子セル容器340、スペーサー369、ペルチェ素子390、伝熱部材392を介して、接続されている。   The atomic cell unit 300 and the second outer container surface 622 are connected. In the illustrated example, the atomic cell unit 300 and the second outer container surface 622 are connected via the heat transfer member 392. The atom cell 310 and the outer cover 620 are connected. In the illustrated example, the atom cell 310 and the outer lid 620 are connected via the holding members 330 and 332, the first atom cell container 340, the spacer 369, the Peltier element 390, and the heat transfer member 392.

原子セルユニット300と第1外容器面612との間には、空隙6がある。すなわち、原子セルユニット300は、第1外容器面612と離間して配置されている。   There is an air gap 6 between the atomic cell unit 300 and the first outer container surface 612. That is, the atomic cell unit 300 is disposed apart from the first outer container surface 612.

図示の例では、光源ユニット100と外容器600とは、第1外容器面612のみで接続され、原子セルユニット300と外容器600とは、第2外容器面622のみで接続されている。なお、光源ユニット100と原子セルユニット300とが同一の面に接続されていなければ、光源ユニット100と外容器600とは第1外容器面612のみで接続されていなくてもよいし、原子セルユニット300と外容器600とは第2外容器面622のみで接続されていなくてもよい。例えば、光源ユニット100と外容器600とは、第1外容器面612に加えて、第1外容器面612および第2外容器面622とは異なる面でさらに接続されていてもよい。また、原子セルユニット300と外容器600とは、第2外容器面622に加えて、第1外容器面612および第2外容器面622とは異なる面でさらに接続されていてもよい。   In the illustrated example, the light source unit 100 and the outer container 600 are connected only by the first outer container surface 612, and the atomic cell unit 300 and the outer container 600 are connected only by the second outer container surface 622. If the light source unit 100 and the atomic cell unit 300 are not connected to the same surface, the light source unit 100 and the outer container 600 may not be connected by only the first outer container surface 612, and the atomic cell The unit 300 and the outer container 600 may not be connected only by the second outer container surface 622. For example, the light source unit 100 and the outer container 600 may be further connected on a surface different from the first outer container surface 612 and the second outer container surface 622 in addition to the first outer container surface 612. In addition to the second outer container surface 622, the atomic cell unit 300 and the outer container 600 may be further connected on a surface different from the first outer container surface 612 and the second outer container surface 622.

上記のように、光源ユニット100が第2外容器面622と離間して第1外容器面612に接続され、かつ原子セルユニット300が第1外容器面612と離間して第2外容器面622に接続されていることにより、光源ユニット100の熱(具体的にはペルチェ素子110の熱)を、第1外容器面612を有する外基部610から外部に放出し、かつ原子セルユニット300の熱(具体的にはヒーターユニット380の熱)を、第2外容器面622を有する外蓋部620から外部に放出することができる。そのため、例えば外基部610を介して、光源ユニット100の熱が原子セル310に伝わったり、原子セルユニット300の熱が光源120に伝わったりすることを抑えることができる。   As described above, the light source unit 100 is separated from the second outer container surface 622 and connected to the first outer container surface 612, and the atomic cell unit 300 is separated from the first outer container surface 612 and the second outer container surface By being connected to 622, the heat of the light source unit 100 (specifically, the heat of the Peltier element 110) is emitted from the outer base 610 having the first outer container surface 612 to the outside, and Heat (specifically, the heat of the heater unit 380) can be dissipated from the outer lid 620 having the second outer container surface 622 to the outside. Therefore, for example, it is possible to suppress the heat of the light source unit 100 from being transferred to the atom cell 310 and the heat of the atom cell unit 300 from being transferred to the light source 120 via the outer base portion 610.

光源ユニット100と原子セルユニット300との間の、支持部材400を介する経路の第1熱抵抗は、光源ユニット100と第1外容器面612との間の第2熱抵抗、および原子セルユニット300と第2外容器面622との間の第3熱抵抗よりも高い。第2熱抵抗は、例えば、光源ユニット100と第1外容器面612との間の、支持部材400を介する経路の熱抵抗である。第3熱抵抗は、例えば、原子セルユニット300と第2外容器面622との間の、伝熱部材392を介する経路の熱抵抗である。   The first thermal resistance of the path between the light source unit 100 and the atomic cell unit 300 via the support member 400 is the second thermal resistance between the light source unit 100 and the first outer container surface 612, and the atomic cell unit 300. And the second outer container surface 622 are higher than the third thermal resistance. The second thermal resistance is, for example, a thermal resistance of a path between the light source unit 100 and the first outer container surface 612 via the support member 400. The third thermal resistance is, for example, a thermal resistance of a path between the atomic cell unit 300 and the second outer container surface 622 via the heat transfer member 392.

熱抵抗は、温度の伝わりにくさを表すものである。ある部材の熱抵抗R[K/W]は、一般に、部材の熱伝導率をλ[W/m・K]、部材の断面積をS[m]、部材の長さをL[m]として、温度差ΔTが部材の長さ方向に生じる場合に、R[K/W]=L/(λ・S)として計算される。また、形状が複雑な場合や部品点数が多い場合には、熱シミュレーションによって、複合的な熱抵抗を大よそ計算することができる。例えば、光源ユニット100、原子セルユニット300、支持部材400、および外容器面612,622をモデル化させたシミュレーションにおいて、光源ユニット100および原子セルユニット300を発熱させ、支持部材400、および外容器面612,622の温度を求めることにより、第1抵抗、第2熱抵抗、および第3熱抵抗の大小関係を知ることができる。 Thermal resistance represents the difficulty of temperature transmission. The thermal resistance R [K / W] of a member generally means that the thermal conductivity of the member is λ [W / m · K], the sectional area of the member is S [m 2 ], and the length of the member is L [m] It is calculated as R [K / W] = L / (λ · S), where the temperature difference ΔT occurs in the longitudinal direction of the member. In addition, when the shape is complicated or when the number of parts is large, a complex thermal resistance can be roughly calculated by thermal simulation. For example, in a simulation in which the light source unit 100, the atom cell unit 300, the support member 400, and the outer container surfaces 612 and 622 are modeled, the heat source unit 100 and the atom cell unit 300 generate heat, and the support member 400 and the outer container surface By obtaining the temperatures 612 and 622, the magnitude relationship between the first resistance, the second thermal resistance, and the third thermal resistance can be known.

上記のように、支持部材400には、貫通孔412が設けられている。原子セル支持部410の、原子セルユニット300が配置される部分と、光源支持部420と、の間の部分は、貫通孔412によって細く、すなわち、断面積が小さくなる。これにより、第1熱抵抗を高くすることができる。また、Z軸方向からみて、原子セルユニット300は、貫通孔412と重なるように配置されている。つまり、原子セルユニット300と第1外容器面612との間には、貫通孔412がない場合よりも大きな空隙がある。これにより、貫通孔412がない場合よりも、原子セルユニット300と第1外容器面612との間の熱の移動を抑えことができる。   As described above, the support member 400 is provided with the through hole 412. The portion between the portion where the atom cell unit 300 is disposed and the light source support portion 420 of the atom cell support portion 410 is narrowed by the through holes 412, that is, the cross-sectional area is reduced. Thereby, the first thermal resistance can be increased. Further, as viewed in the Z-axis direction, the atomic cell unit 300 is disposed so as to overlap with the through hole 412. That is, there is a larger gap between the atomic cell unit 300 and the first outer container surface 612 than in the case without the through hole 412. Thereby, the movement of heat between the atomic cell unit 300 and the first outer container surface 612 can be suppressed as compared with the case where the through hole 412 is not provided.

ここで、図13は、支持部材400に対する、原子セル310の位置決めについて説明するための図である。   Here, FIG. 13 is a diagram for explaining the positioning of the atomic cell 310 with respect to the support member 400.

原子セル310は、加熱素子381に向かって第1原子セル容器340に押圧されている(図13の矢印F1参照)。図示の例では、原子セル310は、−Y軸方向に向かって第1原子セル容器340の壁部345に押圧されている。原子セル310は、第1保持部材330に保持されており、第1保持部材330が加熱素子381に向かって第1原子セル容器340に押圧されている。このように、図示の例では、原子セル310を保持する第1保持部材330が押圧されることで、原子セル310が押圧されている。   The atom cell 310 is pressed against the first atom cell container 340 toward the heating element 381 (see arrow F1 in FIG. 13). In the illustrated example, the atom cell 310 is pressed against the wall 345 of the first atom cell container 340 in the −Y axis direction. The atom cell 310 is held by the first holding member 330, and the first holding member 330 is pressed against the heating element 381 by the first atom cell container 340. As described above, in the illustrated example, the atom cell 310 is pressed by pressing the first holding member 330 that holds the atom cell 310.

原子セル310は、第1原子セル容器340にねじ331によって固定されている。図示の例では、原子セル310を保持する第1保持部材330が第1原子セル容器340にねじ331によって固定されている。これにより、原子セル310が第1原子セル容器340に固定される。   The atom cell 310 is fixed to the first atom cell container 340 by a screw 331. In the illustrated example, a first holding member 330 for holding the atom cell 310 is fixed to the first atom cell container 340 by a screw 331. Thus, the atom cell 310 is fixed to the first atom cell container 340.

ねじ331で原子セル310が第1原子セル容器340に固定されることによって、原子セル310が加熱素子381に向かって第1原子セル容器340に押圧される。図示の例では、ねじ331で第1保持部材330が第1原子セル容器340に固定されることによって、第1保持部材330が加熱素子381に向かって第1原子セル容器340に押圧される。   By fixing the atom cell 310 to the first atom cell container 340 with the screw 331, the atom cell 310 is pressed against the first atom cell container 340 toward the heating element 381. In the illustrated example, the first holding member 330 is pressed against the first atomic cell container 340 toward the heating element 381 by fixing the first holding member 330 to the first atomic cell container 340 with the screw 331.

具体的には、第1原子セル容器340の貫通孔を通したねじ331を第1保持部材330のねじ穴にねじ込み締め付けを行うことによって、第1原子セル容器340と第1保持部材330とを締結する力(締結力)が働き、第1原子セル容器340と第1保持部材330とが締結される。この締結力によって、第1保持部材330、すなわち原子セル310が加熱素子381に向かって第1原子セル容器340に押圧される。   Specifically, the first atom cell container 340 and the first holding member 330 are screwed by screwing a screw 331 through the through hole of the first atom cell container 340 into a screw hole of the first holding member 330 and tightening it. A fastening force (fastening force) acts, and the first atom cell container 340 and the first holding member 330 are fastened. By this fastening force, the first holding member 330, that is, the atom cell 310 is pressed toward the heating element 381 against the first atom cell container 340.

加熱素子381は、原子セル310に向かって第1原子セル容器340に押圧されている(図13の矢印F2参照)。図示の例では、加熱素子381は、+Y軸方向に向かって第1原子セル容器340の壁部345に押圧されている。加熱素子381は、ヒーター容器382に保持されており、ヒーター容器382が原子セル310に向かって第1原子セ
ル容器340に押圧されている。このように、図示の例では、加熱素子381を保持するヒーター容器382が押圧されることで、加熱素子381が押圧されている。
The heating element 381 is pressed against the first atom cell container 340 toward the atom cell 310 (see arrow F2 in FIG. 13). In the illustrated example, the heating element 381 is pressed against the wall 345 of the first atom cell container 340 in the + Y axis direction. The heating element 381 is held by the heater container 382, and the heater container 382 is pressed toward the atom cell 310 by the first atom cell container 340. As described above, in the illustrated example, the heating element 381 is pressed by the heater container 382 holding the heating element 381 being pressed.

加熱素子381は、第1原子セル容器340を収容する第2原子セル容器370にねじ389によって固定されている。図示の例では、加熱素子381を保持するヒーター容器382が第2原子セル容器370にねじ389によって固定されている。これにより、加熱素子381が第2原子セル容器370に固定される。   The heating element 381 is fixed to the second atomic cell container 370 accommodating the first atomic cell container 340 by a screw 389. In the illustrated example, the heater container 382 holding the heating element 381 is fixed to the second atomic cell container 370 by a screw 389. Thereby, the heating element 381 is fixed to the second atomic cell container 370.

ねじ389で加熱素子381が第2原子セル容器370に固定されることによって、加熱素子381が原子セル310に向かって第1原子セル容器340に押圧される。図示の例では、ねじ389でヒーター容器382が第2原子セル容器370に固定されることによって、ヒーター容器382が原子セル310に向かって第1原子セル容器340に押圧される。   The heating element 381 is fixed to the second atom cell container 370 by the screw 389, whereby the heating element 381 is pressed to the first atom cell container 340 toward the atom cell 310. In the illustrated example, the heater container 382 is fixed to the second atom cell container 370 by the screw 389, whereby the heater container 382 is pressed to the first atom cell container 340 toward the atom cell 310.

具体的には、ヒーター容器382の貫通孔383a,384aを通したねじ389を第2原子セル容器370のねじ穴にねじ込み締め付けを行うことによって、ヒーター容器382と第2原子セル容器370とを締結する力(締結力)が働き、ヒーター容器382と第2原子セル容器370とが締結される。この締結力によって、ヒーター容器382、すなわち加熱素子381が原子セル310に向かって第1原子セル容器340に押圧される。   Specifically, screwing the screw 389 through the through holes 383a and 384a of the heater container 382 into the screw hole of the second atom cell container 370 and fastening the heater container 382 and the second atom cell container 370 Force (fastening force) acts to fasten the heater container 382 and the second atomic cell container 370. By this fastening force, the heater container 382, that is, the heating element 381 is pressed toward the atom cell 310 by the first atom cell container 340.

第1原子セル容器340は、加熱素子381が原子セル310に向かって第1原子セル容器340に押圧されることによって、第1位置決め部材350に押し当てられている。図示の例では、第1原子セル容器340は、加熱素子381が配置される外表面34fと、原子セル310に対して外表面34fとは反対側に位置する外表面34cと、を有し、第1位置決め部材350のブロック壁部352c,354c(図5および図7参照)に、外表面34cが押し当てられている。第1原子セル容器340が第1位置決め部材350に押し当てられることにより、ブロック壁部352c,354cの外表面34cが押し当てられる面を基準面として、第1保持部材330、すなわち原子セル310が位置決めされる。そのため、支持部材400に対して、原子セル310を位置精度よく配置することができる。   The first atom cell container 340 is pressed against the first positioning member 350 by pressing the heating element 381 toward the atom cell 310 against the first atom cell container 340. In the illustrated example, the first atom cell container 340 has an outer surface 34 f on which the heating element 381 is disposed, and an outer surface 34 c opposite to the outer surface 34 f with respect to the atom cell 310. The outer surface 34 c is pressed against the block wall portions 352 c and 354 c (see FIGS. 5 and 7) of the first positioning member 350. When the first atomic cell container 340 is pressed against the first positioning member 350, the first holding member 330, ie, the atomic cell 310, takes the surface against which the outer surfaces 34c of the block wall portions 352c and 354c are pressed. It is positioned. Therefore, the atomic cell 310 can be arranged with high positional accuracy with respect to the support member 400.

さらに、上記のように、原子セル310は加熱素子381に向かって第1原子セル容器340に押圧され(図13の矢印F1参照)、加熱素子381は原子セル310に向かって第1原子セル容器340に押圧されている(図13の矢印F2参照)。そのため、原子セル310を効率よく加熱することができる。   Furthermore, as described above, the atom cell 310 is pressed against the first atom cell container 340 toward the heating element 381 (see arrow F1 in FIG. 13), and the heating element 381 is directed to the first atom cell container toward the atom cell 310. It is pressed to 340 (see arrow F2 in FIG. 13). Therefore, the atomic cell 310 can be heated efficiently.

原子発振器10は、例えば、以下の特徴を有する。   The atomic oscillator 10 has, for example, the following features.

原子発振器10では、支持部材400の固定端402よりも自由端404側に配置され、外基部610側に突出する突起440を含む。そのため、原子発振器10では、原子発振器10に外部から力が加わって、支持部材400が撓んだ場合に、突起440が外基部610に接触する。したがって、原子発振器10では、突起440が配置されていない場合に比べて、支持部材400の変形を抑えることができる。言い換えると、原子発振器10では、突起440が配置されていない場合に比べて、支持部材400の変形量を低減することができる。その結果、原子発振器10では、光源120と原子セル310との位置関係がずれることを抑えることができる。   The atomic oscillator 10 includes a protrusion 440 which is disposed closer to the free end 404 than the fixed end 402 of the support member 400 and protrudes toward the outer base 610. Therefore, in the atomic oscillator 10, when the force is externally applied to the atomic oscillator 10 and the support member 400 is bent, the protrusion 440 contacts the outer base 610. Therefore, in the atomic oscillator 10, the deformation of the support member 400 can be suppressed as compared with the case where the protrusion 440 is not disposed. In other words, in the atomic oscillator 10, the amount of deformation of the support member 400 can be reduced compared to the case where the protrusion 440 is not disposed. As a result, in the atomic oscillator 10, the positional relationship between the light source 120 and the atomic cell 310 can be suppressed from shifting.

原子発振器10では、突起440は、支持部材400が撓んで自由端404が外基部610に近づいた場合に、支持部材400よりも先に外基部610に接触する。そのため、
原子発振器10では、突起440が配置されていない場合に比べて、支持部材400の変形を抑えることができる。
In the atomic oscillator 10, the protrusion 440 contacts the outer base 610 before the support member 400 when the support member 400 bends and the free end 404 approaches the outer base 610. for that reason,
In the atomic oscillator 10, the deformation of the support member 400 can be suppressed as compared with the case where the protrusion 440 is not disposed.

原子発振器10では、突起440と外基部610との間には、空隙2がある。そのため、原子発振器10では、例えば、支持部材400および突起440と外基部610との間で熱の移動を抑えることができる。したがって、突起440と外基部610との間に空隙がない場合と比較して、原子セル310または光源120の温度が安定しやすい。   In the atomic oscillator 10, an air gap 2 is present between the protrusion 440 and the outer base 610. Therefore, in the atomic oscillator 10, for example, the transfer of heat between the support member 400 and the protrusion 440 and the outer base 610 can be suppressed. Therefore, the temperature of the atom cell 310 or the light source 120 tends to be stable as compared with the case where there is no air gap between the protrusion 440 and the outer base 610.

原子発振器10では、突起440の少なくとも外基部610に対向する対向部分444の材質は、断熱材である。そのため、原子発振器10では、突起440が外基部610に接触したとしても、例えば、突起440と外基部610との間の熱の移動を抑えることができる。   In the atomic oscillator 10, the material of the facing portion 444 facing at least the outer base 610 of the protrusion 440 is a heat insulating material. Therefore, in the atomic oscillator 10, even if the protrusion 440 contacts the outer base 610, for example, heat transfer between the protrusion 440 and the outer base 610 can be suppressed.

原子発振器10では、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、固定端402側に光源120が配置され、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、自由端404側に原子セル310が配置されている。そのため、原子発振器10では、支持部材400が撓んだとしても、突起440によって、原子セル310が光源120に対してずれることを抑えることができる。   In the atomic oscillator 10, the light source 120 is disposed on the fixed end 402 side of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400, and the free end of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400. The atomic cell 310 is disposed on the 404 side. Therefore, in the atomic oscillator 10, even if the support member 400 is bent, the projection 440 can suppress the displacement of the atomic cell 310 with respect to the light source 120.

原子発振器10では、原子セル310と外蓋部620とは、接続されている。そのため、原子発振器10では、例えば外蓋部620に力がかかって、原子セル310が配置された支持部材400が撓んだとしても、突起440によって、支持部材400の変形を抑えることができる。   In the atomic oscillator 10, the atomic cell 310 and the outer cover 620 are connected. Therefore, in the atomic oscillator 10, even if a force is applied to the outer lid 620, for example, and the support member 400 in which the atom cell 310 is disposed is bent, the deformation of the support member 400 can be suppressed by the protrusions 440.

さらに、原子発振器10では、支持部材400の自由端404側が原子セル310を外蓋部620側に押さえつける力によって、原子セル310と外蓋部620とをより確実に接続させることができる。そのため、原子発振器10では、ヒーターユニット380の熱を、より確実に外蓋部620に伝えることができる。   Furthermore, in the atomic oscillator 10, the atomic cell 310 and the outer cover 620 can be more reliably connected by the force at which the free end 404 of the support member 400 presses the atomic cell 310 against the outer cover 620. Therefore, in the atomic oscillator 10, the heat of the heater unit 380 can be more reliably transmitted to the outer cover 620.

2. 原子発振器の変形例
2.1. 第1変形例
次に、本実施形態の第1変形例に係る原子発振器について、図面を参照しながら説明する。図14は、本実施形態の第1変形例に係る原子発振器11を模式的に示す断面図である。なお、便宜上、図14では、外容器600および低熱伝導率部材630以外の部材の図示を省略している。
2. Modification of atomic oscillator 2.1. First Modified Example Next, an atomic oscillator according to a first modified example of the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a cross-sectional view schematically showing an atomic oscillator 11 according to a first modification of the present embodiment. In addition, illustration of members other than the outer container 600 and the low thermal conductivity member 630 is abbreviate | omitted in FIG. 14 for convenience.

以下、本実施形態の第1変形例に係る原子発振器11において、上述した本実施形態に係る原子発振器10の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。このことは、後述する本実施形態の第2,第3変形例に係る原子発振器において、同様である。   Hereinafter, in the atomic oscillator 11 according to the first modified example of the present embodiment, only differences from the example of the atomic oscillator 10 according to the present embodiment described above will be described, and the description of the same points will be omitted. This is the same in the atomic oscillators according to the second and third modified examples of the present embodiment described later.

原子発振器11では、図14に示すように、外容器600の外基部610と外蓋部620との間に、外基部610の熱伝導率および外蓋部620の熱伝導率よりも熱伝導率が低い低熱伝導率部材630を含む点において、上述した原子発振器10と異なる。   In the atomic oscillator 11, as shown in FIG. 14, the thermal conductivity of the outer base portion 610 and the thermal conductivity of the outer lid portion 620 are higher than the thermal conductivity of the outer base portion 610 and the outer lid portion 620. Is different from the above-described atomic oscillator 10 in that it includes a low thermal conductivity member 630 having a low thermal conductivity.

外基部610と外蓋部620とは、低熱伝導率部材630によって接合されていてもよい。低熱伝導率部材630としては、例えば、樹脂フィルム、溶剤に樹脂を溶かした樹脂系接着剤、はんだなどが挙げられる。   The outer base portion 610 and the outer cover portion 620 may be joined by a low thermal conductivity member 630. Examples of the low thermal conductivity member 630 include a resin film, a resin-based adhesive in which a resin is dissolved in a solvent, and a solder.

原子発振器11では、上記のように、外基部610と外蓋部620との間に、外基部6
10の熱伝導率および外蓋部620の熱伝導率よりも熱伝導率が低い低熱伝導率部材630を含む。そのため、原子発振器11では、外基部610と外蓋部620との間で熱を伝わり難くすることができる。これにより、原子発振器11では、外容器600を介して、光源ユニット100の熱が原子セル310に伝わったり、原子セルユニット300の熱が光源120に伝わったりすることを、より確実に抑えることができる。
In the atomic oscillator 11, as described above, the outer base 6 is disposed between the outer base 610 and the outer lid 620.
And a low thermal conductivity member 630 having a thermal conductivity lower than the thermal conductivity of 10 and the thermal conductivity of the outer cover 620. Therefore, in the atomic oscillator 11, it is possible to make it difficult to transfer heat between the outer base portion 610 and the outer cover portion 620. Thereby, in the atomic oscillator 11, the heat of the light source unit 100 is transmitted to the atomic cell 310 through the outer container 600, and the heat of the atomic cell unit 300 is transmitted to the light source 120 more reliably. it can.

2.2. 第2変形例
次に、本実施形態の第2変形例に係る原子発振器について、図面を参照しながら説明する。図15は、本実施形態の第2変形例に係る原子発振器12を模式的に示す断面図である。なお、便宜上、図15では、支持部材400、突起440、ねじ442、および外基部610以外の部材の図示を省略している。
2.2. Second Modified Example Next, an atomic oscillator according to a second modified example of the embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 15 is a cross-sectional view schematically showing an atomic oscillator 12 according to a second modification of the present embodiment. For convenience, in FIG. 15, illustration of members other than the support member 400, the protrusion 440, the screw 442, and the outer base portion 610 is omitted.

原子発振器12では、図15に示すように、外基部610の少なくとも突起440に対向する対向部分616の材質は、断熱材である。具体的には、対向部分616の材質は、位置決め部材350,360と同じである。   In the atomic oscillator 12, as shown in FIG. 15, the material of the facing portion 616 facing at least the protrusion 440 of the outer base 610 is a heat insulating material. Specifically, the material of the facing portion 616 is the same as the positioning members 350 and 360.

原子発振器12では、外基部610の少なくとも突起440に対向する対向部分616の材質は、断熱材であるため、突起440が外基部610に接触したとしても、例えば、ヒーターユニット380の熱が、突起440を介して外基部610に伝わることを、より確実に抑えることができる。なお、図示はしないが、対向部分616の材質、および外基部610の対向部分616以外の部分の材質が、断熱材であってもよい。また、突起440の対向部分444の材質および外基部610の対向部分616の材質が断熱材であってもよく、いずれか一方のみが断熱材であってもよい。   In the atomic oscillator 12, since the material of the facing portion 616 facing at least the protrusion 440 of the outer base 610 is a heat insulating material, the heat of the heater unit 380 is a protrusion even if the protrusion 440 contacts the outer base 610, for example. Transmission to the outer base 610 via 440 can be suppressed more reliably. Although not shown, the material of the facing portion 616 and the material of the portion other than the facing portion 616 of the outer base 610 may be a heat insulating material. In addition, the material of the facing portion 444 of the protrusion 440 and the material of the facing portion 616 of the outer base 610 may be a heat insulating material, or only one of them may be a heat insulating material.

2.3. 第3変形例
次に、本実施形態の第3変形例に係る原子発振器について、図面を参照しながら説明する。図16は、本実施形態の第3変形例に係る原子発振器13を模式的に示す断面図である。なお、便宜上、図16では、光源ユニット100、原子セルユニット300、支持部材400、突起440、および外容器600以外の部材の図示を省略し、かつ各部材を簡略化して図示している。
2.3. Third Modified Example Next, an atomic oscillator according to a third modified example of the embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 16 is a cross-sectional view schematically showing an atomic oscillator 13 according to a third modification of the present embodiment. For the sake of convenience, in FIG. 16, illustration of members other than the light source unit 100, the atomic cell unit 300, the support member 400, the protrusion 440, and the outer container 600 is omitted and each member is illustrated in a simplified manner.

上述した原子発振器10では、図2に示すように、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、固定端402側に光源ユニット100が配置され、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、自由端404側に原子セルユニット300が配置されていた。   In the atomic oscillator 10 described above, as shown in FIG. 2, the light source unit 100 is disposed on the fixed end 402 side of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400, and the fixed end 402 side of the support member 400. The atom cell unit 300 is disposed on the free end 404 side of the free end 404 side.

これに対し、原子発振器13では、図16に示すように、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、固定端402側に原子セルユニット300が配置され、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、自由端404側に光源ユニット100が配置されている。すなわち、原子発振器13では、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、固定端402側に原子セル310が配置され、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、自由端404側に光源120が配置されている。また、原子セルユニット300は台座部611を介して第1外容器面612に接続され、光源ユニット100は、直接、または伝熱部材を介して第2外容器面622に接続されている。台座部611、または台座部611の近傍に伝熱部材、およびペルチェ素子の少なくとも一方が配置されていてもよい。   On the other hand, in the atomic oscillator 13, as shown in FIG. 16, the atomic cell unit 300 is disposed on the fixed end 402 side of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400, and the support member 400 is fixed. The light source unit 100 is disposed on the free end 404 side of the end 402 side and the free end 404 side. That is, in the atomic oscillator 13, the atom cell 310 is disposed on the fixed end 402 side of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400, and the atomic end 310 and the free end 404 of the support member 400. The light source 120 is disposed on the free end 404 side. Further, the atomic cell unit 300 is connected to the first outer container surface 612 via the pedestal portion 611, and the light source unit 100 is connected to the second outer container surface 622 directly or via a heat transfer member. At least one of the heat transfer member and the Peltier element may be disposed in the vicinity of the pedestal portion 611 or the pedestal portion 611.

原子発振器13では、上記のように、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、固定端402側に原子セル310が配置され、支持部材400の固定端402側および自由端404側のうち、自由端404側に光源120が配置されている。そ
のため、原子発振器13では、突起440によって、光源120が原子セル310に対してずれることを抑えることができる。
In the atomic oscillator 13, as described above, the atom cell 310 is disposed on the fixed end 402 side of the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400, and the fixed end 402 and the free end 404 of the support member 400. Of the sides, the light source 120 is disposed on the free end 404 side. Therefore, in the atomic oscillator 13, the protrusion 440 can prevent the light source 120 from being displaced with respect to the atomic cell 310.

また、図示はしないが、支持部材400は外基部610に固定された部分が1つあればよく、固定端402(固定された部分)の位置は支持部材400の端部でなくてもよい。例えば、固定された部分が支持部材の中央付近にあり、支持部材の両端が自由端であってもよい。この場合、固定された部分に対して一方の自由端側に原子セル310が配置され、固定された部分に対して他方の自由端側に光源120が配置されていてもよい。また、2つの自由端の両方に突起440が配置されていてもよいし、固定された部分から端までの長さが相対的に長い方の自由端に突起440が配置されていてもよい。   Further, although not shown, the support member 400 may have only one portion fixed to the outer base 610, and the position of the fixed end 402 (fixed portion) may not be the end of the support member 400. For example, the fixed part may be near the center of the support member and both ends of the support member may be free ends. In this case, the atom cell 310 may be disposed on one free end side of the fixed part and the light source 120 may be disposed on the other free end side of the fixed part. Also, the protrusions 440 may be disposed at both of the two free ends, or the protrusions 440 may be disposed at the free end having a relatively longer length from the fixed portion to the end.

3. 周波数信号生成システム
次に、本実施形態に係る周波数信号生成システムについて、図面を参照しながら説明する。以下のクロック伝送システム(タイミングサーバー)は、周波数信号生成システムの一例である。図17は、クロック伝送システム90を示す概略構成図である。
3. Frequency Signal Generation System Next, a frequency signal generation system according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. The following clock transmission system (timing server) is an example of a frequency signal generation system. FIG. 17 is a schematic block diagram showing a clock transmission system 90. As shown in FIG.

本発明に係るクロック伝送システムは、本発明に係る原子発振器を含む。以下では、一例として、原子発振器10を含むクロック伝送システム90について説明する。   A clock transmission system according to the present invention includes the atomic oscillator according to the present invention. Hereinafter, a clock transmission system 90 including the atomic oscillator 10 will be described as an example.

クロック伝送システム90は、時分割多重方式のネットワーク内の各装置のクロックを一致させるものであって、N(Normal)系およびE(Emergency)系の冗長構成を有するシステムである。   The clock transmission system 90 is for matching the clocks of the respective devices in the time division multiplex network, and is a system having a redundancy configuration of N (Normal) and E (Emergency).

クロック伝送システム90は、図17に示すように、A局(上位(N系))のクロック供給装置901およびSDH(Synchronous Digital Hierarchy)装置902と、B局(上位(E系))のクロック供給装置903およびSDH装置904と、C局(下位)のクロック供給装置905およびSDH装置906,907と、を備える。クロック供給装置901は、原子発振器10を有し、N系のクロック信号を生成する。クロック供給装置901内の原子発振器10は、セシウムを用いた原子発振器を含むマスタークロック908,909からのより高精度なクロック信号と同期して、クロック信号を生成する。   As shown in FIG. 17, the clock transmission system 90 supplies clock signals from the clock supply device 901 of station A (upper (N system)) and SDH (Synchronous Digital Hierarchy) device 902 and station B (upper (E system)). A device 903 and an SDH device 904, and a clock supply device 905 and SDH devices 906 and 907 at station C (lower) are provided. The clock supply device 901 has an atomic oscillator 10 and generates an N-system clock signal. The atomic oscillator 10 in the clock supply unit 901 generates a clock signal in synchronization with a more accurate clock signal from a master clock 908, 909 including an atomic oscillator using cesium.

SDH装置902は、クロック供給装置901からのクロック信号に基づいて、主信号の送受信を行うとともに、N系のクロック信号を主信号に重畳し、下位のクロック供給装置905に伝送する。クロック供給装置903は、原子発振器10を有し、E系のクロック信号を生成する。クロック供給装置903内の原子発振器10は、セシウムを用いた原子発振器を含むマスタークロック908,909からのより高精度なクロック信号と同期して、クロック信号を生成する。   The SDH device 902 transmits and receives a main signal based on a clock signal from the clock supply device 901, superimposes an N-system clock signal on the main signal, and transmits it to the lower clock supply device 905. The clock supply device 903 has an atomic oscillator 10 and generates an E-system clock signal. The atomic oscillator 10 in the clock supply unit 903 generates a clock signal in synchronization with a more accurate clock signal from a master clock 908, 909 including an atomic oscillator using cesium.

SDH装置904は、クロック供給装置903からのクロック信号に基づいて、主信号の送受信を行うとともに、E系のクロック信号を主信号に重畳し、下位のクロック供給装置905に伝送する。クロック供給装置905は、クロック供給装置901,903からのクロック信号を受信し、その受信したクロック信号に同期して、クロック信号を生成する。   The SDH device 904 transmits and receives the main signal based on the clock signal from the clock supply device 903, superimposes the E-system clock signal on the main signal, and transmits it to the lower clock supply device 905. The clock supply unit 905 receives clock signals from the clock supply units 901 and 903 and generates a clock signal in synchronization with the received clock signal.

クロック供給装置905は、通常、クロック供給装置901からのN系のクロック信号に同期して、クロック信号を生成する。そして、N系に異常が発生した場合、クロック供給装置905は、クロック供給装置903からのE系のクロック信号に同期して、クロック信号を生成する。このようにN系からE系に切り換えることにより、安定したクロック供給を担保し、クロックパス網の信頼性を高めることができる。SDH装置906は、クロック供給装置905からのクロック信号に基づいて、主信号の送受信を行う。同様に、SDH装置907は、クロック供給装置905からのクロック信号に基づいて、主信号の
送受信を行う。これにより、C局の装置をA局またはB局の装置と同期させることができる。
The clock supply unit 905 normally generates a clock signal in synchronization with the N-system clock signal from the clock supply unit 901. Then, when an abnormality occurs in the N system, the clock supply device 905 generates a clock signal in synchronization with the E system clock signal from the clock supply device 903. By switching from the N system to the E system in this manner, stable clock supply can be secured, and the reliability of the clock path network can be enhanced. The SDH device 906 transmits and receives the main signal based on the clock signal from the clock supply device 905. Similarly, the SDH device 907 transmits and receives the main signal based on the clock signal from the clock supply device 905. Thus, the device of station C can be synchronized with the device of station A or station B.

本実施形態に係る周波数信号生成システムは、クロック伝送システムに限定されない。周波数信号生成システムは、原子発振器が搭載され、原子発振器の周波数信号を利用する各種の装置および複数の装置から構成されるシステムを含む。   The frequency signal generation system according to the present embodiment is not limited to the clock transmission system. The frequency signal generation system includes a system including an atomic oscillator and various devices utilizing a frequency signal of the atomic oscillator and a plurality of devices.

本実施形態に係る周波数信号生成システムは、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計、携帯電話機、デジタルスチルカメラ、液体吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS(point of sales)端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡、心磁計)、魚群探知機、GNSS(Global Navigation Satellite System)周波数標準器、各種測定機器、計器類(例えば、自動車、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター、地上デジタル放送システム、携帯電話基地局、移動体(自動車、航空機、船舶等)であってもよい。   The frequency signal generation system according to the present embodiment includes, for example, a smartphone, a tablet terminal, a watch, a mobile phone, a digital still camera, a liquid discharge device (for example, an ink jet printer), a personal computer, a television, a video camera, a video tape recorder, car navigation Devices, pagers, electronic organizers, electronic dictionaries, calculators, electronic game machines, word processors, workstations, video phones, television monitors for crime prevention, electronic binoculars, POS (point of sales) terminals, medical devices (such as electronic thermometers, sphygmomanometers, Blood glucose meter, electrocardiogram measurement device, ultrasound diagnostic device, electronic endoscope, magnetocardiogram), fish finder, GNSS (Global Navigation Satellite System) frequency standard, various measuring instruments, instruments (for example, car, aircraft, ship) Instruments), flight simulation Ta, terrestrial digital broadcasting system, a mobile phone base station, mobile (automobile, aircraft, ships, etc.).

本発明は、本願に記載の特徴や効果を有する範囲で一部の構成を省略したり、各実施形態や変形例を組み合わせたりしてもよい。   In the present invention, a part of the configuration may be omitted as long as the features and effects described in the present application are obtained, or each embodiment or modification may be combined.

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。   The present invention includes configurations substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations having the same function, method and result, or configurations having the same purpose and effect). Further, the present invention includes a configuration in which a nonessential part of the configuration described in the embodiment is replaced. The present invention also includes configurations that can achieve the same effects as the configurations described in the embodiments or that can achieve the same purpose. Further, the present invention includes a configuration in which a known technology is added to the configuration described in the embodiment.

2,4,6…空隙、10,11,12,13…原子発振器、34a,34b,34c,34d,34e,34f,34g…外表面、90…クロック伝送システム、100…光源ユニット、110…ペルチェ素子、120…光源、130…温度センサー、140…光源容器、150…光源基板、200…光学系ユニット、210…減光フィルター、220…レンズ、230…1/4波長板、240…ホルダー、250…貫通孔、300…原子セルユニット、310…原子セル、312…第1空間、314…第2空間、316…連通孔、320…受光素子、322…温度センサー、324…コイル、330…第1保持部材、330a,330b…貫通孔、331…ねじ、332…第2保持部材、333…ねじ、340…第1原子セル容器、341…第1角部、342…第2角部、343…第3角部、344…第4角部、345…壁部、346…伝熱部材、350…第1位置決め部材、352…第1ブロック、352a…ブロック基部、352b,352c…ブロック壁部、354…第2ブロック、354a…ブロック基部、354b,354c…ブロック壁部、356…接続部、357…第1固定構造部、357a…ねじ穴、357b…ねじ、358…第2固定構造部、358a…ねじ穴、358b…ねじ、360…第2位置決め部材、362…第3ブロック、362a…ブロック基部、362b,362c…ブロック壁部、364…第4ブロック、364a…ブロック基部、364b,364c…ブロック壁部、366…接続部、369…スペーサー、370…第2原子セル容器、370a…貫通孔、372…固定部、374…ねじ、376…断熱部材、380…ヒーターユニット、381…加熱素子、382…ヒーター容器、383…ヒーター蓋部、383a…貫通孔、384…ヒーター基部、384a…貫通孔、385,386,387…断熱部材、388a…第1部分、388b…第2部分、389…ねじ、390…ペルチェ素子、392…伝熱部材、400…支
持部材、402…固定端、404…自由端、410…原子セル支持部、412…貫通孔、420…光源支持部、422…貫通孔、440…突起、442…ねじ、444…対向部分、500…制御ユニット、502…回路基板、503…貫通孔、504…リードピン、510…温度制御部、520…光源制御部、530…磁場制御部、540…温度制御部、600…外容器、602…ねじ、610…外基部、611…台座部、612…第1外容器面、612a…第1領域、612b…第2領域、612c…第3領域、614…伝熱部材、616…対向部分、620…外蓋部、622…第2外容器面、630…低熱伝導率部材、901…クロック供給装置、902…SDH装置、903…クロック供給装置、904…SDH装置、905…クロック供給装置、906,907…SDH装置、908,909…マスタークロック
2, 4, 6 ... Air gap, 10, 11, 12, 13 ... Atomic oscillator, 34a, 34b, 34c, 34d, 34e, 34f, 34g ... Outer surface, 90 ... Clock transmission system, 100 ... Light source unit, 110 ... Peltier Element 120 Light source 130 Temperature sensor 140 Light source container 150 Light source substrate 200 Optical system unit 210 Attenuating filter 220 Lens 230 230 quarter wave plate 240 Holder 250 ... through hole, 300 ... atom cell unit, 310 ... atom cell, 312 ... first space, 314 ... second space, 316 ... communication hole, 320 ... light receiving element, 322 ... temperature sensor, 324 ... coil, 330 ... first Holding member, 330a, 330b: through hole, 331: screw, 332: second holding member, 333: screw, 340: first atomic cell container, 341 First corner, 342: second corner, 343: third corner, 344: fourth corner, 345: wall, 346: heat transfer member, 350: first positioning member, 352: first block, 352a ... block base, 352b, 352c ... block wall, 354 ... second block, 354a ... block base, 354b, 354c ... block wall, 356 ... connection, 357 ... first fixed structure, 357a ... screw hole, 357b: screw, 358: second fixed structure, 358a: screw hole, 358b: screw, 360: second positioning member, 362: third block, 362a: block base, 362b, 362c: block wall, 364: third 4 block, 364a ... block base, 364b, 364c ... block wall, 366 ... connection, 369 ... spacer, 370 ... second atomic cell container, 3 0a ... through hole, 372 ... fixed part, 374 ... screw, 376 ... heat insulation member, 380 ... heater unit, 381 ... heating element, 382 ... heater container, 383 ... heater lid, 383 a ... through hole, 384 ... heater base, 384a: through hole, 385, 386, 387: heat insulating member, 388a: first portion, 388b: second portion, 389: screw, 390: Peltier element, 392: heat transfer member, 400: support member, 402: fixed end , 404: atomic cell support portion, 412: through hole, 420: light source support portion, 422: through hole, 440: projection, 442: screw, 444: facing portion, 500: control unit, 502: circuit Substrate 503 through hole 504 lead pin 510 temperature control unit 520 light source control unit 530 magnetic field control unit 540 temperature control unit 6 00: outer container, 602: screw, 610: outer base, 611: pedestal portion, 612: first outer container surface, 612a: first region, 612b: second region, 612c: third region, 614: heat transfer member 616: Opposite portion, 620: outer lid, 622: second outer container surface, 630: low thermal conductivity member, 901: clock supply device, 902: SDH device, 903: clock supply device, 904: SDH device, 905 ... Clock supply device, 906, 907 ... SDH device, 908, 909 ... Master clock

Claims (9)

基板と、
光を出射する光源と、
アルカリ金属原子が収容され、前記光源から出射された光が入射する原子セルと、
前記光源と前記原子セルとが配置され、前記基板に固定された部分と、前記基板との間に空隙を有する端部と、を含む支持部材と、
前記支持部材の前記固定された部分よりも前記端部側に配置され、前記基板側に突出する突起と、
を含む、原子発振器。
A substrate,
A light source for emitting light,
An atomic cell which contains an alkali metal atom and into which light emitted from the light source is incident;
A support member including a portion on which the light source and the atom cell are disposed and fixed to the substrate, and an end portion having a gap between the substrate and the portion;
A protrusion which is disposed closer to the end than the fixed part of the support member and protrudes toward the substrate;
Containing, atomic oscillators.
請求項1において、
前記突起は、前記支持部材が撓んで前記端部が前記基板に近づいた場合に、前記支持部材よりも先に前記基板に接触する、原子発振器。
In claim 1,
The atomic oscillator contacts the substrate earlier than the support member when the support member is bent and the end approaches the substrate.
請求項1または2において、
前記突起と前記基板との間には、空隙がある、原子発振器。
In claim 1 or 2,
An atomic oscillator, wherein there is an air gap between the protrusion and the substrate.
請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記突起の少なくとも前記基板に対向する部分の材質は、断熱材である、原子発振器。
In any one of claims 1 to 3,
An atomic oscillator, wherein a material of at least a portion of the protrusion facing the substrate is a heat insulating material.
請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記基板の少なくとも前記突起に対向する部分の材質は、断熱材である、原子発振器。
In any one of claims 1 to 4,
An atomic oscillator, wherein a material of a portion facing at least the protrusion of the substrate is a heat insulating material.
請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記固定された部分側に前記光源が配置され、
前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記端部側に前記原子セルが配置されている、原子発振器。
In any one of claims 1 to 5,
The light source is disposed on the fixed part side of the fixed part side and the end side of the support member,
An atomic oscillator, wherein the atomic cell is disposed on the end side among the fixed part side and the end side of the support member.
請求項6において、
前記光源、前記原子セル、および前記支持部材を収容し、前記基板および蓋を有する容器を含み、
前記原子セルと前記蓋とは、接続されている、原子発振器。
In claim 6,
Including a container containing the light source, the atom cell, and the support member, and having the substrate and a lid;
The atomic oscillator and the lid are connected to each other.
請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記固定された部分側に前記原子セルが配置され、
前記支持部材の前記固定された部分側および前記端部側のうち、前記端部側に前記光源が配置されている、原子発振器。
In any one of claims 1 to 5,
The atomic cell is disposed on the fixed part side of the fixed part side and the end side of the support member,
The atomic oscillator, wherein the light source is disposed on the end side among the fixed part side and the end side of the support member.
原子発振器を含む周波数信号生成システムであって、
前記原子発振器は、
基板と、
光を出射する光源と、
アルカリ金属原子が収容され、前記光源から出射された光が入射する原子セルと、
前記光源と前記原子セルとが配置され、前記基板に固定された部分と、前記基板との間に空隙を有する端部と、を含む支持部材と、
前記支持部材の前記固定された部分よりも前記端部側に配置され、前記基板側に突出する突起と、
を含む、周波数信号生成システム。
A frequency signal generation system including an atomic oscillator,
The atomic oscillator is
A substrate,
A light source for emitting light,
An atomic cell which contains an alkali metal atom and into which light emitted from the light source is incident;
A support member including a portion on which the light source and the atom cell are disposed and fixed to the substrate, and an end portion having a gap between the substrate and the portion;
A protrusion which is disposed closer to the end than the fixed part of the support member and protrudes toward the substrate;
Frequency signal generation system, including:
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