JP2019086756A - 光学デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性の高い光学デバイスを提供する。【解決手段】光学デバイス１０は、ベース１２と、可動ミラー１１と、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動可能となるように可動ミラー１１を支持する第１弾性支持部１４と、ベース１２に設けられ、複数の第１固定櫛歯１６１ａを有する第１固定櫛歯電極１６１と、可動ミラー１１及び第１弾性支持部１４の少なくとも一方に設けられ、複数の第１固定櫛歯１６１ａと互い違いに配置された複数の第１可動櫛歯１６２ａを有する第１可動櫛歯電極１６２と、を備える。可動ミラー１１及び第１弾性支持部１４の少なくとも一方は、第１可動櫛歯電極１６２を支持する電極支持部１４７を有する。電極支持部１４７は、Ｚ軸方向における電極支持部１４７の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなるように形成された梁部１４７ｂを有する。【選択図】図２

Description

本発明は、例えばＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスとして構成される光学デバイスに関する。

ＭＥＭＳデバイスとして、ベースと、光学機能部を有する可動部と、ベースと可動部との間に接続され、可動部が移動方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部と、を備える光学デバイスが知られている（例えば特許文献１参照）。このような光学デバイスは、複数の可動櫛歯を有する可動櫛歯電極と、複数の可動櫛歯と互い違いに配置された複数の固定櫛歯を有する固定櫛歯電極と、を備える場合がある。

米国特許出願公開２００８／０２８４０７８号明細書

上述したような可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極は、駆動用の電極、モニタ用の電極、又は駆動兼モニタ用の電極として用いられる。駆動用の電極として可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極が用いられる場合には、可動部を移動方向に沿って移動させるために、可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との間に電圧が印加される。モニタ用の電極として可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極が用いられる場合には、移動方向に沿って移動している可動部の位置を把握するために、可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との間の静電容量が検出される。

いずれの用途に可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極が用いられる場合にも、可動部が移動方向に沿って移動している際に、可動櫛歯電極が可動部と一体的に移動し、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が一定に維持されることが好ましい。しかしながら、単に可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極を設けただけでは、可動部が移動方向に沿って移動している際に可動櫛歯電極が歪み、デバイスとしての信頼性が低下するおそれがある。

本発明は、信頼性の高い光学デバイスを提供することを目的とする。

本発明の光学デバイスは、主面を有するベースと、光学機能部を有する可動部と、ベースと可動部との間に接続され、可動部が主面に垂直な所定方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部と、ベースに設けられ、複数の固定櫛歯を有する固定櫛歯電極と、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方に設けられ、複数の固定櫛歯と互い違いに配置された複数の可動櫛歯を有する可動櫛歯電極と、を備え、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方は、可動櫛歯電極を支持する電極支持部を有し、電極支持部は、所定方向における電極支持部の厚さが所定方向における可動櫛歯の厚さよりも厚くなるように形成された梁部を有する。

この光学デバイスでは、梁部が形成されることにより、所定方向における電極支持部の厚さが所定方向における可動櫛歯の厚さよりも厚くなっており、当該電極支持部によって可動櫛歯電極が支持されている。これにより、可動部が所定方向に沿って移動している際に、可動櫛歯電極を支持する電極支持部が歪むのを抑制することができる。したがって、可動櫛歯電極を可動部と一体的に移動させることができ、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを抑制することができる。その結果、信頼性を高めることができる。

本発明の光学デバイスでは、弾性支持部は、レバーを有し、電極支持部は、レバーから延在していてもよい。この場合、レバーから延在する電極支持部によって可動櫛歯電極の歪みを抑制することができる。

本発明の光学デバイスでは、可動櫛歯電極は、レバーの延在方向において、レバーの中心に対して可動部とは反対側に位置していてもよい。この場合、可動部が所定方向に沿って大きく移動したとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯が外れ難い。したがって、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極が駆動用の電極として用いられる場合に、可動部の可動範囲の全体にわたって、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間に静電気力を生じさせることができる。また、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極がモニタ用の電極として用いられる場合に、可動部の可動範囲の全体にわたって、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間の静電容量の変化を検出することができる。

本発明の光学デバイスでは、可動櫛歯電極は、レバーの延在方向において、レバーの中心に対して可動部側に位置していてもよい。この場合、弾性支持部におけるベースに対する接続位置から可動櫛歯電極までの距離を確保することができる。したがって、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極が駆動用の電極として用いられる場合に、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間に生じる静電気力を可動部の駆動力として効率良く利用することができる。また、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極がモニタ用の電極として用いられる場合に、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間の静電容量の変化が大きいため、可動部の位置を容易に且つ確実に検出することができる。

本発明の光学デバイスでは、レバーは、所定方向におけるレバーの厚さが所定方向における可動櫛歯の厚さよりも厚くなるように形成された梁部を有していてもよい。この場合、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを一層確実に抑制することができ、信頼性を一層高めることができる。

本発明の光学デバイスでは、弾性支持部は、レバーから延在する電極支持部を複数有し、複数の電極支持部は、レバーの延在方向に沿って並んで配置されていてもよい。この場合、複数の電極支持部が設けられているため、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極が駆動用の電極として用いられる場合に、駆動力を確保することができる。また、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極がモニタ用の電極として用いられる場合に、可動部の位置を容易に且つ確実に検出することができる。この光学デバイスでは、電極支持部の幅ではなく厚さを増加させることにより、可動櫛歯電極を支持する電極支持部の歪みを抑制しているため、複数の電極支持部をレバーの延在方向に沿って並ぶように配置することが可能となっている。

本発明の光学デバイスでは、所定方向における電極支持部の厚さＴ１、及び所定方向における可動櫛歯の厚さＴ２は、下記式（１）を満たしてもよい。
Ｔ１^３×Ｗ１／Ｃ１^３≧Ｎ×Ｔ２^３×Ｗ２／Ｃ２^３ …（１）
上記式（１）において、Ｗ１：所定方向から見た場合における電極支持部の幅、Ｃ１：所定方向から見た場合における電極支持部の長さ、Ｎ：可動櫛歯の本数、Ｗ２：所定方向から見た場合における可動櫛歯の幅、Ｃ２：所定方向から見た場合における可動櫛歯の長さ。この場合、可動櫛歯電極の歪みをより一層確実に抑制することが可能となる。

本発明の光学デバイスでは、電極支持部は、可動部の外縁に沿って配置されるように、可動部に設けられていてもよい。この場合、弾性支持部におけるベースに対する接続位置から可動櫛歯電極までの距離を確保することができる。したがって、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極が駆動用の電極として用いられる場合に、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間に生じる静電気力を可動部の駆動力として効率良く利用することができる。また、固定櫛歯電極及び可動櫛歯電極がモニタ用の電極として用いられる場合に、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間の静電容量の変化が大きいため、可動部の位置を容易に且つ確実に検出することができる。

本発明の光学デバイスでは、可動部は、光学機能部が設けられた本体部と、所定方向から見た場合に本体部を囲む枠部と、を有し、電極支持部は、枠部によって構成されていてもよい。この場合、本体部を囲む枠部により、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

本発明の光学デバイスでは、可動部は、光学機能部が設けられた中央部と、中央部よりも所定方向における厚さが厚い外縁部と、を有し、電極支持部は、外縁部によって構成されていてもよい。この場合、中央部よりも所定方向における厚さが厚い外縁部により、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

本発明の光学デバイスでは、弾性支持部は、一対のレバーと、一対のレバー間に掛け渡されたリンクと、を有し、電極支持部は、リンクによって構成されていてもよい。この場合、一対のレバー間に掛け渡されたリンクにより、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

本発明の光学デバイスでは、弾性支持部は、一対のレバーと、一対のレバー間に掛け渡されたリンクと、を有し、電極支持部は、一対のレバー及びリンクによって構成されており、可動櫛歯電極は、一対のレバー及びリンクにわたって配置されていてもよい。この場合、一対のレバー及びリンクにより、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

本発明の光学デバイスでは、弾性支持部は、レバーと、所定方向から見た場合にレバーと可動部との間に延在する延在部と、を有し、電極支持部は、延在部によって構成されていてもよい。この場合、所定方向から見た場合にレバーと可動部との間に延在する延在部により、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

本発明の光学デバイスでは、弾性支持部は、所定方向に垂直な第２方向に沿って延在する捩り支持部と、捩り支持部と可動部との間に接続された非線形性緩和ばねと、を有し、非線形性緩和ばねは、可動部が所定方向に移動した状態において、第２方向周りにおける非線形性緩和ばねの変形量が第２方向周りにおける捩り支持部の変形量よりも小さくなり、且つ、所定方向及び第２方向に垂直な第３方向における非線形性緩和ばねの変形量が第３方向における捩り支持部の変形量よりも大きくなるように、構成されていてもよい。この場合、捩り支持部の捩れ変形に非線形性が生じるのを抑制することができる。また、非線形性緩和ばねが設けられた構成において、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

本発明によれば、信頼性の高い光学デバイスを提供することができる。

一実施形態に係る光学デバイスを備える光モジュールの縦断面図である。 図１に示される光学デバイスの平面図である。 図２の一部を拡大して示す平面図である。 図２のIV−IV線に沿っての断面図である。 図２のV−V線に沿っての断面図である。 図２のVI−VI線に沿っての断面図である。 第１変形例に係る光学デバイスを示す平面図である。 第２変形例に係る光学デバイスを示す平面図である。 第３変形例に係る光学デバイスを示す平面図である。 第４変形例に係る光学デバイスを示す平面図である。 第５変形例に係る光学デバイスを示す平面図である。

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
［光モジュールの構成］

図１に示されるように、光モジュール１は、ミラーユニット２及びビームスプリッタユニット３を備えている。ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー２１を有している。光学デバイス１０は、可動ミラー（可動部）１１を含んでいる。光モジュール１では、ビームスプリッタユニット３、可動ミラー１１及び固定ミラー２１によって、測定光Ｌ０について干渉光学系が構成されている。干渉光学系は、ここでは、マイケルソン干渉光学系である。

光学デバイス１０は、可動ミラー１１に加え、ベース１２、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８を含んでいる。ベース１２は、主面１２ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面（光学機能部）１１ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに垂直なＺ軸方向（Ｚ軸に平行な方向、所定方向）に沿って移動可能となるようにベース１２において支持されている。駆動部１３は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。第１光学機能部１７は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に垂直なＸ軸方向（Ｘ軸に平行な方向、第３方向）における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。第２光学機能部１８は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の他方の側に配置されている。第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８のそれぞれは、ベース１２に設けられた光通過開口部であり、Ｚ軸方向における一方の側及び他方の側に開口している。なお、光モジュール１では、第２光学機能部１８は、光通過開口部として用いられていない。光学デバイス１０が他の装置に適用される場合、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８の少なくとも一方が光学機能部として用いられてもよいし、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８の両方が光学機能部として用いられなくてもよい。

固定ミラー２１は、主面１２ａに平行な平面（Ｚ軸方向に垂直な平面）に沿って延在するミラー面２１ａを有している。固定ミラー２１のベース１２に対する位置は、固定されている。ミラーユニット２においては、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが、Ｚ軸方向における一方の側（ビームスプリッタユニット３側）を向いている。

ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー２１に加え、支持体２２、サブマウント２３及びパッケージ２４を有している。パッケージ２４は、光学デバイス１０、固定ミラー２１、支持体２２及びサブマウント２３を収容している。パッケージ２４は、底壁２４１、側壁２４２及び天壁２４３を含んでいる。パッケージ２４は、例えば、直方体箱状に形成されている。パッケージ２４は、例えば、３０×２５×１０（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。底壁２４１及び側壁２４２は、互いに一体的に形成されている。天壁２４３は、Ｚ軸方向において底壁２４１と対向しており、側壁２４２に固定されている。天壁２４３は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。ミラーユニット２では、パッケージ２４によって空間Ｓが形成されている。空間Ｓは、例えば、パッケージ２４に設けられた通気孔や隙間等を介してミラーユニット２の外部に開放されている。このように空間Ｓが気密な空間でない場合、パッケージ２４内に存在する樹脂材料からのアウトガスや、パッケージ２４内に存在する水分等に起因するミラー面１１ａの汚染や曇り等を抑制することができる。なお、空間Ｓは、高い真空度が維持された気密な空間、或いは窒素等の不活性ガスが充填された気密な空間であってもよい。

底壁２４１の内面には、サブマウント２３を介して支持体２２が固定されている。支持体２２は、例えば、矩形板状に形成されている。支持体２２は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。支持体２２におけるサブマウント２３とは反対側の表面２２ａには、光学デバイス１０のベース１２が固定されている。つまり、ベース１２は、支持体２２によって支持されている。支持体２２の表面２２ａには、凹部２２ｂが形成されており、光学デバイス１０と天壁２４３との間には、隙間（空間Ｓの一部）が形成されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動させられた際に、可動ミラー１１及び駆動部１３が支持体２２及び天壁２４３に接触することが防止される。

サブマウント２３には、開口２３ａが形成されている。固定ミラー２１は、開口２３ａ内に位置するように、支持体２２におけるサブマウント２３側の表面２２ｃに配置されている。つまり、固定ミラー２１は、支持体２２におけるベース１２とは反対側の表面２２ｃに配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７と重なっている。

ミラーユニット２は、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を更に有している。各リードピン２５は、底壁２４１を貫通した状態で、底壁２４１に固定されている。各リードピン２５は、ワイヤ２６を介して駆動部１３と電気的に接続されている。ミラーユニット２では、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って移動させるための電気信号が、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して駆動部１３に付与される。

ビームスプリッタユニット３は、パッケージ２４の天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３における光学デバイス１０とは反対側の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。光学樹脂４は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。

ビームスプリッタユニット３は、ハーフミラー面３１、全反射ミラー面３２及び複数の光学面３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。ハーフミラー面３１は、例えば誘電体多層膜によって形成されている。全反射ミラー面３２は、例えば金属膜によって形成されている。

光学面３３ａは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ａは、Ｚ軸方向に沿って入射した測定光Ｌ０を透過させる。

ハーフミラー面３１は、例えば光学面３３ａに対して４５度傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１は、Ｚ軸方向に沿って光学面３３ａに入射した測定光Ｌ０の一部をＸ軸方向に沿って反射し且つ当該測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に反射する。

光学面３３ｂは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３３ｂは、全反射ミラー面３２によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に透過させる。

光学面３３ｃは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ｃは、ハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

光学面３３ｄは、例えばＸ軸方向に垂直な面であり、Ｘ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２と重なっている。光学面３３ｄは、測定光Ｌ１をＸ軸方向に沿って透過させる。測定光Ｌ１は、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び全反射ミラー面３２で順次に反射されてハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、固定ミラー２１のミラー面２１ａ及びハーフミラー面３１で順次に反射された測定光Ｌ０の残部との干渉光である。

以上のように構成された光モジュール１では、光モジュール１の外部から光学面３３ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２で順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過する。

一方、測定光Ｌ０の残部は、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射される。

ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射された測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ビームスプリッタユニット３から光学面３３ｄを介して光モジュール１の外部に出射する。光モジュール１によれば、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を高速で往復動させることができるので、小型且つ高精度のＦＴＩＲ（フーリエ変換型赤外分光分析器）を提供することができる。

支持体２２は、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路Ｐ１と、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路Ｐ２との間の光路差を補正する。具体的には、光路Ｐ１は、ハーフミラー面３１から、全反射ミラー面３２及び光学面３３ｂを順次に介して、基準位置に位置する可動ミラー１１のミラー面１１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の一部が進行する光路である。光路Ｐ２は、ハーフミラー面３１から、光学面３３ｃ及び第１光学機能部１７を順次に介して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の残部が進行する光路である。支持体２２は、光路Ｐ１の光路長（光路Ｐ１が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）と光路Ｐ２の光路長（光路Ｐ２が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）との差が小さくなる（例えば無くなる）ように、光路Ｐ１と光路Ｐ２との間の光路差を補正する。なお、支持体２２は、例えば、ビームスプリッタユニット３を構成する各光学ブロックと同一の光透過性材料によって形成することができる。その場合、支持体２２の厚さ（Ｚ軸方向における長さ）は、Ｘ軸方向におけるハーフミラー面３１と全反射ミラー面３２との距離と同一とすることができる。
［光学デバイスの構成］

図２〜図６に示されるように、可動ミラー１１のうちミラー面１１ａ以外の部分、ベース１２、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、ＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板５０によって構成されている。つまり、光学デバイス１０は、ＳＯＩ基板５０によって構成されている。光学デバイス１０は、例えば、矩形板状に形成されている。光学デバイス１０は、例えば、１５×１０×０．３（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。ＳＯＩ基板５０は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３を有している。支持層５１は、第１シリコン層である。デバイス層５２は、第２シリコン層である。中間層５３は、支持層５１とデバイス層５２との間に配置された絶縁層である。

ベース１２は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３の一部によって形成されている。ベース１２の主面１２ａは、デバイス層５２における中間層５３とは反対側の表面である。ベース１２における主面１２ａとは反対側の主面１２ｂは、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面である。光モジュール１では、ベース１２の主面１２ａと支持体２２の表面２２ａとが互いに接合されている（図１参照）。

可動ミラー１１は、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２との交点を中心位置（重心位置）として配置されている。軸線Ｒ１は、Ｘ軸方向に延在する直線である。軸線Ｒ２は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に垂直なＹ軸方向（Ｙ軸に平行な方向、第２方向）に延在する直線である。光学デバイス１０は、Ｚ軸方向から見た場合に、軸線Ｒ１に関して線対称且つ軸線Ｒ２に関して線対称な形状を呈している。

可動ミラー１１は、本体部１１１、枠部１１２（電極支持部）及び一対の連結部１１３を有している。本体部１１１は、Ｚ軸方向から見た場合に円形状を呈している。本体部１１１は、中央部１１４及び外縁部１１５を有している。中央部１１４における主面１２ｂ側の表面上には、例えば、金属膜が形成されることで、円形状のミラー面１１ａが設けられている。中央部１１４は、デバイス層５２の一部によって形成されている。外縁部１１５は、Ｚ軸方向から見た場合に中央部１１４を囲んでいる。外縁部１１５は、第１本体部１１５ａ及び第１梁部１１５ｂを有している。第１本体部１１５ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。

第１梁部１１５ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第１梁部１１５ｂは、第１本体部１１５ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。第１梁部１１５ｂは、Ｚ軸方向における外縁部１１５の厚さがＺ軸方向における中央部１１４の厚さよりも厚くなるように形成されている。第１梁部１１５ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に、円環状を呈し、ミラー面１１ａを囲んでいる。第１梁部１１５ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部１１１の外縁に沿って延在している。本実施形態では、第１梁部１１５ｂの外縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部１１１の外縁から所定の間隔を空けて、本体部１１１の外縁に沿って延在している。第１梁部１１５ｂの内縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、ミラー面１１ａの外縁から所定の間隔を空けて、ミラー面１１ａの外縁に沿って延在している。

枠部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部１１１から所定の間隔を空けて本体部１１１を囲んでいる。枠部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合に円環状を呈している。枠部１１２は、可動ミラー１１の外縁に沿うように（可動ミラー１１の外縁を構成するように）配置されている。枠部１１２は、第２本体部１１２ａ及び第２梁部１１２ｂを有している。第２本体部１１２ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。

第２梁部１１２ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第２梁部１１２ｂは、第２本体部１１２ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。第２梁部１１２ｂは、Ｚ軸方向における枠部１１２の厚さがＺ軸方向における中央部１１４の厚さよりも厚くなるように形成されている。第２梁部１１２ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に円環状を呈している。第２梁部１１２ｂの外縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、枠部１１２の外縁から所定の間隔を空けて、枠部１１２の外縁に沿って延在している。第２梁部１１２ｂの内縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、枠部１１２の内縁から所定の間隔を空けて、枠部１１２の内縁に沿って延在している。

Ｚ軸方向における第２梁部１１２ｂの厚さは、Ｚ軸方向における第１梁部１１５ｂの厚さと等しい。Ｚ軸方向から見た場合に、第２梁部１１２ｂの幅は、第１梁部１１５ｂの幅よりも広い。なお、Ｚ軸方向から見た場合における第１梁部１１５ｂの幅とは、第１梁部１１５ｂの延在方向に垂直な方向における第１梁部１１５ｂの長さであり、本実施形態では、第１梁部１１５ｂの半径方向における第１梁部１１５ｂの長さである。この点は、Ｚ軸方向から見た場合における第２梁部１１２ｂの幅についても同様である。

一対の連結部１１３のそれぞれは、本体部１１１と枠部１１２とを互いに連結している。一対の連結部１１３は、本体部１１１に対してＹ軸方向における一方の側と他方の側とにそれぞれ配置されている。各連結部１１３は、第３本体部１１３ａ及び第３梁部１１３ｂを有している。第３本体部１１３ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第３本体部１１３ａは、第１本体部１１５ａ及び第２本体部１１２ａに接続されている。

第３梁部１１３ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第３梁部１１３ｂは、第１梁部１１５ｂ及び第２梁部１１２ｂに接続されている。第３梁部１１３ｂは、第３本体部１１３ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。第３梁部１１３ｂは、Ｚ軸方向における連結部１１３の厚さがＺ軸方向における中央部１１４の厚さよりも厚くなるように形成されている。Ｚ軸方向における第３梁部１１３ｂの厚さは、Ｚ軸方向における第１梁部１１５ｂ及び第２梁部１１２ｂのそれぞれの厚さと等しい。第３梁部１１３ｂの幅は、第１梁部１１５ｂ及び第２梁部１１２ｂのそれぞれの幅よりも大きい。第３梁部１１３ｂの幅とは、第１梁部１１５ｂの延在方向に沿っての第３梁部１１３ｂの長さである。

可動ミラー１１は、一対のブラケット１１６及び一対のブラケット１１７を更に有している。各ブラケット１１６及び各ブラケット１１７は、デバイス層５２の一部によって形成されている。各ブラケット１１６は、Ｙ軸方向に沿って延在し、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方のブラケット１１６は、枠部１１２の側面からＹ軸方向における一方の側に向かって突出しており、他方のブラケット１１６は、枠部１１２の側面からＹ軸方向における他方の側に向かって突出している。一対のブラケット１１６は、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。各ブラケット１１６は、本体部１１１の中心に対して第１光学機能部１７側に配置されている。

各ブラケット１１７は、Ｙ軸方向に沿って延在し、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方のブラケット１１７は、枠部１１２の側面からＹ軸方向における一方の側に向かって突出しており、他方のブラケット１１７は、枠部１１２の側面からＹ軸方向における他方の側に向かって突出している。一対のブラケット１１７は、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。各ブラケット１１７は、本体部１１１の中心に対して第２光学機能部１８側に配置されている。

駆動部１３は、第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及びアクチュエータ部１６を有している。第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及びアクチュエータ部１６のうち、後述する第４梁部１４１ｅ、第５梁部１４７ｂ、第６梁部１５１ｅ及び第７梁部１５７ｂ以外の部分は、デバイス層５２の一部によって形成されている。

第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５のそれぞれは、ベース１２と可動ミラー１１との間に接続されている。第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５は、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動可能となるように可動ミラー１１を支持している。

第１弾性支持部１４は、一対のレバー１４１、リンク１４２、リンク１４３、一対の第１トーションバー（捩り支持部）１４５、一対の第２トーションバー（捩り支持部）１４６、及び一対の電極支持部１４７を有している。一対のレバー１４１は、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側に配置されている。各レバー１４１は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈している。本実施形態では、各レバー１４１は、Ｘ軸方向に沿って延在している。

リンク１４２は、一対のレバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ａ間に掛け渡されている。リンク１４２は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈している。リンク１４２の両端部は、Ｙ軸方向に沿って延在している。リンク１４２の中間部は、枠部１１２に沿って延在しており、可動ミラー１１とは反対側に向かって凸状に湾曲している。リンク１４３は、一対のレバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂ間に掛け渡されている。リンク１４３は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈し、Ｙ軸方向に沿って延在している。本実施形態では、第１光学機能部１７は、一対のレバー１４１、リンク１４２及びリンク１４３によって画定された開口部である。第１光学機能部１７は、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。第１光学機能部１７は、例えば空洞である。或いは、第１光学機能部１７を構成する開口部内には、測定光Ｌ０に対して光透過性を有する材料が配置されてもよい。

一対の第１トーションバー１４５は、それぞれ、一方のブラケット１１６の先端部と一方の端部１４１ａとの間、及び、他方のブラケット１１６の先端部と他方の端部１４１ａとの間に掛け渡されている。つまり、一対の第１トーションバー１４５は、それぞれ、一対のレバー１４１と可動ミラー１１との間に接続されている。各第１トーションバー１４５は、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第１トーションバー１４５は、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

一対の第２トーションバー１４６は、それぞれ、一方のレバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂとベース１２との間、及び、他方のレバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂとベース１２との間に掛け渡されている。つまり、一対の第２トーションバー１４６は、それぞれ、一対のレバー１４１とベース１２との間に接続されている。各第２トーションバー１４６は、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第２トーションバー１４６は、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。各レバー１４１の端部１４１ｂには、Ｙ軸方向における外側に突出した突出部１４１ｃが設けられており、第２トーションバー１４６は、突出部１４１ｃに接続されている。

各電極支持部１４７は、Ｙ軸方向に沿って延在し、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方の電極支持部１４７は、一方のレバー１４１の中間部から第１光学機能部１７とは反対側に向かって延在している。他方の電極支持部１４７は、他方のレバー１４１の中間部から第１光学機能部１７とは反対側に突出している。一対の電極支持部１４７は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

第２弾性支持部１５は、一対のレバー１５１、リンク１５２、リンク１５３、一対の第１トーションバー（捩り支持部）１５５、一対の第２トーションバー（捩り支持部）１５６、及び一対の電極支持部１５７を有している。一対のレバー１５１は、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に配置されている。各レバー１５１は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈している。本実施形態では、各レバー１５１は、Ｘ軸方向に沿って延在している。

リンク１５２は、一対のレバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ａ間に掛け渡されている。リンク１５２は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈している。リンク１５２の両端部は、Ｙ軸方向に沿って延在している。リンク１５２の中間部は、枠部１１２に沿って延在しており、可動ミラー１１とは反対側に向かって凸状に湾曲している。リンク１５３は、一対のレバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂ間に掛け渡されている。リンク１５３は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈し、Ｙ軸方向に沿って延在している。本実施形態では、第２光学機能部１８は、一対のレバー１５１、リンク１５２及びリンク１５３によって画定された開口部である。第２光学機能部１８は、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。第２光学機能部１８は、例えば空洞である。或いは、第２光学機能部１８を構成する開口部内には、測定光Ｌ０に対して光透過性を有する材料が配置されてもよい。

一対の第１トーションバー１５５は、それぞれ、一方のブラケット１１７の先端部と一方の端部１５１ａとの間、及び、他方のブラケット１１７の先端部と他方の端部１５１ａとの間に掛け渡されている。つまり、一対の第１トーションバー１５５は、それぞれ、一対のレバー１５１と可動ミラー１１との間に接続されている。各第１トーションバー１５５は、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第１トーションバー１５５は、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

一対の第２トーションバー１５６は、それぞれ、一方のレバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂとベース１２との間、及び、他方のレバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂとベース１２との間に掛け渡されている。つまり、一対の第２トーションバー１５６は、それぞれ、一対のレバー１５１とベース１２との間に接続されている。各第２トーションバー１５６は、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第２トーションバー１５６は、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。各レバー１５１の端部１５１ｂには、Ｙ軸方向における外側に突出した突出部１５１ｃが設けられており、第２トーションバー１５６は、突出部１５１ｃに接続されている。

各電極支持部１５７は、Ｙ軸方向に沿って延在し、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方の電極支持部１５７は、一方のレバー１５１の中間部から第２光学機能部１８とは反対側に向かって延在している。他方の電極支持部１５７は、他方のレバー１５１の中間部から第２光学機能部１８とは反対側に突出している。一対の電極支持部１５７は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

アクチュエータ部１６は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。アクチュエータ部１６は、一対の第１固定櫛歯電極１６１、一対の第１可動櫛歯電極１６２、一対の第１固定櫛歯電極１６３、一対の第１可動櫛歯電極１６４、一対の第２固定櫛歯電極１６５、及び一対の第２可動櫛歯電極１６６を有している。第１固定櫛歯電極１６１，１６３及び第２固定櫛歯電極１６５の位置は、固定されている。第１可動櫛歯電極１６２，１６４及び第２可動櫛歯電極１６６は、可動ミラー１１の移動に伴って移動する。

一方の第１固定櫛歯電極１６１は、ベース１２のデバイス層５２における一方の電極支持部１４７と向かい合う表面に設けられている。他方の第１固定櫛歯電極１６１は、デバイス層５２における他方の電極支持部１４７と向かい合う表面に設けられている。各第１固定櫛歯電極１６１は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第１固定櫛歯１６１ａを有している。これらの第１固定櫛歯１６１ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

一方の第１可動櫛歯電極１６２は、一方の電極支持部１４７におけるＸ軸方向の他方の側（電極支持部１５７側）の表面に設けられている。他方の第１可動櫛歯電極１６２は、他方の電極支持部１４７におけるＸ軸方向の他方の側の表面に設けられている。つまり、一対の第１可動櫛歯電極１６２は、それぞれ、一対の電極支持部１４７によって支持されている。各第１可動櫛歯電極１６２は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第１可動櫛歯１６２ａを有している。これらの第１可動櫛歯１６２ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

一方の第１固定櫛歯電極１６１及び一方の第１可動櫛歯電極１６２においては、複数の第１固定櫛歯１６１ａと複数の第１可動櫛歯１６２ａとが互い違いに配置されている。つまり、一方の第１固定櫛歯電極１６１の各第１固定櫛歯１６１ａが一方の第１可動櫛歯電極１６２の第１可動櫛歯１６２ａ間に位置している。他方の第１固定櫛歯電極１６１及び他方の第１可動櫛歯電極１６２においては、複数の第１固定櫛歯１６１ａと複数の第１可動櫛歯１６２ａとが互い違いに配置されている。つまり、他方の第１固定櫛歯電極１６１の各第１固定櫛歯１６１ａが他方の第１可動櫛歯電極１６２の第１可動櫛歯１６２ａ間に位置している。一対の第１固定櫛歯電極１６１及び一対の第１可動櫛歯電極１６２において、隣り合う第１固定櫛歯１６１ａと第１可動櫛歯１６２ａとは、Ｙ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第１固定櫛歯１６１ａ及び第１可動櫛歯１６２ａ間の距離は、例えば数μｍ程度である。

一方の第１固定櫛歯電極１６３は、ベース１２のデバイス層５２における一方の電極支持部１５７と向かい合う表面に設けられている。他方の第１固定櫛歯電極１６３は、デバイス層５２における他方の電極支持部１５７と向かい合う表面に設けられている。各第１固定櫛歯電極１６３は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第１固定櫛歯１６３ａを有している。これらの第１固定櫛歯１６３ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

一方の第１可動櫛歯電極１６４は、一方の電極支持部１５７におけるＸ軸方向の一方の側（電極支持部１４７側）の表面に設けられている。他方の第１可動櫛歯電極１６４は、他方の電極支持部１５７におけるＸ軸方向の一方の側の表面に設けられている。つまり、一対の第１可動櫛歯電極１６４は、それぞれ、一対の電極支持部１５７によって支持されている。各第１可動櫛歯電極１６４は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第１可動櫛歯１６４ａを有している。これらの第１可動櫛歯１６４ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

一方の第１固定櫛歯電極１６３及び一方の第１可動櫛歯電極１６４においては、複数の第１固定櫛歯１６３ａと複数の第１可動櫛歯１６４ａとが互い違いに配置されている。つまり、一方の第１固定櫛歯電極１６３の各第１固定櫛歯１６３ａが一方の第１可動櫛歯電極１６４の第１可動櫛歯１６４ａ間に位置している。他方の第１固定櫛歯電極１６３及び他方の第１可動櫛歯電極１６４においては、複数の第１固定櫛歯１６３ａと複数の第１可動櫛歯１６４ａとが互い違いに配置されている。つまり、他方の第１固定櫛歯電極１６３の各第１固定櫛歯１６３ａが他方の第１可動櫛歯電極１６４の第１可動櫛歯１６４ａ間に位置している。一対の第１固定櫛歯電極１６３及び一対の第１可動櫛歯電極１６４において、隣り合う第１固定櫛歯１６３ａと第１可動櫛歯１６４ａとは、Ｙ軸方向において互いに向かい合っている。互いに隣り合う第１固定櫛歯１６３ａ及び第１可動櫛歯１６４ａ間の距離は、例えば数μｍ程度である。

一対の第２固定櫛歯電極１６５は、可動ミラー１１の外縁に沿って配置されている。一対の第２固定櫛歯電極１６５は、ベース１２のデバイス層５２において、枠部１１２におけるＹ軸方向の外側の表面と向かい合う表面にそれぞれ設けられている。各第２固定櫛歯電極１６５は、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第２固定櫛歯１６５ａを有している。これらの第２固定櫛歯１６５ａは、Ｘ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

一対の第２可動櫛歯電極１６６は、可動ミラー１１の外縁に沿って配置されている。一対の第２可動櫛歯電極１６６は、枠部１１２におけるＹ軸方向の外側の表面にそれぞれ設けられている。つまり、枠部１１２は、各第２可動櫛歯電極１６６を支持する電極支持部を構成している。各第２可動櫛歯電極１６６は、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第２可動櫛歯１６６ａを有している。これらの第２可動櫛歯１６６ａは、Ｘ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

一方の第２固定櫛歯電極１６５及び一方の第２可動櫛歯電極１６６においては、複数の第２固定櫛歯１６５ａと複数の第２可動櫛歯１６６ａとが互い違いに配置されている。つまり、一方の第２固定櫛歯電極１６５の各第２固定櫛歯１６５ａが一方の第２可動櫛歯電極１６６の第２可動櫛歯１６６ａ間に位置している。他方の第２固定櫛歯電極１６５及び他方の第２可動櫛歯電極１６６においては、複数の第２固定櫛歯１６５ａと複数の第２可動櫛歯１６６ａとが互い違いに配置されている。つまり、他方の第２固定櫛歯電極１６５の各第２固定櫛歯１６５ａが他方の第２可動櫛歯電極１６６の第２可動櫛歯１６６ａ間に位置している。一対の第２固定櫛歯電極１６５及び一対の第２可動櫛歯電極１６６において、隣り合う第２固定櫛歯１６５ａと第２可動櫛歯１６６ａとは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第２固定櫛歯１６５ａ及び第２可動櫛歯１６６ａ間の距離は、例えば数μｍ程度である。

ベース１２には、複数の電極パッド１２１，１２２が設けられている。各電極パッド１２１，１２２は、デバイス層５２に至るようにベース１２の主面１２ｂに形成された開口１２ｃ内において、デバイス層５２の表面に形成されている。各電極パッド１２１は、デバイス層５２を介して、第１固定櫛歯電極１６１、第１固定櫛歯電極１６３又は第２固定櫛歯電極１６５と電気的に接続されている。幾つかの電極パッド１２２は、第１弾性支持部１４又は第２弾性支持部１５を介して、第１可動櫛歯電極１６２又は第１可動櫛歯電極１６４と電気的に接続されている。他の電極パッド１２２は、第１弾性支持部１４及び可動ミラー１１の枠部１１２を介して、又は、第２弾性支持部１５及び可動ミラー１１の枠部１１２を介して、第２可動櫛歯電極１６６と電気的に接続されている。ワイヤ２６は、各電極パッド１２１，１２２と各リードピン２５との間に掛け渡されている。

第１固定櫛歯電極１６１，１６３及び第１可動櫛歯電極１６２，１６４は、駆動用の電極として用いられる。具体的には、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して、複数の電極パッド１２１と複数の電極パッド１２２との間に電圧が印加されると、例えばＺ軸方向における一方の側に可動ミラー１１を移動させるように、互いに対向する第１固定櫛歯電極１６１と第１可動櫛歯電極１６２との間、及び、互いに対向する第１固定櫛歯電極１６３と第１可動櫛歯電極１６４との間に静電気力が生じる。このとき、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５において各第１トーションバー１４５，１５５及び各第２トーションバー１４６，１５６が捩れて、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５に弾性力が生じる。光学デバイス１０では、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して第１固定櫛歯電極１６１，１６３及び第１可動櫛歯電極１６２，１６４に周期的な電気信号を付与することで、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１をその共振周波数レベルで往復動させることができる。このように、駆動部１３は、静電アクチュエータとして機能する。

第２固定櫛歯電極１６５及び第２可動櫛歯電極１６６は、モニタ用の電極として用いられる。具体的には、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６、並びに複数の電極パッド１２１及び複数の電極パッド１２２を介して、第２固定櫛歯電極１６５と第２可動櫛歯電極１６６との間の静電容量が検出される。当該静電容量は、Ｚ軸方向における可動ミラー１１の位置に応じて変化する。したがって、検出された静電容量に応じて駆動振動（印加する電圧の大きさ、周期等）を調整することで、可動ミラー１１の位置をフィードバック制御することができる。
［各部の詳細な構成］

図２〜図６を参照しつつ、枠部１１２、レバー１４１，１５１及び電極支持部１４７，１５７の構成について更に説明する。

上述したように、枠部１１２は、各第２可動櫛歯電極１６６を支持する電極支持部を構成している。また、上述したように、枠部１１２は、Ｚ軸方向における枠部１１２の厚さがＺ軸方向における中央部１１４の厚さよりも厚くなるように形成された第２梁部１１２ｂを有している。ここで、Ｚ軸方向における枠部１１２の厚さは、Ｚ軸方向における第２可動櫛歯１６６ａの厚さよりも厚い（図５参照）。すなわち、第２梁部１１２ｂは、Ｚ軸方向における枠部１１２の厚さがＺ軸方向における第２可動櫛歯１６６ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。

各レバー１４１は、第４本体部１４１ｄ及び第４梁部１４１ｅを有している。第４本体部１４１ｄは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第４梁部１４１ｅは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第４梁部１４１ｅは、第４本体部１４１ｄにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。第４梁部１４１ｅは、Ｚ軸方向から見た場合に長尺の矩形状を呈している。

第４梁部１４１ｅは、各レバー１４１において、次のように形成されている。第４梁部１４１ｅは、Ｚ軸方向におけるレバー１４１の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第４梁部１４１ｅは、レバー１４１における両方の端部１４１ａ，１４１ｂ間にわたって、Ｘ軸方向に沿って延在している。すなわち、第４梁部１４１ｅは、レバー１４１において、第１トーションバー１４５との接続位置と、リンク１４３との接続位置との間にわたって延在している。第４梁部１４１ｅにおけるＹ軸方向の外縁（第１光学機能部１７とは反対側の縁）は、Ｚ軸方向から見た場合に、レバー１４１におけるＹ軸方向の外縁から所定の間隔を空けて、当該外縁に沿って延在している。第４梁部１４１ｅにおけるＹ軸方向の内縁（第１光学機能部１７側の縁）は、Ｚ軸方向から見た場合に、レバー１４１におけるＹ軸方向の内縁から所定の間隔を空けて、当該内縁に沿って延在している。

各電極支持部１４７は、第５本体部１４７ａ及び第５梁部１４７ｂを有している。第５本体部１４７ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第５本体部１４７ａは、第４本体部１４１ｄに接続されている。第１可動櫛歯電極１６２は、第５本体部１４７ａから延在している。第５梁部１４７ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第５梁部１４７ｂは、第５本体部１４７ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。第５梁部１４７ｂは、第４梁部１４１ｅに接続されている。第５梁部１４７ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。

第５梁部１４７ｂは、各電極支持部１４７において、次のように形成されている。第５梁部１４７ｂは、Ｚ軸方向における電極支持部１４７の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第５梁部１４７ｂは、電極支持部１４７の両端部間にわたって、Ｙ軸方向に沿って延在している。第５梁部１４７ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１４７におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第５梁部１４７ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１４７におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。

Ｚ軸方向における第４梁部１４１ｅの厚さは、Ｚ軸方向における第１梁部１１５ｂの厚さと等しい。第４梁部１４１ｅの幅（Ｙ軸方向における長さ）は、第１梁部１１５ｂの幅よりも広く、第２梁部１１２ｂの幅と略等しい。第５梁部１４７ｂの厚さは、第４梁部１４１ｅの厚さと略等しい。第５梁部１４７ｂの幅（Ｘ軸方向における長さ）は、第４梁部１４１ｅの幅と略等しい、又は第４梁部１４１ｅの幅よりも僅かに小さい。Ｚ軸方向における第１梁部１１５ｂ、第４梁部１４１ｅ及び第５梁部１４７ｂのそれぞれの厚さは、Ｚ軸方向における第１トーションバー１４５及び第２トーションバー１４６の厚さよりも厚い。

可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動している際における、第１可動櫛歯電極１６２を支持する電極支持部１４７の歪みを抑制するために、Ｚ軸方向における電極支持部１４７の厚さＴ１、及びＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さＴ２は、下記式（２）を満たしていてもよい。
Ｔ１^３×Ｗ１／Ｃ１^３≧Ｎ１×Ｔ２^３×Ｗ２／Ｃ２^３ …（２）
上記式（１）において、Ｗ１は電極支持部１４７の幅（Ｘ軸方向における長さ）であり、Ｃ１は電極支持部１４７の長さ（Ｙ軸方向における長さ）であり、Ｎ１は１つの第１可動櫛歯電極１６２に含まれる第１可動櫛歯１６２ａの本数であり、Ｗ２は第１可動櫛歯１６２ａの幅（Ｙ軸方向における長さ）であり、Ｃ２はＺ軸方向から見た場合における第１可動櫛歯１６２ａの長さ（Ｘ軸方向における長さ）である。これにより、電極支持部１４７を第１可動櫛歯電極１６２と比べて歪み難くすることが可能となる。

本実施形態では、第１固定櫛歯電極１６１及び第１可動櫛歯電極１６２と可動ミラー１１との間の距離を確保するために、各電極支持部１４７及び各第１可動櫛歯電極１６２は、Ｘ軸方向（レバー１４１の延在方向）において、レバー１４１の中心Ａに対して可動ミラー１１とは反対側に位置するように、配置されている（図２参照）。

各レバー１５１は、第６本体部１５１ｄ及び第６梁部１５１ｅを有している。第６本体部１５１ｄは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第６梁部１５１ｅは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第６梁部１５１ｅは、第６本体部１５１ｄにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。第６梁部１５１ｅは、Ｚ軸方向から見た場合に長尺の矩形状を呈している。

第６梁部１５１ｅは、各レバー１５１において、次のように形成されている。第６梁部１５１ｅは、Ｚ軸方向におけるレバー１５１の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第６梁部１５１ｅは、レバー１５１における両方の端部１５１ａ，１５１ｂ間にわたって、Ｘ軸方向に沿って延在している。すなわち、第６梁部１５１ｅは、レバー１５１において、第１トーションバー１５５との接続位置と、リンク１５３との接続位置との間にわたって延在している。第６梁部１５１ｅにおけるＹ軸方向の外縁（第２光学機能部１８とは反対側の縁）は、Ｚ軸方向から見た場合に、レバー１５１におけるＹ軸方向の外縁から所定の間隔を空けて、当該外縁に沿って延在している。第６梁部１５１ｅにおけるＹ軸方向の内縁（第２光学機能部１８側の縁）は、Ｚ軸方向から見た場合に、レバー１５１におけるＹ軸方向の内縁から所定の間隔を空けて、当該内縁に沿って延在している。第６梁部１５１ｅは、例えば、第４梁部１４１ｅと同一の形状に形成されている。

各電極支持部１５７は、第７本体部１５７ａ及び第７梁部１５７ｂを有している。第７本体部１５７ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第７本体部１５７ａは、第６本体部１５１ｄに接続されている。第１可動櫛歯電極１６４は、第７本体部１５７ａから延在している。第７梁部１５７ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第７梁部１５７ｂは、第７本体部１５７ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。第７梁部１５７ｂは、第６梁部１５１ｅに接続されている。第７梁部１５７ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。

第７梁部１５７ｂは、各電極支持部１５７において、次のように形成されている。第７梁部１５７ｂは、Ｚ軸方向における電極支持部１５７の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第７梁部１５７ｂは、電極支持部１５７の両端部間にわたって、Ｙ軸方向に沿って延在している。第７梁部１５７ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１５７におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第７梁部１５７ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１５７におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第７梁部１５７ｂは、例えば、第５梁部１４７ｂと同一の形状に形成されている。

可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動している際における、第１可動櫛歯電極１６４を支持する電極支持部１５７の歪みを抑制するために、Ｚ軸方向における電極支持部１５７の厚さＴ３、及びＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さＴ４は、下記式（３）を満たしていてもよい。
Ｔ３^３×Ｗ３／Ｃ３^３≧Ｎ２×Ｔ４^３×Ｗ４／Ｃ４^３ …（３）
上記式（３）において、Ｗ３は電極支持部１５７の幅（Ｘ軸方向における長さ）であり、Ｃ１は電極支持部１５７の長さ（Ｙ軸方向における長さ）であり、Ｎ２は１つの第１可動櫛歯電極１６４に含まれる第１可動櫛歯１６４ａの本数であり、Ｗ４は第１可動櫛歯１６４ａの幅（Ｙ軸方向における長さ）であり、Ｃ４は第１可動櫛歯１６４ａの長さ（Ｘ軸方向における長さ）である。これにより、電極支持部１５７を第１可動櫛歯電極１６４と比べて歪み難くすることが可能となる。

本実施形態では、第１固定櫛歯電極１６３及び第１可動櫛歯電極１６４から可動ミラー１１までの距離を確保するために、各電極支持部１５７及び各第１可動櫛歯電極１６４は、Ｘ軸方向（レバー１５１の延在方向）において、レバー１５１の中心Ｂに対して可動ミラー１１とは反対側に位置するように、配置されている（図２参照）。
［作用及び効果］

以上説明した光学デバイス１０では、第５梁部１４７ｂが形成されることにより、Ｚ軸方向における電極支持部１４７の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなっており、当該電極支持部１４７によって第１可動櫛歯電極１６２が支持されている。また、第７梁部１５７ｂが形成されることにより、Ｚ軸方向における電極支持部１５７の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さよりも厚くなっており、当該電極支持部１５７によって第１可動櫛歯電極１６４が支持されている。また、第２梁部１１２ｂが形成されることにより、Ｚ軸方向における枠部１１２の厚さがＺ軸方向における第２可動櫛歯１６６ａの厚さよりも厚くなっており、当該枠部１１２によって第２可動櫛歯電極１６６が支持されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動している際に、第１可動櫛歯電極１６２，１６４及び第２可動櫛歯電極１６６を支持する電極支持部１４７，１５７及び枠部１１２が歪むのを抑制することができる。したがって、第１可動櫛歯電極１６２，１６４及び第２可動櫛歯電極１６６を可動ミラー１１と一体的に移動させることができ、互いに隣り合う第１可動櫛歯１６２ａと第１固定櫛歯１６１ａとの間の間隔、互いに隣り合う第１可動櫛歯１６４ａと第１固定櫛歯１６３ａとの間の間隔、及び、互いに隣り合う第２可動櫛歯１６６ａと第２固定櫛歯１６５ａとの間の間隔が変動するのを抑制することができる。その結果、信頼性を高めることができる。

また、光学デバイス１０では、レバー１４１から延在する電極支持部１４７、及び、レバー１５１から延在する電極支持部１５７によって、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

また、光学デバイス１０では、第１可動櫛歯電極１６２が、Ｘ軸方向において、レバー１４１の中心Ａに対して可動ミラー１１とは反対側に位置している。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って大きく移動したとしても、互いに隣り合う第１固定櫛歯１６１ａ間の領域から第１可動櫛歯１６２ａが外れ難い。また、第１可動櫛歯電極１６４が、Ｘ軸方向において、レバー１５１の中心Ｂに対して可動ミラー１１とは反対側に位置している。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って大きく移動したとしても、互いに隣り合う第１固定櫛歯１６３ａ間の領域から第１可動櫛歯１６４ａが外れ難い。したがって、可動ミラー１１の可動範囲の全体にわたって、第１固定櫛歯電極１６１と第１可動櫛歯電極１６２との間、及び、第１固定櫛歯電極１６３と第１可動櫛歯電極１６４との間に静電気力を生じさせることができる。

また、光学デバイス１０では、図２に示されるように、各電極支持部１４７及び各第１可動櫛歯電極１６２は、Ｘ軸方向において、レバー１４１を３等分する点Ｃ，Ｃ間に位置している。また、各電極支持部１５７及び各第１可動櫛歯電極１６４は、Ｘ軸方向において、レバー１５１を３等分する点Ｄ，Ｄ間に位置している。これにより、可動ミラー１１の可動範囲の全体にわたって、第１固定櫛歯電極１６１と第１可動櫛歯電極１６２との間、及び、第１固定櫛歯電極１６３と第１可動櫛歯電極１６４との間に静電気力を生じさせることと、当該静電気力を可動ミラー１１の駆動力として効率良く利用することの両立を図ることができる。

また、光学デバイス１０では、レバー１４１が、Ｚ軸方向におけるレバー１４１の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなるように形成された第４梁部１４１ｅを有している。また、レバー１５１が、Ｚ軸方向におけるレバー１５１の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さよりも厚くなるように形成された第６梁部１５１ｅを有している。これにより、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを一層確実に抑制することができ、信頼性を一層高めることができる。

また、光学デバイス１０では、Ｚ軸方向における電極支持部１４７の厚さＴ１、及びＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さＴ２が、上記式（２）を満たしている。また、Ｚ軸方向における電極支持部１５７の厚さＴ３、及びＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さＴ４が、上記式（３）を満たしている。これにより、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのをより一層確実に抑制することが可能となる。

また、光学デバイス１０では、電極支持部（枠部１１２）が、可動ミラー１１の外縁に沿って配置されるように、可動ミラー１１に設けられている。これにより、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５におけるベース１２に対する接続位置から第２可動櫛歯電極１６６までの距離を確保することができる。その結果、第２固定櫛歯電極１６５と第２可動櫛歯電極１６６との間の静電容量の変化が大きいため、可動ミラー１１の位置を容易に且つ確実に検出することができる。

また、光学デバイス１０では、枠部１１２によって電極支持部が構成されている。これにより、本体部１１１を囲む枠部１１２によって第２可動櫛歯電極１６６と第２固定櫛歯電極１６５との間の間隔が変動するのを抑制することができる。また、光学デバイス１０では、可動ミラー１１が、本体部１１１と、Ｚ軸方向から見た場合に本体部１１１から所定の間隔を空けて本体部を囲む枠部１１２と、本体部１１１と枠部１１２とを互いに連結する連結部１１３と、を有している。これにより、第１トーションバー１４５，１５５からの断面力（曲げモーメント）が本体部１１１に伝わり難くなり、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動している際に本体部１１１が歪むのを抑制することができる。

また、光学デバイス１０では、第１梁部１１５ｂが形成されることにより、Ｚ軸方向における外縁部１１５の厚さがＺ軸方向における中央部１１４の厚さよりも厚くなっている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動している際に本体部１１１が歪むのを抑制することができる。また、第２梁部１１２ｂが形成されることにより、Ｚ軸方向における枠部１１２の厚さがＺ軸方向における中央部１１４の厚さよりも厚くなっている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動している際に枠部１１２が歪むのを抑制することができ、ひいては枠部１１２の歪みに起因する本体部１１１の歪みを抑制することができる。
［変形例］

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られない。光学デバイス１０は、図７に示される第１変形例のように構成されてもよい。第１変形例では、各レバー１４１に一対の電極支持部１４７が設けられている。各電極支持部１４７には、第１可動櫛歯電極１６２が設けられている。一対の電極支持部１４７は、各レバー１４１において、次のように形成されている。一対の電極支持部１４７は、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。一方の電極支持部１４７は、上記実施形態の電極支持部１４７と同一の位置に配置されている。他方の電極支持部１４７、及び、他方の電極支持部１４７によって支持された第１可動櫛歯電極１６２は、Ｘ軸方向において、レバー１４１の中心Ａに対して可動ミラー１１側に位置している。より詳細には、他方の電極支持部１４７、及び、他方の電極支持部１４７によって支持された第１可動櫛歯電極１６２は、Ｘ軸方向において、レバー１４１を３等分する点Ｃ，Ｃよりも可動ミラー１１側に位置している。

第１変形例では、各レバー１５１に一対の電極支持部１５７が設けられている。各電極支持部１５７には、第１可動櫛歯電極１６４が設けられている。一対の電極支持部１５７は、各レバー１５１において、次のように形成されている。一対の電極支持部１５７は、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。一方の電極支持部１５７は、上記実施形態の電極支持部１５７と同一の位置に配置されている。他方の電極支持部１５７、及び、他方の電極支持部１５７によって支持された第１可動櫛歯電極１６４は、Ｘ軸方向において、レバー１５１の中心Ａに対して可動ミラー１１側に位置している。より詳細には、他方の電極支持部１５７、及び、他方の電極支持部１５７によって支持された第１可動櫛歯電極１６４は、Ｘ軸方向において、レバー１５１を３等分する点Ｄ，Ｄよりも可動ミラー１１側に位置している。

このような第１変形例によっても、上記実施形態と同様に、第１可動櫛歯電極１６２，１６４を支持する電極支持部１４７，１５７が歪むのを抑制することができ、信頼性を高めることができる。また、第１変形例では、他方の第１可動櫛歯電極１６２が、Ｘ軸方向において、レバー１４１の中心Ａに対して可動ミラー１１側に位置している。これにより、第１弾性支持部１４におけるベース１２に対する接続位置から他方の第１可動櫛歯電極１６２までの距離を確保することができる。また、他方の第１可動櫛歯電極１６４が、Ｘ軸方向において、レバー１５１の中心Ｂに対して可動ミラー１１側に位置している。これにより、第２弾性支持部１５におけるベース１２に対する接続位置から他方の第１可動櫛歯電極１６４までの距離を確保することができる。その結果、第１固定櫛歯電極１６１と第１可動櫛歯電極１６２との間、及び、第１固定櫛歯電極１６３と第１可動櫛歯電極１６４との間に生じる静電気力を可動ミラー１１の駆動力として効率良く利用することができる。

また、第１変形例では、一対の電極支持部１４７及び一対の電極支持部１５７がＸ軸方向に沿って並んで配置されている。これにより、複数の電極支持部１４７，１５７が設けられているため、駆動力を確保することができる。第１変形例では、電極支持部１４７，１５７の幅ではなく厚さを増加させることにより、第１可動櫛歯電極１６２，１６４を支持する電極支持部１４７，１５７の歪みを抑制しているため、複数の電極支持部１４７，１５７をＸ軸方向に沿って並ぶように配置することが可能となっている。なお、一のレバー１４１に３つ以上の電極支持部が設けられてもよい。この点はレバー１５１についても同様である。

光学デバイス１０は、図８に示される第２変形例のように構成されてもよい。第２変形例では、第１弾性支持部１４は、一対のレバー１４１、リンク１４２、リンク１４３、一対の第１トーションバー１４５、一対の第２トーションバー１４６、一対の第２レバー１７１、リンク１７２、及び、一対の第３トーションバー１７３を有している。各レバー１４１は、端部１４１ｂが第１光学機能部１７側に向かって屈曲した形状を呈している。一対の第２レバー１７１は、Ｙ軸方向におけるレバー１４１の両側に配置されている。各第２レバー１７１は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈し、レバー１４１に沿って延在している。

リンク１７２は、一対の第２レバー１７１における可動ミラー１１とは反対側の端部１７１ａ間に掛け渡されている。リンク１７２は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈し、Ｙ軸方向に沿って延在している。リンク１７２は、リンク１４３に対して第１光学機能部１７とは反対側に配置され、リンク１４３に沿って延在している。一対の第２トーションバー１４６は、それぞれ、一方のレバー１４１の端部１４１ｂと一方の第２レバー１７１の端部１７１ａとの間、及び、他方のレバー１４１の端部１４１ｂと他方の第２レバー１７１の端部１７１ａとの間に掛け渡されている。一対の第３トーションバー１７３は、一方の第２レバー１７１における可動ミラー１１側の端部１７１ｂとベース１２との間、及び、他方の第２レバー１７１における可動ミラー１１側の端部１７１ｂとベース１２との間に掛け渡されている。

リンク１７２における第１光学機能部１７とは反対側の表面には、複数の第１可動櫛歯１６２ａを有する第１可動櫛歯電極１６２が設けられている。つまり、リンク１７２は、第１可動櫛歯電極１６２を支持する電極支持部を構成している。各リンク１７２は、第８本体部１７２ａ及び第８梁部１７２ｂを有している。第８本体部１７２ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第１可動櫛歯電極１６２は、第８本体部１７２ａから延在している。第８梁部１７２ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第８梁部１７２ｂは、第８本体部１７２ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。

第８梁部１７２ｂは、Ｚ軸方向におけるリンク１７２の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第８梁部１７２ｂは、リンク１７２の両端部間にわたって、Ｙ軸方向に沿って延在している。第８梁部１７２ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、リンク１７２におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第８梁部１７２ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、リンク１７２におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。

第２弾性支持部１５は、一対のレバー１５１、リンク１５２、リンク１５３、一対の第１トーションバー１５５、一対の第２トーションバー１５６、一対の第２レバー１８１、リンク１８２、及び、一対の第３トーションバー１８３を有している。各レバー１５１は、端部１５１ｂが第２光学機能部１８側に向かって屈曲した形状を呈している。一対の第２レバー１８１は、Ｙ軸方向におけるレバー１５１の両側に配置されている。各第２レバー１８１は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈し、レバー１５１に沿って延在している。

リンク１８２は、一対の第２レバー１８１における可動ミラー１１とは反対側の端部１８１ａ間に掛け渡されている。リンク１８２は、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する板状を呈し、Ｙ軸方向に沿って延在している。リンク１８２は、リンク１５３に対して第２光学機能部１８とは反対側に配置され、リンク１５３に沿って延在している。一対の第２トーションバー１５６は、それぞれ、一方のレバー１５１の端部１５１ｂと一方の第２レバー１８１の端部１８１ａとの間、及び、他方のレバー１５１の端部１５１ｂと他方の第２レバー１８１の端部１８１ａとの間に掛け渡されている。一対の第３トーションバー１８３は、一方の第２レバー１８１における可動ミラー１１側の端部１８１ｂとベース１２との間、及び、他方の第２レバー１８１における可動ミラー１１側の端部１８１ｂとベース１２との間に掛け渡されている。

リンク１８２における第２光学機能部１８とは反対側の表面には、複数の第１可動櫛歯１６４ａを有する第１可動櫛歯電極１６４が設けられている。つまり、リンク１８２は、第１可動櫛歯電極１６４を支持する電極支持部を構成している。各リンク１８２は、第９本体部１８２ａ及び第９梁部１８２ｂを有している。第９本体部１８２ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第１可動櫛歯電極１６４は、第９本体部１８２ａから延在している。第９梁部１８２ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第９梁部１８２ｂは、第９本体部１８２ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。

第９梁部１８２ｂは、Ｚ軸方向におけるリンク１８２の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第９梁部１８２ｂは、リンク１８２の両端部間にわたって、Ｙ軸方向に沿って延在している。第９梁部１８２ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、リンク１８２におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第９梁部１８２ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、リンク１８２におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。

このような第２変形例によっても、上記実施形態と同様に、第１可動櫛歯電極１６２，１６４及び第２可動櫛歯電極１６６と第１固定櫛歯電極１６１，１６３及び第２固定櫛歯電極１６５との間の間隔が変動するのを抑制することができ、信頼性を高めることができる。特に、第２変形例では、一対の第２レバー１７１間に掛け渡されたリンク１７２、及び、一対の第２レバー１８１間に掛け渡されたリンク１８２によって、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

光学デバイス１０は、図９に示される第３変形例のように構成されてもよい。第３変形例では、第２固定櫛歯電極１６５及び第２可動櫛歯電極１６６が設けられていない。枠部１１２が、Ｚ軸方向から見た場合に八角形環状を呈しており、第２梁部１１２ｂが、Ｚ軸方向から見た場合に八角形環状を呈している。可動ミラー１１は、ブラケット１１６及びブラケット１１７を１つずつ有している。ブラケット１１６は、第１光学機能部１７側に突出するように、枠部１１２における第１光学機能部１７側の表面に設けられている。ブラケット１１７は、第２光学機能部１８側に突出するように、枠部１１２における第２光学機能部１８側の表面に設けられている。

第１弾性支持部１４は、一対のレバー１４１、リンク１４２、一対の第１トーションバー１４５、一対の第２トーションバー１４６、一対のブラケット１７４、一対の延在部１７５、一対のブラケット１７６、リンク１７７、及び、一対の非線形性緩和ばね１７８を含んでいる。一対のレバー１４１は、可動ミラー１１側から、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側に、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。

各レバー１４１は、可動ミラー１１側に配置された第１部分１４１ｆと、第１部分１４１ｆに対して可動ミラー１１とは反対側に配置された第２部分１４１ｇと、を有している。一対のレバー１４１において、第１部分１４１ｆは、可動ミラー１１から遠ざかるほど互いに離れるように傾斜して延在している。各第２部分１４１ｇは、Ｘ軸方向に沿って延在している。一対のブラケット１７４は、可動ミラー１１側に突出するように、第１部分１４１ｆにおける可動ミラー１１側の表面に設けられている。各ブラケット１７４は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側にクランク状に屈曲した形状を呈している。

各延在部１７５は、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方の延在部１７５は、一方のレバー１４１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。他方の延在部１７５は、他方のレバー１４１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。一対の延在部１７５は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

延在部１７５におけるＸ軸方向の両側の表面には、複数の第１可動櫛歯１６２ａを有する第１可動櫛歯電極１６２が設けられている。つまり、延在部１７５は、第１可動櫛歯電極１６２を支持する電極支持部を構成している。各延在部１７５は、第１０本体部１７５ａ及び第１０梁部１７５ｂを有している。第１０本体部１７５ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第１可動櫛歯電極１６２は、第１０本体部１７５ａから延在している。第１０梁部１７５ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第１０梁部１７５ｂは、第１０本体部１７５ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。

第１０梁部１７５ｂは、Ｚ軸方向における延在部１７５の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第１０梁部１７５ｂは、延在部１７５の両端部間にわたって、Ｙ軸方向に沿って延在している。第１０梁部１７５ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、延在部１７５におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第１０梁部１７５ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、延在部１７５におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。

一対のブラケット１７６は、第１光学機能部１７側に突出するように、延在部１７５における第１光学機能部１７側の表面に設けられている。各ブラケット１７６は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１７４とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１７６の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１７４の先端部と向かい合っている。他方のブラケット１７６の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１７４の先端部と向かい合っている。

リンク１７７は、一対の延在部１７５における内側の端部間に掛け渡されている。リンク１７７は、Ｚ軸方向から見た場合に、可動ミラー１１側に向けて開口した略Ｕ字状を呈している。リンク１７７は、Ｙ軸方向において可動ミラー１１のブラケット１１６と向かい合っている。より詳細には、リンク１７７は、Ｘ軸方向に延在し、Ｙ軸方向において互いに向かい合う一対の辺部１７７ａを有しており、ブラケット１１６は、一対の辺部１７７ａ間に配置されている。

一対の第１トーションバー１４５は、それぞれ、一方のブラケット１７４の先端部と一方のブラケット１７６の先端部との間、及び、他方のブラケット１７４の先端部と他方のブラケット１７６の先端部との間に掛け渡されている。一対の第２トーションバー１４６は、それぞれ、一方のレバー１４１の端部１４１ｂとベース１２との間、及び、他方のレバー１４１の端部１４１ｂとベース１２との間に掛け渡されている。

一対の非線形性緩和ばね１７８は、ブラケット１１６に対してＹ軸方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置されている。各非線形性緩和ばね１７８は、ブラケット１１６を介して可動ミラー１１に接続されると共に、リンク１７７、延在部１７５及びブラケット１７６を介して第１トーションバー１４５に接続されている。つまり、各非線形性緩和ばね１７８は、可動ミラー１１と第１トーションバー１４５との間に接続されている。各非線形性緩和ばね１７８は、ブラケット１１６とリンク１７７の一対の辺部１７７ａとの間に掛け渡された一対の板状部１７８ａを有している。

各板状部１７８ａは、Ｘ軸方向に垂直な平板状を呈している。一の非線形性緩和ばね１７８において、一対の板状部１７８ａは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。一対の非線形性緩和ばね１７８において、Ｘ軸方向における一方の側に位置する板状部１７８ａは、Ｘ軸方向に垂直な一の平面に沿って配置されており、Ｘ軸方向における他方の側に位置する板状部１７８ａは、Ｘ軸方向に垂直な他の平面に沿って配置されている。

各板状部１７８ａの長さ（Ｙ軸方向における長さ）は、第１トーションバー１４５の長さ及び第２トーションバー１４６の長さのそれぞれよりも長い。各板状部１７８ａの幅（Ｘ軸方向における長さ）は、第１トーションバー１４５の幅及び第２トーションバー１４６の幅のそれぞれよりも狭い。非線形性緩和ばね１７８は、可動ミラー１１がＺ軸方向に移動した状態において、Ｙ軸方向周りにおける非線形性緩和ばね１７８の変形量がＹ軸方向周りにおける第１トーションバー１４５及び第２トーションバー１４６のそれぞれの変形量よりも小さくなり、且つ、Ｘ軸方向における非線形性緩和ばね１７８の変形量がＸ軸方向における第１トーションバー１４５及び第２トーションバー１４６のそれぞれの変形量よりも大きくなるように、構成されている。なお、Ｙ軸方向周りにおける第１トーションバー１４５、第２トーションバー１４６及び非線形性緩和ばね１７８の変形量とは、例えば、捩れ量（捩れ角度）の絶対値を意味する。Ｘ軸方向における第１トーションバー１４５、第２トーションバー１４６及び非線形性緩和ばね１７８の変形量とは、例えば、撓み量の絶対値を意味する。板状部１７８ａにおけるブラケット１１６側及び辺部１７７ａ側の少なくとも一方の端部に、当該端部に近づくほど幅が広がる拡幅部が設けられている場合、板状部１７８ａの長さとは、当該拡幅部を含めない板状部１７８ａの長さを意味し、板状部１７８ａの幅とは、当該拡幅部を含めない板状部１７８ａの幅を意味する。これらの点は、第１トーションバー１４５，１５５及び第２トーションバー１４６，１５６、並びに、後述する板状部１８８ａのそれぞれについても同様である。

第２弾性支持部１５は、一対のレバー１５１、リンク１５２、一対の第１トーションバー１５５、一対の第２トーションバー１５６、一対のブラケット１８４、一対の延在部１８５、一対のブラケット１８６、リンク１８７、及び、一対の非線形性緩和ばね１８８を含んでいる。一対のレバー１５１は、可動ミラー１１側から、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。

各レバー１５１は、可動ミラー１１側に配置された第１部分１５１ｆと、第１部分１５１ｆに対して可動ミラー１１とは反対側に配置された第２部分１５１ｇと、を有している。一対のレバー１５１において、第１部分１５１ｆは、可動ミラー１１から遠ざかるほど互いに離れるように傾斜して延在している。各第２部分１５１ｇは、Ｘ軸方向に沿って延在している。一対のブラケット１８４は、可動ミラー１１側に突出するように、第１部分１５１ｆにおける可動ミラー１１側の表面に設けられている。各ブラケット１８４は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１７４とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。

各延在部１８５は、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方の延在部１８５は、一方のレバー１５１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。他方の延在部１８５は、他方のレバー１５１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。一対の延在部１８５は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

延在部１８５におけるＸ軸方向の両側の表面には、複数の第１可動櫛歯１６４ａを有する第１可動櫛歯電極１６４が設けられている。つまり、延在部１８５は、第１可動櫛歯電極１６４を支持する電極支持部を構成している。各延在部１８５は、第１１本体部１８５ａ及び第１１梁部１８５ｂを有している。第１１本体部１８５ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第１可動櫛歯電極１６４は、第１１本体部１８５ａから延在している。第１１梁部１８５ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第１１梁部１８５ｂは、第１１本体部１８５ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。

第１１梁部１８５ｂは、Ｚ軸方向における延在部１８５の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第１１梁部１８５ｂは、延在部１８５の両端部間にわたって、Ｙ軸方向に沿って延在している。第１１梁部１８５ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、延在部１８５におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第１１梁部１８５ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、延在部１８５におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。

一対のブラケット１８６は、第２光学機能部１８側に突出するように、延在部１８５における第２光学機能部１８側の表面に設けられている。各ブラケット１８６は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１８４とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１８６の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１８４の先端部と向かい合っている。他方のブラケット１８６の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１８４の先端部と向かい合っている。

リンク１８７は、一対の延在部１８５における内側の端部間に掛け渡されている。リンク１８７は、Ｚ軸方向から見た場合に、可動ミラー１１側に向けて開口した略Ｕ字状を呈している。リンク１８７は、Ｙ軸方向において可動ミラー１１のブラケット１１７と向かい合っている。より詳細には、リンク１８７は、Ｘ軸方向に延在し、Ｙ軸方向において互いに向かい合う一対の辺部１８７ａを有しており、ブラケット１１７は、一対の辺部１８７ａ間に配置されている。

一対の第１トーションバー１５５は、それぞれ、一方のブラケット１８４の先端部と一方のブラケット１８６の先端部との間、及び、他方のブラケット１８４の先端部と他方のブラケット１８６の先端部との間に掛け渡されている。一対の第２トーションバー１５６は、それぞれ、一方のレバー１５１の端部１５１ｂとベース１２との間、及び、他方のレバー１５１の端部１５１ｂとベース１２との間に掛け渡されている。

一対の非線形性緩和ばね１８８は、ブラケット１１７に対してＹ軸方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置されている。各非線形性緩和ばね１８８は、ブラケット１１７を介して可動ミラー１１に接続されると共に、リンク１８７、延在部１８５及びブラケット１８６を介して第１トーションバー１５５に接続されている。つまり、各非線形性緩和ばね１８８は、可動ミラー１１と第１トーションバー１５５との間に接続されている。各非線形性緩和ばね１８８は、ブラケット１１７とリンク１８７の一対の辺部１８７ａとの間に掛け渡された一対の板状部１８８ａを有している。

各板状部１８８ａは、Ｘ軸方向に垂直な平板状を呈している。一の非線形性緩和ばね１８８において、一対の板状部１８８ａは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。一対の非線形性緩和ばね１８８において、Ｘ軸方向における一方の側に位置する板状部１８８ａは、Ｘ軸方向に垂直な一の平面に沿って配置されており、Ｘ軸方向における他方の側に位置する板状部１８８ａは、Ｘ軸方向に垂直な他の平面に沿って配置されている。

各板状部１８８ａは、例えば、板状部１７８ａと同一の形状に形成されている。各板状部１８８ａの長さは、第１トーションバー１５５の長さ及び第２トーションバー１５６の長さのそれぞれよりも長い。各板状部１８８ａの幅は、第１トーションバー１５５の幅及び第２トーションバー１５６の幅のそれぞれよりも狭い。非線形性緩和ばね１８８は、可動ミラー１１がＺ軸方向に移動した状態において、Ｙ軸方向周りにおける非線形性緩和ばね１８８の変形量がＹ軸方向周りにおける第１トーションバー１５５及び第２トーションバー１５６のそれぞれの変形量よりも小さくなり、且つ、Ｘ軸方向における非線形性緩和ばね１８８の変形量がＸ軸方向における第１トーションバー１５５及び第２トーションバー１５６のそれぞれの変形量よりも大きくなるように、構成されている。

第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８のそれぞれは、ＳＯＩ基板５０に形成された光通過開口部である。第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８のそれぞれは、Ｚ軸方向から見た場合に円形状を呈している。

このような第３変形例によっても、上記実施形態と同様に、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを抑制することができ、信頼性を高めることができる。特に、第３変形例では、Ｚ軸方向から見た場合にレバー１４１と可動ミラー１１との間に延在する延在部１７５、及び、Ｚ軸方向から見た場合にレバー１５１と可動ミラー１１との間に延在する延在部１８５により、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを抑制することができる。また、第１弾性支持部１４が非線形性緩和ばね１７８を有すると共に、第２弾性支持部１５が非線形性緩和ばね１８８を有しているため、第１トーションバー１４５，１５５及び第２トーションバー１４６，１５６の捩れ変形に非線形性が生じるのを抑制することができる。また、そのように非線形性緩和ばね１７８，１８８が設けられた構成において、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

光学デバイス１０は、図１０に示される第４変形例のように構成されてもよい。第４変形例は、以下の点において上記第３変形例と相違する。第４変形例では、第１可動櫛歯電極１６２が、一対のレバー１４１における第１部分１４１ｆ、及びリンク１４２にわたって配置されている。つまり、一対のレバー１４１及びリンク１４２が、第１可動櫛歯電極１６２を支持する電極支持部を構成している。以下、一対のレバー１４１及びリンク１４２を電極支持部１７９と記すことがある。第１可動櫛歯電極１６４が、一対のレバー１５１における第１部分１５１ｆ、及びリンク１５２にわたって配置されている。つまり、一対のレバー１５１及びリンク１５２が、第１可動櫛歯電極１６４を支持する電極支持部を構成している。以下、一対のレバー１４１及びリンク１４２を電極支持部１８９と記すことがある。

一対の延在部１７５に代えて、一対の中間部１７５Ａが設けられている。各中間部１７５Ａは、ブラケット１７４，１７６及び第１トーションバー１４５を介してレバー１４１に接続されると共に、リンク１７７及び非線形性緩和ばね１７８を介してブラケット１１６に接続されている。一対の延在部１８５に代えて、一対の中間部１８５Ａが設けられている。各中間部１８５Ａは、ブラケット１８４，１８６及び第１トーションバー１５５を介してレバー１５１に接続されると共に、リンク１８７及び非線形性緩和ばね１８８を介してブラケット１１７に接続されている。Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７は、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の一方の側に配置され、第２光学機能部１８は、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の他方の側に配置されている。

電極支持部１７９における可動ミラー１１とは反対側の表面には、複数の第１可動櫛歯１６２ａを有する第１可動櫛歯電極１６２が設けられている。各電極支持部１７９は、第１２本体部１７９ａ及び第１２梁部１７９ｂを有している。第１２本体部１７９ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第１可動櫛歯電極１６２は、第１２本体部１７９ａから延在している。第１２梁部１７９ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第１２梁部１７９ｂは、第１２本体部１７９ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。

第１２梁部１７９ｂは、Ｚ軸方向における電極支持部１７９の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６２ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第１２梁部１７９ｂは、電極支持部１７９の両端部間にわたって延在している。第１２梁部１７９ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１７９におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第１２梁部１７９ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１７９におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。

電極支持部１８９における可動ミラー１１とは反対側の表面には、複数の第１可動櫛歯１６４ａを有する第１可動櫛歯電極１６４が設けられている。各電極支持部１８９は、第１３本体部１８９ａ及び第１３梁部１８９ｂを有している。第１３本体部１８９ａは、デバイス層５２の一部によって形成されている。第１可動櫛歯電極１６４は、第１３本体部１８９ａから延在している。第１３梁部１８９ｂは、支持層５１及び中間層５３の一部によって形成されている。第１３梁部１８９ｂは、第１３本体部１８９ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられている。

第１３梁部１８９ｂは、Ｚ軸方向における電極支持部１８９の厚さがＺ軸方向における第１可動櫛歯１６４ａの厚さよりも厚くなるように形成されている。第１３梁部１８９ｂは、電極支持部１８９の両端部間にわたって延在している。第１３梁部１８９ｂにおけるＸ軸方向の一方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１８９におけるＸ軸方向の一方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。第１３梁部１８９ｂにおけるＸ軸方向の他方の側の縁は、Ｚ軸方向から見た場合に、電極支持部１８９におけるＸ軸方向の他方の側の縁から所定の間隔を空けて、当該縁に沿って延在している。

このような第４変形例によっても、上記実施形態と同様に、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを抑制することができ、信頼性を高めることができる。特に、第４変形例では、電極支持部１７９，１８９により、第１可動櫛歯電極１６２，１６４と第１固定櫛歯電極１６１，１６３との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

光学デバイス１０は、図１１に示される第５変形例のように構成されてもよい。第５変形例では、枠部１１２及び連結部１１３が設けられておらず、各ブラケット１１６，１１７が本体部１１１に直接に接続されている。一対の第２可動櫛歯電極１６６は、本体部１１１の外縁部１１５におけるＹ軸方向の外側の表面にそれぞれ設けられている。つまり、第５変形例では、外縁部１１５が、各第２可動櫛歯電極１６６を支持する電極支持部を構成している。上述したように、外縁部１１５は、Ｚ軸方向における外縁部１１５の厚さがＺ軸方向における中央部１１４の厚さよりも厚くなるように形成された第１梁部１１５ｂを有している。

このような第５変形例によっても、上記実施形態と同様に、第１可動櫛歯電極１６２，１６４及び第２可動櫛歯電極１６６と第１固定櫛歯電極１６１，１６３及び第２固定櫛歯電極１６５との間の間隔が変動するのを抑制することができ、信頼性を高めることができる。特に、第５変形例では、中央部１１４よりもＺ軸方向における厚さが厚い外縁部１１５により、第２可動櫛歯電極１６６と第２固定櫛歯電極１６５との間の間隔が変動するのを抑制することができる。

上記実施形態及び各変形例では、第１固定櫛歯電極１６１，１６３及び第１可動櫛歯電極１６２，１６４（以下、第１電極と記す）が駆動用の電極として用いられ、第２固定櫛歯電極１６５及び第２可動櫛歯電極１６６（以下、第２電極と記す）がモニタ用の電極として用いられるとしたが、第１電極がモニタ用の電極として用いられ、第２電極が駆動用の電極として用いられてもよい。第２電極が省略され、第１電極のみが設けられてもよい。この場合、第１電極は、駆動用の電極として用いられてもよいし、或いは駆動兼モニタ用の電極として用いられてもよい。第１電極が省略され、第２電極のみが設けられてもよい。この場合、第２電極は、駆動用の電極として用いられてもよいし、或いは駆動兼モニタ用の電極として用いられてもよい。

上記実施形態及び各変形例において、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。例えば、本体部１１１及びミラー面１１ａのそれぞれは、Ｚ軸方向から見た場合に、矩形状、八角形状等の任意の形状を呈していてよい。枠部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合に、矩形環状、八角形環状等の任意の環形状を呈していてよい。

第１梁部１１５ｂ、第２梁部１１２ｂ、第３梁部１１３ｂ、第４梁部１４１ｅ、第５梁部１４７ｂ、第６梁部１５１ｅ、第７梁部１５７ｂのそれぞれは、任意の形状に形成されてよい。例えば、梁部は、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に対して斜めに延在していたり、ジグザグ状に延在していたりしてもよい。各梁部の配置、数、長さ、幅及び厚さは任意に設定されてよい。これらの梁部の少なくとも１つが省略されてもよい。上記実施形態では、第１梁部１１５ｂが第１本体部１１５ａにおける主面１２ｂ側の表面上に設けられていたが、第１梁部１１５ｂは、第１本体部１１５ａにおける主面１２ａ側の表面上に設けられていてもよい。この点は他の梁部についても同様である。第１トーションバー１４５，１５５及び第２トーションバー１４６，１５６の形状は限定されず、棒状等の任意の形状であってよい。

第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８のそれぞれは、Ｚ軸方向から見た場合に円形状、八角形状等の任意の形状を有していてもよい。光学デバイス１０は、可動ミラー１１に代えて、ミラー面１１ａ以外の他の光学機能部が設けられた可動部を備えていてもよい。他の光学機能部としては、例えば、レンズ等が挙げられる。アクチュエータ部１６は、静電アクチュエータに限定されず、例えば、圧電式アクチュエータ、電磁式アクチュエータ等であってもよい。光モジュール１は、ＦＴＩＲを構成するものに限定されず、他の光学系を構成するものであってもよい。

１０…光学デバイス、１１…可動ミラー（可動部）、１１ａ…ミラー面（光学機能部）、１２…ベース、１２ａ…主面、１４…第１弾性支持部、１５…第２弾性支持部、１１１…本体部、１１２…枠部、１１２ｂ…第２梁部、１１３…連結部、１１４…中央部、１１５…外縁部、１１５ｂ…第１梁部、１４１，１５１…レバー、１４１ｅ…第４梁部、１５１ｅ…第６梁部、１４５，１５５…第１トーションバー（捩り支持部）、１４６，１５６…第２トーションバー（捩り支持部）、１４７，１５７…電極支持部、１４７ｂ…第５梁部、１５７ｂ…第７梁部、１６１，１６３…第１固定櫛歯電極、１６１ａ，１６３ａ…第１固定櫛歯、１６２，１６４…第１可動櫛歯電極、１６２ａ，１６４ａ…第１可動櫛歯、１６５…第２固定櫛歯電極、１６５ａ…第２固定櫛歯、１６６…第２可動櫛歯電極、１６６ａ…第２可動櫛歯、１７１，１８１…第２レバー、１７２，１８２…リンク、１７２ｂ…第８梁部、１８２ｂ…第９梁部、１７５，１８５…延在部、１７５ｂ…第１０梁部、１８５ｂ…第１１梁部、１７８，１８８…非線形性緩和ばね、１７９，１８９…電極支持部、１７９ｂ…第１２梁部、１８９ｂ…第１３梁部。

Claims (14)

1. 主面を有するベースと、
   光学機能部を有する可動部と、
   前記ベースと前記可動部との間に接続され、前記可動部が前記主面に垂直な所定方向に沿って移動可能となるように前記可動部を支持する弾性支持部と、
   前記ベースに設けられ、複数の固定櫛歯を有する固定櫛歯電極と、
   前記可動部及び前記弾性支持部の少なくとも一方に設けられ、前記複数の固定櫛歯と互い違いに配置された複数の可動櫛歯を有する可動櫛歯電極と、を備え、
   前記可動部及び前記弾性支持部の前記少なくとも一方は、前記可動櫛歯電極を支持する電極支持部を有し、
   前記電極支持部は、前記所定方向における前記電極支持部の厚さが前記所定方向における前記可動櫛歯の厚さよりも厚くなるように形成された梁部を有する、光学デバイス。
2. 前記弾性支持部は、レバーを有し、
   前記電極支持部は、前記レバーから延在している、請求項１に記載の光学デバイス。
3. 前記可動櫛歯電極は、前記レバーの延在方向において、前記レバーの中心に対して前記可動部とは反対側に位置している、請求項２に記載の光学デバイス。
4. 前記可動櫛歯電極は、前記レバーの延在方向において、前記レバーの中心に対して前記可動部側に位置している、請求項２に記載の光学デバイス。
5. 前記レバーは、前記所定方向における前記レバーの厚さが前記所定方向における前記可動櫛歯の厚さよりも厚くなるように形成された梁部を有する、請求項２〜４のいずれか一項に記載の光学デバイス。
6. 前記弾性支持部は、前記レバーから延在する前記電極支持部を複数有し、
   前記複数の電極支持部は、前記レバーの延在方向に沿って並んで配置されている、請求項２〜５のいずれか一項に記載の光学デバイス。
7. 前記所定方向における前記電極支持部の厚さＴ１、及び前記所定方向における前記可動櫛歯の厚さＴ２は、下記式（１）を満たす、請求項２〜６のいずれか一項に記載の光学デバイス。
   Ｔ１^３×Ｗ１／Ｃ１^３≧Ｎ×Ｔ２^３×Ｗ２／Ｃ２^３ …（１）
   上記式（１）において、
   Ｗ１：前記所定方向から見た場合における前記電極支持部の幅、
   Ｃ１：前記所定方向から見た場合における前記電極支持部の長さ、
   Ｎ：前記可動櫛歯の本数、
   Ｗ２：前記所定方向から見た場合における前記可動櫛歯の幅、
   Ｃ２：前記所定方向から見た場合における前記可動櫛歯の長さ。
8. 前記電極支持部は、前記可動部の外縁に沿って配置されるように、前記可動部に設けられている、請求項１に記載の光学デバイス。
9. 前記可動部は、前記光学機能部が設けられた本体部と、前記所定方向から見た場合に前記本体部を囲む枠部と、前記本体部と前記枠部とを互いに連結する連結部と、を有し、
   前記電極支持部は、前記枠部によって構成されている、請求項８に記載の光学デバイス。
10. 前記可動部は、前記光学機能部が設けられた中央部と、外縁部と、を含む本体部を有し、
    前記電極支持部は、前記外縁部によって構成されており、
    前記梁部は、前記所定方向における前記外縁部の厚さが前記所定方向における前記中央部の厚さよりも厚くなるように形成されている、請求項８に記載の光学デバイス。
11. 前記弾性支持部は、一対のレバーと、前記一対のレバー間に掛け渡されたリンクと、を有し、
    前記電極支持部は、前記リンクによって構成されている、請求項１に記載の光学デバイス。
12. 前記弾性支持部は、一対のレバーと、前記一対のレバー間に掛け渡されたリンクと、を有し、
    前記電極支持部は、前記一対のレバー及び前記リンクによって構成されており、
    前記可動櫛歯電極は、前記一対のレバー及び前記リンクにわたって配置されている、請求項１に記載の光学デバイス。
13. 前記弾性支持部は、レバーと、前記所定方向から見た場合に前記レバーと前記可動部との間に延在する延在部と、を有し、
    前記電極支持部は、前記延在部によって構成されている、請求項１に記載の光学デバイス。
14. 前記弾性支持部は、前記所定方向に垂直な第２方向に沿って延在する捩り支持部と、前記捩り支持部と前記可動部との間に接続された非線形性緩和ばねと、を有し、
    前記非線形性緩和ばねは、前記可動部が前記所定方向に移動した状態において、前記第２方向周りにおける前記非線形性緩和ばねの変形量が前記第２方向周りにおける前記捩り支持部の変形量よりも小さくなり、且つ、前記所定方向及び前記第２方向に垂直な第３方向における前記非線形性緩和ばねの変形量が前記第３方向における前記捩り支持部の変形量よりも大きくなるように、構成されている、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の光学デバイス。

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