JP2019071243A

JP2019071243A - Electrode unit and plasma processing device

Info

Publication number: JP2019071243A
Application number: JP2017197417A
Authority: JP
Inventors: 鈴木　剛; Takeshi Suzuki; 鈴木　　剛; 知宏安達; Tomohiro Adachi
Original assignee: J Science Lab Co Ltd; J-SCIENCE LAB CO Ltd
Current assignee: J Science Lab Co Ltd; J-SCIENCE LAB CO Ltd
Priority date: 2017-10-11
Filing date: 2017-10-11
Publication date: 2019-05-09
Anticipated expiration: 2037-10-11
Also published as: JP7072207B2

Abstract

To provide an electrode unit or the like in which plasma is likely to be generated.SOLUTION: Disclosed is an electrode unit 3 which is arranged in a container 2 of a dielectric body and generates plasma by glow discharge between an outer electrode 4 arranged outside the container 2. This electrode unit includes an electrode body 31 having a mesh structure, which is arranged so as to be capable of surface discharge between the inner peripheral surface of the container 2 and the electrode body.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、グロー放電によりプラズマを発生させる電極ユニット及び発生したプラズマを利用するプラズマ処理装置に関する。 The present invention relates to an electrode unit for generating plasma by glow discharge and a plasma processing apparatus using the generated plasma.

例えば、粉体等の物質の表面改質を目的にグロー放電プラズマを利用したプラズマ処理装置が提案されている（例えば特許文献１）。特許文献１に記載の装置は、中心電極と、該中心電極と所定の空隙部を介して配置された筒状の周辺電極とを有する容器と、前記空隙部の概ね全長が複数の仕切部で仕切られることで形成された複数の部屋と、前記中心電極表面若しくは前記周辺電極表面の少なくとも一方に設けられた誘電体と、前記容器の一端側に設けられ、前記部屋内に流体を注入可能に構成された流体注入手段と、前記容器の他端側に設けられ、前記部屋内から流体を排出可能に構成された流体排出手段と、前記中心電極と前記周辺電極との間に交流またはパルス電圧を印加した状態で、前記中心電極を回転の中心として前記容器を回転せしめる回転手段とを備える。 For example, a plasma processing apparatus using glow discharge plasma has been proposed for the purpose of surface modification of a substance such as powder (for example, Patent Document 1). The device described in Patent Document 1 includes a container having a center electrode, and a cylindrical peripheral electrode disposed between the center electrode and a predetermined gap, and the overall length of the gap is a plurality of partitions. A plurality of chambers formed by being partitioned, a dielectric provided on at least one of the surface of the center electrode or the surface of the peripheral electrode, and one end of the container, the fluid can be injected into the chamber The fluid injection means configured, the fluid discharge means provided on the other end side of the container and capable of discharging the fluid from the room, an alternating current or pulse voltage between the center electrode and the peripheral electrode And a rotating means for rotating the container with the center electrode as a center of rotation.

特許第５０８０７０１号Patent No. 5080701

上記のプラズマ処理装置において、中心電極と周辺電極とを利用してプラズマを発生させているため、プラズマが生じにくいという問題がある。
本発明は、プラズマの発生しやすい電極ユニット等を提供することを目的とする。 In the above-described plasma processing apparatus, since the plasma is generated using the center electrode and the peripheral electrode, there is a problem that the plasma is not easily generated.
An object of the present invention is to provide an electrode unit or the like in which plasma is easily generated.

本発明に係る電極ユニットは、誘電体の容器内に配され、当該容器外に配された外側電極との間のグロー放電によりプラズマを発生させるための電極ユニットにおいて、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する。
本発明に係るプラズマ処理装置は、誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、前記容器の内部に配された電極ユニットは上記の電極ユニットである。 The electrode unit according to the present invention is an electrode unit disposed in a dielectric container and generating plasma by glow discharge with an outer electrode disposed outside the container, the electrode unit comprising: an inner circumferential surface of the container; And an electrode body of a mesh structure disposed so as to allow surface discharge between them.
A plasma processing apparatus according to the present invention is a plasma processing apparatus for treating a substance by plasma generated by glow discharge between a pair of electrode units disposed inside and outside a dielectric container, the electrode disposed inside the container. The unit is the above electrode unit.

本発明に係る電極ユニット及びプラズマ処理装置は、メッシュ構造の電極本体を沿面放電可能に有するため、プラズマが発生しやすくなる。 Since the electrode unit and the plasma processing apparatus according to the present invention have the mesh-structured electrode main body capable of surface discharge, plasma is easily generated.

実施形態に係るプラズマ処理装置の側面図である。It is a side view of a plasma treatment apparatus concerning an embodiment. プラズマ処理装置の正面図である。It is a front view of a plasma processing apparatus. 処理ユニットの正面図である。It is a front view of a processing unit. 処理ユニットの側面図である。It is a side view of a processing unit. 処理ユニットから容器本体を取り外した状態の正面図である。It is a front view of the state which removed the container main body from the processing unit.

＜概要＞
実施形態の一態様に係る電極ユニットは、誘電体の容器内に配され、当該容器外に配された外側電極との間のグロー放電によりプラズマを発生させるための電極ユニットにおいて、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記メッシュ構造は、複数本の金属線が２方向に間隔をおいて配された織り構造である。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記金属線の線径は１ｍｍ以下であり、隣接する前記金属線間の隙間は６ｍｍ以下である。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記メッシュ構造の電極本体は、前記容器の内面に接触する状態で、当該容器内に配されている。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の一態様に係るプラズマ処理装置は、誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、前記容器の内部に配された電極ユニットは上記記載の電極ユニットである。これにより効率よく面内放電が行われる。 <Overview>
An electrode unit according to an aspect of the embodiment is an electrode unit disposed in a dielectric container and generating plasma by glow discharge with an outer electrode disposed outside the container, the electrode unit being provided in the container. It has an electrode main body of a mesh structure disposed so as to be capable of surface discharge with the circumferential surface.
In the electrode unit according to another aspect of the embodiment, the mesh structure is a weave structure in which a plurality of metal wires are spaced in two directions. Thus, in-plane discharge is efficiently performed.
In the electrode unit according to another aspect of the embodiment, the wire diameter of the metal wire is 1 mm or less, and the gap between the adjacent metal wires is 6 mm or less. Thus, in-plane discharge is efficiently performed.
In the electrode unit according to another aspect of the embodiment, the electrode body of the mesh structure is disposed in the container in a state of being in contact with the inner surface of the container. Thus, in-plane discharge is efficiently performed.
A plasma processing apparatus according to an aspect of the embodiment is a plasma processing apparatus for treating a substance by plasma generated by glow discharge between a pair of electrode units disposed inside and outside a dielectric container, the plasma processing apparatus being disposed inside the container. The selected electrode unit is the above-described electrode unit. Thus, in-plane discharge is efficiently performed.

＜実施形態＞
１．プラズマ処理装置
実施形態の一態様に係るプラズマ処理装置１について図１〜図３を用いて説明する。
プラズマ処理装置１は、図３に示すように、容器２と、容器２の内部に配された内側電極ユニット３と、容器２の外側に配された外側電極ユニット４とを含む処理ユニット５を備える。
プラズマ処理装置１は、例えば容器２の内部に配された（供給された）物質の表面改善のためのプラズマを発生する。プラズマは、内側電極ユニット３に高電圧を印加して、内側電極ユニット３と外側電極ユニット４との間で発生するグロー放電を利用している。
内側電極ユニット３は本発明に係る電極ユニットの一態様に相当する。なお、外側電極ユニット４の電極はアース電極であるため、外側電極ユニット４は外側アース電極ユニットとし、符号はそのまま「４」を使用する。 Embodiment
1. Plasma Processing Apparatus A plasma processing apparatus 1 according to an aspect of the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
As shown in FIG. 3, the plasma processing apparatus 1 includes a processing unit 5 including a container 2, an inner electrode unit 3 disposed inside the container 2, and an outer electrode unit 4 disposed outside the container 2. Prepare.
The plasma processing apparatus 1 generates, for example, a plasma for surface improvement of a substance (supplied) disposed inside the container 2. The plasma utilizes a glow discharge generated between the inner electrode unit 3 and the outer electrode unit 4 by applying a high voltage to the inner electrode unit 3.
The inner electrode unit 3 corresponds to one aspect of the electrode unit according to the present invention. In addition, since the electrode of the outer side electrode unit 4 is a earth electrode, the outer side electrode unit 4 is made into an outer side earth electrode unit, and a code | symbol uses "4" as it is.

プラズマ処理装置１は、図１及び図２に示すように、容器２の内部に試料ガスを注入するガス注入ユニット６を備える。試料ガスとしては、ヘリウム、窒素等がある。
本実施形態のプラズマ処理装置１は、図１に示すように、処理ユニット５に電力を供給するための電気接続ユニット７を備える。電気接続ユニット７は、図外の高圧電源と内側電極ユニット３とを接続する高圧側接続ユニット７Ａと、外側アース電極ユニット４とグランド（アース）とを接続するためのアース側接続ユニット７Ｂとを有する。
プラズマ処理装置１は、図１及び図２に示すように、処理ユニット５を回転支持する支持ユニット８を備える。 As shown in FIGS. 1 and 2, the plasma processing apparatus 1 includes a gas injection unit 6 for injecting a sample gas into the interior of the container 2. Sample gases include helium and nitrogen.
As shown in FIG. 1, the plasma processing apparatus 1 of the present embodiment includes an electrical connection unit 7 for supplying power to the processing unit 5. The electrical connection unit 7 includes a high voltage side connection unit 7A for connecting the high voltage power supply and the inner electrode unit 3 (not shown), and a ground side connection unit 7B for connecting the outer ground electrode unit 4 and the ground. Have.
As shown in FIGS. 1 and 2, the plasma processing apparatus 1 includes a support unit 8 that rotatably supports the processing unit 5.

容器２は、円筒状をし、その中心軸の延伸する方向を単に中心軸方向とし、容器２の径方向を単に径方向とする。また、容器２の中心軸方向において、ガス注入ユニット６が存在する側（図２において左側である。）を一端、容器２が存在する側（図２において右側である。）を他端とする。 The container 2 has a cylindrical shape, and the direction in which the central axis extends is simply referred to as the central axis direction, and the radial direction of the container 2 is referred to simply as the radial direction. Further, in the central axis direction of the container 2, one side where the gas injection unit 6 exists (left side in FIG. 2) is one end, and the side where the container 2 exists (right side in FIG. 2) is the other end. .

２．各部構成
（１）処理ユニット
主に図３を用いて説明する。
（１−１）容器
容器２は絶縁性材料により構成されている。
容器２は中心軸方向の両端が塞がれた筒状をしている。ここでは、容器２が支持ユニット８により回転自在に支持されるため、容器２の横断面形状は円環形状をしている。容器２は、中心軸方向の一端に開口を有する容器本体２１と、容器本体２１の一端の開口を塞ぐ蓋体２３とを有する。 2. Configuration of Each Part (1) Processing Unit This will be described mainly with reference to FIG.
(1-1) Container The container 2 is made of an insulating material.
The container 2 has a cylindrical shape in which both ends in the central axial direction are closed. Here, since the container 2 is rotatably supported by the support unit 8, the cross sectional shape of the container 2 is an annular shape. The container 2 has a container main body 21 having an opening at one end in the central axial direction, and a lid 23 closing the opening at one end of the container main body 21.

容器本体２１は中心軸方向の一端が開放する有底筒状をする。容器本体２１は、内周及び外周の直径が略一定である円筒部２１１と、円板状の底部２１３とからなる。容器本体２１は、ガラス材料により構成され、内周面に沿って内側電極ユニット３が、外周面に沿って外側アース電極ユニット４がそれぞれ配されている。なお、ガラス材料は誘電体であり、バリア放電を発生させるのを補助する。 The container body 21 has a bottomed cylindrical shape in which one end in the central axis direction is open. The container body 21 includes a cylindrical portion 211 whose inner and outer diameters are substantially constant, and a disk-shaped bottom portion 213. The container body 21 is made of a glass material, and the inner electrode unit 3 is disposed along the inner circumferential surface, and the outer ground electrode unit 4 is disposed along the outer circumferential surface. The glass material is a dielectric, and assists in generating a barrier discharge.

蓋体２３は中心軸方向の他端が開放する有蓋筒状をしている。蓋体２３は絶縁材料、例えば、樹脂材料（ポリカーボネート）により構成されている。蓋体２３は、容器本体２１の中心軸方向に延伸する円筒部２３１と、円筒部２３１の一端を塞ぐ蓋部２３３とを有する。
円筒部２３１は、容器本体２１の外周面に沿って配された外側アース電極ユニット４の一端部に外嵌する。円筒部２３１はねじ部を内周面に有する。ねじ部は、雌ねじ２３１ａであり、外側アース電極ユニット４のねじ部（雄ねじ）４３ａに螺合する。これにより、蓋体２３が容器本体２１に着脱自在に装着される。なお、蓋体２３と容器本体２１との間にはリング状のパッキン２５が配される。
蓋部２３３は、ガス注入ユニット６の２重管６３を容器２内に挿入するための貫通孔２３３ａと、ガス注入ユニット６を蓋体２３に固定するためのねじ穴２３３ｂとを有する。貫通孔２３３ａは蓋部２３３の中央に存在する。ねじ穴２３３ｂは、貫通孔２３３ａの周りであって周方向に間隔（ここでは等間隔）をおいて複数個存在する。ここでは、ねじ穴２３３ｂは４個ある。
蓋部２３３は、内側電極ユニット３を蓋部２３３に固定するための貫通孔２３３ｃとねじ穴２３３ｄとを有している。貫通孔２３３ｃは１個、ねじ穴２３３ｄは３個あり、図４に示すように、周方向に間隔（ここでは等間隔）をおいて存在する。なお、ねじ穴２３３ｄは、図３に示すように、容器２の内部側から中心軸方向に沿って設けられている。 The lid 23 is in the form of a closed cylinder whose other end in the central axis direction is open. The lid 23 is made of an insulating material, for example, a resin material (polycarbonate). The lid 23 has a cylindrical portion 231 extending in the central axis direction of the container body 21 and a lid 233 that closes one end of the cylindrical portion 231.
The cylindrical portion 231 is externally fitted to one end of the outer ground electrode unit 4 disposed along the outer peripheral surface of the container body 21. The cylindrical portion 231 has a threaded portion on the inner circumferential surface. The screw portion is a female screw 231 a, and is screwed into the screw portion (male screw) 43 a of the outer ground electrode unit 4. Thereby, the lid 23 is detachably attached to the container body 21. A ring-shaped packing 25 is disposed between the lid 23 and the container body 21.
The lid 233 has a through hole 233 a for inserting the double pipe 63 of the gas injection unit 6 into the container 2, and a screw hole 233 b for fixing the gas injection unit 6 to the lid 23. The through hole 233 a is located at the center of the lid 233. A plurality of screw holes 233b are present around the through hole 233a and spaced in the circumferential direction (here, at equal intervals). Here, there are four screw holes 233b.
The lid 233 has a through hole 233 c and a screw hole 233 d for fixing the inner electrode unit 3 to the lid 233. There are one through hole 233c and three screw holes 233d, and as shown in FIG. 4, they are spaced in the circumferential direction (here, at equal intervals). The screw hole 233 d is provided along the central axis direction from the inside of the container 2 as shown in FIG. 3.

（２）内側電極ユニット
図５を用いて説明する。
内側電極ユニット３は、メッシュ構造の電極本体３１と、導電リング３３と、導電片３５とを備える。
（２−１）電極本体
電極本体３１は導電材料から構成されている。メッシュ構造として、例えば織り構造を採用できる。織り構造は、複数本の金属線が２方向に間隔をおいて配された織金網により構成されている。ここでの織り構造は平織り織タイプである。金属線として、例えば、ステンレス、鉄、アルミニウム等を利用できる。
電極本体３１は、図３に示すように、容器２の内周面、より具体的には、容器本体２１の円筒部２１１の内周面に沿って配されている。電極本体３１は円筒部２１１の内周面に接触するように配されている。
電極本体３１における中心軸方向の一端部及び他端部は、周方向に延伸する金属製の帯部３２に接続されている。 (2) Inner electrode unit This will be described with reference to FIG.
The inner electrode unit 3 includes an electrode body 31 having a mesh structure, a conductive ring 33, and a conductive piece 35.
(2-1) Electrode Body The electrode body 31 is made of a conductive material. For example, a woven structure can be adopted as the mesh structure. The woven structure is constituted by a woven wire mesh in which a plurality of metal wires are spaced in two directions. The weave structure here is a plain weave type. As a metal wire, stainless steel, iron, aluminum etc. can be used, for example.
As shown in FIG. 3, the electrode main body 31 is disposed along the inner peripheral surface of the container 2, more specifically, the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 of the container main body 21. The electrode main body 31 is disposed in contact with the inner circumferential surface of the cylindrical portion 211.
One end and the other end in the central axis direction of the electrode main body 31 are connected to a metallic band 32 extending in the circumferential direction.

（２−２）導電リング
導電リング３３は、容器２の蓋体２３における内面（容器２の内側である）に取り付けられ、導電性材料により構成されている。導電リング３３は、換言すると、高圧電源と電極本体３１とを接続するためのものであり、高電圧導入部である。
導電リング３３は円環状をする金属板により構成されている。なお、金属板としてＳＵＳが利用されている。導電リング３３は蓋体２３への固定部を有している。固定部は、周方向に間隔（ここでは等間隔である）をおいて複数個（ここでは４個）存在する。４個のうち、１個はねじ孔３３ａであり、３個は貫通孔３３ｂである。ねじ孔３３ａには、蓋体２３の外面に導電板３７を固定するねじ３８が螺合する。貫通孔３３ｂには蓋体２３の内面側からねじ３９が挿入される。 (2-2) Conductive Ring The conductive ring 33 is attached to the inner surface of the lid 23 of the container 2 (which is the inside of the container 2), and is made of a conductive material. The conductive ring 33 is, in other words, for connecting the high voltage power supply and the electrode main body 31, and is a high voltage introducing portion.
The conductive ring 33 is formed of an annular metal plate. In addition, SUS is used as a metal plate. The conductive ring 33 has a fixing portion to the lid 23. There are a plurality of (here, four) fixed portions at intervals (here, at equal intervals) in the circumferential direction. Among the four, one is a screw hole 33a, and three is a through hole 33b. A screw 38 for fixing the conductive plate 37 to the outer surface of the lid 23 is screwed into the screw hole 33a. The screw 39 is inserted into the through hole 33 b from the inner surface side of the lid 23.

（２−３）導電片
導電片３５は導電リング３３から電極本体３１側に延伸するように設けられている。導電片３５は、蓋体２３が容器本体２１に装着されると、電極本体３１の帯部３２に接触する。導電片３５は、導電リング３３に固定（溶接）された固定部３５１と、固定部３５１の径方向の端部から延伸する延伸部３５３とを有する。延伸部３５３は径方向に弾性変形可能に構成されている。ここでの延伸部３５３は逆「Ｖ」字状をしている。
蓋体２３が容器本体２１に取り付けられていない状態では、導電片３５の径方向の先端部は容器本体２１の円筒部２１１の内周面よりも外側にあり、蓋体２３が容器本体２１に取り付けられる際に延伸部３５３が径方向の内側に弾性変形する。 (2-3) Conductive Piece The conductive piece 35 is provided so as to extend from the conductive ring 33 to the electrode main body 31 side. The conductive piece 35 contacts the band 32 of the electrode body 31 when the lid 23 is attached to the container body 21. The conductive piece 35 has a fixing portion 351 fixed (welded) to the conductive ring 33 and an extending portion 353 extending from an end of the fixing portion 351 in the radial direction. The extending portion 353 is configured to be elastically deformable in the radial direction. Here, the extending portion 353 has a reverse "V" shape.
When the lid 23 is not attached to the container body 21, the radial tip of the conductive piece 35 is outside the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 of the container body 21, and the lid 23 is attached to the container body 21. When attached, the extending portion 353 elastically deforms inward in the radial direction.

（３）外側アース電極ユニット
図３を用いて説明する。
外側アース電極ユニット４は、アルミニウム、ステンレス、鉄等の金属材料により構成されている。ここでは、アルミニウムにより構成されている。外側アース電極ユニット４は、容器２の円筒部２１１の外周に配された筒部４１を有する。筒部４１は中心軸方向の両端間にわたって円筒部２１１を被覆する。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の一端外周が厚肉部４３となっており、厚肉部４３の外周が雄ねじ４３ａになっている。この雄ねじ４３ａは蓋体２３の雌ねじ２３１ａと螺合する。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の他端から中心軸に向かって張り出す内鍔部４５を有する。内鍔部４５は容器２（容器本体２１）の底部２１３の外周部分に当接している。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の他端から中心軸と反対側に張り出す外鍔部４７を有する。外鍔部４７は、図２に示すように、支持ユニット８のローラ部８７，８９の溝８７ａ，８９ａに挿入される。これにより、容器２を支持ユニット８上で回転させた際に、中心軸方向に容器２がずれるのを防止できる。 (3) Outer Earth Electrode Unit This will be described with reference to FIG.
The outer ground electrode unit 4 is made of a metal material such as aluminum, stainless steel or iron. Here, it is made of aluminum. The outer ground electrode unit 4 has a cylindrical portion 41 disposed on the outer periphery of the cylindrical portion 211 of the container 2. The cylindrical portion 41 covers the cylindrical portion 211 between both ends in the central axis direction.
In the outer ground electrode unit 4, one end outer periphery in the central axis direction is a thick portion 43, and the outer periphery of the thick portion 43 is an external thread 43a. The male screw 43 a is screwed with the female screw 231 a of the lid 23.
The outer ground electrode unit 4 has an inner flange 45 projecting from the other end in the central axis direction toward the central axis. The inner collar portion 45 is in contact with the outer peripheral portion of the bottom portion 213 of the container 2 (container body 21).
The outer ground electrode unit 4 has an outer collar portion 47 projecting from the other end in the central axis direction to the opposite side to the central axis. The outer collar portion 47 is inserted into the grooves 87a and 89a of the roller portions 87 and 89 of the support unit 8, as shown in FIG. Thereby, when the container 2 is rotated on the support unit 8, it is possible to prevent the container 2 from being displaced in the central axial direction.

（４）ガス注入ユニット
主に、図２及び図５を用いて説明する。
ガス注入ユニット６はガス供給源から供給されたガスを容器２内に導入する導入機能を有する。ガス注入ユニット６は、容器２内に導入された後に内部を循環したガスを導出する導出機能を有する。ガス注入ユニット６は、図２に示す継手６９を介してガス供給源に接続される。
ここでは、継手６９として、例えばハーフユニオンを利用し、供給源に接続されるチューブの図示は省略している。なお、継手６９は、チューブに接続されるチューブ接続部６９１と、ガス注入ユニット６に接続されるユニット接続部６９３とを回転自在に備える。
ガス注入ユニット６は、継手６９に接続され且つ容器２に取り付けられる本体６１と、図５に示すように容器２内へのガスの注入路６３１と容器２からのガスの排出路６３３とを有する２重管６３とを備える。ここでガス注入ユニット６は、２重管６３の中心軸方向の他端部を支持する支持体６５を備える。ガス注入ユニット６は、２重管６３から容器２内に注入されるガスに含まれる不要物を除去するためのフィルタ６７を備える。 (4) Gas injection unit This will be mainly described with reference to FIG. 2 and FIG.
The gas injection unit 6 has an introduction function of introducing the gas supplied from the gas supply source into the container 2. The gas injection unit 6 has a discharge function of discharging the gas circulated inside after being introduced into the container 2. The gas injection unit 6 is connected to the gas supply source via a joint 69 shown in FIG.
Here, for example, a half union is used as the joint 69, and illustration of a tube connected to a supply source is omitted. The joint 69 rotatably includes a tube connection portion 691 connected to the tube and a unit connection portion 693 connected to the gas injection unit 6.
The gas injection unit 6 has a main body 61 connected to the joint 69 and attached to the vessel 2, an injection path 631 of gas into the vessel 2 and a discharge path 633 of gas from the vessel 2 as shown in FIG. A double pipe 63 is provided. Here, the gas injection unit 6 includes a support 65 that supports the other end of the double tube 63 in the central axis direction. The gas injection unit 6 includes a filter 67 for removing unnecessary substances contained in the gas injected from the double pipe 63 into the container 2.

（４−１）本体
本体６１は、継手６９と接続する接続部６１０と、継手６９の内部と注入路６３１とを接続する導入孔６１１と、本体６１の外部と排出路６３３とを接続する排出孔６１２と、容器２に固定される固定部６１３とを有する。
本体６１は円柱部６１４と円板部６１５とを有する。
円柱部６１４は、中心軸方向の一端から他端に向かうねじ穴を有している。このねじ穴は接続部６１０を構成する。このねじ穴の符号も「６１０」とする。
本体６１は円柱部６１４及び円板部６１５の中心軸に貫通孔を有する。この貫通孔は導入孔６１１を構成する。この貫通孔の符号も「６１１」とする。
円柱部６１４及び円板部６１５は円柱部６１４の周面と円板部６１５の他端側の面とを繋ぐ貫通孔を有する。この貫通孔は排出孔６１２を構成する。この貫通孔の符号も「６１２」とする。
円板部６１５は、中心軸の一端側から見たときに、図４に示すように、円柱部６１４の外側部分に貫通孔６１５ａを有している。貫通孔６１５ａは、周方向に間隔（等間隔）をおいて複数個（ここでは４個である）ある。円板部６１５における貫通孔６１５ａと貫通孔６１５ａの周辺部分が固定部６１３を構成する。
図５に示すように、円板部６１５の貫通孔６１５ａにはねじ６１９が挿通し、当該ねじ６１９が容器２の蓋体２３のねじ穴２３３ｂに螺合する。これにより、本体６１が容器２の蓋体２３に装着される。なお、本体６１と容器２との間には円環板状のパッキン６２が配されている。 (4-1) Main Body The main body 61 has a connection portion 610 connected to the joint 69, an introduction hole 611 connecting the inside of the joint 69 and the injection passage 631, and a discharge connecting the outside of the main body 61 and the discharge passage 633. It has a hole 612 and a fixing portion 613 fixed to the container 2.
The main body 61 has a cylindrical portion 614 and a disc portion 615.
The cylindrical portion 614 has a screw hole from one end in the central axis direction toward the other end. This screw hole constitutes the connection portion 610. The code of this screw hole is also "610".
The main body 61 has a through hole at the central axis of the cylindrical portion 614 and the disc portion 615. This through hole constitutes an introduction hole 611. The code of this through hole is also “611”.
The cylindrical portion 614 and the disk portion 615 have a through hole connecting the circumferential surface of the cylindrical portion 614 and the surface on the other end side of the disk portion 615. The through hole constitutes a discharge hole 612. The code of this through hole is also "612".
The disc portion 615 has a through hole 615a in the outer portion of the cylindrical portion 614 as shown in FIG. 4 when viewed from one end side of the central axis. The through holes 615a are plural (here, four) at intervals (equal intervals) in the circumferential direction. The through hole 615 a in the disc portion 615 and the peripheral portion of the through hole 615 a constitute a fixing portion 613.
As shown in FIG. 5, a screw 619 is inserted into the through hole 615 a of the disc portion 615, and the screw 619 is screwed into the screw hole 233 b of the lid 23 of the container 2. Thereby, the main body 61 is attached to the lid 23 of the container 2. An annular plate-like packing 62 is disposed between the main body 61 and the container 2.

（４−２）２重管
２重管６３は細管６３５と太管６３７とを備える。細管６３５の管軸と太管６３７の管軸とが設計上一致するように、太管６３７内に細管６３５が配される。
細管６３５の内部の空間は注入路６３１を構成している。細管６３５における中心軸方向の一端は本体６１の円板部６１５に接続されている。細管６３５の一端部は貫通孔６１１の他端側の段差６１６に挿入されている。挿入状態では、本体６１の貫通孔６１１の周面と細管６３５の内周面とは面一状となっている。
太管６３７と細管６３５との間の空間は排出路６３３を構成している。太管６３７は中心軸方向に沿って複数個の貫通孔６３７ａを有している。太管６３７における中心軸方向の一端は本体６１の円板部６１５の他面に取り付けられている。この際、本体６１の円板部６１５の貫通孔６１２が太管６３７の内径内に位置するように太管６３７が円板部６１５に接続されている。ここでは、接続に溶接等が利用されている。 (4-2) Double tube The double tube 63 is provided with a thin tube 635 and a large tube 637. The thin tube 635 is disposed in the thick tube 637 such that the tube axis of the thin tube 635 and the tube axis of the large tube 637 coincide in design.
An internal space of the thin tube 635 constitutes an injection passage 631. One end in the central axis direction of the thin tube 635 is connected to the disc portion 615 of the main body 61. One end of the thin tube 635 is inserted into the step 616 on the other end side of the through hole 611. In the inserted state, the circumferential surface of the through hole 611 of the main body 61 and the inner circumferential surface of the thin tube 635 are flush with each other.
A space between the thick pipe 637 and the thin tube 635 constitutes a discharge path 633. The thick pipe 637 has a plurality of through holes 637a along the central axis direction. One end in the central axis direction of the thick pipe 637 is attached to the other surface of the disc portion 615 of the main body 61. At this time, the thick pipe 637 is connected to the disc section 615 so that the through hole 612 of the disc section 615 of the main body 61 is positioned within the inner diameter of the thick pipe 637. Here, welding or the like is used for connection.

（４−３）支持体
支持体６５は、細管６３５と接続する細管接続部６５１と、太管６３７と接続する太管接続部６５３とを有する。支持体６５は、段付き筒状をし、中心軸に貫通孔を有している。この貫通孔に細管６３５が挿入され接続される。この貫通孔は細管接続部６５１を構成する。この貫通孔の符号も「６５１」とする。
支持体６５は、中心軸方向の一端部が他端部よりも拡径して（太くなって）おり、大径部６５７と小径部６５９とを有し、大径部６５７と小径部６５９との間に段差が形成されている。
大径部６５７の一端部には、一端側が細い（径の小さな）段差があり、この段差に太管６３７が外嵌する。大径部６５７の段差が太管接続部６５３を構成する。この段差の符号も「６５３」とする。
太管６３７が外嵌する状態では、太管の６３７の中心軸方向の他端は塞がれる。排出ガスは、太管６３７の貫通孔６３７ａ、太管６３７と細管６３５との間（排出路６３３）、本体６１の貫通孔６１２を通って容器２の外部へと排出される。なお、注入ガスとして圧縮ガスを利用することで、排出ガスに真空引き等を要しない。 (4-3) Support The support 65 has a thin tube connection portion 651 connected to the thin tube 635, and a thick pipe connection portion 653 connected to the thick pipe 637. The support 65 has a stepped cylindrical shape, and has a through hole at its central axis. The thin tube 635 is inserted into and connected to this through hole. The through hole constitutes a capillary connection portion 651. The code of this through hole is also "651".
The support 65 has one end in the central axis direction expanded (thicker) than the other end, and has a large diameter portion 657 and a small diameter portion 659. The large diameter portion 657 and the small diameter portion 659 A step is formed between the
At one end of the large diameter portion 657, there is a step having a narrow end (small diameter) at one end side, and a large tube 637 is externally fitted to this step. The step of the large diameter portion 657 constitutes the large pipe connection portion 653. The sign of this step is also “653”.
In the state in which the thick pipe 637 is externally fitted, the other end in the central axis direction of the thick pipe 637 is closed. Exhaust gas is discharged to the outside of the container 2 through the through hole 637 a of the thick pipe 637, between the thick pipe 637 and the thin tube 635 (discharge path 633), and the through hole 612 of the main body 61. By using the compressed gas as the injection gas, the exhaust gas does not need to be vacuumed or the like.

小径部６５９の他端側開口にはフィルタ６７がフィルタ固定体６８により取り付けられている。フィルタ固定体６８は、小径部６５９の外周の雄ねじ６５９ａに螺合するナットが利用されている。なお、ナットの符号も６８とする。ナット６８は、孔付き袋ナットが利用され、貫通孔６８ａの周辺部６８ｂによりフィルタ６７が支持されている。なお、注入ガスは、本体６１のねじ穴６１０、貫通孔６１１、細管６３５の内部（注入路６３１）、支持体６５の貫通孔６５５、フィルタ６７、ナット６８の貫通孔６８ａを通って容器２の内部空間へと導入される。 A filter 67 is attached to the other end side opening of the small diameter portion 659 by a filter fixing body 68. The filter fixing body 68 utilizes a nut screwed to an external thread 659 a on the outer periphery of the small diameter portion 659. The symbol of the nut is also 68. A holed bag nut is used for the nut 68, and the filter 67 is supported by the peripheral portion 68b of the through hole 68a. The injected gas passes through the screw hole 610 of the main body 61, the through hole 611, the inside of the thin tube 635 (injection path 631), the through hole 655 of the support 65, the filter 67, and the through hole 68a of the nut 68. It is introduced into the inner space.

（５）電気接続ユニット
図１及び図２を用いて説明する。
電気接続ユニット７は、上述したように、高電位の内側電極ユニット３側に接続される高圧側接続ユニット７Ａと、外側アース電極ユニット４に接続されるアース側接続ユニット７Ｂとを備える。
内側電極ユニット３は、上述した通り、金属製のねじ３８を介して容器２の外部の導電板３７に接続されている。導電板３７はガス注入ユニット６の金属製の本体６１に接続されている。
高圧側接続ユニット７Ａは、本体６１の外周面に接触（接続）する導電性材料からなる高圧側接続部７１と、ベース９に取付けられ且つ高圧側接続部７１を支持する高圧側支持部７２と、一端が図外の高圧電源に接続され且つ他端が高圧側接続部７１に接続される電源ケーブル７３とを備える。
アース側接続ユニット７Ｂは、外側アース電極ユニット４の筒部４１に接触するアース側接続部７５と、ベース９に取付けられ且つアース側接続部７５を支持するアース側支持部７６とを備える。なお、アース側支持部７６は、ベース９から立設する立設板７６１と、立設板７６１に対して揺動自在に取付けられた揺動板７６３とを有し、揺動板７６３にアース側接続部７５が設けられている。 (5) Electrical Connection Unit Description will be made with reference to FIG. 1 and FIG.
As described above, the electrical connection unit 7 includes the high voltage side connection unit 7A connected to the high potential inner electrode unit 3 side and the ground side connection unit 7B connected to the outer ground electrode unit 4.
The inner electrode unit 3 is connected to the conductive plate 37 outside the container 2 through the metal screw 38 as described above. The conductive plate 37 is connected to the metal body 61 of the gas injection unit 6.
The high voltage side connection unit 7A includes a high voltage side connection portion 71 made of a conductive material in contact (connection) with the outer peripheral surface of the main body 61, and a high voltage side support portion 72 attached to the base 9 and supporting the high voltage side connection portion 71. And a power cable 73 having one end connected to a high voltage power supply (not shown) and the other end connected to the high voltage side connection portion 71.
The ground side connection unit 7B includes a ground side connection portion 75 in contact with the cylindrical portion 41 of the outer ground electrode unit 4, and a ground side support portion 76 attached to the base 9 and supporting the ground side connection portion 75. The ground side support portion 76 has a standing plate 761 standing from the base 9 and a swinging plate 763 swingably attached to the standing plate 761, and the swing plate 763 is grounded. A side connection 75 is provided.

（６）支持ユニット
主に図１及び図２を用いて説明する。
支持ユニット８は、１対の回転軸８１，８２と、回転軸８１，８２に設けられたローラ８３，８４とを備え、一方の回転軸８１がベース９に設けられた駆動モータ８５により駆動される。
一対の回転軸８１，８２は、容器２の中心軸と平行な状態で、図１に示すように容器２の中心軸と直交する方向に間隔をおいて設けられている。
ローラ８３は、回転軸８１に設けられ、軸方向に間隔をおいた２個のローラ部８６，８７から構成される。
ローラ８４は、回転軸８２に設けられ、軸方向に間隔をおいた２個のローラ部８８，８９から構成される。
４つのローラ部８６，８７，８８，８９は、容器２の外周に配された外側アース電極ユニット４と当接する。これにより、回転軸８１の回転により、処理ユニット５が回転する。なお、ローラ部８７は便宜上図面には現れていない。
各ローラ８３，８４における中心軸方向の他端側に配されたローラ部８７，８９は、容器２の外鍔部４７が嵌る溝８７ａ，８９ａを全周に亘って有している。これにより、処理ユニット５を回転させても、容器２の中心軸方向の移動を抑制できる。 (6) Support unit This will be described mainly with reference to FIGS. 1 and 2.
The support unit 8 includes a pair of rotating shafts 81 and 82, and rollers 83 and 84 provided on the rotating shafts 81 and 82. One rotating shaft 81 is driven by a drive motor 85 provided on the base 9. Ru.
The pair of rotation shafts 81 and 82 are provided in parallel with the central axis of the container 2 and in a direction perpendicular to the central axis of the container 2 as shown in FIG.
The roller 83 is provided on the rotating shaft 81, and is composed of two roller portions 86 and 87 spaced in the axial direction.
The roller 84 is provided on the rotating shaft 82 and is composed of two axially spaced roller portions 88 and 89.
The four roller portions 86, 87, 88, 89 abut the outer ground electrode unit 4 disposed on the outer periphery of the container 2. Thus, the processing unit 5 is rotated by the rotation of the rotating shaft 81. The roller portion 87 does not appear in the drawing for the sake of convenience.
The roller portions 87 and 89 disposed on the other end side in the central axis direction of the rollers 83 and 84 have grooves 87a and 89a in which the outer collar portion 47 of the container 2 is fitted. Thereby, even if the processing unit 5 is rotated, the movement of the container 2 in the central axis direction can be suppressed.

３．使用
実施形態のプラズマ処理装置１では、内側電極ユニット３の電極本体３１をメッシュ構造とし、当該電極本体３１を誘電体である容器２の円筒部２１１の内周面に接触するように設けている。これにより、電極本体３１と円筒部２１１との間で沿面放電（グロー放電）が生じ、プラズマを生じやすくできる。
電極本体３１として、線径が０．６［ｍｍ］のＳＵＳ材の金属線を用いて、網目（隣接する金属線の間隔（金属線は含まない）である）が３．６［ｍｍ］の平織りの織金網を利用した場合、容器２内の雰囲気を窒素ガスだけにしてもプラズマが生じることを確認している。
なお、内側電極を容器の円筒部から離した場合、容器内の雰囲気を窒素ガスだけにすると、グロー放電が生じにくく、ヘリウムガスを注入することでプラズマが発生することを確認している。 3. In the plasma processing apparatus 1 of the embodiment, the electrode body 31 of the inner electrode unit 3 has a mesh structure, and the electrode body 31 is provided in contact with the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 of the container 2 which is a dielectric. . Thereby, creeping discharge (glow discharge) is generated between the electrode main body 31 and the cylindrical portion 211, and plasma can be easily generated.
A metal wire of a SUS material with a wire diameter of 0.6 [mm] is used as the electrode main body 31, and a mesh (the interval between adjacent metal wires (not including the metal wire)) is 3.6 [mm] When a plain weave woven wire mesh is used, it has been confirmed that plasma is generated even if the atmosphere in the container 2 is only nitrogen gas.
When the inner electrode is separated from the cylindrical portion of the container, when the atmosphere in the container is only nitrogen gas, glow discharge is less likely to occur, and it has been confirmed that plasma is generated by injecting helium gas.

また、粉体の表面処理を行う場合、容器２内に対象の粉体を供給して容器２を回転させている。この回転で粉体が容器２の内周面に沿って撹拌されるため、容器２の内周面で発生したプラズマにさらされることとなり、効率よく表面処理される。なお、粉体の表面処理としては、例えば、親水化、疎水化、官能基の付加等がある。 Moreover, when performing surface treatment of powder, the target powder is supplied into the container 2 and the container 2 is rotated. Since the powder is stirred along the inner peripheral surface of the container 2 by this rotation, it is exposed to the plasma generated on the inner peripheral surface of the container 2 and the surface treatment is efficiently performed. The surface treatment of the powder includes, for example, hydrophilization, hydrophobization, addition of functional groups, and the like.

４．内側電極ユニット
（１）メッシュ構造
電極本体は、容器２の円筒部２１１との間で沿面放電が生じればよく、織金網の他、例えばパンチングメタルを利用することもできる。つまり、電極本体は、円筒部と接触又は近接して配され、円筒部の厚み方向に貫通する孔を有し、孔の周縁と円筒部との間で沿面放電が生じるような構成であればよい。この場合、電極本体の孔の形状は、円形状、楕円形状、長円形状、正方形状（角が丸くなった形状を含む）、長方形状（角が丸くなった形状を含む）、三角形状等の多角形状（角が丸くなった形状を含む）等ある。
（２）織り構造
内側電極ユニット３の電極本体３１は平織りタイプの織金網であったが、電極本体は他の織り構造の織金網であってもよい。他の織り構造としては、綾織り、平畳織り、トンキャップ織、プラットトップ織り等がある。
電極本体は織金網以外の金網構造であってもよい。他の金網構造としては、亀甲金網、クリンプ金網、菱形金網等がある。
また、２種類の金属線（例えば、横糸、縦糸である）を用いた織り構造において、２種類の金属線の材料、直径、横断面形状等が同じであってよいし、異なってもよい。例えば、一方の金属線を導電路としての機能を重視させ、他方の金属線を電極としての機能を重視させてもよい。 4. Inner Electrode Unit (1) Mesh Structure The electrode main body may be made of a creeping discharge with the cylindrical portion 211 of the container 2 and may use, for example, punching metal in addition to woven metal mesh. That is, the electrode main body is disposed in contact with or in close proximity to the cylindrical portion, has a hole penetrating in the thickness direction of the cylindrical portion, and is configured to generate creeping discharge between the periphery of the hole and the cylindrical portion Good. In this case, the shape of the hole of the electrode body is circular, elliptical, oval, square (including rounded corners), rectangular (including rounded corners), triangular, etc. Of polygonal shapes (including rounded corners).
(2) Woven Structure The electrode body 31 of the inner electrode unit 3 is a plain weave type woven wire mesh, but the electrode body may be a woven wire mesh of another woven structure. Other weave structures include twill weave, plain tatami weave, ton cap weave, platt top weave, and the like.
The electrode body may have a wire mesh structure other than woven wire mesh. Other wire mesh structures include turtle-shell mesh, crimp mesh, rhombus mesh and the like.
Further, in a woven structure using two types of metal wires (for example, weft yarns and warp yarns), materials, diameters, cross-sectional shapes, etc. of the two types of metal wires may be the same or different. For example, one metal wire may be made to emphasize a function as a conductive path, and the other metal wire may be made to emphasize a function as an electrode.

（３）金属線
実施形態での試験では金属線の横断面形状は円形状をしているが、金属線は他の横断面形状であってもよい。他の横断面形状としては、正方形、長方形、長円、楕円等がある。
実施形態では網金網を利用したが、導電性材料によりメッシュ構造を構成してもよく、例えば銀ペースト等の導電ペーストや導電性樹脂等を容器本体に塗布して構成してもよいし、金属箔を容器本体に貼り付けてもよい。
（４）配置
電極本体３１は円筒部２１１と設計上接触する状態で円筒部２１１の内周面に沿って配されている。しかしながら、電極本体は、容器において外側アース電極と対向する部分の内面であって当該内面との間で沿面放電が生じればよく、沿面放電可能な範囲内であれば容器の内面と接触していなくてもよい。
沿面放電可能な範囲は、容器内のガス雰囲気（ヘリウムガスの注入量等）や、印加電圧の大きさ、電極本体の材質、メッシュの構造、等によって変動し、一義的に定義できない。
（５）具体的仕様
実施形態での試験では、線径（直径）が０．６［ｍｍ］、網目が３．０［ｍｍ］の平織構造を採用している。容器内面側の沿面放電の広がりを考慮すると、線径は細いほどよく、２［ｍｍ］以下の範囲が好ましく、１［ｍｍ］以下の範囲がより好ましい。下限は、メッシュ構造にできる線径である。網目は、容器内面側での沿面放電の拡がりを考慮すると、２．０［ｍｍ］以上、６［ｍｍ］以下の範囲内がよい。 (3) Metal wire In the test in the embodiment, the cross-sectional shape of the metal wire is circular, but the metal wire may have another cross-sectional shape. Other cross-sectional shapes include a square, a rectangle, an oval, and an ellipse.
In the embodiment, although a mesh wire is used, a mesh structure may be formed of a conductive material, for example, a conductive paste such as silver paste or a conductive resin may be applied to the container main body, or a metal The foil may be attached to the container body.
(4) Arrangement The electrode main body 31 is disposed along the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 in a state of being in design contact with the cylindrical portion 211. However, the electrode main body is an inner surface of a portion of the container facing the outer ground electrode, so long as creeping discharge occurs between the inner surface and the inner surface. It does not have to be.
The range in which the creeping discharge is possible varies depending on the gas atmosphere in the vessel (the injection amount of helium gas and the like), the magnitude of the applied voltage, the material of the electrode body, the structure of the mesh, and the like, and can not be uniquely defined.
(5) Specific specification In the test in the embodiment, a plain weave structure having a wire diameter (diameter) of 0.6 [mm] and a mesh of 3.0 [mm] is adopted. In consideration of the spread of the creeping discharge on the inner surface side of the container, the smaller the wire diameter, the better, and the range of 2 mm or less is preferable, and the range of 1 mm or less is more preferable. The lower limit is the wire diameter that can be made into a mesh structure. The mesh is preferably in the range of 2.0 mm or more and 6 mm or less in consideration of the spread of creeping discharge on the inner surface side of the container.

以上、実施形態を説明したが、この実施形態に限られるものではなく、例えば、以下のような変形例であってもよい。また、実施形態と変形例、変形例同士を組み合わせたものであってよい。
また、実施形態や変形例に記載していていない例や、要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。 As mentioned above, although embodiment was described, it is not restricted to this embodiment, For example, the following modifications may be sufficient. In addition, the embodiment, the modification, and the modifications may be combined.
In addition, even if there is an example not described in the embodiment or the modification, or a design change in a range not departing from the gist, the present invention is included.

＜変形例＞
（１）実施形態における内側電極ユニット３は、導電リング３３と電極本体３１との接続に薄肉の金属板により構成された弾性変形可能な導電片３５により行っている。しかしながら、導電リング３３と電極本体３１とを接続できればよく、例えば導電片３５が電極本体側にあってもよいし、他の構造で接続してもよい。
（２）実施形態における内側電極ユニット３の電極本体３１は容器２の容器本体２１（円筒部２１１）に設けられているが、電極本体３１と容器２との接触（沿面放電）が確保されれば、電極本体を蓋体側に設けてもよい。
（３）実施形態における内側電極ユニット３の導電片３５は、周方向に間隔をおいて４か所に設けられているが、電極本体３１に均一に電力を供給できれば、３か所でもよいし、５か所以上でもよい。
（４）実施形態における内側電極ユニット３の電極本体３１は全体形状として筒状（円筒状）をしているが、１個の電極本体の形状をメッシュ構造の板状にし、複数個の電極本体を周方向に間隔をおいて配するようにしてもよい。
また、電極本体３１は全体形状として筒状（円筒状）をしているが、１個の電極本体の形状をメッシュ構造のリング状（中心軸方向の長さが短い）にし、複数個の電極本体を中心軸方向に間隔をおいて配するようにしてもよい。
（５）実施形態の電極本体３１は中心軸方向の両端で板状の帯部３２に接続されているが、帯部にかえて、横断面形状が円形状のリング部としてもよい。 <Modification>
(1) The inner electrode unit 3 in the embodiment is made of the elastically deformable conductive piece 35 formed of a thin metal plate for connection between the conductive ring 33 and the electrode body 31. However, as long as the conductive ring 33 and the electrode main body 31 can be connected, for example, the conductive piece 35 may be on the electrode main body side, or may be connected by another structure.
(2) The electrode main body 31 of the inner electrode unit 3 in the embodiment is provided on the container main body 21 (cylindrical portion 211) of the container 2, but the contact (surface discharge) between the electrode main body 31 and the container 2 is secured. For example, the electrode body may be provided on the lid side.
(3) The conductive pieces 35 of the inner electrode unit 3 in the embodiment are provided at four locations at intervals in the circumferential direction, but may be at three locations as long as power can be uniformly supplied to the electrode main body 31. There may be five or more places.
(4) The electrode main body 31 of the inner electrode unit 3 in the embodiment is cylindrical (cylindrical) as a whole shape, but the shape of one electrode main body is a plate shape of mesh structure, and a plurality of electrode main bodies May be spaced apart in the circumferential direction.
In addition, although the electrode main body 31 is cylindrical (cylindrical) as a whole shape, the shape of one electrode main body is made into a ring shape of mesh structure (the length in the central axis direction is short), and a plurality of electrodes The main body may be arranged at intervals in the central axis direction.
(5) The electrode main body 31 of the embodiment is connected to the plate-like band 32 at both ends in the central axis direction, but instead of the band, it may be a ring having a circular cross-sectional shape.

（６）実施形態における内側電極ユニット３は、ガス注入ユニット６の本体６１に対して、導電板３７を介して接続しているが、例えば、ガス注入ユニット６の２重管６３を介して接続するようにしてもよい。つまり、本体６１から電極本体３１に導電路が形成されればよく、その経路は特に限定するものではない。
（７）実施形態における外側アース電極ユニット４は金属製の筒部４１を備えているが、グロー放電を利用したプラズマを発生できれば、例えば棒状の電極を利用してもよい。
（８）実施形態のガス注入ユニット６は、２重管６３を利用し、細管６３５内を注入路６３１とし、細管６３５と太管６３７との間を排出路６３３としているが、容器２の内部にガスを注入し・排出できればよく、例えば、細管内を排出路となるようにしてもよい。
（９）実施形態における容器２の容器本体２１に内側電極ユニット３の電極本体３１が配されているが、有底筒状の容器本体の底部に内側電極ユニットやガス注入ユニットを設け、蓋にはこれらのユニットを設けないようにしてもよい。
（１０）実施形態の容器２は、円筒状（中空円柱状）をしているが、横断面が、三角形等の多角形状、長円形、楕円形等の環状でもよい。回転させる場合は、中心軸方向の両側から支持・回転することで実施できる。
（１１）実施形態では、内側電極ユニット３と高圧電源とを接続していたが、内側電極ユニットと外側電極ユニットに交流電源を接続するようにしてもよい。
（１２）電気接続ユニット７、ガス注入ユニット６、支持ユニット８等は、各ユニットの機能を達成できる構造であればよく、実施形態で説明したユニットの構造でなくてもよい。 (6) The inner electrode unit 3 in the embodiment is connected to the main body 61 of the gas injection unit 6 via the conductive plate 37, but for example, it is connected via the double pipe 63 of the gas injection unit 6 You may do it. That is, a conductive path may be formed from the main body 61 to the electrode main body 31, and the path is not particularly limited.
(7) The outer ground electrode unit 4 in the embodiment includes the metal cylindrical portion 41. However, for example, a rod-like electrode may be used as long as it can generate plasma utilizing glow discharge.
(8) The gas injection unit 6 of the embodiment uses the double pipe 63, sets the inside of the thin tube 635 as the injection path 631, and the discharge path 633 between the thin pipe 635 and the thick pipe 637. As long as the gas can be injected / discharged, for example, the inside of the capillary may be an exhaust passage.
(9) The electrode main body 31 of the inner electrode unit 3 is disposed in the container main body 21 of the container 2 in the embodiment, but the inner electrode unit and the gas injection unit are provided at the bottom of the bottomed cylindrical container main body. However, these units may not be provided.
(10) The container 2 according to the embodiment has a cylindrical shape (hollow cylindrical shape), but the cross section may be a polygonal shape such as a triangle, or an annular shape such as an oval or an oval. The rotation can be carried out by supporting and rotating from both sides in the central axis direction.
(11) In the embodiment, the inner electrode unit 3 and the high voltage power supply are connected, but an AC power supply may be connected to the inner electrode unit and the outer electrode unit.
(12) The electrical connection unit 7, the gas injection unit 6, the support unit 8 and the like may have any structure as long as they can achieve the function of each unit, and may not have the structure of the unit described in the embodiment.

１プラズマ処理装置
２容器
３内側電極ユニット
４外側アース電極ユニット（外側電極ユニット）
３１電極本体 1 plasma processing apparatus 2 container 3 inner electrode unit 4 outer ground electrode unit (outer electrode unit)
31 electrode body

Claims

An electrode unit for generating plasma by glow discharge with an outer electrode disposed inside a dielectric container and disposed outside the container,
An electrode unit comprising a mesh-structured electrode body disposed so as to be capable of creeping discharge with an inner peripheral surface of the container.

The electrode unit according to claim 1, wherein the mesh structure is a weave structure in which a plurality of metal wires are spaced in two directions.

The electrode unit according to claim 2, wherein a wire diameter of the metal wire is 1 mm or less, and a gap between the adjacent metal wires is 6 mm or less.

The electrode unit according to any one of claims 1 to 3, wherein the meshed electrode body is disposed in the container in a state of being in contact with the inner surface of the container.

In a plasma processing apparatus for processing a substance by plasma generated by glow discharge between a pair of electrode units disposed inside and outside a dielectric container, in a plasma processing apparatus,
The plasma processing apparatus which is an electrode unit in any one of Claims 1-4 distribute | arranged to the inside of the said container.