JP2019061993A - Component mounting method - Google Patents

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Abstract

To provide a component mounting method capable of easily setting thrust limit value for limiting thrust of a servo motor depending on the limit load.SOLUTION: The component mounting method for causing a constitution which is configured to mount a component by lowering a component holding part holding a component with a servo motor, the method including the steps of: pressing the component holding part onto a load detection part by driving the servo motor with a predetermined thrust; and acquiring a characteristic line [L] as a correlation data representing relationship between the thrust T of the servo motor and a load LF. The component mounting method also includes the steps of: when mounting a component P onto a substrate 3, calculating a thrust limit value TL for limiting the thrust generated by the servo motor using a limit load LFL included in an instruction from a main control unit and the characteristic line [L]; and in a component mounting operation, limiting the thrust of the servo motor 41 to the thrust limit value TL or less when the component holding part is lowered and before the component P comes into contact a mounting position.SELECTED DRAWING: Figure 11

Description

本発明は、部品を基板の装着位置に搭載する部品搭載方法に関する。   The present invention relates to a component mounting method for mounting a component at a mounting position of a substrate.

部品搭載基板の製造過程において基板に部品を搭載するために用いられる部品搭載装置では、搭載動作において基板の反り変形などに起因する装着高さ位置の変動を吸収するとともに、部品を基板の装着位置に押圧する装着荷重を対象となる部品に応じた適正値に制御する必要がある。このような機能を実現するため、従来より部品を保持して基板に搭載する搭載ノズルに荷重緩衝用のバネを組み込んだ構成が知られている(例えば特許文献1参照)。この特許文献に示す先行技術では、コイルバネなどの弾性体で吸着ノズルを付勢する構成において、荷重センサによって吸着ノズルの押し込み量と押圧荷重との相関を測定して得られた近似曲線式に基づき、搭載動作時の荷重制御を行う例が記載されている。   The component mounting apparatus used to mount a component on a substrate in the manufacturing process of the component mounting substrate absorbs fluctuations in the mounting height position caused by warpage of the substrate in the mounting operation, and mounts the component on the substrate mounting position. It is necessary to control the mounting load to be adjusted to an appropriate value according to the target part. In order to realize such a function, there is conventionally known a configuration in which a load buffering spring is incorporated in a mounting nozzle for holding a component and mounting it on a substrate (see, for example, Patent Document 1). In the prior art shown in this patent document, in a configuration in which the suction nozzle is biased with an elastic body such as a coil spring, based on an approximate curve equation obtained by measuring the correlation between the pressing amount of the suction nozzle and the pressing load An example of performing load control at the time of mounting operation is described.

特開2008−227140号公報JP 2008-227140 A

近年電子機器の小型化に伴い、実装される部品の小型化、薄化が進み、部品種によっては部品搭載時の適正な装着荷重が従来と比較して大幅に低下している。このような部品種では部品の耐荷重が小さいことから、装着荷重の設定が適正になされていないと部品クラックなどの損傷を招くおそれがあるため、低荷重領域で装着荷重の制御を行う必要がある。ところが上述の先行技術のように、弾性体で吸着ノズルを付勢する構成では装着荷重を低荷重領域で高精度に制御することが難しいことから、部品保持部としての搭載ノズルを昇降させるサーボモータの推力を制御することにより装着荷重を適正荷重に設定する構成が提案されている。   2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization of electronic devices, miniaturization and thinning of parts to be mounted have progressed, and depending on the type of parts, an appropriate mounting load at the time of mounting of parts is significantly reduced compared to the conventional. With such component types, since the load resistance of the components is small, there is a risk of causing damage such as component cracks if the setting of the mounting load is not properly made, so it is necessary to control the mounting load in the low load region is there. However, as in the prior art described above, it is difficult to control the mounting load with high accuracy in a low load region in a configuration in which the suction nozzle is biased by an elastic body, so a servomotor for raising and lowering the mounting nozzle as a component holding portion A configuration has been proposed in which the mounting load is set to an appropriate load by controlling the thrust of

このような構成においては、以下のような課題がある。サーボモータの推力によって搭載ノズルに装着荷重を作用させる構成では、部品を基板に搭載する際に部品保持部が部品を押圧する荷重が適正荷重を超えないよう、予め制限荷重が設定される。そして部品搭載動作では、サーボモータの推力がこの制限荷重に対応した推力制限値以下となるよう、サーボモータの駆動を制御する。ここで、制限荷重と推力制限値との対応関係は、サーボモータの特性のばらつきや搭載ノズルとの組み合わせによって異なっており、同一の制限荷重が適用される場合にあっても適正な推力制限値は同一であるとは限らない。このため所与の制限荷重に対応する適正な推力制限値を求めるための試行作業に手間と時間を要するという課題があった。   In such a configuration, there are the following problems. In the configuration in which the mounting load is applied to the mounting nozzle by the thrust of the servomotor, the limit load is set in advance so that the load at which the component holding portion presses the component when mounting the component on the substrate does not exceed the appropriate load. Then, in the component mounting operation, the drive of the servomotor is controlled so that the thrust of the servomotor becomes equal to or less than the thrust limit value corresponding to the limit load. Here, the correspondence relationship between the limit load and the thrust limit value differs depending on the variation in the characteristics of the servomotor and the combination with the mounted nozzles, and the same thrust limit value is applied even if the same limit load is applied. Are not necessarily the same. For this reason, there has been a problem that it takes time and effort for the trial work for obtaining an appropriate thrust force limit value corresponding to a given load limit.

そこで本発明は、サーボモータの推力を制限荷重に応じて制限するための推力制限値の設定を簡便な方法で行うことができる部品搭載方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a component mounting method capable of performing setting of a thrust limit value for limiting the thrust of a servomotor in accordance with the limit load by a simple method.

本発明の部品搭載方法は、負圧によって部品を保持するための吸引孔を有する部品保持部と、前記部品保持部を昇降させるサーボモータとを有する搭載ヘッドを使用して部品を基板に搭載して部品搭載基板を製造する部品搭載方法であって、荷重を検出する荷重検出部を準備し、前記サーボモータを所定の推力で駆動して前記部品保持部の下端部を前記荷重検出部に押し当て、前記サーボモータの推力と荷重の相関データを計測し、計測した前記相関データを相関データ記憶部に記憶し、部品を基板に搭載する際の前記部品保持部が部品に加える制限荷重と前記相関データを使用して前記サーボモータが発生する推力を制限するための推力制限値を算出し、部品を保持した前記部品保持部を前記基板の装着位置に向かって下降させ、前記部品が前記装着位置に着地する前に、前記サーボモータの推力を前記推力制限値以下に制限し、前記部品が前記装着位置に着地した後に前記部品保持部を上昇させて前記装着位置に着地した部品から前記部品保持部を離脱させる。   The component mounting method of the present invention mounts a component on a substrate using a mounting head having a component holding unit having a suction hole for holding a component by negative pressure and a servomotor for moving the component holding unit up and down. Component mounting method for manufacturing a component mounting board, wherein a load detection unit for detecting a load is prepared, and the servomotor is driven with a predetermined thrust to push the lower end of the component holding unit to the load detection unit. The correlation data of the thrust and load of the servomotor is measured, the measured correlation data is stored in the correlation data storage unit, and the limited load applied to the component by the component holding unit when the component is mounted on a substrate The correlation data is used to calculate a thrust limit value for limiting the thrust generated by the servomotor, the component holding unit holding the component is lowered toward the mounting position of the substrate, and the component Before landing on the mounting position, the thrust of the servomotor is limited to the thrust limit value or less, and after the component has landed on the mounting position, the component holding portion is lifted and the component lands on the mounting position The component holder is released.

本発明によれば、サーボモータの推力を制限荷重に応じて制限するための推力制限値の設定を簡便な方法で行うことができる。   According to the present invention, the setting of the thrust limit value for limiting the thrust of the servomotor in accordance with the limit load can be performed by a simple method.

本発明の一実施の形態の部品搭載装置の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドの構成説明図Structure explanatory drawing of the mounting head with which the components mounting apparatus of one embodiment of this invention was equipped. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドの側断面図Side cross-sectional view of a mounting head provided in a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドの正断面図Front sectional view of a mounting head provided in a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドにおけるノズルユニットの構成説明図Structure explanatory drawing of the nozzle unit in the mounting head with which the components mounting apparatus of one embodiment of this invention was equipped. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドにおける部品保持部の構成説明図Structure explanatory drawing of the components holding part in the mounting head with which the components mounting apparatus of one embodiment of this invention was equipped. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドにおける部品保持部のホルダへの装着動作の動作説明図Operation explanatory drawing of mounting operation to the holder of the component holding part in the mounting head provided in the component mounting device of one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置の制御系の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the control system of the component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置における荷重検出部の配置状態の説明図Explanatory drawing of the arrangement | positioning state of the load detection part in the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置のノズルユニットに作用する力の関係を示す説明図Explanatory drawing which shows the relationship of the force which acts on the nozzle unit of the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置におけるサーボモータの推力と部品保持部による荷重との相関を示す推力−荷重相関データの説明図Explanatory drawing of the thrust-load correlation data which show correlation with the thrust of the servomotor and the load by a component holding part in the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置の作業対象となる基板および当該基板の装着データの説明図An explanatory view of a substrate to be a work target of the component loading device according to the embodiment of the present invention and mounting data of the substrate 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作における昇降動作制御用の高さパラメータの説明図Explanatory drawing of the height parameter for raising / lowering operation control in the mounting operation of the components by the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作の基本実施例の説明図Explanatory drawing of the basic Example of the mounting operation of the components by the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作の第1実施例の説明図Explanatory drawing of 1st Example of mounting operation | movement of components by the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作の第2実施例の説明図Explanatory drawing of 2nd Example of mounting operation | movement of components by the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作の第3実施例の説明図Explanatory drawing of 3rd Example of mounting operation | movement of components by the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作の第3実施例における減速高さ補正の補正対象位置を示す説明図Explanatory drawing which shows the correction | amendment object position of deceleration height correction | amendment in 3rd Example of the mounting operation of the components by the components mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品装着作業を示すフロー図Flow chart showing the component mounting operation by the component mounting device of one embodiment of the present invention

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して、部品搭載装置1の構成および機能を説明する。部品搭載装置1は、部品を基板に搭載して部品搭載基板を製造する機能を有する。図1において、基台1aの上面には、X方向(基板搬送方向)に基板搬送部2が配設されている。基板搬送部2は上流側装置(図示省略)から部品装着作業の対象となる基板3を受け取って、部品搭載装置1における装着作業位置まで搬送して位置決め保持する。すなわち基板搬送部2は基板3を保持する基板保持部として機能する。基板搬送部2の両側方には部品供給部5が配置されており、部品供給部5にはそれぞれ複数のテープフィーダ6が並設されている。テープフィーダ6は、部品P(図12、図13参照)を収納したキャリアテープを、以下に説明する搭載ヘッド11による部品取り出し位置まで搬送する機能を有している。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the configuration and function of the component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. The component mounting apparatus 1 has a function of mounting a component on a substrate to manufacture a component mounting substrate. In FIG. 1, a substrate transfer unit 2 is disposed on the upper surface of the base 1 a in the X direction (substrate transfer direction). The substrate transfer unit 2 receives the substrate 3 which is the target of the component mounting operation from the upstream device (not shown), transports it to the mounting operation position in the component mounting device 1, and positions and holds it. That is, the substrate conveyance unit 2 functions as a substrate holding unit that holds the substrate 3. A component supply unit 5 is disposed on both sides of the substrate conveyance unit 2, and a plurality of tape feeders 6 are arranged in parallel in the component supply unit 5. The tape feeder 6 has a function of transporting a carrier tape accommodating a component P (see FIGS. 12 and 13) to a component removal position by the mounting head 11 described below.

部品搭載装置1においてX方向の両端部に配設された1対のフレーム部材7の上面には、それぞれリニアモータによって駆動されるY軸移動テーブル8がY方向に配設されている。Y軸移動テーブル8の間には同様にリニアモータによって駆動されるX軸移動テーブル9がY方向に移動自在に架設されている。X軸移動テーブル9には、搭載ヘッド11がX方向への移動が自在に装着されている。   A Y-axis moving table 8 driven by a linear motor is disposed in the Y direction on the upper surfaces of a pair of frame members 7 disposed at both ends in the X direction in the component mounting device 1. Similarly, an X-axis movement table 9 driven by a linear motor is mounted between the Y-axis movement table 8 so as to be movable in the Y direction. The mounting head 11 is mounted on the X-axis moving table 9 so as to freely move in the X direction.

Y軸移動テーブル8およびX軸移動テーブル9は、XYテーブル10を構成し、XYテーブル10を駆動することにより、搭載ヘッド11はXY方向に移動する。これにより、搭載ヘッド11は、テープフィーダ6から部品保持部31(図2参照)によって部品Pを取り出して基板3に装着する。したがってXYテーブル10は、基板3を保持する基板保持部および部品Pを供給する部品供給部5に対して搭載ヘッド11を移動させる搭載ヘッド移動機構となっている。   The Y-axis moving table 8 and the X-axis moving table 9 constitute an XY table 10, and when the XY table 10 is driven, the mounting head 11 moves in the XY direction. Thus, the mounting head 11 takes out the component P from the tape feeder 6 by the component holding unit 31 (see FIG. 2) and mounts the component P on the substrate 3. Therefore, the XY table 10 is a mounting head moving mechanism that moves the mounting head 11 with respect to the substrate holding unit that holds the substrate 3 and the component supply unit 5 that supplies the component P.

基板搬送部2と部品供給部5との間において搭載ヘッド11の移動経路には、部品認識カメラ12が撮像方向を上方に向けて配置されている。部品認識カメラ12は、搭載ヘッド11によって保持された状態の部品Pを下方から撮像する。この撮像結果を認識処理することにより、搭載ヘッド11によって保持された部品Pの識別や位置検出が行われる。搭載ヘッド11には搭載ヘッド制御部13が内蔵されており、基台1aには本体制御部14が内蔵されている。   A component recognition camera 12 is disposed in the moving path of the mounting head 11 between the substrate transport unit 2 and the component supply unit 5 with the imaging direction facing upward. The component recognition camera 12 captures an image of the component P held by the mounting head 11 from below. By performing recognition processing on the imaging result, identification and position detection of the component P held by the mounting head 11 are performed. The mounting head control unit 13 is built in the mounting head 11, and the main body control unit 14 is built in the base 1 a.

搭載ヘッド制御部13は、搭載ヘッド11において部品Pを保持する部品保持部31(図2参照)の昇降動作を制御する機能を有している。また本体制御部14は、装置本体部を制御するとともに搭載ヘッド制御部13に対して作業指令を発出する機能を有している。搭載ヘッド制御部13および本体制御部14は部品搭載装置1の各部を制御する制御部15を構成している。   The mounting head control unit 13 has a function of controlling the lifting and lowering operation of the component holding unit 31 (see FIG. 2) that holds the component P in the mounting head 11. Further, the main body control unit 14 has a function of controlling the apparatus main body and issuing a work command to the mounting head control unit 13. The mounting head control unit 13 and the main body control unit 14 constitute a control unit 15 that controls each part of the component mounting device 1.

本実施の形態においては、搭載ヘッド11は搭載ヘッド移動機構であるXYテーブル10のX軸移動テーブル9に着脱可能となっている。図2(a)は、搭載ヘッド11がX軸移動テーブル9に装着された状態におけるX軸移動テーブル9の断面を示している。下端部に部品を保持する部品保持部31を備えた構成の搭載ヘッド11の背面には、背面部材23が設けられている。図2(b)に示すように、背面部材23はX軸移動テーブル9に設けられた移動ベース22に着脱自在(矢印a)となっている。   In the present embodiment, the mounting head 11 is detachable from the X-axis moving table 9 of the XY table 10 which is a mounting head moving mechanism. FIG. 2A shows a cross section of the X-axis moving table 9 in a state where the mounting head 11 is mounted on the X-axis moving table 9. A back surface member 23 is provided on the back surface of the mounting head 11 configured to have a component holding portion 31 that holds components at the lower end portion. As shown in FIG. 2 (b), the back member 23 is detachable (arrow a) on the moving base 22 provided on the X-axis moving table 9.

移動ベース22は、一対のスライドガイド21を介してX軸移動テーブル9にX方向の移動が自在に結合されている。移動ベース22は、リニアモータ20によってX軸移動テーブル9に対してX方向に駆動される。リニアモータ20は、移動ベース22に結合された移動子20bをX軸移動テーブル9にX方向に配列された固定子20aに対向させた構成となっている。移動ベース22の下端部には、基板認識カメラ16が撮像方向を下向きにして配置されている。基板認識カメラ16は搭載ヘッド11と一体的に移動して、下方に位置する基板3を撮像する。   The movement base 22 is freely coupled to the X-axis movement table 9 via the pair of slide guides 21 so as to be movable in the X direction. The moving base 22 is driven by the linear motor 20 in the X direction with respect to the X-axis moving table 9. The linear motor 20 is configured such that the mover 20 b coupled to the movement base 22 is opposed to the stator 20 a arranged on the X-axis movement table 9 in the X direction. A substrate recognition camera 16 is disposed at the lower end portion of the movement base 22 with the imaging direction facing downward. The substrate recognition camera 16 moves integrally with the mounting head 11 to pick up an image of the substrate 3 located below.

移動ベース22の上端部には、水平な結合部材24を介してコネクタ保持部25が結合されている。搭載ヘッド11の上部とコネクタ保持部25とは、配管コネクタ26および配線コネクタ27を介して接続されている。配管コネクタ26は、搭載ヘッド11に装置本体部より空圧や真空圧を供給する機能を有している。配線コネクタ27は、装置本体部より搭載ヘッド11に対して給電および電気信号の授受を行う機能を有している。これにより、搭載ヘッド11に内蔵された搭載ヘッド制御部13と基台1aに内蔵された本体制御部14とが接続される。   A connector holding portion 25 is coupled to an upper end portion of the movement base 22 via a horizontal coupling member 24. The upper portion of the mounting head 11 and the connector holding portion 25 are connected via the piping connector 26 and the wiring connector 27. The piping connector 26 has a function of supplying air pressure or vacuum pressure to the mounting head 11 from the apparatus main body. The wiring connector 27 has a function of supplying power and transmitting / receiving an electric signal to the mounting head 11 from the apparatus main body. Thereby, the mounting head control unit 13 built in the mounting head 11 and the main body control unit 14 built in the base 1 a are connected.

図2(b)に示すように、移動ベース22から背面部材23を取り外した状態では、配管コネクタ26、配線コネクタ27において搭載ヘッド11に設けられたヘッド側接続部26a、27aは、コネクタ保持部25に設けられた本体部側接続部26b、27bから離脱する。そして搭載ヘッド11を他の部品搭載装置に装着する際には、背面部材23を他装置の移動ベース22に固定結合するとともに、ヘッド側接続部27a、26aを他装置のコネクタ保持部25に設けられた本体部側接続部26b、27bに嵌合させる。   As shown in FIG. 2B, when the back member 23 is removed from the movable base 22, the head side connection portions 26a and 27a provided on the mounting head 11 in the piping connector 26 and the wiring connector 27 are connector holding portions. It separates from the main-body-part side connection parts 26b and 27b provided in 25. FIG. When mounting head 11 to another component mounting device, the back member 23 is fixedly coupled to moving base 22 of the other device, and head side connection portions 27a and 26a are provided in connector holding portion 25 of the other device. The main body side connection portions 26b and 27b are fitted.

次に図3、図4を参照して、搭載ヘッド11の構成を説明する。図3、図4に示すように、搭載ヘッド11は垂直な背面部材23の前面に複数基(ここではX方向に6基が配列されたノズル列をY方向に2列配置した12基)のノズルユニット30を配置した構成となっている。これらのノズルユニット30は、背面部材23に固定されたシャフト保持部23a、サーボモータ取付部23bによって保持されており、外面側はカバー部材11aによって閉囲されている。   Next, the configuration of the mounting head 11 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. As shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of mounting heads 11 (12 in which two nozzle rows in which six nozzles are arranged in the X direction are arranged in the Y direction) are provided on the front surface of the vertical back member 23. The nozzle unit 30 is disposed. These nozzle units 30 are held by a shaft holding portion 23a fixed to the back surface member 23 and a servomotor attachment portion 23b, and the outer surface side is closed by a cover member 11a.

図3に示すように、ノズルユニット30は上部36および下部32を有するシャフト35をサーボモータ41によって昇降させ、これにより部品保持部31を昇降させる構成となっている。シャフト35は、シャフト保持部23aによって支持されており、サーボモータ41はサーボモータ取付部23bに取り付けられている。サーボモータ41によって昇降移動する移動ロッド42は、回転部材40を介して上部36と結合されている。回転部材40は移動ロッド42に対して回転自在に装着されており、上部36を移動ロッド42に対して相対回転を許容する形態で結合している。   As shown in FIG. 3, the nozzle unit 30 is configured to raise and lower a shaft 35 having an upper portion 36 and a lower portion 32 by a servomotor 41, thereby moving the component holding portion 31 up and down. The shaft 35 is supported by a shaft holding portion 23a, and the servomotor 41 is attached to a servomotor attachment portion 23b. The moving rod 42 moved up and down by the servomotor 41 is coupled to the upper portion 36 via the rotating member 40. The rotating member 40 is rotatably mounted to the moving rod 42 and couples the upper portion 36 to the moving rod 42 in such a manner as to allow relative rotation.

サーボモータ41を駆動することにより、シャフト35の下部32に装着された部品保持部31が昇降し、これにより部品保持部31に保持された部品Pを基板3に搭載するための昇降動作が行われる。この部品保持部31の昇降動作を行わせる搭載ヘッド制御部13は、背面部材23に取り付けられてヘッド側接続部27aに接続されており、この構成により、前述のように搭載ヘッド制御部13を本体制御部14と着脱可能に接続することができる。   By driving the servomotor 41, the component holding portion 31 mounted on the lower portion 32 of the shaft 35 is moved up and down, whereby the lifting and lowering operation for mounting the component P held by the component holding portion 31 on the substrate 3 is performed. It will be. The mounting head control unit 13 that causes the component holding unit 31 to move up and down is attached to the back surface member 23 and connected to the head side connection unit 27a. With this configuration, as described above, the mounting head control unit 13 is The main body control unit 14 can be detachably connected.

図4に示すように、それぞれの上部36には、プーリ37が上部36の昇降を許容しつつ上部36への回転伝達が可能な形態で取り付けられている。プーリ37に調帯されたベルト37aはΘ軸モータ38によって駆動され、これにより各上部36を回転させて部品保持部31をノズル軸周りに回転させるΘ回転動作が可能となっている。これらの複数の部品保持部31は、吸引孔31d(図6参照)に導入された負圧によって部品Pを保持する機能を有している。   As shown in FIG. 4, each upper portion 36 is attached with a pulley 37 in such a manner as to allow transmission of rotation to the upper portion 36 while allowing the upper and lower portions 36 to move up and down. The belt 37a adjusted to the pulley 37 is driven by the helical shaft motor 38, whereby the respective upper portions 36 can be rotated to allow the component holding portion 31 to rotate about the nozzle axis. The plurality of component holders 31 have a function of holding the component P by the negative pressure introduced into the suction holes 31 d (see FIG. 6).

すなわち本実施の形態に示す部品搭載装置1における搭載ヘッド11は、吸引孔31dに導入された負圧によって部品Pを保持する複数の部品保持部31と、複数の部品保持部31を昇降させる複数のサーボモータ41と、予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータを制御することにより、部品保持部31に保持された部品Pを基板3に搭載するための昇降動作を部品保持部31に行わせる搭載ヘッド制御部13とを有する構成となっている。   That is, the mounting head 11 in the component mounting apparatus 1 shown in the present embodiment has a plurality of component holders 31 for holding the component P and a plurality of components holder 31 moved up and down by the negative pressure introduced into the suction holes 31d. The component holding unit 31 performs lifting and lowering operations for mounting the component P held by the component holding unit 31 on the substrate 3 by controlling the servo motor based on the servomotor 41 and the operation pattern set in advance. And a mounting head control unit 13.

次に図5を参照して、ノズルユニット30の構成および機能を説明する。図5において、上部36および下部32を有するシャフト35は、シャフト保持部23aによって保持されている。下部32に設けられたホルダ部32a(図6参照)には、ノズル31aおよびノズル保持部31bを有する部品保持部31が、上下方向に変位可能な状態で取り付けられている。下部32と部品保持部31のノズル保持部31bとの間には、弾性体である圧縮ばねを用いた付勢部材33が装着されている。付勢部材33は、予め与圧値として設定された所定の付勢力で、常に部品保持部31を下方に押圧している。   Next, the configuration and function of the nozzle unit 30 will be described with reference to FIG. In FIG. 5, a shaft 35 having an upper portion 36 and a lower portion 32 is held by a shaft holding portion 23a. The component holding portion 31 having the nozzle 31a and the nozzle holding portion 31b is attached to the holder portion 32a (see FIG. 6) provided in the lower portion 32 so as to be vertically displaceable. Between the lower portion 32 and the nozzle holding portion 31b of the component holding portion 31, a biasing member 33 using a compression spring which is an elastic body is mounted. The biasing member 33 always presses the component holding portion 31 downward with a predetermined biasing force set in advance as a pressure value.

上部36に取り付けられたプーリ37と回転部材40との間には、圧縮ばねであるリターンスプリング39が装着されている。リターンスプリング39は回転部材40に対して上向きの反力を作用させる。すなわち部品保持部31を下降させる際には、サーボモータ41の下向きの推力によりリターンスプリング39の反力に抗して上部36を下降させる。そして部品保持部31を上昇させる際には、サーボモータ41の上向きの推力とリターンスプリング39の上向きの反力によって上部36を上昇させる。   Between the pulley 37 attached to the upper portion 36 and the rotating member 40, a return spring 39 which is a compression spring is attached. The return spring 39 exerts an upward reaction force on the rotating member 40. That is, when the component holding portion 31 is lowered, the upper portion 36 is lowered against the reaction force of the return spring 39 by the downward thrust force of the servomotor 41. When the component holding portion 31 is raised, the upper portion 36 is raised by the upward thrust of the servomotor 41 and the upward reaction force of the return spring 39.

シャフト35には、下部32の上方に位置して、エアジョイント部34が設けられている。エアジョイント部34は、部品保持部31に設けられた吸引孔31dを外部の負圧発生源(図示省略)と連通させる。部品保持部31を昇降させる際には、エアジョイント部34はシャフト保持部23aから下方に延出して設けられた昇降ガイド部材34aにガイドされて、シャフト35とともに昇降する。   The shaft 35 is provided with an air joint portion 34 located above the lower portion 32. The air joint portion 34 causes the suction hole 31 d provided in the component holding portion 31 to communicate with an external negative pressure generation source (not shown). When moving the component holding portion 31 up and down, the air joint portion 34 is guided by a raising and lowering guide member 34 a which is provided to extend downward from the shaft holding portion 23 a and is moved up and down together with the shaft 35.

シャフト35を昇降させるサーボモータ41は、上下方向に挿通した移動ロッド42を昇降駆動するリニアモータ部41aと、移動ロッド42の移動に伴ってパルス信号を出力するエンコーダ44とを備えている。エンコーダ44は、移動ロッド42に設けられたリニアスケール44aと、リニアスケール44aと対向して縦部材43に設けられ、リニアスケール44aの移動を検出する移動検出部44bとを有している。移動検出部44bはリニアスケール44aの移動距離と方向を示すエンコーダパルスを位置信号として位置検出部53(図8参照)へ出力する。   The servomotor 41 that raises and lowers the shaft 35 includes a linear motor portion 41a that raises and lowers the moving rod 42 inserted in the vertical direction, and an encoder 44 that outputs a pulse signal as the moving rod 42 moves. The encoder 44 has a linear scale 44a provided on the moving rod 42, and a movement detection unit 44b provided on the vertical member 43 so as to face the linear scale 44a and detecting movement of the linear scale 44a. The movement detection unit 44b outputs an encoder pulse indicating the movement distance and direction of the linear scale 44a as a position signal to the position detection unit 53 (see FIG. 8).

次に図6、図7を参照して、部品保持部31の詳細構成および下部32へ部品保持部31を装着して保持させる装着動作について説明する。図6は下部32へ部品保持部31を保持させた状態における側面を示しており、図6(a)、(b)は直交する2方向の側面をそれぞれ示している。   Next, with reference to FIGS. 6 and 7, the detailed configuration of the component holding unit 31 and the mounting operation for mounting and holding the component holding unit 31 on the lower portion 32 will be described. FIG. 6 shows a side surface in a state where the component holding portion 31 is held by the lower part 32, and FIGS. 6 (a) and 6 (b) show side surfaces in two directions orthogonal to each other.

図6(a)に示すように、下部32には部品保持部31を保持するためのホルダ部32aが設けられている。ホルダ部32aに中空円孔形状で設けられた嵌合部32bには、部品保持部31に円柱形状で設けられたスライド部31cが、上下方向に変位可能な状態で嵌合している。スライド部31cの下部にはノズル保持部31bが設けられており、ノズル保持部31bは部品を吸着する吸着部31fが設けられたノズル31aを保持する。   As shown in FIG. 6A, the lower portion 32 is provided with a holder portion 32 a for holding the component holding portion 31. A slide portion 31 c provided in a cylindrical shape in the component holding portion 31 is fitted in a vertically circular manner in a fitting portion 32 b provided in a hollow circular hole shape in the holder portion 32 a. A nozzle holding unit 31b is provided below the slide unit 31c, and the nozzle holding unit 31b holds a nozzle 31a provided with a suction unit 31f for suctioning components.

スライド部31cの上端部には、部品保持部31をホルダ部32aに位置固定するためのピン31eが径方向の両側に突出した形状で設けられている。ホルダ部32aには、ピン31eを固定位置にガイドするためのガイド溝が以下に説明する構成で設けられている。すなわち図6(a)に示すように、ホルダ部32aの側面には、ホルダ部32aの下端面から垂直上方に至る挿入部32cが設けられている。   At the upper end portion of the slide portion 31c, a pin 31e for fixing the position of the component holding portion 31 to the holder portion 32a is provided in a shape projecting in both radial directions. The holder portion 32a is provided with a guide groove for guiding the pin 31e to a fixed position in a configuration described below. That is, as shown in FIG. 6A, on the side surface of the holder portion 32a, an insertion portion 32c extending vertically upward from the lower end surface of the holder portion 32a is provided.

挿入部32cの上端部には、ホルダ部32aを半回転だけ周回する範囲に水平部32dが設けられている。さらに、図6(b)に示すように、水平部32dの終端部は、ホルダ部32aの高さの中途まで垂直下方に延出した案内部32eと接続されている。部品保持部31をホルダ部32aに保持させた状態では、ピン31eは案内部32eの下端部に位置し、これにより部品保持部31はホルダ部32aに保持される。このとき、スライド部31cの上端部と嵌合部32bの天井面との間には所定のクリアランスが確保されており、さらに案内部32eにおいてピン31eは上下方向に移動可能となっている。これにより部品保持部31は、下部32に対して上下方向の位置が変位可能となっている。   At the upper end portion of the insertion portion 32c, a horizontal portion 32d is provided in a range of circling the holder portion 32a by a half rotation. Further, as shown in FIG. 6B, the terminal end of the horizontal portion 32d is connected to a guide portion 32e extending vertically downward to the middle of the height of the holder portion 32a. When the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a, the pin 31e is located at the lower end of the guide portion 32e, whereby the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a. At this time, a predetermined clearance is secured between the upper end portion of the slide portion 31c and the ceiling surface of the fitting portion 32b, and the pin 31e is vertically movable in the guide portion 32e. As a result, the component holding portion 31 is displaceable in the vertical direction with respect to the lower portion 32.

吸着部31fは部品保持部31の内部に形成された吸引孔31dと連通しており、部品保持部31をホルダ部32aに保持させた状態では、吸引孔31dは下部32に形成された吸引孔32fと連通状態となる。吸引孔32fはエアジョイント部34(図5参照)を介して外部の負圧発生源に接続されており、これにより部品保持部31において、ノズル31aによって負圧による部品Pの保持が行われる。   The suction portion 31f communicates with the suction hole 31d formed inside the component holding portion 31, and the suction hole 31d is formed in the lower portion 32 in a state where the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a. It will be in communication with 32f. The suction hole 32f is connected to an external negative pressure generation source via the air joint portion 34 (see FIG. 5), whereby the component P is held by the nozzle 31a by the negative pressure in the component holding portion 31.

上記構成において、ノズル31a、ノズル保持部31b、スライド部31c、吸引孔31dおよびピン31eは、シャフト35の下部32に上下方向に変位可能な状態で取り付けられ、負圧によって部品を保持するための吸引孔31dを有する部品保持部31を構成する。ホルダ部32aの下端面とノズル保持部31bとの間のスライド部31cの外周には、弾性体である付勢部材33が嵌着されている。付勢部材33は、シャフト35の下部32に対して部品保持部31を下方に付勢する。   In the above configuration, the nozzle 31a, the nozzle holding portion 31b, the slide portion 31c, the suction hole 31d and the pin 31e are attached to the lower portion 32 of the shaft 35 so as to be vertically displaceable, and hold components by negative pressure. The component holding portion 31 having the suction holes 31 d is configured. An urging member 33, which is an elastic body, is fitted to the outer periphery of the slide portion 31c between the lower end surface of the holder portion 32a and the nozzle holding portion 31b. The biasing member 33 biases the component holding portion 31 downward with respect to the lower portion 32 of the shaft 35.

次に図7を参照して、部品保持部31を下部32のホルダ部32aに保持させる際の動作手順について説明する。まず図7(a)に示すように、部品保持部31においてスライド部31cに設けられたピン31eをホルダ部32aの挿入部32cに対して位置合わせする。そしてこの状態で、スライド部31cを嵌合部32bに嵌合させように、部品保持部31をホルダ部32aに対して接近させる(矢印b)。   Next, referring to FIG. 7, an operation procedure when holding the component holding portion 31 on the holder portion 32 a of the lower portion 32 will be described. First, as shown in FIG. 7A, in the component holding portion 31, the pin 31e provided on the slide portion 31c is aligned with the insertion portion 32c of the holder portion 32a. Then, in this state, the component holding portion 31 is made to approach the holder portion 32a so that the slide portion 31c is fitted to the fitting portion 32b (arrow b).

次いで図7(b)に示すように、ピン31eを挿入部32cによってガイドしながら(矢印c)部品保持部31を上昇させ、ピン31eが水平部32dに到達したならば、ピン31eを水平部32dによってガイドしながら部品保持部31を軸周りに回転させる。これにより、図7(c)に示すように、ピン31eは水平部32dの終端部に到達する。この後、図7(d)に示すように、ピン31eを案内部32eによってガイドしながら(矢印e)部品保持部31を引き下げる。これにより、ピン31eは案内部32eの下端部に位置し、部品保持部31は下部32のホルダ部32aに保持された状態となる。   Next, as shown in FIG. 7B, the component holding portion 31 is raised while guiding the pin 31e by the insertion portion 32c (arrow c), and when the pin 31e reaches the horizontal portion 32d, the pin 31e is moved to the horizontal portion The component holder 31 is rotated about an axis while being guided by 32d. As a result, as shown in FIG. 7C, the pin 31e reaches the end of the horizontal portion 32d. Thereafter, as shown in FIG. 7D, the component holding portion 31 is pulled down while the pin 31e is guided by the guide portion 32e (arrow e). As a result, the pin 31 e is positioned at the lower end of the guide 32 e, and the component holder 31 is held by the holder 32 a of the lower portion 32.

ここで上述構成のノズルユニット30に作用する力の関係について、図10を参照して説明する。図10において、推力Tはサーボモータ41が発生する推力であり、回転部材40を介して結合されたシャフト35を下方に押し下げる方向に作用する。重さWは、図中において可動部を示すハッチング部分、すなわち移動ロッド42、回転部材40、上部36、エアジョイント部34、下部32、部品保持部31などの自重の総和であり、推力Tと同様にシャフト35を下方に押し下げる方向に作用する。   Here, the relationship of the force which acts on the nozzle unit 30 of the above-mentioned composition is explained with reference to FIG. In FIG. 10, a thrust T is a thrust generated by the servomotor 41 and acts in a direction to push down the shaft 35 coupled via the rotating member 40. The weight W is a total of the weight of hatched portions showing movable parts in the figure, that is, the moving rods 42, the rotating members 40, the upper portion 36, the air joint portion 34, the lower portion 32, the component holding portion 31, etc. Similarly, it acts to push the shaft 35 downward.

反力F1は、リターンスプリング39の反力であり、回転部材40を介してシャフト35を押し上げる方向に作用する。抵抗F2は、上述の可動部を摺動自在に保持する摺動ガイド部などの抵抗外力であり、下降方向に駆動されるシャフト35については上向きに作用する。そして荷重LFは、部品保持部31が下降して当接した当接部、例えば部品保持部31が保持した部品Pを基板に押圧する際の荷重を示している。   The reaction force F1 is a reaction force of the return spring 39, and acts in the direction of pushing up the shaft 35 via the rotating member 40. The resistance F2 is a resistance external force such as a sliding guide portion which slidably holds the above-mentioned movable portion, and acts upward on the shaft 35 driven in the downward direction. The load LF indicates the load when pressing the component P held by the component holding unit 31 downward to contact with the substrate, for example, the component P held by the component holding unit 31.

図10では、推力−荷重相関データ(図11参照)を取得するために、荷重LFを計測する機能を有する荷重検出部45(図8、図9参照)に、部品保持部31を押し当てた状態を示している。また図10に示す付勢力FPは、部品保持部31と下部32との間に介在する付勢部材33の与圧値であり、部品保持部31と下部32に及ぼす押圧力を示している。   In FIG. 10, the component holding unit 31 is pressed against the load detection unit 45 (see FIGS. 8 and 9) having a function of measuring the load LF in order to acquire thrust-load correlation data (see FIG. 11). It shows the state. Further, an urging force FP shown in FIG. 10 is a pressure value of the urging member 33 interposed between the component holding portion 31 and the lower portion 32, and indicates a pressing force exerted on the component holding portion 31 and the lower portion 32.

上述の力の作用状態において、荷重LFは図中の数式(1)に示す関係、すなわち、LF=T+W−F1−F2で示される。ここで、重さW、反力F1、抵抗F2は同一のノズルユニット30については固定値とみなしてよいことから、荷重LFは推力Tに一意的に依存する。本実施の形態に示す部品搭載装置1においては、付勢力FPと荷重LFとが不等式(2)を満たすように、すなわち荷重LFが付勢力FPよりも小さくなるように、推力Tを設定するようにしている。   In the above-described force application state, the load LF is represented by the relationship shown in the equation (1) in the figure, that is, LF = T + W-F1-F2. Here, since the weight W, the reaction force F1, and the resistance F2 may be regarded as fixed values for the same nozzle unit 30, the load LF uniquely depends on the thrust force T. In component mounting apparatus 1 shown in the present embodiment, thrust force T is set such that biasing force FP and load LF satisfy inequality (2), that is, load LF is smaller than biasing force FP. I have to.

荷重LFが付勢力FPよりも小さくなるように推力Tを設定することは、以下のような技術的意義を有する。すなわち従来技術においては、付勢部材33は部品保持部31を弾性支持する役割を有しており、部品保持部31に保持した部品を搭載する際には、付勢部材33が押し込まれることにより発生する反力によって部品を基板に押圧するようにしていた。   Setting the thrust force T so that the load LF is smaller than the biasing force FP has the following technical significance. That is, in the prior art, the biasing member 33 has a role of elastically supporting the component holding portion 31, and when the component held in the component holding portion 31 is mounted, the biasing member 33 is pushed. The component is pressed against the substrate by the generated reaction force.

これに対し本実施の形態に示す部品搭載装置1では、部品保持部31を押し下げる荷重LFが付勢部材33の付勢力FPよりも小さくなるような荷重LFの限界値を制限荷重LFLとしてまず規定する。そしてこのような制限荷重LFLに対応するサーボモータ41の推力Tを推力制限値TLとして求めて搭載ヘッド制御部13に記憶させておく。そして実際の部品搭載動作におけるサーボモータ41の駆動に際しては、推力Tが推力制限値TLを超えないようにサーボモータ41を制御する。   On the other hand, in the component mounting apparatus 1 shown in the present embodiment, the limit value of the load LF such that the load LF pushing down the component holding portion 31 is smaller than the biasing force FP of the biasing member 33 is first defined as the limit load LFL. Do. The thrust T of the servomotor 41 corresponding to such a limit load LFL is obtained as a thrust limit value TL and stored in the mounting head control unit 13. When the servomotor 41 is driven in the actual component mounting operation, the servomotor 41 is controlled so that the thrust force T does not exceed the thrust force limit value TL.

ノズルユニット30におけるサーボモータ41の推力Tをこのように制御することにより、部品保持部31の下降動作において付勢部材33を押し縮めることなく、荷重LFそのものの押圧力によって部品を基板に搭載することができる。これにより、部品装着位置によって基板の高さにばらつきが存在するような場合にあっても、高精度で制御可能な荷重LFによって部品を基板に押圧することが可能となっている。   By controlling the thrust T of the servomotor 41 in the nozzle unit 30 in this manner, the component is mounted on the substrate by the pressing force of the load LF itself without compressing the biasing member 33 in the lowering operation of the component holding portion 31. be able to. As a result, even when the height of the substrate varies depending on the component mounting position, it is possible to press the component against the substrate by the load LF that can be controlled with high accuracy.

そしてこのような推力Tの制御を可能とするため、本実施の形態においては、搭載ヘッド11のノズルユニット30の動作を制御する搭載ヘッド制御部13において、サーボモータ41の推力Tの値を制限する推力制限値TLを各サーボモータ41毎に設定し、設定された推力制限値TLに基づいてサーボモータ41を制御するようにしている。推力制限値TLの設定は、部品搭載装置1の本体が備えた本体制御部14からの指令に含まれる制限荷重LFLを、予め作成された推力−荷重相関データ(図11参照)と参照することにより行われる。以下、部品搭載装置1においてこのような制御処理を実行するために、搭載ヘッド制御部13および本体制御部14よりなる制御部15が備えた構成について、図8を参照して説明する。   And in order to enable such control of the thrust T, in the present embodiment, the value of the thrust T of the servomotor 41 is limited in the mounting head control unit 13 which controls the operation of the nozzle unit 30 of the mounting head 11. The thrust limit value TL to be set is set for each servo motor 41, and the servo motor 41 is controlled based on the set thrust limit value TL. For setting of the thrust limit value TL, refer to the limited load LFL included in the command from the main body control unit 14 provided in the main body of the component mounting device 1 with the thrust-load correlation data (see FIG. 11) created in advance. It is done by Hereinafter, in order to execute such control processing in the component mounting apparatus 1, a configuration provided by the control unit 15 including the mounting head control unit 13 and the main body control unit 14 will be described with reference to FIG.

図8において、部品搭載装置1の全体を制御する制御部15は、本体制御部14および本体制御部14に配線コネクタ27を介して接続された搭載ヘッド制御部13より構成される。本体制御部14は、部品搭載装置1における基板3の搬送や搭載ヘッド11による部品供給部5からの部品の取り出しなどの動作を制御するとともに、搭載ヘッド制御部13に対して制御指令を送信する機能を有している。   In FIG. 8, the control unit 15 that controls the entire component mounting apparatus 1 includes a main body control unit 14 and a mounting head control unit 13 connected to the main body control unit 14 via a wiring connector 27. The main control unit 14 controls operations such as conveyance of the substrate 3 in the component mounting apparatus 1 and removal of components from the component supply unit 5 by the mounting head 11, and transmits a control command to the mounting head controller 13. It has a function.

すなわち本体制御部14は、少なくとも搭載ヘッド11を移動させるXYテーブル10(搭載ヘッド移動機構)を制御し、搭載ヘッド制御部13に部品保持部31の昇降動作を行うための指令を送信する。換言すれば制御部15は、予め設定されて第2の記憶部58に「標準動作パターン」58dとして記憶された動作パターンに基づいて、ノズルユニット30のシャフト35を昇降させるサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31に保持された部品を基板3に搭載するための昇降動作を部品保持部31に行わせる。   That is, the body control unit 14 controls at least the XY table 10 (mounting head moving mechanism) for moving the mounting head 11, and transmits a command for performing the lifting operation of the component holding unit 31 to the mounting head control unit 13. In other words, the control unit 15 controls the servomotor 41 that raises and lowers the shaft 35 of the nozzle unit 30 based on the operation pattern set in advance and stored in the second storage unit 58 as the “standard operation pattern” 58d. Thus, the component holding unit 31 is caused to perform an elevating operation for mounting the component held by the component holding unit 31 on the substrate 3.

搭載ヘッド制御部13には、搭載ヘッド11に配置された複数基(ここでは12基)のノズルユニット30毎に、当該ノズルユニット30のサーボモータ41(#1〜#12)を制御するサーボモータ制御部50(#1〜#12)が設けられている。それぞれのサーボモータ制御部50は、モータドライバ51、推力検出部52、位置検出部53、着地検出部54、タイマー55、推力制限部56、第1の記憶部57および第2の記憶部58を備えている。   The mounting head control unit 13 controls a servomotor 41 (# 1 to # 12) of the nozzle unit 30 for each of a plurality of (12 in this case) nozzle units 30 arranged on the mounting head 11. A control unit 50 (# 1 to # 12) is provided. Each servo motor control unit 50 includes a motor driver 51, a thrust detection unit 52, a position detection unit 53, a landing detection unit 54, a timer 55, a thrust restriction unit 56, a first storage unit 57, and a second storage unit 58. Have.

ここで前述のように搭載ヘッド11は搭載ヘッド移動機構であるXYテーブル10に着脱可能に構成されており、第1の記憶部57は不揮発性の記憶部となっている。この構成により、搭載ヘッド11がXYテーブル10のX軸移動テーブル9から取り外されて単体となった状態においても、記憶内容を保持できるようになっている。これにより、1つの部品搭載装置1から取り外した搭載ヘッド11を他の部品搭載装置1へ移した場合にあっても、当該搭載ヘッド11の各ノズルユニット30を、第1の記憶部57に記憶された相関データを参照して正しく動作させることが可能となっている。   Here, as described above, the mounting head 11 is configured to be attachable to and detachable from the XY table 10 that is a mounting head moving mechanism, and the first storage unit 57 is a non-volatile storage unit. With this configuration, even when the mounting head 11 is detached from the X-axis moving table 9 of the XY table 10 and becomes a single unit, stored contents can be held. Thereby, even when the mounting head 11 removed from one component mounting device 1 is transferred to another component mounting device 1, each nozzle unit 30 of the mounting head 11 is stored in the first storage unit 57. It is possible to operate correctly with reference to the correlated data.

モータドライバ51は、サーボモータ41の駆動制御装置であり、予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41に電力を供給して(矢印f)、サーボモータ41を駆動する。そして動作パターンで定められた目標位置や目標速度との偏差をサーボモータ41のエンコーダ44から送られるパルス信号によって検出し(矢印g)、検出された偏差をフィードバックするサーボ制御によってサーボモータ41を駆動する。   The motor driver 51 is a drive control device of the servomotor 41, supplies power to the servomotor 41 based on a preset operation pattern (arrow f), and drives the servomotor 41. Then, the deviation from the target position and the target velocity determined by the operation pattern is detected by the pulse signal sent from the encoder 44 of the servomotor 41 (arrow g), and the servomotor 41 is driven by servo control to feedback the detected deviation. Do.

推力検出部52はサーボモータ41の推力を検出する機能を有する。すなわちモータドライバ51からサーボモータ41に供給される電流(矢印f)、またはモータドライバ51から通知された電流値(矢印h)により、サーボモータ41で発生している推力を検出する。本実施の形態においては、サーボモータ41の推力は推力制限部56の機能によって前述の推力制限値TLに基づいて制限される。   The thrust detection unit 52 has a function of detecting the thrust of the servomotor 41. That is, the thrust generated by the servomotor 41 is detected from the current (arrow f) supplied from the motor driver 51 to the servomotor 41 or the current value (arrow h) notified from the motor driver 51. In the present embodiment, the thrust of the servomotor 41 is limited by the function of the thrust limiter 56 based on the aforementioned thrust limit value TL.

推力制限部56は、本体制御部14からの制御指令に含まれる制限荷重LFLを、相関データ記憶部である第1の記憶部57に記憶された推力−荷重相関データと参照して推力制限値TLを求め、第1の記憶部57に「推力制限値」57aとして記憶する。そして求められた推力制限値TLをモータドライバ51に設定する処理を実行する(矢印i)。   The thrust limiting unit 56 refers to the limited load LFL included in the control command from the main body control unit 14 with the thrust-load correlation data stored in the first storage unit 57 serving as a correlation data storage unit, and limits the thrust limiting value. TL is determined and stored in the first storage unit 57 as the “force limit value” 57 a. Then, processing for setting the obtained thrust limit value TL in the motor driver 51 is executed (arrow i).

すなわち、部品保持部31が下降して、予め設定されて第2の記憶部58に「推力制限高さ」58cとして記憶されている推力制限高さTLh(図13参照)に到達したら、第1の記憶部57に「推力制限値」57aとして記憶されている推力制限値TLをモータドライバ51に設定する。なお部品保持部31が上昇して推力制限高さTLhよりも高い位置まで移動したら、モータドライバ51における推力制限値TLの設定を解除する。   That is, when the component holding unit 31 descends and reaches the thrust limit height TLh (see FIG. 13) which is preset and stored as the “thrust limit height” 58c in the second storage unit 58, the first The thrust limit value TL stored as the “thrust limit value” 57 a in the storage unit 57 is set in the motor driver 51. When the component holding portion 31 ascends and moves to a position higher than the thrust limit height TLh, the setting of the thrust limit value TL in the motor driver 51 is canceled.

この構成において、推力制限部56およびモータドライバ51は、推力−荷重相関データと本体制御部14からの制御指令に含まれる制限荷重LFLの情報に基づいて、サーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLを設定し、部品保持部31を基板3に向かって下降させる際に、サーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する推力制限部を構成する。ここで推力制限値TLは、サーボモータ41を推力制限値TLと同じ推力で駆動させたときに部品保持部31から部品に作用する荷重が、弾性体である付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなる範囲で設定されている。   In this configuration, thrust limiting section 56 and motor driver 51 limit the thrust of servo motor 41 based on thrust-load correlation data and information of limited load LFL included in the control command from main body control section 14. When the value TL is set, and the component holder 31 is lowered toward the substrate 3, a thrust limiter configured to limit the thrust of the servomotor 41 to the thrust limit value TL or less is configured. Here, when the servomotor 41 is driven with the same thrust as the thrust limit value TL, the force acting on the parts from the component holding portion 31 is a force limiting member TL which is an elastic body. Is set in a range smaller than the biasing force FP for biasing the lens.

そして上述構成の推力制限部は、サーボモータ41を駆動させたときに部品保持部31から部品に作用する荷重LFが、付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなる範囲でサーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLを設定し、サーボモータ41の推力をこの推力制限値TL以下に制限する。具体的にはモータドライバ51によるサーボモータ41の駆動において、推力が推力制限値TL以下となるように、サーボモータ41へ供給する電流を制限する。   In the thrust limiter having the above configuration, the load LF acting on the component from the component holding unit 31 when the servomotor 41 is driven is smaller than the biasing force FP with which the biasing member 33 biases the component holding unit 31 The thrust limit value TL for limiting the thrust of the servomotor 41 is set within the following range, and the thrust of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less. Specifically, in the drive of the servomotor 41 by the motor driver 51, the current supplied to the servomotor 41 is limited so that the thrust becomes equal to or less than the thrust limit value TL.

位置検出部53は、サーボモータ41のエンコーダ44からのエンコーダパルスをカウントする。このカウント値は部品保持部31の高さ方向の位置を示す位置情報となる。すなわち、位置検出部53は、サーボモータ41からの位置信号に基づいて部品保持部31の高さ方向の位置を検出する高さ位置計測機能を有する。後述する装着位置高さ計測は、この位置検出部53の高さ位置計測機能を用いて行われる。   The position detection unit 53 counts encoder pulses from the encoder 44 of the servomotor 41. The count value is position information indicating the position of the component holding unit 31 in the height direction. That is, the position detection unit 53 has a height position measurement function of detecting the position of the component holding unit 31 in the height direction based on the position signal from the servomotor 41. The mounting position height measurement to be described later is performed using the height position measurement function of the position detection unit 53.

着地検出部54は、部品保持部31に保持された部品が基板3に着地したことを検出する。この着地検出は、以下に示す2つの方法のいずれかによって行われる。まず1つの方法として、推力制限値TLが設定されて上述の推力制限部による推力Tの制限中に、サーボモータ41の推力Tが設定された推力制限値TLに到達したことを推力検出部52が検出したならば、部品が基板3に着地したことを検出する。なおこの方法の代替方法として、サーボモータ41のエンコーダ44から出力されるエンコーダパルスが停滞していることを以て、部品が基板3に着地したことを検出するようにしてもよい。   The landing detection unit 54 detects that the component held by the component holding unit 31 has landed on the substrate 3. This landing detection is performed by one of the following two methods. First, as one method, the thrust detecting unit 52 determines that the thrust T of the servomotor 41 has reached the set thrust limiting value TL while the thrust limiting value TL is set and the thrust limiting unit limits the thrust T described above. Detects that the component has landed on the substrate 3. As an alternative to this method, it may be detected that the component has landed on the substrate 3 by the stagnation of the encoder pulse output from the encoder 44 of the servomotor 41.

タイマー55は、着地検出部54が着地を検出してからの経過時間を計測する機能を有する。そして計測された経過時間が、予め適正な静定時間として設定され第2の記憶部58に記憶された「目標時間」58eに到達したら、部品保持部31の上昇を開始するようにしている。本実施の形態においては、制御部15の搭載ヘッド制御部13は、第2の記憶部58の「標準動作パターン」58dに記憶された動作パターンで定めた上昇開始タイミングの前に経過時間が「目標時間」58eに到達したら、サーボモータ41を制御して部品保持部31を上昇させるようにしている。   The timer 55 has a function of measuring an elapsed time after the landing detection unit 54 detects the landing. Then, when the measured elapsed time reaches the “target time” 58 e which is set in advance as the appropriate settling time and stored in the second storage unit 58, the component holding unit 31 is started to ascend. In the present embodiment, the mounted head control unit 13 of the control unit 15 sets the elapsed time before the rise start timing determined by the operation pattern stored in the “standard operation pattern” 58 d of the second storage unit 58 When the target time “58e” is reached, the servomotor 41 is controlled to raise the component holder 31.

第1の記憶部57は相関データ記憶部であり、サーボモータ41の推力Tと部品保持部31の先端に発生する荷重LFとの関係を示す相関データ(推力−荷重相関データ)を、複数のサーボモータ別に記憶する。なお第1の記憶部57は不揮発性の記憶部であり、搭載ヘッド11をXYテーブル10から取り外した状態においても記憶内容を保持することができるようになっている。   The first storage unit 57 is a correlation data storage unit, and has a plurality of correlation data (thrust-load correlation data) indicating the relationship between the thrust force T of the servomotor 41 and the load LF generated at the tip of the component holder 31. Store for each servo motor. The first storage unit 57 is a non-volatile storage unit, and can retain stored contents even when the mounting head 11 is removed from the XY table 10.

図11を参照して、上述の推力−荷重相関データの内容を説明する。図11は、サーボモータ41の推力Tを横軸とし、部品保持部31の先端に発生する荷重LFを縦軸としたグラフである。図10に示す構成のノズルユニット30においては、推力Tと荷重LFとは、実用的に対象となる区間ではリニアな関係にあり、図11のグラフにおいて、推力Tと荷重LFとは特性直線[L]によって表される関係にある。   The content of the above-described thrust-load correlation data will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a graph in which the thrust T of the servomotor 41 is taken along the horizontal axis, and the load LF generated at the tip of the component holder 31 is taken along the vertical axis. In the nozzle unit 30 having the configuration shown in FIG. 10, the thrust T and the load LF have a linear relationship in the section practically targeted, and in the graph of FIG. L] is in the relationship represented by

この特性直線[L]は、以下のようにして取得される。まず大きさが相異なる2つの推力A、推力Bにてサーボモータ41を駆動したときに部品保持部31の先端に発生する荷重A、荷重Bを、図9に示す荷重検出部45によって計測する。そして図11において、(推力A、荷重A)、(推力B、荷重B)によって規定される2つのデータ点(PA)、(PB)を結ぶ直線を特性直線[L]とする。   This characteristic line [L] is obtained as follows. First, load A and load B generated at the tip of component holder 31 when servomotor 41 is driven with two thrusts A and B different in size are measured by load detector 45 shown in FIG. . Then, in FIG. 11, a straight line connecting two data points (PA) and (PB) defined by (Thrust A, Load A) and (Thrust B, Load B) is taken as a characteristic straight line [L].

そして部品搭載動作の実行時において、本体制御部14から送信される制御指令にて制限荷重LFLが指定されると、特性直線[L]上においてこの制限荷重LFLに対応する推力を推力制限値TLとして求める。すなわち部品Pを基板3に搭載する際の部品保持部31が部品Pに加える制限荷重LFLと、図11に示す推力−荷重相関データを使用してサーボモータ41が発生する推力Tを制限するための推力制限値TLを算出する。求められた推力制限値TLは、相関データ記憶部である第1の記憶部57に「推力制限値」57aとして複数のサーボモータ別に記憶される。   When the limit load LFL is designated by the control command transmitted from the main body control unit 14 at the time of executing the component mounting operation, the thrust corresponding to the limit load LFL is set as the thrust limit value TL on the characteristic straight line [L]. Ask as. That is, in order to limit the thrust T generated by the servomotor 41 using the limited load LFL that the component holding unit 31 applies to the component P when the component P is mounted on the substrate 3 and the thrust-load correlation data shown in FIG. The thrust limit value TL of The obtained thrust limit value TL is stored in the first storage unit 57, which is a correlation data storage unit, as a “thrust limit value” 57a for each of a plurality of servomotors.

部品搭載動作におけるサーボモータ41の駆動では、このようにして記憶された推力制限値TLが所定のタイミングにてモータドライバ51に設定され、サーボモータ41の推力が推力制限値TL以下となるように推力が制御される。このような構成により、複数の部品保持部31とサーボモータ41を備えた部品搭載装置1において、サーボモータ41の特性のばらつきに起因する荷重のばらつきを少なくすることができる。   In driving the servomotor 41 in the component mounting operation, the thrust limit value TL stored in this way is set in the motor driver 51 at a predetermined timing, and the thrust of the servomotor 41 becomes equal to or less than the thrust limit value TL. The thrust is controlled. With such a configuration, in the component mounting device 1 including the plurality of component holding portions 31 and the servomotor 41, it is possible to reduce the variation in load caused by the variation in the characteristics of the servomotor 41.

上述の推力−荷重相関データにおいて、推力Aは第1の推力であり、荷重Aはサーボモータ41を第1の推力で駆動させたときに発生する第1の荷重である。そして推力Bは第1の推力とは異なる大きさの第2の推力であり、荷重Bはサーボモータ41を第2の推力で駆動させたときに発生する第2の荷重である。この推力−荷重相関データは、第1の記憶部57においては「推力制限値」57a、「推力A」57b、「荷重A」57c、「推力B」57d、「荷重B」57eを示すデジタル値の形態で記憶される。   In the above-described thrust-load correlation data, the thrust A is a first thrust, and the load A is a first load generated when the servomotor 41 is driven with the first thrust. The thrust B is a second thrust different in magnitude from the first thrust, and the load B is a second load generated when the servomotor 41 is driven with the second thrust. The thrust-load correlation data is a digital value indicating “thrust limit value” 57a, “thrust A” 57b, “load A” 57c, “thrust B” 57d, and “load B” 57e in the first storage unit 57. Are stored in the form of

なお、第1の荷重である荷重A、第2の荷重である荷重Bは、弾性体である付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなるように設定される。これにより、荷重検出部45を用いた荷重測定において、付勢部材33を押し縮めること無く荷重LFを測定することができ、推力−荷重の相関を正しく求めることができる。   The load A, which is the first load, and the load B, which is the second load, are set such that the biasing member 33, which is an elastic body, is smaller than the biasing force FP that biases the component holding portion 31. . As a result, in load measurement using the load detection unit 45, the load LF can be measured without compressing the biasing member 33, and the correlation between thrust and load can be determined correctly.

第2の記憶部58は、装着動作における昇降動作制御用の高さパラメータや動作パターンなど、本体制御部14から搭載ヘッド制御部13に送信された作業実行用データを記憶する。これらの作業用実行データは、以下の図12に示す基板種毎の装着データに基づいて、本体制御部14の装着作業実行部60によって作成され、搭載ヘッド制御部13に送信される。   The second storage unit 58 stores work execution data transmitted from the main control unit 14 to the mounting head control unit 13 such as height parameters and operation patterns for controlling the elevation operation in the mounting operation. The work execution data is created by the mounting work execution unit 60 of the main body control unit 14 based on the mounting data for each substrate type shown in FIG. 12 below, and is transmitted to the mounting head control unit 13.

図12(a)は、本実施の形態に示す部品搭載装置1を含む部品実装システムによって基板3に部品を搭載して製造された部品搭載基板3*を示している。基板3において認識マーク3aが形成された部品実装面には、部品搭載装置1による部品搭載の対象となる部品搭載範囲3bが設定されている。部品搭載範囲3b内には部品搭載装置1によって部品Pが搭載される。部品搭載範囲3bの外側に範囲には、他の部品搭載装置によって部品P*が搭載される。   FIG. 12A shows a component mounting board 3 * manufactured by mounting components on the substrate 3 by the component mounting system including the component mounting apparatus 1 shown in the present embodiment. A component mounting range 3 b to be a target of component mounting by the component mounting device 1 is set on the component mounting surface of the substrate 3 on which the recognition mark 3 a is formed. The component P is mounted by the component mounting device 1 in the component mounting range 3 b. The component P * is mounted by the other component mounting device outside the component mounting range 3b.

図12(b)は、部品搭載装置1によって部品搭載範囲3b内に部品Pを搭載する際に参照される装着データ70を示している。装着データ70は本体制御部14の装着データ記憶部64に記憶されている。装着データ70には、基板3における部品Pの装着位置の番号をMP1、MP2・・にて示す「装着位置No」70a、「装着位置No」70aのそれぞれにおける部品Pの装着位置座標を示す「装着位置座標(X、Y、Θ)」70b、「装着位置No」70aのそれぞれにおける部品Pの装着位置高さを示す「装着位置高さ(Z)」70c、装着される部品Pの名称を示す「部品名」70dなどが含まれる。   FIG. 12B shows mounting data 70 which is referred to when the component P is mounted by the component mounting apparatus 1 in the component mounting range 3b. The mounting data 70 is stored in the mounting data storage unit 64 of the main control unit 14. “Mounting position No.” 70a indicating the mounting position number of the component P on the substrate 3 in the mounting data 70, and “mounting position coordinates of the component P at the“ mounting position No ”70a "Mounting position height (Z)" 70c indicating the mounting position height of the component P at each of the mounting position coordinates (X, Y, Θ) 70b and "mounting position No" 70a, and the name of the component P to be mounted "Part name" 70d etc. which are shown are included.

次にこれらの作業用実行データに含まれる昇降動作制御用の高さパラメータについて、図13を参照して説明する。図13は、部品Pを保持した部品保持部31が装着されたシャフト35(図5参照)をサーボモータ41によって下降させる際の制御用の高さパラメータの位置関係を模式的に図示している。図13において、上方に描かれた水平線は、部品保持部31の動作開始前の位置である待機高さZ0を示している。   Next, height parameters for controlling the elevation operation included in the work execution data will be described with reference to FIG. FIG. 13 schematically illustrates the positional relationship of height parameters for control when lowering the shaft 35 (see FIG. 5) mounted with the component holding unit 31 holding the component P by the servomotor 41. . In FIG. 13, the horizontal line drawn above indicates the standby height Z0 which is a position before the start of the operation of the component holding unit 31.

左側の下方に示す第1例EX1では、理想状態における部品Pの装着状態を示している。すなわちここでは、高さが正しく保持された基板保持部に変形のない理想状態の基板3をセットし、この基板3に対して部品Pを保持した部品保持部31を下降させた状態を示している。この状態での基板3の上面は、理想状態における装着高さZ1を示している。待機高さZ0から装着高さZ1に至る途中には、推力制限値TLを適用してサーボモータ41の推力を制限する推力制限を開始する高さである推力制限高さTLhが設定されており、予め搭載ヘッド制御部13の第2の記憶部58に記憶されている。   The first example EX1 shown on the lower side on the left side shows the mounting state of the component P in the ideal state. That is, in this case, the substrate 3 in the ideal state without deformation is set in the substrate holding portion in which the height is correctly held, and the state in which the component holding portion 31 holding the component P is lowered with respect to the substrate 3 is shown. There is. The upper surface of the substrate 3 in this state indicates the mounting height Z1 in the ideal state. On the way from the standby height Z0 to the mounting height Z1, a thrust limit height TLh is set, which is a height at which a thrust limit is started to limit the thrust of the servo motor 41 by applying the thrust limit value TL. The second storage unit 58 of the loading head control unit 13 is stored in advance.

また装着高さZ1から装着厚み寸法d(ここでは部品Pの厚さ、ランド3cの厚さ、接合用半田Sの厚さを加えた厚み寸法)だけ上方の高さは、部品保持部31が保持した部品Pが接合用半田に接触するときの部品保持部31の高さを示す着地高さZCである。そしてこの着地高さZCから所定の減速高さオフセットOFDだけ上方の位置が、部品保持部31の下降速度を高速から低速に減速する減速位置を規定する減速高さDhとなる。また着地高さZCから空振り防止を考慮した目標高さオフセットOFTだけ下方の位置が、部品保持部31を下降させる目標となる目標高さThとなる。   The component holding portion 31 has a height above the mounting height dimension Z1 by the mounting thickness dimension d (here, the thickness dimension obtained by adding the thickness of the component P, the thickness of the land 3c, and the thickness of the bonding solder S). It is a landing height ZC that indicates the height of the component holding portion 31 when the held component P contacts the bonding solder. A position above the landing height ZC by a predetermined deceleration height offset OFD is a deceleration height Dh that defines a deceleration position at which the lowering speed of the component holding portion 31 is decelerated from high speed to low speed. Further, a position lower than the landing height ZC by the target height offset OFT in consideration of idling prevention is a target height Th which is a target for lowering the component holding portion 31.

ここで減速高さDhは、部品保持部31の下降時間を短くして生産性を高める観点からは、減速高さオフセットOFDをできるだけ小さくして、減速高さDhを着地高さZCに近い高さに設定することが望ましい。しかしながら、作業対象の基板3の装着高さZ1がばらついている場合には、減速高さDhの設定位置によっては次のような不都合が生じる。   Here, from the viewpoint of shortening the lowering time of the component holding portion 31 and increasing the productivity, the deceleration height Dh is as small as possible in the deceleration height offset OFD, and the deceleration height Dh is close to the landing height ZC. It is desirable to set However, when the mounting height Z1 of the work target substrate 3 varies, the following problems occur depending on the setting position of the deceleration height Dh.

すなわち減速高さDhが低すぎると、下降速度が減速されないまま部品保持部31に保持された部品Pが着地することによる搭載不具合のおそれがある。逆に減速高さDhが高すぎると、必要以上に早いタイミングから下降速度の減速が行われることによる動作時間の遅延が生じる。このような不都合を防止するため、本実施の形態に示す部品搭載装置1においては、部品搭載作業の実行過程において位置検出部53の機能によって検出された実際の装着高さに基づいて、適正な減速高さを動的に設定するようにしている。   That is, if the deceleration height Dh is too low, there is a possibility that the component P held by the component holding unit 31 may land without causing the lowering speed to decelerate, resulting in a mounting failure. Conversely, if the deceleration height Dh is too high, the operation time is delayed due to the deceleration of the descending speed from the timing earlier than necessary. In order to prevent such a disadvantage, in the component mounting apparatus 1 shown in the present embodiment, based on the actual mounting height detected by the function of the position detection unit 53 in the process of executing the component mounting operation, it is appropriate. The deceleration height is set dynamically.

第1例EX1の右側に示す第2例EX2、第3例EX3は、基板3の高さ位置が理想状態における基板3から、それぞれ上方へのばらつきΔ1、下方へのばらつきΔ2だけ変位した状態での部品Pの装着状態を示している。第2例EX2における基板3の上面は、この状態での装着高さZ11を示している。そして装着高さZ11から前述の装着厚み寸法dだけ上方の高さが着地高さZC1となり、着地高さZC1から所定の減速高さオフセットOFDだけ上方の位置が減速高さDh1となる。   In the second example EX2 and the third example EX3 shown on the right side of the first example EX1, the height position of the substrate 3 is displaced from the substrate 3 in the ideal state by the variation Δ1 upward and the variation Δ2 downward respectively The mounting state of the part P of FIG. The upper surface of the substrate 3 in the second example EX2 indicates the mounting height Z11 in this state. The height above the mounting thickness dimension d from the mounting height Z11 is the landing height ZC1, and the position above the landing height ZC1 by the predetermined deceleration height offset OFD is the deceleration height Dh1.

第3例EX3における基板3の上面はこの状態での装着高さZ12を示している。そしてこの装着高さZ12から装着厚み寸法dだけ上方の高さは、着地高さZC2であり、この着地高さZC1から目標高さオフセットOFT1だけ下方の位置が、部品保持部31を下降させる目標となる目標高さTh1となる。ここでは、想定される装着位置の高さが最も低い場合でも空振りが生じないような高さに設定される。なお、第2例EX2については、目標高さの図示を省略しており、第3例EX3については減速高さの図示を省略している。   The upper surface of the substrate 3 in the third example EX3 indicates the mounting height Z12 in this state. The height above the mounting height Z12 by the mounting thickness dimension d is the landing height ZC2, and the position below the landing height ZC1 by the target height offset OFT1 is the target for lowering the component holding portion 31. And the target height Th1. Here, the height is set such that no idling occurs even when the height of the assumed mounting position is the lowest. In the second example EX2, the illustration of the target height is omitted, and in the third example EX3, the illustration of the decelerating height is omitted.

これらの高さパラメータは第2の記憶部58に記憶される。ここで目標高さTh、減速高さDhは、搭載ヘッド11におけるノズルユニット30の動作毎に設定される。そして部品搭載動作において部品保持部31を下降させる際の目標とする下降高さである「目標高さ」58a、部品保持部31を下降させる速度を高速から低速に減速するタイミングを規定する高さである「減速高さ」58bとして、その都度更新して記憶される。また推力制限高さTLhは、「推力制限高さ」58cとして記憶される。   These height parameters are stored in the second storage unit 58. Here, the target height Th and the decelerating height Dh are set for each operation of the nozzle unit 30 in the mounting head 11. Then, in the component mounting operation, "target height" 58a, which is a target lowering height when lowering the component holding unit 31, and a height that defines the timing for decelerating the speed at which the component holding unit 31 is lowered from high speed to low speed. Each time, it is updated and stored as the "deceleration height" 58b. The thrust limit height TLh is stored as the “thrust limit height” 58 c.

「標準動作パターン」58dは、基板3を対象として搭載ヘッド11による部品搭載における装着動作の動作パターンである。この動作パターンには、部品保持部31を下降させる速度を高速から低速に減速する減速高さと部品保持部31の目標とする下降高さである目標高さとが含まれる。   The “standard operation pattern” 58 d is an operation pattern of the mounting operation in component mounting by the mounting head 11 for the substrate 3. The operation pattern includes a decelerating height for decelerating the speed at which the component holding unit 31 is lowered from high speed to low speed, and a target height which is a target lowering height for the component holding unit 31.

「目標時間」58eは、部品Pを保持した部品保持部31が下降して、部品Pを基板3に押圧したままの静定状態を維持する静定時間である。本実施の形態では、着地検出部54が着地を検出してからの経過時間を着地検出部54で計測した経過時間が「目標時間」58eとして記憶された目標時間Tsに到達すると、部品保持部31を部品Pから離脱して上昇させるようにしている。   The “target time” 58 e is a stationary time in which the component holding unit 31 holding the component P descends to maintain the stationary state in which the component P is pressed against the substrate 3. In the present embodiment, when the elapsed time measured by landing detection unit 54 after the landing detection unit 54 detects landing reaches the target time Ts stored as “target time” 58 e, the component holding unit 31 is separated from the part P and raised.

本体制御部14には、XYテーブル10、基板搬送部2、部品供給部5、タッチパネル68、基板認識カメラ16、部品認識カメラ12、報知部69、荷重検出部45が接続されている。本体制御部14は、内部処理機能部としての、装着作業実行部60、空振り検出部61、装着位置高さ計測部62、減速高さ演算部63、装着データ記憶部64、部品情報記憶部65、装着高さ記憶部66、推力−荷重相関データ取得部67を備えている。   Connected to the main body control unit 14 are an XY table 10, a substrate conveyance unit 2, a component supply unit 5, a touch panel 68, a substrate recognition camera 16, a component recognition camera 12, a notification unit 69, and a load detection unit 45. The main body control unit 14 includes a mounting operation execution unit 60, an idle detection unit 61, a mounting position height measurement unit 62, a deceleration height calculation unit 63, a mounting data storage unit 64, and a component information storage unit 65 as internal processing function units. , A mounting height storage unit 66, and a thrust-load correlation data acquisition unit 67.

装着作業実行部60は、装着データ記憶部64に記憶された装着データ(図12(b)参照)に基づき、XYテーブル10、基板搬送部2、部品供給部5、搭載ヘッド11、部品認識カメラ12、基板認識カメラ16を制御する。これにより、基板3に部品Pを搭載するための一連の作業(図19に示すフロー参照)が実行される。タッチパネル68は入力操作および入力操作時の操作画面を表示する操作入力部であり、上述の一連の作業実行に際して必要とされる入力操作を行う。報知部69は、所定の状況で作動するシグナルタワーや表示画面などの報知手段であり、搭載ヘッド11による部品搭載動作において不正常な状態が検出された場合にその旨を報知する。   The mounting operation execution unit 60, based on the mounting data (see FIG. 12B) stored in the mounting data storage unit 64, the XY table 10, the substrate transport unit 2, the component supply unit 5, the mounting head 11, the component recognition camera 12, control the substrate recognition camera 16; Thereby, a series of operations (see the flow shown in FIG. 19) for mounting the component P on the substrate 3 are performed. The touch panel 68 is an operation input unit for displaying an input operation and an operation screen at the time of the input operation, and performs the input operation required for performing the series of tasks described above. The notification unit 69 is a notification unit such as a signal tower or a display screen that operates in a predetermined situation, and notifies that effect when an abnormal state is detected in the component mounting operation by the mounting head 11.

荷重検出部45は、図10に示す荷重LFを検出する機能を有する検出ユニットである。図9に示すように、荷重検出部45は上面にロードセルなどの荷重検出器45aを備えており、荷重検出器45aに部品保持部31の下端部を当接させて押圧することにより、荷重LFを計測することができる。荷重検出部45は、コネクタ装置45bを介して本体制御部14に取り外し自在に接続できるようになっている。荷重計測が必要とされるときには、図9に示すように、搭載ヘッド11の基台1a上に配置される。   The load detection unit 45 is a detection unit having a function of detecting the load LF shown in FIG. As shown in FIG. 9, the load detection unit 45 includes a load detector 45a such as a load cell on the upper surface, and a load LF is obtained by pressing the lower end of the component holding unit 31 against the load detector 45a. Can be measured. The load detection unit 45 can be detachably connected to the main control unit 14 via the connector device 45b. When load measurement is required, as shown in FIG. 9, it is disposed on the base 1 a of the mounting head 11.

空振り検出部61は、前述構成の推力制限部がサーボモータ41の推力を制限した後に、予め設定された動作パターンで定めた上昇開始タイミングまでの期間中に、推力検出部52で検出した推力が設定された推力制限値TLに到達しなかったこと、換言すれば部品保持部31に保持された部品が基板の上面に到達せずに搭載動作が「空振り」となったことを検出する。   After the thrust limiter of the above configuration limits the thrust of the servo motor 41, the idle swing detector 61 detects the thrust detected by the thrust detector 52 during the period up to the rise start timing determined by the preset operation pattern. It is detected that the set thrust force limit value TL has not been reached, in other words, that the component held by the component holding unit 31 has not reached the upper surface of the substrate, and the mounting operation has become “idle”.

そして空振り検出部61によって空振りを検出した場合には、報知部69を作動させてその旨報知するようにしている。このように本実施の形態では、実装不良の可能性の高い「空振り」を即座に検出することができ、さらにその旨報知することにより、不良の発生予測や当該部品の目標高さの修正等の対応を迅速に行って、品質を安定させることが可能となっている。   Then, when the idling detection is detected by the idling detection unit 61, the notification unit 69 is operated to notify that effect. As described above, in the present embodiment, it is possible to immediately detect "missing" having a high possibility of mounting failure, and by further notifying that effect, it is possible to predict the occurrence of a failure, correct the target height of the component, etc. It is possible to make the response stable and stabilize the quality.

装着位置高さ計測部62は、部品が基板3の装着位置に着地してから部品保持部31が上昇を開始する直前までの所定のタイミングで、位置検出部53が検出した部品保持部31の高さ方向の位置と、部品保持部31によって装着された部品Pの寸法とに基づいて、部品Pが装着された装着位置である装着完了位置における高さを示す装着高さを計測する。計測された複数の装着完了位置の複数の装着高さは、装着高さ記憶部66に記憶される。   The mounting position height measurement unit 62 detects the position of the component holding unit 31 detected by the position detection unit 53 at a predetermined timing from when the component lands on the mounting position of the substrate 3 to immediately before the component holding unit 31 starts to ascend. Based on the position in the height direction and the dimensions of the component P mounted by the component holding unit 31, the mounting height indicating the height at the mounting completed position, which is the mounting position at which the component P is mounted, is measured. The plurality of mounting heights of the plurality of measured mounting completion positions are stored in the mounting height storage unit 66.

減速高さ演算部63は、装着高さ記憶部66に記憶された少なくとも1つの装着高さを利用して、未だ部品が装着されていない装着位置である未装着位置に部品を装着する際の減速高さ(図17(b)に示す減速高さDh2参照)を演算する。すなわち本実施の形態では、同一の基板3において既に装着が実行された装着完了位置について位置検出部53によって検出された装着高さに基づいて、その後に作業対象となる未装着位置についての減速高さを演算により補正するようにしている。   The deceleration height calculation unit 63 uses the at least one mounting height stored in the mounting height storage unit 66 to mount the component at the non-mounting position, which is the mounting position at which the component is not yet mounted. The deceleration height (see the deceleration height Dh2 shown in FIG. 17B) is calculated. That is, in the present embodiment, the decelerating height for the unmounted position to be the work target based on the mounting height detected by the position detection unit 53 with respect to the mounting completed position on the same substrate 3 that has already been mounted. Is corrected by calculation.

ここで図18を参照して、減速高さ演算部63による減速高さ補正の実行例について説明する。図18は、減速高さ補正の補正対象位置を示している。図18(a)、(b)において、基板3の上面には、部品が装着される複数の装着位置MP1〜MP7が設定されている。これらの装着位置のうち矩形枠で囲まれた装着位置は、部品Pが装着された装着位置である装着完了位置を示している。   Here, with reference to FIG. 18, an execution example of the deceleration height correction by the deceleration height calculation unit 63 will be described. FIG. 18 shows the correction target position of the deceleration height correction. In FIGS. 18A and 18B, a plurality of mounting positions MP1 to MP7 where components are mounted are set on the upper surface of the substrate 3. Among the mounting positions, the mounting position surrounded by the rectangular frame indicates the mounting completion position which is the mounting position at which the component P is mounted.

図18(a)においては、装着位置MP1、MP2、MP3が装着完了位置であり、装着位置MP4が次の装着動作の対象となる未装着位置である。この未装着位置である装着位置MP4について、既設定の減速高さに替えて新たな減速高さを演算により設定する際には、当該未装着位置(装着位置MP4)から予め設定した範囲内(ここでは、装着位置MP4を中心とする半径Rの円形範囲C内)に装着完了位置が存在するか否かを判断する。   In FIG. 18A, the mounting positions MP1, MP2, and MP3 are the mounting complete positions, and the mounting position MP4 is the non-mounting position to be subjected to the next mounting operation. When setting a new decelerating height by calculation instead of the decelerating height that has already been set for the mounting position MP4 that is the non-mounting position, within a preset range from the unmounted position (mounting position MP4) Here, it is determined whether or not the mounting completion position exists in the circular range C of the radius R centering on the mounting position MP4.

そして装着完了位置が存在する場合にはその装着完了位置(ここでは装着位置MP2)について計測された装着高さに基づいて、未装着位置(ここでは装着位置MP4)を対象とする減速高さを演算する。すなわちこの場合には、減速高さ演算部63は、未装着位置からあらかじめ設定した範囲内に存在する装着完了位置の装着高さに基づいて減速高さを演算する。減速高さ演算部63は、装着位置MP2の装着高さより装着位置MP4の装着高さを計算する。一例として、装着位置MP2の装着高さが当初想定した装着高さと異なっている場合はその近傍に存在する装着位置MP4の装着高さも同様に異なると仮定した上で、装着位置MP4の装着高さZ11(図17(b)参照)を計算する。そして、減速高さ演算部63は、装着高さZ11と装着位置MP4の装着厚み寸法dと減速高さオフセットOFDを用いて、装着位置MP4における減速高さDh2を演算する。   When there is a mounting complete position, the decelerating height for the non-mounting position (here the mounting position MP4) is set based on the mounting height measured for the mounting complete position (here the mounting position MP2) Calculate That is, in this case, the decelerating height calculation unit 63 calculates the decelerating height based on the mounting height of the mounting completion position existing in the range set in advance from the non-mounting position. The deceleration height calculation unit 63 calculates the mounting height of the mounting position MP4 from the mounting height of the mounting position MP2. As an example, if the mounting height of the mounting position MP2 is different from the mounting height initially assumed, the mounting height of the mounting position MP4 is assumed to be different as well, assuming that the mounting height of the mounting position MP4 is also different. Calculate Z11 (see FIG. 17B). Then, the reduction height calculation unit 63 calculates the reduction height Dh2 at the mounting position MP4 using the mounting height Z11, the mounting thickness dimension d of the mounting position MP4, and the reduction height offset OFD.

なお装着動作の対象となる未装着位置の近傍に装着完了位置が予め設定した数以上存在するか否かを条件として減速高さの演算の可否を判断するようにしてもよい。図18(b)に示す例では、装着位置MP1、MP2、MP3、MP4、MP5が装着完了位置であり、装着位置MP6が次の装着動作の対象となる未装着位置である。この未装着位置である装着位置MP6について、既設定の減速高さに替えて新たな減速高さを演算により設定する際には、当該未装着位置(装着位置MP6)から予め設定した範囲内(ここでは、装着位置MP6を中心とする半径Rの円形範囲C内)に装着完了位置が予め設定した数(ここでは3)存在するか否かを判断する。   Whether or not the calculation of the decelerating height can be performed may be determined on the condition that whether or not the mounting completion position is present in the vicinity of the non-mounting position which is the target of the mounting operation. In the example shown in FIG. 18B, the mounting positions MP1, MP2, MP3, MP4, and MP5 are mounting complete positions, and the mounting position MP6 is a non-mounting position to be subjected to the next mounting operation. When setting a new decelerating height by calculation instead of the decelerating height that has already been set for the mounting position MP6 that is the non-mounting position, within a preset range from the non-mounting position (mounting position MP6) Here, it is determined whether or not a predetermined number (3 here) of mounting completion positions exists in a circular range C of radius R centered on the mounting position MP6.

そして装着完了位置があらかじめ設定した数またはそれ以上存在する場合にはそれらの複数の装着完了位置(ここでは装着位置MP3、MP4、MP5)について計測された複数の装着高さに基づいて、未装着位置(ここでは装着位置MP6)を対象とする減速高さを演算する。すなわちこの場合には、減速高さ演算部63は、あらかじめ設定した数の装着完了位置の装着高さに基づいて未装着位置の減速高さを演算する。この演算では、例えば複数の装着高さの平均値より装着位置MP6の装着高さZ11を計算する。そして、減速高さ演算部63は装着高さZ11と装着位置MP6の装着厚み寸法dと減速高さオフセットOFDを用いて装着位置MP6における減速高さDh2を演算する。   And when there are a predetermined number or more of the mounting completion positions, there is no mounting based on the plurality of mounting heights measured for the plurality of mounting completion positions (here, mounting positions MP3, MP4 and MP5). The decelerating height for the position (here, the mounting position MP6) is calculated. That is, in this case, the decelerating height calculation unit 63 calculates the decelerating height of the non-mounting position based on the mounting heights of the number of mounting completion positions set in advance. In this calculation, for example, the mounting height Z11 of the mounting position MP6 is calculated from the average value of the plurality of mounting heights. Then, the decelerating height calculation unit 63 calculates decelerating height Dh2 at the mounting position MP6 using the mounting height Z11, the mounting thickness dimension d of the mounting position MP6, and the decelerating height offset OFD.

装着データ記憶部64は、当該部品搭載装置1による搭載作業対象となる基板3における部品Pの装着位置座標や装着位置座標などの装着データ(図12参照)を記憶する。部品情報記憶部65は、基板3に搭載される部品Pの型番や寸法などを示す部品情報を記憶する。装着高さ記憶部66は、装着位置高さ計測部62で計測した複数の装着完了位置の複数の装着高さを記憶する。   The mounting data storage unit 64 stores mounting data (see FIG. 12) such as mounting position coordinates and mounting position coordinates of the component P on the substrate 3 to be mounted by the component mounting device 1. The component information storage unit 65 stores component information indicating the model number, dimensions, and the like of the component P mounted on the substrate 3. The mounting height storage unit 66 stores the plurality of mounting heights of the plurality of mounting completed positions measured by the mounting position height measuring unit 62.

推力−荷重相関データ取得部67は、図11に示す推力−荷重相関データを取得するための処理を行う。すなわち図9に示すように、搭載ヘッド11を基台1aの所定位置に準備された荷重検出部45に対してアクセスさせ、測定対象のノズルユニット30のサーボモータ41を規定の推力で駆動して部品保持部31を荷重検出部45の荷重検出器45aに押圧し、このときの推力に対応する荷重LFを計測する。計測結果は推力−荷重相関データとして搭載ヘッド制御部13に送信されて、相関データ記憶部としての第1の記憶部57に記憶される。   The thrust-load correlation data acquisition unit 67 performs processing for acquiring thrust-load correlation data shown in FIG. That is, as shown in FIG. 9, the mounting head 11 is made to access the load detection unit 45 prepared at a predetermined position of the base 1a, and the servomotor 41 of the nozzle unit 30 to be measured is driven with a prescribed thrust. The component holder 31 is pressed against the load detector 45a of the load detector 45, and the load LF corresponding to the thrust at this time is measured. The measurement result is transmitted to the mounting head control unit 13 as thrust-load correlation data, and is stored in the first storage unit 57 as a correlation data storage unit.

このように、本実施の形態においては搭載ヘッド制御部13に、相関データ記憶部としての第1の記憶部57と前述の推力制限部とを備えた構成となっている。ここで第1の記憶部57は、サーボモータ41の推力と部品保持部31の先端に発生する荷重LFとの関係を示す相関データを複数のサーボモータ別に記憶する。そして推力制限部は、第1の記憶部57に記憶された相関データと本体制御部14からの指令に含まれる荷重の情報に基づいてサーボモータ41が発生する推力を制限する推力制限値TLを設定し、部品保持部31を基板3に向かって下降させる際にサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する機能を有している。このような構成の搭載ヘッド制御部13を有することにより、複数の部品保持部31毎にサーボモータ41を備えた構成において、装着荷重を高精度に安定して制御することが可能となっている。   As described above, in the present embodiment, the mounting head control unit 13 is configured to include the first storage unit 57 as a correlation data storage unit and the above-described thrust limiting unit. Here, the first storage unit 57 stores correlation data indicating the relationship between the thrust of the servomotor 41 and the load LF generated at the tip of the component holding unit 31 for each of a plurality of servomotors. The thrust limiter limits the thrust limit value TL for limiting the thrust generated by the servomotor 41 based on the correlation data stored in the first storage unit 57 and the load information included in the command from the main body control unit 14. It has a function of setting and limiting the thrust of the servomotor 41 to the thrust limit value TL or less when lowering the component holder 31 toward the substrate 3. By providing the mounting head control unit 13 having such a configuration, in the configuration in which the servomotors 41 are provided for each of the plurality of component holding units 31, it is possible to stably control the mounting load with high accuracy. .

ここで図11に示す推力−荷重相関データを作成し、部品保持部31を昇降させるサーボモータ41を有する搭載ヘッド11を使用して部品を基板3に搭載して部品搭載基板を製造する部品搭載方法について説明する。この部品搭載方法では、まず図9に示すように、荷重を検出する荷重検出部45を準備して搭載ヘッド11の下方に配置する。次いで、サーボモータ41を所定の推力で駆動して部品保持部31の下端部(ノズル31aもしくはノズル31aに替えて装着された荷重計測用治具)を荷重検出部45に押し当て、サーボモータ41の推力Tと荷重LFの相関データを計測する(図10参照)。これにより、図11に示す特性直線[L]が取得され、計測した相関データを相関データ記憶部である第1の記憶部57に記憶する。   Here, the component mounting is performed by mounting the component on the substrate 3 using the mounting head 11 having the servomotor 41 that raises / lowers the component holding unit 31 by creating the thrust-load correlation data shown in FIG. The method will be described. In this component mounting method, first, as shown in FIG. 9, a load detection unit 45 for detecting a load is prepared and disposed below the mounting head 11. Next, the servomotor 41 is driven with a predetermined thrust to press the lower end of the component holder 31 (nozzle 31a or jig for load measurement mounted instead of the nozzle 31a) against the load detection unit 45, and the servomotor 41 The correlation data of the thrust T and the load LF is measured (see FIG. 10). Thereby, the characteristic line [L] shown in FIG. 11 is acquired, and the measured correlation data is stored in the first storage unit 57 which is a correlation data storage unit.

次に、部品Pを基板3に搭載する際の部品保持部31が部品に加える制限荷重LFLと上述の相関データを使用して、サーボモータ41が発生する推力を制限するための推力制限値TLを算出する。制限荷重LFLは、本体制御部14から搭載ヘッド制御部13に送信される制御指令に含まれている。部品装着動作が開始されると、部品Pを保持した部品保持部31を基板3の装着位置に向かって下降させる。   Next, the thrust limit value TL for limiting the thrust generated by the servomotor 41 using the limit load LFL applied to the component by the component holding unit 31 when mounting the component P on the substrate 3 and the correlation data described above Calculate The limit load LFL is included in the control command transmitted from the main body control unit 14 to the mounting head control unit 13. When the component mounting operation is started, the component holding unit 31 holding the component P is lowered toward the mounting position of the substrate 3.

この部品保持部31の下降動作において、部品Pが装着位置に着地する前にサーボモータ41の推力Tを推力制限値TL以下に制限する。そして部品Pが装着位置に着地した後に部品保持部31を上昇させて、装着位置に着地した部品Pから部品保持部31を離脱させることにより、部品搭載方法における一つの部品装着動作が終了する。このような方法を用いることにより、サーボモータ41の推力を制限荷重LFLに応じて制限するための推力制限値TLの設定を簡便な方法で行うことができる。   In the lowering operation of the component holding unit 31, the thrust T of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less before the component P lands on the mounting position. Then, after the component P lands on the mounting position, the component holding unit 31 is raised to separate the component holding unit 31 from the component P landed on the mounting position, thereby completing one component mounting operation in the component mounting method. By using such a method, the setting of the thrust limit value TL for limiting the thrust of the servomotor 41 in accordance with the limit load LFL can be performed by a simple method.

次に図19を参照して、上述構成の部品搭載装置1によって実行される部品装着処理について説明する。なお図19に示す処理の開始に先立って、作業対象の基板3は基板搬送部2に搬入されて位置決め保持され、基板認識カメラ16による基板認識が実行された状態となっている。部品装着処理が開始されると、まず搭載ヘッド11を部品供給部5に移動させ、部品保持部31を下降させて部品保持部31で装着対象の部品Pを保持する(ST1)。次いで部品Pを部品保持部31によって保持した搭載ヘッド11を部品認識カメラ12の上方へ移動させ、部品Pを部品認識カメラ12によって撮像して部品認識を行う(ST2)。   Next, with reference to FIG. 19, the component mounting process performed by the component mounting apparatus 1 of the above-mentioned structure is demonstrated. Prior to the start of the process shown in FIG. 19, the substrate 3 to be worked is carried into the substrate transport unit 2 and positioned and held, and substrate recognition by the substrate recognition camera 16 is performed. When the component mounting process is started, first, the mounting head 11 is moved to the component supply unit 5, the component holding unit 31 is lowered, and the component holding unit 31 holds the component P to be mounted (ST1). Subsequently, the mounting head 11 holding the component P by the component holding unit 31 is moved to the upper side of the component recognition camera 12, and the component P is imaged by the component recognition camera 12 to perform component recognition (ST2).

次いで部品保持部31を装着位置へ移動させる(ST3)。すなわち本体制御部14の装着作業実行部60が、図12に示す装着データ70に基づいてXYテーブル10を制御することにより、部品保持部31を装着作業のシーケンスによって指定される基板3の装着位置の上方に位置させる。次いで、当該装着位置を対象とする部品装着動作における減速高さDh(図13参照)の計算が行われる(ST4)。この減速高さ計算は、前述のように当該装着位置の近傍における装着完了位置の装着高さが計測済みである場合にのみ実行される。新たに搬入された基板3を対象とする場合など、前述の減速高さ演算の条件が満たされていない場合には、この処理はスキップされ予め記憶されているデフォルトの減速高さをそのまま適用する。   Next, the component holding unit 31 is moved to the mounting position (ST3). That is, the mounting operation execution unit 60 of the main body control unit 14 controls the XY table 10 based on the mounting data 70 shown in FIG. 12 so that the component holding unit 31 can be mounted on the substrate 3 specified by the mounting operation sequence. Located above the Next, calculation of the deceleration height Dh (see FIG. 13) in the component mounting operation for the mounting position is performed (ST4). The deceleration height calculation is performed only when the mounting height of the mounting completion position in the vicinity of the mounting position has been measured as described above. When the conditions of the above-mentioned deceleration height calculation are not satisfied, for example, when targeting the substrate 3 newly carried in, this process skips and applies the default deceleration height stored in advance as it is. .

次いで、本体制御部14から部品搭載指令を搭載ヘッド制御部13に送信する(ST5)。すなわち、作業対象となる搭載ヘッド11における部品保持部31を特定する番号、目標高さTh、減速高さDh、制限荷重LFLなどの装着動作パラメータを含む制御指令を、搭載ヘッド制御部13に送信する。そしてこれらの装着動作パラメータは、当該搭載ヘッド11における装着動作の実行のために、第1の記憶部57、第2の記憶部58に記憶される。   Next, the main body control unit 14 transmits a component mounting instruction to the mounting head control unit 13 (ST5). That is, the control command including the mounting operation parameter such as the number specifying the component holding unit 31 in the mounting head 11 to be operated, the target height Th, the reduction height Dh, and the limit load LFL is transmitted to the mounting head control unit 13 Do. Then, these mounting operation parameters are stored in the first storage unit 57 and the second storage unit 58 in order to execute the mounting operation in the mounting head 11.

この後、搭載ヘッド制御部13の制御処理機能によって搭載ヘッド11のノズルユニット30による部品装着動作が実行される。この部品装着動作においては、サーボモータ制御部50によってサーボモータ41を駆動し(ST6)、これにより部品Pを保持した部品保持部31を基板3の装着位置に対して昇降させる。そして基板3の装着位置に着地させて所定の静定時間が経過した後に部品保持部31を上昇させることにより、部品装着の動作が完了する(ST7)。   Thereafter, the component mounting operation by the nozzle unit 30 of the mounting head 11 is executed by the control processing function of the mounting head control unit 13. In the component mounting operation, the servomotor control unit 50 drives the servomotor 41 (ST6), thereby moving the component holding unit 31 holding the component P up and down with respect to the mounting position of the substrate 3. Then, the component mounting operation is completed by raising the component holding portion 31 after a predetermined settling time has elapsed by landing at the mounting position of the substrate 3 (ST7).

この動作完了に伴い、部品装着動作においてサーボモータ制御部50の推力検出部52が検出した推力検出結果、位置検出部53が検出した部品Pの装着時の部品保持部31の装着高さを、本体制御部14に送信する(ST8)。そしてこの後、上述の部品装着動作において空振り発生か否かを判断する(ST9)。すなわち、部品保持部31の下降動作において、推力検出部52によって検出された推力が、設定された推力制限値TLに到達していない場合には、部品保持部31に保持された部品Pが基板に着地していない空振りが発生したと判断し、その旨を報知部69によって報知するとともに装置停止する(ST10)。   With the completion of this operation, the thrust detection result detected by the thrust detection unit 52 of the servo motor control unit 50 in the component mounting operation, the mounting height of the component holding unit 31 at the mounting of the component P detected by the position detection unit 53 It transmits to the main body control unit 14 (ST8). After that, it is determined whether or not the idling occurs in the above-described component mounting operation (ST9). That is, when the thrust detected by the thrust detection unit 52 does not reach the set thrust limit value TL in the descent operation of the component holding unit 31, the component P held by the component holding unit 31 is a substrate It is determined that an unmanned strike has occurred, and the notification unit 69 notifies that effect and the device is stopped (ST10).

(ST9)にて空振り発生無しと判断された場合には、本体制御部14が受信した部品保持部31の装着高さを装着高さ記憶部66に記憶する(ST11)。これにより、1つのノズルユニット30の部品保持部31を対象とする部品装着動作が終了し、次いで作業未完了の部品保持部31の有無を確認する(ST12)。ここで作業未完了の部品保持部31が有る場合には、(ST3)に戻って以降の処理を反復実行する。これに対し、作業未完了の部品保持部31が無い場合には、全部品の装着完了を確認する(ST13)。ここで装着未完了の場合には、(ST1)に戻って以降の処理を反復実行する。そして(ST13)にて全部品の装着完了を確認して、部品搭載装置1による部品装着処理を終了する。   If it is determined in (ST9) that no idling occurs, the mounting height of the component holding unit 31 received by the main control unit 14 is stored in the mounting height storage unit 66 (ST11). As a result, the component mounting operation targeting the component holding unit 31 of one nozzle unit 30 is completed, and then the presence or absence of the component holding unit 31 which has not been completed is confirmed (ST12). Here, if there is an incomplete component holding unit 31, the process returns to (ST 3), and the subsequent processing is repeatedly executed. On the other hand, when there is no component holding unit 31 which has not been completed, the completion of mounting of all components is confirmed (ST13). Here, if the mounting is not completed, the process returns to (ST1) and the subsequent processing is repeatedly executed. And the completion of mounting of all the components is confirmed in (ST13), and the component mounting process by the component mounting apparatus 1 is complete | finished.

次に上述構成の部品搭載装置1による部品搭載方法について、図14〜図17を参照して説明する。これらの図面をそれぞれ参照して示される複数の部品搭載方法は、予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31に保持された部品Pを基板3の装着位置に搭載するための昇降動作を部品保持部31に行わせる制御部15を備えた部品搭載装置1によって実行される。この部品搭載方法に示す各動作は、搭載ヘッド制御部13、本体制御部14を含む制御部15によって図8に示す各部を制御することにより実行され、これにより基板3に部品Pを搭載した部品搭載基板3*(図12参照)が製造される。   Next, the component mounting method by the component mounting apparatus 1 of the above-mentioned structure is demonstrated with reference to FIGS. 14-17. In the plurality of component mounting methods shown with reference to these drawings, the component P held by the component holding portion 31 is attached to the substrate 3 by controlling the servomotor 41 based on a preset operation pattern. It is performed by the component mounting apparatus 1 provided with the control part 15 which performs the raising / lowering operation | movement for mounting in a position to the component holding part 31. FIG. Each operation shown in the component mounting method is executed by controlling each unit shown in FIG. 8 by the control unit 15 including the mounting head control unit 13 and the main body control unit 14, whereby the component in which the component P is mounted on the substrate 3 The mounting substrate 3 * (see FIG. 12) is manufactured.

なお図14〜図17は部品の装着動作における部品保持部31の昇降動作を模式的に示しており、縦軸は部品保持部31の昇降変位に、横軸は時間の経過にそれぞれ対応している。また図14〜図17において太破線で示すTR1は、予め設定された動作パターンにおいて部品保持部31の下端部が移動する設定軌跡TR1を示している。また太実線で示すTR2は、各図にて示す実際の装着動作において部品保持部31の下端部が移動する実軌跡TR2を示している。   14 to 17 schematically show the lifting and lowering operation of the component holding portion 31 in the mounting operation of the component, the vertical axis corresponding to the vertical displacement of the component holding portion 31 and the horizontal axis corresponding to the passage of time. There is. In addition, TR1 indicated by a thick broken line in FIGS. 14 to 17 indicates a setting locus TR1 in which the lower end portion of the component holding unit 31 moves in a preset operation pattern. Further, TR2 indicated by a thick solid line indicates an actual trajectory TR2 in which the lower end portion of the component holding portion 31 moves in the actual mounting operation shown in each drawing.

なお各図において、タイミングtaは動作開始のタイミングであり、部品保持部31を基板3の装着位置の上方へ移動させて待機高さZ0にて待機させた状態を示している。推力制限高さTLhは、部品保持部31の下降時においてサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する推力制限の開始高さを示している。着地高さZCは、保持した部品Pの端子が基板3に供給された半田部に接触して部品Pが着地する際の部品保持部31の高さを示している。また目標高さTh1は、部品保持部31の下降動作の目標となる高さであり、基板3の装着高さのばらつきを考慮して、実際に部品Pが着地する高さよりも低く設定されている。   In each of the drawings, timing ta is the timing at which the operation starts, and shows a state in which the component holding unit 31 is moved above the mounting position of the substrate 3 to be on standby at the standby height Z0. The thrust limit height TLh indicates the start height of the thrust limit that limits the thrust of the servomotor 41 to the thrust limit value TL or less when the component holding unit 31 descends. The landing height ZC indicates the height of the component holding portion 31 when the terminal of the held component P contacts the solder portion supplied to the substrate 3 and the component P lands. Further, the target height Th1 is a height which is a target of the lowering operation of the component holding portion 31, and is set to be lower than the height at which the component P actually lands, in consideration of the variation of the mounting height of the substrate 3. There is.

まず図14を参照して、この部品搭載方法による部品の装着動作の基本実施例M0について説明する。図14(a)は、この基本実施例M0において、作業動作時間を短縮するために部品保持部31の下降を高速のみで行う高速装着モードM0−1を示している。また図14(b)は、基本実施例M0において、部品保持部31に保持された部品Pが着地する際の衝撃を極力抑えた低衝撃装着モードM0−2を示している。   First, with reference to FIG. 14, a basic embodiment M0 of the component mounting operation according to this component mounting method will be described. FIG. 14A shows the high-speed mounting mode M0-1 in which the lowering of the component holding portion 31 is performed at high speed only in order to shorten the work operation time in the basic embodiment M0. FIG. 14B shows a low impact mounting mode M0-2 in which the impact when the component P held by the component holding portion 31 lands in the basic embodiment M0 is minimized.

図14(a)を参照して、高速装着モードM0−1を説明する。部品Pを保持した部品保持部31は基板3の装着位置の上方に移動して、タイミングtaにおいて、待機高さZ0に位置して待機状態にある。次いでサーボモータ制御部50が備えた推力制限部56の機能により、サーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLを設定する。ここでは、サーボモータ41を推力制限値TLと同じ推力で駆動させたときに部品保持部31から部品Pに作用する荷重が、弾性体である付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなる範囲で推力制限値TLを設定する。   The high-speed mounting mode M0-1 will be described with reference to FIG. The component holding unit 31 holding the component P moves above the mounting position of the substrate 3 and is positioned at the standby height Z0 at timing ta and is in the standby state. Next, the thrust limit value TL for limiting the thrust of the servomotor 41 is set by the function of the thrust limiter 56 included in the servomotor control unit 50. Here, when the servomotor 41 is driven with the same thrust as the thrust force limit value TL, the load acting on the component P from the component holding portion 31 urges the component holding portion 31 by the biasing member 33 which is an elastic body. The thrust limit value TL is set in a range smaller than the biasing force FP.

次いで予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31を基板3の装着位置へ向かって、目標高さTh1を目標として下降させる。この下降の途中において、部品保持部31の高さが推力制限高さTLhに到達したタイミングにて、部品Pが装着位置に着地する前にサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する。   Next, by controlling the servomotor 41 based on a preset operation pattern, the component holder 31 is lowered toward the mounting position of the substrate 3 with the target height Th1 as a target. During the descent, at a timing when the height of the component holding portion 31 reaches the thrust limit height TLh, the thrust of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less before the component P lands on the mounting position. .

なお、サーボモータ制御部50が備えた推力制限部56による推力制限値TLの設定、部品保持部31の下降の途中にて推力制限高さTLhに到達したタイミングにおけるサーボモータ41の推力の制限、部品Pが基板3に着地したことを検出する着地検出は、図15、図16、図17に示す第1実施例、第2実施例および第3実施例においても同様に適用される。   The setting of the thrust limit value TL by the thrust limiting unit 56 provided in the servomotor control unit 50, the thrust limitation of the servomotor 41 at the timing when the thrust limit height TLh is reached during the descent of the component holding unit 31, The landing detection for detecting that the part P has landed on the substrate 3 is similarly applied to the first embodiment, the second embodiment and the third embodiment shown in FIG. 15, FIG. 16 and FIG.

この後、部品保持部31がさらに下降すると部品保持部31が着地高さZCに到達し、保持した部品Pの端子が基板3に供給された半田部に接触して部品Pが着地した状態となる。この着地時の衝撃は付勢部材33によって吸収され、衝撃吸収後には付勢部材33は着地前の通常状態の長さに戻る。この後、部品保持部31は動作パターンにおいて予め設定された押圧開始タイミングから、部品Pの着地状態を静定させるための目標時間Tsの間押圧状態を維持する。そして目標時間Tsがタイムアップする上昇開始タイミングにて部品保持部31の上昇が開始され、部品保持部31が待機高さZ0まで上昇して装着動作が終了する。   Thereafter, when the component holding portion 31 further descends, the component holding portion 31 reaches the landing height ZC, the terminal of the held component P contacts the solder portion supplied to the substrate 3 and the component P lands. Become. The impact at the time of landing is absorbed by the biasing member 33, and after absorbing the impact, the biasing member 33 returns to its normal length before landing. Thereafter, the component holding unit 31 maintains the pressed state for the target time Ts for settling the landing state of the component P from the pressing start timing set in advance in the operation pattern. Then, the component holding unit 31 starts rising at a rising start timing at which the target time Ts is timed up, and the component holding unit 31 rises to the standby height Z0, and the mounting operation is completed.

上述の押圧状態において、部品Pが装着位置に着地する前に付勢力FPよりも小さくなる範囲で推力制限値TLが設定されていることから、サーボモータ41は付勢力FPよりも小さな推力で部品Pを基板3に対して押圧する。したがって、着地後に押し込まれて弾性変形した付勢部材33の弾性力によって部品Pを基板3へ押圧する従来方式と比べて、装着荷重を低荷重領域で高精度に安定して制御することが可能となっている。   In the above-described pressing state, since the thrust limit value TL is set in a range smaller than the biasing force FP before the component P lands on the mounting position, the servomotor 41 has a component with a thrust smaller than the biasing force FP. P is pressed against the substrate 3. Therefore, compared to the conventional method in which the component P is pressed against the substrate 3 by the elastic force of the elastically deformed biasing member 33 pushed in after landing, the mounting load can be stably controlled with high accuracy in a low load region. It has become.

図14(b)に示す低衝撃装着モードM0−2においては、推力制限高さTLhと着地高さZCの間に減速高さDh1が設定されている点が、高速装着モードM0−1と異なっている。すなわち低衝撃装着モードM0−2では、部品Pを保持した部品保持部31が待機高さZ0から下降する過程において減速高さDh1に到達したならば、下降速度を高速から低速に切り換える。これにより、部品保持部31が着地高さZCまで下降して部品Pが着地する際の衝撃を低減することができるという効果を得る。   The low impact mounting mode M0-2 shown in FIG. 14 (b) differs from the high speed mounting mode M0-1 in that the decelerating height Dh1 is set between the thrust limit height TLh and the landing height ZC. ing. That is, in the low impact mounting mode M0-2, if the component holding unit 31 holding the component P reaches the deceleration height Dh1 in the process of lowering from the standby height Z0, the lowering speed is switched from high speed to low speed. As a result, the component holding portion 31 is lowered to the landing height ZC, and the impact when the component P lands can be reduced.

なお、上述の装着動作の過程では、サーボモータ制御部50の推力検出部52はサーボモータ41の推力を検出している。これにより、サーボモータ制御部50の空振り検出部61は、サーボモータ41の推力を制限した後、動作パターンで定めた上昇開始タイミングまでの期間中に検出した推力が推力制限値TLに到達しなかったことを検出することができる。このように、推力制限後の推力が推力制限値TLに到達しないことは、部品保持部31に保持された部品Pが基板3に着地しない「空振り」状態が発生した可能性があることを意味している。このような状態が発生した場合には、本体制御部14は報知部69により、サーボモータ41の推力が推力制限値TLに到達しなかった旨を報知する。   In the process of the mounting operation described above, the thrust detection unit 52 of the servo motor control unit 50 detects the thrust of the servo motor 41. Thereby, after the idling detection unit 61 of the servomotor control unit 50 limits the thrust of the servomotor 41, the thrust detected during the period up to the rise start timing determined by the operation pattern does not reach the thrust limit value TL. Can be detected. As described above, the fact that the thrust after the thrust limitation does not reach the thrust limitation value TL means that there is a possibility that an “idle” state in which the component P held by the component holding unit 31 does not land on the substrate 3 has occurred. doing. When such a state occurs, the body control unit 14 causes the notification unit 69 to notify that the thrust of the servomotor 41 has not reached the thrust limit value TL.

次に図15を参照して、この部品搭載方法による部品の装着動作の第1実施例M1について説明する。図13に示す基本実施例M0では予め定められた動作パターンで定められた上昇タイミングに従って部品保持部31を上昇させていた。これに対し、第1実施例M1では、部品保持部31に保持された部品Pが着地してからの経過時間を計測して、部品保持部31の上昇タイミングを決定するようにしている。   Next, with reference to FIG. 15, a first embodiment M1 of the component mounting operation according to this component mounting method will be described. In the basic embodiment M0 shown in FIG. 13, the component holding portion 31 is raised according to the rising timing determined by the predetermined operation pattern. On the other hand, in the first embodiment M1, the rising timing of the component holding unit 31 is determined by measuring the elapsed time after the component P held by the component holding unit 31 has landed.

このような第1実施例M1を適用することの技術的意義を説明する。すなわち、基板の変形により装着位置の高さがばらついている場合には、部品Pが基板の半田部に接触する着地高さもばらついている。このような場合には、装着動作において部品Pが着地するタイミングも一定とはならない。このため部品Pを半田部に押圧する時間を適正に確保することができず、適正な半田接合品質を確保することが難しい。特に押圧時間が長すぎる場合には、隣接するランド間で半田が連結するブリッジや粒子状の半田が分離した状態となる半田ボールなどの不具合が生じるおそれがある。このように装着位置の高さがばらついている場合にあっても、本実施の形態に示す第1実施例M1を適用することにより、部品Pを半田部に押圧する時間を適正に確保することができる。   The technical significance of applying such a first embodiment M1 will be described. That is, in the case where the height of the mounting position varies due to the deformation of the substrate, the landing height at which the component P contacts the solder portion of the substrate also varies. In such a case, the timing at which the component P lands in the mounting operation is not constant. For this reason, the time which presses components P to a solder part can not be secured appropriately, but it is difficult to secure proper solder joint quality. In particular, when the pressing time is too long, defects such as a bridge to which solder is connected between adjacent lands or a solder ball in which particulate solder is separated may occur. Even in the case where the heights of the mounting positions are dispersed in this manner, the time for pressing the component P to the solder portion can be properly secured by applying the first example M1 shown in the present embodiment. Can.

図15(a)は、この第1実施例M1において、作業動作時間を短縮するために部品保持部31の下降を高速のみで行う高速装着モードM1−1を示している。また図15(b)は、第1実施例M1において、部品保持部31に保持された部品Pが着地する際の衝撃を極力抑えた低衝撃装着モードM1−2を示している。   FIG. 15A shows a high-speed mounting mode M1-1 in which the component holder 31 is lowered at high speed only in order to shorten the work operation time in the first embodiment M1. FIG. 15B shows a low impact mounting mode M1-2 in which the impact when the component P held by the component holding portion 31 lands in the first embodiment M1 is minimized.

図15(a)を参照して、高速装着モードM1−1を説明する。部品Pを保持した部品保持部31は基板3の装着位置の上方に移動して、タイミングtaにおいて、待機高さZ0に位置して待機状態にある。次いで予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31を基板3の装着位置へ向かって、目標高さTh1を目標として下降させる。   The high-speed mounting mode M1-1 will be described with reference to FIG. The component holding unit 31 holding the component P moves above the mounting position of the substrate 3 and is positioned at the standby height Z0 at timing ta and is in the standby state. Next, by controlling the servomotor 41 based on a preset operation pattern, the component holder 31 is lowered toward the mounting position of the substrate 3 with the target height Th1 as a target.

この下降に先立って、図14に示す基本実施例M0と同様に、サーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLが設定される。そして部品保持部31の下降の途中において、図14に示す基本実施例M0と同様に、部品Pが装着位置に着地する前にサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する。この推力制限により、図14に示す基本実施例M0にて述べた効果と同様の効果を得る。   Prior to this lowering, as in the basic embodiment M0 shown in FIG. 14, a thrust limit value TL for limiting the thrust of the servomotor 41 is set. Then, during the descent of the component holding portion 31, the thrust of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less before the component P lands on the mounting position, as in the basic embodiment M0 shown in FIG. By this thrust restriction, the same effect as the effect described in the basic embodiment M0 shown in FIG. 14 is obtained.

この後、部品保持部31がさらに下降すると部品保持部31が着地高さZCに到達する。これにより、保持した部品Pの端子が基板3に供給された半田部に接触して部品Pが基板3に着地する。この着地はサーボモータ制御部50が備えた着地検出部54の機能によって、以下に示すいずれかの方法により検出される。   Thereafter, when the component holding unit 31 further descends, the component holding unit 31 reaches the landing height ZC. As a result, the terminal of the held component P contacts the solder portion supplied to the substrate 3, and the component P lands on the substrate 3. The landing is detected by one of the following methods by the function of the landing detection unit 54 provided in the servomotor control unit 50.

まず1つの方法はサーボモータ制御部50において推力検出部52によってサーボモータ41の推力を監視することにより行われる。すなわち推力が推力制限値TL以下に制限中のサーボモータ41の推力が設定された推力制限値TLに到達したことで部品Pが基板3に着地したことを検出する。着地検出の他の方法は、サーボモータ41からの位置信号による方法である。すなわちサーボモータ41のエンコーダ44から出力されるエンコーダパルスが停滞している場合に、部品が基板3に着地したことを検出する。   First, one method is performed by monitoring the thrust of the servomotor 41 by the thrust detection unit 52 in the servomotor control unit 50. That is, it is detected that the component P lands on the substrate 3 when the thrust of the servomotor 41 being limited to the thrust limit value TL or less reaches the set thrust limit value TL. Another method of landing detection is by a position signal from the servomotor 41. That is, when the encoder pulse output from the encoder 44 of the servomotor 41 is stagnant, it is detected that the component has landed on the substrate 3.

このようにして上述のいずれかの方法により部品Pの着地が検出されると、タイマー55の計時機能によって着地を検出したタイミングt1からの経過時間を計測する。そして設定軌跡TR1にて示す動作パターンで定めた上昇開始タイミングの前に、タイマー55によって計時された経過時間が目標時間Tsに到達したら、このタイミングt2にてサーボモータ41を制御して部品保持部31を上昇させる。   As described above, when the landing of the component P is detected by any of the above-described methods, the elapsed time from the timing t1 at which the landing is detected by the timing function of the timer 55 is measured. Then, when the elapsed time measured by the timer 55 reaches the target time Ts before the rise start timing determined by the operation pattern shown by the setting locus TR1, the servomotor 41 is controlled at this timing t2 to hold the component holding portion Raise 31.

これにより、変形などにより着地高さZCがばらついている基板3を対象とする場合にあっても、常に適正な目標時間Tsで部品Pを半田部に押圧することができ、押圧時間のばらつきに起因する半田接合不良を防止することが可能となっている。さらに押圧時間が不必要に長くなることによる装着動作時間の遅延を防止して、生産性を向上させることができる。   As a result, even in the case of targeting the substrate 3 in which the landing height ZC varies due to deformation or the like, the component P can always be pressed against the solder portion for an appropriate target time Ts, and variations in pressing time may occur. It is possible to prevent the resulting solder joint failure. Furthermore, the delay of the mounting operation time due to an unnecessarily long pressing time can be prevented, and the productivity can be improved.

図15(b)に示す低衝撃装着モードM1−2においては、推力制限高さTLhと着地高さZCの間に減速高さDh1が設定されている点が、高速装着モードM1−1と異なっている。すなわち低衝撃装着モードM1−2では、部品Pを保持した部品保持部31が待機高さZ0から下降する過程において減速高さDh1に到達したならば、下降速度を高速から低速に切り換える。これにより、部品保持部31が着地高さZCまで下降して部品Pが着地する際の衝撃を低減することができるという効果を得る。   The low impact mounting mode M1-2 shown in FIG. 15B differs from the high speed mounting mode M1-1 in that the decelerating height Dh1 is set between the thrust limit height TLh and the landing height ZC. ing. That is, in the low impact mounting mode M1-2, if the component holding unit 31 holding the component P reaches the deceleration height Dh1 in the process of lowering from the standby height Z0, the lowering speed is switched from high speed to low speed. As a result, the component holding portion 31 is lowered to the landing height ZC, and the impact when the component P lands can be reduced.

次に図16を参照して、この部品搭載方法による部品の装着動作の第2実施例M2について説明する。第2実施例M2では、部品保持部31に保持された部品Pを着地させて搭載する装着動作中に、装着位置高さ計測部62が装着位置における装着高さを計測するようにしている。このように、装着動作中に装着位置における装着高さを計測することにより、基板高さ計測のための計測動作を別途行わせることなく、簡便な方法によって基板高さ情報を取得することができる。   Next, with reference to FIG. 16, a second embodiment M2 of the component mounting operation according to this component mounting method will be described. In the second embodiment M2, the mounting position / height measuring unit 62 measures the mounting height at the mounting position during the mounting operation of landing and mounting the component P held by the component holding unit 31. As described above, by measuring the mounting height at the mounting position during the mounting operation, the substrate height information can be obtained by a simple method without separately performing the measurement operation for measuring the substrate height. .

図16(a)は、この第2実施例M2において、作業動作時間を短縮するために部品保持部31の下降を高速のみで行う高速装着モードM2−1を示している。また図16(b)は、第2実施例M2において、部品保持部31に保持された部品Pが着地する際の衝撃を極力抑えた低衝撃装着モードM2−2を示している。   FIG. 16A shows a high-speed mounting mode M2-1 in which the lowering of the component holding portion 31 is performed at high speed only in order to shorten the work operation time in the second embodiment M2. FIG. 16B shows a low impact mounting mode M2-2 in which the impact when the component P held by the component holding portion 31 lands in the second embodiment M2 is minimized.

図16(a)を参照して、高速装着モードM2−1を説明する。部品Pを保持した部品保持部31は基板3の装着位置の上方に移動して、タイミングtaにおいて待機高さZ0に位置して待機状態にある。次いで予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31を基板3の装着位置へ向かって、目標高さTh1を目標として下降させる。   The high-speed mounting mode M2-1 will be described with reference to FIG. The component holding unit 31 holding the component P moves above the mounting position of the substrate 3 and is positioned at the standby height Z0 at timing ta and is in the standby state. Next, by controlling the servomotor 41 based on a preset operation pattern, the component holder 31 is lowered toward the mounting position of the substrate 3 with the target height Th1 as a target.

この下降に先立って、図14に示す基本実施例M0と同様に、サーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLが設定される。そして部品保持部31の下降の途中において、図14に示す基本実施例M0と同様に、部品Pが装着位置に着地する前にサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する。この推力制限により、図14に示す基本実施例M0にて述べた効果と同様の効果を得る。   Prior to this lowering, as in the basic embodiment M0 shown in FIG. 14, a thrust limit value TL for limiting the thrust of the servomotor 41 is set. Then, during the descent of the component holding portion 31, the thrust of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less before the component P lands on the mounting position, as in the basic embodiment M0 shown in FIG. By this thrust restriction, the same effect as the effect described in the basic embodiment M0 shown in FIG. 14 is obtained.

この後、部品保持部31がさらに下降すると部品保持部31が着地高さZCに到達する。これにより、保持した部品Pの端子が基板3に供給された半田部に接触して部品Pが基板3に着地する。この着地はサーボモータ制御部50が備えた着地検出部54の機能によって検出され、タイマー55の計時機能によって着地を検出したタイミングt1からの経過時間を計測する。そして設定軌跡TR1にて示す動作パターンで定めた上昇開始タイミングの前に、タイマー55によって計時された経過時間が目標時間Tsに到達したら、このタイミングt2にてサーボモータ41を制御して部品保持部31を上昇させる。   Thereafter, when the component holding unit 31 further descends, the component holding unit 31 reaches the landing height ZC. As a result, the terminal of the held component P contacts the solder portion supplied to the substrate 3, and the component P lands on the substrate 3. The landing is detected by the function of the landing detection unit 54 provided in the servomotor control unit 50, and the elapsed time from the timing t1 at which the landing is detected is measured by the timing function of the timer 55. Then, when the elapsed time measured by the timer 55 reaches the target time Ts before the rise start timing determined by the operation pattern shown by the setting locus TR1, the servomotor 41 is controlled at this timing t2 to hold the component holding portion Raise 31.

すなわち上述の装着動作では、部品Pが基板3の装着位置に着地した後に部品保持部31を上昇させて基板3の装着位置に着地した部品Pから部品保持部31を離脱させる。そして少なくとも部品Pが基板3の装着位置に着地してから部品保持部31が上昇を開始する前までの期間、サーボモータ41の推力を制限する。部品Pの装着のための部品保持部31による押圧は、サーボモータ41の推力が制限された状態で行われる。   That is, in the mounting operation described above, after the component P lands on the mounting position of the substrate 3, the component holding unit 31 is lifted to separate the component holding unit 31 from the component P landed on the mounting position of the substrate 3. Then, the thrust of the servomotor 41 is limited in a period from when at least the component P lands on the mounting position of the substrate 3 to before the component holding portion 31 starts to ascend. The pressing by the component holding unit 31 for mounting the component P is performed in a state where the thrust of the servomotor 41 is limited.

本実施の形態に示す第2実施例M2では、上述の装着動作の間に装着高さの検出を行う。すなわち部品Pが基板3の装着位置に着地してから部品保持部31が上昇を開始する直前までの所定のタイミングで、装着位置高さ計測部62は位置検出部53から部品保持部31の位置情報を取得する。このタイミングで取得した部品保持部31の位置情報は、図13にて部品保持部31の高さ方向の位置示す着地高さZCとなる。そして、装着位置高さ計測部62は取得した位置情報と装着された部品Pの寸法とに基づいて、部品Pが装着された装着位置の装着高さを算出する。すなわち装着位置高さ計測部62は、着地高さZCと、部品Pの部品Pの厚さを含む装着厚み寸法dとに基づいて装着高さZ1を求める。   In the second example M2 shown in the present embodiment, detection of the mounting height is performed during the above-described mounting operation. That is, at a predetermined timing from when the component P lands on the mounting position of the substrate 3 to immediately before the component holding unit 31 starts rising, the mounting position height measurement unit 62 detects the position of the component holding unit 31 from the position detection unit 53 Get information. The position information of the component holding unit 31 acquired at this timing is the landing height ZC indicating the position of the component holding unit 31 in the height direction in FIG. 13. Then, the mounting position height measurement unit 62 calculates the mounting height of the mounting position at which the component P is mounted, based on the acquired position information and the dimensions of the mounted component P. That is, the mounting position height measurement unit 62 obtains the mounting height Z1 based on the landing height ZC and the mounting thickness dimension d including the thickness of the part P of the part P.

なお、装着位置高さ計測部62が位置検出部53から部品保持部31の位置情報を取得するタイミングは、弾性体である付勢部材33が装着位置に部品Pが着地した際の衝撃を吸収した後、部品保持部31が上昇を開始する直前までの期間内であり、上昇開始の直前が最も好ましい。この位置情報の取得は、緩衝用の付勢部材33が伸びきった状態で行われることから、緩衝用の付勢部材33を備えている場合にあっても、位置検出部53の位置情報から部品保持部31の高さ検出を高精度で行うことができる。   The timing at which the mounting position height measurement unit 62 acquires the position information of the component holding unit 31 from the position detection unit 53 absorbs the impact when the component P lands on the mounting position of the biasing member 33 which is an elastic body. Then, it is in a period until immediately before the component holding portion 31 starts to ascend, and it is most preferable that the component holding portion 31 immediately before the start of ascent. Since acquisition of this position information is performed in a state in which the buffer biasing member 33 is fully extended, even when the buffer biasing member 33 is provided, the position information of the position detection unit 53 is used. The height detection of the component holder 31 can be performed with high accuracy.

さらに部品保持部31が基板3を押圧する荷重LFは低荷重であることから基板3の変形は少ない。したがって、部品保持部31の高さ位置を用いて装着位置の高さを計測しても誤差は少なく、正確な高さ計測を行うことができる。これにより、専用の計測装置を使用することなく部品装着動作の実行と並行して、装着位置の高さを含む基板高さ情報を、簡便な方法によって取得することが可能となっている。   Furthermore, since the load LF with which the component holding portion 31 presses the substrate 3 is a low load, the deformation of the substrate 3 is small. Therefore, even if the height of the mounting position is measured using the height position of the component holding unit 31, the error is small and accurate height measurement can be performed. Accordingly, it is possible to obtain substrate height information including the height of the mounting position by a simple method in parallel with the execution of the component mounting operation without using a dedicated measuring device.

図16(b)に示す低衝撃装着モードM2−2においては、推力制限高さTLhと着地高さZCの間に減速高さDh1が設定されている点が、高速装着モードM2−1と異なっている。すなわち低衝撃装着モードM2−2では、部品Pを保持した部品保持部31が待機高さZ0から下降する過程において減速高さDh1に到達したならば、下降速度を高速から低速に切り換える。これにより、部品保持部31が着地高さZCまで下降して部品Pが着地する際の衝撃を低減することができるという効果を得る。   The low impact mounting mode M2-2 shown in FIG. 16 (b) differs from the high speed mounting mode M2-1 in that the decelerating height Dh1 is set between the thrust limit height TLh and the landing height ZC. ing. That is, in the low impact mounting mode M2-2, if the component holding portion 31 holding the component P reaches the deceleration height Dh1 in the process of lowering from the standby height Z0, the lowering speed is switched from high speed to low speed. As a result, the component holding portion 31 is lowered to the landing height ZC, and the impact when the component P lands can be reduced.

次に図17を参照して、この部品搭載方法による部品の装着動作の第3実施例M3について説明する。第3実施例M3では、部品保持部31に保持された部品Pを着地させて搭載する装着動作中に、部品が装着された装着完了位置における装着高さを検出し、検出された装着高さに基づいて未装着位置に部品を装着する際の減速高さを演算して補正するようにしている。   Next, with reference to FIG. 17, a third embodiment M3 of the component mounting operation according to this component mounting method will be described. In the third embodiment M3, during the mounting operation for landing and mounting the component P held by the component holding portion 31, the mounting height at the mounting completion position at which the component is mounted is detected, and the detected mounting height The decelerating height at the time of mounting the component at the non-mounting position is calculated and corrected based on the above.

図17(a)は、この第3実施例M3において、装着完了位置が未だ存在せず減速高さの補正を行っていない状態で部品装着動作を行う補正前装着モードM3−1を示している。また図17(b)は、第3実施例M3において、装着完了位置における装着高さを検出し、検出された装着高さに基づいて減速高さを補正した後に部品を装着する補正後装着モードM3−2を示している。   FIG. 17A shows the pre-correction mounting mode M3-1 in which the component mounting operation is performed in the state where the mounting completion position does not exist yet and the deceleration height correction is not performed in the third embodiment M3. . FIG. 17B is a post-correction mounting mode in which components are mounted after detecting the mounting height at the mounting completion position and correcting the deceleration height based on the detected mounting height in the third embodiment M3. M3-2 is shown.

図17(a)を参照して、補正前装着モードM3−1を説明する。部品Pを保持した部品保持部31は基板3の装着位置の上方に移動して、タイミングtaにおいて待機高さZ0に位置して待機状態にある。次いで予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31を基板3の装着位置へ向かって、目標高さTh1を目標として下降させる。ここでは動作パターンには部品保持部31を下降させる速度を減速する減速高さDh1と部品保持部31の目標とする目標高さTh1とが含まれている。部品保持部31の下降においては、減速高さDh1までは高速で、減速高さDh1からは低速で下降させる。補正前装着モードM3−1においては、減速高さDh1は目標高さTh1からΔh1の高さに設定されている。   The pre-correction mounting mode M3-1 will be described with reference to FIG. The component holding unit 31 holding the component P moves above the mounting position of the substrate 3 and is positioned at the standby height Z0 at timing ta and is in the standby state. Next, by controlling the servomotor 41 based on a preset operation pattern, the component holder 31 is lowered toward the mounting position of the substrate 3 with the target height Th1 as a target. Here, the operation pattern includes a decelerating height Dh1 for decelerating the speed at which the component holding unit 31 is lowered and a target height Th1 for the component holding unit 31 as a target. In the descent of the component holding portion 31, the speed is lowered at high speed until the decelerating height Dh1 and at low speed from the decelerating height Dh1. In the pre-correction mounting mode M3-1, the deceleration height Dh1 is set to a height from the target height Th1 to Δh1.

この下降に先立って、図14に示す基本実施例M0と同様に、サーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLが設定される。そして部品保持部31の下降の途中において、図14に示す基本実施例M0と同様に、部品Pが装着位置に着地する前にサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する。この推力制限により、図14に示す基本実施例M0にて述べた効果と同様の効果を得る。   Prior to this lowering, as in the basic embodiment M0 shown in FIG. 14, a thrust limit value TL for limiting the thrust of the servomotor 41 is set. Then, during the descent of the component holding portion 31, the thrust of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less before the component P lands on the mounting position, as in the basic embodiment M0 shown in FIG. By this thrust restriction, the same effect as the effect described in the basic embodiment M0 shown in FIG. 14 is obtained.

この後、部品保持部31がさらに下降すると部品保持部31が着地高さZCに到達する。これにより、保持した部品Pの端子が基板3に供給された半田部に接触して部品Pが基板3に着地する。この着地はサーボモータ制御部50が備えた着地検出部54の機能によって検出され、タイマー55の計時機能によって着地を検出したタイミングt1からの経過時間を計測する。そして設定軌跡TR1にて示す動作パターンで定めた上昇開始タイミングの前に、タイマー55によって計時された経過時間が目標時間Tsに到達したら、このタイミングt2にてサーボモータ41を制御して部品保持部31を上昇させて、装着位置に着地した部品Pから部品保持部31を離脱させる。そして部品保持部31が待機高さZ0まで上昇したタイミングtbにて1つの装着動作が完了する。補正前装着モードM3−1では、一回の装着動作についてタイミングtaからタイミングtbまで作業時間WT1を要している。   Thereafter, when the component holding unit 31 further descends, the component holding unit 31 reaches the landing height ZC. As a result, the terminal of the held component P contacts the solder portion supplied to the substrate 3, and the component P lands on the substrate 3. The landing is detected by the function of the landing detection unit 54 provided in the servomotor control unit 50, and the elapsed time from the timing t1 at which the landing is detected is measured by the timing function of the timer 55. Then, when the elapsed time measured by the timer 55 reaches the target time Ts before the rise start timing determined by the operation pattern shown by the setting locus TR1, the servomotor 41 is controlled at this timing t2 to hold the component holding portion 31 is raised to separate the component holding portion 31 from the component P that has landed at the mounting position. Then, one mounting operation is completed at timing tb when the component holding unit 31 has risen to the standby height Z0. In the pre-correction mounting mode M3-1, a work time WT1 is required from timing ta to timing tb for one mounting operation.

この作業時間WT1を極力短縮して生産性を向上させるため、本実施の形態に示す第3実施例M3では、上述の装着動作の間に減速高さの補正を目的とした装着高さの検出を行う。すなわち部品Pが基板3の装着位置に着地してから部品保持部31が上昇を開始する直前までの所定のタイミングで、装着位置高さ計測部62は位置検出部53から部品保持部31の位置情報(着地高さZC)を取得する。   In order to shorten the work time WT1 as much as possible and improve the productivity, in the third example M3 shown in the present embodiment, detection of the mounting height for the purpose of correction of the reduction height during the above mounting operation I do. That is, at a predetermined timing from when the component P lands on the mounting position of the substrate 3 to immediately before the component holding unit 31 starts rising, the mounting position height measurement unit 62 detects the position of the component holding unit 31 from the position detection unit 53 Acquire information (landing height ZC).

そして、取得した着地高さZCと装着された部品Pの寸法とに基づいて、部品Pが装着された装着位置である装着完了位置における高さを示す装着高さを算出する装着高さ計測処理を実行する。この装着高さ計測処理は、本体制御部14の装着位置高さ計測部62によって実行される。すなわち図13にて部品保持部31の高さ方向の位置示す着地高さZCと、部品Pの部品Pの厚さを含む装着厚み寸法dとに基づいて、装着高さZ1を求める。   Then, based on the acquired landing height ZC and the dimensions of the mounted part P, the mounting height measurement processing for calculating the mounting height indicating the height at the mounting completed position which is the mounting position at which the part P is mounted Run. The mounting height measurement process is executed by the mounting position height measurement unit 62 of the main body control unit 14. That is, the mounting height Z1 is obtained based on the landing height ZC indicating the position of the component holding portion 31 in the height direction in FIG. 13 and the mounting thickness dimension d including the thickness of the component P of the component P.

そして複数の装着完了位置について同様の装着高さ計測処理を行って複数の装着高さを本体制御部14の装着高さ記憶部66に記憶する。次いで、装着高さ記憶部66に記憶された少なくとも1つの装着高さを利用して、未だ部品が装着されていない装着位置である未装着位置に部品を装着する際の減速高さを演算する。この演算処理は、本体制御部14の減速高さ演算部63によって実行される。   Then, the same mounting height measurement process is performed for a plurality of mounting completion positions, and the plurality of mounting heights are stored in the mounting height storage unit 66 of the main control unit 14. Then, using at least one mounting height stored in the mounting height storage unit 66, calculate the decelerating height at the time of mounting the component at the non-mounting position which is the mounting position at which the component is not yet mounted . This calculation process is executed by the deceleration height calculation unit 63 of the main body control unit 14.

この減速高さの演算処理は、図18にて説明した減速高さ演算部63による減速高さ補正の実行例に示されている。すなわち図18(a)に示す例では、減速高さ演算部63は、未装着位置からあらかじめ設定した範囲内に存在する装着完了位置の装着高さに基づいて減速高さを演算する。また図18(b)に示す例では、減速高さ演算部63は、あらかじめ設定した数の装着完了位置の装着高さに基づいて未装着位置の減速高さを演算する。これにより、補正前の減速高さDh1に替えて、装着完了位置の装着高さに基づいて演算された補正後の減速高さDh2が求められる。   The calculation processing of the deceleration height is shown in the execution example of the deceleration height correction by the deceleration height calculation unit 63 described in FIG. That is, in the example shown in FIG. 18A, the decelerating height calculation unit 63 calculates the decelerating height based on the mounting height of the mounting completion position existing in the range set in advance from the non-mounting position. Further, in the example shown in FIG. 18B, the decelerating height calculation unit 63 calculates the decelerating height of the non-mounting position based on the mounting height of the preset number of mounting completion positions. As a result, instead of the deceleration height Dh1 before correction, the deceleration height Dh2 after correction calculated based on the mounting height of the mounting completion position is determined.

図17(b)は、このようにして演算された補正後の減速高さDh1−1に基づいて未装着位置に部品Pを装着する補正後装着モードM3−2を示している。ここに示す例では、目標高さTh1からΔh2の高さに補正後の減速高さDh2が設定されている。ここでΔh2は既知の装着完了位置の装着高さに基づいて設定されることからΔh1よりも小さい適正値に設定することができる。   FIG. 17B shows a post-correction mounting mode M3-2 in which the component P is mounted at the non-mounting position based on the corrected deceleration height Dh1-1 calculated as described above. In the example shown here, the decelerating height Dh2 after correction is set from the target height Th1 to the height of Δh2. Here, Δh 2 is set based on the mounting height of the known mounting completion position, and can be set to an appropriate value smaller than Δh 1.

したがって補正後の減速高さDh2を着地高さZCにより近い高さに設定することができ、不必要に高い位置から減速することによる下降時間の遅延を防止することができる。これにより、補正前装着モードM3−1では、一回の装着動作についてタイミングtaからタイミングtbまでに作業時間WT1を要していたのに対し、補正後装着モードM3−2では、タイミングtaからタイミングtbまでの所要時間は、WT1よりも短い作業時間WT2に短縮される。このように反り変形状態がばらついている基板を対象とする場合にあっても、装着完了位置の装着高さに基づいて減速高さを適正に設定することにより、生産性を向上させることができる。   Therefore, the decelerating height Dh2 after correction can be set to a height closer to the landing height ZC, and it is possible to prevent a delay of falling time due to deceleration from an unnecessarily high position. Thus, in the pre-correction mounting mode M3-1, the work time WT1 is required from timing ta to timing tb for one mounting operation, while in the post-correction mounting mode M3-2, timing from the timing ta The time required for tb is reduced to a working time WT2 which is shorter than WT1. As described above, even in the case where a substrate in which the warpage deformation state is dispersed is targeted, productivity can be improved by appropriately setting the deceleration height based on the mounting height at the mounting completion position. .

なお本実施の形態では、装着位置高さ計測部62による装着高さZ1の算出および減速高さ演算部63による減速高さDh2の算出で使用される装着厚み寸法dは、部品Pの厚さ、ランド3cの厚さ、接合用半田Sの厚さを加えた厚み寸法となっているが、ランド3cの厚さと接合用半田Sの厚さの両方もしくはいずれかを無視した値を装着厚み寸法dとして使用してもよい。ランド3cの厚さと接合用半田Sの厚さの両方を無視する場合は部品Pの厚さを装着厚み寸法dとして使用してもよい。言い換えれば、装着厚み寸法dは少なくとも部品Pの厚さを含む。   In the present embodiment, the mounting thickness dimension d used in the calculation of the mounting height Z1 by the mounting position height measurement unit 62 and the calculation of the deceleration height Dh2 by the deceleration height calculation unit 63 is the thickness of the part P The thickness of the land 3c and the thickness of the bonding solder S are added, but the thickness of the land 3c and the thickness of the bonding solder S are both neglected. You may use as d. If the thickness of the land 3c and the thickness of the bonding solder S are both ignored, the thickness of the component P may be used as the mounting thickness dimension d. In other words, the mounting thickness dimension d includes at least the thickness of the part P.

本発明の部品搭載方法は、サーボモータの推力を制限荷重に応じて制限するための推力制限値の設定を簡便な方法で行うことができるという効果を有し、部品を基板の装着位置に搭載して部品搭載基板を製造する分野において有用である。   The component mounting method of the present invention has an effect that the setting of the thrust limit value for limiting the thrust of the servomotor in accordance with the limit load can be performed by a simple method, and the component is mounted at the mounting position of the substrate. Are useful in the field of manufacturing component mounting substrates.

1 部品搭載装置
3 基板
3* 部品搭載基板
11 搭載ヘッド
15 制御部
30 ノズルユニット
31 部品保持部
31d 吸引孔
32 下部
33 付勢部材
35 シャフト
36 上部
41 サーボモータ
44 エンコーダ
45 荷重検出部
P 部品
T 推力
LF 荷重
FP 付勢力
TLh 推力制限高さ
Z0 待機高さ
ZC、ZC1 着地高さ
Dh、Dh1、Dh2 減速高さ
Th、Th1 目標高さ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 component mounting apparatus 3 board | substrate 3 * component mounting board 11 mounting head 15 control part 30 nozzle unit 31 component holding part 31d suction hole 32 lower part 33 biasing member 35 shaft 36 upper part 41 servomotor 44 encoder 45 load detection part P part T thrust LF Load FP Bias Force TLh Thrust limit height Z0 Standby height ZC, ZC1 Landing height Dh, Dh1, Dh2 Deceleration height Th, Th1 Target height

Claims (4)

負圧によって部品を保持するための吸引孔を有する部品保持部と、前記部品保持部を昇降させるサーボモータとを有する搭載ヘッドを使用して部品を基板に搭載して部品搭載基板を製造する部品搭載方法であって、
荷重を検出する荷重検出部を準備し、
前記サーボモータを所定の推力で駆動して前記部品保持部の下端部を前記荷重検出部に押し当て、前記サーボモータの推力と荷重の相関データを計測し、
計測した前記相関データを相関データ記憶部に記憶し、
部品を基板に搭載する際の前記部品保持部が部品に加える制限荷重と前記相関データを使用して前記サーボモータが発生する推力を制限するための推力制限値を算出し、
部品を保持した前記部品保持部を前記基板の装着位置に向かって下降させ、
前記部品が前記装着位置に着地する前に、前記サーボモータの推力を前記推力制限値以下に制限し、
前記部品が前記装着位置に着地した後に前記部品保持部を上昇させて前記装着位置に着地した部品から前記部品保持部を離脱させる、部品搭載方法。
A component for manufacturing a component mounting board by mounting a component on a substrate using a mounting head having a component holding portion having a suction hole for holding a component by negative pressure and a servomotor for moving the component holding portion up and down It is a loading method,
Prepare a load detection unit to detect the load,
Driving the servomotor with a predetermined thrust to press the lower end of the component holder against the load detector, and measuring correlation data between the thrust of the servomotor and the load;
Storing the measured correlation data in a correlation data storage unit;
The thrust limit value for limiting the thrust generated by the servomotor is calculated using the limited load applied to the part by the part holding unit when mounting the part on the substrate and the correlation data,
Lowering the component holding portion holding the component toward the mounting position of the substrate;
Before the component lands on the mounting position, the thrust of the servomotor is limited to the thrust limit value or less.
A component mounting method, wherein the component holding unit is lifted after the component has landed on the mounting position, and the component holding unit is detached from the component that has landed on the mounting position.
さらに、前記搭載ヘッドは、
下部と上部を有するシャフト部と、弾性体とを備え、
前記部品保持部は、前記シャフトの下部に上下方向に変位可能な状態で取り付けられるとともに前記弾性体によって前記シャフトに対して下方に付勢されており、
前記制限荷重は、前記弾性体が前記部品保持部を付勢する力よりも小さい、請求項1に記載の部品搭載方法。
Furthermore, the mounting head is
A shaft portion having a lower portion and an upper portion, and an elastic body,
The component holding portion is attached to a lower portion of the shaft so as to be vertically displaceable, and is biased downward with respect to the shaft by the elastic body.
The component mounting method according to claim 1, wherein the limit load is smaller than a force with which the elastic body biases the component holding portion.
前記相関データは、少なくとも、
第1の推力と、前記サーボモータを第1の推力で駆動させたときに発生する第1の荷重と、前記第1の推力とは異なる大きさの第2の推力と、前記第2の推力で駆動させたときに発生する第2の荷重と、を含む、請求項1または2のいずれかに記載の部品搭載方法。
The correlation data is at least
A first thrust, a first load generated when the servomotor is driven with the first thrust, a second thrust different in magnitude from the first thrust, and the second thrust The component mounting method according to any one of claims 1 and 2, comprising: a second load generated when driven by the drive.
前記第1の荷重と前記第2の荷重は、前記弾性体が前記部品保持部を付勢する力よりも小さい、請求項3に記載の部品搭載方法。   The component mounting method according to claim 3, wherein the first load and the second load are smaller than a force with which the elastic body biases the component holding portion.
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