JP2019056710A - Piezoelectric sensor - Google Patents

Piezoelectric sensor Download PDF

Info

Publication number
JP2019056710A
JP2019056710A JP2018218092A JP2018218092A JP2019056710A JP 2019056710 A JP2019056710 A JP 2019056710A JP 2018218092 A JP2018218092 A JP 2018218092A JP 2018218092 A JP2018218092 A JP 2018218092A JP 2019056710 A JP2019056710 A JP 2019056710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
piezoelectric
conductor
electrode
signal electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018218092A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6574889B2 (en
Inventor
信人 神谷
Nobuto Kamiya
信人 神谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Publication of JP2019056710A publication Critical patent/JP2019056710A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6574889B2 publication Critical patent/JP6574889B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302—Sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/857—Macromolecular compositions
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

To provide a piezoelectric sensor whose structure is simplified and that can be easily manufactured.SOLUTION: A piezoelectric sensor A includes: a piezoelectric sheet 11; a signal electrode 12 lamination-integrated with a first face of the piezoelectric sheet 11; a conduction body 13 that covers the signal electrode 12 in an electrically non-connection state therewith and is electrically connected with the piezoelectric sheet 11; a first conductive wire 14 electrically connected with the signal electrode 12; and a second conductive wire 15 electrically connected with the conduction body 13.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、圧電センサに関する。   The present invention relates to a piezoelectric sensor.

従来から圧電シートを用いた圧電センサが提供されている。このような圧電センサとしては、特許文献１に、高分子材料からなる圧電体と、前記圧電体の一方の側に配置され、第１の絶縁体にシグナル電極を担持した第１の電極担持部と、前記圧電体の他方の側に配置され、第２の絶縁体にグランド電極を担持した第２の電極担持部とを備え、前記圧電体と前記第１の電極担持部と前記第２の電極担持部との重ね方向視において、前記シグナル電極が前記圧電体の領域内に収まり、且つ、前記圧電体全体が前記グランド電極の領域内に収まるかあるいは前記グランド電極の領域に重なり合うよう配置してある圧電センサが開示されている。   Conventionally, piezoelectric sensors using piezoelectric sheets have been provided. As such a piezoelectric sensor, Patent Document 1 discloses a piezoelectric body made of a polymer material, and a first electrode holding portion that is disposed on one side of the piezoelectric body and that has a signal electrode supported on a first insulator. And a second electrode carrying portion disposed on the other side of the piezoelectric body and carrying a ground electrode on a second insulator, the piezoelectric body, the first electrode carrying portion, and the second electrode carrying portion. The signal electrode is disposed within the region of the piezoelectric body, and the entire piezoelectric body is disposed within the region of the ground electrode or overlaps the region of the ground electrode when viewed in the overlapping direction with the electrode carrier. A piezoelectric sensor is disclosed.

そして、特許文献１には、圧電センサの具体的な構造として、圧電体の第一の面にシグナル電極及びシールド電極がこの順序で積層一体化されていると共に、圧電体の第二の面にグランド電極が積層一体化されている圧電センサが開示されている。シグナル電極が外部からの電磁波の影響を受けないようにするために、通常、シグナル電極上にはシールド電極が積層一体化されている。   In Patent Document 1, as a specific structure of the piezoelectric sensor, a signal electrode and a shield electrode are laminated and integrated in this order on the first surface of the piezoelectric body, and on the second surface of the piezoelectric body. A piezoelectric sensor in which ground electrodes are laminated and integrated is disclosed. In order to prevent the signal electrode from being affected by external electromagnetic waves, a shield electrode is usually laminated and integrated on the signal electrode.

特許第５０４４１９６号公報Japanese Patent No. 5044196

特許文献１においては、絶縁シートの第一の面に電極が積層一体化されてなる第一電極シートと、絶縁シートの両面に電極が積層一体化されてなる第二電極シートを別々に用意し、圧電センサの第一の面に第一電極シートを接着剤層を介して積層一体化すると共に、圧電センサの第二の面に第二電極シートを積層一体化することによって圧電センサが製造されており、製造工程が煩雑であるという問題点を有している。   In Patent Document 1, a first electrode sheet in which electrodes are laminated and integrated on a first surface of an insulating sheet and a second electrode sheet in which electrodes are stacked and integrated on both sides of an insulating sheet are separately prepared. The piezoelectric sensor is manufactured by laminating and integrating the first electrode sheet on the first surface of the piezoelectric sensor via the adhesive layer and laminating and integrating the second electrode sheet on the second surface of the piezoelectric sensor. Therefore, the manufacturing process is complicated.

本発明は、構造が簡素化され且つ容易に製造することができる圧電センサを提供する。   The present invention provides a piezoelectric sensor that has a simplified structure and can be easily manufactured.

本発明の圧電センサは、圧電シートと、上記圧電シートの第一の面に積層一体化されたシグナル電極と、上記シグナル電極と電気的に非接続状態にて上記シグナル電極を覆い且つ一部分がグランド電極として作用する導電体と、上記シグナル電極に電気的に接続された第一導電線と、上記導電体に電気的に接続された第二導電線とを有していることを特徴とする。   The piezoelectric sensor of the present invention includes a piezoelectric sheet, a signal electrode laminated and integrated on the first surface of the piezoelectric sheet, and covers the signal electrode in a state of being electrically disconnected from the signal electrode, and a part thereof is grounded. It has a conductor acting as an electrode, a first conductive line electrically connected to the signal electrode, and a second conductive line electrically connected to the conductor.

上記圧電センサにおいて、導電体が一枚の導電シートから形成されていることを特徴とする。   In the piezoelectric sensor, the conductor is formed from a single conductive sheet.

上記圧電センサにおいて、導電体が袋状に形成されていることを特徴とする。   In the piezoelectric sensor, the conductor is formed in a bag shape.

上記圧電センサにおいて、導電体が圧電シートの第二の面に積層されていることを特徴とする。   In the piezoelectric sensor, the conductor is laminated on the second surface of the piezoelectric sheet.

上記圧電センサにおいて、圧電シートがポリオレフィン系樹脂を含むことを特徴とする。   In the piezoelectric sensor, the piezoelectric sheet includes a polyolefin resin.

上記圧電センサにおいて、圧電シートが発泡シートであることを特徴とする。   In the piezoelectric sensor, the piezoelectric sheet is a foam sheet.

本発明の圧電センサは、上述の如き構成を有しており、一部分がグランド電極として作用する導電体によってシグナル電極を覆っている。従って、本発明の圧電センサは、導電体の一部分をシグナル電極のシールド電極として、導電体の他の一部分をグランド電極として用いており、構造の簡素化を図っていると共に容易に製造可能である。   The piezoelectric sensor of the present invention has the above-described configuration, and a signal electrode is covered with a conductor that partially functions as a ground electrode. Therefore, the piezoelectric sensor of the present invention uses a part of the conductor as the shield electrode of the signal electrode and the other part of the conductor as the ground electrode, which simplifies the structure and can be easily manufactured. .

圧電センサを示した断面図である。It is sectional drawing which showed the piezoelectric sensor. 圧電センサを示した断面図である。It is sectional drawing which showed the piezoelectric sensor. 圧電センサを示した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which showed the piezoelectric sensor. 他の圧電センサを示した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which showed the other piezoelectric sensor. 他の圧電センサを示した断面図である。It is sectional drawing which showed the other piezoelectric sensor. 他の圧電センサを示した断面図である。It is sectional drawing which showed the other piezoelectric sensor. 他の圧電センサを示した断面図である。It is sectional drawing which showed the other piezoelectric sensor. 他の圧電センサを示した断面図である。It is sectional drawing which showed the other piezoelectric sensor.

本発明の圧電センサの一例を図面を参照しながら説明する。圧電センサＡは、図１及び図２に示したように、圧電シート11と、この圧電シート11の第一の面に積層一体化されたシグナル電極12と、上記シグナル電極12と電気的に非接続状態にてシグナル電極12を覆い且つ一部分がグランド電極として作用し圧電シート11にて発生した電位をシグナル電極12を通じて測定可能に配設された導電体13と、シグナル電極12に電気的に接続された第一導電線14と、導電体13に電気的に接続された第二導電線15とを有している。   An example of the piezoelectric sensor of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, the piezoelectric sensor A includes a piezoelectric sheet 11, a signal electrode 12 laminated and integrated on the first surface of the piezoelectric sheet 11, and the signal electrode 12 electrically non-conductive. Electrically connected to the signal electrode 12 and the conductor 13 that covers the signal electrode 12 in the connected state, and that partly acts as a ground electrode, and the potential generated in the piezoelectric sheet 11 can be measured through the signal electrode 12 The first conductive wire 14 and the second conductive wire 15 electrically connected to the conductor 13 are provided.

圧電シート11としては、外力が加えられることによって表面に電荷を発生させることができるシート（圧電現象を有するシート）であれば、特に限定されないが、脈波などの微弱な生体信号を精度良く検出でき、感度が高く、厚み方向の変形で電荷を発生しやすいことから、合成樹脂シート（合成樹脂発泡シート又は合成樹脂非発泡シート）に分極を付与した圧電シートが好ましく、合成樹脂発泡シートに分極を付与した圧電シートがより好ましく、ポリオレフィン系樹脂を含む合成樹脂発泡シートに分極を付与した圧電シートが特に好ましい。   The piezoelectric sheet 11 is not particularly limited as long as it is a sheet (a sheet having a piezoelectric phenomenon) that can generate charges on the surface when an external force is applied, but it can accurately detect weak biological signals such as pulse waves. The piezoelectric sheet is preferably a piezoelectric sheet in which a synthetic resin sheet (synthetic resin foam sheet or synthetic resin non-foamed sheet) is polarized, because it is highly sensitive and easily generates charges due to deformation in the thickness direction. Is more preferable, and a piezoelectric sheet obtained by imparting polarization to a synthetic resin foam sheet containing a polyolefin resin is particularly preferable.

合成樹脂シートを構成する合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリ乳酸、液晶樹脂などが挙げられ、ポリオレフィン系樹脂が好ましい。   The synthetic resin constituting the synthetic resin sheet is not particularly limited, and examples thereof include polyolefin resins such as polyethylene resins and polypropylene resins, polyvinylidene fluoride, polylactic acid, and liquid crystal resins, and polyolefin resins are preferable. .

合成樹脂シートに分極を付与する方法としては、特に限定されず、例えば、下記の３つの方法が挙げられる。第一の方法は、合成樹脂シートを一対の平板電極で挟持する挟持工程と、帯電させたい表面に接触させている平板電極を高圧直流電源に接続すると共に他方の平板電極をアースし、合成樹脂シートに直流又はパルス状の高電圧を印加して合成樹脂に電荷を注入して合成樹脂シートに分極を付与する分極工程とを含む方法である。第二の方法は、電子線、Ｘ線などの電離性放射線や紫外線を合成樹脂シートの表面に照射して、合成樹脂シートの近傍部の空気分子をイオン化することによって合成樹脂シートに分極を付与する方法である。第３の方法は、合成樹脂シートの第一の面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、合成樹脂シートの第二の面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極又はワイヤー電極を配設し、針状電極の先端又はワイヤー電極の表面近傍への電界集中によりコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極又はワイヤー電極の極性により発生した空気イオンを反発させて合成樹脂に分極を付与する方法である。   It does not specifically limit as a method to provide polarization to a synthetic resin sheet, For example, the following three methods are mentioned. In the first method, a synthetic resin sheet is sandwiched between a pair of flat plate electrodes, a flat plate electrode that is in contact with the surface to be charged is connected to a high-voltage DC power supply, the other flat plate electrode is grounded, and the synthetic resin is And a polarization step of applying polarization to the synthetic resin sheet by applying a DC or pulsed high voltage to the sheet to inject charges into the synthetic resin. The second method is to impart polarization to the synthetic resin sheet by irradiating the surface of the synthetic resin sheet with ionizing radiation such as electron beam and X-ray and ultraviolet rays, and ionizing air molecules in the vicinity of the synthetic resin sheet. It is a method to do. In the third method, a grounded flat plate electrode is placed in close contact with the first surface of the synthetic resin sheet, and a predetermined interval is placed on the second surface side of the synthetic resin sheet so that a DC high-voltage power supply is electrically connected. A needle-like electrode or wire electrode connected to each other, a corona discharge is generated by electric field concentration near the tip of the needle-like electrode or the surface of the wire electrode, and air molecules are ionized to cause the needle-like electrode or wire In this method, air ions generated by the polarity of the electrode are repelled to polarize the synthetic resin.

圧電シート11の第一の面11aにはシグナル電極12が必要に応じて固定剤層（図示せず）を介して積層一体化されている。シグナル電極12は、導電性を有しておれば、特に限定されず、例えば、銅箔、アルミニウム箔などの金属シート、導電性膜などが挙げられる。   A signal electrode 12 is laminated and integrated on the first surface 11a of the piezoelectric sheet 11 via a fixing agent layer (not shown) as necessary. The signal electrode 12 is not particularly limited as long as it has conductivity, and examples thereof include metal sheets such as copper foil and aluminum foil, and conductive films.

シグナル電極12を導電性膜で構成する場合、導電性膜は、電気絶縁シート上に形成された上で、圧電シート11上に積層一体化されもよいし、圧電シート11の第一の面11aに直接、形成されてもよい。電気絶縁シート又は圧電シート上に、導電性膜を形成する方法としては、例えば、（１）電気絶縁シート又は圧電シート上に、バインダー中に導電性微粒子を含有させてなる導電ペーストを塗布、乾燥させる方法、（２）電気絶縁シート又は圧電シート上に、蒸着によって電極を形成する方法などが挙げられる。   When the signal electrode 12 is formed of a conductive film, the conductive film may be formed on the electrical insulating sheet and then laminated and integrated on the piezoelectric sheet 11, or the first surface 11a of the piezoelectric sheet 11 It may be formed directly. As a method for forming a conductive film on an electrical insulating sheet or piezoelectric sheet, for example, (1) Applying a conductive paste containing conductive fine particles in a binder on an electrical insulating sheet or piezoelectric sheet, and drying And (2) a method of forming an electrode by vapor deposition on an electrical insulating sheet or piezoelectric sheet.

電気絶縁シートとしては、電気絶縁性を有しておれば、特に限定されず、例えば、ポリイミドシート、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシート、ポリ塩化ビニルシートなどが挙げられる。   The electrical insulating sheet is not particularly limited as long as it has electrical insulating properties, and examples thereof include a polyimide sheet, a polyethylene terephthalate sheet, a polyethylene naphthalate sheet, and a polyvinyl chloride sheet.

固定剤層を構成している固定剤は、反応系・溶剤系・水系・ホットメルト系の接着剤又は粘着剤から構成されており、圧電シート11の感度を維持する観点から、誘電率の低い固定剤が好ましい。   The fixing agent constituting the fixing agent layer is composed of a reaction system, solvent system, water system, hot melt system adhesive or pressure sensitive adhesive, and has a low dielectric constant from the viewpoint of maintaining the sensitivity of the piezoelectric sheet 11. A fixative is preferred.

そして、圧電シート11上に積層一体化させているシグナル電極12上には、このシグナル電極12とは接触しておらず電気的に接続されていない導電体13の一部分13aがシグナル電極12を全面的に覆うように配設されている。導電体13の一部分13aはシールド電極として作用する。更に、上記導電体13の一部分13bが圧電シート11の第二の面11b（シグナル電極12が積層一体化されている面とは反対側の面）上に積層されている。導電体13は、圧電シート11の第二の面11b上に配設されることによって、一部分13bがグランド電極として作用する。圧電シート11にて圧電現象によって発生した電位は、グランド電極を基準電極としてシグナル電極12を通じて測定可能に構成されている。なお、導電体13としては、導電性を有しておれば、特に限定されないが、シート状が好ましく、例えば、金属箔、金属網、表面に導電性膜を有する導電性シートなどが挙げられる。表面に導電性膜を有する導電性シートを用いる場合は、導電性膜が圧電シート11側となるように配設される。表面に導電性膜を有する導電性シートは、例えば、上述した電気絶縁シート上に導電性膜を形成する方法と同様の要領で製造することができる。又、導電体13の一部分13bは、圧電シート11に上記固定剤層を介して積層一体化されていてもよい。   Then, on the signal electrode 12 laminated and integrated on the piezoelectric sheet 11, a part 13a of the conductor 13 which is not in contact with the signal electrode 12 and is not electrically connected thereto is formed on the entire surface of the signal electrode 12. It is arrange | positioned so that it may cover. A portion 13a of the conductor 13 acts as a shield electrode. Furthermore, a part 13b of the conductor 13 is laminated on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11 (the surface opposite to the surface on which the signal electrode 12 is laminated and integrated). The conductor 13 is disposed on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11, so that a portion 13b functions as a ground electrode. The potential generated by the piezoelectric phenomenon in the piezoelectric sheet 11 can be measured through the signal electrode 12 using the ground electrode as a reference electrode. The conductor 13 is not particularly limited as long as it has conductivity. However, a sheet shape is preferable, and examples thereof include a metal foil, a metal net, and a conductive sheet having a conductive film on the surface. When using a conductive sheet having a conductive film on the surface, the conductive film is disposed on the piezoelectric sheet 11 side. The conductive sheet having a conductive film on the surface can be produced, for example, in the same manner as the method for forming a conductive film on the above-described electrical insulating sheet. Further, a part 13b of the conductor 13 may be laminated and integrated with the piezoelectric sheet 11 via the fixing agent layer.

具体的には、図１及び図２に示したように、圧電シート11のシグナル電極12上には電気絶縁シート16が全面的に積層一体化されており、圧電シート11を包囲するように一枚のシート状の導電体13が一巻きされている。なお、シート状の導電体として表面に導電性膜を有する導電性シートを用いる場合には、導電性膜が圧電シート11側となるようにする。   Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, an electrical insulating sheet 16 is laminated and integrated on the entire surface of the signal electrode 12 of the piezoelectric sheet 11 so as to surround the piezoelectric sheet 11. One sheet of the conductor 13 is wound. When a conductive sheet having a conductive film on the surface is used as the sheet-like conductor, the conductive film is on the piezoelectric sheet 11 side.

シート状の導電体13はシグナル電極12に接触しておらずシグナル電極12とは電気的に接続していない。シート状の導電体13は、圧電シート11にて発生した電荷の検出がより正確となるので、圧電シート11の端面11cに接触していないことが好ましい。   The sheet-like conductor 13 is not in contact with the signal electrode 12 and is not electrically connected to the signal electrode 12. The sheet-like conductor 13 is preferably not in contact with the end face 11c of the piezoelectric sheet 11 because the charge generated in the piezoelectric sheet 11 can be detected more accurately.

一方、シート状の導電体13は、圧電シート11の第二の面11b上に積層されている。導電体13のうち、シグナル電極12を覆っている部分13aはシグナル電極12のシールド電極として作用する。圧電シート11の第二の面11b上に積層されている部分13bはグランド電極として作用し、圧電シート11にて発生した電位をシグナル電極12を通じて測定する際の基準電極となる。導電体13は、一巻きすることによって圧電シート11を包囲していることから、シグナル電極12は導電体13によって外部からの電磁波から略完全に遮蔽され、圧電シート11にて発生した電位をより正確に測定することができる。   On the other hand, the sheet-like conductor 13 is laminated on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11. A portion 13 a of the conductor 13 covering the signal electrode 12 functions as a shield electrode for the signal electrode 12. The portion 13b laminated on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11 acts as a ground electrode and serves as a reference electrode when measuring the potential generated in the piezoelectric sheet 11 through the signal electrode 12. Since the conductor 13 surrounds the piezoelectric sheet 11 by making a single turn, the signal electrode 12 is almost completely shielded from electromagnetic waves from the outside by the conductor 13, and the electric potential generated in the piezoelectric sheet 11 is further increased. It can be measured accurately.

このように、圧電シート11を包囲するようにして配設された一枚のシート状の導電体13によってシールド電極及びグランド電極を構成しているので、圧電センサＡの構成が簡素であり且つ容易に製造することができる。又、圧電センサＡを構成するにあたって構成部品の数が少なくてすみ、圧電センサＡは厚みが薄く軽量性に優れている。   As described above, since the shield electrode and the ground electrode are configured by the sheet-like conductor 13 disposed so as to surround the piezoelectric sheet 11, the configuration of the piezoelectric sensor A is simple and easy. Can be manufactured. Further, the piezoelectric sensor A can be configured with fewer components, and the piezoelectric sensor A is thin and excellent in lightness.

図１〜３では、導電体13をシート状に形成し、シート状の導電体13を圧電シート11に巻いた場合を説明したが、図４に示したように、導電体13を予め袋状に形成し、袋状の導電体13内に圧電シート11を収納し、袋状の導電体13の一部分を圧電シート11上に積層させた構造としてもよい。この場合も、袋状の導電体13のうち、シグナル電極12を覆っている部分13aはシグナル電極12のシールド電極として作用する。シグナル電極12を覆っている部分13aは、電気絶縁シート16を介してシグナル電極12上に積層されており、シグナル電極12とは電気的に接続されていない。袋状の導電体13のうち、圧電シート11の第二の面11b上に配設され部分13bがグランド電極として作用する。圧電シート11にて圧電現象によって発生した電位は、グランド電極を基準電極としてシグナル電極12を通じて測定可能に構成されている。袋状の導電体13は、圧電シート11にて発生した電荷の検出がより正確となるので、圧電シート11の端面11cに接触していないことが好ましい。袋状の導電体13としては、例えば、平面矩形状の表面部131と平面矩形状の裏面部132とをこれらの一辺を除いた外周縁部同士を一体化することによって一個の開口部133を有する袋状の導電体が挙げられる。袋状の導電体は、例えば、金属箔、金属網、上述した表面に導電性膜を有する導電性シートなどから構成される。袋状の導電体を表面に導電性膜を有する導電性シートから構成する場合、導電性膜が内側となるように袋状の導電体が構成される。又、袋状の導電体13のうち、圧電シート11の第二の面11b上に積層された部分13bは、圧電シート11上に上記固定剤層を介して積層一体化されていてもよい。   1-3, the case where the conductor 13 is formed into a sheet shape and the sheet-like conductor 13 is wound around the piezoelectric sheet 11 has been described. However, as shown in FIG. Alternatively, the piezoelectric sheet 11 may be accommodated in the bag-shaped conductor 13 and a part of the bag-shaped conductor 13 may be laminated on the piezoelectric sheet 11. Also in this case, a portion 13a of the bag-like conductor 13 that covers the signal electrode 12 functions as a shield electrode of the signal electrode 12. The portion 13a covering the signal electrode 12 is laminated on the signal electrode 12 via the electrical insulating sheet 16, and is not electrically connected to the signal electrode 12. Of the bag-like conductor 13, the portion 13b disposed on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11 acts as a ground electrode. The potential generated by the piezoelectric phenomenon in the piezoelectric sheet 11 can be measured through the signal electrode 12 using the ground electrode as a reference electrode. The bag-like conductor 13 is preferably not in contact with the end surface 11c of the piezoelectric sheet 11 because the charge generated in the piezoelectric sheet 11 can be detected more accurately. As the bag-shaped conductor 13, for example, one opening portion 133 is formed by integrating the outer peripheral edge portions except for one side of the flat rectangular surface portion 131 and the flat rectangular back surface portion 132. The bag-shaped conductor which has is mentioned. The bag-shaped conductor is composed of, for example, a metal foil, a metal net, a conductive sheet having a conductive film on the surface, and the like. When the bag-shaped conductor is formed from a conductive sheet having a conductive film on the surface, the bag-shaped conductor is configured so that the conductive film is on the inside. Further, the portion 13b of the bag-like conductor 13 laminated on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11 may be laminated and integrated on the piezoelectric sheet 11 via the fixing agent layer.

又、図１では、シート状の導電体13を圧電シート11に一巻した場合を説明したが、図５に示したように、シート状の導電体13を中央部から屈曲させ、導電体13の一半部によってシグナル電極12を全面的に覆い、シグナル電極12を覆っている部分13aをシグナル電極12のシールド電極とすると共に、導電体13の他半部を圧電シート11（好ましくは圧電シート11の第二の面11b）上に積層させてもよい。導電体13の他半部は、圧電シート11の第二の面11b上に積層されることによってグランド電極として作用する。圧電シート11にて圧電現象によって発生した電位は、グランド電極を基準電極としてシグナル電極12を通じて測定可能に構成されている。この場合も、シート状の導電体13は、圧電シート11にて発生した電荷の検出がより正確となるので、圧電シート11の端面11cに接触していないことが好ましい。又、導電体13の他半部は、圧電シート11に上記固定剤層を介して積層されていてもよい。   In FIG. 1, the case where the sheet-like conductor 13 is wound around the piezoelectric sheet 11 has been described. However, as shown in FIG. 5, the sheet-like conductor 13 is bent from the central portion, and the conductor 13 is bent. The signal electrode 12 is entirely covered by one half, and a portion 13a covering the signal electrode 12 is used as a shield electrode of the signal electrode 12, and the other half of the conductor 13 is formed by the piezoelectric sheet 11 (preferably the piezoelectric sheet 11). May be laminated on the second surface 11b). The other half of the conductor 13 acts as a ground electrode by being laminated on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11. The potential generated by the piezoelectric phenomenon in the piezoelectric sheet 11 can be measured through the signal electrode 12 using the ground electrode as a reference electrode. Also in this case, it is preferable that the sheet-like conductor 13 is not in contact with the end face 11c of the piezoelectric sheet 11 because the charge generated in the piezoelectric sheet 11 can be detected more accurately. The other half of the conductor 13 may be laminated on the piezoelectric sheet 11 with the fixing agent layer interposed therebetween.

更に、シグナル電極12には第一導電線14が電気的に接続されていると共に、導電体13にも第二導電線15が電気的に接続されている。なお、シグナル電極12及び導電体13への第一、第二導電線14、15の接続は汎用の方法が用いられればよい。   Further, the first conductive wire 14 is electrically connected to the signal electrode 12, and the second conductive wire 15 is also electrically connected to the conductor 13. A general-purpose method may be used for connection of the first and second conductive wires 14 and 15 to the signal electrode 12 and the conductor 13.

圧電センサＡを使用するにあたっては、第一導電線14を測定モジュールに接続する一方、第二導電線15を二つに分岐して一方を第一導電線14を接続させている測定モジュールに接続させると共に他方にアースをとる。圧電シート11がその厚み方向に圧縮されると、圧電シート内に分極状態で保持された正電荷と負電荷が互いに相対変位することによって圧電シート11の表面に電荷が発生する。圧電シート11にて発生した電荷は電位として、導電体13の一部分13bから構成されたグランド電極を基準電極としてシグナル電極12を通じて測定される。   In using the piezoelectric sensor A, the first conductive wire 14 is connected to the measurement module, while the second conductive wire 15 is branched into two and one is connected to the measurement module to which the first conductive wire 14 is connected. And ground the other. When the piezoelectric sheet 11 is compressed in the thickness direction, a positive charge and a negative charge held in a polarized state in the piezoelectric sheet are displaced relative to each other, thereby generating a charge on the surface of the piezoelectric sheet 11. The electric charge generated in the piezoelectric sheet 11 is measured as a potential through the signal electrode 12 using a ground electrode formed of a part 13b of the conductor 13 as a reference electrode.

上記圧電センサＡでは、導電体13はその表面において導電性を有している場合を説明したが、導電体13は、内部に導電層13cを有しておれば、表面が電気絶縁層13d、13dによって形成されていてもよい。   In the above-described piezoelectric sensor A, the case where the conductor 13 has conductivity on the surface has been described. However, if the conductor 13 has the conductive layer 13c inside, the surface is electrically insulating layer 13d, It may be formed by 13d.

具体的には、図６及び図７に示したように、導電体13はシート状に形成されており、アルミニウム箔などの金属箔や蒸着膜などの導電層13cと、この導電層13cの両面に積層一体化された電気絶縁層13d、13dとを有している。   Specifically, as shown in FIGS. 6 and 7, the conductor 13 is formed in a sheet shape, and a conductive layer 13c such as a metal foil such as an aluminum foil or a deposited film, and both surfaces of the conductive layer 13c. Electrical insulating layers 13d and 13d laminated and integrated.

表面が電気絶縁層13d、13dから構成されたシート状の導電体13は、図１に示した圧電センサＡと同様に圧電シート11に一巻きされ、シート状の導電体13における導電層13cの一部分13c1がシグナル電極12を全面的に覆っていると共に、シート状の導電体13における導電層13cの他の一部分13c2が圧電シート11の第二の面11b上に積層された状態となっている。なお、シート状の導電体13の表面は電気絶縁層13d、13dから構成されていることから、シグナル電極12上に、シグナル電極12と導電体13とを電気的に隔絶するための電気絶縁シートは必要ない。一方、シート状の導電体13の導電層13cの一部分13c2をグランド電極として作用させるために、例えば、下記の方法が採用される。シート状の導電体13にピアス端子17をその厚み方向に貫通した状態に打ち込み、導電層13cの一部分13c2とピアス端子17とを電気的に接続させ、ピアス端子17を介して導電層13cの一部分13c2にアースをとるなどして導電層13cの一部分13c2をグランド電極として作用させる。圧電シート11にて圧電現象によって発生した電位は、グランド電極を基準電極としてシグナル電極12を通じて測定可能に構成されている。又、導電体13の導電層13cと第二導電線15とは、ピアス端子17に第二導電線15を電気的に接続させることによって、第二導電線15と導電層13cとをピアス端子17を介して電気的に接続させればよい。又、図４に示した圧電センサＡのように、導電体13は袋状に形成されていてもよい。袋状の導電体の導電層の一部分をグランド電極として作用させるために、例えば、上述と同様に、ピアス端子を用いればよい。図５に示した圧電センサＡのように、導電体13は圧電シート11に一巻きされることなく、シート状の導電体13が二つ折り状態とされており、導電体13の一半部と他半部との間に圧電シート11が配設されていてもよい。具体的には、図８に示したように、シート状の導電体13を中央部から屈曲させ、導電体13の導電層13cの一半部13c1によってシグナル電極12を全面的に覆い、シグナル電極12を覆っている導電層の一半部13c1をシグナル電極12のシールド電極とする。導電体13の導電層13cの他半部13c2を圧電シート11（好ましくは圧電シート11の第二の面11b）上に積層して上述と同様の要領でグランド電極として作用させる。このようにして圧電センサＡを構成してもよい。導電層13cの他半部13c2をグランド電極として作用させるために、例えば、上述と同様に、ピアス端子を用いればよい。図１〜５に示した圧電センサＡと同様の構成については同一符号を付してその説明を省略する。   The sheet-like conductor 13 whose surface is composed of the electrical insulating layers 13d and 13d is wound around the piezoelectric sheet 11 similarly to the piezoelectric sensor A shown in FIG. The portion 13c1 covers the entire surface of the signal electrode 12, and the other portion 13c2 of the conductive layer 13c in the sheet-like conductor 13 is laminated on the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11. . In addition, since the surface of the sheet-like conductor 13 is composed of the electric insulating layers 13d and 13d, the electric insulating sheet for electrically isolating the signal electrode 12 and the electric conductor 13 on the signal electrode 12 Is not necessary. On the other hand, in order to cause the portion 13c2 of the conductive layer 13c of the sheet-like conductor 13 to act as a ground electrode, for example, the following method is employed. Piercing the sheet-like conductor 13 through the pierce terminal 17 in the thickness direction, electrically connecting the portion 13c2 of the conductive layer 13c and the pierce terminal 17, and a portion of the conductive layer 13c through the pierce terminal 17 A portion 13c2 of the conductive layer 13c is made to act as a ground electrode by grounding the 13c2. The potential generated by the piezoelectric phenomenon in the piezoelectric sheet 11 can be measured through the signal electrode 12 using the ground electrode as a reference electrode. Further, the conductive layer 13c of the conductor 13 and the second conductive line 15 are electrically connected to the pierced terminal 17 so that the second conductive line 15 and the conductive layer 13c are connected to the pierced terminal 17 It may be electrically connected via Further, like the piezoelectric sensor A shown in FIG. 4, the conductor 13 may be formed in a bag shape. In order to make a part of the conductive layer of the bag-like conductor act as a ground electrode, for example, a pierce terminal may be used in the same manner as described above. Like the piezoelectric sensor A shown in FIG. 5, the conductor 13 is not wound around the piezoelectric sheet 11, and the sheet-like conductor 13 is folded in half. A piezoelectric sheet 11 may be disposed between the half portions. Specifically, as shown in FIG. 8, the sheet-like conductor 13 is bent from the center, and the signal electrode 12 is entirely covered with the half portion 13 c 1 of the conductive layer 13 c of the conductor 13. One half 13c1 of the conductive layer covering the signal electrode 12 is used as a shield electrode of the signal electrode 12. The other half 13c2 of the conductive layer 13c of the conductor 13 is laminated on the piezoelectric sheet 11 (preferably the second surface 11b of the piezoelectric sheet 11), and acts as a ground electrode in the same manner as described above. In this way, the piezoelectric sensor A may be configured. In order to cause the other half portion 13c2 of the conductive layer 13c to function as a ground electrode, for example, a pierce terminal may be used as described above. The same components as those of the piezoelectric sensor A shown in FIGS.

（関連出願の相互参照）
本出願は、２０１４年３月１０日に出願された日本国特許出願第２０１４−４６３３０に基づく優先権を主張し、この出願の開示はこれらの全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。 (Cross-reference of related applications)
This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2014-46330 filed on Mar. 10, 2014, the disclosure of which is incorporated herein by reference in its entirety.

本発明の圧電センサは、振動を検出するためのセンサとして好適に用いることができる。センサとしては、脈波、呼吸、体動などの生体信号を検出するための生体信号センサ、路上を通行する車両又は人によって生じる振動を検出する通行センサなどが挙げられる。   The piezoelectric sensor of the present invention can be suitably used as a sensor for detecting vibration. Examples of the sensor include a biological signal sensor for detecting a biological signal such as a pulse wave, respiration, and body movement, and a passage sensor for detecting vibration generated by a vehicle or a person traveling on the road.

11 圧電シート
12 シグナル電極
13 導電体
14 第一導電線
15 第二導電線
16 電気絶縁シート
17 ピアス端子
Ａ 圧電センサ 11 Piezoelectric sheet
12 Signal electrode
13 Conductor
14 First conductive wire
15 Second conductive wire
16 Electrical insulation sheet
17 Pierce Terminal A Piezoelectric Sensor

Claims (4)

圧電シートと、上記圧電シートの第一の面に積層一体化されたシグナル電極と、上記シグナル電極と電気的に非接続状態にて上記シグナル電極を覆い且つ一部分がグランド電極として作用する導電体と、上記シグナル電極に電気的に接続された第一導電線と、上記導電体に電気的に接続された第二導電線とを有しており、上記導電体が袋状に形成されており、上記袋状の導電体のうち、圧電シートの第二の面上に積層された部分は、圧電シート上に固定剤層を介して積層一体化されていると共に、上記袋状の導電体は、上記圧電シートの端面に接触していないことを特徴とする圧電センサ。 A piezoelectric sheet, a signal electrode laminated and integrated on the first surface of the piezoelectric sheet, and a conductor that covers the signal electrode in a state of being electrically disconnected from the signal electrode and that partially acts as a ground electrode The first conductive line electrically connected to the signal electrode and the second conductive line electrically connected to the conductor , the conductor is formed in a bag shape, Of the bag-shaped conductor, the portion laminated on the second surface of the piezoelectric sheet is laminated and integrated on the piezoelectric sheet via a fixing agent layer, and the bag-shaped conductor is A piezoelectric sensor, wherein the piezoelectric sheet is not in contact with an end face of the piezoelectric sheet . 導電体が一枚の導電シートから形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサ。 The piezoelectric sensor according to claim 1, wherein the conductor is formed of a single conductive sheet. 圧電シートがポリオレフィン系樹脂を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電センサ。 The piezoelectric sensor according to claim 1 or 2 , wherein the piezoelectric sheet contains a polyolefin-based resin. 圧電シートが発泡シートであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の圧電センサ。 The piezoelectric sensor according to any one of claim 1 to 3, wherein the piezoelectric sheet is a foamed sheet.
JP2018218092A 2014-03-10 2018-11-21 Piezoelectric sensor Active JP6574889B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014046330 2014-03-10
JP2014046330 2014-03-10

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015515064A Division JPWO2015137251A1 (en) 2014-03-10 2015-03-06 Piezoelectric sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019056710A true JP2019056710A (en) 2019-04-11
JP6574889B2 JP6574889B2 (en) 2019-09-11

Family

ID=54071697

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015515064A Pending JPWO2015137251A1 (en) 2014-03-10 2015-03-06 Piezoelectric sensor
JP2018218092A Active JP6574889B2 (en) 2014-03-10 2018-11-21 Piezoelectric sensor

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015515064A Pending JPWO2015137251A1 (en) 2014-03-10 2015-03-06 Piezoelectric sensor

Country Status (3)

Country Link
JP (2) JPWO2015137251A1 (en)
TW (1) TWI650537B (en)
WO (1) WO2015137251A1 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9660610B2 (en) * 2014-05-30 2017-05-23 Kyocera Crystal Device Corporation Crystal device and mounting arrangement
WO2017126052A1 (en) 2016-01-20 2017-07-27 フジデノロ株式会社 System for boron neutron capture therapy
JP6775211B2 (en) * 2016-08-29 2020-10-28 積水化学工業株式会社 Piezoelectric sensor structure
EP3694007A1 (en) * 2019-02-05 2020-08-12 Koninklijke Philips N.V. Sensor comprising an interconnect having a carrier film
JP7391077B2 (en) 2019-02-18 2023-12-04 株式会社バルカー Piezoelectric sensor and piezoelectric sensor manufacturing method
JP2020134444A (en) * 2019-02-25 2020-08-31 ロボセンサー技研株式会社 Piezoelectric sensor
JP7464247B2 (en) * 2019-12-12 2024-04-09 国立大学法人山形大学 Biometric information detection device
EP3907769A1 (en) * 2020-05-08 2021-11-10 Koninklijke Philips N.V. Sensor comprising an interconnect and an interventional medical device using the same

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3894243A (en) * 1974-06-06 1975-07-08 Us Navy Polymeric transducer array
JPH02179430A (en) * 1988-10-12 1990-07-12 Polysens Spa Transducer for detecting dynamic power and apparatus and method for measurement and control containing the same
JPH07237484A (en) * 1994-03-01 1995-09-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd In-seat detecting device
JPH0875575A (en) * 1994-09-02 1996-03-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Piezoelectric sensor
JP2009074571A (en) * 2007-09-19 2009-04-09 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Clogging detection system
JP2009260063A (en) * 2008-04-17 2009-11-05 Kaneka Corp Electret composes of polyphenylene ether system foam

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000277825A (en) * 1999-03-23 2000-10-06 Tokai Rubber Ind Ltd Piezoelectric element
JP2001291906A (en) * 2000-04-07 2001-10-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flexible piezoelectric element
US6670866B2 (en) * 2002-01-09 2003-12-30 Nokia Corporation Bulk acoustic wave resonator with two piezoelectric layers as balun in filters and duplexers
JP4761186B2 (en) * 2005-03-10 2011-08-31 独立行政法人産業技術総合研究所 Swimming element using a switching element and a switching element
JP5036412B2 (en) * 2007-06-05 2012-09-26 エルメック電子工業株式会社 Piezoelectric sensors and electronic stringed instruments

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3894243A (en) * 1974-06-06 1975-07-08 Us Navy Polymeric transducer array
JPH02179430A (en) * 1988-10-12 1990-07-12 Polysens Spa Transducer for detecting dynamic power and apparatus and method for measurement and control containing the same
JPH07237484A (en) * 1994-03-01 1995-09-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd In-seat detecting device
JPH0875575A (en) * 1994-09-02 1996-03-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Piezoelectric sensor
JP2009074571A (en) * 2007-09-19 2009-04-09 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Clogging detection system
JP2009260063A (en) * 2008-04-17 2009-11-05 Kaneka Corp Electret composes of polyphenylene ether system foam

Also Published As

Publication number Publication date
TW201534880A (en) 2015-09-16
WO2015137251A1 (en) 2015-09-17
JPWO2015137251A1 (en) 2017-04-06
TWI650537B (en) 2019-02-11
JP6574889B2 (en) 2019-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6574889B2 (en) Piezoelectric sensor
JP6234858B2 (en) Piezoelectric sensor
TWI669370B (en) Pressure sensor
JP6013120B2 (en) Piezoelectric sensor
JP6279330B2 (en) Object detection sheet and living body detection system using the same
JP6168891B2 (en) Biological signal sensor system
JP6294177B2 (en) Piezoelectric sensor
JP2015014550A (en) Piezoelectric sensor sheet original fabric and piezoelectric device
CN104655945A (en) Device and method for measuring space charge distribution of oil-paper combination insulating component
JP6066773B2 (en) Method for manufacturing piezoelectric sensor
JP2012023559A (en) Electrostatic speaker
JP6110267B2 (en) Piezoelectric sensor structure
JP6126388B2 (en) Biological signal sensor and biological signal sensor system using the same
JP2015068643A (en) Rainfall detection system
JP2014169945A (en) Piezoelectric sensor
JP2017062200A (en) Piezoelectric sensor structure
JP2015012987A (en) Biological signal sensor
JP6074331B2 (en) Piezoelectric sensor
JP2017151038A (en) Piezoelectric sensor
JP2014135308A (en) Method for manufacturing piezoelectric sensor
JP6087645B2 (en) Biological signal sensor
JP7198189B2 (en) Piezoelectric sheet, manufacturing method thereof, and piezoelectric sensor
JP2017067772A (en) Piezoelectric sensor structure
JP2016020814A (en) Piezoelectric sensor switch
JP2020202357A (en) Piezoelectric sensor and laminate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181121

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190514

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190711

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190723

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190819

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6574889

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151