JP2019056582A - Inspection device and inspection method - Google Patents

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Takahiro Inamura
隆宏 稲村
一平 高橋
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Abstract

To provide an inspection device and an inspection method capable of properly illuminating inside of an inspection object.SOLUTION: The inspection device 10 includes: a light guide rod 40 for illuminating an inner peripheral surface of a cylindrical body 12; a camera 16 for photographing the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 through a front end opening 30; and a control part 20 for inspecting the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 on the basis of an image taken by the camera 16. A front end 40a of the light guide rod is inserted into the cylindrical body 12 through a rear end opening 32. The light guide rod guides illumination light incident from a rear end to the front end 40a. The front end 40a of the light guide rod 40 is provided with a side emission part 42 on an outer peripheral surface thereof, and a front end emission part 44 is provided on a front end surface thereof. The side emission part 42 and the front end emission part 44 are roughened in the form of a satin-finished surface, and illumination light guided to the front end 40a is diffused to be emitted through the side emission part 42 and the front end emission part 44.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、円筒状の被検査物の内周面を検査する検査装置、検査方法に関する。   The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method for inspecting an inner peripheral surface of a cylindrical inspection object.

円筒状の被検査物の内周面をカメラで撮影して検査を行う検査装置が知られている。このような検査装置では、カメラの撮影範囲を照明装置により照明している。例えば、下記特許文献1、2、4では、円錐状または球面状の反射面を有する導光部材を被検査物の内部に挿入し、反射面に対して照明光を照射し、反射した照明光により被検査物の内周面を照明している。また、下記特許文献3では、被検査物の外部から被検査物の内周面を照明している。   2. Description of the Related Art Inspection apparatuses that perform inspection by photographing an inner peripheral surface of a cylindrical inspection object with a camera are known. In such an inspection apparatus, the imaging range of the camera is illuminated by an illumination device. For example, in the following Patent Documents 1, 2, and 4, a light guide member having a conical or spherical reflecting surface is inserted into an object to be inspected, illumination light is irradiated to the reflecting surface, and reflected illumination light. Illuminates the inner peripheral surface of the object to be inspected. Moreover, in the following patent document 3, the inner peripheral surface of the inspection object is illuminated from the outside of the inspection object.

特開2009−069374号公報JP 2009-069374 A 特開2003−302352号公報JP 2003-302352 A 特開2011−069616号公報JP 2011-066961 A 特開平06−109644号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-109644

しかしながら、従来の装置では、被検査物の内部を適切に照明できないといった問題があった。具体的には、特許文献1、2、4のように、照明光を単に反射面で反射させるだけでは、照射範囲が狭く、また、照射範囲を均質に照明することも難しい。また、特許文献2のように、被検査物の外部から照明を行う場合、照明効率が悪く、また、照明範囲を均質に照明することも難しい。そして、このように、被検査物の内部が適切に照明されていないと、検査効率及び/または検査精度が低下してしまう。   However, the conventional apparatus has a problem that the inside of the inspection object cannot be properly illuminated. Specifically, as in Patent Documents 1, 2, and 4, the illumination range is narrow and it is difficult to uniformly illuminate the illumination range simply by reflecting the illumination light on the reflecting surface. Further, as in Patent Document 2, when illumination is performed from the outside of the object to be inspected, the illumination efficiency is poor, and it is difficult to uniformly illuminate the illumination range. In this way, if the inside of the inspection object is not properly illuminated, the inspection efficiency and / or the inspection accuracy is lowered.

本発明は、上記背景を鑑みてなされたものであり、被検査物の内部をより適切に照明することにより、検査効率及び/または検査精度を向上できる検査装置、検査方法提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above background, and an object thereof is to provide an inspection apparatus and an inspection method that can improve inspection efficiency and / or inspection accuracy by more appropriately illuminating the inside of an inspection object. Yes.

上記目的を達成するために、本発明の検査装置は、一端に第1開口、他端に第2開口が形成された円筒状の被検査物の内周面を検査する検査装置において、棒状に形成され、先端部が第1開口を介して被検査物の内部に挿入された状態で配置され、後端部から入射した照明光を先端部に導光し、先端部に設けられた光出射部から被検査物の内周面へ向けて出射させる導光ロッドと、光出射部から出射した照明光により照明された被検査物の内周面を、第2開口を介して撮影するカメラと、カメラにより撮影された画像に基づいて被検査物の内周面の欠陥部位を検出する欠陥部位検出部と、を備え、光出射部は、梨地状に粗面化され、照明光は、光出射部により拡散されて出射され、導光ロッドは、先端部の外周面に、光出射部が設けられるとともに、先端部の先端面に、光出射部または遮光性を有する遮光部が設けられている。   In order to achieve the above object, an inspection apparatus of the present invention is a rod-shaped inspection apparatus for inspecting an inner peripheral surface of a cylindrical inspection object having a first opening at one end and a second opening at the other end. Formed and disposed with the front end portion inserted into the object to be inspected through the first opening, guiding illumination light incident from the rear end portion to the front end portion, and light emission provided at the front end portion A light guide rod that emits light from the portion toward the inner peripheral surface of the inspection object, and a camera that photographs the inner peripheral surface of the inspection object illuminated by the illumination light emitted from the light emitting portion via the second opening. A defect site detector that detects a defect site on the inner peripheral surface of the object to be inspected based on an image photographed by the camera, the light emitting unit is roughened into a satin finish, and the illumination light is light When the light guide rod is provided with a light emitting part on the outer peripheral surface of the tip part, it is emitted by being diffused by the emitting part. Moni, the distal end surface of the distal end portion, the light shielding portion having a light emitting portion or the light shielding property is provided.

先端面に光出射部が設けられるとともに、先端面が平面状に形成されているものでもよい。   A light emitting portion may be provided on the front end surface, and the front end surface may be formed in a flat shape.

先端面に光出射部が設けられるとともに、先端面が球面状に形成されているものでもよい。   A light emitting portion may be provided on the tip surface, and the tip surface may be formed in a spherical shape.

先端面に遮光部が設けられるとともに、遮光部のうち導光ロッドの後端部側の面は、光を反射する反射面であってもよい。   A light shielding portion is provided on the front end surface, and a surface on the rear end side of the light guide rod in the light shielding portion may be a reflective surface that reflects light.

カメラは、被検査物の軸方向に対して傾いた角度から被検査物の内周面を撮影するものでもよい。   The camera may take an image of the inner peripheral surface of the inspection object from an angle inclined with respect to the axial direction of the inspection object.

被検査物を、回転させる回転機構を備え、カメラは、被検査物が所定角度回転する毎に撮影を繰り返すものでもよい。   A rotation mechanism for rotating the object to be inspected may be provided, and the camera may repeat imaging every time the object to be inspected rotates a predetermined angle.

被検査物は、内径が異なる複数の部位が軸方向に沿って並べられているものでもよい。   The inspection object may be one in which a plurality of parts having different inner diameters are arranged along the axial direction.

カメラにより、被検査物の端部の開口のうち、内径の大きい開口を介して撮影を行ってもよい。   You may image | photograph through an opening with a large internal diameter among opening of the edge part of a to-be-inspected object with a camera.

また、上記目的を達成するために、本発明の検査方法は、一端に第1開口、他端に第2開口が形成された円筒状の被検査物の内周面を検査する検査方法において、棒状の導光ロッドを、先端部が第1開口を介して被検査物の内部に挿入された状態で配置し、導光ロッドの後端部から入射した照明光を導光ロッドの先端部に導光し、先端部に設けられた光出射部から被検査物の内周面へ向けて出射させることにより被検査物の内周面を照明し、照明光により照明された被検査物の内周面を第2開口を介してカメラで撮影する撮影ステップと、撮影ステップで撮影された画像に基づいて被検査物の内周面の欠陥部位を検出する欠陥部位検出ステップと、を備え、光出射部は、梨地状に粗面化され、照明光は、光出射部により拡散されて出射され、導光ロッドは、先端部の外周面に、光出射部が設けられるとともに、先端部の先端面に、光出射部または遮光性を有する遮光部が設けられている。   In order to achieve the above object, the inspection method of the present invention is an inspection method for inspecting an inner peripheral surface of a cylindrical inspection object having a first opening at one end and a second opening at the other end. A rod-shaped light guide rod is arranged in a state where the tip end portion is inserted into the inspection object through the first opening, and illumination light incident from the rear end portion of the light guide rod is placed on the tip end portion of the light guide rod. The inner peripheral surface of the inspection object is illuminated by being guided and emitted toward the inner peripheral surface of the object to be inspected from the light emitting portion provided at the tip, and the inside of the inspection object illuminated by the illumination light A photographing step of photographing the peripheral surface with a camera through the second opening, and a defective part detecting step for detecting a defective part of the inner peripheral surface of the inspection object based on the image photographed in the photographing step, The emission part is roughened into a satin finish, and the illumination light is diffused and emitted by the light emission part, Light rods, the outer peripheral surface of the distal end portion, together with the light emitting portion is provided, on the distal end surface of the distal end portion, the light shielding portion having a light emitting portion or the light shielding property is provided.

本発明は、導光ロッドの周面及び端面(先端面)に工夫を施して、被検査物の内部をより適切に照明できるようにしたので、検査効率及び/または検査精度を向上できる。   According to the present invention, the peripheral surface and the end surface (tip surface) of the light guide rod are devised so that the inside of the inspection object can be illuminated more appropriately, so that the inspection efficiency and / or inspection accuracy can be improved.

検査装置の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of an inspection apparatus. 円筒体と照明装置の説明図である。It is explanatory drawing of a cylindrical body and an illuminating device. カメラで撮影された画像の説明図である。It is explanatory drawing of the image image | photographed with the camera. カメラと円筒体との位置関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the positional relationship of a camera and a cylindrical body. 導光ロッドの説明図である。It is explanatory drawing of a light guide rod. 導光ロッドの説明図である。It is explanatory drawing of a light guide rod. 導光ロッドの説明図である。It is explanatory drawing of a light guide rod. 導光ロッドの説明図である。It is explanatory drawing of a light guide rod.

図1に、本発明の検査装置10を示す。検査装置10は、被検査物である円筒体12の内周表面(内周面)を検査(キズ、打痕、バリ、混入異物などの欠陥(欠陥部位)を検出)するために用いられる。検査装置10は、回転機構14と、カメラ16と、照明装置18と、制御部20(欠陥部位検出部)とを備え、円筒体12は、カメラ16と照明装置18との間に配置され、回転機構14によって軸周りに回転自在に支持されている。   FIG. 1 shows an inspection apparatus 10 of the present invention. The inspection apparatus 10 is used for inspecting the inner peripheral surface (inner peripheral surface) of the cylindrical body 12 that is an object to be inspected (detecting defects (defects) such as scratches, dents, burrs, and contaminants). The inspection apparatus 10 includes a rotation mechanism 14, a camera 16, an illumination device 18, and a control unit 20 (defective part detection unit), and the cylindrical body 12 is disposed between the camera 16 and the illumination device 18, The rotating mechanism 14 is rotatably supported around the axis.

図2に示すように、円筒体12は、内径の異なる3つの部位12a、12b、12cが軸方向に沿って並べられており、部位12aと部位12bとがテーバー状の連結部12xを介して連結され、部位12bと部位12cとが階段状の連結部12yを介して連結されている。また、円筒体12は、部位12a側(前側)に先端開口30(第2開口)が形成され、部位12c側(後側)に後端開口32(第1開口)が形成されており、先端開口30の方が後端開口32よりも大径に形成されている(部位12cよりも部位12aの方が内径が大径に形成されている)。そして、円筒体12は、先端開口30を前方のカメラ16側へ向け、後端開口32を後方の照明装置18側へ向けた状態で配置されている(図1参照)。   As shown in FIG. 2, the cylindrical body 12 has three portions 12a, 12b, and 12c having different inner diameters arranged in the axial direction, and the portions 12a and 12b are connected via a taber-like connecting portion 12x. The part 12b and the part 12c are connected via the step-like connection part 12y. The cylindrical body 12 has a front end opening 30 (second opening) formed on the part 12a side (front side) and a rear end opening 32 (first opening) formed on the part 12c side (rear side). The opening 30 has a larger diameter than the rear end opening 32 (the portion 12a has a larger inner diameter than the portion 12c). The cylindrical body 12 is disposed with the front end opening 30 facing the front camera 16 and the rear end opening 32 facing the rear lighting device 18 (see FIG. 1).

なお、本実施形態では、被検査物として円筒体12を検査する例で説明を行うが、被検査物は円筒体12に限定されない。被検査物は、円筒状であれば良いので、内径の異なる部位の数、連結部の有無などが円筒体12とは異なる被検査物を検査してもよい。   In the present embodiment, an example in which the cylindrical body 12 is inspected as an inspection object will be described. However, the inspection object is not limited to the cylindrical body 12. Since the object to be inspected may be cylindrical, the object to be inspected may differ from the cylindrical body 12 in terms of the number of parts having different inner diameters, the presence or absence of a connecting portion, and the like.

図1に戻り、回転機構14は、円筒体12の外周を支持するとともに、図示しない駆動力供給機構から駆動力の供給を受けて円筒体12を軸回りに回転させる。回転機構14は、制御部20に接続されており、円筒体12の回転及び停止及び回転中のスピードは、制御部20によって制御される。   Returning to FIG. 1, the rotating mechanism 14 supports the outer periphery of the cylindrical body 12, and receives the driving force supplied from a driving force supply mechanism (not shown) to rotate the cylindrical body 12 about the axis. The rotation mechanism 14 is connected to the control unit 20, and the rotation and stop of the cylindrical body 12 and the speed during rotation are controlled by the control unit 20.

カメラ16は、撮影を行うことにより画像データの形態で画像を取得する周知のデジタルカメラである。カメラ16は、円筒体12の前方に配置され、先端開口30を介して円筒体12の内周面を撮影する。カメラ16は、制御部20に接続されており、制御部20の制御のもとで撮影を行い、撮影により得られた画像46(図3参照)の画像データを制御部20に対して送信(出力)する。   The camera 16 is a well-known digital camera that acquires an image in the form of image data by shooting. The camera 16 is disposed in front of the cylindrical body 12 and photographs the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 through the tip opening 30. The camera 16 is connected to the control unit 20, performs imaging under the control of the control unit 20, and transmits image data of an image 46 (see FIG. 3) obtained by imaging to the control unit 20 ( Output.

なお、本実施形態では、円筒体12の軸方向に対して傾いた角度(方向)から撮影を行うようにカメラ16が配置されている。より具体的には、後述する導光ロッド40の上方から円筒体12の内周面のうち導光ロッド40の下方を中心とした範囲を撮影するように、カメラ16の配置位置及び撮影角度(向き)が決定されている。このようにカメラ16を配置することによって、円筒体12の軸の延長線上にカメラ16を配置し、円筒体12の軸方向から撮影を行う場合(図4参照)と比較して、円筒体12の内周面(図1の例では、円筒体12の内周面のうち導光ロッド40の下方の領域)をより大きく撮影できる(より垂直に近い方向から撮影できる)ので、検査精度を向上できる。   In the present embodiment, the camera 16 is arranged so as to perform photographing from an angle (direction) inclined with respect to the axial direction of the cylindrical body 12. More specifically, the arrangement position and the shooting angle of the camera 16 (shooting angle) so as to shoot a range around the lower part of the light guide rod 40 in the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 from above the light guide rod 40 described later. Orientation) has been determined. By arranging the camera 16 in this way, the cylindrical body 12 is compared with the case where the camera 16 is arranged on an extension line of the axis of the cylindrical body 12 and photographing is performed from the axial direction of the cylindrical body 12 (see FIG. 4). The inner peripheral surface (in the example of FIG. 1, the region below the light guide rod 40 in the inner peripheral surface of the cylindrical body 12) can be photographed larger (capturing can be performed from a direction closer to the vertical), thus improving the inspection accuracy. it can.

図1,図2において、照明装置18は、光源装置34と、導光ロッド40とを備えている。光源装置34は、内部に光源が配置されており、光源からの照明光を前方へ向けて照射する。導光ロッド40は、透明な部材(ガラス、プラスチックなど)を用いて棒状(円柱状)に形成されており、本実施形態では、全長が120mm、直径が3mmとなっている。導光ロッド40は、先端部40aが後端開口32から円筒体12の内部に挿入された状態で配置されている。導光ロッド40の後端面(後端部)は平面となっており、この後端面の背後に光源装置34が配置されている。そして、光源装置34から出射した照明光は、導光ロッド40の後端面から導光ロッド40の内部に入射し、導光ロッド40の先端部40a(すなわち、円筒体12の内部)へと導光される。   1 and 2, the lighting device 18 includes a light source device 34 and a light guide rod 40. The light source device 34 has a light source disposed therein and irradiates illumination light from the light source forward. The light guide rod 40 is formed in a rod shape (columnar shape) using a transparent member (glass, plastic, etc.). In this embodiment, the total length is 120 mm and the diameter is 3 mm. The light guide rod 40 is arranged in a state where the front end portion 40 a is inserted into the cylindrical body 12 from the rear end opening 32. The rear end surface (rear end portion) of the light guide rod 40 is a flat surface, and the light source device 34 is disposed behind the rear end surface. The illumination light emitted from the light source device 34 enters the light guide rod 40 from the rear end surface of the light guide rod 40 and is guided to the tip end portion 40a of the light guide rod 40 (that is, inside the cylindrical body 12). Lighted.

導光ロッド40の先端部40a(本実施形態では、導光ロッド40の先端から15mmの範囲)には、側面出射部42(光出射部)と、先端出射部44(光出射部)とが設けられている。側面出射部42は、先端部40aの側面(周面)に設けられた光出射部であり、本実施形態では、先端部40aの側面を全周に渡って梨地状に粗面化(本実施形態では、200番のサンドペーパー相当に粗面化)することによって形成されている。そして、光源からの照明光のうち、側面出射部42に到達した照明光は、この側面出射部42を介することにより拡散されて出射される。   At the front end portion 40a of the light guide rod 40 (in this embodiment, a range of 15 mm from the front end of the light guide rod 40), there are a side surface emitting portion 42 (light emitting portion) and a front end emitting portion 44 (light emitting portion). Is provided. The side surface emitting portion 42 is a light emitting portion provided on the side surface (circumferential surface) of the tip end portion 40a. In this embodiment, the side surface of the tip end portion 40a is roughened into a satin finish over the entire circumference (this embodiment). In the form, it is formed by roughening (equivalent to a sandpaper of No. 200). Of the illumination light from the light source, the illumination light that has reached the side surface emitting section 42 is diffused and emitted through the side surface emitting section 42.

このように、側面出射部42から照明光を拡散して出射させることにより、側面出射部42から照明光を拡散させずに出射させた場合と比較して、円筒体12の軸方向について、より広い範囲を照明できる。また、照明光が拡散されることにより均斉化されるため、照明範囲をより均質に照明できる。特に、本実施形態のように、内径の異なる複数の部位が連結部を介して連結されている場合、照明光を拡散させずに出射させると連結部などに影が生じてしまうといった問題があるが、照明光を拡散して出射させることにより、このような問題(連結部分などに生じる影)ついても防止できる。   In this way, by diffusing and emitting the illumination light from the side emission part 42, the axial direction of the cylindrical body 12 can be further improved as compared with the case where the illumination light is emitted from the side emission part 42 without being diffused. Can illuminate a wide range. Further, since the illumination light is leveled by being diffused, the illumination range can be illuminated more uniformly. In particular, when a plurality of parts having different inner diameters are connected via a connecting part as in this embodiment, there is a problem that if the illumination light is emitted without being diffused, a shadow is generated on the connecting part. However, by diffusing and emitting the illumination light, it is possible to prevent such a problem (a shadow generated in the connection portion or the like).

先端出射部44は、先端部40aの端面(先端面)に設けられた光出射部であり、本実施形態では、先端部40aの端面を半球状(球面状)に形成するとともに、この半球状の先端面全体を梨地状に粗面化(本実施形態では、200番のサンドペーパー相当に粗面化)することによって形成されている。そして、光源からの照明光のうち、先端出射部44に到達した照明光は、この先端出射部44を介することにより拡散されて出射される。   The tip emitting portion 44 is a light emitting portion provided on the end surface (tip surface) of the tip portion 40a. In the present embodiment, the end surface of the tip portion 40a is formed in a hemispherical shape (spherical shape) and this hemispherical shape. It is formed by roughening the entire front end surface in a satin finish (in this embodiment, it is roughened to the equivalent of No. 200 sandpaper). Of the illuminating light from the light source, the illuminating light that reaches the tip emitting portion 44 is diffused and emitted through the tip emitting portion 44.

このように、側面(側面出射部42)だけでなく、先端面(先端出射部44)からも照明光を出射させることにより、側面からのみ照明光を出射させる場合と比較して、円筒体12の軸方向、特に、前方(先端開口30側)について、より広い範囲を照明できる。   In this way, the cylindrical body 12 is compared with the case where the illumination light is emitted only from the side surface by emitting the illumination light not only from the side surface (side emission portion 42) but also from the tip surface (tip emission portion 44). A wider range can be illuminated with respect to the axial direction, particularly the front side (tip opening 30 side).

特に、本実施形態のように円筒体12の軸方向に対して傾いた方向から円筒体12の内周面を撮影する場合、導光ロッド40が撮影の障害とならないように(導光ロッド40により円筒体12の内周面が遮られないように)、円筒体12の内部への導光ロッド40の挿入量はできるだけ少ない方が好ましい(図3参照)。これに対し、本実施形態では、導光ロッド40の先端面(先端出射部44)からも照明光を出射することで、円筒体12の内周面のうち導光ロッド40の先端よりも前方の部分についても照明するようにしたので、側面からのみ照明光を出射させる場合と比較して、導光ロッド40の挿入量を少なくできる。   In particular, when the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 is photographed from a direction inclined with respect to the axial direction of the cylindrical body 12 as in the present embodiment, the light guide rod 40 does not become an obstacle to photographing (the light guide rod 40). Therefore, it is preferable that the amount of the light guide rod 40 inserted into the cylindrical body 12 is as small as possible (see FIG. 3). On the other hand, in the present embodiment, the illumination light is also emitted from the distal end surface (the distal end emitting portion 44) of the light guide rod 40, so that the front side of the distal end of the light guide rod 40 on the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 is reached. Since this portion is also illuminated, the insertion amount of the light guide rod 40 can be reduced as compared with the case where the illumination light is emitted only from the side surface.

また、導光ロッド40の先端面(先端出射部44)から照明光を拡散して出射させることにより、先端面から照明光を拡散させずに出射させる場合と比較して、照明範囲をより均質に照明できる。さらに、本実施形態では、導光ロッド40の先端面を半球状に形成しており、導光ロッド40の側面と先端面とがなだらかに接続されているため、導光ロッド40の側面(側面出射部42)から出射した照明光により照明される範囲と、導光ロッド40の先端面(先端出射部44)から出射した照明光により照明される範囲との間に明るさの違いなどが生じてしまうといったこともない。   Further, by diffusing and emitting the illumination light from the distal end surface (the distal end emitting portion 44) of the light guide rod 40, the illumination range is more uniform than when emitting the illumination light from the distal end surface without diffusing. Can be illuminated. Furthermore, in this embodiment, the front end surface of the light guide rod 40 is formed in a hemispherical shape, and the side surface and the front end surface of the light guide rod 40 are gently connected. There is a difference in brightness between the range illuminated by the illumination light emitted from the emission part 42) and the range illuminated by the illumination light emitted from the distal end surface of the light guide rod 40 (front emission part 44). There is no such thing.

再び図1に戻り、制御部20には、回転機構14、カメラ16、照明装置18など検査装置10の各部が接続されており、制御部20は、これら接続された各部を駆動制御して円筒体12の内周の検査を行う。具体的には、照明装置18により円筒体12の内部を照明した状態で、回転機構14により円筒体12を一定速度で回転させながら、カメラ16により所定の周期で撮影を行う(円筒体12が所定角度回転する毎に撮影を行う)(撮影ステップ)。なお、本実施形態では、円筒体12を0.5秒で1回転させ、この間に50回の撮影を行っている。   Returning to FIG. 1 again, the control unit 20 is connected to each part of the inspection apparatus 10 such as the rotation mechanism 14, the camera 16, and the illumination device 18, and the control unit 20 drives and controls these connected parts to form a cylinder. The inner circumference of the body 12 is inspected. Specifically, in a state in which the inside of the cylindrical body 12 is illuminated by the illumination device 18, the camera 16 performs shooting at a predetermined cycle while rotating the cylindrical body 12 at a constant speed by the rotation mechanism 14 (the cylindrical body 12 is (Shooting is performed every time a predetermined angle is rotated) (shooting step). In the present embodiment, the cylindrical body 12 is rotated once in 0.5 seconds, and 50 images are taken during this time.

上述した撮影により、図3に示す画像46が得られる。図3において、画像46は、導光ロッド40の部位(部位12a、12b、12c、連結部12x、12yのいずれであるか)によって輝度が異なっている。また、画像46は、同じ部位であっても導光ロッド40からの照明光が円筒体12の内周面で正反射してカメラ16に到達する領域(導光ロッド40の下側の領域)の輝度が高く、これ以外の領域の輝度が低くなっている。そして、本実施形態では、円筒体12が1回転する間に画像46と同様の画像が50枚得られる。   The image 46 shown in FIG. 3 is obtained by the above-described photographing. In FIG. 3, the brightness of the image 46 varies depending on the portion of the light guide rod 40 (which of the portions 12 a, 12 b, 12 c and the connecting portions 12 x, 12 y). In addition, the image 46 is an area where the illumination light from the light guide rod 40 is regularly reflected by the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 and reaches the camera 16 (an area below the light guide rod 40) even in the same part. Is high, and the brightness of other areas is low. In this embodiment, 50 images similar to the image 46 are obtained while the cylindrical body 12 rotates once.

制御部20は、このようにして得られた画像(本実施形態では、1つの円筒体12対して50枚の画像)に基づいて、欠陥部位の検出を行う(欠陥部位検出ステップ)。   The control unit 20 detects a defective part based on the images thus obtained (in this embodiment, 50 images for one cylindrical body 12) (defective part detecting step).

欠陥部位は、正常部位と比較して導光ロッド40からの照明光の反射の態様が異なるため、欠陥部位を撮影した画像(欠陥部位が写っている画像)においては、欠陥部位が、欠陥の種類(傷、割れといった凹部であるか、ばり、異物の付着といった凸部であるかなど)に応じて、暗部(周辺の正常部位と比較して暗い部分)及び/または明部(周辺の正常部位と比較して明るい部分)となる。   Since the defect part differs in the aspect of reflection of the illumination light from the light guide rod 40 as compared with the normal part, in the image obtained by photographing the defect part (image showing the defect part), the defect part is Depending on the type (whether it is a concave part such as a scratch or a crack, or a convex part such as a flash or a foreign object), the dark part (dark part compared to the surrounding normal part) and / or the bright part (periphery normal part) It is a bright part compared to the part).

また、画像は、円筒体12を回転させながら撮影を行うことによって得られるため、共通の(同じ)欠陥部位であっても各々の画像における位置が異なる。   Moreover, since an image is obtained by performing imaging while rotating the cylindrical body 12, the position in each image is different even if it is a common (same) defect site.

制御部20は、上述した性質を利用し、連続して撮影された3枚の画像を比較することにより欠陥部位を検出する。   The control unit 20 uses the above-described properties to detect a defective portion by comparing three images that have been continuously captured.

具体的には、連続して撮影された3枚の画像の2枚目から1枚目を減算して第1差分画像を生成するとともに、2枚目から3枚目を減算して第2差分画像を生成する。   Specifically, the first difference image is generated by subtracting the first image from the second image of the three images taken continuously, and the second difference is calculated by subtracting the third image from the second image. Generate an image.

なお、本例では、2枚目の画像と1枚目の画像とで輝度(階調値)が同じ部分が中間階調(例えば、階調値「128」)となり、2枚目の画像の方が1枚目の画像よりも輝度(階調値)が高い部分が高階調(例えば、階調値「256」)となり、2枚目の画像の方が1枚目の画像よりも輝度(階調値)が低い部分が低階調(例えば、階調値「0」)となるように第1差分画像を生成している。同様に、本例では、2枚目の画像と3枚目の画像とで輝度が同じ部分が中間階調となり、2枚目の画像の方が1枚目の画像よりも輝度が高い部分が高階調となり、2枚目の画像の方が1枚目の画像よりも輝度が低い部分が低階調となるように第2差分画像を生成している。   In this example, a portion having the same luminance (gradation value) in the second image and the first image becomes an intermediate gradation (for example, gradation value “128”), and the second image The portion where the luminance (gradation value) is higher than that of the first image has a higher gradation (for example, gradation value “256”), and the second image has the luminance (the gradation value “256”) than the first image. The first difference image is generated so that a portion having a low gradation value has a low gradation (for example, gradation value “0”). Similarly, in this example, the portion where the luminance is the same in the second image and the third image is an intermediate gradation, and the portion where the luminance is higher in the second image than in the first image. The second differential image is generated so that the gradation is high and the second image has lower gradation in the portion where the luminance is lower than that of the first image.

このようにして生成された第1、第2差分画像は、撮影された画像(1〜3枚目の画像)のいずれにも明部及び/または暗部が存在しない場合(すなわち、欠陥部位が存在しない場合)、全域に渡って中間階調となる。   The first and second difference images generated in this way have no bright part and / or dark part in any of the photographed images (first to third images) (that is, there is a defective part). If this is not the case, the intermediate gradation is obtained over the entire area.

一方、撮影された画像に明部が存在する場合、第1差分画像は、2枚目の画像の明部に対応する位置が高階調となり、1枚目の画像の明部に対応する位置が低階調となる。また、第2差分画像は、2枚目の画像の明部に対応する位置が高階調となり、3枚目の画像の明部に対応する位置が低階調となる。このように、撮影された画像に明部が存在する場合、第1、第2差分画像の共通の位置(2枚目の画像の明部に対応する位置)が高階調となる。   On the other hand, when a bright portion exists in the captured image, the position corresponding to the bright portion of the first image has a high gradation in the first difference image, and the position corresponding to the bright portion of the first image has a high gradation. Low gradation. In the second difference image, the position corresponding to the bright portion of the second image has a high gradation, and the position corresponding to the bright portion of the third image has a low gradation. Thus, when a bright part exists in the photographed image, the common position of the first and second difference images (the position corresponding to the bright part of the second image) has a high gradation.

反対に、撮影された画像に暗部が存在する場合、第1差分画像は、2枚目の画像の暗部に対応する位置が低階調となり、1枚目の画像の暗部に対応する位置が高階調となる。また、第2差分画像は、2枚目の画像の暗部に対応する位置が低階調となり、3枚目の画像の明部に対応する位置が高階調となる。このように、撮影された画像に暗部が存在する場合、第1、第2差分画像の共通の位置(2枚目の画像の暗部に対応する位置)が低階調となる。   On the other hand, when a dark part exists in the photographed image, the position corresponding to the dark part of the second image has a low gradation in the first difference image, and the position corresponding to the dark part of the first image is higher. Key. In the second difference image, the position corresponding to the dark portion of the second image has a low gradation, and the position corresponding to the bright portion of the third image has a high gradation. Thus, when a dark part exists in the imaged image, the common position of the first and second difference images (the position corresponding to the dark part of the second image) has a low gradation.

制御部20は、このような性質を利用することによって、欠陥部位の有無、及び、欠陥部位の種類(明部と暗部とのいずれとして撮影された欠陥であるか)を検出する。すなわち、第1差分画像と第2差分画像とを比較し、共通の位置が高階調である場合は、2枚目の画像のこの位置(第1、第2差分画像において高階調となっている位置)に明部(明部として撮影された欠陥)が存在すると検出する。また、第1差分画像と第2差分画像とを比較した結果、共通の位置が低階調である場合は、2枚目の画像のこの位置に暗部(暗部として撮影された欠陥)が存在すると検出する。   The control unit 20 detects the presence / absence of a defective part and the type of the defective part (whether it is a defect photographed as a bright part or a dark part) by using such a property. That is, when the first difference image and the second difference image are compared and the common position has a high gradation, this position of the second image (the first and second difference images have a high gradation). It is detected that there is a bright part (a defect photographed as a bright part) in the position. Further, as a result of comparing the first difference image and the second difference image, if the common position has a low gradation, a dark portion (a defect photographed as a dark portion) exists at this position of the second image. To detect.

なお、本発明は、欠陥部位の検出手法により限定されるものではないので、上記の手法以外の手法で欠陥部位を検出してもよい。   Note that the present invention is not limited by the detection method of the defective part, and therefore, the defective part may be detected by a method other than the above method.

例えば、上記手法では、連続して撮影された3枚の画像を比較することによって欠陥部位を検出しているが、連続して撮影された2枚の画像を比較することによって欠陥部位を検出してもよい。   For example, in the above method, a defective part is detected by comparing three images taken in succession, but a defective part is detected by comparing two images taken in succession. May be.

ただしこの場合、検出された欠陥部位が明部、暗部のいずれとして撮影されたものであるかについては特定できない。このため、上記手法のように、連続して撮影された3枚の画像を比較することによって欠陥部位を検出することが好ましい。   However, in this case, it cannot be specified whether the detected defective part is taken as a bright part or a dark part. For this reason, it is preferable to detect a defect site | part by comparing three images image | photographed continuously like the said method.

また、上記手法では、連続して撮影された画像同士を比較することにより、欠陥部位を検出しているが、欠陥部位の存在しない正常な円筒体の内周を撮影した画像を予め用意し、用意した画像と検査対象の円筒体の内周を撮影した画像とを比較することにより、欠陥部位を検出してもよい。   Further, in the above method, by comparing the images taken continuously, a defective part is detected, but an image obtained by photographing the inner circumference of a normal cylinder without a defective part is prepared in advance. The defective portion may be detected by comparing the prepared image with an image obtained by photographing the inner periphery of the cylindrical body to be inspected.

ただし、検査対象の円筒体には、円筒体毎にばらつきがあるため、欠陥部位が存在しないにも関わらず、予め用意した画像との間に差が生じてしまい、欠陥部位が検出されてしまう(誤検出されてしまう)といった問題がある。このような問題を防止するために、比較する画像は連続して撮影されたもの(同じ円筒体を角度を変えて撮影したもの)である方が好ましい。   However, since the cylinders to be inspected vary from cylinder to cylinder, there is a difference between the images prepared in advance even though there are no defective parts, and the defective parts are detected. There is a problem that it is erroneously detected. In order to prevent such a problem, it is preferable that the images to be compared are taken continuously (taken from the same cylindrical body at different angles).

さらに、上記のような画像の比較によらず欠陥部位(明部及び/または暗部)を検出してもよい。   Further, a defective part (bright part and / or dark part) may be detected without comparing the images as described above.

明部は周辺よりも輝度(階調値)が高い部位であり、暗部は周辺よりも輝度(階調値)が低い部位であるので、1枚の画像であってもこの画像を解析することによって明部及び/または暗部、すなわち欠陥部位を検出できる。   Since the bright part is a part with higher luminance (gradation value) than the surrounding area, and the dark part is a part with lower luminance (gradation value) than the surrounding part, this image should be analyzed even for a single image. Thus, a bright part and / or a dark part, that is, a defective part can be detected.

また、上記の例では、円筒体12の内周面を部位応じて区別せずに欠陥部位の検出を行っているが、撮影された画像の輝度は、欠陥部位の有無によらず、円筒体12の内周面の部位(部位12a、12b、12c、連結部12x、12yのいずれであるか)及び反射光の強度(照明光が正反射してカメラ16に到達した領域か否か)によっても異なる。   In the above example, the defective part is detected without distinguishing the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 according to the part. However, the brightness of the photographed image is determined regardless of the presence or absence of the defective part. 12 of the inner peripheral surface (which of the parts 12a, 12b, 12c and the connecting portions 12x, 12y) and the intensity of the reflected light (whether or not the illumination light reaches the camera 16 through regular reflection). Is also different.

このため、撮影された画像を、円筒体12の内周面の部位に応じて複数の領域に分割し、分割した領域毎に欠陥部位の検出を行ってもよい。   For this reason, the photographed image may be divided into a plurality of regions in accordance with the portion of the inner peripheral surface of the cylindrical body 12, and the defective portion may be detected for each divided region.

以上のように、本発明の検査装置10によれば、導光ロッド40に設けた側面出射部42と先端出射部44とから照明光を拡散して出射させるようにしたので、従来と比較して、より適切に、すなわち、より広い範囲をより均質に照明できる。これにより、検査効率及び/または検査精度を向上できる。   As described above, according to the inspection apparatus 10 of the present invention, the illumination light is diffused and emitted from the side surface emitting portion 42 and the tip emitting portion 44 provided on the light guide rod 40, so that it is compared with the conventional case. Thus, it is possible to illuminate more appropriately, that is, a wider range more uniformly. Thereby, inspection efficiency and / or inspection accuracy can be improved.

なお、上記実施形態では、円筒体12の軸方向に対して傾いた角度(方向)から撮影を行う例で説明をしたが、図4に示すように、円筒体12の軸の延長線上にカメラ16を配置し、円筒体12の軸方向から撮影を行ってもよい。なお、図4以降の図面を用いた説明では、上述した実施形態と同様の部材については同様の符号を付して説明を省略している。   In the above-described embodiment, an example is described in which shooting is performed from an angle (direction) inclined with respect to the axial direction of the cylindrical body 12. However, as illustrated in FIG. 16 may be arranged and photographing may be performed from the axial direction of the cylindrical body 12. In the description using FIG. 4 and subsequent drawings, the same members as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図4の構成では、円筒体12の内周全周の画像を1回の撮影により取得できるため、円筒体12を回転させる必要がなく(回転機構14を廃止でき)、また、1つの円筒体12の検査につき1枚の画像を解析すればよいので、検査効率も向上する。一方、図4の構成では、前述した図1の構成と比較して、撮影された画像のうち、円筒体12の内周面が占める割合(面積)が小さくなる。このため、検査精度については、図4の構成よりも図1の構成の方が高い。   In the configuration of FIG. 4, an image of the entire inner circumference of the cylindrical body 12 can be acquired by one imaging, so that it is not necessary to rotate the cylindrical body 12 (the rotating mechanism 14 can be eliminated), and one cylindrical body 12 Since it is sufficient to analyze one image for each inspection, the inspection efficiency is improved. On the other hand, in the configuration of FIG. 4, the ratio (area) occupied by the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 in the captured image is smaller than the configuration of FIG. 1 described above. Therefore, the inspection accuracy of the configuration of FIG. 1 is higher than that of FIG.

また、上記実施形態では、先端面が半球状の導光ロッド40(図2参照)を用いる例で説明をしたが、図5に示すように、先端面が平面状の導光ロッド50を用いてもよい。図5において、導光ロッド50の先端面は、平面状であり、かつ、梨地状に粗面化された先端出射部54(光出射部)となっており、照明光を拡散して出射させる作用を有する。   In the above-described embodiment, the example in which the light guide rod 40 having a hemispherical tip surface (see FIG. 2) is used. However, as shown in FIG. 5, the light guide rod 50 having a flat tip surface is used. May be. In FIG. 5, the front end surface of the light guide rod 50 is a flat surface and a front end emitting portion 54 (light emitting portion) roughened in a satin finish, and diffuses and emits illumination light. Has an effect.

また、上記実施形態では、先端面が光出射部となっている導光ロッドを用いる例で説明をしたが、図6、図7に示すように、先端面が遮光性を有する遮光部となっている導光ロッドを用いてもよい。図6において、導光ロッド60の先端面は、半球状に形成された遮光部66となっている。また、図7において、導光ロッド70の先端面は、平面状に形成された遮光部76となっている。なお、図6、図7では、遮光部66、76のうち導光ロッドの後端部側の面を、光を反射する反射面としている。こうすることで、先端開口30から前方へ向けて照射される照明光(円筒体12の内周の照明に寄与しない照明光)を、円筒体12の内周の照明に寄与させることが可能となり、照明効率が向上する。   In the above-described embodiment, an example in which a light guide rod having a light emitting portion at the tip surface is used has been described. However, as shown in FIGS. 6 and 7, the tip surface is a light shielding portion having a light shielding property. A light guide rod may be used. In FIG. 6, the front end surface of the light guide rod 60 is a light shielding portion 66 formed in a hemispherical shape. Moreover, in FIG. 7, the front end surface of the light guide rod 70 is a light shielding portion 76 formed in a flat shape. In FIGS. 6 and 7, the surface of the light shielding rods 66 and 76 on the rear end side of the light guide rod is a reflective surface that reflects light. By doing so, it is possible to make illumination light (illumination light that does not contribute to illumination on the inner periphery of the cylindrical body 12) emitted forward from the tip opening 30 contribute to illumination on the inner periphery of the cylindrical body 12. , The lighting efficiency is improved.

図6、図7のように導光ロッドの先端面を遮光部とする構成は、特に、円筒体12の軸方向から撮影を行う構成(図4の構成)と組み合わせて用いることが好適である。つまり、図4の構成では、円筒体12の内部への導光ロッドの挿入量によらず、円筒体12の内周が導光ロッドにより遮られることがないので、導光ロッドの挿入量を大きくしても検査への悪影響が無い。すなわち、図4の構成では、導光ロッドの挿入量を少なくする必要がない(図1の構成のように、導光ロッドの先端面を光出斜面とし、前方へ照明光を照射することで、導光ロッドの挿入量を少なくする必要がない)。よって、図6、図7の構成は、図4の構成と組み合わせて用いることがより好適である。   The configuration in which the tip surface of the light guide rod is used as the light shielding portion as shown in FIGS. 6 and 7 is particularly preferably used in combination with the configuration in which imaging is performed from the axial direction of the cylindrical body 12 (configuration in FIG. 4). . That is, in the configuration of FIG. 4, the inner circumference of the cylindrical body 12 is not blocked by the light guide rod regardless of the amount of the light guide rod inserted into the cylindrical body 12. Even if it is enlarged, there is no adverse effect on the inspection. That is, in the configuration of FIG. 4, it is not necessary to reduce the amount of insertion of the light guide rod (as in the configuration of FIG. 1, the tip surface of the light guide rod is used as a light emitting slope, and illumination light is irradiated forward. , There is no need to reduce the amount of light guide rods inserted). Therefore, the configurations of FIGS. 6 and 7 are more preferably used in combination with the configuration of FIG.

また、上記実施形態では、導光ロッドの先端面を、光出射部と遮光部とのいずれか一方とする例で説明をしたが、図8に示す導光ロッド80のように、先端面に、先端出射部84(光出射部)と遮光部86との両方を設けてもよい。図8において、導光ロッド80は、先端面のうちの下部を先端出射部84とし、上部を遮光部86としている。また、遮光部86のうち導光ロッド80の後端部側の面を反射面としている。さらに、導光ロッド80では、先端部40aの外周のうちの下部を側面出射部82とし、上部を遮光部88としている。また遮光部88のうち下側の面を反射面としている。   In the above embodiment, the tip surface of the light guide rod has been described as an example of either the light emitting portion or the light shielding portion. However, like the light guide rod 80 shown in FIG. In addition, both the tip emitting portion 84 (light emitting portion) and the light shielding portion 86 may be provided. In FIG. 8, the light guide rod 80 has a lower end of the front end surface as a front end emitting portion 84 and an upper portion as a light shielding portion 86. Moreover, the surface of the light shielding rod 86 on the rear end side of the light guide rod 80 is used as a reflection surface. Further, in the light guide rod 80, the lower part of the outer periphery of the tip end part 40 a is a side emission part 82 and the upper part is a light shielding part 88. In addition, the lower surface of the light shielding portion 88 is a reflective surface.

図8の構成によれば、円筒体12の内周面のうち、導光ロッド80の下方を効率良く照明できる。このため、図1のように円筒体12の軸方向に対して傾いた方向から撮影を行う構成(導光ロッドの上方から、円筒体12の内周面のうち導光ロッドの下方を中心に撮影を行う構成)と組み合わせた場合に、撮影範囲が効率よく照明され、検査精度を向上できる。   According to the configuration of FIG. 8, the lower part of the light guide rod 80 in the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 can be efficiently illuminated. Therefore, as shown in FIG. 1, a configuration in which photographing is performed from a direction inclined with respect to the axial direction of the cylindrical body 12 (from above the light guide rod, centering on the inner peripheral surface of the cylindrical body 12 below the light guide rod). When combined with a configuration that performs imaging, the imaging range is efficiently illuminated, and inspection accuracy can be improved.

10 検査装置
12 円筒体
12a、12b、12c 部位
12x、12y 連結部
14 回転機構
16 カメラ
18 照明装置
20 制御部(欠陥部位検出部)
30 先端開口(第2開口)
32 後端開口(第1開口)
34 光源装置
40、50、60、70、80 導光ロッド
40a 先端部
42、82 側面出射部(光出射部)
44、54、84 先端出射部(光出射部)
46 画像
66、76、86、88 遮光部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 Cylindrical body 12a, 12b, 12c Part 12x, 12y Connection part 14 Rotating mechanism 16 Camera 18 Illuminating device 20 Control part (defective part detection part)
30 Tip opening (second opening)
32 Rear end opening (first opening)
34 Light source device 40, 50, 60, 70, 80 Light guide rod 40a Tip portion 42, 82 Side emission portion (light emission portion)
44, 54, 84 Tip emitting part (light emitting part)
46 images 66, 76, 86, 88

Claims (9)

一端に第1開口、他端に第2開口が形成された円筒状の被検査物の内周面を検査する検査装置において、
棒状に形成され、先端部が前記第1開口を介して前記被検査物の内部に挿入された状態で配置され、後端部から入射した照明光を前記先端部に導光し、前記先端部に設けられた光出射部から前記被検査物の内周面へ向けて出射させる導光ロッドと、
前記光出射部から出射した照明光により照明された前記被検査物の内周面を、前記第2開口を介して撮影するカメラと、
前記カメラにより撮影された画像に基づいて前記被検査物の内周面の欠陥部位を検出する欠陥部位検出部と、を備え、
前記光出射部は、梨地状に粗面化され、
前記照明光は、前記光出射部により拡散されて出射され、
前記導光ロッドは、前記先端部の外周面に、前記光出射部が設けられるとともに、前記先端部の先端面に、前記光出射部または遮光性を有する遮光部が設けられている検査装置。
In an inspection apparatus for inspecting the inner peripheral surface of a cylindrical inspection object having a first opening at one end and a second opening at the other end,
It is formed in a rod shape, and is arranged in a state where the front end portion is inserted into the inspection object through the first opening, and guides illumination light incident from the rear end portion to the front end portion, and the front end portion A light guide rod that emits from the light emitting portion provided to the inner peripheral surface of the inspection object, and
A camera that photographs the inner peripheral surface of the inspection object illuminated by the illumination light emitted from the light emitting unit through the second opening;
A defect site detector that detects a defect site on the inner peripheral surface of the inspection object based on an image photographed by the camera; and
The light emitting portion is roughened in a satin finish,
The illumination light is diffused and emitted by the light emitting unit,
The light guide rod is an inspection apparatus in which the light emitting portion is provided on an outer peripheral surface of the tip portion, and the light emitting portion or a light shielding portion having light shielding properties is provided on a tip surface of the tip portion.
前記先端面に前記光出射部が設けられるとともに、前記先端面が平面状に形成されている請求項1記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the tip surface is provided with the light emitting portion, and the tip surface is formed in a flat shape. 前記先端面に前記光出射部が設けられるとともに、前記先端面が球面状に形成されている請求項1記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the light emitting portion is provided on the tip surface, and the tip surface is formed in a spherical shape. 前記先端面に前記遮光部が設けられるとともに、前記遮光部のうち前記導光ロッドの後端部側の面は、光を反射する反射面である請求項1記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the light shielding portion is provided on the distal end surface, and a surface of the light shielding portion on a rear end portion side of the light guide rod is a reflective surface that reflects light. 前記カメラは、前記被検査物の軸方向に対して傾いた角度から前記被検査物の内周面を撮影する請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the camera images an inner peripheral surface of the inspection object from an angle inclined with respect to an axial direction of the inspection object. 前記被検査物を、回転させる回転機構を備え、
前記カメラは、前記被検査物が所定角度回転する毎に撮影を繰り返す請求項5記載の検査装置。
A rotation mechanism for rotating the inspection object;
The inspection apparatus according to claim 5, wherein the camera repeats imaging every time the inspection object rotates by a predetermined angle.
前記被検査物は、内径が異なる複数の部位が軸方向に沿って並べられている請求項1〜6のいずれか1項に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the inspection object has a plurality of portions with different inner diameters arranged in an axial direction. 前記カメラにより、前記被検査物の端部の開口のうち、内径の大きい開口を介して前記撮影を行う請求項7記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 7, wherein the imaging is performed by the camera through an opening having a large inner diameter among openings at an end portion of the inspection object. 一端に第1開口、他端に第2開口が形成された円筒状の被検査物の内周面を検査する検査方法において、
棒状の導光ロッドを、先端部が前記第1開口を介して前記被検査物の内部に挿入された状態で配置し、前記導光ロッドの後端部から入射した照明光を前記導光ロッドの先端部に導光し、前記先端部に設けられた光出射部から前記被検査物の内周面へ向けて出射させることにより前記被検査物の内周面を照明し、前記照明光により照明された前記被検査物の内周面を前記第2開口を介してカメラで撮影する撮影ステップと、
前記撮影ステップで撮影された画像に基づいて前記被検査物の内周面の欠陥部位を検出する欠陥部位検出ステップと、を備え、
前記光出射部は、梨地状に粗面化され、
前記照明光は、前記光出射部により拡散されて出射され、
前記導光ロッドは、前記先端部の外周面に、前記光出射部が設けられるとともに、前記先端部の先端面に、前記光出射部または遮光性を有する遮光部が設けられている検査方法。
In an inspection method for inspecting an inner peripheral surface of a cylindrical inspection object having a first opening at one end and a second opening at the other end,
A rod-shaped light guide rod is disposed in a state where a tip portion is inserted into the inspection object through the first opening, and illumination light incident from a rear end portion of the light guide rod is disposed on the light guide rod. The inner peripheral surface of the inspection object is illuminated by emitting light from the light emitting portion provided at the distal end portion toward the inner peripheral surface of the inspection object, and by the illumination light. An imaging step of imaging the inner peripheral surface of the illuminated object to be inspected with a camera through the second opening;
A defect site detecting step for detecting a defect site on the inner peripheral surface of the inspection object based on the image imaged in the imaging step, and
The light emitting portion is roughened in a satin finish,
The illumination light is diffused and emitted by the light emitting unit,
The light guide rod is an inspection method in which the light emitting portion is provided on an outer peripheral surface of the tip portion, and the light emitting portion or a light shielding portion having light shielding properties is provided on a tip surface of the tip portion.
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