JP2019040035A - パターン修正方法及びフォトマスク製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フォトマスクのパターン寸法の面内分布均一性を向上させる。【解決手段】本実施形態によるパターン修正方法は、透明基板上に遮光膜を介してハードマスクのパターンが形成されたマスクブランクスの前記ハードマスクのパターン寸法を測定する工程と、前記マスクブランクスの面内における前記パターン寸法と設計値との誤差の分布を算出する工程と、前記ハードマスクに対し、エッチングガスを供給しながら、前記誤差の分布に基づくスキャン速度で荷電粒子ビームをスキャンして、前記ハードマスクのパターン寸法を修正する工程と、を備えるものである。【選択図】図1
Description
本発明は、パターン修正方法及びフォトマスク製造方法に関する。
LSIの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は年々微細化されてきている。半導体デバイスへ所望の回路パターンを形成するためには、縮小投影型露光装置を用いて、石英上に形成された高精度の原画パターン(マスク、或いは特にステッパやスキャナで用いられるものはレチクルともいう。)をウェーハ上に縮小転写する手法が採用されている。高精度の原画パターンは、電子ビーム描画装置によって描画され、所謂、電子ビームリソグラフィ技術が用いられている。
従来のマスク製造方法では、例えば、石英基板の上に遮光膜を形成したマスクブランクスを用い、このマスクブランクスにレジストを塗布し、電子ビームでレジストにパターンを描画し、現像後、遮光膜をドライエッチングしてマスクパターンを作製している。
マスクパターン作製に用いる電子ビーム描画装置の精度、レジストや遮光膜の特性、現像やエッチング等のプロセスのばらつきなどの様々な要因により、マスクパターンの寸法は誤差を含んでいた。従来、寸法誤差を低減するために、製品マスクの描画に先立ち、テストマスクを描画して寸法を測定し、測定結果に基づいて電子ビームの照射量(ドーズ量)を補正し、補正後の照射量で製品マスクを描画することが行われていた。しかし、このような手法でも、プロセスばらつきには十分に対応できなかった。また、製品マスク1枚毎にテストマスクを描画すると、コストがかかるという問題があった。
フォトマスクの製造には多くの工程が含まれることや、マスクパターンが微細であること等を考慮すると、寸法誤差を全く生じさせずにマスクパターンを加工することは極めて困難である。
一方、フォトマスクの欠陥に対しては、アシストガスと電子ビームとを用いて部分エッチングを行う修正装置を用いて、エッチングの欠け部分(マスクパターンの余剰部分)をエッチングし、マスクパターンを修正することが行われている。
しかし、従来の修正装置は微小部分の修正を行うものであり、1枚のフォトマスクにおける寸法の面内分布の均一性を向上させることは困難であった。
本発明は、フォトマスクのパターン寸法の面内分布均一性を向上させることができるパターン修正方法及びフォトマスク製造方法を提供することを課題とする。
本発明の一態様によるパターン修正方法は、透明基板上に遮光膜を介してハードマスクのパターンが形成されたマスクブランクスの前記ハードマスクのパターン寸法を測定する工程と、前記マスクブランクスの面内における前記パターン寸法と設計値との誤差の分布を算出する工程と、前記ハードマスクに対し、エッチングガスを供給しながら、前記誤差の分布に基づくスキャン速度で荷電粒子ビームをスキャンして、前記ハードマスクのパターン寸法を修正する工程と、を備えるものである。
本発明の一態様によるパターン修正方法は、前記設計値と比較して前記ハードマスクのパターン寸法が大きい領域程、荷電粒子ビームのスキャン速度を遅くする。
本発明の一態様によるパターン修正方法において、前記ハードマスクに照射する荷電粒子ビームの径は、パターン線幅よりも大きい。
本発明の一態様によるパターン修正方法は、前記マスクブランクスの全面を荷電粒子ビームでスキャンする。
本発明の一態様によるフォトマスク製造方法は、透明基板上に遮光膜、ハードマスク及びレジストが順に積層されたマスクブランクスの前記レジストに描画装置を用いてパターンを描画する工程と、現像処理を行い、レジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記ハードマスクをエッチング加工して、ハードマスクパターンを形成する工程と、前記ハードマスクパターンの寸法を測定する工程と、前記マスクブランクスの面内における前記ハードマスクパターンの寸法と設計値との誤差の分布を算出する工程と、前記ハードマスクに対し、エッチングガスを供給しながら、前記誤差の分布に基づくスキャン速度で荷電粒子ビームをスキャンして、前記ハードマスクのパターン寸法を修正する工程と、パターン寸法が修正された前記ハードマスクパターンをマスクとして前記遮光膜をエッチング加工して、遮光膜パターンを形成する工程と、を備えるものである。
本発明によれば、フォトマスクのパターン寸法の面内分布均一性を向上させることができる。
図1は、本発明の実施形態に係るパターン修正装置の概略図である。パターン修正装置は、フォトマスク10(以下、マスク10と記載する)に電子ビームを照射してパターン寸法を修正するものであり、電子銃1、ガス供給部2、ステージ3等を備える。電子銃1、ガス供給部2及びステージ3等は図示しないチャンバ内に設けられている。図1では、実施の形態を説明する上で必要な構成を記載している。パターン修正装置にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。
ガス供給部2は、ハロゲン化キセノン等のエッチングガスを供給する。ステージ3は、XY方向に移動可能なXYステージであり、マスク10が載置される。電子銃1から電子ビーム4を放出した状態で、ステージ3が+X方向、−X方向に交互に向きを変えながら移動することで、図2に示すように電子ビーム4でマスク10全面をスキャンすることができる。
電子銃1が放出する電子ビーム4は、マスク10の表面において、数μm〜数mmの径を有する。
次に、本実施形態によるマスク製造方法を図3に示すフローチャート、及び図4に示す工程断面図を用いて説明する。
まず、図4(a)に示すような石英基板11(透明基板)上に、遮光膜12、ハードマスク13及びレジスト14が順に積層されたマスク10(マスクブランクス)を準備する。遮光膜12は、例えばMoSi膜やTaBN膜である。ハードマスク13は、例えばCr膜やMoSi膜である。遮光膜12とハードマスク13との材料は異なることが好ましいが、同じ材料でもよい。同じ材料の場合は、遮光膜12とハードマスク13との間にエッチングストッパ膜を別途形成する。
図示しない電子ビーム描画装置を用いて、マスク10にパターンを描画(露光)する(ステップS1)。次に、マスク10に対して現像処理を施し、図4(b)に示すように、レジスト14の露光部を溶解・除去してレジストパターンを作製する(ステップS2)。必要に応じて、現像処理の前にベーキング処理を行ってもよい。なお、レジストの種類によっては、現像処理によりレジストの非露光部が溶解・除去される。
図4(c)に示すように、レジストパターンをマスクとしてドライエッチング処理を行ってハードマスク13を加工し、ハードマクス13にパターンを転写する(ステップS3)。エッチング処理後、レジスト14を除去する(ステップS4)。
ハードマスク13に転写されたパターンの寸法を測定し(ステップS5)、設計値からのずれ量(誤差)の分布を算出する(ステップS6)。描画処理、現像処理及びエッチング処理を行うことで、例えば、図5に示すように、マスク10の中央領域R1では誤差が小さいのに対し、周縁領域R2ではパターン寸法が設計値よりも大きくなるという誤差分布が生じる。本実施形態では、このようなマスク面内におけるハードマスクの寸法誤差分布を、パターン修正装置を用いて修正(補正)する。
図1に示すパターン修正装置のステージ3にマスク10を載置し、ガス供給部2からエッチングガスを供給し、ステージ3を動かしてマスク全面に電子ビーム4をスキャンして図4(d)に示すように、ハードマスク13のパターン寸法を修正する(ステップS7)。
この時、マスク10に照射される電子ビーム4の径は、パターン線幅よりも大きく、数μmから数mm程度である。電子ビームによるハードマスク13のエッチングレートを予め求めておき、図示しない制御部が寸法誤差分布に基づいてスキャン速度を制御し、エッチング量を調整する。スキャン速度が遅い程、ビーム照射量が大きくなり、エッチング量が増加する。設計値と比較して寸法が大きい領域程、スキャン速度を遅くして、エッチング量を多くする。
例えば、図6に示すように、誤差の小さい中央領域R1ではスキャン速度を速くし、パターン寸法が設計値よりも大きい周縁領域R2ではスキャン速度を遅くする。ハードマスク13の線幅の太い箇所が、設計範囲に収まるように削られる。ハードマスク13のエッチング量(パターン寸法修正量)は、0.5〜1nm程度である。
誤差が小さい(所定値以下である)中央領域R1はスキャン時にビームをオフにしてもよいし、スキャンしなくてもよい。
次に、図4(e)に示すように、ハードマスク13をマスクとしてドライエッチング処理を行って遮光膜12を加工し、遮光膜12にパターンを転写する(ステップS8)。その後、ハードマスク13を剥離する(ステップS9)。
本実施形態では、パターン誤差分布を修正したハードマスク13を用いて遮光膜12を加工するため、マスク10のパターン寸法の面内分布均一性を向上させることができる。また、テストマスクを描画する必要がないため、マスク製造コストを抑えることができる。
なお、必要に応じて、遮光膜12のパターン寸法を測定し(ステップS10)、電子ビームで局所欠陥を修正してもよい(ステップS11)。例えば、図7(a)に示すような遮光膜のラインパターンLに生じた局所欠陥Dに対し、エッチングガス雰囲気で図7(b)に示すような微小な径の電子ビームBを照射する。これにより、図7(c)に示すように、局所欠陥Dが除去される。
上記実施形態では、電子ビームを用いてパターン修正を行う例について説明したが、イオンビーム等の他の荷電粒子ビームを用いてもよい。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1 電子銃
2 ガス供給部
3 ステージ
4 電子ビーム
10 フォトマスク
11 石英基板
12 遮光膜
13 ハードマスク
14 レジスト
2 ガス供給部
3 ステージ
4 電子ビーム
10 フォトマスク
11 石英基板
12 遮光膜
13 ハードマスク
14 レジスト
Claims (5)
- 透明基板上に遮光膜を介してハードマスクのパターンが形成されたマスクブランクスの前記ハードマスクのパターン寸法を測定する工程と、
前記マスクブランクスの面内における前記パターン寸法と設計値との誤差の分布を算出する工程と、
前記ハードマスクに対し、エッチングガスを供給しながら、前記誤差の分布に基づくスキャン速度で荷電粒子ビームをスキャンして、前記ハードマスクのパターン寸法を修正する工程と、
を備えるパターン修正方法。 - 前記設計値と比較して前記ハードマスクのパターン寸法が大きい領域程、荷電粒子ビームのスキャン速度を遅くすることを特徴とする請求項1に記載のパターン修正方法。
- 前記ハードマスクに照射する荷電粒子ビームの径は、パターン線幅よりも大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載のパターン修正方法。
- 前記マスクブランクスの全面を荷電粒子ビームでスキャンすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のパターン修正方法。
- 透明基板上に遮光膜、ハードマスク及びレジストが順に積層されたマスクブランクスの前記レジストに描画装置を用いてパターンを描画する工程と、
現像処理を行い、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記ハードマスクをエッチング加工して、ハードマスクパターンを形成する工程と、
前記ハードマスクパターンの寸法を測定する工程と、
前記マスクブランクスの面内における前記ハードマスクパターンの寸法と設計値との誤差の分布を算出する工程と、
前記ハードマスクに対し、エッチングガスを供給しながら、前記誤差の分布に基づくスキャン速度で荷電粒子ビームをスキャンして、前記ハードマスクのパターン寸法を修正する工程と、
パターン寸法が修正された前記ハードマスクパターンをマスクとして前記遮光膜をエッチング加工して、遮光膜パターンを形成する工程と、
を備えるフォトマスク製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017161419A JP2019040035A (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | パターン修正方法及びフォトマスク製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017161419A JP2019040035A (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | パターン修正方法及びフォトマスク製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019040035A true JP2019040035A (ja) | 2019-03-14 |
Family
ID=65726398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017161419A Pending JP2019040035A (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | パターン修正方法及びフォトマスク製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2019040035A (ja) |
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2017
- 2017-08-24 JP JP2017161419A patent/JP2019040035A/ja active Pending
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