JP2019032637A - Display device - Google Patents

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加苗 小林
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Abstract

To counter both stripe irregularity and Moire on a liquid crystal display device having a touch panel function.SOLUTION: In a display device having a metal wire for a touch panel on a display surface side, the metal wire has a shape in which four line segments are formed continuously as a quadrangular, at least two line segments are placed spaced away from other two line segments at a cross point region where two pieces of quadrangular are connected.SELECTED DRAWING: Figure 8

Description

本発明は表示装置に係り、特にタッチパネル機能を組み合わせた表示装置に関する。   The present invention relates to a display device, and more particularly to a display device combined with a touch panel function.

近年、スマートフォンやタブレットPCなど、タッチパネル機能を組み合わせた表示装置が必須の機器が増えている。タッチパネルは、表示装置と別に作られ、後で組み合わされるものや、いわゆるインセルタッチパネルといった、最初から表示装置の一部として形成されたものがあるが、いずれのタッチパネルにおいても、静電容量方式のタッチパネルであれば、駆動電極となるTx(トランスミッタ)電極と検出電極となるRx(レシーバー)電極を有する。
従来のRx電極に用いる材料は、目立たないようにするために、ITO(Indium Tin Oxide)等の透明酸化物導電膜が使用されてきた。
In recent years, devices that require a display device that combines touch panel functions, such as smartphones and tablet PCs, are increasing. The touch panel is manufactured separately from the display device, and there is a touch panel that is formed later as a part of the display device, such as a so-called in-cell touch panel, which is combined later, or any touch panel. If so, it has a Tx (transmitter) electrode as a drive electrode and an Rx (receiver) electrode as a detection electrode.
As a material used for the conventional Rx electrode, a transparent oxide conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide) has been used so as not to stand out.

しかし、透明酸化物導電膜は電気抵抗が高いので、信号の伝達速度が遅くなり、タッチパネルに使用する場合は、特にサイズの大きなパネルで応答速度に影響が出ていた。このため、十分な応答速度を確保するために、タッチパネルのRx用電極および配線として金属が使用されるようになってきた。
しかしながら、金属は不透明であるので、目立たないように配線配置を工夫する必要がある。
However, since the transparent oxide conductive film has a high electric resistance, the transmission speed of the signal is slow, and when used for a touch panel, the response speed is affected particularly in a large-sized panel. For this reason, in order to ensure sufficient response speed, metal has come to be used as the Rx electrode and wiring of the touch panel.
However, since the metal is opaque, it is necessary to devise the wiring arrangement so as not to stand out.

特許文献1には、タッチパネルのRx電極用の配線をジグザグ形状にする例が記載されている。特許文献2には、タッチパネルのRx電極用の配線をメッシュ形状にする例が記載されている。   Patent Document 1 describes an example in which the wiring for the Rx electrode of the touch panel is formed in a zigzag shape. Patent Document 2 describes an example in which the wiring for the Rx electrode of the touch panel is meshed.

特開2014−191650号公報JP 2014-191650 A 特開2015−232819号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-232819

特許文献1や特許文献2に記載されたRx電極用の配線は、何れも代表的な形状ではあるが、見え方において、それぞれ固有の現象がある。   Each of the Rx electrode wirings described in Patent Document 1 and Patent Document 2 has a typical shape, but has a unique phenomenon in appearance.

ジグザグ形状の場合、図14に示されるように、Rx電極用の配線1がX方向に延在し、Y方向に複数配列されている。配線1は、X方向において、斜めになった配線が、角度を変えながら繰り返し形成される。このため、表示装置に左下側から光が当たった場合(図15A)と、右下側から光が当たった場合(図15B)で、一方の角度の斜め配線だけが見える現象がある。図15Aの矢印I、及び、図15Bの矢印IIは光が当たる方向を示す。
図16は第1電極Rxを構成する配線1の断面図である。配線1の幅mwは例えば4μmである。配線1は4層から構成されている。下層R1(ベースメタル)は例えばMoで形成され、厚さは、例えば10nmである。その上にAlを主成分にするAl合金層R2が形成され、厚さは例えば、250nmである。Al合金層R2の上にキャップメタルR3が例えばMoで形成され、厚さは例えば30μmである。キャップメタルR3の上に、例えばIGO(インディウム、ガリウム、オキサイド)で形成された反射防止層R4が、例えば、厚さ100nmで形成されている。配線1は比較的厚く形成されている上、配線1の側面は順テーパを持って形成されるので、図16に示すように、外光の反射を生じやすい。図16において、ILは外光、RLは反射光を示す。この反射光RLが見る角度によって配線1の特定の部分のみ見えてしまうため、図15A、図15Bで示すような現象が発生する。この場合、反射光RLが見える部分がY方向に延在する縦線のスジとして見えてしまう、いわゆる反射スジという現象になる。
In the case of the zigzag shape, as shown in FIG. 14, a plurality of Rx electrode wirings 1 extend in the X direction and are arranged in the Y direction. The wiring 1 is formed by repeatedly forming an oblique wiring in the X direction while changing the angle. For this reason, there is a phenomenon in which only the diagonal wiring at one angle can be seen when the light hits the display device from the lower left side (FIG. 15A) and when the light hits the lower right side (FIG. 15B). An arrow I in FIG. 15A and an arrow II in FIG. 15B indicate the direction in which light strikes.
FIG. 16 is a cross-sectional view of the wiring 1 constituting the first electrode Rx. The width mw of the wiring 1 is 4 μm, for example. The wiring 1 is composed of four layers. The lower layer R1 (base metal) is made of, for example, Mo and has a thickness of, for example, 10 nm. An Al alloy layer R2 containing Al as a main component is formed thereon, and the thickness is, for example, 250 nm. A cap metal R3 is formed of, for example, Mo on the Al alloy layer R2, and the thickness thereof is, for example, 30 μm. On the cap metal R3, an antireflection layer R4 made of, for example, IGO (indium, gallium, oxide) is formed with a thickness of, for example, 100 nm. Since the wiring 1 is formed to be relatively thick and the side surface of the wiring 1 is formed with a forward taper, reflection of external light is likely to occur as shown in FIG. In FIG. 16, IL indicates external light, and RL indicates reflected light. Since only a specific portion of the wiring 1 is visible depending on the angle at which the reflected light RL is viewed, the phenomenon shown in FIGS. 15A and 15B occurs. In this case, the portion where the reflected light RL can be seen appears as a vertical line streak extending in the Y direction.

一方、メッシュ形状のRx電極の場合、左下、右下から光が当たったとしても、図17A、図17Bで示されるように、連続的な直線の配列となる。このため、表示装置全体からみると、縦線としては認識されないため、反射スジという現象は発生しない。しかしながら、メッシュ形状では、別の現象が発生する。   On the other hand, in the case of a mesh-shaped Rx electrode, even if light hits from the lower left and the lower right, as shown in FIGS. 17A and 17B, a continuous linear array is obtained. For this reason, when viewed from the entire display device, since it is not recognized as a vertical line, the phenomenon of reflection streaking does not occur. However, another phenomenon occurs in the mesh shape.

図18は、メッシュ状に形成されたRx電極用の配線1と表示装置を重ね合せた状態を示す平面図である。尚、ここでは、表示装置を液晶表示パネルの例を用いて説明する。   FIG. 18 is a plan view showing a state in which the display device is overlapped with the Rx electrode wiring 1 formed in a mesh shape. Here, the display device will be described using an example of a liquid crystal display panel.

図18において、液晶表示パネルのTFT基板には、走査線10が横方向に延在し、映像信号線20が縦方向に延在し、走査線10と映像信号線20とで囲まれた領域に画素30が形成されている。配線1で形成される各メッシュの大きさは、各画素30の大きさよりも大きい。図18に示すように、画素30は、配線1と重なるものと重ならないものが存在する。   In FIG. 18, on the TFT substrate of the liquid crystal display panel, the scanning line 10 extends in the horizontal direction, the video signal line 20 extends in the vertical direction, and is surrounded by the scanning line 10 and the video signal line 20. A pixel 30 is formed on the top. The size of each mesh formed by the wiring 1 is larger than the size of each pixel 30. As shown in FIG. 18, there are pixels 30 that do not overlap with the wiring 1.

図19はこれを説明する拡大図である。図19は配線1と画素30が重なっている状態を示す平面図である。図19の画素30内の(n,m)の番号は画素の位置を示す。図19において、配線1の交点と重複する中央の画素(2,2)は、配線1によって覆われる面積が多くなるため、開口率が小さくなり、この画素の輝度が落ちる。中央両隣の画素(2,1)および(2,3)は、配線1の2本と一部が重なっているので、画素(2,2)より明るくなる。4隅の画素(1,1)、(1,3)、(3,1)、(3,3)は配線1と1本のみ重なっているので、画素(2,1)等よりもやや明るくなる。一方、中央上下の画素(1,2)および(3,2)は、配線1と重なっていないので、この画素は最も明るく見える。   FIG. 19 is an enlarged view for explaining this. FIG. 19 is a plan view showing a state in which the wiring 1 and the pixel 30 overlap each other. The number (n, m) in the pixel 30 in FIG. 19 indicates the position of the pixel. In FIG. 19, the central pixel (2, 2) that overlaps the intersection of the wiring 1 has a large area covered by the wiring 1, so the aperture ratio decreases, and the luminance of this pixel decreases. The pixels (2, 1) and (2, 3) on both sides of the center are lighter than the pixel (2, 2) because they partially overlap the two lines 1. The four corner pixels (1, 1), (1, 3), (3, 1), (3, 3) are slightly brighter than the pixel (2, 1) and the like because only one line overlaps the wiring 1. Become. On the other hand, since the upper and lower pixels (1, 2) and (3, 2) do not overlap with the wiring 1, this pixel looks brightest.

図20はこの結果による各画素の輝度を示す平面図である。図20に示す画素の内、配線1の重なり方で、各画素の輝度が異なることが分かる。Rx電極用の配線1は、メッシュ形状の配置が連続的に形成されるため、図20のような輝度パターンが周期的に現れることになる。図21が、このようなモアレが発生した場合の表示例である。この場合、表示装置が画面全体で単色表示をしたとしても、符号60のような異なる輝度の表示領域が周期的に現れるため、この輝度パターンにより、画面全体では、モアレとして認識される現象が現れる。
本発明の課題は、上記のような構成のタッチパネル機能を有する表示装置において、反射スジ、およびモアレの両方の現象を軽減し、画質向上を実現することである。
FIG. 20 is a plan view showing the luminance of each pixel based on this result. It can be seen that, among the pixels shown in FIG. 20, the luminance of each pixel differs depending on how the wiring 1 overlaps. Since the Rx electrode wiring 1 is continuously formed in a mesh shape, a luminance pattern as shown in FIG. 20 appears periodically. FIG. 21 shows a display example when such moire occurs. In this case, even if the display device performs monochromatic display on the entire screen, a display area having a different luminance as indicated by reference numeral 60 periodically appears, and this luminance pattern causes a phenomenon that is recognized as moire on the entire screen. .
An object of the present invention is to reduce the phenomenon of both reflection streaks and moire and realize an improvement in image quality in a display device having a touch panel function configured as described above.

本発明は上記課題を解決するものであり、主な具体的な手段は次のとおりである。   The present invention solves the above-mentioned problems, and main specific means are as follows.

表示面側にタッチパネル用の金属線を有する表示装置であって、前記金属線は、4つの線分が四角形状として連続的に形成された形状であり、四角形状同士が接続される交点領域において、少なくとも2つの線分が他の2つの線分から離間して配置するようにしたことを特徴とする表示装置。   A display device having a touch panel metal line on the display surface side, wherein the metal line has a shape in which four line segments are continuously formed as a quadrilateral shape, and in an intersection region where the quadrangular shapes are connected to each other The display device is characterized in that at least two line segments are arranged apart from the other two line segments.

本発明による液晶表示装置の分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of a liquid crystal display device according to the present invention. 液晶表示パネルの斜視図である。It is a perspective view of a liquid crystal display panel. タッチパネル機能を有するIPS方式の液晶表示パネルの断面図である。It is sectional drawing of the IPS system liquid crystal display panel which has a touch-panel function. TFT基板におけるタッチパネル用第2電極の構成を示す模式平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of the 2nd electrode for touchscreens in a TFT substrate. TFT基板におけるタッチパネル用第2電極の構成を示す拡大平面図である。It is an enlarged plan view which shows the structure of the 2nd electrode for touchscreens in a TFT substrate. 対向基板の外側におけるタッチパネル用第1電極の構成を示す模式平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of the 1st electrode for touchscreens in the outer side of a counter substrate. 対向基板の外側におけるタッチパネル用第1電極の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the 1st electrode for touchscreens in the outer side of a counter substrate. 本発明による第1電極の詳細平面図である。It is a detailed top view of the 1st electrode by this invention. 本発明によるダミーメッシュ電極の詳細平面図である。It is a detailed top view of the dummy mesh electrode by this invention. 本発明の機能を示す透視図である。It is a perspective view which shows the function of this invention. 本発明の効果を示す平面図である。It is a top view which shows the effect of this invention. 実施例2における第1電極の構成を示す平面図である。6 is a plan view showing a configuration of a first electrode in Example 2. FIG. 実施例2における第2電極の構成を示す平面図である。6 is a plan view showing a configuration of a second electrode in Example 2. FIG. ジグザグ状のRx電極配線の例である。It is an example of a zigzag-shaped Rx electrode wiring. 図14のRx電極配線に画面左下から光が当った場合の反射光の例である。It is an example of the reflected light when light hits the Rx electrode wiring of FIG. 14 from the screen lower left. 図14のRx電極配線に画面右下から光が当った場合の反射光の例である。It is an example of the reflected light when light hits the Rx electrode wiring of FIG. Rx電極配線の断面図である。It is sectional drawing of Rx electrode wiring. メッシュ形状のRx電極配線に画面左下から光が当った場合の反射光の例である。It is an example of reflected light when light hits the mesh-shaped Rx electrode wiring from the lower left of the screen. メッシュ形状のRx電極配線に画面右下から光が当った場合の反射光の例である。It is an example of reflected light when light hits a mesh-shaped Rx electrode wiring from the lower right of the screen. メッシュ形状のRx電極配線と画素領域を重畳した図である。FIG. 6 is a diagram in which a mesh-shaped Rx electrode wiring and a pixel region are superimposed. モアレの原因を説明する平面図である。It is a top view explaining the cause of moire. モアレの原因を説明する平面図である。It is a top view explaining the cause of moire. モアレの視認例を示す図である。It is a figure which shows the visual recognition example of a moire.

以下に実施例を用いて本発明の内容を詳細に説明する。本実施例においては、液晶表示装置を例にして説明する。   The contents of the present invention will be described in detail below using examples. In this embodiment, a liquid crystal display device will be described as an example.

図1は本発明による液晶表示装置の例を示す分解斜視図である。図1は、表示用としての液晶表示パネルにタッチパネルの機能も持たせたものである。図1において、TFT基板100の上に対向基板200が配置し、対向基板200の外側(表示面側)にタッチパネル用の検出用のRx電極(第1の電極)が形成されている。この第1の電極を覆って、アクリル等の透明有機材料による保護膜210が形成されている。保護膜210を覆って上偏光板220が配置されている。上偏光板220を覆ってカバーガラス240が配置されている。図1には記載してないが、TFT基板100の下側に下偏光板が配置され、更に、図示しないバックライトが配置される。   FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of a liquid crystal display device according to the present invention. FIG. 1 shows a liquid crystal display panel for display having a touch panel function. In FIG. 1, a counter substrate 200 is disposed on a TFT substrate 100, and an Rx electrode (first electrode) for detection for a touch panel is formed on the outside (display surface side) of the counter substrate 200. A protective film 210 made of a transparent organic material such as acrylic is formed so as to cover the first electrode. An upper polarizing plate 220 is disposed so as to cover the protective film 210. A cover glass 240 is disposed so as to cover the upper polarizing plate 220. Although not shown in FIG. 1, a lower polarizing plate is disposed below the TFT substrate 100, and a backlight (not shown) is further disposed.

図1において、対向基板の外側に形成された第1の電極と接続をするために、対向基板の端部にはタッチパネル用フレキシブル配線基板230が取り付けられている。なお、図1の液晶表示パネルをタッチパネルとして機能させるために、液晶表示パネルのTFT基板100に形成されるコモン電極をパターニングして駆動用のTx電極(第2の電極)の機能を持たせている。このようなタッチパネルの構成はインセル方式と呼ばれている。   In FIG. 1, a touch panel flexible wiring substrate 230 is attached to an end of the counter substrate in order to connect to the first electrode formed outside the counter substrate. In order to make the liquid crystal display panel of FIG. 1 function as a touch panel, the common electrode formed on the TFT substrate 100 of the liquid crystal display panel is patterned to have the function of a driving Tx electrode (second electrode). Yes. Such a touch panel configuration is called an in-cell method.

図1において、TFT基板100は対向基板200よりも大きく形成され、TFT基板100が対向基板200と重なっていない部分は端子部150となっており、この部分にドライバIC160が搭載されている。端子部150には、液晶表示装置に信号や電力を供給するために、メインフレキシブル配線基板が接続されるが、図1では省略されている。図1において、横方方向すなわち、端子辺と直交方向をy軸、端子辺と平行方向をx軸としている。   In FIG. 1, the TFT substrate 100 is formed larger than the counter substrate 200, and a portion where the TFT substrate 100 does not overlap the counter substrate 200 is a terminal portion 150, and a driver IC 160 is mounted on this portion. A main flexible wiring board is connected to the terminal portion 150 in order to supply signals and power to the liquid crystal display device, but is omitted in FIG. In FIG. 1, the lateral direction, that is, the direction orthogonal to the terminal side is the y-axis, and the direction parallel to the terminal side is the x-axis.

図2は、図1の液晶表示装置における、TFT基板100と対向基板200で構成される液晶表示パネルについての斜視図である。本明細書では、TFT基板100と対向基板200の組み合わせを液晶表示パネルと呼ぶが、これを液晶表示装置と呼ぶ場合もある。図2におけるTFT基板100の厚さは例えば0.15mmであり、対向基板200の厚さは0.15mmである。   FIG. 2 is a perspective view of a liquid crystal display panel including a TFT substrate 100 and a counter substrate 200 in the liquid crystal display device of FIG. In this specification, a combination of the TFT substrate 100 and the counter substrate 200 is referred to as a liquid crystal display panel, but this may be referred to as a liquid crystal display device. The thickness of the TFT substrate 100 in FIG. 2 is, for example, 0.15 mm, and the thickness of the counter substrate 200 is 0.15 mm.

図2において、TFT基板100の上にシール材70によって対向基板200が接着し、各基板の間に液晶が封入されている。シール材70によって囲まれた領域が表示領域500である。対向基板200の外側には、タッチパネル用の第1の電極Rxが形成され、TFT基板100の内側には、コモン電極をパターニングすることよってタッチパネル用の第2の電極Txが形成されている。図2において、端子辺と平行方向がx軸であり、端子辺と直交方向がy軸である。以下の図面でも同様である。   In FIG. 2, a counter substrate 200 is bonded onto a TFT substrate 100 by a sealing material 70, and liquid crystal is sealed between the substrates. A region surrounded by the sealing material 70 is a display region 500. A first electrode Rx for a touch panel is formed outside the counter substrate 200, and a second electrode Tx for a touch panel is formed inside the TFT substrate 100 by patterning the common electrode. In FIG. 2, the direction parallel to the terminal side is the x-axis, and the direction orthogonal to the terminal side is the y-axis. The same applies to the following drawings.

図3は、図2の液晶表示パネルの表示領域の断面図である。図3はIPS方式の液晶表示装置の断面図である。以下にIPS(In Plane Switching)方式の液晶表示装置を例にとって説明するが、本発明はIPS方式に限らず、VA、TN等の他の液晶表示装置についても適用することができる。   FIG. 3 is a cross-sectional view of the display area of the liquid crystal display panel of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of an IPS liquid crystal display device. Hereinafter, an IPS (In Plane Switching) type liquid crystal display device will be described as an example. However, the present invention is not limited to the IPS method, and can be applied to other liquid crystal display devices such as VA and TN.

図3において、ガラス基板100の上に窒化シリコン(SiN)からなる第1下地膜101および酸化シリコン(SiO)からなる第2下地膜102がCVD(Chemical Vapor Deposition)によって形成される。SiN層とSiO層が逆の場合もある。第1下地膜101および第2下地膜102の役割はガラス基板100からの不純物が半導体層103を汚染することを防止することである。   In FIG. 3, a first base film 101 made of silicon nitride (SiN) and a second base film 102 made of silicon oxide (SiO) are formed on a glass substrate 100 by CVD (Chemical Vapor Deposition). In some cases, the SiN layer and the SiO layer are reversed. The role of the first base film 101 and the second base film 102 is to prevent impurities from the glass substrate 100 from contaminating the semiconductor layer 103.

第2下地膜102の上には半導体層103が形成される。この半導体層103は第2下地膜102に上にCVDによってa−Si膜を形成し、これをレーザアニールすることによってpoly−Si膜に変換したものである。このpoly−Si膜をフォトリソグラフィによってパターニングする。   A semiconductor layer 103 is formed on the second base film 102. The semiconductor layer 103 is obtained by forming an a-Si film on the second base film 102 by CVD, and converting it into a poly-Si film by laser annealing. The poly-Si film is patterned by photolithography.

半導体層103の上にはゲート絶縁膜104が形成される。このゲート絶縁膜104はTEOS(テトラエトキシシラン)によるSiO膜である。この膜もCVDによって形成される。その上にゲート電極105が形成される。ゲート電極105は図5等に示す走査線10が兼ねている。ゲート電極105は例えば、MoW(モリブデン―タングステン)膜によって形成される。ゲート電極105あるいは走査線の抵抗を小さくする必要があるときはAl(アルミニウム)合金が使用される。   A gate insulating film 104 is formed on the semiconductor layer 103. The gate insulating film 104 is a SiO film made of TEOS (tetraethoxysilane). This film is also formed by CVD. A gate electrode 105 is formed thereon. The gate electrode 105 also serves as the scanning line 10 shown in FIG. The gate electrode 105 is formed of, for example, a MoW (molybdenum-tungsten) film. When it is necessary to reduce the resistance of the gate electrode 105 or the scanning line, an Al (aluminum) alloy is used.

ゲート電極105はフォトリソグラフィによってパターニングされるが、このパターニングの際に、イオンインプランテーションによって、リンあるいはボロン等の不純物をpoly−Si層にドープして、poly−Si層にソースSあるいはドレインDを形成する。また、ゲート電極105のパターニングの際のフォトレジストを利用して、poly−Si層のチャネル層と、ソースSあるいはドレインDとの間にLDD(Lightly Doped Drain)層を形成する。   The gate electrode 105 is patterned by photolithography. During this patterning, an impurity such as phosphorus or boron is doped into the poly-Si layer by ion implantation, and the source S or drain D is formed in the poly-Si layer. Form. Further, an LDD (Lightly Doped Drain) layer is formed between the channel layer of the poly-Si layer and the source S or the drain D using a photoresist when patterning the gate electrode 105.

その後、ゲート電極105を覆って第1層間絶縁膜106をSiOによって形成する。第1層間絶縁膜106はゲート配線105とコンタクト電極107を絶縁するためである。第1層間絶縁膜106およびゲート絶縁膜104には、半導体層103のソース部Sをコンタクト電極107と接続するためのスルーホール120が形成される。第1層間絶縁膜106とゲート絶縁膜104にスルーホール120を形成するためのフォトリソグラフィは同時に行われる。   Thereafter, a first interlayer insulating film 106 is formed of SiO so as to cover the gate electrode 105. The first interlayer insulating film 106 is for insulating the gate wiring 105 and the contact electrode 107. A through hole 120 for connecting the source portion S of the semiconductor layer 103 to the contact electrode 107 is formed in the first interlayer insulating film 106 and the gate insulating film 104. Photolithography for forming the through hole 120 in the first interlayer insulating film 106 and the gate insulating film 104 is performed simultaneously.

第1層間絶縁膜106の上にコンタクト電極107が形成される。コンタクト電極107は、スルーホール130を介して画素電極112と接続する。TFTのドレインDは、図示しない部分において図5等に示す映像信号線20とスルーホールを介して接続している。   A contact electrode 107 is formed on the first interlayer insulating film 106. The contact electrode 107 is connected to the pixel electrode 112 through the through hole 130. The drain D of the TFT is connected to the video signal line 20 shown in FIG.

コンタクト電極107および映像信号線は、同層で、同時に形成される。コンタクト電極107および映像信号線(以後コンタクト電極107で代表させる)は、抵抗を小さくするために、例えば、AlSi合金が使用される。AlSi合金はヒロックを発生したり、Alが他の層に拡散したりするので、例えば、図示しないMoWによるバリア層、およびキャップ層によってAlSiをサンドイッチする構造がとられている。   The contact electrode 107 and the video signal line are formed in the same layer at the same time. For the contact electrode 107 and the video signal line (hereinafter represented by the contact electrode 107), for example, an AlSi alloy is used to reduce the resistance. Since the AlSi alloy generates hillocks or Al diffuses to other layers, for example, a structure is adopted in which AlSi is sandwiched between a barrier layer made of MoW (not shown) and a cap layer.

コンタクト電極107を覆って無機パッシベーション膜(絶縁膜)108を形成し、TFT全体を保護する。無機パッシベーション膜108は第1下地膜101と同様にCVDによって形成される。無機パッシベーション膜108を覆って有機パッシベーション膜109が形成される。有機パッシベーション膜109は感光性のアクリル樹脂で形成される。有機パッシベーション膜109は、アクリル樹脂の他、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等でも形成することが出来る。有機パッシベーション膜109は平坦化膜としての役割を持っているので、厚く形成される。有機パッシベーション膜109の膜厚は1〜4μmであるが、タッチパネル機能を内蔵している液晶表示装置の場合、多くの場合は2μm乃至4μmである。   An inorganic passivation film (insulating film) 108 is formed covering the contact electrode 107 to protect the entire TFT. The inorganic passivation film 108 is formed by CVD in the same manner as the first base film 101. An organic passivation film 109 is formed so as to cover the inorganic passivation film 108. The organic passivation film 109 is made of a photosensitive acrylic resin. The organic passivation film 109 can be formed of silicone resin, epoxy resin, polyimide resin, or the like in addition to acrylic resin. Since the organic passivation film 109 has a role as a planarizing film, it is formed thick. The film thickness of the organic passivation film 109 is 1 to 4 μm, but in the case of a liquid crystal display device incorporating a touch panel function, in many cases, it is 2 μm to 4 μm.

画素電極112とコンタクト電極107との導通を取るために、無機パッシベーション膜108および有機パッシベーション膜109にスルーホール130が形成される。有機パッシベーション膜109は感光性の樹脂を使用している。感光性の樹脂を塗付後、この樹脂を露光すると、光が当たった部分のみが特定の現像液に溶解する。すなわち、感光性樹脂を用いることによって、フォトレジストの形成を省略することが出来る。有機パッシベーション膜109にスルーホール130を形成したあと、230℃程度で有機パッシベーション膜を焼成することによって有機パッシベーション膜109が完成する。   In order to establish conduction between the pixel electrode 112 and the contact electrode 107, a through hole 130 is formed in the inorganic passivation film 108 and the organic passivation film 109. The organic passivation film 109 uses a photosensitive resin. When this resin is exposed after application of a photosensitive resin, only the portion exposed to light is dissolved in a specific developer. That is, the formation of a photoresist can be omitted by using a photosensitive resin. After the through-hole 130 is formed in the organic passivation film 109, the organic passivation film 109 is completed by baking the organic passivation film at about 230 ° C.

その後、コモン電極110となるITO(Indium Tin Oxide)をスパッタリングによって形成する。コモン電極110は複数の画素に渡って連続的に形成されるが、スルーホール130およびその周辺の領域からは除去される。また、コモン電極110はタッチパネルにおける第2の電極Txとして使用するので、後で説明するように、パターニングされる。   Thereafter, ITO (Indium Tin Oxide) to be the common electrode 110 is formed by sputtering. The common electrode 110 is continuously formed over a plurality of pixels, but is removed from the through hole 130 and the surrounding area. Moreover, since the common electrode 110 is used as the second electrode Tx in the touch panel, it is patterned as will be described later.

その後、第2層間絶縁膜111となるSiNをCVDによって全面に形成する。その後、スルーホール130内において、コンタクト電極107と画素電極112の導通をとるためのスルーホールを第2層間絶縁膜111および無機パッシベーション膜108に形成する。   Thereafter, SiN to be the second interlayer insulating film 111 is formed on the entire surface by CVD. Thereafter, a through hole is formed in the second interlayer insulating film 111 and the inorganic passivation film 108 in order to make the contact electrode 107 and the pixel electrode 112 conductive in the through hole 130.

その後、ITOをスパッタリングによって形成し、パターニングして画素電極112を形成する。画素電極112の上に配向膜材料をフレキソ印刷あるいはインクジェット等によって塗布し、焼成して配向膜113を形成する。配向膜113の配向処理にはラビング法のほか偏光紫外線による光配向が用いられる。   Thereafter, ITO is formed by sputtering and patterned to form the pixel electrode 112. An alignment film material is applied on the pixel electrode 112 by flexographic printing or inkjet, and is baked to form the alignment film 113. For the alignment treatment of the alignment film 113, photo-alignment using polarized ultraviolet rays is used in addition to the rubbing method.

画素電極112とコモン電極110の間に電圧が印加されると図3に示すような電気力線が発生する。この電界によって液晶分子301を回転させ、液晶層300を通過する光の量を画素毎に制御することによって画像を形成する。   When a voltage is applied between the pixel electrode 112 and the common electrode 110, electric lines of force as shown in FIG. 3 are generated. The liquid crystal molecules 301 are rotated by this electric field, and an image is formed by controlling the amount of light passing through the liquid crystal layer 300 for each pixel.

図3において、液晶層300を挟んで対向基板200が配置されている。対向基板200の内側には、カラーフィルタ201が形成されている。カラーフィルタ201は画素毎に、赤、緑、青のカラーフィルタが形成されており、これによってカラー画像が形成される。カラーフィルタ201とカラーフィルタ201の間にはブラックマトリクス202が形成され、混色や、重畳される映像信号線などによる反射光を抑制する。なお、ブラックマトリクス202はTFTの遮光膜としての役割も有し、TFTに光電流が流れることを防止している。   In FIG. 3, the counter substrate 200 is disposed with the liquid crystal layer 300 interposed therebetween. A color filter 201 is formed inside the counter substrate 200. The color filter 201 is formed with red, green, and blue color filters for each pixel, thereby forming a color image. A black matrix 202 is formed between the color filter 201 and the color filter 201 to suppress color mixture and reflected light caused by a superimposed video signal line. Note that the black matrix 202 also has a role as a light shielding film of the TFT, and prevents a photocurrent from flowing through the TFT.

カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202を覆ってオーバーコート膜203が形成されている。カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202の表面は凹凸となっているために、オーバーコート膜203によって表面を平滑化している。オーバーコート膜の上には、液晶の初期配向を決めるための配向膜113が形成される。配向膜113の配向処理はTFT基板100側の配向膜113と同様、ラビング法あるいは光配向法が用いられる。   An overcoat film 203 is formed to cover the color filter 201 and the black matrix 202. Since the surfaces of the color filter 201 and the black matrix 202 are uneven, the surfaces are smoothed by the overcoat film 203. An alignment film 113 for determining the initial alignment of the liquid crystal is formed on the overcoat film. Similar to the alignment film 113 on the TFT substrate 100 side, the rubbing method or the photo-alignment method is used for the alignment process of the alignment film 113.

対向電極200の外側には、液晶表示パネルをタッチパネルとして機能させるための第1の電極Rxが形成されている。図3に示すように、対向基板200の外側に形成された第1の電極RxとTFT基板100に形成されたコモン電極110が兼用する第2の電極Txの間に静電容量250が形成されるが、この静電容量250の変化を検出することによって、タッチ位置を検出する。   A first electrode Rx for causing the liquid crystal display panel to function as a touch panel is formed outside the counter electrode 200. As shown in FIG. 3, a capacitance 250 is formed between the first electrode Rx formed outside the counter substrate 200 and the second electrode Tx shared by the common electrode 110 formed on the TFT substrate 100. However, the touch position is detected by detecting the change in the capacitance 250.

本実施形態における第1の電極Rxは金属で形成されているので、腐食を防止するために、第1の電極Rxを覆って保護膜210が形成されている。保護膜210はアクリル等の有機膜あるいは、SiN等の無機膜に有機膜が積層された構成である。   Since the first electrode Rx in the present embodiment is made of metal, a protective film 210 is formed to cover the first electrode Rx in order to prevent corrosion. The protective film 210 has a configuration in which an organic film is laminated on an organic film such as acrylic or an inorganic film such as SiN.

図4は、TFT基板100の平面図である。TFT基板には走査線、映像信号線等が形成されているが、図4では省略されている。図4において、タッチパネルの一方の電極となる第2の電極Txがy方向に延在し、周期xpでx方向に配列している。第2の電極TxはTFT基板100に形成されるコモン電極110をパターニングすることによって形成される。   FIG. 4 is a plan view of the TFT substrate 100. A scanning line, a video signal line, and the like are formed on the TFT substrate, but are omitted in FIG. In FIG. 4, second electrodes Tx, which are one electrode of the touch panel, extend in the y direction and are arranged in the x direction with a period xp. The second electrode Tx is formed by patterning the common electrode 110 formed on the TFT substrate 100.

図5は、図4における第2の電極Txの構成を示す拡大平面図である。図5において、走査線10が横方向(x方向)に延在して縦方向(y方向)に配列している。また、映像信号線20が縦方向(y方向)に延在して横方向(x方向)に配列している。走査線10と映像信号線20で囲まれた領域が一つの画素30である。図5では、画素30内の画素電極、スルーホール、TFT等は省略されている。   FIG. 5 is an enlarged plan view showing the configuration of the second electrode Tx in FIG. In FIG. 5, the scanning lines 10 extend in the horizontal direction (x direction) and are arranged in the vertical direction (y direction). The video signal lines 20 extend in the vertical direction (y direction) and are arranged in the horizontal direction (x direction). A region surrounded by the scanning lines 10 and the video signal lines 20 is one pixel 30. In FIG. 5, the pixel electrode, the through hole, the TFT, and the like in the pixel 30 are omitted.

IPS方式、特にFFS(Fringe Field Switching)方式の液晶表示装置では、コモン電極110は複数の画素に渡って連続的に形成されるが、図5では、3画素分の幅で、ストライプ状に縦方向に延在し、左側のコモン電極110と右側のコモン電極110の間にはスペースgxが存在し、コモン電極110間は絶縁されている。コモン電極110には、画像表示用のコモン電圧とタッチパネル用の駆動電圧Vyが交互に印加される。   In the liquid crystal display device of the IPS mode, particularly the FFS (Fringe Field Switching) mode, the common electrode 110 is continuously formed over a plurality of pixels, but in FIG. A space gx exists between the left common electrode 110 and the right common electrode 110, and the common electrodes 110 are insulated from each other. A common voltage for image display and a drive voltage Vy for touch panel are alternately applied to the common electrode 110.

図5において、コモン電極110(第2の電極Tx)を構成する各ストライプの幅は3画素分となっているが、これは、タッチパネルの必要な解像度にしたがって変えることが出来る。一般には、各ストライプの幅は3画素分よりも多い。   In FIG. 5, the width of each stripe constituting the common electrode 110 (second electrode Tx) is three pixels, but this can be changed according to the required resolution of the touch panel. In general, the width of each stripe is larger than three pixels.

図6は対向基板200の平面図である。対向基板200の周辺には、TFT基板100と接着するためのシール材70が形成され、対向基板200の表面には、タッチパネル用の第1の電極Rxが横方向(x方向)に延在し、縦方向(y方向)に周期ypで配列している。また、第1の電極Rxと第1電極Rxの間には、タッチパネル用の電極は形成されないので、この部分は間隔領域Sxがある。なお、間隔領域Sxの部分には電極が一切無いわけではなく、この部分にはダミー電極が形成されている。電極や配線配置を均一化することで、反射スジを防止するためである。   FIG. 6 is a plan view of the counter substrate 200. A sealing material 70 for bonding to the TFT substrate 100 is formed around the counter substrate 200. On the surface of the counter substrate 200, the first electrode Rx for the touch panel extends in the horizontal direction (x direction). In the vertical direction (y direction), they are arranged with a period yp. In addition, since no electrode for a touch panel is formed between the first electrode Rx and the first electrode Rx, there is an interval region Sx in this portion. It should be noted that the gap region Sx does not have any electrode, and a dummy electrode is formed in this portion. This is to prevent reflection streaks by making the electrodes and wiring arrangement uniform.

図7は、第1の電極Rxの概略構成である。図7に示すように、一つの第1の電極Rxはメッシュ状に形成され、x方向に延在している。第1の電極Rxは、図示しないタッチパネル用の制御回路に接続され、他の第1の電極Rxと共に、各第1の電極Rxの出力が順次スキャンされ、静電容量の変化を検知することで、タッチ位置を検出する。また、第1の電極Rxと第1の電極Rxに挟まれた間隔領域Sxには、ダミー電極が形成されている。ダミー電極はフロート電位となっている。   FIG. 7 is a schematic configuration of the first electrode Rx. As shown in FIG. 7, one first electrode Rx is formed in a mesh shape and extends in the x direction. The first electrode Rx is connected to a control circuit for a touch panel (not shown), and together with the other first electrode Rx, the output of each first electrode Rx is sequentially scanned to detect a change in capacitance. , Detect the touch position. A dummy electrode is formed in the space region Sx sandwiched between the first electrode Rx and the first electrode Rx. The dummy electrode has a float potential.

図7において、第1の電極Rxの縦方向の周期ypは図4、図5に示す第2電極Ryの横方向の周期xpと異なっているが、同じでもよい。また、図7における各メッシュの縦方向の周期pmは例えば170μm程度である。図7では、メッシュの縦方向の数は4行となっているが、メッシュの行の数は、タッチパネル機能の必要に応じて多くすることが出来る。また、図7では、第1の電極RxとスリットSxのダミー電極の幅は同じであるが、タッチパネル機能の必要に応じて変えることが出来る。   In FIG. 7, the vertical period yp of the first electrode Rx is different from the horizontal period xp of the second electrode Ry shown in FIGS. 4 and 5, but may be the same. Further, the vertical period pm of each mesh in FIG. 7 is, for example, about 170 μm. In FIG. 7, the number of meshes in the vertical direction is four, but the number of meshes can be increased as necessary for the touch panel function. In FIG. 7, the widths of the dummy electrodes of the first electrode Rx and the slit Sx are the same, but can be changed as necessary for the touch panel function.

図8は、本発明における第1の電極Rxの詳細構成を示す平面図である。図8の特徴は、第1の電極Rxにおいて、異なる方向に延設する配線が交互に組み合わされる、くの字(ジグザグ)状の電極配線rmと、電極配線rm間に配置されたダミー線rmdを有し、電極配線rmとダミー線rmdにより、疑似的にメッシュ状の配線構成を形成することである。この際、電極配線rmの屈曲点とダミー線rmd間は、間隔50を開けて配置される。間隔50の幅w1、w2は、例えば5μmである。   FIG. 8 is a plan view showing a detailed configuration of the first electrode Rx in the present invention. 8 is characterized in that, in the first electrode Rx, wirings extending in different directions are alternately combined, and a dummy line rmd disposed between the electrode wirings rm and a dummy line rmd disposed between the electrode wirings rm. And a pseudo mesh-like wiring configuration is formed by the electrode wiring rm and the dummy line rmd. At this time, the bending point of the electrode wiring rm and the dummy line rmd are arranged with an interval 50 therebetween. The widths w1 and w2 of the interval 50 are, for example, 5 μm.

図9は、第2の電極Sxの詳細構成を示す平面図である。図9において、第1の電極Rxの電極配線rmに相当する位置には、ダミー線rdが配置される。電極配線rmとの違いは、線の途中で間隔40が設けられており、電気的に配線として機能しない点である。また、第1の電極Rxのダミー線rmdに相当する位置には、ダミー線rddが配置される。ダミー線rddも、ダミー線rdと同様に、先の途中で間隔40が設けられている。また、ダミー線rdとダミー線rddが間隔50を開けて配置される点も第1の電極Rxの場合と同じである。   FIG. 9 is a plan view showing a detailed configuration of the second electrode Sx. In FIG. 9, a dummy line rd is disposed at a position corresponding to the electrode wiring rm of the first electrode Rx. The difference from the electrode wiring rm is that an interval 40 is provided in the middle of the line and it does not function electrically as a wiring. A dummy line rdd is disposed at a position corresponding to the dummy line rmd of the first electrode Rx. Similarly to the dummy line rd, the dummy line rdd is also provided with an interval 40 in the middle. Further, the dummy line rd and the dummy line rdd are also arranged at an interval of 50, which is the same as in the case of the first electrode Rx.

図10及び図11は、図8の第1の電極Rxを形成した場合の効果を示す図である。図10は、図14に相当する図であり、電極配線rmの屈曲点付近と、画素30を重ねて示す平面図である。図10の画素における(n,m)の番号は画素の位置を示す。図10における中央の画素(2,2)において、電極配線rmとダミー線rmdとは接しておらず、間隔50が存在しているので、その分、画素(2,2)を遮光する要素が減る。実施例1のこの構造では、電極配線rmの屈曲点部分では、配線の線分が通常のメッシュ形状であれば4本あるところを2本にできている。つまり間隔50を形成したことによって、図19で示した一般的なメッシュ形状の電極配線の場合と比べ、中央の画素(2,2)の輝度を向上させることができる。   10 and 11 are diagrams showing effects when the first electrode Rx of FIG. 8 is formed. FIG. 10 is a view corresponding to FIG. 14 and is a plan view showing the vicinity of the bending point of the electrode wiring rm and the pixel 30 in an overlapping manner. The number (n, m) in the pixel in FIG. 10 indicates the position of the pixel. In the central pixel (2, 2) in FIG. 10, the electrode wiring rm and the dummy line rmd are not in contact with each other, and there is an interval 50, and accordingly, an element that blocks the pixel (2, 2) is shielded. decrease. In this structure of the first embodiment, at the bend point portion of the electrode wiring rm, if the line segment of the wiring is a normal mesh shape, there are two where there are four. That is, by forming the interval 50, the luminance of the central pixel (2, 2) can be improved as compared with the case of the general mesh electrode wiring shown in FIG.

図11はこの結果を示す各画素の明るさを示す平面図である。図19の場合では、最も輝度の低下が大きかった中央の画素(2,2)の明るさが、本実施例の場合では、図11に示すように、中央両脇の画素(2,1)および(2,3)と同程度の明るさになるので、電極配線rmの屈曲点と重複する画素30の輝度低下が防止でき、周辺の画素30と輝度の変化が少なることから、画面全体でみると、モアレの発生が軽減されることになる。   FIG. 11 is a plan view showing the brightness of each pixel showing this result. In the case of FIG. 19, the brightness of the central pixel (2, 2) where the luminance reduction is the largest is the pixel (2, 1) on both sides of the center as shown in FIG. Since the brightness is comparable to that of (2, 3), the luminance reduction of the pixel 30 overlapping the bending point of the electrode wiring rm can be prevented, and the change in luminance with the peripheral pixel 30 is reduced, so that the entire screen is If it sees, generation | occurrence | production of a moire will be reduced.

また、疑似的にでもメッシュ形状であるということは、見る方向によって縦方向に見えなくなる部分が無くなることとなり、反射スジの問題も解消することになる。   In addition, even if it is pseudo, the mesh shape means that there is no portion that cannot be seen in the vertical direction depending on the viewing direction, and the problem of reflection streaks is solved.

図12は本発明の実施例2における第1電極Rxの構成を示す平面図である。本実施例では、電極配線rmの形状は、実施例1の場合と同じであるが、ダミー線rmd2の形状が実施例1の場合と異なっている。図12に示すように、ダミー線rmd2は、線の途中で電極配線rmの屈曲点と同じ角度を有する屈曲点を有し、電極配線rmの屈曲点位置と対象となるような位置に配置される。一つの電極配線rm全体でみると、電極配線rmの周囲に置かれるダミー線rmd2は、疑似的に電極配線rmの対称形状を有するように配置されている。なお、電極配線rmとダミー線rmd2の間は、間隔50が設けられ、直接接触しないようになっている。間隔50の寸法は、例えば5μmである。   FIG. 12 is a plan view showing the configuration of the first electrode Rx in the second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the shape of the electrode wiring rm is the same as that in the first embodiment, but the shape of the dummy line rmd2 is different from that in the first embodiment. As shown in FIG. 12, the dummy line rmd2 has a bending point having the same angle as the bending point of the electrode wiring rm in the middle of the line, and is arranged at a position where the bending point position of the electrode wiring rm is the target. The Looking at one electrode wiring rm as a whole, the dummy line rmd2 placed around the electrode wiring rm is arranged so as to have a pseudo-symmetrical shape of the electrode wiring rm. Note that a space 50 is provided between the electrode wiring rm and the dummy line rmd2 so as not to be in direct contact with each other. The dimension of the space | interval 50 is 5 micrometers, for example.

このような配置によれば、表示画面全体からみると、第1の電極Rxは、実施例1と同様に、疑似的なメッシュ形状を有する。実施例2で示す例であっても、電極配線rmの屈曲位置には、ダミー線rmが間隔を開けて配置されているので、実施例1と同様に、この部分における画素の輝度低下を防止することができる。   According to such an arrangement, when viewed from the entire display screen, the first electrode Rx has a pseudo mesh shape as in the first embodiment. Even in the example shown in the second embodiment, since the dummy lines rm are arranged at an interval at the bent position of the electrode wiring rm, similarly to the first embodiment, a reduction in the luminance of the pixel in this portion is prevented. can do.

図13は、本実施例における第2の電極Sxの構成を示す平面図である。第2の電極Sxの場合は、電極配線rmがなく、全てダミー線rmd2の組み合わせで形成され、画面全体でみて、疑似的にメッシュ状となるように形成される。   FIG. 13 is a plan view showing the configuration of the second electrode Sx in the present embodiment. In the case of the second electrode Sx, there is no electrode wiring rm, all of them are formed by a combination of dummy lines rmd2, and are formed in a pseudo mesh shape when viewed on the entire screen.

このように、実施例2においても、実施例1と同様の効果を達成することができる。   Thus, also in Example 2, the same effect as Example 1 can be achieved.

以上の説明では、タッチパネルの検出電極である第1の電極Rxをx方向に延在させるとして説明した。しかし、この第1の電極Rxをy方向に延在させる場合でも、本発明を適用することが出来る。   In the above description, the first electrode Rx, which is the detection electrode of the touch panel, has been described as extending in the x direction. However, the present invention can be applied even when the first electrode Rx extends in the y direction.

また、以上の説明では、表示装置を液晶表示装置の例で説明したが、他の方式、例えば有機EL表示装置等の他の表示装置についても適用することが出来る。   In the above description, the display device is described as an example of a liquid crystal display device. However, the present invention can be applied to other display devices such as an organic EL display device.

1…配線、 10…走査線、 20…映像信号線、 30…画素、 40…間隔、 41…線切欠き幅、 50…間隔、 60…モアレパターン、 70…シール材、 100…TFT基板、 101…第1下地膜、 102…第2下地膜、 103…半導体層、 104…ゲート絶縁膜、 105…ゲート電極、 106…第1層間絶縁膜、 107…コンタクト電極、 108…無機パッシベーション膜、 109…有機パッシベーション膜、 110…コモン電極、 111…第2層間絶縁膜、 112…画素電極、 113…配向膜、 120…第1スルーホール、 130…第2スルーホール、 150…端子部、 160…ICドライバ、 200…対向基板、 201…カラーフィルタ、 202…ブラックマトリクス、 203…オーバーコート膜、 210…保護膜、 220…上偏光板、 230…タッチパネル用フレキシブル配線基板、 240…カバーガラス、 250…容量、 300…液晶層、 301…液晶分子、 500…表示領域、 D…ドレイン部、 S…ソース部、 Rx…第1の電極、 rm…電極配線、 rmd…ダミー線、 Tx…第2の電極、 rd…ダミー線、 rdd…ダミー線、 R1…ベースメタル、 R2…Al合金層、 R3…キャップメタル、 R4…反射防止膜、 w1、w2…ノード切欠きの幅   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Wiring, 10 ... Scanning line, 20 ... Video signal line, 30 ... Pixel, 40 ... Spacing, 41 ... Line notch width, 50 ... Spacing, 60 ... Moire pattern, 70 ... Seal material, 100 ... TFT substrate, 101 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... 1st base film, 102 ... 2nd base film, 103 ... Semiconductor layer, 104 ... Gate insulating film, 105 ... Gate electrode, 106 ... 1st interlayer insulating film, 107 ... Contact electrode, 108 ... Inorganic passivation film, 109 ... Organic passivation film, 110 ... Common electrode, 111 ... Second interlayer insulating film, 112 ... Pixel electrode, 113 ... Alignment film, 120 ... First through hole, 130 ... Second through hole, 150 ... Terminal part, 160 ... IC driver 200 ... Counter substrate 201 ... Color filter 202 ... Black matrix 203 ... Overcoat 210 ... Protective film, 220 ... Upper polarizing plate, 230 ... Flexible wiring substrate for touch panel, 240 ... Cover glass, 250 ... Capacity, 300 ... Liquid crystal layer, 301 ... Liquid crystal molecule, 500 ... Display area, D ... Drain part, S ... source part, Rx ... first electrode, rm ... electrode wiring, rmd ... dummy line, Tx ... second electrode, rd ... dummy line, rdd ... dummy line, R1 ... base metal, R2 ... Al alloy layer, R3 ... Cap metal, R4 ... Antireflection film, w1, w2 ... Width of node notch

Claims (12)

表示面側にタッチパネル用の金属線を有する表示装置であって、
前記金属線は、第1の方向に延在し、第2の方向に平行して複数配置された第1の金属線と、
前記第1の金属線間に配置された複数の第2の金属線を有し、
前記第1の金属線は、第1の方向に対して第1の角度で傾斜して配置された第1の辺と、第1の方向に対して第2の角度で傾斜して配置された第2の辺を有し、
前記第2の金属線は、第1の方向に対して第1の角度で傾斜して配置された第3の辺と、第1の方向に対して第2の角度で傾斜して配置された第4の辺を有し、
前記第1及び第2の金属線は、前記第1の辺と前記第2の辺と前記第3の辺と前記第4の辺により、四角形状となるように、配置され、
前記第1の辺と前記第2の辺と前記第3の辺と前記第4の辺の交点位置では、前記第1の辺と前記第2の辺は接続され、前記第3の辺と前記第4の辺は、前記第1の辺と前記第2の辺の交点からは離間して配置されることを特徴とする表示装置。
A display device having a touch panel metal wire on the display surface side,
A plurality of first metal wires extending in a first direction and arranged in parallel with the second direction;
A plurality of second metal wires disposed between the first metal wires;
The first metal line is disposed to be inclined at a first angle with respect to the first direction and to be inclined at a second angle with respect to the first direction. Has a second side,
The second metal line is disposed at a second angle with respect to the first direction and a third side disposed at a second angle with respect to the first direction. Has a fourth side,
The first and second metal lines are arranged in a quadrangular shape by the first side, the second side, the third side, and the fourth side,
At the intersection position of the first side, the second side, the third side, and the fourth side, the first side and the second side are connected, and the third side and the The display device is characterized in that the fourth side is arranged to be separated from the intersection of the first side and the second side.
前記第1の金属線と前記第2の金属線で囲まれた領域は、平行四角形状であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein a region surrounded by the first metal line and the second metal line has a parallel square shape. 前記第1の辺と前記第4の辺は平行に配置され、前記第2の辺と前記第3の辺は平行に配置されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   2. The display device according to claim 1, wherein the first side and the fourth side are arranged in parallel, and the second side and the third side are arranged in parallel. 前記第1の金属線は、タッチパネル用の検出電極として用いられ、前記第2の金属線は、ダミー電極であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the first metal line is used as a detection electrode for a touch panel, and the second metal line is a dummy electrode. 第1の方向に延在し、第2の方向に平行して複数配置された第3の金属線と、
前記第3の金属線間に配置された複数の第4の金属線を有し、
前記第3の金属線と前記第4の金属線は、前記第1の金属線と前記第2の金属線の間に配置され、
前記第3の金属線は、第1の方向に対して第1の角度で傾斜して配置された第5の辺と、第1の方向に対して第2の角度で傾斜して配置された第6の辺を有し、
前記第4の金属線は、第1の方向に対して第1の角度で傾斜して配置された第7の辺と、第1の方向に対して第2の角度で傾斜して配置された第8の辺を有し、
前記第3及び第4の金属線は、前記第5の辺と前記第6の辺と前記第7の辺と前記第8の辺により、四角形状となるように、配置され、
前記第5の辺と前記第6の辺と前記第7の辺と前記第8の辺の交点位置では、前記第5の辺と前記第6の辺は接続され、前記第7の辺と前記第8の辺は、前記第5の辺と前記第6の辺の交点からは離間して配置されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
A third metal line extending in the first direction and arranged in parallel in the second direction;
A plurality of fourth metal wires disposed between the third metal wires;
The third metal line and the fourth metal line are disposed between the first metal line and the second metal line,
The third metal line is disposed at a second angle inclined with respect to the first direction and at a second angle inclined with respect to the first direction. Has a sixth side,
The fourth metal line is disposed at a second angle inclined with respect to the first direction and a seventh side disposed at a second angle with respect to the first direction. Has an eighth side,
The third and fourth metal lines are arranged in a quadrangular shape by the fifth side, the sixth side, the seventh side, and the eighth side,
At the intersection position of the fifth side, the sixth side, the seventh side, and the eighth side, the fifth side and the sixth side are connected, and the seventh side and the The display device according to claim 1, wherein the eighth side is arranged to be separated from an intersection of the fifth side and the sixth side.
前記第3及び第4の金属線は、タッチパネル用の電極としてはダミー電極であり、
前記第5乃至第8の辺の直線部分では、配線の非形成領域を有することを特徴とする請求項5に記載の表示装置。
The third and fourth metal wires are dummy electrodes as electrodes for the touch panel,
6. The display device according to claim 5, wherein a straight line portion of the fifth to eighth sides has a wiring non-formation region.
表示面側にタッチパネル用の金属線を有する表示装置であって、
前記金属線は、第1の方向に延在し、第2の方向に平行して複数配置された第1の金属線と、
前記第1の金属線間に配置された複数の第2の金属線を有し、
前記第1の金属線は、第1の方向に対して第1の角度で傾斜して配置された第1の辺と、第1の方向に対して第2の角度で傾斜して配置された第2の辺を有し、
前記第2の金属線は、第1の方向に対して第1の角度で傾斜して配置された第3の辺と、第1の方向に対して第2の角度で傾斜して配置された第4の辺を有し、
前記第1及び第2の金属線は、前記第1の辺と前記第2の辺と前記第3の辺と前記第4の辺により、四角形状となるように、配置され、
前記第1の辺と前記第2の辺の交点位置では、前記第1の辺と前記第2の辺は接続され、前記第3の辺と前記第4の辺の交点位置では、前記第3の辺と前記第4の辺は接続され、
前記第1の辺と前記第4の辺は、交差するように配置され、
前記第2の辺と前記第3の辺は、交差するように配置され、
前記第3の辺と前記第4の辺は、前記第1及び第2の辺と交差する位置で配線の非形成領域を有し、前記第3の辺と前記第4の辺は、前記第1及び第2の辺と離間して配置されることを特徴とする表示装置。
A display device having a touch panel metal wire on the display surface side,
A plurality of first metal wires extending in a first direction and arranged in parallel with the second direction;
A plurality of second metal wires disposed between the first metal wires;
The first metal line is disposed to be inclined at a first angle with respect to the first direction and to be inclined at a second angle with respect to the first direction. Has a second side,
The second metal line is disposed at a second angle with respect to the first direction and a third side disposed at a second angle with respect to the first direction. Has a fourth side,
The first and second metal lines are arranged in a quadrangular shape by the first side, the second side, the third side, and the fourth side,
At the intersection position of the first side and the second side, the first side and the second side are connected, and at the intersection position of the third side and the fourth side, the third side And the fourth side are connected,
The first side and the fourth side are arranged to intersect,
The second side and the third side are arranged to intersect each other,
The third side and the fourth side have a wiring non-formation region at a position intersecting the first and second sides, and the third side and the fourth side are A display device, wherein the display device is disposed apart from the first and second sides.
前記第1の金属線と前記第2の金属線で囲まれた領域は、平行四角形状であることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。   The display device according to claim 7, wherein a region surrounded by the first metal line and the second metal line has a parallel square shape. 前記第1の辺と前記第4の辺は平行に配置され、前記第2の辺と前記第3の辺は平行に配置されることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。   The display device according to claim 7, wherein the first side and the fourth side are arranged in parallel, and the second side and the third side are arranged in parallel. 前記第1の金属線は、タッチパネル用の検出電極として用いられ、前記第2の金属線は、ダミー電極であることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。   The display device according to claim 7, wherein the first metal line is used as a detection electrode for a touch panel, and the second metal line is a dummy electrode. 第1の方向に延在し、第2の方向に平行して複数配置された第3の金属線群を有し、
前記第3の金属線群は、四角形状の配線が前記第1の方向に連続的に形成された形状であり、
前記四角形状の交点位置に、配線の非形成領域を有することを特徴とする請求項7に記載の表示装置。
A third metal wire group extending in the first direction and arranged in parallel with the second direction;
The third metal line group has a shape in which rectangular wiring is continuously formed in the first direction,
The display device according to claim 7, further comprising a wiring non-formation region at the rectangular intersection.
前記第3金属線群は、前記第1の金属線と前記第2の金属線間に配置され、
前記第3の金属線群は、タッチパネル用の電極としてはダミー電極であることを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
The third metal wire group is disposed between the first metal wire and the second metal wire,
The display device according to claim 11, wherein the third metal line group is a dummy electrode as an electrode for a touch panel.
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