JP2019026926A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 独立した多数の蒸着通孔を所定パターンで設けられる複数のマスク本体と、マスク本体の周囲に配置される枠体とを備える蒸着マスクにおいて、
   前記枠体が、最外周に位置する矩形又は方形状の外枠部と、当該外枠部の内側を複数の開口領域に区画する内枠部とを有して、全体として格子状に形成され、
   前記マスク本体が、枠体における複数の開口領域にそれぞれ位置して、前記枠体と一体化されてなり、
   前記枠体の前記内枠部のうち、前記枠体の厚さ方向における最も細幅となる箇所の断面形状が、幅寸法に対する厚さ寸法の割合を０．８／４以上２／４以下であることを特徴とする蒸着マスク。
2. 前記請求項１に記載の蒸着マスクにおいて、
   前記枠体における前記外枠部及び前記内枠部のうち、前記枠体の厚さ方向における最も細幅となる箇所以外の断面形状が、幅寸法に対する厚さ寸法の割合を０．８／９０以上で、且つ、前記内枠部の最も細幅となる箇所における幅寸法に対する厚さ寸法の割合より小さいことを特徴とする蒸着マスク。
3. 前記請求項１又は２に記載の蒸着マスクにおいて、
   前記枠体の厚さ寸法が０．８ｍｍ以上２ｍｍ以下とするように形成されることを特徴とする蒸着マスク。
4. 前記請求項１ないし３のいずれかに記載の蒸着マスクにおいて、
   前記枠体が、第一枠部材と第二枠部材とを重ねて一体化した積層構造とされ、
   前記第一枠部材と前記第二枠部材は、金属薄板素材から形成された反りのある枠部材で、且つそれぞれの反り方向を逆向きとされるものであることを特徴とする蒸着マスク。
5. 前記請求項１ないし３のいずれかに記載の蒸着マスクにおいて、
   前記枠体が、前記内枠部の材質と前記外枠部の材質とを異ならせて形成されることを特徴とする蒸着マスク。