JP2018206801A - Laminated piezoelectric element and injector including the same, and fuel injection system - Google Patents

Laminated piezoelectric element and injector including the same, and fuel injection system Download PDF

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Abstract

To provide a laminated piezoelectric element that can reduce the generation of cracks in portions other than scheduled breaking layers and an injector including the same, and a fuel injection system.SOLUTION: A laminated piezoelectric element of the present disclosure comprises: a plurality of lamination units 3 that each have piezoelectric layers 1 and internal electrode layers 2 laminated alternately; and scheduled breaking layers 4 that are each arranged between the lamination unit 3 and lamination unit 3 adjacent to each other. In each of the lamination units 3, a first piezoelectric layer 11 that is the first piezoelectric layer 1 counted from the scheduled breaking layer 4 is thinner than a second piezoelectric layer 12 that is the second piezoelectric layer 1 counted from the scheduled breaking layer 4.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、圧電駆動素子(圧電アクチュエータ),圧力センサ素子,圧電回路素子等として用いられる積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システムに関する。   The present disclosure relates to a laminated piezoelectric element used as a piezoelectric driving element (piezoelectric actuator), a pressure sensor element, a piezoelectric circuit element, and the like, an injection apparatus including the same, and a fuel injection system.

積層型圧電素子として、圧電体層および内部電極層が交互に複数積層された積層ユニットを複数備えているとともに、隣り合う積層ユニットと積層ユニットとの間に配置された予定破断層を備えたものが知られている(特許文献1を参照)。ここで、予定破断層とは、周囲の層よりも容易に破断しやすくなっている層である。このような積層型圧電素子は、予定破断層でクラックを発生させることで他の部位にかかる応力およびクラックを低減し、性能を長期間にわたって維持することを目的としている。   A multilayer piezoelectric element having a plurality of laminated units in which a plurality of piezoelectric layers and internal electrode layers are alternately laminated, and having a predetermined rupture layer disposed between adjacent laminated units Is known (see Patent Document 1). Here, the planned fracture layer is a layer that is easier to break than the surrounding layers. Such a multilayer piezoelectric element is intended to reduce the stress and cracks applied to other parts by generating cracks in the planned fracture layer, and to maintain the performance over a long period of time.

特表2006−518934号公報JP 2006-518934 Gazette

近年、更なる高変位、高周波数での駆動の要求があり、そのような駆動においても長期間安定的に使用できる積層型圧電素子が求められている。   In recent years, there is a demand for driving at higher displacement and higher frequency, and there is a demand for a multilayer piezoelectric element that can be used stably for a long time even in such driving.

しかしながら、上記のような駆動においては、全ての活性領域の圧電体層を全て同一の厚みにて形成した場合、例えば予定破断層の近傍にある内部電極層の端部に加わる応力が高まり、予定破断層以外の部位でクラックが発生するおそれがあった。   However, in the drive as described above, when all the piezoelectric layers in the active region are formed with the same thickness, for example, the stress applied to the end portion of the internal electrode layer in the vicinity of the planned fracture layer increases, There was a risk that cracks would occur at sites other than the fractured layer.

本開示は上記事情に鑑みてなされたもので、予定破断層以外の部位にクラックが発生するのを抑制できる積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システムを提供することを目的とする。   The present disclosure has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a multilayer piezoelectric element capable of suppressing the occurrence of cracks in a portion other than a planned fracture layer, an injection device including the same, and a fuel injection system. To do.

本開示の積層型圧電素子は、圧電体層および内部電極層が交互に積層された積層ユニットを複数備えているとともに、隣り合う積層ユニットと積層ユニットとの間に配置された予定破断層を備え、それぞれの前記積層ユニットにおいて、前記予定破断層から数えて1番目の圧電体層である第1の圧電体層が、前記予定破断層から数えて2番目の圧電体層である第2の圧電体層よりも薄いことを特徴とする。   The multilayer piezoelectric element of the present disclosure includes a plurality of multilayer units in which piezoelectric layers and internal electrode layers are alternately stacked, and includes a predetermined fracture layer disposed between adjacent multilayer units. In each of the stacked units, the first piezoelectric layer that is the first piezoelectric layer counted from the planned fracture layer is the second piezoelectric layer that is the second piezoelectric layer counted from the planned fracture layer. It is characterized by being thinner than the body layer.

また本開示の噴射装置は、噴射孔を有する容器と、上記構成の積層型圧電素子とを備え、該積層型圧電素子の駆動によって前記噴射孔が開閉されることを特徴とする。   An injection device of the present disclosure includes a container having an injection hole and the multilayer piezoelectric element having the above-described configuration, and the injection hole is opened and closed by driving the multilayer piezoelectric element.

また本開示の燃料噴射システムは、高圧燃料を蓄えるコモンレールと、該コモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する上記構成の噴射装置と、前記コモンレールに記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えることを特徴とする。   A fuel injection system according to the present disclosure includes a common rail that stores high-pressure fuel, an injection device configured as described above that injects the high-pressure fuel stored in the common rail, a pressure pump that supplies the high-pressure fuel to the common rail, and the injection And an injection control unit for supplying a drive signal to the apparatus.

本開示の積層型圧電素子によれば、予定破断層以外の部位にクラックが発生するのを抑
制して、長期信頼性に優れたものとすることができる。
According to the multilayer piezoelectric element of the present disclosure, it is possible to suppress the occurrence of cracks in portions other than the planned fracture layer and to have excellent long-term reliability.

また本開示の噴射装置および燃料噴射システムによれば、長期信頼性に優れた積層型圧電素子を備えていることから、長期間にわたって精度よく安定した駆動を実現することができる。   Further, according to the injection device and the fuel injection system of the present disclosure, since the multilayer piezoelectric element having excellent long-term reliability is provided, it is possible to realize accurate and stable driving over a long period of time.

積層型圧電素子の実施形態の一例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows an example of embodiment of a lamination type piezoelectric element. 図1に示す積層体の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the laminated body shown in FIG. 積層型圧電素子の実施形態の他の例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the other example of embodiment of a lamination type piezoelectric element. 図3に示す積層体の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the laminated body shown in FIG. 図1に示す積層体の他の例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the other example of the laminated body shown in FIG. 噴射装置の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of an injection apparatus. 燃料噴射システムの一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of a fuel-injection system.

以下、積層型圧電素子の実施形態の一例について図面を参照して説明する。   Hereinafter, an example of an embodiment of a multilayer piezoelectric element will be described with reference to the drawings.

図1は積層型圧電素子の実施形態の一例を示す概略斜視図、図2は図1に示す積層体の概略断面図である。   FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of an embodiment of a multilayer piezoelectric element, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the multilayer body shown in FIG.

図1および図2に示す積層型圧電素子10は、圧電体層1および内部電極層2が交互に積層された積層ユニット3を複数備えた積層体30を有している。   A laminated piezoelectric element 10 shown in FIGS. 1 and 2 has a laminated body 30 including a plurality of laminated units 3 in which piezoelectric layers 1 and internal electrode layers 2 are alternately laminated.

積層ユニット3は、内部電極層2(第1の内部電極層21および第2の内部電極層22)が圧電体層1を介して交互に積層されたものである。この積層ユニット3は、積層方向から見て第1の内部電極層21と第2の内部電極層22とが重なる活性領域と、積層方向から見て第1の内部電極層21と第2の内部電極層22とが重ならない不活性領域とを有している。ここで、活性領域は駆動時に積層方向に伸長または収縮する部位である。また、不活性領域は駆動時に積層方向に伸長または収縮しないかまたはしにくい部位である。   In the multilayer unit 3, internal electrode layers 2 (first internal electrode layers 21 and second internal electrode layers 22) are alternately stacked via piezoelectric layers 1. The stacked unit 3 includes an active region where the first internal electrode layer 21 and the second internal electrode layer 22 overlap each other when viewed from the stacking direction, and the first internal electrode layer 21 and the second internal electrode viewed from the stacking direction. An inactive region that does not overlap with the electrode layer 22 is provided. Here, the active region is a portion that expands or contracts in the stacking direction during driving. The inactive region is a portion that does not stretch or shrink in the stacking direction during driving or is difficult to drive.

積層体30は、複数の積層ユニット3が積層された部分を有しているとともに、複数の積層ユニット3が積層された部分の積層方向両端部に圧電体層1のみが積層された部分を有している。この積層方向両端部に位置する圧電体層1のみが積層された部分も、駆動時に積層方向に伸長または収縮しないかまたはしにくい不活性領域である。   The laminated body 30 has a portion in which a plurality of laminated units 3 are laminated, and has a portion in which only the piezoelectric layer 1 is laminated at both ends in the lamination direction of the portion in which the plurality of laminated units 3 are laminated. doing. The portions where only the piezoelectric layers 1 positioned at both ends in the stacking direction are stacked are also inactive regions that do not stretch or contract in the stacking direction during driving.

積層体30は、例えば縦0.5〜10mm、横0.5〜10mm、高さ1〜100mmの四角柱状(直方体状)にされている。積層体30の形状としては、六角柱形状や八角柱形状、円柱状などであってもよい。   The laminated body 30 is formed in, for example, a rectangular column shape (a rectangular parallelepiped shape) having a length of 0.5 to 10 mm, a width of 0.5 to 10 mm, and a height of 1 to 100 mm. The shape of the laminated body 30 may be a hexagonal column shape, an octagonal column shape, a cylindrical shape, or the like.

圧電体層1は、圧電特性を有するセラミックスからなるものである。このようなセラミックスとして、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PbZrO−PbTiO)からなるペロブスカイト型酸化物、ニオブ酸リチウム(LiNbO)、タンタル酸リチウム(LiTaO)などを用いることができる。この圧電体層1の厚みは、例えば3〜250μmとされる。 The piezoelectric layer 1 is made of a ceramic having piezoelectric characteristics. As such a ceramic, for example, a perovskite oxide made of lead zirconate titanate (PbZrO 3 —PbTiO 3 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), lithium tantalate (LiTaO 3 ), or the like can be used. The thickness of the piezoelectric layer 1 is, for example, 3 to 250 μm.

内部電極層2は、圧電体層1を形成するセラミックスと同時焼成により形成されたものである。内部電極層2は、第1の内部電極層21および第2の内部電極層22からなり、圧電体層1と交互に積層されて圧電体層1を上下から挟んでいる。例えば第1の内部電極層21を正極、第2の内部電極層22を負極またはグランド極として交互に配置されるこ
とにより、それらの間に挟まれた圧電体層1に駆動電圧が印加される。このような材料として、例えば低温焼成が可能な銀−パラジウム合金を主成分とする導体、あるいは銅、白金などを含む導体を用いることができる。第1の内部電極層21および第2の内部電極層22の厚みは、例えば0.1〜5μmとされる。
The internal electrode layer 2 is formed by simultaneous firing with the ceramic forming the piezoelectric layer 1. The internal electrode layer 2 includes a first internal electrode layer 21 and a second internal electrode layer 22, and is alternately stacked with the piezoelectric layer 1 to sandwich the piezoelectric layer 1 from above and below. For example, by alternately arranging the first internal electrode layer 21 as a positive electrode and the second internal electrode layer 22 as a negative electrode or a ground electrode, a driving voltage is applied to the piezoelectric layer 1 sandwiched therebetween. . As such a material, for example, a conductor mainly composed of a silver-palladium alloy that can be fired at a low temperature, or a conductor containing copper, platinum, or the like can be used. The thickness of the 1st internal electrode layer 21 and the 2nd internal electrode layer 22 shall be 0.1-5 micrometers, for example.

図に示す例では、第1の内部電極層21および第2の内部電極層22がそれぞれ積層ユニット3(積層体30)の対向する一対の側面に互い違いに引き出されて、積層ユニット3(積層体30)の側面に設けられた後述の一対の外部電極5と電気的に接続されている。なお、積層ユニット3(積層体30)の対向する他の一対の側面に第1の内部電極層21および第2の内部電極層22の両方の端面が露出していてもよく、第1の内部電極層21および第2の内部電極層22の両方の端面が露出せずに側面から離れて内側に位置してもよい。   In the example shown in the figure, the first internal electrode layer 21 and the second internal electrode layer 22 are alternately drawn out to a pair of opposing side surfaces of the multilayer unit 3 (laminate 30), and the multilayer unit 3 (laminate) 30) and electrically connected to a pair of external electrodes 5 to be described later. Note that the end surfaces of both the first internal electrode layer 21 and the second internal electrode layer 22 may be exposed at the other pair of side surfaces facing each other of the multilayer unit 3 (laminated body 30). Both end surfaces of the electrode layer 21 and the second internal electrode layer 22 may be located on the inner side away from the side surface without being exposed.

また、積層型圧電素子10は、隣り合う積層ユニット3と積層ユニット3との間に配置された予定破断層4を備えている。ここで、予定破断層4とは、積層型圧電素子10の駆動によってそれぞれの積層ユニット3に生じる応力を緩和するための層である。この予定破断層4としては、例えば内部電極層として機能しない多孔質な金属層、あらかじめ亀裂の入った金属層などが挙げられる。   In addition, the multilayer piezoelectric element 10 includes a predetermined fracture layer 4 disposed between the adjacent multilayer units 3. Here, the planned fracture layer 4 is a layer for relieving the stress generated in each multilayer unit 3 by driving the multilayer piezoelectric element 10. Examples of the planned fracture layer 4 include a porous metal layer that does not function as an internal electrode layer, and a metal layer that is cracked in advance.

また、上述したように、第1の内部電極層21および第2の内部電極層22のいずれか一方の端面が達する一対の側面には、それぞれ外部電極5が設けられ、引き出された第1の内部電極層21または第2の内部電極層22と電気的に接続されている。この外部電極5は、例えばAgやCuなどの金属を含んだ導電性ペーストを焼き付けて作製することができる。ここで、外部電極5を積層体30の側面に垂直な横断面で見たときに、外部電極5の厚みは例えば5〜70μmとされる。また、図示しないが、外部電極5の端部にリード部材が接合され、リード部材を介して外部回路との電気的な接続がなされる。   Further, as described above, the external electrode 5 is provided on each of the pair of side surfaces to which one of the end surfaces of the first internal electrode layer 21 and the second internal electrode layer 22 reaches, and the extracted first electrode The internal electrode layer 21 or the second internal electrode layer 22 is electrically connected. The external electrode 5 can be produced by baking a conductive paste containing a metal such as Ag or Cu. Here, when the external electrode 5 is viewed in a cross section perpendicular to the side surface of the multilayer body 30, the thickness of the external electrode 5 is set to, for example, 5 to 70 μm. Although not shown, a lead member is joined to the end of the external electrode 5, and an electrical connection with an external circuit is made through the lead member.

なお、第1の内部電極層21および第2の内部電極層22の両方の端面が露出または両方の端面が露出していない側面には、必要により被覆材が設けられていてもよい。被覆材は、例えばシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ナイロン樹脂などからなり、単層のみならず、複数層で構成されていてもよい。この被覆材はマイグレーションや放電を抑制する効果を奏する。   Note that a covering material may be provided on the side surfaces where both end surfaces of the first internal electrode layer 21 and the second internal electrode layer 22 are exposed or both end surfaces are not exposed, if necessary. The covering material is made of, for example, a silicone resin, an epoxy resin, a nylon resin, or the like, and may be composed of not only a single layer but also a plurality of layers. This covering material has an effect of suppressing migration and discharge.

そして、図2に示すように、それぞれの積層ユニット3において、予定破断層4から数えて1番目の圧電体層である第1の圧電体層11が、予定破断層4から数えて2番目の圧電体層である第2の圧電体層12よりも薄い。   As shown in FIG. 2, in each laminated unit 3, the first piezoelectric layer 11 that is the first piezoelectric layer counted from the planned fracture layer 4 is the second piezoelectric layer counted from the planned fracture layer 4. It is thinner than the second piezoelectric layer 12 which is a piezoelectric layer.

圧電体層1が厚くなると、当該圧電体層1に発生する応力が弱まる。ここで、予定破断層4を破断させるための応力が積層ユニット3内の各圧電体層1に発生する応力の合計であるとすると、第2の圧電体層12(予定破断層から数えて2番目の圧電体層1)に発生する応力が弱まることで、予定破断層4に隣接する第1の圧電体層11(予定破断層から数えて1番目の圧電体層1)にて発生する応力の比率が強まって支配的になる。これにより、予定破断層4の近傍に発生する応力が予定破断層4に集中しやすくなり、より確実に予定破断層4が破断して、予定破断層4の近傍にある内部電極層2などの予定破断層4以外の部位にクラックが発生するのを抑制できる。したがって、積層型圧電素子10の長期信頼性が向上する。   As the piezoelectric layer 1 becomes thicker, the stress generated in the piezoelectric layer 1 becomes weaker. Here, if the stress for breaking the planned fracture layer 4 is the sum of the stresses generated in each piezoelectric layer 1 in the multilayer unit 3, the second piezoelectric layer 12 (2 counted from the planned fracture layer) is assumed. The stress generated in the first piezoelectric layer 1 (the first piezoelectric layer 1 counted from the planned fracture layer) adjacent to the planned fracture layer 4 due to the weakening of the stress generated in the first piezoelectric layer 1) The ratio of becomes stronger and becomes dominant. As a result, the stress generated in the vicinity of the planned fracture layer 4 is likely to concentrate on the planned fracture layer 4, and the planned fracture layer 4 is more reliably fractured, such as the internal electrode layer 2 in the vicinity of the planned fracture layer 4. It can suppress that a crack generate | occur | produces in parts other than the scheduled fracture | rupture layer 4. FIG. Therefore, the long-term reliability of the multilayer piezoelectric element 10 is improved.

なお、第1の圧電体層11の厚みは、第2の圧電体層12の厚みの例えば40〜95%に設定される。   The thickness of the first piezoelectric layer 11 is set to, for example, 40 to 95% of the thickness of the second piezoelectric layer 12.

ここで、それぞれの積層ユニット3において、図1および図2に示すように予定破断層4から数えて3番目の圧電体層1である第3の圧電体層13が第2の圧電体層12と同じ厚みである構成としてもよいが、図3および図4に示すように、予定破断層4から数えて3番目の圧電体層1である第3の圧電体層13が、第1の圧電体層11の厚みと同じかまたはそれよりも厚く、かつ第2の圧電体層12よりも薄くなっている構成としてもよい。   Here, in each laminated unit 3, as shown in FIGS. 1 and 2, the third piezoelectric layer 13, which is the third piezoelectric layer 1 counted from the planned fracture layer 4, is the second piezoelectric layer 12. 3 and 4, the third piezoelectric layer 13, which is the third piezoelectric layer 1 counted from the planned fracture layer 4, is formed as the first piezoelectric layer. The body layer 11 may be the same as or thicker than the body layer 11 and thinner than the second piezoelectric layer 12.

この構成によれば、積層ユニット3内において、第1の圧電体層11に発生する応力に比べて第3の圧電体層13に発生する応力のほうが弱まることとなるため、第1の圧電体層11にて発生する応力の比率がより強まって支配的になる。これにより、予定破断層4の近傍に発生する応力が予定破断層4により集中しやすくなり、より確実に予定破断層4が破断して、予定破断層4の近傍にある内部電極層2にクラックが発生するのを抑制できる。したがって、積層型圧電素子10の長期信頼性が向上する。なお、積層型圧電素子10の基本的性能(所望の変位量)を維持する点からも、図3および図4に示すように、予定破断層4から数えて3番目の圧電体層1である第3の圧電体層13が、第1の圧電体層11の厚みと同じかまたはそれよりも厚く、かつ第2の圧電体層12よりも薄い構成になっているのがよい。   According to this configuration, the stress generated in the third piezoelectric layer 13 is weaker than the stress generated in the first piezoelectric layer 11 in the multilayer unit 3. The ratio of the stress generated in the layer 11 becomes stronger and dominant. As a result, the stress generated in the vicinity of the planned fracture layer 4 is more likely to be concentrated in the planned fracture layer 4, and the planned fracture layer 4 is more reliably broken and cracked in the internal electrode layer 2 in the vicinity of the planned fracture layer 4. Can be prevented from occurring. Therefore, the long-term reliability of the multilayer piezoelectric element 10 is improved. From the viewpoint of maintaining the basic performance (desired amount of displacement) of the multilayer piezoelectric element 10, as shown in FIGS. 3 and 4, it is the third piezoelectric layer 1 counted from the planned fracture layer 4. The third piezoelectric layer 13 may be configured to be the same as or thicker than the first piezoelectric layer 11 and thinner than the second piezoelectric layer 12.

この場合の第3の圧電体層13の厚みは、第1の圧電体層11の厚みの例えば100〜250%の厚みに設定され、第2の圧電体層12の厚みの例えば40〜98%の厚みに設定される。   In this case, the thickness of the third piezoelectric layer 13 is set to, for example, 100 to 250% of the thickness of the first piezoelectric layer 11, and is 40 to 98% of the thickness of the second piezoelectric layer 12, for example. The thickness is set.

また、図5に示すように、それぞれの積層ユニット3において、第1の圧電体層11および第2の圧電体層12を除く全ての圧電体層1は第1の圧電体層11の厚みと同じかまたはそれよりも厚く、かつ第1の圧電体層11および第2の圧電体層12を除くすべての圧電体層1は第1の圧電体層11から遠ざかるにしたがって厚みが薄くなっていてもよい。   As shown in FIG. 5, in each stacked unit 3, all the piezoelectric layers 1 except for the first piezoelectric layer 11 and the second piezoelectric layer 12 have the thickness of the first piezoelectric layer 11. All the piezoelectric layers 1 except for the first piezoelectric layer 11 and the second piezoelectric layer 12 are the same or thicker, and the thickness decreases as the distance from the first piezoelectric layer 11 increases. Also good.

この構成によれば、積層ユニット3内の各圧電体層1にかかる応力に緩やかな勾配ができることで、第1の圧電体層11に極端に応力がかかるのを抑制して、必要以上に予定破断層4が破断して不活性領域をクラックが進展するのを抑制することができる。   According to this configuration, the stress applied to each piezoelectric layer 1 in the multilayer unit 3 can be moderately sloped, so that the stress applied to the first piezoelectric layer 11 is suppressed and more than necessary. It can suppress that the fracture | rupture layer 4 fractures | ruptures and a crack progresses in an inactive area | region.

また、図2、図4および図5に示すように、予定破断層4と予定破断層4との間に配置された積層ユニット3において、全ての圧電体層1の厚みを見たときに、上下対称となっていてもよい。   Further, as shown in FIGS. 2, 4 and 5, when the thickness of all the piezoelectric layers 1 is seen in the laminated unit 3 arranged between the planned fracture layer 4 and the planned fracture layer 4, It may be vertically symmetrical.

この構成によれば、積層ユニット3内における上下の第1の圧電体層11に同様の応力がかかるため、予定破断層4毎の破断の程度が均一化され、積層型圧電素子10の長期信頼性がより向上する。   According to this configuration, since the same stress is applied to the upper and lower first piezoelectric layers 11 in the multilayer unit 3, the degree of fracture for each planned fracture layer 4 is made uniform, and the long-term reliability of the multilayer piezoelectric element 10 is confirmed. More improved.

次に、本実施形態の積層型圧電素子の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the multilayer piezoelectric element of this embodiment will be described.

まず、圧電体層1となるセラミックグリーンシートを作製する。具体的には、圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系,ブチラール系等の有機高分子からなるバインダーと、可塑剤とを混合してセラミックスラリーを作製する。そして、ドクターブレード法、カレンダーロール法等のテープ成型法を用いることにより、このセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを作製する。圧電セラミックスとしては圧電特性を有するものであればよく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PbZrO−PbTiO)からなるペロブスカイト型酸化物等を用いることができる。また、可塑剤としては、フタル酸ジブチル(DBP),フタル酸ジオクチル(DOP)等を用いることができる。 First, a ceramic green sheet to be the piezoelectric layer 1 is produced. Specifically, a ceramic slurry is prepared by mixing a calcined powder of piezoelectric ceramic, a binder made of an organic polymer such as acrylic or butyral, and a plasticizer. And a ceramic green sheet is produced using this ceramic slurry by using tape molding methods, such as a doctor blade method and a calender roll method. As the piezoelectric ceramic, any material having piezoelectric characteristics may be used. For example, a perovskite oxide made of lead zirconate titanate (PbZrO 3 —PbTiO 3 ) can be used. As the plasticizer, dibutyl phthalate (DBP), dioctyl phthalate (DOP), or the like can be used.

次に、内部電極層2となる導電性ペーストを作製する。具体的には、例えば銀−パラジウム合金の金属粉末にバインダーおよび可塑剤を添加混合することによって導電性ペーストを作製する。この導電性ペーストを上記のセラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷法を用いて内部電極層2のパターンで塗布する。さらに、この導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを複数枚積層し、所定の温度で脱バインダー処理を行なった後、900〜1200℃の温度で焼成し、平面研削盤等を用いて所定の形状になるよう研削処理を施すことによって作製する。   Next, a conductive paste to be the internal electrode layer 2 is produced. Specifically, for example, a conductive paste is prepared by adding and mixing a binder and a plasticizer to a metal powder of a silver-palladium alloy. This conductive paste is applied on the ceramic green sheet in the pattern of the internal electrode layer 2 using a screen printing method. Furthermore, after laminating a plurality of ceramic green sheets printed with this conductive paste and performing a binder removal treatment at a predetermined temperature, firing at a temperature of 900 to 1200 ° C., using a surface grinder or the like It is produced by grinding so as to obtain a shape.

ここで、焼成後の圧電体層1の厚みを上述の実施形態の構成とするために、厚みの異なるセラミックグリーンシートを準備して積層することで積層体30を作成すればよい。   Here, in order to set the thickness of the fired piezoelectric layer 1 to the configuration of the above-described embodiment, the laminated body 30 may be created by preparing and laminating ceramic green sheets having different thicknesses.

なお、積層体30は、上記の製造方法によって作製されるものに限定されるものではなく、圧電体層1と内部電極層2とを複数積層してなる積層体30を作製できれば、どのような製造方法によって作製されてもよい。   In addition, the laminated body 30 is not limited to what is produced by said manufacturing method, What kind of thing will be sufficient if the laminated body 30 formed by laminating | stacking the piezoelectric material layer 1 and the internal electrode layer 2 in multiple numbers is producible? It may be produced by a manufacturing method.

次に、外部電極5を形成する。具体的には、AgやCuのような金属を含んだ導電性ペーストを用いる。これを積層体30の側面における第1の内部電極層21および第2の内部電極層22のうちの一方の端面が引き出された領域に焼き付けて、例えば5〜70μmの厚さの外部電極5を形成する。スクリーン印刷やディスペンス方式により、所定の厚みや幅に制御して形成することができる。例えば、銀を主成分とする導電性粒子とガラスとを混合したものに、バインダー,可塑剤および溶剤を加えて作製した銀ガラス含有導電性ペーストを用いる。そして、外部電極5のパターンで積層体30の側面にスクリーン印刷法によって印刷後、乾燥させた後、650〜750℃の温度で焼き付け処理を行なう。   Next, the external electrode 5 is formed. Specifically, a conductive paste containing a metal such as Ag or Cu is used. This is baked on a region where one end face of the first internal electrode layer 21 and the second internal electrode layer 22 on the side surface of the multilayer body 30 is drawn, and the external electrode 5 having a thickness of, for example, 5 to 70 μm is formed. Form. It can be formed by controlling to a predetermined thickness or width by screen printing or dispensing. For example, a silver glass-containing conductive paste prepared by adding a binder, a plasticizer, and a solvent to a mixture of conductive particles mainly containing silver and glass is used. And after printing with the pattern of the external electrode 5 on the side surface of the laminated body 30 by a screen printing method and making it dry, a baking process is performed at the temperature of 650-750 degreeC.

次に、必要により被覆材を形成する。具体的には、例えばエポキシ、シリコーン、ナイロンなどの樹脂を使用し、印刷やディスペンス方式により、所定の厚みに制御して形成する。   Next, a coating material is formed if necessary. Specifically, for example, a resin such as epoxy, silicone, or nylon is used, and the thickness is controlled to a predetermined thickness by printing or dispensing.

その後、外部電極5に0.1〜3kV/mmの直流電界を印加し、積層体30を構成する圧電体層1を分極することによって、積層型圧電素子10が完成する。   Thereafter, a DC electric field of 0.1 to 3 kV / mm is applied to the external electrode 5 to polarize the piezoelectric layer 1 constituting the multilayer body 30, thereby completing the multilayer piezoelectric element 10.

次に、本実施形態の噴射装置の一例について説明する。   Next, an example of the injection device of the present embodiment will be described.

図6は、本実施形態の噴射装置の一例を示す概略断面図である。図6に示すように、本例の噴射装置19は、一端に噴射孔21を有する容器としての収納容器23の内部に上記の例の積層型圧電素子10が収納されている。   FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing an example of the injection device of the present embodiment. As shown in FIG. 6, in the injection device 19 of this example, the multilayer piezoelectric element 10 of the above example is accommodated in a storage container 23 as a container having an injection hole 21 at one end.

収納容器23内には、噴射孔21を開閉することができるニードルバルブ25が配設されている。噴射孔21には流体通路27がニードルバルブ25の動きに応じて連通可能になるように配設されている。この流体通路27は外部の流体供給源に連結され、流体通路27に常時高圧で流体が供給されている。従って、ニードルバルブ25が噴射孔21を開放すると、流体通路27に供給されていた流体が外部または隣接する容器、例えば内燃機関の燃料室(図示せず)に、噴射孔21から吐出されるように構成されている。   A needle valve 25 that can open and close the injection hole 21 is provided in the storage container 23. A fluid passage 27 is disposed in the injection hole 21 so as to be able to communicate with the movement of the needle valve 25. The fluid passage 27 is connected to an external fluid supply source, and fluid is constantly supplied to the fluid passage 27 at a high pressure. Therefore, when the needle valve 25 opens the injection hole 21, the fluid supplied to the fluid passage 27 is discharged from the injection hole 21 to the outside or an adjacent container, for example, a fuel chamber (not shown) of the internal combustion engine. It is configured.

ニードルバルブ25の上端部は内径が大きくなっており、収納容器23に形成されたシリンダ29と摺動可能なピストン31になっている。そして、収納容器23内には、上述した例の積層型圧電素子10がピストン31に接して収納されている。   The upper end of the needle valve 25 has a large inner diameter, and is a piston 31 that can slide with a cylinder 29 formed in the storage container 23. In the storage container 23, the multilayer piezoelectric element 10 of the above-described example is stored in contact with the piston 31.

このような噴射装置19では、積層型圧電素子10の駆動によって噴射孔21が開閉される。具体的には、積層型圧電素子10が電圧を印加されて伸長すると、ピストン31が
押圧され、ニードルバルブ25が噴射孔21に通じる流体通路27を閉塞し、流体の供給が停止される。また、電圧の印加が停止されると積層型圧電素子10が収縮し、皿バネ33がピストン31を押し返し、流体通路27が開放され噴射孔21が流体通路27と連通して、噴射孔21から流体の噴射が行なわれるようになっている。
In such an injection device 19, the injection hole 21 is opened and closed by driving the multilayer piezoelectric element 10. Specifically, when the laminated piezoelectric element 10 is extended by applying a voltage, the piston 31 is pressed, the needle valve 25 closes the fluid passage 27 leading to the injection hole 21, and the supply of fluid is stopped. When the voltage application is stopped, the laminated piezoelectric element 10 contracts, the disc spring 33 pushes back the piston 31, the fluid passage 27 is opened, and the injection hole 21 communicates with the fluid passage 27. Fluid injection is performed.

なお、積層型圧電素子10に電圧を印加することによって流体通路27を開放し、電圧の印加を停止することによって流体通路27を閉鎖するように構成してもよい。   The fluid passage 27 may be opened by applying a voltage to the multilayer piezoelectric element 10 and the fluid passage 27 may be closed by stopping the application of the voltage.

また、積層型圧電素子10が必ずしも収納容器23の内部にある必要はなく、積層型圧電素子10の駆動によって収納容器23の内部に流体の噴射を制御するための圧力が加わるように構成されていればよい。なお、本例の噴射装置19において、流体とは、燃料,インク等の他、導電性ペースト等の種々の液体および気体が含まれる。本例の噴射装置19を用いることによって、流体の流量および噴出タイミングを長期にわたって安定して制御することができる。   Further, the laminated piezoelectric element 10 does not necessarily have to be inside the storage container 23, and is configured such that a pressure for controlling the ejection of fluid is applied to the inside of the storage container 23 by driving the laminated piezoelectric element 10. Just do it. In the injection device 19 of the present example, the fluid includes various liquids and gases such as conductive paste in addition to fuel, ink, and the like. By using the ejection device 19 of this example, the flow rate and ejection timing of the fluid can be stably controlled over a long period of time.

また、上記の例の積層型圧電素子10を採用した本例の噴射装置19を内燃機関に用いれば、従来の噴射装置に比べてエンジン等の内燃機関の燃焼室に燃料をより長い期間にわたって精度よく噴射させることができる。   Further, if the injection device 19 of the present example employing the laminated piezoelectric element 10 of the above example is used for an internal combustion engine, the fuel can be accurately supplied to the combustion chamber of the internal combustion engine such as an engine over a longer period than the conventional injection device. Can be injected well.

次に、本実施形態の燃料噴射システムの一例について説明する。   Next, an example of the fuel injection system of this embodiment will be described.

図7は、本実施形態の燃料噴射システムの一例を示す概略図である。図7に示すように、本例の燃料噴射システム35は、高圧流体としての高圧燃料を蓄えるコモンレール37と、このコモンレール37に蓄えられた高圧流体を噴射する複数の上記の例の噴射装置19と、コモンレール37に高圧流体を供給する圧力ポンプ39と、噴射装置19に駆動信号を与える噴射制御ユニット41とを備えている。   FIG. 7 is a schematic view showing an example of the fuel injection system of the present embodiment. As shown in FIG. 7, the fuel injection system 35 of this example includes a common rail 37 that stores high-pressure fuel as a high-pressure fluid, and a plurality of injection devices 19 of the above-described examples that inject the high-pressure fluid stored in the common rail 37. A pressure pump 39 for supplying a high-pressure fluid to the common rail 37 and an injection control unit 41 for supplying a drive signal to the injection device 19 are provided.

噴射制御ユニット41は、外部情報または外部からの信号に基づいて高圧流体の噴射の量およびタイミングを制御する。例えば、エンジンの燃料噴射に本例の燃料噴射システム35を用いた場合であれば、エンジンの燃焼室内の状況をセンサ等で感知しながら燃料噴射の量およびタイミングを制御することができる。圧力ポンプ39は、燃料タンク43から流体燃料を高圧でコモンレール37に供給する役割を果たす。例えばエンジンの燃料噴射システム35の場合には1000〜2000気圧(約101MPa〜約203MPa)、好ましくは1500〜1700気圧(約152MPa〜約172MPa)の高圧にしてコモンレール37に流体燃料を送り込む。コモンレール37では、圧力ポンプ39から送られてきた高圧燃料を蓄え、噴射装置19に適宜送り込む。噴射装置19は、前述したように噴射孔21から一定の流体を外部または隣接する容器に噴射する。例えば、燃料を噴射供給する対象がエンジンの場合には、高圧燃料を噴射孔21からエンジンの燃焼室内に霧状に噴射する。   The injection control unit 41 controls the amount and timing of high-pressure fluid injection based on external information or an external signal. For example, if the fuel injection system 35 of this example is used for engine fuel injection, the amount and timing of fuel injection can be controlled while sensing the state of the combustion chamber of the engine with a sensor or the like. The pressure pump 39 serves to supply fluid fuel from the fuel tank 43 to the common rail 37 at a high pressure. For example, in the case of an engine fuel injection system 35, fluid fuel is fed into the common rail 37 at a high pressure of 1000 to 2000 atmospheres (about 101 MPa to about 203 MPa), preferably 1500 to 1700 atmospheres (about 152 MPa to about 172 MPa). In the common rail 37, the high-pressure fuel sent from the pressure pump 39 is stored and sent to the injection device 19 as appropriate. As described above, the ejection device 19 ejects a certain fluid from the ejection holes 21 to the outside or an adjacent container. For example, when the target for injecting and supplying fuel is an engine, high-pressure fuel is injected from the injection hole 21 into the combustion chamber of the engine in the form of a mist.

本例の燃料噴射システム35によれば、高圧燃料の所望の噴射を長期にわたって安定して行なうことができる。   According to the fuel injection system 35 of this example, desired injection of high-pressure fuel can be stably performed over a long period of time.

10・・・積層型圧電素子
1・・・圧電体層
11・・・第1の圧電体層
12・・・第2の圧電体層
13・・・第3の圧電体層
2・・・内部電極層
21・・・第1の内部電極層
22・・・第2の内部電極層
30・・・積層体
3・・・積層ユニット
4・・・予定破断層
5・・・外部電極
19・・・噴射装置
21・・・噴射孔
23・・・収納容器
25・・・ニードルバルブ
27・・・流体通路
29・・・シリンダ
31・・・ピストン
33・・・皿バネ
35・・・燃料噴射システム
37・・・コモンレール
39・・・圧力ポンプ
41・・・噴射制御ユニット
43・・・燃料タンク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Stack type piezoelectric element 1 ... Piezoelectric layer 11 ... 1st piezoelectric layer 12 ... 2nd piezoelectric layer 13 ... 3rd piezoelectric layer 2 ... Inside Electrode layer 21... First internal electrode layer 22... Second internal electrode layer 30. Laminated body 3. Laminated unit 4. -Injection device 21 ... Injection hole 23 ... Storage container 25 ... Needle valve 27 ... Fluid passage 29 ... Cylinder 31 ... Piston 33 ... Belleville spring 35 ... Fuel injection system 37 ... Common rail 39 ... Pressure pump 41 ... Injection control unit 43 ... Fuel tank

Claims (6)

圧電体層および内部電極層が交互に積層された積層ユニットを複数備えているとともに、隣り合う積層ユニットと積層ユニットとの間に配置された予定破断層を備え、
それぞれの前記積層ユニットにおいて、前記予定破断層から数えて1番目の圧電体層である第1の圧電体層が、前記予定破断層から数えて2番目の圧電体層である第2の圧電体層よりも薄いことを特徴とする積層型圧電素子。
A plurality of laminated units in which piezoelectric layers and internal electrode layers are alternately laminated, and a predetermined fracture layer disposed between adjacent laminated units and laminated units,
In each of the stacked units, the first piezoelectric layer that is the first piezoelectric layer counted from the planned fracture layer is the second piezoelectric body that is the second piezoelectric layer counted from the planned fracture layer. A laminated piezoelectric element characterized by being thinner than a layer.
それぞれの前記積層ユニットにおいて、前記予定破断層から数えて3番目の圧電体層である第3の圧電体層が、前記第1の圧電体層の厚みと同じかまたはそれよりも厚く、かつ前記第2の圧電体層よりも薄いことを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。   In each of the stacked units, the third piezoelectric layer, which is the third piezoelectric layer counted from the predetermined fracture layer, is equal to or thicker than the thickness of the first piezoelectric layer, and The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein the multilayer piezoelectric element is thinner than the second piezoelectric layer. それぞれの前記積層ユニットにおいて、前記第1の圧電体層および前記第2の圧電体層を除く全ての前記圧電体層は前記第1の圧電体層の厚みと同じかまたはそれよりも厚く、かつ前記第1の圧電体層および前記第2の圧電体層を除くすべての前記圧電体層は前記第1の圧電体層から遠ざかるにしたがって厚みが薄くなっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の積層型圧電素子。   In each of the stacked units, all the piezoelectric layers except the first piezoelectric layer and the second piezoelectric layer are equal to or thicker than the thickness of the first piezoelectric layer, and 2. The thickness of all of the piezoelectric layers except the first piezoelectric layer and the second piezoelectric layer is reduced as the distance from the first piezoelectric layer is increased. The multilayer piezoelectric element according to claim 2. 前記予定破断層と前記予定破断層との間に配置された前記積層ユニットにおいて、全ての前記圧電体層の厚みを見たときに、上下対称となっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちのいずれかに記載の積層型圧電素子。   The laminated unit disposed between the planned fracture layer and the planned fracture layer is vertically symmetric when the thickness of all the piezoelectric layers is viewed. The multilayer piezoelectric element according to claim 3. 噴射孔を有する容器と、請求項1乃至請求項4のうちのいずれかに記載の積層型圧電素子とを備え、該積層型圧電素子の駆動によって前記噴射孔が開閉されることを特徴とする噴射装置。   A container having an injection hole and the multilayer piezoelectric element according to any one of claims 1 to 4 are provided, and the injection hole is opened and closed by driving the multilayer piezoelectric element. Injection device. 高圧燃料を蓄えるコモンレールと、該コモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する請求項5に記載の噴射装置と、前記コモンレールに記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えることを特徴とする燃料噴射システム。   6. A common rail that stores high-pressure fuel, an injection device according to claim 5 that injects the high-pressure fuel stored in the common rail, a pressure pump that supplies the high-pressure fuel to the common rail, and a drive signal to the injection device A fuel injection system comprising: an injection control unit.
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