JP2018204482A - Solution transfer device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、固形物が析出し易い溶液を移送するための溶液移送装置に係り、特に、軸封装置を有するポンプの摺動部の固着を防止する機構を備えた溶液移送装置に関する。 The present invention relates to a solution transfer device for transferring a solution in which a solid easily precipitates, and more particularly to a solution transfer device provided with a mechanism for preventing sticking of a sliding portion of a pump having a shaft seal device.
ポンプを用いたこれまでの溶液移送装置は、特に固形物が析出しやすい溶液を移送する際に、ピストンとシリンダ間の隙間すなわち摺動部に入り込んだ溶液から固形物が析出し、摺動部に付着することにより摺動抵抗が増加し、最悪の場合にはピストンとシリンダが固着する事象が起こり得る。 The conventional solution transfer device using a pump, particularly when transferring a solution in which solid matter is likely to precipitate, causes the solid matter to precipitate from the solution that has entered the gap between the piston and the cylinder, that is, the sliding portion. The sliding resistance increases by adhering to the piston, and in the worst case, an event may occur in which the piston and the cylinder are fixed.
このような事象は、様々なポンプに共通して生じており、従来、典型的な解決方法として、ポンプ摺動部にパージガスの注入通路を設け、ここから常時又は周期的に窒素ガス等のパージガスを注入し、固形物のポンプ摺動部への付着を防止している(特許文献1を参照)。 Such an event occurs in common with various pumps. Conventionally, as a typical solution, a purge gas injection passage is provided in the pump sliding portion, and a purge gas such as nitrogen gas is constantly or periodically provided therefrom. To prevent the solid matter from adhering to the pump sliding portion (see Patent Document 1).
例えば、ブンゼン反応(硫酸とヨウ化水素の生成反応)、硫酸の熱分解反応、及びヨウ化水素の熱分解反応の3化学反応工程により構成されるISプロセスでは、ポリヨウ化水素酸(HIx溶液:ヨウ化水素、ヨウ素、水の混合物)を移送する際に、温度、濃度によって固体ヨウ素が析出しやすい環境が発生する。このため、このような溶液を移送する際に、ポンプ機構本体の摺動部に入り込んだ溶液から固体ヨウ素が析出し、溶液移送用のポンプを停止させる恐れがあった。また、その漏出物は、蒸気圧が高いため、カップリング部分へも侵入して蓄積し、カップリングの汚損や腐食を引き起こす恐れもあった。 For example, in an IS process composed of three chemical reaction steps: a Bunsen reaction (a reaction for producing sulfuric acid and hydrogen iodide), a thermal decomposition reaction of sulfuric acid, and a thermal decomposition reaction of hydrogen iodide, polyhydroiodic acid (HIx solution: When a mixture of hydrogen iodide, iodine, and water is transferred, an environment in which solid iodine is likely to precipitate is generated depending on temperature and concentration. For this reason, when transferring such a solution, solid iodine may precipitate from the solution that has entered the sliding portion of the pump mechanism body, and the solution transfer pump may be stopped. Further, since the leaked matter has a high vapor pressure, it also penetrates and accumulates in the coupling portion, which may cause the coupling to become dirty or corroded.
従来から用いられている、ポンプ摺動部へのパージガス注入では、軸封部からの溶液の漏出量を低減できるが、ポンプ摺動部への溶液の侵入を完全に防止することはできず、溶液組成によっては、ヨウ化水素が揮発することで溶液中の固形物(ヨウ素)の溶解度が低下し、ポンプ摺動部への固形物の蓄積が促進されるという大きな問題がある。 In the purge gas injection to the pump sliding part, which has been used conventionally, the amount of solution leakage from the shaft seal part can be reduced, but it is not possible to completely prevent the solution from entering the pump sliding part, Depending on the solution composition, hydrogen iodide volatilizes, so that the solubility of solid matter (iodine) in the solution is lowered, and there is a big problem that accumulation of the solid matter on the pump sliding portion is promoted.
従って、本発明の目的は、シリンダ内を摺動するピストンの運動によって溶液を吸込み、吐出するポンプ機構本体の摺動部への固形物の蓄積を防止できる溶液移送装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a solution transfer device capable of preventing accumulation of solid matter on a sliding portion of a pump mechanism body that sucks and discharges a solution by movement of a piston sliding in a cylinder.
本発明のさらに他の目的は、上述した摺動部への固形物の蓄積防止に加えて、ポンプ機構の軸封部を介して漏れてくる移送溶液の揮発成分が、ポンプ機構本体外の部品に固着することを防止できる溶液移送装置を提供することにある。 Still another object of the present invention is to prevent solids from accumulating on the sliding portion as described above, and that the volatile components of the transfer solution leaking through the shaft seal portion of the pump mechanism are components outside the pump mechanism main body. An object of the present invention is to provide a solution transfer device capable of preventing sticking to the liquid.
上記目的を達成するため、本発明の一つの観点に係る溶液移送装置は、シリンダとピストンの隙間に溶液が入り込まないように軸封され、前記シリンダ内を摺動する前記ピストンの運動によって溶液を吸込み、吐出するポンプ機構本体と、前記ポンプ機構本体の外部に設けられ、前記シリンダとピストンの隙間にパージガスを注入するパージガス注入手段を備えている溶液移送装置であって、前記ポンプ機構本体の外部に溶媒注入手段を設け、前記溶媒注入手段の溶媒注入管を、前記パージガス注入手段のパージガス注入管と流体的に接続し、前記溶媒を前記パージガスと同時または間欠的に前記シリンダとピストンの隙間に注入するようにしている。 In order to achieve the above object, a solution transfer device according to one aspect of the present invention is a shaft seal that prevents a solution from entering a gap between a cylinder and a piston, and the solution is moved by the movement of the piston that slides in the cylinder. A pump mechanism body for suction and discharge; and a solution transfer device provided outside the pump mechanism body and having purge gas injection means for injecting purge gas into the gap between the cylinder and the piston. Provided with a solvent injection means, the solvent injection pipe of the solvent injection means is fluidly connected to the purge gas injection pipe of the purge gas injection means, and the solvent is introduced into the gap between the cylinder and the piston simultaneously or intermittently with the purge gas. I try to inject.
好ましくは、上述の溶液移送装置は、さらに、前記ポンプ機構本体のポンプヘッド部分を加熱するためのヒータを設け、ポンプヘッド部での固形物の析出を防止するようにしている。 Preferably, the above-described solution transfer device is further provided with a heater for heating the pump head portion of the pump mechanism main body so as to prevent solid matter from being precipitated in the pump head portion.
また、本発明の別の観点に係る溶液移送装置は、シリンダとピストンの隙間に溶液が入り込まないように軸封され、カップリング手段を介して伝達されるモータからの動力によって、前記シリンダ内を摺動する前記ピストンの運動によって、溶液を吸込み、吐出するポンプ機構本体と、前記ポンプ機構本体の外部に設けられ、前記シリンダとピストンの隙間にパージガスを注入するパージガス注入手段を備えている溶液移送装置であって、前記ポンプ機構本体の外部に溶媒注入手段を設け、前記溶媒注入手段の溶媒注入管を、前記パージガス注入手段のパージガス注入管と流体的に接続し、前記溶媒を前記パージガスと同時または間欠的に前記シリンダとピストンの隙間に注入するように構成すると共に、前記カップリング手段と前記ポンプ機構本体の間に、前記ポンプ機構本体から漏れ出る溶液の揮発成分を吸引するための吸引手段を設けている。 Further, the solution transfer device according to another aspect of the present invention is configured such that the shaft is sealed so that the solution does not enter the gap between the cylinder and the piston, and the inside of the cylinder is driven by the power from the motor transmitted through the coupling means. A pump mechanism body that sucks and discharges a solution by the movement of the sliding piston, and a solution transfer unit that is provided outside the pump mechanism body and includes a purge gas injection unit that injects a purge gas into a gap between the cylinder and the piston. An apparatus is provided with a solvent injection means outside the pump mechanism main body, and a solvent injection pipe of the solvent injection means is fluidly connected to a purge gas injection pipe of the purge gas injection means, and the solvent is simultaneously used with the purge gas. Alternatively, the coupling means and the pump are configured to intermittently inject into the gap between the cylinder and the piston. During 構本 body is provided with a suction means for sucking the volatile components of the solution leaking from the pump mechanism body.
本発明によれば、摺動部を有する溶液移送装置において、移送溶液が軸封された摺動部に微量に漏れ出ても、それによって形成される固形物を溶解する作用を持つ溶媒(例えば、ヨウ化水素酸)を注入するので、固形物(例えば、ヨウ素)が溶解吸収され、摺動部の固着が防止される。また、従来のパージガスと併用しているので、溶媒をすぐに排出でき、ポンプ機構本体の上部軸封開口部からの溶媒の漏出分も極めて少なくなる。 According to the present invention, in a solution transfer device having a sliding portion, even if a small amount of the transfer solution leaks into the shaft-sealed sliding portion, a solvent having an action of dissolving the solid matter formed thereby (for example, , Hydriodic acid) is injected, so that solid matter (for example, iodine) is dissolved and absorbed, and sticking of the sliding portion is prevented. Further, since the conventional purge gas is used in combination, the solvent can be immediately discharged, and the amount of the solvent leaked from the upper shaft seal opening of the pump mechanism main body is extremely reduced.
はじめに本発明の理解を助けるために、先に説明した従来技術について、図面を用いて簡単に説明する。図1は、従来装置における溶液成分による固形物形成を模式的に説明している図で、図2は、前述の特許文献に示されているような、パージガスを導入している従来装置の概略構成を模式的に示している図である。 First, in order to help understanding of the present invention, the prior art described above will be briefly described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram schematically illustrating the formation of solids by solution components in a conventional apparatus, and FIG. 2 is an outline of the conventional apparatus in which a purge gas is introduced as shown in the aforementioned patent document. It is a figure which shows the structure typically.
図1において、符号10はポンプ機構本体であり、移送される溶液1はピストン11の往復運動によってポンプ機構本体10に吸い込まれ、吐出される。図1では説明のためピストン11とシリンダ12の隙間が通常より極端に広く描いてある。移送溶液1が隙間に侵入しないように軸封機構13が設けられている。しかし、現実にはこの軸封機構13を介して極微小の溶液1が隙間に侵入する。侵入した溶液の温度は上方に行くにしたがって低くなり、ピストン11やシリンダ12の壁面に固形物が析出するようになり、何もしない場合には摺動抵抗が著しく増大し、摺動困難になる。
In FIG. 1,
このため、図2に示されているように、パージガス注入管2を設け、常時または周期的に隙間にパージガスを注入し、侵入して来た溶液をピストン11とシリンダ12の隙間から外部に排出するようにしている。しかし、ピストン11やシリンダ12の壁面に付着した溶液はパージガスにより揮発成分が蒸発し、固形物が析出しやすくなり、摺動抵抗が著しく増大し、摺動困難になる。
Therefore, as shown in FIG. 2, a purge
以下、図3乃至図6を参照し、本発明について詳細に説明する。図3は、従来のパージガス注入手段21に加え、新たに溶媒注入手段22を設けた本発明の一実施例の構成を模式的に示している。溶媒注入手段22から注入される溶媒は、当然移送溶液1の種類によって異なる。移送溶液1が、ISプロセスで使用されるポリヨウ化水素(HIx)溶液(ヨウ化水素、ヨウ素、水の混合物)の場合、ヨウ素を溶解可能なヨウ化水素と水の混合物であるヨウ化水素酸である。溶媒注入手段22からの注入管は、従来からあるパージガス注入手段21からの注入管に、流体的に接続する。この実施例ではパージガスとして窒素ガス(N2)を用いたが、他の不活性ガスを用いても良い。また、移送溶液1の隙間への侵入を少なくするため、パージガス及び溶媒はある程度加圧して注入することが好ましい。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 3 schematically shows a configuration of an embodiment of the present invention in which a solvent injection means 22 is newly provided in addition to the conventional purge gas injection means 21. The solvent injected from the solvent injection means 22 naturally varies depending on the type of the
この溶媒移送装置では、移送開始と同時にパージガス注入手段21と溶媒注入手段22を稼働させることにより、ピストン11とシリンダ12間の隙間に侵入した溶液1や溶媒によって溶解された固着物が、パージガスと共に排出されるので、摺動部の固着が完全に防止される。
In this solvent transfer device, the purge gas injection means 21 and the solvent injection means 22 are operated simultaneously with the start of the transfer, so that the
ピストン11とシリンダ12間の隙間に侵入した溶液1が、ピストン11やシリンダ12の壁面で析出しないように、ポンプ機構本体10をある程度加温することが好ましい。ポンプヘッド部分の加熱手段を持つ本発明の他の実施例の構成を図4に示す。図4の実施例では、加熱手段はヒータ30とヒータ用電源31のみから構成されている。ヒータ30は、ピストン11やシリンダ12の壁面を、固形物の析出温度以上に加温できるものでなければならない。例えば、移送溶液1がポリヨウ化水素酸の場合には、上述の壁面を溶解度以上に加温する必要がある。なお、移送溶液1の種類によっては、移送溶液1をある程度の温度に加温しておくことで、図4のようなヒータを必ずしも設置する必要はない。
It is preferable to warm the
ピストン11とシリンダ12の隙間には、ラビリンスなどの適切な軸封手段が設けられているが、溶液の揮発成分は蒸気圧が高いためこれを通過し、ポンプ機構本体の上部にある部材に付着してしまう恐れがある。そのような事象を防止するため、本発明の更なる実施例では、ポンプ機構本体10の上方に逃げる揮発成分を吸入し、回収する手段を設けている。この一例を図5に示す。
An appropriate shaft sealing means such as a labyrinth is provided in the gap between the
図5において、符号40は揮発成分吸入手段である。この吸入手段40は、漏出物に耐食のある一般的な吸引ポンプである。溶液1の移送開始時にこの吸引ポンプ(図示せず)を稼働させるようにすることで、軸封手段を通過してきた揮発成分のほとんどを吸引できるので、揮発成分がポンプ機構本体10上方の各部材に付着することを防止できる。
In FIG. 5,
図6は、どのようなタイプの移送溶液1にも対応可能な、本発明のさらに他の実施例の構成を模式的に示している。この実施例では、これまでの、パージガス注入手段21、溶媒注入手段22、加熱手段30、揮発成分吸入手段40に加え、さらに邪魔板50を有する。邪魔板50は、フッ素樹脂板で構成され、カップリング15の直下に取り付けられている。邪魔板50を設けることによって、揮発成分吸入手段40によって吸引しきれなかった揮発成分が、ピストン11とシリンダ12間の隙間の真上にあるカップリング15の下面に付着することを防止できる。
FIG. 6 schematically shows the configuration of still another embodiment of the present invention that can be applied to any type of
以上説明した実施例では、シリンダ内をピストンが上下に摺動する装置を例にとって説明したが、本発明は原理的に回転摺動するタイプの溶液移送装置にも適用できることは明らかである。また、以上の実施例は典型的な構成例を示したもので、これに限定されるものではない。例えば、以上の実施例では、パージガス供給手段21と溶媒供給手段22を別個の構成で示しているが、これらを一体として構成することもできる。また、上述の説明ではパージガス供給手段21と溶媒供給手段22からの配管を接続して1つの配管として、両者のガスを混合して溶液移送装置10に供給しているが、図7に示すように、両者のガスをそれぞれ別個の配管を介して溶液移送装置10に供給するようにしても良い。
In the embodiment described above, the apparatus in which the piston slides up and down in the cylinder has been described as an example. However, it is apparent that the present invention can be applied to a solution transfer apparatus of a type that rotates and slides in principle. Further, the above embodiment shows a typical configuration example and is not limited to this. For example, in the above embodiment, the purge gas supply means 21 and the solvent supply means 22 are shown as separate structures, but they may be configured as a single unit. Further, in the above description, the pipes from the purge gas supply means 21 and the solvent supply means 22 are connected to form a single pipe, and both gases are mixed and supplied to the
1…移送溶液
2…パージガス注入管
10…ポンプ機構本体
11…ピストン
12…シリンダ
13…軸封機構
14…モータ
15…カップリング
21…パージガス注入手段
22…溶媒注入手段
30…ヒータ
35…ヒータ用電源
100…固形物
101…揮発成分
1 ... Transfer solution
2… Purge gas injection pipe
10 ... Pump mechanism body
11 ... Piston
12 ... Cylinder
13 ... Shaft seal mechanism
14 ... Motor
15 ... Coupling
21 ... Purge gas injection means
22 ... Solvent injection means
30 ... Heater
35 ... Power supply for heater
100 ... Solid matter
101… Volatile component
Claims (5)
前記ポンプ機構本体の外部に溶媒注入手段を設け、前記溶媒注入手段の溶媒注入管を、前記パージガス注入手段のパージガス注入管と流体的に接続し、前記溶媒を前記パージガスと同時または間欠的に前記シリンダとピストンの隙間に注入するようにしたことを特徴とする溶液移送装置。 The shaft is sealed so that the solution does not enter the gap between the cylinder and the piston, and the pump mechanism body that sucks and discharges the solution by the movement of the piston sliding inside the cylinder, and is provided outside the pump mechanism body, In the solution transfer apparatus comprising purge gas injection means for injecting purge gas into the gap between the cylinder and the piston,
Solvent injection means is provided outside the pump mechanism body, a solvent injection pipe of the solvent injection means is fluidly connected to a purge gas injection pipe of the purge gas injection means, and the solvent is simultaneously or intermittently supplied with the purge gas. A solution transfer device characterized by being injected into a gap between a cylinder and a piston.
前記ポンプ機構の外部に溶媒注入手段を設け、前記溶媒注入手段の溶媒注入管を、前記パージガス注入手段のパージガス注入管と流体的に接続し、前記溶媒を前記パージガスと同時または間欠的に前記シリンダとピストンの隙間に注入するように構成すると共に、
前記カップリング手段と前記ポンプ機構本体の間に、前記ポンプ機構本体から漏れ出る溶液の揮発成分を吸引するための吸引手段を設けたことを特徴とする溶液移送装置。 The solution is sucked and discharged by the movement of the piston that slides in the cylinder by the power from the motor, which is sealed so that the solution does not enter the gap between the cylinder and the piston, and is transmitted through the coupling means. In the solution transfer apparatus comprising a pump mechanism main body and a purge gas injection means provided outside the pump mechanism main body and injecting a purge gas into the gap between the cylinder and the piston,
Solvent injection means is provided outside the pump mechanism, a solvent injection pipe of the solvent injection means is fluidly connected to a purge gas injection pipe of the purge gas injection means, and the solvent is simultaneously or intermittently supplied to the cylinder with the purge gas. And is configured to be injected into the gap between the piston and
A solution transfer apparatus comprising a suction means for sucking a volatile component of the solution leaking from the pump mechanism body between the coupling means and the pump mechanism body.
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001193664A (en) * | 1999-12-28 | 2001-07-17 | Shimadzu Corp | Reactive liquid transporting device |
JP2004202447A (en) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Takayuki Kumada | Cleaning liquid spray gun |
JP2005289736A (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Toshiba Corp | Method and apparatus for removing iodine in polyhydriodic acid in thermochemical-method hydrogen manufacturing |
JP2007287831A (en) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Syringe pump and substrate treatment apparatus |
WO2017008027A1 (en) * | 2015-07-09 | 2017-01-12 | Nordson Corporation | System for conveying and dispensing heated food material |
-
2017
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001193664A (en) * | 1999-12-28 | 2001-07-17 | Shimadzu Corp | Reactive liquid transporting device |
JP2004202447A (en) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Takayuki Kumada | Cleaning liquid spray gun |
JP2005289736A (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Toshiba Corp | Method and apparatus for removing iodine in polyhydriodic acid in thermochemical-method hydrogen manufacturing |
JP2007287831A (en) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Syringe pump and substrate treatment apparatus |
WO2017008027A1 (en) * | 2015-07-09 | 2017-01-12 | Nordson Corporation | System for conveying and dispensing heated food material |
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