JP2018196004A - High frequency transmission line - Google Patents

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常祐 尾崎
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Abstract

To adjust characteristic impedance at a bent portion without changing a line width of a signal line at a bent portion.SOLUTION: A signal line 12 is formed with a bent portion 12Z at which two straight line portions 12X and 12Y each having an extending direction different from each other connected to each other. Immediately below the convex side angle P of the bent portion 12Z in a ground plane 13, an opening 14 where a grounding conductor is being selectively removed is provided.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、基板の表面に屈曲部を有する信号線路が形成されている高周波伝送線路に関する。   The present invention relates to a high-frequency transmission line in which a signal line having a bent portion is formed on the surface of a substrate.

高周波伝送線路は、近年のモジュールの小型化、実装密度の高密度化などにより、十分な配線面積を確保することが難しいことから、対称的な直線構造ではなく、屈曲した伝送線路形状を採用しなればならないことがある。
このような屈曲部を有する高周波伝送線路では、屈曲部で特性インピーダンスが変化してしまう。これにより直線部と屈曲部で特性インピーダンスが不連続となり、伝送特性が劣化する。場合によっては、屈曲部を反射端とした定在波が発生して、スタブ構造となり、特定の周波数のみ遮断することもある。屈曲部では、信号線路の伝送方向に対して電界結合分布が非対称となるため、特性インピーダンスが変化してしまう。
The high-frequency transmission line uses a bent transmission line shape instead of a symmetric linear structure because it is difficult to secure a sufficient wiring area due to recent downsizing of modules and higher mounting density. There are things that must be done.
In the high-frequency transmission line having such a bent portion, the characteristic impedance changes at the bent portion. As a result, the characteristic impedance becomes discontinuous between the straight portion and the bent portion, and the transmission characteristics deteriorate. In some cases, a standing wave having a bent portion as a reflection end is generated to form a stub structure, and only a specific frequency is cut off. In the bent portion, the electric field coupling distribution is asymmetric with respect to the transmission direction of the signal line, so that the characteristic impedance changes.

従来、このような高周波伝送線路において、直線部と屈曲部との特性インピーダンスを調整する技術として、屈曲部における信号線路の線路幅を変更することにより、屈曲部の特性インピーダンスを調整するようにしたものが提案されている(例えば、非特許文献1など参照)。
図7は、従来のマイクロストリップ線路の屈曲部を示す構成例であり、図7(a)は表面図、図7(b)は裏面図を示している。このマイクロストリップ線路の構成例は、基板51の表面には、高周波信号が流れる信号線路52が形成されており、基板51の裏面には、裏面一面に接地電位が印加されるグランドプレーン53が形成されている。信号線路52の途中には、信号線路52が直角に曲がる屈曲部Bが設けられており、この屈曲部Bの凸側角に切欠部54が形成されている。
Conventionally, in such a high-frequency transmission line, as a technique for adjusting the characteristic impedance between the straight portion and the bent portion, the characteristic impedance of the bent portion is adjusted by changing the line width of the signal line in the bent portion. Have been proposed (see, for example, Non-Patent Document 1).
7A and 7B are configuration examples showing a bent portion of a conventional microstrip line, in which FIG. 7A shows a front view and FIG. 7B shows a back view. In this configuration example of the microstrip line, a signal line 52 through which a high-frequency signal flows is formed on the surface of the substrate 51, and a ground plane 53 to which a ground potential is applied to the entire back surface is formed on the back surface of the substrate 51. Has been. A bent portion B where the signal line 52 bends at a right angle is provided in the middle of the signal line 52, and a notch 54 is formed at the convex side corner of the bent portion B.

図8は、従来のコプレーナー線路の屈曲部を示す構成例であり、図8(a)は表面図、図8(b)は裏面図を示している。このコプレーナ線の構成例は、基板61の表面に高周波信号が流れる信号線路62が形成されており、その両側に表面グランド65が形成されている。また、基板61の裏面には、裏面一面に接地電位が印加されるグランドプレーン63が形成されている。信号線路62の途中には、信号線路62が直角に曲がる屈曲部Bが設けられており、この屈曲部Bの凸側角に切欠部64が形成されている。   FIGS. 8A and 8B are configuration examples showing a bent portion of a conventional coplanar line, in which FIG. 8A shows a front view and FIG. 8B shows a rear view. In this configuration example of the coplanar line, a signal line 62 through which a high-frequency signal flows is formed on the surface of the substrate 61, and surface grounds 65 are formed on both sides thereof. On the back surface of the substrate 61, a ground plane 63 to which a ground potential is applied is formed on the entire back surface. A bent portion B where the signal line 62 bends at a right angle is provided in the middle of the signal line 62, and a notch 64 is formed at the convex side corner of the bent portion B.

これら高周波伝送線路の構成例は、いずれも基板表面に形成された信号線路の屈曲部のうち、凸側角に切欠部を形成することにより、屈曲部における信号線路の線路幅を狭くしたものである。これにより、屈曲部の特性インピーダンスを調整することができる。   These examples of high-frequency transmission lines are all formed by narrowing the line width of the signal line at the bent part by forming a notch at the convex side of the bent part of the signal line formed on the substrate surface. is there. Thereby, the characteristic impedance of the bent portion can be adjusted.

B.C. Wadell,"Transmission Line Design Handbook",1991,Artech House Publishers.,pp.289B.C. Wadell, "Transmission Line Design Handbook", 1991, Artech House Publishers., Pp.289

一般に、高周波伝送線路において、屈曲部では、信号線路に対して対称な接地構造をとることが難しい。このため従来技術では、屈曲部における信号線路の線路幅を調整することにより、屈曲部の特性インピーダンスを変化させて、直線部の特性インピーダンスとの調整を行っている。
しかしながら、このような従来技術の構成によれば、信号線路の線路幅を細くすることにより屈曲部の特性インピーダンスを調整しているため、製造時のパタン公差による影響が大きく、特性インピーダンスが設計値から大きくずれやすくなるという問題があった。また、屈曲部で線路幅が細くなった分だけ、信号線路の電流容量が低減するという問題があった。
In general, in a high-frequency transmission line, it is difficult to take a grounding structure that is symmetrical with respect to a signal line at a bent portion. For this reason, in the prior art, by adjusting the line width of the signal line at the bent portion, the characteristic impedance of the bent portion is changed to adjust the characteristic impedance of the straight portion.
However, according to such a configuration of the prior art, since the characteristic impedance of the bent portion is adjusted by narrowing the line width of the signal line, the influence of pattern tolerance at the time of manufacture is large, and the characteristic impedance is the design value. There was a problem that it was easy to deviate greatly. In addition, there is a problem that the current capacity of the signal line is reduced as much as the line width is reduced at the bent portion.

本発明はこのような課題を解決するためのものであり、屈曲部における信号線路の線路幅を変更することなく、屈曲部の特性インピーダンスを調整できる高周波伝送線路を提供することを目的としている。   An object of the present invention is to provide a high-frequency transmission line that can adjust the characteristic impedance of the bent portion without changing the line width of the signal line in the bent portion.

このような目的を達成するために、本発明にかかる高周波伝送線路は、基板と、前記基板の表面に形成された信号線路と、前記基板の裏面に形成された接地導体からなるグランドプレーンとを備える高周波伝送線路であって、前記信号線路は、伸延方向が異なる2つの直線部を相互に接続する屈曲部を有し、前記グランドプレーンは、前記屈曲部の凸側角の直下に位置する前記接地導体が選択的に除去された開口部を有している。   In order to achieve such an object, a high-frequency transmission line according to the present invention includes a substrate, a signal line formed on the surface of the substrate, and a ground plane made of a ground conductor formed on the back surface of the substrate. The signal line has a bent portion that connects two straight portions with different extending directions, and the ground plane is located immediately below the convex side angle of the bent portion. The ground conductor has an opening selectively removed.

また、本発明にかかる上記高周波伝送線路の一構成例は、前記屈曲部の信号線路と前記グランドプレーンとの間に発生する電気容量成分のうち、前記屈曲部のうち凸側角側の領域である凸側部分に発生する第1の電気容量成分は、前記屈曲部のうち凹側角側の領域である凹側部分に発生する第2の電気容量成分に比較して小さいものである。   In addition, one configuration example of the high-frequency transmission line according to the present invention is a region on the convex side corner side of the bent portion of the capacitance component generated between the signal line of the bent portion and the ground plane. The first electric capacity component generated in a certain convex side portion is smaller than the second electric capacity component generated in the concave side portion that is a region on the concave side corner of the bent portion.

また、本発明にかかる上記高周波伝送線路の一構成例は、前記開口部が、頂点が平面視において前記屈曲部の凸側角と凹側角を通過する仮想線の上に位置するとともに、底辺が前記仮想線と交差し、頂角が前記屈曲部の屈曲角度とほぼ等しい二等辺三角形または略二等辺三角形をなすものである。   Further, in one configuration example of the high-frequency transmission line according to the present invention, the opening is positioned on a virtual line whose apex passes through the convex side angle and the concave side angle of the bent portion in plan view, and the bottom side Intersects the virtual line and forms an isosceles triangle or isosceles triangle whose apex angle is substantially equal to the bending angle of the bent portion.

また、本発明にかかる上記高周波伝送線路の一構成例は、前記信号線路が、マイクロストリップ線路、もしくは、前記基板の表面に表面グランドが形成されたコプレーナー線路からなるものである。   In one configuration example of the high-frequency transmission line according to the present invention, the signal line is a microstrip line or a coplanar line in which a surface ground is formed on the surface of the substrate.

また、本発明にかかる上記高周波伝送線路の一構成例は、前記信号線路が、正相信号線および逆相信号線が互いに平行して配置された1対の差動線路からなり、前記開口部は、前記正相信号線および前記逆相信号線のうち、前記屈曲部において凸側に位置するいずれか一方の信号線の凸側角の直下に形成されている。   Further, in one configuration example of the high-frequency transmission line according to the present invention, the signal line is composed of a pair of differential lines in which a normal phase signal line and a negative phase signal line are arranged in parallel to each other, and the opening is Of the positive-phase signal line and the negative-phase signal line, the signal line is formed immediately below the convex side corner of one of the signal lines located on the convex side in the bent portion.

また、本発明にかかる上記高周波伝送線路の一構成例は、前記基板は、複数のセラミックス層が積層されてなる積層セラミックス基板からなる。   In one configuration example of the high-frequency transmission line according to the present invention, the substrate is a laminated ceramic substrate in which a plurality of ceramic layers are laminated.

本発明によれば、屈曲部における信号線路の線路幅を変更することなく、屈曲部の凸側部分と凹側部分における特性インピーダンスを調整できる。このため、直線部と屈曲部とで特性インピーダンスを連続させることが可能となり、結果として、伝送特性の劣化を抑制することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to adjust the characteristic impedance in the convex side portion and the concave side portion of the bent portion without changing the line width of the signal line in the bent portion. For this reason, it is possible to make the characteristic impedance continuous between the straight portion and the bent portion, and as a result, it is possible to suppress deterioration of transmission characteristics.

第1の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the high frequency transmission line concerning 1st Embodiment. 図1の要部構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the principal part structure of FIG. 開口部の変形例である。It is a modification of an opening part. 第2の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the high frequency transmission line concerning 2nd Embodiment. 第3の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the high frequency transmission line concerning 3rd Embodiment. 第4の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the high frequency transmission line concerning 4th Embodiment. 従来のマイクロストリップ線路の屈曲部を示す構成例である。It is a structural example which shows the bending part of the conventional microstrip line. 従来のコプレーナー線路の屈曲部を示す構成例である。It is a structural example which shows the bending part of the conventional coplanar track | line.

次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
[第1の実施の形態]
まず、図1および図2を参照して、本発明の第1の実施の形態にかかる高周波伝送線路10について説明する。図1は、第1の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図であり、図1(a)は表面図、図1(b)は図1(a)のA−A断面図、図1(c)は裏面図である。図2は、図1の要部構成を示す説明図であり、図2(a)は要部表面図、図2(b)は図2(a)のB−B断面図、図2(c)は高周波伝送線路の等価回路図である。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[First Embodiment]
First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the high frequency transmission line 10 concerning the 1st Embodiment of this invention is demonstrated. 1A and 1B are explanatory views showing a configuration of a high-frequency transmission line according to the first embodiment, in which FIG. 1A is a surface view and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 1C is a back view. 2 is an explanatory view showing the configuration of the main part of FIG. 1, FIG. 2 (a) is a front view of the main part, FIG. 2 (b) is a cross-sectional view along BB of FIG. 2 (a), and FIG. ) Is an equivalent circuit diagram of a high-frequency transmission line.

図1に示すように、高周波伝送線路10は、基板11と、基板11の表面に線状に形成された信号線路12と、基板11の裏面に形成された接地導体からなるグランドプレーン13とを備えている。この高周波伝送線路10は、例えば、10GHz〜100GHz以下の高速電気信号が誘電体基板を伝搬する電子機器や電子部品などに好適である。   As shown in FIG. 1, the high-frequency transmission line 10 includes a substrate 11, a signal line 12 formed linearly on the surface of the substrate 11, and a ground plane 13 made of a ground conductor formed on the back surface of the substrate 11. I have. The high-frequency transmission line 10 is suitable for an electronic device or an electronic component in which a high-speed electric signal of 10 GHz to 100 GHz or less propagates through a dielectric substrate, for example.

基板11は、誘電体層の上下面(表面および裏面)に金属薄膜などの導体層が形成されている、高周波用基板であり、例えば、複数のセラミックス層が積層されてなる積層セラミックス基板などから構成されている。   The substrate 11 is a high frequency substrate in which a conductor layer such as a metal thin film is formed on the upper and lower surfaces (front surface and back surface) of a dielectric layer. For example, the substrate 11 is a laminated ceramic substrate in which a plurality of ceramic layers are laminated. It is configured.

信号線路12は、金属などの薄膜導体からなり、一定の線路幅Wを有するマイクロストリップ線路である。信号線路12の途中には、線路の伸延方向が所定の角度に変化する屈曲部12Zが設けられており、これにより、伸延方向が異なる2つの直線部12X,12Yが屈曲部12Zで相互に接続されている。図1の例では、平面視で横方向に伸延する直線部12Xと、平面視で縦方向に伸延する直線部12Xとが、屈曲部12Zで相互に接続されている。ここでは、屈曲部12Zにおける直線部12Xと直線部12Yとの屈曲角度が直角(90°)である場合が例として示されているが、これに限定されるものではない。屈曲角度は、90°より大きい場合や小さい場合にも、同様にして本発明を適用できる。   The signal line 12 is a microstrip line made of a thin film conductor such as metal and having a constant line width W. In the middle of the signal line 12, a bent part 12Z in which the extending direction of the line changes to a predetermined angle is provided, so that two linear parts 12X and 12Y having different extending directions are connected to each other by the bent part 12Z. Has been. In the example of FIG. 1, a straight portion 12X extending in the horizontal direction in plan view and a straight portion 12X extending in the vertical direction in plan view are connected to each other by a bent portion 12Z. Here, a case where the bending angle between the straight portion 12X and the straight portion 12Y in the bent portion 12Z is a right angle (90 °) is shown as an example, but the present invention is not limited to this. The present invention can be similarly applied even when the bending angle is larger or smaller than 90 °.

グランドプレーン13は、屈曲部12Zの凸側角(外縁角)Pの直下に位置する接地導体が選択的に除去されてなる開口部14を有している。
開口部14は、仮想線Mに対して線対称となる形状であって、かつ、仮想線Mと直交するとともに平面視において屈曲部12Zと交差する直線からなる底辺Sを有している。仮想線Mは、平面視において屈曲部12Zの凸側角Pと凹側角(内縁角)Qとを通過する直線である。
The ground plane 13 has an opening 14 formed by selectively removing the ground conductor located immediately below the convex side angle (outer edge angle) P of the bent portion 12Z.
The opening 14 has a shape that is symmetric with respect to the virtual line M, and has a base S that is a straight line that is orthogonal to the virtual line M and intersects the bent portion 12Z in plan view. The imaginary line M is a straight line passing through the convex side angle P and the concave side angle (inner edge angle) Q of the bent portion 12Z in plan view.

図1の例では、開口部14が直角二等辺三角形からなる例が示されており、直角二等辺三角形の頂点Vが凸側角Pより屈曲部12Zの外側で仮想線M上に位置し、直角二等辺三角形の底辺Sが仮想線Mと直交するとともに屈曲部12Zと交差している。これにより、開口部14が屈曲部12Zの凸側角Pの直下に位置することになる。   In the example of FIG. 1, an example in which the opening 14 is a right-angled isosceles triangle is shown, and the vertex V of the right-angled isosceles triangle is located on the imaginary line M outside the bent portion 12Z from the convex side angle P, The base S of the right-angled isosceles triangle is orthogonal to the imaginary line M and intersects the bent portion 12Z. Thereby, the opening part 14 will be located just under the convex side angle P of the bending part 12Z.

信号線路12の屈曲部12Zには、基板11の誘電体層を挟んで表面の信号線路12と裏面のグランドプレーン13との間に、電気容量成分が発生する。ここでは、屈曲部12Zのうち凸側角P側の領域である凸側部分12Pで発生する電気容量成分をCP(第1の電気容量成分)とし、屈曲部12Zのうち凹側角Q側の領域である凹側部分12Qで発生する電気容量成分をCQ(第2の電気容量成分)とする。   In the bent portion 12Z of the signal line 12, an electric capacitance component is generated between the signal line 12 on the front surface and the ground plane 13 on the back surface with the dielectric layer of the substrate 11 interposed therebetween. Here, the capacitance component generated in the convex portion 12P, which is the region on the convex side angle P side of the bent portion 12Z, is CP (first capacitance component), and the concave portion Q on the concave side angle Q side of the bent portion 12Z. The capacitance component generated in the concave portion 12Q that is the region is defined as CQ (second capacitance component).

これにより、屈曲部12Zの等価回路は、図2(c)に示すように、CP,CQの並列回路が、2つのインダクタンスLX,LYに挟まれたT型の四端子回路で表される。端部TXは、屈曲部12Zのうち直線部12Xとの接続点であり、インダクタンスLXは、屈曲部12Zのうち直線部12X側のインダクタンスである。また、端部TYは、屈曲部12Zのうち直線部12Yとの接続点であり、インダクタンスLYは、屈曲部12Zのうち直線部12Y側のインダクタンスである。   As a result, the equivalent circuit of the bent portion 12Z is represented by a T-type four-terminal circuit in which a parallel circuit of CP and CQ is sandwiched between two inductances LX and LY, as shown in FIG. The end portion TX is a connection point with the straight portion 12X in the bent portion 12Z, and the inductance LX is an inductance on the straight portion 12X side in the bent portion 12Z. The end TY is a connection point with the straight portion 12Y in the bent portion 12Z, and the inductance LY is an inductance on the straight portion 12Y side in the bent portion 12Z.

一般的には、開口部14が存在しない場合、非特許文献1に示されているように、屈曲部12ZにおいてCP>CQの状況となる。このため、信号線路12のうち、屈曲部12Zの凸側部分12Pと凹側部分12Qとで特性インピーダンスが異なるものとなって、直線部12X,12Yと屈曲部12Zとの間で特性インピーダンスが不連続となり、伝送特性が劣化する原因となる。   In general, when the opening 14 is not present, as shown in Non-Patent Document 1, the situation is CP> CQ at the bent portion 12Z. Therefore, in the signal line 12, the characteristic impedance differs between the convex portion 12P and the concave portion 12Q of the bent portion 12Z, and the characteristic impedance is not good between the straight portions 12X, 12Y and the bent portion 12Z. It becomes continuous, causing transmission characteristics to deteriorate.

本実施の形態は、このような屈曲部12Zの凸側部分12Pと凹側部分12Qにおける電気容量成分CP,CQの偏りに着目し、屈曲部12Zの直下に開口部14を設けたものである。これにより、凸側角Pとグランドプレーン13との距離が、凹側角Qとグランドプレーン13との距離より大きくなり、屈曲部12ZにおいてCP<CQの状況が得られる。   In the present embodiment, attention is paid to the deviation of the capacitance components CP and CQ in the convex portion 12P and the concave portion 12Q of the bent portion 12Z, and an opening 14 is provided immediately below the bent portion 12Z. . As a result, the distance between the convex side angle P and the ground plane 13 becomes larger than the distance between the concave side angle Q and the ground plane 13, and a condition of CP <CQ is obtained at the bent portion 12Z.

したがって、本実施の形態によれば、屈曲部12Zにおける信号線路12の線路幅を変更することなく、屈曲部12Zの凸側部分12Pと凹側部分12Qにおける特性インピーダンスを調整できる。このため、直線部12X,12Yと屈曲部12Zとで特性インピーダンスを連続させることが可能となり、結果として、伝送特性の劣化を抑制することが可能となる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to adjust the characteristic impedance in the convex portion 12P and the concave portion 12Q of the bent portion 12Z without changing the line width of the signal line 12 in the bent portion 12Z. For this reason, it is possible to make the characteristic impedance continuous between the straight portions 12X and 12Y and the bent portion 12Z, and as a result, it is possible to suppress the deterioration of the transmission characteristics.

なお、図1では、開口部14が直角二等辺三角形からなり、2つの等辺の長さLが信号線路12の線路幅Wより大きい場合が例として示されているが、これに限定されるものではなく、頂角θが屈曲部12Zの屈曲角度θZとほぼ等しい二等辺三角形または略二等辺三角形であればよい。また、開口部14の形状やサイズは、直線部12X,12Yと屈曲部12Zとの間で特性インピーダンスが連続するよう、任意に設計すればよい。   In FIG. 1, the case where the opening 14 is formed of a right-angled isosceles triangle and the length L of two equal sides is larger than the line width W of the signal line 12 is shown as an example. Instead, it is sufficient that the apex angle θ is an isosceles triangle or an approximately isosceles triangle that is substantially equal to the bending angle θZ of the bent portion 12Z. Further, the shape and size of the opening 14 may be arbitrarily designed so that the characteristic impedance is continuous between the straight portions 12X and 12Y and the bent portion 12Z.

図3は、開口部の変形例である。図3(a)は、開口部14の形状が前述した直角二等辺三角形である場合が示されている。すなわち、開口部14は、仮想線Mに対して線対称となる形状であって、頂点Vが凸側角Pより屈曲部12Zの外側で仮想線M上に位置し、底辺Sが仮想線Mと直交(交差)するとともに屈曲部12Zと交差している。   FIG. 3 shows a modification of the opening. FIG. 3A shows a case where the shape of the opening 14 is the right-angled isosceles triangle described above. That is, the opening 14 has a shape that is symmetric with respect to the virtual line M, the vertex V is located on the virtual line M outside the bent portion 12Z from the convex side angle P, and the base S is the virtual line M. And intersect with the bent portion 12Z.

一般的には、二等辺三角形の頂角θが、屈曲部12Zの屈曲角度θZとほぼ同じであることが望ましい。これにより、二等辺三角形の2つの等辺が、直線部12X,12Yとほぼ同じ伸延方向となり、等辺と屈曲部12Zの凸側端部とが平行して、両者の距離がほぼ一定となる。このため、電気容量成分CPが部分的に偏って発生することを抑制でき、意図したCPを得るため開口部14の形状やサイズを容易に設計することができる。   In general, it is desirable that the apex angle θ of the isosceles triangle is substantially the same as the bending angle θZ of the bent portion 12Z. As a result, the two equilateral sides of the isosceles triangle are in substantially the same extending direction as the straight portions 12X and 12Y, and the equilateral side and the convex side end of the bent portion 12Z are parallel to make the distance between them substantially constant. For this reason, it can suppress that electric capacitance component CP generate | occur | produces partially biasing, and in order to obtain intended CP, the shape and size of the opening part 14 can be designed easily.

図3(b)は、開口部14の形状として台形を用いたものである。この台形は、図3(a)に示した直角二等辺三角形の頂点V側を、底辺Sに対して平行に切り取ったものである。これにより、直角二等辺三角形とほぼ同様の作用効果が得られる。   FIG. 3B uses a trapezoid as the shape of the opening 14. This trapezoid is obtained by cutting the vertex V side of the right isosceles triangle shown in FIG. Thereby, substantially the same operation effect as a right isosceles triangle is obtained.

図3(c)は、開口部14の形状として、頂角θが直角より大きい二等辺三角形を用いたものである。また、図3(d)は、開口部14の形状として、頂角θが直角より小さい二等辺三角形を用いたものである。これにより、屈曲部12Zの屈曲角度θZが直角以外であっても、良好な作用効果を得ることができる。   FIG. 3C shows an isosceles triangle whose apex angle θ is larger than a right angle as the shape of the opening 14. FIG. 3D shows an isosceles triangle whose apex angle θ is smaller than a right angle as the shape of the opening 14. Thereby, even if the bending angle θZ of the bent portion 12Z is other than a right angle, a good effect can be obtained.

図3(e)は、開口部14の形状として平凸形状を用いたものである。この形状は、図3(c)に示した、頂角θが直角より大きい直角二等辺三角形の頂点V側を、仮想線Mに対して線対称となる円弧で切り取ったものである。これにより、直角二等辺三角形とほぼ同様の作用効果が得られる。   FIG. 3 (e) uses a plano-convex shape as the shape of the opening 14. In this shape, the vertex V side of the isosceles right triangle whose apex angle θ is larger than the right angle shown in FIG. Thereby, substantially the same operation effect as a right isosceles triangle is obtained.

図3(f)は、開口部14の形状として不等辺三角形を用いたものである。この形状は、仮想線Mに対して非線対称な形状であり、必ずしも頂点Vが仮想線M上になくてもよい。この形状によれば、発生する電気容量成分CPの大きさを直線部12X側と直線部12Y側とで調整することができる。これにより、直線部12X,12Yでの高周波信号の反射特性を、それぞれ個別に調整することができ、直線部12X,12Yを介して接続されている基板(図示せず)が異なり、反射特性が異なる場合に有効である。   FIG. 3 (f) uses an unequal triangle as the shape of the opening 14. This shape is non-axisymmetric with respect to the virtual line M, and the vertex V does not necessarily have to be on the virtual line M. According to this shape, the magnitude of the generated capacitance component CP can be adjusted on the straight line portion 12X side and the straight line portion 12Y side. As a result, the reflection characteristics of the high-frequency signals at the straight portions 12X and 12Y can be individually adjusted, the substrates (not shown) connected via the straight portions 12X and 12Y are different, and the reflection characteristics are different. Effective when different.

[第2の実施の形態]
次に、図4を参照して、本発明の第2の実施の形態にかかる高周波伝送線路10について説明する。図4は、第2の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図であり、図4(a)は表面図、図4(b)は図4(a)のC−C断面図、図4(c)は裏面図である。
本実施の形態は、図1と比較して、屈曲部12Zの凸側角Pに切欠部12Rを設けた点が異なるが、基板11裏面に設けられた開口部14など、その他の構成については、図1と同様である。
[Second Embodiment]
Next, with reference to FIG. 4, the high frequency transmission line 10 concerning the 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. 4A and 4B are explanatory views showing the configuration of the high-frequency transmission line according to the second embodiment. FIG. 4A is a surface view, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. FIG. 4C is a back view.
This embodiment is different from FIG. 1 in that a notch 12R is provided at the convex side angle P of the bent portion 12Z. However, other configurations such as the opening 14 provided on the back surface of the substrate 11 are described. This is the same as FIG.

すなわち、本実施の形態は、図4に示すように、屈曲部12Zの凸側角Pには、仮想線Mと直交する方向に沿って屈曲部12Zの一部を切り欠いた切欠部12Rが設けられている。
これにより、屈曲部12Zにおける線路幅が変化して、特性インピーダンスを調整することができる。したがって、開口部14に加えて切欠部12Rのサイズや形状により特性インピーダンスを調整することができ、設計自由度を大幅に広げることができる。
That is, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, the convex side angle P of the bent portion 12Z has a cutout portion 12R in which a portion of the bent portion 12Z is cut out along the direction orthogonal to the imaginary line M. Is provided.
Thereby, the line | wire width in the bending part 12Z changes, and a characteristic impedance can be adjusted. Therefore, the characteristic impedance can be adjusted by the size and shape of the notch 12R in addition to the opening 14, and the degree of freedom in design can be greatly expanded.

[第3の実施の形態]
次に、図5を参照して、本発明の第3の実施の形態にかかる高周波伝送線路10について説明する。図5は、第3の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図であり、図5(a)は表面図、図5(b)は図5(a)のD−D断面図、図5(c)は裏面図である。
本実施の形態は、図1のマイクロストリップ線路に代えて、裏面グランド付きのコプレーナー線路に適用したものであるが、基板11裏面に設けられた開口部14など、その他の構成については、図1と同様である。
[Third Embodiment]
Next, a high frequency transmission line 10 according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5A and 5B are explanatory views showing the configuration of the high-frequency transmission line according to the third embodiment. FIG. 5A is a front view, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG. FIG. 5C is a rear view.
The present embodiment is applied to a coplanar line with a back surface ground instead of the microstrip line of FIG. 1, but other configurations such as the opening 14 provided on the back surface of the substrate 11 are shown in FIG. It is the same.

すなわち、本実施の形態は、図4に示すように、基板11表面に形成された信号線路12がコプレーナー線路で構成されており、信号線路12の両側には、信号線路12と一定幅のギャップを挟んで表面グランド15が形成されている。
これにより、信号線路12が裏面グランド付きのコプレーナー線路であっても、前述したマイクロストリップ線路と同様の作用効果が得られる。
That is, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, the signal line 12 formed on the surface of the substrate 11 is constituted by a coplanar line, and the signal line 12 and a gap having a constant width are formed on both sides of the signal line 12. A surface ground 15 is formed across the surface.
Thereby, even if the signal line 12 is a coplanar line with a back surface ground, the same effect as the above-described microstrip line can be obtained.

[第4の実施の形態]
次に、図6を参照して、本発明の第4の実施の形態にかかる高周波伝送線路10について説明する。図6は、第4の実施の形態にかかる高周波伝送線路の構成を示す説明図であり、図6(a)は表面図、図6(b)は図6(a)のE−E断面図、図6(c)は裏面図である。
本実施の形態は、図1のマイクロストリップ線路として、信号線路12が差動線路からなるものである。
[Fourth Embodiment]
Next, with reference to FIG. 6, the high frequency transmission line 10 concerning the 4th Embodiment of this invention is demonstrated. 6A and 6B are explanatory views showing the configuration of the high-frequency transmission line according to the fourth embodiment. FIG. 6A is a surface view, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line EE in FIG. FIG. 6C is a rear view.
In the present embodiment, the signal line 12 is a differential line as the microstrip line in FIG.

すなわち、本実施の形態は、図6に示すように、信号線路12が、正相信号線16および逆相信号線17が互いに平行して配置された1対の差動線路から構成されている。正相信号線16は、正相信号が流れる信号線路であり、直線部16X,16Yが屈曲部12Zで相互に接続されている。逆相信号線17は、正相信号とは逆位相の逆相信号が流れる信号線路であり、直線部17X,17Yが屈曲部12Zで相互に接続されている。   That is, in this embodiment, as shown in FIG. 6, the signal line 12 is composed of a pair of differential lines in which the normal phase signal line 16 and the negative phase signal line 17 are arranged in parallel to each other. The positive phase signal line 16 is a signal line through which a positive phase signal flows, and the straight portions 16X and 16Y are connected to each other through the bent portion 12Z. The negative phase signal line 17 is a signal line through which a negative phase signal having a phase opposite to that of the positive phase signal flows, and the straight portions 17X and 17Y are connected to each other through the bent portion 12Z.

この場合、これら正相信号線16および逆相信号線17は、1つの信号線路12として見なせる。このため、基板11裏面のグランドプレーン13のうち、これら正相信号線16および逆相信号線17を含む信号線路12の屈曲部12Zに関する凸側角Pの直下、すなわち、屈曲部12Zにおいて凸側に位置する逆相信号線17の凸側角Pの直下に、開口部14が形成されている。これにより、信号線路12が差動線路であっても、前述と同様の作用効果を得ることができる。   In this case, the normal phase signal line 16 and the negative phase signal line 17 can be regarded as one signal line 12. Therefore, the ground plane 13 on the back surface of the substrate 11 is positioned directly below the convex side angle P with respect to the bent portion 12Z of the signal line 12 including the positive phase signal line 16 and the reverse phase signal line 17, that is, on the convex side in the bent portion 12Z. An opening 14 is formed immediately below the convex side angle P of the negative phase signal line 17. Thereby, even if the signal line 12 is a differential line, the same effects as described above can be obtained.

なお、正相信号線16および逆相信号線17の線路幅が広く、それぞれの屈曲部の凸側領域と凹側領域とで、ある程度電気容量成分に偏りが発生する場合も考えられる。このような場合には、基板11裏面のグランドプレーン13のうち、これら正相信号線16および逆相信号線17の凸側角の直下に、それぞれ開口部14を形成してもよい。これにより、信号線路12が差動線路であっても、前述と同様の作用効果を得ることができる。   It is also conceivable that the line widths of the positive-phase signal line 16 and the negative-phase signal line 17 are wide and the capacitance component is biased to some extent between the convex side region and the concave side region of the respective bent portions. In such a case, the openings 14 may be formed in the ground plane 13 on the back surface of the substrate 11 immediately below the convex side corners of the normal phase signal line 16 and the negative phase signal line 17, respectively. Thereby, even if the signal line 12 is a differential line, the same effects as described above can be obtained.

[実施の形態の拡張]
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。また、各実施形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
[Extended embodiment]
The present invention has been described above with reference to the embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments. Various changes that can be understood by those skilled in the art can be made to the configuration and details of the present invention within the scope of the present invention. In addition, each embodiment can be implemented in any combination within a consistent range.

10…高周波伝送線路、11…基板、12…信号線路、12P…凸側部分、12Q…凹側部分、12R…切欠部、12X,12Y…直線部、12Z…屈曲部、13…グランドプレーン、14…開口部、15…表面グランド、16…正相信号線、16X,16Y…直線部、17…逆相信号線、17X,17Y…直線部、M…仮想線、P…凸側角、Q…凹側角、S…底辺、V…頂点、CP,CQ…電気容量成分、LX,LY…インダクタンス、TX,TY…端部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... High frequency transmission line, 11 ... Board | substrate, 12 ... Signal line, 12P ... Convex part, 12Q ... Concave part, 12R ... Notch part, 12X, 12Y ... Straight part, 12Z ... Bending part, 13 ... Ground plane, 14 ... Opening, 15 ... Surface ground, 16 ... Normal phase signal line, 16X, 16Y ... Linear part, 17 ... Reverse phase signal line, 17X, 17Y ... Linear part, M ... Virtual line, P ... Convex side angle, Q ... Concave side Corner, S ... Bottom, V ... Vertex, CP, CQ ... Capacitance component, LX, LY ... Inductance, TX, TY ... End.

Claims (6)

基板と、前記基板の表面に形成された信号線路と、前記基板の裏面に形成された接地導体からなるグランドプレーンとを備える高周波伝送線路であって、
前記信号線路は、伸延方向が異なる2つの直線部を相互に接続する屈曲部を有し、
前記グランドプレーンは、前記屈曲部の凸側角の直下に位置する前記接地導体が選択的に除去された開口部を有する
ことを特徴とする高周波伝送線路。
A high-frequency transmission line comprising a substrate, a signal line formed on the surface of the substrate, and a ground plane made of a ground conductor formed on the back surface of the substrate,
The signal line has a bent portion that connects two straight portions with different extending directions,
The high-frequency transmission line, wherein the ground plane has an opening from which the ground conductor located directly below the convex side corner of the bent portion is selectively removed.
請求項1に記載の高周波伝送線路において、
前記屈曲部の信号線路と前記グランドプレーンとの間に発生する電気容量成分のうち、前記屈曲部のうち凸側角側の領域である凸側部分に発生する第1の電気容量成分は、前記屈曲部のうち凹側角側の領域である凹側部分に発生する第2の電気容量成分に比較して小さいことを特徴とする高周波伝送線路。
In the high frequency transmission line according to claim 1,
Of the capacitance component generated between the signal line of the bent portion and the ground plane, the first capacitance component generated in the convex portion that is a region on the convex side of the bent portion is the A high-frequency transmission line characterized in that it is smaller than a second electric capacity component generated in a concave side portion that is a region on the concave side corner of the bent portion.
請求項1または請求項2に記載の高周波伝送線路において、
前記開口部は、頂点が平面視において前記屈曲部の凸側角と凹側角を通過する仮想線の上に位置するとともに、底辺が前記仮想線と交差し、頂角が前記屈曲部の屈曲角度とほぼ等しい二等辺三角形または略二等辺三角形をなすことを特徴とする高周波伝送線路。
In the high frequency transmission line according to claim 1 or claim 2,
The opening is located on an imaginary line whose apex passes through the convex side angle and the concave side angle of the bent part in plan view, the base intersects the virtual line, and the apex angle is the bent part of the bent part. A high-frequency transmission line characterized by forming an isosceles triangle or an isosceles triangle substantially equal to an angle.
請求項1〜請求項3のいずれかに記載の高周波伝送線路において、
前記信号線路は、マイクロストリップ線路、もしくは、前記基板の表面に表面グランドが形成されたコプレーナー線路であることを特徴とする高周波伝送線路。
In the high frequency transmission line according to any one of claims 1 to 3,
The high-frequency transmission line according to claim 1, wherein the signal line is a microstrip line or a coplanar line having a surface ground formed on a surface of the substrate.
請求項1〜請求項4のいずれかに記載の高周波伝送線路において、
前記信号線路は、正相信号線および逆相信号線が互いに平行して配置された1対の差動線路からなり、
前記開口部は、前記正相信号線および前記逆相信号線のうち、前記屈曲部において凸側に位置するいずれか一方の信号線の凸側角の直下に形成されている
ことを特徴とする高周波伝送線路。
In the high frequency transmission line according to any one of claims 1 to 4,
The signal line is composed of a pair of differential lines in which a normal phase signal line and a negative phase signal line are arranged in parallel to each other,
The high-frequency transmission is characterized in that the opening is formed immediately below a convex-side angle of one of the positive-phase signal line and the negative-phase signal line that is located on the convex side in the bent portion. line.
請求項1〜請求項5のいずれかに記載の高周波伝送線路において、
前記基板は、複数のセラミックス層が積層されてなる積層セラミックス基板からなることを特徴とする高周波伝送線路。
In the high frequency transmission line according to any one of claims 1 to 5,
The high-frequency transmission line according to claim 1, wherein the substrate comprises a laminated ceramic substrate in which a plurality of ceramic layers are laminated.
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