JP2018185400A - Laser scanner - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact laser scanner which can scan a wide area.SOLUTION: A laser scanner includes a circular stage 23, a plurality of light-emitting elements 11C for emitting laser beams, a plurality of light-receiving elements 13A arranged adjacent to the light-emitting elements 11C in a peripheral end of the stage 23, a circular mirror array 12 arranged above the stage 23 and having a plurality of concave mirrors, and a driving unit 14 which is connected to the mirror array 12 via a rotation axis, to rotate the mirror array 12. The plurality of concave mirrors, which are arranged in a peripheral end of the mirror array 12 so as to reflect laser beams, have different shapes.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、車両などに搭載されるレーザ走査装置に係り、例えば、赤外線レーザ光を用いたレーザ走査装置に関する。   The present invention relates to a laser scanning device mounted on a vehicle or the like, for example, a laser scanning device using infrared laser light.

車両の自動運転、又は車両の運転支援を行う機器が盛んに開発されている。また、車両などに搭載されるLIDAR(Light Detection and Ranging)が知られている。LIDARは、レーザ光を用いて車両の周囲の物体を高精度に検知するセンサであり、自動運転の実用化に向けて必要なセンサの1つである。   Devices for automatically driving vehicles or assisting driving of vehicles have been actively developed. Further, LIDAR (Light Detection and Ranging) mounted on a vehicle or the like is known. The LIDAR is a sensor that detects an object around the vehicle with high accuracy using a laser beam, and is one of the sensors necessary for the practical use of automatic driving.

LIDARの走査方式には、例えば、ポリゴンミラー、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラー、又はガルバノミラーを用いる方式が用いられている。しかし、これらの方式では、レーザ走査装置が高コスト化、大型化する傾向にある。このため、レーザ走査装置の低コスト化、小型化が望まれている。   As the LIDAR scanning method, for example, a method using a polygon mirror, a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) mirror, or a galvanometer mirror is used. However, these methods tend to increase the cost and size of the laser scanning device. For this reason, it is desired to reduce the cost and size of the laser scanning device.

特開2010−38859号公報JP 2010-38859 A 特開2009−216789号公報JP 2009-216789 A

本発明は、広い領域を走査することが可能であり、かつ小型化が可能なレーザ走査装置を提供する。   The present invention provides a laser scanning device that can scan a wide area and can be miniaturized.

本発明の一態様に係るレーザ走査装置は、円形のステージと、前記ステージの周端部に設けられ、レーザ光を出射する複数の発光素子と、前記複数の発光素子にそれぞれ隣接するようにして、前記ステージの周端部に設けられた複数の受光素子と、前記ステージの上方に配置され、複数の凹面鏡を有する円形のミラーアレイと、回転軸を介して前記ミラーアレイに接続され、前記ミラーアレイを回転させる駆動部とを具備する。前記複数の凹面鏡は、前記レーザ光を反射するようにして前記ミラーアレイの周端部に設けられ、互いの形状が異なる。   A laser scanning device according to one embodiment of the present invention includes a circular stage, a plurality of light-emitting elements that are provided at a peripheral end portion of the stage, and that are adjacent to the plurality of light-emitting elements. A plurality of light receiving elements provided at a peripheral edge of the stage, a circular mirror array disposed above the stage and having a plurality of concave mirrors, and connected to the mirror array via a rotating shaft, And a drive unit for rotating the array. The plurality of concave mirrors are provided at the peripheral end of the mirror array so as to reflect the laser light, and are different in shape from each other.

本発明によれば、広い領域を走査することが可能であり、かつ小型化が可能なレーザ走査装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a laser scanning device that can scan a wide area and can be miniaturized.

本発明の実施形態に係るレーザ走査装置のブロック図。1 is a block diagram of a laser scanning device according to an embodiment of the present invention. レーザ走査装置の斜視図。The perspective view of a laser scanner. 図2に示したミラーアレイの底面図。FIG. 3 is a bottom view of the mirror array shown in FIG. 2. 図2のIV−IV線に沿ったレーザ走査装置の断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of the laser scanning device along the line IV-IV in FIG. 2. レーザ走査装置の分解図。The exploded view of a laser scanning device. 光源部、受光部、及びステージの平面図。The top view of a light source part, a light-receiving part, and a stage. 光源部及びステージの断面図。Sectional drawing of a light source part and a stage. レーザ走査装置によるレーザ光の波形を説明する図。The figure explaining the waveform of the laser beam by a laser scanning apparatus. 第1実施例に係るレーザ光を走査する動作を説明する図。The figure explaining the operation | movement which scans the laser beam based on 1st Example. 第1実施例に係るレーザ光を走査する動作を説明する図。The figure explaining the operation | movement which scans the laser beam based on 1st Example. 第2実施例に係るレーザ光を走査する動作を説明する図。The figure explaining the operation | movement which scans the laser beam based on 2nd Example. 第3実施例に係るライン走査を説明する図。The figure explaining the line scanning which concerns on 3rd Example.

以下、実施形態について図面を参照して説明する。ただし、図面は模式的または概念的なものであり、各図面の寸法および比率等は必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、図面の相互間で同じ部分を表す場合においても、互いの寸法の関係や比率が異なって表される場合もある。特に、以下に示す幾つかの実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための装置および方法を例示したものであって、構成部品の形状、構造、配置等によって、本発明の技術思想が特定されるものではない。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。   Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. However, the drawings are schematic or conceptual, and the dimensions and ratios of the drawings are not necessarily the same as actual ones. Further, even when the same portion is represented between the drawings, the dimensional relationship and ratio may be represented differently. In particular, the following embodiments exemplify an apparatus and a method for embodying the technical idea of the present invention, and the technical idea of the present invention depends on the shape, structure, arrangement, etc. of components. Is not specified. In the following description, elements having the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be given only when necessary.

[1]レーザ走査装置の回路構成
図1は、本発明の実施形態に係るレーザ走査装置10のブロック図である。
[1] Circuit Configuration of Laser Scanning Device FIG. 1 is a block diagram of a laser scanning device 10 according to an embodiment of the present invention.

レーザ走査装置10は、LIDAR(Light Detection and Ranging)とも呼ばれる。LIDARは、レーザ光を用いて例えば車両前方のある範囲を走査し、この走査範囲にある対象物によって反射されたレーザ光を検出する。そして、LIDARは、送信したレーザ光と受信したレーザ光とを用いて、対象物を検出したり、車両から対象物までの距離を測定したりする。   The laser scanning device 10 is also called LIDAR (Light Detection and Ranging). LIDAR scans a certain range, for example, in front of the vehicle using laser light, and detects laser light reflected by an object in this scanning range. And LIDAR detects a target object using the transmitted laser beam and the received laser beam, or measures the distance from a vehicle to a target object.

レーザ走査装置10は、ルーフやボンネット等、車両の上部に配置される。また、レーザ走査装置10は、車両の前側(例えば、フロントバンパー、又はフロントグリル)、車両の後ろ側(例えば、リアバンパー、又はリアグリル)、及び/又は、車両の側方(例えば、フロントバンパーの側方)に配置されてもよい。   The laser scanning device 10 is disposed on the top of the vehicle, such as a roof or a bonnet. In addition, the laser scanning device 10 may be provided on the front side of the vehicle (for example, the front bumper or the front grill), the rear side of the vehicle (for example, the rear bumper or the rear grill), and / or the side of the vehicle (for example, the side of the front bumper) ).

レーザ走査装置10は、光源部11、ミラーアレイ12、受光部13、ミラー駆動部14、パルスタイミング制御部15、距離演算部16、及び主制御部17を備える。   The laser scanning device 10 includes a light source unit 11, a mirror array 12, a light receiving unit 13, a mirror driving unit 14, a pulse timing control unit 15, a distance calculation unit 16, and a main control unit 17.

光源部11は、ミラーアレイ12に向けて、複数のレーザ光を発生(発光)する。光源部11は、複数のレーザ光に対応する数の発光素子を備える。後述するように、ミラーアレイ12は、複数の凹面鏡を備える。光源部11は、複数の凹面鏡に対応した数のレーザ光を発光することが可能である。レーザ光としては、例えば、赤外線レーザ光(例えば波長λ=905nm)が用いられる。また、光源部11は、所定の周波数を有するパルス信号としてレーザ光を発生する。   The light source unit 11 generates (emits) a plurality of laser beams toward the mirror array 12. The light source unit 11 includes a number of light emitting elements corresponding to a plurality of laser beams. As will be described later, the mirror array 12 includes a plurality of concave mirrors. The light source unit 11 can emit a number of laser beams corresponding to a plurality of concave mirrors. As the laser light, for example, infrared laser light (for example, wavelength λ = 905 nm) is used. The light source unit 11 generates laser light as a pulse signal having a predetermined frequency.

ミラーアレイ12は、形状の異なる複数の反射部材を備える。複数の反射部材は、例えば凹面鏡で構成される。ミラーアレイ12の外形は、円である。ミラーアレイ12は、モータによって回転可能である。ミラーアレイ12は、光源部11からの複数のレーザ光を反射するとともに、自身の周囲に向けてレーザ光を出射する。   The mirror array 12 includes a plurality of reflecting members having different shapes. The plurality of reflecting members are constituted by concave mirrors, for example. The outer shape of the mirror array 12 is a circle. The mirror array 12 can be rotated by a motor. The mirror array 12 reflects a plurality of laser beams from the light source unit 11 and emits the laser beams toward the surroundings thereof.

受光部(検出回路)13は、対象物2によって反射されたレーザ光を検出する。受光部13は、光源部11に含まれる複数の発光素子に対応した数の複数の受光素子を備える。受光素子は、例えば赤外線センサから構成される。赤外線センサは、フォトダイオード、又はCMOS(complementary metal oxide semiconductor)フォトセンサを含む。その他、受光素子として赤外線カメラを用いてもよい。   The light receiving unit (detection circuit) 13 detects the laser light reflected by the object 2. The light receiving unit 13 includes a plurality of light receiving elements corresponding to the plurality of light emitting elements included in the light source unit 11. The light receiving element is composed of, for example, an infrared sensor. The infrared sensor includes a photodiode or a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) photosensor. In addition, an infrared camera may be used as the light receiving element.

ミラー駆動部14は、ミラーアレイ12を駆動し、ミラーアレイ12を回転軸を介して回転させる。ミラー駆動部14は、ミラーアレイ12を回転させるモータ、及びミラーアレイ12の位置情報を検出する回転エンコーダ(ロータリエンコーダ)などを備える。ミラーアレイ12の回転変位量、回転速度、及び回転角度などの情報は、ミラー駆動部14が備える回転エンコーダ(図示せず)によって電気信号に変換される。これにより、ミラーアレイ12の各凹面鏡の位置が検出及び特定できる。   The mirror driving unit 14 drives the mirror array 12 and rotates the mirror array 12 via a rotation axis. The mirror driving unit 14 includes a motor that rotates the mirror array 12, a rotary encoder (rotary encoder) that detects position information of the mirror array 12, and the like. Information such as the rotational displacement amount, rotational speed, and rotational angle of the mirror array 12 is converted into an electrical signal by a rotary encoder (not shown) included in the mirror drive unit 14. Thereby, the position of each concave mirror of the mirror array 12 can be detected and specified.

パルスタイミング制御部15は、光源部11の動作を制御する。光源部11は、パルス信号としてレーザ光(すなわち、パルス状のレーザ光)を発光する。パルスタイミング制御部15は、レーザ光に含まれるパルスのタイミングを制御する。パルスのタイミングには、パルス信号の周期、パルス信号の周波数、及びパルス幅が含まれる。   The pulse timing control unit 15 controls the operation of the light source unit 11. The light source unit 11 emits laser light (that is, pulsed laser light) as a pulse signal. The pulse timing control unit 15 controls the timing of pulses included in the laser light. The pulse timing includes the period of the pulse signal, the frequency of the pulse signal, and the pulse width.

距離演算部16は、送信されたレーザ光のタイミング情報をパルスタイミング制御部15から受け、水平方向及び垂直方向のそれぞれにおける出射角の情報を主制御部17から受け、受信されたレーザ光のタイミング情報及び光強度の情報を受光部13から受ける。距離演算部16は、これらの情報を用いて、車両から対象物までの距離を算出する。具体的には、距離演算部16は、出射角の情報などを用いて、直線距離、水平距離、及び垂直距離を算出する。また、距離演算部16は、出射角の情報などを用いて、対象物の相対座標を算出する。距離演算部16によって算出された距離及び/又は相対座標は、例えばデータDOUTとして外部に出力可能である。   The distance calculation unit 16 receives the timing information of the transmitted laser beam from the pulse timing control unit 15, receives the information of the emission angle in each of the horizontal direction and the vertical direction from the main control unit 17, and receives the timing of the received laser beam. Information and light intensity information are received from the light receiving unit 13. The distance calculation unit 16 calculates the distance from the vehicle to the object using these pieces of information. Specifically, the distance calculation unit 16 calculates a linear distance, a horizontal distance, and a vertical distance using information on the emission angle. In addition, the distance calculation unit 16 calculates the relative coordinates of the target object using information on the emission angle and the like. The distance and / or relative coordinates calculated by the distance calculation unit 16 can be output to the outside as data DOUT, for example.

主制御部17は、レーザ走査装置10の全体動作を統括的に制御する。特に、主制御部17は、ミラー駆動部14を介して、ミラーアレイ12の回転位置などを制御する。   The main control unit 17 comprehensively controls the entire operation of the laser scanning device 10. In particular, the main control unit 17 controls the rotational position of the mirror array 12 and the like via the mirror driving unit 14.

[2]レーザ走査装置10の構成
次に、レーザ走査装置10の構成について説明する。図2は、レーザ走査装置10の斜視図である。図3は、図2に示したミラーアレイ12の底面図である。すなわち、図3は、ミラーアレイ12のみを抽出して、これを下から見た図である。図4は、図2のIV−IV線に沿ったレーザ走査装置10の断面図である。図5は、レーザ走査装置10の分解図である。
[2] Configuration of Laser Scanning Device 10 Next, the configuration of the laser scanning device 10 will be described. FIG. 2 is a perspective view of the laser scanning device 10. FIG. 3 is a bottom view of the mirror array 12 shown in FIG. That is, FIG. 3 shows only the mirror array 12 extracted and viewed from below. 4 is a cross-sectional view of the laser scanning device 10 taken along line IV-IV in FIG. FIG. 5 is an exploded view of the laser scanning device 10.

レーザ走査装置10は、ミラーアレイ12、底板20、モータ21、回転軸22、ステージ23、光源11A、及びネジ24−1〜24−4を備える。   The laser scanning device 10 includes a mirror array 12, a bottom plate 20, a motor 21, a rotating shaft 22, a stage 23, a light source 11A, and screws 24-1 to 24-4.

モータ21は、ミラーアレイ12を回転させる。モータ21の回転動作は、ミラー駆動部14によって制御される。モータ21は、円形の底板20上に載置される。モータ21には、回転軸22が取り付けられ、回転軸22には、ミラーアレイ12が固定される。   The motor 21 rotates the mirror array 12. The rotation operation of the motor 21 is controlled by the mirror driving unit 14. The motor 21 is placed on the circular bottom plate 20. A rotation shaft 22 is attached to the motor 21, and the mirror array 12 is fixed to the rotation shaft 22.

ステージ23は、円形を有する。ステージ23は、ネジ24−1、24−2によって底板20上に固定される。ミラーアレイ12は、ステージ23の上方に配置される。モータ21は、ステージ23に設けられた開口部23A内に収納され、ネジ24−3、24−4によってステージ23に固定される。ネジ24−3、24−4は、モータ21(具体的には、モータのケース)に設けられた突起部21A、21Bを貫通するとともに、突起部21A、21Bとステージ23とを固定する。回転軸22は、ステージ23の中心に設けられた開口部23Bを通る。円形の開口部23Bは、回転軸22がステージ23に接触しないように、その径が設定される。   The stage 23 has a circular shape. The stage 23 is fixed on the bottom plate 20 with screws 24-1 and 24-2. The mirror array 12 is disposed above the stage 23. The motor 21 is housed in an opening 23A provided in the stage 23, and is fixed to the stage 23 by screws 24-3 and 24-4. The screws 24-3 and 24-4 pass through the protrusions 21A and 21B provided in the motor 21 (specifically, the motor case), and fix the protrusions 21A and 21B and the stage 23. The rotating shaft 22 passes through an opening 23 </ b> B provided at the center of the stage 23. The diameter of the circular opening 23 </ b> B is set so that the rotating shaft 22 does not contact the stage 23.

ステージ23(具体的には、ステージ23内に設けられた光源部11)は、ミラーアレイ12に向けて複数のレーザ光を出射する。また、ステージ23(具体的には、ステージ23内に設けられた受光部13)は、ミラーアレイ12から入射される複数のレーザ光を検知する。ステージ23のより具体的な構成については後述する。   The stage 23 (specifically, the light source unit 11 provided in the stage 23) emits a plurality of laser beams toward the mirror array 12. The stage 23 (specifically, the light receiving unit 13 provided in the stage 23) detects a plurality of laser beams incident from the mirror array 12. A more specific configuration of the stage 23 will be described later.

光源部11に含まれる光源11Aは、ステージ23にレーザ光を照射する。ステージ23に光源11Aを固定する方法は、任意に設計可能である。   The light source 11A included in the light source unit 11 irradiates the stage 23 with laser light. The method of fixing the light source 11A to the stage 23 can be arbitrarily designed.

ミラーアレイ12は、円形を有する。ミラーアレイ12は、円形の基材12Aと、複数の凹面鏡12Bとを備える。本実施形態(図3)では、一例として、ミラーアレイ12は、12個の凹面鏡12B−1〜12B−12を備える。ミラーアレイ12が備える凹面鏡の数は、2以上の任意の数に設定可能である。   The mirror array 12 has a circular shape. The mirror array 12 includes a circular base 12A and a plurality of concave mirrors 12B. In the present embodiment (FIG. 3), as an example, the mirror array 12 includes twelve concave mirrors 12B-1 to 12B-12. The number of concave mirrors provided in the mirror array 12 can be set to an arbitrary number of 2 or more.

基材12Aは、その中心に開口部12Cを有し、基材12Aの開口部12Cは、回転軸22に固定される。これにより、ミラーアレイ12は、回転軸22を中心に回転することができる。ミラーアレイ12は、ステージ23に接触しないように、ステージ23と隙間を空けて配置される。   The base 12 </ b> A has an opening 12 </ b> C at the center thereof, and the opening 12 </ b> C of the base 12 </ b> A is fixed to the rotating shaft 22. Thereby, the mirror array 12 can rotate around the rotation axis 22. The mirror array 12 is arranged with a gap from the stage 23 so as not to contact the stage 23.

複数の凹面鏡12Bは、基材12Aの周端部に設けられる。凹面鏡12Bは、ステージ23から垂直方向に入射されるレーザ光を、ミラーアレイ12の周囲(外側)に向けて反射する。また、凹面鏡12Bは、対象物によって反射されたレーザ光を、ステージ23の受光素子に向けて反射する。複数の凹面鏡12Bは、ミラーアレイ12の円周に沿って等間隔に配置される。   The plurality of concave mirrors 12B are provided at the peripheral end of the base 12A. The concave mirror 12B reflects laser light incident in the vertical direction from the stage 23 toward the periphery (outside) of the mirror array 12. The concave mirror 12B reflects the laser light reflected by the object toward the light receiving element of the stage 23. The plurality of concave mirrors 12 </ b> B are arranged at equal intervals along the circumference of the mirror array 12.

複数の凹面鏡12Bは、互いの形状が異なる。凹面鏡12Bの形状には、その高さ、及びその厚さが含まれる。凹面鏡の厚さは、ミラーアレイ12の中心に向かう水平方向における凹面鏡の長さ。換言すると、複数の凹面鏡12Bは、その曲率半径、又は、その焦点距離が異なる。具体的には、凹面鏡12B−1〜12B−12は、この順に、その高さが高くなり、その厚さが太くなる。また、凹面鏡12B−1〜12B−12は、この順に、曲率半径が小さくなり、その焦点距離が小さくなる。   The plurality of concave mirrors 12B have different shapes. The shape of the concave mirror 12B includes its height and its thickness. The thickness of the concave mirror is the length of the concave mirror in the horizontal direction toward the center of the mirror array 12. In other words, the plurality of concave mirrors 12B have different curvature radii or focal lengths. Specifically, the concave mirrors 12B-1 to 12B-12 increase in height and increase in thickness in this order. Further, the concave mirrors 12B-1 to 12B-12 have a smaller radius of curvature and a shorter focal length in this order.

基材12Aは、その周端部に複数の曲面の窪み(えぐり)を有し、複数の凹面鏡12Bは、基材12Aに形成された曲面の窪みに設けられる。基材12Aは、例えば樹脂で構成される。例えば、凹面鏡12Bは、基材12Aに形成された曲面の窪みを蒸着やスパッタなどで鏡面処理(鏡面加工)して構成される。凹面鏡12Bは、基材12Aに形成された曲面の窪みに、反射膜(反射部材)を貼り付けて構成してもよい。凹面鏡12Bは、凹面に加工した金属(例えば、アルミニウム(Al))を、基材12Aに形成された曲面の窪みに取り付けて構成してもよい。ミラーアレイ12は、樹脂で成型されかつ複数の曲面の窪みを有する基材12A全体にアルミニウム(Al)を蒸着して構成してもよい。   The base material 12A has a plurality of curved depressions (grooves) at its peripheral end, and the plurality of concave mirrors 12B are provided in the curved depressions formed on the base 12A. The base 12A is made of, for example, a resin. For example, the concave mirror 12B is configured by performing mirror processing (mirror processing) on a curved recess formed on the base 12A by vapor deposition or sputtering. The concave mirror 12B may be configured by attaching a reflective film (reflective member) to a curved depression formed on the base 12A. The concave mirror 12B may be configured by attaching a metal processed into a concave surface (for example, aluminum (Al)) to a curved recess formed in the base 12A. The mirror array 12 may be configured by vapor-depositing aluminum (Al) on the entire base material 12A which is molded of resin and has a plurality of curved depressions.

[3]光源部11及び受光部13の構成
次に、光源部11及び受光部13の構成について説明する。光源部11及び受光部13は、ステージ23内に設けられる。図6は、光源部11、受光部13、及びステージ23の平面図である。図7は、光源部11及びステージ23の断面図である。
[3] Configuration of Light Source Unit 11 and Light Receiving Unit 13 Next, the configuration of the light source unit 11 and the light receiving unit 13 will be described. The light source unit 11 and the light receiving unit 13 are provided in the stage 23. FIG. 6 is a plan view of the light source unit 11, the light receiving unit 13, and the stage 23. FIG. 7 is a cross-sectional view of the light source unit 11 and the stage 23.

光源部11は、光源(発光素子)11A、複数の光導波路11B(11B−1〜11B−12)、及び複数の集光レンズ11C(11C−1〜11C−12)を備える。複数の光導波路11B、及び複数の集光レンズ11Cはそれぞれ、複数の凹面鏡12Bの数に対応する数だけ設けられる。   The light source unit 11 includes a light source (light emitting element) 11A, a plurality of optical waveguides 11B (11B-1 to 11B-12), and a plurality of condenser lenses 11C (11C-1 to 11C-12). Each of the plurality of optical waveguides 11B and the plurality of condenser lenses 11C is provided in a number corresponding to the number of the plurality of concave mirrors 12B.

光源11Aは、レーザ光を発光する。光源11Aは、レーザ素子から構成される。光源11Aは、ステージ23の任意の箇所に取り付けられる。   The light source 11A emits laser light. The light source 11A is composed of a laser element. The light source 11 </ b> A is attached to any part of the stage 23.

光導波路11Bは、光源11Aから出射されたレーザ光を集光レンズ11Cに導く。光導波路11Bとしては、例えば光ファイバが用いられる。光ファイバは、コアと、コアを覆うクラッドとを備える。コアの屈折率は、クラッドの屈折率より高く設定される。図6では、光導波路11Bを直線で示しているが、光導波路の経路は、任意に設計可能である。   The optical waveguide 11B guides the laser light emitted from the light source 11A to the condenser lens 11C. For example, an optical fiber is used as the optical waveguide 11B. The optical fiber includes a core and a clad covering the core. The refractive index of the core is set higher than the refractive index of the cladding. In FIG. 6, the optical waveguide 11B is shown by a straight line, but the path of the optical waveguide can be arbitrarily designed.

なお、光源11Aは、光導波路11Bごとに設けられていてもよい。すなわち、光源部11は、複数の凹面鏡12Bに対応する数の複数の光源11Aを備えていてもよい。   The light source 11A may be provided for each optical waveguide 11B. That is, the light source unit 11 may include a plurality of light sources 11A corresponding to the plurality of concave mirrors 12B.

複数の集光レンズ11Cは、ステージ23の円周に沿って等間隔に配置される。複数の集光レンズ11Cはそれぞれ、複数の凹面鏡12Bに対応して設けられる。すなわち、ミラーアレイ12が所定の位置(例えば予め決められた初期状態の位置)で止まっている場合に、集光レンズ11Cは、これに対応する凹面鏡12Bに向き合うように配置される。複数の集光レンズ11Cは、ステージ23の中心からの距離が同じである。   The plurality of condensing lenses 11 </ b> C are arranged at equal intervals along the circumference of the stage 23. Each of the plurality of condensing lenses 11C is provided corresponding to the plurality of concave mirrors 12B. That is, when the mirror array 12 is stopped at a predetermined position (for example, a position in a predetermined initial state), the condenser lens 11C is disposed so as to face the corresponding concave mirror 12B. The plurality of condenser lenses 11 </ b> C have the same distance from the center of the stage 23.

集光レンズ11Cは、光導波路11Bからのレーザ光を透過するとともに、凹面鏡12Bに向けて出射する。また、集光レンズ11Cから出射されるレーザ光の進行方向は、ステージ23に対して垂直方向に設定される。集光レンズ11Cとしては、例えば両凸レンズが用いられる。なお、光導波路11Bから出射されるレーザ光が高い指向性を有する(すなわち、コヒーレントで幅の狭いレーザ光である)場合は、集光レンズ11Cは不要である。また、集光レンズ11Cの位置に、レーザ光を発光する発光素子を直接に配置してもよい。   The condenser lens 11C transmits the laser light from the optical waveguide 11B and emits it toward the concave mirror 12B. In addition, the traveling direction of the laser light emitted from the condenser lens 11 </ b> C is set in a direction perpendicular to the stage 23. For example, a biconvex lens is used as the condenser lens 11C. In addition, when the laser beam emitted from the optical waveguide 11B has high directivity (that is, coherent and narrow laser beam), the condensing lens 11C is unnecessary. In addition, a light emitting element that emits laser light may be disposed directly at the position of the condenser lens 11C.

受光部13は、複数の受光素子13A(13A−1〜13A−12)を備える。複数の受光素子13Aは、ステージ23の円周に沿って等間隔に配置される。複数の受光素子13Aは、複数の凹面鏡12Bの数に対応する数だけ設けられる。受光素子13Aは、これに対応する集光レンズ11Cに近接して配置される。複数の受光素子13Aは、ステージ23の中心からの距離が同じである。受光素子13Aは、凹面鏡12Bによって反射されたレーザ光を検出する。   The light receiving unit 13 includes a plurality of light receiving elements 13A (13A-1 to 13A-12). The plurality of light receiving elements 13 </ b> A are arranged at equal intervals along the circumference of the stage 23. The plurality of light receiving elements 13A are provided in a number corresponding to the number of the plurality of concave mirrors 12B. The light receiving element 13A is disposed in proximity to the corresponding condenser lens 11C. The plurality of light receiving elements 13A have the same distance from the center of the stage 23. The light receiving element 13A detects the laser light reflected by the concave mirror 12B.

[4]レーザ走査装置10の動作
[4−1]レーザ走査装置10の基本動作
図8は、レーザ走査装置10によるレーザ光の波形を説明する図である。図8の上側が送信の波形、図8の下側が受信の波形である。図8の横軸が時間であり、図8の縦軸が強度(光強度)である。図8では、1つの発光素子(光源11A、1つの光導波路11B、及び1つの集光レンズ11Cから構成される要素)と、これに対応する1つの受光素子13Aとの動作を表している。
[4] Operation of Laser Scanning Device 10 [4-1] Basic Operation of Laser Scanning Device 10 FIG. 8 is a diagram for explaining the waveform of laser light by the laser scanning device 10. The upper side of FIG. 8 is a transmission waveform, and the lower side of FIG. 8 is a reception waveform. The horizontal axis in FIG. 8 is time, and the vertical axis in FIG. 8 is intensity (light intensity). FIG. 8 shows the operation of one light emitting element (element composed of the light source 11A, one optical waveguide 11B, and one condenser lens 11C) and one light receiving element 13A corresponding thereto.

光源11Aは、パルス信号からなるレーザ光を出射する。すなわち、光源11Aは、時分割で複数のレーザ光を出射する。パルスタイミング制御部15は、光源11Aの動作を制御し、レーザ光の周期、及びパルス幅を制御する。レーザ走査装置10は、パルス信号としてレーザ光を送信する。   The light source 11A emits a laser beam composed of a pulse signal. That is, the light source 11A emits a plurality of laser beams in a time division manner. The pulse timing control unit 15 controls the operation of the light source 11A, and controls the cycle and pulse width of the laser light. The laser scanning device 10 transmits laser light as a pulse signal.

パルス信号の周期P、パルス幅Wとする。1つのパルスを送信してから、このパルスが対象物で反射されたパルスを受信するまでの時間である遅れ量Δ、光の速度Cとする。遅れ量Δは、“Δ=2L/C”で算出される。距離演算部16は、遅れ量Δを用いて、レーザ走査装置10が取り付けられた車両から対象物までの距離を算出する。   It is assumed that the pulse signal has a period P and a pulse width W. A delay amount Δ, which is a time from when one pulse is transmitted to when a pulse reflected by an object is received, and a light velocity C are set. The delay amount Δ is calculated by “Δ = 2L / C”. The distance calculation unit 16 calculates the distance from the vehicle to which the laser scanning device 10 is attached to the object using the delay amount Δ.

例えば、パルス幅W=10nsec、周期P=10μsec(すなわち、周波数f=100kHz)であるものとする。遅れ量Δ=67nsecの場合、距離L=10mが算出される。このような動作により、対象物が検出でき、また、対象物までの距離が算出できる。   For example, it is assumed that the pulse width W = 10 nsec and the period P = 10 μsec (that is, the frequency f = 100 kHz). When the delay amount Δ = 67 nsec, the distance L = 10 m is calculated. By such an operation, the object can be detected and the distance to the object can be calculated.

[4−2]第1実施例
次に、レーザ光を走査する動作について説明する。光源部11は、集光レンズ11C−1〜11C−12の位置から12本のレーザ光を垂直方向に向けて出射する。ミラー駆動部14は、ミラーアレイ12を回転させるとともに、ミラーアレイ12の回転動作に応じて、ミラーアレイ12に含まれる凹面鏡12B−1〜12B−12の位置を検出する。凹面鏡12B−1〜12B−12の各々は、集光レンズ11C−1〜11C−12から出射される12本のレーザ光を順に反射する。これにより、ミラーアレイ12は、12の方位角にそれぞれレーザ光を送信することができる。
[4-2] First Example Next, an operation for scanning a laser beam will be described. The light source unit 11 emits twelve laser beams in the vertical direction from the positions of the condenser lenses 11C-1 to 11C-12. The mirror drive unit 14 rotates the mirror array 12 and detects the positions of the concave mirrors 12B-1 to 12B-12 included in the mirror array 12 according to the rotation operation of the mirror array 12. Each of the concave mirrors 12B-1 to 12B-12 sequentially reflects the twelve laser beams emitted from the condenser lenses 11C-1 to 11C-12. Thereby, the mirror array 12 can transmit laser beams at 12 azimuth angles.

図9及び図10は、第1実施例に係るレーザ光を走査する動作を説明する図である。図9は、断面方向における凹面鏡12B−1〜12B−12の形状と、凹面鏡12B−1〜12B−12によって反射されるレーザ光の様子とを表している。図10は、ミラーアレイ12を下から見た場合において、レーザ光が凹面鏡12Bに当たる位置の一例を表している。第1実施例は、集光レンズ11C−1〜11C−12に対応する12の方位角の各々において、垂直方向にレーザ光を走査する動作である。   9 and 10 are diagrams for explaining the operation of scanning the laser beam according to the first embodiment. FIG. 9 shows the shape of the concave mirrors 12B-1 to 12B-12 in the cross-sectional direction and the state of the laser light reflected by the concave mirrors 12B-1 to 12B-12. FIG. 10 illustrates an example of a position where the laser light strikes the concave mirror 12B when the mirror array 12 is viewed from below. The first embodiment is an operation of scanning the laser beam in the vertical direction at each of the 12 azimuth angles corresponding to the condenser lenses 11C-1 to 11C-12.

光源部11は、ミラーアレイ12が30度回転する毎に、集光レンズ11C−1〜11C−12の各々からパルス状のレーザ光を出射する。   The light source unit 11 emits a pulsed laser beam from each of the condenser lenses 11C-1 to 11C-12 every time the mirror array 12 rotates 30 degrees.

集光レンズ11C−1から出射されたレーザ光は、例えば凹面鏡12B−1によって反射され、ミラーアレイ12の外側に向けて出射される。続いて、ミラーアレイ12が左回りに連続的に30度回転し、集光レンズ11C−1から出射されたレーザ光は、凹面鏡12B−2によって反射され、ミラーアレイ12の外側に向けて出射される。続いて、ミラーアレイ12が左回りに連続的に60度回転し、集光レンズ11C−1から出射されたレーザ光は、凹面鏡12B−3によって反射され、ミラーアレイ12の外側に向けて出射される。その後、集光レンズ11C−1から出射されたレーザ光は、凹面鏡12B−4〜12B−12によって順に反射され、ミラーアレイ12の外側に向けて出射される。   The laser light emitted from the condenser lens 11C-1 is reflected by, for example, the concave mirror 12B-1 and emitted toward the outside of the mirror array 12. Subsequently, the mirror array 12 continuously rotates 30 degrees counterclockwise, and the laser beam emitted from the condenser lens 11C-1 is reflected by the concave mirror 12B-2 and emitted toward the outside of the mirror array 12. The Subsequently, the mirror array 12 continuously rotates counterclockwise by 60 degrees, and the laser light emitted from the condenser lens 11C-1 is reflected by the concave mirror 12B-3 and emitted toward the outside of the mirror array 12. The Thereafter, the laser light emitted from the condenser lens 11 </ b> C- 1 is sequentially reflected by the concave mirrors 12 </ b> B- 4 to 12 </ b> B- 12 and emitted toward the outside of the mirror array 12.

同様に、集光レンズ11C−2〜11C−12から出射されたレーザ光は、凹面鏡12B−1〜12B〜12によって順に反射され、ミラーアレイ12の外側に向けて出射される。   Similarly, the laser beams emitted from the condenser lenses 11C-2 to 11C-12 are sequentially reflected by the concave mirrors 12B-1 to 12B-12 and emitted toward the outside of the mirror array 12.

また、ミラーアレイ12が周単位でさらに回転することで、集光レンズ11C−2〜11C−12の各々から出射されたレーザ光は、凹面鏡12B−1〜12B〜12による反射が繰り返される。これにより、12の方位角で、走査動作が行われる。   Further, the mirror array 12 is further rotated in units of circumference, so that the laser beams emitted from the condenser lenses 11C-2 to 11C-12 are repeatedly reflected by the concave mirrors 12B-1 to 12B-12. Thereby, the scanning operation is performed at 12 azimuth angles.

ここで、凹面鏡12B−1と凹面鏡12B−2とは、互いの形状が異なる。具体的には、凹面鏡12B−2の曲率半径は、凹面鏡12B−1の曲率半径より小さい。よって、凹面鏡12B−2によって反射されたレーザ光は、凹面鏡12B−1によって反射されたレーザ光と出射角が異なる。例えば、水平方向を出射角θ=0、水平方向より上側を正の出射角“+θ”、水平方向より下側を負の出射角“−θ”とする。この場合、凹面鏡12B−2によって反射されたレーザ光の出射角は、凹面鏡12B−1によって反射されたレーザ光の出射角より小さくなる。   Here, the concave mirror 12B-1 and the concave mirror 12B-2 have different shapes. Specifically, the radius of curvature of the concave mirror 12B-2 is smaller than the radius of curvature of the concave mirror 12B-1. Therefore, the laser beam reflected by the concave mirror 12B-2 has a different emission angle from the laser beam reflected by the concave mirror 12B-1. For example, let the horizontal direction be the outgoing angle θ = 0, the upper side from the horizontal direction is the positive outgoing angle “+ θ”, and the lower side from the horizontal direction is the negative outgoing angle “−θ”. In this case, the emission angle of the laser beam reflected by the concave mirror 12B-2 is smaller than the emission angle of the laser beam reflected by the concave mirror 12B-1.

同様に、凹面鏡12B−2〜凹面鏡12B−12によって反射されるレーザ光の出射角が変化する。これにより、レーザ走査装置10は、垂直方向における走査角“2θ”でレーザ光を走査することができる。   Similarly, the emission angle of the laser beam reflected by the concave mirror 12B-2 to the concave mirror 12B-12 changes. Thereby, the laser scanning device 10 can scan the laser beam at the scanning angle “2θ” in the vertical direction.

[4−3]第2実施例
第2実施例は、レーザ光が凹面鏡12Bに当たる位置を制御することで、水平方向における出射角を変えるようにしている。
[4-3] Second Embodiment In the second embodiment, the emission angle in the horizontal direction is changed by controlling the position at which the laser beam strikes the concave mirror 12B.

図11は、第2実施例に係るレーザ光を走査する動作を説明する図である。図11は、ミラーアレイ12を下から見た場合において、凹面鏡12B−1によって反射されるレーザ光の様子を表している。図11における方向の説明は、全てミラーアレイ12を下から見た場合に対応する。   FIG. 11 is a diagram for explaining the operation of scanning the laser beam according to the second embodiment. FIG. 11 shows the state of the laser light reflected by the concave mirror 12B-1 when the mirror array 12 is viewed from below. The explanation of directions in FIG. 11 corresponds to the case where the mirror array 12 is viewed from below.

光源部11は、所定間隔でパルス状の複数のレーザ光を出射する。ミラー駆動部14は、ミラーアレイ12を回転させつつ、凹面鏡12Bの位置を制御する。凹面鏡12Bの位置は、集光レンズ11Cの位置との関係で規定される。   The light source unit 11 emits a plurality of pulsed laser beams at predetermined intervals. The mirror drive unit 14 controls the position of the concave mirror 12B while rotating the mirror array 12. The position of the concave mirror 12B is defined by the relationship with the position of the condenser lens 11C.

図11(a)は、凹面鏡12B−1が出射角θ1でレーザ光を出射(すなわち反射)する動作を示している。凹面鏡12B−1の中心より右側にレーザ光が照射されるように、ミラー駆動部14は、凹面鏡12B−1の位置を制御する。すなわち、光源部11が例えば集光レンズ11C−1からレーザ光を出射するタイミングで、集光レンズ11C−1の位置が凹面鏡12B−1の中心より右側になるように、ミラー駆動部14は、凹面鏡12B−1の位置を制御する。   FIG. 11A shows an operation in which the concave mirror 12B-1 emits (that is, reflects) laser light at the emission angle θ1. The mirror driving unit 14 controls the position of the concave mirror 12B-1 so that the laser beam is irradiated to the right side from the center of the concave mirror 12B-1. That is, the mirror driving unit 14 is arranged so that the position of the condensing lens 11C-1 is on the right side of the center of the concave mirror 12B-1 at the timing when the light source unit 11 emits laser light from the condensing lens 11C-1, for example. The position of the concave mirror 12B-1 is controlled.

図11(b)は、凹面鏡12B−1が出射角θ=0でレーザ光を出射する動作を示している。凹面鏡12B−1の中心にレーザ光が照射されるように、ミラー駆動部14は、凹面鏡12B−1の位置を制御する。   FIG. 11B shows an operation in which the concave mirror 12B-1 emits laser light at an emission angle θ = 0. The mirror driving unit 14 controls the position of the concave mirror 12B-1 so that the laser beam is irradiated to the center of the concave mirror 12B-1.

図11(c)は、凹面鏡12B−1が出射角θ2でレーザ光を出射する動作を示している。凹面鏡12B−1の中心より左側にレーザ光が照射されるように、ミラー駆動部14は、凹面鏡12B−1の位置を制御する。すなわち、光源部11が例えば集光レンズ11C−1からレーザ光を出射するタイミングで、集光レンズ11C−1の位置が凹面鏡12B−1の中心より左側になるように、ミラー駆動部14は、凹面鏡12B−1の位置を制御する。   FIG. 11C shows an operation in which the concave mirror 12B-1 emits laser light at the emission angle θ2. The mirror driving unit 14 controls the position of the concave mirror 12B-1 so that the laser beam is irradiated to the left side from the center of the concave mirror 12B-1. That is, the mirror driving unit 14 is arranged so that the position of the condensing lens 11C-1 is on the left side of the center of the concave mirror 12B-1 at the timing when the light source unit 11 emits laser light from the condensing lens 11C-1, for example. The position of the concave mirror 12B-1 is controlled.

なお、図11(a)の出射角θ1が正、図11(b)の出射角θ=0とすると、図(c)の出射角θ2は負である。水平方向の出射角は、方位角とも呼ばれる。凹面鏡12Bに入射するレーザ光の位置を制御することで、ある出射角において、水平方向にレーザ光を走査することができる。   If the exit angle θ1 in FIG. 11A is positive and the exit angle θ = 0 in FIG. 11B, the exit angle θ2 in FIG. 11C is negative. The outgoing angle in the horizontal direction is also called the azimuth angle. By controlling the position of the laser beam incident on the concave mirror 12B, the laser beam can be scanned in the horizontal direction at a certain emission angle.

[4−4]第3実施例
第3実施例は、同じ凹面鏡12Bに複数のレーザ光(複数のパルス)を連続して照射することで、同じ高さをライン状に走査(ライン走査)するようにしている。
[4-4] Third Example In the third example, the same concave mirror 12B is continuously irradiated with a plurality of laser beams (a plurality of pulses), thereby scanning the same height in a line (line scanning). I am doing so.

第3実施形態に係るレーザ光を水平方向に走査する動作は、図11を援用できる。光源部11は、例えば集光レンズ11C−1の上方を凹面鏡12B−1が通過する期間において、パルスからなる複数のレーザ光を出射する。図11では、3つのパルスからなるレーザ光を送信する様子を一例として示している。   For the operation of scanning the laser beam in the horizontal direction according to the third embodiment, FIG. 11 can be used. For example, the light source unit 11 emits a plurality of laser beams composed of pulses in a period in which the concave mirror 12B-1 passes above the condenser lens 11C-1. FIG. 11 shows an example in which a laser beam composed of three pulses is transmitted.

ミラーアレイ12が回転しているので、凹面鏡12B−1には、互いに異なる位置に複数のレーザ光が入射する。そして、凹面鏡12B−1の形状に応じて、レーザ光が反射される方位角が異なる。   Since the mirror array 12 is rotating, a plurality of laser beams are incident on the concave mirror 12B-1 at different positions. The azimuth angle at which the laser light is reflected differs depending on the shape of the concave mirror 12B-1.

図12は、第3実施例に係るライン走査を説明する図である。図12において、高さH1は、凹面鏡12B−1が走査するラインの位置(走査位置)を表している。図12の高さH1を表すラインは、複数の走査点の集合である。走査点は、図8の1つのパルスに対応する。   FIG. 12 is a diagram for explaining line scanning according to the third embodiment. In FIG. 12, the height H1 represents the position (scanning position) of the line scanned by the concave mirror 12B-1. A line representing the height H1 in FIG. 12 is a set of a plurality of scanning points. A scanning point corresponds to one pulse in FIG.

図12において、高さH2〜H12に対応するラインは、凹面鏡12B−2〜12B−12の走査位置に対応する。   In FIG. 12, the lines corresponding to the heights H2 to H12 correspond to the scanning positions of the concave mirrors 12B-2 to 12B-12.

第3実施例では、同じ高さにおいて、水平方向に複数点で走査することができる。すなわち、水平方向をより高密度で走査することができる。また、全方位にわたって走査点の密度を高くすることができる。すなわち、360度で3次元のスキャン情報を取得することができる。   In the third embodiment, a plurality of points can be scanned in the horizontal direction at the same height. That is, the horizontal direction can be scanned with higher density. In addition, the density of scanning points can be increased over all directions. That is, three-dimensional scan information can be acquired at 360 degrees.

[5]実施形態の効果
以上詳述したように本実施形態では、レーザ走査装置10は、円形のステージ23と、ステージ23の周端部に設けられ、レーザ光を出射する複数の発光素子11Cと、複数の発光素子11Cにそれぞれ隣接するようにして、ステージ23の周端部に設けられた複数の受光素子13Aと、ステージ23の上方に配置され、複数の凹面鏡12Bを有する円形のミラーアレイ12と、回転軸22を介してミラーアレイ12に接続され、ミラーアレイ12を回転させる駆動部14とを備える。複数の凹面鏡12Bは、複数の発光素子11Cからのレーザ光を反射するようにしてミラーアレイ12の周端部に設けられる。複数の凹面鏡12Bは、互いの形状が異なる。
[5] Effects of the Embodiment As described in detail above, in the present embodiment, the laser scanning device 10 is provided on the circular stage 23 and the peripheral end portion of the stage 23, and a plurality of light emitting elements 11C that emit laser light. A circular mirror array having a plurality of light receiving elements 13A provided at the peripheral end of the stage 23 and adjacent to the plurality of light emitting elements 11C, and a plurality of concave mirrors 12B disposed above the stage 23. 12 and a drive unit 14 that is connected to the mirror array 12 via a rotating shaft 22 and rotates the mirror array 12. The plurality of concave mirrors 12B are provided at the peripheral end of the mirror array 12 so as to reflect the laser beams from the plurality of light emitting elements 11C. The plurality of concave mirrors 12B have different shapes.

従って本実施形態によれば、形状の異なる複数の凹面鏡12Bを連続的に回転させることで、レーザ光を用いて全方位を走査することができる。また、複数の方位角の各々において、垂直方向に走査することができる。よって、レーザ光を用いて、水平方向及び垂直方向を走査することが可能なレーザ装置を実現できる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to scan all directions using laser light by continuously rotating a plurality of concave mirrors 12B having different shapes. Further, it is possible to scan in the vertical direction at each of a plurality of azimuth angles. Therefore, a laser apparatus capable of scanning in the horizontal direction and the vertical direction using the laser light can be realized.

また、レーザ走査装置10の周囲について、3次元情報を取得することができる。すなわち、より広い領域を走査することが可能なレーザ走査装置10を実現できる。   Also, three-dimensional information can be acquired about the periphery of the laser scanning device 10. That is, the laser scanning device 10 capable of scanning a wider area can be realized.

また、1つの凹面鏡12Bに連続して複数のレーザ光を入射させることで、水平方向のライン走査を行うことができる。よって、全方位を高密度の走査点で走査することができる。   Moreover, horizontal line scanning can be performed by allowing a plurality of laser beams to continuously enter one concave mirror 12B. Therefore, all directions can be scanned with high-density scanning points.

また、比較的簡単な要素でレーザ走査装置10を構成することができる。これにより、レーザ走査装置10の小型化が可能である。また、レーザ走査装置10のコストを低減できる。   In addition, the laser scanning device 10 can be configured with relatively simple elements. Thereby, size reduction of the laser scanning apparatus 10 is possible. Further, the cost of the laser scanning device 10 can be reduced.

上記実施形態では、ミラーアレイが複数の凹面鏡を備える構成を示しているが、ミラー(反射部材)は、凹面鏡以外の光学素子で構成してもよい。例えば、凹面鏡に代えて、曲率半径が異なる複数の凸面鏡で反射部材を構成してもよい。   In the said embodiment, although the mirror array showed the structure provided with a some concave mirror, you may comprise a mirror (reflective member) with optical elements other than a concave mirror. For example, instead of the concave mirror, the reflecting member may be composed of a plurality of convex mirrors having different curvature radii.

上記実施形態では、レーザ走査装置が扱うレーザ光として赤外線レーザ光を用いている。しかし、これに限定されず、本実施形態に係るレーザ走査装置は、赤外線レーザ光以外の光にも適用可能である。   In the above embodiment, infrared laser light is used as laser light handled by the laser scanning device. However, the present invention is not limited to this, and the laser scanning device according to this embodiment can be applied to light other than infrared laser light.

上記実施形態では、車両に搭載されるレーザ走査装置について説明している。しかし、これに限定されず、レーザ光を走査する機能を有する様々な電子機器に適用できる。   In the above embodiment, a laser scanning device mounted on a vehicle has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to various electronic devices having a function of scanning with laser light.

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化することが可能である。さらに、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、1つの実施形態に開示される複数の構成要素の適宜な組み合わせ、若しくは異なる実施形態に開示される構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素が削除されても、発明が解決しようとする課題が解決でき、発明の効果が得られる場合には、これらの構成要素が削除された実施形態が発明として抽出されうる。   The present invention is not limited to the above embodiment, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention. Further, the above embodiments include inventions at various stages, and are obtained by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in one embodiment or by appropriately combining constituent elements disclosed in different embodiments. Various inventions can be configured. For example, even if some constituent elements are deleted from all the constituent elements disclosed in the embodiments, the problems to be solved by the invention can be solved and the effects of the invention can be obtained. Embodiments made can be extracted as inventions.

10…レーザ走査装置、11…光源部、11A…光源、11B…光導波路、11C…集光レンズ、12…ミラーアレイ、12B…凹面鏡、13…受光部、13A…受光素子、14…ミラー駆動部、15…パルスタイミング制御部、16…距離演算部、17…主制御部、20…底板、21…モータ、22…回転軸、23…ステージ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Laser scanning apparatus, 11 ... Light source part, 11A ... Light source, 11B ... Optical waveguide, 11C ... Condensing lens, 12 ... Mirror array, 12B ... Concave mirror, 13 ... Light receiving part, 13A ... Light receiving element, 14 ... Mirror drive part , 15 ... Pulse timing control unit, 16 ... Distance calculation unit, 17 ... Main control unit, 20 ... Bottom plate, 21 ... Motor, 22 ... Rotating shaft, 23 ... Stage

Claims (6)

円形のステージと、
前記ステージの周端部に設けられ、レーザ光を出射する複数の発光素子と、
前記複数の発光素子にそれぞれ隣接するようにして、前記ステージの周端部に設けられた複数の受光素子と、
前記ステージの上方に配置され、複数の凹面鏡を有する円形のミラーアレイと、
回転軸を介して前記ミラーアレイに接続され、前記ミラーアレイを回転させる駆動部と、
を具備し、
前記複数の凹面鏡は、前記レーザ光を反射するようにして前記ミラーアレイの周端部に設けられ、互いの形状が異なる
レーザ走査装置。
A circular stage,
A plurality of light emitting elements provided at a peripheral end of the stage and emitting laser light;
A plurality of light receiving elements provided at a peripheral end of the stage so as to be adjacent to the plurality of light emitting elements,
A circular mirror array disposed above the stage and having a plurality of concave mirrors;
A drive unit connected to the mirror array via a rotation axis and rotating the mirror array;
Comprising
The plurality of concave mirrors are provided at a peripheral end of the mirror array so as to reflect the laser light, and have different shapes from each other.
前記複数の凹面鏡は、互いの高さが異なる
請求項1に記載のレーザ走査装置。
The laser scanning device according to claim 1, wherein the plurality of concave mirrors have different heights.
前記複数の凹面鏡は、互いの曲率半径が異なる
請求項1又は2に記載のレーザ走査装置。
The laser scanning device according to claim 1, wherein the plurality of concave mirrors have different curvature radii.
第1発光素子は、パルス状の複数のレーザ光を連続して出射し、
前記駆動部は、第1凹面鏡に、前記第1発光素子からの複数のレーザ光を反射させる
請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ走査装置。
The first light emitting element continuously emits a plurality of pulsed laser beams,
The laser scanning device according to any one of claims 1 to 3, wherein the driving unit reflects a plurality of laser beams from the first light emitting element to a first concave mirror.
前記複数の発光素子は、前記ステージの円周に沿って等間隔に配置され、
前記複数の凹面鏡は、前記ミラーアレイの円周に沿って等間隔に配置される
請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザ走査装置。
The plurality of light emitting elements are arranged at equal intervals along the circumference of the stage,
The laser scanning device according to claim 1, wherein the plurality of concave mirrors are arranged at equal intervals along a circumference of the mirror array.
レーザ光を発光する光源をさらに具備し、
前記複数の発光素子の各々は、光導波路と、光学素子とを含み、
前記光導波路の一端は、前記光源からレーザ光を受け、
前記光学素子は、前記光導波路の他端から出射されたレーザ光を前記複数の凹面鏡の1つに向けて出射する
請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザ走査装置。
A light source that emits laser light;
Each of the plurality of light emitting elements includes an optical waveguide and an optical element,
One end of the optical waveguide receives laser light from the light source,
The laser scanning device according to claim 1, wherein the optical element emits laser light emitted from the other end of the optical waveguide toward one of the plurality of concave mirrors.
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