JP2018179805A - 圧電センサ - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態の圧電センサについて、図1ないし図3を参照して述べる。図2では、本実施形態の圧電センサ全体の構成を分かり易くするために、後述する電荷検出部30のうちオペアンプ31に接続される他の回路については省略している。図3では、後述する圧電材料13aの多結晶により構成された圧電体層13を備える圧電部10に、直流バイアス電圧を印加する前後における圧電体層13の分極の様子を示している。また、図3では、後述する圧電材料13aの結晶ごとの分極の方向を矢印で示すと共に、圧電部10および電圧供給部20以外の構成要素については省略している。
第2実施形態の圧電センサについて、図5、図6を参照して述べる。なお、構成を分かり易くするため、図5では、圧電部10以外の構成要素を省略し、図6では、圧電部10および電圧供給部20以外の構成要素を省略している。
第3実施形態の圧電センサについて、図7、図8を参照して述べる。なお、構成を分かり易くするため、図7では、圧電部10以外の構成要素を省略し、図8では、圧電部10および電圧供給部20以外の構成要素を省略している。
第4実施形態の圧電センサについて、図9、図10を参照して述べる。なお、構成を分かり易くするため、図9では、圧電部10以外の構成要素を省略し、図10では、圧電部10および電圧供給部20以外の構成要素を省略している。
第5実施形態の圧電センサについて、図11、図12を参照して述べる。図11、図12では、構成を分かり易くするため、圧電部10以外の構成部分については省略している。
なお、上記した各実施形態に示した圧電センサは、本発明の圧電センサの一例を示したものであり、上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
11 第1電極
12 第2電極
13 圧電体層
13a 圧電材料
20 電圧供給部
30 電荷検出部
31 オペアンプ
40、41、42、44 反り抑制層
Claims (10)
- 圧電材料(13a)によりなる圧電体層(13)と、前記圧電体層に接して形成され、前記圧電体層を隔てて互いに向き合うように配置された第1電極(11)および第2電極(12)と、を有してなる圧電部(10)と、
前記圧電体層の変位により生じる電荷を検出する際に、当該変位前にあらかじめ前記圧電材料の分極方向を揃えるための直流バイアス電圧を前記第1電極に印加するための電圧供給部(20、31)と、を備える圧電センサ。 - 前記圧電部のうち前記第1電極は、前記電圧供給部に接続され、
前記圧電部のうち前記第2電極は、基準電位とされ、
前記電圧供給部は、前記圧電部が前記圧電体層の変位により生じる電荷量に応じた信号を出力する電荷検出部(30)の一部を構成するオペアンプ(31)の反転入力端子に接続され、
前記オペアンプの非反転入力端子は、可変の直流電圧電源が接続され、
前記オペアンプの出力端子に生じる電位に基づいて前記圧電体層の変位により生じる電荷を検出する構成とされており、
前記電圧供給部により前記第1電極に印加される電位と前記直流電圧電源により前記非反転入力端子に印加される電位とが同じである請求項1に記載の圧電センサ。 - 前記圧電部のうち前記第1電極は、前記圧電部が前記圧電体層の変位により生じる電荷量に応じた信号を出力する電荷検出部(30)の一部を構成するオペアンプ(31)の反転入力端子に接続され、
前記圧電部のうち前記第2電極は、基準電位とされ、
前記オペアンプの非反転入力端子は、可変の直流電圧電源が接続されており、
前記オペアンプは、前記非反転入力端子に印加された電圧に起因して生じる出力端子の電位を前記第1電極に印加する前記電圧供給部として機能する構成とされた請求項1に記載の圧電センサ。 - 前記圧電材料は、強誘電材料である請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧電センサ。
- 前記圧電体層は、前記圧電体層を構成する前記圧電材料の自発分極の方向が複数存在し、かつ、複数の自発分極の方向が異なる二以上の方向を向く構成とされている請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧電センサ。
- 前記圧電部は、基板(50)の一面(50a)上に前記第2電極、前記圧電体層、前記第1電極の順に形成された構成を有すると共に、前記第1電極に前記直流バイアス電圧が印加された際には、前記圧電体層には前記一面に対する法線方向に沿って反る力が働き、
前記圧電体層は、薄膜状とされ、
前記第1電極上もしくは前記一面の反対側の他面(50b)上には、前記直流バイアス電圧が前記第1電極に印加された際において前記圧電体層が反る方向の反対方向に反る力を発生させる反り抑制層(40、41、42)が形成されている請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧電センサ。 - 前記反り抑制層(40)は、前記第1電極上もしくは前記他面上に形成されると共に、前記直流バイアス電圧が前記第1電極に印加された際の前記圧電体層の反りの方向と反対の方向に反る圧縮応力を有する層である請求項6に記載の圧電センサ。
- 前記反り抑制層(41)上には、第3電極(43)が形成されており、
前記反り抑制層は、前記第1電極上に形成され、かつ強誘電材料と異なる誘電材料により構成されると共に、前記第1電極に前記直流バイアス電圧が印加された際には、前記第3電極に所定の電圧が印加されることにより前記圧電体層の反りの方向と反対方向に反る層である請求項6に記載の圧電センサ。 - 前記反り抑制層(42)は、前記基板のうち前記圧電部の反対側の面に形成されると共に、互いに向き合う一対の電極(421、422)および前記一対の電極に挟まれた強誘電材料によりなる圧電体膜(423)により構成とされると共に、前記第1電極に前記直流バイアス電圧を印加した際、前記圧電体層の反りの方向と反対方向に反るように駆動する層である請求項6に記載の圧電センサ。
- 前記圧電部は、基板(50)の一面(50a)上に前記第2電極、前記圧電体層、前記第1電極の順に形成された領域を備え、前記第1電極に前記直流バイアス電圧が印加された際には、前記圧電体層には前記一面の属する平面の面内方向に沿って反る力が働き、
前記圧電体層は、薄膜状とされ、
前記一面上であって前記圧電体層と並ぶ位置には、反り抑制層(44)が形成されており、
前記反り抑制層(44)は、互いに向き合う一対の電極(441、442)および前記一対の電極に挟まれた強誘電材料によりなる圧電体膜(443)により構成とされ、かつ、その長手方向が前記圧電体層の長手方向と平行になるように配置されると共に、前記第1電極に前記直流バイアス電圧を印加した際、前記圧電体層の反りの方向と反対方向に反るように駆動する層であり、
前記第1電極に前記直流バイアス電圧が印加された際には、前記圧電体層のうちその長手方向に沿った辺が直線状となる請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧電センサ。
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- 2017-04-14 JP JP2017080677A patent/JP6972630B2/ja active Active
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