JP2018173547A - Optical waveguide film and optical component - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical waveguide film whose deformation is suppressed.SOLUTION: An optical waveguide film 100 is an elongated optical waveguide film which includes a lower base material layer 150; a lower clad layer 130; a plurality of pattern-like core parts 112; an upper clad layer 120; and an upper base material layer 140 in this order. The upper base material layer has lib structures 160, 162 protruding than the top surface 142 of the upper base material layer.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光導波路フィルムおよび光学部品に関する。   The present invention relates to an optical waveguide film and an optical component.

これまで光導波路フィルムについて様々な検討がなされてきた。このような技術としては、例えば、特許文献1に記載の技術が知られている。同文献には、コアパターンおよび上部クラッド層にかかる応力を低減し、これらの界面剥離を抑制する観点から、基板の外周部分に対して一部または全周囲が内側にとなるように、コアパターン及び上部クラッド層を基板上に形成する光導波路フィルムが記載されている(特許文献1の請求項1、段落0014)。また、上部クラッド層に貼り合わせた後に、再度カバー材を形状加工が不要となる観点から、図8(c)に示す外形加工されたカバー材を、図8(d)に示すように上部クラッド層に貼り合わせることが記載されている(特許文献1の段落0037)。   Various studies have been made on optical waveguide films. As such a technique, for example, a technique described in Patent Document 1 is known. In this document, in order to reduce the stress applied to the core pattern and the upper clad layer, and to suppress the interfacial peeling, the core pattern is formed so that a part or all of the periphery is inside the substrate. And an optical waveguide film in which an upper clad layer is formed on a substrate is described (claim 1, paragraph 0014 of Patent Document 1). Further, from the viewpoint that the shape processing of the cover material is not necessary again after being bonded to the upper cladding layer, the outer shape processed cover material shown in FIG. 8C is replaced with the upper cladding material as shown in FIG. It is described that they are bonded to a layer (paragraph 0037 of Patent Document 1).

特開2014−115480号公報JP 2014-115480 A

本発明者が検討したところ、上記の文献に記載の光導波路フィルムにおいては、フィルムの変形の点で改善の余地を有していることが判明した。   When this inventor examined, it turned out that the optical waveguide film described in said literature has room for improvement at the point of deformation | transformation of a film.

本発明者はさらに検討したところ、光導波路フィルムの中の上部基材層に、当該上部基材層の天面よりも突出したリブ構造を形成することによって、光導波路フィルムの変形を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventor further examined that the deformation of the optical waveguide film can be suppressed by forming a rib structure protruding from the top surface of the upper base material layer on the upper base material layer in the optical waveguide film. The headline and the present invention were completed.

本発明によれば、
下部基材層、下部クラッド層、パターン状の複数のコア部、上部クラッド層および上部基材層、をこの順番で備える長尺状の光導波路フィルムであって、
前記上部基材層は、前記上部基材層の天面よりも突出したリブ構造を有している、光導波路フィルムが提供される。
According to the present invention,
A long optical waveguide film comprising a lower substrate layer, a lower cladding layer, a plurality of patterned core portions, an upper cladding layer and an upper substrate layer in this order,
The upper base material layer is provided with an optical waveguide film having a rib structure protruding from the top surface of the upper base material layer.

また本発明によれば、
光コネクタと、前記光コネクタに一端が挿入された上記光導波路フィルムと、を備える、光学部品が提供される。
Also according to the invention,
An optical component comprising an optical connector and the optical waveguide film having one end inserted into the optical connector is provided.

本発明によれば、フィルムの変形が抑制された光導波路フィルムおよびそれを用いた光学部品が提供される。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the optical waveguide film by which the deformation | transformation of the film was suppressed and an optical component using the same are provided.

光導波路フィルムの構造を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of an optical waveguide film. 光導波路シートから光導波路フィルムを切り出す工程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the process of cutting out an optical waveguide film from an optical waveguide sheet. 光導波路シートのリブ構造を示す図である。It is a figure which shows the rib structure of an optical waveguide sheet. 光導波路フィルムの評価方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the evaluation method of an optical waveguide film.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。なお、本実施の形態では図示するように前後左右上下の方向を規定して説明する。しかし、これは構成要素の相対関係を簡単に説明するために便宜的に規定するものである。従って、本発明を実施する製品の製造時や使用時の方向を限定するものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate. In the present embodiment, description will be made by defining the front-rear, left-right, up-down directions as shown. However, this is provided for the sake of convenience in order to briefly explain the relative relationship between the components. Therefore, the direction at the time of manufacture and use of the product which implements the present invention is not limited.

本実施形態の光導波路フィルムの概要について説明する。
本実施形態の光導波路フィルムは、下部基材層、下部クラッド層、パターン状の複数のコア部、上部クラッド層および上部基材層、をこの順番で積層した積層構造を備えており、長尺状の樹脂フィルムで構成することができる。
このような光導波路フィルムにおいて、上部基材層は、上部基材層の天面よりも突出したリブ構造を有するように構成されている。
The outline | summary of the optical waveguide film of this embodiment is demonstrated.
The optical waveguide film of this embodiment has a laminated structure in which a lower base layer, a lower clad layer, a plurality of patterned core parts, an upper clad layer, and an upper base layer are laminated in this order, and is long. It can comprise with a resin film.
In such an optical waveguide film, the upper base material layer is configured to have a rib structure protruding from the top surface of the upper base material layer.

本実施形態の光導波路フィルムは、下部クラッド層や上部クラッド層を保護するように、これらを下部基材層および上部基材層で挟み込むような多層構造を有しているため、機械的強度に優れている。
このような多層構造に関して、本発明者は、上部基材層の天面よりも突出したリブ構造を上部基材層に形成することによって、光導波路フィルムの変形を抑制できることを新たに見出した。これにより、詳細なメカニズムは定かでないが、導波路フィルム作製時の残留応力に起因して生じると考えられる、意図しない反り変形を抑制することができるので、光導波路フィルムの光損失を低減することが可能になる。
The optical waveguide film of the present embodiment has a multilayer structure in which these are sandwiched between the lower base layer and the upper base layer so as to protect the lower clad layer and the upper clad layer. Are better.
With respect to such a multilayer structure, the present inventors have newly found that the deformation of the optical waveguide film can be suppressed by forming a rib structure protruding from the top surface of the upper base material layer on the upper base material layer. As a result, the detailed mechanism is not clear, but it is possible to suppress unintentional warpage deformation, which is thought to be caused by residual stress at the time of waveguide film production, so that the optical loss of the optical waveguide film can be reduced. Is possible.

また、本実施形態の光導波路フィルムは、光学部品の一部を構成する用途に用いることができる。このような光学部品は、光コネクタと、光コネクタに一端が挿入された光導波路フィルムと、を備えることができる。この光コネクタと光導波路フィルムとは接着剤を介して接合することができる。本実施形態の光導波路フィルムを光コネクタ挿入用に用いる場合、当該光導波路フィルムの上部基材層の天面に形成された接着剤が、天面から端面や側面に流れ出すことをリブ構造によって抑制することができる。
したがって、本実施形態の光導波路フィルムによれば、光導波路端面の汚染を抑制できるため、光学部品の製造安定性を高めることができ、光接続信頼性に優れた構造を実現することができる。
Moreover, the optical waveguide film of this embodiment can be used for the use which comprises some optical components. Such an optical component can include an optical connector and an optical waveguide film having one end inserted in the optical connector. The optical connector and the optical waveguide film can be joined via an adhesive. When the optical waveguide film of the present embodiment is used for inserting an optical connector, the rib structure prevents the adhesive formed on the top surface of the upper base layer of the optical waveguide film from flowing from the top surface to the end surface or side surface. can do.
Therefore, according to the optical waveguide film of the present embodiment, since contamination of the end face of the optical waveguide can be suppressed, the manufacturing stability of the optical component can be improved, and a structure excellent in optical connection reliability can be realized.

以下、本実施形態の光導波路フィルムの構造について詳述する。
図1は、光導波路フィルム100の構造の一例を示す斜視図である。
Hereinafter, the structure of the optical waveguide film of this embodiment will be described in detail.
FIG. 1 is a perspective view showing an example of the structure of the optical waveguide film 100.

本実施形態の光導波路フィルム100は、図1に示すように、下部クラッド層130と、下部クラッド層130上に設けられたパターン状のコア部112と、およびコア部112上に設けられた上部クラッド層120と、が積層された積層構造を有することができる。この積層構造において、下部クラッド層130の下面側に下部基材層150が配置されており、上部クラッド層120の上面側に上部基材層140が配置されている。これにより、光導波路フィルム100の機械特性や耐久性を向上させることができる。   As shown in FIG. 1, the optical waveguide film 100 of the present embodiment includes a lower clad layer 130, a patterned core portion 112 provided on the lower clad layer 130, and an upper portion provided on the core portion 112. The clad layer 120 may have a laminated structure in which the clad layer 120 is laminated. In this laminated structure, the lower base material layer 150 is disposed on the lower surface side of the lower clad layer 130, and the upper base material layer 140 is disposed on the upper surface side of the upper clad layer 120. Thereby, the mechanical characteristics and durability of the optical waveguide film 100 can be improved.

本実施形態の光導波路フィルム100は、図1に示すように、上部基材層140において、上部クラッド層120が配置された面とは反対側の天面142にリブ構造160,162が形成された構造を有することができる。これにより、光導波路フィルム100の変形を抑制することができる。   In the optical waveguide film 100 of the present embodiment, as shown in FIG. 1, rib structures 160 and 162 are formed on the top surface 142 of the upper base material layer 140 opposite to the surface on which the upper cladding layer 120 is disposed. Can have different structures. Thereby, deformation of the optical waveguide film 100 can be suppressed.

本実施形態の光導波路フィルム100において、リブ構造160,162は、光導波路フィルム100の導波路端面101側の上部基材層140に形成されていてもよく、光導波路フィルム100の側面104側の上部基材層140に形成されていてもよく、また両側に形成されていてもよい。リブ構造160,162が、上部基材層140と一体的に構成されている。   In the optical waveguide film 100 of this embodiment, the rib structures 160 and 162 may be formed on the upper base material layer 140 on the waveguide end surface 101 side of the optical waveguide film 100, and on the side surface 104 side of the optical waveguide film 100. It may be formed on the upper base material layer 140 or may be formed on both sides. The rib structures 160 and 162 are integrally formed with the upper base material layer 140.

上記リブ構造160は、図1に示すように、導波路端面101側の上部基材層140に形成されている。すなわち、リブ構造160は、上部基材層140の端面144に形成されており、上部基材層140の天面142から突出する構造を有している。ここで、光が入出力する導波路端面101は、長手方向における光導波路フィルム100の一端に形成されるものである。上部基材層140の端面144側に形成されたリブ構造160により、光導波路フィルム100の導波路端面101において、短手方向の変形を抑制できる。また、上部基材層140の天面142から端面144を通って接着剤などが流れ出し、コア層110の導波路端面101が汚染されることを抑制できる。これによって、光導波路フィルム100の光信頼性を高めることができる。   As shown in FIG. 1, the rib structure 160 is formed on the upper base material layer 140 on the waveguide end face 101 side. That is, the rib structure 160 is formed on the end surface 144 of the upper base material layer 140 and has a structure protruding from the top surface 142 of the upper base material layer 140. Here, the waveguide end face 101 through which light is input and output is formed at one end of the optical waveguide film 100 in the longitudinal direction. Due to the rib structure 160 formed on the end surface 144 side of the upper base material layer 140, deformation in the lateral direction can be suppressed on the waveguide end surface 101 of the optical waveguide film 100. Moreover, it can suppress that an adhesive agent flows out from the top surface 142 of the upper base material layer 140 through the end surface 144, and the waveguide end surface 101 of the core layer 110 is contaminated. Thereby, the optical reliability of the optical waveguide film 100 can be improved.

一方、上記リブ構造162は、光導波路フィルム100の長手方向に沿った側面104側に形成されている。すなわち、リブ構造162は、上部基材層140の側面146側に形成されており、上部基材層140の天面142から突出する構造を有している。上部基材層140の側面146に形成されたリブ構造162により、光導波路フィルム100の長手方向における変形を抑制でき、光損失を低減することが可能になる。また、上部基材層140の天面142から側面146を通って流れ出た接着剤などが、光導波路フィルム100を光コネクタに挿入するときに、コア層110の導波路端面101が汚染されることを抑制できる。これによって、光導波路フィルム100の光信頼性を高めることができる。
また、リブ構造162とリブ構造160とを有する場合、これらは連続せずに、それぞれ独立して形成されていてもよい。
On the other hand, the rib structure 162 is formed on the side surface 104 side along the longitudinal direction of the optical waveguide film 100. That is, the rib structure 162 is formed on the side surface 146 side of the upper base material layer 140 and has a structure protruding from the top surface 142 of the upper base material layer 140. The rib structure 162 formed on the side surface 146 of the upper base material layer 140 can suppress deformation in the longitudinal direction of the optical waveguide film 100 and can reduce light loss. Further, the adhesive flowed out from the top surface 142 of the upper base material layer 140 through the side surface 146 contaminates the waveguide end surface 101 of the core layer 110 when the optical waveguide film 100 is inserted into the optical connector. Can be suppressed. Thereby, the optical reliability of the optical waveguide film 100 can be improved.
Moreover, when it has the rib structure 162 and the rib structure 160, these may be formed independently, respectively, without continuing.

本実施形態において、上部基材層140の天面142から垂直方向におけるリブ構造160,162の上端までのリブ高さの下限値は、例えば、1μm以上としてもよく、好ましくは1.5μm以上としてよく、より好ましくは2μm以上としてもよい。これにより、光導波路フィルム100の変形や、上述の接着剤の流れ出しを抑制することができる。一方、上記リブ高さの上限値は、例えば、50μm以下であり、好ましくは30μm以下であり、より好ましくは20μm以下であり、さらに好ましくは10μm以下である。これにより、光コネクタ挿入性に優れた光導波路フィルム100の構造を実現することができる。   In the present embodiment, the lower limit value of the rib height from the top surface 142 of the upper base material layer 140 to the upper ends of the rib structures 160 and 162 in the vertical direction may be, for example, 1 μm or more, preferably 1.5 μm or more. More preferably, it is good also as 2 micrometers or more. Thereby, a deformation | transformation of the optical waveguide film 100 and the flow-out of the above-mentioned adhesive agent can be suppressed. On the other hand, the upper limit of the rib height is, for example, 50 μm or less, preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, and further preferably 10 μm or less. Thereby, the structure of the optical waveguide film 100 excellent in optical connector insertion property is realizable.

上記リブ構造160,162の形状は、カール形状を有していてもよい。具体的なカール形状としては、例えば、リブ構造160,162の先端が天面142とは反対面側を向くように、少なくとも一部が湾曲した湾曲形状(コの時形状)でもよく、リブ構造160,162の先端が、上部基材層140の天面142側またはリブ構造160,162の内壁面側に向くように巻き取られた巻き形状でもよい。これにより、リブ構造160,162の機械的強度を高めることができるので、光導波路フィルム100の変形を一層抑制することが可能になる。   The rib structures 160 and 162 may have a curl shape. The specific curl shape may be, for example, a curved shape (a shape at the time of the shape) in which at least a part is curved so that the tips of the rib structures 160 and 162 face the surface opposite to the top surface 142. The winding shape may be such that the tips of 160 and 162 are wound toward the top surface 142 side of the upper base material layer 140 or the inner wall surfaces of the rib structures 160 and 162. Thereby, since the mechanical strength of the rib structures 160 and 162 can be increased, the deformation of the optical waveguide film 100 can be further suppressed.

本実施形態において、端面144側に形成されるリブ構造160は、上部基材層140の少なくとも一部または全面に亘って形成されていてもよい。短手方向におけるリブ構造160の幅は、短手方向における上部基材層140の幅をLとしたとき、例えば、1/3L以上でもよく、1/2L以上でもよく、2/3L以上でもよく、一方で、L以下でもよい。短手方向におけるリブ構造160の幅を長くすることにより、光導波路フィルム100の機械的強度を高めることができる。 In the present embodiment, the rib structure 160 formed on the end surface 144 side may be formed over at least a part or the entire surface of the upper base material layer 140. The width of the rib structure 160 in the short direction may be, for example, 1 / 3L 1 or more, or 1 / 2L 1 or more, and 2 / 3L, where L 1 is the width of the upper base material layer 140 in the short direction. It may be 1 or more, and may be L 1 or less. By increasing the width of the rib structure 160 in the short direction, the mechanical strength of the optical waveguide film 100 can be increased.

本実施形態において、側面104側に形成されるリブ構造162は、上部基材層140の少なくとも一部に形成されていてもよい。このリブ構造162は、例えば、端面144と側面104とのが交差する角部から所定長さに亘って形成されていてもよい。
長手方向におけるリブ構造162の幅は、長手方向における上部基材層140の長さをLとしたとき、例えば、1/30L以上でもよく、4/30L以上でもよく、6/30L以上でもよく、一方で、L以下でもよい。長手方向におけるリブ構造162の幅を長くすることにより、光導波路フィルム100の機械的強度を高めることができる。また、接着剤によって、端面144や側面104が汚染されること抑制することができる。
In the present embodiment, the rib structure 162 formed on the side surface 104 side may be formed on at least a part of the upper base material layer 140. The rib structure 162 may be formed over a predetermined length from a corner where the end surface 144 and the side surface 104 intersect, for example.
The width of the rib structure 162 in the longitudinal direction, when the length of the upper base layer 140 in the longitudinal direction is L 2, for example, may be 1 / 30L 2 or more, may be a 4 / 30L 2 or more, 6 / 30L 2 may be above, on the other hand, it may be L 2 below. By increasing the width of the rib structure 162 in the longitudinal direction, the mechanical strength of the optical waveguide film 100 can be increased. Further, the end surface 144 and the side surface 104 can be prevented from being contaminated by the adhesive.

リブ構造160,162は、上部基材層140と同種の材料で構成することができ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート、またはポリエーテルサルフォン等で構成されていてもよい。これらを単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。この中でも、機械的強度の観点から、リブ構造160,162はポリイミドで構成されていてもよい。   The rib structures 160 and 162 can be made of the same material as that of the upper base layer 140. For example, polyolefins such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, and polypropylene, polyimide, polyamide, It may be composed of polyetherimide, polycarbonate, or polyethersulfone. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, from the viewpoint of mechanical strength, the rib structures 160 and 162 may be made of polyimide.

本実施形態では、たとえば光導波路フィルム100の構成材料、光導波路フィルム100の作り方等を適切に選択することにより、上記リブ構造160,162の高さや形状を制御することが可能である。これらの中でも、たとえば、回転数、カッティング速度、ブレード種、ボンド(結合材)の種類、砥石の粒度や集中度等のブレード表面の粗度、砥石突出量などのブレード表面における砥石の突出度合いなどのダイシング条件、プラスチックフィルムやドレスボードに対してダイシングを実施することにより砥石突出量を調整すること、上部基材層140の材料、弾性率、厚みなどを適切に制御すること等が、上記リブ構造160,162の有無や高さを所望の数値範囲とするための要素として挙げられる。   In this embodiment, for example, the height and shape of the rib structures 160 and 162 can be controlled by appropriately selecting the constituent material of the optical waveguide film 100, the method of making the optical waveguide film 100, and the like. Among these, for example, the rotational speed, cutting speed, blade type, bond (bonding material) type, roughness of the blade surface such as the particle size and concentration of the grinding wheel, and the degree of protrusion of the grinding wheel on the blade surface such as the amount of protrusion of the grinding wheel, etc. The ribs are adjusted by adjusting the protrusion amount of the grindstone by dicing the plastic film or dressboard, appropriately controlling the material, elastic modulus, thickness, etc. of the upper base material layer 140. The presence / absence and height of the structures 160 and 162 can be cited as elements for setting the desired numerical range.

光導波路フィルム100は、長尺状の樹脂フィルムであり、それ自体単独で自立することができる。また、光導波路フィルム100は、靱性を有しており、曲げた状態でも曲げていない状態でも使用することができる。   The optical waveguide film 100 is a long resin film and can itself stand alone. The optical waveguide film 100 has toughness and can be used in a bent state or not.

本実施形態の光導波路フィルム100は、コア部112の長手方向に対して長尺状の板部材とすることができる。すなわち、光導波路フィルム100の長手方向の長さは、光導波路フィルム100の短手方向の幅よりも長尺である。ここで、本実施形態において、光導波路フィルム100の上面視において、コア部112が延在している方向を長手方向とし、当該長手方向に対して直交する方向であり、複数のコア部112が横並びする方向を短手方向とする。   The optical waveguide film 100 of the present embodiment can be a long plate member with respect to the longitudinal direction of the core portion 112. That is, the length in the longitudinal direction of the optical waveguide film 100 is longer than the width in the short direction of the optical waveguide film 100. Here, in the present embodiment, in the top view of the optical waveguide film 100, the direction in which the core portion 112 extends is defined as the longitudinal direction, the direction orthogonal to the longitudinal direction, and the plurality of core portions 112 are The side-by-side direction is the short direction.

また、光導波路フィルム100の一端には光コネクタ挿入領域106が形成されていてもよい。この光コネクタ挿入領域106は、光導波路フィルム100の一端から所定位置に亘って形成されている。この光コネクタ挿入領域106における光導波路フィルム100の端面には導波路端面101が形成されている。導波路端面101は、光入射面として機能する。例えば、光導波路フィルム100の導波路端面101において、光コネクタを介して、光が入出力することができる。   Further, an optical connector insertion region 106 may be formed at one end of the optical waveguide film 100. The optical connector insertion region 106 is formed from one end of the optical waveguide film 100 to a predetermined position. A waveguide end face 101 is formed on the end face of the optical waveguide film 100 in the optical connector insertion region 106. The waveguide end surface 101 functions as a light incident surface. For example, light can be input and output on the waveguide end face 101 of the optical waveguide film 100 via an optical connector.

このような光導波路フィルム100は、少なくとも一端に光コネクタ挿入領域106を有することができ、かかる一端(光コネクタ挿入領域106)が光コネクタに挿入されてなる光部品に用いることができる。   Such an optical waveguide film 100 can have an optical connector insertion region 106 at least at one end, and can be used for an optical component in which the one end (optical connector insertion region 106) is inserted into the optical connector.

一方、光導波路フィルム100の他端には、同様に光コネクタ挿入領域が形成されていてもよいが、光変換領域107が形成されていてもよい。例えば、光変換領域107の表面(天面142)には不図示の溝部が形成されていてもよい。溝部は、コア部112を通過する光信号の光路変換を行うミラーとして機能する。   On the other hand, at the other end of the optical waveguide film 100, an optical connector insertion region may be formed in the same manner, but an optical conversion region 107 may be formed. For example, a groove (not shown) may be formed on the surface (the top surface 142) of the light conversion region 107. The groove functions as a mirror that performs optical path conversion of an optical signal that passes through the core 112.

本実施形態の光導波路フィルム100において、光コネクタ挿入領域106から光変換領域107に亘って、コア部112が延在していてもよい。また、コア部112は、一端の導波路端面101から他端の光変換領域107における端面まで、延在していてもよい。ただし、光変換領域107に溝部が形成されている場合、光変換領域107におけるコア部112は、溝部により分断されていてもよい。   In the optical waveguide film 100 of the present embodiment, the core portion 112 may extend from the optical connector insertion region 106 to the light conversion region 107. Moreover, the core part 112 may extend from the waveguide end face 101 at one end to the end face in the light conversion region 107 at the other end. However, when the groove part is formed in the light conversion area 107, the core part 112 in the light conversion area 107 may be divided by the groove part.

また、光導波路フィルム100の短手方向において、コア層110は、複数のコア部112が互いに離間して配置されている。コア部112の間にはクラッド部114が形成されている。このように、本実施形態において、コア部112は、上下左右をクラッド層(上部クラッド層120、下部クラッド層130)またはクラッド部114で覆われているため、優れた光学特性を実現することができる。   Further, in the short direction of the optical waveguide film 100, the core layer 110 has a plurality of core portions 112 spaced apart from each other. A clad portion 114 is formed between the core portions 112. Thus, in the present embodiment, the core portion 112 is covered with the clad layer (upper clad layer 120, lower clad layer 130) or the clad portion 114 on the upper, lower, left and right sides, so that excellent optical characteristics can be realized. it can.

一方で、光導波路フィルム100の側面において、コア層110は、コア部112がクラッド部114で覆われている構造を有する。すなわち、複数のコア部112は、それぞれの両側面がクラッド部114で覆われた構造を有することができる。これにより、コア部112を保護することができる。   On the other hand, on the side surface of the optical waveguide film 100, the core layer 110 has a structure in which the core portion 112 is covered with the clad portion 114. That is, the plurality of core portions 112 can have a structure in which both side surfaces are covered with the cladding portions 114. Thereby, the core part 112 can be protected.

なお、光導波路フィルム100の外形形状は、矩形形状の一例に限定されず、例えば、二叉形状、三つ叉形状であってもよい。   The outer shape of the optical waveguide film 100 is not limited to an example of a rectangular shape, and may be, for example, a bifurcated shape or a tridental shape.

また、光導波路フィルム100のコア層110は、単層でもよいが、間にクラッド層を介して複数のコア層が形成されていてもよい。   The core layer 110 of the optical waveguide film 100 may be a single layer, but a plurality of core layers may be formed with a cladding layer interposed therebetween.

次に、本実施形態の光導波路フィルム100の製造方法について説明する。
図2は、本実施形態の光導波路フィルム100の製造工程の一例を示す図である。図2(a)は、本実施形態の光導波路シート10の上面図である。図2(b)は、本実施形態の光導波路シート10の積層構造を示す、図2(a)のA−A´断面図である。
Next, the manufacturing method of the optical waveguide film 100 of this embodiment is demonstrated.
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a manufacturing process of the optical waveguide film 100 of the present embodiment. FIG. 2A is a top view of the optical waveguide sheet 10 of the present embodiment. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 2A, showing a laminated structure of the optical waveguide sheet 10 of the present embodiment.

本実施形態の光導波路フィルム100の製造方法としては、下部基材層150、下部クラッド層130、パターン状のコア部112、上部クラッド層120および上部基材層140、がこの順で積層された光導波路シート10を準備する準備工程と、光導波路シート10から、コア部112の長手方向に対して長尺状の光導波路フィルム100を切り出す切出工程と、を有することができる。   As a manufacturing method of the optical waveguide film 100 of the present embodiment, the lower base layer 150, the lower clad layer 130, the patterned core portion 112, the upper clad layer 120, and the upper base layer 140 were laminated in this order. A preparation process for preparing the optical waveguide sheet 10 and a cutting process for cutting out the optical waveguide film 100 that is long in the longitudinal direction of the core portion 112 from the optical waveguide sheet 10 can be provided.

(光導波路シート10の準備工程)
まず、図2に示すような光導波路シート10を準備する。本実施形態の準備工程は、下部基材層150、下部基材層150上に形成された下部クラッド層130、下部クラッド層130上に設けられたパターン状のコア部112、コア部112上に設けられた上部クラッド層120、上部クラッド層120上に形成された上部基材層140が積層されたフィルム構造体(光導波路シート10)を形成する工程を含むことができる。
(Preparation process of optical waveguide sheet 10)
First, an optical waveguide sheet 10 as shown in FIG. 2 is prepared. The preparation process of the present embodiment includes a lower base layer 150, a lower clad layer 130 formed on the lower base layer 150, a patterned core portion 112 provided on the lower clad layer 130, and the core portion 112. A step of forming a film structure (optical waveguide sheet 10) in which the upper clad layer 120 provided and the upper base material layer 140 formed on the upper clad layer 120 are laminated can be included.

本実施形態の光導波路シート10は、フィルム形状であり、枚葉状でもよく、巻き取り可能なロール状でもよい。また、上記切出工程の前に、本実施形態の光導波路シート10を、所定面積を有する複数のブロック(区画)に裁断してもよい。これにより、光導波路シート10のハンドリング性を向上させることができる。それぞれのブロックは、生産性の観点から、複数の光導波路フィルム100分の面積を有していてもよい。それぞれの区画は、長方形形状とすることができる。   The optical waveguide sheet 10 of the present embodiment has a film shape, may be a single wafer shape, or may be a rollable roll shape. Moreover, you may cut | judge the optical waveguide sheet 10 of this embodiment in the some block (partition) which has a predetermined area before the said cutting process. Thereby, the handleability of the optical waveguide sheet 10 can be improved. Each block may have an area equivalent to a plurality of optical waveguide films 100 from the viewpoint of productivity. Each section can be rectangular.

光導波路シート10は、上面視において所定の形状を有しているが、長方形でも、正方形を有していてもよい。生産性の観点から、光導波路シート10は、コア部112が延在する長手方向に対して、長手方向に対して直交する短手方向よりも幅長くなるように延在してもよい。   The optical waveguide sheet 10 has a predetermined shape in a top view, but may be rectangular or square. From the viewpoint of productivity, the optical waveguide sheet 10 may extend so as to be longer in the longitudinal direction in which the core portion 112 extends than in the short direction perpendicular to the longitudinal direction.

本実施形態の光導波路シート10は、図2(a)に示すように、上面視において少なくとも1以上の光導波路フィルム100の面積を有するものであればよく、生産性の観点から、複数の光導波路フィルム100の合計面積を有していることが好ましい。例えば、長手方向における光導波路シート10の幅は、1つまたは2以上の光導波路フィルム100の長尺分が切り取れる面積を有していてもよく、短手方向における光導波路シート10の幅は、1つまたは2以上の光導波路フィルム100の短尺分が切り取れる面積を有していてもよい。   As shown in FIG. 2A, the optical waveguide sheet 10 according to the present embodiment only needs to have at least one area of the optical waveguide film 100 in a top view. It is preferable to have the total area of the waveguide film 100. For example, the width of the optical waveguide sheet 10 in the longitudinal direction may have an area where one or more of the optical waveguide films 100 can be cut off, and the width of the optical waveguide sheet 10 in the lateral direction is One or two or more optical waveguide films 100 may have an area from which a short portion can be cut off.

上記の準備工程は、下部基材層150の上面側に下部クラッド層130を形成する工程と、上部クラッド層120の上面側に上部基材層140を形成する工程と、を含むことができる。具体的な一例としては、まず、基材(下部基材層150)の表面上に下部クラッド層130を形成する。続いて、下部クラッド層130の表面上に、パターン形状を有するコア部112を形成する。続いて、コア部112を覆うように、上部クラッド層120を形成する。その後、上部クラッド層120の表面上に上部基材層140を形成する。   The preparation step may include a step of forming the lower clad layer 130 on the upper surface side of the lower base material layer 150 and a step of forming the upper base material layer 140 on the upper surface side of the upper clad layer 120. As a specific example, first, the lower cladding layer 130 is formed on the surface of the substrate (lower substrate layer 150). Subsequently, the core portion 112 having a pattern shape is formed on the surface of the lower cladding layer 130. Subsequently, the upper clad layer 120 is formed so as to cover the core portion 112. Thereafter, the upper base material layer 140 is formed on the surface of the upper cladding layer 120.

本実施形態において、上記のパターン形状を有するコア部112の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、露光法、エッチング法または複製法等の各種の光導波路加工方法を用いることができる。   In the present embodiment, a method for forming the core portion 112 having the above-described pattern shape is not particularly limited. For example, various optical waveguide processing methods such as an exposure method, an etching method, and a replication method can be used.

露光法による光導波路加工方法の場合、例えば、次のように、フォトリトグラフィー法による現像工程が不要な第1工程と、現像工程が必要な第2工程を採用することができる。
まず、基材上に下部クラッド層およびコア層を形成する。続いて、フォトリトグラフィー法によりコア層にコアパターンを形成する。例えば、コアパターンを有するフォトマスクを介して、コア層に対して、活性光線を照射する露光処理を行う。
ここで、第1工程の場合、コア層のうち、露光領域にパターン化されたコア部が形成され、未露光領域にはクラッド部が形成される。一方で、第2工程の場合、コア層のうち、露光領域に硬化部(コア部)が形成され、未露光領域に未硬化部が形成される。そして、各種溶剤及びアルカリ溶液等の現像液を用いた現像工程で未硬化部を除去し、硬化部を残すことでパターン下されたコア部を形成する。その後、コア部上に上部クラッド層を形成する。
また、コア層を形成した後で、得られたコア層の両側に、それぞれ下部クラッド層および上部クラッド層を積層してもよい。
In the case of an optical waveguide processing method using an exposure method, for example, a first step that does not require a development step by a photolithography method and a second step that requires a development step can be employed as follows.
First, a lower clad layer and a core layer are formed on a substrate. Subsequently, a core pattern is formed on the core layer by photolithography. For example, an exposure process of irradiating the core layer with actinic rays is performed through a photomask having a core pattern.
Here, in the case of a 1st process, the core part patterned in the exposure area | region is formed among core layers, and a clad part is formed in an unexposed area | region. On the other hand, in the case of the second step, a cured portion (core portion) is formed in the exposed region of the core layer, and an uncured portion is formed in the unexposed region. Then, the uncured portion is removed in a development process using a developing solution such as various solvents and an alkaline solution, and the core portion patterned is formed by leaving the cured portion. Thereafter, an upper clad layer is formed on the core portion.
Further, after forming the core layer, a lower clad layer and an upper clad layer may be laminated on both sides of the obtained core layer, respectively.

また、エッチング法による光導波路加工方法の場合、例えば、次のような工程を採用することができる。まず、基材上に下部クラッド層およびコア層を形成する。コア層上にパターンを有するフォトレジストを形成する。当該フォトレジストをマスクとして、下層のコア層をパターニングする。パターニングには、たとえば、リアクティブイオンエッチングなどの各種エッチング方法が用いられる。そして、マスクを除去した後、パターニングされたコア部を埋め込むように上部クラッド層を形成する。   Moreover, in the case of the optical waveguide processing method by an etching method, the following processes can be employed, for example. First, a lower clad layer and a core layer are formed on a substrate. A photoresist having a pattern is formed on the core layer. The underlying core layer is patterned using the photoresist as a mask. For the patterning, for example, various etching methods such as reactive ion etching are used. Then, after removing the mask, an upper clad layer is formed so as to embed the patterned core portion.

また、複製法による光導波路加工方法の場合、例えば、次のような工程を採用することができる。まず、基材上に下部クラッド層を形成する。当該下部クラッド層に、コアパターンを有する型を押し付けて、当該下部クラッド層の内部方向にコアパターン状の穴部を形成する。形成された穴部にワニス状のコア層形成用樹脂組成物を注入し、パターン化されたコア部を形成する。そして、コア部上に上部クラッド層を形成する。   Moreover, in the case of the optical waveguide processing method by the replication method, the following processes can be employed, for example. First, a lower clad layer is formed on a substrate. A mold having a core pattern is pressed against the lower clad layer to form a core pattern-shaped hole in the inner direction of the lower clad layer. A varnish-like resin composition for forming a core layer is injected into the formed hole to form a patterned core. Then, an upper clad layer is formed on the core portion.

本実施形態において、基材(下部基材層150)上に、クラッド層(上部クラッド層120、上部クラッド層120)やコア層110を形成する手法としては、ワニス状の樹脂組成物を塗布する方法やワニス状の樹脂組成物からなる樹脂膜を積層する方法などが用いられる。   In the present embodiment, a varnish-like resin composition is applied as a method for forming a cladding layer (upper cladding layer 120, upper cladding layer 120) or core layer 110 on a substrate (lower substrate layer 150). A method or a method of laminating a resin film made of a varnish-like resin composition is used.

上記の塗布する方法としては、例えば、ピンコーター、ダイコーター、コンマコーター、カーテンコーター等の各種コーター装置を用いて直接塗布する方法、スクリーン印刷などの印刷方法が用いられる。印刷方法により、部分的に塗布することができる。
また、上記の樹脂膜を形成する方法としては、例えば、ワニス状の樹脂組成物を基材上に塗布した後、得られた塗布膜を乾燥する方法を用いることができる。
また、上記の積層する方法としては、例えば、フィルム状の樹脂膜を、ロールラミネート、真空ロールラミネート、平板ラミネート、真空平板ラミネート、常圧プレス、真空プレス等を用いて積層する方法を用いることができる。
Examples of the coating method include a direct coating method using various coaters such as a pin coater, a die coater, a comma coater, and a curtain coater, and a printing method such as screen printing. It can be partially applied by a printing method.
Moreover, as a method of forming said resin film, the method of drying the obtained coating film after apply | coating a varnish-like resin composition on a base material can be used, for example.
Moreover, as said lamination | stacking method, it is using the method of laminating | stacking a film-form resin film, for example using roll lamination, vacuum roll lamination, flat plate lamination, vacuum flat plate lamination, an atmospheric pressure press, a vacuum press, etc. it can.

本実施形態において、例えば、一旦基材(下部基材層150)上に下部クラッド層130等の層を形成し、その後、基材を剥離することで形成することが可能である。この場合、下部クラッド層130は、コア層110を形成する前に、硬化させておいてもよい。これにより、下部クラッド層130の強度を向上させることができる。   In the present embodiment, for example, a layer such as the lower cladding layer 130 may be once formed on the base material (lower base material layer 150), and then the base material may be peeled off. In this case, the lower clad layer 130 may be cured before the core layer 110 is formed. Thereby, the strength of the lower cladding layer 130 can be improved.

次に、コア層110(またはコア部112)、クラッド層(上部クラッド層120、下部クラッド層130)、基材層(上部基材層140、下部基材層150)の各成分について説明する。   Next, each component of the core layer 110 (or the core portion 112), the clad layer (the upper clad layer 120 and the lower clad layer 130), and the base material layer (the upper base material layer 140 and the lower base material layer 150) will be described.

(コア層形成用樹脂組成物)
本実施形態のコア層形成用樹脂組成物は、例えば、ポリマーA、モノマーAおよび重合開始剤Aを含むことができる。
(Core layer forming resin composition)
The core layer forming resin composition of the present embodiment can include, for example, polymer A, monomer A, and polymerization initiator A.

上記ポリマーAとしては、たとえば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、PETやPBTのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて、ポリマーアロイ、ポリマーブレンド(混合物)、共重合体等として用いることができる。   Examples of the polymer A include, for example, acrylic resins, methacrylic resins, polycarbonates, polystyrenes, cyclic ether resins such as epoxy resins and oxetane resins, polyamides, polyimides, polybenzoxazoles, polysilanes, polysilazanes, and silicone resins. Fluorine resin, polyurethane, polyolefin resin, polybutadiene, polyisoprene, polychloroprene, polyester such as PET and PBT, polyethylene succinate, polysulfone, polyether, and cyclic such as benzocyclobutene resin and norbornene resin Olefin-based resin, phenoxy resin, etc. may be mentioned, and one or more of these may be used in combination as a polymer alloy, polymer blend (mixture), copolymer, etc. It can be.

この中でも、アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、環状オレフィン系樹脂などを用いることができる。
アクリル系樹脂としては、例えば、単官能アクリレート、多官能アクリレート、単官能メタクリレート、多官能メタクリレート、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、エポキシアクリレート、エポキシメタクリレート、ポリエステルアクリレート、または尿素アクリレートからなる群から選択される一種以上を含むアクリル化合物の重合体が挙げられる。また、アクリル系樹脂は、ポリエステル骨格、ポリプロピレングリコール骨格、ビスフェノール骨格、フルオレン骨格、トリシクロデカン骨格、ジシクロペンタジエン骨格などを有していてもよい。
フェノキシ樹脂としては、ビスフェノールA、ビスフェノールA型エポキシ化合物またはそれらの誘導体、およびビスフェノールF、ビスフェノールF型エポキシ化合物またはそれらの誘導体を共重合成分の構成単位として含むものが挙げられる。
Among these, acrylic resins, phenoxy resins, cyclic olefin resins, and the like can be used.
As the acrylic resin, for example, one kind selected from the group consisting of monofunctional acrylate, polyfunctional acrylate, monofunctional methacrylate, polyfunctional methacrylate, urethane acrylate, urethane methacrylate, epoxy acrylate, epoxy methacrylate, polyester acrylate, or urea acrylate Examples thereof include polymers of acrylic compounds containing the above. The acrylic resin may have a polyester skeleton, a polypropylene glycol skeleton, a bisphenol skeleton, a fluorene skeleton, a tricyclodecane skeleton, a dicyclopentadiene skeleton, or the like.
Examples of the phenoxy resin include those containing bisphenol A, a bisphenol A type epoxy compound or a derivative thereof, and bisphenol F, a bisphenol F type epoxy compound or a derivative thereof as a constituent unit of a copolymer component.

ポリマーAの含有量は、たとえば、コア層形成用樹脂組成物の固形分全体に対して15質量%以上であることが好ましく、40質量%以上であることが好ましく、60質量%以上であることがより好ましい。これにより、機械特性が向上する。また、コア層形成用樹脂組成物に含まれるポリマーの含有量は、たとえばコア層形成用樹脂組成物の固形分全体に対して95質量%以下であることが好ましく、90質量%以下であることがより好ましい。これにより、光学特性が向上する。   The content of the polymer A is, for example, preferably 15% by mass or more, preferably 40% by mass or more, and 60% by mass or more with respect to the entire solid content of the core layer forming resin composition. Is more preferable. Thereby, mechanical characteristics are improved. Further, the content of the polymer contained in the core layer forming resin composition is, for example, preferably 95% by mass or less, and 90% by mass or less, based on the entire solid content of the core layer forming resin composition. Is more preferable. Thereby, optical characteristics are improved.

本実施形態において、樹脂組成物の固形分全体とは、組成物樹脂中における不揮発分を指し、水や溶媒等の揮発成分を除いた残部を指す。また、本実施形態において、樹脂組成物全体に対する含有量とは、溶媒を含む場合には、樹脂組成物のうちの溶媒を除く固形分全体に対する含有量を指す。   In the present embodiment, the entire solid content of the resin composition refers to the non-volatile content in the composition resin and refers to the remainder excluding volatile components such as water and solvent. Moreover, in this embodiment, content with respect to the whole resin composition refers to content with respect to the whole solid content except the solvent of a resin composition, when a solvent is included.

上記モノマーAとしては、分子構造中に重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、アクリル酸(メタクリル酸)系モノマー、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ノルボルネン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマー、光二量化モノマー等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The monomer A is not particularly limited as long as it is a compound having a polymerizable site in the molecular structure, and examples thereof include acrylic acid (methacrylic acid) monomers, epoxy monomers, oxetane monomers, norbornene monomers, A vinyl ether monomer, a styrene monomer, a photodimerization monomer and the like can be mentioned, and one or more of these can be used in combination.

この中でも、アクリル酸(メタクリル酸)系モノマー、エポキシ系モノマーなどを用いてもよい。
アクリル酸(メタクリル酸)系モノマーとしては、例えば、2つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物を用いてもよく、2官能又は3官能以上の(メタ)アクリレートを用いてもよい。例えば、脂肪族(メタ)アクリレート、脂環式(メタ)アクリレート、芳香族(メタ)アクリレート、複素環式(メタ)アクリレート、またはこれらのエトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体、カプロラクトン変性体などが挙げられる。また、分子内に、ビスフェノール骨格、ウレタン骨格などを有していてもよい。
エポキシ系モノマーとしては、脂環族エポキシ化合物、芳香族エポキシ化合物、脂肪族エポキシ化合物等が挙げられる。
Among these, acrylic acid (methacrylic acid) monomers and epoxy monomers may be used.
As an acrylic acid (methacrylic acid) monomer, for example, a compound having two or more ethylenically unsaturated groups may be used, or a bifunctional or trifunctional or higher (meth) acrylate may be used. For example, aliphatic (meth) acrylate, alicyclic (meth) acrylate, aromatic (meth) acrylate, heterocyclic (meth) acrylate, or ethoxylated, propoxylated, ethoxylated propoxylated, caprolactone thereof Examples include modified products. In addition, the molecule may have a bisphenol skeleton, a urethane skeleton, or the like.
As an epoxy-type monomer, an alicyclic epoxy compound, an aromatic epoxy compound, an aliphatic epoxy compound, etc. are mentioned.

上記モノマーAとしては、可視光、紫外線、赤外線、レーザー光、電子線、X線等の活性光線の照射により、照射領域において反応して反応物を生成する光重合性モノマーを用いてもよい。また、上記モノマーAは、活性光線の照射時においてコア層中の膜厚と直交する面内方向に移動可能であり、コア層において活性光線の照射領域と非照射領域との間で屈折率差を生じさせるものであってもよい。   As said monomer A, you may use the photopolymerizable monomer which reacts in an irradiation area | region and produces | generates a reaction material by irradiation of active rays, such as visible light, an ultraviolet-ray, infrared rays, a laser beam, an electron beam, and an X-ray. The monomer A is movable in an in-plane direction perpendicular to the film thickness in the core layer during irradiation with active light, and the refractive index difference between the active light irradiation region and the non-irradiation region in the core layer. May be generated.

モノマーAの含有量は、ポリマーAの100質量%に対し、1質量%以上70質量%以下であることが好ましく、10質量%以上60質量%以下であることがより好ましい。これにより、屈折率変調をより確実に起こすことができる。   The content of the monomer A is preferably 1% by mass or more and 70% by mass or less, and more preferably 10% by mass or more and 60% by mass or less with respect to 100% by mass of the polymer A. Thereby, refractive index modulation can be caused more reliably.

(重合開始剤)
上記重合開始剤Aは、モノマーAの重合反応または架橋反応の種類に応じて適宜選択される。上記重合開始剤Aとしては、例えば、アクリル酸(メタクリル酸)系モノマー、スチレン系モノマー等のラジカル重合開始剤、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー等のカチオン重合開始剤を用いることができる。
(Polymerization initiator)
The polymerization initiator A is appropriately selected according to the type of polymerization reaction or crosslinking reaction of the monomer A. Examples of the polymerization initiator A include radical polymerization initiators such as acrylic acid (methacrylic acid) monomers and styrene monomers, and cationic polymerization initiators such as epoxy monomers, oxetane monomers, and vinyl ether monomers. it can.

ラジカル重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類等が挙げられる。具体的には、イルガキュア651、イルガキュア819、イルガキュア2959、イルガキュア184(以上、BASFジャパン製)等が挙げられる。   Examples of the radical polymerization initiator include benzophenones and acetophenones. Specifically, Irgacure 651, Irgacure 819, Irgacure 2959, Irgacure 184 (above, manufactured by BASF Japan) and the like can be mentioned.

カチオン重合開始剤としては、例えば、ジアゾニウム塩のようなルイス酸発生型のもの、ヨードニウム塩、スルホニウム塩のようなブレンステッド酸発生型のもの等が挙げられる。具体的には、アデカオプトマーSP−170(ADEKA製)、サンエイドSI−100L(三新化学工業製)、Rhodorsil2074(ローディアジャパン製)等が挙げられる。   Examples of the cationic polymerization initiator include a Lewis acid generating type such as a diazonium salt and a Bronsted acid generating type such as an iodonium salt and a sulfonium salt. Specifically, Adekaoptomer SP-170 (manufactured by ADEKA), Sun-Aid SI-100L (manufactured by Sanshin Chemical Industry), Rhodorsil 2074 (manufactured by Rhodia Japan) and the like can be mentioned.

重合開始剤Aの含有量は、ポリマーAの100質量%に対して、0.01質量%以上5質量%以下であることが好ましく、0.05質量%以上3質量%以下であることがより好ましい。これにより、コア層の光学特性や機械的特性を低下させることなく、モノマーを速やかに反応させることができる。   The content of the polymerization initiator A is preferably 0.01% by mass to 5% by mass and more preferably 0.05% by mass to 3% by mass with respect to 100% by mass of the polymer A. preferable. Thereby, a monomer can be made to react rapidly, without reducing the optical characteristic and mechanical characteristic of a core layer.

(その他)
コア層形成用樹脂組成物は、例えば、架橋剤、増感剤(光増感剤)、触媒前駆体、助触媒、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤、着色剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、フィラー、無機粒子、劣化防止剤、濡れ性改良剤、帯電防止剤等をさらに含んでいてもよい。
(Other)
The resin composition for forming the core layer includes, for example, a crosslinking agent, a sensitizer (photosensitizer), a catalyst precursor, a cocatalyst, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a silane coupling agent, and a coating surface. It further contains improvers, thermal polymerization inhibitors, leveling agents, surfactants, colorants, storage stabilizers, plasticizers, lubricants, fillers, inorganic particles, deterioration inhibitors, wettability improvers, antistatic agents, etc. Also good.

(溶剤)
コア層形成用樹脂組成物に含まれる溶剤としては、たとえばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、酢酸エチル、シクロヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、セルソルブ系、カルビトール系、アニソール、およびN−メチルピロリドン等の有機溶剤から選択される一種または二種以上を含むことができる。
(solvent)
Examples of the solvent contained in the core layer forming resin composition include acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, toluene, ethyl acetate, cyclohexane, heptane, cyclohexane, cyclohexanone, tetrahydrofuran, dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, ethylene glycol, Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, cellosolve, carbitol, anisole, and N-methyl Organic solvents such as pyrrolidone It can include one or more selected from.

(クラッド層形成用樹脂組成物)
本実施形態のクラッド層形成用樹脂組成物は、例えば、ポリマーB、モノマーBおよび重合開始剤Bを含むことができる。
(Clad layer forming resin composition)
The resin composition for forming a clad layer of the present embodiment can include, for example, polymer B, monomer B, and polymerization initiator B.

上記ポリマーBとしては、たとえば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、PETやPBTのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて、ポリマーアロイ、ポリマーブレンド(混合物)、共重合体等として用いることができる。   Examples of the polymer B include, for example, acrylic resins, methacrylic resins, polycarbonate, polystyrene, cyclic ether resins such as epoxy resins and oxetane resins, polyamides, polyimides, polybenzoxazoles, polysilanes, polysilazanes, and silicone resins. Fluorine resin, polyurethane, polyolefin resin, polybutadiene, polyisoprene, polychloroprene, polyester such as PET and PBT, polyethylene succinate, polysulfone, polyether, and cyclic such as benzocyclobutene resin and norbornene resin Olefin-based resin, phenoxy resin, etc. may be mentioned, and one or more of these may be used in combination as a polymer alloy, polymer blend (mixture), copolymer, etc. It can be.

この中でも、アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、環状オレフィン系樹脂などを用いることができる。
アクリル系樹脂としては、例えば、単官能アクリレート、多官能アクリレート、単官能メタクリレート、多官能メタクリレート、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、エポキシアクリレート、エポキシメタクリレート、ポリエステルアクリレート、または尿素アクリレートからなる群から選択される一種以上を含むアクリル化合物の重合体が挙げられる。また、アクリル系樹脂は、ポリエステル骨格、ポリプロピレングリコール骨格、ビスフェノール骨格、フルオレン骨格、トリシクロデカン骨格、ジシクロペンタジエン骨格などを有していてもよい。
フェノキシ樹脂としては、ビスフェノールA、ビスフェノールA型エポキシ化合物またはそれらの誘導体、およびビスフェノールF、ビスフェノールF型エポキシ化合物またはそれらの誘導体を共重合成分の構成単位として含むものが挙げられる。
Among these, acrylic resins, phenoxy resins, cyclic olefin resins, and the like can be used.
As the acrylic resin, for example, one kind selected from the group consisting of monofunctional acrylate, polyfunctional acrylate, monofunctional methacrylate, polyfunctional methacrylate, urethane acrylate, urethane methacrylate, epoxy acrylate, epoxy methacrylate, polyester acrylate, or urea acrylate Examples thereof include polymers of acrylic compounds containing the above. The acrylic resin may have a polyester skeleton, a polypropylene glycol skeleton, a bisphenol skeleton, a fluorene skeleton, a tricyclodecane skeleton, a dicyclopentadiene skeleton, or the like.
Examples of the phenoxy resin include those containing bisphenol A, a bisphenol A type epoxy compound or a derivative thereof, and bisphenol F, a bisphenol F type epoxy compound or a derivative thereof as a constituent unit of a copolymer component.

また、上記ポリマーBは、必要に応じて熱硬化性樹脂を含んでもよい。熱硬化性樹脂としては、例えば、アミノ樹脂、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、マレイミド化合物、ベンゾオキサジン化合物、オキサゾリン化合物、カルボジイミド化合物、シクロカーボネート化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、エポキシ樹脂などの公知慣用の熱硬化性樹脂が使用できる。   Further, the polymer B may contain a thermosetting resin as necessary. As thermosetting resins, for example, amino resins, isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, maleimide compounds, benzoxazine compounds, oxazoline compounds, carbodiimide compounds, cyclocarbonate compounds, polyfunctional oxetane compounds, episulfide resins, epoxy resins, etc. The thermosetting resin can be used.

ポリマーBの含有量は、たとえば、クラッド層形成用樹脂組成物の固形分全体に対して15質量%以上であることが好ましく、40質量%以上であることが好ましく、60質量%以上であることがより好ましい。これにより、機械特性が向上する。また、コア層形成用樹脂組成物に含まれるポリマーの含有量は、たとえばコア層形成用樹脂組成物の固形分全体に対して95質量%以下であることが好ましく、90質量%以下であることがより好ましい。これにより、光学特性が向上する。   The content of the polymer B is, for example, preferably 15% by mass or more, preferably 40% by mass or more, and 60% by mass or more with respect to the entire solid content of the resin composition for forming a cladding layer. Is more preferable. Thereby, mechanical characteristics are improved. Further, the content of the polymer contained in the core layer forming resin composition is, for example, preferably 95% by mass or less, and 90% by mass or less, based on the entire solid content of the core layer forming resin composition. Is more preferable. Thereby, optical characteristics are improved.

上記モノマーBとしては、分子構造中に重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、アクリル酸(メタクリル酸)系モノマー、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ノルボルネン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマー、光二量化モノマー等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The monomer B is not particularly limited as long as it is a compound having a polymerizable site in the molecular structure, and examples thereof include acrylic acid (methacrylic acid) monomers, epoxy monomers, oxetane monomers, norbornene monomers, A vinyl ether monomer, a styrene monomer, a photodimerization monomer and the like can be mentioned, and one or more of these can be used in combination.

この中でも、アクリル酸(メタクリル酸)系モノマー、エポキシ系モノマーなどを用いてもよい。
アクリル酸(メタクリル酸)系モノマーとしては、例えば、2つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物を用いてもよく、2官能又は3官能以上の(メタ)アクリレートを用いてもよい。例えば、脂肪族(メタ)アクリレート、脂環式(メタ)アクリレート、芳香族(メタ)アクリレート、複素環式(メタ)アクリレート、またはこれらのエトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体、カプロラクトン変性体などが挙げられる。また、分子内に、ビスフェノール骨格、ウレタン骨格などを有していてもよい。
エポキシ系モノマーとしては、脂環族エポキシ化合物、芳香族エポキシ化合物、脂肪族エポキシ化合物等が挙げられる。
Among these, acrylic acid (methacrylic acid) monomers and epoxy monomers may be used.
As an acrylic acid (methacrylic acid) monomer, for example, a compound having two or more ethylenically unsaturated groups may be used, or a bifunctional or trifunctional or higher (meth) acrylate may be used. For example, aliphatic (meth) acrylate, alicyclic (meth) acrylate, aromatic (meth) acrylate, heterocyclic (meth) acrylate, or ethoxylated, propoxylated, ethoxylated propoxylated, caprolactone thereof Examples include modified products. In addition, the molecule may have a bisphenol skeleton, a urethane skeleton, or the like.
As an epoxy-type monomer, an alicyclic epoxy compound, an aromatic epoxy compound, an aliphatic epoxy compound, etc. are mentioned.

モノマーBの含有量は、ポリマーBの100質量%に対し、1質量%以上70質量%以下であることが好ましく、10質量%以上60質量%以下であることがより好ましい。これにより、屈折率変調をより確実に起こすことができる。   The content of the monomer B is preferably 1% by mass or more and 70% by mass or less, and more preferably 10% by mass or more and 60% by mass or less with respect to 100% by mass of the polymer B. Thereby, refractive index modulation can be caused more reliably.

(重合開始剤)
上記重合開始剤Bは、モノマーBの重合反応または架橋反応の種類に応じて適宜選択される。上記重合開始剤Bとしては、例えば、アクリル酸(メタクリル酸)系モノマー、スチレン系モノマー等のラジカル重合開始剤、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー等のカチオン重合開始剤を用いることができる。
(Polymerization initiator)
The polymerization initiator B is appropriately selected according to the type of polymerization reaction or crosslinking reaction of the monomer B. Examples of the polymerization initiator B include radical polymerization initiators such as acrylic acid (methacrylic acid) monomers and styrene monomers, and cationic polymerization initiators such as epoxy monomers, oxetane monomers, and vinyl ether monomers. it can.

ラジカル重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類等が挙げられる。具体的には、イルガキュア651、イルガキュア819、イルガキュア2959、イルガキュア184(以上、BASFジャパン製)等が挙げられる。   Examples of the radical polymerization initiator include benzophenones and acetophenones. Specifically, Irgacure 651, Irgacure 819, Irgacure 2959, Irgacure 184 (above, manufactured by BASF Japan) and the like can be mentioned.

カチオン重合開始剤としては、例えば、ジアゾニウム塩のようなルイス酸発生型のもの、ヨードニウム塩、スルホニウム塩のようなブレンステッド酸発生型のもの等が挙げられる。具体的には、アデカオプトマーSP−170(ADEKA製)、サンエイドSI−100L(三新化学工業製)、Rhodorsil2074(ローディアジャパン製)等が挙げられる。   Examples of the cationic polymerization initiator include a Lewis acid generating type such as a diazonium salt and a Bronsted acid generating type such as an iodonium salt and a sulfonium salt. Specifically, Adekaoptomer SP-170 (manufactured by ADEKA), Sun-Aid SI-100L (manufactured by Sanshin Chemical Industry), Rhodorsil 2074 (manufactured by Rhodia Japan) and the like can be mentioned.

重合開始剤Bの含有量は、ポリマーBの100質量%に対して、0.01質量%以上5質量%以下であることが好ましく、0.05質量%以上3質量%以下であることがより好ましい。これにより、コア層の光学特性や機械的特性を低下させることなく、モノマーを速やかに反応させることができる。   The content of the polymerization initiator B is preferably 0.01% by mass to 5% by mass and more preferably 0.05% by mass to 3% by mass with respect to 100% by mass of the polymer B. preferable. Thereby, a monomer can be made to react rapidly, without reducing the optical characteristic and mechanical characteristic of a core layer.

(その他)
クラッド層形成用樹脂組成物は、例えば、架橋剤、増感剤(光増感剤)、触媒前駆体、助触媒、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤、着色剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、フィラー、無機粒子、劣化防止剤、濡れ性改良剤、帯電防止剤等をさらに含んでいてもよい。
(Other)
The clad layer forming resin composition includes, for example, a crosslinking agent, a sensitizer (photosensitizer), a catalyst precursor, a cocatalyst, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a silane coupling agent, and a coating surface. It further contains improvers, thermal polymerization inhibitors, leveling agents, surfactants, colorants, storage stabilizers, plasticizers, lubricants, fillers, inorganic particles, deterioration inhibitors, wettability improvers, antistatic agents, etc. Also good.

(溶剤)
クラッド層形成用樹脂組成物に含まれる溶剤としては、たとえばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、酢酸エチル、シクロヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、セルソルブ系、カルビトール系、アニソール、およびN−メチルピロリドン等の有機溶剤から選択される一種または二種以上を含むことができる。
(solvent)
Examples of the solvent contained in the resin composition for forming a cladding layer include acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, toluene, ethyl acetate, cyclohexane, heptane, cyclohexane, cyclohexanone, tetrahydrofuran, dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, ethylene glycol, Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, cellosolve, carbitol, anisole, and N-methyl Existence of pyrrolidone, etc. It can include one or more selected from solvents.

ワニス状のコア層形成用樹脂組成物またはクラッド層形成用樹脂組成物は、たとえば上記各成分を、溶剤中に添加し、撹拌することにより得られた溶液を例えば0.2μm孔径のPTFEフィルターでろ過することにより得ることができる。この際、たとえば超音波分散方式、高圧衝突式分散方式、高速回転分散方式、ビーズミル方式、高速せん断分散方式、および自転公転式分散方式などの各種混合機を用いることができる。   The resin composition for forming a varnish-like core layer or the resin composition for forming a clad layer is prepared by, for example, adding a solution obtained by adding each of the above components to a solvent and stirring the solution using, for example, a PTFE filter having a pore size of 0.2 μm. It can be obtained by filtration. In this case, for example, various mixers such as an ultrasonic dispersion method, a high-pressure collision dispersion method, a high-speed rotation dispersion method, a bead mill method, a high-speed shear dispersion method, and a rotation and revolution dispersion method can be used.

本実施形態のコア層110中のコア部112は、上述のコア層形成用樹脂組成物で構成されていてもよい。また、上部クラッド層120、下部クラッド層130は、それぞれ、同種または異種の、上述のクラッド層形成用樹脂組成物で構成されていてもよい。   The core part 112 in the core layer 110 of this embodiment may be comprised with the above-mentioned resin composition for core layer formation. Further, the upper clad layer 120 and the lower clad layer 130 may each be composed of the same or different kind of the above-mentioned resin composition for forming a clad layer.

(基材層)
基材層(上部基材層140、下部基材層150)の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート、またはポリエーテルサルフォン等が挙げられる。基材層としては、これらの構成材料からなるフィルムを用いることができる。
(Base material layer)
As a constituent material of the base material layer (upper base material layer 140, lower base material layer 150), for example, polyolefin such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, polyimide, polyamide, poly Examples include ether imide, polycarbonate, and polyether sulfone. As the base material layer, films made of these constituent materials can be used.

本実施形態において、上部基材層140および下部基材層150は、同種の材料で構成されていてもよい。例えば、上部基材層140および下部基材層150は、ポリイミドを含むポリイミド層で構成されていてもよい。   In this embodiment, the upper base material layer 140 and the lower base material layer 150 may be made of the same kind of material. For example, the upper base material layer 140 and the lower base material layer 150 may be composed of a polyimide layer containing polyimide.

本実施形態において、上部基材層140および下部基材層150の膜厚の下限値は、それぞれ、例えば、5μm以上でもよく、好ましくは10μm以上である。一方で、上部基材層140および下部基材層150の膜厚の上限値は、それぞれ、例えば、50μm以下でもよく、好ましくは30μm以下であり、より好ましくは25μm以下である。
本実施形態において、下部基材層150の膜厚は、上部基材層140の膜厚と同じであってもよい。
In the present embodiment, the lower limit values of the film thicknesses of the upper base material layer 140 and the lower base material layer 150 may be, for example, 5 μm or more, preferably 10 μm or more. On the other hand, the upper limit of the film thickness of the upper base material layer 140 and the lower base material layer 150 may be, for example, 50 μm or less, preferably 30 μm or less, and more preferably 25 μm or less.
In the present embodiment, the film thickness of the lower base material layer 150 may be the same as the film thickness of the upper base material layer 140.

本実施形態において、上部基材層140および下部基材層150の弾性率の下限値は、それぞれ、例えば、1GPa以上でもよく、好ましくは2GPa以上であり、より好ましくは3GPa以上である。一方で、上部基材層140および下部基材層150の弾性率の上限値は、それぞれ、例えば、12GPa以下でもよく、好ましくは11GPa以下であり、より好ましくは10GPa以下である。
本実施形態において、下部基材層150の弾性率は、上部基材層140の弾性率と相違してもよい。なお、本実施形態において、上記弾性率は、引張り弾性率とする。
In the present embodiment, the lower limit of the elastic modulus of the upper base material layer 140 and the lower base material layer 150 may be, for example, 1 GPa or more, preferably 2 GPa or more, more preferably 3 GPa or more. On the other hand, the upper limit of the elastic modulus of the upper base material layer 140 and the lower base material layer 150 may be, for example, 12 GPa or less, preferably 11 GPa or less, and more preferably 10 GPa or less.
In the present embodiment, the elastic modulus of the lower base material layer 150 may be different from the elastic modulus of the upper base material layer 140. In the present embodiment, the elastic modulus is a tensile elastic modulus.

本実施形態において、上部クラッド層120および下部クラッド層130の膜厚の下限値は、それぞれ、例えば、1μm以上でもよく、好ましくは3μm以上であり、より好ましくは5μm以上である。一方で、上部クラッド層120および下部クラッド層130の膜厚の上限値は、それぞれ、例えば、50μm以下でもよく、好ましくは30μm以下であり、より好ましくは15μm以下である。なお、上部クラッド層120の膜厚としては、例えば、コア部112上における上部クラッド層120の膜厚としてもよい。   In the present embodiment, the lower limit values of the film thicknesses of the upper cladding layer 120 and the lower cladding layer 130 may be, for example, 1 μm or more, preferably 3 μm or more, more preferably 5 μm or more. On the other hand, the upper limit values of the film thicknesses of the upper cladding layer 120 and the lower cladding layer 130 may be, for example, 50 μm or less, preferably 30 μm or less, and more preferably 15 μm or less. The film thickness of the upper clad layer 120 may be the film thickness of the upper clad layer 120 on the core portion 112, for example.

本実施形態において、光導波路シート10(光導波路フィルム100)の全体の膜厚の下限値は、例えば、50μm以上でもよく、好ましくは60μm以上であり、より好ましくは70μm以上である。一方で、光導波路シート10(光導波路フィルム100)の全体の膜厚の上限値は、例えば、300μm以下でもよく、好ましくは200μm以下であり、より好ましくは150μm以下である。   In the present embodiment, the lower limit value of the total film thickness of the optical waveguide sheet 10 (optical waveguide film 100) may be, for example, 50 μm or more, preferably 60 μm or more, and more preferably 70 μm or more. On the other hand, the upper limit of the total film thickness of the optical waveguide sheet 10 (optical waveguide film 100) may be, for example, 300 μm or less, preferably 200 μm or less, and more preferably 150 μm or less.

(光導波路フィルム100の切出工程)
次に、光導波路シート10から光導波路フィルム100を切り出す。
図2(a)に示すように、点線で示された切出領域に沿って、光導波路シート10を切断する切出工程によって、本実施形態の光導波路フィルム100を得ることができる。
(Cutting process of optical waveguide film 100)
Next, the optical waveguide film 100 is cut out from the optical waveguide sheet 10.
As shown in FIG. 2A, the optical waveguide film 100 of the present embodiment can be obtained by the cutting process of cutting the optical waveguide sheet 10 along the cut region indicated by the dotted line.

本実施形態において、光導波路シート10の下部基材層150側をダイシングテープに固定した状態で、上記切出工程を行うことができる。ダイシングテープとしては、例えば、紫外線(UV)の照射によって粘着力が低下するタイプのテープを使用してもよい。この場合、切断工程の後、UV照射することでダイシングテープから、切出工程によって個片化された光導波路フィルム100を分離することができる。   In the present embodiment, the cutting step can be performed with the lower base material layer 150 side of the optical waveguide sheet 10 fixed to a dicing tape. As the dicing tape, for example, a type of tape whose adhesive strength is reduced by irradiation with ultraviolet rays (UV) may be used. In this case, the optical waveguide film 100 separated by the cutting process can be separated from the dicing tape by UV irradiation after the cutting process.

本実施形態において、ダイシング条件としては、例えば、上部基材層140が露出した状態でもよく、上部クラッド層120よりも厚膜で、上部クラッド層120よりも比較的弾性率が高い上部基材層140を使用してもよく、光導波路シート10の膜厚方向に対して垂直となるようにダイシングブレードの方向を設定してもよく、光導波路フィルム100の周囲を一定の方向(例えば、時計回りに)に2周回るようにダイシングしてもよい。また、ダイシングブレードの回転数や移動速度等の条件を適切に選択できる。また、上記切出工程の後、切出面に対して、不活性ガスなどの気体を用いて、エアー洗浄を行ってもよい。   In the present embodiment, the dicing condition may be, for example, the state in which the upper base material layer 140 is exposed, an upper base material layer that is thicker than the upper clad layer 120 and has a relatively higher elastic modulus than the upper clad layer 120. 140 may be used, the direction of the dicing blade may be set so as to be perpendicular to the film thickness direction of the optical waveguide sheet 10, and the periphery of the optical waveguide film 100 may be set in a certain direction (for example, clockwise) In addition, dicing may be performed so as to make two rounds. In addition, conditions such as the number of rotations and moving speed of the dicing blade can be appropriately selected. Moreover, you may perform air washing | cleaning using gas, such as an inert gas, with respect to the cut surface after the said cutting process.

本実施形態において、切出工程に使用する切断手段としては、例えば、ダイシングブレードを用いることができる。光導波路フィルム100の導波路端面101または側面104の、少なくとも1面または両面をダイシングブレードで切り出されもよい。ダイシングブレードで切り出された領域以外の領域は、他の切断手段で切り出されてもよい。他の切断手段としては、例えば、カッティングソー、レーザー、ルーター、超音波カッターまたはウォータージェットによる切断および刃型を用いた打ち抜きからなる群から選択される一種以上が挙げられる。   In the present embodiment, for example, a dicing blade can be used as the cutting means used in the cutting process. At least one surface or both surfaces of the waveguide end surface 101 or the side surface 104 of the optical waveguide film 100 may be cut out by a dicing blade. A region other than the region cut out by the dicing blade may be cut out by other cutting means. Examples of the other cutting means include one or more selected from the group consisting of cutting with a cutting saw, laser, router, ultrasonic cutter or water jet, and punching with a blade shape.

本実施形態によれば、ダイシングブレードを使用した精密カット手段により、例えば、導波路端面101を切り出すことにより、光導波路フィルム100の導波路端面101において、光散乱による光の減衰を抑制することができる。また、他の切断手段を使用した高加工カット手段により、例えば、光導波路フィルム100の側面104を切り出すことにより、加工速度が向上するとともに、曲線加工が容易になる。   According to this embodiment, for example, by cutting out the waveguide end surface 101 by a precision cutting means using a dicing blade, it is possible to suppress light attenuation due to light scattering at the waveguide end surface 101 of the optical waveguide film 100. it can. Further, for example, by cutting out the side surface 104 of the optical waveguide film 100 by a high processing cutting means using other cutting means, the processing speed is improved and the curve processing becomes easy.

また、不図示の溝部を形成した後に、光導波路フィルム100の切出工程を行ってもよい。溝部の形成には、例えば、ダイシングブレードを用いてもよい。   Moreover, you may perform the cutting-out process of the optical waveguide film 100, after forming a groove part not shown. For example, a dicing blade may be used to form the groove.

以上により、光導波路シート10から光導波路フィルム100が得られる。   As described above, the optical waveguide film 100 is obtained from the optical waveguide sheet 10.

本実施形態の光学部品の製造方法は、上述の光導波路フィルム100の製造方法により得られた光導波路フィルム100の一端(光コネクタ挿入領域106)を光コネクタに挿入する工程を有することができる。例えば、光コネクタと光導波路フィルムとは接着剤を介して接合することができる。接着剤としては、公知のものが使用できるが、例えば、光硬化性接着剤を用いてもよい。このとき、UV等のエネルギー線を照射して、光硬化性接着剤を硬化させて、光コネクタと光導波路フィルム100とを固定することができる。
以上により、本実施形態の光学部品が得られる。
The manufacturing method of the optical component of this embodiment can have the process of inserting the end (optical connector insertion area | region 106) of the optical waveguide film 100 obtained by the manufacturing method of the above-mentioned optical waveguide film 100 in an optical connector. For example, the optical connector and the optical waveguide film can be bonded via an adhesive. A known adhesive can be used as the adhesive, but for example, a photo-curable adhesive may be used. At this time, the optical connector and the optical waveguide film 100 can be fixed by irradiating energy rays such as UV to cure the photocurable adhesive.
As described above, the optical component of the present embodiment is obtained.

本実施形態の光学部品において、光導波路フィルム100の少なくとも一端(光コネクタ挿入領域106)に光コネクタが形成されていてもよいが、光導波路フィルム100の両端それぞれに光コネクタが形成されていてもよい。   In the optical component of the present embodiment, an optical connector may be formed on at least one end (optical connector insertion region 106) of the optical waveguide film 100, but an optical connector may be formed on each of both ends of the optical waveguide film 100. Good.

本実施形態において、光コネクタとしては、特に限定されないが、例えば、MTコネクタ、MPOコネクタ、MPXコネクタ、PMTコネクタ、PTコネクタ等を用いることができる。   In the present embodiment, the optical connector is not particularly limited. For example, an MT connector, an MPO connector, an MPX connector, a PMT connector, a PT connector, or the like can be used.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.

以下、本発明について実施例を参照して詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例の記載に何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail with reference to an Example, this invention is not limited to description of these Examples at all.

1.光導波路シートの製造について
(1)離脱性基を有するポリオレフィン系樹脂の合成
水分及び酸素濃度がいずれも1ppm以下に制御され、乾燥窒素で満たされたグローブボックス中において、ヘキシルノルボルネン(HxNB)7.2g(40.1mmol)、ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン12.9g(40.1mmol)を500mLバイアル瓶に計量し、脱水トルエン60gと酢酸エチル11gを加え、シリコン製のシーラーを被せて上部を密栓した。
1. 6. Production of Optical Waveguide Sheet (1) Synthesis of polyolefin-based resin having a leaving group Both hexyl norbornene (HxNB) in a glove box whose moisture and oxygen concentrations are controlled to 1 ppm or less and filled with dry nitrogen. 2 g (40.1 mmol) and 12.9 g (40.1 mmol) of diphenylmethylnorbornenemethoxysilane were weighed into a 500 mL vial, 60 g of dehydrated toluene and 11 g of ethyl acetate were added, and the top was sealed with a silicon sealer.

次に、100mLバイアルビン中にNi触媒1.56g(3.2mmol)と脱水トルエン10mLを計量し、スターラーチップを入れて密栓し、触媒を十分に撹拌して完全に溶解させた。このNi触媒溶液1mLをシリンジで正確に計量し、上記2種のノルボルネンを溶解させたバイアル瓶中に定量的に注入して室温で1時間撹拌したところ、著しい粘度上昇が確認された。この時点で栓を抜き、テトラヒドロフラン(THF)60gを加えて撹拌を行い、反応溶液を得た。   Next, 1.56 g (3.2 mmol) of Ni catalyst and 10 mL of dehydrated toluene were weighed in a 100 mL vial, and a stirrer chip was placed and sealed, and the catalyst was thoroughly stirred to dissolve completely. When 1 mL of this Ni catalyst solution was accurately weighed with a syringe, and quantitatively injected into the vial bottle in which the two kinds of norbornene were dissolved and stirred for 1 hour at room temperature, a marked increase in viscosity was confirmed. At this point, the stopper was removed, 60 g of tetrahydrofuran (THF) was added, and the mixture was stirred to obtain a reaction solution.

100mLビーカーに無水酢酸9.5g、過酸化水素水18g(濃度30%)、イオン交換水30gを加えて撹拌し、その場で過酢酸水溶液を調製した。次に、この水溶液全量を上記反応溶液に加えて12時間撹拌してNiの還元処理を行った。   In a 100 mL beaker, 9.5 g of acetic anhydride, 18 g of hydrogen peroxide (concentration 30%) and 30 g of ion-exchanged water were added and stirred to prepare an aqueous solution of peracetic acid on the spot. Next, the total amount of the aqueous solution was added to the reaction solution, and the mixture was stirred for 12 hours to reduce Ni.

次に、処理の完了した反応溶液を分液ロートに移し替え、下部の水層を除去した後、イソプロピルアルコールの30%水溶液を100mL加えて激しく撹拌を行った。静置して完全に二層分離が行われた後に水層を除去した。この水洗プロセスを合計で3回繰り返した後、油層を大過剰のアセトン中に滴下して生成したポリマーを再沈殿させ、ろ過によりろ液と分別した後、60℃に設定した真空乾燥機中で12時間加熱乾燥を行うことにより、ポリマー#1を得た。   Next, the treated reaction solution was transferred to a separatory funnel, the lower aqueous layer was removed, and then 100 mL of a 30% aqueous solution of isopropyl alcohol was added and vigorously stirred. The aqueous layer was removed after standing and completely separating the two layers. After repeating this water washing process three times in total, the oil layer was dropped into a large excess of acetone to reprecipitate the polymer produced and separated from the filtrate by filtration, and then in a vacuum dryer set at 60 ° C. Polymer # 1 was obtained by heating and drying for 12 hours.

ポリマー#1の分子量分布は、GPC測定した結果、Mw=10万、Mn=4万であった。また、ポリマー#1中の各構造単位のモル比は、NMR測定による同定の結果、ヘキシルノルボルネン構造単位が50mol%、ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン構造単位が50mol%であった。   The molecular weight distribution of polymer # 1 was Mw = 100,000 and Mn = 40,000 as a result of GPC measurement. The molar ratio of each structural unit in polymer # 1 was 50 mol% for the hexylnorbornene structural unit and 50 mol% for the diphenylmethylnorbornenemethoxysilane structural unit as a result of identification by NMR measurement.

(2)コア層形成用組成物の製造
精製した上記ポリマー#1の10gを100mLのガラス容器に秤量し、これにメシチレン40g、酸化防止剤Irganox1076(チバガイギー社製)0.01g、シクロヘキシルオキセタンモノマー(東亜合成製 CHOX、CAS#483303−25−9、分子量186、沸点125℃/1.33kPa)2g、重合開始剤(光酸発生剤)「RhodorsilPhotoinitiator 2074」(Rhodia社製、CAS# 178233−72−2)(0.0125g、酢酸エチル0.1mL中)を加えて均一に溶解させた後、0.2μmのPTFEフィルターによりろ過を行い、清浄なコア層形成用組成物を得た。
(2) Production of composition for forming core layer 10 g of the purified polymer # 1 was weighed into a 100 mL glass container, and 40 g of mesitylene, 0.01 g of an antioxidant Irganox 1076 (manufactured by Ciba Geigy), cyclohexyloxetane monomer ( CHOX manufactured by Toagosei Co., CAS # 48333-3-25-9, molecular weight 186, boiling point 125 ° C./1.33 kPa) 2 g, polymerization initiator (photoacid generator) “Rhodorsil Photoinitiator 2074” (manufactured by Rhodia, CAS # 178233-72- 2) (0.0125 g, in 0.1 mL of ethyl acetate) was added and dissolved uniformly, and then filtered through a 0.2 μm PTFE filter to obtain a clean core layer forming composition.

(3)クラッド層の作製
環状オレフィン系樹脂を含むノルボルネン系樹脂組成物(プロメラス社製Avatrel2590の20重量%2−ヘプタノン溶液、10g)に、2−ウンデシルメチルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、品番C11Z)(0.06g)を添加して混合し、クラッド層形成用塗布液を得た。このクラッド層形成用塗布液を、2枚のポリイミドフィルムの上にドクターブレードでそれぞれ均一に塗布した後、45℃の乾燥機において15分間乾燥させた。溶剤を完全に除去した後、乾燥機中160℃で2時間加熱して塗膜を硬化させ、光導波路形成用フィルム(厚み:5μmのクラッド層および厚み:25μmの基材層)を2枚形成した。
(3) Production of cladding layer Norbornene-based resin composition containing a cyclic olefin-based resin (20 wt% 2-heptanone solution, 10 g of Avatrel 2590 manufactured by Promelas), 2-undecylmethylimidazole (manufactured by Shikoku Chemical Industries, Part No. C11Z) (0.06 g) was added and mixed to obtain a coating solution for forming a cladding layer. The clad layer forming coating solution was uniformly applied onto two polyimide films with a doctor blade, and then dried for 15 minutes in a dryer at 45 ° C. After completely removing the solvent, the coating film is cured by heating at 160 ° C. for 2 hours in a dryer to form two optical waveguide forming films (thickness: 5 μm clad layer and thickness: 25 μm base material layer). did.

(4)コア層の作製
離型処理PETフィルム上にコア層形成用組成物を、ドクターブレードにより均一に塗布した後、40℃の乾燥機に5分間投入した。溶媒を完全に除去して被膜とした後、得られた被膜上に、ライン、スペースの直線パターンが全面に描かれたフォトマスクを圧着した。そして、フォトマスク上から平行露光機により紫外線を照射した。なお、紫外線の積算光量は1300mJ/cmとした。
(4) Preparation of core layer The composition for core layer formation was uniformly apply | coated with the doctor blade on the mold release process PET film, Then, it injected | threw-in to the dryer of 40 degreeC for 5 minutes. After completely removing the solvent to form a film, a photomask having a linear pattern of lines and spaces drawn on the entire surface was pressure-bonded onto the obtained film. Then, ultraviolet rays were irradiated from above the photomask with a parallel exposure machine. The integrated light quantity of ultraviolet rays was 1300 mJ / cm 2 .

次いで、フォトマスクを取り去り、150℃のオーブンに30分間投入した。オーブンから取り出すと、被膜には断面が矩形状をなす鮮明な導波路パターン(複数のコア部)が現れているのが確認された。得られたコア層の厚さは40μmであった。   Next, the photomask was removed and placed in an oven at 150 ° C. for 30 minutes. When taken out from the oven, it was confirmed that a clear waveguide pattern (a plurality of core portions) having a rectangular cross section appeared on the coating. The thickness of the obtained core layer was 40 μm.

(5)光導波路シートの作製
(4)で得られたコア層の両面に、それぞれ、(3)で得られた光導波路形成用フィルムのクラッド層をラミネータで積層し、積層体を得た。得られた積層体を160℃、2時間の条件で熱処理し、図2に示すような光導波路シートを得た。得られた積層体の厚さは100μmであった。
(5) Production of optical waveguide sheet A clad layer of the optical waveguide forming film obtained in (3) was laminated on each side of the core layer obtained in (4) with a laminator to obtain a laminate. The obtained laminate was heat-treated at 160 ° C. for 2 hours to obtain an optical waveguide sheet as shown in FIG. The thickness of the obtained laminate was 100 μm.

(実施例1)
2.光導波路フィルムの製造について
(6)外形加工
(5)で得られた光導波路シートの下面側(図2(b)の下部基材層150)をダイシングテープに貼り付けた。続いて、加工速度:0.1mm/sの条件で、ダイシングブレードA(ブレード表面からの砥粒突出量が平均0.5μm以下、粒度:#5000)を用いて、図2(a)に示す端面(光コネクタ挿入領域106の導波路端面101、光変換領域107の端面)を加工し、続いて、加工速度:0.1mm/sの条件で、ダイシングブレードB(ブレード表面からの砥粒突出量が平均4μm、粒度:#5000)を用いて、その他の領域である側面(光コネクタ挿入領域106、接続路領域108および光変換領域107の側面104)を加工した。このような加工を時計回りに2回行った。その後、光導波路シート全面切出面に対してエアー洗浄を行い、切削水を完全に飛ばした。
Example 1
2. About manufacture of an optical waveguide film (6) External shape processing The lower surface side (lower base material layer 150 of FIG.2 (b)) of the optical waveguide sheet obtained by (5) was affixed on the dicing tape. Subsequently, using a dicing blade A (abrasive grain protrusion amount from the blade surface is an average of 0.5 μm or less, grain size: # 5000) under the condition of processing speed: 0.1 mm / s, it is shown in FIG. End surfaces (the waveguide end surface 101 of the optical connector insertion region 106 and the end surface of the light conversion region 107) are processed, and then a dicing blade B (abrasive grain protrusion from the blade surface) under a processing speed of 0.1 mm / s. The other side surfaces (the optical connector insertion region 106, the connection path region 108, and the side surface 104 of the light conversion region 107) were processed using an average amount of 4 μm and particle size: # 5000. Such processing was performed twice clockwise. Thereafter, air cleaning was performed on the entire cut surface of the optical waveguide sheet, and the cutting water was completely blown away.

次いで、UV照射機によりダイシングテープに紫外線を照射し、個片化された光導波路フィルム(図1)を得た。光導波路フィルムの形状は、上面視において長方形形状であった。光導波路フィルムの短手方向(端面側)の幅は3mmであり、長手方向(側面側)の長さは30mmであり、厚みが100μmであった。紫外線の積算光量は500mJ/cmとした。 Next, the dicing tape was irradiated with ultraviolet rays by a UV irradiator to obtain an individualized optical waveguide film (FIG. 1). The shape of the optical waveguide film was rectangular when viewed from above. The width of the optical waveguide film in the lateral direction (end face side) was 3 mm, the length in the longitudinal direction (side face side) was 30 mm, and the thickness was 100 μm. The cumulative amount of ultraviolet light was 500 mJ / cm 2 .

(実施例2)
加工速度:0.1mm/sの条件で、ダイシングブレードA(ブレード表面からの砥粒突出量が平均0.5μm以下、粒度:#5000)を用いて、図2(a)に示す端面(光コネクタ挿入領域106の導波路端面101、光変換領域107の端面)および、側面(光コネクタ挿入領域106、接続路領域108および光変換領域107の側面104)を加工した以外は、実施例1と同様にした。
(Example 2)
End face (light) shown in FIG. 2 (a) using a dicing blade A (abrasive grain protrusion amount from the blade surface is an average of 0.5 μm or less, grain size: # 5000) under the condition of processing speed: 0.1 mm / s. Example 1 except that the waveguide end surface 101 of the connector insertion region 106 and the end surface of the light conversion region 107) and side surfaces (the optical connector insertion region 106, the connection path region 108, and the side surface 104 of the light conversion region 107) are processed. The same was done.

(実施例3)
加工速度:1.0mm/sの条件で、ダイシングブレードA(ブレード表面からの砥粒突出量が平均0.5μm以下、粒度:#5000)を用いて、図2(a)に示す端面(光コネクタ挿入領域106の導波路端面101、光変換領域107の端面)および、側面(光コネクタ挿入領域106、接続路領域108および光変換領域107の側面104)を加工した以外は、実施例1と同様にした。
(Example 3)
Using a dicing blade A (abrasive grain protrusion amount from the blade surface is 0.5 μm or less on average, particle size: # 5000) under the condition of processing speed: 1.0 mm / s, the end face (light) shown in FIG. Example 1 except that the waveguide end surface 101 of the connector insertion region 106 and the end surface of the light conversion region 107) and side surfaces (the optical connector insertion region 106, the connection path region 108, and the side surface 104 of the light conversion region 107) are processed. The same was done.

(実施例4)
加工速度:10.0mm/sの条件で、ダイシングブレードA(ブレード表面からの砥粒突出量が平均0.5μm以下、粒度:#5000)を用いて、図2(a)に示す端面(光コネクタ挿入領域106の導波路端面101、光変換領域107の端面)および、側面(光コネクタ挿入領域106、接続路領域108および光変換領域107の側面104)を加工した以外は、実施例1と同様にした。
Example 4
Using the dicing blade A (abrasive grain protrusion amount from the blade surface is an average of 0.5 μm or less, grain size: # 5000) under the condition of a processing speed of 10.0 mm / s, the end face (light) shown in FIG. Example 1 except that the waveguide end surface 101 of the connector insertion region 106 and the end surface of the light conversion region 107) and side surfaces (the optical connector insertion region 106, the connection path region 108, and the side surface 104 of the light conversion region 107) are processed. The same was done.

(実施例5)
加工速度:30.0mm/sの条件で、ダイシングブレードA(ブレード表面からの砥粒突出量が平均0.5μm以下、粒度:#5000)を用いて、図2(a)に示す端面(光コネクタ挿入領域106の導波路端面101、光変換領域107の端面)および側面(光コネクタ挿入領域106、接続路領域108および光変換領域107の側面104)を加工した以外は、実施例1と同様にした。
(Example 5)
Using a dicing blade A (abrasive grain protrusion amount from the blade surface is 0.5 μm or less on average, particle size: # 5000) under the condition of processing speed: 30.0 mm / s, the end face (light) shown in FIG. Example 1 except that the waveguide end surface 101 of the connector insertion region 106 and the end surface of the light conversion region 107) and side surfaces (the optical connector insertion region 106, the connection path region 108, and the side surface 104 of the light conversion region 107) are processed. I made it.

(実施例6)
加工速度:100.0mm/sの条件で、ダイシングブレードA(ブレード表面からの砥粒突出量が平均0.5μm以下、粒度:#5000)を用いて、図2(a)に示す端面(光コネクタ挿入領域106の導波路端面101、光変換領域107の端面)および側面(光コネクタ挿入領域106、接続路領域108および光変換領域107の側面104)を加工した以外は、実施例1と同様にした。
(Example 6)
Using a dicing blade A (abrasive grain protrusion amount from the blade surface is 0.5 μm or less on average, particle size: # 5000) under the condition of processing speed: 100.0 mm / s, the end face (light) shown in FIG. Example 1 except that the waveguide end surface 101 of the connector insertion region 106 and the end surface of the light conversion region 107) and side surfaces (the optical connector insertion region 106, the connection path region 108, and the side surface 104 of the light conversion region 107) are processed. I made it.

(比較例1)
(5)で得られた光導波路シートの上面側(図2(b)の上部基材層140)と下面側(図2(b)の下部基材層150)(5)とにダイシングテープに貼り付けたこと、加工速度:0.1mm/sの条件で、ダイシングブレードB(ブレード表面からの砥粒突出量が平均4μm、粒度:#5000)を用いて、図2(a)に示す端面(光コネクタ挿入領域106の導波路端面101、光変換領域107の端面)および、側面(光コネクタ挿入領域106、接続路領域108および光変換領域107の側面104)を加工した以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 1)
Dicing tape on the upper surface side (upper base material layer 140 in FIG. 2 (b)) and the lower surface side (lower base material layer 150 in FIG. 2 (b)) (5) of the optical waveguide sheet obtained in (5). The end face shown in FIG. 2 (a) using a dicing blade B (average amount of protrusion of abrasive grains from the blade surface is 4 μm, grain size: # 5000) under the conditions of pasting and processing speed: 0.1 mm / s Example except that the waveguide end face 101 of the optical connector insertion area 106 and the end face of the light conversion area 107 and the side faces (the optical connector insertion area 106, the connection path area 108, and the side face 104 of the light conversion area 107) are processed. Same as 1.

3.光導波路フィルムの評価
実施例および比較例で得られた光導波路フィルムについて、次のような評価を行った。評価結果を表1に示す。
3. Evaluation of Optical Waveguide Film The optical waveguide films obtained in the examples and comparative examples were evaluated as follows. The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2018173547
Figure 2018173547

(リブ構造)
得られた光導波路フィルムの端面および側面について、走査電子顕微鏡を用いて、45°傾斜したSEM画像を撮影した。得られたSEM画像から、リブ構造の形状を判断し、リブ高さを算出した。コの字形状のリブを図3(a)に示し、巻き形状のリブを図3(b)に示す。また、リブ高さは、図3に示すように、上部基材層140の天面142からリブ構造160の上端までの高さHとした。リブ構造162についても、リブ構造160と同様にして形状や高さを測定した。結果を表1に示す。
なお、実施例1〜6の短手方向におけるリブ構造160は、端面144側の上部基材層140の全面に形成されていた。また、実施例2〜6の長手方向におけるリブ構造162は、端面144と側面104とが交差する角部、すなわち側面104の縁から形成されており、側面146側の上部基材層140の全面に形成されていた。また、実施例2〜6のリブ構造162の構造は、それぞれのリブ構造160の形状と同じ形状を有していた。また、実施例1においては、リブ構造160は形成されておらず、比較例1においては、リブ構造160およびリブ構造162のいずれも形成されていなかった。
(Rib structure)
About the end surface and side surface of the obtained optical waveguide film, the SEM image which inclined 45 degrees was image | photographed using the scanning electron microscope. The shape of the rib structure was judged from the obtained SEM image, and the rib height was calculated. A U-shaped rib is shown in FIG. 3 (a), and a wound rib is shown in FIG. 3 (b). Moreover, the rib height was set to the height H from the top surface 142 of the upper base material layer 140 to the upper end of the rib structure 160 as shown in FIG. The shape and height of the rib structure 162 were also measured in the same manner as the rib structure 160. The results are shown in Table 1.
In addition, the rib structure 160 in the short direction of Examples 1 to 6 was formed on the entire surface of the upper base material layer 140 on the end surface 144 side. The rib structure 162 in the longitudinal direction of Examples 2 to 6 is formed from the corner where the end surface 144 and the side surface 104 intersect, that is, the edge of the side surface 104, and the entire surface of the upper base material layer 140 on the side surface 146 side. Was formed. Moreover, the structure of the rib structure 162 of Examples 2-6 had the same shape as the shape of each rib structure 160. Moreover, in Example 1, the rib structure 160 was not formed, and in the comparative example 1, neither the rib structure 160 nor the rib structure 162 was formed.

(フィルムの変形評価)
図4(a)に示すように、地面に対して水平な搭載面2を有する支持台1を準備した。続いて、得られた光導波路フィルム100の一方の主面4が搭載面2に接するように、光導波路フィルム100を支持台1に載置した。このとき、光導波路フィルム100の端面6と側面7の境界に存在する角部3と、搭載面2との距離dを測定した。
光導波路フィルム100の4つの角部3と搭載面2との距離d1〜d4を、それぞれ上記のように測定した。測定によって得られた各実施例の光導波路フィルム100におけるd1,d2,d3,d4の4つの合計値(総和D)を算出し、比較例1の光導波路フィルム100におけるd1,d2,d3,d4の4つの合計値(総和D0)を算出し、これらを対比した。
各実施例の総和Dにおいて、比較例1の総和D0よりも小さい場合を○とし、同等または大きい場合を×とした。結果を表1に示す。
(Evaluation of film deformation)
As shown to Fig.4 (a), the support stand 1 which has the mounting surface 2 horizontal with respect to the ground was prepared. Subsequently, the optical waveguide film 100 was placed on the support base 1 so that one main surface 4 of the obtained optical waveguide film 100 was in contact with the mounting surface 2. At this time, the distance d between the corner portion 3 present at the boundary between the end surface 6 and the side surface 7 of the optical waveguide film 100 and the mounting surface 2 was measured.
The distances d1 to d4 between the four corners 3 of the optical waveguide film 100 and the mounting surface 2 were measured as described above. Four total values (total D) of d1, d2, d3, d4 in the optical waveguide film 100 of each example obtained by measurement are calculated, and d1, d2, d3, d4 in the optical waveguide film 100 of Comparative Example 1 are calculated. 4 total values (total D0) were calculated and compared.
In the total sum D of each Example, the case where it was smaller than the total sum D0 of the comparative example 1 was set as (circle), and the case where it was equal or larger was set as x. The results are shown in Table 1.

(接着剤の流れだしの評価)
[端面側の評価]
図4(b)に示すように、地面に対して水平な搭載面2を有する支持台1を準備した。続いて、光導波路フィルム100の一方の主面4が搭載面2に接するように、光導波路フィルム100を支持台1に載置した。
続いて、光導波路フィルム100の他方の主面5において、一端側の端面6から、25mm離れた位置にエポキシ系接着材9を0.03ml滴下し、他端側の端面8を垂直方向に持ち上げ、他端側の主面5と、搭載面2とのなす角度が、30°となる位置で固定した。
上記位置で固定した時点から、エポキシ系接着材9が、他端側の主面5から一端側に流れ、エポキシ系接着材9が一端側の端面6が接触するまでの流れ時間Aを測定した。
各実施例および比較例の光導波路フィルム100において、同様にして、流れ時間Aを測定した。
各実施例の流れ時間Aについて、比較例1の流れ時間Aを基準としたとき、比較例1の時間よりも長い場合を◎、同等または短い場合を×とした。
(Evaluation of adhesive flow)
[End face side evaluation]
As shown in FIG.4 (b), the support stand 1 which has the mounting surface 2 horizontal with respect to the ground was prepared. Subsequently, the optical waveguide film 100 was placed on the support base 1 so that one main surface 4 of the optical waveguide film 100 was in contact with the mounting surface 2.
Subsequently, 0.03 ml of the epoxy adhesive 9 is dropped on the other main surface 5 of the optical waveguide film 100 at a position 25 mm away from the end surface 6 on one end side, and the end surface 8 on the other end side is lifted in the vertical direction. The angle formed between the main surface 5 on the other end side and the mounting surface 2 was fixed at a position where the angle was 30 °.
From the time of fixing at the above position, the epoxy adhesive 9 flows from the main surface 5 on the other end side to the one end side, and the flow time A until the epoxy adhesive 9 contacts the end surface 6 on the one end side was measured. .
In the optical waveguide film 100 of each example and comparative example, the flow time A was measured in the same manner.
Regarding the flow time A of each example, when the flow time A of Comparative Example 1 was used as a reference, the case where it was longer than the time of Comparative Example 1 was marked with ◎, and the case where it was equivalent or short was marked with ×.

[側面側の評価]
図4(c)に示すように、地面に対して水平な搭載面2を有する支持台1を準備し、光導波路フィルム100の一方の主面4が搭載面2に接するように、光導波路フィルム100を支持台1に載置した。
光導波路フィルム100の他方の主面5において、一端側の端面6から、25mm離れた位置にエポキシ系接着材9を0.03ml滴下し、図4(c)に示すように角部3を起点に垂直方向に持ち上げ、他方の主面5と、搭載面2とのなす角度が、30°となる位置で固定した。
上記位置で固定した時点から、エポキシ系接着材9、他端側の主面5から一端側の側面7に流れ、エポキシ系接着材9と一端側の側面7が接触するまでの流れ時間Bを測定した。
各実施例および比較例の光導波路フィルム100において、同様にして、流れ時間Bを測定した。
各実施例の流れ時間Bについて、比較例1の流れ時間Bを基準としたとき、比較例1の時間よりも長い場合を◎、同等または短い場合を×とした。
[Side evaluation]
As shown in FIG. 4 (c), a support base 1 having a mounting surface 2 that is horizontal to the ground is prepared, and an optical waveguide film is formed so that one main surface 4 of the optical waveguide film 100 is in contact with the mounting surface 2. 100 was placed on the support 1.
On the other main surface 5 of the optical waveguide film 100, 0.03 ml of an epoxy-based adhesive 9 is dropped at a position 25 mm away from the end surface 6 on one end side, and the corner 3 starts as shown in FIG. The angle between the other main surface 5 and the mounting surface 2 was fixed at a position where the angle was 30 °.
From the time of fixing at the above position, the epoxy adhesive 9 flows from the main surface 5 on the other end side to the side surface 7 on the one end side, and the flow time B until the epoxy adhesive material 9 contacts the side surface 7 on the one end side is It was measured.
In the optical waveguide film 100 of each example and comparative example, the flow time B was measured in the same manner.
Regarding the flow time B of each example, when the flow time B of the comparative example 1 is used as a reference, the case where the time is longer than the time of the comparative example 1 is marked with ◎, and the case where it is equal or short is marked with x.

(光コネクタへの挿入の作業性)
実施例および比較例で得られた光導波路フィルムと同様にして、光導波路試験片を50サンプル作製した。
厚み:125μm×幅:3.2mmの開口部を持つ治具に、実施例および比較例の光導波路試験片を挿入し、挿入前後において光導波路試験片の端部を光学顕微鏡で観察することにより、挿入による傷の増加を調査した。50サンプル中、挿入した光導波路試験片端部に傷が確認されない場合を◎、0%超え20%未満の試験片において傷が確認された場合を○、20%以上の試験片において傷が確認された場合を×とした。
(Ease of insertion into optical connector)
50 samples of optical waveguide test pieces were produced in the same manner as the optical waveguide films obtained in the examples and comparative examples.
By inserting the optical waveguide test piece of Example and Comparative Example into a jig having an opening of thickness: 125 μm × width: 3.2 mm, and observing the end of the optical waveguide test piece with an optical microscope before and after insertion The increase in wounds due to insertion was investigated. Of the 50 samples, ◎ indicates that no scratch is observed at the end of the inserted optical waveguide test piece, ○ indicates that scratch is confirmed in a test piece exceeding 0% and less than 20%, and scratch is confirmed in 20% or more of the test pieces. The case was marked with x.

1 支持台
2 搭載面
3 角部
4 主面
5 主面
6 端面
7 側面
8 端面
9 エポキシ系接着材
10 光導波路シート
100 光導波路フィルム
101 導波路端面
104 側面
106 光コネクタ挿入領域
107 光変換領域
108 接続路領域
110 コア層
112 コア部
114 クラッド部
120 上部クラッド層
130 下部クラッド層
140 上部基材層
142 天面
144 端面
146 側面
150 下部基材層
152 裏面
160 リブ構造
162 リブ構造
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support stand 2 Mounting surface 3 Corner | angular part 4 Main surface 5 Main surface 6 End surface 7 Side surface 8 End surface 9 Epoxy adhesive material 10 Optical waveguide sheet 100 Optical waveguide film 101 Waveguide end surface 104 Side surface 106 Optical connector insertion area 107 Optical conversion area 108 Connection path region 110 Core layer 112 Core portion 114 Cladding portion 120 Upper cladding layer 130 Lower cladding layer 140 Upper base layer 142 Top surface 144 End surface 146 Side surface 150 Lower base layer 152 Back surface 160 Rib structure 162 Rib structure

本発明によれば、
下部基材層、下部クラッド層、パターン状の複数のコア部、上部クラッド層および上部基材層、をこの順番で備える長尺状の光導波路フィルムであって、
前記上部基材層は、前記上部基材層の天面よりも突出したリブ構造を有しており、前記リブ構造がカール形状を有する、光導波路フィルムが提供される。
According to the present invention,
A long optical waveguide film comprising a lower substrate layer, a lower cladding layer, a plurality of patterned core portions, an upper cladding layer and an upper substrate layer in this order,
The upper base material layer has a rib structure protruding from the top surface of the upper base material layer, and an optical waveguide film in which the rib structure has a curl shape is provided.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
以下、参考形態の例を付記する。
1.
下部基材層、下部クラッド層、パターン状の複数のコア部、上部クラッド層および上部基材層、をこの順番で備える長尺状の光導波路フィルムであって、
前記上部基材層は、前記上部基材層の天面よりも突出したリブ構造を有している、光導波路フィルム。
2.
1.に記載の光導波路フィルムであって、
長手方向における当該光導波路フィルムの一端に、光が入出力する導波路端面が形成されており、前記導波路端面側の前記上部基材層に前記リブ構造が形成されている、光導波路フィルム。
3.
1.または2.に記載の光導波路フィルムであって、
前記上部基材層の天面から前記リブ構造の上端までのリブ高さが、1μm以上50μm以下である、光導波路フィルム。
4.
1.から3.のいずれか1つに記載の光導波路フィルムであって、
当該光導波路フィルムの長手方向に沿った側面側に前記リブ構造が形成されている、光導波路フィルム。
5.
1.から4.のいずれか1つに記載の光導波路フィルムであって、
前記リブ構造がカール形状を有する、光導波路フィルム。
6.
1.から5.のいずれか1つに記載の光導波路フィルムであって、
前記下部基材層および前記上部基材層は、ポリイミド層で構成されている、光導波路フィルム。
7.
1.から6.のいずれか1つに記載の光導波路フィルムであって、
前記下部基材層および前記上部基材層の膜厚は、5μm以上50μm以下である、光導波路フィルム。
8.
1.から7.のいずれか1つに記載の光導波路フィルムであって、
当該光導波路フィルムの膜厚は、50μm以上300μm以下である、光導波路フィルム。
9.
1.から8.のいずれか1つに記載の光導波路フィルムであって、
前記上部クラッド層および前記下部クラッド層の膜厚は、1μm以上50μm以下である、光導波路フィルム。
10.
光コネクタと、前記光コネクタに一端が挿入された1.から9.のいずれか1つに記載の光導波路フィルムと、を備える、光学部品。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.
Hereinafter, examples of the reference form will be added.
1.
A long optical waveguide film comprising a lower substrate layer, a lower cladding layer, a plurality of patterned core portions, an upper cladding layer and an upper substrate layer in this order,
The said upper base material layer is an optical waveguide film which has the rib structure which protruded from the top | upper surface of the said upper base material layer.
2.
1. An optical waveguide film according to claim 1,
An optical waveguide film in which a waveguide end face for inputting and outputting light is formed at one end of the optical waveguide film in the longitudinal direction, and the rib structure is formed in the upper base material layer on the waveguide end face side.
3.
1. Or 2. An optical waveguide film according to claim 1,
The optical waveguide film whose rib height from the top | upper surface of the said upper base material layer to the upper end of the said rib structure is 1 micrometer or more and 50 micrometers or less.
4).
1. To 3. An optical waveguide film according to any one of
An optical waveguide film in which the rib structure is formed on a side surface along the longitudinal direction of the optical waveguide film.
5).
1. To 4. An optical waveguide film according to any one of
An optical waveguide film in which the rib structure has a curl shape.
6).
1. To 5. An optical waveguide film according to any one of
The said lower base material layer and the said upper base material layer are optical waveguide films comprised by the polyimide layer.
7).
1. To 6. An optical waveguide film according to any one of
The film thickness of the said lower base material layer and the said upper base material layer is an optical waveguide film which are 5 micrometers or more and 50 micrometers or less.
8).
1. To 7. An optical waveguide film according to any one of
The optical waveguide film has a thickness of 50 μm or more and 300 μm or less.
9.
1. To 8. An optical waveguide film according to any one of
The optical waveguide film, wherein the upper cladding layer and the lower cladding layer have a thickness of 1 μm or more and 50 μm or less.
10.
An optical connector and one end inserted into the optical connector; To 9. An optical component comprising: the optical waveguide film according to any one of the above.

Claims (10)

下部基材層、下部クラッド層、パターン状の複数のコア部、上部クラッド層および上部基材層、をこの順番で備える長尺状の光導波路フィルムであって、
前記上部基材層は、前記上部基材層の天面よりも突出したリブ構造を有している、光導波路フィルム。
A long optical waveguide film comprising a lower substrate layer, a lower cladding layer, a plurality of patterned core portions, an upper cladding layer and an upper substrate layer in this order,
The said upper base material layer is an optical waveguide film which has the rib structure which protruded from the top | upper surface of the said upper base material layer.
請求項1に記載の光導波路フィルムであって、
長手方向における当該光導波路フィルムの一端に、光が入出力する導波路端面が形成されており、前記導波路端面側の前記上部基材層に前記リブ構造が形成されている、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to claim 1,
An optical waveguide film in which a waveguide end face for inputting and outputting light is formed at one end of the optical waveguide film in the longitudinal direction, and the rib structure is formed in the upper base material layer on the waveguide end face side.
請求項1または2に記載の光導波路フィルムであって、
前記上部基材層の天面から前記リブ構造の上端までのリブ高さが、1μm以上50μm以下である、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to claim 1 or 2,
The optical waveguide film whose rib height from the top | upper surface of the said upper base material layer to the upper end of the said rib structure is 1 micrometer or more and 50 micrometers or less.
請求項1から3のいずれか1項に記載の光導波路フィルムであって、
当該光導波路フィルムの長手方向に沿った側面側に前記リブ構造が形成されている、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to any one of claims 1 to 3,
An optical waveguide film in which the rib structure is formed on a side surface along the longitudinal direction of the optical waveguide film.
請求項1から4のいずれか1項に記載の光導波路フィルムであって、
前記リブ構造がカール形状を有する、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to any one of claims 1 to 4,
An optical waveguide film in which the rib structure has a curl shape.
請求項1から5のいずれか1項に記載の光導波路フィルムであって、
前記下部基材層および前記上部基材層は、ポリイミド層で構成されている、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to any one of claims 1 to 5,
The said lower base material layer and the said upper base material layer are optical waveguide films comprised by the polyimide layer.
請求項1から6のいずれか1項に記載の光導波路フィルムであって、
前記下部基材層および前記上部基材層の膜厚は、5μm以上50μm以下である、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to any one of claims 1 to 6,
The film thickness of the said lower base material layer and the said upper base material layer is an optical waveguide film which are 5 micrometers or more and 50 micrometers or less.
請求項1から7のいずれか1項に記載の光導波路フィルムであって、
当該光導波路フィルムの膜厚は、50μm以上300μm以下である、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to any one of claims 1 to 7,
The optical waveguide film has a thickness of 50 μm or more and 300 μm or less.
請求項1から8のいずれか1項に記載の光導波路フィルムであって、
前記上部クラッド層および前記下部クラッド層の膜厚は、1μm以上50μm以下である、光導波路フィルム。
The optical waveguide film according to any one of claims 1 to 8,
The optical waveguide film, wherein the upper cladding layer and the lower cladding layer have a thickness of 1 μm or more and 50 μm or less.
光コネクタと、前記光コネクタに一端が挿入された請求項1から9のいずれか1項に記載の光導波路フィルムと、を備える、光学部品。   An optical component comprising: an optical connector; and the optical waveguide film according to claim 1, wherein one end is inserted into the optical connector.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0815538A (en) * 1994-04-27 1996-01-19 Hitachi Cable Ltd Optical waveguide module
JP2004021005A (en) * 2002-06-18 2004-01-22 Fujitsu Ltd Optical waveguide substrate
US6801703B2 (en) * 2001-08-08 2004-10-05 Photon-X, Llc Freestanding athermal polymer optical waveguide
JP2012128072A (en) * 2010-12-14 2012-07-05 Sumitomo Bakelite Co Ltd Optical waveguide and method for manufacturing the same
JP2015075673A (en) * 2013-10-10 2015-04-20 住友ベークライト株式会社 Connector housing and optical waveguide assembly
JP2015087741A (en) * 2013-09-27 2015-05-07 日東電工株式会社 Opto-electric hybrid substrate, and manufacturing method thereof

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0815538A (en) * 1994-04-27 1996-01-19 Hitachi Cable Ltd Optical waveguide module
US6801703B2 (en) * 2001-08-08 2004-10-05 Photon-X, Llc Freestanding athermal polymer optical waveguide
JP2004021005A (en) * 2002-06-18 2004-01-22 Fujitsu Ltd Optical waveguide substrate
JP2012128072A (en) * 2010-12-14 2012-07-05 Sumitomo Bakelite Co Ltd Optical waveguide and method for manufacturing the same
JP2015087741A (en) * 2013-09-27 2015-05-07 日東電工株式会社 Opto-electric hybrid substrate, and manufacturing method thereof
JP2015075673A (en) * 2013-10-10 2015-04-20 住友ベークライト株式会社 Connector housing and optical waveguide assembly

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