JP2018171581A

JP2018171581A - Nozzle dirt removing unit, nozzle dirt removing device, and liquid dispenser

Info

Publication number: JP2018171581A
Application number: JP2017071612A
Authority: JP
Inventors: 石田　真也; Shinya Ishida; 真也石田
Original assignee: Eng System Kk; Engineering System Co Ltd
Current assignee: Eng System Kk; Engineering System Co Ltd
Priority date: 2017-03-31
Filing date: 2017-03-31
Publication date: 2018-11-08

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nozzle dirt removing unit which can securely remove dirt of a fine-diameter cylindrical nozzle of a liquid dispenser.SOLUTION: A nozzle dirt removing unit 30 for removing dirt of a fine-diameter cylindrical nozzle 4 of a liquid dispenser includes a nozzle insertion hole 35 in which the nozzle 4 can be inserted from a nozzle tip end opening 3a side. A hole inner circumferential surface 35a of the nozzle insertion hole 35 is defined by an elastic material. The nozzle 4 is inserted in the nozzle insertion hole 35 by using a triaxial stage mechanism included in the liquid dispenser to make a state of contacting with the hole inner circumferential surface 35a. In this state, the nozzle 4 is slid along the hole inner circumferential surface 35a. Dirt adhered to an outer circumferential surface of the nozzle 4 is securely wiped off by the elastic material.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は筒状のノズルを備えた液体ディスペンサに関する。更に詳しくは、微小径の筒状のノズルに付着した汚れを除去するためのノズル汚れ除去装置およびノズル汚れ除去ユニットに関する。 The present invention relates to a liquid dispenser provided with a cylindrical nozzle. More specifically, the present invention relates to a nozzle dirt removing device and a nozzle dirt removing unit for removing dirt adhering to a cylindrical nozzle having a minute diameter.

本願出願人は、特許文献１、２等において、微小径の筒状のノズルを用いて、ナノリットルオーダー、更にはピコリットルオーダーの微量液体を半導体基板などの対象物の表面に吐出、滴下することが可能な微量液体ディスペンサを提案している。微量液体ディスペンサを用いれば、静電吐出方式、ピエゾ駆動方式などの液体吐出ヘッドを用いることが困難な高粘度液体、例えば、ＵＶ硬化樹脂等の高粘度樹脂液材、Ａｇペースト等の高粘度金属ぺーストを、ナノリットルオーダー、ピコリットルオーダーで吐出、滴下できる。 In the Patent Documents 1 and 2 etc., the applicant of the present application uses a cylindrical nozzle with a small diameter to discharge and drop a small amount of liquid on the order of nanoliters or even picoliters onto the surface of an object such as a semiconductor substrate. It proposes a micro liquid dispenser that can do this. If a small amount of liquid dispenser is used, it is difficult to use a liquid discharge head such as an electrostatic discharge method or a piezo drive method, for example, a high viscosity resin liquid material such as a UV curable resin, or a high viscosity metal such as an Ag paste. Paste can be discharged and dropped in nanoliter order and picoliter order.

液体ディスペンサにおいては、そのノズルに、吐出した液体が付着して固化することがある。また、半導体基板等の処理において使用する処理液などが付着して固化することがある。ノズルの付着物は乾燥して微細粉末の状態で剥離して、液体の塗布あるいは吐出対象の表面の汚れの発生源になるおそれがある。また、付着物が障害となってノズル先端開口から正確な微細量の液滴を吐出、滴下できないおそれがある。このため、例えば定期的にノズル外周面等に付着した汚れを除去するためのノズル洗浄が行われる。 In a liquid dispenser, the discharged liquid may adhere to the nozzle and solidify. Further, a processing solution used in processing a semiconductor substrate or the like may adhere and solidify. The deposit on the nozzle is dried and peeled off in the form of a fine powder, which may become a source of contamination on the surface of the liquid application or ejection target. In addition, there is a possibility that an exact minute amount of liquid droplets cannot be ejected or dropped from the nozzle tip opening due to an obstacle. For this reason, for example, nozzle cleaning is periodically performed to remove dirt adhered to the outer peripheral surface of the nozzle and the like.

ノズル汚れの除去は、ノズルを洗浄液に浸漬し、あるいは、ノズルに洗浄液を吹き付けて、汚れを洗い流すことによって行われている。特許文献３、４には、液体塗布用のリップ（ノズル）の先端に、洗浄ヘッドから洗浄薬液を含む流体を噴出して、リップ先端の乾燥固着異物を除去する洗浄装置を備えた塗布装置が提案されている。 The removal of the nozzle dirt is performed by immersing the nozzle in the cleaning liquid or by spraying the cleaning liquid on the nozzle to wash away the dirt. In Patent Documents 3 and 4, there is provided a coating apparatus provided with a cleaning device that ejects a fluid containing a cleaning chemical from a cleaning head to the tip of a lip (nozzle) for liquid application to remove dry fixed foreign matter from the tip of the lip. Proposed.

また、洗浄液を用いた所謂ウエット式のノズル洗浄方法は、ノズル洗浄後に洗浄液がノズルに付着したまま残り、これが原因となって液体の吐出不良などの不具合が生じることがある。特許文献３においては、洗浄薬液を含む流体を噴出する流体ノズルに加えて、液切りノズルを配置し、ノズル先端部に不活性ガスを噴出して、洗浄液がノズルに残らないようにしている。 Also, in the so-called wet type nozzle cleaning method using the cleaning liquid, the cleaning liquid remains attached to the nozzle after the nozzle cleaning, and this may cause problems such as poor liquid discharge. In patent document 3, in addition to the fluid nozzle which ejects the fluid containing a cleaning chemical | medical solution, the liquid cutting nozzle is arrange | positioned and the inert gas is ejected to the nozzle front-end | tip part so that a washing | cleaning liquid does not remain in a nozzle.

特許５８５６３３２号公報Japanese Patent No. 5856332 特開２０１６−１７９４６４号公報JP-A-2006-179464 特開２００５−３２４１２３号公報JP-A-2005-324123 特開２００６−２８１１０１号公報JP 2006-281101 A

洗浄液を用いた吹き付け洗浄、浸漬洗浄では、確実にノズルの汚れを除去できないことがある。また、ノズルの残留洗浄液を除去するために液切りノズルなどを別途、配置する必要がある。 Spray cleaning and immersion cleaning using a cleaning liquid may not reliably remove the nozzle stains. Further, it is necessary to separately arrange a liquid draining nozzle or the like in order to remove the residual cleaning liquid from the nozzle.

また、ナノリットルオーダー、ピコリットルオーダーで液滴を吐出、滴下する微小径の筒状のノズルを備えた液体ディスペンサの場合には、微小径、微小幅で液体が対象物の表面に塗布される。よって、微小な異物が対象物の表面に付着しても、液体の塗布性状に影響を与え、歩留まりが低下する。また、ノズルの先端側に異物が付着すると、ノズルの吐出性能、滴下性能に大きな影響が表れる。したがって、ノズルの汚れを確実に除去する必要があるが、従来の吹き付け洗浄、浸漬洗浄では、十分な汚れ除去効果が得られない。 In addition, in the case of a liquid dispenser equipped with a cylindrical nozzle having a small diameter for discharging and dropping droplets in the nanoliter order or picoliter order, the liquid is applied to the surface of the object with a minute diameter and a minute width. . Therefore, even if a minute foreign matter adheres to the surface of the object, the liquid application property is affected, and the yield decreases. Moreover, if a foreign substance adheres to the front end side of a nozzle, it will have a big influence on the discharge performance and dripping performance of a nozzle. Therefore, it is necessary to reliably remove the dirt on the nozzle, but the conventional spray cleaning and immersion cleaning cannot provide a sufficient dirt removing effect.

本発明の目的は、液体ディスペンサにおける微小径の筒状のノズルの汚れを確実に除去可能なノズル汚れ除去ユニットおよびノズル汚れ除去装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a nozzle dirt removing unit and a nozzle dirt removing apparatus that can reliably remove dirt on a cylindrical nozzle having a small diameter in a liquid dispenser.

また、本発明の目的は、微小径の筒状のノズルの汚れを確実に除去可能なノズル汚れ除去ユニットを備えた液体ディスペンサを提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a liquid dispenser including a nozzle dirt removing unit that can reliably remove dirt from a cylindrical nozzle having a small diameter.

上記の課題を解決するために、本発明は、液体を吐出あるいは滴下する筒状のノズルを備えた液体ディスペンサにおける前記ノズルの汚れを除去するノズル汚れ除去装置であって、
ノズルを、そのノズル先端開口の側から挿入可能なノズル挿入穴と、
ノズル挿入穴の穴内周面を規定している弾性素材と、
ノズルを穴内周面に接触させた状態で、ノズルを穴内周面に対して相対移動させるノズル相対移動機構と
を有していることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the present invention provides a nozzle dirt removing device for removing dirt from the nozzle in a liquid dispenser including a cylindrical nozzle that discharges or drops liquid.
A nozzle insertion hole into which the nozzle can be inserted from the nozzle tip opening side;
An elastic material defining the inner peripheral surface of the nozzle insertion hole;
It has a nozzle relative movement mechanism for moving the nozzle relative to the inner peripheral surface of the hole in a state where the nozzle is in contact with the inner peripheral surface of the hole.

本発明では、ノズル挿入穴にノズルを挿入し、弾性素材によって規定されるノズル挿入穴の穴内周面に対してノズルを相対的に摺動させる。これにより、ノズル外周面に付着した汚れが弾性素材によって拭き取られる。洗浄液による吹き付け洗浄、浸漬洗浄の場合に比べて、より確実に、ノズルの汚れを除去できる。また、弾性素材によって穴内周面が規定されたノズル挿入穴にノズルを挿入すると、ノズルの全周が弾性素材に取り囲まれた状態になる。よって、微小径のノズルであっても、そのノズル外周面を弾性素材に確実に接触させることができ、ノズル外周面に付着している汚れを確実に除去できる。更に、ノズルを弾性素材に押し付けると、弾性素材が弾性変形してノズルが弾性素材に食い込む。これにより、ノズル先端面に弾性素材が接触して、ノズル先端面の汚れの除去も可能である。 In the present invention, the nozzle is inserted into the nozzle insertion hole, and the nozzle is slid relative to the inner peripheral surface of the nozzle insertion hole defined by the elastic material. Thereby, the dirt adhering to the outer peripheral surface of the nozzle is wiped off by the elastic material. Compared with spray cleaning with a cleaning liquid and immersion cleaning, the contamination of the nozzle can be removed more reliably. When the nozzle is inserted into the nozzle insertion hole whose inner peripheral surface is defined by the elastic material, the entire circumference of the nozzle is surrounded by the elastic material. Therefore, even if the nozzle has a small diameter, the outer peripheral surface of the nozzle can be reliably brought into contact with the elastic material, and the dirt adhering to the outer peripheral surface of the nozzle can be reliably removed. Further, when the nozzle is pressed against the elastic material, the elastic material is elastically deformed and the nozzle bites into the elastic material. As a result, the elastic material comes into contact with the nozzle tip surface, and the stain on the nozzle tip surface can be removed.

本発明において、ノズル挿入穴として、ノズル外径よりも大きな内径の穴を用いることができる。この場合には、ノズル相対移動機構により、ノズル挿入穴に挿入されたノズルを穴内周面に沿って相対的に摺動させて、ノズル外周面の汚れを除去できる。 In the present invention, a hole having an inner diameter larger than the outer diameter of the nozzle can be used as the nozzle insertion hole. In this case, the nozzle inserted into the nozzle insertion hole can be relatively slid along the inner peripheral surface of the nozzle by the nozzle relative movement mechanism to remove the dirt on the outer peripheral surface of the nozzle.

例えば、ノズルを自転させることなく、ノズル挿入穴の中心回りに、穴内周面に沿って摺動させる。ノズル外周面の全周を穴内周面によって拭き取ることができ、また、ノズル外周面の各部分を穴内周面の異なる部分で拭き取ることができる。よって、ノズルを穴内周面に沿って１周分あるいはそれ以上に亘って摺動させることで、ノズル外周面の汚れを確実に除去できる。 For example, the nozzle is slid along the inner peripheral surface of the nozzle insertion hole without rotating the nozzle. The entire circumference of the nozzle outer circumferential surface can be wiped by the hole inner circumferential surface, and each part of the nozzle outer circumferential surface can be wiped by a different portion of the hole inner circumferential surface. Therefore, the contamination of the nozzle outer peripheral surface can be reliably removed by sliding the nozzle along the inner peripheral surface of the hole for one round or more.

本発明のノズル汚れ除去装置を、弾性素材から形成した所定形状の弾性体と、弾性体を保持する弾性体保持具とを備えた構成にできる。この場合には、弾性体にノズル挿入穴を形成し、弾性体の一方の端面にノズル挿入穴を開口させる。 The nozzle dirt removing apparatus of the present invention can be configured to include an elastic body of a predetermined shape formed from an elastic material and an elastic body holder that holds the elastic body. In this case, a nozzle insertion hole is formed in the elastic body, and the nozzle insertion hole is opened at one end surface of the elastic body.

この場合において、弾性体保持具を、弾性体が着脱可能な状態で保持される弾性体保持部と、弾性体保持部に保持された弾性体に有機溶剤、水、その他の洗浄液を供給する洗浄液供給部とから構成し、弾性体によって有機溶剤などの洗浄液を吸収保持できるようにする。 In this case, the elastic body holder is provided with an elastic body holding section that holds the elastic body in a removable state, and a cleaning liquid that supplies an organic solvent, water, and other cleaning liquids to the elastic body held by the elastic body holding section. And a supply unit, and an elastic body can absorb and hold a cleaning liquid such as an organic solvent.

このようにすれば、弾性体のノズル挿入穴の穴内周面の部分は、洗浄液によって濡れた状態になる。この状態の穴内周面に沿ってノズルを摺動させると、洗浄液による洗浄効果も加わってノズルに付着している汚れをより確実に除去できる。また、洗浄液は、弾性素材に吸収保持された状態でノズルに接触するので、ノズルに洗浄液を吹き付ける場合、ノズルを洗浄液に浸漬する場合とは異なり、洗浄液がノズルに付着したまま残ってしまうことを回避できる。 If it does in this way, the part of the hole inner peripheral surface of the nozzle insertion hole of an elastic body will be in the state wet with the cleaning liquid. When the nozzle is slid along the inner peripheral surface of the hole in this state, the dirt adhering to the nozzle can be more reliably removed by adding the cleaning effect by the cleaning liquid. Also, since the cleaning liquid comes into contact with the nozzle while being absorbed and held by the elastic material, when the cleaning liquid is sprayed on the nozzle, the cleaning liquid remains attached to the nozzle, unlike when the nozzle is immersed in the cleaning liquid. Can be avoided.

本発明において、弾性体保持具は次のように構成することができる。すなわち、弾性体保持具は、開閉可能あるいは着脱可能な容器蓋を備えた洗浄液容器を備え、容器蓋には、弾性体を着脱可能な大きな蓋貫通穴が形成される。この場合、蓋貫通穴が弾性体保持部として機能し、洗浄液容器が洗浄液を弾性体に供給するための洗浄液供給部として機能する。 In the present invention, the elastic body holder can be configured as follows. In other words, the elastic body holder includes a cleaning liquid container having a container lid that can be opened and closed, or a large lid through-hole from which the elastic body can be detached. In this case, the lid through-hole functions as an elastic body holding part, and the cleaning liquid container functions as a cleaning liquid supply part for supplying the cleaning liquid to the elastic body.

また、洗浄液容器を装着可能な容器装着具を備えていることが望ましい。この場合には、容器装着具に開閉可能に取り付けた開閉蓋を配置し、開閉蓋を、閉じ状態において、第１位置および第２位置に移動可能にしておく。第１位置において、容器装着具に装着された溶剤容器の容器蓋における蓋貫通穴を封鎖可能とし、第２位置において、蓋貫通穴の封鎖を解除可能とする。 Moreover, it is desirable to provide a container mounting tool that can mount the cleaning liquid container. In this case, an open / close lid attached to the container mounting tool so as to be openable / closable is disposed, and the open / close lid is movable to the first position and the second position in the closed state. In the first position, the lid through hole in the container lid of the solvent container attached to the container mounting tool can be sealed, and in the second position, the lid through hole can be unblocked.

ノズルの汚れ除去動作を行わない状態では、開閉蓋を第１位置に移動して蓋貫通穴を封鎖できる。これにより、洗浄液、例えば有機溶剤の蒸発を防止でき、また、蓋貫通穴を介して異物が溶剤容器内に侵入することを防止できる。 In a state where the dirt removal operation of the nozzle is not performed, the lid can be blocked by moving the open / close lid to the first position. Thereby, evaporation of a cleaning liquid, for example, an organic solvent can be prevented, and foreign matter can be prevented from entering the solvent container through the lid through hole.

ここで、液体ディスペンサは、一般に、ノズルを３軸方向に移動させるための３軸ステージを備えている。この３軸ステージ機構を、ノズル汚れ除去装置のノズル相対移動機構として用いればよい。 Here, the liquid dispenser generally includes a three-axis stage for moving the nozzle in the three-axis direction. This triaxial stage mechanism may be used as a nozzle relative movement mechanism of the nozzle dirt removing device.

この場合には、本発明のノズル汚れ除去装置におけるノズル相対移動機構を除く部分を、ノズル汚れ除去ユニットとして提供することができる。本発明のノズル汚れ除去ユニットを、例えば、液体ディスペンサにおける液体吐出、滴下対象のワークを載せるワーク台にセットする。この状態で、ノズル汚れ除去ユニットのノズル挿入穴に対してノズルを挿入してノズル汚れを除去することができる。ノズル汚れ除去動作の終了後は、ノズル汚れ除去ユニットをワーク台から取外せばよい。または、液体ディスペンサに、ノズル汚れ除去ユニットを着脱可能に取り付ける専用のユニット取付部を設けておくこともできる。 In this case, the portion excluding the nozzle relative movement mechanism in the nozzle dirt removing device of the present invention can be provided as a nozzle dirt removing unit. The nozzle dirt removing unit of the present invention is set on, for example, a work table on which a work to be ejected and dropped in a liquid dispenser is placed. In this state, the nozzle dirt can be removed by inserting the nozzle into the nozzle insertion hole of the nozzle dirt removing unit. After completion of the nozzle dirt removal operation, the nozzle dirt removal unit may be removed from the work table. Alternatively, a dedicated unit attaching portion for detachably attaching the nozzle dirt removing unit to the liquid dispenser may be provided.

次に、本発明の液体ディスペンサは、上記構成のノズル汚れ除去ユニットを備えていることを特徴としている。本発明の液体ディスペンサでは、ノズルの汚れを確実に除去できるので、汚れに起因する液体吐出特性の劣化、液体滴下特性の劣化を防止でき、液体の吐出、液体の滴下を精度良く行うことができる。 Next, the liquid dispenser of the present invention includes the nozzle dirt removing unit having the above-described configuration. In the liquid dispenser according to the present invention, dirt on the nozzle can be surely removed, so that deterioration of liquid ejection characteristics and liquid dripping characteristics due to dirt can be prevented, and liquid ejection and liquid dripping can be performed with high accuracy. .

本発明を適用した微量液体ディスペンサの全体構成図である。1 is an overall configuration diagram of a trace liquid dispenser to which the present invention is applied. （ａ）〜（ｅ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去ユニットの弾性体保持具を示す平面図、端面図、Ａ−Ａ線断面図、斜視図および分解斜視図である。(A)-(e) is a top view which shows the elastic body holder of a nozzle dirt removal unit, respectively, an end elevation, AA sectional view, a perspective view, and an exploded perspective view. （ａ）〜（ｄ）は、ノズル汚れ除去ユニットの容器装着具を示す斜視図、その開閉蓋をスライドさせた状態を示す斜視図、開閉蓋を開けた状態を示す斜視図、および、溶剤容器を取外した状態を示す斜視図である。(A)-(d) is a perspective view which shows the container mounting tool of a nozzle dirt removal unit, a perspective view which shows the state which opened the opening-and-closing lid, a perspective view which shows the state which opened the opening-and-closing lid, and a solvent container It is a perspective view which shows the state which removed. （ａ）および（ｂ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去動作の例を示す模式図である。(A) And (b) is a schematic diagram which respectively shows the example of nozzle dirt removal operation | movement.

以下に、図面を参照して、本発明を適用した微量液体ディスペンサの実施の形態を説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態の構造に限定されるものではなく、各種の変更が可能である。 Embodiments of a trace liquid dispenser to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to the structure of the following embodiment, A various change is possible.

図１は、本実施の形態に係る微量液体ディスペンサの全体構成図である。微量液体ディスペンサ１は、ワーク台２と、このワーク台２に載せたワーク３の表面等の所定の部位に微量液体を滴下する微小径の円筒状のノズル４とを備えている。ワーク台２は例えば３軸ステージ機構５によって水平な平面上および垂直方向に移動可能である。ワーク台２を固定し、ノズル４の側を３軸方向に移動させることも可能である。 FIG. 1 is an overall configuration diagram of a trace liquid dispenser according to the present embodiment. The trace liquid dispenser 1 includes a work table 2 and a cylindrical nozzle 4 having a small diameter for dropping the trace liquid onto a predetermined portion such as the surface of the work 3 placed on the work table 2. The work table 2 can be moved on a horizontal plane and in a vertical direction by, for example, a three-axis stage mechanism 5. It is also possible to fix the work table 2 and move the nozzle 4 side in the triaxial direction.

ノズル４は微小径のノズルであり、その先端開口４ａの内径が５００μｍ以下、例えば１００μｍであり、ノズル外径も、１ｍｍ以下、例えば、２００μｍ程度の細長い円筒状のノズルである。これらの数値は例示であり、より微小径のノズルを用いる場合もある。逆に、これよりも太いノズルを用いる場合もある。 The nozzle 4 is a minute nozzle, and the tip opening 4a has an inner diameter of 500 μm or less, for example, 100 μm, and the outer diameter of the nozzle is also 1 mm or less, for example, about 200 μm. These numerical values are merely examples, and a nozzle having a smaller diameter may be used. Conversely, a thicker nozzle may be used.

ノズル４には、ノズル支持部４ｃを介して、当該ノズル４の内径よりも大きな内径の液体通路６が接続されている。液体通路６の上流側通路部分６Ａはシリンジ７に繋がっており、シリンジ７には液体が貯留されている。シリンジ７にポンプ８から圧縮空気を供給して、そこに貯留されている液体が液体通路６に供給される。シリンジ７とポンプ８から液体供給部が構成される。シリンジ７には例えば粘性液体９が貯留されている。 A liquid passage 6 having an inner diameter larger than the inner diameter of the nozzle 4 is connected to the nozzle 4 via a nozzle support portion 4c. The upstream passage portion 6 </ b> A of the liquid passage 6 is connected to the syringe 7, and liquid is stored in the syringe 7. Compressed air is supplied from the pump 8 to the syringe 7, and the liquid stored therein is supplied to the liquid passage 6. The syringe 7 and the pump 8 constitute a liquid supply unit. For example, a viscous liquid 9 is stored in the syringe 7.

液体通路６の途中には中間通路部分１０が配置されている。中間通路部分１０は容量可変通路部分となっている。中間通路部分１０は、円筒通路１１を備え、この円筒通路１１の両端は剛体の端板１１ａ、１１ｂによって形成されているが、その円筒状胴部１１ｃは半径方向に弾性変形可能な弾性膜から形成されている。 An intermediate passage portion 10 is disposed in the middle of the liquid passage 6. The intermediate passage portion 10 is a capacity variable passage portion. The intermediate passage portion 10 includes a cylindrical passage 11, and both ends of the cylindrical passage 11 are formed by rigid end plates 11a and 11b. The cylindrical body portion 11c is made of an elastic film that is elastically deformable in the radial direction. Is formed.

円筒通路１１の円筒状胴部１１ｃを同心状に取り囲む状態に、円環状断面の密閉外周空間である圧力室１２が形成されている。圧力室１２は加圧機構１３に繋がっており、加圧機構１３によって圧力室１２の内圧を上げることが可能である。圧力室１２が加圧されると、円筒通路１１の円筒状胴部１１ｃが半径方向に内側に収縮して、円筒通路１１の内容積が減少する。加圧機構１３による加圧を解除すると、円筒状胴部１１ｃが元の円筒形状に弾性復帰し、内容積を元に戻すことが可能である。このように、圧力室１２と加圧機構１３とによって、円筒通路１１の内容積を増減するための通路変形機構が構成される。 A pressure chamber 12, which is a sealed outer peripheral space having an annular cross section, is formed in a state of concentrically surrounding the cylindrical body portion 11 c of the cylindrical passage 11. The pressure chamber 12 is connected to the pressurizing mechanism 13, and the internal pressure of the pressure chamber 12 can be increased by the pressurizing mechanism 13. When the pressure chamber 12 is pressurized, the cylindrical body 11c of the cylindrical passage 11 contracts inward in the radial direction, and the internal volume of the cylindrical passage 11 decreases. When the pressurization by the pressurization mechanism 13 is released, the cylindrical body 11c is elastically restored to the original cylindrical shape, and the internal volume can be restored. As described above, the pressure chamber 12 and the pressurizing mechanism 13 constitute a passage deformation mechanism for increasing or decreasing the internal volume of the cylindrical passage 11.

ノズル４、液体通路６の下流側通路部分６Ｂおよび中間通路部分１０は、一体となって移動可能な微動ユニット２０となっている。微動ユニット２０は図１において一点鎖線で囲まれている部分である。微動ユニット２０は、ユニット微動機構を構成する直動機構２１（図１において想像線で示す。）によってノズル４の中心軸線４Ａに沿った方向に直線往復移動可能である。微動ユニット２０が移動すると、そのノズル４の先端開口４ａとワーク台２に載せた塗布対象のワーク表面３ａとの間のギャップが増減する。 The nozzle 4, the downstream passage portion 6 </ b> B of the liquid passage 6, and the intermediate passage portion 10 constitute a fine movement unit 20 that can move integrally. The fine movement unit 20 is a portion surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. The fine movement unit 20 can be linearly reciprocated in the direction along the central axis 4A of the nozzle 4 by a linear movement mechanism 21 (shown by an imaginary line in FIG. 1) constituting the unit fine movement mechanism. When the fine movement unit 20 moves, the gap between the tip opening 4a of the nozzle 4 and the workpiece surface 3a to be coated placed on the workpiece table 2 increases or decreases.

また、ノズル４の上方には観察光学系ユニット２２が配置されている。観察光学系ユニット２２は、ノズル４の先端開口４ａおよびワーク表面３ａの部分をＣＣＤカメラによって観察可能である。また、観察光学系ユニット２２にはレーザー変位計等の計測機構が組み付けられており、ノズル４の先端開口４ａと、これに対峙するワーク表面３ａの部分との間のギャップを測定可能である。 An observation optical system unit 22 is arranged above the nozzle 4. The observation optical system unit 22 can observe the tip opening 4a of the nozzle 4 and the part of the work surface 3a with a CCD camera. Further, the observation optical system unit 22 has a measuring mechanism such as a laser displacement meter, and can measure a gap between the tip opening 4a of the nozzle 4 and the portion of the work surface 3a facing it.

上記の液体供給用のポンプ８、加圧機構１３、３軸ステージ機構５、直動機構２１、観察光学系ユニット２２等の各部分は、制御部１４によって駆動が制御される。制御部１４による制御動作は、操作・表示部１５の操作部からの操作入力に基づき行われ、各部の動作状態、観察光学系ユニット２２による観察画像等が操作・表示部１５の表示部に表示可能である。 The drive of the respective parts such as the liquid supply pump 8, the pressurizing mechanism 13, the triaxial stage mechanism 5, the linear motion mechanism 21, and the observation optical system unit 22 is controlled by the control unit 14. The control operation by the control unit 14 is performed based on the operation input from the operation unit of the operation / display unit 15, and the operation state of each unit, the observation image by the observation optical system unit 22, etc. are displayed on the display unit of the operation / display unit 15. Is possible.

先に述べたように、ノズル４は微小径のノズルであり、中間通路部分１０の上流側の液体通路抵抗に比べて、下流側の液体通路抵抗が極めて大きい。本例では、粘性液体９を、液体通路６およびノズル４の先端開口４ａまで充填した液体充填状態で、中間通路部分１０をその内容積が減少するように収縮させた場合に、当該中間通路部分１０からその下流側通路部分に押し出される液体量が、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーの微小量となるように、当該液体量と中間通路部分１０の上流側通路部分に押し戻される液体量との比率が、１：１００〜１：５００の範囲内の値に設定されている。換言すると、このような比率となるように、中間通路部分１０の上流側の液体通路抵抗に比べて、下流側の液体通路抵抗が極めて大きくなるように設定されている。これにより、微小液滴の吐出、滴下を精度良く確実に行うことができる。なお、微小液滴の吐出、滴下のための機構としては、先に述べた特許文献１に記載されている機構、その他の機構を用いることができる。 As described above, the nozzle 4 is a nozzle having a very small diameter, and the liquid passage resistance on the downstream side is extremely large as compared with the liquid passage resistance on the upstream side of the intermediate passage portion 10. In this example, when the intermediate passage portion 10 is contracted so as to reduce its internal volume in a liquid-filled state in which the viscous liquid 9 is filled up to the liquid passage 6 and the tip opening 4a of the nozzle 4, the intermediate passage portion The ratio of the liquid amount pushed back to the upstream passage portion of the intermediate passage portion 10 so that the liquid amount pushed out from the portion 10 to the downstream passage portion becomes a minute amount of nanoliter order to picoliter order Is set to a value within the range of 1: 100 to 1: 500. In other words, the liquid passage resistance on the downstream side is set to be extremely large as compared with the liquid passage resistance on the upstream side of the intermediate passage portion 10 so as to have such a ratio. This makes it possible to accurately and reliably discharge and drop microdroplets. Note that the mechanism described in Patent Document 1 described above and other mechanisms can be used as the mechanism for discharging and dropping microdroplets.

ここで、本例の液体ディスペンサ１において、３軸ステージ機構５によって移動可能なワーク台２には、ノズル汚れ除去ユニット３０が付設されている。ノズル汚れ除去ユニット３０は、ワーク台２と一体となって３軸方向に移動するベース３１（ユニット取付部）に、着脱可能な状態で搭載されている。ノズル汚れユニット３０と３軸ステージ機構５（ノズル相対移動機構）とによって、ノズル汚れ除去装置が構成される。 Here, in the liquid dispenser 1 of this example, a nozzle dirt removing unit 30 is attached to the work table 2 that can be moved by the three-axis stage mechanism 5. The nozzle dirt removing unit 30 is mounted in a detachable state on a base 31 (unit mounting portion) that moves integrally with the work table 2 in three axial directions. The nozzle dirt unit 30 and the three-axis stage mechanism 5 (nozzle relative movement mechanism) constitute a nozzle dirt removing device.

ノズル汚れ除去ユニット３０は、弾性素材からなる１本あるいは複数本の所定形状の弾性体３２を保持した弾性体保持具３３と、弾性体保持具３３が着脱可能に装着された容器装着具３４とを備えている。弾性体３２は例えばポリウレタンフォームからなる円形断面の柱状体である。柱状の弾性体３２の弾性素材としては各種の素材を用いることが可能である。各弾性体３２にはノズル４をそのノズル先端開口の側から挿入可能なノズル挿入穴３５が形成されている。ノズル挿入穴３５は、弾性体３２に同軸状態に形成された円形断面の中心貫通穴である。ノズル挿入穴３５の穴径はノズル４の外径よりも大きい。 The nozzle dirt removing unit 30 includes an elastic body holder 33 holding one or a plurality of elastic bodies 32 of a predetermined shape made of an elastic material, and a container mounting tool 34 to which the elastic body holder 33 is detachably mounted. It has. The elastic body 32 is a columnar body having a circular cross section made of, for example, polyurethane foam. Various materials can be used as the elastic material of the columnar elastic body 32. Each elastic body 32 is formed with a nozzle insertion hole 35 into which the nozzle 4 can be inserted from the nozzle tip opening side. The nozzle insertion hole 35 is a central through hole having a circular cross section formed coaxially with the elastic body 32. The hole diameter of the nozzle insertion hole 35 is larger than the outer diameter of the nozzle 4.

後述するが、ノズル４の汚れ除去動作においては、３軸ステージ機構５を用いて、ノズル４の真下に、ノズル汚れ除去ユニット３０のノズル挿入穴３５を位置決めし、ノズル４をノズル挿入穴３５に挿入し、挿入したノズル４をノズル挿入穴３５の穴内周面に沿って摺動させて、ノズル４に付着した汚れを除去する。 As will be described later, in the dirt removal operation of the nozzle 4, the nozzle insertion hole 35 of the nozzle dirt removal unit 30 is positioned directly below the nozzle 4 using the triaxial stage mechanism 5, and the nozzle 4 is moved to the nozzle insertion hole 35. The inserted nozzle 4 is slid along the inner peripheral surface of the nozzle insertion hole 35 to remove the dirt adhering to the nozzle 4.

（ノズル汚れ除去ユニット）
図２（ａ）〜（ｅ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去ユニット３０の弾性体保持具３３を示す平面図、端面図、Ａ−Ａ線で切断した部分の断面図、斜視図および分解斜視図である。これらの図を参照して説明すると、弾性体保持具３３は、細長い直方体形状の洗浄液容器である溶剤容器４１（洗浄液供給部）と細長い長方形輪郭の容器蓋４２とを備えている。溶剤容器４１の上面は、上方に開口する容器開口部４３となっている。溶剤容器４１の上に被せた容器蓋４２によって容器開口部４３が封鎖されている。溶剤容器４１には、所定量の有機溶剤４４を貯留可能である。有機溶剤の代わりに、水、その他の洗浄液を用いることができる。例えば、容器蓋４２は、その一方の対角線方向の角部分において、不図示の固定ねじによって溶剤容器４１に固定されている。 (Nozzle dirt removal unit)
2A to 2E are a plan view, an end view, and a cross-sectional view, a perspective view, and an exploded perspective view of a portion cut along the line AA, respectively, showing the elastic body holder 33 of the nozzle dirt removing unit 30. It is. Referring to these drawings, the elastic body holder 33 includes a solvent container 41 (cleaning liquid supply unit), which is an elongated rectangular parallelepiped cleaning liquid container, and a container lid 42 having an elongated rectangular outline. The upper surface of the solvent container 41 is a container opening 43 that opens upward. The container opening 43 is sealed by a container lid 42 placed on the solvent container 41. A predetermined amount of the organic solvent 44 can be stored in the solvent container 41. Instead of the organic solvent, water or other cleaning liquid can be used. For example, the container lid 42 is fixed to the solvent container 41 by a fixing screw (not shown) at one diagonal corner portion.

容器蓋４２には、円柱状の弾性体３２を上方から差し込み・引き抜き可能な大きさの円形断面の蓋貫通穴４７（弾性体保持部）が形成されている。本例では、容器蓋４２の長さ方向に一定の間隔で５個の蓋貫通穴４７が形成されている。蓋貫通穴の４７の個数、配列状態は、本例の場合とは異なっていてもよい。ノズル４の本数等に応じて適宜設定される。各蓋貫通穴４７の穴径は、弾性体３２の外径とほぼ同一である。また、溶剤容器４１の底面には、各蓋貫通穴４７に対応する位置に、弾性体３２の下端面３２ｂが乗る着座面４８が突出形成されている。 The container lid 42 is formed with a lid through hole 47 (elastic body holding portion) having a circular cross section having a size capable of inserting and withdrawing the cylindrical elastic body 32 from above. In this example, five lid through holes 47 are formed at regular intervals in the length direction of the container lid 42. The number and arrangement state of the lid through holes 47 may be different from those in this example. It is appropriately set according to the number of nozzles 4 and the like. The hole diameter of each lid through hole 47 is substantially the same as the outer diameter of the elastic body 32. Further, a seating surface 48 on which the lower end surface 32 b of the elastic body 32 rides is formed on the bottom surface of the solvent container 41 at a position corresponding to each lid through hole 47.

本例では、円柱状の弾性体３２を用いているが、弾性体３２は、多角柱形状、直方体形状等、各種の形状の弾性体であってもよい。弾性体３２の形状に合わせて、蓋貫通穴４７の形状も設定される。また、弾性体３２に形成したノズル挿入穴３５は、弾性体３２の上端面から下端面まで、同一内径の円形断面の穴である。場合によって、ノズル挿入穴３５の穴径を、その軸線方向において変えることも可能であり、その穴断面形状を楕円形、多角形などの非円形にすることも可能である。さらに、柱状の弾性体３２を用いる代わりに、容器蓋４２あるいは溶剤容器４１に、直接に、弾性素材を取り付け、弾性素材によってノズル挿入穴３５の穴内周面を規定してもよい。着脱可能な弾性体３２を用いる場合には、その交換が容易であり、便利である。 In this example, the cylindrical elastic body 32 is used, but the elastic body 32 may be an elastic body having various shapes such as a polygonal column shape and a rectangular parallelepiped shape. The shape of the lid through hole 47 is also set in accordance with the shape of the elastic body 32. The nozzle insertion hole 35 formed in the elastic body 32 is a hole having a circular cross section having the same inner diameter from the upper end surface to the lower end surface of the elastic body 32. In some cases, the hole diameter of the nozzle insertion hole 35 can be changed in the axial direction, and the hole cross-sectional shape can be non-circular such as an ellipse or a polygon. Further, instead of using the columnar elastic body 32, an elastic material may be directly attached to the container lid 42 or the solvent container 41, and the inner peripheral surface of the nozzle insertion hole 35 may be defined by the elastic material. When the removable elastic body 32 is used, the replacement is easy and convenient.

弾性体３２を蓋貫通穴４７に差し込み、その下端面３２ｂが着座面４８に乗った状態まで押し込むと、弾性体３２の上端面３２ａが丁度、容器蓋４２の上面に一致した状態になる。溶剤容器４１に貯留される有機溶剤４４の液面は、着座面４８よりも高い位置となるように設定される。差し込まれた弾性体３２の下端部分は有機溶剤４４に浸漬し、毛細管力によって有機溶剤を吸い上げ、内部に保持する。弾性体３２に形成したノズル挿入穴３５の穴内周面３５ａは有機溶剤４４で湿った状態になる。 When the elastic body 32 is inserted into the lid through-hole 47 and pushed down to the state where the lower end surface 32 b is on the seating surface 48, the upper end surface 32 a of the elastic body 32 is exactly aligned with the upper surface of the container lid 42. The liquid level of the organic solvent 44 stored in the solvent container 41 is set to be higher than the seating surface 48. The lower end portion of the inserted elastic body 32 is immersed in the organic solvent 44, sucks up the organic solvent by capillary force, and holds it inside. The inner peripheral surface 35 a of the nozzle insertion hole 35 formed in the elastic body 32 is wet with the organic solvent 44.

図３（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去ユニット３０の容器装着具３４を示す斜視図、その開閉蓋をスライドさせた状態を示す斜視図、開閉蓋を開けた状態を示す斜視図、および、溶剤容器４１を取り外した状態を示す斜視図である。 3A to 3D are a perspective view showing the container mounting tool 34 of the nozzle dirt removing unit 30, a perspective view showing a state in which the opening / closing lid is slid, and a perspective view showing a state in which the opening / closing lid is opened. It is a perspective view which shows the state which removed the figure and the solvent container 41. FIG.

図３（ｄ）から分かるように、容器装着具３４は、溶剤容器４１よりも大きな長方形輪郭の底板５１と、底板５１の長さ方向の両端上面部分に取り付けた端ブロック５２、５３とを備えている。端ブロック５２、５３の間に、溶剤容器４１を上方から装着可能な容器装着部５４が形成されている。容器装着部５４に装着された溶剤容器４１を、上側から開閉蓋５５によって覆うことが可能である。開閉蓋５５は長方形輪郭をしており、その後ろ側の長辺縁がスライド筒５６に取り付けられている。 As can be seen from FIG. 3 (d), the container mounting device 34 includes a bottom plate 51 having a rectangular outline larger than that of the solvent container 41, and end blocks 52 and 53 attached to both upper surface portions in the length direction of the bottom plate 51. ing. Between the end blocks 52 and 53, a container mounting portion 54 to which the solvent container 41 can be mounted from above is formed. The solvent container 41 mounted on the container mounting portion 54 can be covered with an opening / closing lid 55 from above. The open / close lid 55 has a rectangular outline, and a long side edge on the rear side is attached to the slide cylinder 56.

スライド筒５６の中心には軸５７が貫通して延びており、軸５７は端ブロック５２、５３の間に架け渡されている。スライド筒５６は、軸５７を中心として回動可能であり、開閉蓋５５は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、溶剤容器４１を上側から覆い隠す閉じ位置から、図３（ｃ）、（ｄ）に示すように、溶剤容器４１を容器装着部５４から上方に取り出し可能な開き位置まで回動可能である。 A shaft 57 extends through the center of the slide cylinder 56, and the shaft 57 is bridged between the end blocks 52 and 53. The slide cylinder 56 is rotatable about a shaft 57, and the opening / closing lid 55 is moved from the closed position where the solvent container 41 is covered from above as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). As shown in c) and (d), the solvent container 41 can be rotated to an open position where it can be taken out from the container mounting portion 54.

また、スライド筒５６は開閉蓋５５と共に、軸５７に沿った方向にスライド可能である。開閉蓋５５およびスライド筒５６の長さは、端ブロック５２、５３の間隔よりも短く、これらの寸法差分だけ、開閉蓋５５は図３（ｂ）に示す第１位置５５Ａから図３（ａ）に示す第２位置５５Ｂまでスライド可能である。開閉蓋５５には、各ノズル挿入穴３５と同一大きさの円形貫通穴５８が同一ピッチで同一個数、形成されている。図３（ｂ）に示す第１位置においては、開閉蓋５５は、容器装着具３４に装着された溶剤容器４１のノズル挿入穴３５を封鎖可能である。これに対して、図３（ａ）に示す第２位置では、開閉蓋５５の各円形貫通穴５８が溶剤容器４１の各蓋貫通穴４７に一致し、蓋貫通穴４７の封鎖が解除される。この結果、各弾性体３２の上端面３２ａが露出し、上方から、ノズル４を各弾性体３２のノズル挿入穴３５に挿入可能になる。 The slide cylinder 56 is slidable in the direction along the shaft 57 together with the opening / closing lid 55. The lengths of the opening / closing lid 55 and the slide cylinder 56 are shorter than the distance between the end blocks 52 and 53, and the opening / closing lid 55 is moved from the first position 55A shown in FIG. 3B to FIG. Can be slid to the second position 55B shown in FIG. The open / close lid 55 is formed with the same number of circular through holes 58 having the same size as the nozzle insertion holes 35 at the same pitch. In the first position shown in FIG. 3B, the opening / closing lid 55 can seal the nozzle insertion hole 35 of the solvent container 41 attached to the container attachment tool 34. On the other hand, in the second position shown in FIG. 3A, each circular through hole 58 of the opening / closing lid 55 coincides with each lid through hole 47 of the solvent container 41, and the sealing of the lid through hole 47 is released. . As a result, the upper end surface 32a of each elastic body 32 is exposed, and the nozzle 4 can be inserted into the nozzle insertion hole 35 of each elastic body 32 from above.

容器装着具３４の端ブロック５２、５３には、ベースへの取付け用のねじ穴５２ａ、５３ａが形成されている。不図示の固定ねじを、これらのねじ穴５２ａ、５３ａから底板５１を通してベース３１（図１参照）にねじ込み固定することで、容器装着具３４がベース３１に固定される。また、本例では、一方の端ブロック５３に圧縮空気供給部５９を付設し、開閉蓋５５のスライドを不図示のエアーシリンダによって行うことが可能である。端ブロック５３には、溶剤供給部６０を付設し、外部の溶剤供給源から有機溶剤の補給を行うことが可能である。 The end blocks 52 and 53 of the container mounting tool 34 are formed with screw holes 52a and 53a for attachment to the base. The container mounting tool 34 is fixed to the base 31 by screwing a fixing screw (not shown) into the base 31 (see FIG. 1) through the bottom plate 51 from these screw holes 52a and 53a. In this example, the compressed air supply part 59 is attached to one end block 53, and the opening / closing lid 55 can be slid by an air cylinder (not shown). The end block 53 can be provided with a solvent supply unit 60 to replenish the organic solvent from an external solvent supply source.

（ノズル汚れ除去動作の例）
図４（ａ）、（ｂ）はノズル汚れ除去動作の一例を示す概念図である。ノズル汚れ除去ユニット３０を用いたノズル４の汚れ除去動作は次のように行われる。まず、ノズル４によって液体吐出動作、液体滴下動作を行っている間は、ノズル汚れ除去ユニット３０は、開閉蓋５５が第１位置５５Ａにスライドしており、ノズル挿入穴３５が封鎖された状態にある（図３（ｂ）参照）。 (Example of nozzle dirt removal operation)
4A and 4B are conceptual diagrams showing an example of the nozzle dirt removal operation. The dirt removal operation of the nozzle 4 using the nozzle dirt removal unit 30 is performed as follows. First, while the liquid discharge operation and the liquid dropping operation are performed by the nozzle 4, the nozzle dirt removing unit 30 is in a state where the opening / closing lid 55 is slid to the first position 55A and the nozzle insertion hole 35 is sealed. Yes (see FIG. 3B).

制御部１４の制御の下で、液体吐出動作、液体滴下動作が終了した後、あるいは、一定期間毎に、ノズル汚れ除去動作が起動される。ノズル汚れ除去動作が起動されると、３軸ステージ機構５によって、ノズル４のそれぞれを、ノズル汚れ除去ユニット３０の各ノズル挿入穴３５の真上に位置決めする。 Under the control of the control unit 14, the nozzle dirt removal operation is started after the liquid ejection operation and the liquid dropping operation are completed or at regular intervals. When the nozzle dirt removal operation is activated, each of the nozzles 4 is positioned immediately above each nozzle insertion hole 35 of the nozzle dirt removal unit 30 by the triaxial stage mechanism 5.

この位置決め動作の前の時点、その後の時点、または、位置決め動作に並行して、ノズル汚れ除去ユニット３０の開閉蓋５５を、図３（ｂ）の第１位置５５Ａからに矢印で示す方向にスライドさせて、図３（ａ）に示す第２位置５５Ｂにする。これにより、ノズル挿入穴３５が上方に露出する。３軸ステージ機構５によってノズル汚れ除去ユニット３０をワーク台２と共に上昇させ、各ノズル４を各ノズル挿入穴３５に挿入する。例えば、図４（ａ）に示すように、ノズル４は、ノズル挿入穴３５に同軸状態で挿入される。 The opening / closing lid 55 of the nozzle dirt removing unit 30 is slid in the direction indicated by the arrow from the first position 55A in FIG. Thus, the second position 55B shown in FIG. Thereby, the nozzle insertion hole 35 is exposed upward. The nozzle dirt removing unit 30 is raised together with the work table 2 by the three-axis stage mechanism 5, and each nozzle 4 is inserted into each nozzle insertion hole 35. For example, as shown in FIG. 4A, the nozzle 4 is inserted into the nozzle insertion hole 35 in a coaxial state.

次に、図４（ｂ）に示すように、３軸ステージ機構５によって、ノズル４を、ノズル挿入穴３５の穴内周面３５ａに所定の力で押し付けた状態を形成する。この状態で、３軸ステージ機構５によってノズル汚れ除去ユニット３０を平面上において移動させ、ノズル４を自転させることなく、穴内周面３５ａに沿ってノズル挿入穴３５の中心回りに１回あるいは複数回、公転させる相対運動を行わせる。 Next, as shown in FIG. 4B, the triaxial stage mechanism 5 forms a state in which the nozzle 4 is pressed against the inner peripheral surface 35 a of the nozzle insertion hole 35 with a predetermined force. In this state, the nozzle dirt removing unit 30 is moved on the plane by the three-axis stage mechanism 5, and the nozzle 4 is rotated around the center of the nozzle insertion hole 35 one or more times along the hole inner peripheral surface 35a without rotating. , Make the relative motion to revolve.

この結果、ノズル４の外周面を全周に亘って、穴内周面３５ａによって拭き取ることができ、また、ノズル４の外周面の各部分を穴内周面３５ａの異なる部分で拭き取ることができる。更に、弾性素材によって規定される穴内周面３５ａに食い込ませた状態でノズル４を当該穴内周面３５ａに沿って摺動させると、ノズル４の先端開口４ａの開口縁に付着している汚れが除去される。よって、ノズル４を穴内周面３５ａに沿って１周分あるいはそれ以上に亘って摺動させることで、ノズル４の外周面（および先端面）の汚れを確実に除去できる。 As a result, the outer peripheral surface of the nozzle 4 can be wiped over the entire circumference by the hole inner peripheral surface 35a, and each part of the outer peripheral surface of the nozzle 4 can be wiped by a different portion of the hole inner peripheral surface 35a. Further, when the nozzle 4 is slid along the hole inner peripheral surface 35a in a state where it is bitten into the hole inner peripheral surface 35a defined by the elastic material, dirt attached to the opening edge of the tip opening 4a of the nozzle 4 is removed. Removed. Therefore, the dirt on the outer peripheral surface (and the front end surface) of the nozzle 4 can be reliably removed by sliding the nozzle 4 along the inner peripheral surface 35a for one round or more.

また、弾性体３２のノズル挿入穴３５の穴内周面３５ａの部分は、有機溶剤４４によって濡れた状態となっている。この状態の穴内周面３５ａに沿ってノズル４を相対的に摺動させることで、有機溶剤による洗浄効果も加わってノズル４に付着している汚れをより確実に除去できる。有機溶剤４４は、弾性素材に吸収保持された状態でノズル４に接触するので、有機溶剤がノズル４に付着したまま残ってしまうことを回避できる。 Further, the portion of the inner peripheral surface 35 a of the nozzle insertion hole 35 of the elastic body 32 is wet with the organic solvent 44. By relatively sliding the nozzle 4 along the hole inner peripheral surface 35a in this state, the dirt adhering to the nozzle 4 can be more reliably removed by adding the cleaning effect of the organic solvent. Since the organic solvent 44 contacts the nozzle 4 while being absorbed and held by the elastic material, it can be avoided that the organic solvent remains attached to the nozzle 4.

次に、ノズル汚れ除去動作が終了した後において、液体の吐出動作あるいは滴下動作を開始する場合には、３軸ステージ機構５によって、ノズル汚れ除去ユニット３０を降下させる。これにより、ノズル４がノズル挿入穴３５から上方に引き抜かれる。ノズル４が引き抜かれた後は、開閉蓋５５をスライドさせて第１位置５５Ａに戻し、図３（ｂ）に示すように、ノズル挿入穴３５を封鎖して、有機溶剤の蒸発等を防止する。 Next, when the liquid discharge operation or the drip operation is started after the nozzle dirt removal operation is completed, the nozzle dirt removal unit 30 is lowered by the triaxial stage mechanism 5. As a result, the nozzle 4 is pulled upward from the nozzle insertion hole 35. After the nozzle 4 is pulled out, the opening / closing lid 55 is slid to return to the first position 55A, and as shown in FIG. 3B, the nozzle insertion hole 35 is blocked to prevent the organic solvent from evaporating. .

ノズル汚れ除去動作が終了した後に、次の液体吐出あるいは滴下動作を開始するまでの間の待機状態においては、例えば、ノズルキャッピング状態を形成すればよい。図４（ａ）を参照して説明すると、ノズル４がノズル挿入穴３５に同軸状態に挿入された状態で、ノズル４を支持しているノズル支持部４ｃを弾性体３２の上端面３２ａに押し付ける。これにより、ノズル４の先端開口４ａはノズル挿入穴３５内に密閉される。ノズル４の先端開口４ａの乾燥が防止され、ノズル４内の液体の固化、メニスカスの破壊などを防止できる。 For example, a nozzle capping state may be formed in a standby state after the nozzle dirt removal operation is completed and before the next liquid discharge or drip operation is started. Referring to FIG. 4A, the nozzle support portion 4 c supporting the nozzle 4 is pressed against the upper end surface 32 a of the elastic body 32 in a state where the nozzle 4 is coaxially inserted into the nozzle insertion hole 35. . Thereby, the tip opening 4 a of the nozzle 4 is sealed in the nozzle insertion hole 35. Drying of the tip opening 4a of the nozzle 4 is prevented, and solidification of the liquid in the nozzle 4 and destruction of the meniscus can be prevented.

なお、本例では、ノズル汚れ除去ユニット３０は、容器装着具３４に、弾性体保持具３３が着脱可能に装着され、弾性体保持具３３に、ノズル挿入穴３５が形成された弾性体３２が着脱可能に挿入されている。各部品の保守点検、交換を簡単に行うことができる。ノズル汚れ除去ユニット３０の各構成部品を一体に組み付けた構造とすることも可能である。また、交換頻度の高い弾性体３２のみを着脱可能な構造としてもよい。 In this example, the nozzle dirt removing unit 30 has an elastic body 32 in which an elastic body holder 33 is detachably mounted on a container mounting tool 34, and an elastic body 32 in which a nozzle insertion hole 35 is formed in the elastic body holder 33. Removably inserted. Each part can be easily inspected and replaced. It is also possible to have a structure in which the constituent parts of the nozzle dirt removal unit 30 are assembled together. Moreover, it is good also as a structure which can attach or detach only the elastic body 32 with high replacement frequency.

１微量液体ディスペンサ
２ワーク台
３ワーク
３ａワーク表面
４ノズル
４Ａ中心軸線
４ａ先端開口
４ｃノズル支持部
５３軸ステージ機構
１４制御部
３０ノズル汚れ除去ユニット
３１ベース
３２弾性体
３２ａ上端面
３２ｂ下端面
３３弾性体保持具
３４容器装着具
３５ノズル挿入穴
３５ａ穴内周面
４１溶剤容器（洗浄液容器）
４２容器蓋
４３容器開口部
４４有機溶剤（洗浄液）
４５、４６固定ネジ
４７蓋貫通穴
４８着座面
５１底板
５２、５３端ブロック
５２ａ、５３ａねじ穴
５４容器装着部
５５開閉蓋
５５Ａ第１位置
５５Ｂ第２位置
５６スライド筒
５７軸
５８円形貫通穴
５９圧縮空気供給部
６０溶剤供給部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Trace liquid dispenser 2 Work stand 3 Work 3a Work surface 4 Nozzle 4A Center axis 4a Tip opening 4c Nozzle support part 5 Triaxial stage mechanism 14 Control part 30 Nozzle dirt removal unit 31 Base 32 Elastic body 32a Upper end surface 32b Lower end surface 33 Elasticity Body holder 34 Container mounting tool 35 Nozzle insertion hole 35a Inner peripheral surface 41 Solvent container (cleaning liquid container)
42 Container lid 43 Container opening 44 Organic solvent (cleaning liquid)
45, 46 Fixing screw 47 Cover through hole 48 Seating surface 51 Bottom plate 52, 53 End block 52a, 53a Screw hole 54 Container mounting part 55 Opening / closing cover 55A First position 55B Second position 56 Slide cylinder 57 Shaft 58 Circular through hole 59 Compression Air supply unit 60 Solvent supply unit

Claims

A nozzle dirt removing device for removing dirt on the nozzle in a liquid dispenser comprising a cylindrical nozzle for discharging or dripping liquid,
A nozzle insertion hole into which the nozzle can be inserted from the nozzle tip opening side;
An elastic material defining the inner peripheral surface of the nozzle insertion hole;
A nozzle dirt removing device for a liquid dispenser, comprising: a nozzle relative movement mechanism that moves the nozzle relative to the inner peripheral surface of the hole in a state where the nozzle is in contact with the inner peripheral surface of the hole.

In claim 1,
The nozzle insertion hole is a hole having an inner diameter larger than the outer diameter of the nozzle,
The nozzle relative movement mechanism is a nozzle dirt removing device for a liquid dispenser, which is a mechanism for sliding the nozzle inserted into the nozzle insertion hole relatively along the inner peripheral surface of the hole.

In claim 2, further:
An elastic body of a predetermined shape made of the elastic material;
An elastic body holder for holding the elastic body,
The elastic body is formed with the nozzle insertion hole,
The nozzle dirt removal apparatus of the liquid dispenser which has the said nozzle insertion hole opened in one end surface of the said elastic body.

In claim 3,
The elastic body holder is
An elastic body holding part which is held in a state where the elastic body is detachable;
A cleaning liquid supply unit that supplies a cleaning liquid to the elastic body held by the elastic body holding unit,
The nozzle dirt removing device of the liquid dispenser in which the elastic body can absorb and hold the cleaning liquid.

In claim 4,
The elastic body holder includes a cleaning liquid container having a container lid that can be opened and closed or detached.
The container lid is formed with a large lid through hole to which the elastic body can be attached and detached,
The lid through-hole functions as the elastic body holding part, and the cleaning liquid container storing the cleaning liquid functions as the cleaning liquid supply part.

In claim 5, further:
A container mounting tool capable of mounting the cleaning liquid container;
An open / close lid attached to the container mounting tool so as to be openable and closable;
The open / close lid is movable to a first position and a second position in a closed state,
In the first position, the lid through hole in the container lid of the cleaning liquid container mounted on the container mounting tool can be sealed, and in the second position, the lid through hole can be unblocked. Dispenser nozzle dirt removal device.

In claim 3,
The liquid dispenser includes a triaxial stage mechanism that moves the nozzle in three axial directions.
The three-axis stage mechanism is a nozzle dirt removing device for a liquid dispenser that functions as the nozzle relative movement mechanism.

The liquid dispenser which has the nozzle dirt removal apparatus as described in any one of Claims 1 thru | or 7.

A nozzle dirt removing unit used in the nozzle dirt removing apparatus according to claim 1,
A nozzle for inserting a cylindrical nozzle that discharges or drops liquid in the liquid dispenser from the nozzle tip opening side; and
And a nozzle dirt removing unit having an elastic material defining an inner peripheral surface of the nozzle insertion hole.

In claim 9,
The nozzle dirt removing unit, wherein the nozzle insertion hole is a hole having an inner diameter larger than an outer diameter of the nozzle.

The claim 10, further comprising:
An elastic body of a predetermined shape made of the elastic material;
An elastic body holder for holding the elastic body,
The elastic body is formed with the nozzle insertion hole,
A nozzle dirt removing unit in which the nozzle insertion hole is opened on one end face of the elastic body.

In claim 11,
The elastic body holder is
An elastic body holding part which is held in a state where the elastic body is detachable;
A cleaning liquid supply unit that supplies a cleaning liquid to the elastic body held by the elastic body holding unit,
The nozzle dirt removing unit, wherein the elastic body can absorb and hold the cleaning liquid.

In claim 12,
The elastic body holder includes a cleaning liquid container having a container lid that can be opened and closed or detached.
The container lid is formed with a large lid through hole to which the elastic body can be attached and detached,
The lid through hole functions as the elastic body holding unit, and the cleaning liquid container storing the cleaning liquid functions as a cleaning liquid supply unit.

The claim 13, further comprising:
A container mounting tool capable of mounting the cleaning liquid container;
An open / close lid attached to the container mounting tool so as to be openable and closable;
The open / close lid is movable to a first position and a second position in a closed state,
In the first position, the lid through hole in the container lid of the cleaning liquid container mounted on the container mounting tool can be sealed, and in the second position, the lid through hole can be unblocked. Dirt removal unit.

The liquid dispenser which has a unit attachment part which can attach the nozzle dirt removal unit as described in any one of Claims 9 thru | or 14.