JP2018168262A - Resin composition - Google Patents

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Abstract

To provide a resin composition that yields an insulation member of a low dielectric constant showing a black color, which has excellent thin film insulation reliability and can suppress discoloration associated with a high-temperature heat history.SOLUTION: A resin composition contains (A) an epoxy resin, (B) a compound having a phenolic hydroxyl group, (C) titanium black and (D) organic solvent. The content of (C) component is 0.5-10 mass% when nonvolatile components in the resin composition are 100 mass%.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、該樹脂組成物を用いたシート状積層材料に関する。   The present invention relates to a resin composition. Furthermore, it is related with the sheet-like laminated material using this resin composition.

電子回路部品は、近年、微細化・薄膜化が進められており、その中に含まれる絶縁部材には高い絶縁性が求められるようになっている。電子回路部品は用途によって染料や顔料等の着色剤によって黒色に着色することが求められるが、黒色着色剤であるカーボンブラックは導電性であるため薄膜絶縁層の絶縁信頼性において懸念がある。非導電性をもたらす黒色着色剤としては、窒化チタンと、一酸化チタン、二酸化チタン等の酸化チタンとから構成されるチタンブラックが挙げられ、該チタンブラックを使用して絶縁部材を形成する技術が提案されている(例えば、特許文献1、2)。   In recent years, electronic circuit components have been miniaturized and thinned, and high insulation is required for insulating members contained therein. Electronic circuit components are required to be colored black with a colorant such as a dye or pigment depending on the application, but carbon black, which is a black colorant, is electrically conductive, so there is concern about the insulation reliability of the thin film insulating layer. Examples of the black colorant that brings about non-conductivity include titanium black composed of titanium nitride and titanium oxide such as titanium monoxide and titanium dioxide, and a technique for forming an insulating member using the titanium black. It has been proposed (for example, Patent Documents 1 and 2).

特開昭63−81117号公報JP-A-63-81117 特開昭63−215774号公報JP-A-63-215774

しかしながら、チタンブラックは、半導体実装時などの高温の熱履歴で窒化チタンならびに一酸化チタンが二酸化チタンに酸化され、その成分構成比が変化することに伴い褪色する課題があることを本発明者らは見出した。また、チタンブラックを使用する場合、高誘電率の絶縁部材に帰着する傾向がある。   However, the present inventors have a problem that titanium black is discolored as titanium nitride and titanium monoxide are oxidized to titanium dioxide due to a high-temperature thermal history during semiconductor mounting and the component composition ratio changes. Found. Further, when titanium black is used, it tends to result in an insulating member having a high dielectric constant.

本発明は、薄膜絶縁信頼性に優れ、高温熱履歴に伴う褪色を抑制することが可能な、黒色を呈する低誘電率の絶縁部材をもたらす樹脂組成物を提供することも目的とする。   Another object of the present invention is to provide a resin composition that provides an insulating member having a low dielectric constant that exhibits a black color, which is excellent in thin-film insulation reliability and can suppress discoloration associated with high-temperature thermal history.

本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール性水酸基を有する化合物、(C)チタンブラック及び(D)有機溶剤を含有する樹脂組成物であって、(C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.5〜10質量%である樹脂組成物が上記課題を実現し得ることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have found a resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a compound having a phenolic hydroxyl group, (C) titanium black, and (D) an organic solvent. Then, when the content of the component (C) is 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition, it is found that the resin composition of 0.5 to 10% by mass can realize the above problem, The invention has been completed.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール性水酸基を有する化合物、(C)チタンブラック及び(D)有機溶剤を含有する樹脂組成物であって、(C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.5〜10質量%である、樹脂組成物。
[2] (B)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.1〜40質量%である、[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (D)成分の含有量が、5質量%以上である、[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (C)成分中の窒化チタンの含有量が、(C)成分の全体質量を100質量%としたとき、20質量%以上である、[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5] プリント配線板の絶縁層用又は半導体封止用である、[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] [1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物から形成された樹脂組成物層を含む、シート状積層材料。
[7] 樹脂組成物層の厚さが100μm以下である、[6]に記載のシート状積層材料。
[8] 樹脂組成物層の厚さが20μm以下である、[6]又は[7]に記載のシート状積層材料。
[9] [6]〜[8]のいずれかに記載のシート状積層材料の樹脂組成物層を熱硬化して得られた絶縁層を含む、プリント配線板。
[10] 回路基板と、該回路基板に実装された半導体と、該半導体を封止する封止材とを含み、封止材が、[6]〜[8]のいずれかに記載のシート状積層材料の樹脂組成物層の硬化物から形成されている、半導体パッケージ。
That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a compound having a phenolic hydroxyl group, (C) titanium black and (D) an organic solvent, wherein the content of the component (C) is a resin. The resin composition which is 0.5-10 mass% when the non-volatile component in a composition is 100 mass%.
[2] The resin composition according to [1], wherein the content of the component (B) is 0.1 to 40% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the content of the component (D) is 5% by mass or more.
[4] The content of titanium nitride in the component (C) is 20% by mass or more when the total mass of the component (C) is 100% by mass, according to any one of [1] to [3]. Resin composition.
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], which is used for an insulating layer of a printed wiring board or for semiconductor encapsulation.
[6] A sheet-shaped laminated material including a resin composition layer formed from the resin composition according to any one of [1] to [5].
[7] The sheet-shaped laminated material according to [6], wherein the resin composition layer has a thickness of 100 μm or less.
[8] The sheet-shaped laminated material according to [6] or [7], wherein the resin composition layer has a thickness of 20 μm or less.
[9] A printed wiring board including an insulating layer obtained by thermosetting the resin composition layer of the sheet-like laminated material according to any one of [6] to [8].
[10] A sheet form according to any one of [6] to [8], including a circuit board, a semiconductor mounted on the circuit board, and a sealing material for sealing the semiconductor. A semiconductor package formed from a cured product of a resin composition layer of a laminated material.

本発明によれば、薄膜絶縁信頼性に優れ、高温熱履歴に伴う褪色を抑制することが可能な、黒色を呈する低誘電率の絶縁部材をもたらす樹脂組成物を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the resin composition which is excellent in thin film insulation reliability and can provide the insulating member of the low dielectric constant which exhibits black which can suppress the fading accompanying a high temperature heat history can be provided.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments thereof.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール性水酸基を有する化合物、(C)チタンブラック及び(D)有機溶剤を含有し、(C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.5〜10質量%であることを特徴とする。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) a compound having a phenolic hydroxyl group, (C) titanium black and (D) an organic solvent, and the content of the (C) component is a resin composition. When the non-volatile component in a thing is 100 mass%, it is 0.5-10 mass%, It is characterized by the above-mentioned.

チタンブラックは、非導電性の着色剤であり、それを使用して形成される絶縁部材は、薄膜絶縁信頼性に優れることが期待される。しかしながら、チタンブラックを使用して絶縁部材を形成すると、半導体実装時などの高温の熱履歴で窒化チタンならびに一酸化チタンが二酸化チタンに酸化され、その成分構成比が変化することに伴い褪色する課題のあることを本発明者等は見出した。   Titanium black is a non-conductive colorant, and an insulating member formed using it is expected to be excellent in thin film insulation reliability. However, when an insulating member is formed using titanium black, titanium nitride and titanium monoxide are oxidized to titanium dioxide due to a high-temperature thermal history during semiconductor mounting, etc. The present inventors have found that

近年、プリント配線板や半導体パッケージ等の電子回路部品を製造する際に、シート状積層材料を用いて絶縁部材を形成する技術が提案されているが(例えば、特開2011−132507号公報)、とりわけ、斯かる技術の適用に際して、上述のチタンブラックの褪色の課題は深刻化する傾向にあることを本発明者らは確認している。シート状積層材料を作製するに際して、チタンブラックを含有する樹脂組成物は樹脂ワニス(樹脂インク)の状態で準備され、該樹脂ワニスを乾燥・固化して樹脂層を形成するが、樹脂ワニス形態でのチタンブラックと雰囲気酸素との接触のし易さ、乾燥・固化の際の入熱等が影響して、その後の半導体実装時などの高温の熱履歴によりチタンブラックの成分構成比が変化し易い状態となったことが一因と考えられる。   In recent years, when manufacturing electronic circuit components such as printed wiring boards and semiconductor packages, a technique for forming an insulating member using a sheet-like laminated material has been proposed (for example, JP 2011-132507 A). In particular, the inventors of the present invention have confirmed that the problem of fading of the above-described titanium black tends to become serious when such a technique is applied. When producing a sheet-like laminated material, a resin composition containing titanium black is prepared in the state of a resin varnish (resin ink), and the resin varnish is dried and solidified to form a resin layer. Due to the ease of contact between titanium black and atmospheric oxygen, heat input during drying / solidification, etc., the composition ratio of titanium black is likely to change due to high-temperature thermal history during subsequent semiconductor mounting. One of the reasons is considered to be the state.

これに対し、所定量のチタンブラックと組み合わせて、フェノール性水酸基を有する化合物を含有すると共に、有機溶剤を含有する本発明の樹脂組成物は、本来的にチタンブラックに期待される薄膜絶縁信頼性を高いレベルにて実現すると共に、低誘電率を呈する絶縁部材をもたらすことが可能であり、さらには、シート状積層材料の作製に好適な樹脂ワニスの状態で準備する場合に、高温熱履歴に伴う褪色を著しく抑制することができる。   On the other hand, the resin composition of the present invention containing a compound having a phenolic hydroxyl group in combination with a predetermined amount of titanium black and containing an organic solvent is a thin film insulation reliability inherently expected for titanium black. Can be achieved at a high level and an insulating member exhibiting a low dielectric constant can be provided.In addition, when preparing in the state of a resin varnish suitable for the production of a sheet-like laminated material, The accompanying discoloration can be remarkably suppressed.

<(A)エポキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は(A)エポキシ樹脂(「(A)成分」ともいう。)を含む。エポキシ樹脂としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin (also referred to as “component (A)”). Examples of the epoxy resin include bixylenol type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, Naphthol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolak Type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic epoxy resin, complex Wherein the epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenyl ethane epoxy resin and the like. An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。中でも、樹脂組成物は、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(「固体状エポキシ樹脂」ともいう。)を組み合わせて含むことが好ましい。液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する芳香族系液状エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系固体状エポキシ樹脂がより好ましい。本発明において、芳香族系のエポキシ樹脂とは、その分子内に芳香環を有するエポキシ樹脂を意味する。   The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, the resin composition is a combination of a liquid epoxy resin (hereinafter referred to as “liquid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. and a solid epoxy resin (also referred to as “solid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. It is preferable to include. The liquid epoxy resin is preferably a liquid epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule, and more preferably an aromatic liquid epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. The solid epoxy resin is preferably a solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups in one molecule, and more preferably an aromatic solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups in one molecule. In the present invention, the aromatic epoxy resin means an epoxy resin having an aromatic ring in the molecule.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)、ナガセケムテックス(株)製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂)、(株)ダイセル製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂)、「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4−グリシジルシクロヘキサン)、三菱化学(株)製の「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, and ester skeletons. Preferred are alicyclic epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, and epoxy resin having butadiene structure, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin and naphthalene type An epoxy resin is more preferable. Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032”, “HP4032D”, “HP4032SS” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, “828US”, “jER828EL”, “825” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. ”,“ Epicoat 828EL ”(bisphenol A type epoxy resin),“ jER807 ”,“ 1750 ”(bisphenol F type epoxy resin),“ jER152 ”(phenol novolac type epoxy resin),“ 630 ”,“ 630LSD ”(glycidylamine) Type epoxy resin), "ZX1059" (mixed product of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., "EX-721" (glycidyl ester type manufactured by Nagase ChemteX Corporation) Epoxy resin), manufactured by Daicel Corporation “Celoxide 2021P” (an alicyclic epoxy resin having an ester skeleton), “PB-3600” (an epoxy resin having a butadiene structure), “ZX1658”, “ZX1658GS” (liquid 1, 4) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. -Glycidylcyclohexane), “630LSD” (glycidylamine type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「HP−7200HH」、「HP−7200H」、「EXA−7311」、「EXA−7311−G3」、「EXA−7311−G4」、「EXA−7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬(株)製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ESN475V」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「YX4000H」、「YX4000」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、大阪ガスケミカル(株)製の「PG−100」、「CG−500」、三菱化学(株)製の「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Solid epoxy resins include naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, Anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, and tetraphenylethane type epoxy resin are preferred. Specific examples of the solid epoxy resin include “HP4032H” (naphthalene type epoxy resin), “HP-4700”, “HP-4710” (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), “N-690” manufactured by DIC Corporation. "(Cresol novolac type epoxy resin)", "N-695" (Cresol novolac type epoxy resin), "HP-7200" (Dicyclopentadiene type epoxy resin), "HP-7200HH", "HP-7200H", "EXA -7311 "," EXA-7311-G3 "," EXA-7311-G4 "," EXA-7311-G4S "," HP6000 "(naphthylene ether type epoxy resin)," EPPN "manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. -502H "(trisphenol type epoxy resin)," NC7000L "(naphthol novolak type) Poxy resin), “NC3000H”, “NC3000”, “NC3000L”, “NC3100” (biphenyl type epoxy resin), “ESN475V” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., “ESN485” (naphthol novolak) Type epoxy resin), “YX4000H”, “YX4000”, “YL6121” (biphenyl type epoxy resin), “YX4000HK” (bixylenol type epoxy resin), “YX8800” (anthracene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation "PG-100", "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd., "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "YL7800" (fluorene type epoxy resin), Mitsubishi “JER1010” manufactured by Chemical Co., Ltd. (Solid bisphenol A type epoxy resin), "jER1031S" (tetraphenyl ethane epoxy resin) and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

(A)成分として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用する場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.1〜1:15の範囲が好ましい。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比を斯かる範囲とすることにより、i)シート状積層材料の形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)シート状積層材料の形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)十分な破断強度を有する硬化物を得ることができる等の効果が得られる。上記i)〜iii)の効果の観点から、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂の量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.5〜1:10の範囲がより好ましく、1:0.7〜1:8の範囲がさらに好ましい。   (A) As a component, when using together a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin, those quantity ratios (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) are 1: 0.1-1: 15 by mass ratio. A range is preferred. By making the quantitative ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin within such a range, i) suitable adhesiveness is obtained when used in the form of a sheet-like laminated material, ii) the form of the sheet-like laminated material When used in the above, sufficient flexibility is obtained, handling properties are improved, and iii) a cured product having sufficient breaking strength can be obtained. From the viewpoint of the effects i) to iii) above, the quantitative ratio of liquid epoxy resin to solid epoxy resin (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is in the range of 1: 0.5 to 1:10 by mass ratio. Is more preferable, and the range of 1: 0.7 to 1: 8 is more preferable.

樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、さらに好ましくは3質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは60質量%以下、より好ましくは55質量%以下、50質量%以下、又は40質量%以下である。   The content of the component (A) in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, and still more preferably 3 from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. It is at least mass%. Although the upper limit of content of an epoxy resin is not specifically limited as long as the effect of this invention is show | played, Preferably it is 60 mass% or less, More preferably, it is 55 mass% or less, 50 mass% or less, or 40 mass% or less. is there.

なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。   In addition, in this invention, content of each component in a resin composition is a value when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass% unless there is separate description.

(A)成分のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、さらにより好ましくは110〜1000である。この範囲となることで、硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。   The epoxy equivalent of (A) component becomes like this. Preferably it is 50-5000, More preferably, it is 50-3000, More preferably, it is 80-2000, More preferably, it is 110-1000. By becoming this range, the crosslinked density of hardened | cured material becomes sufficient and it can bring about an insulating layer with small surface roughness. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236, and is the mass of a resin containing 1 equivalent of an epoxy group.

(A)成分の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。   (A) The weight average molecular weight of a component becomes like this. Preferably it is 100-5000, More preferably, it is 250-3000, More preferably, it is 400-1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

一実施形態において、(A)成分中のナフタレン型エポキシ樹脂の含有量は、(A)成分の不揮発成分を100質量%としたとき、12質量%以下(好ましくは10質量%以下、9質量%以下、8質量%以下、7質量%以下、6質量%以下、又は5質量%以下)である。他の実施形態において、(A)成分は、ナフタレン型エポキシ樹脂を実質的に含有しない。ここで、「ナフタレン型エポキシ樹脂を実質的に含有しない」とは、ナフタレン型エポキシ樹脂の含有量が1質量%未満であることを表す。   In one embodiment, the content of the naphthalene type epoxy resin in the component (A) is 12% by mass or less (preferably 10% by mass or less, preferably 9% by mass) when the nonvolatile component of the component (A) is 100% by mass. Hereinafter, it is 8 mass% or less, 7 mass% or less, 6 mass% or less, or 5 mass% or less. In another embodiment, the component (A) does not substantially contain a naphthalene type epoxy resin. Here, “substantially free of naphthalene type epoxy resin” means that the content of naphthalene type epoxy resin is less than 1% by mass.

<(B)フェノール性水酸基を有する化合物>
本発明の樹脂組成物は、(B)フェノール性水酸基を有する化合物(「(B)成分」ともいう。)を含む。フェノール性水酸基とは、芳香環構造の水素原子が水酸基(ヒドロキシ基)で置換された形で存在する水酸基をいう。
<(B) Compound having phenolic hydroxyl group>
The resin composition of the present invention contains (B) a compound having a phenolic hydroxyl group (also referred to as “component (B)”). The phenolic hydroxyl group means a hydroxyl group that exists in a form in which a hydrogen atom of an aromatic ring structure is substituted with a hydroxyl group (hydroxy group).

(B)成分としては、その分子中にフェノール性水酸基を有する限り特に限定されないが、後述する(C)成分との組み合わせにおいて、高温熱履歴に伴う褪色を抑制する観点から、1分子当たりフェノール性水酸基を2個以上含む化合物が好ましい。(B)成分の水酸基当量は、好ましくは30000以下、より好ましくは20000以下、10000以下、5000以下、2000以下、又は1000以下である。該水酸基当量の下限は、好ましくは50以上、より好ましくは80以上、100以上、又は120以上である。なお、水酸基当量とは、1グラム当量の水酸基を含む樹脂のグラム数である。   The component (B) is not particularly limited as long as it has a phenolic hydroxyl group in the molecule, but in combination with the component (C) described later, phenolic per molecule from the viewpoint of suppressing discoloration associated with high-temperature heat history. A compound containing two or more hydroxyl groups is preferred. The hydroxyl equivalent of the component (B) is preferably 30000 or less, more preferably 20000 or less, 10,000 or less, 5000 or less, 2000 or less, or 1000 or less. The lower limit of the hydroxyl group equivalent is preferably 50 or more, more preferably 80 or more, 100 or more, or 120 or more. The hydroxyl equivalent is the number of grams of resin containing 1 gram equivalent of hydroxyl group.

(B)成分としては、例えば、1分子当たりフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー及びポリマーの1種以上が挙げられ、中でも、シート状積層材料の作製に好適な樹脂ワニスの状態で樹脂組成物を準備する場合に、高温熱履歴に伴う褪色をより一層抑制し得る観点から、フェノールノボラック樹脂、ナフトールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、テルペン型フェノール樹脂、トリフェノールメタン型樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−9,10−ジヒドロ9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキサイドから選ばれる1種以上が好ましく、フェノールノボラック樹脂、ナフトールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−9,10−ジヒドロ9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキサイドから選ばれる1種以上がより好ましい。本発明の樹脂組成物において、(B)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。(B)成分としては、例えば、フェノール性水酸基を有し且つエポキシ樹脂を硬化する機能を有する化合物(以下、単に「フェノール性水酸基を有する硬化剤」という。)、フェノール性水酸基を有し且つ樹脂組成物の硬化物に難燃性を付与する機能を有する化合物(以下、単に「フェノール性水酸基を有する難燃剤」という。)を使用してよい。フェノール性水酸基を有する硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着性(ピール強度)の観点から、含窒素フェノール系硬化剤又は含窒素ナフトール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトール系硬化剤がより好ましい。耐熱性、耐水性、及び導体層との密着強度を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック系硬化剤及びトリアジン骨格含有ナフトールノボラック系硬化剤が好ましい。フェノール性水酸基を有する難燃剤としては、例えば、フェノール性水酸基を有する有機リン系難燃剤、フェノール性水酸基を有する有機系窒素含有リン化合物が挙げられ、中でも、フェノール性水酸基を有する有機リン系難燃剤(例えば、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−9,10−ジヒドロ9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキサイド)が好ましい。   Examples of the component (B) include one or more monomers, oligomers, and polymers having two or more phenolic hydroxyl groups per molecule. Among them, the resin is in a resin varnish suitable for producing a sheet-like laminated material. From the viewpoint of further suppressing the fading associated with high-temperature heat history when preparing the composition, phenol novolak resin, naphthol novolak resin, cresol novolak resin, dicyclopentadiene type phenol resin, terpene type phenol resin, triphenol methane One or more selected from mold resins, phenol aralkyl resins, naphthol aralkyl resins, 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, Novolac resin, naphtho Novolak resin, phenol aralkyl resin, naphthol aralkyl resin, one or more selected from 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphatonin phenanthrene-10-oxide is more preferable. In the resin composition of the present invention, the component (B) may be used alone or in combination of two or more. Examples of the component (B) include a compound having a phenolic hydroxyl group and a function of curing an epoxy resin (hereinafter simply referred to as “curing agent having a phenolic hydroxyl group”), a phenolic hydroxyl group and a resin. A compound having a function of imparting flame retardancy to the cured product of the composition (hereinafter simply referred to as “a flame retardant having a phenolic hydroxyl group”) may be used. As the curing agent having a phenolic hydroxyl group, a phenolic curing agent having a novolak structure or a naphthol curing agent having a novolac structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. Further, from the viewpoint of adhesion (peel strength) to the conductor layer, a nitrogen-containing phenol-based curing agent or a nitrogen-containing naphthol-based curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol-based curing agent is more preferable. . From the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion strength with the conductor layer, a triazine skeleton-containing phenol novolac-based curing agent and a triazine skeleton-containing naphthol novolak-based curing agent are preferable. Examples of the flame retardant having a phenolic hydroxyl group include an organic phosphorus flame retardant having a phenolic hydroxyl group and an organic nitrogen-containing phosphorus compound having a phenolic hydroxyl group. Among these, an organic phosphorus flame retardant having a phenolic hydroxyl group (For example, 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide) is preferable.

(B)成分の具体例としては、明和化成(株)製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」、日本化薬(株)製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金化学(株)製の「SN−170」、「SN−180」、「SN−190」、「SN−475」、「SN−485」、「SN−495」、「SN−375」、「SN−395」、DIC(株)製の「LA−7052」、「LA−7054」、「LA−3018」、「LA−1356」、「TD2090」、(株)三光製の「HCA−HQ」等が挙げられる。   Specific examples of the component (B) include “MEH-7700”, “MEH-7810”, “MEH-7785” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., “NHN”, “CBN” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. , “GPH”, “SN-170”, “SN-180”, “SN-190”, “SN-475”, “SN-485”, “SN-495”, “manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.” “SN-375”, “SN-395”, “LA-7052”, “LA-7054”, “LA-3018”, “LA-1356”, “TD2090” manufactured by DIC Corporation, manufactured by Sanko Co., Ltd. “HCA-HQ” and the like.

樹脂組成物中の(B)成分の含有量は、(C)成分との組み合わせにおいて、高温熱履歴に伴う褪色を抑制する観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.2質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上、1質量%以上、3質量%以上、5質量%以上、又は7質量%以上である。(B)成分の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは40質量%以下、より好ましくは35質量%以下、30質量%以下、25質量%以下、又は20質量%以下である。   The content of the component (B) in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.2% from the viewpoint of suppressing discoloration associated with high-temperature heat history in combination with the component (C). It is 0.5 mass% or more, More preferably, it is 0.5 mass% or more, 1 mass% or more, 3 mass% or more, 5 mass% or more, or 7 mass% or more. Although the upper limit of content of (B) component is not specifically limited as long as the effect of this invention is show | played, Preferably it is 40 mass% or less, More preferably, it is 35 mass% or less, 30 mass% or less, 25 mass% or less. Or 20% by mass or less.

<(C)チタンブラック>
本発明の樹脂組成物は、(C)チタンブラック(「(C)成分」ともいう。)を含む。チタンブラックは、樹脂との混合系において非導電性をもたらす黒色着色剤であり、該チタンブラックを含む絶縁部材は高い薄膜絶縁信頼性を呈する。本発明の樹脂組成物において、チタンブラックは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(C) Titanium black>
The resin composition of the present invention contains (C) titanium black (also referred to as “(C) component”). Titanium black is a black colorant that brings about non-conductivity in a mixed system with a resin, and an insulating member containing the titanium black exhibits high thin film insulation reliability. In the resin composition of the present invention, titanium black may be used alone or in combination of two or more.

先述のとおり、本発明者等は、チタンブラックを使用して絶縁部材を形成すると、半導体実装時などの高温の熱履歴で褪色する課題のあることを見出した。とりわけ、プリント配線板や半導体パッケージ等の電子回路部品を製造する際に、シート状積層材料を用いて絶縁部材を形成する技術の適用に際して、斯かる課題が深刻化することを本発明者等は確認している。これに対し、所定量のチタンブラックと組み合わせて、フェノール性水酸基を有する化合物を含有すると共に、有機溶剤を含有する本発明の樹脂組成物によれば、本来的にチタンブラックに期待される薄膜絶縁信頼性を高いレベルにて実現すると共に、低誘電率を呈する絶縁部材をもたらすことが可能であり、さらには、シート状積層材料の作製に好適な樹脂ワニスの状態で準備する場合に、高温熱履歴に伴う褪色を著しく抑制することができる。   As described above, the present inventors have found that when an insulating member is formed using titanium black, there is a problem of fading due to a high-temperature heat history during semiconductor mounting or the like. In particular, when manufacturing an electronic circuit component such as a printed wiring board or a semiconductor package, the present inventors have found that such problems become serious when applying a technique for forming an insulating member using a sheet-like laminated material. I have confirmed. In contrast, according to the resin composition of the present invention containing a compound having a phenolic hydroxyl group in combination with a predetermined amount of titanium black and containing an organic solvent, the thin film insulation originally expected for titanium black It is possible to provide an insulating member exhibiting a high level of reliability and exhibiting a low dielectric constant. Furthermore, when preparing in the state of a resin varnish suitable for producing a sheet-like laminated material, high temperature heat The fading associated with the history can be remarkably suppressed.

薄膜絶縁信頼性を高いレベルにて実現すると共に、低誘電率を呈する絶縁部材をもたらすことが可能であり、さらには、樹脂ワニスの状態で準備する場合に、高温熱履歴に伴う褪色を著しく抑制し得る観点から、(C)成分中の窒化チタンの含有量は、(C)成分の全体質量を100質量%としたとき、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは25質量%以上、30質量%以上、35質量%以上、又は40質量%以上、特に好ましくは45質量%以上、50質量%以上、55質量%以上、又は60質量%以上である。該含有量の上限は、通常、80質量%以下、75質量%以下である。   It is possible to achieve thin film insulation reliability at a high level, and to provide an insulating member exhibiting a low dielectric constant. Furthermore, when prepared in the state of a resin varnish, the discoloration associated with high-temperature thermal history is remarkably suppressed. In view of the possibility, the content of titanium nitride in the component (C) is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and further preferably, when the total mass of the component (C) is 100% by mass. Is 25% by mass or more, 30% by mass or more, 35% by mass or more, or 40% by mass or more, particularly preferably 45% by mass or more, 50% by mass or more, 55% by mass or more, or 60% by mass or more. The upper limit of the content is usually 80% by mass or less and 75% by mass or less.

一実施形態において、(C)成分中の窒化チタンと酸化チタン(一酸化チタン、二酸化チタン等)との質量比[窒化チタン/酸化チタン]は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、さらに好ましくは0.25以上、0.3以上、0.35以上、0.4以上、特に好ましくは0.45以上、0.5以上、0.55以上、又は0.6以上である。該質量比の上限は、通常、0.8以下、0.75以下である。   In one embodiment, the mass ratio [titanium nitride / titanium oxide] of titanium nitride and titanium oxide (titanium monoxide, titanium dioxide, etc.) in component (C) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.00. 2 or more, more preferably 0.25 or more, 0.3 or more, 0.35 or more, 0.4 or more, particularly preferably 0.45 or more, 0.5 or more, 0.55 or more, or 0.6 or more. is there. The upper limit of the mass ratio is usually 0.8 or less and 0.75 or less.

(C)成分の平均粒子径は特に限定されないが、適度な粘度を有する樹脂組成物が得られ易い観点から、好ましくは10nm以上、より好ましくは20nm以上、さらに好ましくは30nm以上、40nm以上、又は50nm以上である。該平均粒子径の上限は、良好な充填密度を実現する観点から、好ましくは3μm以下、より好ましくは2μm以下、さらに好ましくは1.5μm以下、1μm以下、0.8μm以下、又は0.5μm以下である。(C)成分の平均粒子径は、後述する(F)成分の平均粒子径について説明する方法と同様にして測定することができる。   The average particle diameter of the component (C) is not particularly limited, but is preferably 10 nm or more, more preferably 20 nm or more, further preferably 30 nm or more, 40 nm or more, or from the viewpoint of easily obtaining a resin composition having an appropriate viscosity. It is 50 nm or more. The upper limit of the average particle diameter is preferably 3 μm or less, more preferably 2 μm or less, still more preferably 1.5 μm or less, 1 μm or less, 0.8 μm or less, or 0.5 μm or less from the viewpoint of realizing a good packing density. It is. The average particle size of the component (C) can be measured in the same manner as described for the average particle size of the component (F) described later.

(C)成分として、チタンブラックをそのまま使用してもよい。あるいはまた、分散性を向上させて所期の黒色を呈する樹脂組成物(ひいては絶縁部材)を得る観点から、その表面を分散剤により処理したチタンブラックを使用してもよい。   As the component (C), titanium black may be used as it is. Alternatively, titanium black whose surface is treated with a dispersant may be used from the viewpoint of obtaining a resin composition (and consequently an insulating member) that exhibits a desired black color by improving dispersibility.

(C)成分の具体例としては、三菱マテリアルズ(株)製の「13MC」、「13M」、「12S」、「13MT」が挙げられる。   Specific examples of the component (C) include “13MC”, “13M”, “12S”, and “13MT” manufactured by Mitsubishi Materials Corporation.

樹脂組成物中の(C)成分の含有量は、所期の黒色を呈すると共に低誘電率の絶縁部材を実現する観点から、0.5〜10質量%の範囲である。(C)成分の含有量の下限は、好ましくは0.7質量%以上、0.9質量%以上、又は1質量%以上である。(C)成分の含有量の上限は、好ましくは9.5質量%以下、9質量%以下、又は8.5質量%以下である。また、高温熱履歴に伴う褪色を抑制する観点から、(B)成分に対する(C)成分の質量比((C)成分/(B)成分)は、好ましくは100以下、より好ましくは80以下、60以下、50以下、40以下、30以下又は20以下である。該質量比の下限は特に限定されないが、好ましくは0.0125以上、より好ましくは0.02以上、0.03以上、0.04以上又は0.05以上である。   The content of the component (C) in the resin composition is in the range of 0.5 to 10% by mass from the viewpoint of realizing the desired black color and realizing an insulating member having a low dielectric constant. (C) Preferably the minimum of content of a component is 0.7 mass% or more, 0.9 mass% or more, or 1 mass% or more. (C) Preferably the upper limit of content of a component is 9.5 mass% or less, 9 mass% or less, or 8.5 mass% or less. In addition, from the viewpoint of suppressing discoloration associated with high-temperature heat history, the mass ratio of the (C) component to the (B) component ((C) component / (B) component) is preferably 100 or less, more preferably 80 or less. 60 or less, 50 or less, 40 or less, 30 or less, or 20 or less. The lower limit of the mass ratio is not particularly limited, but is preferably 0.0125 or more, more preferably 0.02 or more, 0.03 or more, 0.04 or more, or 0.05 or more.

<(D)有機溶剤>
本発明の樹脂組成物は、(D)有機溶剤(「(D)成分」ともいう。)を含む。(D)成分を含むことにより、本発明の樹脂組成物は、樹脂ワニス(樹脂インク)の状態で準備することができ、シート状積層材料の作製に好適に使用することができる。
<(D) Organic solvent>
The resin composition of the present invention contains (D) an organic solvent (also referred to as “(D) component”). By including (D) component, the resin composition of this invention can be prepared in the state of a resin varnish (resin ink), and can be used conveniently for preparation of a sheet-like laminated material.

有機溶剤としては、1気圧下での沸点が好ましくは160℃以下、より好ましくは150℃以下、さらに好ましくは140℃以下、130℃以下、又は120℃以下の有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   As the organic solvent, an organic solvent having a boiling point at 1 atm of preferably 160 ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or lower, further preferably 140 ° C. or lower, 130 ° C. or lower, or 120 ° C. or lower is preferable. Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, cellosolve and butyl carbitol, etc. Carbitols, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc), and N-methylpyrrolidone. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

樹脂組成物中の(D)成分の含有量は、他の成分と共に樹脂ワニスの状態で樹脂組成物を調製し得る限り特に限定されない。(D)成分の含有量は、樹脂組成物全体の質量を100質量%としたとき、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは15質量%以上、又は20質量%以上である。(D)成分の含有量の上限は、好ましくは60質量%以下、より好ましくは55質量%以下、50質量%以下、45質量%以下又は40質量%以下である。   The content of the component (D) in the resin composition is not particularly limited as long as the resin composition can be prepared in a resin varnish together with other components. The content of the component (D) is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, further preferably 15% by mass or more, or 20% by mass when the mass of the entire resin composition is 100% by mass. That's it. (D) Preferably the upper limit of content of a component is 60 mass% or less, More preferably, it is 55 mass% or less, 50 mass% or less, 45 mass% or less, or 40 mass% or less.

<その他の成分>
本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、熱可塑性樹脂、無機充填材、硬化剤、硬化促進剤、難燃剤及び有機充填材からなる群から選択される1種以上の添加剤をさらに含有していてもよい。
<Other ingredients>
The resin composition of the present invention further contains one or more additives selected from the group consisting of a thermoplastic resin, an inorganic filler, a curing agent, a curing accelerator, a flame retardant, and an organic filler, if necessary. You may do it.

−(E)熱可塑性樹脂−
本発明の樹脂組成物は、(E)熱可塑性樹脂(「(E)成分」ともいう。)をさらに含んでもよい。本発明の樹脂組成物が(E)成分を含む場合、薄膜絶縁信頼性に優れ、高温熱履歴に伴う褪色を抑制することが可能な、黒色を呈する低誘電率の絶縁部材をもたらすという所期の効果を奏しつつ、更に良好な柔軟性(ひいては優れたクラック耐性)を呈する絶縁部材を実現することが可能である。
-(E) Thermoplastic resin-
The resin composition of the present invention may further contain (E) a thermoplastic resin (also referred to as “(E) component”). When the resin composition of the present invention contains the component (E), it is expected to provide a low dielectric constant insulating member exhibiting black color, which has excellent thin film insulation reliability and can suppress discoloration associated with high-temperature heat history. It is possible to realize an insulating member exhibiting the above effect and exhibiting better flexibility (and thus excellent crack resistance).

熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, and polyether. Examples include ether ketone resins and polyester resins. A thermoplastic resin may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は8,000〜70,000の範囲が好ましく、10,000〜60,000の範囲がより好ましく、20,000〜60,000の範囲がさらに好ましい。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is preferably in the range of 8,000 to 70,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase, and can be calculated using a standard polystyrene calibration curve.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学(株)製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」、「YL6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学(株)製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学(株)製の「YX7553」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene Examples thereof include phenoxy resins having a skeleton and one or more skeletons selected from the group consisting of a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. A phenoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Specific examples of the phenoxy resin include “1256” and “4250” (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resin), “YX8100” (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin), and “YX6954” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. "YL6954" (bisphenol acetophenone skeleton-containing phenoxy resin), "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., "YX7553", "YL6794" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "YL7213", "YL7290", "YL7482", etc. are mentioned.

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、例えば、電気化学工業(株)製の「電化ブチラール4000−2」、「電化ブチラール5000−A」、「電化ブチラール6000−C」、「電化ブチラール6000−EP」、積水化学工業(株)製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。   Examples of the polyvinyl acetal resin include a polyvinyl formal resin and a polyvinyl butyral resin, and a polyvinyl butyral resin is preferable. Specific examples of the polyvinyl acetal resin include, for example, “Electrical butyral 4000-2”, “Electrical butyral 5000-A”, “Electrical butyral 6000-C”, and “Electrical butyral 6000-EP” manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. Sekisui Chemical Co., Ltd.'s S-REC BH series, BX series, KS series, BL series, BM series and the like.

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化(株)製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報記載のもの)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報及び特開2000−319386号公報等に記載のもの)等の変性ポリイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyimide resin include “Rika Coat SN20” and “Rika Coat PN20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. Specific examples of the polyimide resin include linear polyimide obtained by reacting a bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride (described in JP-A-2006-37083), a polysiloxane skeleton. Examples thereof include modified polyimides such as containing polyimide (described in JP-A No. 2002-12667 and JP-A No. 2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績(株)製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業(株)製のポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド「KS9100」、「KS9300」等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyamide-imide resin include “Bilomax HR11NN” and “Bilomax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamideimide resin also include modified polyamideimides such as polysiloxane skeleton-containing polyamideimides “KS9100” and “KS9300” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学(株)製の「PES5003P」等が挙げられる。   Specific examples of the polyethersulfone resin include “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ(株)製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。   Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.

(E)成分を使用する場合、樹脂組成物中の(E)成分の含有量は、本発明の所期の効果を奏しつつクラック耐性にも優れる絶縁部材を得る観点から、好ましくは0.5質量%以上、より好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは1.5質量%以上、2質量%以上、2.5質量%以上、又は3質量%以上である。(E)成分の含有量の上限は特に限定されないが、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下又は10質量%以下である。   When the component (E) is used, the content of the component (E) in the resin composition is preferably 0.5 from the viewpoint of obtaining an insulating member that exhibits the desired effect of the present invention and is also excellent in crack resistance. It is at least 1% by mass, more preferably at least 1% by mass, even more preferably at least 1.5% by mass, at least 2% by mass, at least 2.5% by mass, or at least 3% by mass. Although the upper limit of content of (E) component is not specifically limited, Preferably it is 20 mass% or less, More preferably, it is 15 mass% or less or 10 mass% or less.

−(F)無機充填材−
本発明の樹脂組成物は、(F)無機充填材(「(F)成分」ともいう。)をさらに含んでもよい。本発明の樹脂組成物が(F)成分を含む場合、線熱膨張係数が一層低い絶縁部材を実現することが可能である。
-(F) Inorganic filler-
The resin composition of the present invention may further contain (F) an inorganic filler (also referred to as “(F) component”). When the resin composition of the present invention contains the component (F), it is possible to realize an insulating member having a lower linear thermal expansion coefficient.

無機充填材の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられ、シリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。またシリカとしては球形シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。市販されている球形シリカとして、(株)アドマテックス製「SO−C2」、「SO−C1」、Unimin社製「IMSIL A−8」、「IMSIL A−10」等が挙げられる。   The material of the inorganic filler is not particularly limited. For example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, water Aluminum oxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide , Zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate, and silica is particularly suitable. That. Examples of the silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. As silica, spherical silica is preferable. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Examples of commercially available spherical silica include “SO-C2” and “SO-C1” manufactured by Admatechs Co., Ltd., “IMSIL A-8” and “IMSIL A-10” manufactured by Unimin.

無機充填材の平均粒径は、好ましくは4μm以下、より好ましくは3μm以下、さらに好ましくは2.5μm以下、さらにより好ましくは2μm以下、特に好ましくは1μm以下、0.7μm以下、又は0.5μm以下である。無機充填材の平均粒径の下限は、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.03μm以上、さらに好ましくは0.05μm以上、0.07μm以上、又は0.1μm以上である。無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製「LA−500」、「LA−750」、「LA−950」等を使用することができる。   The average particle size of the inorganic filler is preferably 4 μm or less, more preferably 3 μm or less, even more preferably 2.5 μm or less, even more preferably 2 μm or less, particularly preferably 1 μm or less, 0.7 μm or less, or 0.5 μm. It is as follows. The lower limit of the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.03 μm or more, still more preferably 0.05 μm or more, 0.07 μm or more, or 0.1 μm or more. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be created on a volume basis by a laser diffraction particle size distribution measuring device, and the median diameter can be measured as the average particle diameter. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction type particle size distribution measuring device, “LA-500”, “LA-750”, “LA-950”, etc. manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、アルコキシシラン化合物、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤などの1種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)等が挙げられる。   Inorganic fillers include aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, alkoxysilane compounds, organosilazane compounds, titanate coupling agents and the like from the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility. It is preferable to treat with one or more surface treatment agents. Examples of commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxy manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Silane), Shin-Etsu Chemical "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "SZ-31" (Hexamethyldisilazane) manufactured by Co., Ltd.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上がさらに好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下がさらに好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. Carbon content per unit surface area of the inorganic filler, from the viewpoint of improving dispersibility of the inorganic filler is preferably 0.02 mg / m 2 or more, 0.1 mg / m 2 or more preferably, 0.2 mg / m 2 The above is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of preventing the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity in the sheet form, 1 mg / m 2 or less is preferable, 0.8 mg / m 2 or less is more preferable, and 0.5 mg / m 2 or less is further included. preferable.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、(株)堀場製作所製「EMIA−320V」等を使用することができる。   The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent and ultrasonically cleaned at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid, the carbon amount per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, “EMIA-320V” manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

(F)成分を使用する場合、線熱膨張係数の低い絶縁部材を得る観点から、樹脂組成物中の(F)成分の含有量は、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、20質量%以上又は30質量%以上である。(F)成分の含有量の上限は、得られる絶縁部材の機械強度の観点から、好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、70質量%以下、60質量%以下又は50質量%以下である。   When using the component (F), from the viewpoint of obtaining an insulating member having a low coefficient of linear thermal expansion, the content of the component (F) in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more. , 20% by mass or more, or 30% by mass or more. The upper limit of the content of the component (F) is preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, 70% by mass or less, 60% by mass or less, or 50% by mass from the viewpoint of mechanical strength of the obtained insulating member. It is as follows.

−(G)硬化剤−
本発明の樹脂組成物は、(G)硬化剤(「(G)成分」ともいう。)をさらに含んでもよい。ここで、(G)成分は、(B)成分とは異なる成分、すなわち、フェノール性水酸基を有する硬化剤以外の硬化剤である。
-(G) Curing agent-
The resin composition of the present invention may further contain (G) a curing agent (also referred to as “(G) component”). Here, the component (G) is a component different from the component (B), that is, a curing agent other than the curing agent having a phenolic hydroxyl group.

(G)成分としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されず、例えば、活性エステル系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。(G)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   The component (G) is not particularly limited as long as it has a function of curing the epoxy resin, and examples thereof include an active ester curing agent, a cyanate ester curing agent, a benzoxazine curing agent, and a carbodiimide curing agent. (G) A component may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular as an active ester type hardening | curing agent, Generally ester groups with high reaction activity, such as phenol ester, thiophenol ester, N-hydroxyamine ester, ester of heterocyclic hydroxy compound, are in 1 molecule. A compound having two or more in the above is preferably used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, Benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac and the like. Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of a phenol novolak, and an active ester compound containing a benzoylated product of a phenol novolak are preferred. Of these, active ester compounds containing a naphthalene structure and active ester compounds containing a dicyclopentadienyl diphenol structure are more preferred.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物として「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱化学(株)製)などが挙げられる。   Commercially available active ester curing agents include "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000-65T" (made by DIC Corporation) as active ester compounds containing a dicyclopentadienyl diphenol structure. ), “EXB9416-70BK” (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, “DC808” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and benzoyl of phenol novolac Examples of the active ester compound containing a compound include “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート))、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。   Examples of the cyanate ester curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate)), 4,4′-methylene bis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4, 4'-ethylidenediphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5- Bifunctional cyanate resins such as dimethylphenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether; Phenol novolac and Polyfunctional cyanate resin derived from resol novolac, these cyanate resins and partially triazine of prepolymer. Specific examples of the cyanate ester curing agent include “PT30” and “PT60” (both phenol novolak polyfunctional cyanate ester resins) and “BA230” (part or all of bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. And the like, and the like, and the like.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。   Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル(株)製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。   Specific examples of the carbodiimide curing agent include “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.

エポキシ樹脂と硬化剤[フェノール性水酸基を有する硬化剤及び(G)成分]との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.2〜1:2の範囲が好ましく、1:0.3〜1:1.5がより好ましく、1:0.4〜1:1がさらに好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。   The amount ratio between the epoxy resin and the curing agent [curing agent having phenolic hydroxyl group and component (G)] is a ratio of [total number of epoxy groups of epoxy resin]: [total number of reactive groups of curing agent], The range of 1: 0.2 to 1: 2 is preferable, 1: 0.3 to 1: 1.5 is more preferable, and 1: 0.4 to 1: 1 is more preferable. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group or the like, and varies depending on the type of the curing agent. Moreover, the total number of epoxy groups of the epoxy resin is a value obtained by dividing the value obtained by dividing the solid mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the total number of reactive groups of the curing agent is: The value obtained by dividing the solid mass of each curing agent by the reactive group equivalent is the total value for all curing agents. By setting the amount ratio of the epoxy resin and the curing agent in such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

−(H)硬化促進剤−
本発明の樹脂組成物は、(H)硬化促進剤(「(H)成分」ともいう。)をさらに含んでもよい。(H)成分としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤がより好ましい。(H)成分は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。(H)成分を使用する場合、樹脂組成物中の(H)成分の含有量は特に限定されないが、0.05質量%〜3質量%の範囲で使用することが好ましい。
-(H) Curing accelerator-
The resin composition of the present invention may further contain (H) a curing accelerator (also referred to as “(H) component”). Examples of the component (H) include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, and imidazoles. Type curing accelerators are preferred, and amine type curing accelerators and imidazole type curing accelerators are more preferred. (H) A component may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type. When the component (H) is used, the content of the component (H) in the resin composition is not particularly limited, but it is preferably used in the range of 0.05% by mass to 3% by mass.

−(I)有機充填材−
本発明の樹脂組成物は、(I)有機充填材(「(I)成分」ともいう。)をさらに含んでもよい。(I)成分としては、電子回路部品の絶縁部材を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子等が挙げられ、ゴム粒子が好ましい。ゴム粒子としては、市販品を用いてもよく、例えば、アイカ工業(株)製の「AC3816N」等が挙げられる。(I)成分を使用する場合、樹脂組成物中の(I)成分の含有量は特に限定されないが、1質量%〜20質量%の範囲で使用することが好ましい。
-(I) Organic filler-
The resin composition of the present invention may further contain (I) an organic filler (also referred to as “component (I)”). As the component (I), any organic filler that can be used for forming an insulating member of an electronic circuit component may be used. Examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, silicone particles, and the like, and rubber particles are preferable. . A commercially available product may be used as the rubber particles, and examples thereof include “AC3816N” manufactured by Aika Industry Co., Ltd. When using (I) component, content of (I) component in a resin composition is although it does not specifically limit, It is preferable to use in the range of 1 mass%-20 mass%.

本発明の樹脂組成物は、さらに必要に応じて、他の添加剤を含んでいてもよく、斯かる他の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに増粘剤、消泡剤、レベリング剤、及び密着性付与剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。   The resin composition of the present invention may further contain other additives as necessary. Examples of such other additives include organic copper compounds, organic zinc compounds, and organic cobalt compounds. Examples include metal compounds and resin additives such as thickeners, antifoaming agents, leveling agents, and adhesion-imparting agents.

本発明の樹脂組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、配合成分を、回転ミキサーなどを用いて混合・分散する方法などが挙げられる。   The method for preparing the resin composition of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a method of mixing and dispersing the compounding components using a rotary mixer or the like.

本発明の樹脂組成物の粘度(23℃)は、好ましくは50mPa・s〜5Pa・s、より好ましくは100mPa・s〜1Pa・sである。   The viscosity (23 ° C.) of the resin composition of the present invention is preferably 50 mPa · s to 5 Pa · s, more preferably 100 mPa · s to 1 Pa · s.

本発明の樹脂組成物を用いて形成した絶縁部材は、黒色を呈する。例えば、本発明の樹脂組成物を用いて形成した絶縁部材の明度指数(dL)は、200μm厚において、好ましくは−62未満、より好ましくは−63未満、さらに好ましくは−64未満、−66未満、−68未満、又は−70未満である。明度指数(dL)は、後述の<明度指数dLの測定>に記載の方法に従って測定することができる。   The insulating member formed using the resin composition of the present invention exhibits a black color. For example, the lightness index (dL) of the insulating member formed using the resin composition of the present invention is preferably less than −62, more preferably less than −63, even more preferably less than −64, and less than −66 at a thickness of 200 μm. , Less than −68, or less than −70. The brightness index (dL) can be measured according to the method described in <Measurement of brightness index dL> described later.

本発明の樹脂組成物を用いて形成した絶縁部材は、高温熱履歴に伴う褪色を著しく抑制することができる。例えば、本発明の樹脂組成物を用いて形成した絶縁部材は、3回のリフロー処理(最高温度260℃)に付した後も、高い明度指数(dL)を維持する。3回のリフロー処理に付す前の明度指数(dL)をdL、3回のリフロー処理に付した後の明度指数(dL)をdLとしたとき、本発明の樹脂組成物を用いて形成した絶縁部材(200μm厚)は、dLとdLの差|dL−dL|が、好ましくは3以下、より好ましくは2以下、1以下、又は0である。 The insulating member formed using the resin composition of the present invention can remarkably suppress discoloration associated with high temperature heat history. For example, an insulating member formed using the resin composition of the present invention maintains a high lightness index (dL) even after being subjected to three reflow treatments (maximum temperature 260 ° C.). When the lightness index (dL) before being subjected to three reflow treatments is dL 0 , and the lightness index (dL) after being subjected to three reflow treatments is dL 3 , the resin composition of the present invention is used. In the insulating member (thickness: 200 μm), the difference | dL 0 −dL 3 | between dL 0 and dL 3 is preferably 3 or less, more preferably 2 or less, 1 or less, or 0.

本発明の樹脂組成物は、薄膜絶縁信頼性に優れ、高温熱履歴に伴う褪色を抑制することが可能な、黒色を呈する低誘電率の絶縁部材を実現できる。したがって本発明の樹脂組成物は、黒色に着色することが求められる電子回路部品の絶縁部材を形成するために好適に使用することができる。例えば、本発明の樹脂組成物は、プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)、又は、半導体を封止するための樹脂組成物(半導体封止用樹脂組成物)として好適に使用することができる。   The resin composition of the present invention can realize a low dielectric constant insulating member exhibiting black color, which has excellent thin film insulation reliability and can suppress discoloration associated with high-temperature heat history. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used for forming an insulating member of an electronic circuit component that is required to be colored black. For example, the resin composition of the present invention is a resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board (resin composition for an insulating layer of a printed wiring board) or a resin composition for sealing a semiconductor ( It can be suitably used as a semiconductor sealing resin composition).

本発明の樹脂組成物は、シート状積層材料の作製に好適な樹脂ワニスの状態で準備する場合に、高温熱履歴に伴う褪色を著しく抑制することが可能である。したがって本発明の樹脂組成物は、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料を形成するために好適に使用することができる。本発明の樹脂組成物はまた、ソルダーレジスト、アンダーフィル材、ダイボンディング材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。   When the resin composition of the present invention is prepared in the state of a resin varnish suitable for the production of a sheet-like laminated material, it is possible to remarkably suppress the fading accompanying the high temperature heat history. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used for forming sheet-like laminated materials such as adhesive films and prepregs. The resin composition of the present invention can also be used in a wide range of applications where a resin composition is required, such as a solder resist, an underfill material, a die bonding material, a hole-filling resin, and a component-filling resin.

[シート状積層材料]
本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して使用することもできるが、該樹脂組成物から樹脂組成物層を含むシート状積層材料の形態で用いることが好適である。
[Sheet laminated material]
The resin composition of the present invention can be used by being applied in a varnish state, but is preferably used in the form of a sheet-like laminated material including a resin composition layer from the resin composition.

シート状積層材料としては、以下に示す接着フィルム、プリプレグが好ましい。   As the sheet-like laminated material, the following adhesive films and prepregs are preferable.

一実施形態において、接着フィルムは、支持体と、該支持体と接合している樹脂組成物層(接着層)とを含んでなり、樹脂組成物層(接着層)が本発明の樹脂組成物から形成される。   In one embodiment, the adhesive film includes a support and a resin composition layer (adhesive layer) bonded to the support, and the resin composition layer (adhesive layer) is the resin composition of the present invention. Formed from.

本発明のシート状積層材料は、絶縁性に優れる絶縁部材をもたらす。例えば、配線のライン/スペース(L/S)比が5μm/5μmと小さい場合であっても、配線の線間絶縁性に優れる絶縁部材を実現可能である。一実施形態において、樹脂組成物層の厚さは、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、50μm以下又は40μm以下である。本発明のシート状積層材料は、とりわけ薄膜絶縁性に優れる絶縁部材を実現することができる。したがって一実施形態において、樹脂組成物層の厚さは、30μm以下であってもよく、好ましくは20μm以下、より好ましくは15μm以下、14μm以下、13μm以下、12μm以下、11μm以下又は10μm以下であってもよい。本発明のシート状積層材料は、電子回路部品の微細化・薄膜化に著しく寄与するものである。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、0.5μm以上、1μm以上、2μm以上などとし得る。   The sheet-like laminated material of the present invention provides an insulating member having excellent insulating properties. For example, even when the wiring line / space (L / S) ratio is as small as 5 μm / 5 μm, it is possible to realize an insulating member having excellent wiring line insulation. In one embodiment, the thickness of the resin composition layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less, 50 μm or less, or 40 μm or less. The sheet-like laminated material of the present invention can realize an insulating member that is particularly excellent in thin-film insulation. Therefore, in one embodiment, the thickness of the resin composition layer may be 30 μm or less, preferably 20 μm or less, more preferably 15 μm or less, 14 μm or less, 13 μm or less, 12 μm or less, 11 μm or less, or 10 μm or less. May be. The sheet-like laminated material of the present invention significantly contributes to the miniaturization and thinning of electronic circuit components. Although the minimum of the thickness of a resin composition layer is not specifically limited, Usually, it may be 0.5 micrometer or more, 1 micrometer or more, 2 micrometers or more.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。   Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミドなどが挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), acrylics such as polycarbonate (PC) and polymethyl methacrylate (PMMA). , Cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketone, polyimide and the like. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。   When using metal foil as a support body, as metal foil, copper foil, aluminum foil, etc. are mentioned, for example, Copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.). It may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する側の表面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する側の表面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、オレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型剤の市販品としては、例えば、アルキド樹脂系離型剤である、リンテック(株)製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」などが挙げられる。   The support may be subjected to a mat treatment or a corona treatment on the surface to be joined to the resin composition layer. Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. Examples of the release agent used for the release layer of the support with the release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, olefin resins, urethane resins, and silicone resins. . Examples of commercially available release agents include “SK-1”, “AL-5”, and “AL-7” manufactured by Lintec Corporation, which are alkyd resin release agents.

支持体の厚さは、特に限定されないが、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、支持体が離型層付き支持体である場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。   Although the thickness of a support body is not specifically limited, The range of 5 micrometers-75 micrometers is preferable, and the range of 10 micrometers-60 micrometers is more preferable. In addition, when a support body is a support body with a release layer, it is preferable that the thickness of the whole support body with a release layer is the said range.

接着フィルムは、例えば、樹脂組成物(樹脂ワニス)を、ダイコーターなどを用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。   The adhesive film can be produced, for example, by applying a resin composition (resin varnish) on a support using a die coater or the like and further drying to form a resin composition layer.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の(D)成分の含有量が好ましくは5質量%以下、4質量%以下又は3質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の(D)成分の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の(D)成分を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。   Drying may be performed by a known method such as heating or hot air blowing. The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the component (D) in the resin composition layer is preferably 5% by mass or less, 4% by mass or less, or 3% by mass or less. Depending on the boiling point of the component (D) in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the component (D), it is dried at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. Thus, the resin composition layer can be formed.

接着フィルムにおいて、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。   In the adhesive film, a protective film according to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer that is not joined to the support (that is, the surface opposite to the support). Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, they are 1 micrometer-40 micrometers. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from being attached to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can be stored in a roll. When an adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

一実施形態において、プリプレグは、シート状繊維基材に本発明の樹脂組成物を含浸し乾燥させて形成される。斯かる実施形態において、樹脂組成物を含浸させた乾燥後のシート状繊維基材の全体を指して「樹脂組成物層」と称する。   In one embodiment, the prepreg is formed by impregnating the sheet-like fiber base material with the resin composition of the present invention and drying. In such an embodiment, the whole dried sheet-like fiber base impregnated with the resin composition is referred to as a “resin composition layer”.

プリプレグに用いるシート状繊維基材は特に限定されず、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。シート状繊維基材の厚さは、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、50μm以下又は40μm以下である。電子回路部品の微細化・薄膜化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは30μm以下であり、より好ましくは20μm以下、さらに好ましくは15μm以下、14μm以下、13μm以下、12μm以下、11μm以下又は10μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されないが、通常、5μm以上である。   The sheet-like fiber base material used for a prepreg is not specifically limited, What is used normally as base materials for prepregs, such as a glass cloth, an aramid nonwoven fabric, a liquid crystal polymer nonwoven fabric, can be used. The thickness of the sheet-like fiber base material is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less, 50 μm or less, or 40 μm or less. From the viewpoint of miniaturization / thinning of electronic circuit components, the thickness of the sheet-like fiber base material is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, further preferably 15 μm or less, 14 μm or less, 13 μm or less, 12 μm or less. , 11 μm or less, or 10 μm or less. Although the minimum of the thickness of a sheet-like fiber base material is not specifically limited, Usually, it is 5 micrometers or more.

プリプレグにおける樹脂組成物層の厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層の厚さと同様の範囲とし得る。   The thickness of the resin composition layer in the prepreg can be in the same range as the thickness of the resin composition layer in the adhesive film described above.

所定量のチタンブラックと組み合わせて、フェノール性水酸基を有する化合物を含有すると共に、有機溶剤を含有する本発明の樹脂組成物を用いて形成したシート状積層材料は、本来的にチタンブラックに期待される薄膜絶縁信頼性を高いレベルにて実現すると共に、低誘電率を呈する絶縁部材をもたらすことが可能であり、さらには、高温熱履歴に伴う褪色を著しく抑制することができる。したがって本発明のシート状積層材料は、黒色に着色することが求められる電子回路部品の絶縁部材を形成するために好適に使用することができる。例えば、本発明のシート状積層材料は、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)、又は、半導体を封止するため(半導体封止用)に好適に使用することができる。   A sheet-like laminated material formed using the resin composition of the present invention containing a compound having a phenolic hydroxyl group in combination with a predetermined amount of titanium black and containing an organic solvent is inherently expected for titanium black. In addition, it is possible to provide an insulating member exhibiting a low dielectric constant and a fading associated with high-temperature thermal history. Therefore, the sheet-like laminated material of the present invention can be suitably used for forming an insulating member of an electronic circuit component that is required to be colored black. For example, the sheet-like laminated material of the present invention is suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board) or for sealing a semiconductor (for semiconductor sealing). be able to.

[プリント配線板及びその製造方法]
本発明のプリント配線板は、本発明のシート状積層材料の樹脂組成物層を熱硬化して得られた絶縁層を含む。
[Printed wiring board and manufacturing method thereof]
The printed wiring board of this invention contains the insulating layer obtained by thermosetting the resin composition layer of the sheet-like laminated material of this invention.

本発明のプリント配線板は、本発明のシート状積層材料を内層基板上に積層し、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成することにより製造することができる。ここで、「内層基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板、又は該基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された回路基板をいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用すればよい。   The printed wiring board of this invention can be manufactured by laminating | stacking the sheet-like laminated material of this invention on an inner layer board | substrate, and thermosetting a resin composition layer and forming an insulating layer. Here, the “inner layer substrate” is mainly patterned on a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or one or both sides of the substrate. A circuit board on which a conductive layer (circuit) is formed. Further, when the printed wiring board is manufactured, an inner layer circuit board of an intermediate product in which an insulating layer and / or a conductor layer is further formed is also included in the “inner layer board” in the present invention. When the printed wiring board is a component built-in circuit board, an inner layer board with built-in components may be used.

一実施形態において、本発明のプリント配線板は、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
In one Embodiment, the printed wiring board of this invention can be manufactured by the method including the process of following (I) and (II) using the above-mentioned adhesive film.
(I) A step of laminating an adhesive film on an inner layer substrate so that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner layer substrate (II) A step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer

工程(I)において、内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。   In step (I), the inner layer substrate and the adhesive film can be laminated by, for example, thermocompression bonding the adhesive film to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member that heat-presses the adhesive film to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as “heat-pressing member”) include a heated metal plate (SUS end plate, etc.) or a metal roll (SUS roll). In addition, it is preferable not to press the thermocompression bonding member directly on the adhesive film but to press it through an elastic material such as heat resistant rubber so that the adhesive film sufficiently follows the surface irregularities of the inner layer substrate.

内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃〜160℃、より好ましくは80℃〜140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。   Lamination of the inner layer substrate and the adhesive film may be performed by a vacuum laminating method. In the vacuum laminating method, the thermocompression bonding temperature is preferably in the range of 60 ° C to 160 ° C, more preferably 80 ° C to 140 ° C, and the thermocompression bonding pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. The thermocompression bonding time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably performed under reduced pressure conditions with a pressure of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ(株)製のバキュームアップリケーター等が挙げられる。   Lamination can be performed with a commercially available vacuum laminator. Examples of the commercially available vacuum laminator include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., and the like.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。   After lamination, the laminated adhesive film may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment can be the same conditions as the thermocompression bonding conditions for the laminate. The smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. In addition, you may perform lamination | stacking and a smoothing process continuously using said commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。   The support may be removed between step (I) and step (II), or may be removed after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。   In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer.

樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。   The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and the conditions normally employed when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜220℃の範囲、より好ましくは170℃〜200℃の範囲)、硬化時間は5分間〜120分間の範囲(好ましくは10分間〜100分間、より好ましくは15分間〜90分間)とすることができる。   For example, although the thermosetting conditions of the resin composition layer vary depending on the type of the resin composition, the curing temperature is in the range of 120 ° C to 240 ° C (preferably in the range of 150 ° C to 220 ° C, more preferably in the range of 170 ° C to 200 ° C.) and the curing time can be in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。   Before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is formed at a temperature of 50 ° C. or higher and lower than 120 ° C. (preferably 60 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, more preferably 70 ° C. or higher and 100 ° C. or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)絶縁層表面に導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。   When manufacturing a printed wiring board, (III) a step of drilling an insulating layer, (IV) a step of roughening the insulating layer, and (V) a step of forming a conductor layer on the surface of the insulating layer may be further performed. Good. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art, which are used in the production of printed wiring boards. In addition, when removing a support body after process (II), removal of this support body is performed between process (II) and process (III), between process (III) and process (IV), or process ( It may be carried out between IV) and step (V).

他の実施形態において、本発明のプリント配線板は、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に接着フィルムを用いる場合と同様である。   In another embodiment, the printed wiring board of the present invention can be manufactured using the prepreg described above. The manufacturing method is basically the same as when an adhesive film is used.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。   Step (III) is a step of making a hole in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃〜90℃の膨潤液に絶縁層を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃〜80℃の膨潤液に硬化体を5分間〜15分間浸漬させることが好ましい。酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃〜70℃の中和液に5分間〜20分間浸漬する方法が好ましい。   Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions for the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are usually used when forming an insulating layer of a printed wiring board can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order. Although it does not specifically limit as a swelling liquid, An alkaline solution, surfactant solution, etc. are mentioned, Preferably it is an alkaline solution, As this alkaline solution, a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferable. Examples of commercially available swelling liquids include “Swelling Dip Securigans P” and “Swelling Dip Securigans SBU” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. Although the swelling process by a swelling liquid is not specifically limited, For example, it can perform by immersing an insulating layer for 1 minute-20 minutes in 30 degreeC-90 degreeC swelling liquid. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the cured body in a swelling liquid at 40 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 15 minutes. Although it does not specifically limit as an oxidizing agent, For example, the alkaline permanganate solution which melt | dissolved potassium permanganate and sodium permanganate in the aqueous solution of sodium hydroxide is mentioned. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganic acid solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as “Concentrate Compact CP” and “Dosing Solution Securigans P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The neutralizing solution is preferably an acidic aqueous solution. Examples of commercially available products include “Reduction Solution Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The treatment with the neutralizing solution can be performed by immersing the treated surface subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30 to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability and the like, a method of immersing an object subjected to roughening treatment with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 ° C. to 70 ° C. for 5 minutes to 20 minutes is preferable.

工程(V)は、導体層を形成する工程である。   Step (V) is a step of forming a conductor layer.

導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。   The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer is one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. As the alloy layer, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, nickel-chromium alloy, copper- A layer formed from a nickel alloy and a copper / titanium alloy). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel / chromium alloy, copper / An alloy layer of nickel alloy or copper / titanium alloy is preferable, and a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of nickel / chromium alloy is more preferable, and a single layer of copper is preferable. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。   The conductor layer may have a single layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel / chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm〜35μm、好ましくは5μm〜30μmである。   Although the thickness of a conductor layer is based on the design of a desired printed wiring board, generally it is 3 micrometers-35 micrometers, Preferably it is 5 micrometers-30 micrometers.

一実施形態において、導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。   In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, the surface of the insulating layer can be plated by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full additive method to form a conductor layer having a desired wiring pattern.

他の実施形態において、導体層は、金属箔を使用して形成してよい。金属箔を使用して導体層を形成する場合、工程(V)は、工程(I)と工程(II)の間に実施することが好適である。例えば、工程(I)の後、支持体を除去し、露出した樹脂組成物層の表面に金属箔を積層する。樹脂組成物層と金属箔との積層は、真空ラミネート法により実施してよい。積層の条件は、工程(I)について説明した条件と同様としてよい。次いで、工程(II)を実施して絶縁層を形成する。その後、絶縁層上の金属箔を利用して、サブトラクティブ法、モディファイドセミアディティブ法等の従来の公知の技術により、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。   In other embodiments, the conductor layer may be formed using a metal foil. When forming a conductor layer using metal foil, it is suitable to implement process (V) between process (I) and process (II). For example, after the step (I), the support is removed, and a metal foil is laminated on the exposed surface of the resin composition layer. Lamination of the resin composition layer and the metal foil may be performed by a vacuum laminating method. The conditions for stacking may be the same as those described for step (I). Next, step (II) is performed to form an insulating layer. Thereafter, using the metal foil on the insulating layer, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by a conventionally known technique such as a subtractive method or a modified semi-additive method.

金属箔は、例えば、電解法、圧延法等の公知の方法により製造することができる。金属箔の市販品としては、例えば、JX金属(株)製のHLP箔、JXUT−III箔、三井金属鉱業(株)製の3EC−III箔、TP−III箔等が挙げられる。   The metal foil can be produced by a known method such as an electrolytic method or a rolling method. Examples of commercially available metal foils include HLP foils manufactured by JX Metals, JXUT-III foils, 3EC-III foils and TP-III foils manufactured by Mitsui Metal Mining Co., Ltd.

本発明のシート状積層材料を使用することにより、薄膜絶縁信頼性に優れ、高温熱履歴に伴う褪色を抑制することが可能な、黒色を呈する低誘電率の絶縁層を備えたプリント配線板を製造することが可能である。   By using the sheet-like laminated material of the present invention, a printed wiring board having a low dielectric constant insulating layer exhibiting black color, which has excellent thin film insulation reliability and can suppress discoloration associated with high-temperature thermal history. It is possible to manufacture.

[半導体パッケージ及びその製造方法]
本発明の半導体パッケージは、回路基板と、該回路基板に実装された半導体と、該半導体を封止する封止材とを含み、封止材が、本発明のシート状積層材料の樹脂組成物層の硬化物から形成されていることが特徴である。ここで、本発明の半導体パッケージを構成する回路基板、半導体の構造・種類は特に限定されず、半導体パッケージを形成するに際して通常使用される任意の回路基板、半導体を使用してよい。
[Semiconductor package and manufacturing method thereof]
The semiconductor package of the present invention includes a circuit board, a semiconductor mounted on the circuit board, and a sealing material for sealing the semiconductor, and the sealing material is a resin composition of the sheet-like laminated material of the present invention. It is characterized by being formed from a cured product of the layer. Here, the structure and type of the circuit board and semiconductor constituting the semiconductor package of the present invention are not particularly limited, and any circuit board or semiconductor that is normally used when forming the semiconductor package may be used.

本発明の半導体パッケージは、本発明のシート状積層材料の樹脂組成物層により半導体を封止することにより製造することができる。半導体を封止する際の条件は特に限定されず、半導体パッケージを製造するに際して通常使用される任意の封止条件を採用してよい。   The semiconductor package of this invention can be manufactured by sealing a semiconductor with the resin composition layer of the sheet-like laminated material of this invention. Conditions for sealing the semiconductor are not particularly limited, and any sealing conditions that are normally used when manufacturing a semiconductor package may be adopted.

本発明のシート状積層材料を使用することにより、薄膜絶縁信頼性に優れ、高温熱履歴に伴う褪色を抑制することが可能な、黒色を呈する低誘電率の封止材を備えた半導体パッケージを製造することができる。   By using the sheet-like laminated material of the present invention, a semiconductor package provided with a black low-permittivity sealing material that has excellent thin-film insulation reliability and can suppress discoloration associated with high-temperature thermal history Can be manufactured.

[半導体装置]
本発明のプリント配線板又は半導体パッケージを用いて半導体装置を製造することができる。
[Semiconductor device]
A semiconductor device can be manufactured using the printed wiring board or the semiconductor package of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。   Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices used for electrical products (for example, computers, mobile phones, digital cameras, and televisions) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircrafts).

以下、実施例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって何等限定されるものではない。なお、以下の記載中の「部」は別途明示のない限り「質量部」を意味する。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is shown and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not limited at all by the following Examples. In the following description, “part” means “part by mass” unless otherwise specified.

<明度指数dLの測定>
(1)サンプル作成
実施例及び比較例において得られた樹脂組成物(樹脂ワニス)を、離型層付きPETフィルム(リンテック(株)製「PET501010」)の離型層上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布した。その後、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥させて、PETフィルム上に樹脂組成物層を形成した(n=5)。この樹脂組成物層を5枚貼りあわせて厚さ200μmのフィルムを作成し、190℃のオーブンで2時間加熱し、硬化物サンプルを得た。また、得られた硬化物サンプルの一部を切り出しリフロー装置(アントム(株)製「HAS6116」、最高到達温度260℃)にて3回加熱処理を行った。リフロー装置にて3回加熱処理を行った硬化物サンプルを「リフロー3回後のサンプル」、リフロー装置による加熱処理に付さなかった硬化物サンプルを「樹脂硬化後のサンプル」と称す。
<Measurement of brightness index dL>
(1) Sample preparation Resin after drying the resin composition (resin varnish) obtained in Examples and Comparative Examples on the release layer of a PET film with a release layer ("PET501010" manufactured by Lintec Corporation) It apply | coated uniformly with the die-coater so that the thickness of a composition layer might be set to 40 micrometers. Then, it was made to dry at 80-110 degreeC (average 95 degreeC) for 6 minutes, and the resin composition layer was formed on PET film (n = 5). Five sheets of this resin composition layer were bonded together to form a film having a thickness of 200 μm and heated in an oven at 190 ° C. for 2 hours to obtain a cured product sample. Moreover, a part of obtained hardened | cured material sample was cut out, and it heat-processed 3 times with the reflow apparatus ("HAS6116" by Antom Co., Ltd., the highest achieved temperature 260 degreeC). A cured product sample that has been heat-treated three times by a reflow apparatus is referred to as a “sample after three reflows”, and a cured sample that has not been subjected to the heat treatment by the reflow apparatus is referred to as a “sample after resin curing”.

(2)明度指数dLの測定
樹脂硬化後のサンプルとリフロー3回後のサンプルについて、色差計(ミノルタ(株)製「CR−10」)を用いて、白色校正板(ミノルタ(株)製、C0−03用)を基準とし明度指数dLを測定した。明度指数dLの値が、−64未満を「○」、−64以上−62未満を「△」、−62以上を「×」とした。
(2) Measurement of lightness index dL About the sample after resin hardening and the sample after 3 reflows, using a color difference meter ("CR-10" manufactured by Minolta Co., Ltd.), a white calibration plate (manufactured by Minolta Co., Ltd.) The lightness index dL was measured based on C0-03). The value of the lightness index dL was defined as “◯” when less than −64, “Δ” when −64 or more but less than −62, and “×” when −62 or more.

<誘電率の測定>
実施例及び比較例において得られた樹脂ワニスを、離型処理されたPETフィルム(リンテック(株)製「PET501010」)上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥した。その後、窒素雰囲気下にて200℃で90分間熱処理し、PETフィルムから剥離することで硬化物フィルムを得た。
<Measurement of dielectric constant>
The resin varnishes obtained in the examples and comparative examples were placed on a release-treated PET film ("PET501010" manufactured by Lintec Corporation) so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 µm. The film was uniformly coated with a tar and dried at 80 to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 6 minutes. Then, it heat-processed for 90 minutes at 200 degreeC in nitrogen atmosphere, and obtained the hardened | cured material film by peeling from a PET film.

硬化物フィルムを長さ80mm、幅2mmに切り出し評価サンプルとした。この評価サンプルについて、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。5つのの評価サンプルについて測定を行い、平均値を算出した。誘電率の平均値が3.5未満を「〇」、3.5以上を「×」とした。   The cured product film was cut into a length of 80 mm and a width of 2 mm and used as an evaluation sample. With respect to this evaluation sample, dielectric loss tangent was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by a cavity resonance perturbation method using “HP8362B” manufactured by Agilent Technologies. Measurement was performed on five evaluation samples, and an average value was calculated. When the average value of the dielectric constant is less than 3.5, “◯” is given, and when the average value is 3.5 or more, “x” is given.

<層間絶縁性の評価>
(1)接着フィルムの作製
支持体として、離型層付きPETフィルム(リンテック(株)製「AL5」)を用意した。この支持体の離型層上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが12μmとなるように、実施例及び比較例において得られた樹脂ワニスをダイコーターにて均一に塗布した。その後、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥させて接着フィルムを得た。
<Evaluation of interlayer insulation>
(1) Production of Adhesive Film A PET film with a release layer (“AL5” manufactured by Lintec Corporation) was prepared as a support. On the release layer of this support, the resin varnishes obtained in Examples and Comparative Examples were uniformly applied with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 12 μm. Then, it was made to dry at 80-110 degreeC (average 95 degreeC) for 6 minutes, and the adhesive film was obtained.

(2)内層回路基板の下地処理
ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.8mm、松下電工(株)製「R5715ES」)の両面にエッチングにより回路パターンを形成した後、マイクロエッチング剤(メック(株)製「CZ8100」)で粗化処理を行い、内層回路基板を作製した。
(2) Substrate treatment of inner layer circuit board Etching on both sides of glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18μm, substrate thickness 0.8mm, Matsushita Electric Works "R5715ES") After forming a circuit pattern by the above, a roughening process was performed with a micro-etching agent (“CZ8100” manufactured by Mec Co., Ltd.) to produce an inner layer circuit board.

(3)接着フィルムの積層
上記(1)で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP−500」)を用いて、樹脂組成物層が内層回路基板と接合するように、内層回路基板の両面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより実施した。
(3) Lamination of adhesive film The adhesive film produced in (1) above is prepared by using a batch type vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) and the resin composition layer is an inner layer circuit board. Was laminated on both sides of the inner circuit board so as to be bonded to each other. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(4)樹脂組成物層の硬化
接着フィルムの積層後、支持体を剥離し、樹脂組成物層を露出させた。次いで、100℃にて30分間、180℃にて30分間の条件で樹脂組成物層を熱硬化させて絶縁層を形成した。
(4) Curing of resin composition layer After laminating the adhesive film, the support was peeled off to expose the resin composition layer. Subsequently, the resin composition layer was thermoset under the conditions of 100 ° C. for 30 minutes and 180 ° C. for 30 minutes to form an insulating layer.

(5)粗化処理
上記(4)で得られた積層板を、膨潤液(アトテックジャパン(株)製「スウェリング・ディップ・セキュリガントP」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル含有の水酸化ナトリウム水溶液)に60℃で10分間、次いで粗化液(アトテックジャパン(株)製「コンセントレート・コンパクトP」、KMnO:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間、最後に中和液(アトテックジャパン(株)製「リダクションソリューション・セキュリガントP」、硫酸水溶液)に40℃で5分間浸漬した。その後、80℃で30分間乾燥させた。得られた基板を「評価基板A」と称する。
(5) Roughening treatment The laminate obtained in (4) above is applied to a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., sodium hydroxide aqueous solution containing diethylene glycol monobutyl ether). 10 minutes at 80 ° C., then to a roughening solution (Atotech Japan Co., Ltd. “Concentrate Compact P”, KMnO 4 : 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) at 80 ° C. for 20 minutes, and finally neutralized It was immersed for 5 minutes at 40 ° C. in a liquid (“Reduction Solution Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., sulfuric acid aqueous solution). Then, it was dried at 80 ° C. for 30 minutes. The obtained substrate is referred to as “evaluation substrate A”.

(6)セミアディティブ法によるめっき
セミアディティブ法により、評価基板Aに導体層を形成した。具体的には、評価基板Aを、PdClを含む無電解めっき用溶液に40℃で5分間浸漬し、次に無電解銅めっき液に25℃で20分間浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解めっきを行い、30μmの厚さで導体層を形成した。次いで、アニール処理を190℃にて60分間行った。得られた基板を「評価基板B」と称する。
(6) Plating by semi-additive method A conductor layer was formed on the evaluation substrate A by a semi-additive method. Specifically, the evaluation substrate A was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40 ° C. for 5 minutes, and then immersed in an electroless copper plating solution at 25 ° C. for 20 minutes. An annealing treatment was performed by heating at 150 ° C. for 30 minutes, and then an etching resist was formed. After pattern formation by etching, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30 μm. Next, annealing was performed at 190 ° C. for 60 minutes. The obtained substrate is referred to as “evaluation substrate B”.

(7)絶縁試験用テストピースの作製
評価基板Bを10cm×10cmの寸法に切断し、片面に直径1cmのテープを10枚貼った。テープを貼っていない部分のめっきを、塩化鉄(III)を主成分とする40℃のエッチング液によりエッチングした。市水で洗浄した後、テープをはがし、ミリポアろ過を行った純水で洗浄した。その後、100℃のオーブンで15分間乾燥後、190℃のオーブンで60分間硬化した。基板の端の樹脂を削って下地の銅箔を露出させ、10箇所のめっき銅箔の中央と下地の銅箔とに電極として銅線をはんだ付けした。次いで、ジクロロメタン、メタノールで順に洗浄し、130℃のオーブンで30分乾燥させて、テストピースを得た。
(7) Production of test piece for insulation test The evaluation substrate B was cut into a size of 10 cm × 10 cm, and 10 pieces of tape having a diameter of 1 cm were stuck on one side. The plating on the portion where the tape was not applied was etched with an etching solution at 40 ° C. containing iron (III) chloride as a main component. After washing with city water, the tape was peeled off and washed with pure water subjected to Millipore filtration. Then, after drying for 15 minutes in 100 degreeC oven, it hardened | cured for 60 minutes in 190 degreeC oven. The resin at the edge of the substrate was shaved to expose the underlying copper foil, and a copper wire was soldered as an electrode to the center of the 10 plated copper foils and the underlying copper foil. Subsequently, it wash | cleaned in order with a dichloromethane and methanol, and it was made to dry for 30 minutes in 130 degreeC oven, and the test piece was obtained.

(8)抵抗値の測定
上記(7)で得られたテストピースの絶縁抵抗値を、抵抗測定機(J−RAS社製「ECM−100」)にて測定した。その後、テストピースを、HAST試験機(楠本化成(株)製「PM422」)を用いて温度130℃、相対湿度85%の環境に付し、さらに電極の両端に3.3Vの電圧を印加した。200時間後、テストピースを取り出し、絶縁抵抗値を測定した。200時間後のテストピースの絶縁抵抗値が1×10Ω未満の配線が3箇所未満のときに「○」、3箇所以上発生したとき「×」とした。
(8) Measurement of resistance value The insulation resistance value of the test piece obtained in the above (7) was measured with a resistance measuring instrument ("ECM-100" manufactured by J-RAS). Thereafter, the test piece was subjected to an environment having a temperature of 130 ° C. and a relative humidity of 85% using a HAST testing machine (“PM422” manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.), and a voltage of 3.3 V was applied to both ends of the electrode. . After 200 hours, the test piece was taken out and the insulation resistance value was measured. The test piece after 200 hours had an insulation resistance value of less than 1 × 10 7 Ω, “◯” when there were less than 3 wires, and “×” when 3 or more wires were generated.

(9)層間絶縁膜厚の確認
上記(8)の試験後、テストピースの断面を光学顕微鏡で確認し、層間絶縁膜厚が9〜11μmであることを確認した。
(9) Confirmation of interlayer insulation film thickness After the test of (8) above, the cross section of the test piece was confirmed with an optical microscope, and it was confirmed that the interlayer insulation film thickness was 9 to 11 µm.

<線間絶縁性の評価>
(1)接着フィルムの作製
支持体として、離型層付きPETフィルム(リンテック(株)製「AL5」)を用意した。この支持体の離型層上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが20μmとなるように、実施例及び比較例において得られた樹脂ワニスをダイコーターにて均一に塗布した。その後、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥させて接着フィルムを得た。
<Evaluation of insulation between lines>
(1) Production of Adhesive Film A PET film with a release layer (“AL5” manufactured by Lintec Corporation) was prepared as a support. On the release layer of this support, the resin varnishes obtained in Examples and Comparative Examples were uniformly applied with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 20 μm. Then, it was made to dry at 80-110 degreeC (average 95 degreeC) for 6 minutes, and the adhesive film was obtained.

(2)内層基板の下地処理
ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.8mm、松下電工(株)製「R5715ES」)の両面に、マイクロエッチング剤(メック(株)製「CZ8100」)で粗化処理を行った。
(2) Substrate treatment of inner substrate Substrate on both sides of glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.8 mm, “R5715ES” manufactured by Matsushita Electric Works Co., Ltd.) A roughening treatment was performed with an etching agent (“CZ8100” manufactured by MEC Co., Ltd.).

(3)接着フィルムの積層
上記(1)で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP−500」)を用いて、樹脂組成物層が内層基板と接合するように、内層基板の両面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより実施した。
(3) Lamination of adhesive film Using the batch-type vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) It laminated | stacked on both surfaces of the inner-layer board | substrate so that it might join. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(4)樹脂組成物層の硬化
接着フィルムの積層後、支持体を剥離し、樹脂組成物層を露出させた。次いで、100℃にて30分間、180℃にて30分間の条件で樹脂組成物層を熱硬化させて絶縁層を形成した。
(4) Curing of resin composition layer After laminating the adhesive film, the support was peeled off to expose the resin composition layer. Subsequently, the resin composition layer was thermoset under the conditions of 100 ° C. for 30 minutes and 180 ° C. for 30 minutes to form an insulating layer.

(5)粗化処理
上記(4)で得られた積層板を、膨潤液(アトテックジャパン(株)製「スウェリング・ディップ・セキュリガントP」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル含有の水酸化ナトリウム水溶液)に60℃で10分間、次いで粗化液(アトテックジャパン(株)製「コンセントレート・コンパクトP」、KMnO:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間、最後に中和液(アトテックジャパン(株)製「リダクションソリューション・セキュリガントP」、硫酸水溶液)に40℃で5分間浸漬した。その後、80℃で30分間乾燥させた。得られた基板を「評価基板A」と称する。
(5) Roughening treatment The laminate obtained in (4) above is applied to a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., sodium hydroxide aqueous solution containing diethylene glycol monobutyl ether). 10 minutes at 80 ° C., then to a roughening solution (Atotech Japan Co., Ltd. “Concentrate Compact P”, KMnO 4 : 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) at 80 ° C. for 20 minutes, and finally neutralized It was immersed for 5 minutes at 40 ° C. in a liquid (“Reduction Solution Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., sulfuric acid aqueous solution). Then, it was dried at 80 ° C. for 30 minutes. The obtained substrate is referred to as “evaluation substrate A”.

(6)無電解めっき層の形成
セミアディティブ法により、評価基板Aに導体層を形成した。具体的には、評価基板Aを、PdClを含む無電解めっき用溶液に40℃で5分間浸漬し、次に無電解銅めっき液に25℃で20分間浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った。
(6) Formation of electroless plating layer A conductor layer was formed on the evaluation substrate A by a semi-additive method. Specifically, the evaluation substrate A was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40 ° C. for 5 minutes, and then immersed in an electroless copper plating solution at 25 ° C. for 20 minutes. Annealing was performed by heating at 150 ° C. for 30 minutes.

(7)ドライフィルムのラミネート
ドライフィルム(日立化成(株)製「RY−5107」)をバッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP−500」)を用いて、(6)で作製した基板の片面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより実施した。
(7) Lamination of dry film Using a batch type vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) as a dry film ("RY-5107" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), (6) It was laminated on one side of the substrate produced in (1). Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(8)露光
露光機((株)ウシオ電機製 投影露光機UX−2240SM)を用いて、櫛刃パターンの配線(ライン/スペース(L/S)比=5μm/5μm)となるようにドライフィルムの露光を行い(200mJ)、その後、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像を行った。
(8) Exposure Using an exposure machine (projection exposure machine UX-2240SM manufactured by USHIO INC.), A dry film so as to have a comb-blade pattern wiring (line / space (L / S) ratio = 5 μm / 5 μm) (200 mJ), and then developed using a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution.

(9)電気めっき層の形成
(8)で作成した基板に硫酸銅電解めっきを行い、5μmの厚さで導体層を形成した。次いで、アニール処理を190℃にて60分間行った。
(9) Formation of electroplating layer Copper sulfate electrolytic plating was performed on the substrate prepared in (8) to form a conductor layer with a thickness of 5 μm. Next, annealing was performed at 190 ° C. for 60 minutes.

(10)櫛刃パターンの配線の形成
(9)で得られた基板の表面を洗浄し、ドライフィルムを除去した。その後エッチングを行い、櫛刃パターンの配線を形成した。得られた基板を「評価基板B」と称する。
(10) Formation of wiring of comb blade pattern The surface of the substrate obtained in (9) was washed, and the dry film was removed. Etching was then performed to form a comb-blade pattern wiring. The obtained substrate is referred to as “evaluation substrate B”.

(11)接着フィルムの積層
上記(1)で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所「MVLP−500」)を用いて、樹脂組成物層が評価基板Bの櫛刃パターンの配線と接合するように積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより実施した。
(11) Lamination of Adhesive Film Using the batch-type vacuum pressure laminator (Mechanical Manufacturing Co., Ltd. “MVLP-500”), the resin composition layer of the evaluation substrate B is laminated on the adhesive film produced in (1) above. Lamination was performed so as to be bonded to the wiring of the comb blade pattern. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(12)樹脂組成物層の硬化
接着フィルムの積層後、支持体を剥離し、樹脂組成物層を露出させた。190℃にて90分間の条件で樹脂組成物層を熱硬化させて絶縁層を形成した。得られた基板を「評価基板C」と称する。
(12) Curing of resin composition layer After laminating the adhesive film, the support was peeled off to expose the resin composition layer. The resin composition layer was thermally cured at 190 ° C. for 90 minutes to form an insulating layer. The obtained substrate is referred to as “evaluation substrate C”.

(13)絶縁試験用テストピースの作製
評価基板Cの櫛刃パターンの両端の樹脂を削って銅を露出させ、10箇所を電極として銅線をはんだ付けした。次いで、ジクロロメタン、メタノールで順に洗浄し、130℃のオーブンで30分間乾燥させて、テストピースを得た。
(13) Production of Test Piece for Insulation Test Resin at both ends of the comb-blade pattern of the evaluation substrate C was scraped to expose copper, and copper wires were soldered using 10 locations as electrodes. Subsequently, it wash | cleaned in order with a dichloromethane and methanol, and it was made to dry for 30 minutes in 130 degreeC oven, and the test piece was obtained.

(14)抵抗値の測定
上記(13)で得られたテストピースの絶縁抵抗値を、抵抗測定機(J−RAS社製「ECM−100」)にて測定した。その後、テストピースを、HAST試験機(楠本化成(株)製「PM422」)を用いて温度130℃、相対湿度85%の環境に付し、さらに電極の両端に3.3Vの電圧を印加した。200時間後、テストピースを取り出し、絶縁抵抗値を測定した。200時間後のテストピースの絶縁抵抗値が1×10Ω未満の配線が3箇所未満のときに「○」、3箇所以上発生したとき「×」とした。
(14) Measurement of resistance value The insulation resistance value of the test piece obtained in the above (13) was measured with a resistance measuring instrument ("ECM-100" manufactured by J-RAS). Thereafter, the test piece was subjected to an environment having a temperature of 130 ° C. and a relative humidity of 85% using a HAST testing machine (“PM422” manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.), and a voltage of 3.3 V was applied to both ends of the electrode. . After 200 hours, the test piece was taken out and the insulation resistance value was measured. The test piece after 200 hours had an insulation resistance value of less than 1 × 10 7 Ω, “◯” when there were less than 3 wires, and “×” when 3 or more wires were generated.

(15)線間絶縁膜厚の確認
上記(14)の試験後、テストピースの断面を光学顕微鏡で確認し、線間絶縁膜厚が4〜6μmであることを確認した。
(15) Confirmation of insulation film thickness between lines After the test of (14) above, the cross section of the test piece was confirmed with an optical microscope, and it was confirmed that the insulation film thickness between lines was 4 to 6 μm.

<クラック耐性の評価>
(1)接着フィルムの作製
支持体として、離型層付きPETフィルム(リンテック(株)製「AL5」)を用意した。乾燥後の樹脂組成物層の厚さが100μmとなるように、実施例及び比較例において得られた樹脂ワニスを支持体の離型層上にダイコーターにて均一に塗布した。その後、70〜120℃(平均95℃)で7分間乾燥させて、接着フィルムを作製した。
<Evaluation of crack resistance>
(1) Production of Adhesive Film A PET film with a release layer (“AL5” manufactured by Lintec Corporation) was prepared as a support. The resin varnishes obtained in Examples and Comparative Examples were uniformly coated on the release layer of the support with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 100 μm. Then, it was made to dry for 7 minutes at 70-120 degreeC (average 95 degreeC), and the adhesive film was produced.

(2)内層回路基板の作成
ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.2mm、日立製作所(株)製「E679FGR」)の両面にエッチングにより回路パターンを形成し、さらにマイクロエッチング剤(メック(株)製「CZ8100」)で粗化処理を行い、内層回路基板を作製した。内層回路基板に機械式ドリルで12mm×12mmの貫通穴を形成した。
(2) Creation of inner layer circuit board Etching on both sides of glass cloth base epoxy resin double-sided copper clad laminate (copper foil thickness 18μm, board thickness 0.2mm, "E679FGR" manufactured by Hitachi, Ltd.) A circuit pattern was formed, and further a roughening treatment was performed with a microetching agent (“CZ8100” manufactured by MEC Co., Ltd.) to produce an inner layer circuit board. A 12 mm × 12 mm through hole was formed in the inner layer circuit board with a mechanical drill.

(3)仮接着フィルムの積層
ポリイミド系仮接着フィルム(有沢製作所(株)製「PFDKE 1525PT」)を用意し、保護フィルムを剥離した。その後、仮接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP−500」)を用いて、接着層が内層回路基板と接合するように、内層回路基板の片面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより行った。
(3) Lamination of temporary adhesive film A polyimide-based temporary adhesive film ("PFDKE 1525PT" manufactured by Arisawa Manufacturing Co., Ltd.) was prepared, and the protective film was peeled off. Thereafter, the temporary adhesive film is laminated on one side of the inner circuit board using a batch type vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) so that the adhesive layer is bonded to the inner circuit board. did. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(4)ダミーウエハの仮固定と接着フィルムの積層
10mm×10mmのダミーウエハを、上記(3)で作製した仮接着フィルム付内層回路基板の穴に挿入した。次いで、上記(1)で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP−500」)を用いて、樹脂組成物層が内層回路基板と接合するように、内層回路基板の片面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間、圧着することにより行った。
(4) Temporary Fixing of Dummy Wafer and Lamination of Adhesive Film A 10 mm × 10 mm dummy wafer was inserted into the hole of the inner layer circuit board with temporary adhesive film produced in (3) above. Next, the adhesive film produced in the above (1) is bonded to the inner circuit board by using a batch type vacuum pressure laminator (“MVLP-500” manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.). The inner layer circuit board was laminated on one side. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(5)樹脂組成物層の硬化
接着フィルムの積層後、100℃にて30分間、170℃にて30分間の条件で樹脂組成物層を熱硬化させて絶縁層を形成した。その後、接着フィルムの支持体であるPETフィルムを剥離した。
(5) Curing of resin composition layer After lamination of the adhesive film, the resin composition layer was thermally cured at 100 ° C for 30 minutes and at 170 ° C for 30 minutes to form an insulating layer. Thereafter, the PET film which is a support for the adhesive film was peeled off.

(6)仮接着フィルムの剥離と絶縁層の完全硬化
ポリイミド系仮接着フィルムを剥離した後、200℃にて60分間の条件で絶縁層を完全硬化させた。
(6) Peeling of temporary adhesive film and complete curing of insulating layer After peeling the polyimide-based temporary adhesive film, the insulating layer was completely cured at 200 ° C for 60 minutes.

(7)クラック耐性の評価
上記(6)で得られた硬化物サンプルの一部を切り出し、リフロー装置(アントム(株)製「HAS6116」、最高到達温度260℃)にて20回加熱処理を行った。その後、ダミーウエハ内蔵回路基板を光学顕微鏡にて観察し、クラックが0箇所の時は「○」、1箇所以上3箇所未満の場合は「△」、3箇所以上の場合は「×」とした。
(7) Evaluation of crack resistance A part of the cured product sample obtained in the above (6) was cut out and subjected to heat treatment 20 times with a reflow apparatus (“HAS6116” manufactured by Antom Co., Ltd., maximum temperature reached 260 ° C.). It was. Thereafter, the circuit board with a built-in dummy wafer was observed with an optical microscope. When the number of cracks was 0, “◯” was obtained, when “1” or more and less than 3 places “△”, and when 3 or more, “x”.

<実施例1>
液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量180、三菱化学(株)製「エピコート828EL」)20部、ビフェニルジメチレン型樹脂(エポキシ当量269、日本化薬(株)製「NC3000」)20部、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(エポキシ当量171、DIC(株)製「HP4710」)3部、フェノキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製「YL6954BH30」、固形分30質量%のMEK溶液)15部を、MEK(以下「MEK1」ともいう。)20部に撹拌しながら加熱溶解させた。そこへ、トリアジン含有フェノールノボラック樹脂(水酸基当量125、DIC(株)製「LA7054」、窒素含有量約12質量%)の固形分60質量%のMEK溶液15部、ナフトール系硬化剤(水酸基当量215、東都化成(株)製「SN−485」)の固形分60質量%のMEK溶液15部、反応型難燃剤(水酸基当量162、(株)三光製「HCA−HQ」、リン含有量9.5%)2部、球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」、アミノシラン処理付き)40部、チタンブラック黒色顔料(三菱マテリアルズ(株)製「13MC」、分散剤被覆品)の固形分33質量%のプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート分散液7部、硬化促進剤(TCI(株)製ジメチルアミノピリジン(DMAP)、5質量%MEK溶液)5部を、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを調製した。
<Example 1>
20 parts of liquid bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent 180, “Epicoat 828EL” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), 20 parts biphenyldimethylene type resin (epoxy equivalent 269, “NC3000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), naphthalene 3 parts of type 4 functional epoxy resin (epoxy equivalent 171; “HP4710” manufactured by DIC Corporation), 15 parts of phenoxy resin (“YL6954BH30” manufactured by Japan Epoxy Resin Corporation, MEK solution having a solid content of 30% by mass) (Hereinafter also referred to as “MEK1”.) 20 parts were stirred and dissolved with stirring. Thereto, 15 parts of a MEK solution having a solid content of 60% by mass of a triazine-containing phenol novolac resin (hydroxyl equivalent 125, “LA7054” manufactured by DIC Corporation, nitrogen content of approximately 12% by mass), naphthol-based curing agent (hydroxyl equivalent 215). 15 parts of MEK solution having a solid content of 60% by mass of “SN-485” manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., reactive flame retardant (hydroxyl equivalent 162, “HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.), phosphorus content 9. 2 parts, spherical silica (average particle size 0.5 μm, “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd., with aminosilane treatment) 40 parts, titanium black black pigment (“13MC” manufactured by Mitsubishi Materials Corporation), dispersion 7 parts of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate dispersion having a solid content of 33% by mass of a curing agent), and a curing accelerator (dimethylaminopyridide manufactured by TCI Co., Ltd.) (DMAP), 5 parts by mass of MEK solution) was uniformly dispersed with a high-speed rotary mixer to prepare a resin varnish.

<実施例2>
ナフトール系硬化剤(水酸基当量215、東都化成(株)製「SN−485」)の固形分60質量%のMEK溶液15部に代えて、活性エステル硬化剤(活性基当量約223、DIC(株)製「HPC8000−65T」、不揮発分65質量%のトルエン溶液)15部を使用した以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Example 2>
Instead of 15 parts of MEK solution having a solid content of 60% by mass of naphthol-based curing agent (hydroxyl equivalent 215, “SN-485” manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), active ester curing agent (active group equivalent approximately 223, DIC Corporation) A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that 15 parts of “HPC8000-65T” (a toluene solution having a nonvolatile content of 65% by mass) were used.

<実施例3>
チタンブラック黒色顔料分散液の配合量を7部から2.5部に変更した以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Example 3>
A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the titanium black black pigment dispersion was changed from 7 parts to 2.5 parts.

<実施例4>
(1)チタンブラック黒色顔料分散液の配合量を7部から30部に変更した点、(2)MEK1の配合量を20部から5部に変更した点以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Example 4>
(1) In the same manner as in Example 1, except that the amount of titanium black black pigment dispersion was changed from 7 parts to 30 parts, and (2) the amount of MEK1 was changed from 20 parts to 5 parts, A resin varnish was prepared.

<実施例5>
(1)トリアジン含有フェノールノボラック樹脂(「LA7054」)の固形分60質量%のMEK溶液と、ナフトール系硬化剤(「SN−485」)の固形分60質量%のMEK溶液の両方の配合量を15部から0.15部に変更した点、(2)反応型難燃剤(「HCA−HQ」)の配合量を2部から0.02部に変更した点以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Example 5>
(1) A blending amount of both a MEK solution having a solid content of 60% by mass of a triazine-containing phenol novolac resin (“LA7054”) and a MEK solution having a solid content of 60% by mass of a naphthol-based curing agent (“SN-485”). Except for the point changed from 15 parts to 0.15 parts, and (2) the amount of the reactive flame retardant (“HCA-HQ”) changed from 2 parts to 0.02 parts, the same as in Example 1. A resin varnish was prepared.

<実施例6>
(1)トリアジン含有フェノールノボラック樹脂(「LA7054」)の固形分60質量%のMEK溶液と、ナフトール系硬化剤(「SN−485」)の固形分60質量%のMEK溶液の両方の配合量を15部から37.5部に変更した点、(2)反応型難燃剤(「HCA−HQ」)の配合量を2部から5部に変更した点以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Example 6>
(1) A blending amount of both a MEK solution having a solid content of 60% by mass of a triazine-containing phenol novolac resin (“LA7054”) and a MEK solution having a solid content of 60% by mass of a naphthol-based curing agent (“SN-485”). Resin in the same manner as in Example 1 except that it was changed from 15 parts to 37.5 parts, and (2) the amount of the reactive flame retardant (“HCA-HQ”) was changed from 2 parts to 5 parts. A varnish was prepared.

<実施例7>
ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(エポキシ当量171、DIC(株)製「HP4710」)3部に代えて、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂(エポキシ当量196、三菱化学(株)製「1031S」)3部を使用した以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Example 7>
Instead of 3 parts of naphthalene type tetrafunctional epoxy resin (epoxy equivalent 171; "HP4710" manufactured by DIC Corporation), 3 parts of tetraphenylethane type epoxy resin (epoxy equivalent 196, "1031S" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)) A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that it was used.

<比較例1>
チタンブラック黒色顔料分散液7部に代えて、カーボンブラック黒色顔料(御国色素(株)製「MHIブラック#RK−173M」、カーボンブラック含有量26質量%の分散処理品、MEK分散液)10部を使用した以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Comparative Example 1>
Instead of 7 parts of titanium black black pigment dispersion, 10 parts of carbon black black pigment (“MHI Black # RK-173M” manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd., dispersion-treated product having a carbon black content of 26 mass%, MEK dispersion) A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that was used.

<比較例2>
チタンブラック黒色顔料分散液の配合量を7部から1部に変更した以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Comparative example 2>
A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1, except that the amount of the titanium black black pigment dispersion was changed from 7 parts to 1 part.

<比較例3>
(1)チタンブラック黒色顔料分散液の配合量を7部から45部に変更した点、(2)MEK1を使用しなかった点以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Comparative Example 3>
(1) A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1, except that the blending amount of the titanium black black pigment dispersion was changed from 7 parts to 45 parts, and (2) MEK1 was not used.

<比較例4>
トリアジン含有フェノールノボラック樹脂、ナフトール系硬化剤及び反応型難燃剤に代えて、活性エステル硬化剤(活性基当量約223、DIC(株)製「HPC8000−65T」、不揮発分65質量%のトルエン溶液)30部を使用した以外、実施例1と同様にして、樹脂ワニスを調製した。
<Comparative example 4>
Instead of triazine-containing phenol novolac resin, naphthol-based curing agent and reactive flame retardant, active ester curing agent (active group equivalent of about 223, "HPC8000-65T" manufactured by DIC Corporation, toluene solution with a nonvolatile content of 65% by mass) A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that 30 parts were used.

上述した実施例及び比較例の評価結果を、下記の表に示す。   The evaluation results of the above-described examples and comparative examples are shown in the following table.

Figure 2018168262
Figure 2018168262

球形シリカ「SOC2」を配合しない場合、硬化促進剤(ジメチルアミノピリジン(DMAP))を配合しない場合に関しても、程度に差はあるものの、上記実施例と同様の結果に帰着することを確認している。   When the spherical silica “SOC2” is not blended, and when the curing accelerator (dimethylaminopyridine (DMAP)) is not blended, it is confirmed that the result is the same as the above-mentioned example although there is a difference in the degree. Yes.

Claims (10)

(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール性水酸基を有する化合物、(C)チタンブラック及び(D)有機溶剤を含有する樹脂組成物であって、
(C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.5〜10質量%である、樹脂組成物。
A resin composition comprising (A) an epoxy resin, (B) a compound having a phenolic hydroxyl group, (C) titanium black and (D) an organic solvent,
(C) The resin composition whose content of a component is 0.5-10 mass% when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%.
(B)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.1〜40質量%である、請求項1に記載の樹脂組成物。   (B) The resin composition of Claim 1 whose content of a component is 0.1-40 mass% when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%. (D)成分の含有量が、5質量%以上である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   (D) The resin composition of Claim 1 or 2 whose content of a component is 5 mass% or more. (C)成分中の窒化チタンの含有量が、(C)成分の全体質量を100質量%としたとき、20質量%以上である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of titanium nitride in the component (C) is 20% by mass or more when the total mass of the component (C) is 100% by mass. object. プリント配線板の絶縁層用又は半導体封止用である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 4, which is used for an insulating layer of a printed wiring board or for sealing a semiconductor. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物から形成された樹脂組成物層を含む、シート状積層材料。   The sheet-like laminated material containing the resin composition layer formed from the resin composition of any one of Claims 1-5. 樹脂組成物層の厚さが100μm以下である、請求項6に記載のシート状積層材料。   The sheet-like laminated material according to claim 6, wherein the resin composition layer has a thickness of 100 μm or less. 樹脂組成物層の厚さが20μm以下である、請求項6又は7に記載のシート状積層材料。   The sheet-like laminated material according to claim 6 or 7, wherein the resin composition layer has a thickness of 20 µm or less. 請求項6〜8のいずれか1項に記載のシート状積層材料の樹脂組成物層を熱硬化して得られた絶縁層を含む、プリント配線板。   The printed wiring board containing the insulating layer obtained by thermosetting the resin composition layer of the sheet-like laminated material of any one of Claims 6-8. 回路基板と、該回路基板に実装された半導体と、該半導体を封止する封止材とを含み、封止材が、請求項6〜8のいずれか1項に記載のシート状積層材料の樹脂組成物層の硬化物から形成されている、半導体パッケージ。   The sheet-shaped laminated material according to any one of claims 6 to 8, comprising a circuit board, a semiconductor mounted on the circuit board, and a sealing material that seals the semiconductor. A semiconductor package formed from a cured product of a resin composition layer.
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