JP2018164873A - 液体処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】コストを低減しつつ、タンク内の液体にエネルギーを均一に照射することが可能な液体処理装置を提供する。【解決手段】タンク１は、加圧された液体が供給される外部供給口１１を有する。紫外線照射装置２は、タンク１内に設置され、エネルギーを照射する。水流発生装置５は、外部供給口１１に供給された液体を用いて、タンク１内に水流を発生させる。【選択図】図１

Description

本発明は、エネルギーを液体に照射する液体処理装置に関し、特には、紫外線を照射して純水中に存在する微生物を殺菌する液体処理装置に関する。

紫外線や熱などのエネルギーを液体に照射する液体処理装置は、例えば、純水（超純水を含む）の殺菌などの用途に使用される。純水の製造過程では、逆浸透膜を用いた脱塩処理が広く用いられているが、水道水などを原水とする場合、逆浸透膜を保護するために、通常、原水から活性炭などにより残留遊離塩素を除去している。そのため、製造された純水には微生物が繁殖しやすくなっている。そこで導電率のような純水の特性に与える影響が小さい殺菌方法として、紫外線を液体に照射する方法が使用されている。

上記の殺菌方法としては、純水を貯留するタンクに紫外線照射装置を設置し、タンク内の液体に紫外線を照射することで殺菌を行う浸漬式紫外線殺菌方法が知られている。しかしながら、この浸漬式紫外線殺菌方法では、紫外線照射装置から遠いほど純水に照射される紫外線の強度が下がるため、純水を均一に殺菌することができず、場所によっては殺菌を十分に行うことができないことがある。

これに対して特許文献１には、紫外線ランプを備えた殺菌線照射ユニットに撹拌スクリューを取り付けた液体タンク内殺菌装置が開示されている。この液体タンク内殺菌装置は、タンク内の液体を撹拌スクリューにより撹拌することで、タンク内の液体を流動させているため、タンク内の液体に紫外線を均一に照射することが可能になる。

特開平９−７５４２９号公報

しかしながら、特許文献１に記載の液体タンク内殺菌装置では、撹拌スクリューを駆動させる動力源が別途必要となるため、消費電力が高くなるという問題がある。

本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、消費電力を抑制しつつ、タンク内の液体にエネルギーを均一に照射することが可能な液体処理装置を提供することである。

本発明による液体処理装置は、加圧された液体が供給される供給口を有するタンクと、前記タンク内に設置され、エネルギーを照射する照射部と、前記供給口に供給された液体を用いて、前記タンク内に水流を発生させる水流発生部と、を有する。

本発明によれば、消費電力を抑制しつつ、タンク内の液体にエネルギーを均一に照射することが可能になる。

本発明の第１の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。 水流発生装置（エダクター）の構成を模式的に示す模式図である。 本発明の第１の実施形態の液体処理装置の変形例を模式的に示す模式図である。 本発明の第２の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。 本発明の第３の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。 本発明の第４の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。 本発明の第５の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、各図面において同じ機能を有するものには同じ符号を付け、その説明を省略する場合がある。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。図１に示すように液体処理装置１００は、タンク１と、紫外線照射装置２と、保護管３と、水位計４と、水流発生装置５とを有する。液体処理装置１００は、液体中の微生物を殺菌する用途に適合しているが、別の用途で使用されてもよい。

タンク１は、外部から加圧された液体が供給される供給口である外部供給口１１と、タンク１内の液体をタンク１外に送水（排出）するための送水口１２とを備え、外部供給口１１に供給された液体を貯留する。タンク１が貯留する液体の種類は、限定されないが、本実施形態では、純水（超純水を含む）である。より具体的には、純水の製造時に原水を濾過する膜処理装置（図示せず）にて製造された純水が外部供給口１１に圧送され、タンク１は、その圧送された純水を貯留する。以下、タンク１に貯留された液体（純水）を被処理水と呼び、外部供給口１１に圧送される液体を加圧水と呼ぶこともある。なお、外部供給口１１に供給する加圧水は、例えば、通水式紫外線殺菌装置などを用いて事前に殺菌処理が行われていることが望ましい。

外部供給口１１には、加圧水を供給する供給ライン２０が連通され、外部から供給ライン２０を介して加圧水が供給される。供給ライン２０上には、加圧水の逆流を防止するための逆止弁２１と、加圧水の流量を測定する流量計２２とが設けられている。流量計２２は、外部供給口１１と逆止弁２１と間に配置されている。逆止弁２１の上流には、加圧水を外部供給口１１に供給する供給ポンプ（図示せず）が備わっている。供給ポンプは、独立したポンプでもよいし、上記の膜処理装置のような他の装置に内蔵されたポンプでもよい。なお、流量計２２および逆止弁２１の配置順序は、図の例に限らず、適宜変更可能である。

送水口１２には、タンク１内の被処理水を外部に送水する送水ライン３０が連通されている。送水ライン３０上には、開閉することでタンク１内の被処理水の外部への送水と送水停止とを切り替える送水弁３１が備わっている。送水弁３１は、本実施形態では、手動弁である。

紫外線照射装置２は、タンク１内に設置され、タンク１に貯留された被処理水にエネルギーとして紫外線を照射する照射部である。本実施形態では、紫外線照射装置２は、被処理水中の微生物の殺菌に適合しているものが選択される。紫外線照射装置２は、本実施形態では、紫外線ランプであるが、これに限定されない。例えば、紫外線照射装置２は、紫外線ＬＥＤ（Light Emitting Diode：発光ダイオード）などでもよい。紫外線照射装置２は、図の例では、タンク１内の被処理水に対して紫外線を均一に照射するためにタンク１の中央部付近に配置される。また、紫外線照射装置２は、タンク１の上部から下部に向けてタンク１に挿入されている。

保護管３は、紫外線照射装置２を被処理水から保護する。具体的には、保護管３は、タンク１内の被処理水が紫外線照射装置２に直接触れることを防止するために紫外線照射装置２を覆っている。保護管３は、石英ガラスのような紫外線を透過する紫外線透過材料で形成される。水位計４は、タンク１内の被処理水の水位を測定する。水位計４の種類は、特に限定されない。

水流発生装置５は、タンク１内に設けられる水流発生部である。水流発生装置５は、外部供給口１１と連通し、外部供給口１１に供給された加圧水を用いて、タンク１内に水流を発生させる。図１の例では、水流発生装置５は、外部供給口１１と直接接続されているが、ホースなどの配管を介して外部供給口１１と連通してもよい。水流発生装置５は、加圧水以外に動力源を必要としないものであれば、特に限定されないが、本実施形態では、加圧水を用いてタンク１内の被処理水を吸い込み、加圧水と共に噴出させるエダクター（Eductor）である。

図２Ａは、水流発生装置５であるエダクターの一例を示す図である。図２Ａに示すようにエダクター５０は、供給部５１と、ノズル５２と、吸引部５３と、吐出部５４とを有する。供給部５１は、タンク１の外部供給口１１と連通され、外部供給口１１から加圧水が供給される。ノズル５２は、供給部５１と連通する。ノズル５２は、供給部５１よりも小径の噴出孔５２ａを有し、噴出孔５２ａから供給部５１に供給された加圧水を噴出する。ノズル５２は、噴出孔５２ａが供給部５１よりも小径のため、噴出孔５２ａから加圧水を高速で噴出することができる。

吸引部５３は、ノズル５２の噴出孔５２ａ側に設けられ、ノズル５２（噴出孔５２ａ）から離れるほど開口面積が拡大する。吸引部５３には、複数の吸込口５３ａが設けられている。吐出部５４は、中空の略円錐台形状の部材であり、吸引部５３のノズル５２側と反対側に設けられる。吐出部５４の吸引部５３側とは反対側には、被処理水を噴射流として噴射するための吐出口５４ａが設けられている。なお、吐出部５４は、中空の略円筒形状の部材などでもよい。また、吸引部５３は、ノズル５２（噴出孔５２ａ）から離れるほど開口面積が拡大する構造でなくてもよい。

エダクター５０の供給部５１に供給された加圧水は、ノズル５２の噴出孔から吸引部５３に向けて、駆動水として高速で噴出する。噴出された高速の駆動水により吸引部５３内の圧力が低下し、それにより、タンク１内の被処理水が吸込口５３ａから吸引部５３に吸い込まれる。吸い込まれた被処理水は、ノズル５２から噴出された駆動水と共に吐出部５４を介して吐出口５４ａから噴射される。これにより、外部供給口１１から供給された加圧水の水量以上の被処理水を吐出口５４ａからタンク１内に噴射することができ、その噴射流によりタンク１内に水流を発生させることができる。なお、エダクター５０は、例えば、外部供給口１１から供給された加圧水の水量の４倍程度の被処理水を吸込口５３ａから吸い込むことができ、それにより加圧水の水量の５倍程度の被処理水を噴射することができる。

エダクター５０は、周囲の被処理水を吸い込むことで強い噴射を得る構造であるため、効率的に使用するためには、被処理水の中に沈んだ状態で使用される。このため、タンク１内の被処理水が少ない場合でも効率的に使用できるように、エダクター５０は、タンク１の下方に配置されることが望ましい。タンク１の送水口１２は、少なくともエダクター５０(より具体的には、吐出口５４ａ)が水上に露出しない想定最低水位以上の位置に配置されることが望ましい。これにより、エダクター５０が水上に露出することを抑制することが可能になり、エダクター５０を効率的に使用することが可能になる。また、水位計４の検出結果に基づいて、送水弁３１を自動弁とすることで、エダクター５０が水上に露出することを抑制してもよい。この場合、送水口１２が想定最低水位未満の位置に配置されても、エダクター５０を効率的に使用することができる。

紫外線照射装置２、保護管３および水位計４は、エダクター５０から噴射された噴射流による水圧の影響を小さくするために、噴射流が直接当たらないように配置されることが望ましい。例えば、エダクター５０が水平方向に噴射する場合、紫外線照射装置２、保護管３および水位計４は、図１に示したようにエダクター５０よりも高い位置に配置されることが望ましい。

なお、紫外線照射装置２、保護管３および水位計４の設置位置は図の例に限らない。例えば、紫外線照射装置２がタンク１に対して横方向（水平方向）から挿入される構成や、紫外線照射装置２がタンク1の外部に設けられ、紫外線をタンク１の外部からタンク１の内部へ照射する構成（外照式）でもよい。また、紫外線照射装置２は、被処理水に浸漬される浸漬式である必要はなく、被処理水に浸漬しないように、図２Ｂに示すタンク１の気相部１ａに設けられた構成でもよい。この場合、浸漬式と比べて、紫外線照射装置２から被処理水へ伝わる熱を抑えることができ、その結果、微生物の繁殖をより抑制できる。また、気相部１ａに紫外線照射装置２を設ける場合、紫外線照射装置２からタンク１の底面までの距離が浸漬式と比べ遠くなるため、紫外線照射装置１の出力を大きくしなければならない。しかしながら、本実施形態では、タンク１内の撹拌により、被処理水が均一に紫外線照射を受けることができるため、出力の小さい紫外線照射装置１でも処理効率の向上が可能になる。また、タンク１の材質および形状については、特に限定されないが、タンク１の内壁は、紫外線を効率良く被処理水に照射するために、アルミニウムなどのような紫外線の反射率が高い材料で形成されたり、鏡面処理を施されたりすることが望ましい。また、タンク１の形状は、円筒形状が望ましい。この場合、紫外線照射装置２からタンク１の内壁までの距離を均一にすることができ、被処理水に対して紫外線を均一に照射することが可能になる。

以上説明した本実施形態によれば、タンク１の外部供給口１１に供給された加圧水によりタンク１内に水流が発生するため、撹拌スクリューを駆動させる動力源のような特別な動力源を用いなくても、タンク１内の被処理水を流動させることが可能になる。このため、消費電力を抑制しつつ、タンク１内の被処理水に対して紫外線を均一に照射することが可能になる。

また、本実施形態では、タンク１内に水流を発生させる水流発生装置５としてエダクター５０が用いられているため、外部供給口１１に供給された加圧水の水量以上の被処理水で水流を発生させることが可能になる。したがって、水流を効率良く発生させることが可能になり、タンク１内の被処理水を効率良く流動させることが可能になる。

また、本実施形態では、動力源となる加圧水が外部から外部供給口１１に供給される。つまり、加圧水を供給するためのポンプとして、純水の製造で使用されているものなどを使用することができるため、消費電力の削減効果を高くすることが可能になる。

（第２の実施形態）
図３は、本発明の第２の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。図３（ａ）は、液体処理装置を模式的に示した側面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示した液体処理装置のＡ−Ａ線に沿った断面図である。

図３に示す本実施形態の液体処理装置１０１は、図１に示した構成に加えてバッフルプレート（邪魔板）６を備える。バッフルプレート６は、複数の孔６ａを有する板であり、タンク１内に設けられる。バッフルプレート６は、水流発生装置５にて発生された水流を分散させる機能を有する。

図３の例では、バッフルプレート６は、水平方向におけるタンク１の中央部付近に、水流発生装置５の正面を向くように垂直に配置される。この例では、水流を効率良く分散させることが可能になる。なお、バッフルプレート６の設置位置や設置向きは、図３の例に限らない。例えば、バッフルプレート６はタンク１の壁面に配置されてもよい。また、バッフルプレート６は複数設けられてもよい。

本実施形態によれば、水流を分散させるバッフルプレート６が設けられているため、タンク１内の被処理水をより効率的に流動させることが可能になり、特に水流がタンク１内の壁面に沿って進む現象を抑制することができる。したがって、被処理水に対して紫外線をより均一に照射することが可能になる。

（第３の実施形態）
図４は、本発明の第３の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。図４に示す本実施形態の液体処理装置１０２は、図３に示した第２の実施形態の構成に加えて、水流発生装置７と、返流ライン４０と、送水ポンプ４１と、送水弁４２、返流弁４３と、流量計４４とをさらに備える。また、タンク１は、図３に示した外部供給口１１および送水口１２に加えて、返流口１３をさらに備える。また、送水口１２は、図４の例では、タンク１の底面に設けられている。

返流ライン４０は、送水ライン３０から分岐し、返流口１３に連通する。返流ライン４０は、送水ライン３０から被処理水を返流水として返流口１３に供給する。

送水ポンプ４１は、送水ライン３０上に設けられる。送水ポンプ４１は、送水口１２を介してタンク１内の被処理水を加圧して送水ライン３０に送水する。送水弁４２は、送水ライン３０上の送水ポンプ４１よりも下流側に設けられ、開閉することでタンク１内の被処理水の外部への送水と送水停止とを切り替える自動弁である。返流ライン４０は、送水ポンプ４１と送水弁４２との間で送水ライン３０から分岐している。

返流弁４３は、返流ライン４０上に設けられ、開閉することでタンク１内の被処理水の返流ライン４０を介したタンク１への供給流量（返流流量）を調整する手動弁である。流量計４４は、返流ライン４０上に設けられ、タンク１に供給される返流水の流量を測定する。流量計４４は、返流口１３と返流弁４３と間に配置されている。

返流口１３は、返流ライン４０から加圧された返流水が供給される供給口であり、図示されているように外部供給口１１とは別に設けられている。水流発生装置７は、タンク１内に設けられる水流発生部である。水流発生装置７は、返流口１３と連通し、返流口１３に供給された返流水を用いて、タンク１内に水流を発生させる。図４の例では、水流発生装置７は、返流口１３と直接接続されているが、ホースのような配管を介して返流口１３と連通していてもよい。水流発生装置７は、返流口１３に供給された返流水を用いてタンク１内に水流を発生させることができれば、水流発生装置５と同じ構成でもよいし、異なる構成でもよい。本実施形態では、水流発生装置５および７は両方とも図２Ａに示したエダクター５０である。

水流発生装置７は、図の例では、水流発生装置５よりも高い位置に配置されているが、水流発生装置７の配置位置はこの例に限らない。例えば、水流発生装置７は、水流発生装置５よりも低い位置や、水流発生装置５と同じ高さに設けられてもよい。また、水流発生装置７は、図の例では、水流発生装置５とは逆向きに水流を発生させるように配置されているが、水流発生装置５と同じ向きに水流を発生させるように配置されてもよいし、水流発生装置５とは交差する方向に水流を発生させるように配置されてもよい。

以上説明した本実施形態では、送水弁４２と返流弁４３とを用いて、タンク１内の被処理水の送水および送水停止だけでなく、送水時の送水先も切り替えることができる。

例えば、送水弁４２および返流弁４３を開放した状態で送水ポンプ４１を駆動させると、送水口１２から送水された被処理水の一部が送水弁４２を介して外部に圧送され、残りの一部が返流水として返流ライン４０介して返流口１３に供給される。このため、被処理水の外部への送水時に、返流口１３と連通した水流発生装置７にてタンク１内に水流を発生させることができる。このため、外部供給口１１から加圧水が供給されていない場合でも、タンク１内に対して水流を発生させることが可能になる。

また、返流弁４３を開放し、かつ、送水弁４２を閉鎖した状態で送水ポンプ４１を駆動させると、送水口１２から送水された被処理水を全て返流水として返流口１３に供給させることができる。このため、外部供給口１１から加圧水が供給されておらず、かつ、外部に被処理水を送水する必要がない場合でも、タンク１内に水流を発生させることが可能になる。なお、返流弁４３を閉鎖し、かつ、送水弁４２を開放した状態で送水ポンプ４１を駆動させることで、被処理水の全て外部に圧送してもよい。

以上のように本実施形態では、適切なタイミングで水流を発生させることが可能になるため、殺菌処理を適切に行うことが可能になる。

なお、本実施形態では、外部供給口１１に水流発生装置５が設けられていたが、水流発生装置５は設けられなくてもよい。この場合、外部供給口１１には、加圧されていない被処理水が供給されてもよい。また、返流弁４３の代わりに、一定の流量の被処理水を流すことができる定流量弁と自動弁とを組み合わせて、送水ポンプ４１を駆動させつつ、自動弁を開放しておくことで、常に一定の流量の被処理水をタンク１内に返流することができる。この場合、返流される被処理水の流量が変動することによる水流発生効果のムラを低減することができる。また、外部で必要な水量が増加した場合には、自動弁を閉鎖し、自動弁４２を開放することで、送水口１２からの被処理水を全て外部に送水することが可能である。

（第４の実施形態）
図５は、本発明の第４の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。図５に示す本実施形態の液体処理装置１０３は、図３に示した第２の実施形態の構成に加えて、返流ライン４０と、送水ポンプ４１と、切替弁４２ａ、逆止弁４３ａと、流量計４４とをさらに備える。また、送水口１２は、図５の例では、タンク１の底面に設けられている。

返流ライン４０は、本実施形態では、送水ライン３０から分岐し、供給ライン２０を介して外部供給口１１と連通する。返流ライン４０は、送水ライン３０から被処理水を返流水として供給ライン２０を介して外部供給口１１に供給する。

送水ポンプ４１は、送水ライン３０上に設けられる。送水ポンプ４１は、送水口１２を介してタンク１内の被処理水を加圧して送水ライン３０に送水する。切替弁４２ａは、送水ライン３０と返流ライン４０との分岐点に設けられ、タンク１内の被処理水の送水時の送水先を切り替える自動切替弁である。送水先としては、液体処理装置１０２の外部と返流ライン４０とがある。

逆止弁４３ａは、返流ライン４０上に設けられ、タンク１から返流ラインへの被処理水の逆流を防止する。流量計４４は、返流ライン４０上に設けられ、タンク１に供給される返流水の流量を測定する。流量計４４は、切替弁４２ａと逆止弁４３ａと間に配置されている。

以上説明した本実施形態では、切替弁４２ａによる被処理水の送水先を切り替えることで、タンク１内の被処理水を送水ライン３０、返流ライン４０および供給ライン２０を介して外部供給口１１に供給させ、水流発生装置５にてタンク１内に対して水流を発生させることができる。このため、外部から加圧水が供給されておらず、かつ、外部に被処理水を送水する必要がない場合に、タンク１内に水流を発生させることが可能になる。したがって、適切なタイミングで水流を発生させることが可能になるため、殺菌処理を適切に行うことが可能になる。

また、本実施形態では、返流ライン４０を介して被処理水が返流される返流口が外部供給口１１と兼用されているため、図４に示した水流発生装置７や返流口１３を設ける必要がない。このため、液体処理装置１００の設計を簡易化することが可能になる。

なお、本実施形態では、切替弁４２ａを用いてタンク１内の被処理水の送水先を切り替えていたが、第３の実施形態と同様に、送水弁４２と返流弁４３とを用いて被処理水の送水先を切り替えてもよい。これにより、第３の実施形態と同様に、外部から加圧水が供給されておらず、かつ、外部に被処理水を送水する必要がある場合でも、タンク１内に水流を発生させることが可能になる。

（第５の実施形態）
図６は、本発明の第５の実施形態の液体処理装置を模式的に示す模式図である。図６に示す本実施形態の液体処理装置１０４は、図５に示した第４の実施形態の構成と比べて、送水ライン３０と返流ライン４０とを連通する連通構成が異なる。具体的には、図４に示す本実施形態の液体処理装置１０２は、送水ライン３０の途中に設けられた取水部４５を介し、返流ライン４０へと連通する。返流ライン４０には、タンク１から返流ライン４０への逆流防止のため、逆止弁４３ａが設けられる。

取水部４５は、送水ライン３０から被処理水を取水する（取り出す）取出部である。具体的には、取水部４５は、送水ライン３０を、被処理水を使用する使用箇所であるユースポイント（図示せず）に連通する取水ライン４６と返流ライン４０とに分岐する。これにより、返流ライン４０は取水部４５を介して送水ライン３０と連通される。

取水部４５は、送水ライン３０内の被処理水の一部を取水して取水ライン４６を介してユースポイントに供給すると共に、残りの被処理水を返流水として返流ライン４０を介して返流口１３に供給する。そして水流発生装置７が返流口１３に供給された返流水を用いてタンク１内に水流を発生させる。

なお、１つの取水ライン４６に複数のユースポイントが連通してもよいし、取水ライン４６が複数あってもよい。また、取水部４５は、複数あり、それらが互いに直列または並列に接続されていてもよい。

以上説明した本実施形態によれば、送水ライン３０から被処理水を取水部４５を介して返流口１３に供給することができるため、第３の実施形態と同様に、外部から加圧水が供給されていない場合でも、タンク１内に対して水流を発生させることが可能になる。したがって、適切なタイミングで水流を発生させることが可能になるため、殺菌処理を適切に行うことが可能になる。また、第４の実施形態と同様に、返流ライン４０を供給ライン２０を介して外部供給口１１に供給してもよい。この場合、水流発生装置７や返流口１３を設ける必要がない。このため、液体処理装置１００の設計を簡易化することが可能になる。

以上説明した各実施形態において、図示した構成は単なる一例であって、本発明はその構成に限定されるものではない。

例えば、各実施形態の構成は、互いに矛盾していない限り、自由に組み合わせることができる。

また、各実施形態の液体処理装置１００〜１０４は、微生物の殺菌のために使用されていたが、液体処理装置１００〜１０４の用途はこの例に限らない。例えば、液体処理装置１００〜１０４は、液体中のＴＯＣ（Total Organic Carbon：全有機炭素)の分解などに使用されてもよい。また、エネルギーを照射する照射部として、紫外線照射装置２の代わりに、ヒータのような熱エネルギーを照射する熱照射装置が使用されてもよい。

１ タンク
２ 紫外線照射装置２（照射部）
３ 保護管
４ 水位計
５ 水流発生装置（水流発生部）
１１ 外部供給口（供給口）
１２ 送水口
１３ 返流口（供給口）
３０ 送水ライン
４０ 返流ライン
４１ 送水ポンプ
４５ 取水部
４６ 取水ライン
５０ エダクター
１００〜１０４ 液体処理装置

Claims (10)

1. 加圧された液体が供給される供給口を有するタンクと、
   前記タンク内に設置され、エネルギーを照射する照射部と、
   前記供給口に供給された液体を用いて、前記タンク内に水流を発生させる水流発生部と、を有する液体処理装置。
2. 前記水流発生部は、エダクターである、請求項１に記載の液体処理装置。
3. 前記タンク内に設けられ、前記水流発生部にて発生された水流を分散させるバッフルプレートをさらに有する請求項１または２に記載の液体処理装置。
4. 前記タンクと連通した送水ラインと、
   前記タンク内の液体を加圧して前記送水ラインに送水する送水ポンプと、
   前記送水ラインと連通し、前記送水ラインから液体を前記供給口に供給する返流ラインと、をさらに有する、請求項１または２記載の液体処理装置。
5. 前記タンクは、外部から液体が供給される外部供給口を有し、
   前記供給口は、前記外部供給口とは別に設けられる、請求項４に記載の液体処理装置。
6. 前記外部供給口には、加圧された液体が供給され、
   前記水流発生部は、前記供給口および前記外部供給口のそれぞれに設けられる、請求項５に記載の液体処理装置。
7. 前記タンクは、外部から液体が供給される外部供給口を有し、
   前記供給口は、前記外部供給口と兼用される、請求項４に記載の液体処理装置。
8. 前記送水ラインから液体を取り出す取出部をさらに有し、
   前記返流ラインは、前記取出部を介して前記送水ラインと連通する、請求項４ないし７のいずれか１項に記載の液体処理装置。
9. 前記照射部は、エネルギーとして紫外線を照射する紫外線照射装置である、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の液体処理装置。
10. 前記照射部は、前記タンクの気相部に設けられる、請求項１ないし９のいずれか１項に記載の液体処理装置。

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