JP2018144085A - レーザ加工判別装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ発振器の出力の大きさによらずに、確実に、ガウジング等のレーザ加工の不良を検出してレーザ加工の良否を判別する。【解決手段】レーザ発振器から発振されたレーザ光を、レーザ加工ヘッドに備えた集光レンズによって集光しワークへ照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムにおいて、レーザ加工位置からの反射光を検出し、その反射光によりレーザ加工状態の良否を判別するレーザ加工判別装置において、レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整する可視光量調整器と、可視光量調整器により調整された可視光を検出する可視光検出器とを有し、レーザ発振器の定格出力に合わせて、可視光量調整器によりレーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整する。【選択図】 図1
Description
本発明は、レーザ加工機によるレーザ加工時に、レーザ加工位置からの材料からの反射光によりレーザ加工状態の良否を判別するレーザ加工判別装置及び方法に係り、さらに詳細には、レーザ発振器の出力の大きさによらずに、確実にレーザ加工の良否を判別することができるレーザ加工判別装置及び方法に関するものである。
レーザ加工機によってワークのレーザ加工を行う場合、レーザ加工位置からの材料からの反射光を検出することによってレーザ加工の良否の判別が行われていた。
すなわち、レーザ発振器から発振されたレーザ光を、レーザ照射ユニットに備えたベンドミラーによってワーク方向へ反射し、この反射されたレーザ光を集光レンズによって集光してワークへ照射する。そして、ワークの加工位置からの反射光を、ベンドミラー及びそのベンドミラーの後方に備えられた光学フィルタ等を透過して反射光検出器へ入射し、その反射光検出器により検出された結果により、レーザ加工の良否を判別するようにしていた。
しかしながら、レーザ加工においては、良好な切断やピアシング形成や加工不良のガウジング等の様々な加工状況があり、それぞれの状況により、反射光の強度が大きく異なる。
例えば、ガウジングのように、切断の途中にレーザ光が貫通せずに溶融した金属が材料表面に噴出してしまった不良状態では、反射光の光量が増えてしまい、特に、レーザ発振器の定格出力が大きくなると、ワークの加工位置からの反射光も強くなり、反射光検出器により検出することが出来なくなる場合があった。
なお、本明細書では、ガウジングとは、レーザ切断加工において、切断できずに溝堀りしてその溶けた金属が材料表面に噴出してしまった不良の様を言う。
すなわち、反射光検出において、レーザ発振器の定格出力の大小による反射光の強度の大小に対応出来ない問題があった。
また、ガウジングのような反射光の光量が大きい状況と、その他の反射光の光量が小さい状況とにうまく対応出来ない問題もあった。
本発明は、上記した事情に着目してなされたものであり、その目的とするところは、レーザ発振器の定格出力の大きさによらずに、確実にレーザ加工の良否を判別することができるレーザ加工判別装置及び方法を提供することである。
本発明は上述の問題を解決するためのものであり、請求項1に係る発明は、レーザ発振器から発振されたレーザ光を、レーザ加工ヘッドに備えた集光レンズによって集光しワークへ照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムにおいて、レーザ加工位置からの反射光を検出し、その反射光によりレーザ加工状態の良否を判別するレーザ加工判別装置であって、前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整する可視光量調整器と、前記可視光量調整器により調整された可視光を検出する可視光検出器とを有し、前記レーザ発振器の定格出力に合わせて、前記可視光量調整器により前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整して前記可視光検出器により検出することを特徴とするレーザ加工判別装置である。
請求項2に係る発明は、前記可視光検出器よりの出力が、所定の閾値を越えた場合、加工異常が発生したと判断ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工判別装置である。
請求項3に係る発明は、前記レーザ加工ヘッドが、前記レーザ発振器から発振されたレーザ光を、前記集光レンズ方向へ反射するベンドミラーを備え、前記可視光量調整器が、前記ベンドミラーを透過した前記反射光の可視光量を調整することを特徴とする請求項1あるいは2に記載のレーザ加工判別装置である。
請求項4に係る発明は、前記可視光量調整器が、前記反射光の可視光量を調整するアパーチャと、前記反射光の波長を限定すると共に前記反射光の可視光量を調整する波長限定型光学素子との少なくとも1つを有することを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工判別装置である。
請求項5に係る発明は、前記アパーチャが、光を通さない円形の板状部材の任意の位置に、光を通すための所定の小径の穴を設けた構成からなり、前記波長限定型光学素子が、前記反射光の波長を限定する光学素子部と、前記光学素子部の上に設けられた空間部とから構成されていることを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工判別装置である。
請求項6に係る発明は、前記可視光量調整器において、前記任意の位置あるいは径が異なる穴をそれぞれ持つ種々のアパーチャが入れ替え可能であり、前記空間部の厚みが異なる種々の波長限定型光学素子が入れ替え可能であり、前記レーザ発振器の定格出力に合わせて、前記種々のアパーチャおよび前記種々の波長限定型光学素子を入れ替えて、前記反射光の可視光量を調整することを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工判別装置である。
請求項7に係る発明は、レーザ発振器から発振されたレーザ光を、レーザ加工ヘッドに備えた集光レンズによって集光しワークへ照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムにおいて、レーザ加工位置からの反射光を検出し、その反射光によりレーザ加工状態の良否を判別するレーザ加工判別方法であって、前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整し、その可視光を検出するにあたり、前記レーザ発振器の定格出力に合わせて、前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整することを特徴とするレーザ加工判別方法である。
本発明によれば、レーザ発振器の定格出力の大きさによらずに、確実に、ガウジング等のレーザ加工の不良を検出してレーザ加工の良否を判別することができようになる。
図1は、本発明を実施したレーザ加工判別装置を有するレーザ加工システムの概略図である。
図1に示すように、レーザ加工ヘッド1は、ファイバレーザ発振器(図示省略)から発振されたレーザ光LBを、集光レンズ3方向へ反射するベンドミラー5を備えている。集光レンズ3によって集光したレーザ光LBはワークWへ照射されワークWのレーザ加工が行われる。
このベンドミラー5は、ファイバレーザ発振器から発振された波長が1μm帯のレーザ光と赤いガイド光を略100%反射し、若しくは99.5%反射し、それ以外の可視光波長帯の光は透過する。
ワークWのレーザ加工に際し、ワークWの加工位置WPから反射した、若しくは誘導ラマン散乱光として反射した、反射光RLBは、ベンドミラー5へ戻り、その反射光RLBの内、可視光波長帯の光RLB1が、ベンドミラー5を透過する。
ベンドミラー5を透過した光RLB1は、後述するように可視光量を調整するための可視光量調整器(可視光量調整手段)7に入射される。
この可視光量調整器7は筒状に形成され、光RLB1の可視光量を調整するアパーチャ9と、光RLB1の波長を限定するための透過型フィルタを有する波長限定型光学素子11とからなり、この波長限定型光学素子11も可視光量を調整する機能を有している。
すなわち、この可視光量調整器7において、アパーチャ9は、後述するように、種々の形状のアパーチャ9に入れ替え可能に構成される。それと共に、波長限定型光学素子11は、光RLB1の波長を限定する光学素子部11aと、その光学素子部11aの上に設けられた空間部11bとからなり、波長限定型光学素子11の厚みdの異なる複数の波長限定型光学素子11に入れ替え可能に構成されている。
なお、波長限定型光学素子11では、光学素子部11aは同じ厚みであり、空間部11bの厚みが異なるようになっている。すなわち、光学素子部11aの上面から空間部11bの上面までの厚みが異なる。
図2は、図1に示した可視光量調整器のアパーチャの構成例を示す概略平面図である。
ここでは、アパーチャ9は、図2(a)に示すような、光を通さない円形の板状部材の中心位置に、光を通すための所定の小径の穴9aを設けたものと、図2(b)に示すような、光を通さない円形の板状部材の中心から所定量オフセットした位置に、光を通すための所定の小径の穴9bを設けたものがある。
後述するように、アパーチャ9の穴9aの径および穴9aのオフセット量によって、可視光量が調整され、可視光検出器15における出力電圧が調整される。
図3は、図1に示した可視光量調整器の波長限定型光学素子の構成例を示す概略断面図である。
また、波長限定型光学素子11は、図3(a)に示すような、その厚みdの短い波長限定型光学素子11aと、図3(b)に示すような、その厚みdの長い波長限定型光学素子11bとがある。
後述するように、波長限定型光学素子11の厚みd(空間部11bの厚み)によって、波長限定型光学素子11を通る可視光量が調整され、可視光検出器15における出力電圧が調整される。
空間部11bの厚み、すなわち、光学素子部11aの上面からファイバ13の入射端までの空間部分の距離により、可視光量が調整される。光学素子部11aの上面からファイバ13の入射端までの空間部分の距離が長いほど、可視光量が減少する。
なお、複数のアパーチャ9および波長限定型光学素子11の入れ替え機構については、様々な構成が考えられるが、オペレータの手動により着脱自在とする一番簡単な構成でも良いし、他の構成でも良い。
この可視光量調整器7において、ベンドミラー5を透過した光RLB1は、アパーチャ9に入射され、アパーチャ9により可視光量が調整された光RLB2は、透過型フィルタからなる波長限定型光学素子11に入射され、その光学素子部11aで限定された波長の光が透過されると共に、その空間部11bで可視光量が調整される。
この波長限定型光学素子11の光学素子部11aは、光RLB1の波長を限定するものであり、光RLB1の所定の可視光波長帯のみ透過する。
次に、可視光量調整器7からの可視光量が調整された光は、波長限定型光学素子11の空間部11bに接して設けられたファイバ13に入射され、ファイバ13から可視光検出器15へ入射される。
可視光検出器15は、フォトダイオードと増幅器からなり、ファイバ13から入射された可視光がフォトダイオードにより検出され、その検出された検出信号が増幅器により増幅されて電圧値として出力される。
その可視光検出器15よりの出力は、レーザ加工機のNC装置17に入力され、このNC装置17において、例えば、可視光検出器15よりの出力が、所定の閾値を越えた場合、加工異常が発生したと判断され、例えば、NC装置17によりアラームが発生され、レーザ加工が中断される。
上述した可視光量調整器7、ファイバ13、および可視光検出器15により、レーザ加工判別装置が構成される。
次に、可視光量調整器7による可視光調整機能について説明する。
本願発明は、レーザ発振器の定格出力の大小による反射光の強度の大小や、ガウジングのような反射光の光量が大きい状況と、その他の反射光の光量が小さい状況とに対応出来るようにしたものである。
ここでは、アパーチャ9の穴9aの径によって、可視光量が調整され、可視光検出器15における出力電圧が調整されると共に、波長限定型光学素子11の厚みdによって、可視光量が調整され、可視光検出器15における出力電圧が調整される。
図4は、その厚みdが3mmと短い波長限定型光学素子11を用いた場合の特性グラフ図であり、(a)は、中心位置に種々の径の穴9aを設けたアパーチャ9を用いた場合の出力電圧のグラフであり、(b)は、1mm径の穴9aを中心位置から種々のオフセット量だけずらしたアパーチャ9を用いた場合の出力電圧のグラフである。
図5は、その厚みdが11mmと長い波長限定型光学素子11を用いた場合の特性グラフ図であり、(a)は、中心位置に種々の径の穴9aを設けたアパーチャ9を用いた場合の出力電圧のグラフであり、(b)は、1mm径の穴9aを中心位置から種々のオフセット量だけずらしたアパーチャ9を用いた場合の出力電圧のグラフである。
ここで、図4および図5の特性グラフにおいては、ヘッド先端のノズル部分にLEDの安定光源を差し込み、可視光をファイバ部に当て、LED光源は電流値を一定にすることで、光量を固定したもので測定した。
すなわち、レーザ加工におけるガウジングでは変動が激しく、安定したデータが取りにくいので、実際の反射光で実験したものではない。つまり、実際の反射光は常に変化するので、アパーチャの位置や大きさの変化で、計測がどのように変化するかを捉えるために、安定した光を反射光に見立て、それによって、変化の傾向を掴んだものである。
また、出力電圧とは、可視光検出器15により検出され増幅された後、NC装置17に出力される電圧のことである。
図4に示すように、波長限定型光学素子11の厚みdが3mmと短い(空間部11bの厚みが短く、光学素子部11aの上面からファイバ13の入射端までの空間部分の距離が短い)場合と、図5に示すように、波長限定型光学素子11の厚みdが11mmと長い(空間部11bの厚みが長く、光学素子部11aの上面からファイバ13の入射端までの空間部分の距離が長い)場合では、アパーチャ9の穴9aの径およびアパーチャ9の穴9aのオフセット量を変数としたグラフ特性が異なる。
従って、レーザ発振器の定格出力等の条件に応じて適宜に波長限定型光学素子11の厚みやアパーチャ9の穴9aの径およびアパーチャ9の穴9aのオフセット量を選択することにより、ガウジングのような反射光の光量が大きい状況と、その他の反射光の光量が小さい状況とにうまく対応出来るようになり、レーザ発振器の出力の大きさによらずに、確実にレーザ加工の良否を判別することができるようになる。
例えば、2kW〜4kWの定格出力のレーザ発振器ならば、波長限定型光学素子11の厚みd=3mm、アパーチャ9の穴9aが1個で穴径をΦ1〜Φ4と選択し、6kWの定格出力のレーザ発振器ならば、波長限定型光学素子11の厚みd3mm、アパーチャ9の穴9aとしてΦ1穴を中心から1mmオフセットするか、もしくは、波長限定型光学素子11の厚みd=11mm、アパーチャ9の穴9aとして中心穴で穴径をΦ1と選択すれば、ガウジングのような反射光の光量が大きい状況と、その他の反射光の光量が小さい状況にうまく対応出来るようになり、レーザ発振器の出力の大きさによらずに、確実にレーザ加工の良否を判別することができるようになる。
すなわち、ゲイン調整で、基準の1Vに調整することが容易になるため、基準電圧の2倍〜4倍(2V〜4V)に達した場合に、ガウジングと認識することができる。
従って、戻ってくる可視光レベルが高い条件でも、可視光量調整器7によりファイバ13への入射量を減らすことが出来るので、最終的な出力電圧を抑えることができる。
この発明は前述の実施形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。
例えば、図6(a)に示すように、中心からオフセットされた位置に2つの穴9cを設けたアパーチャ9を用いても良く、図6(b)に示すように、中心から同心円上にオフセットされた位置に3つの穴9dを設けたアパーチャ9を用いても良い。また、さらに多くの穴を持つアパーチャを用いても良い。
図6は、図1に示した可視光量調整器のアパーチャの他の構成例を示す概略平面図である。
また、この実施形態では、可視光量調整器7における可視光調整機能を、アパーチャ9による可視光調整と、波長限定型光学素子11の空間部11bによる可視光調整との両方としたが、どちらか一方による可視光調整としても良い。
1…レーザ加工ヘッド
3…集光レンズ
5…ベンドミラー
7…可視光量調整器
9…アパーチャ
11…波長限定型光学素子
15…可視光検出器
17…NC装置
3…集光レンズ
5…ベンドミラー
7…可視光量調整器
9…アパーチャ
11…波長限定型光学素子
15…可視光検出器
17…NC装置
Claims (7)
- レーザ発振器から発振されたレーザ光を、レーザ加工ヘッドに備えた集光レンズによって集光しワークへ照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムにおいて、レーザ加工位置からの反射光を検出し、その反射光によりレーザ加工状態の良否を判別するレーザ加工判別装置であって、
前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整する可視光量調整器と、前記可視光量調整器により調整された可視光を検出する可視光検出器とを有し、前記レーザ発振器の定格出力に合わせて、前記可視光量調整器により前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整して前記可視光検出器により検出することを特徴とするレーザ加工判別装置。 - 前記可視光検出器よりの出力が、所定の閾値を越えた場合、加工異常が発生したと判断ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工判別装置。
- 前記レーザ加工ヘッドが、前記レーザ発振器から発振されたレーザ光を、前記集光レンズ方向へ反射するベンドミラーを備え、前記可視光量調整器が、前記ベンドミラーを透過した前記反射光の可視光量を調整することを特徴とする請求項1あるいは2に記載のレーザ加工判別装置。
- 前記可視光量調整器が、前記反射光の可視光量を調整するアパーチャと、前記反射光の波長を限定すると共に前記反射光の可視光量を調整する波長限定型光学素子との少なくとも1つを有することを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工判別装置。
- 前記アパーチャが、光を通さない円形の板状部材の任意の位置に、光を通すための所定の小径の穴を設けた構成からなり、前記波長限定型光学素子が、前記反射光の波長を限定する光学素子部と、前記光学素子部の上に設けられた空間部とから構成されていることを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工判別装置。
- 前記可視光量調整器において、前記任意の位置あるいは径が異なる穴をそれぞれ持つ種々のアパーチャが入れ替え可能であり、前記空間部の厚みが異なる種々の波長限定型光学素子が入れ替え可能であり、前記レーザ発振器の定格出力に合わせて、前記種々のアパーチャおよび前記種々の波長限定型光学素子を入れ替えて、前記反射光の可視光量を調整することを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工判別装置。
- レーザ発振器から発振されたレーザ光を、レーザ加工ヘッドに備えた集光レンズによって集光しワークへ照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムにおいて、レーザ加工位置からの反射光を検出し、その反射光によりレーザ加工状態の良否を判別するレーザ加工判別方法であって、
前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整し、その可視光を検出するにあたり、前記レーザ発振器の定格出力に合わせて、前記レーザ加工位置からの反射光の可視光量を調整することを特徴とするレーザ加工判別方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017043544A JP2018144085A (ja) | 2017-03-08 | 2017-03-08 | レーザ加工判別装置及び方法 |
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JP2017043544A JP2018144085A (ja) | 2017-03-08 | 2017-03-08 | レーザ加工判別装置及び方法 |
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JP2018144085A true JP2018144085A (ja) | 2018-09-20 |
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JP (1) | JP2018144085A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020184540A1 (ja) | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社フジクラ | レーザ加工装置 |
-
2017
- 2017-03-08 JP JP2017043544A patent/JP2018144085A/ja active Pending
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WO2020184540A1 (ja) | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社フジクラ | レーザ加工装置 |
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