JP6955906B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6955906B2 JP6955906B2 JP2017106440A JP2017106440A JP6955906B2 JP 6955906 B2 JP6955906 B2 JP 6955906B2 JP 2017106440 A JP2017106440 A JP 2017106440A JP 2017106440 A JP2017106440 A JP 2017106440A JP 6955906 B2 JP6955906 B2 JP 6955906B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- laser processing
- wavelength
- wavelength band
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
これは、加工不良が切断不良の場合には未切断部分で反射した光が戻ってくるためであり、切断面が荒れるなどの品質不良の場合には、荒れた切断面で拡散反射した光が戻ってくるためである。
そして、ベンドミラーには、レーザ加工に用いる光を高反射率で反射し、かつワークにおけるレーザ加工部位から反射して戻ってきた戻り反射光を透過して背後の光量センサに導く光学特性が付与されている。
その光学特性とは、詳しくは、レーザ加工のためのレーザ光の波長帯と光学系のアライメント調整のための光の波長帯については反射率が高く、他の波長帯については反射率が低い(相対的に透過率が高い)という特性である。
しかしながら、近年普及してきた、レーザ発振器からレーザ加工ヘッドへのレーザ光の誘導に光ファイバを用いる場合は、レーザ加工ヘッドの光学系をベンドミラーなしに構成できるため、加工状態の良否監視に、従来のベンドミラーを利用した構成及び方法が適用できなかった。
そのため、ベンドミラーを用いないレーザ加工ヘッドによるレーザ加工において加工状態の良否監視を可能にする具体的な工夫が望まれていた。
1) レーザ発振器と、レーザ加工ヘッドと、前記レーザ発振器と前記レーザ加工ヘッドとの間に接続されて前記レーザ発振器から出力されたレーザ光を前記レーザ加工ヘッドに誘導する光ファイバと、前記レーザ発振器及び前記レーザ加工ヘッドの動作を制御するNC装置とを備え、
前記レーザ加工ヘッドは、
筒状の本体部と、
前記本体部の一端側に設けられ前記光ファイバを接続する接続部と、
前記本体部の他端側に設けられ前記光ファイバで誘導された前記レーザ光を出射するノズル部と、
前記接続部の近傍に前記本体部の内部に開口して設けられ、前記ノズル部を通して外部から前記本体部内に進入した光を受光する受光部と、
前記受光部を通過した前記光の光量を計測し前記光量に対応した検出信号を出力する検出器と、を備え、
前記NC装置は、
レーザ加工が良好な場合の光量として前記レーザ光の波長よりも短い安定波長帯に対し予め設定された閾値と、前記検出信号を受信して得た前記光量とを比較し、その比較結果に基づいて前記光が不良状態の光であるか否かを判定する、
レーザ加工機である。
2) 前記受光部は、
受光した前記光の、前記安定波長帯よりも波長が短い波長帯及び前記安定波長帯よりも波長が長く前記レーザ光の波長を含む波長帯の光量を減少させる第1の光学膜を有する1)に記載のレーザ加工機である。
3) 前記受光部は、
前記第1の光学膜を通過した光のうちの前記安定波長帯の光のみを通過して前記検出器に向け出光させるバンドパスフィルタである第2の光学膜を有する2)に記載のレーザ加工機である。
4) 前記安定波長帯は675nmを含む波長帯である1)〜3)のいずれか1つに記載のレーザ加工機である。
図1は、加工ヘッド51の模式的縦断面図であり、図2は、レーザ加工機61の全体構成を説明するための模式的斜視図である。また、図3は、加工ヘッド51が備える受光部6を説明するための縦断面図である。
説明の便宜上、上下左右前後の各方向を、各図に矢印で規定する。
すなわち、集光レンズ3が不図示の焦点調整機構により軸方向移動するホルダ3aにより支持されており、集光レンズ3の軸方向移動により加工ヘッド51から出射するレーザ光Lの合焦位置が調整される。
本体部1の一端部(下端部)は、先細で先端に照射孔1a1を有するノズル部1aとされ、他端部(上端部)には光ファイバ接続部1bが設けられている。
図2は、レーザ加工機61の全体構成を示す模式的斜視図である。
レーザ加工機61は、レーザ光源であるファイバレーザ発振器62と、ファイバレーザ発振器62から出力されたレーザ光をワークWに照射する既述の加工ヘッド51を備えた加工本体部63と、レーザ加工機61の全体動作を制御する制御部であるNC装置64と、を含んで構成されている。
X軸キャリッジ63bには、X軸方向と直交するY軸方向(上下方向)に移動するY軸キャリッジ63cが設けられている。
Y軸キャリッジ63cには、Z軸ホルダ63dが設けられている。Z軸ホルダ63dは、加工ヘッド51をZ軸方向(上下方向)に移動可能に支持している。
図1に示されるように、光ファイバ4の出口から本体部1の内部に拡散出射したレーザ光Lは、コリメートレンズ2によって平行光束とされる。
この平行光束が集光レンズ3に入光し、例えばワークWの表面Wsに合焦するようにノズル部1aの先端の照射孔1a1からワークWに向け出射される。
検出部SRは、反射光Lfの一部が反射光Lf3(図4参照)として受光する受光部6と、入光した反射光Lf3の光量を計測する検出器7と、受光部6と検出器7との間に接続され受光部6に入光した反射光Lfを検出器7に誘導する光ファイバ8と、を有する。
検出器7は、さらに、検出した光量対応した電気信号を検出信号SG1としてNC装置64に向け出力する。
受光部6は、所定径のアパーチャ孔6a1を有するアパーチャ6aと、所定の光学特性を付与されたフィルタ部材6bと、アパーチャ6aとフィルタ部材6bとを並設保持するハウジング6cと、を有する。
この構成により、アパーチャ孔6a1を通過してフィルタ部材6bに入射した光Laは、フィルタ部材6bの光学特性に応じた特定の波長範囲(後述の第3の範囲fw3)の光Lbとして出力する。
第1の波長λ1は、レーザ加工に用いるレーザ光の波長に対応して設定し、第2の波長λ2は、アライメント調整用の光(赤色)の波長に対応して設定する。
例えば、
第1の波長λ1=1070nm、第1の範囲fw1は、概ね±70nm
第2の波長λ2=630nm、第2の範囲fw2は、概ね±100nm
とする。
以下の説明においては、第1及び第2の波長λ1,λ2を、それぞれ1070nm,630nmとした場合で説明する。
例えば、
第3の波長λ3=675nm、第3の範囲fw3は、概ね±125nm
とする。すなわち、出射側光学膜6b3は、波長が550nm〜800nmの光のみを通過させる。この第3の範囲の設定については、後述する。
アパーチャ6aのアパーチャ孔6a1は、本体部1の内部に、レーザ光Lの光束Ltに掛からない位置に開口している。
検出器7は、加工ヘッド51から離れた位置に配置されるか加工ヘッド51に搭載される。
図1に示される加工ヘッド51を用い、例えば板状のワークにレーザ光Lを照射して切断(孔明けを含む)加工を行っている状態で、加工が良好な場合、反射光Lfは比較的低レベルである。
一方、切断加工に不良が生じた場合、既述のように反射光Lfが多く生じる。これについて、次に図4を参照して説明する。図4は図1に対応した図であり、反射光Lfの経路等の記載が付加されている。
反射光Lfの一部は、ノズル部1aの先端の照射孔1a1を通過して本体部1の内部に進む(反射光Lf1とする)。
反射光Lf1の一部として光束Lt内に進んだ光は、そのまま光束Ltの内部を、光束の外側に出ることなく戻るように進む。そして、集光レンズ3及びコリメートレンズ2を通過して光ファイバ4内に進入しファイバレーザ発振器62へと向かい、例えば、戻り光として検出される。
光束Ltの外側へ進んだ反射光である反射光Lf2は、本体部1の内面1cに反射するなどして、一部は光束Ltを斜めに突き抜けながら、集光レンズ3及びコリメートレンズ2を通過し本体部1の上部に達する。
そして、本体部1の上部に達した反射光Lf2の内の一部が反射光Lf3として受光部6のアパーチャ孔6a1に至り、受光部6の内部に進入する(図3の光Laに相当)。
このフィルタリングの作用について、さらに図5〜図7を参照して説明する。
図6は、レーザ加工が不良の場合の反射光Lfの波長特性を示すグラフである。
図7は、レーザ加工が不良の場合の、受光部6のフィルタ部材6bを通過した通過反射光Lf4(図3の光Lbに相当)の波長特性を示すグラフである。
図6に示されるように、レーザ加工で不良が生じると、第1の波長λ1の光量が増加すると共に、可視光領域の内の、400〜550nmにも強い反射光が検出される。すなわち、二つの波長帯において強い反射光帯Pk1,Pk2が生じている。
例えば、入射側光学膜6b2の特性が、光量減少ではなく完全に遮断する特性とされている場合、530〜730nm帯の光は遮断され、図7に示される通過反射光Lf4は、概ね730〜800nm帯のみに光量のある光として得られる。
NC装置64は、到来した検出信号SG1を、A/D変換すると共に予め設定されている良否判定の閾値と比較し、その結果に基づいて通過反射光Lf4が不良状態の反射光であるか否かを判定する。
一方、安定波長帯ARaは、平坦であってピークこそないものの、加工の不良化に伴い確実に光量が増加し、その増量も各種パラメータの影響を受けにくく定量的な把握に適していることが明らかになっている。
これにより、検出光量が不安定になる要因を排除し高精度の良否判定が可能になっている。
また、一つの光学部材(フィルタ部材6b)で二種のフィルタリングが可能であり、受光部6はコンパクトかつ低コストになっている。
すなわち、反射光の内の正反射成分ではなく乱反射した拡散成分を検出するようになっている。
反射光の内の拡散成分の多くは加工不良によって生じるため、レーザ加工ヘッド51は、加工不良依存の反射光を的確に抽出してより高精度に加工の良否監視に供されると共に、レーザ加工ヘッド51を備えたレーザ加工機61は、レーザ加工の良否状態監視をより高精度に行うことができる。
複数備える場合は、反射光Lf3の検出効率の観点で、光軸CLaまわりの周方向に離隔配置することが望ましい。
また、受光部6は、本体部1の内周面に設けてもよい。
ただ、反射光Lf2の分布が本体部1内の上部の光軸にCLaに近い位置ほど密になるため、受光部6のアパーチャ孔6a1は、その上部の光束Ltにできるだけ近い位置にあるのが好ましい。すなわち、光ファイバ接続部1bの近傍に設置されるのが好ましい。
第1〜第3の波長λ1〜λ3、第1〜第3の範囲fw1〜fw3は、それぞれ上述の値に限定されず適宜設定してよい。
1a ノズル部、 1a1 照射孔、 1b 光ファイバ接続部
1c 内面
2 コリメートレンズ
3 集光レンズ、 3a ホルダ
4 光ファイバ
6 受光部
6a アパーチャ、 6a1 アパーチャ孔、 6b フィルタ部材
6b1 基材、 6b2 入射側光学膜、 6b3出射側光学膜
6c ハウジング
7 検出器
8 光ファイバ
51 レーザ加工ヘッド(加工ヘッド)
61 レーザ加工機
62 ファイバレーザ発振器
63 加工本体部
63a テーブル、 63b X軸キャリッジ
63c Y軸キャリッジ、 63d Z軸ホルダ
64 NC装置(制御部)
ARa 安定波長帯
CLa 光軸
fw1 第1の範囲、 fw2 第2の範囲、 fw3 第3の範囲
L レーザ光
La,Lb 光、 Lf,Lf1,Lf2,Lf3 反射光
Lf4 通過反射光、 Lt 光束
Pk1,Pk2 反射光帯
P1 ヘッド光学系
SG1 検出信号
SR 検出部
W ワーク
Wp 加工部位、 Ws 表面
λ1 第1の波長、 λ2 第2の波長
Claims (4)
- レーザ発振器と、レーザ加工ヘッドと、前記レーザ発振器と前記レーザ加工ヘッドとの間に接続されて前記レーザ発振器から出力されたレーザ光を前記レーザ加工ヘッドに誘導する光ファイバと、前記レーザ発振器及び前記レーザ加工ヘッドの動作を制御するNC装置とを備え、
前記レーザ加工ヘッドは、
筒状の本体部と、
前記本体部の一端側に設けられ前記光ファイバを接続する接続部と、
前記本体部の他端側に設けられ前記光ファイバで誘導された前記レーザ光を出射するノズル部と、
前記接続部の近傍に前記本体部の内部に開口して設けられ、前記ノズル部を通して外部から前記本体部内に進入した光を受光する受光部と、
前記受光部を通過した前記光の光量を計測し前記光量に対応した検出信号を出力する検出器と、を備え、
前記NC装置は、
レーザ加工が良好な場合の光量として前記レーザ光の波長よりも短い安定波長帯に対し予め設定された閾値と、前記検出信号を受信して得た前記光量とを比較し、その比較結果に基づいて前記光が不良状態の光であるか否かを判定する、
レーザ加工機。 - 前記受光部は、
受光した前記光の、前記安定波長帯よりも波長が短い波長帯及び前記安定波長帯よりも波長が長く前記レーザ光の波長を含む波長帯の光量を減少させる第1の光学膜を有する請求項1記載のレーザ加工機。 - 前記受光部は、
前記第1の光学膜を通過した光のうちの前記安定波長帯の光のみを通過して前記検出器に向け出光させるバンドパスフィルタである第2の光学膜を有する請求項2記載のレーザ加工機。 - 前記安定波長帯は675nmを含む波長帯である請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017106440A JP6955906B2 (ja) | 2017-05-30 | 2017-05-30 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017106440A JP6955906B2 (ja) | 2017-05-30 | 2017-05-30 | レーザ加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018202421A JP2018202421A (ja) | 2018-12-27 |
JP6955906B2 true JP6955906B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=64954743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017106440A Active JP6955906B2 (ja) | 2017-05-30 | 2017-05-30 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6955906B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022046869A1 (en) * | 2020-08-25 | 2022-03-03 | Ipg Photonics Corporation | Handheld laser system |
US20240091883A1 (en) | 2022-09-20 | 2024-03-21 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Process Monitor for Laser Processing Head |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2684480B2 (ja) * | 1991-11-29 | 1997-12-03 | ファナック株式会社 | レーザ加工装置 |
JPH05329669A (ja) * | 1992-06-02 | 1993-12-14 | Komatsu Ltd | レーザ加工機における加工制御装置 |
JPH06142960A (ja) * | 1992-11-07 | 1994-05-24 | Kitagawa Iron Works Co Ltd | レーザ切断方法 |
JP2809064B2 (ja) * | 1993-10-22 | 1998-10-08 | 株式会社新潟鉄工所 | レーザ加工機の制御方法及び装置 |
JPH10249560A (ja) * | 1997-03-11 | 1998-09-22 | Amada Co Ltd | レーザー加工方法および装置 |
JPH10296465A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-10 | Amada Co Ltd | レーザ溶接加工の監視方法及び装置 |
JP2003205378A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-22 | Daihen Corp | レーザ照射アーク溶接装置 |
JP2007098442A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Toyota Motor Corp | レーザ接合品質検査装置 |
-
2017
- 2017-05-30 JP JP2017106440A patent/JP6955906B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018202421A (ja) | 2018-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6462140B2 (ja) | 溶接シームの深さをリアルタイムで測定するための装置 | |
US9116131B2 (en) | Method and monitoring device for the detection and monitoring of the contamination of an optical component in a device for laser material processing | |
US6621047B2 (en) | Method and sensor device for monitoring a laser machining operation to be performed on a work piece as well as laser machining head with a sensor device of the kind | |
JP4107833B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
US9452544B2 (en) | Method for monitoring cutting processing on a workpiece | |
US9610729B2 (en) | Device and method for performing and monitoring a plastic laser transmission welding process | |
CN107073643A (zh) | 直接二极管激光加工装置及其输出监视方法 | |
EP1128927A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von werkstücken mit hochenergiestrahlung | |
JP6955906B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JP5671873B2 (ja) | レーザ溶接モニタリング装置 | |
JPWO2008087984A1 (ja) | レーザ加工装置及びその加工方法 | |
WO2021032387A1 (de) | Ausrichteinheit, sensormodul umfassend dieselbe und laserbearbeitungssystem umfassend das sensormodul | |
JP6956328B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP5414645B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP7523088B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP3368427B2 (ja) | レーザ加工状態計測装置 | |
JP4220707B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
WO2019216040A1 (ja) | レーザ加工機及び光学部品の状態検出方法 | |
KR102528969B1 (ko) | 레이저 파워를 모니터링하는 레이저 가공 장치 | |
JP7511142B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2000176667A (ja) | レーザ溶接加工モニタリング装置 | |
US20220324181A1 (en) | System for joining thermoplastic workpieces by laser transmission welding | |
JPH0985472A (ja) | レーザー出力検出方法及びその検出方法を使用したレーザー加工ヘッド | |
JP2003048095A (ja) | レーザ加工ヘッド及びこれを用いる加工方法 | |
JP5238451B2 (ja) | レーザ加工装置及びその位置検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6955906 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |