JP2018136352A - Infrared defect detection system using ultrasonic wave - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce restrictions on an inspection object in an infrared defect detection system using ultrasonic waves that detects, by the infrared thermography method, a temperature change at a defect place by giving ultrasonic energy to the inspection object.SOLUTION: An infrared defect detection system 130 using ultrasonic waves includes: an ultrasonic vibration exciter for giving ultrasonic energy to a processing medium 140, i.e. a liquid state fluid medium; and an infrared thermography device 30 for taking an image of a temperature state of a surface of a channel pipe 128, i.e. an inspection object given ultrasonic energy by the processing medium 140 and displaying outer surface temperature distribution of the channel pipe 128.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、超音波を用いた赤外線欠陥検出システムに係り、特に検査対象物に超音波エネルギを与え、欠陥箇所で発熱する状態を赤外線で検出することを利用する超音波を用いた赤外線欠陥検出システムに関する。   The present invention relates to an infrared defect detection system using ultrasonic waves, and in particular, provides infrared energy to an inspection object, and detects infrared defect using ultrasonic waves using detection of a state where heat is generated at a defective portion using infrared rays. About the system.

構造物の欠陥を検出する方法としては、構造物に超音波を入力し、欠陥の箇所から反射して戻ってくる反射波に基づいて欠陥の有無や位置を検出する超音波探傷法が知られている。また、構造物に熱流を与えて、欠陥の箇所で生じる熱流の状態変化を赤外線サーモグラフィ装置で検出する赤外線欠陥検出法も用いられる。   As a method for detecting defects in a structure, there is known an ultrasonic flaw detection method in which ultrasonic waves are input to a structure and the presence or position of the defect is detected based on a reflected wave that is reflected back from the location of the defect. ing. Further, an infrared defect detection method is also used in which a heat flow is applied to the structure and a change in the state of the heat flow generated at the defect is detected by an infrared thermography apparatus.

例えば、特許文献1には、スパッタターゲットとバッキングプレートとの間の接合界面評価方法として、評価対象物を水中に浸漬してその表面を超音波走査する場合には、走査速度を約15〜30cm/minとして、1,000cmの対象物の場合走査時間が約30〜60分かかると述べている。これに対し、対象物を水浴に浸漬して水温で加熱あるいは冷却し、接合界面における熱エネルギの流れを赤外線カメラで撮像し、その撮像画面を解析して評価する場合は、約0.01〜100フレーム/sとして、1,000cmの対象物の撮像時間が約1〜500sで済むと述べている。このように、赤外線欠陥検出法は、熱流を与える手段を要するが、超音波探傷法に比べ格段に高速で広範囲の欠陥検出が可能である。 For example, in Patent Document 1, as a method for evaluating a bonding interface between a sputtering target and a backing plate, when an object to be evaluated is immersed in water and its surface is subjected to ultrasonic scanning, the scanning speed is about 15 to 30 cm. It is stated that the scanning time is about 30 to 60 minutes for an object of 1,000 cm 2 as 2 / min. In contrast, when the object is immersed in a water bath and heated or cooled at a water temperature, the flow of thermal energy at the bonding interface is imaged with an infrared camera, and the imaging screen is analyzed and evaluated. It is stated that the imaging time of an object of 1,000 cm 2 is about 1 to 500 s at 100 frames / s. As described above, the infrared defect detection method requires means for applying a heat flow, but can detect a wide range of defects at a much higher speed than the ultrasonic flaw detection method.

近年、超音波探傷法よりも広い検出範囲と短時間の検査時間という利点を有しつつ、構造物に熱流を与える必要のないSonic−IR法が用いられるようになった。Sonic−IR法は、検査対象物に超音波エネルギを与えると、欠陥箇所で摩擦が生じ、摩擦熱でその箇所の温度が上昇するので、その温度変化等を赤外線で検出する方法で、超音波を入力し、赤外線による温度分布を出力する欠陥検出法である。以下では、Sonic−IR法のことを「超音波を用いた赤外線欠陥検出法」と呼び、Sonic−IR法を用いる欠陥検出システムを「超音波を用いた赤外線欠陥検出システム」と呼ぶ。   In recent years, the Sonic-IR method has been used which has the advantages of a wider detection range and shorter inspection time than the ultrasonic flaw detection method, but does not require the application of heat flow to the structure. The Sonic-IR method is a method in which when ultrasonic energy is applied to an inspection object, friction occurs at a defective portion and the temperature of the portion increases due to frictional heat. This is a defect detection method that inputs temperature and outputs temperature distribution by infrared rays. Hereinafter, the Sonic-IR method is referred to as “infrared defect detection method using ultrasonic waves”, and the defect detection system using the Sonic-IR method is referred to as “infrared defect detection system using ultrasonic waves”.

例えば、特許文献2には、製鉄プラントの圧延ラインに用いられるテーブルローラの両端ネック部分のき裂の状態を診断するき裂診断装置として、超音波振動発生装置の超音波振動子をテーブルローラに所定の押付力で押し付け、ネック部分の表面に発生する温度変化について赤外線サーモグラフィ装置を用いて検出する構成が開示されている。ここでは、テーブルローラの両端ネック部の上部を覆う鋼鉄製の冷却水保護カバーが赤外線カメラの撮像の妨げになるので、冷却水保護カバーとは反対側のネック部分の表面の温度変化について反射板を用いて検出すること、超音波振動子の先端形状をテーブルローラの形状に合わせることなどが述べられている。   For example, in Patent Document 2, an ultrasonic vibrator of an ultrasonic vibration generator is used as a table roller as a crack diagnosis device for diagnosing the state of cracks at the neck portions at both ends of a table roller used in a rolling line of a steel plant. A configuration is disclosed in which a temperature change generated on the surface of the neck portion is detected by using an infrared thermography device by pressing with a predetermined pressing force. Here, the steel cooling water protection cover that covers the upper part of the neck at both ends of the table roller hinders the imaging of the infrared camera. Therefore, the reflector reflects the temperature change on the surface of the neck portion opposite to the cooling water protection cover. And detecting the tip of the ultrasonic transducer to match the shape of the table roller.

特表2007−531817号公報Special table 2007-531817 特開2013−92489号公報JP 2013-92489 A

超音波を用いた赤外線欠陥検出法では、検査対象物に超音波を入力するため、特許文献2に述べられているように、検査対象物に超音波振動子を押し付ける。超音波エネルギがよく伝達するように、押付力を強くすると、剛性によっては検査対象物が損傷することが生じる。また、曲面を有する検査対象物の場合は、特許文献2に述べられているように、その曲面に適合する形状を有する超音波振動子を準備しなければならない。このように超音波を用いた赤外線欠陥検出法には、検査対象物の形状や剛性等に制限がある。   In the infrared defect detection method using ultrasonic waves, an ultrasonic wave is input to the inspection object, and as described in Patent Document 2, an ultrasonic transducer is pressed against the inspection object. If the pressing force is increased so that the ultrasonic energy is transmitted well, the inspection object may be damaged depending on the rigidity. In the case of an inspection object having a curved surface, as described in Patent Document 2, an ultrasonic transducer having a shape that conforms to the curved surface must be prepared. As described above, the infrared defect detection method using ultrasonic waves is limited in the shape and rigidity of the inspection object.

本発明の目的は、検査対象物に対する適用制限を少なくできる超音波を用いた赤外線欠陥検出システムを提供することである。   An object of the present invention is to provide an infrared defect detection system using ultrasonic waves that can reduce application restrictions on an inspection object.

本発明に係る超音波を用いた赤外線欠陥検出システムは、検査対象物の形状に倣って隙間なく接触する液体状の流動性媒体に超音波エネルギを与える超音波加振装置と、液体状の流動性媒体から超音波エネルギが与えられた検査対象物の表面の温度状態を撮像し測定結果として検査対象物の表面温度分布を表示する赤外線サーモグラフィ装置と、を備え、パイプ型の形状を有する検査対象物について、超音波加振装置は、検査対象物であるパイプの管内の液体状の流動性媒体に超音波エネルギを与え、赤外線サーモグラフィ装置は、検査対象物であるパイプの外周面の温度状態を撮像し測定結果として検査対象物の表面温度分布を表示することを特徴とする。   An infrared defect detection system using ultrasonic waves according to the present invention includes an ultrasonic vibration device that applies ultrasonic energy to a liquid fluid medium that is in contact with a gap following the shape of an inspection object, and a liquid flow An infrared thermography device that images the temperature state of the surface of an inspection object to which ultrasonic energy is applied from a conductive medium and displays the surface temperature distribution of the inspection object as a measurement result, and has a pipe shape The ultrasonic vibration device applies ultrasonic energy to the liquid fluid medium in the pipe of the pipe that is the inspection object, and the infrared thermography device determines the temperature state of the outer peripheral surface of the pipe that is the inspection object. The surface temperature distribution of the inspection object is displayed as a measurement result after imaging.

また、本発明に係る超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、液体状の流動性媒体は、水、油脂、アルコール類のいずれか1を主成分とすることが好ましい。   In the infrared defect detection system using ultrasonic waves according to the present invention, the liquid fluid medium preferably contains any one of water, fats and oils, and alcohols as a main component.

また、本発明に係る超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、検査対象物のパイプは、プラント装置の一部であって、プラント装置において用いられる液体状の処理媒体の流路用パイプであり、超音波加振装置は、検査対象物であるパイプの管内を流動する液体状の処理媒体に対し、その液体状の処理媒体の流動速度が変動する周波数よりも高周波側の周波数を有する超音波エネルギを与えることが好ましい。   Further, in the infrared defect detection system using ultrasonic waves according to the present invention, the pipe of the inspection object is a part of a plant apparatus, and is a pipe for a flow path of a liquid processing medium used in the plant apparatus. The ultrasonic vibration device is an ultrasonic wave having a frequency higher than the frequency at which the flow speed of the liquid processing medium fluctuates with respect to the liquid processing medium flowing in the pipe of the inspection object. It is preferable to provide energy.

また、本発明に係る超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、液体状の流動性媒体は、各種添加物を含んでもよい。   In the infrared defect detection system using ultrasonic waves according to the present invention, the liquid fluid medium may contain various additives.

上記構成により、超音波を用いた赤外線欠陥検出システムは、検査対象物の形状に倣って隙間なく接触する液体状の流動性媒体に超音波エネルギを与え、液体状の流動性媒体から超音波エネルギが与えられた検査対象物の表面の温度状態を撮像し測定結果として検査対象物の表面温度分布を表示する。したがって、検査対象物の形状を問わず、また剛性の低い検査対象物であっても、検査対象物について欠陥検出を容易に行うことが出来る。さらに、パイプ型の形状を有する検査対象物については、パイプの管内の液体状の流動性媒体に超音波エネルギを与え、パイプの外周面の温度状態を赤外線サーモグラフィ装置で調べる。これにより、パイプの内側の形状、外側の形状、曲り等を問わず、欠陥検出を行うことが出来る。   With the above-described configuration, the infrared defect detection system using ultrasonic waves applies ultrasonic energy to a liquid fluid medium that is in contact with the object to be inspected following the shape of the object to be inspected, and the ultrasonic energy is supplied from the liquid fluid medium. Is imaged, and the surface temperature distribution of the inspection object is displayed as a measurement result. Therefore, defect detection can be easily performed on the inspection object regardless of the shape of the inspection object, even if the inspection object has low rigidity. Further, for an inspection object having a pipe shape, ultrasonic energy is applied to the liquid fluid medium in the pipe and the temperature state of the outer peripheral surface of the pipe is examined with an infrared thermography apparatus. Thereby, defect detection can be performed regardless of the inner shape, outer shape, bending, or the like of the pipe.

また、超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、液体状の流動性媒体は、水、油脂、アルコール類のいずれか1を主成分とするものでよく、欠陥検出のための特別形状の治具等が不要である。   In the infrared defect detection system using ultrasonic waves, the liquid fluid medium may be mainly composed of any one of water, fats and oils, and a specially shaped jig for detecting defects. Etc. are unnecessary.

また、超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、検査対象物のパイプは、プラント装置に用いられる液体状の処理媒体の流路用パイプであってもよい。その場合には、検査対象物であるパイプの管内を流動する液体状の処理媒体の流動速度が変動する周波数よりも高周波側の周波数を有する超音波エネルギを与える。これにより、パイプの内側の形状、外側の形状、曲り等を問わず、実際のプラントの現場において欠陥検出を行うことが出来る。   Further, in the infrared defect detection system using ultrasonic waves, the pipe of the inspection object may be a flow path pipe for a liquid processing medium used in a plant apparatus. In that case, ultrasonic energy having a frequency higher than the frequency at which the flow rate of the liquid processing medium flowing in the pipe of the pipe to be inspected fluctuates is applied. Thereby, defect detection can be performed at the actual plant site regardless of the inner shape, the outer shape, the bending, or the like of the pipe.

また、超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、液体状の流動性媒体は、各種添加物を含んでもよい。例えば、切削用添加剤が入った切削油や切削水、不凍液が入った水、防錆材を添加した水や油等をそのまま用いることが出来る。   In the infrared defect detection system using ultrasonic waves, the liquid fluid medium may contain various additives. For example, cutting oil or cutting water containing a cutting additive, water containing antifreeze, water or oil added with a rust preventive can be used as they are.

参考実施の形態の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムの構成を示す図である。ここでは、耐熱溶射皮膜付タービンブレードにおいて基材部からの耐熱溶射皮膜の剥離を検出する例を示した。It is a figure which shows the structure of the infrared defect detection system using the ultrasonic wave of reference embodiment. Here, the example which detects peeling of the heat resistant sprayed coating from the base material part in the turbine blade with the heat resistant sprayed coating was shown. 超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、検査対象物の切欠から進展した疲労き裂を検出する例を示す図である。図2において、(a)は、初期状態の検査対象物の斜視図であり、(b)は、繰り返し曲げを与えたときの検査対象物の斜視図であり、(c)は(a)に対応する表面温度分布を示す図であり、(d)は(b)に対応する表面温度分布を示す図であり、(e)は、(d)の断面図で切欠から進展した疲労き裂を示す図である。It is a figure which shows the example which detects the fatigue crack which extended from the notch of the test object in the infrared defect detection system using an ultrasonic wave. 2A is a perspective view of an inspection object in an initial state, FIG. 2B is a perspective view of the inspection object when repeatedly bent, and FIG. 2C is a perspective view of FIG. It is a figure which shows the corresponding surface temperature distribution, (d) is a figure which shows the surface temperature distribution corresponding to (b), (e) is the fatigue crack which extended from the notch in the sectional view of (d). FIG. 超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、スポット溶接された検査対象物の欠陥を検出する例を示す図である。図3において、(a)は、スポット溶接を示す図で、(b)は、スポット溶接された検査対象物を示す図であり、(c)は(a)に対応する表面温度分布を示す図であり、(d)は(b)に対応する表面温度分布を示す図であり、(e)は、(d)で検出された欠陥箇所の断面図である。It is a figure which shows the example which detects the defect of the inspection target spot-welded in the infrared rays defect detection system using an ultrasonic wave. In FIG. 3, (a) is a diagram showing spot welding, (b) is a diagram showing an inspection object subjected to spot welding, and (c) is a diagram showing a surface temperature distribution corresponding to (a). (D) is a diagram showing a surface temperature distribution corresponding to (b), and (e) is a cross-sectional view of the defect portion detected in (d). 図1で述べた参考実施の形態の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムの変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the infrared rays defect detection system using the ultrasonic wave of reference embodiment described in FIG. 参考実施の形態の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、検査対象物の一部を液体状の流動性媒体に浸漬するために、検査対象物に対し媒体浴槽を上下させる例を示す図である。In the infrared defect detection system using the ultrasonic wave of the reference embodiment, in order to immerse a part of the inspection object in a liquid fluid medium, it is a diagram showing an example of raising and lowering the medium bathtub with respect to the inspection object is there. 参考実施の形態の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、容器状の検査対象物の欠陥検出を行う例を示す図である。It is a figure which shows the example which performs the defect detection of a container-shaped test target object in the infrared rays defect detection system using the ultrasonic wave of reference embodiment. 本発明に係る実施の形態の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、プラント装置に用いられる液体状の処理媒体の流路用パイプの欠陥検出を行う例を示す図である。It is a figure which shows the example which performs the defect detection of the pipe for flow paths of the liquid processing medium used for a plant apparatus in the infrared defect detection system using the ultrasonic wave of embodiment which concerns on this invention. 参考実施の形態の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、液体状の流動性媒体を満たした媒体浴槽中に浸漬されて配置される検査対象物の欠陥検出を行う例を示す図である。図8(a)は、媒体浴槽における断面図、(b)は媒体浴槽の外側に配置される赤外線サーモグラフィ装置等の配置を示す図である。In the infrared defect detection system using the ultrasonic wave of reference embodiment, it is a figure which shows the example which performs the defect detection of the test object arrange | positioned immersed in the medium bath filled with the liquid fluid medium. Fig.8 (a) is sectional drawing in a medium bathtub, (b) is a figure which shows arrangement | positioning of the infrared thermography apparatus etc. which are arrange | positioned on the outer side of a medium bathtub.

以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態につき、詳細に説明する。以下では、検査対象物の材質として金属の場合を述べるが、超音波エネルギが与えられると欠陥箇所で摩擦が生じる材質、例えば、プラスチックやセラミック、ゴム等であっても構わない。また、外力が加わると変形するものであっても構わない。例えば、剛性の低い物体の他、板バネ、コイルばね等、弾性体、粘弾性体等であってもよい。   Embodiments according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the following, the case of a metal as the material of the inspection object will be described. However, a material that causes friction at a defective portion when ultrasonic energy is applied, for example, plastic, ceramic, rubber, or the like may be used. Further, it may be deformed when an external force is applied. For example, in addition to an object with low rigidity, an elastic body, a viscoelastic body, or the like such as a leaf spring or a coil spring may be used.

以下で述べる形状、寸法、材質等は、説明のための例示であって、超音波を用いた赤外線欠陥検出システムの仕様等に合わせ、適宜変更が可能である。また、以下では、全ての図面において同様の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。   The shapes, dimensions, materials, and the like described below are examples for explanation, and can be appropriately changed according to the specifications of an infrared defect detection system using ultrasonic waves. In the following description, the same elements are denoted by the same reference symbols in all the drawings, and redundant description is omitted.

図1は、参考実施の形態における超音波を用いた赤外線欠陥検出システム10の構成を示す図である。以下では、超音波を用いた赤外線欠陥検出システム10を、特に断らない限り、欠陥検出システム10と呼ぶ。図4以下で説明する各種の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムも、特に断らない限り、欠陥検出システムと呼ぶ。   FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an infrared defect detection system 10 using ultrasonic waves according to a reference embodiment. Hereinafter, the infrared defect detection system 10 using ultrasonic waves is referred to as the defect detection system 10 unless otherwise specified. An infrared defect detection system using various ultrasonic waves described below with reference to FIG. 4 is also called a defect detection system unless otherwise specified.

図1には、欠陥検出システム10の構成要素ではないが、曲面形状を有する検査対象物8を示した。図1(a)は全体構成図で、(b)は、検査対象物8における欠陥箇所の断面図である。検査対象物8は、翼形状の基材部6の外表面全体に耐熱溶射皮膜7がコーティングされた耐熱溶射皮膜付タービンブレードである。   FIG. 1 shows an inspection object 8 that is not a component of the defect detection system 10 but has a curved surface shape. FIG. 1A is an overall configuration diagram, and FIG. 1B is a cross-sectional view of a defective portion in the inspection object 8. The inspection object 8 is a turbine blade with a heat-resistant sprayed coating in which the entire outer surface of the wing-shaped base member 6 is coated with the heat-resistant sprayed coating 7.

欠陥検出システム10は、超音波水槽12に張られた水18に検査対象物8の一部を浸漬し、水18を介して検査対象物8に超音波エネルギを与え、検査対象物8の表面温度分布を赤外線サーモグラフィ装置30で撮像し、撮像データから、欠陥の有無、その位置、その大きさ等を検出するシステムである。   The defect detection system 10 immerses a part of the inspection object 8 in water 18 stretched in the ultrasonic water tank 12, applies ultrasonic energy to the inspection object 8 through the water 18, and the surface of the inspection object 8. In this system, the temperature distribution is imaged by the infrared thermography device 30 and the presence / absence of a defect, its position, its size, and the like are detected from the image data.

超音波水槽12は、縦、横がそれぞれ約1〜2m、深さが約1m弱の大きさの大型超音波洗浄槽である。超音波水槽12は、水18が満たされる浴槽空間を有する媒体浴槽14と、媒体浴槽14の底部等に配置される超音波加振装置16が一体化されて構成される。   The ultrasonic water tank 12 is a large ultrasonic cleaning tank having a size of about 1 to 2 m in length and width and a depth of about 1 m. The ultrasonic water tank 12 is configured by integrating a medium bathtub 14 having a bathtub space filled with water 18 and an ultrasonic vibration device 16 disposed at the bottom of the medium bathtub 14.

媒体浴槽14は、金属製の大型容器を用いることが出来る。ホーロー引き等の表面処理が行われていてもよい。   The medium bathtub 14 can be a metal large container. Surface treatment such as enameling may be performed.

超音波加振装置16は、水18に超音波エネルギを与える超音波振動源である。超音波加振装置16は、任意の周波数と任意の振幅の超音波を出力するファンクションジェネレータである超音波発振器と、超音波発振器と適当な信号線で接続され、超音波を外部に出力する超音波振動子とで構成される。図1の例では、複数個の超音波振動子が媒体浴槽の外側底面に固定設置されている。超音波加振装置16の発振周波数、最大出力等は、欠陥検出システム10の仕様に応じたものが用いられる。例えば、発振周波数は、検出すべき欠陥の種類や大きさ等から定めることが出来る。欠陥の種類としては、剥離欠陥、クラック欠陥、空洞欠陥等である。最大出力は、媒体浴槽14の大きさ、浴槽空間に満たされる水18の量によって適宜変更できる。一例を挙げると、発振周波数は数100Hz〜数10kHz、最大出力は数100Wから数10kWの範囲である。例えば、発振周波数が約40kHz、最大出力が約0.5kWの超音波発振器が用いられる。   The ultrasonic vibration device 16 is an ultrasonic vibration source that applies ultrasonic energy to the water 18. The ultrasonic vibration device 16 is connected to an ultrasonic oscillator, which is a function generator that outputs an ultrasonic wave having an arbitrary frequency and an arbitrary amplitude, and an ultrasonic wave generator through an appropriate signal line, and outputs an ultrasonic wave to the outside. It consists of a sound wave vibrator. In the example of FIG. 1, a plurality of ultrasonic transducers are fixedly installed on the outer bottom surface of the medium bathtub. As the oscillation frequency, maximum output, and the like of the ultrasonic vibration device 16, those according to the specifications of the defect detection system 10 are used. For example, the oscillation frequency can be determined from the type and size of the defect to be detected. Defect types include peeling defects, crack defects, cavity defects, and the like. The maximum output can be appropriately changed depending on the size of the medium bathtub 14 and the amount of water 18 filled in the bathtub space. As an example, the oscillation frequency ranges from several hundred Hz to several tens kHz, and the maximum output ranges from several hundred W to several tens kW. For example, an ultrasonic oscillator having an oscillation frequency of about 40 kHz and a maximum output of about 0.5 kW is used.

水18は、液体状の流動性媒体であって、超音波加振装置16が出力する超音波エネルギを検査対象物8に伝達する超音波エネルギ伝達物質である。ここでは、液体状の流動性媒体である水18として、水道水が用いられる。水道水以外であっても、検査対象物8の外形形状に倣って隙間なく接触する液体状の流動性媒体であれば、欠陥検出システム10における超音波エネルギ伝達物質として用いることが出来る。   The water 18 is a liquid fluid medium, and is an ultrasonic energy transmission material that transmits the ultrasonic energy output from the ultrasonic vibration device 16 to the inspection object 8. Here, tap water is used as the water 18 which is a liquid fluid medium. Even if it is other than tap water, it can be used as an ultrasonic energy transmission material in the defect detection system 10 as long as it is a liquid fluid medium that contacts the inspection object 8 in conformity with the outer shape without gaps.

液体状の流動性媒体としては、水道水である水18以外であっても、例えば、水、油脂、アルコール類のいずれか1を主成分とする液体を用いることが出来る。なお、一般的な超音波探傷法においては、超音波振動子の先端部と検査対象物の表面との間に超音波エネルギの伝達損失を少なくするためにクリーム状のグリセリン等を塗布することが行われる。この場合のクリーム状の媒体の塗布は、超音波振動子の先端部に局部的に媒体を塗布するものであって、自然状態において検査対象物8の外形形状に倣って隙間なく接触するものではなく、浸漬とは異なる概念である。したがって、媒体浴槽に粘度の低いグリセリンを大量に充填し、その中に検査対象物の一部を埋没させる場合を除いて、ここでいう液体状の流動性媒体に含まれない。   As the liquid fluid medium, for example, a liquid mainly composed of any one of water, fats and oils, and alcohols can be used even if it is other than the water 18 which is tap water. In a general ultrasonic flaw detection method, creamy glycerin or the like may be applied between the tip of the ultrasonic transducer and the surface of the inspection object in order to reduce transmission loss of ultrasonic energy. Done. In this case, the cream-like medium is applied by locally applying the medium to the tip of the ultrasonic transducer, and in a natural state, following the outer shape of the inspection object 8 without contact with a gap. It is a concept different from immersion. Therefore, it is not included in the liquid fluid medium here, except that the medium bath is filled with a large amount of glycerin having a low viscosity and a part of the inspection object is buried therein.

液体状の流動性媒体は、各種添加物を含んでもよい。例えば、切削用添加剤が入った切削油や切削水、不凍液が入った水、防錆材を添加した水や油等を、液体状の流動性媒体として用いることが出来る。   The liquid fluid medium may contain various additives. For example, cutting fluid or cutting water containing a cutting additive, water containing antifreeze, water or oil added with a rust inhibitor can be used as the liquid fluid medium.

液体状の流動性媒体である水18を超音波エネルギ伝達物質として用いることで、水18を介して超音波エネルギを検査対象物8に与えられるので、検査対象物8が複雑な形状であってもよく、形状の制約がない。また、検査対象物8が変形するような大きな押付力を加えることもなく、剛性に対する制約がない。   By using water 18 that is a liquid fluid medium as an ultrasonic energy transmission material, ultrasonic energy can be applied to the inspection object 8 through the water 18, so that the inspection object 8 has a complicated shape. There are no restrictions on the shape. Moreover, there is no restriction | limiting with respect to rigidity, without applying big pressing force which the test target object 8 deform | transforms.

水18は、媒体浴槽14に適当な水位レベルで満たすことがよい。適当な水位レベルとしては、媒体浴槽14の深さの約50〜80%程度がよい。   Water 18 may fill medium tub 14 at an appropriate water level. As an appropriate water level, about 50 to 80% of the depth of the medium bathtub 14 is good.

保持装置22は、媒体浴槽14の水18に検査対象物8を浸漬させて保持する装置である。保持装置22は、検査対象物8の一方端側を水18に浸漬する高さになるように高さを調整して、他方端部を水18の上方空間で固定して保持する。保持装置22は、検査対象物8の他方端部を固定する固定部24と、固定部24の高さを調整する高さ調整部26を備える。図1に水面20を示した。   The holding device 22 is a device that holds the inspection object 8 by immersing it in the water 18 of the medium bathtub 14. The holding device 22 adjusts the height so that one end side of the inspection object 8 is immersed in the water 18, and fixes and holds the other end portion in the space above the water 18. The holding device 22 includes a fixing unit 24 that fixes the other end of the inspection object 8 and a height adjusting unit 26 that adjusts the height of the fixing unit 24. The water surface 20 is shown in FIG.

固定部24は、水面20が波立っても検査対象物8が運動しない程度に検査対象物8の他方端部を緩やかに固定する保持手段である。検査対象物8が運動しない程度とは、赤外線サーモグラフィ装置30による温度状態検出に支障のない程度のことで、具体的には、赤外線サーモグラフィ装置30のデータ転送速度であるフレームレート以下の低周波振動であれば許容できる。緩やかに固定、とは、検査対象物8を損傷しないように保持することを意味する。かかる固定部24としては、例えば、把持部分にクッション材が設けられたクリップ、両面接着シート等を用いることが出来る。検査対象物8が磁力で把持できる材質であるときは、磁石を固定部24として用い、媒体浴槽14に対して磁力で検査対象物8を吊下げるようにしてもよい。   The fixing part 24 is a holding means that gently fixes the other end of the inspection object 8 to such an extent that the inspection object 8 does not move even when the water surface 20 undulates. The degree to which the inspection object 8 does not move means that the temperature state detection by the infrared thermography device 30 is not hindered. Specifically, the low frequency vibration below the frame rate that is the data transfer speed of the infrared thermography device 30. Is acceptable. The loose fixing means holding the inspection object 8 so as not to be damaged. As the fixing portion 24, for example, a clip in which a cushion material is provided at a grip portion, a double-sided adhesive sheet, or the like can be used. When the inspection object 8 is made of a material that can be gripped by a magnetic force, a magnet may be used as the fixing portion 24 and the inspection object 8 may be suspended from the medium bathtub 14 by a magnetic force.

高さ調整部26は、検査対象物8の一方端側が水18の水面20下に位置するように固定部24の高さを調整し、検査対象物8の一部を水18に浸漬する。浸漬量が小さいと、水18を介して超音波エネルギが十分に伝達されず、浸漬量が大きいと、赤外線サーモグラフィ装置30の検出可能領域が狭くなる。これらから、浸漬量は、検査対象物8の全体の高さの約5〜20%程度とすることがよい。   The height adjusting unit 26 adjusts the height of the fixing unit 24 so that one end side of the inspection object 8 is positioned below the water surface 20 of the water 18, and immerses a part of the inspection object 8 in the water 18. When the immersion amount is small, the ultrasonic energy is not sufficiently transmitted through the water 18, and when the immersion amount is large, the detectable region of the infrared thermography device 30 is narrowed. Therefore, the immersion amount is preferably about 5 to 20% of the entire height of the inspection object 8.

赤外線サーモグラフィ装置30は、検査対象物8の温度分布測定装置であり、検査対象物8の欠陥検出装置でもある。赤外線サーモグラフィ装置30は、赤外線カメラ32と、赤外線カメラ32で撮像した検出データを温度分布に変換し、その結果を測定結果として表示する解析表示装置34で構成される。ここでは、赤外線サーモグラフィ装置30として、赤外線カメラ32と、解析表示装置34を別体構成としたが、これをカメラと演算装置と画像モニタとを一体化した装置としてもよい。   The infrared thermography device 30 is a temperature distribution measuring device for the inspection object 8 and also a defect detection device for the inspection object 8. The infrared thermography device 30 includes an infrared camera 32 and an analysis display device 34 that converts detection data captured by the infrared camera 32 into a temperature distribution and displays the result as a measurement result. Here, the infrared camera 32 and the analysis display device 34 are separately configured as the infrared thermography device 30, but this may be a device in which the camera, the arithmetic device, and the image monitor are integrated.

赤外線カメラ32の画素数や、撮像のフレームレート、温度分解能等は、欠陥検出システム10の仕様に応じたものが用いられる。例えば、赤外線カメラ32の画素数は、検出すべき欠陥の最小寸法や、赤外線カメラ32から検査対象物8までの距離等で定めることが出来る。また、撮像のフレームレートは、検査時間の仕様等から定めることが出来る。温度分解能は、検出すべき欠陥の種類や大きさに基づいて定めることが出来る。一例を挙げると、赤外線カメラ32の画素数は数万素子から数10万素子、撮像のフレームレートは、数Hzから数100Hz、温度分解能は、数10mKから数100mKの範囲である。撮像のフレームレートは、超音波加振装置16の発振周波数に比べ2〜3桁程度低い周波数である。例えば、赤外線カメラ32の画素数を約20万素子、撮像のフレームレートを約100Hz、温度分解能を約25mKの赤外線サーモグラフィ装置30が用いられる。   The number of pixels of the infrared camera 32, the imaging frame rate, the temperature resolution, and the like are in accordance with the specifications of the defect detection system 10. For example, the number of pixels of the infrared camera 32 can be determined by the minimum size of the defect to be detected, the distance from the infrared camera 32 to the inspection object 8, and the like. In addition, the imaging frame rate can be determined from the specification of the inspection time. The temperature resolution can be determined based on the type and size of the defect to be detected. For example, the number of pixels of the infrared camera 32 ranges from tens of thousands to hundreds of thousands of elements, the imaging frame rate ranges from several Hz to several hundreds Hz, and the temperature resolution ranges from several tens of mK to several hundreds of mK. The imaging frame rate is a frequency lower by about two to three digits than the oscillation frequency of the ultrasonic vibration device 16. For example, an infrared thermography apparatus 30 having about 200,000 elements of the infrared camera 32, an imaging frame rate of about 100 Hz, and a temperature resolution of about 25 mK is used.

解析表示装置34は、ディスプレイを有するパーソナルコンピュータを用いることが出来る。解析表示装置34は、赤外線カメラ32で撮像した検出データを温度分布に変換した画像表示データに変換する機能と、変換された画像表示データは温度分布データとしてディスプレイに表示する機能を有する。解析表示装置34は、適当なインタフェース回路を用いて超音波加振装置16と接続し、超音波加振装置16の動作を制御するものとしてよい。図1では、解析表示装置34のディスプレイに、検査対象物8の温度分布図36が表示されている。   As the analysis display device 34, a personal computer having a display can be used. The analysis display device 34 has a function of converting detection data captured by the infrared camera 32 into image display data converted into a temperature distribution, and a function of displaying the converted image display data on a display as temperature distribution data. The analysis display device 34 may be connected to the ultrasonic vibration device 16 using an appropriate interface circuit to control the operation of the ultrasonic vibration device 16. In FIG. 1, a temperature distribution diagram 36 of the inspection object 8 is displayed on the display of the analysis display device 34.

検査対象物8の温度分布図36には、局部的に温度の高い箇所38が環状に現れていることが示される。この箇所38の周辺が剥離欠陥箇所である。図1(b)は、検査対象物8の箇所38の部分についての断面図である。検査対象物8は、翼形状の基材部6の外表面全体に耐熱溶射皮膜7がコーティングされた耐熱溶射皮膜付タービンブレードで、欠陥箇所は、基材部6から耐熱溶射皮膜7が剥離している箇所である。図1(b)では、基材部6の片面側に剥離が生じている。欠陥箇所は、タービンブレード6と耐熱溶射皮膜7の間に空洞が生じている部分4と、部分4の周辺において僅かな隙間が生じている部分5に分けられる。   In the temperature distribution diagram 36 of the inspection object 8, it is shown that a portion 38 having a locally high temperature appears in an annular shape. The periphery of this portion 38 is a peeling defect portion. FIG. 1B is a cross-sectional view of the portion 38 of the inspection object 8. The inspection object 8 is a turbine blade with a heat-resistant sprayed coating in which the entire outer surface of the wing-shaped base member 6 is coated with a heat-resistant sprayed coating 7. It is a place. In FIG.1 (b), peeling has arisen on the single side | surface side of the base material part 6. FIG. The defective portion is divided into a portion 4 in which a cavity is generated between the turbine blade 6 and the heat-resistant sprayed coating 7 and a portion 5 in which a slight gap is generated around the portion 4.

欠陥検出システム10では、超音波によって欠陥箇所において摩擦が生じることで発生する温度変化を検出するものである。空洞が生じている部分4と僅かな開口隙間が生じている部分5の相違は、基材部6と耐熱溶射皮膜7の界面における開口隙間の隙間間隔の大小である。欠陥検出システム10において、摩擦が発生する欠陥の隙間間隔は、材料の物性によって異なるが、一例を挙げると、数μm程度である。数μm程度よりも十分大きい隙間間隔の欠陥を開口欠陥と呼ぶと、開口欠陥では欠陥界面の所に空気層あるいは真空層があり、摩擦が発生しない。また、数μm程度よりも十分小さい隙間間隔を閉口欠陥と呼ぶと、閉口欠陥では界面の間にほとんど隙間がなく摩擦が発生しても赤外線サーモグラフィ装置30の温度分解能以下の温度上昇となって検出できない。したがって、欠陥検出システム10で検出できるのは、開口欠陥と閉口欠陥の境界部で、数μmの隙間間隔の開口隙間を有する箇所である。   The defect detection system 10 detects a temperature change that occurs due to friction generated at a defect location by ultrasonic waves. The difference between the part 4 where the cavity is generated and the part 5 where the slight opening gap is generated is the size of the opening gap at the interface between the base material portion 6 and the heat-resistant sprayed coating 7. In the defect detection system 10, the gap interval between defects in which friction occurs varies depending on the physical properties of the material, but, for example, is about several μm. When a defect having a gap interval sufficiently larger than about several μm is called an opening defect, the opening defect has an air layer or a vacuum layer at the defect interface, and friction does not occur. Further, when a gap interval sufficiently smaller than about several μm is called a closed defect, even if the closed defect has almost no gap between the interfaces and friction occurs, the temperature rises below the temperature resolution of the infrared thermography device 30 and is detected. Can not. Therefore, the defect detection system 10 can detect a portion having an opening gap with a gap interval of several μm at the boundary between the opening defect and the closing defect.

図1(b)の例では、空洞が生じている部分4は開口欠陥であるので、摩擦による温度上昇が生じない。また、僅かな隙間が生じている部分5よりも外側は閉口欠陥であるので、摩擦による温度上昇がほとんど生じない。摩擦による温度上昇が検出できるのは、数μmの僅かな隙間が生じている部分5のみで、剥離によって空洞が生じている部分4の周囲を環状に囲む部分である。このように、剥離欠陥の場合には、剥離によって空洞が生じた部分4の周囲に、環状に局部的に温度の高い箇所38が現われる。この箇所38で囲まれた領域が剥離によって空洞が生じている部分である。このようにして、欠陥検出システム10において、剥離欠陥の位置とその大きさが検出される。   In the example of FIG. 1B, since the portion 4 where the cavity is generated is an opening defect, the temperature rise due to friction does not occur. Further, since the outer side of the portion 5 where the slight gap is generated is a closed defect, the temperature rise due to friction hardly occurs. The temperature increase due to friction can be detected only in the portion 5 where a slight gap of several μm is generated, and the portion surrounding the portion 4 where the cavity is generated by the peeling is annularly surrounded. As described above, in the case of a peeling defect, a portion 38 having a high temperature appears in a ring shape around the portion 4 where the cavity is generated by the peeling. A region surrounded by this portion 38 is a portion where a cavity is generated by peeling. In this way, the position and size of the peeling defect are detected in the defect detection system 10.

図1の検査対象物8は、曲面状の外形を有するので、一般的なSonic−IR法を適用しようとすると、この曲面状の外形に適合した先端形状を有する超音波振動子が必要となる。また、検査対象物8における剥離欠陥は、基材部6と耐熱溶射皮膜7の間の界面に発生するので、仮に適当な先端形状の超音波振動子を用意しても、一般的なSonic−IR法では摩擦熱を発生させる程度の超音波エネルギの入力が必要で、検査対象物8にかなり大きな押付力で超音波振動子を押し付ける必要がある。そのように大きな押付力で検査対象物8に超音波振動子を押し付けると、耐熱溶射皮膜7の剥離やき裂を発生させる恐れがある。押付力を少なくすると超音波エネルギが検査対象物8に十分に伝達されず、欠陥検出が不十分となる。また、一般的な赤外線探傷法を適用しようとすると、曲面状の外形を有する検査対象物8に適当な熱流を形成する手段が必要である。   Since the inspection object 8 in FIG. 1 has a curved outer shape, if a general Sonic-IR method is to be applied, an ultrasonic transducer having a tip shape adapted to the curved outer shape is required. . Further, since the peeling defect in the inspection object 8 occurs at the interface between the base material portion 6 and the heat-resistant sprayed coating 7, even if an ultrasonic transducer having an appropriate tip shape is prepared, a general Sonic- In the IR method, it is necessary to input ultrasonic energy enough to generate frictional heat, and it is necessary to press the ultrasonic vibrator against the inspection object 8 with a considerably large pressing force. If the ultrasonic vibrator is pressed against the inspection object 8 with such a large pressing force, the heat-resistant sprayed coating 7 may be peeled off or cracked. If the pressing force is reduced, the ultrasonic energy is not sufficiently transmitted to the inspection object 8, and defect detection becomes insufficient. If a general infrared flaw detection method is to be applied, means for forming an appropriate heat flow on the inspection object 8 having a curved outer shape is required.

これに対し、図1における欠陥検出システム10では、検査対象物8の形状に倣って隙間なく接触する液体状の流動性媒体である水18に超音波エネルギを与え、水18から超音波エネルギが与えられた検査対象物8の表面の温度状態を撮像し検査対象物8の表面温度分布を表示する。したがって、検査対象物8が曲面状の形状であっても、また、耐熱溶射皮膜7の剛性が低くても、検査対象物8の剥離欠陥の検出を容易に行うことが出来る。   On the other hand, in the defect detection system 10 in FIG. 1, ultrasonic energy is applied to the water 18 that is a liquid fluid medium that contacts the inspection object 8 without a gap following the shape of the inspection object 8. The temperature state of the surface of the given inspection object 8 is imaged and the surface temperature distribution of the inspection object 8 is displayed. Therefore, even if the inspection object 8 has a curved surface shape or the rigidity of the heat-resistant sprayed coating 7 is low, it is possible to easily detect the peeling defect of the inspection object 8.

図2と図3は、欠陥検出システム10を用いて剥離欠陥以外の欠陥検出の例を示す図である。図2は、曲面形状を有する検査対象物の切欠から進展した疲労き裂を検出する例を示す。図3は、剛性の低い薄板同士をスポット溶接した検査対象物の欠陥を検出する例を示す。   2 and 3 are diagrams showing examples of defect detection other than the peeling defect using the defect detection system 10. FIG. 2 shows an example in which a fatigue crack that has developed from a notch in an inspection object having a curved surface shape is detected. FIG. 3 shows an example of detecting a defect of an inspection object obtained by spot welding thin plates having low rigidity.

図2において、(a)は、初期状態の検査対象物の斜視図であり、(b)は、繰り返し曲げを与えたときの検査対象物の斜視図であり、(c)は(a)に対応する表面温度分布を示す図であり、(d)は(b)に対応する表面温度分布を示す図であり、(e)は、(d)の拡大図で、切欠から進展した疲労き裂を示す図である。   2A is a perspective view of an inspection object in an initial state, FIG. 2B is a perspective view of the inspection object when repeatedly bent, and FIG. 2C is a perspective view of FIG. It is a figure which shows the corresponding surface temperature distribution, (d) is a figure which shows the surface temperature distribution corresponding to (b), (e) is the enlarged view of (d), and the fatigue crack which propagated from the notch FIG.

図2における検査対象物40は、曲面形状を有する試験片本体42と、試験片本体42に設けられた切欠部44で構成される疲労試験片である。検査対象物40は、所定の繰り返し曲げが印加されることで、図2(b)に示すように、外形が部分的に塑性変形した検査対象物43となる。しかし目視では、検査対象物43に欠陥が視認されていない。   An inspection object 40 in FIG. 2 is a fatigue test piece composed of a test piece main body 42 having a curved shape and a notch 44 provided in the test piece main body 42. The inspection object 40 becomes an inspection object 43 whose outer shape is partially plastically deformed as shown in FIG. 2B by applying a predetermined repeated bending. However, visually, no defect is visually recognized on the inspection object 43.

図2(c),(d)は、図1で説明した欠陥検出システム10を用いて得られた温度分布を示す図である。図2(c)は、図2(a)の初期状態における検査対象物40の温度分布で、局部的温度上昇が検出されない。図2(d)は、図2(b)の繰り返し曲げ負荷後の検査対象物41の温度分布で、切欠部44の先の部分に局部的に温度の高い箇所46が検出される。この箇所46の周辺が、繰り返し曲げ負荷による疲労き裂が生じた欠陥箇所である。   2C and 2D are diagrams showing temperature distributions obtained using the defect detection system 10 described in FIG. FIG. 2C shows the temperature distribution of the inspection object 40 in the initial state of FIG. 2A, and no local temperature rise is detected. FIG. 2D shows the temperature distribution of the inspection object 41 after the repeated bending load shown in FIG. 2B, and a locally high temperature portion 46 is detected at the tip of the notch 44. The periphery of the portion 46 is a defect portion where a fatigue crack is caused by repeated bending loads.

図2(e)は、検査対象物41の箇所46の部分の拡大図である。欠陥箇所は、切欠部44から延びるき裂が生じている箇所で、切欠部44に接続してき裂がかなり大きく開口している部分48と、き裂が僅かに開口している部分50と、き裂がほとんど開口していない部分52に分けられる。   FIG. 2E is an enlarged view of a portion 46 of the inspection object 41. The defective part is a part where a crack extending from the notch 44 is generated, a part 48 which is connected to the notch 44 and the crack is opened considerably large, a part 50 where the crack is slightly opened, and a crack. The fissure is divided into portions 52 that are hardly open.

図2(e)の例では、き裂がかなり大きく開口している部分48は、図1(b)で説明した開口欠陥であるので、摩擦による温度上昇が生じない。また、き裂がほとんど開口していない部分52は、図1(b)で説明した閉口欠陥であるので、摩擦による温度上昇がほとんど生じない。摩擦による温度上昇が検出できるのは、開口の隙間間隔が数μmの僅かな開口が生じている部分50のみで、切欠部44からやや離れた箇所である。したがって「かなり大きく開口している」とは、数μmよりも大きな隙間開口であることで、「ほとんど開口していない」とは、数μm未満の隙間開口であることを意味する。数μmの具体的数値は、検査対象物8の物性や検査仕様等に基づいて予め設定することが可能である。このように、切欠部44から進展する疲労き裂の欠陥の場合には、切欠部44からやや離れた箇所に、局部的に温度の高い箇所46が現われる。切欠部44とこの箇所46を結ぶ線上に、疲労き裂の欠陥が生じている。このようにして、欠陥検出システム10において、疲労き裂の欠陥の位置とおおよその大きさが検出される。   In the example shown in FIG. 2 (e), the portion 48 where the cracks are considerably opened is the opening defect described with reference to FIG. Further, the portion 52 where the crack is hardly opened is the closing defect described with reference to FIG. A temperature increase due to friction can be detected only at a portion 50 where a slight opening having a gap interval of several μm is formed, and a portion slightly separated from the notch 44. Accordingly, “opening considerably large” means a gap opening larger than several μm, and “almost no opening” means a gap opening of less than several μm. A specific numerical value of several μm can be set in advance based on the physical properties of the inspection object 8, inspection specifications, or the like. In this way, in the case of a fatigue crack defect that propagates from the notch 44, a locally high temperature portion 46 appears at a location slightly away from the notch 44. A fatigue crack defect occurs on the line connecting the notch 44 and the portion 46. In this manner, the defect detection system 10 detects the position and approximate size of the fatigue crack defect.

図3において、(a)は、スポット溶接を示す図で、(b)は、スポット溶接された検査対象物を示す図であり、(c)は(a)に対応する表面温度分布を示す図であり、(d)は(b)に対応する表面温度分布を示す図であり、(e)は、(d)で検出された欠陥箇所の断面図である。   In FIG. 3, (a) is a diagram showing spot welding, (b) is a diagram showing an inspection object subjected to spot welding, and (c) is a diagram showing a surface temperature distribution corresponding to (a). (D) is a diagram showing a surface temperature distribution corresponding to (b), and (e) is a cross-sectional view of the defect portion detected in (d).

図3(a)で、スポット溶接は、一対の溶接端子54,56と、溶接端子54,56の間に溶接電力パルスを供給する溶接電源58を用いて行われる。ここでは、スポット溶接対象物60として、2枚の薄板62,64が示されている。スポット溶接は、2枚の薄板62,64を重ねて、薄板62側に溶接端子54を宛がい、これに対向する位置で薄板64側に溶接端子56を宛がい、溶接電源58から溶接端子54,56の間に溶接電力パルスを印加し、薄板62と薄板64を溶接箇所66で一体化する。図3(b)は、溶接によって一体化された検査対象物61を示す図で、目視ではスポット溶接による欠陥が視認されていない。   In FIG. 3A, spot welding is performed using a pair of welding terminals 54 and 56 and a welding power source 58 that supplies a welding power pulse between the welding terminals 54 and 56. Here, two thin plates 62 and 64 are shown as the spot welding object 60. In spot welding, two thin plates 62 and 64 are overlapped, the welding terminal 54 is assigned to the thin plate 62 side, the welding terminal 56 is assigned to the thin plate 64 side at a position opposite to this, and the welding terminal 54 is supplied from the welding power source 58. , 56, a welding power pulse is applied, and the thin plate 62 and the thin plate 64 are integrated at the welding point 66. FIG. 3B is a diagram showing the inspection object 61 integrated by welding, and no defects due to spot welding are visually recognized.

図3(c),(d)は、図1で説明した欠陥検出システム10を用いて得られた温度分布を示す図である。図3(c)は、スポット溶接対象物60の温度分布で、局部的温度上昇が検出されない。図3(d)は、図3(b)のスポット溶接後の検査対象物61の温度分布で、溶接箇所66に対応する箇所に、局部的に温度の高い環状箇所70,72が検出される。環状箇所70,72は互いに離間し、環状箇所が二重となっている。この環状箇所70,72の周辺が、スポット溶接によって生じた欠陥箇所である。   3C and 3D are diagrams showing temperature distributions obtained using the defect detection system 10 described in FIG. FIG. 3C shows the temperature distribution of the spot welding object 60, and no local temperature rise is detected. FIG. 3D shows the temperature distribution of the inspection object 61 after spot welding shown in FIG. 3B, and the annular portions 70 and 72 having locally high temperatures are detected at locations corresponding to the welding locations 66. . The annular portions 70 and 72 are separated from each other, and the annular portions are doubled. The periphery of the annular portions 70 and 72 is a defective portion caused by spot welding.

図3(e)は、検査対象物61の環状箇所70,72の部分についての断面図である。図3(e)に示されるように、2枚の薄板62,64は、環状の部分80で接続され一体化されている。この環状の部分80は、スポット溶接によって2枚の薄板62,64が一体化された溶接箇所66に対応する部分である。環状の部分80の外側の隙間82は、2枚の薄板62,64がスポット溶接されていない部分で、溶接箇所66の外側の部分である。   FIG. 3E is a cross-sectional view of the annular portions 70 and 72 of the inspection object 61. As shown in FIG. 3E, the two thin plates 62 and 64 are connected and integrated by an annular portion 80. The annular portion 80 is a portion corresponding to a welding point 66 in which the two thin plates 62 and 64 are integrated by spot welding. A gap 82 outside the annular portion 80 is a portion where the two thin plates 62 and 64 are not spot welded, and is a portion outside the welded portion 66.

正常にスポット溶接が行われているときは、2枚の薄板62,64が接続一体化される部分は、溶接箇所66と同じ円形形状部分となって環状の部分80とはならない。図3(e)では、スポット溶接が完全でなく、溶接個所の64に対応する部分の中央部に隙間84が生じている。   When spot welding is normally performed, the portion where the two thin plates 62 and 64 are connected and integrated becomes the same circular shape portion as the welded portion 66 and does not become the annular portion 80. In FIG.3 (e), spot welding is not perfect and the clearance gap 84 has arisen in the center part of the part corresponding to 64 of a welding location.

隙間82,84は図1(b)で説明した開口欠陥である。隙間82に接する環状の部分80の境界には、僅かな開口が生じている領域があり、同様に、環状の部分80に接する隙間84の境界にも僅かな開口が生じている領域がある。開口欠陥である隙間82,84では、薄板62,64の間で摩擦が生じない。環状の部分80の外周側で隙間82に接する環状境界、環状の部分80の内周側で隙間84と接する環状境界では、数μmの僅かな開口が生じていて、ここで摩擦による温度上昇が検出される。   The gaps 82 and 84 are the opening defects described with reference to FIG. There is a region where a slight opening is generated at the boundary of the annular portion 80 in contact with the gap 82, and similarly, there is a region where a slight opening is also generated at the boundary of the gap 84 which is in contact with the annular portion 80. In the gaps 82 and 84 which are opening defects, no friction is generated between the thin plates 62 and 64. At the annular boundary that contacts the gap 82 on the outer peripheral side of the annular portion 80 and the annular boundary that contacts the gap 84 on the inner peripheral side of the annular portion 80, a slight opening of several μm is generated, and the temperature rise due to friction occurs here. Detected.

図3(d)において局部的に温度の高い環状箇所70は、環状の部分80の外周側で隙間82に接する環状境界の部分であり、環状箇所70の内側のもう1つの環状箇所72は、環状の部分80の内周側で隙間84に接する環状境界の部分である。このように、薄板62,64のスポット溶接の溶接箇所66に生じる欠陥の場合には、溶接箇所66に局部的に温度の高い環状箇所70,72が現われる。スポット溶接が正常に行われても環状箇所70は現われる。このように、欠陥検出システム10において、スポット溶接の溶接箇所66およびその欠陥の位置とその大きさが検出される。   In FIG. 3D, the annular portion 70 having a locally high temperature is a portion of an annular boundary that contacts the gap 82 on the outer peripheral side of the annular portion 80, and another annular portion 72 inside the annular portion 70 is This is the portion of the annular boundary that contacts the gap 84 on the inner peripheral side of the annular portion 80. As described above, in the case of a defect that occurs in the weld spot 66 of the spot welding of the thin plates 62 and 64, the annular spots 70 and 72 that are locally high in temperature appear in the weld spot 66. Even if the spot welding is normally performed, the annular portion 70 appears. In this manner, the defect detection system 10 detects the welding spot 66 of spot welding and the position and size of the defect.

図1では、検査対象物8は、媒体浴槽14に満たされた液体状の流動性媒体である水18に浸漬されるように保持装置22によって吊下げられた。検査対象物8に液体状の流動性媒体を介して超音波エネルギを与える方法は、検査対象物の形状によって他の手段の方が便利なことがある。図4から図7を用いて、検査対象物8に液体状の流動性媒体を介して超音波エネルギを与える様々な方法を説明する。   In FIG. 1, the inspection object 8 is suspended by the holding device 22 so as to be immersed in the water 18 that is a liquid fluid medium filled in the medium bath 14. In the method of applying ultrasonic energy to the inspection object 8 via a liquid fluid medium, other means may be more convenient depending on the shape of the inspection object. Various methods for applying ultrasonic energy to the inspection object 8 through the liquid fluid medium will be described with reference to FIGS.

図4に示す参考実施の形態の欠陥検出システム11は、図1の欠陥検出システム10の変形例である。欠陥検出システム11は、欠陥検出システム10と同様に、床面2に固定して置かれた媒体浴槽14に対し検査対象物8を±Z方向に上下させるものであるが、超音波加振装置の構成が異なる。超音波加振装置は、防水型の超音波振動子17が防水型信号線で超音波発振器と接続される構成を有し、防水型の超音波振動子17は投げ込み式で媒体浴槽14に満たされる液体状の流動性媒体である水18に浸漬して設置される。超音波発振器は媒体浴槽14の外側の適当な個所に設けられる。このような構成とすることで、媒体浴槽14として一般的な容器を用いることが出来る。さらに、屋外のプールや、ドックヤードを媒体収容空間として用いることも可能になる。これにより、ボート、船舶等を検査対象物とすることが容易になる。   The defect detection system 11 of the reference embodiment shown in FIG. 4 is a modification of the defect detection system 10 of FIG. The defect detection system 11, like the defect detection system 10, moves the inspection object 8 up and down in the ± Z direction with respect to the medium bathtub 14 fixedly placed on the floor 2. The configuration of is different. The ultrasonic vibration device has a configuration in which a waterproof ultrasonic transducer 17 is connected to an ultrasonic oscillator with a waterproof signal line, and the waterproof ultrasonic transducer 17 is thrown and fills the medium bathtub 14. It is immersed in water 18 which is a liquid fluid medium to be installed. The ultrasonic oscillator is provided at a suitable location outside the medium bath 14. By setting it as such a structure, a general container can be used as the medium bathtub 14. Furthermore, an outdoor pool or a dock yard can be used as a medium accommodation space. Thereby, it becomes easy to set a boat, a ship, etc. as a test subject.

図5に示す参考実施の形態の欠陥検出システム100は、検査対象物98の一部を液体状の流動性媒体である水18に浸漬するために、検査対象物98に対し媒体浴槽102を±Z方向に上下させる方法である。検査対象物98として大型構造物である大型トラスが示されている。検査対象物98の少なくとも一部が媒体浴槽102に満たされた液体状の流動性媒体である水18に浸漬されるように、媒体浴槽102に対する相対的位置を定めて検査対象物98を保持する。保持のための保持装置104としては、検査対象物98を床面に対し一定の高さ位置で固定する固定部106と、媒体浴槽102を±Z方向に昇降させる昇降部108が用いられる。昇降部108としては、油圧ジャッキを用いる。油圧ジャッキに代えて、昇降用モータを用いてもよい。   In the defect detection system 100 of the reference embodiment shown in FIG. 5, in order to immerse a part of the inspection object 98 in the water 18 that is a liquid fluid medium, the medium bath 102 is set to ± with respect to the inspection object 98. This is a method of moving up and down in the Z direction. A large truss that is a large structure is shown as the inspection object 98. The relative position with respect to the medium tub 102 is determined and the inspection target 98 is held so that at least a part of the inspection target 98 is immersed in the water 18 that is a liquid fluid medium filled in the medium tub 102. . As the holding device 104 for holding, a fixing unit 106 that fixes the inspection object 98 at a certain height position with respect to the floor surface, and an elevating unit 108 that raises and lowers the medium bathtub 102 in the ± Z direction are used. A hydraulic jack is used as the lifting unit 108. A lifting motor may be used instead of the hydraulic jack.

検査対象物98が大型で、赤外線サーモグラフィ装置30の赤外線カメラ32が固定位置では検査対象物98の全体を撮像できないときは、赤外線カメラ32を検査対象物98の長手方向であるX方向に沿って移動可能とすることが好ましい。赤外線サーモグラフィ装置30の解析表示装置34のディスプレイには、検査対象物98の温度分布図110が表示され、局部的に温度の高い箇所112が示される。   When the inspection object 98 is large and the entire infrared inspection object 98 cannot be imaged when the infrared camera 32 of the infrared thermography apparatus 30 is fixed, the infrared camera 32 is moved along the X direction which is the longitudinal direction of the inspection object 98. It is preferable to be movable. On the display of the analysis display device 34 of the infrared thermography device 30, a temperature distribution diagram 110 of the inspection object 98 is displayed, and a portion 112 having a locally high temperature is shown.

このように、図5に示す欠陥検出システム100は、検査対象物98が大型構造物であって、検査対象物98を±Z方向に移動させるよりも媒体浴槽102を±Z方向に移動させることの方が容易であるときに用いられる。   As described above, in the defect detection system 100 shown in FIG. 5, the inspection object 98 is a large structure, and the medium bathtub 102 is moved in the ± Z direction rather than the inspection object 98 is moved in the ± Z direction. Used when it is easier.

図6は、参考実施の形態として、容器状の検査対象物118の欠陥検出を行う欠陥検出システム120を示す図である。容器状の検査対象物118の例は、図1,2で説明した媒体浴槽14である。検査対象物118である容器の内側には液体状の流動性媒体である水18が満たされる。超音波加振装置は、図4で説明したものと同じで、水18に超音波エネルギを与える超音波振動子17としては、検査対象物118である容器の内側空間に設置される投げ込み式で防水型のものが用いられる。   FIG. 6 is a diagram showing a defect detection system 120 that performs defect detection of a container-like inspection object 118 as a reference embodiment. An example of the container-shaped inspection object 118 is the medium bathtub 14 described with reference to FIGS. The inside of the container that is the inspection object 118 is filled with water 18 that is a liquid fluid medium. The ultrasonic vibration device is the same as that described with reference to FIG. 4, and the ultrasonic vibrator 17 that applies ultrasonic energy to the water 18 is a throwing type installed in the inner space of the container that is the inspection object 118. A waterproof type is used.

赤外線サーモグラフィ装置30の赤外線カメラ32は、検査対象物118である容器の外側に配置され、検査対象物118である容器の外側の温度状態を撮像する。検査対象物118の外側一周に渡って撮像するためには、赤外線カメラ32を検査対象物118の外周に沿って移動可能とすることが好ましい。これに代えて、赤外線カメラ32を固定位置として、検査対象物118を回転させてもよい。その場合には、検査対象物118である容器に満たされた水18が波立たないように、検査対象物118をゆっくりと回転させることがよい。   The infrared camera 32 of the infrared thermography device 30 is disposed outside the container that is the inspection object 118 and images the temperature state outside the container that is the inspection object 118. In order to capture an image over the entire outer periphery of the inspection object 118, it is preferable that the infrared camera 32 be movable along the outer periphery of the inspection object 118. Alternatively, the inspection object 118 may be rotated with the infrared camera 32 as a fixed position. In that case, the inspection object 118 is preferably rotated slowly so that the water 18 filled in the container which is the inspection object 118 does not wave.

赤外線サーモグラフィ装置30の解析表示装置34のディスプレイには、検査対象物118の温度分布図122が表示され、局部的に温度の高い箇所124が示される。   On the display of the analysis display device 34 of the infrared thermography device 30, a temperature distribution diagram 122 of the inspection object 118 is displayed, and a location 124 where the temperature is locally high is shown.

このように、図6に示す欠陥検出システム120は、検査対象物98が液体状の流動性媒体である水18を満たせるような容器であるときに用いると便利である。   As described above, the defect detection system 120 shown in FIG. 6 is convenient when the inspection object 98 is a container that can fill the water 18 that is a liquid fluid medium.

図7は、プラント装置に用いられる液体状の処理媒体の流路用パイプ128の欠陥検出を行う欠陥検出システム130を示す図である。図7(a)は、プラント装置における欠陥検出システム130の全体を示す図で、(b)は、欠陥検出システム130における赤外線サーモグラフィ装置30と検査対象の流路用パイプ128の断面とを示す図である。   FIG. 7 is a diagram showing a defect detection system 130 that detects defects in the flow path pipe 128 of the liquid processing medium used in the plant apparatus. FIG. 7A is a diagram illustrating the entirety of the defect detection system 130 in the plant apparatus, and FIG. 7B is a diagram illustrating a cross section of the infrared thermography apparatus 30 and the flow path pipe 128 to be inspected in the defect detection system 130. It is.

図7では、プラント装置として、処理媒体供給パイプ132から第1タンク134に処理媒体140を一旦収容し、第1タンク134から送出ポンプ136を備える流路用パイプ128を用いて第2タンク138に向けて送出する例を示した。検査対象物は、処理媒体140が流れる流路用パイプ128である。処理媒体140は、超音波エネルギが与えられる液体状の流動性媒体に相当する。   In FIG. 7, as the plant apparatus, the processing medium 140 is temporarily stored in the first tank 134 from the processing medium supply pipe 132, and is transferred to the second tank 138 from the first tank 134 using the flow path pipe 128 including the delivery pump 136. An example of sending out was shown. The inspection target is a flow path pipe 128 through which the processing medium 140 flows. The processing medium 140 corresponds to a liquid fluid medium to which ultrasonic energy is applied.

処理媒体140に超音波エネルギを与える超音波加振装置は、図4,6で説明したものと同じで、水18に超音波エネルギを与える超音波振動子17としては、第1タンク134の内側空間に設置される投げ込み式で防水型のものが用いられる。超音波加振装置の発振周波数fUSは、流路用パイプ128の管内を流動する液体状の処理媒体140の流動速度が変動する周波数よりも高周波側の周波数に設定される。処理媒体140の流動速度の変動の原因の1つは送出ポンプ136による脈動である。この脈動周波数をfとして、fUS>fに設定される。例えば、脈動周波数fを60Hzとして、fUSは、fよりも数10倍高周波側の数kHz以上に設定される。 The ultrasonic vibration device for applying ultrasonic energy to the processing medium 140 is the same as that described with reference to FIGS. 4 and 6, and the ultrasonic vibrator 17 for applying ultrasonic energy to the water 18 is provided inside the first tank 134. A throw-in and waterproof type installed in the space is used. The oscillation frequency f US of the ultrasonic vibration device is set to a frequency higher than the frequency at which the flow rate of the liquid processing medium 140 flowing in the pipe of the flow path pipe 128 fluctuates. One of the causes of fluctuations in the flow rate of the processing medium 140 is pulsation caused by the delivery pump 136. With this pulsation frequency as f P , f US > f P is set. For example, a pulse frequency f P as 60 Hz, f US is set to several kHz or more several tens of times the frequency side higher than f P.

赤外線サーモグラフィ装置30の赤外線カメラ32は、検査対象物である流路用パイプ128の外側に配置され、流路用パイプ128の外側表面の温度状態を撮像する。第1タンク134から第2タンク138までの流路用パイプ128の全長に渡って撮像するためには、赤外線カメラ32を流路用パイプ128の敷設方向に沿って移動可能とすることが好ましい。赤外線サーモグラフィ装置30の解析表示装置34のディスプレイには、検査対象物である流路用パイプ128の温度分布図144が表示され、局部的に温度の高い箇所146が示される。   The infrared camera 32 of the infrared thermography device 30 is disposed outside the flow path pipe 128 that is an inspection object, and images the temperature state of the outer surface of the flow path pipe 128. In order to capture an image over the entire length of the flow path pipe 128 from the first tank 134 to the second tank 138, it is preferable that the infrared camera 32 be movable along the laying direction of the flow path pipe 128. On the display of the analysis display device 34 of the infrared thermography device 30, a temperature distribution diagram 144 of the flow path pipe 128 that is an object to be inspected is displayed, and a location 146 where the temperature is locally high is shown.

このように、図7に示す欠陥検出システム130は、処理媒体140に超音波エネルギを与えることによって、流路用パイプ128の内側の形状、外側の形状、曲り等を問わず、実際のプラントの現場において欠陥検出を行うことが出来る。   As described above, the defect detection system 130 shown in FIG. 7 applies ultrasonic energy to the processing medium 140, so that the inner shape of the flow path pipe 128, the outer shape, the bending, etc. Defect detection can be performed on site.

図8は、参考実施の形態として、液体状の流動性媒体である水18を満たした媒体浴槽152中に浸漬されて配置される検査対象物148の欠陥検出を行う欠陥検出システム150を示す図である。このような検査対象物148の例としては、原子炉格納容器内におけるパイプ、各種隔壁、復水器内における冷却水パイプ等がある。図8(a)は、媒体浴槽152における断面図、(b)は媒体浴槽152の外側に配置される赤外線サーモグラフィ装置154等の配置を示す図である。   FIG. 8 is a diagram illustrating a defect detection system 150 that performs defect detection of an inspection object 148 that is immersed in a medium bath 152 filled with water 18 that is a liquid fluid medium, as a reference embodiment. It is. Examples of such an inspection object 148 include pipes in the reactor containment vessel, various partition walls, and cooling water pipes in the condenser. FIG. 8A is a cross-sectional view of the medium bathtub 152, and FIG. 8B is a diagram illustrating the arrangement of the infrared thermography device 154 and the like arranged outside the medium bathtub 152.

図7までは、赤外線サーモグラフィ装置は、検査対象物の水に浸漬されていない部分の欠陥を検出するために用いられているが、図8では、検査対象物148の水18に浸漬されている部分における欠陥を検出する。赤外線は、大気には吸収されないが、水18には吸収される。したがって、赤外線カメラ32を水18に浸漬させて配置しても、赤外線カメラ32と検査対象物148との間に水18があると、赤外線カメラ32は検査対象物148からの赤外線を検出できない。   Up to FIG. 7, the infrared thermography apparatus is used to detect a defect in a portion of the inspection object that is not immersed in water, but in FIG. 8, it is immersed in the water 18 of the inspection object 148. Detect defects in the part. Infrared rays are not absorbed by the atmosphere, but are absorbed by water 18. Therefore, even if the infrared camera 32 is immersed in the water 18 and the water 18 is between the infrared camera 32 and the inspection object 148, the infrared camera 32 cannot detect infrared rays from the inspection object 148.

そこで、図8の欠陥検出システム150では、防水型の赤外線サーモグラフィ装置154を用いる。防水型の赤外線サーモグラフィ装置154は、媒体浴槽152の中の水18に浸漬して配置される防水型の赤外線カメラ装置156と、媒体浴槽152の外側に配置される解析表示装置34を含んで構成される。防水型の赤外線カメラ装置156は、内部に赤外線カメラ32が収納される防水ケース158と、赤外線カメラ32に接続され媒体浴槽152の外に引き出される防水型信号線160を含む。防水型信号線160は媒体浴槽152の外へ引き出された後、解析表示装置34から引き出される防水型でない一般的な信号線161に接続される。   Therefore, in the defect detection system 150 of FIG. 8, a waterproof infrared thermography device 154 is used. The waterproof infrared thermography device 154 includes a waterproof infrared camera device 156 that is disposed so as to be immersed in the water 18 in the medium bath 152, and an analysis display device 34 that is disposed outside the medium bath 152. Is done. The waterproof infrared camera device 156 includes a waterproof case 158 in which the infrared camera 32 is housed, and a waterproof signal line 160 connected to the infrared camera 32 and drawn out of the medium bathtub 152. The waterproof signal line 160 is pulled out of the medium bathtub 152 and then connected to a non-waterproof general signal line 161 drawn from the analysis display device 34.

防水ケース158は、防水筐体159と、防水筐体159に取り付けられる撮像窓162と、撮像窓162の外周部に張り出す張出枠体164とを含む。防水筐体159と撮像窓162は防水構造で接続され、防水筐体159と撮像窓162とで区画された内部空間は、気密かつ液密の空間で、その中に赤外線カメラ32が配置される。赤外線カメラ32の撮像レンズは撮像窓162に向かい合うように配置される。防水筐体159には、赤外線カメラ32から引き出される防水型信号線160を通す防水ブッシュが設けられる。   The waterproof case 158 includes a waterproof casing 159, an imaging window 162 attached to the waterproof casing 159, and an overhanging frame body 164 that projects to the outer periphery of the imaging window 162. The waterproof casing 159 and the imaging window 162 are connected in a waterproof structure, and the internal space defined by the waterproof casing 159 and the imaging window 162 is an airtight and liquid-tight space in which the infrared camera 32 is disposed. . The imaging lens of the infrared camera 32 is disposed so as to face the imaging window 162. The waterproof housing 159 is provided with a waterproof bush through which the waterproof signal line 160 drawn from the infrared camera 32 passes.

撮像窓162は、赤外線を吸収しない透明体で構成される。かかる撮像窓162としては、サファイアガラス板を用いることができる。防水筐体159と撮像窓162との間の防水構造としては、防水筐体159の内壁面と撮像窓162の外周面とをシリコーン樹脂でコーキング処理する構造、防水筐体159の内壁面と撮像窓162の外周面との間に弾性体の防水リングを配置する構造等を用いることができる。防水筐体159の内壁面と撮像窓162の外周面との間をテーパねじ構造として、さらにコーキング処理を施すものとしてもよい。   The imaging window 162 is made of a transparent body that does not absorb infrared rays. As the imaging window 162, a sapphire glass plate can be used. As a waterproof structure between the waterproof casing 159 and the imaging window 162, a structure in which the inner wall surface of the waterproof casing 159 and the outer peripheral surface of the imaging window 162 are caulked with silicone resin, and the inner wall surface of the waterproof casing 159 and imaging are performed. A structure or the like in which an elastic waterproof ring is disposed between the outer peripheral surface of the window 162 and the like can be used. A caulking process may be further performed with a taper screw structure between the inner wall surface of the waterproof casing 159 and the outer peripheral surface of the imaging window 162.

張出枠体164は、撮像窓162の外側の外周部を環状に取り囲む部品である。撮像窓162の外側とは、赤外線カメラ32に向かい合う側を内側としてその反対側で、水18に向かい合う側である。環状は円環状でもよく、多角形環状等でもよい。張出枠体164は、防水筐体159を検査対象物148の表面に向い合せたときに、張出枠体164と撮像窓162と検査対象物148とで囲まれた空間166を形成する機能を有する。   The overhang frame 164 is a part that surrounds the outer periphery of the imaging window 162 in an annular shape. The outside of the imaging window 162 is a side facing the water 18 on the opposite side with the side facing the infrared camera 32 as the inside. The ring may be an annular ring, a polygonal ring, or the like. The overhang frame 164 has a function of forming a space 166 surrounded by the overhang frame 164, the imaging window 162, and the inspection object 148 when the waterproof housing 159 faces the surface of the inspection object 148. Have

防水筐体159の空間166に面して開口する気体供給口168は、防水筐体159に設けられる気体流路169と逆止弁170と気体供給チューブ172を介して、媒体浴槽152の外側に配置される加圧気体供給源174に接続される。加圧気体供給源174としてはコンプレッサを用いることができる。   A gas supply port 168 that opens to face the space 166 of the waterproof casing 159 is located outside the medium bathtub 152 via a gas flow path 169 provided in the waterproof casing 159, a check valve 170, and a gas supply tube 172. Connected to the pressurized gas supply 174 arranged. A compressor can be used as the pressurized gas supply source 174.

気体供給口168は、加圧気体供給源174から供給される加圧気体を空間166に噴出して供給する。これによって、空間166にある水18を張出枠体164の外側に押し出し、空間166を赤外線を吸収しない気体のみの空間にする。逆止弁170は、赤外線カメラ32が向かい合う位置における媒体浴槽152の水圧以上の気体圧の気体が気体供給口168から噴出するようにするために設けられる。例えば、検査対象物148の欠陥検出を行う位置が媒体浴槽152の水深で10mであるときは、その位置の水圧は大気圧に比べ約1atm高いので、気体供給口168からはその水圧よりも高い約2atm以上の気体圧を有する気体が噴出する。逆止弁170にはバイアス圧を設定できるので、例えば、バイアス圧を約0.2atmとすると、気体供給口168からは約2.2atmの気体圧を有する気体が噴出する。   The gas supply port 168 jets and supplies the pressurized gas supplied from the pressurized gas supply source 174 to the space 166. As a result, the water 18 in the space 166 is pushed out to the outside of the overhanging frame 164 so that the space 166 is a gas-only space that does not absorb infrared rays. The check valve 170 is provided so that a gas having a gas pressure equal to or higher than the water pressure of the medium bathtub 152 at a position facing the infrared camera 32 is ejected from the gas supply port 168. For example, when the position for detecting the defect of the inspection object 148 is 10 m at the water depth of the medium bathtub 152, the water pressure at that position is about 1 atm higher than the atmospheric pressure, and therefore higher than the water pressure from the gas supply port 168. A gas having a gas pressure of about 2 atm or more is ejected. Since a bias pressure can be set for the check valve 170, for example, when the bias pressure is about 0.2 atm, a gas having a gas pressure of about 2.2 atm is ejected from the gas supply port 168.

検査対象物148が媒体浴槽152中で固定されている場合には、気体供給口168から噴出する気体の気体圧によって動くことはないので、気体供給口168からの噴出流量を多くできる。噴出流量が十分多いときは、張出枠体164を検査対象物148に接触させなくても、空間166の中の水18を張出枠体164の外側に排除できる。したがって張出枠体164は、弾性体でなくてもよく、単純な環状板材とすることができる。気体供給口168から噴出する気体の気体圧によって検査対象物148が動く可能性があるときは、気体供給口168からの噴出流量をあまり多くできず、例えば、張出枠体164を弾性体リングとして、検査対象物148に押し付けながら、空間166の中の水18を張出枠体164の外側に押し出すようにして排除する。   When the inspection object 148 is fixed in the medium bathtub 152, it does not move due to the gas pressure of the gas ejected from the gas supply port 168, so that the ejection flow rate from the gas supply port 168 can be increased. When the ejection flow rate is sufficiently high, the water 18 in the space 166 can be excluded outside the projecting frame 164 without bringing the projecting frame 164 into contact with the inspection object 148. Therefore, the overhang frame 164 does not have to be an elastic body and can be a simple annular plate member. When there is a possibility that the inspection object 148 moves due to the gas pressure of the gas ejected from the gas supply port 168, the ejection flow rate from the gas supply port 168 cannot be increased so much. As described above, the water 18 in the space 166 is pushed out to the outside of the overhanging frame 164 while being pressed against the inspection object 148.

なお、検査対象物148が媒体浴槽152中でしっかり固定されてなく、気体供給口168から噴出する気体の気体圧で動く可能性があるときは、検査対象物148を一時的に固定する手段を用いることがよい。例えば、検査対象物148の表面に一時的吸着盤等を設けて欠陥測定中は一時的吸着盤を固定するようにすることができる。一時的吸着盤としては真空吸着盤や、磁石吸着盤等を用いることができる。また、検査対象物148の裏側を押さえて保持できる場合は、適当な押さえ保持装置を用いて、検査対象物148について気体供給口168からの噴出する気体を受ける側と反対側を押さえ保持するようにしてもよい。   When the inspection object 148 is not firmly fixed in the medium bath 152 and may move with the gas pressure of the gas ejected from the gas supply port 168, means for temporarily fixing the inspection object 148 is provided. It is good to use. For example, a temporary suction disk or the like may be provided on the surface of the inspection object 148 so that the temporary suction disk is fixed during the defect measurement. A vacuum suction board, a magnet suction board, etc. can be used as a temporary suction board. When the back side of the inspection object 148 can be pressed and held, an appropriate pressing and holding device is used to hold and hold the opposite side of the inspection object 148 from the side that receives the gas ejected from the gas supply port 168. It may be.

防水筐体159の天井部から上方に延びて取り付けられるカメラ支持部材176は、防水ケース158を媒体浴槽152の中で移動可能に支持する柱部材である。図8には互いに直交するX方向とY方向とZ方向を示した。Z方向が重力に平行な方向で、上方とはZ方向に沿って上方であり、水深方向とはZ方向に沿って下方である。X方向は防水ケース158と検査対象物148との間の間隔を増減する方向である。カメラ支持部材176は媒体浴槽152の外側に設けられる移動装置によって、X方向とY方向とZ方向のそれぞれについて任意の移動量で移動することができ、これによって赤外線カメラ32の撮像範囲を検査対象物148の表面に沿って走査することができる。   A camera support member 176 attached to extend upward from the ceiling portion of the waterproof housing 159 is a pillar member that supports the waterproof case 158 so as to be movable in the medium bathtub 152. FIG. 8 shows the X, Y, and Z directions orthogonal to each other. The Z direction is a direction parallel to gravity, the upper direction is the upper direction along the Z direction, and the water depth direction is the lower direction along the Z direction. The X direction is a direction in which the distance between the waterproof case 158 and the inspection object 148 is increased or decreased. The camera support member 176 can be moved by an arbitrary amount of movement in each of the X direction, the Y direction, and the Z direction by a moving device provided outside the medium bathtub 152, and thereby the imaging range of the infrared camera 32 can be inspected. A scan can be made along the surface of the object 148.

防水型の超音波振動子17は、水18に浸漬され、水18に超音波エネルギを与える超音波振動源である。防水型の超音波振動子17は防水型信号線180を介して媒体浴槽152の外側に設けられる超音波発振器182に接続される。防水型の超音波振動子17から上方に延びて取り付けられる振動子支持部材184は、防水型の超音波振動子17を媒体浴槽152の中で移動可能に支持する柱部材である。振動子支持部材184は媒体浴槽152の外側に設けられる移動装置によって、少なくともZ方向について任意の移動量で移動することができ、これによって赤外線カメラ32の撮像位置に合わせて防水型の超音波振動子17を移動することができる。   The waterproof ultrasonic transducer 17 is an ultrasonic vibration source that is immersed in the water 18 and applies ultrasonic energy to the water 18. The waterproof ultrasonic transducer 17 is connected to an ultrasonic oscillator 182 provided outside the medium bath 152 via a waterproof signal line 180. The vibrator support member 184 attached to extend upward from the waterproof ultrasonic vibrator 17 is a pillar member that supports the waterproof ultrasonic vibrator 17 so as to be movable in the medium bath 152. The vibrator support member 184 can be moved by an arbitrary amount of movement at least in the Z direction by a moving device provided outside the medium bathtub 152, thereby waterproofing ultrasonic vibration in accordance with the imaging position of the infrared camera 32. The child 17 can be moved.

振動子支持部材184は、カメラ支持部材176と独立に移動してもよく、カメラ支持部材176の移動に連動して移動するものとしてもよい。後者の場合は、防水型の超音波振動子17と防水型の赤外線カメラ装置156との間を常に所定の位置関係とすることができ、検査対象物148に与える超音波エネルギをほぼ同一の条件としながら、赤外線カメラ32の撮像範囲を検査対象物148の表面に沿って走査することができる。   The vibrator support member 184 may move independently of the camera support member 176, or may move in conjunction with the movement of the camera support member 176. In the latter case, the waterproof ultrasonic transducer 17 and the waterproof infrared camera device 156 can always be in a predetermined positional relationship, and the ultrasonic energy applied to the inspection object 148 is almost the same. The imaging range of the infrared camera 32 can be scanned along the surface of the inspection object 148.

欠陥検出システム150において、水18を満たした媒体浴槽152中に浸漬されて配置される検査対象物148の欠陥検出は、次のようにして行われる。水18を満たした媒体浴槽152中に浸漬して配置された超音波振動子17から水18に超音波エネルギを与え、水18を介して検査対象物148に超音波エネルギを与える。そして、カメラ支持部材176を適当に移動させて、水18を満たした媒体浴槽152中で防水型の赤外線カメラ装置156を検査対象物148の表面に近接させる。そのとき、気体供給口168から気体を噴出して空間166の中の水18を排除しながら、検査対象物148の表面の温度状態を防水ケース158の撮像窓162を介して撮像する。撮像されたデータは防水型信号線160を介して媒体浴槽152の外部に設けられる解析表示装置34に伝送される。解析表示装置34は測定結果として検査対象物148の表面温度分布をディスプレイに表示する。   In the defect detection system 150, the defect detection of the inspection object 148 that is immersed and arranged in the medium bath 152 filled with the water 18 is performed as follows. Ultrasonic energy is applied to the water 18 from the ultrasonic transducer 17 disposed so as to be immersed in the medium bath 152 filled with the water 18, and ultrasonic energy is applied to the inspection object 148 via the water 18. Then, the camera support member 176 is appropriately moved so that the waterproof infrared camera device 156 is brought close to the surface of the inspection object 148 in the medium bath 152 filled with water 18. At that time, the temperature state of the surface of the inspection object 148 is imaged through the imaging window 162 of the waterproof case 158 while ejecting gas from the gas supply port 168 to exclude the water 18 in the space 166. The imaged data is transmitted to the analysis display device 34 provided outside the medium bathtub 152 via the waterproof signal line 160. The analysis display device 34 displays the surface temperature distribution of the inspection object 148 on the display as a measurement result.

図8では、ディスプレイに検査対象物148の温度分布図186が表示され、局部的に温度の高い箇所188が示される。カメラ支持部材176を適当に移動させることで、媒体浴槽152中で防水型の赤外線カメラ装置156を検査対象物148の表面に沿って走査でき、これによって、水18を満たした媒体浴槽152中に浸漬されて配置される検査対象物148の表面の全域に渡って、欠陥検出を行うことができる。   In FIG. 8, a temperature distribution diagram 186 of the inspection object 148 is displayed on the display, and a location 188 where the temperature is locally high is shown. By appropriately moving the camera support member 176, the waterproof infrared camera device 156 can be scanned along the surface of the inspection object 148 in the medium bathtub 152, and thereby into the medium bathtub 152 filled with the water 18. Defect detection can be performed over the entire surface of the inspection object 148 that is immersed and arranged.

図8の例では、検査対象物148が水18の中でZ方向に延びるものとしたので、赤外線カメラ装置156の撮像方向はYZ平面にほぼ垂直のX方向を向くものとした。カメラ支持部材176に赤外線カメラ装置156の撮像方向を任意に変更できる撮像方向変更部を設けることで、赤外線カメラ装置156の撮像方向をX方向のみならず任意の方向とすることができる。このようにすることで、検査対象物148が水18の中で水平方向に延びるものの場合や、検査対象物148が水18の中で傾斜面を有する場合等に、適切に対応できる。かかる撮像方向変更部としては、適当な傘歯車機構と小型モータを組み合わせたもの等を用いることができる。   In the example of FIG. 8, since the inspection object 148 extends in the Z direction in the water 18, the imaging direction of the infrared camera device 156 is set to face the X direction substantially perpendicular to the YZ plane. By providing the camera support member 176 with an imaging direction changing unit that can arbitrarily change the imaging direction of the infrared camera device 156, the imaging direction of the infrared camera device 156 can be set to an arbitrary direction as well as the X direction. By doing in this way, it can respond appropriately when the inspection object 148 extends horizontally in the water 18 or when the inspection object 148 has an inclined surface in the water 18. As such an imaging direction changing unit, a combination of a suitable bevel gear mechanism and a small motor can be used.

2 床面、4,5 (欠陥箇所の)部分、6 (耐熱溶射皮膜付タービンブレードの)基材部、7 耐熱溶射皮膜、8,40,41,43,61,98,118,148 検査対象物、10,11,100,120,130,150 (超音波を用いた赤外線)欠陥検出システム、12 超音波水槽、14,102,152 媒体浴槽、16 超音波加振装置、17 (防水型の)超音波振動子、18 (液体状の流動性媒体である)水、20 水面、22,104 保持装置、24,106 固定部、26 高さ調整部、30 赤外線サーモグラフィ装置、32 赤外線カメラ、34 解析表示装置、36,110,124,144,186 温度分布図、38,46,112,124,146,188 (局部的に温度の高い)箇所、42 試験片本体、44 切欠部、48 き裂がかなり大きく開口している部分(開口欠陥)、50 き裂が僅かに開口している部分、52 き裂がほとんど開口していない部分(閉口欠陥)、54,56 溶接端子、58 溶接電源、60 スポット溶接対象物、66 溶接箇所、62,64 薄板、70,72 環状箇所、80 環状の部分、82,84 隙間、108 昇降部、128 流路用パイプ、132 処理媒体供給パイプ、134 第1タンク、136 送出ポンプ、138 第2タンク、140 処理媒体、154 防水型の赤外線サーモグラフィ装置、156 防水型の赤外線カメラ装置、158 防水ケース、159 防水筐体、160,180 防水型信号線、161 信号線、162 撮像窓、164 張出枠体、166 空間、168 気体供給口、169 気体流路、170 逆止弁、172 気体供給チューブ、174 加圧気体供給源、176 カメラ支持部材、182 超音波発振器、184 振動子支持部材。   2 floor surface, 4, 5 (of defective part), 6 base material part (of turbine blade with heat-resistant sprayed coating), 7 heat-resistant sprayed coating, 8, 40, 41, 43, 61, 98, 118, 148 10, 11, 100, 120, 130, 150 (infrared using ultrasonic waves) defect detection system, 12 ultrasonic water tank, 14, 102, 152 medium bathtub, 16 ultrasonic vibration device, 17 (waterproof type ) Ultrasonic vibrator, 18 water (which is a liquid fluid medium), 20 water surface, 22,104 holding device, 24,106 fixing unit, 26 height adjusting unit, 30 infrared thermography device, 32 infrared camera, 34 Analysis display device, 36, 110, 124, 144, 186 Temperature distribution diagram, 38, 46, 112, 124, 146, 188 (locally high temperature) location, 42 Test piece body 44 Notch, 48 Portion where the crack is opened considerably (opening defect), 50 Portion where the crack is slightly opened, 52 Portion where the crack is hardly opened (closing defect), 54, 56 Welding terminal, 58 welding power source, 60 spot welding object, 66 welding location, 62, 64 thin plate, 70, 72 annular location, 80 annular portion, 82, 84 clearance, 108 elevating part, 128 channel pipe, 132 treatment Medium supply pipe, 134 first tank, 136 delivery pump, 138 second tank, 140 processing medium, 154 waterproof infrared thermography device, 156 waterproof infrared camera device, 158 waterproof case, 159 waterproof casing, 160, 180 Waterproof signal line, 161 signal line, 162 imaging window, 164 overhang frame, 166 space, 168 gas supply port, 69 the gas flow path, 170 a check valve, 172 gas supply tube, 174 pressurized gas supply source, 176 a camera support member, 182 ultrasonic generator, 184 transducer support member.

Claims (4)

検査対象物の形状に倣って隙間なく接触する液体状の流動性媒体に超音波エネルギを与える超音波加振装置と、
液体状の流動性媒体から超音波エネルギが与えられた検査対象物の表面の温度状態を撮像し測定結果として検査対象物の表面温度分布を表示する赤外線サーモグラフィ装置と、
を備え、
パイプ型の形状を有する検査対象物について、
超音波加振装置は、
検査対象物であるパイプの管内の液体状の流動性媒体に超音波エネルギを与え、
赤外線サーモグラフィ装置は、
検査対象物であるパイプの外周面の温度状態を撮像し測定結果として検査対象物の表面温度分布を表示することを特徴とする超音波を用いた赤外線欠陥検出システム。
An ultrasonic vibration device that applies ultrasonic energy to a liquid fluid medium that contacts the inspection object without a gap following the shape of the inspection object;
An infrared thermography device that images the temperature state of the surface of an inspection object to which ultrasonic energy is applied from a liquid fluid medium and displays the surface temperature distribution of the inspection object as a measurement result;
With
For inspection objects having a pipe shape,
The ultrasonic vibration device
Applying ultrasonic energy to the liquid fluid medium in the pipe of the pipe to be inspected,
Infrared thermography device
An infrared defect detection system using ultrasonic waves, characterized in that the temperature state of the outer peripheral surface of a pipe that is an inspection object is imaged and the surface temperature distribution of the inspection object is displayed as a measurement result.
請求項1に記載の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、
液体状の流動性媒体は、水、油脂、アルコール類のいずれか1を主成分とすることを特徴とする超音波を用いた赤外線欠陥検出システム。
In the infrared defect detection system using the ultrasonic wave according to claim 1,
An infrared defect detection system using ultrasonic waves, characterized in that the liquid fluid medium mainly contains any one of water, fats and oils, and alcohols.
請求項1に記載の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、
検査対象物のパイプは、プラント装置の一部であって、プラント装置において用いられる液体状の処理媒体の流路用パイプであり、
超音波加振装置は、
検査対象物であるパイプの管内を流動する液体状の処理媒体に対し、その液体状の処理媒体の流動速度が変動する周波数よりも高周波側の周波数を有する超音波エネルギを与えることを特徴とする超音波を用いた赤外線欠陥検出システム。
In the infrared defect detection system using the ultrasonic wave according to claim 1,
The pipe of the inspection object is a part of a plant apparatus, and is a pipe for a flow path of a liquid processing medium used in the plant apparatus,
The ultrasonic vibration device
Ultrasonic energy having a frequency higher than the frequency at which the flow speed of the liquid processing medium fluctuates is applied to a liquid processing medium flowing in a pipe of an inspection target. Infrared defect detection system using ultrasound.
請求項2または3に記載の超音波を用いた赤外線欠陥検出システムにおいて、
液体状の流動性媒体は、各種添加物を含むことを特徴とする超音波を用いた赤外線欠陥検出システム。
In the infrared defect detection system using the ultrasonic wave according to claim 2 or 3,
An infrared defect detection system using ultrasonic waves, wherein the liquid fluid medium contains various additives.
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