JP2018131520A - Novel parylene, cross-linked parylene water-permeable membrane, and method for producing these - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、新規なパリレン、架橋パリレン透水膜、これらの原料、これらの製造方法、並びに、架橋パリレン透水膜による水の分離方法に関する。 The present invention relates to a novel parylene, a crosslinked parylene permeable membrane, a raw material thereof, a production method thereof, and a method for separating water using the crosslinked parylene permeable membrane.
従来、パリレン（ポリパラキシリレン）膜は気体や液体を透過させない特性から、電子部品などの封止コーティング膜として使用されてきた。 Conventionally, a parylene (polyparaxylylene) film has been used as a sealing coating film for electronic components and the like because it does not allow gas or liquid to pass through.
これに対して、近年、本願の発明者は、パリレンの新たな使用形態を模索するため、透水性を有するパリレン透水膜の開発に成功した（特許文献１）。当該パリレン透水膜は、主に水処理の用途に使用されるものである。 On the other hand, in recent years, the inventors of the present application have succeeded in developing a water-permeable parylene permeable membrane in order to search for a new form of use of parylene (Patent Document 1). The parylene permeable membrane is mainly used for water treatment.
しかしながら、特許文献１に開示されているパリレン透水膜はその透水量が低く、そのため、透水量を向上出来る新規なパリレン透水膜の開発が期待されていた。 However, the parylene permeable membrane disclosed in Patent Document 1 has a low water permeability, and therefore, development of a new parylene permeable membrane capable of improving the water permeability has been expected.
一方、従来のパリレンは鎖状構造を有する重合体であり、これまで架橋構造を有し３次元化されたパリレンの開発は行われていない。 On the other hand, conventional parylene is a polymer having a chain structure, and no three-dimensional parylene having a crosslinked structure has been developed so far.
本発明は、上記期待に応えるべく、透水量を大きく向上させ得る架橋パリレン透水膜を提供することを目的とする。
また、本発明は、当該架橋パリレン透水膜を構成可能な新規なパリレンを提供することを目的とする。
さらに、本発明は、当該パリレンの原料となる新規なシクロファン化合物を提供することを目的とする。
また、本発明は、上記のパリレン、架橋パリレン透水膜、シクロファン化合物の製造方法を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、当該架橋パリレン透水膜を使用して物質が溶解及び／又は分散した水から水を分離する方法を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a crosslinked parylene permeable membrane capable of greatly improving the amount of water permeation in order to meet the above expectation.
Moreover, an object of this invention is to provide the novel parylene which can comprise the said bridge | crosslinking parylene permeable membrane.
Furthermore, this invention aims at providing the novel cyclophane compound used as the raw material of the said parylene.
Moreover, this invention aims at providing the manufacturing method of said parylene, bridge | crosslinking parylene permeable membrane, and a cyclophane compound.
Furthermore, an object of the present invention is to provide a method for separating water from water in which a substance is dissolved and / or dispersed using the crosslinked parylene permeable membrane.
すなわち、本発明は、架橋構造を有するパリレンを提供するものである。当該パリレンは新規物質である。 That is, the present invention provides parylene having a crosslinked structure. The parylene is a novel substance.
また、本発明は、式（Ｉ）の構成単位を有する、上記の架橋構造を有するパリレンを提供するものである。当該パリレンは新規物質である。
さらに、本発明は、式（ＩＩ）の構造で表されるシクロファン化合物を提供するものである。当該シクロファン化合物は新規物質である。本発明においては、専ら、上記の架橋構造を有するパリレンの原料として使用される化合物である。
また、本発明は、式（ＩＩＩ）及び式（Ｉ）で表される構成単位を有する、上記の架橋構造を有するパリレンを提供するものである。当該パリレンは新規物質である。
さらに、本発明は、上記の架橋構造を有するパリレンから構成される架橋パリレン透水膜を提供するものである。 Furthermore, this invention provides the bridge | crosslinking parylene water-permeable membrane comprised from parylene which has said bridge | crosslinking structure.
また、本発明は、架橋パリレン透水膜の孔径が０．１〜１０ｎｍである、上記の架橋パリレン透水膜を提供するものである。 Moreover, this invention provides said bridge | crosslinking parylene permeable membrane whose pore diameter of a bridge | crosslinking parylene permeable membrane is 0.1-10 nm.
さらに、本発明は、架橋パリレン透水膜の膜厚が１０ｎｍ〜１０μｍである上記の架橋パリレン透水膜を提供するものである。 Furthermore, this invention provides said bridge | crosslinking parylene permeable membrane whose film thickness of a bridge | crosslinking parylene permeable membrane is 10 nm-10 micrometers.
また、本発明は、上記の架橋パリレン透水膜に、物質が溶解及び／又は分散した水を透過させて水を分離する水の分離方法を提供するものである。 The present invention also provides a water separation method in which water in which a substance is dissolved and / or dispersed is permeated through the crosslinked parylene water permeable membrane to separate the water.
さらに、本発明は、式（ＩＶ）と式（Ｖ）を溶媒中にて加熱下に混合してカップリング反応することにより得られる、式（ＩＩ）のシクロファン化合物の製造方法を提供するものである。
また、本発明は、ＣＶＤ法により、支持体の表面にパリレンを蒸着させることにより得られる、上記の架橋構造を有するパリレンの製造方法を提供するものである。 Moreover, this invention provides the manufacturing method of the parylene which has the said crosslinked structure obtained by vapor-depositing parylene on the surface of a support body by CVD method.
さらに、本発明は、ＣＶＤ法により、支持体の表面にパリレンを蒸着させることにより得られる、上記の架橋パリレン透水膜の製造方法を提供するものである。 Furthermore, this invention provides the manufacturing method of said bridge | crosslinking parylene permeable membrane obtained by vapor-depositing parylene on the surface of a support body by CVD method.
また、本発明は、式（ＩＩ）で表される化合物を原料として用いる、上記のパリレンの製造方法を提供するものである。
さらに、本発明は、式（ＶＩ）及び式（ＩＩ）で表される化合物、又は、式（ＶＩＩ）及び式（ＩＩ）で表される化合物を原料として用いる、上記のパリレンの製造方法を提供するものである。
さらに、本発明は、式（ＶＩ）及び式（ＩＩ）で表される化合物、又は、式（ＶＩＩ）及び式（ＩＩ）で表される化合物を原料として用いる、上記の架橋パリレン透水膜の製造方法を提供するものである。
本発明により、種々の用途に利用できる新規なパリレン及びその原料となる新規なシクロファン化合物を提供することが出来る。当該パリレンを用いて、水の透水量を増大させた架橋パリレン透水膜を提供することが出来る。
本発明の架橋パリレン透水膜の用途は限定されないが、好ましくは、水処理用のパリレン膜として使用することが出来る。例えば、物質が溶解及び／又は分散した水を、当該架橋パリレン透水膜、或は、その透水膜を有する複合膜に透過させて、水を分離することが可能となる。
INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to provide a novel parylene that can be used for various applications and a novel cyclophane compound that is a raw material thereof. By using the parylene, a cross-linked parylene permeable membrane with increased water permeability can be provided.
Although the use of the crosslinked parylene water-permeable membrane of the present invention is not limited, it can be preferably used as a parylene membrane for water treatment. For example, water in which a substance is dissolved and / or dispersed can be permeated through the crosslinked parylene water permeable membrane or a composite membrane having the water permeable membrane to separate the water.
以下に本発明を詳述する。 The present invention is described in detail below.
本発明の架橋構造を有するパリレンは新規物質である。従来のパリレンは鎖状構造のパリレンであり鎖状高分子であった。
これに対し、本発明のパリレンは架橋結合により三次元立体構造を有する架橋パリレンであり、架橋高分子である。
架橋構造を有する架橋パリレンは本発明者により初めて製造された新規なパリレンである。
以下では本発明の架橋構造を有するパリレンを「架橋パリレン」と称する場合がある。また、架橋構造を形成する構成単位を「架橋単位」と称することがある。すなわち、架橋単位とは架橋点を有するモノマー単位である。
The parylene having the crosslinked structure of the present invention is a novel substance. Conventional parylene has a chain structure and is a chain polymer.
In contrast, the parylene of the present invention is a cross-linked parylene having a three-dimensional structure by cross-linking, and is a cross-linked polymer.
The crosslinked parylene having a crosslinked structure is a novel parylene produced for the first time by the present inventors.
Below, the parylene which has the crosslinked structure of this invention may be called "bridge | crosslinking parylene." In addition, a structural unit that forms a crosslinked structure may be referred to as a “crosslinked unit”. That is, the crosslinking unit is a monomer unit having a crosslinking point.
架橋パリレンの架橋構造は任意の架橋結合より構成され、また、架橋パリレン中に含まれる架橋単位のモル分率も任意である。これらは、例えば、架橋単位の原料となるシクロファン化合物の種類や、当該シクロファン化合物と併用して原料とする他のシクロファン化合物の種類、並びに、原料のシクロファン化合物の供給量によって適宜決定される。好ましい架橋単位のモル分率は全構成単位に対して１〜５０モル％である。 The crosslinked structure of the crosslinked parylene is composed of an arbitrary crosslinked bond, and the molar fraction of the crosslinked units contained in the crosslinked parylene is also arbitrary. These are determined appropriately depending on, for example, the type of cyclophane compound used as a raw material for the crosslinking unit, the type of other cyclophane compound used as a raw material in combination with the cyclophane compound, and the supply amount of the raw material cyclophane compound. Is done. A preferable mole fraction of the cross-linking unit is 1 to 50 mol% with respect to all the structural units.
本発明において、好ましい架橋パリレンは、少なくとも以下の式（Ｉ）で表わされる構成単位を有するパリレンである。当該構成単位が架橋構造を形成する架橋単位である。式（Ｉ）の架橋単位に存在する２つのベンゼン環の結合部分が架橋点である。
架橋パリレンの架橋単位としては式（Ｉ）の架橋単位が好ましいが、他の架橋単位により架橋構造が形成されていてもよい。
また、式（Ｉ）の架橋単位及びその他の架橋単位により架橋構造が形成されていてもよい。すなわち、複数の架橋単位により架橋構造を形成することも可能である。
The crosslinked unit of the crosslinked parylene is preferably a crosslinked unit of the formula (I), but a crosslinked structure may be formed by other crosslinked units.
Moreover, the crosslinked structure may be formed by the crosslinking unit of the formula (I) and other crosslinking units. That is, a crosslinked structure can be formed by a plurality of crosslinking units.
式（Ｉ）で表わされる構成単位を有する架橋パリレンは、少なくとも以下の式（ＩＩ）のシクロファン化合物を原料とし、ＣＶＤ法により、当該原料を熱分解し、支持体の表面にて、熱分解によって生じたラジカル中間体がモノマーとして重合することにより製造することが可能である。重合した架橋パリレンは支持体表面に蒸着膜として得られる。
式（ＩＩ）のシクロファン化合物は新規化合物である。
当該新規化合物は具体的に次の製造方法によって得られる。すなわち、式（ＶＩＩＩ）の公知化合物の4-Bromo[2.2]paracyclophaneを、溶媒の乾燥テトラヒドロフラン（ｄｒｙ ＴＨＦ）に溶解させる。そこに、触媒として、Bypyridine、Ｎｉ(cod)２、1,5-Cyclooctadiene（ＣＯＤ）を添加し、加熱しながら混合撹拌を行い、4-Bromo[2.2]paracyclophaneのカップリング反応を行う。その結果、Ｒ１、Ｒ２が共に水素の場合の式（ＩＩ）のシクロファン化合物が製造される。すなわち、式（ＩＸ）のシクロファン化合物が製造される。
式（ＩＩ）のシクロファン化合物において、Ｒ１、Ｒ２が共に水素でないシクロファン化合物も、同様の方法にて製造される。なお、Ｒ１乃至Ｒ２がアルキル基の場合にはその炭素数は限定されないが炭素数１〜１０の直鎖又は分枝のアルキル基が好ましい。
以下に上記製造方法の反応式を示す。
The novel compound is specifically obtained by the following production method. That is, 4-Bromo [2.2] paracyclophane, a known compound of the formula (VIII), is dissolved in the solvent dry tetrahydrofuran (dry THF). Bypyridine, Ni (cod) 2 and 1,5-Cyclooctadiene (COD) are added thereto as a catalyst, mixed and stirred with heating, and a 4-Bromo [2.2] paracyclophane coupling reaction is performed. As a result, a cyclophane compound of the formula (II) when R 1 and R 2 are both hydrogen is produced. That is, a cyclophane compound of the formula (IX) is produced.
In the cyclophane compound of the formula (II), a cyclophane compound in which R 1 and R 2 are not hydrogen is also produced in the same manner. Incidentally, the number of carbon in the case of R 1 or R 2 is an alkyl group is not limited preferably a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms.
The reaction formula of the above production method is shown below.
次に、本発明の架橋パリレンの製造方法を具体的に説明する。当該架橋パリレンはＣＶＤ法によるドライプロセスにより製造される。但し、架橋パリレンが得られる限り、その製造方法は限定されない。
先ず、式（ＩＩ）のシクロファン化合物をＣＶＤ法により熱分解するとラジカル中間体が生成する。当該ラジカル中間体は、式（Ｉ）の構成単位を形成する架橋性モノマーと、これ以外のモノマーである。これらが支持体の表面で表面重合してランダムに共重合する。その結果、架橋パリレンが支持体表面でパリレン膜として蒸着される。熱分解温度は５００℃〜７５０℃が好ましく、さらに好ましくは５５０℃〜６９０℃である。
Next, the manufacturing method of the bridge | crosslinking parylene of this invention is demonstrated concretely. The crosslinked parylene is produced by a dry process using a CVD method. However, the production method is not limited as long as the crosslinked parylene is obtained.
First, when the cyclophane compound of the formula (II) is thermally decomposed by the CVD method, a radical intermediate is generated. The radical intermediate is a crosslinkable monomer that forms the structural unit of the formula (I) and other monomers. These are surface-polymerized on the surface of the support and copolymerize randomly. As a result, crosslinked parylene is deposited as a parylene film on the support surface. The thermal decomposition temperature is preferably 500 ° C to 750 ° C, more preferably 550 ° C to 690 ° C.
上記の製造方法を具体的に化合物により示すと以下の反応経路になる。
上述したように、式（ＩＩ）のシクロファン化合物の熱分解により式（ＸＩＩ）のラジカル中間体（架橋性モノマー）が生じる。これが支持体表面で表面重合して、式（Ｉ）の架橋単位を有する架橋パリレンが支持体表面に蒸着し、架橋パリレン膜が製造される。
なお、式（ＩＩ）のシクロファン化合物を熱分解すると、式（ＸＩＩ）のラジカル中間体（架橋性モノマー）の他に、同時に、式（Ｘ）及び式（ＸＩ）のラジカル中間体（モノマー）が生じる。そして、これらのラジカル中間体が、支持体表面で式（ＸＩＩ）のラジカル中間体（架橋性モノマー）とランダムに共重合する。その結果、式（Ｉ）、式（ＸＩＩＩ）及び式（ＸＩＶ）の構成単位を有する、架橋パリレンが支持体表面に架橋パリレン膜として製造される。
すなわち、式（ＩＩ）のシクロファン化合物を熱分解して得られる架橋パリレンは、少なくとも式（Ｉ）の架橋単位を有し、さらに式（ＸＩＩＩ）及び式（ＸＩＶ）の構成単位を有する架橋パリレンである。
式（ＩＩ）以外のシクロファン化合物も併用すれば、当該シクロファン化合物から生成するラジカル中間体（モノマー）に由来する構成単位をも有する、架橋パリレンが製造される。当該態様も本発明の架橋パリレンの製造方法の一態様である。
As described above, the thermal decomposition of the cyclophane compound of formula (II) produces the radical intermediate (crosslinkable monomer) of formula (XII). This is surface-polymerized on the surface of the support, and crosslinked parylene having a crosslinking unit of the formula (I) is deposited on the surface of the support to produce a crosslinked parylene film.
In addition, when the cyclophane compound of the formula (II) is pyrolyzed, in addition to the radical intermediate (crosslinkable monomer) of the formula (XII), simultaneously the radical intermediate (monomer) of the formula (X) and the formula (XI) Occurs. These radical intermediates are randomly copolymerized with the radical intermediate (crosslinkable monomer) of formula (XII) on the support surface. As a result, crosslinked parylene having the structural units of formula (I), formula (XIII) and formula (XIV) is produced as a crosslinked parylene film on the support surface.
That is, the crosslinked parylene obtained by thermally decomposing the cyclophane compound of the formula (II) has at least a crosslinked unit of the formula (I), and further has a structural unit of the formula (XIII) and the formula (XIV). It is.
When a cyclophane compound other than the formula (II) is also used, a crosslinked parylene having a structural unit derived from a radical intermediate (monomer) generated from the cyclophane compound is produced. This embodiment is also an embodiment of the method for producing a crosslinked parylene of the present invention.
架橋パリレン中における式（Ｉ）の架橋単位のモル分率は任意である。原料として、式（ＩＩ）のシクロファン化合物と併用する他のシクロファン化合物、及び、これらの配合比によって任意のモル比を有する架橋パリレンが得られる。架橋パリレンの好ましい一形態としては、架橋パリレン中の式（Ｉ）の架橋単位のモル分率は、全構成単位に対して１〜５０モル％である。
なお、式（ＩＩ）のシクロファン化合物のみを原料としてＣＶＤ法により製造する場合は、式（Ｉ）及び式（ＸＩＩＩ）及び式（ＸＩＶ）の構成単位のモル比が１：１：１の架橋パリレンが得られる。
The molar fraction of the crosslinking unit of the formula (I) in the crosslinked parylene is arbitrary. As a raw material, the other cyclophane compound used together with the cyclophane compound of a formula (II), and bridge | crosslinking parylene which has arbitrary molar ratios by these compounding ratios are obtained. As a preferable form of the cross-linked parylene, the molar fraction of the cross-linked units of the formula (I) in the cross-linked parylene is 1 to 50 mol% with respect to all the structural units.
In addition, when manufacturing only the cyclophane compound of a formula (II) by a CVD method, the molar ratio of the structural unit of a formula (I), a formula (XIII), and a formula (XIV) is 1: 1: 1. Parylene is obtained.
透水機能を有する架橋パリレン（これが架橋パリレン透水膜となる。）は、好ましい一形態として、以下の製造方法により得られる。
すなわち、架橋単位の原料となる式（ＩＩ）の化合物と併用して、シアノ基を有する式（ＶＩ）及び／又は式（ＶＩＩ）のシクロファン化合物を原料として用いる。ＣＶＤ法により、これらの原料を熱分解して生じるラジカル中間体のモノマーが、支持体表面でランダムに共重合して蒸着膜として製造される。
すなわち、式（ＩＩ）のシクロファン化合物を熱分解すると、式（ＸＩＩ）のラジカル中間体（架橋性モノマー）の他に、同時に、式（Ｘ）及び式（ＸＩ）ラジカル中間体（モノマー）が生じる。
そして、これらのラジカル中間体が、支持体表面でランダムに共重合する。その結果、少なくとも、式（Ｉ）、式（ＸＩＩＩ）及び式（ＸＩＶ）の構成単位を有する、架橋パリレンが支持体表面に架橋パリレン膜として製造される。
勿論、式（ＩＩ）、式（ＶＩ）及び／又は式（ＶＩＩ）のシクロファン化合物と一緒に、他の異なるシクロファン化合物を原料として併用しても良い。このような態様も本発明の製造方法に含まれる。この場合は、当該他の異なるシクロファン化合物からもラジカル中間体（モノマー）が生じるので、これに由来する構成単位も有する架橋パリレンが得られる。
Cross-linked parylene having a water-permeable function (this is a cross-linked parylene water-permeable membrane) is obtained by the following production method as a preferred embodiment.
That is, the cyclophane compound of the formula (VI) and / or the formula (VII) having a cyano group is used as a raw material in combination with the compound of the formula (II) as a raw material of the crosslinking unit. By the CVD method, monomers of radical intermediates generated by thermally decomposing these raw materials are randomly copolymerized on the support surface to produce a deposited film.
That is, when the cyclophane compound of the formula (II) is thermally decomposed, the radical intermediate (monomer) of the formula (X) and the formula (XI) is simultaneously obtained in addition to the radical intermediate (crosslinkable monomer) of the formula (XII). Arise.
These radical intermediates are copolymerized randomly on the support surface. As a result, crosslinked parylene having at least the structural units of formula (I), formula (XIII) and formula (XIV) is produced as a crosslinked parylene film on the surface of the support.
Of course, together with the cyclophane compound of the formula (II), the formula (VI) and / or the formula (VII), another different cyclophane compound may be used as a raw material. Such an embodiment is also included in the production method of the present invention. In this case, since a radical intermediate (monomer) is generated also from the other different cyclophane compounds, a crosslinked parylene having a structural unit derived therefrom is obtained.
上述したように、式（ＩＩ）、及び、式（ＶＩ）又は式（ＶＩＩ）のシクロファン化合物を原料として用い、ＣＶＤ法により、少なくとも式（Ｉ）及び式（ＩＩＩ）の構成単位を有する架橋パリレンを製造することが出来る。当該架橋パリレンは、本発明の架橋パリレン透水膜となる。 As described above, the bridge having at least the structural units of the formula (I) and the formula (III) by the CVD method using the cyclophane compound of the formula (II) and the formula (VI) or the formula (VII) as a raw material. Parylene can be manufactured. The crosslinked parylene becomes the crosslinked parylene permeable membrane of the present invention.
以下に、式（ＩＩ）及び式（ＶＩ）を原料とする架橋パリレンの反応経路を示す。
上記は、式（ＶＩ）の化合物と式（ＩＩ）の化合物を、２：１のモル比で原料とした場合に製造される架橋パリレン並びに架橋パリレン透水膜の反応経路である。
この場合に製造される架橋パリレン並びに架橋パリレン透水膜は、式（ＩＩＩ）、式（ＸＶＩＩ）、式（ＸＩＩＩ）、式（ＸＩＶ）、式（Ｉ）の構成単位がランダムに結合した共重合体である。
架橋パリレン並びに架橋パリレン透水膜を形成する式（ＩＩＩ）、式（ＸＶＩＩ）、式（ＸＩＩＩ）、式（ＸＩＶ）、式（Ｉ）の構成単位のモル比はそれぞれ２：２：１：１：１となる。
すなわち、原料として供給されるそれぞれのシクロファン化合物のモル比によって、それぞれの構成単位のモル比が決定される。
原料として供給される式（ＶＩ）と式（ＩＩ）の化合物のモル比は限定されないが、好ましいモル比は、式（ＶＩ）の化合物：式（ＩＩ）の化合物＝１０：１〜２：１である。
The above is the reaction path of the crosslinked parylene and the crosslinked parylene permeable membrane produced when the compound of formula (VI) and the compound of formula (II) are used as raw materials in a molar ratio of 2: 1.
The crosslinked parylene and the crosslinked parylene permeable membrane produced in this case are a copolymer in which structural units of formula (III), formula (XVII), formula (XIII), formula (XIV), and formula (I) are randomly bonded. It is.
The molar ratios of the structural units of formula (III), formula (XVII), formula (XIII), formula (XIV), and formula (I) that form the crosslinked parylene and the crosslinked parylene permeable membrane are 2: 2: 1: 1: 1
That is, the molar ratio of each structural unit is determined by the molar ratio of each cyclophane compound supplied as a raw material.
The molar ratio of the compound of the formula (VI) and the formula (II) supplied as a raw material is not limited, but the preferred molar ratio is the compound of the formula (VI): the compound of the formula (II) = 10: 1 to 2: 1 It is.
次に、式（ＩＩ）及び式（ＶＩＩ）を原料として用いて製造する架橋パリレンの反応経路を以下に示す。この例は、原料として供給する式（ＩＩ）及び式（ＶＩＩ）の化合物のモル比が２：１の場合を示している。
その結果、架橋パリレン並びに架橋パリレン透水膜の、式（ＩＩＩ）、式（ＸＩＩＩ）、式（ＸＩＶ）、式（Ｉ）の構成単位のモル比は４：１：１：１となる。
すなわち、原料として供給されるそれぞれのシクロファン化合物のモル比によって、それぞれの構成単位のモル比が決定される。
原料として供給される式（ＶＩＩ）と式（ＩＩ）の化合物のモル比は限定されないが、好ましいモル比は、式（ＶＩＩ）の化合物：式（ＩＩ）の化合物＝１０：１〜２：１である。
As a result, the molar ratio of the structural units of the formula (III), the formula (XIII), the formula (XIV), and the formula (I) of the crosslinked parylene and the crosslinked parylene permeable membrane is 4: 1: 1: 1.
That is, the molar ratio of each structural unit is determined by the molar ratio of each cyclophane compound supplied as a raw material.
Although the molar ratio of the compound of the formula (VII) supplied as a raw material and the compound of a formula (II) is not limited, The preferable molar ratio is the compound of a formula (VII): The compound of a formula (II) = 10: 1-2: 1 It is.
なお、式（ＩＩ）の化合物のＲ１、Ｒ２の少なくとも一つがシアノ基である場合は、式（ＶＩ）又は式（ＶＩＩ）の化合物を併用せずに、式（ＩＩ）の化合物のみを単独原料としても、架橋パリレンに透水機能を持たせることが可能であり、架橋パリレン透水膜が製造される。この場合には少なくとも式（Ｉ）及び式（ＩＩＩ）の構成単位を有する架橋パリレン乃至架橋パリレン透水膜が製造される。
架橋パリレン乃至架橋パリレン透水膜はＣＶＤ法により支持体表面に蒸着された状態で得られる。
支持体はパリレンが蒸着可能な限り限定されない。例えば、平坦なガラス板やステンレス板、各種樹脂シート、不織布、多孔性膜などを挙げることが出来る。
これらの支持体はパリレン膜が蒸着しやすいように各種表面処理がなされていても好ましい。
The crosslinked parylene or the crosslinked parylene water permeable membrane is obtained in a state where it is deposited on the surface of the support by the CVD method.
The support is not limited as long as parylene can be deposited. For example, a flat glass plate, a stainless steel plate, various resin sheets, a nonwoven fabric, a porous film, etc. can be mentioned.
These supports are preferably subjected to various surface treatments so that the parylene film can be easily deposited.
本発明の架橋パリレン透水膜は、支持体（基板ともいう）に、限界ろ過膜（ＵＦ膜）や精密ろ過膜（ＭＦ膜）等の多孔性膜を用いて複合膜として使用することも好ましい。この場合は、限界ろ過膜や精密ろ過膜等の孔に、例えば水溶性高分子を充填し、その表面に架橋パリレン透水膜を蒸着させることも可能である。当該複合膜に水を透過させれば水溶性高分子は溶解し、透水膜として機能する。水溶性高分子としては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等を用いることが出来る。
このように、本発明においては、ＣＶＤ法を用いることにより、ドライプロセスにて、任意の多孔性膜に、ナノろ過膜の機能を有する架橋パリレン透水膜を積層することができる。例えば、ドライプロセスによってＵＦ膜へナノろ過膜の機能を付与することが可能となる。
The crosslinked parylene water permeable membrane of the present invention is also preferably used as a composite membrane by using a porous membrane such as a ultrafiltration membrane (UF membrane) or a microfiltration membrane (MF membrane) on a support (also referred to as a substrate). In this case, for example, a water-soluble polymer can be filled in pores such as a ultrafiltration membrane and a microfiltration membrane, and a crosslinked parylene permeable membrane can be deposited on the surface thereof. If water is permeated through the composite membrane, the water-soluble polymer is dissolved and functions as a water permeable membrane. As the water-soluble polymer, for example, polyethylene glycol, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone and the like can be used.
Thus, in the present invention, by using the CVD method, a crosslinked parylene water permeable membrane having a function of a nanofiltration membrane can be laminated on an arbitrary porous membrane by a dry process. For example, the function of the nanofiltration membrane can be imparted to the UF membrane by a dry process.
架橋パリレン透水膜の用途は限定されないが、好ましくは水処理の用途に使用される。
例えば、架橋パリレン透水膜に、物質が溶解及び／又は分散した水を透過させて水を分離するために使用される。
物質が溶解した水とは水溶性化合物が溶解した水溶液であり、物質が分散した水とは、例えば汚泥などが分散した分散液のことである。これらの水溶液若しくは分散液は、パリレン透水膜の孔径よりも物質が大きい場合に水の分離が可能となる。すなわち、パリレン透水膜の孔径により各種物質が溶解及び／又は分散した水から、これらの物質を排除して水の分離が可能となる。
The use of the crosslinked parylene water permeable membrane is not limited, but is preferably used for water treatment.
For example, it is used to separate water by allowing water in which a substance is dissolved and / or dispersed to permeate through a crosslinked parylene permeable membrane.
The water in which the substance is dissolved is an aqueous solution in which the water-soluble compound is dissolved, and the water in which the substance is dispersed is a dispersion liquid in which, for example, sludge is dispersed. These aqueous solutions or dispersions can separate water when the substance is larger than the pore size of the parylene permeable membrane. That is, water can be separated by removing these substances from water in which various substances are dissolved and / or dispersed depending on the pore size of the parylene permeable membrane.
架橋パリレン透水膜の孔径は０．１〜１０ｎｍであることが好ましい。
また、膜厚は１０ｎｍ〜１０μｍであることが好ましい。当該孔径乃至膜厚により、架橋パリレン透水膜は、優れたナノろ過膜、すなわちナノフィルターとして機能する。
架橋パリレン透水膜の孔径及び膜厚は、熱分解温度などの製膜条件を適宜変えることにより種々の孔径及び膜厚に調整することが出来る。また、孔径は架橋パリレン透水膜を構成する架橋パリレンの官能基によっても調製することが可能である。
The pore size of the crosslinked parylene water permeable membrane is preferably 0.1 to 10 nm.
The film thickness is preferably 10 nm to 10 μm. The crosslinked parylene permeable membrane functions as an excellent nanofiltration membrane, that is, a nanofilter, depending on the pore diameter or film thickness.
The pore size and film thickness of the crosslinked parylene water permeable membrane can be adjusted to various pore sizes and film thicknesses by appropriately changing the film forming conditions such as the thermal decomposition temperature. The pore diameter can also be prepared by the functional group of the crosslinked parylene constituting the crosslinked parylene water permeable membrane.
本発明の架橋パリレン透水膜の最大の特徴は、本来気体や液体を透過させない特性から電子部品の封止コーティング膜として使用されているパリレンを材料とする透水膜としては、その透水量が非常に大きいということである。すなわち、本発明では、パリレン透水膜の透水量をナノフィルターとして十二分に実用化レベルにまで引き上げることに成功した。その透水量は、実施例において具体的に記載するが、特許文献１に開示されている従来のパリレン透水膜と比較して大幅に向上する。
さらに、透水膜としての強度に優れ、耐久性に優れた透水膜でもある。したがって、本発明の架橋パリレン透水膜は、その他の材料からなる透水膜と比較して、実用化レベルで極めて有用な透水膜として機能する。
The greatest feature of the cross-linked parylene water permeable membrane of the present invention is that the water permeable amount is very high as a water permeable membrane made of parylene which is used as a sealing coating film for electronic parts because of its inherent property of not allowing gas or liquid to permeate. It is big. That is, in the present invention, the water permeability of the parylene permeable membrane has been successfully raised to a practical level sufficiently as a nanofilter. The amount of water permeation is specifically described in Examples, but is significantly improved as compared with the conventional parylene water permeable membrane disclosed in Patent Document 1.
Furthermore, it is also a water permeable membrane having excellent strength and durability as a water permeable membrane. Therefore, the crosslinked parylene water permeable membrane of the present invention functions as a water permeable membrane extremely useful at a practical level as compared with water permeable membranes made of other materials.
本発明の架橋パリレンは透水機能のみならず、種々の機能を有するパリレンを原料とすることにより、所望の機能を発揮する機能性高分子としての活用が可能である。 The cross-linked parylene of the present invention can be used as a functional polymer that exhibits a desired function by using not only a water-permeable function but also parylene having various functions as a raw material.
以下に本発明の実施例を記載する。 Examples of the present invention will be described below.
合成例１
4-Bromo[2.2]paracyclophane (化合物１)の合成
Synthesis of 4-Bromo [2.2] paracyclophane (Compound 1)
合成例２
4-Cyano[2.2]paracyclophane （化合物２）の合成
Synthesis of 4-Cyano [2.2] paracyclophane (compound 2)
合成例３
Pseudo-para-dibromo[2.2]paracyclophane (化合物３)の合成
Synthesis of Pseudo-para-dibromo [2.2] paracyclophane (compound 3)
合成例４
Pseudo-para-dicyano[2.2]paracyclophane (化合物４)、Pseudo-ortho-dicyano[2.2]paracyclophane(化合物５)の合成
Synthesis of Pseudo-para-dicyano [2.2] paracyclophane (compound 4) and Pseudo-ortho-dicyano [2.2] paracyclophane (compound 5)
実施例１（式（ＩＸ）のシクロファン化合物の製造）
先ず、グローブボックス内にてBypyridine 1.20 g (7.38 mmol)とNi(cod)2 2.00 gをフラスコに加えた。
次に、ドラフト内、大気圧下で以下の操作を行った。このフラスコにdry THF 180mlとシクロオクタジエン1.01mlをシリンジで加えた。
次に、4-Bromo[2.2]paracyclophane 1.75 g(6.09 mmol)を乾燥THFに溶解させた溶液を、シリンジでフラスコに加えた。温度を60℃に設定し24時間反応させた。
24時間後、ろ過によりNi(cod)2を除去し、ろ液を減圧乾燥した。得られた固体をシリカゲルカラムクロマトグラフィー(ジクロロメタン：ｎ−ヘキサン= １：１)で目的物をカラム分離し、メタノールを用いて再結晶させた。さらに、昇華精製を行い、Bis-4,4'-[2.2]paracyclophaneを得た。
Yield 56.8%
1H-NMR(CDCl3,400.13MHz):δH=6.45-6.42(m, 12H,ArH), 6.35(dd, J=9.60Hz, 1H, ArH), 6.28(m, J=10.0Hz, 1H, ArH), 3.37-2.87(m, 13H, -CH2-), 2.80-2.68(m, 3H, -CH2-)
13C-NMR(CDCl3,400.13MHz): δ=140.4, 140.1, 139.9, 139.8, 139.6, 139.5, 139.0, 138.2, 136.7, 135.5, 134.1, 133.3, 133.2, 133.1, 132.9, 132.3, 132.8, 132.4, 132.2, 132.1, 130.9, 130.1, 77.8, 77.4, 77.1, 36.0, 35.9, 35.8, 35.8, 35.8, 35.0, 34.9. ESI-TOF-Ms: 414.2348.
Example 1 (Production of cyclophane compound of formula (IX))
First, 1.20 g (7.38 mmol) of Bypyridine and 2.00 g of Ni (cod) 2 were added to the flask in the glove box.
Next, the following operations were performed in a draft and at atmospheric pressure. To this flask, 180 ml of dry THF and 1.01 ml of cyclooctadiene were added with a syringe.
Next, a solution obtained by dissolving 1.75 g (6.09 mmol) of 4-Bromo [2.2] paracyclophane in dry THF was added to the flask with a syringe. The temperature was set to 60 ° C. and reacted for 24 hours.
After 24 hours, Ni (cod) 2 was removed by filtration, and the filtrate was dried under reduced pressure. The obtained solid was subjected to column separation by silica gel column chromatography (dichloromethane: n-hexane = 1: 1) and recrystallized from methanol. Further, purification by sublimation was performed to obtain Bis-4,4 ′-[2.2] paracyclophane.
Yield 56.8%
1 H-NMR (CDCl 3 , 400.13 MHz): δ H = 6.45-6.42 (m, 12H, ArH), 6.35 (dd, J = 9.60Hz, 1H, ArH), 6.28 (m, J = 10.0Hz, 1H , ArH), 3.37-2.87 (m, 13H, -CH 2- ), 2.80-2.68 (m, 3H, -CH 2- )
13 C-NMR (CDCl 3 , 400.13 MHz): δ = 140.4, 140.1, 139.9, 139.8, 139.6, 139.5, 139.0, 138.2, 136.7, 135.5, 134.1, 133.3, 133.2, 133.1, 132.9, 132.3, 132.8, 132.4, 132.2, 132.1, 130.9, 130.1, 77.8, 77.4, 77.1, 36.0, 35.9, 35.8, 35.8, 35.8, 35.0, 34.9. ESI-TOF-Ms: 414.2348.
上記の実施例１で得られた式（ＩＸ）化合物は、Ｒ１及びＲ２が水素原子の式（ＩＩ）のシクロファン化合物である。
実施例２（架橋パリレン透水膜の製造）
限外ろ過膜（分画分子量 50kDa, メルクミルポア社製、限外ろ過用ディスクフィルター PBQK02510）をパリレンコーティング装置内のチャンバー内に静置した。日本パリレン社製パリレンコーティング装置内の気化部に合成例２で得られた4-Cyano[2.2]paracyclophane 150mgと実施例１で得られたBis-4,4'-[2.2]paracyclophane 75mgを入れ、減圧下で加熱し昇華させる。昇華した気体は650℃熱分解炉を通過する際に熱分解されモノマー状態になる。モノマーは蒸着チャンバー内に導かれ、チャンバー内に置かれた限外ろ過膜（支持膜）表面で重合し表面に薄膜を形成し、架橋パリレンからなる架橋パリレン透水膜を得た。膜厚は50nmであった。
これにより、ＣＶＤ法によって、限外ろ過膜上に以下の構成単位を有する架橋パリレン透水膜が蒸着された複合膜を得た。なお、実施例２〜４及び比較例で使用した限外ろ過膜はその孔がポリエチレングリコールで充填されており、透水するとポリエチレングリコールが水に溶解する。
An ultrafiltration membrane (fractionated molecular weight 50 kDa, manufactured by Merck Milpore, disk filter PBQK02510 for ultrafiltration) was placed in a chamber in a parylene coating apparatus. 4-Cyano [2.2] paracyclophane 150 mg obtained in Synthesis Example 2 and Bis-4,4 ′-[2.2] paracyclophane 75 mg obtained in Example 1 were placed in the vaporization part of a parylene coating apparatus manufactured by Japan Parylene, Heat to sublimate under reduced pressure. The sublimated gas is thermally decomposed into a monomer state when passing through a 650 ° C. pyrolysis furnace. The monomer was introduced into the vapor deposition chamber, polymerized on the surface of the ultrafiltration membrane (support membrane) placed in the chamber to form a thin film on the surface, and a crosslinked parylene permeable membrane composed of crosslinked parylene was obtained. The film thickness was 50 nm.
Thereby, the composite film by which the bridge | crosslinking parylene permeable film which has the following structural units was vapor-deposited on the ultrafiltration membrane was obtained by CVD method. In addition, the pores of the ultrafiltration membranes used in Examples 2 to 4 and the comparative example are filled with polyethylene glycol, and when water permeates, polyethylene glycol dissolves in water.
実施例３（架橋パリレン透水膜の製造）
限外ろ過膜（分画分子量 50kDa, メルクミルポア社製、限外ろ過用ディスクフィルター PBQK02510）をパリレンコーティング装置内のチャンバー内に静置した。日本パリレン社製パリレンコーティング装置内の気化部に合成例４で得られたPseudo-para-dicyano[2.2]paracyclophaneとPseudo-ortho-dicyano[2.2]paracyclophaneの混合物 150mgと実施例１で得られたBis-4,4'-[2.2]paracyclophane 75mgを入れ、減圧下で加熱し昇華させる。昇華した気体は650℃熱分解炉を通過する際に熱分解されモノマー状態になる。モノマーは蒸着チャンバー内に導かれ、チャンバー内に置かれた限外ろ過膜（支持膜）表面で重合し表面に薄膜を形成し、架橋パリレンからなる架橋パリレン透水膜を得た。膜厚は48nmであった。
これにより、ＣＶＤ法によって、限外ろ過膜上に、実施例２と同じ構成単位を有する架橋パリレン透水膜が蒸着された複合膜を得た。
得られた架橋パラレン透水膜の断面の走査型電子顕微鏡写真を図１に示す。
図１から、限外ろ過膜（ＵＦ膜）上に架橋パリレン膜からなる透水膜が蒸着した複合膜が製造出来ていることが分かる。限界ろ過膜は架橋パリレン透水膜の支持体である。
Example 3 (Production of crosslinked parylene permeable membrane)
An ultrafiltration membrane (fractionated molecular weight 50 kDa, manufactured by Merck Milpore, disk filter PBQK02510 for ultrafiltration) was placed in a chamber in a parylene coating apparatus. In the vaporization part in a parylene coating apparatus manufactured by Parylene Japan, 150 mg of the mixture of Pseudo-para-dicyano [2.2] paracyclophane and Pseudo-ortho-dicyano [2.2] paracyclophane obtained in Synthesis Example 4 and Bis obtained in Example 1 were used. Add -4,4 '-[2.2] paracyclophane 75mg, and heat to sublimate under reduced pressure. The sublimated gas is thermally decomposed into a monomer state when passing through a 650 ° C. pyrolysis furnace. The monomer was introduced into the vapor deposition chamber, polymerized on the surface of the ultrafiltration membrane (support membrane) placed in the chamber to form a thin film on the surface, and a crosslinked parylene permeable membrane composed of crosslinked parylene was obtained. The film thickness was 48 nm.
Thereby, the composite film by which the bridge | crosslinking parylene permeable membrane which has the same structural unit as Example 2 was vapor-deposited on the ultrafiltration membrane by CVD method was obtained.
A scanning electron micrograph of the cross section of the obtained crosslinked paralene permeable membrane is shown in FIG.
From FIG. 1, it can be seen that a composite membrane in which a water permeable membrane made of a crosslinked parylene membrane is deposited on an ultrafiltration membrane (UF membrane) can be produced. The ultrafiltration membrane is a support for a cross-linked parylene permeable membrane.
実施例４（架橋パリレン透水膜の製造）
限外ろ過膜（分画分子量 50kDa, メルクミルポア社製、限外ろ過用ディスクフィルター PBQK02510）をパリレンコーティング装置内のチャンバー内に静置した。日本パリレン社製パリレンコーティング装置内の気化部に合成例４で得られたPseudo-para-dicyano[2.2]paracyclophaneとPseudo-ortho-dicyano[2.2]paracyclophaneの混合物 100mgと実施例１で得られたBis-4,4'-[2.2]paracyclophane 50mgを入れ、減圧下で加熱し昇華させる。昇華した気体は650℃熱分解炉を通過する際に熱分解されモノマー状態になる。モノマーは蒸着チャンバー内に導かれ、チャンバー内に置かれた限外ろ過膜（支持膜）表面で重合し表面に薄膜を形成し、架橋パリレンからなる架橋パリレン透水膜を得た。膜厚は25nmであった。
これにより、ＣＶＤ法によって、限外ろ過膜上に、実施例２と同じ構成単位を有する架橋パリレン透水膜が蒸着された複合膜を得た。
Example 4 (Production of crosslinked parylene permeable membrane)
An ultrafiltration membrane (fractionated molecular weight 50 kDa, manufactured by Merck Milpore, disk filter PBQK02510 for ultrafiltration) was placed in a chamber in a parylene coating apparatus. A mixture of Pseudo-para-dicyano [2.2] paracyclophane and Pseudo-ortho-dicyano [2.2] paracyclophane obtained in Synthesis Example 4 and Bis obtained in Example 1 in the vaporization part of a parylene coating apparatus manufactured by Parylene, Japan Add -4,4 '-[2.2] paracyclophane 50mg and heat to sublimate under reduced pressure. The sublimated gas is thermally decomposed into a monomer state when passing through a 650 ° C. pyrolysis furnace. The monomer was introduced into the vapor deposition chamber, polymerized on the surface of the ultrafiltration membrane (support membrane) placed in the chamber to form a thin film on the surface, and a crosslinked parylene permeable membrane composed of crosslinked parylene was obtained. The film thickness was 25 nm.
Thereby, the composite film by which the bridge | crosslinking parylene permeable membrane which has the same structural unit as Example 2 was vapor-deposited on the ultrafiltration membrane by CVD method was obtained.
比較例
限外ろ過膜（分画分子量 50kDa, メルクミルポア社製、限外ろ過用ディスクフィルター PBQK02510）をパリレンコーティング装置内のチャンバー内に静置した。日本パリレン社製パリレンコーティング装置内の気化部に合成例４で得られたPseudo-para-dicyano[2.2]paracyclophaneとPseudo-ortho-dicyano[2.2]paracyclophaneの混合物 200mgを入れ、減圧下で加熱し昇華させる。昇華した気体は650℃熱分解炉を通過する際に熱分解されモノマー状態になる。モノマーは蒸着チャンバー内に導かれ、チャンバー内に置かれた支持膜表面で重合し表面に薄膜を形成し、パリレン透水膜を得た。膜厚は50nmであった。
これにより、ＣＶＤ法によって、限外ろ過膜上に、以下の構成単位を有するパリレン透水膜が蒸着された複合膜を得た。当該パリレン透水膜は、架橋単位が含まれておらず、架橋構造を有していない。
Thereby, the composite film by which the parylene permeable film which has the following structural units was vapor-deposited on the ultrafiltration membrane was obtained by CVD method. The parylene permeable membrane does not contain a crosslinking unit and does not have a crosslinked structure.
上記実施例２〜４及び比較例の複合膜を使用して、以下の構造を有する染料（ローズベンガル）が溶解した水溶液からデッドエンド方式により水の分離を行った。図２にデッドエンド方式のろ過の模式図を示す。
具体的には、室温（２０℃）にて、染料（ローズベンガル）が溶解した水溶液（濃度：5μM）を原液とし、差圧０．４ＭＰaにて、限外ろ過膜用デッドエンド装置（メルクミルポア社製、攪拌式セル8000シリーズ Model 8010、有効面積：25mm2）により、実施例２、実施例３、実施例４及び比較例の複合膜の透水量及び染料排除率の測定を行った。染料排除率は図３の吸収スペクトルの吸光度から求めた。
Using the composite membranes of Examples 2 to 4 and the comparative example, water was separated from an aqueous solution in which a dye (rose bengal) having the following structure was dissolved by a dead end method. FIG. 2 shows a schematic diagram of dead-end filtration.
Specifically, at room temperature (20 ° C.), an aqueous solution (concentration: 5 μM) in which a dye (rose bengal) is dissolved is used as a stock solution, and a dead-end device for ultrafiltration membrane (Merck Mill Pore) at a differential pressure of 0.4 MPa. The water permeability and dye exclusion rate of the composite membranes of Example 2, Example 3, Example 4, and Comparative Example were measured using a stirrer cell 8000 series Model 8010, effective area: 25 mm 2 ). The dye exclusion rate was determined from the absorbance in the absorption spectrum of FIG.
「表１」に８時間経過後に測定した透水量と染料排除率を示す。
「表１」より、限外ろ過膜を支持体とする架橋パリレン透水膜の透水量は比較例に比べて極めて高いことが分かる。また、架橋パリレン透水膜の染料排除率も極めて高いことが分かる。
From “Table 1”, it can be seen that the water permeability of the cross-linked parylene permeable membrane using the ultrafiltration membrane as a support is extremely higher than that of the comparative example. It can also be seen that the dye exclusion rate of the crosslinked parylene water permeable membrane is also extremely high.
「表１」の染料排除率の結果を図３のグラフにて示す。当該グラフは、実施例4で製造した架橋パリレン透水膜に透水させる原液（ローズベンガル水溶液、濃度 5μM）、透水後の水溶液（ろ液）、当該膜上部の水溶液（残液）、比較対象の水の吸収スペクトル（日本分光社製V-570）にて表したグラフである。透水後の水溶液（ろ液）と比較対象の水のスペクトルはグラフ上で重なっている。
これらの吸収スペクトル変化から、透過後の水溶液（ろ液）内にはローズベンガルが含まれていないことと、架橋パリレン透水膜を透過しなかった染料が膜上部の水溶液（残液）内で濃縮されたことが理解される。
The results of the dye exclusion rates in “Table 1” are shown in the graph of FIG. The graph shows a stock solution (rose bengal aqueous solution, concentration 5 μM) to be permeated through the cross-linked parylene permeable membrane produced in Example 4, an aqueous solution (filtrate) after water permeation, an aqueous solution (residual liquid) above the membrane, and water for comparison. It is the graph represented with the absorption spectrum (JASCO Corporation V-570). The spectra of the aqueous solution (filtrate) after permeation and the water to be compared overlap on the graph.
From these changes in the absorption spectrum, the aqueous solution (filtrate) after permeation does not contain rose bengal, and the dye that did not permeate the cross-linked parylene permeable membrane is concentrated in the aqueous solution (residual solution) above the membrane. It is understood that
本発明の架橋構造を有するパリレンは、種々の膜材料として極めて有用な新規物質である。例えば架橋パリレン透水膜を構成する材料となる。
また、本発明の架橋パリレン透水膜は種々の用途に用いることができるが、実用化レベルの高い透水量を有するので、水処理の技術分野においてナノフィルターとしての利用価値が高い。
さらに、本発明のシクロファン化合物は種々の化合物、材料乃至製品の原料となり得る新規化合物である。本発明においては、架橋構造を有するパリレン及び架橋パリレン透水膜の原料として利用される。
Parylene having a crosslinked structure of the present invention is a novel substance that is extremely useful as various film materials. For example, it becomes a material constituting the crosslinked parylene water permeable membrane.
Moreover, although the crosslinked parylene permeable membrane of the present invention can be used for various applications, it has a high water permeation amount at a practical level, and thus has high utility value as a nanofilter in the technical field of water treatment.
Furthermore, the cyclophane compound of the present invention is a novel compound that can be a raw material for various compounds, materials and products. In the present invention, it is used as a raw material for parylene having a crosslinked structure and a crosslinked parylene water permeable membrane.
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