JP2018127750A - Glass cloth, prepreg and printed wiring board - Google Patents

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JP2018127750A JP2017023535A JP2017023535A JP2018127750A JP 2018127750 A JP2018127750 A JP 2018127750A JP 2017023535 A JP2017023535 A JP 2017023535A JP 2017023535 A JP2017023535 A JP 2017023535A JP 2018127750 A JP2018127750 A JP 2018127750A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: glass cloth low in dielectric constant with which a substrate excellent in dimensional stability can be manufactured (concept of the "substrate" includes prepregs, a printed wiring board or a laminate or the like therefor); and prepregs and a printed wiring board using the glass cloth.SOLUTION: The glass cloth is made by weaving a glass thread, as warp and weft, composed of a plurality of glass filaments. An average filament diameter of the glass filaments constituting the warp and the weft is 3-10 μm, the number of filaments of the warp and the weft is 20-300, the warp and the weft have each independently the placing density of 20-140/inch, the dielectric constant of the glass cloth is 4.4 or lower and the warpage of a printed wiring board constituted of the glass cloth is 10 mm or lower.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明はガラスクロス、プリプレグ、及びプリント配線板に関する。   The present invention relates to a glass cloth, a prepreg, and a printed wiring board.

現在、スマートフォン等の情報端末の高性能化、高速通信化に伴い、使用されるプリント配線板において、高密度化、極薄化とともに、低誘電率化、低誘電正接化が著しく進行している。   Currently, along with the high performance and high speed communication of information terminals such as smartphones, the printed wiring boards used are becoming increasingly dense and extremely thin, and are also becoming increasingly low dielectric constant and low dielectric loss tangent. .

このプリント配線板の絶縁材料としては、ガラスクロスをエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂(以下、「マトリックス樹脂」という。)に含浸させて得られるプリプレグを積層して加熱加圧硬化させた積層板が広く使用されている。上記の高速通信基板に使用されるマトリックス樹脂の誘電率は3程度であるのに対し、一般的なEガラスクロスの誘電率は6.7程度であり、積層板時の高い誘電率の問題が顕在化してきている。なお、信号の伝送ロスは、Edward A. Wolff式 : 伝送損失∝√ε×tanδ、が示すように、誘電率(ε)および誘電正接(tanδ)が小さい材料ほど改善されることが知られている。   As an insulating material of this printed wiring board, a laminated board obtained by laminating a prepreg obtained by impregnating a glass cloth with a thermosetting resin such as an epoxy resin (hereinafter referred to as “matrix resin”) and curing by heating and pressing. Is widely used. The dielectric constant of the matrix resin used for the high-speed communication substrate is about 3, whereas the dielectric constant of a general E glass cloth is about 6.7. It has become apparent. Note that the signal transmission loss is Edward A. As shown by the Wolff equation: transmission loss ∝√ε × tan δ, it is known that a material having a smaller dielectric constant (ε) and dielectric loss tangent (tan δ) is improved.

そのため、Eガラスとは異なるガラス組成のDガラス、NEガラス、Lガラス等の低誘電率ガラスクロスが提案されている(例えば、特許文献1〜4参照)。   Therefore, low dielectric constant glass cloths such as D glass, NE glass, and L glass having a glass composition different from that of E glass have been proposed (for example, see Patent Documents 1 to 4).

特開平5−170483Japanese Patent Laid-Open No. 5-170483 特開2009−263569JP2009-263569 特開2009−19150JP2009-19150 特開2009−263824JP 2009-263824 A

しかしながら、今後の5G通信用途等において、これら低誘電率ガラスクロスでは、十分な伝送速度性能を達成する観点から、なお改善の余地があった。ここで、ガラス組成中のSiO2配合量をほぼ100%とすることにより、更なる低誘電率化及び低誘電正接化を図ることも考えられる。しかしながら、ガラス組成中のSiO2の配合量をほぼ100%に増やすと、一般に低誘電率基板に使用されるメカニカルドリルでの穴加工性が著しく悪くなる。 However, in future 5G communication applications and the like, these low dielectric constant glass cloths still have room for improvement from the viewpoint of achieving sufficient transmission speed performance. Here, it is conceivable to further lower the dielectric constant and lower the dielectric loss tangent by setting the amount of SiO 2 in the glass composition to approximately 100%. However, when the amount of SiO 2 in the glass composition is increased to almost 100%, the hole workability with a mechanical drill generally used for a low dielectric constant substrate is significantly deteriorated.

そこで、一般的なガラス糸とSiO2配合量をほぼ100%とするガラス糸を混織する方法が挙げられる。特に、メカニカルドリル加工性に悪影響を及ぼしにくい緯糸にSiO2配合量をほぼ100%とするガラス糸を用いることにより、メカニカルドリル加工性を改善することができる。SiO2配合量をほぼ100%とするガラス糸の場合、ガラス紡糸温度が高く、細いフィラメント径のガラス糸を高品質かつ低コストで作製することが困難である。そこで、緯糸に太いフィラメント径のSiO2配合量をほぼ100%とするガラス糸を用いて、低誘電率のガラスクロスを製造する必要がある。しかし、経糸と緯糸の特性差による異方性や、太いフィラメント径に起因する斜行(目曲がり)や毛羽等の品質劣化のため、基板の反り性、さらに基板の寸法安定性に問題が生じる。寸法安定性が悪いと、配線や加工を設計通りに行えなくなり、プリント配線板を量産製造することができなくなる。 Therefore, there is a method in which a general glass yarn and a glass yarn having a SiO 2 blending amount of about 100% are mixed. In particular, the mechanical drill workability can be improved by using a glass thread having a SiO 2 blending amount of almost 100% for the weft which does not adversely affect the mechanical drill workability. In the case of a glass yarn having a SiO 2 blending amount of almost 100%, the glass spinning temperature is high, and it is difficult to produce a glass yarn having a thin filament diameter with high quality and low cost. Therefore, it is necessary to manufacture a glass cloth having a low dielectric constant by using a glass yarn having a thick filament diameter SiO 2 content of almost 100% for the weft. However, due to the anisotropy due to the characteristic difference between the warp and weft, and the deterioration of quality such as skew (flection) and fluff due to the large filament diameter, problems arise in the warpage of the substrate and the dimensional stability of the substrate. . If dimensional stability is poor, wiring and processing cannot be performed as designed, and printed wiring boards cannot be mass-produced and manufactured.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、誘電率が低く、かつ寸法安定性に優れた基板(「基板」とは、プリプレグ、プリント配線板、又はこれらの積層板等を含む概念である)を作製することができるガラスクロス、該ガラスクロスを用いたプリプレグ、及びプリント配線板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and includes a substrate having a low dielectric constant and excellent dimensional stability (“substrate” includes a prepreg, a printed wiring board, or a laminated board thereof). An object of the present invention is to provide a glass cloth capable of producing a concept), a prepreg using the glass cloth, and a printed wiring board.

本発明者らは、前記課題を解決するために検討した結果、所定のガラスクロスが上記課題を解決できることを見出し、本発明の完成に至った。   As a result of investigations to solve the above problems, the present inventors have found that a predetermined glass cloth can solve the above problems, and have completed the present invention.

すなわち本発明は、以下のとおりである。
〔1〕
複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、
前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、各々独立して、3〜10μmであり、
前記経糸及び前記緯糸のフィラメント数が、各々独立して、20〜300本であり、
前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して、20〜140本/inchであり、
前記ガラスクロスの誘電率が4.4以下であり、
前記ガラスクロスで構成されるプリント配線板の反りが、10mm以下である、
ガラスクロス。
〔2〕
前記経糸及び前記緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、
前記経糸及び前記緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、
前記ガラスクロスの誘電率が3.8超過4.4以下である、
〔1〕に記載のガラスクロス。
〔3〕
前記SiO2組成量が98〜100質量%である前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、6〜9μmである、
〔1〕又は〔2〕に記載のガラスクロス。
〔4〕
厚さが、30〜90μmである、
〔1〕〜〔3〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔5〕
前記SiO2組成量が98〜100質量%である前記ガラスフィラメントからなるガラス糸の引張弾性率が、70GPa以上であり、
前記SiO2組成量が45〜60質量%であり、前記B23組成量が15〜30質量%である前記ガラスフィラメントからなるガラス糸の引張弾性率に対する、前記SiO2組成量が98〜100質量%である前記ガラスフィラメントからなるガラス糸の引張弾性率の比が、1.3以下である、
〔1〕〜〔4〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔6〕
前記経糸及び前記緯糸の一方が、前記SiO2組成量が98〜99.95質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸である、
〔1〕〜〔5〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔7〕
前記経糸及び前記緯糸の他方が、前記SiO2組成量が50〜60質量%であり、前記B23組成量が20〜30質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸である、
〔1〕〜〔6〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔8〕
前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.2質量%以上1.0質量%以下である、
〔1〕〜〔7〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔9〕
前記ガラスクロスの前記緯糸と前記経糸の斜行が、一方のガラス糸を垂直としたときに1mあたり0〜20mmである、
〔1〕〜〔8〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔10〕
シランカップリング剤で前記ガラス糸の表面が処理された、
〔1〕〜〔9〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔11〕
〔1〕〜〔10〕のいずれか1項に記載のガラスクロスと、
該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を含む、
プリプレグ。
〔12〕
〔11〕に記載のプリプレグを有する、
プリント配線板。
That is, the present invention is as follows.
[1]
A glass cloth formed by weaving glass yarns composed of a plurality of glass filaments as warps and wefts,
The average filament diameters of the glass filaments constituting the warp and the weft are each independently 3 to 10 μm,
The number of filaments of the warp and the weft are each independently 20 to 300,
The driving density of the warp and the weft is 20 to 140 pieces / inch independently of each other,
The dielectric constant of the glass cloth is 4.4 or less,
The warp of the printed wiring board composed of the glass cloth is 10 mm or less,
Glass cloth.
[2]
One of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament whose SiO 2 composition is 98 to 100% by mass,
The other of the warp and the weft is a glass yarn including a glass filament having a SiO 2 composition amount of 45 to 60% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 15 to 30% by mass,
The dielectric constant of the glass cloth is more than 3.8 and less than 4.4.
The glass cloth according to [1].
[3]
The average filament diameter of the glass filament whose SiO 2 composition is 98 to 100% by mass is 6 to 9 μm.
The glass cloth according to [1] or [2].
[4]
The thickness is 30 to 90 μm.
The glass cloth according to any one of [1] to [3].
[5]
The tensile elastic modulus of the glass yarn composed of the glass filament with the SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass is 70 GPa or more,
The SiO 2 composition amount is 45 to 60 wt%, relative to the tensile modulus of the glass fiber in which the B 2 O 3 composition amount is made of the glass filaments is 15 to 30 wt%, the SiO 2 composition weight 98 to The ratio of the tensile elastic modulus of the glass yarn comprising the glass filament that is 100% by mass is 1.3 or less,
The glass cloth according to any one of [1] to [4].
[6]
One of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament whose SiO 2 composition is 98 to 99.95% by mass,
The glass cloth according to any one of [1] to [5].
[7]
The other of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament whose SiO 2 composition is 50 to 60% by mass and whose B 2 O 3 composition is 20 to 30% by mass,
The glass cloth according to any one of [1] to [6].
[8]
The ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less.
The glass cloth according to any one of [1] to [7].
[9]
The skew of the weft and the warp of the glass cloth is 0 to 20 mm per meter when one glass yarn is vertical.
The glass cloth according to any one of [1] to [8].
[10]
The surface of the glass yarn was treated with a silane coupling agent,
The glass cloth according to any one of [1] to [9].
[11]
The glass cloth according to any one of [1] to [10];
A matrix resin impregnated in the glass cloth,
Prepreg.
[12]
[11] having the prepreg according to
Printed wiring board.

本発明によれば、誘電率が低く、かつ寸法安定性に優れた基板を作製することができるガラスクロス、該ガラスクロスを用いたプリプレグ、及びプリント配線板を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the dielectric constant and the glass cloth which can produce the board | substrate excellent in dimensional stability, the prepreg using this glass cloth, and a printed wiring board can be provided.

以下、本発明の実施の形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。   Hereinafter, the embodiment of the present invention (hereinafter referred to as “the present embodiment”) will be described in detail. However, the present invention is not limited to this, and various modifications are possible without departing from the scope of the present invention. It is.

〔ガラスクロス〕
本実施形態のガラスクロスは、複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、各々独立して、3〜10μmであり、前記経糸及び前記緯糸のフィラメント数が、各々独立して、20〜300本であり、前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して、20〜140本/inchであり、前記ガラスクロスの誘電率が4.4以下であり、前記ガラスクロスで構成されるプリント配線板の反りが、10mm以下である。
〔Glass cloth〕
The glass cloth of the present embodiment is a glass cloth formed by weaving glass yarns composed of a plurality of glass filaments as warp yarns and weft yarns, and the average filament diameters of the glass filaments constituting the warp yarns and the weft yarns are respectively Independently, the number of filaments of the warp and the weft is independently 20 to 300, and the driving density of the warp and the weft is independently 20 to 140. The dielectric constant of the glass cloth is 4.4 or less, and the warp of the printed wiring board composed of the glass cloth is 10 mm or less.

中でも、前記経糸及び前記緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、前記経糸及び前記緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、前記ガラスクロスの誘電率が3.8超過4.4以下であるガラスクロスであることが好ましい。 Among them, one of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament having a SiO 2 composition amount of 98 to 100 mass%, and the other of the warp and the weft is a SiO 2 composition amount of 45 to 60 mass. The glass cloth includes a glass filament having a B 2 O 3 composition of 15 to 30% by mass, and the glass cloth has a dielectric constant of more than 3.8 and not more than 4.4. preferable.

SiO2組成量を98〜100質量%とした場合、誘電率は低下するものの、基板のドリル加工性が劣化する傾向となる。一般的なガラスのビッカース硬度は640kgf/mm2程度であるが、SiO2組成量がほぼ100%のガラスのビッカース硬度は820kgf/mm2程度であり、ドリル加工時においてドリルチップ先端が著しく摩耗する場合がある。 When the SiO 2 composition amount is set to 98 to 100% by mass, the dielectric constant decreases, but the drillability of the substrate tends to deteriorate. A typical glass has a Vickers hardness of about 640 kgf / mm 2 , but a glass having a SiO 2 composition of almost 100% has a Vickers hardness of about 820 kgf / mm 2 , and the tip of the drill tip is significantly worn during drilling. There is a case.

また、SiO2組成量を98〜100質量%とした場合には、ガラスフィラメントの耐屈曲性が大幅に低下し、ガラスフィラメントが割れたり折れたりする場合がある。割れたり折れたりしたガラスフィラメントは、ガラスクロスの毛羽立ちの一因となる。このような毛羽立ちは、ガラスクロスの整経、製織、開繊工程において生じ得るため、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントを用いて、毛羽立ちの少ないガラスクロスを製造することには容易でない。特に、経糸の場合、整経、製織工程において、ガラス糸の状態でロールなどの部材に多く接触するため、毛羽立ちがより生じ易い。また、プリプレグ用途においては、このように耐屈曲性の低いガラスフィラメントは、加工中に毛羽立ちを生じさせてしまう場合があり実用性に劣る傾向となる。毛羽立ちは、積層板を作製する際に、毛羽立ち部が導電層に衝突する確率が高くなり、突起不良や層間絶縁不良が生じる原因ともなる。したがって、SiO2組成量を98〜100質量%としたガラスフィラメントを用いたガラスクロスは実用性の観点から問題があると想定される。 Further, when the SiO 2 composition amount is set to 98 to 100% by mass, the bending resistance of the glass filament is significantly lowered, and the glass filament may be broken or broken. Broken or broken glass filaments contribute to the fluff of glass cloth. Such fuzz, warping of the glass cloth, woven, because that may occur in the spreading step, SiO 2 composition weight with glass filaments is 98 to 100 wt%, to produce a small glass cloth fluff Is not easy. In particular, in the case of warp yarns, in the warping and weaving processes, the glass yarn is in contact with many members such as a roll, so that fuzz is more likely to occur. In addition, in prepreg applications, glass filaments having such low bending resistance may cause fuzz during processing and tend to be less practical. The fluffing increases the probability that the fluffing part collides with the conductive layer when producing a laminated plate, and causes a defective projection and an interlayer insulation failure. Therefore, it is assumed that the glass cloth using the glass filament with the SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass has a problem from the viewpoint of practicality.

しかしながら、本実施形態のガラスクロスによれば、ガラスクロスで構成されるプリント配線板の反りが10mm以下であるようにすることにより、従来よりもより一層誘電率が低く、かつ寸法安定性に優れた基板を作製することができるガラスクロスを提供することが可能となる。また、本実施形態のガラスクロスを用いた基板は、より一層の低誘電率化及び低誘電正接化が達成されたものとなり、高速通信化に伴い要求される各性能を達成し得るものとなる。   However, according to the glass cloth of the present embodiment, the warpage of the printed wiring board composed of the glass cloth is 10 mm or less, so that the dielectric constant is lower than before and the dimensional stability is excellent. It is possible to provide a glass cloth capable of producing a substrate. In addition, the substrate using the glass cloth of the present embodiment has achieved further lower dielectric constant and lower dielectric loss tangent, and can achieve each performance required with higher speed communication. .

即ち、本発明者らは鋭意検討の結果、本実施形態のガラスクロス、すなわち、所定の条件で基板を作成した際に観察される反りの大きさが一定以下であるという条件を満たすガラスクロスを選択して用いた場合、経糸方向/緯糸方向の寸法変化率が抑制された基板を実現し得ることを見出したものである。前記一定の条件を満たすガラスクロスが寸法変化率の抑制された基板を実現するメカニズムについてその詳細は詳らかでないが、基板作成の際に、通糸工程や含浸工程、プレス工程、冷却/硬化工程等においてガラスクロスに加えられる様々な外力がガラスクロスの経糸方向/緯糸方向の物理性能差を拡大させる原因として考えられる一方、一定の条件下において膜厚方向に現れる反り量の小さいガラスクロスにおいてはガラスクロス内での物理性能差が打消し合う傾向となり、結果として、経糸方向/緯糸方向の物理性能差の拡大についても抑制され、基板状態となった際の寸法変化率が抑制されるのではないかと推察される。   That is, as a result of intensive studies, the inventors have determined that the glass cloth of the present embodiment, that is, a glass cloth that satisfies the condition that the magnitude of warpage observed when a substrate is created under a predetermined condition is not more than a certain value. It has been found that when selected and used, it is possible to realize a substrate in which the dimensional change rate in the warp direction / weft direction is suppressed. The details of the mechanism by which the glass cloth that satisfies the certain conditions realizes a substrate with a reduced dimensional change rate are not detailed, but when creating the substrate, a threading process, an impregnation process, a pressing process, a cooling / curing process, etc. While various external forces applied to the glass cloth in the glass cloth are considered to be a cause of expanding the physical performance difference between the warp direction and the weft direction of the glass cloth, in the glass cloth with a small amount of warpage appearing in the film thickness direction under certain conditions, the glass cloth Differences in physical performance within the cloth tend to cancel each other. As a result, expansion of the difference in physical performance between the warp direction and the weft direction is also suppressed, and the dimensional change rate when the substrate state is not suppressed. It is guessed.

〔ガラスフィラメント組成〕
本実施形態においては、経糸及び緯糸を構成するガラス糸の組成について特に限定されるものでは無いが、経糸及び緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメント(以下、「ガラスフィラメントA」ともいう。)を含むガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメント(以下、「ガラスフィラメントB」ともいう。)を含むガラス糸であることが好ましい。当該態様においては、経糸及び緯糸の一方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、ガラスフィラメントBからなるガラス糸である態様の他、経糸及び緯糸の一方が、ガラスフィラメントAとガラスフィラメントBとからなるガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸又はガラスフィラメントBからなるガラス糸である態様、並びに、経糸及び緯糸の両方が、ガラスフィラメントAとガラスフィラメントBとからなるガラス糸である態様も含まれる。
[Glass filament composition]
In the present embodiment, the composition of the glass yarn constituting the warp and the weft is not particularly limited, but one of the warp and the weft is a glass filament (hereinafter, referred to as SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass). The glass yarn including “glass filament A”), and the other of the warp and the weft has a SiO 2 composition of 45 to 60% by mass and a B 2 O 3 composition of 15 to 30% by mass. A glass yarn including a glass filament (hereinafter also referred to as “glass filament B”) is preferable. In this embodiment, one of the warp and the weft is a glass yarn made of glass filament A, and the other of the warp and the weft is a glass yarn made of glass filament B, one of the warp and weft is glass. An embodiment in which the other side of the warp and weft is a glass yarn made of glass filament A or a glass yarn made of glass filament B, and both the warp and weft are glass. The aspect which is a glass thread | yarn which consists of the filament A and the glass filament B is also contained.

〔ガラスフィラメントA〕
ガラスフィラメントAのSiO2組成量は、98〜100質量%であり、好ましくは98〜99.95質量%であり、より好ましくは98〜99質量%である。SiO2組成量が98質量%以上であることにより、誘電率や誘電正接がより減少する傾向にある。また、SiO2組成量が98質量%以上であることにより、ガラス溶融紡糸の際の空気の混入が抑制され、中空糸の発生を抑制することができる。中空糸が減少することにより、基板の絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、SiO2組成量が99.95質量%以下であることにより、ガラス糸の耐屈曲性及び耐脆性がより向上する傾向にある。これにより、基板のドリル加工性がより向上し、また、ガラスクロスの処理加工後の開繊時及び水洗時等においてガラス糸切れが発生し難くなり、ガラスクロスの毛羽量が低下する傾向にある。このようなガラスクロスを用いることにより、誘電率がより低下する上、中空糸低減に由来する絶縁信頼性の向上や、基板のドリル加工性の向上に由来する絶縁信頼性の向上、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性の向上(メッキ染み込み、突起不良、層間絶縁不良等の防止)を達成することができる。SiO2組成量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。
[Glass filament A]
SiO 2 composition of the glass filaments A is 98 to 100 wt%, preferably from 98 to 99.95 mass%, more preferably 98-99 wt%. When the SiO 2 composition amount is 98% by mass or more, the dielectric constant and the dielectric loss tangent tend to be further reduced. In addition, when the SiO 2 composition amount is 98% by mass or more, mixing of air during glass melt spinning is suppressed, and the generation of hollow fibers can be suppressed. By reducing the hollow fiber, the insulation reliability of the substrate tends to be further improved. Further, when the SiO 2 composition amount is 99.95% by mass or less, the bending resistance and brittleness of the glass yarn tend to be further improved. As a result, the drillability of the substrate is further improved, and glass yarn breakage is less likely to occur at the time of fiber opening and water washing after the processing of the glass cloth, and the fluff amount of the glass cloth tends to decrease. . By using such a glass cloth, the dielectric constant is further lowered, and the insulation reliability derived from the hollow fiber reduction, the insulation reliability improved from the drilling workability of the substrate, and the fuzz reduction are reduced. The derived insulation reliability can be improved (prevention of plating soaking, protrusion failure, interlayer insulation failure, etc.). The SiO 2 composition amount can be adjusted according to the amount of raw material used for glass filament preparation.

また、ガラスフィラメントAは、SiO2の他、その他の組成を有していてもよい。その他の組成としては、特に限定されないが、例えば、Al23、CaO、MgO、B23、TiO2、Na2O、K2O、Sr23、Fe23等が挙げられる。 Further, the glass filament A may have other composition besides SiO 2 . Other compositions are not particularly limited, and examples include Al 2 O 3 , CaO, MgO, B 2 O 3 , TiO 2 , Na 2 O, K 2 O, Sr 2 O 3 , Fe 2 O 3 and the like. It is done.

〔ガラスフィラメントB〕
ガラスフィラメントBのSiO2組成量は、45〜60質量%であり、好ましくは50〜60質量%であり、より好ましくは51〜56質量%である。また、ガラスフィラメントBのB23組成量は、15〜30質量%であり、好ましくは20〜30質量%であり、より好ましくは21〜25質量%である。SiO2組成量が60%以下、かつB23組成量が15質量%以上であることにより、ガラス溶融粘度が下がり、ガラス糸を引き易くなるため、中空糸の発生を抑制することができ、また、誘電率が低下する。また、SiO2組成量が45%以上、かつB23組成量が30質量%以下であることにより、表面処理を施した場合において、耐吸湿性がより向上する。一方、B23組成量が15質量%未満であると、中空糸数が上昇し、それに伴って絶縁信頼性が低下する。また、B23組成量がさらにEガラス組成量まで減少すると、中空糸数は減少する傾向にあるが、誘電率は増加する。また、B23組成量が30質量%超過であると、吸湿量が増大するため、絶縁信頼性が低下する。B23組成量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。
[Glass filament B]
SiO 2 composition of the glass filaments B is 45 to 60 wt%, preferably from 50 to 60 wt%, more preferably from 51 to 56 wt%. Further, B 2 O 3 composition of the glass filaments B is 15 to 30 wt%, preferably from 20 to 30 wt%, more preferably from 21 to 25 wt%. Since the SiO 2 composition amount is 60% or less and the B 2 O 3 composition amount is 15% by mass or more, the glass melt viscosity is lowered and the glass yarn is easily pulled, so that the occurrence of hollow fibers can be suppressed. In addition, the dielectric constant decreases. Further, when the SiO 2 composition amount is 45% or more and the B 2 O 3 composition amount is 30 mass% or less, the moisture absorption resistance is further improved when the surface treatment is performed. On the other hand, when the B 2 O 3 composition amount is less than 15% by mass, the number of hollow fibers increases, and the insulation reliability decreases accordingly. Further, when the B 2 O 3 composition amount further decreases to the E glass composition amount, the number of hollow fibers tends to decrease, but the dielectric constant increases. On the other hand, if the B 2 O 3 composition amount is more than 30% by mass, the moisture absorption amount increases, so that the insulation reliability decreases. The B 2 O 3 composition amount can be adjusted according to the amount of raw material used for glass filament preparation.

また、ガラスフィラメントBは、SiO2及びB23の他、その他の組成を有していてもよい。その他の組成としては、特に限定されないが、例えば、Al23、CaO、MgO、B23、TiO2、Na2O、K2O、Sr23、Fe23等が挙げられる。 Further, the glass filament B may have other composition besides SiO 2 and B 2 O 3 . Other compositions are not particularly limited, and examples include Al 2 O 3 , CaO, MgO, B 2 O 3 , TiO 2 , Na 2 O, K 2 O, Sr 2 O 3 , Fe 2 O 3 and the like. It is done.

ガラスフィラメントB中、Al23組成量は、好ましくは11〜16質量%であり、より好ましくは12〜16質量%である。Al23組成量が上記範囲内であることにより、糸の生産性がより向上する傾向にある。 In the glass filament B, the Al 2 O 3 composition amount is preferably 11 to 16% by mass, and more preferably 12 to 16% by mass. When the Al 2 O 3 composition amount is within the above range, the productivity of the yarn tends to be further improved.

ガラスフィラメントB中、CaO組成量は、好ましくは4〜8質量%であり、より好ましくは6〜8質量%である。CaO組成量が上記範囲内であることにより、糸の生産性がより向上する傾向にある。   In the glass filament B, the CaO composition amount is preferably 4 to 8% by mass, and more preferably 6 to 8% by mass. When the CaO composition amount is within the above range, the yarn productivity tends to be further improved.

〔ガラスフィラメントの平均フィラメント径〕
経糸及び緯糸を構成するガラスフィラメントの平均フィラメント径は、各々独立して、3〜10μmであり、好ましくは6〜9μmである。ガラスフィラメントの平均フィラメント径が上記範囲内であることにより、得られる基板を、メカニカルドリルにより加工する際、加工性がより向上する傾向にある。特に、ガラスフィラメントの平均フィラメント径を6μm以上とすることにより、各フィラメントが切れにくくなり、毛羽立ち品質を改善することができる。また、ガラスフィラメントの平均フィラメント径を9μm以下とすることにより、メカニカルドリルにより加工する際、ドリルチップの折損性を改善することができる。なお、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA又はBからなるガラス糸である場合には、上記平均フィラメント径はガラス糸を構成するガラスフィラメントA又はBの平均フィラメント径であり、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA及びBからなるガラス糸である場合には、上記平均フィラメント径はガラス糸を構成するガラスフィラメントA及びBの平均フィラメント径である。
[Average filament diameter of glass filament]
The average filament diameter of the glass filaments constituting the warp and the weft is 3 to 10 μm, preferably 6 to 9 μm. When the average filament diameter of the glass filament is within the above range, workability tends to be further improved when the obtained substrate is processed by a mechanical drill. In particular, when the average filament diameter of the glass filament is 6 μm or more, each filament is difficult to cut and the fluffing quality can be improved. Moreover, when the average filament diameter of the glass filament is 9 μm or less, the breakability of the drill tip can be improved when machining with a mechanical drill. When the warp or weft is a glass yarn made of glass filament A or B, the average filament diameter is the average filament diameter of glass filament A or B constituting the glass yarn, and the warp or weft is glass In the case of a glass yarn comprising filaments A and B, the average filament diameter is the average filament diameter of glass filaments A and B constituting the glass yarn.

特に、ガラスフィラメントAの平均フィラメント径は、好ましくは4〜10μmであり、より好ましくは6〜10μmであり、さらに好ましくは6〜9μmである。ガラスフィラメントAの平均フィラメント径が4μm以上であることにより、ガラスフィラメントAの糸切れがより抑制され、ガラスクロスの毛羽量が低下し、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、ガラスフィラメントAの平均フィラメント径が10μm以下であることにより、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる後述の効果がより大きく発現される傾向にある。   Especially the average filament diameter of the glass filament A becomes like this. Preferably it is 4-10 micrometers, More preferably, it is 6-10 micrometers, More preferably, it is 6-9 micrometers. When the average filament diameter of the glass filament A is 4 μm or more, the yarn breakage of the glass filament A is further suppressed, the amount of fluff of the glass cloth is reduced, and the insulation reliability derived from the reduction of fluff tends to be further improved. . Further, since the average filament diameter of the glass filament A is 10 μm or less, the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases, so that the ignition loss value is 0.2 mass% or more, which will be described later. The effect tends to be expressed more greatly.

また、ガラスフィラメントBの平均フィラメント径は、好ましくは3〜9μmであり、より好ましくは4〜8μmであり、さらに好ましくは5〜7μmである。ガラスフィラメントBの平均フィラメント径が3μm以上であることにより、得られる基板の加工性がより向上する傾向にある。ガラスフィラメントBの平均フィラメント径が9μm以下であることにより、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる後述の効果がより大きく発現される傾向にある。   Moreover, the average filament diameter of the glass filament B becomes like this. Preferably it is 3-9 micrometers, More preferably, it is 4-8 micrometers, More preferably, it is 5-7 micrometers. When the average filament diameter of the glass filament B is 3 μm or more, the workability of the obtained substrate tends to be further improved. When the average filament diameter of the glass filament B is 9 μm or less, the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases, so that the effect described later by setting the ignition loss value to 0.2 mass% or more is obtained. It tends to be expressed more greatly.

〔ガラスフィラメントのフィラメント数〕
経糸及び緯糸を構成するガラスフィラメントのフィラメント数は、各々独立して、20〜300本であり、好ましくは20〜200本である。ガラスフィラメントのフィラメント数が上記範囲内であることにより、得られる基板を、メカニカルドリルにより加工する際、加工性がより向上する傾向にある。なお、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA又はBからなるガラス糸である場合には、上記フィラメント数はガラス糸を構成するガラスフィラメントA又はBの本数であり、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA及びBからなるガラス糸である場合には、上記フィラメント数はガラス糸を構成するガラスフィラメントA及びBの合計本数である。
[Number of filaments of glass filament]
The number of glass filaments constituting the warp and the weft is 20 to 300, preferably 20 to 200, independently. When the number of filaments of the glass filament is within the above range, workability tends to be further improved when the resulting substrate is processed with a mechanical drill. When the warp or weft is a glass yarn made of glass filament A or B, the number of filaments is the number of glass filaments A or B constituting the glass yarn, and the warp or weft is glass filament A and In the case of a glass yarn made of B, the number of filaments is the total number of glass filaments A and B constituting the glass yarn.

特に、経糸又は緯糸がガラスフィラメントAからなるガラス糸である場合には、ガラスフィラメントAのフィラメント数は、好ましくは20〜250本であり、より好ましくは50〜200本であり、さらに好ましくは75〜150本である。ガラスフィラメントAのフィラメント数が20本以上であることにより、ガラスフィラメントAの糸切れがより抑制され、ガラスクロスの毛羽量が低下し、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、ガラスフィラメントAのフィラメント数が250本以下であることにより、フィラメント径との兼ね合いにより、毛羽を抑制しつつより細いガラス糸を実現できる傾向にある。   In particular, when the warp or weft is a glass yarn comprising glass filament A, the number of filaments of glass filament A is preferably 20 to 250, more preferably 50 to 200, and even more preferably 75. ~ 150. When the number of filaments of the glass filament A is 20 or more, yarn breakage of the glass filament A is further suppressed, the amount of fluff of the glass cloth is reduced, and the insulation reliability derived from the reduction of fuzz tends to be further improved. . Further, when the number of filaments of the glass filament A is 250 or less, there is a tendency that a thinner glass yarn can be realized while suppressing fuzz due to the balance with the filament diameter.

また、経糸又は緯糸がガラスフィラメントBからなるガラス糸である場合には、ガラスフィラメントBのフィラメント数は、好ましくは50〜300本であり、より好ましくは100〜275本であり、さらに好ましくは150〜250本である。ガラスフィラメントBのフィラメント数が50本以上であることにより、得られる基板の加工性がより向上する傾向にある。ガラスフィラメントBのフィラメント数が300本以下であることにより、フィラメント径との兼ね合いにより、より細いガラス糸を実現できる傾向にある。   When the warp or weft is a glass yarn made of glass filament B, the number of filaments of glass filament B is preferably 50 to 300, more preferably 100 to 275, and even more preferably 150. ~ 250. When the number of filaments of the glass filament B is 50 or more, the workability of the obtained substrate tends to be further improved. When the number of filaments of the glass filament B is 300 or less, a thinner glass yarn tends to be realized due to the balance with the filament diameter.

〔打ち込み密度〕
ガラスクロスを構成する経糸及び緯糸の打ち込み密度は、各々独立して、20〜140本/inchであり、好ましくは30〜130本/inchであり、より好ましくは40〜120本/inchである。
[Pumping density]
The driving density of the warp and weft constituting the glass cloth is independently 20 to 140 yarns / inch, preferably 30 to 130 yarns / inch, and more preferably 40 to 120 yarns / inch.

〔引張弾性率〕
ガラスフィラメントAからなるガラス糸の引張弾性率は、好ましくは70GPa以上であり、より好ましくは72GPa以上であり、さらに好ましくは75GPa以上である。また、ガラスフィラメントAからなるガラス糸の引張弾性率は、好ましくは100GPa以下であり、より好ましくは90GPa以下であり、さらに好ましくは80GPa以下である。ガラスフィラメントAからなるガラス糸の引張弾性率が70GPa以上であることにより、ガラスクロスのヨコ又はタテ方向の波打ち性を改善することができる傾向にある。
[Tensile modulus]
The tensile elastic modulus of the glass yarn composed of the glass filament A is preferably 70 GPa or more, more preferably 72 GPa or more, and further preferably 75 GPa or more. Further, the tensile elastic modulus of the glass yarn composed of the glass filament A is preferably 100 GPa or less, more preferably 90 GPa or less, and further preferably 80 GPa or less. When the tensile elastic modulus of the glass yarn made of the glass filament A is 70 GPa or more, the waviness in the horizontal or vertical direction of the glass cloth tends to be improved.

ガラスフィラメントBからなるガラス糸の引張弾性率は、好ましくは50GPa以上であり、より好ましくは55GPa以上であり、さらに好ましくは60GPa以上である。また、ガラスフィラメントBからなるガラス糸の引張弾性率は、好ましくは80GPa以下であり、より好ましくは75GPa以下であり、さらに好ましくは70GPa以下である。ガラスフィラメントBからなるガラス糸の引張弾性率が上記範囲内であることにより、ガラスフィラメントの切れ(毛羽)が生じ難くなる傾向にある。この毛羽は基板時に突起となり、銅箔等の導体部と接触するため、基板のZ方向の絶縁信頼性を大きく劣化させる傾向にある。そのため、引張弾性率が上記範囲内であることにより、得られる基板のZ方向の絶縁信頼性がより向上する傾向にある。   The tensile elastic modulus of the glass yarn composed of the glass filament B is preferably 50 GPa or more, more preferably 55 GPa or more, and further preferably 60 GPa or more. Moreover, the tensile elastic modulus of the glass yarn consisting of the glass filament B is preferably 80 GPa or less, more preferably 75 GPa or less, and further preferably 70 GPa or less. When the tensile elastic modulus of the glass yarn made of the glass filament B is within the above range, the glass filament is liable to be broken (fluff). Since the fluff becomes a protrusion at the time of the substrate and comes into contact with a conductor portion such as a copper foil, the insulation reliability in the Z direction of the substrate tends to be greatly deteriorated. Therefore, when the tensile elastic modulus is within the above range, the insulation reliability in the Z direction of the obtained substrate tends to be further improved.

ガラスフィラメントBからなるガラス糸の引張弾性率に対する、ガラスフィラメントAからなるガラス糸の引張弾性率の比は、好ましくは1.3以下であり、より好ましくは1.2以下である。ガラスフィラメントBからなるガラス糸の引張弾性率に対する、ガラスフィラメントAからなるガラス糸の引張弾性率の比が1.3以下であることにより、タテヨコの異方性差が小さくなり、基板の反りがより抑制される傾向にある。   The ratio of the tensile elastic modulus of the glass yarn made of glass filament A to the tensile elastic modulus of the glass yarn made of glass filament B is preferably 1.3 or less, more preferably 1.2 or less. When the ratio of the tensile elastic modulus of the glass yarn consisting of the glass filament A to the tensile elastic modulus of the glass yarn consisting of the glass filament B is 1.3 or less, the anisotropy difference between the vertical and horizontal is reduced, and the warp of the substrate is further increased. It tends to be suppressed.

なお、引張弾性率は、実施例に記載の方法により測定することができる。   The tensile elastic modulus can be measured by the method described in the examples.

〔厚さ〕
ガラスクロスの厚さは、好ましくは5μm〜100μmであり、より好ましくは20μm〜100μmであり、さらに好ましくは30〜90μmである。
〔thickness〕
The thickness of the glass cloth is preferably 5 μm to 100 μm, more preferably 20 μm to 100 μm, and even more preferably 30 to 90 μm.

〔布重量(目付け)〕
ガラスクロスの布重量(目付け)は、好ましくは6〜100g/m2であり、より好ましくは7〜90g/m2である。
[Cloth weight (weight)]
The cloth weight (weight per unit area) of the glass cloth is preferably 6 to 100 g / m 2 , more preferably 7 to 90 g / m 2 .

〔織り構造〕
ガラスクロスの織り構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り等の織り構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造がより好ましい。
[Weaving structure]
The woven structure of the glass cloth is not particularly limited, and examples thereof include woven structures such as plain weave, Nanako weave, satin weave, and twill weave. Among these, a plain weave structure is more preferable.

ガラスクロスの緯糸と経糸の斜行は、一方のガラス糸を垂直としたときに1mあたり、好ましくは0〜20mmであり、より好ましくは0〜15mmであり、さらに好ましくは0〜10mmである。本実施形態のガラスクロスにおいては、経糸方向と緯糸方向の物理的性能が異なるため、基板の反りが生じ易かったり、寸法変化率が大きくなったりする。そこで、本実施形態では、ガラスクロスの緯糸と経糸の斜行が、一方のガラス糸を垂直としたときに1mあたり20mm以下とになるよう製造することにより、基板の反り量や寸法変化率を改善する。斜行を20mm以下にするためには、製織時の飛走到達標準偏差を5以下とし、織機や加工機の張力を100N/m以上とし、製造工程の全ロールと全芯管の平行度を1mあたり0.1mm以下とすることが有効である。なお、本実施形態において「斜行」とは、JIS R 3410における「緯糸と経糸が直角になっていない織物の状態」を言うものとする。   The skew of the weft and the warp of the glass cloth is preferably 0 to 20 mm, more preferably 0 to 15 mm, and further preferably 0 to 10 mm per meter when one glass yarn is vertical. In the glass cloth of this embodiment, since the physical performances in the warp direction and the weft direction are different, the substrate is likely to warp and the dimensional change rate is increased. Therefore, in this embodiment, the warp amount and the dimensional change rate of the substrate are reduced by manufacturing so that the weft and warp of the glass cloth is 20 mm or less per meter when one glass yarn is vertical. Improve. In order to reduce the skew to 20 mm or less, the standard deviation of flying arrival during weaving is set to 5 or less, the tension of the loom or processing machine is set to 100 N / m or more, and the parallelism of all rolls and all core tubes in the manufacturing process is set. It is effective to set it to 0.1 mm or less per meter. In the present embodiment, “slanting” refers to “a state of a woven fabric in which the weft and the warp are not perpendicular to each other” in JIS R 3410.

なお、上記斜行が一定以下であるのガラスクロスが寸法変化率の抑制された基板を実現するメカニズムについて、その詳細は詳らかでないが、基板作製の際に、通糸工程や含浸工程、プレス工程、冷却/硬化工程等においてガラスクロスに加えられる様々な外力がガラスクロスの経糸方向/緯糸方向の物理性能差を拡大させる原因として考えられる一方、目曲り量の小さいガラスクロスにおいては外力を受けた際の物理性能差の拡大が抑制され、結果として基板状態となった際の寸法変化率が抑制されるのではないかと推察される。   Note that the details of the mechanism for realizing a substrate with a dimensional change rate suppressed by the glass cloth having a skew equal to or less than a certain level are not detailed, but in the substrate production, a threading process, an impregnation process, a pressing process While various external forces applied to the glass cloth in the cooling / curing process etc. are considered to be the cause of expanding the physical performance difference between the warp direction and the weft direction of the glass cloth, the glass cloth with a small amount of bending was subjected to external force. It is presumed that the expansion of the physical performance difference at the time is suppressed, and as a result, the dimensional change rate when the substrate state is reached is suppressed.

〔表面処理〕
ガラスクロスのガラス糸(ガラスフィラメントを含む)は、シランカップリング剤、好ましくは不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤(以下、単に「シランカップリング剤」ともいう。)により表面処理されたものであることが好ましい。不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることにより、マトリックス樹脂との反応性がより向上し、また、マトリックス樹脂と反応した後に親水性官能基が生じ難く絶縁信頼性がより向上する。
〔surface treatment〕
Glass yarn (including glass filaments) of glass cloth is surface-treated with a silane coupling agent, preferably a silane coupling agent having an unsaturated double bond group (hereinafter also simply referred to as “silane coupling agent”). It is preferable that By using a silane coupling agent having an unsaturated double bond group, the reactivity with the matrix resin is further improved, and a hydrophilic functional group is hardly generated after reacting with the matrix resin, and the insulation reliability is further improved. .

シランカップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、下記の一般式(1)で示される化合物が挙げられる。このようなシランカップリング剤を用いることにより、耐吸湿性がより向上し、結果として絶縁信頼性がより向上する傾向にある。特に、不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることにより、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスクロスのドリル加工後のメッキ液染込み性、絶縁信頼性、及び毛羽立ち品質を改善することができる。
X(R)3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、アミノ基及び不飽和二重結合基の少なくともいずれかを1つ以上有する有機官能基であり、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは1以上3以下の整数であり、Rは、各々独立して、メチル基、エチル基、及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。)
Although it does not specifically limit as a silane coupling agent, For example, the compound shown by following General formula (1) is mentioned. By using such a silane coupling agent, moisture absorption resistance is further improved, and as a result, insulation reliability tends to be further improved. In particular, by using a silane coupling agent having an unsaturated double bond group, it is possible to infiltrate the plating solution after drilling a glass cloth having a SiO 2 composition of 98 to 100% by mass, insulation reliability, and fluffing. Quality can be improved.
X (R) 3-n SiY n (1)
(In the formula, X is an organic functional group having at least one of an amino group and an unsaturated double bond group, Y is independently an alkoxy group, and n is 1 or more and 3 or less. And each R is independently a group selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group.)

Xは、アミノ基及び不飽和二重結合基の少なくともいずれかを1つ以上有する有機官能基であり、3つ以上有する有機官能基であることがより好ましく、アミノ基及び不飽和二重結合基の少なくともいずれかを4つ以上有する有機官能基であることがさらに好ましい。Xがこのような官能基であることにより、耐吸湿性がより向上する傾向にある。Xで表される不飽和二重結合基を1つ以上有する有機官能基としては、特に限定されないが、例えば、ビニル基、アリル基、ビニリデン基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基が挙げられる。   X is an organic functional group having at least one of an amino group and an unsaturated double bond group, more preferably an organic functional group having three or more, and an amino group and an unsaturated double bond group More preferably, it is an organic functional group having at least four of the above. When X is such a functional group, moisture absorption resistance tends to be further improved. The organic functional group having one or more unsaturated double bond groups represented by X is not particularly limited, and examples thereof include a vinyl group, an allyl group, a vinylidene group, an acryloxy group, and a methacryloxy group.

上記のアルコキシ基としては、何れの形態も使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化のためには、炭素数5以下のアルコキシ基が好ましい。   Any form can be used as the alkoxy group, but an alkoxy group having 5 or less carbon atoms is preferable for stabilizing the glass cloth.

具体的に使用できるシランカップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、N−β−(N−ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N−β−(N−ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)−N−γ−(N−ビニルベンジル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロキシオクチルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の公知の物質が挙げられる。上記シランカップリング剤はガラスクロスのガラス糸(ガラスフィラメント)や、基板のマトリックス樹脂、特にラジカル重合系樹脂との反応性に優れる傾向にある。そのため、樹脂とガラスクロスが界面ではがれやすくなることに由来する絶縁信頼性の低下を抑制でき、また、メッキ液がガラスクロスに染み込むことに由来する絶縁信頼性の低下を抑制できる傾向にある。   Specific examples of silane coupling agents that can be used include, but are not limited to, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N -Vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-di (vinylbenzyl) aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β -(N-di (vinylbenzyl) aminoethyl) -N-γ- (N-vinylbenzyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, aminopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, methacryloxypropyl Trimethoxysilane, methacryloxyoctyltrimethoxysilane, acryloxypropyl Known substances, such as trimethoxysilane and the like. The silane coupling agent tends to be excellent in reactivity with a glass cloth glass fiber (glass filament) and a matrix resin of a substrate, particularly a radical polymerization resin. Therefore, it is possible to suppress a decrease in insulation reliability resulting from the resin and the glass cloth being easily peeled at the interface, and to suppress a decrease in insulation reliability resulting from the plating solution soaking into the glass cloth.

シランカップリング剤の分子量は、好ましくは100〜600であり、より好ましくは150〜500であり、さらに好ましくは200〜450である。このなかでも、分子量が異なる2種類以上の不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる2種類以上のシランカップリング剤を用いてガラス糸表面を処理することにより、ガラス表面での処理剤密度が高くなり、マトリックス樹脂との反応性がさらに向上する傾向にある。なお、ガラスクロスの表面処理剤による処理量は、以下の強熱減量値で見積もることができる。   The molecular weight of the silane coupling agent is preferably 100 to 600, more preferably 150 to 500, and still more preferably 200 to 450. Among these, it is preferable to use a silane coupling agent having two or more types of unsaturated double bond groups having different molecular weights. By treating the glass yarn surface with two or more types of silane coupling agents having different molecular weights, the treatment agent density on the glass surface is increased, and the reactivity with the matrix resin tends to be further improved. In addition, the processing amount by the surface treating agent of glass cloth can be estimated by the following ignition loss value.

〔強熱減量値〕
ガラスクロスの強熱減量値は、0.2質量%以上であり、好ましくは0.25質量%以上であり、より好ましくは0.3質量%以上である。また、ガラスクロスの強熱減量値の上限は、1.0質量%以下であり、好ましくは0.9質量%以下であり、より好ましくは0.8質量%以下である。ガラスクロスの強熱減量値が0.2質量%以上であることにより、ドリル加工後のメッキ液染込み性、絶縁信頼性、及び毛羽立ち品質を改善することができる。さらに、耐吸湿性がより向上し、吸湿に由来する絶縁信頼性の低下をより抑制することができる。また、ガラスクロスの強熱減量値が1.0質量%以下であることにより、ガラスクロスへの樹脂浸透性がより向上し、その結果として絶縁信頼性がより向上する。
[Ignition loss value]
The ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more, preferably 0.25% by mass or more, and more preferably 0.3% by mass or more. Moreover, the upper limit of the ignition loss value of the glass cloth is 1.0% by mass or less, preferably 0.9% by mass or less, more preferably 0.8% by mass or less. When the loss weight loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more, it is possible to improve the plating solution penetration, insulation reliability, and fluffing quality after drilling. Further, the moisture absorption resistance is further improved, and the decrease in insulation reliability due to moisture absorption can be further suppressed. Moreover, when the ignition loss value of the glass cloth is 1.0% by mass or less, the resin permeability to the glass cloth is further improved, and as a result, the insulation reliability is further improved.

ここで言う「強熱減量値」とは、JISR3420に記載されている方法に従って測定することができる。すなわち、まずガラスクロスを110℃の乾燥機の中に入れ、60分間乾燥する。乾燥後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。次に、ガラスクロスをマッフル炉で625℃、20分間加熱する。マッフル炉で加熱後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。以上の測定方法で求める強熱減量値により、ガラスクロスのシランカップリング剤処理量を定義する。   The “ignition loss value” mentioned here can be measured according to the method described in JIS R3420. That is, first, the glass cloth is placed in a dryer at 110 ° C. and dried for 60 minutes. After drying, the glass cloth is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After standing to cool, the glass cloth is weighed in units of 0.1 mg or less. Next, the glass cloth is heated in a muffle furnace at 625 ° C. for 20 minutes. After heating in the muffle furnace, the glass cloth is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After standing to cool, the glass cloth is weighed in units of 0.1 mg or less. The amount of silane coupling agent treated with glass cloth is defined by the ignition loss value obtained by the above measurement method.

〔ガラスクロスの誘電率〕
ガラスクロスの誘電率は、4,4以下、好ましくは3.8超過4.4以下であり、更に好ましくは3.8超過4.2以下である。ガラスクロスの誘電率は実施例に記載の方法により測定することができる。
[Dielectric constant of glass cloth]
The dielectric constant of the glass cloth is 4, 4 or less, preferably more than 3.8 and less than 4.4, and more preferably more than 3.8 and less than 4.2. The dielectric constant of the glass cloth can be measured by the method described in the examples.

〔ガラスクロスの製造方法〕
本実施形態のガラスクロスの製造方法は、特に限定されないが、例えば、製織時の飛走到達標準偏差、織機及び加工機の張力、製造工程の全ロールと全芯管の平行度等の条件を調整して、得られるプリント配線板の反りが10mm以下となるように調整する工程を有する方法が挙げられる。また、シランカップリング剤によりガラス糸表面を表面処理する場合には、濃度0.1〜3.0質量%の処理液によってほぼ完全にガラスフィラメントの表面をシランカップリング剤で覆う被覆工程と、加熱乾燥によりシランカップリング剤をガラスフィラメントの表面に固着させる固着工程と、ガラスフィラメントの表面に固着したシランカップリング剤の少なくとも一部を高圧スプレー水等により洗浄することにより、強熱減量値が0.2〜1.0質量%になるように、シランカップリング剤の付着量を調整する調製工程と、を有する方法が挙げられる。
[Glass cloth manufacturing method]
The manufacturing method of the glass cloth of the present embodiment is not particularly limited, but for example, conditions such as flying arrival standard deviation at the time of weaving, tension of the loom and processing machine, parallelism of all rolls and all core tubes in the manufacturing process, etc. The method of adjusting and adjusting so that the curvature of the printed wiring board obtained may be 10 mm or less is mentioned. In addition, when the surface of the glass yarn is surface-treated with a silane coupling agent, a coating step of almost completely covering the surface of the glass filament with the silane coupling agent with a treatment liquid having a concentration of 0.1 to 3.0% by mass; By fixing the silane coupling agent to the surface of the glass filament by heat drying and washing at least part of the silane coupling agent fixed to the surface of the glass filament with high-pressure spray water or the like, the ignition loss value is reduced. And a preparation step of adjusting the adhesion amount of the silane coupling agent so as to be 0.2 to 1.0% by mass.

シランカップリング剤を溶解又は分散させる溶媒としては、水、又は有機溶媒の何れも使用できるが、安全性、地球環境保護の観点から、水を主溶媒とすることが好ましい。水を主溶媒とした処理液を得る方法としては、シランカップリング剤を直接水に投入する方法、シランカップリング剤を水溶性有機溶媒に溶解させて有機溶媒溶液とした後に該有機溶媒溶液を水に投入する方法、の何れかの方法が好ましい。シランカップリング剤の処理液中での水分散性、安定性を向上させるために、界面活性剤を併用することも可能である。   As the solvent for dissolving or dispersing the silane coupling agent, either water or an organic solvent can be used, but water is preferably used as the main solvent from the viewpoint of safety and protection of the global environment. As a method for obtaining a treatment liquid containing water as a main solvent, a method in which a silane coupling agent is directly added to water, an organic solvent solution is prepared by dissolving the silane coupling agent in a water-soluble organic solvent, and then the organic solvent solution is used. Any one of the methods of adding to water is preferable. In order to improve the water dispersibility and stability of the silane coupling agent in the treatment liquid, a surfactant may be used in combination.

被覆工程、固着工程、及び調製工程は、製織工程後に、ガラスクロスに対して行うことが好ましい。さらに、必要に応じて、製織工程後に、ガラスクロスのガラス糸を開繊する開繊工程を有してもよい。なお、調製工程を製織工程後に行う場合には、調整工程が開繊工程を兼ねるものであってもよい。なお、開繊前後ではガラスクロスの組成は通常変化しない。   The covering step, the fixing step, and the preparation step are preferably performed on the glass cloth after the weaving step. Furthermore, you may have the fiber opening process which opens the glass yarn of a glass cloth after a weaving process as needed. In addition, when performing a preparation process after a weaving process, an adjustment process may serve as a fiber opening process. In addition, the composition of the glass cloth does not usually change before and after opening.

上記製造方法により、ガラス糸を構成するガラスフィラメント1本1本の表面全体に、ほぼ完全、かつ均一にシランカップリング剤層を形成することができると考えられる。   It is considered that the silane coupling agent layer can be formed almost completely and uniformly on the entire surface of each glass filament constituting the glass yarn by the above production method.

処理液をガラスクロスに塗布する方法としては、(ア)処理液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させる方法(以下、「浸漬法」という。)、(イ)ロールコーター、ダイコーター、またはグラビアコーター等で処理液をガラスクロスに直接塗布する方法、等が可能である。上記(ア)の浸漬法にて塗布する場合は、ガラスクロスの処理液への浸漬時間を0.5秒以上、1分以下に選定することが好ましい。   As a method of applying the treatment liquid to the glass cloth, (a) a method of storing the treatment liquid in a bath and immersing and passing the glass cloth (hereinafter referred to as “immersion method”), (b) a roll coater, a die coater, Or the method of apply | coating a process liquid directly to glass cloth with a gravure coater etc. is possible. When applying by the immersion method (a), the immersion time of the glass cloth in the treatment liquid is preferably selected to be 0.5 seconds or more and 1 minute or less.

また、ガラスクロスに処理液を塗布した後、溶媒を加熱乾燥させる方法としては、熱風、電磁波等公知の方法が挙げられる。   In addition, examples of the method for heating and drying the solvent after applying the treatment liquid to the glass cloth include known methods such as hot air and electromagnetic waves.

加熱乾燥温度は、シランカップリング剤とガラスとの反応が十分に行われるように、90℃以上が好ましく、100℃以上であればより好ましい。また、シランカップリング剤が有する有機官能基の劣化を防ぐために、300℃以下が好ましく、200℃以下であればより好ましい。   The heating and drying temperature is preferably 90 ° C. or higher, and more preferably 100 ° C. or higher so that the reaction between the silane coupling agent and glass is sufficiently performed. Moreover, in order to prevent deterioration of the organic functional group which a silane coupling agent has, 300 degrees C or less is preferable, and if it is 200 degrees C or less, it is more preferable.

また、開繊工程の開繊方法としては、特に限定されないが、例えば、ガラスクロスを、スプレー水(高圧水開繊)、バイブロウォッシャー、超音波水、マングル等で開繊加工する方法が挙げられる。開繊加工において、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスクロスの場合、毛羽立ちが発生し易い。これに対して、本実施形態のガラスクロスの強熱減量値は、0.12質量%以上であることにより、毛羽立ちを抑えることができる。また、開繊加工によるガラスクロスの引張強度の低下を抑えるため、ガラス糸を製織する際の接触部材の低摩擦化や、集束剤の最適化と高付着量化、等の対策を施すことが好ましい。開繊加工時に、ガラスクロスにかける張力を下げることにより、通気度をより小さくすることができる傾向にある。 In addition, the opening method in the opening step is not particularly limited, and examples thereof include a method of opening a glass cloth with spray water (high-pressure water opening), vibrowasher, ultrasonic water, mangle and the like. . In the fiber opening process, in the case of a glass cloth having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass, fuzz is likely to occur. On the other hand, the ignition loss value of the glass cloth of the present embodiment is 0.12% by mass or more, whereby fuzz can be suppressed. Further, in order to suppress a decrease in the tensile strength of the glass cloth due to the fiber opening process, it is preferable to take measures such as reducing friction of the contact member when weaving the glass yarn, optimizing the sizing agent and increasing the amount of adhesion. . There is a tendency that the air permeability can be further reduced by lowering the tension applied to the glass cloth during the opening process.

開繊工程後においても、任意の工程を有していてもよい。任意の工程としては、特に限定されないが、例えば、スリット加工工程が挙げられる。   Even after the opening process, an optional process may be included. Although it does not specifically limit as an arbitrary process, For example, a slit process process is mentioned.

ガラスクロスが表面処理された後、マトリックス樹脂が塗布されて、プリプレグが製造される。ガラスクロスが表面処理されて、マトリックス樹脂が塗布されるまでの間の保管期間は2年間以内であることが好ましい。また、保管温度は10〜40℃とすることが好ましい。保管温度が30℃以下であることにより、ガラスクロス表面のシランカップリング剤の不飽和二重結合基の失活を抑制することができ、マトリックス樹脂との反応性を維持できる傾向にある。また、保管期間が2年間以内であることにより、ガラス表面に付着した水によりシランカップリング剤同士が反応し、ガラスフィラメント束の集束性が高まることを抑制できる傾向にある。これにより、マトリックス樹脂の浸透性を向上できる傾向にある。   After the glass cloth is surface-treated, a matrix resin is applied to manufacture a prepreg. The storage period between the surface treatment of the glass cloth and the application of the matrix resin is preferably within 2 years. Moreover, it is preferable that storage temperature shall be 10-40 degreeC. When the storage temperature is 30 ° C. or lower, the deactivation of unsaturated double bond groups of the silane coupling agent on the surface of the glass cloth can be suppressed, and the reactivity with the matrix resin tends to be maintained. Moreover, it exists in the tendency which can suppress that the silane coupling agent reacts with the water adhering to the glass surface, and the convergence property of a glass filament bundle increases because storage period is less than two years. This tends to improve the permeability of the matrix resin.

〔プリプレグ〕
本実施形態のプリプレグは、上記ガラスクロスと、該ガラスクロスに含侵されたマトリックス樹脂と、を有する。これにより、薄くて、誘電率が低く、上記各理由に関連する絶縁信頼性の向上と耐吸湿性の向上による絶縁信頼性の向上が図られたプリプレグを提供することができる。
[Prepreg]
The prepreg of this embodiment has the glass cloth and a matrix resin impregnated in the glass cloth. Accordingly, it is possible to provide a prepreg that is thin, has a low dielectric constant, and has improved insulation reliability and improved moisture absorption resistance related to the above reasons.

マトリックス樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂の何れも使用可能である。熱硬化性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、a)エポキシ基を有する化合物と、エポキシ基と反応するアミノ基、フェノール基、酸無水物基、ヒドラジド基、イソシアネート基、シアネート基、及び水酸基等の少なくとも1つを有する化合物と、を、無触媒で、又は、イミダゾール化合物、3級アミン化合物、尿素化合物、燐化合物等の反応触媒能を持つ触媒を添加して、反応させて硬化させるエポキシ樹脂;b)アリル基、メタクリル基、及びアクリル基の少なくとも1つを有する化合物を、熱分解型触媒、または光分解型触媒を反応開始剤として使用して、硬化させるラジカル重合型硬化樹脂;c)シアネート基を有する化合物と、マレイミド基を有する化合物と、を反応させて硬化させるマレイミドトリアジン樹脂;d)マレイミド化合物と、アミン化合物と、を反応させて硬化させる熱硬化性ポリイミド樹脂;e)ベンゾオキサジン環を有する化合物を加熱重合により架橋硬化させるベンゾオキサジン樹脂等が例示される。   As the matrix resin, either a thermosetting resin or a thermoplastic resin can be used. The thermosetting resin is not particularly limited. For example, a) a compound having an epoxy group and an amino group, a phenol group, an acid anhydride group, a hydrazide group, an isocyanate group, a cyanate group, and a hydroxyl group that react with the epoxy group. An epoxy that is cured by reacting with a compound having at least one of the above, without a catalyst, or by adding a catalyst having a reaction catalytic ability such as an imidazole compound, a tertiary amine compound, a urea compound, or a phosphorus compound. A resin; b) a radical polymerization curable resin in which a compound having at least one of an allyl group, a methacryl group, and an acryl group is cured using a thermal decomposition catalyst or a photodecomposition catalyst as a reaction initiator; c D) a maleimide triazine resin cured by reacting a compound having a cyanate group with a compound having a maleimide group; Imide compounds, thermosetting polyimide resin is cured by reacting an amine compound, a; benzoxazine resin to crosslink cured by thermal polymerization of a compound having e) benzoxazine ring are exemplified.

また、熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリスルホン、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、不溶性ポリイミド、ポリアミドイミド、フッ素樹脂等が例示される。また、熱硬化性樹脂と、熱可塑性樹脂を併用してもよい。   The thermoplastic resin is not particularly limited. For example, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyether sulfone, polyarylate, aromatic polyamide, polyether ether ketone, thermoplastic polyimide, insoluble polyimide, Examples include polyamide imide and fluororesin. Moreover, you may use together a thermosetting resin and a thermoplastic resin.

〔プリント配線板〕
本実施形態のプリント配線板は、上記プリプレグを有する。これにより、誘電率が低く、絶縁信頼性の向上が図られたプリント配線板を提供することができる。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of this embodiment has the prepreg. Thereby, a printed wiring board having a low dielectric constant and improved insulation reliability can be provided.

次に、本発明を実施例、比較例によって本発明をさらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。   Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples and comparative examples. The present invention is not limited in any way by the following examples.

(実施例1)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は5mmあった。
Example 1
Weft made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch), SiO 2 composition 53% by mass, B 2 O 3 Glass warp (thickness 78 μm, fabric weight 70 g / m 2 ) using warp (glass filament average filament diameter 6 μm, number of filaments 200, implantation density 61 / inch) composed of glass filaments with a composition amount of 23% by mass Was woven. The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.32% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 5 mm.

(実施例2)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は10mmあった。
(Example 2)
Weft made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch), SiO 2 composition 53% by mass, B 2 O 3 Glass warp (thickness 78 μm, fabric weight 70 g / m 2 ) using warp (glass filament average filament diameter 6 μm, number of filaments 200, implantation density 61 / inch) composed of glass filaments with a composition amount of 23% by mass Was woven. The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.32% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 10 mm.

(実施例3)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は18mmあった。
(Example 3)
Weft made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch), SiO 2 composition 53% by mass, B 2 O 3 Glass warp (thickness 78 μm, fabric weight 70 g / m 2 ) using warp (glass filament average filament diameter 6 μm, number of filaments 200, implantation density 61 / inch) composed of glass filaments with a composition amount of 23% by mass Was woven. The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.32% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 18 mm.

(実施例4)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量59質量%、B23組成量16質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は10mmあった。
Example 4
Weft made of glass filaments having a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch), SiO 2 composition of 59% by mass, B 2 O 3 Glass warp (thickness 78 μm, fabric weight 70 g / m 2 ) using warps (glass filament average filament diameter 6 μm, number of filaments 200, implantation density 61 / inch) composed of glass filaments with a composition amount of 16% by mass Was woven. The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.32% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 10 mm.

(実施例5)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量69g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.24質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は10mmあった。
(Example 5)
Wefts composed of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch) and glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass A glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 69 g / m 2 ) was woven using warps (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch). The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.24% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 10 mm.

(比較例1)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は22mmあった。
(Comparative Example 1)
Weft made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch), SiO 2 composition 53% by mass, B 2 O 3 Glass warp (thickness 78 μm, fabric weight 70 g / m 2 ) using warp (glass filament average filament diameter 6 μm, number of filaments 200, implantation density 61 / inch) composed of glass filaments with a composition amount of 23% by mass Was woven. The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.32% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 22 mm.

(比較例2)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は30mmあった。
(Comparative Example 2)
Weft made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch), SiO 2 composition 53% by mass, B 2 O 3 Glass warp (thickness 78 μm, fabric weight 70 g / m 2 ) using warp (glass filament average filament diameter 6 μm, number of filaments 200, implantation density 61 / inch) composed of glass filaments with a composition amount of 23% by mass Was woven. The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.32% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 30 mm.

(比較例3)
SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度60本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量72g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は22mmあった。
(Comparative Example 3)
Wefts composed of glass filaments with a SiO 2 composition of 53% by mass and a B 2 O 3 composition of 23% by mass (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, implantation density 60 / inch) and SiO 2 composition Glass warp (thickness 78 μm) using warp (glass filament average filament diameter 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) consisting of 53% by mass and B 2 O 3 composition 23% by mass glass filaments Woven fabric weight 72 g / m 2 ). The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.32% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 22 mm.

(比較例4)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量69g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.24質量%であった。ガラスクロスの緯糸の斜行は21mmあった。
(Comparative Example 4)
Wefts composed of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch) and glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass A glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 69 g / m 2 ) was woven using warps (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, implantation density 54 / inch). The obtained glass cloth was treated with N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) dispersed in water. Immersion and heat drying. Next, high-pressure water opening was carried out by spraying and heat drying to obtain a product. The loss on ignition value of the glass cloth was 0.24% by mass. The skew of the weft of the glass cloth was 21 mm.

<ガラスクロスの強熱減量値の評価方法>
JISR3420に記載されている方法に従って強熱減量値を測定した。具体的には、ガラスクロスを105℃±5℃の乾燥機の中に入れ、少なくとも30分間乾燥した。乾燥後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重さを0.1mg以下の単位で測定した。次に、ガラスクロスをマッフル炉で、約625℃で20分間加熱した。マッフル炉で加熱後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重さを0.1mg以下の単位で測定した。マッフル炉の加熱前後の重量変化を測定して、処理剤付着量として強熱減量値を計算した。
<Evaluation method of ignition loss value of glass cloth>
The ignition loss value was measured according to the method described in JIS R3420. Specifically, the glass cloth was placed in a dryer at 105 ° C. ± 5 ° C. and dried for at least 30 minutes. After drying, the glass cloth was transferred to a desiccator and allowed to cool to room temperature. After standing to cool, the weight of the glass cloth was measured in units of 0.1 mg or less. Next, the glass cloth was heated in a muffle furnace at about 625 ° C. for 20 minutes. After heating in the muffle furnace, the glass cloth was transferred to a desiccator and allowed to cool to room temperature. After standing to cool, the weight of the glass cloth was measured in units of 0.1 mg or less. The change in weight before and after heating of the muffle furnace was measured, and the ignition loss value was calculated as the amount of treatment agent attached.

<斜行の測定方法>
JISL1096に記載されている方法に従って緯糸と経糸の斜行を測定した。
<Measuring method of skew>
The weft and warp skew was measured according to the method described in JISL1096.

<ガラスクロスの厚さの評価方法>
JIS R 3420の7.10に準じて、マイクロメータを用いて、スピンドルを静かに回転させて測定面に平行に軽く接触させた。ラチェットが3回音をたてた後の目盛を読み取った。
<Evaluation method of glass cloth thickness>
According to JIS R 3420 7.10, using a micrometer, the spindle was gently rotated to lightly contact the measurement surface in parallel. The scale after the ratchet made three sounds was read.

<プリプレグの毛羽評価(耐屈曲性評価)>
上述の実施例及び比較例で得たガラスクロスに、ポリフェニレンエーテル樹脂ワニス(変性ポリフェニレンエーテル樹脂30質量部、トリアリルイソシアヌレート10質量部、トルエン60質量部、触媒0.1質量部の混合物)を含浸させ、120℃で2分間乾燥後プリプレグを得た。このプリプレグの樹脂含量を50質量%に調製した。次に任意箇所の100mm×100mmの小片サンプルを切り出し、目視にて突起箇所の数を求めた。
<Evaluation of fluff of prepreg (flexibility evaluation)>
Polyphenylene ether resin varnish (mixture of modified polyphenylene ether resin 30 parts by mass, triallyl isocyanurate 10 parts by mass, toluene 60 parts by mass, catalyst 0.1 part by mass) is added to the glass cloth obtained in the above-mentioned examples and comparative examples. A prepreg was obtained after impregnation and drying at 120 ° C. for 2 minutes. The resin content of this prepreg was adjusted to 50% by mass. Next, a small sample of 100 mm × 100 mm at an arbitrary location was cut out, and the number of protrusions was determined visually.

<基板及びガラスクロスの誘電率の評価方法>
上記のようにしてプリプレグ100質量%あたりの樹脂含量が60質量%となるように基板を作製し、銅箔を除去して誘電率評価のための試料を得た。得られた試料の周波数1GHzにおける誘電率を、インピーダンスアナライザー(Agilent Technologies社製)を用いて測定した。得られた基板誘電率から、ガラスクロスの体積分率、及び樹脂誘電率2.5をもとに、ガラスクロスの誘電率を算出した。
<Evaluation method of dielectric constant of substrate and glass cloth>
A substrate was prepared as described above so that the resin content per 100% by mass of the prepreg was 60% by mass, and the copper foil was removed to obtain a sample for dielectric constant evaluation. The dielectric constant of the obtained sample at a frequency of 1 GHz was measured using an impedance analyzer (manufactured by Agilent Technologies). From the obtained substrate dielectric constant, the dielectric constant of the glass cloth was calculated based on the volume fraction of the glass cloth and the resin dielectric constant of 2.5.

<基板の作製方法>
上述の実施例及び比較例で得たガラスクロスに、エポキシ樹脂ワニス(低臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製、1121N−80M)40質量部、o−クレゾール型ノボラックエポキシ樹脂(DIC社製、N680−75M)10質量部、2−メトキシエタノール50質量部、ジシアンジアミド1質量部、及び2−エチル−4−メチルイミダゾール0.1質量部の混合物)を含浸させ、120℃で2分間乾燥後プリプレグを得た。このプリプレグを重ね、さらに上下に厚さ12μmの銅箔を重ね、200℃、40kg/cm2で60分間加熱加圧して基板を得た。
<Manufacturing method of substrate>
Epoxy resin varnish (low brominated bisphenol A type epoxy resin (DIC, 1121N-80M) 40 parts by mass, o-cresol type novolac epoxy resin (DIC) N680-75M) impregnated with 10 parts by mass, 50 parts by mass of 2-methoxyethanol, 1 part by mass of dicyandiamide, and 0.1 parts by mass of 2-ethyl-4-methylimidazole) and dried at 120 ° C. for 2 minutes. A prepreg was obtained. This prepreg was stacked, a copper foil having a thickness of 12 μm was stacked on the top and bottom, and heated and pressed at 200 ° C. and 40 kg / cm 2 for 60 minutes to obtain a substrate.

<基板の反りの評価方法>
上記のようにしてプリプレグ100質量%あたりの樹脂含量が60質量%となるように基板を作製し、銅箔を除去して反り評価のための試料を得た。得られた試料を50mm×200mmの大きさにカットし、200℃で30分加熱し、平坦な机上に置いて室温まで冷まし、試料の4片の反り高さを計測した。4片の最大値を基板反りとして求めた。
<Evaluation method of substrate warpage>
As described above, a substrate was prepared so that the resin content per 100% by mass of the prepreg was 60% by mass, and the copper foil was removed to obtain a sample for warpage evaluation. The obtained sample was cut into a size of 50 mm × 200 mm, heated at 200 ° C. for 30 minutes, placed on a flat desk, cooled to room temperature, and the warp height of four pieces of the sample was measured. The maximum value of the four pieces was determined as the substrate warpage.

<基板の寸法変化の評価方法>
上記のようにしてプリプレグ100質量%あたりの樹脂含量が60質量%となるように基板を作製し、350mm×350mmにカットし寸法評価のための試料を得た。得られた試料に、0.5mmΦのドリルで、100mm毎の貫通穴を9点加工し、3次元測定機(NIKON製;VM−500N)により位置(A)を測定した。さらに、試料の銅箔を除去し、200℃で30分加熱し、室温まで冷まし、貫通穴9点の位置(B)を測定した。位置(A)と位置(B)の変化率の最大値を基板寸法変化として求めた。
<Evaluation method of dimensional change of substrate>
The substrate was prepared as described above so that the resin content per 100% by mass of the prepreg was 60% by mass, and was cut into 350 mm × 350 mm to obtain a sample for dimensional evaluation. The obtained sample was processed with nine holes of 100 mm with a 0.5 mmφ drill, and the position (A) was measured with a three-dimensional measuring machine (manufactured by NIKON; VM-500N). Further, the copper foil of the sample was removed, heated at 200 ° C. for 30 minutes, cooled to room temperature, and the positions (B) of nine through holes were measured. The maximum value of the rate of change between the position (A) and the position (B) was obtained as the substrate dimension change.

実施例と比較例で示したガラスクロスの評価結果を表1にまとめた。   The evaluation results of the glass cloth shown in Examples and Comparative Examples are summarized in Table 1.

実施例のガラスクロスを用いて得られた基板は、低誘電率で、基板反り、寸法変化に非常に優れていることが分かった。   It was found that the substrate obtained by using the glass cloth of the example had a low dielectric constant and was very excellent in substrate warpage and dimensional change.

本発明のガラスクロスは、電子・電気分野で使用されるプリント配線板に用いられる基材として産業上の利用可能性を有する。   The glass cloth of the present invention has industrial applicability as a base material used for a printed wiring board used in the electronic / electric field.

Claims (12)

複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、
前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、各々独立して、3〜10μmであり、
前記経糸及び前記緯糸のフィラメント数が、各々独立して、20〜300本であり、
前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して、20〜140本/inchであり、
前記ガラスクロスの誘電率が4.4以下であり、
前記ガラスクロスで構成されるプリント配線板の反りが、10mm以下である、
ガラスクロス。
A glass cloth formed by weaving glass yarns composed of a plurality of glass filaments as warps and wefts,
The average filament diameters of the glass filaments constituting the warp and the weft are each independently 3 to 10 μm,
The number of filaments of the warp and the weft are each independently 20 to 300,
The driving density of the warp and the weft is 20 to 140 pieces / inch independently of each other,
The dielectric constant of the glass cloth is 4.4 or less,
The warp of the printed wiring board composed of the glass cloth is 10 mm or less,
Glass cloth.
前記経糸及び前記緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、
前記経糸及び前記緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、
前記ガラスクロスの誘電率が3.8超過4.4以下である、
請求項1に記載のガラスクロス。
One of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament whose SiO 2 composition is 98 to 100% by mass,
The other of the warp and the weft is a glass yarn including a glass filament having a SiO 2 composition amount of 45 to 60% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 15 to 30% by mass,
The dielectric constant of the glass cloth is more than 3.8 and less than 4.4.
The glass cloth according to claim 1.
前記SiO2組成量が98〜100質量%である前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、6〜9μmである、
請求項1又は2に記載のガラスクロス。
The average filament diameter of the glass filament whose SiO 2 composition is 98 to 100% by mass is 6 to 9 μm.
The glass cloth according to claim 1 or 2.
厚さが、30〜90μmである、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラスクロス。
The thickness is 30 to 90 μm.
The glass cloth of any one of Claims 1-3.
前記SiO2組成量が98〜100質量%である前記ガラスフィラメントからなるガラス糸の引張弾性率が、70GPa以上であり、
前記SiO2組成量が45〜60質量%であり、前記B23組成量が15〜30質量%である前記ガラスフィラメントからなるガラス糸の引張弾性率に対する、前記SiO2組成量が98〜100質量%である前記ガラスフィラメントからなるガラス糸の引張弾性率の比が、1.3以下である、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラスクロス。
The tensile elastic modulus of the glass yarn composed of the glass filament with the SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass is 70 GPa or more,
The SiO 2 composition amount is 45 to 60 wt%, relative to the tensile modulus of the glass fiber in which the B 2 O 3 composition amount is made of the glass filaments is 15 to 30 wt%, the SiO 2 composition weight 98 to The ratio of the tensile elastic modulus of the glass yarn comprising the glass filament that is 100% by mass is 1.3 or less,
The glass cloth of any one of Claims 1-4.
前記経糸及び前記緯糸の一方が、前記SiO2組成量が98〜99.95質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸である、
請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラスクロス。
One of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament whose SiO 2 composition is 98 to 99.95% by mass,
The glass cloth of any one of Claims 1-5.
前記経糸及び前記緯糸の他方が、前記SiO2組成量が50〜60質量%であり、前記B23組成量が20〜30質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸である、
請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラスクロス。
The other of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament whose SiO 2 composition is 50 to 60% by mass and whose B 2 O 3 composition is 20 to 30% by mass,
The glass cloth of any one of Claims 1-6.
前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.2質量%以上1.0質量%以下である、
請求項1〜7のいずれか1項に記載のガラスクロス。
The ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less.
The glass cloth according to any one of claims 1 to 7.
前記ガラスクロスの前記緯糸と前記経糸の斜行が、一方のガラス糸を垂直としたときに1mあたり0〜20mmである、
請求項1〜8のいずれか1項に記載のガラスクロス。
The skew of the weft and the warp of the glass cloth is 0 to 20 mm per meter when one glass yarn is vertical.
The glass cloth according to any one of claims 1 to 8.
シランカップリング剤で前記ガラス糸の表面が処理された、
請求項1〜9のいずれか1項に記載のガラスクロス。
The surface of the glass yarn was treated with a silane coupling agent,
The glass cloth of any one of Claims 1-9.
請求項1〜10のいずれか1項に記載のガラスクロスと、
該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を含む、
プリプレグ。
The glass cloth according to any one of claims 1 to 10,
A matrix resin impregnated in the glass cloth,
Prepreg.
請求項11に記載のプリプレグを有する、
プリント配線板。
The prepreg according to claim 11.
Printed wiring board.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020009133A1 (en) 2018-07-04 2020-01-09 三菱マテリアル株式会社 Method for fragmenting or method for producing cracks in semiconductor raw material, and method for producing mass of semiconductor raw material
WO2020130008A1 (en) * 2018-12-18 2020-06-25 日立化成株式会社 Composite material, method of manufacturing same, prepreg, laminated board, printed wiring board, and semiconductor package
WO2020130007A1 (en) * 2018-12-18 2020-06-25 日立化成株式会社 Laminate, printed wiring board, semiconductor package, and method for manufacturing laminate
JP2020105683A (en) * 2018-12-25 2020-07-09 旭化成株式会社 Glass cloth manufacturing method and glass yarn
JPWO2020256142A1 (en) * 2019-06-21 2020-12-24
CN113529237A (en) * 2020-03-30 2021-10-22 旭化成株式会社 Roll-shaped long glass cloth, prepreg, and printed wiring board
TWI812348B (en) * 2021-07-28 2023-08-11 日商旭化成股份有限公司 Manufacturing method of glass yarn and glass cloth and glass cloth

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05170483A (en) * 1991-12-25 1993-07-09 Asahi Glass Co Ltd Glass fiber for fiber reinforced plastics and fiber reinforced plastic product
JPH0742045A (en) * 1993-07-30 1995-02-10 Nitto Boseki Co Ltd Woven fabric of glass and laminate using the same
JP2003041486A (en) * 2001-07-24 2003-02-13 Asahi Schwebel Co Ltd Glass cloth having low permittivity
JP2011021304A (en) * 2009-07-17 2011-02-03 Unitika Glass Fiber Co Ltd Extra-ultrathin and highly glass-filled cloth for package board
WO2011024870A1 (en) * 2009-08-26 2011-03-03 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Glass cloth for printed wiring board
WO2016175248A1 (en) * 2015-04-27 2016-11-03 旭化成株式会社 Glass cloth

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05170483A (en) * 1991-12-25 1993-07-09 Asahi Glass Co Ltd Glass fiber for fiber reinforced plastics and fiber reinforced plastic product
JPH0742045A (en) * 1993-07-30 1995-02-10 Nitto Boseki Co Ltd Woven fabric of glass and laminate using the same
JP2003041486A (en) * 2001-07-24 2003-02-13 Asahi Schwebel Co Ltd Glass cloth having low permittivity
JP2011021304A (en) * 2009-07-17 2011-02-03 Unitika Glass Fiber Co Ltd Extra-ultrathin and highly glass-filled cloth for package board
WO2011024870A1 (en) * 2009-08-26 2011-03-03 旭化成イーマテリアルズ株式会社 Glass cloth for printed wiring board
WO2016175248A1 (en) * 2015-04-27 2016-11-03 旭化成株式会社 Glass cloth

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
木村康之等: "優れた寸法安定性・小径穴加工性を有する二重構造ガラスクロスの開発", エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集, JPN6021003029, 2005, JP, pages 197 - 198, ISSN: 0004437615 *
辻岡則夫等: "基礎講座「基板材料」第2回 ガラスクロス", サーキットテクノロジ, vol. 8巻2号, JPN6021003031, 1993, JP, pages 172 - 181, ISSN: 0004437616 *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020009133A1 (en) 2018-07-04 2020-01-09 三菱マテリアル株式会社 Method for fragmenting or method for producing cracks in semiconductor raw material, and method for producing mass of semiconductor raw material
WO2020130008A1 (en) * 2018-12-18 2020-06-25 日立化成株式会社 Composite material, method of manufacturing same, prepreg, laminated board, printed wiring board, and semiconductor package
WO2020130007A1 (en) * 2018-12-18 2020-06-25 日立化成株式会社 Laminate, printed wiring board, semiconductor package, and method for manufacturing laminate
JP2020105683A (en) * 2018-12-25 2020-07-09 旭化成株式会社 Glass cloth manufacturing method and glass yarn
WO2020256142A1 (en) * 2019-06-21 2020-12-24 日本板硝子株式会社 Glass composition, glass fiber, glass cloth, and glass fiber production method
WO2020255396A1 (en) * 2019-06-21 2020-12-24 日本板硝子株式会社 Glass composition, glass fiber, glass cloth, and method for producing glass fiber
JPWO2020256142A1 (en) * 2019-06-21 2020-12-24
JP2023052922A (en) * 2019-06-21 2023-04-12 日本板硝子株式会社 Glass composition, glass fiber, glass cloth, and glass fiber production method
JP7292634B2 (en) 2019-06-21 2023-06-19 日本板硝子株式会社 Glass composition, glass fiber, glass cloth, and method for producing glass fiber
US11773009B2 (en) 2019-06-21 2023-10-03 Nippon Sheet Glass Company, Limited Glass composition, glass fiber, glass cloth, and method for producing glass fiber
JP7370551B2 (en) 2019-06-21 2023-10-30 日本板硝子株式会社 Glass composition, glass fiber, glass cloth, and method for producing glass fiber
US11840477B2 (en) 2019-06-21 2023-12-12 Nippon Sheet Glass Company, Limited Glass composition, glass fiber, glass cloth, and method for producing glass fiber
CN113529237A (en) * 2020-03-30 2021-10-22 旭化成株式会社 Roll-shaped long glass cloth, prepreg, and printed wiring board
TWI812348B (en) * 2021-07-28 2023-08-11 日商旭化成股份有限公司 Manufacturing method of glass yarn and glass cloth and glass cloth

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