JP2018125227A - Laser drive source device - Google Patents

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祐 山崎
Yu Yamazaki
祐 山崎
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ウシオ電機株式会社
Ushio Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure that prevents fire (plasma) generated by pulsed laser light from disappearing by the pulsed laser light when the plasma is generated and maintained by the CW laser light in a laser driving light source device that converges a pulsed laser light and irradiates a plasma container in which a light emitting medium is sealed with the pulsed laser light to generate a preliminary discharge, and converges CW laser light and irradiates the plasma generated by the preliminary discharge with the CW laser light to generate and maintain plasma in the plasma container.SOLUTION: A converging point of a pulsed laser beam in a plasma container and a converging point of the CW laser beam are separated such that the pulsed laser beam does not strike the plasma at the converging point of the CW laser beam.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、レーザ駆動光源装置に関するものであり、特に、プラズマ容器内にパルスレーザ光とCWレーザ光を集光照射してプラズマを生成するレーザ駆動光源装置に係わるものである。 This invention relates to a laser drive source device, in particular, those which the pulse laser light and the CW laser light to the plasma vessel by irradiating light collecting according to the laser drive source device for generating a plasma.

近年、半導体、液晶基板およびカラーフィルタ等の被処理物の製造工程においては、入力電力の大きな紫外線光源を使用されている。 Recently, semiconductor, in the manufacturing process of the workpiece, such as a liquid crystal substrate and the color filter, has been used a large ultraviolet light source of input power. 紫外線光源として用いられているのは、水銀蒸気或いは希ガスを封入したガラスプラズマ容器内で電極間にアーク放電を発生させるタイプの高圧放電ランプである。 What is used as the ultraviolet light source is a high pressure discharge lamp of the type generating an arc discharge between the electrodes in a glass plasma container enclosing mercury vapor or rare gas.
上記製造工程においては、処理時間の一層の短縮化が要求されており、そのため、この用途に使用される高圧放電ランプには、より一層の放射輝度の向上が必要とされている。 In the above manufacturing process has been further shortened request processing time, therefore, the high pressure discharge lamp used in this application, there is a need for further improvement in radiance. 高圧放電ランプの放射輝度を向上させるためには、入力電力を増やすことが必要である。 In order to improve the radiance of the high pressure discharge lamp, it is necessary to increase the input power.
しかし、この種の高圧放電ランプは、入力電力を増やすと、ガラスプラズマ容器内の電極がアーク放電に曝されて極めて高温になって徐々に蒸発したり、また、アーク放電によって生じる高速粒子でスパッタされたりして、電極が消耗することが避けられなかった。 However, this type of high pressure discharge lamp, increasing the input power, or evaporated gradually very very hot electrode of a glass plasma container is exposed to the arc discharge, a sputtering fast particles caused by arc discharge It was or is, the electrode is not inevitable be depleted. これら蒸発ないしスパッタで生じた電極を構成する金属、一般的にはタングステンはガラスプラズマ容器の内壁面に付着し、ガラスプラズマ容器の紫外線の透過率を低下させ、半導体等の被処理物の表面における放射照度を低下させてしまい、処理能力の低下を招き、ランプ寿命が短くなるという問題がある。 Metal constituting the electrodes generated in these evaporation or sputtering, typically tungsten adheres to the inner wall surface of the glass plasma vessel, to reduce the transmittance of ultraviolet rays of a glass plasma container, the surface of the object to be treated such as a semiconductor irradiance which decreases, leading to decrease in processing capacity, there is a problem that the lamp life is shortened.

このような高圧放電ランプの問題を解決するために、特表2009−532829号公報(特許文献1)には、チャンバ(プラズマ容器)内に発光媒体を封入し、該発光媒体を点火源によってイオン化し、該発光媒体に対して連続波(CW)レーザを照射して、実質的に連続したエネルギーを供給することにより高輝度光を生成する光源が提案されている(請求項17、30)。 In order to solve such a high pressure discharge lamp of the problem, JP-T 2009-532829 (Patent Document 1) encapsulates a light emitting medium in the chamber (plasma container), ionized by an ignition source emitting light medium and is irradiated with continuous wave (CW) laser with respect to the light emitting medium, a light source for generating a high intensity light has been proposed by supplying a substantially continuous energy (claims 17, 30).
そして、発光媒体をイオン化するための点火源として、パルスレーザ光を用いることも開示されている(請求項20、43)。 Then, as an ignition source for ionizing the light emitting medium, it is also disclosed that the use of pulsed laser light (claim 20 and 43).
この光源は、点火源によってチャンバ内で放電を発生させて発光媒体に点火し、次いで、発光媒体に実質的に連続したエネルギーを供給して高輝度光を発生するプラズマを維持または生成するものであって、プラズマの温度は、放射および他のプロセスによってバランスされるまで上昇し、10000K〜20000Kという極めて高温になる。 The light source is ignited in the light emitting medium by generating a discharge in the chamber by the ignition source, then those substantially by supplying a continuous energy maintaining or generating a plasma that generates a high brightness light emitting medium there are, plasma temperature rises to be balanced by the radiation and other processes, become quite high as 10000K~20000K. 高温のプラズマから放射される短波長の紫外線エネルギーは極めて高いものである。 Ultraviolet energy of short wavelength emitted from the high-temperature plasma is extremely high.

しかしながら、該特許文献1においては、発光媒体をイオン化するための点火源としてのパルスレーザと、発光媒体に対して実質的に連続したエネルギーを供給するための連続波レーザとの具体的な構成、とりわけ、パルスレーザの集光点、及び、連続波レーザの集光点の関係については格別考慮されているわけではなく、図示されているわけでもない。 However, in the Patent Document 1, a pulsed laser of a light emitting medium as an ignition source for ionizing the specific configuration of the continuous-wave laser for supplying a substantially continuous energy to the light emitting medium, especially, a pulse laser focal point, and, not being particularly considered the relationship between the focal point of the continuous wave laser, nor is illustrated. しかして、当該従来技術における他の実施例等を参酌して、その記載から想定される構成を示すと以下のようになるものと思われる。 Thus, in consideration of the other examples in the prior art such as is believed to be as follows showing the structure envisaged from the description.
図8に示すように、レーザ駆動光源装置50においては、発光媒体が封入されたチャンバ(プラズマ容器)52に、該チャンバ52内で集光するパルスレーザ光53を照射し、該パルスレーザ光53の集光点に生成されたプラズマ(火種)55に対して、同様にチャンバ52内で前記パルスレーザ光53の集光点と同じ点に集光する連続状のレーザ光(CWレーザ光)54を照射するというものである。 As shown in FIG. 8, the laser drive source unit 50, into the chamber (plasma container) 52 emitting medium is enclosed, it is irradiated with pulsed laser light 53 that condenses within the chamber 52, the pulse laser beam 53 the focal point in the generated plasma against (spark) 55, a continuous form of the laser beam focused on the same point as the focal point of the pulsed laser beam 53 likewise the chamber 52 (CW laser beam) 54 it is that irradiation with.

しかしながら、このように、点火源に用いるパルスレーザの集光点と、発光媒体にエネルギーを供給する連続波レーザの集光点とが一致する構成とする場合には、パルスレーザによって一旦生成したプラズマが消滅してしまうという問題があることが判明した。 However, this way, the focal point of the pulsed laser used in the ignition source, in the case of a structure in which a continuous wave laser focal point for supplying the energy to match the light emitting medium, plasma generated once by a pulse laser but it has been found that there is a problem that disappears. このプラズマが消滅するという現象について、図9および図10を用いて以下に説明する。 The phenomenon that the plasma is extinguished, will be described below with reference to FIGS.

図9に示すように、プラズマ容器52内の発光媒体をイオン化するためのパルスレーザ光53と、該発光媒体のプラズマ55に照射される連続波レーザ光(以下、CWレーザ光という)54とは重畳して照射される。 As shown in FIG. 9, a pulse laser beam 53 for ionizing the light emitting medium plasma container 52, a continuous wave laser light applied to the plasma 55 of the light emitting medium (hereinafter, CW referred laser beam) and 54 superimposed to be irradiated.
つまり、期間t1において、図10(A)に示すように、パルスレーザ光53の予備放電によって発光媒体のプラズマ(火種)55を生成し、このプラズマ55に対してCWレーザ光54を照射して該プラズマ55を維持・生成しようとするものである。 That is, in the period t1, as shown in FIG. 10 (A), generates a luminescent medium plasma (flame kernel) 55 by the preliminary discharge of the pulsed laser light 53 is irradiated with CW laser light 54 with respect to the plasma 55 it is intended to maintain and generate the plasma 55.
ところが、続く期間t2においても、上記パルスレーザ光53による予備放電により生成され、CWレーザ光54によって生成・維持しようとするプラズマ55は、パルスレーザ光53にも晒されることになる。 However, even in the subsequent period t2, generated by the preliminary discharge by the pulse laser beam 53, the plasma 55 to be generated and maintained by the CW laser beam 54 will be also exposed to the pulsed laser light 53.

図10(B)に示すように、該パルスレーザ光53に晒されるプラズマ55は、該パルスレーザ光53によって急激に加熱膨張し、プラズマ55内の荷電粒子が四方八方に飛散してプラズマが消滅されてしまう。 As shown in FIG. 10 (B), the plasma 55 that is exposed to the pulsed laser beam 53 is rapidly heated and expanded by the pulse laser beam 53, the plasma is extinguished scattered in all directions charged particles in the plasma 55 It would be. この荷電粒子が消失した空間にCWレーザ光54は印加され続けるが、荷電粒子が消失した状態とは予備電離のない状態と同じであるので、プラズマが生成されることはない。 This charged particles is CW laser beam 54 to missing space continues to be applied, because the state in which the charged particle is lost is the same as the state with no preionization, no plasma is generated.
即ち、パルスレーザ光53による予備放電によって生成したプラズマ55をCWレーザ光54によって維持していこうとしても、同時に照射されるパルスレーザ光53によって該プラズマ55が消滅してしまうという問題がある。 That is, even the plasma 55 produced by the preliminary discharge by the pulsed laser beam 53 as a let maintained by CW laser beam 54, there is a problem that the plasma 55 will be extinguished by the pulsed laser beam 53 to be irradiated at the same time.

このように、パルスレーザ光は、その集光点付近の空間を急激に加熱膨張させてあたかも爆発のような現象を引き起こすことができるので、プラズマ容器内に発光媒体の予備放電を形成することに関しては有益である。 Thus, pulsed laser light, it is possible to cause a phenomenon such as if explosion rapidly heated and expands the space around the focal point, in terms of forming a pre-discharge of the light emitting medium to the plasma container it is beneficial. しかしながら、一方では、CWレーザの集光点とパルスレーザの集光点とが一致していると、該パルスレーザにより生成しCWレーザ光によってせっかく生成・維持されたプラズマが、今度は当該パルスレーザ光によって消滅してしまうという二律背反的な問題がある。 However, on the other hand, when the focal point of the focal point and the pulse laser CW laser match, plasma much trouble is generated and maintained by the CW laser beam generated by the pulse laser, turn the pulsed laser there is a trade-off problems that disappear by light.

上記した問題は、パルスレーザ光の照射時期とCWレーザ光の照射時期をずらすことによって解決は図れるものと考えられる。 Problems described above are solved by shifting the irradiation timing of the irradiation time of the pulsed laser beam and the CW laser beam is considered to be attained.
しかしながら、パルスレーザ光による予備放電によって生成されるプラズマ(火種)は極めてその寿命が短く、パルスレーザ光の照射を停止した後にCWレーザ光を照射しても、その時点ではプラズマ(火種)は消滅していて、該プラズマの維持・生成はできず、どうしても一定期間はパルスレーザ光とCWレーザ光とを同時的に照射する必要があるので、根本的な解決とはなりえない。 However, the plasma generated by the preliminary discharge by the pulse laser beam (spark) is short is very its life, be irradiated with CW laser light after stopping the irradiation of the pulsed laser beam, plasma (spark) at that time is eliminated If you are, you can not maintain and generation of the plasma, absolutely certain period of time because the pulse laser light and the CW laser light simultaneously it is necessary to irradiate, not be a fundamental solution.

特表2009−532829号公報 JP-T 2009-532829 JP

この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて、発光媒体が封入されたプラズマ容器内にパルスレーザ源からのパルスレーザ光を集光照射して予備放電を生成し、該予備放電によって生成されたプラズマにCWレーザ源からのCWレーザ光を集光照射することによってプラズマ容器内にプラズマを生成・維持するレーザ駆動光源装置において、CWレーザ光によって生成・維持されたプラズマがパルスレーザ光によって消滅することがないようにした構造を提供しようとするものである。 This invention is above in view of the prior art problems, a pulsed laser beam from the pulsed laser source to the plasma vessel luminescent medium is enclosed by irradiating light collecting to generate a preliminary discharge is generated by the pre-discharge annihilation in the laser drive source device for generating and maintaining a plasma in the plasma container by focused irradiation of the CW laser light from the CW laser source to the plasma, the plasma is pulsed laser light generated and maintained by the CW laser beam it is intended to provide a structure so as not to.

上記課題を解決するために、この発明に係わるレーザ駆動光源装置は、前記パルスレーザ光と前記CWレーザ光は、互いに波長が異なるものであって、同一の集光レンズに入射され、前記パルスレーザ光の集光点と前記CWレーザ光の集光点が前記プラズマ容器内で離隔して集光されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a laser drive source device according to the present invention, the CW laser light and the pulsed laser beam, there is the different wavelengths are incident on the same condensing lens, the pulsed laser characterized in that it is condensed the light of the focal point CW laser beam of the focal point is spaced in the plasma vessel.
また、前記プラズマ容器は、管球形状であって、前記CWレーザ光の集光位置が前記プラズマ容器のほぼ中心点に位置していて、前記プラズマ容器を取り囲むように凹面反射鏡が設けられていて、前記CWレーザ光の集光点が、該凹面反射鏡の焦点にあることを特徴とする。 Further, the plasma vessel is a tube shape, the focusing position of the CW laser beam is located substantially at the center point of said plasma container, have concave reflector is provided so as to surround the plasma container Te, the focal point of the CW laser beam, characterized in that at the focus of the concave reflecting mirror.
また、前記プラズマ容器が、凹面反射面を有する本体と、該本体の後方開口に設けられた入射窓と、該本体の前方開口に設けられた出射窓とからなり、前記本体と前記入射窓と前記出射窓によって密閉空間が形成されており、前記CWレーザ光の集光位置が、前記本体の凹面反射面の焦点にあることを特徴とする。 Further, the plasma vessel, a body having a concave reflecting surface, and the incident window provided in the rear opening of the body, consists of a exit window provided in the front opening of the main body, said main body and the entrance window are formed sealed space by the exit window, the condensing position of the CW laser beam, characterized in that the focal point of the concave reflecting surface of the main body.

また、パルスレーザ源とCWレーザ源とを有し、これらのレーザ源と前記集光レンズとの間にダイクロイックミラーを配置し、該ダイクロイックミラーはパルスレーザ光とCWレーザ光の一方を透過し、他方を反射するものであることを特徴とする。 Moreover, and a pulsed laser source and the CW laser source, disposed dichroic mirror between these laser sources and the condenser lens, the dichroic mirror transmits one of the pulse laser light and the CW laser light, characterized in that it is intended to reflect the other.
また、前記パルスレーザ源及び前記CWレーザ源と、前記集光レンズとの間に配置されて、前記パルスレーザ光と前記CWレーザ光の一方を透過し、他方を反射する第一のダイクロイックミラーと、前記プラズマ容器の励起光出射側前方に配置されて、前記集光レンズを通過した前記パルスレーザ光及び前記CWレーザ光を前記プラズマ容器に向けて反射し、前記プラズマ容器からの励起光を透過する第二のダイクロイックミラーと、を有することを特徴とする。 Further, said pulsed laser source and the CW laser sources, is arranged between the condenser lens, it transmits one of the pulsed laser light and the CW laser light, a first dichroic mirror which reflects the other the disposed to the excitation light exit side in front of the plasma chamber, the pulsed laser light and the CW laser light passing through the condensing lens is reflected toward the plasma container, it transmits excitation light from the plasma container a second dichroic mirror, and having a.
また、前記パルスレーザ源と前記CWレーザ源とにそれぞれ対応するファイバを有するファイバカプラを備え、該ファイバカプラの合波ファイバを、アクロマティックレンズを介在させて集光レンズに対向させてなることを特徴とする。 Also includes a fiber coupler having a fiber respectively corresponding to the pulsed laser source and the CW laser sources, the multiplexing fiber of the fiber coupler, with intervening achromatic lens to become to face the condenser lens and features.

本発明によれば、パルスレーザ光とCWレーザ光の波長を異なるものとして、集光レンズの色収差を利用して、プラズマ容器内でパルスレーザ光の集光点とCWレーザ光の集光点を離隔させることができ、パルスレーザ光の予備放電により生成されたプラズマが、CWレーザ光によって、該CWレーザ光の集光点に移動して、当該集光点に存続するので、このCWレーザ光によって生成・維持しようとするプラズマが、パルスレーザ光によって消滅されることがなく、安定的にプラズマが維持されるという効果を奏するものである。 According to the present invention, as the wavelength of the pulsed laser beam and the CW laser light differ, by utilizing the chromatic aberration of the condenser lens, the focal point of the pulsed laser beam focal point and the CW laser light in the plasma vessel It can be separated from the plasma generated by the preliminary discharge pulse laser beam, the CW laser light by moving the converging point of the CW laser beam, so persist to the focal point, the CW laser beam plasma to be generated and maintained by it, without being extinguished by pulsed laser beam, in which an effect that stable plasma can be maintained.
また、パルスレーザ光とCWレーザ光を同一の集光レンズに入射するものであるので、全体の構造が簡略化される。 Also, since the pulsed laser beam and the CW laser beam is to enter the same condenser lens, the overall structure is simplified.

また、プラズマ容器を管球形状として、CWレーザ光の集光点をプラズマ容器のほぼ中心点に位置させたので、高温のプラズマがプラズマ容器中心で存続するため、管壁への偏った熱的影響を防止できる。 Furthermore, the plasma chamber as a bulb shape, since positions the focal point of the CW laser beam substantially at the center point of the plasma vessel, since the hot plasma can persist in the plasma container center, biased thermal to the tube wall impact can be prevented.
また、プラズマ容器を、凹面反射面を有する本体と、該本体の後方開口に設けられた入射窓と、該本体の前方開口に設けられた出射窓とから構成することで、これら本体部や入射窓や出射窓に石英ガラス以外のセラミックスや金属を使用することができ、プラズマからの高出力のUV光やVUV光の照射を受けても、紫外線ひずみが生じることのないプラズマ容器を提供することができる。 Further, the plasma container, by constituting a main body having a concave reflecting surface, and the incident window provided in the rear opening of the body, and the exit window provided in the front opening of the body, these body parts and the incident It can be used ceramic or metal other than quartz glass windows and the exit window, even when irradiated with high power UV light or VUV light from the plasma, to provide a free plasma container be ultraviolet strain occurs can.
また、凹面反射面の焦点とCWレーザ光の集光点が一致していることで、CWレーザ光により維持されるプラズマによって励起された励起光は、凹面反射面の形状に応じて集光光として、または、平行光としてプラズマ容器から外部に出射させることができる。 Further, since the focal point of the focal point and the CW laser beam of the concave reflecting surfaces are matched, the excitation light excited by plasma is maintained by the CW laser beam, the condensing light according to the shape of the concave reflecting surface as, or it can be emitted to the outside from the plasma container as parallel light.

本発明の第1の実施例に係るレーザ駆動光源装置の説明図。 Illustration of the laser drive source apparatus according to the first embodiment of the present invention. 本発明のレーザ駆動光源装置のプラズマの挙動説明図。 Behavior explanatory view of a plasma of a laser driven light source device of the present invention. 本発明の第2の実施例の説明図。 Illustration of a second embodiment of the present invention. 本発明の第3の実施例の説明図。 Illustration of a third embodiment of the present invention. 本発明の第4の実施例の説明図。 Illustration of a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第5の実施例の説明図。 Illustration of a fifth embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施例の説明図。 6 illustrates the embodiment of the present invention. 従来技術から想定されるレーザ駆動光源装置の説明図。 Illustration of the laser drive source device that is assumed from the prior art. パルスレーザとCWレーザの照射チャート。 Pulse laser and CW laser irradiation chart. 従来のレーザ駆動光源装置のプラズマの挙動説明図。 Behavior explanatory view of a plasma of a conventional laser driven light source device.

図1に本発明の第1の実施例のレーザ駆動光源装置1が示されていて、プラズマ容器2内には希ガス、水銀等のイオン性の発光媒体が封入されている。 1 have the first embodiment the laser drive source device 1 of the invention are shown, noble gases, ionic luminescent medium such as mercury is sealed in the plasma container 2. このプラズマ容器2は、種々の形態を採用できるが、この実施例では、管球形状をしている。 The plasma container 2, and may be selected from various forms, in this embodiment, has a tube shape. ここで、管球形状とは、ランプ技術における、略球形状や略楕円回転体形状などの発光管形状を意味する。 Here, the tube-shaped, in the lamp art, it means a light emitting tube shape, such as substantially spherical or substantially ellipsoidal rotation member shape.
本発明のレーザ駆動光源装置1は、パルスレーザ源3とCWレーザ源4とを備えており、これらパルスレーザ源3からのパルスレーザ光3Lと、CWレーザ源4からのCWレーザ光4Lは、互いにその波長が異なっている。 Laser drive source device 1 of the present invention is provided with a pulsed laser source 3 and the CW laser source 4, the pulse laser light 3L from these pulsed laser source 3, the CW laser light 4L from the CW laser source 4, the wavelength are different from each other.
そして、この実施例では、CWレーザ光4Lの波長がパルスレーザ光3Lの波長よりも長いという前提で説明する。 Then, this embodiment will be described on the assumption that longer than the wavelength of the wavelength pulse laser light 3L of CW laser beam 4L. 例えば、CWレーザ光4Lの波長が1064±5nmで、パルスレーザ光3Lの波長が532±5nmの場合や、あるいは、CWレーザ光4Lの波長が1550±5nmで、パルスレーザ光3Lの波長が523.5±5nmの場合でなどである。 For example, the wavelength is 1064 ± 5 ​​nm of the CW laser light 4L, or when the wavelength is 532 ± 5 nm of the pulsed laser beam 3L, or at wavelengths 1550 ± 5 nm of the CW laser light 4L, the wavelength of the pulsed laser beam 3L is 523 and the like in the case of .5 ± 5nm.

前記パルスレーザ源3からのパルスレーザ光3Lと、前記CWレーザ源4からのCWレーザ光4Lは、同一の集光レンズ5に照射される。 Wherein a pulsed laser beam 3L from a pulsed laser source 3, CW laser beam 4L from the CW laser source 4 is irradiated to the same condenser lens 5. このために、パレスレーザ源3及びCWレーザ源4と、集光レンズ5との間にはダイクロイックミラー6が配置されている。 For this, a palace laser source 3 and CW laser source 4, the dichroic mirror 6 is disposed between the condenser lens 5.
このダイクロイックミラー6は、パルスレーザ光3Lを反射し、CWレーザ光4Lを透過するものである。 The dichroic mirror 6 reflects the pulse laser beam 3L, it is to transmit the CW laser beam 4L.
勿論、パルスレーザ源3とCWレーザ源4の配置を逆にして、ダイクロイックミラー6を、パルスレーザ光3Lを透過し、CWレーザ光4Lを反射するものとすることもできる。 Of course, the arrangement of the pulsed laser source 3 and the CW laser source 4 Conversely, the dichroic mirror 6, passes through the pulsed laser beam 3L, may be assumed to reflect the CW laser beam 4L.

このような配置により、パルスレーザ源3からパルスレーザ光3Lは、ダイクロイックミラー6により反射され、集光レンズ5によって前記プラズマ容器2内で集光点3aに集光される。 Such an arrangement, pulsed laser light 3L from a pulsed laser source 3 is reflected by the dichroic mirror 6, it is converged at the focal point 3a in the said plasma container 2 by the condenser lens 5.
一方で、CWレーザ源4からCWレーザ光4Lは、ダイクロイックミラー6を透過し、同じ集光レンズ5によってプラズマ容器2内で集光点4aに集光される。 On the other hand, CW laser beam 4L from CW laser source 4, passes through the dichroic mirror 6, are converged at the focal point 4a by the same condensing lens 5 in the plasma vessel 2. このCWレーザ光4Lの集光点4aは、前記パルスレーザ光3Lの集光点3aとは離隔した位置になる。 The focal point 4a of the CW laser beam 4L will a position away from the focal point 3a of the pulsed laser beam 3L.

このように、同一の集光レンズ5によって集光されるパルスレーザ光3Lの集光点3aとCWレーザ光4Lの集光点4aが異なる位置になるのは、集光レンズ5の色収差によるものである。 Thus, to become the same by the condenser lens 5 of the pulsed laser beam 3L is condensed in condensing point 3a and the CW laser light 4L focal point 4a is different positions, due to chromatic aberration of the condenser lens 5 it is.
この色収差を有する集光レンズ5によって、パルスレーザ光3L及びCWレーザ光4Lは、それぞれの波長に応じた集光点に集光する。 The condenser lens 5 having the chromatic aberration, the pulsed laser beam 3L and CW laser light 4L is focused at the focal point corresponding to the respective wavelengths. この集光レンズ5の材質は、例えば、BK−7、石英、フッ化カルシウムなどである。 The material of the condenser lens 5, for example, BK-7, quartz, and the like calcium fluoride.
そして、この実施例では、波長の短いパルスレーザ光3Lの集光点3aは波長の長いCWレーザ光4Lの集光点4aに対して、該CWレーザ光4Lの光軸上の後方側(レーザ光の進行方向の手前側)に位置している。 Then, in this embodiment, with respect to the focal point 4a of the long CW laser beam 4L of short focal point 3a of the pulsed laser beam 3L wavelength wavelength, the rear side (the laser on the optical axis of the CW laser beam 4L It is located in the traveling direction of the near side) of the light.
このとき、前記CWレーザ光4Lの集光点4aが前記プラズマ容器2のほぼ中心点に位置するように配置することが望ましい。 In this case, it is desirable that the focal point 4a of the CW laser beam 4L is disposed so as to be located substantially at the center point of the plasma container 2.

また、前記プラズマ容器2を取り囲むように凹面反射鏡7が設けられていて、CWレーザ光4Lの集光点4aはこの凹面反射鏡7の焦点に位置している。 Further, the have concave reflecting mirror 7 is provided to surround the plasma container 2, the focal point 4a of the CW laser beam 4L is positioned at the focus of the concave reflecting mirror 7.
これにより、プラズマ容器2内で発生したプラズマにより生成される励起光ELは、この凹面反射鏡7によって反射されて、その前面開口から出射される。 Thus, the excitation light EL generated by the plasma generated in the plasma vessel 2 is reflected by the concave reflecting mirror 7, and is emitted from the front opening. このとき、励起光ELを平行光として取り出すか、集光光として取り出すかは、凹面反射鏡7の形状によって選択される。 At this time, if taken out excitation light EL as parallel light, it is either taken as a condensed light, is selected by the shape of the concave reflecting mirror 7. この実施例では、凹面反射鏡7が放物面鏡として構成され、励起光ELが平行光として出射されるものが示されている。 In this embodiment, the concave reflecting mirror 7 is configured as a parabolic mirror, the excitation light EL is shown what is emitted as parallel light.

上記構成において、図2に示すように、パルスレーザ光3Lがプラズマ容器2内に集光照射されると、該プラズマ容器2内の集光点3aの付近に予備放電が生成され、火種8が生成される。 In the above configuration, as shown in FIG. 2, the pulse laser beam 3L is focused and irradiated to the plasma container 2, the preliminary discharge is generated in the vicinity of the focal point 3a of the plasma container 2, spark 8 It is generated. そして、この状態でCWレーザ光4Lが前記火種8の近傍に集光照射されると、前記火種8が該CWレーザ光4Lの集光点4aに移動し、該CWレーザ光4Lの照射によりプラズマ9が生成される。 When the CW laser light 4L in this state is irradiated condensing in the vicinity of the spark 8, the kindling 8 moves the focal point 4a of the CW laser light 4L, plasma by the irradiation of the CW laser beam 4L 9 is generated. その後、パルスレーザ光3Lの照射を停止するとともに、CWレーザ光4を継続的に照射することにより該プラズマ9は集光点4aの位置で維持されるものである。 Thereafter, stops the irradiation of the pulsed laser beam 3L, the plasma 9 by continuously irradiating the CW laser beam 4 is intended to be maintained in the position of the focal point 4a.

図3の第2の実施例は、プラズマ容器2が管球形状以外の構造を持つ例である。 Second embodiment of FIG. 3, the plasma container 2 is an example having a structure other than the bulb-shaped.
プラズマ容器2は、円柱形状の本体20を有しており、その内面に凹面反射面21が形成されている。 Plasma container 2 has a body 20 of cylindrical shape, the concave reflecting surface 21 is formed on its inner surface. この凹面反射面21は、楕円形状、放物面形状等適宜に選択される。 The concave reflecting surface 21 is elliptical, is selected, or the like as appropriate parabolic shape. 前記本体20には後方開口20aと前方開口20bが形成されていて、中心部にはレーザ光通過用の貫通孔22が形成されている。 Wherein the body 20 have rear opening 20a and a front opening 20b is formed in the center through-hole 22 of the laser beam passes is formed. そして、後方開口20aに対応して入射窓23が設けられ、前方開口20bに対応して出射窓24が設けられている。 The entrance window 23 is provided in correspondence with the rear opening 20a, the exit window 24 is provided in correspondence with the front opening 20b.
本体20の後方開口20aに対応した入射窓23は、金属製の窓枠部材25に装着されていて、この窓枠部材25が、金属筒体26によって本体20に取り付けられている。 Entrance window 23 corresponding to the rear opening 20a of the body 20, are mounted on a metal window frame member 25, the window frame member 25 is attached to the body 20 by a metal cylinder 26. 同様に、前方開口20bに対応した出射窓24は、金属製の窓枠部材27に装着されていて、この窓枠部材27が、金属筒体28によって本体20に取り付けられている。 Similarly, exit window 24 corresponding to the front opening 20b is already mounted on a metal window frame member 27, the window frame member 27 is attached to the body 20 by a metallic cylindrical member 28.
これら凹面反射面21を有する本体20と、入射窓23と、出射窓24とによって密閉空間Sが形成されており、この密閉空間S内に発光元素が封入されていて、プラズマ容器2が構成されている。 A body 20 having these concave reflecting surface 21, the incident window 23, the exit window 24 and are formed closed space S is by this closed space S have emission element is sealed, the plasma container 2 is constituted ing.

このような構成のプラズマ容器2に対して、CWレーザ光4Lは、ダイクロイックミラー6を透過し、集光レンズ5によって集光されつつ、プラズマ容器2の入射窓23から入射し、プラズマ容器2内で集光する。 With respect to the plasma container 2 of such a configuration, CW laser beam 4L is transmitted through the dichroic mirror 6, while being condensed by the condensing lens 5, and enters from the entrance window 23 of the plasma container 2, the plasma container 2 It is in focused.
一方、パルスレーザ光3Lは、ダイクロイックミラー6により反射されて光路を変え、同じ集光レンズ5によって集光されて入射窓23からプラズマ容器2内に入射し、該プラズマ容器2内で集光する。 On the other hand, pulsed laser beam 3L changes the optical path is reflected by the dichroic mirror 6, the same by the condenser lens 5 enters from the entrance window 23 is focused on the plasma container 2 is condensed by the plasma vessel 2 .
このように、パルスレーザ光3LとCWレーザ光4Lは、ダイクロイックミラー6を経て、同一の集光レンズ5によって、共に当該プラズマ容器2内で集光するが、集光レンズ5の色収差に基づいて、その集光点3aと集光点4aは離隔した位置になる。 Thus, pulsed laser light 3L and CW laser light 4L passes through the dichroic mirror 6, the same condenser lens 5 will be condensed together in the plasma vessel 2, on the basis of the chromatic aberration of the condenser lens 5 , the focal point 3a with converging point 4a becomes spaced positions.
この実施例では、パルスレーザ光3Lの集光点3aは、CWレーザ光4Lの集光点4aから光軸上において後方側(レーザ光の進行方向の手前側)に離隔している。 In this embodiment, the focal point 3a of the pulsed laser beam 3L is spaced rearwardly (near side in the traveling direction of the laser beam) on the optical axis from the focal point 4a of the CW laser beam 4L.
そして、この場合、CWレーザ光4の集光点4aは、プラズマ容器2の凹面反射面21の焦点と一致している。 In this case, the focal point 4a of the CW laser beam 4 is consistent with the focal point of the concave reflecting surface 21 of the plasma container 2.

プラズマ容器2内でCWレーザ光4Lにより生成・維持されるプラズマによって励起された励起光ELは、凹面反射面21によって反射されて出射窓24を介して外部に出射される。 Excitation light EL that has been excited by the plasma generated and maintained by the CW laser beam 4L plasma vessel 2 is emitted to the outside through the exit window 24 is reflected by the concave reflecting surface 21.

この第2の実施例によれば、プラズマ容器2を構成する本体部20や入射窓23や出射窓24に石英ガラス以外のセラミックスや金属を使用することができ、UV光やVUV光を励起光とする場合にも、プラズマからの高出力のUV光やVUV光の照射を受けても、紫外線ひずみが生じることのないプラズマ容器を提供することができる。 According to this second embodiment, the main body portion 20 and the incident window 23 and exit window 24 constituting the plasma container 2 can use ceramic or metal other than quartz glass, the excitation light of UV light or VUV light and also in the case of, even when irradiated with a high output of UV light or VUV light from the plasma, it is possible to provide a free plasma container be ultraviolet distortion occurs.

図4に示す第3の実施例では、パルスレーザ光及びCWレーザ光がともに、凹面反射鏡の前面開口側からプラズマ容器に入射する例である。 In a third embodiment shown in FIG. 4, an example of pulsed laser light and CW laser light both incident from the front opening side of the concave reflecting mirror in the plasma vessel.
パルスレーザ源3及びCWレーザ源4と、集光レンズ5との間には、第一のダイクロイックミラー10が配置されていて、この第1のダイクロイックミラー10は、パルスレーザ光3Lを反射し、CWレーザ光4Lを透過するものである。 A pulsed laser source 3 and CW laser source 4, between the condenser lens 5, the first dichroic mirror 10 has been arranged, the first dichroic mirror 10 reflects the pulsed laser beam 3L, it is intended to transmit the CW laser beam 4L.
勿論、パルスレーザ源3とCWレーザ源4の配置を逆にして、第1のダイクロイックミラー10を、パルスレーザ光3Lを透過し、CWレーザ光4Lを反射するものとすることができることは、図1の第1の実施例と同様である。 Of course, the arrangement of the pulsed laser source 3 and the CW laser source 4 to the contrary, be a first dichroic mirror 10, passes through the pulsed laser beam 3L, it can be made to reflect the CW laser light 4L, FIG 1 is similar to the first embodiment.

そして、プラズマ容器2を取り囲む凹面反射鏡7の前方、即ち、励起光出射側の前方に第2のダイクロイックミラー11が配置されていて、この第2のダイクロイックミラー11は、パルスレーザ光3L及びCWレーザ光4Lを反射し、プラズマ容器2からの励起光ELを透過するものである。 The front of the concave reflecting mirror 7 which surrounds the plasma container 2, i.e., the second dichroic mirror 11 has been arranged in front of the excitation light emission side, the second dichroic mirror 11, the pulsed laser beam 3L and CW reflects the laser beam 4L, it is to transmit the excitation light EL from the plasma container 2.
この構成により、パルスレーザ源3からのパルスレーザ光3L及びCWレーザ源4からのCWレーザ光4Lは、共に同じ集光レンズ5を通過して第2のダイクロイックミラー11に至り、ここで反射されてプラズマ容器2に向かう。 This configuration, CW laser beam 4L from the pulse laser beam 3L and CW laser source 4 from the pulsed laser source 3 reaches the second dichroic mirror 11 passes through the same condensing lens 5 together, it is reflected here Te toward the plasma container 2.
そして、プラズマ容器2内でそれぞれ集光するが、それぞれの集光点3a,4aは、波長に応じて異なる位置に離隔している。 Then, although each condensing the plasma vessel 2, each of the focal point 3a, 4a are spaced at different positions according to the wavelength. 即ち、パルスレーザ光3Lの集光点3aは、CWレーザ光4Lの集光点4aよりも、光軸上においてレーザ光の進行方向の手前側に位置する。 That is, the focal point 3a of the pulsed laser beam 3L, rather than the focal point 4a of the CW laser light 4L, located on the front side in the traveling direction of the laser beam on the optical axis.

この実施例においても、CWレーザ光4Lの集光点4aは、凹面反射鏡7の焦点に位置している。 Also in this embodiment, the focal point 4a of the CW laser beam 4L is positioned at the focal point of the concave reflecting mirror 7. これにより、プラズマ容器2内で発生したプラズマに基づく励起光ELは、凹面反射鏡7により反射されて、その前面開口から出射される。 Thus, the excitation light EL based on the plasma generated in the plasma vessel 2 is reflected by the concave reflecting mirror 7, and is emitted from the front opening. この励起光ELは、第2のダイクロイックミラー11を透過して、外部に出射される。 The excitation light EL is transmitted through the second dichroic mirror 11, and is emitted to the outside.

図5に示す第4の実施例では、図4の第3の実施例とは、プラズマ容器2の形状が異なる。 In the fourth embodiment shown in FIG. 5, the third embodiment of FIG. 4, the shape of the plasma container 2 is different.
即ち、プラズマ容器2を構成する円筒状の本体30には、前面側に凹面反射面31が形成されていて、その前面開口には前面窓32が設けられ、これら本体30と前面窓32により、密閉空間が形成されていて、その内部には発光元素が封入されている。 That is, the cylindrical body 30 constituting the plasma container 2, the concave reflecting surface 31 on the front side have been formed, the front window 32 is provided in its front opening, these body 30 and the front window 32, sealed space be formed, the light emitting element is sealed therein.
その他の構成は、図4の第3の実施例と同様である。 Other configurations are the same as in the third embodiment of FIG.

パルスレーザ光3L及びCWレーザ光4Lは、それぞれ、パルスレーザ源3(CWレーザ源4)→第1のダイクロイックミラー10→集光レンズ5→第2のダイクロイックミラー11→前面窓32を経てプラズマ容器2内で集光する。 Pulsed laser light 3L and CW laser light 4L, respectively, pulsed laser source 3 (CW laser source 4) → the first dichroic mirror 10 → the condenser lens 5 → plasma container through the second dichroic mirror 11 → the front window 32 collecting light in the 2. このとき、パルスレーザ光3Lの集光点3aと、CWレーザ光4Lの集光点4aとは、それぞれの波長に応じて離隔しており、この第4の実施例では、パルスレーザ光3Lの集光点3aが、レーザ光の光軸上でCWレーザ光4Lの集光点4aよりもレーザ光の進行方向で手前側に位置することは、前記第3の実施例と同様である。 At this time, the focal point 3a of the pulsed laser beam 3L, the focal point 4a of the CW laser light 4L, and spaced apart according to their wavelengths, in this fourth embodiment, the pulsed laser beam 3L the focal point 3a is also than the focal point 4a of the CW laser beam 4L on the optical axis of the laser beam is positioned on the front side in the traveling direction of the laser light is the same as the third embodiment.
そして、プラズマ容器2内で発生した励起光ELは、前面窓32から出射して、第2のダイクロイックミラー11を透過して外部に出射される。 Then, the excitation light EL generated in the plasma vessel 2 is emitted from the front window 32, and is emitted to the outside through the second dichroic mirror 11.

図6に示す第5の実施例では、パルスレーザ光3LとCWレーザ光4Lを同じ集光レンズ5に導く手段として、ファイバカプラ40を用いた例である。 In the fifth embodiment shown in FIG. 6, as means for guiding pulsed laser beam 3L and CW laser light 4L same condensing lens 5, an example in which the fiber coupler 40.
ここで、ファイバカプラとは、波長の同じ光を合流若しくは分岐させ、または、波長の異なる光を合波若しくは分波するという機能を有する光学部品であり、本発明においては、異なる波長のレーザ光を合波するために使用する。 Here, the fiber coupler, are merged or branched the same optical wavelength, or an optical component having a function of light of different wavelengths for multiplexing or demultiplexing, in the present invention, laser light of different wavelengths It is used to combine the.
パルスレーザ源3からのパルスレーザ光3Lと、CWレーザ源4からのCWレーザ光4Lをファイバカプラ40のそれぞれのファイバ41、42の一端に入射し、これら波長の異なるレーザ光を合波する。 A pulsed laser beam 3L from a pulsed laser source 3, enters the CW laser beam 4L from the CW laser source 4 to one end of each of the fibers 41, 42 of the fiber coupler 40 multiplexes the laser beams of different these wavelengths. そして合波ファイバ43から出射する合波されたレーザ光を、アクロマティックレンズ(アクロマートレンズ)45を介して集光レンズ5に入射させる。 The laser light is multiplexed emitted from the multiplexing fiber 43, is incident on the condenser lens 5 through the achromatic lens (achromat lens) 45.

ここで、アクロマティックレンズ45とは、光学特性の異なるレンズを樹脂接合して貼り合わせたもので、色収差の補正に使用される。 Here, the achromatic lens 45, a different lens optical characteristics which was bonded by resin bonding, are used to correct the chromatic aberration. 本発明では、この性質を利用し、ファイバカプラ40の合波ファイバ43から出射される光を平行光にしてから集光レンズ5に入射させる。 In the present invention, by utilizing this property, it is incident light emitted from the multiplexing fiber 43 of fiber coupler 40 from the parallel light to the condensing lens 5. アクロマティックレンズ45を利用することにより、集光レンズ5にレーザ光を平行光として入射させることができるようになり、レーザ光の集光点の位置合わせが容易になる。 By utilizing the achromatic lens 45, now it can be incident laser beam as parallel light to the condenser lens 5, thereby facilitating the alignment of the focal point of the laser beam.

以上説明した第1〜第5の実施例では、CWレーザ光の波長が、パルスレーザ光の波長よりも長い例で説明したが、図7の第6の実施例は、CWレーザ光の波長がパルスレーザ光の波長よりも短い場合の例である。 In the above first to fifth embodiment described, the wavelength of the CW laser beam has been described in longer example than the wavelength of the pulsed laser light, the sixth embodiment of FIG. 7, the wavelength of the CW laser beam is an example of the case is shorter than the wavelength of the pulsed laser beam.
この場合、パルスレーザ光3Lの集光点3aとCWレーザ光4Lの集光点4aが、異なる位置に離隔していることは同じであるが、パルスレーザ光3Lの集光点3aが、光軸上でCWレーザ光4Lの集光点4aよりも前方側(レーザ光の進行方向で先方側)に離隔している。 In this case, focal point 4a of the pulsed laser beam 3L condensing point 3a and the CW laser light 4L is, it is it is the same which is remote in different positions, the focal point 3a of the pulsed laser beam 3L is, light It is spaced forward side (other party side traveling direction of the laser beam) than the focal point 4a of the CW laser beam 4L on the axis.
このとき、CWレーザ光4Lの集光点4aをプラズマ容器2の凹面反射面21の焦点に位置させることは他の実施例と同様である。 At this time, positioning the focal point 4a of the CW laser beam 4L at the focus of the concave reflecting surface 21 of the plasma container 2 is similar to the other embodiments.

以下、パルスレーザ光とCWレーザ光の波長の違いによる集光点の離隔距離を評価した。 Below, it was to evaluate the separation distance of the focal point due to the difference in the wavelength of the pulsed laser light and the CW laser light.
(1)CWレーザ光の波長 :1064±5nm (1) the wavelength of the CW laser light: 1064 ± 5nm
パルスレーザ光の波長:532±5nm The wavelength of the pulsed laser light: 532 ± 5 nm
集光レンズ:ソーラボ社製 LA1472(BK−7製、F@587.6nm=20mm、R=10.3 +0.0‐0.1mm) Condenser lens: Thorlabs made LA1472 (BK-7 made, F @ 587.6nm = 20mm, R = 10.3 + 0.0-0.1mm)

平凸レンズの焦点距離F=R/(n−1) Plano focal length F = R / (n-1)
R:レンズの曲率半径 R: the radius of curvature of the lens
n(λ):屈折率 n (λ): refractive index

CWレーザ光(1064±5nm)の焦点距離F1=20.328〜20.333mm Focal length F1 = 20.328~20.333mm the CW laser light (1064 ± 5 ​​nm)
パルスレーザ光(532±5nm)の焦点距離F2=19.817〜19.838mm) Pulsed laser beam focal length F2 = 19.817~19.838mm of (532 ± 5nm))

両者の差(F1−F2)がCWレーザ光とパルスレーザ光の集光点間の離間距離ΔFである。 Both the difference (F1-F2) is the distance ΔF between focal point of the CW laser beam and the pulsed laser beam.
離間距離ΔF=0.49〜0.52mm Distance ΔF = 0.49~0.52mm

(2)CWレーザ光の波長 :1550±5nm (2) the wavelength of the CW laser light: 1550 ± 5nm
パルスレーザ光の波長:523.5±5nm The wavelength of the pulsed laser light: 523.5 ± 5nm
集光レンズ:ソーラボ社製 LA1255(BK−7製、F@587.6nm=50mm、R=25.8 +0.0‐0.1mm) Condenser lens: Thorlabs made LA1255 (BK-7 made, F @ 587.6nm = 50mm, R = 25.8 + 0.0-0.1mm)

CWレーザ光(1550±5nm)の焦点距離F1=51.526〜51.539mm Focal length F1 = 51.526~51.539mm the CW laser light (1550 ± 5 nm)
パルスレーザ光(523.5±5nm)の焦点距離F2=49.592〜49.647mm) Pulsed laser beam focal length F2 = 49.592~49.647mm of (523.5 ± 5nm))

離間距離ΔF=1.88〜1.95mm Distance ΔF = 1.88~1.95mm

以上説明したように、本発明においては、波長の異なるパルスレーザ光とCWレーザ光を同一の集光レンズに入射させて、この集光レンズの色収差を利用することで、プラズマ容器内でのパルスレーザ光の集光点とCWレーザ光の集光点が離隔しているので、パルスレーザ光の集光点近傍に生成される予備放電に伴うプラズマの火種が、CWレーザ光の集光点に移動してプラズマを生成するため、パルスレーザ光がこのプラズマに当たることがなく、せっかく生成されたプラズマがパルスレーザ光によって消滅させられるようなことがなく、安定的にプラズマを生成・維持することができる。 As described above, in the present invention, the pulse laser light and the CW laser light of different wavelengths is made incident on the same condensing lens, by utilizing the chromatic aberration of the condenser lens, a pulse of the plasma in the container since the focal point and the focal point of the CW laser light of the laser light is separated, plasma spark with the priming discharge is generated in the vicinity focal point of the pulsed laser beam, the focal point of the CW laser beam the movement to generate a plasma, without pulsed laser beam impinges on the plasma, pains without such to be destroyed generated plasma by pulsed laser beam, can generate and maintain stable plasma it can.

1 レーザ駆動光源装置 2 プラズマ容器 20 本体 20a 後方開口 20b 前方開口 21 凹面反射面 22 貫通孔 23 入射窓 24 出射窓 25 (入射窓用)窓枠部材 26 金属筒体 27 (出射窓用)窓枠部材 28 金属筒体 3 パルスレーザ源 3L パルスレーザ光 3a パルスレーザ光の集光点 4 CWレーザ源 4L CWレーザ光 4a CWレーザ光の集光点 5 集光レンズ 6 ダイクロイックミラー 7 凹面反射鏡 8 火種 9 プラズマ 10 第1のダイクロイックミラー 11 第2のダイクロイックミラー 30 本体 31 凹面反射面 32 前面窓 40 ファイバカプラ 41,42 ファイバ 43 合波ファイバ 45 アクロマティックレンズ EL 励起光 1 laser drive source unit 2 plasma container 20 body 20a rear opening 20b front opening 21 concave reflecting surface 22 through hole 23 incident window 24 exit window 25 (for entrance window) window frame member 26 metallic cylindrical member 27 (for exit window) window frame member 28 metallic cylindrical member 3 pulsed laser source 3L pulsed laser beam 3a pulsed laser beam of the focal point 4 CW laser sources 4L CW laser beam 4a CW laser beam focal point 5 the condensing lens 6 dichroic mirror 7 concave reflecting mirror 8 spark 9 plasma 10 first dichroic mirror 11 and the second dichroic mirror 30 body 31 concave reflecting surface 32 the front window 40 fiber coupler 41 fiber 43 multiplexing fiber 45 achromatic lens EL excitation light



Claims (6)

  1. 発光媒体が封入されたプラズマ容器内にパルスレーザ源からのパルスレーザ光を集光照射して予備放電を生成し、該予備放電によって生成されたプラズマにCWレーザ源からのCWレーザ光を集光照射することによってプラズマ容器内にプラズマを生成・維持するレーザ駆動光源装置において、 The pulsed laser beam from the pulsed laser source into the plasma container luminescent medium is enclosed by irradiating light collecting to generate a preliminary discharge, condensing the CW laser light from the CW laser source to a plasma generated by the priming discharge in the laser drive source device for generating and maintaining a plasma in the plasma container by irradiating,
    前記パルスレーザ光と前記CWレーザ光は、互いに波長が異なるものであって、同一の集光レンズに入射され、 The CW laser beam and the pulsed laser beam, there is the different wavelengths are incident on the same condenser lens,
    前記パルスレーザ光の集光点と前記CWレーザ光の集光点が前記プラズマ容器内で離隔して集光される、 The pulsed laser beam of the focal point and the focal point of the CW laser beam is condensed to be separated in the plasma vessel,
    ことを特徴とするレーザ駆動光源装置。 Laser drive source and wherein the.
  2. 前記プラズマ容器は、管球形状であって、前記CWレーザ光の集光点が前記プラズマ容器のほぼ中心点に位置していて、 The plasma container is a tube-shaped, with converging point of the CW laser beam is located substantially at the center point of the plasma chamber,
    前記プラズマ容器を取り囲むように凹面反射鏡が設けられていて、前記CWレーザ光の集光点が、該凹面反射鏡の焦点にある、 Wherein optionally concave reflector is provided so as to surround the plasma chamber, the focal point of the CW laser beam is in focus of the concave reflecting mirror,
    ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ駆動光源装置。 Laser drive source device according to claim 1, characterized in that.
  3. 前記プラズマ容器が、凹面反射面を有する本体と、該本体の後方開口に設けられた入射窓と、該本体の前方開口に設けられた出射窓とからなり、前記本体と前記入射窓と前記出射窓によって密閉空間が形成されており、 It said plasma container consists of a body having a concave reflecting surface, and the incident window provided in the rear opening of the body, and the exit window provided in the front opening of the body, the exit and the body and the entrance window and the closed space is formed by the window,
    前記CWレーザ光の集光点が、前記本体の凹面反射面の焦点にある、 Converging point of the CW laser beam is in focus of the concave reflecting surface of said body,
    ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ駆動光源装置。 Laser drive source device according to claim 1, characterized in that.
  4. 前記パルスレーザ源及び前記CWレーザ源と、前記集光レンズとの間にダイクロイックミラーが配置され、 Wherein the pulsed laser source and the CW laser sources, a dichroic mirror between said condensing lens is arranged,
    該ダイクロイックミラーはパルスレーザ光とCWレーザ光の一方を透過し、他方を反射するものである、 The dichroic mirror passes one of the pulse laser light and the CW laser light, and reflects the other,
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ駆動光源装置。 Laser drive source device according to claim 1, characterized in that.
  5. 前記パルスレーザ源及び前記CWレーザ源と、前記集光レンズとの間に配置されて、前記パルスレーザ光と前記CWレーザ光の一方を透過し、他方を反射する第一のダイクロイックミラーと、 And the pulse laser source and the CW laser sources, is arranged between the condenser lens, it transmits one of the pulsed laser light and the CW laser light, a first dichroic mirror which reflects the other,
    前記プラズマ容器の励起光出射側前方に配置されて、前記集光レンズを通過した前記パルスレーザ光及び前記CWレーザ光を前記プラズマ容器に向けて反射し、前記プラズマ容器からの励起光を透過する第二のダイクロイックミラーと、 Are arranged on the excitation light exit side in front of the plasma chamber, the pulsed laser light and the CW laser light passing through the condensing lens is reflected toward the plasma container, transmitting excitation light from the plasma container a second dichroic mirror,
    を備えていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ駆動光源装置。 Laser drive source device according to claim 1, characterized in that it comprises a.
  6. 前記パルスレーザ源と前記CWレーザ源とにそれぞれ対応するファイバを有するファイバカプラを備え、 Comprising a fiber coupler having a fiber respectively corresponding to the pulsed laser source and the CW laser source,
    該ファイバカプラの合波ファイバを、アクロマティックレンズを介在させて前記集光レンズに対向させてなる、 The multiplexing fiber of the fiber coupler, comprising so as to face the condenser lens is interposed achromatic lens,
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ駆動光源装置。 Laser drive source device according to claim 1, characterized in that.


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