JP2018109601A - 三次元間隙測定のシステム及び方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】三次元間隙測定のシステム及び方法を提供する。【解決手段】電子隙間ゲージ１１０は、センサブレード１１２、送信システム１２０、及び受信システム１２４を備える。センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４、受信誘導コイル１１６、及び、センサブレード１１２に関する二次元において離間している測定サイト１１８を備える。測定サイト１１８の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つ、及び、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つに、関連付けられる。送信システム１２０は、送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を発生させるために、送信誘導コイル１１４の端から端まで直流電流１２８を通すよう構成される。受信システム１２４は、送信プローブ信号１２２による応答信号１２６を受信誘導コイル１１６から受信するよう構成される。【選択図】図１

Description

本開示は、三次元（３Ｄ）間隙測定のシステム及び方法に関する。
航空機の組み立ては、正確な関係性で複雑かつ大型の構成要素を接合することを含み、かかる構成要素間で力を効率的に伝えることが必要になることが多い。例えば、翼と尾部の各部（垂直安定板、水平安定板など）とは、事前組み立てされ、次いで、耐荷重性の接合部を使用して、胴体の対応する区域に事後取り付けされうる。
嵌合する航空機の構成要素同士の適切な適合（ｆｉｔ）を実現するために、部品をひとまとめに接合する際にシム（フィラーとも称される）が使用されることが多い。シムは、接合された部品間の間隙（又は空隙）を埋めるために使用される。多くの場合、かかる間隙又は空隙は、一例としては、組み立て中の構成要素の位置付け及び位置合わせを容易にするために、構造物内に特に設計される。組み立て時中に間隙を充填するためにシムを使用することにより、嵌合構成要素同士の適合が改善される。
多くの場合、間隙は、比較的均一な寸法を伴って作られる。しかし、他の状況では、間隙を横切る測定値、及び、間隙に沿った測定値は、不均一になりうる。そのような場合、シムは、典型的には、間隙を正確に充填するようカスタムにサイズ決定され、かつ／又は、特殊な取り付け手順を要する。不均一な間隙を測定すること、適切なシムを準備すること、及び、かかるシムを適切に取り付けることは、製造サイクル時間を増大させる、時間のかかる面倒なプロセスである。
したがって、少なくとも上記で特定された懸念に対処することを意図した装置及び方法が、有益となる。
下記は本発明による主題の例であり、それらは、特許請求されることも、されないこともあってよく、完全に網羅的というわけではない。
本発明による主題の一例は、センサブレード、送信システム、及び受信システムを備える、電子隙間ゲージに関する。センサブレードは、送信誘導コイル、受信誘導コイル、及び、センサブレードに関する二次元において離間している測定サイトを備える。測定サイトの各々は、送信誘導コイルのうちの少なくとも１つ、及び受信誘導コイルのうちの少なくとも１つに、関連付けられる。送信システムは、送信誘導コイルから送信プローブ信号を発生させるために、送信誘導コイルの端から端まで直流電流を通すよう構成される。受信システムは、送信プローブ信号による応答信号を受信誘導コイルから受信するよう構成される。
本発明による主題の別の例は、センサブレード、送信システム、及び受信システムを備える、電子隙間ゲージに関する。センサブレードは、送信誘導コイル、受信誘導コイル、及び、センサブレードに関する二次元において離間している測定サイトを備える。測定サイトの各々は、送信誘導コイルのうちの少なくとも１つ、及び受信誘導コイルのうちの少なくとも１つに、関連付けられる。送信システムは、送信誘導コイルから送信プローブ信号を発生させるために、送信誘導コイルの端から端まで変調信号（ｍｏｄｕｌａｔｅｄ ｓｉｇｎａｌ）を通すよう構成される。受信システムは、送信プローブ信号による応答信号を受信誘導コイルから受信するよう構成される。
上記の例のどちらにも明記した電子隙間ゲージの使用により、三次元で、（第１被加工物の）第１表面と（第２被加工物の）第２表面との間の間隙を測定することが可能になる。（センサブレードに関する二次元において離間している）測定サイトは、センサブレードが少なくとも部分的に間隙内にある状態で、それぞれの測定サイトにおける第１表面と第２表面との間の離隔距離を測定するよう構成される。測定サイトは、通常、センサブレードの端から端までの二次元アレイを形成する。
（二次元方向に離間している）測定サイトの各々における間隙の厚さ（間隙の間隔とも称される）は、間隙を横切る、及び間隙に沿った（すなわち、間隙の幅寸法及び深さ寸法の）、間隙の厚さマップを提供するために測定されうる。測定サイトにおける離隔距離の厚さマップは、間隙の三次元マップである。間隙の厚さマップは、間隙を正確に充填するシム、及び／又は一又は複数の寸法が不均一なシムを作り出しかつ／又は選択するために、使用されうる。追加的又は代替的には、間隙の厚さマップは、嵌合された構成要素が適切に位置合わせされ、かつ／又は適合していることを検証するために、使用されうる。航空宇宙構造物の構成要素を、（シムを伴って、又は伴わずに）正確に位置合わせすること、及び／又は適合させることにより、構造物の信頼性が高く効率的な構築、及び、構造物の信頼性の高い動作が容易になる。
本発明による主題の更に別の例は、間隙内の離隔距離を測定する方法に関する。方法は、第１表面と第２表面によって画定された間隙の中に、センサブレードを挿入することと、送信誘導コイルから送信プローブ信号を生成することと、送信プローブ信号に応じた応答信号を受信誘導コイルで受信することと、応答信号に基づいて、測定サイトにおける第１表面と第２表面との間の離隔距離を判定することとを、含む。センサブレードは、送信誘導コイル、受信誘導コイル、及び、センサブレードに関する二次元において離間している測定サイトを備える。測定サイトの各々は、送信誘導コイルのうちの少なくとも１つ、及び受信誘導コイルのうちの少なくとも１つに、関連付けられる。
上記の方法は、間隙内の離隔距離を測定することを可能にするものであり、間隙を充填する一又は複数のシムを選択するため、間隙を充填する一又は複数のシムを形成するため、及び／又は、一又は複数のシムで間隙を充填するために、使用されうる。追加的又は代替的には、上記の方法は、構成要素（例えば第１被加工物と第２被加工物）が適切に組み立てられていること、及び／又は、間隙内でシムが適切に組み立てられていることを検証するために、使用されうる。上記の方法は、間隙の３Ｄ測定（例えば３Ｄ仮想モデル）をもたらしうる。
これまで本開示の例を概括的に説明してきたたが、以下では添付図面を参照する。図面は必ずしも正寸で描かれておらず、類似の参照記号は、複数の図を通じて、同じ又は類似の部分を指し示している。
本開示の一又は複数の例による、電子隙間ゲージシステムのブロック図である。 本開示の一又は複数の例による、図１の電子隙間ゲージの概略斜視図である。 本開示の一又は複数の例による、２つの被加工物間の間隙の中に取り付けられたシムの概略断面図である。 本開示の一又は複数の例による、電子隙間ゲージシステムの概略ブロック図である。 本開示の一又は複数の例による、図１又は図４の電子隙間ゲージのセンサブレードの一例の概略断面図である。 本開示の一又は複数の例による、図１又は図４の電子隙間ゲージのセンサブレードの概略ブロック図である。 本開示の一又は複数の例による、間隙内の離隔距離を測定する方法のブロック図である。 航空機の製造及び保守方法のブロック図である。 航空機の概略図である。
上記の図１から図９において、様々な要素及び／又は構成要素を接続する実線が存在する場合、それらの実線は、機械的、電気的、流体的、光学的、電磁的な連結、及び他の連結、並びに／又はそれらの組み合せを表しうる。本書で使用される「連結された（ｃｏｕｐｌｅｄ）」とは、直接的並びに間接的に関連付けられていることを意味する。例えば、部材Ａは、部材Ｂに直接的に関連付けられうるか、又は、例えば別の部材Ｃを介して、間接的に部材Ｂに関連付けられうる。開示されている様々な要素間の全ての関係性が必ずしも表されているわけではないことが、理解されよう。したがって、ブロック図に描かれている連結以外の連結も存在しうる。様々な要素及び／又は構成要素を指し示すブロックを接続する破線が存在する場合、それらの破線は、実線によって表された連結に機能及び目的が類似した連結を表す。しかし、破線によって表された連結は、選択的に提供されるか、又は、本開示の代替の例に関連するかのいずれかでありうる。同様に、破線で表された要素及び／又は構成要素が存在する場合、それらは本開示の代替の例を示す。実線及び／又は破線で示される一又は複数の要素は、本開示の範囲から逸脱することなく、特定の例から省略されうる。環境要素が存在する場合、それらは点線で表される。仮想（架空）の要素も、分かりやすくするために図示されることがある。図１から図９に示す特徴の一部は、図１から図９、他の図、及び／又はそれらに伴う開示において説明される他の特徴を含むことを必要とせずに、様々に組み合わされうるが、一又は複数のかかる組み合わせは本書で明示的に示されていないことが、当業者には認識されよう。同様に、提示されている例に限定されない追加の特徴も、本書で示され、説明されている特徴の一部又は全部と組み合わされうる。
上記の図７から図８では、ブロックは工程及び／又はその部分を表してよく、様々なブロックを接続する線は、工程又はその部分の、いかなる特定の順序又は従属関係（ｄｅｐｅｎｄｅｎｃｙ）も暗示しない。破線で表されたブロックは、代替の工程及び／又はその部分を示す。様々なブロックを接続する破線がある場合、それらの破線は、工程又はその部分の代替的な従属関係を表す。開示されている様々な工程間のすべての従属関係が必ずしも表されているわけではないことが、理解されよう。本書に明記された方法（複数可）の工程を説明している図７から図８、及びそれらに伴う開示は、工程が実施されるシーケンスを必ず決定するものであると解釈すべきではない。むしろ、１つの例示的な順序が示されていても、工程のシーケンスは、それが適切な場合には改変されうると理解されたい。したがって、複数の特定の工程が、異なる順序で、又は同時に、実施されうる。加えて、説明されている全ての工程を実施する必要はないことが、当業者には認識されよう。
下記の説明において、説明されている概念の網羅的な理解をもたらすために多数の具体的な詳細事項が明記されるが、かかる概念は、これらの特定事項の一部又は全部がなくとも実践されうる。他の事例においては、記載を不必要に分かりにくくすることを避けるために、既知のデバイス及び／又はプロセスの詳細を省略した。一部の概念は具体例と併せて説明されるが、それらの例は限定を意図するものではないことが、理解されよう。
別途示されない限り、「第１（ｆｉｒｓｔ）」「第２（ｓｅｃｏｎｄ）」などの用語は、本書では符号として使用されているに過ぎず、それらの用語が表すアイテムに順序的、位置的、又は序列的な要件を課すことは意図されていない。更に、例えば「第２」のアイテムへの言及は、例えば「第１」の、又はより小さい数がふられたアイテム、及び／又は、例えば「第３（ｔｈｉｒｄ）」の、又はより大きな数がふられたアイテムの存在を、必要とすることも、排除することもない。
本書における「一例（ｏｎｅ ｅｘａｍｐｌｅ）」への言及は、その例に関連して説明される一又は複数の特徴、構造又は特性が、少なくとも１つの実行形態に含まれることを意味する。本明細書内に頻出する「一例」という表現は、同一の例を表すことも、表さないこともある。
本書で使用される、特定の機能を実施する「よう構成され（ｃｏｎｆｉｇｕｒｅｄ ｔｏ）」たシステム、装置、構造、物品、要素、構成要素、又はハードウェアは、実際に、いかなる変更も行わずにその特定の機能を実施することが可能であり、更なる改変の後にその特定の機能を実施する潜在能力を有するに過ぎないものではない。換言すると、特定の機能を実施する「よう構成され」たシステム、装置、構造、物品、要素、構成要素、又はハードウェアは、特定の機能を実施するという目的のために、特に選択され、作り出され、実装され、利用され、プログラムされ、かつ／又は設計される。本書で使用される、「よう構成され」という表現は、更なる改変なしで、システム、装置、構造、物品、要素、構成要素、又はハードウェアがその特定の機能を実施することを可能にする、システム、装置、構造、物品、要素、構成要素、又はハードウェアの特性が存在することを意味する。この開示において、特定の機能を実施する「よう構成され」ていると記述されているシステム、装置、構造、物品、要素、構成要素、又はハードウェアは、追加的又は代替的には、その機能を実施する「よう適合し（ａｄａｐｔｅｄ ｔｏ）」ている、及び／又は、「よう作動可能（ｏｐｅｒａｔｉｖｅ ｔｏ）」であるとも、記述されうる。
本開示による主題の、特許請求されることも、されないこともある、例示的で非網羅的な例が、下記に提供される。
図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、電子隙間ゲージ１１０が開示されている。電子隙間ゲージ１１０は、センサブレード１１２、送信システム１２０、及び受信システム１２４を備える。センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４、受信誘導コイル１１６、及び、センサブレード１１２に関する二次元において離間している測定サイト１１８を備える。測定サイト１１８の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つ、及び、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つに、関連付けられる。送信システム１２０は、送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を発生させるために、送信誘導コイル１１４の端から端まで直流電流１２８を通すよう構成される。受信システム１２４は、送信プローブ信号１２２による応答信号１２６を受信誘導コイル１１６から受信するよう構成される。この段落の前述の記載が、本開示の例１を特徴付けている。
例１に明記した電子隙間ゲージ１１０の使用により、三次元で、（第１被加工物１３６の）第１表面１４０と（第２被加工物１３８の）第２表面１４２との間の間隙１４４を測定することが可能になる。（センサブレード１１２に関する二次元において離間している）測定サイト１１８は、センサブレード１１２が少なくとも部分的に間隙１４４内にある状態で、それぞれの測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４を測定するよう構成される。測定サイト１１８は、通常、センサブレード１１２の端から端までの二次元アレイを形成する。
（二次元方向に離間している）測定サイト１１８の各々における間隙１４４の厚さ（間隙１４４の間隔とも称される）は、間隙１４４を横切る、及び間隙１４４に沿った（すなわち、間隙１４４の幅寸法及び深さ寸法の）、間隙１４４の厚さマップを提供するために測定されうる。測定サイト１１８における離隔距離１３４の厚さマップは、間隙１４４の三次元マップである。間隙１４４の厚さマップは、間隙１４４を正確に充填するシム１７０、及び／又は、一又は複数の寸法が不均一なシム１７０を作り出しかつ／又は選択するために、使用されうる。追加的又は代替的には、間隙１４４の厚さマップは、嵌合された構成要素が適切に位置合わせされ、かつ／又は適合していることを検証するために、使用されうる。航空宇宙構造物の構成要素を、（シムを伴って、又は伴わずに）正確に位置合わせすること、及び／又は適合させることにより、構造物の信頼性が高く効率的な構築、及び、構造物の信頼性の高い動作が容易になる。
測定サイト１１８は各々、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つ、及び、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つに、関連付けられる。典型的には、測定サイト１１８の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの１つ、及び受信誘導コイル１１６のうちの１つに、関連付けられる。関連付けられた送信誘導コイル１１４の各々は、関連付けられた測定サイト１１８において送信プローブ信号１２２のうちの１つを発生させるよう構成される。関連付けられた受信誘導コイル１１６の各々は、関連付けられた測定サイト１１８において応答信号１２６のうちの１つを受信するよう構成される。
センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６を備える、剛性又は半可撓性の構造物でありうる。剛性のセンサブレード１１２は、小さな間隙１１４内に適合すること、特定された角度で間隙１１４内に適合すること、並びに／又は、間隙１１４内での座屈（ｂｕｃｋｌｉｎｇ）及び／又は屈曲に抗することに、有用でありうる。半可撓性のセンサブレード１１２は、間隙１１４に適応すること、及び／又は、入り組んだ形状の（ｃｏｎｖｏｌｕｔｅｄ）間隙１１４内に適合することに、有用でありうる。半可撓性のセンサブレード１１２は、間隙１１４の中での座屈及び／又は屈曲を回避するのに十分な程度剛性であり、かつ／又は、間隙１４４内の凸状及び／又は凹状の表面に適応するのに十分な程度可撓性でありうる。センサブレード１１２は、薄型のストリップ、シート、及び／又は膜の形状を有しうる。図２に示しているように、センサブレード１１２は、ブレード平面１５６及びブレード厚さ１５８を有する。
送信システム１２０、送信誘導コイル１１４、受信システム１２４、及び受信誘導コイル１１６は、電気誘導によって、間隙１４４、第１表面１４０、及び／又は第２表面１４２を調査すし、感知するよう構成される。ゆえに、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６は、各々が特有のインダクタンスを有する誘導コイルである。
離隔距離１３４を判定するために電気誘導を使用することにより、間隙１４４の寸法の非接触感知が可能になる。例えば、センサブレード１１２は、間隙１４４の測定中に、第１表面１４０又は第２表面１４２のいずれにも接触する必要がない。離隔距離１３４を判定するための電気誘導の使用は、他の電気的感知技術（静電容量を感知することなど）と比べて、電気的ノイズ、環境の影響、及び／又は表面汚染の存在に対してより強いものでありうる。離隔距離１３４を判定するための電気誘導の使用は、光学的感知技術と比べても、表面仕上げの変動及び表面汚染に対してより強いものでありうる。
送信誘導コイル１１４は、送信システム１２０により送信誘導コイル１１４の端から端まで通されうる直流電流１２８にしたがって、送信プローブ信号１２２を送信するよう構成される。直流電流１２８は、定常電流値を有する直流電流（ＤＣ）である。直流電流１２８はオン又はオフにされてよく、定常電流値は、（例えば直流電流１２８の印加と印加の間に）調整されうる。送信プローブ信号１２２は、センサブレード１１２を越えて延在する誘導磁場である。
送信プローブ信号１２２と第１表面１４０及び／又は第２表面１４２の一又は複数の材料との相互作用により、送信プローブ信号１２２の一又は複数の特性が、（相互作用がない場合と比べて）変化する。この相互作用は、材料（複数可）の場所、及び／又は、導電率や磁化率といった材料（複数可）の特性にしたがって、送信プローブ信号１２２の増強、減衰、及び／又は変位を引き起こしうる。
受信誘導コイル１１６は、送信プローブ信号１２２と第１表面１４０及び／又は第２表面１４２の材料（複数可）との相互作用による、応答信号１２６を受信するよう構成される。受信誘導コイル１１６は、誘導によって、電磁場に感応し、電磁場を感知する。受信誘導コイル１１６は、電磁場の存在下で、電磁場がオンまたはオフにされることに応じて、電磁場の動きに応じて、電磁波内での材料の動きに応じて、かつ／又は、間隙１１４に対するセンサブレード１１２の動きに応じて、電流及び／又は電圧を発生させうる。
材料（例えば第１表面１４０及び／又は第２表面１４２）の存在又は不存在、並びに／又は、材料間の距離（例えば、第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４）を、判定するために、送信プローブ信号１２２と応答信号１２６との比較が利用されうる。通常、離隔距離１３４の測定値は、測定サイト１１８における、応答信号１２６に基づく、及び／又は応答信号１２６と送信プローブ信号１２２との比較に基づく、測定サイト１１８における測定値である。
送信プローブ信号１２２及び測定された間隙距離（厚さ）は、通常、第１表面１４０と第２表面１４２との間のものである。一部の例では、送信プローブ信号１２２及び／又は測定された間隙距離は、センサブレード１１２と第１表面との間、及び／又は、センサブレード１１２と第２表面との間のものでありうる。例えば、電子隙間ゲージ１１０及び／又はセンサブレード１１２は、センサブレード１１２と第１表面１４０との間の間隙距離を測定するよう構成され、かつ、センサブレード１１２で第２表面１４２に接触するよう構成されうる。かかる構成において、離隔距離１３４は、測定された間隙距離にセンサブレード１１２のブレード厚さ１５８を加えたものとなる。別の例としては、電子隙間ゲージ１１０及び／又はセンサブレード１１２は、センサブレード１１２と第１表面１４０との間の間隙距離（第１間隙距離）と、センサブレード１１２と第２表面１４２との間の間隙距離（第２間隙距離）とを、個別に測定するよう構成されうる。かかる構成において、離隔距離１３４は、測定された（第１と第２の）間隙距離にセンサブレード１１２のブレード厚さ１５８を加えたものとなる。送信誘導コイル１１４、受信誘導コイル１１６、及び／又は測定サイト１１８は、第１表面１４０と第２表面１４２の一方又は両方に関連付けられうる。
図１の例に示しているように、電子隙間ゲージ１１０は、間隙１４４内に置かれてよく、間隙１４４内に置かれた電子隙間ゲージ１１０を備える電子隙間ゲージシステム１００の一部分でありうる。
この段落の後述の記載が本開示の例２を特徴付け、例２は上記の例１による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、送信誘導コイル１１４の端から端まで通される直流電流１２８を発生させるよう構成された、電流源１８２を備える。
電流源１８２は、送信誘導コイル１１４の各々が送信プローブ信号１２２を発生させるための、直流電流１２８を発生させる。電流源１８２は、電圧及び／又は電流を提供するよう構成された電源でありうる。電流源１８２は、直流電流１２８を調節し、かつ／又は制御するよう構成されうる。電流源１８２は、送信誘導コイル１１４の各々に直流電流１２８を送るよう構成されてよく、かつ、送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数に同時に直流電流１２８を送るよう構成されうる。通常、電流源１８２は、低抵抗電路を用いて送信誘導コイル１１４に接続される。低抵抗（例えば１００ｏｈｍ未満）であることにより、直流電流１２８の効率的な送電が容易になる。
この段落の後述の記載が本開示の例３を特徴付け、例３は上記の例１又は例２による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信プローブ信号１２２は定常磁場である。
定常磁場は、通常、送信誘導コイル１１４を通って流れる定常電流（すなわち直流電流１２８）によって作り出される。定常磁場は、送信誘導コイル１１４を越えて、センサブレード１１２、測定サイト１１８、及び、各定常磁場に関連付けられた送信誘導コイル１１４の付近の空間の中へと広がる。定常磁場は、金属、金属製材料、磁性材料、透磁性材料、及び導電性材料によってゆがめられ、かつ、それらの材料と相互作用する。ゆえに、送信プローブ信号１２２は、かかる材料のいずれかを含む第１表面１４０及び／又は第２表面１４２の存在、種類、及び／又は配置によって影響されうる。
通常、送信誘導コイル１１４によって生成される定常磁場は、送信誘導コイル１１４からの距離の逆べきに関連して低減する、場の強さ（強度）を有する。定常磁場の各々のソース強さとソース距離との関係は、定常磁場を発生させる、直流電流１２８の強度、及び送信誘導コイル１１４の構成に依拠する。定常磁場の場の強さが所定の値（例えば、受信誘導コイル１１６において検出可能な最小値に対応する場の強さ）を有する、送信誘導コイル１１４からの距離は、センサブレード１１２の特有の感知距離でありうる。この特有の感知距離は、少なくとも１ｍｍ、少なくとも５ｍｍ、少なくとも１０ｍｍであってよく、かつ／又は、１００ｍｍ未満でありうる。ゆえに、電子隙間ゲージ１１０及びセンサブレード１１２は、少なくとも１ｍｍ、少なくとも５ｍｍ、少なくとも１０ｍｍであり、かつ／又は１００ｍｍ未満である、間隙１４４の離隔距離１３４を測定するよう構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例４を特徴付け、例４は上記の例１から例３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、応答信号１２６に基づいて離隔距離信号１３２を生成するよう構成される。離隔距離信号１３２は、第１被加工物１３６の第１表面１４０と第２被加工物１３８の第２表面１４２との間の、センサブレード１１２の測定サイト１１８における離隔距離１３４に関連する。
電子隙間ゲージ１１０は、第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８などの、類似した又は類似していない構成要素間の間隙１４４を測定するために、使用されうる。第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の材料、及び／又は、間隙１４４の第１表面１４０及び第２表面１４２を形成する材料は、各々個別に、金属、金属製材料、伝導性材料、磁性材料、ポリマー材料、及び／又は複合材料でありうる。これらの材料は、電気的又は磁気的に伝導性である必要はない。電子隙間ゲージ１１０は、第１被加工物１３６の材料、第２被加工物１３８の材料、第１表面１４０における材料、及び／又は第２表面１４２における材料にかかわらず信頼性の高い離隔距離測定値を生成するために、様々な種類の材料向けに校正されうる。電子隙間ゲージ１１０は、既知の材料間の、既知のサイズ（厚さ、及び、通常は幅と深さ）の校正間隙内に、センサブレード１１２を挿入することによって、校正されうる。校正間隙は、校正品（校正ツールとも称されうる）に形成されうる。校正は、本書で更に開示されるように、送信誘導コイル１１４の端から端まで供給される直流電流１２８、及び／又は、受信システム１２４によって受信される応答信号１２６を、調整することを含みうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５を特徴付け、例５は上記の例４による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、測定サイト１１８のうちの少なくとも１つが第１表面１４０及び第２表面１４２によって画定された間隙１４４内にある時に、応答信号１２６を受信するよう構成される。
センサブレード１１２は、間隙１４４内に完全には適合しないことがあり、かつ／又は、間隙１４４内に完全には挿入されないことがある。間隙１４４内の測定サイト１１８は、間隙１４４内の離隔距離１３４を測定するために使用されうる。間隙１４４の外部の測定サイト１１８は、実質的に、間隙がないこと、不定形の離隔距離、又は信号条件がないことを、測定しうる。受信システム１２４及び／又は電子隙間ゲージ１１０は、どの測定サイト１１８が間隙１４４の中にあるか、及び、どの測定サイト１１８が間隙１４４の外部にあるかを判定するよう、構成されうる。どの測定サイト１１８が間隙１４４の中及び／又は外部にあるかを判定することで、（例えば、間隙１４４内のセンサブレード１１２の深さ及び／又は面積を提供することによって、）間隙１４４の深さ及び／又は間隙１４４の断面積の測定値及び／又は推定値が提供されうる。受信システム１２４及び／又は電子隙間ゲージ１１０は、一又は複数の測定サイト１１８が間隙１４４内にある場合にのみ離隔距離１３４を測定するよう、構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６を特徴付け、例６は上記の例１から例５のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４の各々は、送信システム１２０によって、個別かつ電気的にアドレスされる。
送信誘導コイル１１４を個別にアドレスすることにより、一又は複数の送信誘導コイル１１４を個別に、かつ／又は別々の時点において、動作させることが可能になる。個別に動作させることは、個別に、オンにすること、オフにすること、異なる直流電流１２８を使用すること、及び／又は、送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数（オプションで全て）向けに直流電流１２８を調整することを、含みうる。送信誘導コイル１１４は、行、列、及び／又は領域などの群で、動作し（かつ／又は、電気的にアドレスされ）うる。群は、３つの要素おきなど、散在していてよく、かつ／又は、平均して３つの要素おきに１つの要素がひとまとめに制御される一領域など、不規則なものでありうる。
送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数（オプションで各々）を個別に動作させることにより、別々の送信誘導コイル１１４及び／又は別々の測定サイト１１８同士の間のクロストーク（干渉などの相互作用）が皆無かそれに近い状態で、間隙１４４を調査することが容易になる。送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数（オプションで各々）を個別に動作させることにより、個別に制御された送信誘導コイル１１４によって発生した誘導磁場を、個別に調整することが容易になる。例えば、送信誘導コイル１１４の各々向けの直流電流１２８が、送信誘導コイル１１４の各々が同じ強さの誘導磁場を発生させるように調整されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例７を特徴付け、例７は上記の例１から例６のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、送信プローブ信号１２２のうちの１つを、送信プローブ信号１２２のうちの別の１つとは異なる時点において発生させるために、デマルチプレクサ１８０を備える。
送信システム１２０のデマルチプレクサ１８０は、送信システム１２０から送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つに直流電流１２８をルーティングして、それぞれの送信プローブ信号１２２を発生させる。通常、送信システム１２０のデマルチプレクサ１８０は、複数の出力先のうちのいずれか１つ（例えば送信誘導コイル１１４のうちの１つ）に、単一入力信号（例えば直流電流１２８）をルーティングする。デマルチプレクサ１８０を使用することにより、効率的な電気設計が容易になり、かつ、直流電流１２８を送信誘導コイル１１４の各々に提供するために単一ソース（例えば電流源１８２）を使用することが容易になる。
送信システム１２０及び／又はデマルチプレクサ１８０は、別々の時点において別々の送信誘導コイル１１４に直流電流１２８をルーティングするよう、構成されうる。ゆえに、電子隙間ゲージ１１０は、別々の時点において送信プローブ信号１２２のうちの別々のものを発生させるよう、構成されうる。例えば、測定サイト１１８において順次送信プローブ信号１２２を発生させるために、送信誘導コイル１１４の各々には、直流電流１２８が順次送られうる。いくつかの測定サイト１１８において送信プローブ信号を発生させる一方、それ以外の測定サイトは送信プローブ信号１２２を有しないことで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の送信誘導コイル１１４同士の間のクロストークが低減しうる。デマルチプレクサ１８０は、直流電流１２８が定常に保たれている（例えば、電流源１８２が実質的に一定の直流電流１２８を発生させている）間に、送信誘導コイル１１４のうちのどれが直流電流１２８を受信するかを、切り替えるよう構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例８を特徴付け、例８は上記の例１から例７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、時分割多重化によって送信プローブ信号１２２を多重化するよう構成される。
送信システム１２０及び／又はデマルチプレクサ１８０は、直流電流１２８を送信誘導コイル１１４に送り、時分割多重化を介して、送信プローブ信号１２２を一度に１つ（又は一群）発生させるよう、構成されうる。ゆえに、同時に送信プローブ信号１２２を発生させるのは、全部よりも少ない数（例えば１つ）の送信誘導コイル１１４である。別々の時点において送信プローブ信号を発生させることで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の送信誘導コイル１１４同士の間のクロストークが低減しうる。
多重化は、単一入力（又は出力）信号を多重出力（又は入力）信号へとルーティングする切り替えスキームであり、ゆえに、一対多スイッチ（１つの入力と複数の出力）、又は多対一スイッチ（複数の入力から１つの出力）と説明されうる。時分割多重化は、時に応じて、単一入力（又は出力）信号が多重出力（又は入力）信号に接続される、多重化スキームである。具体的には、単一入力（又は出力）信号は、全ての出力（又は入力）信号が使用されてしまうまで、一定の時間にわたって１つの又は一群の出力（又は入力）信号に、次いで、次の一定時間にわたって別の１つ又は別の一群の出力（又は入力）信号に、ルーティングされる、などである。次いで、このプロセスが反復される。典型的な時分割多重化プロセスは、タイマに基づいて、単一入力（又は出力）信号を、順次、出力（又は入力）信号の各々に切り替え、それにより、出力（又は入力）信号の各々が、別々の時点において同じ時間量にわたり、接続される。
この段落の後述の記載が本開示の例９を特徴付け、例９は上記の例１から例８のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、受信誘導コイル１１６の各々向けの応答信号１２６のうちの少なくとも１つを、受信するよう構成される。
受信誘導コイル１１６の各々は、それぞれの測定サイト１１８における（送信プローブ信号１２２が間隙１４４の材料と相互作用することによる）誘導磁場に応答しうる。受信システム１２４は、測定サイト１１８に対応する、受信誘導コイル１１６の各々向けの個別の応答信号１２６を受信しうる。受信誘導コイル１１６の各々向けの応答信号１２６のうちの少なくとも１つを受信することにより、測定サイト１１８の各々における誘導磁場の相互作用を個別に判定することが、容易になる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０を特徴付け、例１０は上記の例１から例９のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６の各々は、送信システム１２４によって、個別かつ電気的にアドレスされる。
受信誘導コイル１１６を個別にアドレスすることにより、個別に、かつ／又は別々の時点において、一又は複数の応答信号１２６を受信することが可能になる。受信誘導コイル１１６は、アクティブな送信誘導コイル１１４（すなわち、送信プローブ信号１２２を発生させている送信誘導コイル１４）に対応する行、列、及び／又は領域などの群で利用されうる。追加的又は代替的には、受信誘導コイル１１６は、測定サイト１１８のうちの別々のものにおいて送信プローブ信号１２２のうちの一又は複数を（例えば順次又は連続的に）サンプリングするよう、個別かつ電気的にアドレスされうる。
受信誘導コイル１１６のうちの一又は複数（オプションで全て）を個別に利用することにより、別々の送信誘導コイル１１４、別々の受信誘導コイル１１６、及び／又は別々の測定サイト１１８同士の間のクロストークが皆無かそれに近い状態で、間隙１４４を調査することが容易になる。例えば、測定サイト１１８の各々に関して、関連付けられた送信誘導コイル１１４が、その測定サイト１１８において対応する送信プローブ信号１２２を発生させうる一方、近隣の送信誘導コイル１１４は無効化される（送信プローブ信号１２２を発生させるよう動作しない）。その測定サイト１１８に関連付けられた受信誘導コイル１１６（及び／又は、近隣の測定サイト１１８の、近隣の受信誘導コイル１１６）は、他の送信プローブ信号１２２からの有意な干渉を受けることなく動作している送信誘導コイル１１４のうちの１つからの、対応する送信プローブ信号１２２を受信するために利用されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１を特徴付け、例１１は上記の例１から例１０のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、応答信号１２６のうちの１つを、応答信号１２６のうちの別の１つとは異なる時点において受信するために、マルチプレクサ１９０を備える。
受信システム１２４のマルチプレクサ１９０は、受信システム１２４内で測定される受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つからの応答信号１２６をルーティングする。通常、受信システム１２４のマルチプレクサ１９０は、多重入力信号のうちのいずれか１つ（例えば、対応する受信誘導コイル１１６からの応答信号１２６のうちのいずれか１つ）を、単一出力信号にルーティングし、この単一出力信号は次いで、（例えばアナログデジタル変換によって、）更に処理されうる。マルチプレクサ１９０を使用することにより、効率的な電気設計が容易になり、かつ、単一組の検出用電子機器を使用して、全ての受信誘導コイル１１６からのそれぞれの応答信号１２６を検出することが容易になる。
受信システム１２４及び／又はマルチプレクサ１９０は、別々の時点において、別々の受信誘導コイル１１６からの応答信号１２６をルーティングするよう構成されうる。ゆえに、電子隙間ゲージ１１０は、別々の時点において応答信号１２６のうちの別々のものを受信するよう構成されうる。例えば、測定サイト１１８からの順次的な応答信号１２６を受信するために、受信誘導コイル１１６の各々は、マルチプレクサ１９０を介して、受信システム１２４に順次接続されうる。一部の測定サイトから応答信号１２６を受信する一方、それ以外の測定サイトは応答信号１２６を送らないことで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の受信誘導コイル１１６同士の間のクロストークが低減しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１２を特徴付け、例１２は上記の例１から例１１のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、時分割多重化によって応答信号１２６を多重化するよう構成される。
受信システム１２４及び／又はマルチプレクサ１９０は、時分割多重化を介して、受信誘導コイル１１６からの応答信号２３６を一度に１つ（又は一群）受信するよう、構成されうる。ゆえに、同時に応答信号１２６を送るのは、全部よりも少ない数（例えば１つ）の受信誘導コイル１１６である。別々の時点において応答信号を受信することで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の受信誘導コイル１１６同士の間のクロストークが低減しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１３を特徴付け、例１３は上記の例１から例１２のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４は、数が受信誘導コイル１１６に等しい。
通常、送信誘導コイル１１４は、受信誘導コイル１１６と一対一の関係性を有する。測定サイト１１８の各々は、その測定サイト１１８に、送信誘導コイル１１４のうちの１つ、及び受信誘導コイル１１６のうちの１つを有しうる。受信誘導コイル１１６の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの１つによって発生した誘導磁場を感知するよう、配置され、かつ／又は位置付けられうる。ゆえに、測定サイト１１８の各々は、単一の送信誘導コイル１１４、及び、単一の受信誘導コイル１１６を有しうる。対になっており、かつ／又は、協働して（ｉｎ ｔａｎｄｅｍ）機能するよう構成されている、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６により、（例えば、送信システム１２０及び受信システム１２４の中の）送信用及び受信用の電子機器、並びに、（主に、対の及び／又は協働する送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６に関して、応答信号１２６を送信プローブ信号１２２と比較することによる、）離隔距離１３４の判定が、単純化されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１４を特徴付け、例１４は上記の例１から例１３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２の送信誘導コイル１１４の間に散在している。
送信誘導コイル１１４は、間隙１４４内の離間した測定サイト１１８を調査するために、センサブレード内で離間していることがある。受信誘導コイル１１６は、通常、測定サイト１１８の、関連付けられた送信誘導コイル１１４の近位にある。受信誘導コイル１１６は、送信誘導コイル１１４によって占められていないスペースに、送信誘導コイル１１４と対配置（ｃｏ−ｌｏｃａｔｅ）されてよく、ゆえに、送信誘導コイル１１４の間に散在しうる。送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とを対配置すること、及び／又は散在させることで、測定サイト１１８がよりコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２（例えば、ブレード平面１５６の面積、ブレード厚さ１５８、及び／又はセンサブレード１１２の体積）がよりコンパクトになる。測定サイト１１８がよりコンパクトになることで、センサブレード１１２におけるより高密度の測定サイト１１８、ひいては、間隙１４４内の離隔距離１３４のより高精度な判定が、可能になる。
対配置された、かつ／又は散在している受信誘導コイル１１６は、送信誘導コイル１１４の上、下、及び／又は側方に配置されうる。例えば、受信誘導コイル１１６及び送信誘導コイルは、（図５の例に示すように）別々のコイル層１５４内に、又は、同じコイル層１５４内に、配置されうる。追加的又は代替的には、対配置された、かつ／又は散在している受信誘導コイル１１６は、（例えば図６の例に示すように、）少なくとも部分的に、送信誘導コイル１１４によって占められたエリア内に配置されうるか、又はその逆でありうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１５を特徴付け、例１５は上記の例１から例１４のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２において送信誘導コイル１１４と互いに組み合わされる。
受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とは、例えば図６の例に示すように、センサブレード１１２において互いに組み合わされうる。受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とを互いに組み合わせることで、測定サイト１１８がよりコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２（例えば、ブレード平面１５６の面積、ブレード厚さ１５８、及び／又はセンサブレード１１２の体積）がよりコンパクトになる。測定サイト１１８がよりコンパクトになることで、センサブレード１１２における、より高密度の測定サイト１１８、ひいては、間隙１４４内の離隔距離１３４のより精密な判定が、可能になる。
互いに組み合わされた受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４は、密接な関係性で、典型的には、測定サイト１１８の各々における受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４との対で、互いに組み合わされている。互いに組み合わされた誘導コイルは、１つのコイルが別のコイルの隣に配置され、１つのコイルが別のコイルを取り囲み、かつ／又は、１つのコイルが別のコイルを部分的に取り囲むものでありうる（例えば、図６の送信誘導コイル１１４は図６の受信誘導コイル１１６を部分的に取り囲んでいる）。互いに組み合わされた誘導コイルは、互いに、絡み合い、挟み込まれ、織り込まれ、かつ／又は、内部に散在しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１６を特徴付け、例１６は上記の例１から例１５のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つは、センサブレード１１２の送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つと重複する。
受信誘導コイル１１６の一部又は全部が、送信誘導コイル１１４の一部又は全部と重複しうる。受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とが重複することで、測定サイト１１８がよりコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２（例えば、ブレード平面１５６の面積、ブレード厚さ１５８、及び／又はセンサブレード１１２の体積）がよりコンパクトになる。測定サイト１１８がよりコンパクトになることで、センサブレード１１２における、より高密度の測定サイト１１８、ひいては、間隙１４４内の離隔距離１３４のより精密な判定が、可能になる。
受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とは、センサブレード１１２のブレード平面１５６の内で重複する。重複している受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４は、通常、図５の例に示すように、ブレード厚さ１５８の方向に離間しており、かつ、別々のコイル層１５４の中にありうる。受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４は、重複領域１４８で重複する。重複領域１４８は、通常、測定サイト１１８にある。
この段落の後述の記載が本開示の例１７を特徴付け、例１７は上記の例１６による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６の各々は、センサブレード１１２において送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つと重複する。
全ての受信誘導コイル１１６が、対応する送信誘導コイル１１４と重複することもある。全ての受信誘導コイル１１６を各々、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つと重複させることで、一部の受信誘導コイル１１６のみが送信誘導コイル１１４と重複する場合と比べて、測定サイト１１８の全てがコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２が更にコンパクトになる。
この段落の後述の記載が本開示の例１８を特徴付け、例１８は上記の例１から例１７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つと送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つは、重複領域１４８で重複し、かつ、重複領域１４８において一又は複数の誘電体層１５０によって分離される。
少なくとも、受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４が重複するところでは（すなわち重複領域１４８において）、受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４との直接的な電気接続を回避するために、受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とが分離される。誘電体層１５０（図５の例に示す）は、センサブレード１１２の電気絶縁層である。誘電体層１５０の数が多くなることで、１つの誘電体層１５０よりも、電気的隔離、及び／又は絶縁破壊に抗する強さが、増大しうる。誘電体層１５０は通常、非常に薄い（例えば、厚さが１００μｍ（ミクロン）未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）。誘電体層１５０は、通常、センサブレード１１２が屈曲した後にも誘電完全性を維持するのに十分な弾力を有する。
この段落の後述の記載が本開示の例１９を特徴付け、例１９は上記の例１から例１８のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とは、一又は複数の誘電体層１５０によって分離される。
通常、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とは、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６との直接的な電気接続を回避するために、分離されうる。誘電体層１５０の数が多くなることで、１つの誘電体層１５０の電気的隔離、及び／又は絶縁破壊に抗する強さが、増大しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例２０を特徴付け、例２０は上記の例１９による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とは、一又は複数の誘電体層１５０のうちの１つの両側に形成される。
誘電体層１５０は各々、電気機械構造物を支持しうる基板でありうる。例えば、電子回路素子が、誘電体層１５０に堆積され、スクリーン印刷され、エッチングされ、かつ／又は、成型されうる。送信誘導コイル１１４及び／又は受信誘導コイル１１６は、同じ又は別々の誘電体層１５０に形成されうる。一部の例では、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６が、センサブレード１１２に必要な層の総数を減少させるため、センサブレード１１２の製造を単純化するため、及び／又は、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６との位置合わせ（相対配置）を単純化するために、誘電体層１５０のうちの１つの両側に形成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例２１を特徴付け、例２１は上記の例１から例２０のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２内の別々の層の中に配置される。
送信誘導コイル１１４の製造、受信誘導コイル１１６の製造、及び／又はセンサブレード１１２の製造を単純化するために、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２内の別々の層に作製され、かつ／又は、かかる層の中に配置されうる。例えば、図５に示しているように、送信誘導コイル１１４が１つのコイル層１５４の中に配置されてよく、受信誘導コイル１１６は別のコイル層１５４の中に配置されうる。コイル層１５４の各々は、個別に作製され、次いで一緒になるように積層されて、センサブレード１１２を形成しうる。コイル層１５４は、送信誘導コイル１１４及び／又は受信誘導コイル１１６の各々の間及び／又は周囲に、誘電体材料を含みうる。コイル層１５４は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６が互いから電気的に隔離されたままである限り、誘電体層１５０の介在を伴って、又は伴わずに、一緒になるように積層されうる。コイル層１５４は非常に薄い（例えば、厚さが１００μｍ未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）。コイル層１５４は、通常、センサブレード１１２が屈曲した後にも、送信誘導コイル１１４及び／又は受信誘導コイル１１６の完全性を維持するのに十分な弾力を有する。
この段落の後述の記載が本開示の例２２を特徴付け、例２２は上記の例１から例２１のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４はグラフェンを含む。
送信誘導コイル１１４は、コイル構成に形成された導電性材料を有する電気回路素子である。送信誘導コイル１１４は、通常、マイクロエレクトロニクスデバイスであり、かつ通常、基板の表面上又は内部の非常に薄い層（例えば、層の厚さが１００μｍ未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）に形成される。グラフェンは、層の中に形成されうる、非常に薄い導電形態のカーボンであり、典型的には、単一原子の厚さしかない。グラフェンの送信誘導コイル１１４を形成することにより、薄い送信誘導コイル１１４、薄いコイル層１５４、及び／又は、薄いセンサブレード１１２が可能になり、これにより、高密度の送信誘導コイル１１４、及び／又は、薄い間隙１４４（例えば、厚さが平均１０μｍ未満、１μｍ未満、又は０．１μｍ未満）の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例２３を特徴付け、例２３は上記の例１から例２２のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６はグラフェンを含む。
受信誘導コイル１１６は、コイル構成に形成された導電性材料を有する電気回路素子である。受信誘導コイル１１６は、通常、マイクロエレクトロニクスデバイスであり、かつ通常、基板の表面上又は内部の非常に薄い層（例えば、層の厚さが１００μｍ未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）に形成される。グラフェンの受信誘導コイル１１６を形成することにより、薄い受信誘導コイル１１６、薄いコイル層１５４、及び／又は、薄いセンサブレード１１２が可能になり、これにより、高密度の受信誘導コイル１１６、及び／又は、薄い間隙１４４の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例２４を特徴付け、例２４は上記の例１から例２３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４は螺旋状平面インダクタである。
螺旋状平面インダクタは薄層内に形成されてよく、これにより、高密度の送信誘導コイル１１４、及び／又は、薄い間隙１４４の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。螺旋状平面インダクタは、平面的な螺旋形状を有する電気的インダクタである。螺旋状平面インダクタの２つの例を、図６に概略的に示している。図６の受信誘導コイル１１６は、単純な幾何形状（図６の例では長方形：他の一般的な形状は、円形、楕円形、長方形、及び凸多角形である）をたどって、共通中心の周囲で螺旋状になっている電気トレースを伴う、典型的な平面螺旋形状を有する。図６の送信誘導コイル１１４は、平面的な凹螺旋形状であって、その内側で、電気トレースが、凹多角形をたどって共通中心の周囲で螺旋状になっている、形状を有する。螺旋状平面インダクタは、パンケーキインダクタと称されることもある。
この段落の後述の記載が本開示の例２５を特徴付け、例２５は上記の例１から例２４のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６は螺旋状平面インダクタである。
螺旋状平面インダクタは薄層内に形成されてよく、これにより、高密度の受信誘導コイル１１６、及び／又は、薄い間隙１４４の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例２６を特徴付け、例２６は上記の例１から例２５のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６を覆う、外側保護層１５２を備える。
図５の例に示しているように、外側保護層１５２は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６を、機械的接触、電気的接触、及び／又は環境の影響から隔離する。例えば、外側保護層１５２は、丈夫であり（ｒｕｇｇｅｄ）、耐摩耗性であり、防水性であり、かつ／又は気密性でありうる。外側保護層１５２は、センサブレード１１２と同様に、半可撓性であってよく、かつ／又は、センサブレード１１２が間隙１４４内に挿入される時に発生しうる屈曲に耐えることが可能でありうる。外側保護層１５２は、ポリウレタン材料及び／又は、傷つきにくい強化ガラス（例えば、ＧＯＲＩＬＬＡ ＧＬＡＳＳ（登録商標）ガラス）の半可撓性コーティングを含んでよく、かつ／又は、かかるコーティングでありうる。センサブレード１１２は、環境に曝露される縁部及び／又は表面の全てに、外側保護層１５２を備えうる。通常、外側保護層１５２は、非常に薄い（例えば、１ｍｍ未満、０．１ｍｍ未満、又は０．０１ｍｍ未満）。
この段落の後述の記載が本開示の例２７を特徴付け、例２７は上記の例１から例２６のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４の各々は、１平方センチメートル未満であり１００平方ミクロンを上回る、横方向面積を有する。
送信誘導コイル１１４が小さいこと（１平方センチメートル未満の横方向面積を有する）により、測定サイト１１８を小さくすること、及び／又は、離隔距離１３４の高精度測定が、可能になる。送信誘導コイル１１４の横方向面積は、センサブレード１１２のブレード平面１５６における送信誘導コイル１１４の面積である。
この段落の後述の記載が本開示の例２８を特徴付け、例２８は上記の例１から例２７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６の各々は、１平方センチメートル未満であり１００平方ミクロンを上回る、横方向面積を有する。
受信誘導コイル１１６が小さいこと（１平方センチメートル未満の横方向面積を有する）により、測定サイト１１８を小さくすること、及び／又は、離隔距離１３４の高精度測定が、可能になる。受信コイル１１６の横方向面積は、センサブレード１１２のブレード平面１５６における受信誘導コイル１１６の面積である。
この段落の後述の記載が本開示の例２９を特徴付け、例２９は上記の例１から例２８のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２は、１平方センチメートル当たりの測定サイト１１８の数が１つを上回り、かつ、１平方センチメートル当たりの測定サイト１１８の数が１，０００，０００を下回る密度で、少なくとも１０００の測定サイト１１８を有する。
電子隙間ゲージ１１０は、間隙１４４の高精度の厚さマップを提供するために、高密度の測定サイト１１８、及び／又は、多数の測定サイト１１８を有しうる。センサブレード１１２は、アクティブな表面積（測定サイト１１８を含む表面積）、及び／又は、典型的な間隙１４４と同程度の幅を有しうる。ゆえに、センサブレード１１２は、１０ｃｍ２（平方センチメートル）を上回る、又は５０ｃｍ２を上回る、アクティブな表面積を有しうる。センサブレード１１２は、１ｃｍを上回る、５ｃｍを上回る、又は２０ｃｍを上回る、幅を有しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３０を特徴付け、例３０は上記の例１から例２９のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２は、０．５ｍｍ未満であり０．００１ｍｍを上回る、厚さを有する。
センサブレード１１２は、広範なサイズの間隙１４４内に適合するのに十分なほど、薄いものでありうる。センサブレード１１２は、薄い（例えば０．５ｍｍほどの）間隙１４４内に適合し、かつ／又は、かかる間隙１４４を測定するのに十分なほど、薄いものでありうる。センサブレード１１２は、間隙１４４の中のシム１７０の周囲の残空間内に適合し、かつ／又は、かかる残空間を測定するのに十分なほど、薄いものでありうる。航空宇宙産業においては、部品同士の相対位置の許容誤差が０．０５インチ（約１ｍｍ）未満であることがあり、したがって、間隙１４４及び／又は残空間は１ｍｍ未満になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３１を特徴付け、例３１は上記の例１から例３０のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、電子隙間ゲージ１１０は、受信システム１２４に動作可能に連結されている演算システム１６０を更に備える。
演算システム１６０は、通常、送信システム１２０及び／又は受信システム１２４を制御するよう設定（例えばプログラミング）される。演算システム１６０は、送信誘導コイル１１４で送信プローブ信号１２２を生成すること、受信誘導コイル１１６で応答信号１２６を受信すること、及び／又は、離隔距離１３４を判定することを、コーディネートしうる。
演算システム１６０は、一又は複数の電子通信リンクによって、送信システム１２０及び／又は受信システム１２４に動作可能に連結されうる。演算システム１６０は、コンピュータ（例えば、プロセッサ及びメモリを備えるもの）、及び／又は専用ハードウェアを備えてよく、かつ／又は、かかるコンピュータ及び／又は専用ハードウェアでありうる。演算システム１６０は、ソフトウェア、ファームウェア、及び／又はハードウェアで、その機能（例えば、送信プローブ信号１２２の生成を制御すること、応答信号１２６の受信を制御すること、及び／又は、離隔距離１３４を判定すること）を実装しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３２を特徴付け、例３２は上記の例３１による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、応答信号１２６及び測定サイト１１８に基づいて、センサブレード１１２によって調査された間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２を生成するよう設定される。
３Ｄ仮想モデル１６２は、電子隙間ゲージ１１０及びセンサブレード１１２によって調査された間隙１４４を表すものであり、間隙１４４解析するため、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を選択するため、及び／又は、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を作り出すために、使用されうる。３Ｄ仮想モデル１６２は、間隙１４４の容積、表面積、及び／又は形状を判定するために使用されうる。間隙１４４の正確な表現（３Ｄ仮想モデル１６２など）によって、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０のサイズ及び形状の判定が、正確に導かれる。
演算システム１６０は、測定サイト１１８において判定された離隔距離１３４に基づいて、３Ｄ仮想モデル１６２を生成するよう設定される。演算システム１６０は、応答信号１２６及び／又は送信プローブ信号１２２に基づいて、離隔距離１３４を判定するよう設定されうる。追加的又は代替的には、演算システム１６０は、応答信号１２６及び／又は送信プローブ信号１２２に基づいて判定された離隔距離１３４を、（例えば受信システム１２４から）受信しうる。３Ｄ仮想モデル１６２は、点群、多角形メッシュ、及び／又は３Ｄ表現（例えば、表面テッセレーション（ｔｅｓｓｅｌｌａｔｉｏｎ）、３Ｄワイヤフレーム、３Ｄ立体、又は３Ｄ境界表現）でありうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３３を特徴付け、例３３は上記の例３２による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、候補シムの寸法を間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２と比較することによって、間隙１４４内に挿入されるのに好適なシム１７０を特定するよう設定される。
演算システム１６０は、候補シムの寸法を記憶し、かつ／又は、候補シムの寸法を提供されうる。どの一又は複数の候補シムが間隙１４４を充填するのに好適であるかを特定するために、候補シムの寸法が３Ｄ仮想モデル１６２と比較されうる。例えば、図３では、３つのシム１７０が配置されて、間隙１４４を一緒に充填している。
演算システム１６０は、間隙１４４を充填する候補シムの集積から一又は複数の好適なシム１７０を特定するよう、設定されうる。演算システム１６０は、各々が好適でありうるいくつかの個別の候補シムを特定し、オプションでランク付けするよう、設定されうる。演算システム１６０は、間隙１４４を充填するのに一緒に使用されうる候補シムの群を特定するよう設定されうる（ゆえに、候補シムのこの群は共に、好適なシム１７０となる）。加えて、演算システム１６０は、間隙１４４内に候補シムの群を配置する、順序及び／又はパターンを特定しうる。シム１７０は、黄銅、アルミニウム、チタニウム、及び複合材料（例えば繊維ガラス）などの好適な構造材料で形成されうる。
一又は複数の好適なシム１７０を特定することは、間隙１４４内へのシム１７０の取り付けに役立つ。技術員が、好適なシムが見つかるまでシム１７０の試し適合を行う必要がなくなるからである。追加的又は代替的には、適切な配向、順序、及び／又は配置でのシム１７０の取り付けに役立てるために、好適なシム１７０の配向、順序、及び／又は配置が、演算システム１６０によって特定されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３４を特徴付け、例３４は上記の例３２又は例３３による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、ディスプレイ１６４を備えており、かつ、ディスプレイ１６４で間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２の画像を見えるようにするよう設定される。
３Ｄ仮想モデル１６２の画像を見えるようにすることは、間隙１４４が成功裏に測定されたことの作業員による検証に役立ちうる。追加的又は代替的には、３Ｄ仮想モデル１６２の画像は、間隙１４４を充填するために使用するのに好適なシム１７０を特定し、かつ／又は検証するために使用されうる。
通常、作業員が表示をズームし、回転させて、３Ｄ仮想モデル１６２の種々の見え方を視認しうるように、演算システム１６０は、３Ｄ仮想モデル１６２を相互作用的に表示するよう設定される。演算システム１６０は、ディスプレイ１６４で候補シム及び／又は好適なシム１７０の画像を見えるようにするよう設定されてよく、かつ、比較可能な画像（例えば、オーバーレイ画像、隣り合って並べた画像など）を表示するよう設定されうる。ディスプレイ１６４は、ＬＥＤディスプレイ、ＬＣＤディスプレイなどといった電子視覚ディスプレイである。
この段落の後述の記載が本開示の例３５を特徴付け、例３５は上記の例３１から例３４のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、応答信号１２６に基づいて離隔距離信号１３４を判定するようよう設定される。離隔距離１３４は、第１被加工物１３６の第１表面１４０と第２被加工物１３８の第２表面１４２との間の、センサブレード１１２の測定サイト１１８におけるものである。
演算システム１６０は、測定サイト１１８の各々に対応する応答信号１２６及び／又は送信プローブ信号１２２に基づいて、離隔距離１３４を判定するよう設定される。応答信号１２６は、測定サイトにおける電磁場（例えば送信プローブ信号１２２）の存在及び／又は特性にしたがって生成される。第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の材料の場所及び組成が、（第１被加工物１３６の）第１表面１４０と（第２被加工物１３８の）第２表面１４２との間の測定サイト１１８からの応答信号１２６に影響する。測定サイト１１８の各々について、離隔距離１３４を判定するために、測定された応答信号１２６が、応答信号の校正された値及び／又はモデルと比較されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３６を特徴付け、例３６は上記の例３５による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、候補シムの寸法を測定サイト１１８における離隔距離１３４と比較することによって、センサブレード１１２により調査された間隙１４４内に挿入されるのに好適なシム１７０を特定するよう設定される。
演算システム１６０は、候補シムの寸法を記憶し、かつ／又は、候補シムの寸法を提供されうる。どの一又は複数の候補シムが間隙１４４を充填するのに好適であるかを特定するために、候補シムの寸法が、測定サイト１１８における離隔距離１３４と比較されうる。演算システム１６０は、間隙１４４を充填する候補シムの集まりから一又は複数の好適なシム１７０を特定するよう、設定されうる。演算システム１６０は、各々が好適でありうるいくつかの個別の候補シムを特定し、オプションでランク付けするよう、設定されうる。演算システム１６０は、間隙１４４を充填するために一緒に使用されうる候補シムの群を特定するよう設定されうる（ゆえに、候補シムのこの群は共に、好適なシム１７０となる）。加えて、演算システム１６０は、間隙１４４内に候補シムの群を配置する、順序及び／又はパターンを特定しうる。
一又は複数の好適なシム１７０を特定することは、間隙１４４の中へのシム１７０の設置に役立つ。技術員が、好適なシムが見つかるまでシム１７０の試し嵌合を行う必要がなくなるからである。追加的又は代替的には、適切な配向、順序、及び／又は配置でのシム１７０の取り付けに役立てるために、好適なシム１７０の配向、順序、及び／又は配置が、演算システム１６０によって特定されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３７を特徴付け、例３７は上記の例３５又は例３６による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、ディスプレイ１６４を備え、かつ、ディスプレイ１６４に測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像を表示するよう設定される。
離隔距離１３４の画像を表示することは、間隙１４４が成功裏に測定されたことの作業員による検証に役立ちうる。追加的又は代替的には、離隔距離１３４の画像は、間隙１４４を充填するために使用するのに好適なシム１７０を特定し、かつ／又は検証するために使用されうる。
測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像は、グラフ、表、線プロファイル、表面プロファイル、多角形メッシュ、及び／又は空間レンダリングの形態でありうる。例えば、測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像は、各棒が測定サイト１１８のうちの１つにおける１つの離隔距離１３４を表している二次元棒グラフであってよく、各棒は、測定サイト１１８の２次元構成を表すよう配置されうる。
作業員が表示をズームし、回転させて、離隔距離１３４の種々の見え方を視認しうるように、演算システム１６０は、離隔距離１３４を相互作用的に表示するよう設定されうる。演算システム１６０は、ディスプレイ１６４で候補シム及び／又は好適なシム１７０の画像及び／又は寸法を見えるようにするよう設定されてよく、かつ、比較可能な画像（例えば、オーバーレイ画像、隣り合って並べた画像など）を表示するよう設定されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例３８を特徴付け、例３８は上記の例３１から例３７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０及び受信システム１２４は、無線で通信するよう構成される。
演算システム１６０と受信システム１２４との間の無線通信により、受信システム１２４の遠隔操作及び／又は電子隙間ゲージ１１０のモジュール設計が容易になる。例えば、演算システム１６０は、受信システム１２４から物理的に分離されているか、又は分離可能でありうる。好適な無線通信のプロトコル及び技術は、赤外通信、無線（ｒａｄｉｏ）通信、ＷＩ−ＦＩ（登録商標）プロトコル、及びＢＬＵＥＴＯＯＴＨ（登録商標）プロトコルを含む。
この段落の後述の記載が本開示の例３９を特徴付け、例３９は上記の例３１から例３８のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２、送信システム１２０、及び受信システム１２４は、携帯式プローブ１７２の各部分である。演算システム１６０は、携帯式プローブ１７２に電力を無線で供給するよう設定される。
演算システム１６０と携帯式プローブ１７２との間の無線電力伝達により、携帯式プローブ１７２の遠隔操作及び／又は電子隙間ゲージ１１０のモジュール設計が容易になる。無線電力伝達を有することで、携帯式プローブ１７２は、無線電力伝達を利用しない電子隙間ゲージ１１０と比較して、電力ケーブルを伴わずにより小さなパッケージで生産されうる。無線電力伝達は、誘導充電（誘導結合した構成要素）によって、容量充電（容量結合した構成要素）によって、及び／又は、照射充電によって（例えば、電波エネルギー、マイクロ波エネルギー、レーザエネルギーなどのビームの伝達によって）、実施されうる。
図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、電子隙間ゲージ１１０が開示されている。電子隙間ゲージ１１０は、センサブレード１１２、送信システム１２０、及び受信システム１２４を備える。センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４、受信誘導コイル１１６、及び、センサブレード１１２に関する二次元において離間している測定サイト１１８を備える。測定サイト１１８の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つ、及び、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つに、関連付けられる。送信システム１２０は、送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を発生させるために、送信誘導コイル１１４の端から端まで変調信号１３０を通すよう構成される。受信システム１２４は、送信プローブ信号１２２による応答信号１２６を受信誘導コイル１１６から受信するよう構成される。この段落の前述の記載が、本開示の例４０を特徴付けている。
例４０に明記した電子隙間ゲージ１１０の使用により、三次元で、（第１被加工物１３６の）第１表面１４０と（第２被加工物１３８の）第２表面１４２との間の間隙１４４を測定することが可能になる。（センサブレード１１２に関する二次元において離間している）測定サイト１１８は、センサブレード１１２が少なくとも部分的に間隙１４４内にある状態で、それぞれの測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４を測定するよう構成される。測定サイト１１８は通常、センサブレード１１２の端から端までの二次元アレイを形成する。
（二次元方向に離間している）測定サイト１１８の各々における間隙１４４の厚さ（間隙１４４の間隔とも称される）は、間隙１４４を横切る、及び間隙１４４に沿った（すなわち、間隙１４４の幅寸法及び深さ寸法の）、間隙１４４の厚さマップを提供するために測定されうる。測定サイト１１８における離隔距離１３４の厚さマップは、間隙１４４の三次元マップである。間隙１４４の厚さマップは、間隙１４４を正確に充填する、かつ／又は、一又は複数の寸法が不均一な、シム１７０を作り出しかつ／又は選択するために、使用されうる。追加的又は代替的には、間隙１４４の厚さマップは、嵌合された構成要素が適切に位置合わせされ、かつ／又は適合していることを検証するために、使用されうる。航空宇宙構造物の構成要素を、（シムを伴って、又は伴わずに）正確に位置合わせすること、及び／又は適合させることにより、構造物の信頼性が高く効率的な構築、及び、構造物の信頼性の高い動作が容易になる。
測定サイト１１８は各々、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つ、及び、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つに、関連付けられる。典型的には、測定サイト１１８の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの１つ、及び受信誘導コイル１１６のうちの１つに、関連付けられる。関連付けられた送信誘導コイル１１４の各々は、関連付けられた測定サイト１１８において送信プローブ信号１２２のうちの１つを発生させるよう構成される。関連付けられた受信誘導コイル１１６の各々は、関連付けられた測定サイト１１８において応答信号１２６のうちの１つを受信するよう構成される。
センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６を備える、剛性又は半可撓性の構造物でありうる。剛性のセンサブレード１１２は、小さな間隙１１４内に適合すること、特定された角度で間隙１１４内に適合すること、並びに／又は、間隙１１４内での座屈及び／又は屈曲に抗することに、有用でありうる。半可撓性のセンサブレード１１２は、間隙１１４に適応すること、及び／又は、入り組んだ形状の間隙１１４内に適合することに、有用でありうる。半可撓性のセンサブレード１１２は、間隙１１４の中での座屈及び／又は屈曲を回避するのに十分な程度剛性であり、かつ／又は、間隙１４４内の凸状及び／又は凹状の表面に適応するのに十分な程度可撓性でありうる。センサブレード１１２は、薄型のストリップ、シート、及び／又は膜の形状を有しうる。図２に示しているように、センサブレード１１２は、ブレード平面１５６及びブレード厚さ１５８を有する。
送信システム１２０、送信誘導コイル１１４、受信システム１２４、及び受信誘導コイル１１６は、電気誘導によって、間隙１４４、第１表面１４０、及び／又は第２表面１４２を調査し、感知するよう構成される。ゆえに、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６は、各々が特有のインダクタンスを有する誘導コイルである。
離隔距離１３４を判定するために電気誘導を使用することにより、間隙１４４の寸法の非接触感知が可能になる。例えば、センサブレード１１２は、間隙１４４の測定中に、第１表面１４０又は第２表面１４２のいずれにも接触する必要がない。離隔距離１３４を判定するための電気誘導の使用は、他の電気的感知技術（静電容量を感知することなど）と比べて、電気的ノイズ、環境の影響、及び／又は表面汚染の存在に対してより強いものでありうる。離隔距離１３４を判定するための電気誘導の使用は、光学的感知技術と比べても、表面仕上げの変動及び表面汚染に対してより強いものでありうる。
送信誘導コイル１１４は、送信システム１２０により送信誘導コイル１１４の端から端まで通されうる変調信号１３０にしたがって、送信プローブ信号１２２を送信するよう構成される。変調信号１３０は、周波数、波形、振幅、変調、及び／又は位相といった特有の時間構造を有する、交流電流信号（ＡＣ信号）である。変調信号１３０はオンまたはオフにすることが可能であり、変調信号の特性は、（例えば、変調信号１３０の印加と印加の間で、かつ／又は、測定サイト１１８間で）調整されうる。送信プローブ信号１２２は、センサブレード１１２を越えて延在する誘導電磁場（ＡＣ磁場）である。
送信プローブ信号１２２と第１表面１４０及び／又は第２表面１４２の一又は複数の材料との相互作用により、送信プローブ信号１２２の一又は複数の特性が、（相互作用がない場合と比べて）変化する。この相互作用は、材料（複数可）の場所、及び／又は、導電率や磁化率といった材料（複数可）の特性にしたがって、送信プローブ信号１２２の増強、減衰、及び／又は変位を引き起こしうる。
受信誘導コイル１１６は、送信プローブ信号１２２と第１表面１４０及び／又は第２表面１４２の材料（複数可）との相互作用による、応答信号１２６を受信するよう構成される。受信誘導コイル１１６は、誘導によって、電磁場に感応し、電磁場を感知する。受信誘導コイル１１６は、電磁場の存在下で、電磁場がオンまたはオフにされることに応じて、電磁場の時変的特性（例えば振動場）に応じて、電磁場の動きに応じて、電磁波内での材料の動きに応じて、かつ／又は、間隙１１４に対するセンサブレード１１２の動きに応じて、電流及び／又は電圧を発生させうる。
送信プローブ信号１２２と応答信号１２６との比較が、材料（例えば第１表面１４０及び／又は第２表面１４２）の存在又は不存在、及び／又は、材料間の距離（例えば、第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４）を、判定するために利用されうる。通常、離隔距離１３４の測定値は、測定サイト１１８における、応答信号１２６に基づく、及び／又は応答信号１２６と送信プローブ信号１２２との比較に基づく、測定サイト１１８における測定値である。
送信プローブ信号１２２及び測定された間隙距離（厚さ）は、通常、第１表面１４０と第２表面１４２との間のものである。一部の例では、送信プローブ信号１２２及び／又は測定された間隙距離は、センサブレード１１２と第１表面との間、及び／又は、センサブレード１１２と第２表面との間のものでありうる。例えば、電子隙間ゲージ１１０及び／又はセンサブレード１１２は、センサブレード１１２と第１表面１４０との間の間隙距離を測定するよう構成され、かつ、センサブレード１１２で第２表面１４２に接触するよう構成されうる。かかる構成において、離隔距離１３４は、測定された間隙距離にセンサブレード１１２のブレード厚さ１５８を加えたものとなる。別の例としては、電子隙間ゲージ１１０及び／又はセンサブレード１１２は、センサブレード１１２と第１表面１４０との間の間隙距離（第１間隙距離）と、センサブレード１１２と第２表面１４２との間の間隙距離（第２間隙距離）とを、個別に測定するよう構成されうる。かかる構成において、離隔距離１３４は、測定された（第１と第２の）間隙距離にセンサブレード１１２のブレード厚さ１５８を加えたものとなる。送信誘導コイル１１４、受信誘導コイル１１６、及び／又は測定サイト１１８は、第１表面１４０と第２表面１４２の一方又は両方に関連付けられうる。
この段落の後述の記載が本開示の例４１を特徴付け、例４１は上記の例４０による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、変調信号１３０を発生させるよう構成された、信号発生装置１８４を備える。
信号発生装置１８４は、送信誘導コイル１１４の各々が送信プローブ信号１２２を発生させるための、変調信号１３０（ＡＣ電気信号）を発生させる。信号発生装置１８４は、ＡＣ電圧及び／又は電流信号を提供するために、発振器及び／又は波形発生装置を含みうる。信号発生装置１８４は、周波数、波形、振幅、変調、及び／又は位相といった特有の時間属性を有する、変調信号１３０を発生させるよう構成される。信号発生装置１８４は、変調信号１３０の時間属性を制御し、調節し、かつ／又は変動させるよう構成されうる。信号発生装置１８４は、送信誘導コイル１１４の各々に変調信号１３０を送るよう構成されてよく、かつ、送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数に同時に変調信号１３０を送るよう構成されうる。通常、信号発生装置１８４は、低インピーダンス電路を用いて送信誘導コイル１１４に接続される。変調信号１３０の一又は複数の周波数におけるインピーダンスの低さ（例えば、１００オーム未満の大きさ（ｍａｇｎｉｔｕｄｅ））により、変調信号１３０の効率的な電送が容易になる。
信号発生装置１８４は、間隙１４４の第１表面１４０及び第２表面１４２の材料と相互作用する送信プローブ信号１２２（変調された電磁放射）を生成するのに好適な周波数を伴う変調信号１３０を生成するよう、構成されうる（そして、変調信号１３０はかかる周波数を有しうる）。変調された電磁放射のより低い周波数（例えば、１００ｋＨｚ（キロヘルツ）未満、１ｋＨｚ未満、又は０．１ｋＨｚ未満）は、第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の中により深く入り込みうる。周波数が高く（例えば、０．１ＭＨｚ（メガヘルツ）を上回る、１０ＭＨｚを上回る、又は１，０００ＭＨｚを上回るような、マイクロ波周波数又は無線周波数（ＲＦ））なれば、第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の表面相互作用が強化されうる。通常、周波数は１Ｈｚ（ヘルツ）を上回り、かつ１，０００ＧＨｚ（ギガヘルツ）未満である。
この段落の後述の記載が本開示の例４２を特徴付け、例４２は上記の例４０又は例４１による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、周波数分割多重化によって送信プローブ信号１２２を多重化するよう構成される。
送信システム１２０及び／又はデマルチプレクサ１８０は、変調信号１３０を送信誘導コイル１１４に送り、周波数分割多重化を介して送信プローブ信号１２２を生成するよう、構成されうる。ゆえに、変調信号１３０のうちの少なくとも１つは、変調信号１３０のうちの他の少なくとも１つとは異なる周波数を有しうる。同様に、送信プローブ信号１２２のうちの少なくとも１つは、送信プローブ信号１２２のうちの他の少なくとも１つとは異なる周波数を有しうる。追加的又は代替的には、送信誘導コイル１１４は選択された周波数に応答してよく、かつ／又は、別の送信誘導コイル１１４は別の周波数に応答しうる。例えば、送信誘導コイル１１４は共振してよく、かつ／又は、別の送信誘導コイル１１４は別の共振周波数ピークを有しうる。
別々の周波数を有する複数の変調信号１３０（及び送信プローブ信号１２２）は、別々の測定サイト１１８における変調信号１３０（及び送信プローブ信号１２２）間に著しいクロストークがない状態で、同時に複数の送信誘導コイル１１４に送られ（複数の送信誘導コイル１１４によって生成され）うる。
周波数分割多重化は、単一入力（又は出力）信号が、同時にアクティブになり、かつ各々が異なる周波数を有する、多重出力（又は入力）信号に接続される、多重化スキームである。具体的には、単一入力（又は出力）信号（例えば電流振幅）は、出力（又は入力）信号の群の各々ごとに異なる周波数で、変調される（又は復調される）。典型的な周波数分割多重化プロセスでは、重複しない周波数範囲で変調された出力信号の各々に単一入力信号が伝わり、それにより、出力信号の各々が異なる周波数を有する。逆に、典型的な周波数分割多重化プロセスでは、異なる周波数の多重入力信号の各々が同時に受信され、これらの入力信号の各々が復調されて、入力を組み合わせたものである一出力が発生する。この出力は、時分割多重化されうる（すなわち、復調された入力信号の各々が出力信号内に順次伝わりうる）か、並列でありうる（すなわち、復調された入力信号の各々が、異なる物理的チャネルを介して出力信号内に伝わりうる）か、又は、混合されうる（例えば、復調された入力信号がアナログになるか、若しくは、出力信号を発生させるためにデジタル的に混合される）。
この段落の後述の記載が本開示の例４３を特徴付け、例４３は上記の例４０から例４２のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、周波数分割多重化によって応答信号１２６を多重化するよう構成される。
受信システム１２４及び／又はマルチプレクサ１９０は、周波数分割多重化を介して、２つ以上の受信誘導コイル１１６から同時に応答信号１２６を受信するよう、構成されうる。ゆえに、応答信号１２６のうちの少なくとも１つは、応答信号１２６のうちの他の少なくとも１つとは異なる周波数を有しうる。追加的又は代替的には、受信コイル１１６は選択された周波数に応答してよく、かつ／又は、別の受信誘導コイル１１６は別の周波数に応答しうる。例えば、受信誘導コイル１１６は共振してよく、かつ／又は、別の受信誘導コイル１１６は別の共振周波数ピークを有しうる。
複数の応答信号１２６を別々の周波数で受信することで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の受信誘導コイル１１６同士の間のクロストークが低減しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例４４を特徴付け、例４４は上記の例４０から例４３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信プローブ信号１２２は静的交流電磁場である。
送信プローブ信号１２２は、静的な（すなわち定常の）誘導交流電磁場（静的なＡＣ磁場）でありうる。送信プローブ信号１２２は各々、１つの周波数を有し、かつ時変的であるが、この周波数は、変調周波数特性から送信プローブ信号１２２の平均特性を分離するのに十分なほど高いものである。例えば、送信プローブ信号１２２は、各々個別に、それぞれの送信プローブ信号１２２がアクティブである時に実質的に一定である、１つの振幅を有しうる。別の例としては、送信プローブ信号１２２は、各々個別に、それぞれの送信プローブ信号１２２がアクティブである時に実質的に一定である、１つの変調（平均振幅と比較しての、一周波数における相対振幅）を有しうる。静的（すなわち定常）特性を有することにより、間隙１４４における第１表面１４０、第２表面１４２、第１被加工物１３６、及び／又は第２被加工物１３８による送信プローブ信号１２２に対する影響の検出が、容易になる。
この段落の後述の記載が本開示の例４５を特徴付け、例４５は上記の例４０から例４４のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信プローブ信号１２２はＲＦ信号である。
送信プローブ信号１２２及び／又は変調信号１３０は、無線周波数スペクトル内の（すなわち、３ｋＨｚを上回り３０ＧＨｚ未満である）一周波数を有しうる。ＲＦ信号の周波数などの相対的に高い周波数により、間隙１４４における第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の表面相互作用が強化されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例４６を特徴付け、例４６は上記の例４０から例４５のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信プローブ信号１２２は、１０ｋＨｚを上回り、かつ１０ＧＨｚ未満である、一周波数を有する。
１０ｋＨｚ〜１０ＧＨｚの範囲内の周波数を有する送信プローブ信号１２２及び／又は変調信号１３０は、商業的に利便性が高いものであり、かつ／又は、協定、国内法、及び／又は国際条約によって、産業上及び／又は科学上の用途に割り当てられうる。
この段落の後述の記載が本開示の例４７を特徴付け、例４７は上記の例４０から例４６のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２は、ブレード平面１５６、及び、ブレード平面１５６に対して直角なブレード厚さ１５８を有する。送信誘導コイル１１４は、ブレード平面１５６に対して直角に既定の距離内の、センサブレード１１２の外に配置された材料を調査するために、ブレード平面１５６の外部に静的交流電磁場を生成するよう構成される。この既定の距離は、ブレード厚さ１５８の２０倍未満である。
送信プローブ信号１２２及び／又は変調信号１３０は、静的な（すなわち定常の）誘導交流電磁場（静的なＡＣ磁場）でありうる。交流電磁場は、送信誘導コイル１１４を越えて、交流電磁場の各々に関連付けられたセンサブレード１１２、測定サイト１１８、及び送信誘導コイル１１４の付近の空間の中へと広がる。交流電磁場は、金属、金属製材料、磁性材料、透磁性材料、及び導電性材料によってゆがめられ、かつ、それらの材料と相互作用する。ゆえに、送信プローブ信号１２２は、かかる材料のいずれかを含む第１表面１４０及び／又は第２表面１４２の存在、種類、及び／又は配置によって影響されうる。
通常、送信誘導コイル１１４によって生成される静的交流電磁場は、送信誘導コイル１１４からの距離の逆べきに関連して低減する、静的な場の強さ（振幅）を有する。静的交流電磁場の各々の静的なソース強さとソース距離との関係は、静的交流電磁場を発生させる、変調信号１３０の振幅及び送信誘導コイル１１４の構成に依拠する。静的交流電磁場の振幅が所定の値（例えば、受信誘導コイル１１６において検出可能な最小値に対応する振幅）を有する、送信誘導コイル１１４からの距離は、センサブレード１１２の特有の感知距離でありうる。この特有の感知距離は、少なくとも１ｍｍ、少なくとも５ｍｍ、少なくとも１０ｍｍであり、かつ／又は１００ｍｍ未満でありうる。ゆえに、電子隙間ゲージ１１０及びセンサブレード１１２は、少なくとも１ｍｍ、少なくとも５ｍｍ、少なくとも１０ｍｍであり、かつ／又は１００ｍｍ未満である、間隙１４４の離隔距離１３４を測定するよう、構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例４８を特徴付け、例４８は上記の例４０から例４７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４はＲＦ送信アンテナ１８６である。
送信誘導コイル１１４は、変調信号１３０に応答し、かつ／又は、無線周波数スペクトル内の周波数を有する送信プローブ信号１２２を発生させるよう構成されている、ＲＦ送信アンテナ１８６でありうる。ＲＦ送信アンテナ１８６は、ＲＦ信号を効率的に発生させ、効率的な電気的設計及びＲＦ信号の使用を容易にしうる。ＲＦ送信アンテナ１８６は、（無線周波数スペクトル内の）送信周波数範囲及び／又はピーク送信周波数を有しうる。ＲＦ送信アンテナ１８６は、（無線周波数スペクトル内の）一又は複数の周波数で送信を行うよう微調整されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例４９を特徴付け、例４９は上記の例４８による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、ＲＦ送信アンテナ１８６の全てが、共通周波数で送信を行うよう微調整される。
ＲＦ送信アンテナ１８６は各々、共通周波数でかつ／又は共通周波数の範囲内で送信を行うよう微調整されうる。全てのＲＦ送信アンテナ１８６に同じ周波数で送信を行わせることにより、電子機器設計が容易になり、かつ／又は、電子機器（送信システム１２０など）の効率が高まりうる。全てのＲＦ送信アンテナ１８６に同じ周波数で送信を行わせることにより、共通周波数での電子隙間ゲージ１１０及び／又はセンサブレード１１２の使用が容易になりうる。共通周波数は、間隙１４４の選択された表面特性を調査するため、かつ／又は、間隙１４４内の選択された表面深さを調査するために、選択されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５０を特徴付け、例５０は上記の例４９による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、共通周波数で複数の変調信号１３０を発生させるよう構成されている、信号発生装置１８４を備える。
信号発生装置１８４は、送信プローブ信号１２２が全て共通周波数を有するように、共通周波数で変調信号１３０を発生させるよう構成されうる。ゆえに、信号発生装置１８４は、共通周波数での送信プローブ信号１２２の生成を容易にするよう構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５１を特徴付け、例５１は上記の例４８による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、ＲＦ送信アンテナ１８６のうちの少なくとも１つは、ＲＦ送信アンテナ１８６のうちの別のうちの少なくとも１つの周波数とは異なる周波数で送信を行うよう、微調整される。
複数のＲＦ送信アンテナ１８６は、別々の測定サイト１１８に別々の周波数が使用される時の変調信号１３０及び／又は送信プローブ信号１２２同士の間のクロストークを低減するために、別々の周波数で送信を行うよう微調整されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５２を特徴付け、例５２は上記の例５１による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、複数のＲＦ送信アンテナ１８６の全てが、互いとは異なる周波数で送信を行うよう微調整される。
ＲＦ送信アンテナ１８６の全てに別々の周波数で送信を行わせることにより、全ての測定サイト１１８、送信プローブ信号１２２、及び／又は変調信号同士の間のクロストークが低減しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５３を特徴付け、例５３は上記の例５１又は例５２による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、１つの周波数帯で複数の変調信号１３０を発生させるよう構成されている、信号発生装置１８４を備える。種々の周波数がこの周波数帯に含まれる。
信号発生装置１８４は、別々の周波数の変調信号１３０が送信誘導コイル１１４を駆動させて、別々の周波数の送信プローブ信号１２２を生成しうるように、送信誘導コイル１１４に使用される周波数のうちのいずれかで変調信号１３０を発生させるよう構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５４を特徴付け、例５４は上記の例４８から例５３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６はＲＦ受信アンテナ１８８である。
受信誘導コイル１１６は、無線周波数スペクトル内の一周波数を有する送信プローブ信号１２２に応答するよう構成されている、ＲＦ受信アンテナ１８８でありうる。ＲＦ受信アンテナ１８８は、ＲＦ信号を効率的に受信し、効率的な電気的設計を容易にし、かつ、ＲＦ信号の使用を容易にしうる。ＲＦ受信アンテナ１８８は、（無線周波数スペクトル内の）受信周波数範囲及び／又はピーク受信周波数を有しうる。ＲＦ受信アンテナ１８８は、（無線周波数スペクトル内の）一又は複数の周波数で受信を行うよう微調整されうる。ＲＦ受信アンテナ１８８は、それぞれの測定サイト１１８において対応するＲＦ送信アンテナ１８６によって生成された信号を受信するよう構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５５を特徴付け、例５５は上記の例５４による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、ＲＦ送信アンテナ１８６の各々は、対応する一周波数で送信を行うよう微調整される。ＲＦ受信アンテナ１８８の各々は、ＲＦ送信アンテナ１８６のうちの対応する１つに関連付けられ、かつ、ＲＦ送信アンテナ１８６のうちのこの対応する１つに対応する周波数を受信するよう、微調整される。
ＲＦ送信アンテナ１８６及びＲＦ受信アンテナ１８８は、ＲＦ受信アンテナ１８８が対応するＲＦ送信アンテナ１８６から発される信号を受信するよう微調整されて、測定サイト１１８において対にされうる。この構成により、（間隙１４４における材料の存在によって改変された）送信プローブ信号１２２の効率的な受信が容易になり、かつ／又は、測定サイト１１８間のクロストークが制限されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５６を特徴付け、例５６は上記の例５４又は例５５による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、ＲＦ送信アンテナ１８６の各々は、対応する一周波数で送信を行うよう微調整される。ＲＦ受信アンテナ１８８の各々は、ＲＦ送信アンテナ１８６のうちの対応する１つに関連付けられる。受信システム１２４は、ＲＦ受信アンテナ１８８の各々について、ＲＦ送信アンテナ１８６のうちのこの対応する１つに対応する周波数を受信するよう微調整される。
受信システム１２４は、（例えば例５６に記載しているように、ＲＦ受信アンテナ１８８が対応するＲＦ送信アンテナ１８６からの信号を受信するよう微調整されることに加えて、又はそれに代えて、）ＲＦ送信アンテナ１８６から発される信号を受信するよう微調整されうる。受信システム１２４は、どのＲＦ受信アンテナ１８８がアクティブである（応答信号１２６が受信されている）かにしたがって、どの周波数が受信されるかをコーディネートするよう、構成されうる。受信システム１２４を微調整することにより、応答信号１２６の効率的な受信が容易になり、かつ／又は、測定サイト１１８間のクロストークが制限されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５７を特徴付け、例５７は上記の例４０から例４７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６はＲＦ受信アンテナ１８８である。
受信誘導コイル１１６は、送信誘導コイル１１４がＲＦ送信アンテナ１８６である（例えば例４８）か否かにかかわらず、ＲＦ受信アンテナ１８８でありうる。ＲＦ受信アンテナ１８８は、それぞれの測定サイト１１８において対応する送信誘導コイル１１４によって生成された信号を受信するよう構成されうる。ＲＦ受信アンテナ１８８は、ＲＦ信号を効率的に受信し、効率的な電気的設計を容易にし、かつ、ＲＦ信号の使用を容易にしうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５８を特徴付け、例５８は上記の例４０から例５７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信プローブ信号１２２は、搬送周波数を有する搬送波を含む。応答信号１２６は、搬送周波数の主信号を含む。受信システム１２４は、搬送波に対する主信号の相対振幅、相対変調、及び移相のうちの少なくとも１つを判定するよう構成される。
送信プローブ信号１２２は、搬送波（一定の波形及び周波数を有する信号）を含み、かつ／又は、搬送波でありうる。送信プローブ信号１２２の周波数は、搬送周波数と称されうる。送信プローブ信号１２２は間隙１４４における材料と相互作用し、この相互作用は、通常、振幅変化、変調変化、及び移相を引き起こすが、周波数変化は引き起こさない。ＡＣ波（例えば搬送波、ＲＦ信号など）の変調は、ＡＣ波の平均振幅（ＤＣ強度とも称される）に対する、ＡＣ波の周波数成分の相対振幅である応答信号１２６の主信号の振幅、変調、及び／又は移相を判定することによって、間隙１４４における材料の相互作用、及び／又は離隔距離１３４が判定されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例５９を特徴付け、例５９は上記の例４０から例５８のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、応答信号１２６に基づいて離隔距離信号１３２を生成するよう構成される。離隔距離信号１３２は、第１被加工物１３６の第１表面１４０と第２被加工物１３８の第２表面１４２との間の、センサブレード１１２の測定サイト１１８における離隔距離１３４に関連する。
電子隙間ゲージ１１０は、第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８などの類似した、又は類似していない構成要素間の間隙１４４を測定するために、使用されうる。第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の材料、及び／又は、間隙１４４の第１表面１４０及び第２表面１４２を形成する材料は、各々個別に、金属、金属製材料、伝導性材料、磁性材料、ポリマー材料、及び／又は複合材料でありうる。これらの材料は、電気的又は磁気的に伝導性である必要はない。電子隙間ゲージ１１０は、第１被加工物１３６の材料、第２被加工物１３８の材料、第１表面１４０における材料、及び／又は第２表面１４２における材料にかかわらず信頼性の高い離隔距離測定値を生成するために、様々な種類の材料向けに校正されうる。電子隙間ゲージ１１０は、既知の材料間の、既知のサイズ（厚さ、及び、通常は幅と深さ）の校正間隙内に、センサブレード１１２を挿入することによって、校正されうる。校正間隙は、校正品（校正ツールとも称されうる）内に形成されうる。校正は、本書で更に開示されるように、送信誘導コイル１１４の端から端まで供給される直流電流１２８、及び／又は、受信システム１２４によって受信される応答信号１２６を、調整することを含みうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６０を特徴付け、例６０は上記の例５９による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、測定サイト１１８のうちの少なくとも１つが第１表面１４０及び第２表面１４２によって画定された間隙１４４内にある時に、応答信号１２６を受信するよう構成される。
センサブレード１１２は、間隙１４４内に完全には適合しないことがあり、かつ／又は、間隙１４４内に完全には挿入されないことがある。間隙１４４内の測定サイト１１８は、間隙１４４内の離隔距離１３４を測定するために使用されうる。間隙１４４の外部の測定サイト１１８は、実質的に、間隙がないこと、不定形の離隔距離、又は信号条件がないことを、測定しうる。受信システム１２４及び／又は電子隙間ゲージ１１０は、どの測定サイト１１８が間隙１４４の中にあるか、及び、どの測定サイト１１８が間隙１４４の外部にあるかを判定するよう、構成されうる。どの測定サイト１１８が間隙１４４の中及び／又は外部にあるかを判定することで、（例えば、間隙１４４の中のセンサブレード１１２の深さ及び／又は面積を提供することによって、）間隙１４４の深さ及び／又は間隙１４４の断面積の測定値及び／又は推定値が提供されうる。受信システム１２４及び／又は電子隙間ゲージ１１０は、一又は複数の測定サイト１１８が間隙１４４内にある場合にのみ離隔距離１３４を測定するよう、構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６１を特徴付け、例６１は上記の例４０から例６０のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４の各々は、送信システム１２０によって、個別かつ電気的にアドレスされる。
送信誘導コイル１１４を個別にアドレスすることにより、一又は複数の送信誘導コイル１１４を個別に、かつ／又は別々の時点において、動作させることが可能になる。個別に動作させることは、個別に、オンにすること、オフにすること、異なる直流電流１２８を使用すること、及び／又は、送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数（オプションで全て）向けに直流電流１２８を調整することを、含みうる。送信誘導コイル１１４は、行、列、及び／又は領域などの群で、動作し（かつ／又は、電気的にアドレスされ）うる。群は、３つの要素おきなど、散在していてよく、かつ／又は、平均して３つの要素おきに１つの要素がひとまとめに制御される一領域など、不規則なものでありうる。
送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数（オプションで各々）を個別に動作させることにより、別々の送信誘導コイル１１４及び／又は別々の測定サイト１１８同士の間のクロストークが皆無かそれに近い状態で、間隙１４４を調査することが容易になる。送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数（オプションで各々）を個別に動作させることにより、個別に制御された送信誘導コイル１１４によって発生した誘導磁場を、個別に調整することが容易になる。例えば、送信誘導コイル１１４の各々向けの直流電流１２８が、送信誘導コイル１１４の各々が同じ強さの誘導磁場を発生させるように調整されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６２を特徴付け、例６２は上記の例４０から例６１のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、送信プローブ信号１２２のうちの１つを、送信プローブ信号１２２のうちの別の１つとは異なる時点において発生させるために、デマルチプレクサ１８０を備える。
送信システム１２０のデマルチプレクサ１８０は、送信システム１２０から送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つに直流電流１２８をルーティングして、それぞれの送信プローブ信号１２２を発生させる。通常、送信システム１２０のデマルチプレクサ１８０は、複数の出力先のうちのいずれか１つ（例えば送信誘導コイル１１４のうちの１つ）に、単一入力信号（例えば直流電流１２８）をルーティングする。デマルチプレクサ１８０を使用することにより、効率的な電気設計が容易になり、かつ、直流電流１２８を送信誘導コイル１１４の各々に提供するために単一ソース（例えば電流源１８２）を使用することが容易になる。
送信システム１２０及び／又はデマルチプレクサ１８０は、別々の時点において別々の送信誘導コイル１１４に直流電流１２８をルーティングするよう、構成されうる。ゆえに、電子隙間ゲージ１１０は、別々の時点において送信プローブ信号１２２のうちの別々のものを発生させるよう、構成されうる。例えば、測定サイト１１８において順次送信プローブ信号１２２を発生させるために、送信誘導コイル１１４の各々には、直流電流１２８が順次送られうる。いくつかの測定サイト１１８において送信プローブ信号を発生させる一方、それ以外の測定サイトは送信プローブ信号１２２を有しないことで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の送信誘導コイル１１４同士の間のクロストークが低減しうる。デマルチプレクサ１８０は、直流電流１２８が定常に保たれている（例えば、電流源１８２が実質的に一定の直流電流１２８を発生させている）間に、送信誘導コイル１１４のうちのどれが直流電流１２８を受信するかを、切り替えるよう構成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６３を特徴付け、例６３は上記の例４０から例６２のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信システム１２０は、時分割多重化によって送信プローブ信号１２２を多重化するよう構成される。
送信システム１２０及び／又はデマルチプレクサ１８０は、直流電流１２８を送信誘導コイル１１４に送り、時分割多重化を介して、送信プローブ信号１２２を一度に１つ（又は一群）発生させるよう、構成されうる。ゆえに、同時に送信プローブ信号１２２を発生させるのは、全部よりも少ない数（例えば１つ）の送信誘導コイル１１４である。別々の時点において送信プローブ信号を発生させることで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の送信誘導コイル１１４同士の間のクロストークが低減しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６４を特徴付け、例６４は上記の例４０から例６３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、受信誘導コイル１１６の各々向けの応答信号１２６のうちの少なくとも１つを、受信するよう構成される。
受信誘導コイル１１６の各々は、それぞれの測定サイト１１８における（送信プローブ信号１２２が間隙１４４における材料と相互作用することによる）誘導磁場に応答しうる。受信システム１２４は、測定サイト１１８に対応する受信誘導コイル１１６の各々向けの個別の応答信号１２６を受信しうる。受信誘導コイル１１６の各々向けの応答信号１２６のうちの少なくとも１つを受信することにより、測定サイト１１８の各々における誘導磁場の相互作用を個別に判定することが、容易になる。
この段落の後述の記載が本開示の例６５を特徴付け、例６５は上記の例４０から例６４のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６の各々は、送信システム１２４によって、個別かつ電気的にアドレスされる。
受信誘導コイル１１６を個別にアドレスすることにより、個別に、かつ／又は別々の時点において、一又は複数の応答信号１２６を受信することが可能になる。受信誘導コイル１１６は、アクティブな送信誘導コイル１１４（すなわち、送信プローブ信号１２２を発生させている送信誘導コイル１４）に対応する行、列、及び／又は領域などの群で利用されうる。追加的又は代替的には、受信誘導コイル１１６は、測定サイト１１８のうちの別々のものにおいて送信プローブ信号１２２のうちの一又は複数を（例えば順次又は連続的に）サンプリングするよう、個別かつ電気的にアドレスされうる。
受信誘導コイル１１６のうちの一又は複数（オプションで全て）を個別に利用することにより、別々の送信誘導コイル１１４、別々の受信誘導コイル１１６、及び／又は別々の測定サイト１１８同士の間のクロストークが皆無かそれに近い状態で、間隙１４４を調査することが容易になる。例えば、測定サイト１１８の各々に関して、関連付けられた送信誘導コイル１１４が、その測定サイト１１８において対応する送信プローブ信号１２２を発生させうる一方、近隣の送信誘導コイル１１４は無効化される（送信プローブ信号１２２を発生させるよう動作しない）。その測定サイト１１８に関連付けられた受信誘導コイル１１６（及び／又は、近隣の測定サイト１１８の、近隣の受信誘導コイル１１６）は、他の送信プローブ信号１２２からの有意な干渉を受けることなく動作している送信誘導コイル１１４のうちの１つからの、対応する送信プローブ信号１２２を受信するために利用されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６６を特徴付け、例６６は上記の例４０から例６５のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、応答信号１２６のうちの１つを、応答信号１２６のうちの別の１つとは異なる時点において受信するために、マルチプレクサ１９０を備える。
受信システム１２４のマルチプレクサ１９０は、受信システム１２４内で測定される受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つからの応答信号１２６をルーティングする。通常、受信システム１２４のマルチプレクサ１９０は、多重入力信号のうちのいずれか１つ（例えば、対応する受信誘導コイル１１６からの応答信号１２６のうちのいずれか１つ）を、単一出力信号にルーティングし、この単一出力信号は次いで、（例えばアナログデジタル変換によって、）更に処理されうる。マルチプレクサ１９０を使用することにより、効率的な電気設計が容易になり、かつ、単一組の検出用電子機器を使用して、全ての受信誘導コイル１１６からのそれぞれの応答信号１２６を検出することが容易になる。
受信システム１２４及び／又はマルチプレクサ１９０は、別々の時点において、別々の受信誘導コイル１１６からの応答信号１２６をルーティングするよう構成されうる。ゆえに、電子隙間ゲージ１１０は、別々の時点において応答信号１２６のうちの別々のものを受信するよう構成されうる。例えば、測定サイト１１８からの順次的な応答信号１２６を受信するために、受信誘導コイル１１６の各々は、マルチプレクサ１９０を介して、受信システム１２４に順次接続されうる。一部の測定サイトから応答信号１２６を受信する一方、それ以外の測定サイトは応答信号１２６を送らないことで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の受信誘導コイル１１６同士の間のクロストークが低減しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６７を特徴付け、例６７は上記の例４０から例６６のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信システム１２４は、時分割多重化によって応答信号１２６を多重化するよう構成される。
受信システム１２４及び／又はマルチプレクサ１９０は、時分割多重化を介して、受信誘導コイル１１６からの応答信号２３６を一度に１つ（又は一群）受信するよう、構成されうる。ゆえに、同時に応答信号１２６を送るのは、全部よりも少ない数（例えば１つ）の受信誘導コイル１１６である。別々の時点において応答信号を受信することで、別々の測定サイト１１８及び／又は別々の受信誘導コイル１１６同士の間のクロストークが低減しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６８を特徴付け、例６８は上記の例４０から例６７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４は、数が受信誘導コイル１１６に等しい。
通常、送信誘導コイル１１４は、受信誘導コイル１１６と一対一の関係性を有する。測定サイト１１８の各々は、その測定サイト１１８に、送信誘導コイル１１４のうちの１つ、及び受信誘導コイル１１６のうちの１つを有しうる。受信誘導コイル１１６の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの１つによって発生した誘導磁場を感知するよう、配置され、かつ／又は位置付けられうる。ゆえに、測定サイト１１８の各々は、単一の送信誘導コイル１１４、及び、単一の受信誘導コイル１１６を有しうる。対になっており、かつ／又は、協働して機能するよう構成されている、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６により、（例えば、送信システム１２０及び受信システム１２４の中の）送信用及び受信用の電子機器、並びに、（主に、対の及び／又は協働する送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６に関して、応答信号１２６を送信プローブ信号１２２と比較することによる、）離隔距離１３４の判定が、単純化されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例６９を特徴付け、例６９は上記の例４０から例６８のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２の送信誘導コイル１１４の間に散在している。
送信誘導コイル１１４は、間隙１４４内の離間した測定サイト１１８を調査するために、センサブレード内で離間していることがある。受信誘導コイル１１６は、通常、測定サイト１１８の、関連付けられた送信誘導コイル１１４の近位にある。受信誘導コイル１１６は、送信誘導コイル１１４によって占められていないスペースに、送信誘導コイル１１４と対配置されてよく、ゆえに、送信誘導コイル１１４の間に散在しうる。送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とを対配置すること、及び／又は散在させることで、測定サイト１１８がよりコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２（例えば、ブレード平面１５６の面積、ブレード厚さ１５８、及び／又はセンサブレード１１２の体積）がよりコンパクトになる。測定サイト１１８がよりコンパクトになることで、センサブレード１１２におけるより高密度の測定サイト１１８、ひいては、間隙１４４内の離隔距離１３４のより高精度な判定が、可能になる。
この段落の後述の記載が本開示の例７０を特徴付け、例７０は上記の例４０から例６９のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２において送信誘導コイル１１４と互いに組み合わされる。
受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とは、例えば図６の例に示すように、センサブレード１１２において互いに組み合わされうる。受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とを互いに組み合わせることで、測定サイト１１８がよりコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２（例えば、ブレード平面１５６の面積、ブレード厚さ１５８、及び／又はセンサブレード１１２の体積）がよりコンパクトになる。測定サイト１１８がよりコンパクトになることで、センサブレード１１２におけるより高密度の測定サイト１１８、ひいては、間隙１４４内の離隔距離１３４のより高精度な判定が、可能になる。
この段落の後述の記載が本開示の例７１を特徴付け、例７１は上記の例４０から例７０のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つは、センサブレード１１２の送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つと重複する。
受信誘導コイル１１６の一部又は全部が、送信誘導コイル１１４の一部又は全部と重複しうる。受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とが重複することで、測定サイト１１８がよりコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２（例えば、ブレード平面１５６の面積、ブレード厚さ１５８、及び／又はセンサブレード１１２の体積）がよりコンパクトになる。測定サイト１１８がよりコンパクトになることで、センサブレード１１２におけるより高密度の測定サイト１１８、ひいては、間隙１４４内の離隔距離１３４のより高精度な判定が、可能になる。
この段落の後述の記載が本開示の例７２を特徴付け、例７２は上記の例７１による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６の各々は、センサブレード１１２において送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つと重複する。
全ての受信誘導コイル１１６が、対応する送信誘導コイル１１４と重複することもある。全ての受信誘導コイル１１６を各々、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つと重複させることで、一部の受信誘導コイル１１６のみが送信誘導コイル１１４と重複する場合と比べて、測定サイト１１８の全てがコンパクトになり、かつ／又は、センサブレード１１２が更にコンパクトになる。
この段落の後述の記載が本開示の例７３を特徴付け、例７３は上記の例４０から例７２のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つと送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つは、重複領域１４８で重複し、かつ、重複領域１４８において一又は複数の誘電体層１５０によって分離される。
少なくとも、受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４が重複するところでは（すなわち重複領域１４８において）、受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４との直接的な電気接続を回避するために、受信誘導コイル１１６と送信誘導コイル１１４とが分離される。誘電体層１５０（図５の例に示す）は、センサブレード１１２の電気絶縁層である。誘電体層１５０の数が多くなることで、１つの誘電体層１５０よりも、電気的隔離、及び／又は絶縁破壊に抗する強さが、増大しうる。誘電体層１５０は通常、非常に薄い（例えば、厚さが１００μｍ（ミクロン）未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）。誘電体層１５０は、通常、センサブレード１１２が屈曲した後にも誘電完全性を維持するのに十分な弾力を有する。
この段落の後述の記載が本開示の例７４を特徴付け、例７４は上記の例４０から例７３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とは、一又は複数の誘電体層１５０によって分離される。
通常、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とは、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６との直接的な電気接続を回避するために、分離されうる。誘電体層１５０の数が多くなることで、１つの誘電体層１５０の電気的隔離、及び／又は絶縁破壊に抗する強さが、増大しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例７５を特徴付け、例７５は上記の例７４による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６とは、一又は複数の誘電体層１５０のうちの１つの両側に形成される。
誘電体層１５０は各々、電気機械構造物を支持しうる基板でありうる。例えば、電子回路素子が、誘電体層１５０に堆積され、スクリーン印刷され、エッチングされ、かつ／又は、成型されうる。送信誘導コイル１１４及び／又は受信誘導コイル１１６は、同じ又は別々の誘電体層１５０に形成されうる。一部の例では、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６が、センサブレード１１２に必要な層の総数を減少させるため、センサブレード１１２の製造を単純化するため、及び／又は、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６との位置合わせ（相対配置）を単純化するために、誘電体層１５０のうちの１つの両側に形成されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例７６を特徴付け、例７６は上記の例４０から例７５のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４と受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２内の別々の層の中に配置される。
送信誘導コイル１１４の製造、受信誘導コイル１１６の製造、及び／又はセンサブレード１１２の製造を単純化するために、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６は、センサブレード１１２内の別々の層に作製され、かつ／又は、かかる層の中に配置されうる。例えば、図５に示しているように、送信誘導コイル１１４が１つのコイル層１５４の中に配置されてよく、受信誘導コイル１１６は別のコイル層１５４の中に配置されうる。コイル層１５４の各々は、個別に作製され、次いで一緒になるように積層されて、センサブレード１１２を形成しうる。コイル層１５４は、送信誘導コイル１１４及び／又は受信誘導コイル１１６の各々の間及び／又は周囲に、誘電体材料を含みうる。コイル層１５４は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６が互いから電気的に隔離されたままである限り、誘電体層１５０の介在を伴って、又は伴わずに、一緒になるように積層されうる。コイル層１５４は非常に薄い（例えば、厚さが１００μｍ未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）。コイル層１５４は、通常、センサブレード１１２が屈曲した後にも、送信誘導コイル１１４及び／又は受信誘導コイル１１６の完全性を維持するのに十分な弾力を有する。
この段落の後述の記載が本開示の例７７を特徴付け、例７７は上記の例４０から例７６のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４はグラフェンを含む。
送信誘導コイル１１４は、コイル構成に形成された導電性材料を有する電気回路素子である。送信誘導コイル１１４は、通常、マイクロエレクトロニクスデバイスであり、かつ通常、基板の表面上又は内部の非常に薄い層（例えば、層の厚さが１００μｍ未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）に形成される。グラフェンは、層の中に形成されうる、非常に薄い導電形態のカーボンであり、典型的には、単一原子の厚さしかない。グラフェンの送信誘導コイル１１４を形成することにより、薄い送信誘導コイル１１４、薄いコイル層１５４、及び／又は、薄いセンサブレード１１２が可能になり、これにより、高密度の送信誘導コイル１１４、及び／又は、薄い間隙１４４（例えば、厚さが平均１０μｍ未満、１μｍ未満、又は０．１μｍ未満）の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例７８を特徴付け、例７８は上記の例４０から例７７のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６はグラフェンを含む。
受信誘導コイル１１６は、コイル構成に形成された導電性材料を有する電気回路素子である。受信誘導コイル１１６は、通常、マイクロエレクトロニクスデバイスであり、かつ通常、基板の表面上又は内部の非常に薄い層（例えば、層の厚さが１００μｍ未満、１０μｍ未満、又は１μｍ未満）に形成される。グラフェンの受信誘導コイル１１６を形成することにより、薄い受信誘導コイル１１６、薄いコイル層１５４、及び／又は、薄いセンサブレード１１２が可能になり、これにより、高密度の受信誘導コイル１１６、及び／又は、薄い間隙１４４の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例７９を特徴付け、例７９は上記の例４０から例７８のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４は螺旋状平面インダクタである。
螺旋状平面インダクタは薄層内に形成されてよく、これにより、高密度の送信誘導コイル１１４、及び／又は、薄い間隙１４４の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。螺旋状平面インダクタは、平面的な螺旋形状を有する電気的インダクタである。螺旋状平面インダクタの２つの例を、図６に概略的に示している。図６の受信誘導コイル１１６は、単純な幾何形状（図６の例では長方形：他の一般的な形状は、円形、楕円形、長方形、及び凸多角形である）をたどって、共通中心の周囲で螺旋状になっている電気トレースを伴う、典型的な平面螺旋形状を有する。図６の送信誘導コイル１１４は、平面的な凹螺旋形状であって、その内側で、電気トレースが、凹多角形をたどって共通中心の周囲で螺旋状になっている、形状を有する。螺旋状平面インダクタは、パンケーキインダクタと称されることもある。
この段落の後述の記載が本開示の例８０を特徴付け、例８０は上記の例４０から例７９のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６は螺旋状平面インダクタである。
螺旋状平面インダクタは薄層内に形成されてよく、これにより、高密度の受信誘導コイル１１６、及び／又は、薄い間隙１４４の中でのセンサブレード１１２の使用が、容易になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例８１を特徴付け、例８１は上記の例４０から例８０のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６を覆う、外側保護層１５２を備える。
図５の例に示しているように、外側保護層１５２は、送信誘導コイル１１４及び受信誘導コイル１１６を、機械的接触、電気的接触、及び／又は環境の影響から隔離する。例えば、外側保護層１５２は、丈夫であり、耐摩耗性であり、防水性であり、かつ／又は気密性でありうる。外側保護層１５２は、センサブレード１１２と同様に、半可撓性であってよく、かつ／又は、センサブレード１１２が間隙１４４内に挿入される時に発生しうる屈曲に耐えることが可能でありうる。外側保護層１５２は、ポリウレタン材料及び／又は、傷つきにくい強化ガラス（例えば、ＧＯＲＩＬＬＡ ＧＬＡＳＳ（登録商標）ガラス）の半可撓性コーティングを含んでよく、かつ／又は、かかるコーティングでありうる。センサブレード１１２は、環境に曝露される縁部及び／又は表面の全てに、外側保護層１５２を備えうる。通常、外側保護層１５２は、非常に薄い（例えば、１ｍｍ未満、０．１ｍｍ未満、又は０．０１ｍｍ未満）。
この段落の後述の記載が本開示の例８２を特徴付け、例８２は上記の例４０から例８１のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、送信誘導コイル１１４の各々は、１平方センチメートル未満であり１００平方ミクロンを上回る、横方向面積を有する。
送信誘導コイル１１４が小さいこと（１平方センチメートル未満の横方向面積を有する）により、測定サイト１１８を小さくすること、及び／又は、離隔距離１３４の高精度測定が、可能になる。送信誘導コイル１１４の横方向面積は、センサブレード１１２のブレード平面１５６における送信誘導コイル１１４の面積である。
この段落の後述の記載が本開示の例８３を特徴付け、例８３は上記の例４０から例８２のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、受信誘導コイル１１６の各々は、１平方センチメートル未満であり１００平方ミクロンを上回る、横方向面積を有する。
受信誘導コイル１１６が小さいこと（１平方センチメートル未満の横方向面積を有する）により、測定サイト１１８を小さくすること、及び／又は、離隔距離１３４の高精度測定が、可能になる。受信コイル１１６の横方向面積は、センサブレード１１２のブレード平面１５６における受信誘導コイル１１６の面積である。
この段落の後述の記載が本開示の例８４を特徴付け、例８４は上記の例４０から例８３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２は、１平方センチメートル当たりの測定サイト１１８が１つを上回り、かつ、１平方センチメートル当たりの測定サイト１１８が１，０００，０００を下回る密度で、少なくとも１０００の測定サイト１１８を有する。
電子隙間ゲージ１１０は、間隙１４４の高精度の厚さマップを提供するために、高密度の測定サイト１１８、及び／又は、多数の測定サイト１１８を有しうる。センサブレード１１２は、アクティブな表面積（測定サイト１１８を含む表面積）、及び／又は、典型的な間隙１４４と同程度の幅を有しうる。ゆえに、センサブレード１１２は、１０ｃｍ２（平方センチメートル）を上回る、又は５０ｃｍ２を上回る、アクティブな表面積を有しうる。センサブレード１１２は、１ｃｍを上回る、５ｃｍを上回る、又は２０ｃｍを上回る、幅を有しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例８５を特徴付け、例８５は上記の例４０から例８４のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２は、０．５ｍｍ未満であり０．００１ｍｍを上回る、厚さを有する。
センサブレード１１２は、広範なサイズの間隙１４４内に適合するよう、薄いものでありうる。センサブレード１１２は、薄い（例えば０．５ｍｍほどの）間隙１４４内に適合し、かつ／又は、かかる間隙１４４を測定するのに十分なほど、薄いものでありうる。センサブレード１１２は、間隙１４４の中のシム１７０の周囲の残空間内に適合し、かつ／又は、かかる残空間を測定するのに十分なほど、薄いものでありうる。航空宇宙産業においては、部品同士の相対位置の許容誤差が０．０５インチ（約１ｍｍ）未満であることがあり、したがって、間隙１４４及び／又は残空間は１ｍｍ未満になりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例８６を特徴付け、例８６は上記の例４０から例８５のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、電子隙間ゲージ１１０は、受信システム１２４に動作可能に連結されている演算システム１６０を更に備える。
演算システム１６０は、通常、送信システム１２０及び／又は受信システム１２４を制御するよう設定（例えばプログラミング）される。演算システム１６０は、送信誘導コイル１１４で送信プローブ信号１２２を生成すること、受信誘導コイル１１６で応答信号１２６を受信すること、及び／又は、離隔距離１３４を判定することを、コーディネートしうる。
演算システム１６０は、一又は複数の電子通信リンクによって、送信システム１２０及び／又は受信システム１２４に動作可能に連結されうる。演算システム１６０は、コンピュータ（例えば、プロセッサ及びメモリを備えるもの）、及び／又は専用ハードウェアを備えてよく、かつ／又は、かかるコンピュータ及び／又は専用ハードウェアでありうる。演算システム１６０は、ソフトウェア、ファームウェア、及び／又はハードウェアで、その機能（例えば、送信プローブ信号１２２の生成を制御すること、応答信号１２６の受信を制御すること、及び／又は、離隔距離１３４を判定すること）を実装しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例８７を特徴付け、例８７は上記の例８６による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、応答信号１２６及び測定サイト１１８に基づいて、センサブレード１１２によって調査された間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２を生成するよう設定される。
３Ｄ仮想モデル１６２は、電子隙間ゲージ１１０及びセンサブレード１１２によって調査された間隙１４４を表すものであり、間隙１４４解析するため、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を選択するため、及び／又は、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を作り出すために、使用されうる。３Ｄ仮想モデル１６２は、間隙１４４の容積、表面積、及び／又は形状を判定するために使用されうる。間隙１４４の正確な表現（３Ｄ仮想モデル１６２など）によって、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０のサイズ及び形状の判定が、正確に導かれる。
演算システム１６０は、測定サイト１１８において判定された離隔距離１３４に基づいて、３Ｄ仮想モデル１６２を生成するよう設定される。演算システム１６０は、応答信号１２６及び／又は送信プローブ信号１２２に基づいて、離隔距離１３４を判定するよう設定されうる。追加的又は代替的には、演算システム１６０は、応答信号１２６及び／又は送信プローブ信号１２２に基づいて判定された離隔距離１３４を、（例えば受信システム１２４から）受信しうる。３Ｄ仮想モデル１６２は、点群、多角形メッシュ、及び／又は３Ｄ表現（例えば、表面テッセレーション、３Ｄワイヤフレーム、３Ｄ立体、又は３Ｄ境界表現）でありうる。
この段落の後述の記載が本開示の例８８を特徴付け、例８８は上記の例８７による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、候補シムの寸法を間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２と比較することによって、間隙１４４内に挿入されるのに好適なシム１７０を特定するよう設定される。
演算システム１６０は、候補シムの寸法を記憶し、かつ／又は、候補シムの寸法を提供されうる。どの一又は複数の候補シムが間隙１４４を充填するのに好適であるかを特定するために、候補シムの寸法が３Ｄ仮想モデル１６２と比較されうる。例えば、図３では、３つのシム１７０が配置されて、間隙１４４を一緒に充填している。
演算システム１６０は、間隙１４４を充填する候補シムの集まりから一又は複数の好適なシム１７０を特定するよう、設定されうる。演算システム１６０は、各々が好適でありうるいくつかの個別の候補シムを特定し、オプションでランク付けするよう、設定されうる。演算システム１６０は、間隙１４４を充填するために一緒に使用されうる候補シムの群を特定するよう設定されうる（ゆえに、候補シムのこの群は共に、好適なシム１７０となる）。加えて、演算システム１６０は、間隙１４４内に候補シムの群を配置する、順序及び／又はパターンを特定しうる。シム１７０は、黄銅、アルミニウム、チタニウム、及び複合材料（例えば繊維ガラス）などの好適な構造材料で形成されうる。
一又は複数の好適なシム１７０を特定することは、間隙１４４内へのシム１７０の取り付けに役立つ。技術員が、好適なシムが見つかるまでシム１７０の試し適合を行う必要がなくなるからである。追加的又は代替的には、適切な配向、順序、及び／又は配置でのシム１７０の取り付けに役立てるために、好適なシム１７０の配向、順序、及び／又は配置が、演算システム１６０によって特定されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例８９を特徴付け、例８９は上記の例８７又は例８８による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、ディスプレイ１６４を備えており、かつ、ディスプレイ１６４上で間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２の画像を見えるようにするよう設定される。
３Ｄ仮想モデル１６２の画像を見えるようにすることは、間隙１４４が成功裏に測定されたことの作業員による検証に役立ちうる。追加的又は代替的には、３Ｄ仮想モデル１６２の画像は、間隙１４４を充填するために使用するのに好適なシム１７０を特定し、かつ／又は検証するために使用されうる。
通常、作業員が表示をズームし、回転させて、３Ｄ仮想モデル１６２の種々の見え方を視認しうるように、演算システム１６０は、３Ｄ仮想モデル１６２を相互作用的に表示するよう設定される。演算システム１６０は、ディスプレイ１６４で候補シム及び／又は好適なシム１７０の画像を見えるようにするよう設定されてよく、かつ、比較可能な画像（例えば、オーバーレイ画像、隣り合って並べた画像など）を表示するよう設定されうる。ディスプレイ１６４は、ＬＥＤディスプレイ、ＬＣＤディスプレイなどといった電子視覚ディスプレイである。
この段落の後述の記載が本開示の例９０を特徴付け、例９０は上記の例８６から例８９のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、応答信号１２６に基づいて離隔距離信号１３４を判定するようよう設定される。離隔距離１３４は、第１被加工物１３６の第１表面１４０と第２被加工物１３８の第２表面１４２との間の、センサブレード１１２の測定サイト１１８におけるものである。
演算システム１６０は、測定サイト１１８の各々に対応する応答信号１２６及び／又は送信プローブ信号１２２に基づいて、離隔距離１３４を判定するよう設定される。応答信号１２６は、測定サイトにおける電磁場（例えば送信プローブ信号１２２）の存在及び／又は特性にしたがって生成される。第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の材料の場所及び組成が、（第１被加工物１３６の）第１表面１４０と（第２被加工物１３８の）第２表面１４２との間の測定サイト１１８からの応答信号１２６に影響する。測定サイト１１８の各々について、離隔距離１３４を判定するために、測定された応答信号１２６が、応答信号の校正された値及び／又はモデルと比較されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例９１を特徴付け、例９１は上記の例９０による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、候補シムの寸法を測定サイト１１８における離隔距離１３４と比較することによって、センサブレード１１２により調査された間隙１４４内に挿入されるのに好適なシム１７０を特定するよう設定される。
演算システム１６０は、候補シムの寸法を記憶し、かつ／又は、候補シムの寸法を提供されうる。どの一又は複数の候補シムが間隙１４４を充填するのに好適であるかを特定するために、候補シムの寸法が、測定サイト１１８における離隔距離１３４と比較されうる。演算システム１６０は、間隙１４４を充填する候補シムの集まりから一又は複数の好適なシム１７０を特定するよう、設定されうる。演算システム１６０は、各々が好適でありうるいくつかの個別の候補シムを特定し、オプションでランク付けするよう、設定されうる。演算システム１６０は、間隙１４４を充填するために一緒に使用されうる候補シムの群を特定するよう設定されうる（ゆえに、候補シムのこの群は共に、好適なシム１７０となる）。加えて、演算システム１６０は、間隙１４４内に候補シムの群を配置する、順序及び／又はパターンを特定しうる。
一又は複数の好適なシム１７０を特定することは、間隙１４４内へのシム１７０の取り付けに役立つ。技術員が、好適なシムが見つかるまでシム１７０の試し適合を行う必要がなくなるからである。追加的又は代替的には、適切な配向、順序、及び／又は配置でのシム１７０の取り付けに役立てるために、好適なシム１７０の配向、順序、及び／又は配置が、演算システム１６０によって特定されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例９２を特徴付け、例９２は上記の例９０又は例９１による記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０は、ディスプレイ１６４を備え、かつ、ディスプレイ１６４に測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像を表示するよう設定される。
離隔距離１３４の画像を見えるようにすることは、間隙１４４が成功裏に測定されたことの作業員による検証に役立ちうる。追加的又は代替的には、離隔距離１３４の画像は、間隙１４４を充填するために使用するのに好適なシム１７０を特定し、かつ／又は検証するために使用されうる。
測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像は、グラフ、表、線プロファイル、表面プロファイル、多角形メッシュ、及び／又は空間レンダリングの形態でありうる。例えば、測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像は、各棒が測定サイト１１８のうちの１つにおける１つの離隔距離１３４を表している二次元棒グラフであってよく、各棒は、測定サイト１１８の２次元構成を表すよう配置されうる。
作業員が表示をズームし、回転させて、離隔距離１３４の種々の見え方を視認しうるように、演算システム１６０は、離隔距離１３４を相互作用的に表示するよう設定されうる。演算システム１６０は、ディスプレイ１６４で候補シム及び／又は好適なシム１７０の画像及び／又は寸法を見えるようにするよう設定されてよく、かつ、比較可能な画像（例えば、オーバーレイ画像、隣り合って並べた画像など）を表示するよう設定されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例９３を特徴付け、例９３は上記の例８６から例９２のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、演算システム１６０及び受信システム１２４は、無線で通信するよう構成される。
演算システム１６０と受信システム１２４との間の無線通信により、受信システム１２４の遠隔操作及び／又は電子隙間ゲージ１１０のモジュール設計が容易になる。例えば、演算システム１６０は、受信システム１２４から物理的に分離されているか、又は分離可能でありうる。好適な無線通信のプロトコル及び技術は、赤外通信、無線（ｒａｄｉｏ）通信、ＷＩ−ＦＩ（登録商標）プロトコル、及びＢＬＵＥＴＯＯＴＨ（登録商標）プロトコルを含む。
この段落の後述の記載が本開示の例９４を特徴付け、例９４は上記の例８６から例９３のいずれか１つによる記載も含む。図１を概括的に参照しつつ、例えば図２から図６を詳細に参照するに、センサブレード１１２、送信システム１２０、及び受信システム１２４は、携帯式プローブ１７２の各部分である。演算システム１６０は、携帯式プローブ１７２に電力を無線で供給するよう設定される。
演算システム１６０と携帯式プローブ１７２との間の無線電力伝達により、携帯式プローブ１７２の遠隔操作及び／又は電子隙間ゲージ１１０のモジュール設計が容易になる。無線電力伝達を有することで、携帯式プローブ１７２は、無線電力伝達を利用しない電子隙間ゲージ１１０と比較して、電力ケーブルを伴わずにより小さなパッケージで生産されうる。無線電力伝達は、誘導充電（誘導結合した構成要素）によって、容量充電（容量結合した構成要素）によって、及び／又は、照射充電によって（例えば、電波エネルギー、マイクロ波エネルギー、レーザエネルギーなどのビームの伝達によって）、実施されうる。
図７を概括的に参照しつつ、例えば図１から図６を詳細に参照するに、間隙１４４内の離隔距離１３４を測定する方法４００が開示されている。方法４００は、（ブロック４０２）第１表面１４０と第２表面１４２によって画定された間隙１４４内に、センサブレード１１２を挿入することと、（ブロック４０４）送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することと、（ブロック４０６）送信プローブ信号１２２に応じた応答信号１２６を受信誘導コイル１１６で受信することと、（ブロック４０８）応答信号１２６に基づいて、測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４を判定することとを、含む。センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４、受信誘導コイル１１６、及び、センサブレード１１２に関する二次元において離間している測定サイト１１８を備える。測定サイト１１８の各々は、送信誘導コイル１１４のうちの少なくとも１つ、及び、受信誘導コイル１１６のうちの少なくとも１つに、関連付けられる。この段落の前述の記載が、本開示の例９５を特徴付けている。
方法４００は、間隙１４４内の離隔距離１３４を測定することを可能にするものであり、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を選択するため、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を形成するため、及び／又は、一又は複数のシム１７０で間隙１４４を充填するために、使用されうる。追加的又は代替的には、方法４００は、構成要素（例えば第１被加工物１３６と第２被加工物１３８）が適切に組み立てられていること、及び／又は、間隙１４４内でシム１７０が適切に組み立てられていることを検証するために、使用されうる。方法４００は、間隙１４４の３Ｄ測定（例えば３Ｄ仮想モデル１６２）をもたらしうる。
方法４００は、間隙１４４内にセンサブレード１１２を挿入すること４０２を含む。センサブレード１１２は、送信誘導コイル１１４で送信プローブ信号１２２を発し、かつ、受信誘導コイル１１６で応答信号１２６を検出するよう、構成される。センサブレード１１２が間隙１４４内にあることにより、間隙１４４の第１表面１４０及び第２表面１４２の測定が可能になる。
方法４００は、通常、センサブレード１１２の少なくとも一部分が間隙１４４内にある時に、測定サイト１１８において第１表面１４０及び／又は第２表面１４２を調査するために、送信プローブ信号１２２を生成すること４０４を含む。
方法４００は、送信プローブ信号１２２と第１表面１４０及び／又は第２表面１５２との相互作用による応答信号１２６を、受信すること４０６を含む。（間隙１４４がないことに関する、間隙１４４の既知の厚さ及び組成に関する、及び／又は、送信プローブ信号１２２に関する）応答信号１２６の変動により、間隙１４４、第１表面１４０、及び／又は第２表面について、詳細には、第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４についての、情報が得られる。
方法４００は、応答信号１２６に基づいて、測定サイト１１８における離隔距離１３４を判定すること４０８を含む。判定すること４０８は、強度、エネルギー、振幅、変調、及び／又は移相といった、応答信号１２６の大きさ（ｍａｇｎｉｔｕｄｅ）依存性かつ／又は周波数依存性の尺度（ｍｅａｓｕｒｅ）を決定することを含む。応答信号１２６の尺度は、間隙１４４、第１表面１４０、及び／又は第２表面１４２の特性に関連しうる。
この段落の後述の記載が本開示の例９６を特徴付け、例９６は上記の例９５による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０４）受信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することは、測定サイト１１８のうちの第１のものに関連付けられた、送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数から、送信プローブ信号１２２のうちの第１のものを生成することと、測定サイト１１８のうちの第２のものに関連付けられた、送信誘導コイル１１４のうちの一又は複数から、送信プローブ信号１２２のうちの第２のものを生成することとを、含む。加えて、方法４００により、（ブロック４０６）送信プローブ信号１２２に応じた応答信号１２６を受信誘導コイル１１６で受信することは、送信プローブ信号１２２のうちの第１のものに応じた応答信号１２６のうちの第１のものを、受信誘導コイル１１６のうちの一又は複数で受信することと、送信プローブ信号１２２のうちの第２のものに応じた応答信号１２６のうちの第２のものを、受信誘導コイル１１６のうちの一又は複数で受信することとを、含む。更に、方法４００により、（ブロック４０８）応答信号１２６に基づいて、測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４を判定することは、応答信号１２６のうちの第１のものに基づいて、測定サイト１１８のうちの第１のものにおける、第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４のうちの第１のものを判定することと、応答信号１２６のうちの第２のものに基づいて、測定サイト１１８のうちの第２のものにおける、第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４のうちの第２のものを判定することとを、含む。
方法４００は、センサブレード１１２の１を上回る数の測定サイト１１８を使用することを含みうる。例えば、生成すること４０４は、別々の測定サイト１１８において、送信プローブ信号１２２のうちの第１のものと第２のものを生成することを含みうる。受信すること４０６は、別々の測定サイト１１８から、応答信号１２６のうちの第１のものと第２のものを受信することを含みうる。判定すること４０８は、応答信号１２６のうちの第１のものと第２のものに基づいて、別々の測定サイト１１８における、離隔距離１３４のうちの第１のものと第２のものを判定することを含みうる。別々の測定サイト１１８に関する、生成すること４０４及び受信すること４０６は、同時に、少なくとも部分的に同時に、又は順次、実施されうる。１を上回る数の測定サイト１１８を使用することにより、測定サイト１１８のうちの別々の測定サイトにおける、オプションでは測定サイト１１８の各々における、１を上回る数の対応する離隔距離１３４の測定が可能になる。
この段落の後述の記載が本開示の例９７を特徴付け、例９７は上記の例９５又は例９６による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、（ブロック４１０）測定サイトのうちの少なくとも１つに関連付けられた、一又は複数の受信誘導コイル１１６からの応答信号１２６に基づいて、間隙１４４の外にある少なくとも１つの測定サイト１１８を特定することを、更に含む。
挿入すること４０２は、間隙１４４内にセンサブレード１１２を部分的に挿入することを含みうる（例えば、センサブレード１１２が間隙１４４内に完全には適合せず、かつ／又は、センサブレード１１２が全体的に間隙１４４内に挿入されるわけではない）。間隙１４４の外部の測定サイト１１８に関して、方法４００は、どの応答信号１２６が間隙１４４内の応答信号１２６の特性を有さず、間隙１４４がないことを示し、かつ／又は、間隙１４４が既定の厚さ閾値よりも大きい（例えば、１０ｃｍよりも大きい、又は１００ｃｍよりも大きい）ことを示しているかを、特定すること４１０を含みうる。かかる応答信号１２６は、間隙１４４の外部にあるものと特定されうる。間隙１４４がないことを示しうる応答信号１２６は、既定の上限を上回る強度、振幅、及び／又は変調を有しうるか、又は、既定の下限を下回る強度、振幅、及び／又は変調を有しうる。
どの測定サイト１１８が間隙１４４の中及び／又は外部にあるかを判定することで、（例えば、間隙１４４内のセンサブレード１１２の深さ及び／又は面積を提供することによって、）間隙１４４の深さ及び／又は間隙１４４の断面積の測定値及び／又は推定値が提供されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例９８を特徴付け、例９８は上記の例９５から例９７のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０８）応答信号１２６に基づいて、測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４を判定することは、応答信号１２６の各々に関して大きさの尺度（ｍａｇｎｉｔｕｄｅ ｍｅａｓｕｒｅ）を決定することを含む。大きさの尺度は、振幅、強度、エネルギー、及び出力からなる群から選択される。離隔距離１３４の各々は、測定サイト１１８のうちの対応する１つに関連付けられる。離隔距離１３４は、測定サイトサイト１１８のうちの対応するものに関連付けられた、受信誘導コイル１１６の応答信号１２６の大きさの尺度に関連する。
判定すること４０８は、応答信号１２６の各々に関して、応答信号の特性を判定することを含みうる。特性は、強度、振幅、エネルギー、出力、変調、及び位相のうちの一又は複数などの、大きさ依存性かつ／又は周波数依存性の尺度を含みうる。大きさの尺度は離隔距離１３４を示しうる。送信プローブ信号１２の（ＡＣ又はＤＣの）電磁場は、センサブレード１１２と間隙１４４の表面（すなわち第１表面１４０及び／又は第２表面１４２）との間の距離に関連して、強度（及びそれに関連するパラメータ）を失いうるからである。周波数の尺度は、第１被加工物１３６及び／又は第２被加工物１３８の材料の複雑な電磁応答を示しうる。周波数の尺度は、離隔距離１３４を判定するために、単独で、又は大きさの尺度と組み合わされて、使用されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例９９を特徴付け、例９９は上記の例９５から例９８のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、測定サイト１１８における離隔距離１３４に基づいて、間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２を作り出すことを更に含む。
３Ｄ仮想モデル１６２は、電子隙間ゲージ１１０及びセンサブレード１１２によって調査された間隙１４４を表すものであり、間隙１４４解析するため、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を選択するため、及び／又は、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０を作り出すために、使用されうる。３Ｄ仮想モデル１６２は、間隙１４４の容積、表面積、及び／又は形状を判定するために使用されうる。間隙１４４の正確な表現（３Ｄ仮想モデル１６２など）によって、間隙１４４を充填する一又は複数のシム１７０のサイズ及び形状の判定が、正確に導かれる。
３Ｄ仮想モデル１６２は、（センサブレード１１２に関する二次元において離間している）測定サイト１１８において判定された離隔距離１３４に基づいて、作り出されうる。３Ｄ仮想モデル１６２は、点群、多角形メッシュ、及び／又は３Ｄ表現（例えば、表面テッセレーション、３Ｄワイヤフレーム、３Ｄ立体、又は３Ｄ境界表現）でありうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１００を特徴付け、例１００は上記の例９９による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、（ブロック４１２）間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２に基づいて、間隙１４４を充填するのに好適な一又は複数のシム１７０を選択することを更に含む。
選択すること４１２は、候補シムの寸法を３Ｄ仮想モデル１６２と比較することを含みうる。例えば、選択すること４１２は、候補シムの寸法を３Ｄ仮想モデル１６２と比較するために、候補シムの寸法の集積を参照することを含みうる。選択すること４１２は、間隙１４４を充填しうる一又は複数の候補シム（各々好適である可能性があるシム１７０）を特定することを含んでよく、かつ／又は、ひとまとめにされて間隙１４４を充填しうる候補シムの一又は複数の群を特定することを含みうる（ゆえに、シムの群の各々が好適なシム１７０となる）。選択すること４１２は、間隙１４４内に候補シム及び／又は候補シムの群を配置する、順序、配向、及び／又はパターンを特定することを含みうる。選択すること４１２は、候補シム及び／又は候補シムの群をランク付けすることを含みうる。
好適なシム１７０を選択すること４１２、及び／又は、一又は複数の好適なシム１７０を特定することは、間隙１４４の中へのシム１７０の取り付けに役立ちうる。技術員が、好適なシムが見つかるまでシム１７０の試し適合を行う必要がなくなるからである。追加的又は代替的には、好適なシム１７０の配向、順序、及び／又は配置を選択すること４１２は、適切な配向、順序、及び／又は配置でのシム１７０の取り付けに役立ちうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０１を特徴付け、例１０１は上記の例９９又は例１００による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、候補シムの寸法を間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２と比較することによって、間隙１４４内に適合するのに好適なシム１７０を特定することを更に含む。
好適なシム１７０を特定すること及び／又は選択すること４１２は、候補シムの寸法を間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２と比較することを含みうる。比較することは、３Ｄ仮想モデル１６２におけるそれぞれの寸法を特定すること及び／又は算出することを含みうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０２を特徴付け、例１０２は上記の例９９から例１０１のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、（ブロック４１４）間隙１４４の３Ｄ仮想モデル１６２に基づいて、間隙１４４に適合するのに好適な一又は複数のシム１７０を形成することを更に含む。
形成すること４１４は、３Ｄ仮想モデル１６２のサイズ及び形状にしたがって、機械加工、成型、スタンピング、及び／又は付加製造することによりシム１７０を形成することを含みうる。形成すること４１４は、３Ｄ仮想モデルに基づいて自動化されうる（例えば、コンピュータ数値制御された機械加工及び／又は付加製造）。形成されたシム１７０は、間隙１４４を充填するために間隙１４４内に組み付けられうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０３を特徴付け、例１０３は上記の例９５から例１０２のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、（ブロック４１２）測定サイト１１８における離隔距離１３４に基づいて、間隙１４４に適合するのに好適な一又は複数のシム１７０を選択することを更に含む。
選択すること４１２は、候補シムの寸法を測定サイト１１８における離隔距離１３４と比較することを含みうる。例えば、選択すること４１２は、候補シムの寸法を離隔距離１３４と比較するために、候補シムの寸法の集積を参照することを含みうる。選択すること４１２は、間隙１４４を充填しうる一又は複数の候補シム（各々好適である可能性があるシム１７０）を特定することを含んでよく、かつ／又は、ひとまとめにされて間隙１４４を充填しうる候補シムの一又は複数の群を特定することを含みうる（ゆえに、シムの群の各々が好適なシム１７０となる）。選択すること４１２は、間隙１４４内に候補シム及び／又は候補シムの群を配置する、順序、配向、及び／又はパターンを特定することを含みうる。選択すること４１２は、候補シム及び／又は候補シムの群をランク付けすることを含みうる。
好適なシム１７０を選択すること４１２、及び／又は、一又は複数の好適なシム１７０を特定することは、間隙１４４の中へのシム１７０の取り付けに役立ちうる。技術員が、好適なシムが見つかるまでシム１７０の試し適合を行う必要がなくなるからである。追加的又は代替的には、好適なシム１７０の配向、順序、及び／又は配置を選択すること４１２は、適切な配向、順序、及び／又は配置でのシム１７０の取り付けに役立ちうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０４を特徴付け、例１０４は上記の例９５から例１０３のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、測定サイト１１８における離隔距離１３４に基づいて、間隙１４４の画像を表示することを更に含む。
離隔距離１３４の画像を表示することは、間隙１４４が成功裏に測定されたことの作業員による検証に役立ちうる。追加的又は代替的には、離隔距離１３４の画像は、間隙１４４を充填するために使用するのに好適なシム１７０を特定し、かつ／又は検証するために使用されうる。
測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像は、グラフ、表、線プロファイル、表面プロファイル、多角形メッシュ、及び／又は空間レンダリングの形態でありうる。例えば、測定サイト１１８における離隔距離１３４の画像は、各棒が測定サイト１１８のうちの１つにおける１つの離隔距離１３４を表している二次元棒グラフであってよく、各棒は、測定サイト１１８の２次元構成を表すよう配置されうる。
離隔距離１３４の画像を表示することは、作業員が表示をズームし、回転させて、離隔距離１３４の種々の見え方を視認しうるように、相互作用的でありうる。方法４００は、離隔距離１３４とシムとが比較されうるような様態で（例えばオーバーレイ画像、隣り合って並べた画像などの比較可能な画像を伴って）、候補シム及び／又は好適なシム１７０の画像及び／又は寸法を見えるようにすることを、更に含みうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０５を特徴付け、例１０５は上記の例９５から例１０４のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、間隙１４４は、第１表面１４０と第２表面１４２との間に既知の厚さプロファイルを有する校正間隙である。方法４００は、応答信号１２６に基づいて離隔距離信号１３２を生成することと、測定サイト１１８に関する校正係数を生成するために、離隔距離信号１３２を既知の厚さプロファイルと比較することとによって、センサブレード１１２を備える電子隙間ゲージ１１０を校正することを更に含む。方法４００により、（ブロック４０８）応答信号１２６に基づいて、測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４を判定することは、応答信号１２６及び校正係数に基づいて離隔距離１３４を判定することを含む。
電子隙間ゲージ１１０は、校正されれば、より高い信頼性及び／又は精度でもって動作しうる。方法４００は、既知の厚さプロファイルを有し、かつ／又は既知の材料を伴う校正間隙を使用することによって、校正することを含みうる。例えば、校正間隙が、均一の厚さプロファイルを有しているが、校正間隙内で取得された応答信号１２６が均一ではない場合、校正することは、離隔距離１３４が均一になるよう、測定サイト１１８に校正係数を適用することを含みうる。校正係数は、応答信号１２６に基づく離隔距離１３４の算出中の、応答信号１２６の数学的変換によって、適用されうる。数学的変換は、線形であることも非線形であることもあり、通常、モノトニックなものである（すなわち多値化されない）。校正係数は、応答信号１２６が校正間隙の既知の厚さプロファイルを表すように、送信プローブ信号１２２を、それによって、校正間隙内で応答信号１２６を発生させるよう、直流電流１２８及び／又は変調信号１３０を調整することによって、適用されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０６を特徴付け、例１０６は上記の例１０５による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、測定サイト１１８に関する校正係数を生成するために、離隔距離信号１３２を既知の厚さプロファイルと比較することは、測定サイト１１８における校正済み離隔距離１３５を判定することを含む。
校正済み離隔距離１３５は、校正係数が適用されている離隔距離１３４である。校正済み離隔距離１３５は、他の間隙１４４に関しても判定され、かつ、離隔距離１３４を用いるよりも高い信頼性及び／又は精度を伴って、この他の間隙１４４のサイズ及び／又は形状を判定するために使用されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０７を特徴付け、例１０７は上記の例１０６による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、測定サイト１１８に関する校正係数を生成するために、離隔距離信号１３２を既知の厚さプロファイルと比較することは、離隔距離信号１３２を校正済み離隔距離１３５に数学的に変換するために、測定サイト１１８の各々に関する一又は複数の校正係数を決定することを含む。
数学的変換は、ハードウェア、ソフトウェア、及び／又はファームウェアにおいて実施されてよく、かつ、離隔距離信号１３２の収集中又は収集後、及び／又は、離隔距離１３４の判定中又は判定後に実施されうるという、利点を有する。数学的変換は、線形であることも非線形であることもあり、通常、モノトニックなものである（すなわち多値化されない）。離隔距離信号１３２及び／又は離隔距離１３４を校正済み離隔距離１３５に数学的に変換することは、ハードウェア、ソフトウェア、及び／又はファームウェアにおいて（例えば受信システム１２４で）実施されうる。追加的又は代替的には、離隔距離信号１３２及び／又は離隔距離１３４を校正済み離隔距離１３５に数学的に変換することは、後で実施されうる。例えば、離隔距離信号１３２は、第１間隙１４４（未知の間隙又は供試間隙）における測定値に基づいて収集されてよく（かつ、離隔距離１３４は、かかる測定値に基づいて判定されうる）、測定サイト１１８の各々に関する校正係数は、校正間隙における測定値に基づいて生成されてよく、次いで、第１間隙１４４の校正済み離隔距離１３５を判定するために、校正係数が、（数学的変換を介して）離隔距離信号１３２及び／又は離隔距離１３４に適用されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１０８を特徴付け、例１０８は上記の例１０７による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、測定サイト１１８に関する校正係数を生成するために、離隔距離信号１３２を既知の厚さプロファイルと比較することは、離隔距離信号１３２を校正済み離隔距離１３５に数学的に変換するために、測定サイト１１８の各々に関する一又は複数の校正係数を決定することを含む。
線形変換は、通常、非線形変換よりも、実装が簡単であり、かつ、実施が迅速である。
この段落の後述の記載が本開示の例１０９を特徴付け、例１０９は上記の例１０５から例１０８のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、校正係数にしたがって、送信誘導コイル１１４からの個々の送信プローブ信号１２２を調整して、校正済み送信プローブ信号１２３を発生させることを更に含む。
校正係数は、校正係数にしたがって送信プローブ信号１２２を調整して、校正済み送信プローブ信号１２３を発生させることによって、適用されうる。送信プローブ信号１２２は、直流電流１２８及び／又は変調信号１３０を調整することによって、調整されうる。校正間隙において発生する校正済み送信プローブ信号１２３は、校正間隙の既知の厚さプロファイルを表す応答信号１２６をもたらす。校正済み送信プローブ信号１２３から生じる応答信号１２６は、校正済み応答信号１２７である。
この段落の後述の記載が本開示の例１１０を特徴付け、例１１０は上記の例１０９による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、（ａ）校正間隙の中のセンサブレード１１２を用いて、校正済み送信プローブ信号１２３を生成することと、（ｂ）校正済み送信プローブ信号１２３に応じた校正済み応答信号１２７を、受信誘導コイル１１６で受信することと、（ｃ）校正済み応答信号１２７に基づいて、測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の校正済み離隔距離１３５を判定することと、（ｄ）校正済み離隔距離１３５が既知の厚さプロファイルに合致することを検証することとを、更に含む。
校正済み離隔距離１３５は、校正済み応答信号１２７から判定されうる。電子隙間ゲージ１１０の校正は、校正済み離隔距離１３５を校正間隙の既知の厚さプロファイルと比較することによって、検証されうる。厚さ、容積、及び／又は形状の絶対偏差が所定の閾値を下回っていれば、校正済み離隔距離１３５と既知の厚さプロファイルとは合致しうる。例えば、測定サイト１１８における校正済み離隔距離１３５と、対応する測定サイト１１８における既知の厚さプロファイルとの間の絶対値差分の各々が、所定の閾値を下回っていれば、校正は検証されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１１を特徴付け、例１１１は上記の例１０５から例１１０のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００は、校正係数にしたがって離隔距離信号１３２を調整して、既知の厚さプロファイルに合致する校正済み離隔距離１３５を生成することを更に含む。
校正係数は、校正係数にしたがって離隔距離信号１３２及び／又は応答信号１２６を調整することによって、適用されうる。離隔距離信号１３２及び／又は応答信号１２６は、数学的変換によって、及び／又は、受信システム１２４の電気的特性を調整することによって、調整されうる。例えば、受信システム１２４が、応答信号１２６を受信するため、かつ／又は、離隔距離信号１３２を生成するために、利得制御回路（例えば、演算増幅器、同調回路など）を含む場合、利得制御回路は、その利得を増大又は減少させるよう調整されてよく、それにしたがって、受信された応答信号１２６及び／又は生成された離隔距離信号１３２が調整されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１２を特徴付け、例１１２は上記の例９５から例１１１のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０４）送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することは、送信プローブ信号１２２を発生させるために、送信誘導コイル１１４の端から端まで直流電流１２８を通すことを含む。
送信誘導コイル１１４の端から端まで直流電流１２８を流すことで、送信プローブ信号１２２としての誘導磁場が発生する。誘導磁場は、通常、第１表面１４０、第２表面１４２、第１被加工物１３６、及び／又は第２被加工物１３８の存在、種類、及び／又は配置による影響を受ける。
この段落の後述の記載が本開示の例１１３を特徴付け、例１１３は上記の例１１２による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、送信プローブ信号１２２は定常磁場である。
定常磁場は、通常、送信誘導コイル１１４を通って流れる定常電流（すなわち直流電流１２８）によって生成される。定常磁場は、送信誘導コイル１１４を越えて、センサブレード１１２、測定サイト１１８、及び、各定常磁場に関連付けられた送信誘導コイル１１４の付近の空間の中へと広がる。定常磁場は、金属、金属製材料、磁性材料、透磁性材料、及び導電性材料によってゆがめられ、かつ、それらの材料と相互作用する。ゆえに、送信プローブ信号１２２は、かかる材料のいずれかを含む第１表面１４０及び／又は第２表面１４２の存在、種類、及び／又は配置によって影響されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１４を特徴付け、例１１４は上記の例９５から例１１１のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０４）送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することは、送信プローブ信号１２２を発生させるために、送信誘導コイル１１４の端から端まで変調信号１３０を通すことを含む。
送信誘導コイル１１４の端から端まで変調信号１３０を通すことで、送信プローブ信号１２２としての誘導電磁場（ＡＣ磁場）が発生する。誘導電磁場は、通常、第１表面１４０、第２表面１４２、第１被加工物１３６、及び／又は第２被加工物１３８の存在、種類、及び／又は配置による影響を受ける。変調された電磁放射のより低い周波数（例えば、１００ｋＨｚ未満、１ｋＨｚ未満、又は０．１ｋＨｚ未満）の利用は、第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の中により深く入り込みうる。より高い周波数（例えば、０．１ＭＨｚを上回る、１０ＭＨｚを上回る、又は１，０００ＭＨｚを上回るような、マイクロ波周波数又は無線周波数）を利用することで、第１被加工物１３６及び第２被加工物１３８の表面相互作用が強化されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１５を特徴付け、例１１５は上記の例１１４による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、送信プローブ信号１２２は静的交流電磁場である。
静的な（すなわち定常の）誘導交流電磁場（静的なＡＣ磁場）は、定常の変調信号によって生成される。静的な誘導交流電磁場は、通常、第１表面１４０、第２表面１４２、第１被加工物１３６、及び／又は第２被加工物１３８の存在、種類、及び／又は配置による影響を受ける、振幅、変調、及び位相などの静的特性（すなわち定常特性）を有する。静的特性を利用することにより、間隙１４４における第１表面１４０、第２表面１４２、第１被加工物１３６、及び／又は第２被加工物１３８による送信プローブ信号１２２に対する影響の検出が、容易になる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１６を特徴付け、例１１６は上記の例１１４又は例１１５による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０４）送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することは、送信誘導コイル１１４への変調信号１３０を周波数分割多重化することを含む。
複数の変調信号１３０を別々の測定サイト１１８において、別々の周波数で、送信誘導コイル１１４のうちの別々のものに送信することにより、周波数分割多重化することで、別々の測定サイト１１８における変調信号１３０及び／又は送信プローブ信号１２２同士の間の著しいクロストークが低減されるか、又はなくなりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１７を特徴付け、例１１７は上記の例１１４から例１１６のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０４）送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することは、別々の周波数で送信プローブ信号１２２を生成することを含む。
複数の送信プローブ信号１２２を、別々の測定サイト１１８において、別々の周波数で、送信誘導コイル１１４のうちの別々のものから送信することで、別々の測定サイト１１８における変調信号１３０及び／又は送信プローブ信号１２２同士の間の著しいクロストークが低減されるか、又はなくなりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１８を特徴付け、例１１８は上記の例１１４又は例１１５による記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０４）送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することは、共通周波数で送信プローブ信号１２２を生成することを含む。
複数の送信プローブ信号１２２を、別々の測定サイト１１８に関して同じ周波数で、送信誘導コイル１１４のうちの別々のものから送信することで、電子機器設計が容易になること、及び／又は、電子機器（送信システム１２０など）の効率が高まることがあり、かつ／又は、共通周波数での電子隙間ゲージ１１０及び／又はセンサブレード１１２の使用が容易になりうる。共通周波数は、間隙１４４の選択された表面特性を調査するため、及び／又は、間隙１４４内の選択された表面深さを調査するために、選択されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１１９を特徴付け、例１１９は上記の例１１４から例１１８のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０６）送信プローブ信号１２２に応じた応答信号１２６を受信誘導コイル１１６で受信することは、受信誘導コイル１１６からの応答信号１２６を周波数分割多重化することを含む。
複数の応答信号１２６を、別々の測定サイト１１８において、別々の周波数で、受信誘導コイル１１６のうちの別々のものから受信することにより、周波数分割多重化することで、測定サイト１１８及び／又は受信誘導コイル１１６同士の間の著しいクロストークが低減されるか、又はなくなりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１２０を特徴付け、例１２０は上記の例１１４から例１１９のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０６）送信プローブ信号１２２に応じた応答信号１２６を受信誘導コイル１１６で受信することは、別々の周波数で応答信号１２６を受信することを含む。
複数の応答信号１２６を、別々の測定サイト１１８において、別々の周波数で、受信誘導コイル１１６のうちの別々のものから受信することで、測定サイト１１８及び／又は受信誘導コイル１１６同士の間の著しいクロストークが低減されるか、又はなくなりうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１２１を特徴付け、例１２１は上記の例１１４から例１１８のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０６）送信プローブ信号１２２に応じた応答信号１２６を受信誘導コイル１１６で受信することは、共通周波数で応答信号１２６を受信することを含む。
複数の応答信号１２６を、全ての測定サイト１１８に関して同じ周波数で、受信誘導コイル１１６のうちの別々のものから受信することによって、電子機器設計が容易になること、及び／又は、電子機器（送信システム１２４など）の効率が高まることがあり、かつ／又は、共通周波数での電子隙間ゲージ１１０及び／又はセンサブレード１１２の使用が容易になりうる。共通周波数は、間隙１４４の選択された表面特性を示すため、及び／又は、間隙１４４内の選択された表面深さを調査するために、選択されうる。
この段落の後述の記載が本開示の例１２２を特徴付け、例１２２は上記の例９５から例１２１のいずれか１つによる記載も含む。図７を概括的に参照するに、方法４００により、（ブロック４０４）送信誘導コイル１１４から送信プローブ信号１２２を生成することは、搬送周波数で、搬送波を含む送信プローブ信号１２２を生成することを含む。加えて、方法４００により、（ブロック４０６）送信プローブ信号１２２に応じた応答信号１２６を受信誘導コイル１１６で受信することは、搬送周波数で、主信号を含む応答信号１２６を受信することを含む。更に、方法４００により、（ブロック４０８）応答信号１２６に基づいて、測定サイト１１８における第１表面１４０と第２表面１４２との間の離隔距離１３４を判定することは、搬送波に対する主信号の相対振幅、相対変調、及び移相のうちの少なくとも１つを判定することを含む。
送信プローブ信号１２２は、搬送波（一定の波形及び周波数（すなわち搬送周波数）を有する信号）を含み、かつ／又は、搬送波でありうる。送信プローブ信号１２２は間隙１４４における材料と相互作用し、この相互作用は、通常、振幅変化、変調変化、及び移相を引き起こすが、周波数変化は引き起こさない。応答信号１２６の主信号の振幅、変調、及び／又は移相を判定することによって、間隙１４４における材料の相互作用、及び／又は離隔距離１３４が判定されうる。
本開示の例は、図８に示す航空機の製造及び保守方法１１００、及び、図９に示す航空機１１０２に照らして説明されうる。製造前段階において、例示的な方法１１００は、航空機１１０２の仕様及び設計（ブロック１１０４）と、材料の調達（ブロック１１０６）とを含みうる。製造段階では、航空機１１０２の構成要素及びサブアセンブリの製造（ブロック１１０８）と、システムインテグレーション（ブロック１１１０）とが行われうる。その後、航空機１１０２は、認可及び納品（ブロック１１１２）を経て運航（ブロック１１１４）に供されうる。運航期間中、航空機１１０２には、定期的な整備及び保守（ブロック１１１６）が予定されうる。定期的な整備及び保守は、航空機１１０２の一又は複数のシステムの改変、再構成、改修などを含みうる。
例示的な方法１１００の各プロセスは、システムインテグレータ、第三者、及び／又はオペレータ（例えば、顧客）によって実施又は実行されうる。本明細書において、システムインテグレータは、任意の数の航空機製造業者及び主要システム下請業者を含みうるがそれらに限定されず、第三者は、任意の数のベンダー、下請業者、及び供給業者を含みうるがそれらに限定されず、かつ、オペレータは、航空会社、リース会社、軍事団体、サービス機関などでありうる。
図９に示しているように、例示的な方法１１００によって製造された航空機１１０２は、複数の高レベルシステム１１２０及び内装１１２２を有する機体１１１８を含みうる。高レベルシステム１１２０の例は、推進システム１１２４、電気システム１１２６、油圧システム１１２８、及び環境システム１１３０のうちの一又は複数を含む。任意の数の他のシステムも含まれうる。航空宇宙産業の例を示しているが、本書で開示されている原理は、自動車産業などの他の産業にも適用されうる。したがって、本書で開示されている原理は、航空機１１０２に加え、陸上ビークル、海洋ビークル、宇宙ビークルなどといった他のビークルにも適合しうる。
本書で図示され、説明されている装置（複数可）及び方法（複数可）は、製造及び保守方法１１００の一又は複数の任意の段階において用いられうる。例えば、構成要素及びサブアセンブリの製造（ブロック１１０８）に対応する構成要素又はサブアセンブリは、航空機１１０２の運航（ブロック１１１４）期間中に製造される構成要素又はサブアセンブリと同様の様態で作製又は製造されうる。また、装置（複数可）、方法（複数可）又はそれらの組み合わせの一又は複数の例は、例えば、航空機１１０２の組立てを著しく効率化すること、又は航空機１１０２のコストを著しく削減することにより、製造段階１１０８及び１１１０において利用されうる。同様に、装置又は方法を実現する一又は複数の例、又はそれらの組み合わせは、限定するわけではないが例としては、航空機１１０２の運航（ブロック１１１４）期間中に、及び／又は整備及び保守（ブロック１１１６）において、利用されうる。
本書で開示されている装置（複数可）及び方法（複数可）の種々の例は、多種多様な構成要素、特徴及び機能を含む。本書で開示されている装置（複数可）及び方法（複数可）の様々な例は、本書で開示されている装置（複数可）及び方法（複数可）のその他の例のうちの任意のものの、任意の構成要素、特徴及び機能を、任意の組み合わせにおいて含む可能性があり、かつ、かかる可能性は全て本開示の範囲に含まれることが意図されていることを、理解すべきである。
上述の説明および関連図面に提示した教示の恩恵を得る、本開示に関連する当業者には、本書に明示された例の多数の変形例が想起されよう。
したがって、本開示は例示された具体例に限定されないこと、及び、変形例及びその他の例は付随する特許請求の範囲に含まれると意図されていることを、理解されたい。更に、上述の説明及び関連図面は、要素及び／又は機能のある例示的な組み合わせに照らして本開示の例を説明しているが、付随する特許請求の範囲から逸脱せずに、代替的な実行形態によって、要素及び／又は機能の種々の組み合わせが提供されうることを、認識すべきである。したがって、付随する特許請求の範囲に記載されたカッコ内の参照番号は、例示目的のためのみに提示されおり、特許請求される主題の範囲を、本開示に記載された具体例に限定することを意図するものではない。

Claims (15)

  1. 電子隙間ゲージ（１１０）であって、
    送信誘導コイル（１１４）、受信誘導コイル（１１６）、及び、センサブレード（１１２）に関する二次元において離間している測定サイト（１１８）を備える、センサブレード（１１２）であって、前記測定サイト（１１８）の各々が、前記送信誘導コイル（１１４）のうちの少なくとも１つ、及び、前記受信誘導コイル（１１６）のうちの少なくとも１つに関連付けられている、センサブレード（１１２）と、
    前記送信誘導コイル（１１４）から送信プローブ信号（１２２）を発生させるために、前記送信誘導コイル（１１４）の端から端まで直流電流（１２８）を通すよう構成された、送信システムと、
    前記送信プローブ信号（１２２）による応答信号（１２６）を前記受信誘導コイル（１１６）から受信するよう構成された、受信システム（１２４）とを備える、電子隙間ゲージ（１１０）。
  2. 前記送信システム（１２０）が、前記送信誘導コイル（１１４）の端から端まで通される前記直流電流（１２８）を発生させるよう構成された、電流源（１８２）を備える、請求項１に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  3. 前記送信プローブ信号（１２２）が定常磁場である、請求項１又は２に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  4. 前記受信システム（１２４）が、前記応答信号（１２６）に基づいて離隔距離信号（１３２）を生成するよう構成され、
    前記離隔距離信号（１３２）は、第１被加工物（１３６）の第１表面（１４０）と第２被加工物（１３８）の第２表面（１４２）との間の、前記センサブレード（１１２）の前記測定サイト（１１８）における離隔距離（１３４）に関連しており、
    前記受信システム（１２４）は、前記測定サイト（１１８）のうちの少なくとも１つが、前記第１表面（１４０）と前記第２表面（１４２）によって画定された間隙（１４４）内にある時に、前記応答信号（１２６）を受信するよう構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  5. 前記送信誘導コイル（１１４）の各々が、前記送信システム（１２０）によって、個別かつ電気的にアドレスされる、請求項１から４のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  6. 前記送信システム（１２０）が、前記送信プローブ信号（１２２）のうちの１つを、前記送信プローブ信号（１２２）のうちの別の１つとは異なる時点において発生させるために、デマルチプレクサ（１８０）を備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  7. 前記受信システム（１２４）は、前記応答信号（１２６）のうちの１つを、前記応答信号（１２６）のうちの別の１つとは異なる時点において受信するために、マルチプレクサ（１９０）を備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  8. 前記受信誘導コイル（１１６）は、前記センサブレード（１１２）において、前記送信誘導コイル（１１４）と互いに組み合わされる、請求項１から７のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  9. 前記受信誘導コイル（１１６）のうちの少なくとも１つと前記送信誘導コイル（１１４）のうちの少なくとも１つが、重複領域（１４８）で重複し、かつ、前記重複領域（１４８）において一又は複数の誘電体層（１５０）によって分離される、請求項１から８のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  10. 前記送信誘導コイル（１１４）と前記受信誘導コイル（１１６）とが、一又は複数の誘電体層（１５０）によって分離されており、
    前記送信誘導コイル（１１４）と前記受信誘導コイル（１１６）が、前記一又は複数の誘電体層（１５０）のうちの１つの両側に形成される、請求項１から９のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  11. 前記送信誘導コイル（１１４）がグラフェンを含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  12. 前記センサブレード（１１２）が、前記送信誘導コイル（１１４）及び前記受信誘導コイル（１１６）を覆う外側保護層（１５２）を備える、請求項１から１１のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  13. 前記送信誘導コイル（１１４）の各々が、１平方センチメートル未満であり、かつ１００平方ミクロンを上回る、横方向面積を有する、請求項１から１２のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  14. 前記センサブレード（１１２）が、１平方センチメートル当たりの前記測定サイト（１１８）が１つを上回り、かつ、１平方センチメートル当たりの前記測定サイト（１１８）が１，０００，０００を下回る密度で、少なくとも１０００の前記測定サイト（１１８）を有する、請求項１から１３のいずれか一項に記載の電子隙間ゲージ（１１０）。
  15. 間隙（１４４）内の離隔距離（１３４）を測定する方法（４００）であって、
    第１表面（１４０）と第２表面（１４２）によって画定された前記間隙（１１４）内に、センサブレード（１１２）を挿入することであって、
    前記センサブレード（１１２）が、送信誘導コイル（１１４）、受信誘導コイル（１１６）、及び、前記センサブレード（１１２）に関する二次元において離間している測定サイト（１１８）を備え、かつ、
    前記測定サイト（１１８）の各々が、前記送信誘導コイル（１１４）のうちの少なくとも１つ、及び、前記受信誘導コイル（１１６）のうちの少なくとも１つに関連付けられている、挿入することと、
    前記送信誘導コイル（１１４）から送信プローブ信号（１２２）を生成することと、
    前記送信プローブ信号（１２２）に応じた応答信号（１２６）を前記受信誘導コイル（１１６）で受信することと、
    前記応答信号（１２６）に基づいて、前記測定サイト（１１８）における前記第１表面（１４０）と前記第２表面（１４２）との間の前記離隔距離（１３４）を判定することとを含む、方法。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11156455B2 (en) 2018-09-26 2021-10-26 General Electric Company System and method for measuring clearance gaps between rotating and stationary components of a turbomachine
US11801946B2 (en) * 2019-04-25 2023-10-31 The Boeing Company System for sensing miniature gaps by inductive coupling
CN110780105B (zh) * 2019-09-25 2020-08-25 北京石墨烯技术研究院有限公司 石墨烯电流传感器
US11561078B2 (en) * 2020-04-03 2023-01-24 The Boeing Company Methods and systems for measuring gaps between exterior structures and interior structures
CN111896610B (zh) * 2020-08-21 2022-11-25 爱德森（厦门）电子有限公司 提高金属材料间隙检测精度和检测范围的方法及其装置
CN117450936B (zh) * 2023-12-22 2024-04-26 宁德时代新能源科技股份有限公司 测距装置及方法、电池装配设备及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07332918A (ja) * 1994-06-10 1995-12-22 Sanmei Denki Kk 隙間検出方法および隙間センサ
JP2000193409A (ja) * 1998-12-29 2000-07-14 Eiichi Bando 位置検出装置
JP2005283321A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Hitachi Ltd ギャップ検査センサ及びギャップ検査装置
JP2009058312A (ja) * 2007-08-31 2009-03-19 Newcom Inc 電磁結合を利用する圧力分布検出装置及び物体検出装置
CN102927895A (zh) * 2012-11-01 2013-02-13 爱德森（厦门）电子有限公司 一种间隙快速电磁测量方法及传感器装置
US20130311130A1 (en) * 2011-02-14 2013-11-21 The Secretary Of State For Business Innovation And Skills Proximity sensor system
US8813382B1 (en) * 2012-10-22 2014-08-26 The Boeing Company Shim measurement system and method of operating the same

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4967485A (en) 1989-06-29 1990-11-06 The Babcock & Wilcox Company Electronic feeler gauge
US5389876A (en) 1991-05-06 1995-02-14 General Electric Company Flexible eddy current surface measurement array for detecting near surface flaws in a conductive part
JP2001056317A (ja) 1999-08-18 2001-02-27 Daido Steel Co Ltd 渦流探傷方法および装置
US6525539B2 (en) * 2001-03-15 2003-02-25 Witten Technologies Inc. Apparatus and method for locating subsurface objects in conductive soils by measurements of magnetic fields by induced currents with an array of multiple receivers
DE10332422B4 (de) * 2003-07-16 2006-04-20 Messer Cutting & Welding Gmbh Verfahren für die thermische Bearbeitung eines Werkstücks, thermische Bearbeitungsmaschine dafür, sowie für den Einsatz in der Bearbeitungsmaschine geeignetes Schneid- oder Schweißwerkzeug
EP1574850A1 (de) * 2004-03-08 2005-09-14 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zur zerstörungsfreien Erfassung von tiefen Defekten in elektrisch leitenden Materialien
US7560920B1 (en) 2005-10-28 2009-07-14 Innovative Materials Testing Technologies, Inc. Apparatus and method for eddy-current scanning of a surface to detect cracks and other defects
US7730789B2 (en) 2006-11-01 2010-06-08 Boeing Management Company Device and method for measuring a gap between members of a structure for manufacture of a shim
US9034128B2 (en) 2007-12-17 2015-05-19 The Boeing Company Fitting doublers using gap mapping
US8324911B2 (en) 2007-12-17 2012-12-04 The Boeing Company Gap mapping for fitting composite doublers
US8686717B2 (en) * 2008-09-08 2014-04-01 GM Global Technology Operations LLC Position sensor arrangement
KR20110045426A (ko) * 2009-10-27 2011-05-04 현대자동차주식회사 Ｄｃ/ｄｃ 컨버터 고장시 차량 운전 유지를 위한 비상 동작 장치 및 방법
US8242751B2 (en) * 2010-06-28 2012-08-14 Jen-Yen Yen Charging device for alkaline battery
JP5756925B2 (ja) * 2011-05-19 2015-07-29 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 電気機器に設けられた受電装置
US8756792B2 (en) 2011-06-08 2014-06-24 The Boeing Company Digitally designed shims for joining parts of an assembly
JP5443522B2 (ja) 2012-01-25 2014-03-19 富士重工業株式会社 離間距離導出システムおよびシクネスゲージ
US8919004B2 (en) 2012-10-19 2014-12-30 General Electric Company Digital feeler gauge and method of using same
US9797707B2 (en) 2014-01-08 2017-10-24 The Boeing Company Electronic gage apparatus
US11226211B2 (en) * 2014-09-08 2022-01-18 Texas Instruments Incorporated Inductive position detection
US20160294213A1 (en) * 2015-04-02 2016-10-06 Vaunia Morrison Emergency power system
CN105091728A (zh) * 2015-08-28 2015-11-25 南京南车浦镇城轨车辆有限责任公司 放置式远场涡流传感器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07332918A (ja) * 1994-06-10 1995-12-22 Sanmei Denki Kk 隙間検出方法および隙間センサ
JP2000193409A (ja) * 1998-12-29 2000-07-14 Eiichi Bando 位置検出装置
JP2005283321A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Hitachi Ltd ギャップ検査センサ及びギャップ検査装置
JP2009058312A (ja) * 2007-08-31 2009-03-19 Newcom Inc 電磁結合を利用する圧力分布検出装置及び物体検出装置
US20130311130A1 (en) * 2011-02-14 2013-11-21 The Secretary Of State For Business Innovation And Skills Proximity sensor system
US8813382B1 (en) * 2012-10-22 2014-08-26 The Boeing Company Shim measurement system and method of operating the same
CN102927895A (zh) * 2012-11-01 2013-02-13 爱德森（厦门）电子有限公司 一种间隙快速电磁测量方法及传感器装置

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