JP2018108673A - Recording element substrate, recording head, and recording apparatus - Google Patents

Recording element substrate, recording head, and recording apparatus Download PDF

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Ryoji Ohashi
亮治 大橋
好一 小俣
Koichi Komata
好一 小俣
山口 孝明
Takaaki Yamaguchi
孝明 山口
俊雄 根岸
Toshio Negishi
俊雄 根岸
洋平 小薄
Yohei Kousu
洋平 小薄
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem that in a case where a substrate temperature is rapidly increased by driving a heating element from a condition in which an environmental temperature is low, the substrate temperature increases higher than expected, which may affect an ink emission characteristic.SOLUTION: A recording element substrate comprises: a plurality of recording elements; a plurality of first drive circuits respectively corresponding to the plurality of recording elements; a heating element that heats the recording element substrate; a second drive circuit that drives the heating element. The second drive circuit is formed from a source ground type MOS transistor and is provided with a resistive dividing part that generates a gate voltage supplied to the second drive circuit.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、記録素子基板、記録ヘッド、及び記録装置に関する。   The present invention relates to a recording element substrate, a recording head, and a recording apparatus.

所望の文字や画像等の情報を紙やフィルム等の記録媒体に記録する情報出力装置の1つとして液体吐出記録装置(以下、記録装置)がある。記録装置は、液体吐出ヘッド(記録ヘッド)から吐出された液滴を記録媒体に着弾させることで記録を行う。液体吐出ヘッドの液体吐出には様々な方式がある。液体吐出方式の一つとしてサーマルインクジェット方式が良く知られている。サーマルインクジェット方式とはインクに接するヒータに数μ秒程度通電することで発生する熱エネルギーにより誘発されるインクの発泡現象をインク液滴の吐出に利用する液体吐出方式である。   As one of information output devices for recording information such as desired characters and images on a recording medium such as paper or film, there is a liquid discharge recording device (hereinafter referred to as a recording device). The recording apparatus performs recording by landing droplets ejected from a liquid ejection head (recording head) on a recording medium. There are various types of liquid ejection by the liquid ejection head. A thermal ink jet method is well known as one of liquid discharge methods. The thermal ink jet method is a liquid discharge method in which the ink bubbling phenomenon induced by thermal energy generated by energizing a heater in contact with ink for about several microseconds is used for discharging ink droplets.

このようなサーマルインクジェット方式の記録ヘッドでは、使用環境が室温から離れた低温環境である場合、室温近くまでインクの温度を加熱することで、インクの粘度を低下させてインク粘度起因による吐出不良を防止する為の温度制御を行うものがある。特許文献1では、環境温度起因によるインク温度の制御方法として、サーミスタによって温調用抵抗素子を自己制御する技術が開示されている。   In such a thermal ink jet recording head, when the usage environment is a low temperature environment away from room temperature, the ink temperature is lowered to near room temperature to reduce the viscosity of the ink and cause ejection failure due to the ink viscosity. Some perform temperature control to prevent it. Patent Document 1 discloses a technique for self-controlling a temperature adjusting resistance element by a thermistor as a method for controlling ink temperature due to environmental temperature.

特開2003−200589号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-200589

従来のサーマルインクジェット方式の記録ヘッドでは、温調用の抵抗素子(以下、サブヒータ)を、インクを吐出する記録素子を搭載した記録素子基板に搭載し、サブヒータを発熱させることで、記録素子基板と共にインク液滴を加熱している。その際、温度検出素子の検出結果を元に、記録素子基板の温度を40〜60℃の範囲に保つよう、サブヒータに流れる電流を制御する。しかし、環境温度が極めて低い場合、電源投入から印刷を開始する間に、サブヒータに急激に電流を流し、基板と共にインクを短時間で加熱させる必要がある。その為、従来の方法である、温度検出結果を記録装置本体に送信し、本体からサブヒータの電流を制御する方法では、本体を介す分、タイムラグが発生し、基板が過剰に昇温する恐れがある。   In a conventional thermal ink jet recording head, a resistance element for temperature control (hereinafter referred to as a sub-heater) is mounted on a recording element substrate on which a recording element that discharges ink is mounted, and the sub-heater generates heat so that the ink is printed together with the recording element substrate. The droplet is heated. At that time, based on the detection result of the temperature detection element, the current flowing through the sub-heater is controlled so as to keep the temperature of the recording element substrate in the range of 40 to 60 ° C. However, when the environmental temperature is extremely low, it is necessary to rapidly supply a current to the sub-heater to heat the ink together with the substrate in a short time during printing from the start of power supply. Therefore, in the conventional method of transmitting the temperature detection result to the recording apparatus main body and controlling the current of the sub-heater from the main body, a time lag is generated through the main body, and the substrate may be excessively heated. There is.

そこで、特許文献1のように温度検出結果に応じて、記録装置本体からサブヒータを制御するのではなく、ヘッド部において、サブヒータの制御を受動的に行う技術がある。しかし特許文献1では、記録素子基板外側のヘッド温度を30〜40℃といった環境温度の範囲で温調することが前提となっており、また、基板内部での作り込みは想定していない。その為、記録素子基板の正確な温度が検出できず、基板上の発熱素子の温度制御が正しく働かない課題がある。   Therefore, there is a technique in which the sub-heater is passively controlled in the head portion instead of controlling the sub-heater from the recording apparatus main body according to the temperature detection result as in Patent Document 1. However, in Patent Document 1, it is assumed that the temperature of the head outside the recording element substrate is controlled in the environmental temperature range of 30 to 40 ° C., and it is not assumed to be built in the substrate. Therefore, there is a problem that the accurate temperature of the recording element substrate cannot be detected, and the temperature control of the heating element on the substrate does not work correctly.

上記課題を鑑み、本願発明は、急激な温調制御を行った際でも、記録装置本体を介さず、記録素子基板内でサブヒータ電流の自己制御を行い、インクの吐出特性を安定させることを目的とする。   In view of the above problems, the present invention has an object to stabilize the ink ejection characteristics by performing self-control of the sub-heater current in the recording element substrate without using the recording apparatus main body even when rapid temperature control is performed. And

上記課題を解決するために本願発明は以下の構成を有する。すなわち、記録素子基板であって、複数の記録素子と、前記複数の記録素子それぞれに対応する複数の第一の駆動回路と、前記記録素子基板を加熱する発熱素子と、前記発熱素子を駆動する第二の駆動回路と、を備え、前記第二の駆動回路は、ソース接地型MOSトランジスタで形成され、前記第二の駆動回路に供給されるゲート電圧を生成する抵抗分圧部が設けられる。   In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. That is, the recording element substrate includes a plurality of recording elements, a plurality of first drive circuits corresponding to the plurality of recording elements, a heating element for heating the recording element substrate, and driving the heating element. A second drive circuit, wherein the second drive circuit is formed of a source grounded MOS transistor, and is provided with a resistance voltage dividing unit that generates a gate voltage supplied to the second drive circuit.

本願発明により、記録装置本体を介さずに速やかに基板の昇温を抑え、安定した吐出特性を確保することができる。   According to the present invention, it is possible to quickly suppress the temperature rise of the substrate without using the recording apparatus main body, and to secure stable ejection characteristics.

比較例の記録素子基板の構成例を示す平面図。FIG. 6 is a plan view illustrating a configuration example of a recording element substrate of a comparative example. 第1の実施形態に係る記録素子基板の構成例を示す平面図。FIG. 3 is a plan view illustrating a configuration example of a recording element substrate according to the first embodiment. 第2の実施形態に係る記録素子基板の構成例を示す平面図。FIG. 6 is a plan view illustrating a configuration example of a recording element substrate according to a second embodiment. ゲート電圧生成部および駆動回路からサブヒータまでの等価回路を示す図。The figure which shows the equivalent circuit from a gate voltage generation part and a drive circuit to a sub heater. 第1の実施形態に係るゲート電圧生成部の等価回路を示す図。The figure which shows the equivalent circuit of the gate voltage generation part which concerns on 1st Embodiment. 第2の実施形態に係るゲート電圧生成部の等価回路を示す図。The figure which shows the equivalent circuit of the gate voltage generation part which concerns on 2nd Embodiment. 第1の実施形態に係る基板中央部Aの拡大図。The enlarged view of the board | substrate center part A which concerns on 1st Embodiment. 第2の実施形態に係る基板中央部Bの拡大図。The enlarged view of the board | substrate center part B which concerns on 2nd Embodiment. 第1の実施形態に係る基板温度とサブヒータ電流の関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the substrate temperature and sub heater current which concern on 1st Embodiment. 第2の実施形態に係る基板温度とサブヒータ電流の関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the substrate temperature and sub heater current which concern on 2nd Embodiment. 第1の実施形態に係る基板温度とゲート電圧との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the substrate temperature and gate voltage which concern on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るゲート電圧と駆動回路のMOSオン抵抗の関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the gate voltage which concerns on 1st Embodiment, and the MOS on-resistance of a drive circuit. 第1の実施形態に係る基板温度と駆動回路のMOSオン抵抗の関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the substrate temperature which concerns on 1st Embodiment, and the MOS on-resistance of a drive circuit. 記録ヘッドの斜視図。The perspective view of a recording head. 吐出口形成部材が接合された記録素子基板の斜視図。FIG. 3 is a perspective view of a recording element substrate to which a discharge port forming member is bonded.

本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

なお、この明細書において、「記録」(「プリント」という場合もある)とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わない。さらに人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かも問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または媒体の加工を行う場合も表すものとする。   In this specification, “recording” (sometimes referred to as “printing”) is not limited to the case of forming significant information such as characters and graphics, but may be significant. Furthermore, it also represents a case where an image, a pattern, a pattern, or the like is widely formed on a recording medium or a medium is processed regardless of whether or not it is manifested so that a human can perceive it visually.

また、「記録媒体」とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものも表すものとする。   “Recording medium” refers not only to paper used in general recording apparatuses but also widely to cloth, plastic film, metal plate, glass, ceramics, wood, leather, and the like that can accept ink. Shall.

さらに、「インク」(「液体」と言う場合もある)とは、上記「記録(プリント)」の定義と同様広く解釈されるべきものである。従って、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成または記録媒体の加工、或いはインクの処理(例えば記録媒体に付与されるインク中の色剤の凝固または不溶化)に供され得る液体を表すものとする。   Further, “ink” (sometimes referred to as “liquid”) should be interpreted widely as in the definition of “recording (printing)”. Therefore, by being applied on the recording medium, it is used for formation of images, patterns, patterns, etc., processing of the recording medium, or ink processing (for example, solidification or insolubilization of colorant in the ink applied to the recording medium). It shall represent a liquid that can be made.

またさらに、「記録要素」とは、特にことわらない限り吐出口ないしこれに連通する液路およびインク吐出に利用されるエネルギーを発生する素子を総括して言うものとする。   Furthermore, unless otherwise specified, the “recording element” collectively refers to an ejection port or a liquid path communicating with the ejection port and an element that generates energy used for ink ejection.

またさらに、「ノズル」とは、特にことわらない限り吐出口ないしこれに連通する液路およびインク吐出に利用されるエネルギーを発生する素子を総括して言うものとする。   Furthermore, unless otherwise specified, the “nozzle” collectively refers to an ejection port or a liquid channel communicating with the ejection port and an element that generates energy used for ink ejection.

以下に用いる記録ヘッド用の素子基板(ヘッド基板)とは、シリコン半導体からなる単なる基体を指し示すものではなく、各素子や配線等が設けられた構成を差し示すものである。   An element substrate (head substrate) for a recording head to be used below does not indicate a simple substrate made of a silicon semiconductor but indicates a configuration in which each element, wiring, and the like are provided.

さらに、基板上とは、単に素子基板の上を指し示すだけでなく、素子基板の表面、表面近傍の素子基板内部側をも示すものである。また、本発明でいう「作り込み(built−in)」とは、別体の各素子を単に基体表面上に別体として配置することを指し示している言葉ではなく、各素子を半導体回路の製造工程等によって素子板上に一体的に形成、製造することを示すものである。   Further, the term “on the substrate” means not only the element substrate but also the surface of the element substrate and the inside of the element substrate near the surface. The term “built-in” as used in the present invention is not a word indicating that individual elements are simply arranged separately on the surface of the substrate, but each element is manufactured in a semiconductor circuit. It shows that it is integrally formed and manufactured on an element plate by a process or the like.

本発明に係る記録ヘッドは、後述するシリアルタイプの記録装置のみならず、その記録幅が記録媒体の幅に相当するようなフルラインタイプの記録ヘッドを備えた記録装置に用いられる。また、その記録ヘッドはシリアルタイプの記録装置の中でも、A0やB0などの大きなサイズの記録媒体を用いる大判プリンタなどに用いられる。   The recording head according to the present invention is used not only for a serial type recording apparatus described later, but also for a recording apparatus provided with a full line type recording head whose recording width corresponds to the width of the recording medium. Further, the recording head is used in a large format printer using a recording medium having a large size such as A0 or B0 among serial type recording apparatuses.

<第1の実施形態>
[回路構成]
本発明を適用して作成したインクジェット記録ヘッド用の記録素子基板(以下、記録素子基板)について図を用いて説明する。
<First Embodiment>
[Circuit configuration]
A recording element substrate (hereinafter referred to as a recording element substrate) for an ink jet recording head prepared by applying the present invention will be described with reference to the drawings.

図2は、第1の実施形態に係る記録素子基板の構成例を示した平面図である。記録素子基板100は、発熱素子であるサブヒータ112、ゲート電圧生成部110、駆動回路111を備える。   FIG. 2 is a plan view illustrating a configuration example of the recording element substrate according to the first embodiment. The recording element substrate 100 includes a sub-heater 112 that is a heating element, a gate voltage generation unit 110, and a drive circuit 111.

図2において、記録素子基板100全体を加熱する為に、インク供給口106周辺の記録素子用の選択回路104と、記録素子用の駆動回路103の間を通す形で、3本のサブヒータ112が並列に配置されている。また、記録素子基板100は、自身の温度を検出する為の温度検出素子102を備える。温度検出素子102が検出した温度情報としての検出結果は、端子101を介して、記録装置本体(不図示)に送信される。この温度情報は、例えばヒータ(記録素子)105の駆動制御に使われる。本実施形態では、記録素子基板100の両側に複数の端子101がそれぞれ配置されているものとして説明する。ゲート電圧生成部110の形状は、図2に示すように帯状である。   In FIG. 2, in order to heat the entire recording element substrate 100, three sub-heaters 112 are passed between the recording element selection circuit 104 around the ink supply port 106 and the recording element drive circuit 103. They are arranged in parallel. Further, the recording element substrate 100 includes a temperature detection element 102 for detecting its own temperature. A detection result as temperature information detected by the temperature detection element 102 is transmitted to the recording apparatus main body (not shown) via the terminal 101. This temperature information is used for drive control of the heater (recording element) 105, for example. In the present embodiment, a description will be given assuming that a plurality of terminals 101 are arranged on both sides of the recording element substrate 100. The shape of the gate voltage generation unit 110 is a strip shape as shown in FIG.

図4は、図2に示した第1の実施形態に係る構成のうち、サブヒータ112と駆動回路111、ゲート電圧生成部110である抵抗分圧部(以下、抵抗分圧部110とも称する)の等価回路を示す図である。なお、便宜上、記録素子用の駆動回路103を第1の駆動回路とも称し、サブヒータ112用の駆動回路111を第2の駆動回路とも称する。   FIG. 4 illustrates a sub-heater 112, a drive circuit 111, and a resistance voltage dividing unit (hereinafter also referred to as a resistance voltage dividing unit 110) that is a gate voltage generation unit 110 in the configuration according to the first embodiment illustrated in FIG. It is a figure which shows an equivalent circuit. For convenience, the drive circuit 103 for the recording element is also referred to as a first drive circuit, and the drive circuit 111 for the sub-heater 112 is also referred to as a second drive circuit.

図5は、第1の実施形態に係る抵抗分圧部110の詳細な回路構成の例を示す図である。本実施形態において、抵抗分圧部110は、抵抗成分である2つの素子120a、120bから構成される。そして、抵抗分圧部110は、電圧が印加される側の素子120aと、接地側の素子120bの間にて、駆動回路111のゲート端子111aと電気的に接続される。   FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a detailed circuit configuration of the resistance voltage dividing unit 110 according to the first embodiment. In the present embodiment, the resistance voltage divider 110 includes two elements 120a and 120b that are resistance components. The resistance voltage divider 110 is electrically connected to the gate terminal 111a of the drive circuit 111 between the element 120a to which the voltage is applied and the element 120b on the ground side.

本実施形態において、駆動回路111は、ソース接地型MOSトランジスタで構成する。ゲート電圧生成部110は、図5に示す等価回路の構成となるよう、端子101c側の素子120aをAL−Siからなる配線として形成する。なお、素子120aを形成する物質はこれに限定するものではなく、その他の物質により形成されてもよい。また、GND側の素子120bをダイオードで形成し、それらを図2および図7に示すように、サブヒータ112に隣接して配置する。図7は、図2における基板中央部Aのサブヒータ112と、その近傍に配置されたゲート電圧生成部110を拡大した図である。図7に示すように、図5に示すGND側の抵抗成分がヒータ105の配列の中央部近傍に配置される。基板中央部Aは、記録動作中に過剰に昇温しやすい場所である。この例に限らず、GND側の素子120bを温度変化の大きい場所に配置すればよい。   In the present embodiment, the drive circuit 111 is composed of a common source MOS transistor. The gate voltage generation unit 110 forms the element 120a on the terminal 101c side as a wiring made of AL-Si so as to have the equivalent circuit configuration shown in FIG. Note that the substance forming the element 120a is not limited to this, and the element 120a may be formed of other substances. Further, the GND-side element 120b is formed of a diode, and is disposed adjacent to the sub-heater 112 as shown in FIGS. FIG. 7 is an enlarged view of the sub-heater 112 in the central portion A of the substrate in FIG. 2 and the gate voltage generation unit 110 disposed in the vicinity thereof. As shown in FIG. 7, the resistance component on the GND side shown in FIG. 5 is arranged in the vicinity of the center of the heater 105 array. The central portion A of the substrate is a place where the temperature easily rises excessively during the recording operation. Not limited to this example, the GND-side element 120b may be disposed in a place where the temperature change is large.

サブヒータ112は、ゲート電圧生成部110で生成されたゲート電圧によって、駆動回路111からサブヒータ112に電流が流れることで発熱し、記録素子基板100とインク液滴とを加熱する。   The sub-heater 112 generates heat when a current flows from the driving circuit 111 to the sub-heater 112 by the gate voltage generated by the gate voltage generation unit 110, and heats the recording element substrate 100 and the ink droplets.

図14は、第1の実施形態に係る記録素子基板を搭載した記録ヘッド300を示す斜視図である。筐体305には電気配線部材302、電気配線基板303および記録素子基板301(301a、301b)が搭載されている。また、筐体305にはインクタンク304が装着される。インクタンク304に格納されたインクは記録ヘッド300を通して記録素子基板301に導入される。なお、図14は、シリアルタイプの記録装置における記録ヘッド300の構成例であるが、上述したように、この構成に限らず、フルラインの記録ヘッドに本願発明を適用してもよい。   FIG. 14 is a perspective view showing a recording head 300 on which the recording element substrate according to the first embodiment is mounted. An electrical wiring member 302, an electrical wiring substrate 303, and a recording element substrate 301 (301a, 301b) are mounted on the housing 305. An ink tank 304 is attached to the housing 305. The ink stored in the ink tank 304 is introduced into the recording element substrate 301 through the recording head 300. FIG. 14 shows a configuration example of the recording head 300 in the serial type recording apparatus. However, as described above, the present invention is not limited to this configuration, and the present invention may be applied to a full-line recording head.

図15は、記録ヘッド300に搭載される記録素子基板301aを示す斜視図である。記録素子基板301aにおいて記録素子基板100上にヒータ105が配置されている。また記録素子基板100にはインク供給口106が形成されている。ヒータ105は、インク供給口106に沿って配列している。更に記録素子基板100上には流路形成部材200bおよび吐出口形成部材200aが設けられ、吐出口形成部材200aはヒータ105に対応した吐出口201を形成する。また端子101を通して、外部から記録素子基板100に電圧や信号を供給している。   FIG. 15 is a perspective view showing a recording element substrate 301 a mounted on the recording head 300. A heater 105 is disposed on the recording element substrate 100 in the recording element substrate 301a. An ink supply port 106 is formed in the recording element substrate 100. The heaters 105 are arranged along the ink supply port 106. Further, a flow path forming member 200 b and a discharge port forming member 200 a are provided on the recording element substrate 100, and the discharge port forming member 200 a forms a discharge port 201 corresponding to the heater 105. Further, a voltage and a signal are supplied from the outside to the recording element substrate 100 through the terminal 101.

[本実施形態に係る効果の説明]
第1の実施形態の効果を確認する為、比較例として、図1に示す回路構成を用いる。なお、回路構成以外は、上述した第1の実施形態の構成と同じであるとし、説明を省略する。
[Description of Effects According to the Present Embodiment]
In order to confirm the effect of the first embodiment, a circuit configuration shown in FIG. 1 is used as a comparative example. Note that the configuration other than the circuit configuration is the same as that of the first embodiment described above, and a description thereof is omitted.

図1は、記録素子基板100を加熱する為の温調用抵抗素子(以下、サブヒータ)112を搭載した比較例の記録素子基板を示す平面図である。比較例では、第1の実施形態に係る図2の構成と比較して、サブヒータ112を駆動する為の駆動回路111と、ゲート電圧生成部110が、それぞれ隣接して端子近傍に配置している。ここでは、3列の112に対応して、3つの駆動回路とゲート電圧生成部110の組が配置されている。   FIG. 1 is a plan view showing a recording element substrate of a comparative example on which a resistance element for temperature adjustment (hereinafter referred to as a sub-heater) 112 for heating the recording element substrate 100 is mounted. In the comparative example, as compared with the configuration of FIG. 2 according to the first embodiment, the drive circuit 111 for driving the sub-heater 112 and the gate voltage generation unit 110 are arranged adjacent to each other in the vicinity of the terminals. . Here, a set of three drive circuits and the gate voltage generation unit 110 is arranged corresponding to 112 in three columns.

第1の実施形態の構成の記録ヘッドと比較例1の構成の記録ヘッドを用いて、サブヒータ112を加熱させた場合について説明する。ここでは、環境温度が5℃の状態から、記録素子基板100上の温度検出素子102の示す温度が50℃となるよう、サブヒータ112に一定の電流を流しながら、加熱した場合について説明する。その際、全てのヒータを駆動させ、各ヒータから吐出されるインクの吐出特性と、記録素子基板100上の温度検出素子102から出力された基板温度、サブヒータ電流について、同時に測定を行う。   A case where the sub-heater 112 is heated using the recording head having the configuration of the first embodiment and the recording head having the configuration of Comparative Example 1 will be described. Here, a case will be described in which heating is performed while a constant current is supplied to the sub-heater 112 so that the temperature indicated by the temperature detection element 102 on the recording element substrate 100 is 50 ° C. from a state where the environmental temperature is 5 ° C. At that time, all the heaters are driven, and the ejection characteristics of the ink ejected from each heater, the substrate temperature output from the temperature detection element 102 on the recording element substrate 100, and the sub-heater current are measured simultaneously.

測定の結果、比較例1の構成では、基板温度が50℃近傍に達したところで、基板中央部近傍の吐出口周辺にインクの液溜りが発生し、その周囲の吐出口からインク液滴が正常に吐出されなかった。このインクの液溜りが見られた時の基板表面の温度を、基板上の温度検出素子の値では無く、サーモグラフィを用いて別途、観察した所、基板中央部周辺の温度が70℃近傍まで昇温していた。   As a result of the measurement, in the configuration of Comparative Example 1, when the substrate temperature reached around 50 ° C., ink pooled around the ejection port near the center of the substrate, and ink droplets were normal from the surrounding ejection port. It was not discharged. When the temperature of the surface of the substrate when this ink pool is observed is not the value of the temperature detection element on the substrate, but separately observed using thermography, the temperature around the center of the substrate rises to around 70 ° C. It was warm.

これは、環境温度が低温(5℃)から基板温度を昇温させた際に、環境温度が常温(25℃)から昇温させた場合と同一の時間で、所望の温度となるよう、急激に加熱を行っていた。その結果、基板中央部Aのサブヒータ周辺の基板温度が温度検出素子102の示す温度よりも高温となっていたことがわかった。その為、記録素子基板と共にサブヒータ周辺のインク温度も過剰に昇温したことで、インクの特性が変化し、不吐が発生していた。   This is because when the environmental temperature is raised from a low temperature (5 ° C.), the substrate temperature is rapidly increased to the desired temperature in the same time as when the environmental temperature is raised from the normal temperature (25 ° C.). The heating was done. As a result, it was found that the substrate temperature around the sub-heater in the central portion A of the substrate was higher than the temperature indicated by the temperature detection element 102. For this reason, the ink temperature in the vicinity of the sub-heater together with the recording element substrate is excessively raised, so that the characteristics of the ink change and undischarge occurs.

一方、第1の実施形態の構成では、温度検出素子の示す温度が、50℃よりも低い45℃近傍で、基板温度が収束し、インク液滴の不吐は見られなかった。この時の基板表面の温度を、同様にサーモグラフィを用いて確認した所、基板中央部の温度が60℃弱の値を示していた。更に、この時のサブヒータ112に流れる電流を確認した所、サブヒータ112の電流が図9に示すように、60℃近傍から減少していることが分かった。   On the other hand, in the configuration of the first embodiment, when the temperature indicated by the temperature detection element is in the vicinity of 45 ° C., which is lower than 50 ° C., the substrate temperature converges and no ink droplet discharge is observed. When the temperature of the substrate surface at this time was similarly confirmed using thermography, the temperature at the center of the substrate showed a value of less than 60 ° C. Further, when the current flowing through the sub-heater 112 at this time was confirmed, it was found that the current of the sub-heater 112 decreased from around 60 ° C. as shown in FIG.

図9、図11、および図12を用いて、上記の理由について更に詳細に説明する。図9は、本実施形態に係る図2に示す記録素子基板100のサブヒータ112の電流と温度の関係を示したものであり、縦軸をサブヒータ温度[mA]とし、横軸を温度[℃]として示している。また、図11は、本実施形態に係る抵抗分圧部110で生成されるゲート電圧と温度の関係を示したものであり、縦軸をゲート電圧[V]とし、横軸を温度[℃]として示している。また、図12は、本実施形態に係るソース接地型MOSトランジスタである駆動回路111の抵抗値[Ω]と抵抗分圧部110で生成されるゲート電圧[V]との関係を示している。   The above reason will be described in more detail with reference to FIGS. 9, 11, and 12. FIG. 9 shows the relationship between the current and temperature of the sub-heater 112 of the printing element substrate 100 shown in FIG. 2 according to the present embodiment. The vertical axis represents the sub-heater temperature [mA], and the horizontal axis represents the temperature [° C.]. As shown. FIG. 11 shows the relationship between the gate voltage generated by the resistance voltage divider 110 according to this embodiment and the temperature. The vertical axis represents the gate voltage [V], and the horizontal axis represents the temperature [° C.]. As shown. FIG. 12 shows the relationship between the resistance value [Ω] of the drive circuit 111 which is a common source MOS transistor according to the present embodiment and the gate voltage [V] generated by the resistance voltage dividing unit 110.

本実施形態において、抵抗分圧部110のGND側の素子が負の温度特性を持ったダイオード(素子120b)で形成されているため、温度上昇に応じて抵抗分圧部110のGND側の素子120bの抵抗値が減少する。その結果、抵抗分圧部110で生成されるゲート電圧も図11のように減少する。また、ソース接地型MOSトランジスタで形成された駆動回路111は、ゲート電圧に応じてMOSオン抵抗が図12のような特性を示し、ゲート電圧が7V近傍まで低下すると、そこからMOSオン抵抗が急激に上昇する。その結果、図9にあるようにサーモグラフィの示す基板温度が60℃近傍に達すると、サブヒータ112への電流が減少する。このことから、記録装置本体を介さずに、サブヒータ112周辺の基板およびインクの過昇温を抑制し、結果として、インクの不吐を防止出来ることとなる。   In the present embodiment, since the element on the GND side of the resistance voltage dividing unit 110 is formed of a diode (element 120b) having a negative temperature characteristic, the element on the GND side of the resistance voltage dividing unit 110 according to a temperature rise. The resistance value of 120b decreases. As a result, the gate voltage generated by the resistance voltage divider 110 also decreases as shown in FIG. Further, the drive circuit 111 formed of the common source MOS transistor shows the characteristics as shown in FIG. 12 according to the gate voltage, and when the gate voltage drops to around 7 V, the MOS on resistance suddenly increases. To rise. As a result, as shown in FIG. 9, when the substrate temperature indicated by the thermography reaches around 60 ° C., the current to the sub-heater 112 decreases. Therefore, the excessive temperature rise of the substrate and the ink around the sub heater 112 can be suppressed without going through the recording apparatus main body, and as a result, ink non-discharge can be prevented.

更に、図7に示すように、抵抗分圧部110の素子120a、120bをサブヒータ112近傍に配置していたことで、端子近傍の温度検出素子に比べ、発熱源との物理的な距離が縮まり、温度変化に対する応答性が向上したことも不吐防止の要因に挙げられる。   Further, as shown in FIG. 7, the elements 120a and 120b of the resistance voltage dividing unit 110 are arranged in the vicinity of the sub-heater 112, so that the physical distance to the heat generation source is reduced as compared with the temperature detection element in the vicinity of the terminal. The improvement in responsiveness to temperature changes is also cited as a factor for preventing undischarge.

更に、図13は、ソース接地型MOSトランジスタで形成された駆動回路111の抵抗値[Ω]と温度[℃]との関係を示したものである。図13に示すように、ソース接地型MOSトランジスタで形成された駆動回路111自体も、温度の上昇に応じてMOSオン抵抗が上昇する特性を有する。そのため、本実施形態の構成により、駆動回路111の特性自体も、昇温を抑制したと想定される。   Furthermore, FIG. 13 shows the relationship between the resistance value [Ω] and the temperature [° C.] of the drive circuit 111 formed of a common source MOS transistor. As shown in FIG. 13, the drive circuit 111 itself formed of a source-grounded MOS transistor also has a characteristic that the MOS on-resistance increases as the temperature increases. Therefore, with the configuration of this embodiment, it is assumed that the temperature of the drive circuit 111 itself is also suppressed.

<第2の実施形態>
本願発明の第2の実施形態について、図面を用いて説明する。図3は、本発明の第2の実施形態の記録素子基板の平面構成の例を示す図である。なお、本実施形態に係るサブヒータ112と駆動回路111、ゲート電圧生成部である抵抗分圧部110の等価回路は、第1の実施形態にて示した図4と同様である。図6は、第2の実施形態の抵抗分圧部110の等価回路図の詳細を示す。
<Second Embodiment>
A second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a planar configuration of a recording element substrate according to the second embodiment of the present invention. Note that an equivalent circuit of the sub-heater 112, the drive circuit 111, and the resistance voltage divider 110, which is a gate voltage generator, according to the present embodiment is the same as that of FIG. 4 described in the first embodiment. FIG. 6 shows details of an equivalent circuit diagram of the resistance voltage divider 110 of the second embodiment.

本実施形態では、第1の実施形態と異なる点として、ゲート電圧生成部110a、110bを、図6に示すように二段構成で接続して配置している。また、ゲート電圧生成部110a、110bは、図8に示すように、サブヒータ112を挟んで配置される。その他の構成は、第1の実施形態と同様であるため、説明は省略する。   In this embodiment, as a point different from the first embodiment, the gate voltage generators 110a and 110b are connected and arranged in a two-stage configuration as shown in FIG. Further, the gate voltage generation units 110a and 110b are arranged with the sub heater 112 interposed therebetween as shown in FIG. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.

[本実施形態に係る効果の説明]
第2の実施形態の構成を備える記録ヘッドを用いて、吐出特性の確認と基板温度およびサブヒータ電流についてモニタリングを行った。図10は、本実施形態に係る図6に示す記録素子基板100のサブヒータ112の電流と温度の関係を示したものであり、縦軸をサブヒータ温度[mA]とし、横軸を温度[℃]として示している。その結果、第2の実施形態の構成では、図10に示すように、温度検出素子の示す温度が45℃近傍に達すると、ゲート電圧と共にサブヒータ112の電流が急激に低下していることが分かった。
[Description of Effects According to the Present Embodiment]
Using the recording head having the configuration of the second embodiment, confirmation of ejection characteristics and monitoring of the substrate temperature and the sub-heater current were performed. FIG. 10 shows the relationship between the current and temperature of the sub-heater 112 of the recording element substrate 100 shown in FIG. 6 according to the present embodiment, where the vertical axis is the sub-heater temperature [mA] and the horizontal axis is the temperature [° C.]. As shown. As a result, in the configuration of the second embodiment, as shown in FIG. 10, when the temperature indicated by the temperature detection element reaches around 45 ° C., the current of the sub-heater 112 rapidly decreases together with the gate voltage. It was.

これは、二段構成にしたゲート電圧生成部110の内、最初のゲート電圧生成部110aで生成されたゲート電圧が、駆動回路111側のゲート電圧生成部110bの温度特性の影響を受けたことで、温度上昇に対してゲート電圧がより低下する特性を示していた。その結果、ゲート電圧生成部110を二段構成にしたことによって、第1の実施形態の時のサブヒータ112の電流が低下し始めた温度である50℃よりも低温の領域で、サブヒータ112の電流を抑制していることが分かった。   This is because the gate voltage generated by the first gate voltage generator 110a in the two-stage gate voltage generator 110 is affected by the temperature characteristics of the gate voltage generator 110b on the drive circuit 111 side. Thus, the characteristic that the gate voltage is further lowered as the temperature rises is shown. As a result, since the gate voltage generator 110 has a two-stage configuration, the current of the sub-heater 112 in a region lower than 50 ° C., which is the temperature at which the current of the sub-heater 112 starts to decrease in the first embodiment. It turns out that it is suppressing.

このように、ゲート電圧生成部を二段構成で形成することで、インクの最適吐出温度が第1の実施形態より低温になった場合でも、サブヒータ112周辺の基板およびインクの過昇温を防止しつつ、インクの吐出特性を確保することが出来る。   As described above, by forming the gate voltage generation unit in a two-stage configuration, even when the optimum ink ejection temperature is lower than that in the first embodiment, the substrate around the sub-heater 112 and the ink are prevented from excessively rising in temperature. However, the ink ejection characteristics can be ensured.

なお、本実施形態では、ゲート電圧生成部を二段構成で配置したが、三段以上の構成であってもよい。   In the present embodiment, the gate voltage generation unit is arranged in a two-stage configuration, but a three-stage or more configuration may be used.

<その他の実施形態>
第2の実施形態では、抵抗分圧部110の端子側の素子120aおよび素子120cに正の温度特性を示す素子、GND側の素子120bおよび素子120dに負の温度特性を示す素子をそれぞれ用いた構成としている。しかし、GND側の素子の温度特性が、端子側の素子よりも温度に対して抵抗値が下がる特性を示せば、抵抗分圧部の端子側とGND側ともに正、もしくは負の温度特性素子を用いても同様の効果が得られる。言い換えると、GND側の素子は、端子側の素子に比べ、温度上昇による抵抗値の増加が小さい構成であればよい。
<Other embodiments>
In the second embodiment, the element 120a and the element 120c on the terminal side of the resistance voltage divider 110 are elements that exhibit positive temperature characteristics, and the element 120b and the element 120d on the GND side are elements that exhibit negative temperature characteristics, respectively. It is configured. However, if the temperature characteristic of the GND side element shows a characteristic that the resistance value is lower with respect to the temperature than the terminal side element, a positive or negative temperature characteristic element on both the terminal side and the GND side of the resistance voltage divider is Even if it is used, the same effect can be obtained. In other words, the GND-side element only needs to have a configuration in which an increase in resistance value due to a temperature rise is small compared to a terminal-side element.

なお、上記の端子側とGND側にそれぞれ配置した二種類の温度特性素子について、各実施形態では各素子を一個のみ配置した構成を示した。しかし、この構成に限定するものではなく、例えば、それぞれが複数個接続された構成でも同様の効果が得られる。   In addition, about two types of temperature characteristic elements each arrange | positioned at said terminal side and GND side, in each embodiment, the structure which has arrange | positioned only one element was shown. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, the same effect can be obtained by a configuration in which a plurality of each is connected.

また、各実施形態では、インク供給口106が2穴(2列)の構成で実施した。しかし、この構成に限定するものではなく、例えば、サブヒータの近傍もしくは、記録素子基板の上面から見てサブヒータと重なる様に配置されていれば、3穴以上の構成であっても同様の効果が得られる。   In each embodiment, the ink supply port 106 has a configuration of two holes (two rows). However, the present invention is not limited to this configuration. For example, if it is arranged in the vicinity of the sub-heater or so as to overlap with the sub-heater when viewed from the upper surface of the recording element substrate, the same effect can be obtained even with a configuration of three or more holes. can get.

更には、上記以外に、記録素子基板の平面形状が平行四辺形といった矩形以外のものや、基板平面に対して垂直に開口されたインク供給口が、ヒータ配列一つ当たりに複数設けられた構成の基板であっても、同様の効果が得られる。   In addition to the above, a configuration in which the planar shape of the recording element substrate is other than a rectangle such as a parallelogram, and a plurality of ink supply ports opened perpendicular to the substrate plane are provided per heater array. The same effect can be obtained even with this substrate.

100:基板、101:外部接続端子、105:記録素子、106:インク供給口、110:ゲート電圧生成部、111:サブヒータ駆動回路、112:サブヒータ、120a:素子(端子側抵抗成分)、120b:素子(GND側抵抗成分) DESCRIPTION OF SYMBOLS 100: Board | substrate, 101: External connection terminal, 105: Recording element, 106: Ink supply port, 110: Gate voltage generation part, 111: Sub heater drive circuit, 112: Sub heater, 120a: Element (terminal side resistance component), 120b: Element (GND side resistance component)

Claims (15)

記録素子基板であって、
複数の記録素子と、
前記複数の記録素子それぞれに対応する複数の第一の駆動回路と、
前記記録素子基板を加熱する発熱素子と、
前記発熱素子を駆動する第二の駆動回路と、
を備え、
前記第二の駆動回路は、
ソース接地型MOSトランジスタで形成され、
前記第二の駆動回路に供給されるゲート電圧を生成する抵抗分圧部が設けられることを特徴とする記録素子基板。
A recording element substrate,
A plurality of recording elements;
A plurality of first drive circuits corresponding to each of the plurality of recording elements;
A heating element for heating the recording element substrate;
A second drive circuit for driving the heating element;
With
The second drive circuit includes:
Formed by a common source MOS transistor,
A recording element substrate, comprising: a resistance voltage dividing unit that generates a gate voltage supplied to the second drive circuit.
前記抵抗分圧部は、
少なくとも、電圧が印加される側の第一の抵抗成分と、接地側の第二の抵抗成分で構成され、
前記第一の抵抗成分と前記第二の抵抗成分の間で、前記第二の駆動回路のゲート端子と電気的に接続されることを特徴とする請求項1に記載の記録素子基板。
The resistance voltage dividing unit is
At least a first resistance component on the side to which a voltage is applied and a second resistance component on the ground side,
The recording element substrate according to claim 1, wherein the recording element substrate is electrically connected to a gate terminal of the second drive circuit between the first resistance component and the second resistance component.
前記第一の抵抗成分と前記第二の抵抗成分はそれぞれ、少なくとも一つ以上の抵抗成分を有する素子で構成されることを特徴とする請求項2に記載の記録素子基板。   The recording element substrate according to claim 2, wherein each of the first resistance component and the second resistance component includes an element having at least one resistance component. 前記第二の抵抗成分は、前記第一の抵抗成分に比べ、温度上昇による抵抗値の増加が小さいことを特徴とする請求項2または3に記載の記録素子基板。   4. The recording element substrate according to claim 2, wherein the second resistance component has a smaller increase in resistance value due to a temperature rise than the first resistance component. 5. 前記第一の抵抗成分は、正の温度特性素子で形成され、
前記第二の抵抗成分は、負の温度特性素子で形成される
ことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の記録素子基板。
The first resistance component is formed of a positive temperature characteristic element,
The recording element substrate according to claim 2, wherein the second resistance component is formed of a negative temperature characteristic element.
前記第一、第二の抵抗成分は、負の温度特性素子で形成されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の記録素子基板。   The recording element substrate according to claim 2, wherein the first and second resistance components are formed of negative temperature characteristic elements. 前記第一、第二の抵抗成分は、正の温度特性素子で形成されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の記録素子基板。   The recording element substrate according to claim 2, wherein the first and second resistance components are formed of positive temperature characteristic elements. 前記正の温度特性素子は、AL−Siにより形成されることを特徴とする請求項5または7に記載の記録素子基板。   The recording element substrate according to claim 5 or 7, wherein the positive temperature characteristic element is formed of AL-Si. 前記負の温度特性素子は、ダイオードであることを特徴とする請求項5または6に記載の記録素子基板。   The recording element substrate according to claim 5, wherein the negative temperature characteristic element is a diode. 前記抵抗分圧部を構成する抵抗成分のうち、少なくとも前記第二の抵抗成分は、前記発熱素子に隣接して配置されることを特徴とする請求項2乃至9のいずれか一項に記載の記録素子基板。   10. The device according to claim 2, wherein at least the second resistance component among the resistance components constituting the resistance voltage dividing unit is disposed adjacent to the heating element. 11. Recording element substrate. 前記抵抗分圧部は、電圧が印加される側の第一の抵抗分圧部と、前記駆動回路と接続される第二の抵抗分圧部を含んで構成され、
前記第一の抵抗分圧部と前記第二の抵抗分圧部それぞれは、少なくとも電圧が印加される側の第一の抵抗成分と、接地側の第二の抵抗成分で構成され、
前記第一の抵抗分圧部で形成されたゲート電圧は、前記第二の抵抗分圧部における第一の抵抗成分に印加されるよう、電気的に接続されることを特徴とする請求項1に記載の記録素子基板。
The resistance voltage dividing unit includes a first resistance voltage dividing unit on a side to which a voltage is applied and a second resistance voltage dividing unit connected to the driving circuit,
Each of the first resistance voltage dividing unit and the second resistance voltage dividing unit includes at least a first resistance component on a side to which a voltage is applied and a second resistance component on the ground side,
The gate voltage formed by the first resistance voltage dividing unit is electrically connected so as to be applied to a first resistance component in the second resistance voltage dividing unit. The recording element substrate according to 1.
少なくとも二つの前記抵抗分圧部が形成されることを特徴とする請求項1に記載の記録素子基板。   The recording element substrate according to claim 1, wherein at least two of the resistance voltage dividing portions are formed. 記録素子基板であって、
複数の記録素子と、
前記複数の記録素子それぞれに対応する複数の第一の駆動回路と、
前記記録素子基板を加熱する発熱素子と、
前記発熱素子を駆動する第二の駆動回路と、
前記第二の駆動回路に供給されるゲート電圧を生成するゲート電圧生成部と、
を備え、
前記第二の駆動回路は、
ソース接地型MOSトランジスタを含んで形成され、
前記ソース接地型MOSトランジスタに供給されるゲート電圧生成する抵抗分圧部が設けられ、
前記ゲート電圧は、前記記録素子基板の温度上昇に応じて低下することを特徴とする記録素子基板。
A recording element substrate,
A plurality of recording elements;
A plurality of first drive circuits corresponding to each of the plurality of recording elements;
A heating element for heating the recording element substrate;
A second drive circuit for driving the heating element;
A gate voltage generator for generating a gate voltage supplied to the second drive circuit;
With
The second drive circuit includes:
Formed including a common source MOS transistor,
A resistance voltage dividing unit for generating a gate voltage supplied to the source grounded MOS transistor is provided;
The recording element substrate, wherein the gate voltage decreases with an increase in temperature of the recording element substrate.
請求項1乃至13のいずれか一項に記載の記録素子基板を1または複数備える記録ヘッド。   A recording head comprising one or a plurality of recording element substrates according to claim 1. 請求項14に記載の記録ヘッドを1または複数備える記録装置。   A recording apparatus comprising one or more recording heads according to claim 14.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020069752A (en) * 2018-11-01 2020-05-07 キヤノン株式会社 Element substrate, recording head, and recording device
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