JP2018085378A - 光増幅モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】 部品点数を減らし、精度良く対称な光学系を構築することができる光増幅モジュールを提供する。
【解決手段】光増幅モジュールは、入射光を二つの偏光成分に分離し各偏光の向きを平行にして出力する偏光分離素子と、二本の利得導波路を有する導波路基板と、前記二本の利得導波路からの出射光の偏光方向を直交させて多重する偏光合波素子と、前記偏光分離素子の出力を前記利得導波路に結合する第1の光学系と、前記利得導波路の出力を前記偏光合波素子に結合する第2の光学系と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】光増幅モジュールは、入射光を二つの偏光成分に分離し各偏光の向きを平行にして出力する偏光分離素子と、二本の利得導波路を有する導波路基板と、前記二本の利得導波路からの出射光の偏光方向を直交させて多重する偏光合波素子と、前記偏光分離素子の出力を前記利得導波路に結合する第1の光学系と、前記利得導波路の出力を前記偏光合波素子に結合する第2の光学系と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体を用いた光増幅モジュールに関する。
光通信システム等で用いられる半導体光増幅器では、光利得が入力信号光の偏波状態に依らずに一定であることが望ましい。
図12は、偏波依存性を低減した一般的な半導体増幅器モジュールの構成を示す。この構成では、光軸方向の両端に低反射構造202を有する半導体利得導波路基板201a、201bが、互いに直交する偏光パスの各々に配置されている。光ファイバ203から入力される入射光は、結合レンズ204によってコリメートされ、偏光分離素子205で直交する偏光成分に分離される。2つの偏光は、1/2波長板206aによって偏光面が揃えられる。その後、アイソレータ207a、207bで一方向に透過され、結合レンズ204a、204bによって集光されて、それぞれ対応する利得導波路に結合する。半導体利得導波路で偏光状態を維持したまま増幅され、結合レンズ204c、204dでコリメートされ、アイソレータ207c、207dを透過し、光合波器208で合波されて出力される。入射偏光状態が変動しても、対称な光学系が構築され半導体利得導波路が線形の入出力特性を持てば、光出力強度は一定となる。
なお、シリコンベンチに実装されたU字導波路型のSOA(半導体光増幅)チップにおいて、光増幅部に入力される光の単位強度当たりの利得の変化の絶対値が所定値以下であるSOAを用いることで偏波依存利得を低減する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)
しかしながら、図12に示す従来の技術には以下に示す問題点がある。
(1)個別の部品を配置するため、二つの光路の損失と光路長を等しくして精度良く対称な光学系を構築することが困難であり、偏光依存性を十分に解消することが出来ない。
(2)個別の部品を配置するため、部品点数が増え、モジュールが大型になる。
(3)異なる基板の半導体利得導波路の特性をそろえることが難しく、精度良く対称な光学系を構築することが困難であるため、偏光依存性を十分に解消することが出来ない。
(4)一般に半導体利得導波路は非線形な入出力特性を持つので、精度良く対称な光学系を構築しても、入射光の偏光状態が変動すると出力光の強度が変動する。
また、特許文献1の構成では、上記(4)の問題点の他に高価な光サーキュレータを利用し、複雑な構成となる問題がある。
(1)個別の部品を配置するため、二つの光路の損失と光路長を等しくして精度良く対称な光学系を構築することが困難であり、偏光依存性を十分に解消することが出来ない。
(2)個別の部品を配置するため、部品点数が増え、モジュールが大型になる。
(3)異なる基板の半導体利得導波路の特性をそろえることが難しく、精度良く対称な光学系を構築することが困難であるため、偏光依存性を十分に解消することが出来ない。
(4)一般に半導体利得導波路は非線形な入出力特性を持つので、精度良く対称な光学系を構築しても、入射光の偏光状態が変動すると出力光の強度が変動する。
また、特許文献1の構成では、上記(4)の問題点の他に高価な光サーキュレータを利用し、複雑な構成となる問題がある。
上記の問題点に鑑みて、本発明は、部品点数を減らし、精度の良い対称な光学系を有する光増幅モジュールを提供することを目的とする。
本発明の一態様では、光増幅モジュールは、
入射光を二つの偏光成分に分離し各偏光の向きを平行にして出力する偏光分離素子と、
二本の利得導波路を有する導波路基板と、
前記二本の利得導波路からの出射光の偏光方向を直交させて多重する偏光合波素子と、
前記偏光分離素子の出力を前記利得導波路に結合する第1の光学系と、
前記利得導波路の出力を前記偏光合波素子に結合する第2の光学系と、
を有する。
入射光を二つの偏光成分に分離し各偏光の向きを平行にして出力する偏光分離素子と、
二本の利得導波路を有する導波路基板と、
前記二本の利得導波路からの出射光の偏光方向を直交させて多重する偏光合波素子と、
前記偏光分離素子の出力を前記利得導波路に結合する第1の光学系と、
前記利得導波路の出力を前記偏光合波素子に結合する第2の光学系と、
を有する。
上記の構成により、光増幅モジュールにおいて部品点数を減らし、精度良く対称な光学系を構築することができる。同一基板上で近接した利得導波路を利用するので、半導体利得導波路の特性をそろえることができる。
実施形態では、偏光分離および偏光合波の光学系を集積し、モジュールの部品点数を減らし、精度良く対称な光学系を構築する。また、同一基板上で近接した利得導波路を利用して、半導体利得導波路の特性がそろった対称な光学系を構築する。伝搬光の光強度を測定する手段と、伝搬光の光強度によって利得導波路への注入電流を制御する回路を設ける構成例では、入射光の変動による出力光強度の変動を抑圧する。以下で具体的な構成を説明する。
図1は、本発明の第1の実施例の光増幅モジュール100の概略図である。光軸方向をx方向、紙面内でx軸と直交する方向をy方向、紙面と垂直な高さ方向をz方向とする。光増幅モジュール100は、偏光分離素子101と、利得導波路基板107と、偏光合波素子110を有する。偏光分離素子101と利得導波路基板107の間に、第1のレンズ103、光アイソレータ104−1、及び第2のレンズ105が配置されている。利得導波路基板107と偏光合波素子110の間に、第3のレンズ108、光アイソレータ104−2、及び第4のレンズ109が配置されている。
偏光分離素子101は石英導波路基板151で形成された素子であり、入力ファイバ102から入射する光の偏光成分を分離し、偏光方向を同じ向きに揃えて出力する。偏光分離素子101の出力端での偏光の向きは、後段の利得導波路の利得が大きくなる向きであり、一例として、電界の振動方向が基板面内となるTE偏光とする。
偏光分離素子101から出力された光は、第1のレンズ103によりほぼ平行光に変換され、光アイソレータ104で一方向のみに導かれる。光アイソレータ104−1に、利得の波長依存性を減らす利得平坦化フィルタを付加してもよい。光アイソレータ104−1と利得平坦化フィルタは、それぞれ光波制御素子として機能する。光アイソレータ104−1を通過した光は、第2のレンズ105で集光されて、同一の利得導波路基板107の上に形成された半導体利得導波路106aと106bに結合する。
半導体利得導波路106aと106bからの出射光は、第3のレンズ108によってほぼ平行光に変換され、光アイソレータ104−2を通って、第4のレンズ109により、偏光合波素子110に結合される。光アイソレータ104−2の機能は光アイソレータ104−1と同じである。偏光合波素子110は石英導波路基板155で構成される素子であり、偏光分離素子101と同様の構成を有する。ただし、偏光分離素子101と逆の方向から接続されており、偏光合波器として機能する。偏光分離素子101も偏光合波素子110もフォトリソグラフィ工程で正確に作製することができるので、高い対称性を有する。偏光合波素子110の出力光は、出力ファイバ111に入射する。
図2は、偏光分離素子101の構成例を示す。偏光分離素子101は、石英導波路基板151の上に形成された石英光導波路112、1:2光分岐回路113、及び2:2光合分波回路114を有する。1:2光分岐回路113は、多モード干渉分岐素子、Y型導波路分岐素子、方向性結合素子など公知の構成を有し、入射光を強度の等しい2つの出力光に分離する。2:2光合分波回路114は、多モード干渉分岐素子、方向性結合素子など公知の構成を有し、各入力導波路からの入射光を等しい強度に分離する。
1:2光分岐回路113と2:2光合分波回路114の間を接続する2本の導波路115と116の長さは等しい。導波路115と116の途中に、各導波路115、116に対して斜めに形成された溝(スリット)が形成されており、溝内に薄膜波長板117、118が、それぞれ挿入されている。反射光を低減し、損失の増加をできる限り抑えるために、溝の法線方向はx方向に対して8°程度の角度で傾いている。薄膜波長板117、118としては、ポリイミドなど異方性の大きい薄膜や、フォトニック結晶波長板を用いることが出来る。
偏光を分離するためには、導波路115と導波路116を伝搬するTE偏光とTM偏光に対して適切な位相差を生じるように、薄膜波長板117と118のリタデーションと挿入方向を定める必要がある。1:2光分岐回路113が多モード干渉分岐素子あるいはY型導波路分岐素子の場合、1:2光分岐回路113の出力端においてTE偏光とTM偏光の位相は等しい。この場合は、薄膜波長板117と118を1/4波長板とし、薄膜波長板117の遅軸をy方向に合わせ、薄膜波長板118の遅軸をz方向に合わせる。これにより、2:2光合分波回路114の入射直前に、導波路115を伝搬するTE偏光は導波路116を伝搬するTE偏光に対して1/2波長位相が遅れる。また、2:2光合分波回路114の入射直前に、導波路115を伝搬するTM偏光は導波路116を伝搬するTM偏光に対して1/2波長位相が進む。その結果、TE偏光は出力導波路119に結合し、TM偏光は出力導波路120に結合する。出力導波路119と120には1/2波長板121と122がそれぞれ挿入されている。TE偏光のみを出力する場合は、1/2波長板122の遅軸はy方向に対して45°あるいは−45°の角度に配置され、1/2波長板121の遅軸は、y方向かあるいはz方向に配置される。TE偏光は1/2波長板121を透過して変化しないが、TM偏光は1/2波長板122を透過して90°偏光面が回転してTE偏光に変換される。
出力導波路119と120の出力端はテーパ構造123を有し、導波路がx軸に対してθ1の角度になるように曲げられている。また、出力導波路119と120の端面は、y軸に対してθ2の角度を成す。別の言い方をすると、石英導波路基板151の出力側の端面152は、y軸に対してθ2の角度で切断されている。
図3は、図2のテーパ構造の拡大図である。石英導波路構造の有効屈折率をng、外部の屈折率をnaとするとき、x方向(矢印の向き)に光が放射されるように式(1)が満たされるようにする。
一般に、偏光分離部を1:2分岐素子、2本の導波路、及び2:2合波素子で構成し、各導波路に挿入する波長板の遅軸を90°異ならせる場合、たとえば薄膜波長板117の遅軸をy方向、薄膜波長板118の遅軸をz方向、あるいは、薄膜波長板117の遅軸をz方向、薄膜波長板118の遅軸をy方向とする場合、薄膜波長板117と118のリタデーションをそれぞれdA、dBとすると、式(2)を満たさなければならない。
図5は、利得導波路基板107の上面図である。導波路端での反射光が導波路に戻らないように、半導体利得導波路106a、106は、チップ端面153の法線nに対してθ3傾けられている。チップ端面153は、光軸が平行になるようにy軸に対してθ4傾けられている。なお、GaAs基板の場合、端面は劈開面である。
半導体利得導波路構造の有効屈折率をns、外部の屈折率をnaとするとき、y軸に平行な光線が導波路に結合するように式(3)を満たすように配置される。
偏光合波素子110の構成は偏光分離素子101と同じであり、図2の構成を逆に接続した構成となるので、重複する説明は割愛する。
図6及び図7は、光増幅モジュール100のレンズ設計の概要を示す。図7(A)に示すように、偏光分離素子101のテーパ構造123の出射端面におけるy方向とz方向のモードフィールド直径をr1y、r1zとする。図7(B)に示すように、利得導波路基板107の半導体利得導波路106aと106bのそれぞれのy方向とz方向のモードフィールド直径をr2y、r2zとする。第1レンズ103と第2レンズ105によるレンズ系の倍率をmとする。このとき、式(4)及び式(5)にできるだけ近くなるように設計すると、結合効率が高くなり望ましい。
図8は、本発明の実施例2として、光増幅モジュール100で用いられる利得導波路基板107の変形例としての利得導波路基板107Aを示す。実施例2では、利得導波路基板107Aに光検出部を設け、半導体利得導波路106aと106bを伝搬する光強度を測定可能とする。光強度の値に応じて、半導体利得導波路106a、106bへの注入電流を制御して、利得導波路の利得を制御し、出力光強度の変動を低減する。
半導体利得導波路106aの電極(たとえば図4の上部金電極124)は、電極124axと電極124ayの2つに分割されている。同様に半導体利得導波路106bの電極は、電極124bxと電極124byの2つに分割されている。電極124axと124bxには、順方向の電圧が印加され、電流が注入されて半導体利得導波路106aと106bに利得を与える。電極124ayと電極124byには、逆方向の電圧が印加され、フォトダイオードとして機能する。電極124ayと電極124bで、伝搬光の一部が吸収され、光電流が流れる。適当な負荷抵抗(R)を用いてその両端の電圧降下を測定することにより、伝搬光の強度を測定することが出来る。吸収が過剰とならないように、半導体利得導波路106aと106b上の電極124ayと124byの長さは、50ミクロン以下とする。電極124axと124ay間、及び電極124bxと124by間の抵抗を高くするために、エッチングにより間隙125及び128を形成する。
利得導波路基板107に、各半導体利得導波路106a、106bを伝搬する光の強度を測定する手段を設け、伝搬光の強度に応じて注入電流を制御することで、入射光の変動による出力光強度の変動を抑制できる。
図9は、本発明の実施例3として、光増幅モジュール100で用いられる偏光合波素子110の変形例としての偏光合波素子110Aを示す。実施例3では、偏光合波素子110Aにフォトダイオード(PD)136a、136bを設けることで、利得導波路基板107の半導体利得導波路106aと106bを伝搬する光の強度を測定可能とする。偏光合波素子110Aで測定された光強度の値に応じて、半導体利得導波路106a、106bへの注入電流を制御して、利得導波路の利得を制御し、出力光強度の変動を低減する。
偏光合波素子110Aは、入力側のテーパ構造138aと1/2波長板141の間に配置される1:2分岐回路135aと、入力側のテーパ構造138bと1/2波長板142の間に配置される1:2分岐回路135bを有する。1:2分岐回路135aで分岐された一部の光は、フォトダイオード136aで検出される。1:2分岐回路135bで分岐された一部の光の、フォトダイオード136bで検出される。1:2分岐回路135aと135bでは、伝搬光の0.5〜10.0%程度の光を分岐して、フォトダイオード136aと136bに入射する。
電源と負荷抵抗をフォトダイオード136a、136bに接続し(図8参照)、負荷抵抗両端の電圧降下を測定することにより、伝搬光強度を測定することが出来る。フォトダイオード136a、136bは、石英導波路基板155にボンディングして搭載することが可能である。また、分岐した光を光ファイバ等に接続して、モジュール外のフォトダイオードで光強度を測定してもよい。1:2分岐回路135a、135bの主要光成分は、1/2波長板141、142により、いずれか一方の導波路で偏光の方向が90°回転されて、互いに直交するTE偏光とTM偏光に変換され2:2分岐回路144に入力される。2:2分岐回路144から出力されるTE偏波とTM偏波の位相は薄膜波長板147、148により揃えられ、2:1分岐回路149で合波されて出力される。
偏光合波素子110得導波路基板107に、前段の半導体利得導波路106a、106bを伝搬する光の強度を測定する手段を設け、伝搬光の強度に応じて注入電流を制御することで、入射光の変動による出力光強度の変動を抑制することができる。
図10は、本発明の実施例4として、光増幅モジュール100で用いられる偏光分離素子101の変形例として、偏光分離素子101Aを示す。ここでは、テーバ構造123Aはx軸に平行であり、石英導波路基板161の光出射側の端面162がyz面に対してθ5だけ傾くように研磨する。θ5は空気中の場合、5度以上とする。これによって、端面162での反射戻り光を低減する。図11に示すようにモジュールに組み立てるときに、石英導波路基板161の主面(上面)がxy平面からθ6だけ傾くように配置して、テーパ構造123Aからの出射光の伝搬方向がレンズ光軸に平行になるようにする。なお、θ5とθ6は式(6)を満たす。
以上述べたように、本発明では、偏光分離光学系と偏光合波光学系のそれぞれを集積化してモジュールの部品点数を減らし、精度良く対称な光学系を構築している。また、同一基板上で近接した半導体利得導波路106a、106bを利用するので、利得導波路の特性をそろえて精度良く対称な光学系を構築している。これにより、光増幅モジュールを小型かつ低コストで歩留まり良く製造することが出来る。
また、2つの偏光成分に対して、モジュール内の伝搬損失と伝搬距離の差を非常に小さく出来るので、入力偏波変動に対する利得変動、出力光強度変動を低減できる。超高速光通信においては、偏波依存遅延時間が大きくなると光信号が劣化するが、本発明の構成では、偏波依存遅延時間を低減できる。さらに、伝搬光の光強度を測定する手段と、伝搬光の光強度によって利得導波路への注入電流を制御する回路を具備して、入力偏波変動に対する利得変動、出力光強度変動をいっそう低減できる。
101:偏光分離素子、102:入力ファイバ、103:第1のレンズ、
104:光アイソレータ、利得平坦化フィルタ、105:第2のレンズ、
106a、106b半導体利得導波路、107:半導体利得導波路基板、
108:第3のレンズ、109:第4のレンズ、
110:偏光合波素子、111:出力ファイバ、112:石英光導波路、
113:1:2光分岐回路、114:2:2光合分波回路、
115、116:113と114を結ぶ等長の導波路、117、118:薄膜波長板、
119、120:出力導波路、121、122:1/2波長板、
123、138a、138b:テーパ構造、
124:上部金電極
124ax、124ay、124bx、124by:分割電極、
125:AuZnNi合金層、126:BCB(ベンゾシクロブテン)絶縁層、127:SiO2絶縁層、128:高ドープp型AlGaAs層、129:p型AlGaAs層、130:量子ドット活性層、
131:n型AlGaAs層、132:n型GaAs基板、133:AuGeNi合金層、
134:下部金電極、135aと、135b:1:2分岐回路、
136a、136b:フォトダイオード、
201a、201b:半導体利得導波路基板、202:低反射構造、203:光ファイバ、204:結合レンズ、205:偏光分離素子、206:1/2波長板、
207:光アイソレータ、208:偏光合波素子。
104:光アイソレータ、利得平坦化フィルタ、105:第2のレンズ、
106a、106b半導体利得導波路、107:半導体利得導波路基板、
108:第3のレンズ、109:第4のレンズ、
110:偏光合波素子、111:出力ファイバ、112:石英光導波路、
113:1:2光分岐回路、114:2:2光合分波回路、
115、116:113と114を結ぶ等長の導波路、117、118:薄膜波長板、
119、120:出力導波路、121、122:1/2波長板、
123、138a、138b:テーパ構造、
124:上部金電極
124ax、124ay、124bx、124by:分割電極、
125:AuZnNi合金層、126:BCB(ベンゾシクロブテン)絶縁層、127:SiO2絶縁層、128:高ドープp型AlGaAs層、129:p型AlGaAs層、130:量子ドット活性層、
131:n型AlGaAs層、132:n型GaAs基板、133:AuGeNi合金層、
134:下部金電極、135aと、135b:1:2分岐回路、
136a、136b:フォトダイオード、
201a、201b:半導体利得導波路基板、202:低反射構造、203:光ファイバ、204:結合レンズ、205:偏光分離素子、206:1/2波長板、
207:光アイソレータ、208:偏光合波素子。
Claims (6)
- 入射光を二つの偏光成分に分離し各偏光の向きを平行にして出力する偏光分離素子と、
二本の利得導波路を有する導波路基板と、
前記二本の利得導波路からの出射光の偏光方向を直交させて多重する偏光合波素子と、
前記偏光分離素子の出力を前記利得導波路に結合する第1の光学系と、
前記利得導波路の出力を前記偏光合波素子に結合する第2の光学系と、
を有する光増幅モジュール。 - 前記利得導波路の各々を伝搬する伝搬光の強度を測定する手段と、
前記伝搬光の強度に応じて、前記利得導波路の各々への注入電流を制御する手段と、
を有する請求項1に記載の光増幅モジュール。 - 前記偏光合波素子を伝搬する伝搬光の強度を測定する手段と、
前記伝搬光の強度に応じて、前記利得導波路の各々への注入電流を制御する手段と、
を有する請求項1に記載の光増幅モジュール。 - 前記第1の光学系と前記第2の光学系の少なくとも一方は、光波の伝搬状態を制御する光波制御素子を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光増幅モジュール。
- 前記光波制御素子は光アイソレータまたは利得平坦化フィルタであることを特徴とする請求項4に記載の光増幅モジュール。
- 前記第1の光学系は、第1レンズと、第2レンズと、前記第1レンズと第2レンズの間に配置される第1の光波制御素子を含み、
前記第2の光学系は、第3レンズと、第4レンズと、前記第3レンズと第3レンズの間に配置される第2の光波制御素子を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光増幅モジュール。
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016226141A Pending JP2018085378A (ja) | 2016-11-21 | 2016-11-21 | 光増幅モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2018085378A (ja) |
-
2016
- 2016-11-21 JP JP2016226141A patent/JP2018085378A/ja active Pending
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