JP2018076570A - Barrel plating or high-speed rotary plating method that employs neutral stannum plating liquid - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a barrel plating or high-speed rotary plating method capable of preventing electronic components from adhering to each other while carrying out barrel plating or high-speed rotary plating and of improving the coatability of the plating layer over the electronic components, and a neutral stannum plating liquid for use therein.SOLUTION: The neutral stannum plating liquid comprises (A) a stannous ion, (B) an acid or a salt thereof, (C) a complexing agent and (D) a diamine comprising a polyoxyalkylene chain with its pH in a range of from 4 to 8. There is provided a method of plating an electronic component according to barrel plating or high-speed rotary plating of an electronic component employing the neutral stannum plating liquid. There is provided a method of carrying out barrel plating at an electric current density of from 0.05 to 0.5 mA/dm. The neutral stannum plating liquid comprises a diamine comprising a polyoxyalkylene chain with the molecular weight of the diamine preferably being from 200 to 1100.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、中性スズめっき液を用いた電子部品のバレルめっきまたは高速回転めっき方法、およびこれに用いる中性スズめっき液に関する。より詳細には、バレルめっきまたは高速回転めっきを行う際の電子部品同士の固着を抑制し、電子部品へのめっきの被覆性を向上させることができる、バレルめっきまたは高速回転めっき方法、およびこれに用いる中性スズめっき液に関する。   The present invention relates to a barrel plating or high-speed rotary plating method for an electronic component using a neutral tin plating solution, and a neutral tin plating solution used therefor. More specifically, a barrel plating or high-speed rotation plating method capable of suppressing adhesion between electronic components during barrel plating or high-speed rotation plating and improving the coating property of the plating on the electronic components, and The present invention relates to a neutral tin plating solution to be used.

スズめっきは、電子部品のハンダ付け性能向上などを目的として広く行われている。電子部品へのスズめっきの方法は、その形状やめっき箇所の構造等に応じて、バレルめっき、ラックめっきなどの各種方法から選択される。バレルめっきは、チップ抵抗器、チップコンデンサなどの小型の電子部品のめっき方法として一般的に使用されている。また、近年は小型の電子部品のめっき方法として、フロースループレーターなどの高速回転めっきも行われている。   Tin plating is widely performed for the purpose of improving the soldering performance of electronic components. The method of tin plating on the electronic component is selected from various methods such as barrel plating and rack plating according to the shape and structure of the plated portion. Barrel plating is generally used as a plating method for small electronic components such as chip resistors and chip capacitors. In recent years, high-speed rotational plating such as a flow-through loop has also been performed as a plating method for small electronic components.

通常、バレルめっきの際には、バレルと呼ばれる籠状の容器に、被めっき物である電子部品とめっきの際の導電性を向上させるための導電性金属球(ダミーボール)とを入れ、めっき液に浸漬した状態でバレルを回転または振動させながら通電を行い、電子部品にめっきを行う。しかし近年は電子部品のサイズが小さくなるのに伴い、バレルめっきの際に電子部品同士やダミーボール同士、またはこれらの間での固着が生じやすくなり、バレルめっきによる電子部品の生産性が悪化するという問題が生じていた。また、めっき液の種類によっては液表面に泡立ちが生じることがあり、めっき作業の悪化が問題となっていた。高速回転めっきは円盤状のセルに被めっき物である電子部品を入れ、セルを高速で回転させながらめっきを行うが、バレルめっきと同様の問題が生じ得る。   Usually, when barrel plating is performed, an electronic component that is an object to be plated and a conductive metal ball (dummy ball) for improving conductivity during plating are placed in a bowl-shaped container called a barrel. In the state immersed in the liquid, electricity is applied while rotating or vibrating the barrel, and the electronic parts are plated. However, in recent years, as electronic components have become smaller in size, electronic components, dummy balls, or sticking between them tend to occur during barrel plating, and the productivity of electronic components by barrel plating deteriorates. There was a problem. Further, depending on the type of the plating solution, foaming may occur on the surface of the solution, and deterioration of the plating work has been a problem. In high-speed rotation plating, an electronic component that is an object to be plated is placed in a disk-shaped cell, and plating is performed while rotating the cell at a high speed. However, the same problem as barrel plating may occur.

特開2009−299123号には、第一スズイオン、酸、ジポリオキシアルキレンアルキルアミンまたはアミンオキシド、および固着防止剤を含有するpH1以下のチップ部品用電気スズめっき液が開示されている。しかし被めっき物である電子部品セラミックス部材を含有する場合には、pH1以下のめっき液を使用するとセラミックス部材がダメージを受けるため、好ましくない。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-299123 discloses an electrotin plating solution for chip parts having a pH of 1 or less, which contains stannous ions, acid, dipolyoxyalkylene alkylamine or amine oxide, and an anti-sticking agent. However, when an electronic component ceramic member that is an object to be plated is contained, using a plating solution having a pH of 1 or less is not preferable because the ceramic member is damaged.

特開2003−293186号には、可溶性第一スズ塩、酸またはその塩、オキシカルボン酸等から選ばれた錯化剤、および4級アミンポリマーを含有する中性スズめっき浴が開示されている。しかし本発明者らの研究では、4級アミンポリマーを用いた中性スズめっき液は被めっき物同士の固着防止効果が十分ではなく、さらなる改善が求められていた。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-293186 discloses a neutral tin plating bath containing a soluble stannous salt, an acid or a salt thereof, a complexing agent selected from oxycarboxylic acid and the like, and a quaternary amine polymer. . However, in the study by the present inventors, the neutral tin plating solution using a quaternary amine polymer has not been sufficiently effective in preventing adhesion between objects to be plated, and further improvement has been demanded.

特開2009−299123号公報JP 2009-299123 A 特開2003−293186号公報JP 2003-293186 A

したがって本発明の目的は、近年の小型化された電子部品のバレルめっきまたは高速回転めっきの際にも電子部品同士の固着を抑制でき、バレルめっきや高速回転めっきの際にめっき液の泡立ちが極めて少ない、電子部品のめっき方法およびこれに用いる中性スズめっき液を提供することにある。   Therefore, the object of the present invention is to suppress the adhesion between electronic components even in the case of barrel plating or high-speed rotation plating of electronic components that have been downsized in recent years. An object of the present invention is to provide an electronic component plating method and a neutral tin plating solution used therefor which are few.

本発明者らは鋭意検討した結果、中性スズめっき液にポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンを添加することにより、めっき液の泡立ちが少なく、かつ被めっき物同士の固着を抑制し、バレルめっきまたは高速回転めっきの生産性を向上させることができることを見出し、本発明を完成させた。   As a result of intensive studies, the inventors of the present invention added a diamine having a polyoxyalkylene chain to a neutral tin plating solution, thereby suppressing foaming of the plating solution and suppressing adhesion between objects to be plated. The present inventors have found that productivity of high-speed rotary plating can be improved.

すなわち、本発明は一態様において、(A)第一スズイオン、(B)酸またはその塩、(C)錯化剤および(D)ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンを含有し、pHが4〜8の範囲であるスズめっき液を用いて電子部品にバレルめっきまたは高速回転めっきを行う工程を含む、電子部品のバレルめっきまたは高速回転めっき方法を提供する。   That is, in one aspect, the present invention contains (A) a stannous ion, (B) an acid or a salt thereof, (C) a complexing agent and (D) a diamine having a polyoxyalkylene chain, and has a pH of 4 to 8. An electronic component barrel plating or high-speed rotary plating method is provided, which includes a step of barrel-plating or high-speed rotary plating on an electronic component using a tin plating solution in the range described above.

また、本発明は一態様において、(A)第一スズイオン、(B)酸またはその塩、(C)錯化剤および(D)ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンを含有し、pHが4〜8の範囲である、バレルめっきまたは高速回転めっき用中性スズめっき液を提供する。   Moreover, this invention contains the diamine which has (A) stannous ion, (B) acid or its salt, (C) complexing agent, and (D) polyoxyalkylene chain in one aspect | mode, and pH is 4-8. A neutral tin plating solution for barrel plating or high-speed rotation plating is provided.

本明細書を通じて使用される略語は、他に明示されない限り、次の意味を有する。g=グラム;mg=ミリグラム;℃=摂氏度;min=分、m=メートル;cm=センチメートル;L=リットル;mL=ミリリットル;A=アンペア;dm=平方デシメートル。全ての数値範囲は境界値を含み、さらに任意の順序で組み合わせ可能である。本明細書を通じて用語「めっき液」および「めっき浴」は同一の意味を持ち交換可能なものとして使用される。また、パーセント(%)は本明細書に別段の記載がない限り重量%を意味する。 Abbreviations used throughout this specification have the following meanings unless otherwise indicated. g = gram; mg = milligram; C = degrees Celsius; min = minute, m = meter; cm = centimeter; L = liter; mL = milliliter; A = ampere; dm 2 = square decimeter. All numerical ranges include boundary values and can be combined in any order. Throughout this specification, the terms “plating solution” and “plating bath” have the same meaning and are used interchangeably. Percentage (%) means% by weight unless otherwise specified herein.

本発明の電子部品のバレルめっきまたは高速回転めっき方法は、(A)第一スズイオン、(B)酸またはその塩、(C)錯化剤および(D)ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンを含有し、pHが4〜8の範囲であるめっき液を用いることを特徴とする。以下このめっき液について順に説明する。   The barrel plating or high speed rotary plating method of the electronic component of the present invention contains (A) stannous ion, (B) an acid or a salt thereof, (C) a complexing agent and (D) a diamine having a polyoxyalkylene chain. A plating solution having a pH in the range of 4 to 8 is used. Hereinafter, this plating solution will be described in order.

(A)第一スズイオン
本発明に用いるめっき液は、第一スズイオンを必須構成要件として含有する。第一スズイオンは、2価のスズイオンである。めっき液中に第一スズイオンを供給することができる化合物であれば、任意の化合物を用いることができる。一般的には、めっき液に用いる無機酸または有機酸のスズ塩であることが好ましい。例えば、無機酸のスズ塩としては、硫酸や、塩酸の第一スズ塩が挙げられ、また有機酸のスズ塩としては、置換または非置換のアルカンスルホン酸またはアルカノールスルホン酸、例えば、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、プロパンスルホン酸、2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸、2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸または1−ヒドロキシプロパン−2−スルホン酸などの第一スズ塩が挙げられる。特に好ましい第一スズイオンの供給源は、無機酸の塩であれば硫酸第一スズ塩、有機酸の塩であればメタンスルホン酸第一スズ塩である。これらのイオンを供給することができる化合物は、単独でまたは2種以上の混合物として使用することができる。
(A) Stannous ion The plating solution used in the present invention contains stannous ion as an essential constituent. The stannous ion is a divalent tin ion. Any compound that can supply stannous ions in the plating solution can be used. In general, a tin salt of an inorganic acid or an organic acid used in the plating solution is preferable. For example, the tin salt of inorganic acid includes sulfuric acid and stannous salt of hydrochloric acid, and the tin salt of organic acid includes substituted or unsubstituted alkane sulfonic acid or alkanol sulfonic acid such as methane sulfonic acid. Stannous salts such as ethanesulfonic acid, propanesulfonic acid, 2-hydroxyethane-1-sulfonic acid, 2-hydroxypropane-1-sulfonic acid or 1-hydroxypropane-2-sulfonic acid. A particularly preferred stannous ion source is a stannous sulfate salt for an inorganic acid salt and a stannous methanesulfonate salt for an organic acid salt. These compounds capable of supplying ions can be used alone or as a mixture of two or more.

第一スズイオンのめっき液中の含有量は、スズイオンとして、例えば、5g/L以上30g/L以下であり、好ましくは8g/L以上25g/L以下、より好ましくは10g/L以上20g/L以下である。   The content of stannous ions in the plating solution is, for example, from 5 g / L to 30 g / L, preferably from 8 g / L to 25 g / L, more preferably from 10 g / L to 20 g / L as tin ions. It is.

(B)酸またはその塩
本発明に用いるめっき液は、酸またはその塩を含有する。酸またはその塩は、めっき液に導電性を提供する役割を有するものであれば、任意の酸またはその塩を使用することができる。有機酸および無機酸、並びにこれらの塩のいずれも使用することができる。有機酸としては、例えば、置換または非置換のアルカンスルホン酸またはアルカノールスルホン酸が挙げられ、例えば、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、プロパンスルホン酸、2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸、2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸または1−ヒドロキシプロパン−2−スルホン酸が挙げられる。好ましくはメタンスルホン酸である。無機酸としては、例えば、硫酸や、塩酸を用いることができ、好ましくは硫酸である。これらの塩としては、アルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩、アンモニウム塩およびアミン塩など任意の塩とすることができる。酸またはその塩は、単独または、2種類以上の混合物として使用することができる。前述のように、第一スズイオン塩で用いた無機酸または有機酸並びにそれらの塩を用いることが好ましいが、これに限られるものではない。
(B) Acid or its salt The plating solution used for this invention contains an acid or its salt. Any acid or salt thereof can be used as long as it has a role of providing conductivity to the plating solution. Both organic and inorganic acids and their salts can be used. Examples of the organic acid include substituted or unsubstituted alkane sulfonic acid or alkanol sulfonic acid. For example, methane sulfonic acid, ethane sulfonic acid, propane sulfonic acid, 2-hydroxyethane-1-sulfonic acid, 2-hydroxy Examples include propane-1-sulfonic acid or 1-hydroxypropane-2-sulfonic acid. Methanesulfonic acid is preferred. As the inorganic acid, for example, sulfuric acid or hydrochloric acid can be used, and sulfuric acid is preferable. These salts may be any salts such as alkali metal salts, alkaline earth metal salts, ammonium salts and amine salts. The acid or a salt thereof can be used alone or as a mixture of two or more. As described above, it is preferable to use the inorganic acid or organic acid used in the stannous ion salt and salts thereof, but the present invention is not limited to this.

ただし、本発明に用いるめっき液は中性めっき液であるため、上述の有機酸または無機酸を導電性物質として使用する場合には、pH調整剤として各種塩基をめっき液に添加して、pHを4〜8の範囲に調整することができる。   However, since the plating solution used in the present invention is a neutral plating solution, when using the above-mentioned organic acid or inorganic acid as a conductive substance, various bases are added to the plating solution as a pH adjuster to adjust the pH. Can be adjusted in the range of 4-8.

酸またはその塩のめっき液中の含有量は、例えば、30g/L以上300g/L以下であり、好ましくは50g/L以上200g/L以下、より好ましくは80g/L以上150g/L以下である。   The content of the acid or its salt in the plating solution is, for example, 30 g / L or more and 300 g / L or less, preferably 50 g / L or more and 200 g / L or less, more preferably 80 g / L or more and 150 g / L or less. .

(C)錯化剤
本発明に用いるめっき液は、錯化剤を必須構成要件として含有する。一般に、スズめっき液中の二価のスズイオンは強酸性では安定であるが、中性付近では不安定となり、スズ金属として析出したり、めっき液が分解したりしやすい。本発明のスズめっき液はpHが4〜8の範囲であるため、錯化剤を含有させる必要がある。錯化剤はめっき液を安定化する効果があればよく、特に限定されない。錯化剤としては、例えば、グルコン酸、クエン酸、マロン酸、コハク酸、酒石酸およびこれらの塩が挙げられる。これらのうちでも、グルコン酸またはその塩が好ましく、グルコン酸ナトリウムが最も好ましい。
(C) Complexing agent The plating solution used in the present invention contains a complexing agent as an essential constituent. In general, divalent tin ions in a tin plating solution are stable when strongly acidic, but become unstable near neutrality, and are easily deposited as tin metal, or the plating solution is easily decomposed. Since the tin plating solution of the present invention has a pH in the range of 4-8, it is necessary to contain a complexing agent. The complexing agent is not particularly limited as long as it has an effect of stabilizing the plating solution. Examples of the complexing agent include gluconic acid, citric acid, malonic acid, succinic acid, tartaric acid, and salts thereof. Among these, gluconic acid or a salt thereof is preferable, and sodium gluconate is most preferable.

錯化剤のめっき液中の含有量は、例えば、80g/L以上250g/L以下であり、好ましくは100g/L以上200/L以下、より好ましくは125g/L以上175g/L以下である。   The content of the complexing agent in the plating solution is, for example, from 80 g / L to 250 g / L, preferably from 100 g / L to 200 / L, and more preferably from 125 g / L to 175 g / L.

(D)ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミン
本発明に用いるめっき液は、ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンを必須構成要件として含有する。本化合物を含有することにより、被めっき物同士の固着を抑制し、バレルめっきの生産性を向上させることができる。ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンとしては、以下の化学式で示される化合物が好ましい。
(D) Diamine having a polyoxyalkylene chain The plating solution used in the present invention contains a diamine having a polyoxyalkylene chain as an essential constituent. By containing this compound, adherence between objects to be plated can be suppressed, and the productivity of barrel plating can be improved. The diamine having a polyoxyalkylene chain is preferably a compound represented by the following chemical formula.

Figure 2018076570
Figure 2018076570

ここで、上記式中のRは炭素数1〜10の直鎖または分岐鎖のアルキレン基、好ましくは炭素数1〜6の直鎖または分岐鎖のアルキレン基、さらに好ましくは炭素数1〜4の直鎖または分岐鎖のアルキレン基である。R〜Rはそれぞれ単独に炭素数1〜10の直鎖または分岐鎖のアルキレン基、好ましくは炭素数1〜6の直鎖または分岐鎖のアルキレン基、さらに好ましくは炭素数1〜4の直鎖または分岐鎖のアルキレン基である。n、m、o、pはそれぞれ単独に0〜15の整数である。ただし、n、m、o、pのすべてが0となることはない。n、m、o、pは好ましくはそれぞれ1〜12の整数であり、さらに好ましくはそれぞれ1〜8の整数である。n、m、o、およびpの合計は1〜60、好ましくは2〜30、さらに好ましくは4〜25である。 Here, R 1 in the above formula is a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, preferably a linear or branched alkylene group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 4 carbon atoms. Or a linear or branched alkylene group. R 2 to R 5 are each independently a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, preferably a linear or branched alkylene group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 4 carbon atoms. A linear or branched alkylene group. n, m, o, and p are each independently an integer of 0 to 15. However, all of n, m, o, and p are not 0. n, m, o, and p are each preferably an integer of 1 to 12, and more preferably an integer of 1 to 8, respectively. The sum of n, m, o, and p is 1-60, preferably 2-30, more preferably 4-25.

本発明者らは、上記化合物を含有するめっき液は、バレルめっきや高速回転めっきの際に電子部品の固着を低減するとともに、めっきの際に時として問題となる気泡が生じにくく、安定してめっき作業を行うことができることを見出した。   The present inventors have found that the plating solution containing the above compound reduces the adhesion of electronic components during barrel plating or high-speed rotation plating, and is less likely to cause bubbles that sometimes cause problems during plating. It has been found that a plating operation can be performed.

ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンの重量平均分子量は、好ましくは200〜1100であり、さらに好ましくは300〜600である。ここで重量平均分子量とは、GPC法で測定した値である。   The weight average molecular weight of the diamine having a polyoxyalkylene chain is preferably 200 to 1100, more preferably 300 to 600. Here, the weight average molecular weight is a value measured by the GPC method.

ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンは、市販のものを用いることができ、例えばアデカポリエーテルEDP−450、アデカポリエーテルBM−54(いずれもアデカ社製)などを用いることができる。   A commercially available thing can be used for the diamine which has a polyoxyalkylene chain, for example, Adeka polyether EDP-450, Adeka polyether BM-54 (all are made by Adeka company), etc. can be used.

ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンのめっき液中の含有量は、例えば、0.1g/L以上30g/L以下であり、好ましくは0.5g/L以上20g/L以下、より好ましくは1g/L以上5g/L以下である。   The content of the diamine having a polyoxyalkylene chain in the plating solution is, for example, from 0.1 g / L to 30 g / L, preferably from 0.5 g / L to 20 g / L, more preferably 1 g / L. It is 5 g / L or less.

(E)pH調整剤
本発明に用いる中性スズめっき液のpHは4〜8、好ましくは5〜7の範囲である。pHをこの範囲内に調整するために、めっき液に塩基または酸を添加することができる。使用できる酸としては、例えばメタンスルホン酸、エタンスルホン酸、プロパンスルホン酸、塩酸および硫酸が挙げられる。使用できる塩基としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウムおよびアンモニア水が挙げられる。
(E) pH adjuster The pH of the neutral tin plating solution used in the present invention is in the range of 4 to 8, preferably 5 to 7. In order to adjust the pH within this range, a base or an acid can be added to the plating solution. Examples of the acid that can be used include methanesulfonic acid, ethanesulfonic acid, propanesulfonic acid, hydrochloric acid and sulfuric acid. Examples of the base that can be used include sodium hydroxide, potassium hydroxide and aqueous ammonia.

本発明に用いる中性スズめっき液は、その他任意成分としてめっき液に一般に添加される成分を含有することができる。例えば、酸化防止剤、光沢剤、平滑剤、導電性塩、陽極溶解剤、防腐剤、湿潤剤などを含有することができる。   The neutral tin plating solution used in the present invention can contain other components that are generally added to the plating solution as optional components. For example, antioxidants, brighteners, smoothing agents, conductive salts, anodic dissolving agents, preservatives, wetting agents and the like can be contained.

(F)酸化防止剤
本発明のめっき液において、酸化防止剤を任意に使用することができる。酸化防止剤は、スズイオンの2価から4価への酸化を防止するために使用され、例えば、ハイドロキノン、カテコール、レゾルシン、フロログルシン、ピロガロール、ハイドロキノンスルホン酸およびその塩等を使用することができる。
(F) Antioxidant In the plating solution of the present invention, an antioxidant can be arbitrarily used. Antioxidants are used to prevent the oxidation of tin ions from divalent to tetravalent, and for example, hydroquinone, catechol, resorcin, phloroglucin, pyrogallol, hydroquinonesulfonic acid and salts thereof can be used.

酸化防止剤は、めっき浴中において、例えば、100mg/L以上50g/L以下、好ましくは200mg/L以上20g/L以下、より好ましくは0.5g/L以上5g/L以下の濃度で使用することが好適である。   The antioxidant is used in the plating bath at a concentration of, for example, 100 mg / L to 50 g / L, preferably 200 mg / L to 20 g / L, more preferably 0.5 g / L to 5 g / L. Is preferred.

めっき浴を建浴する際の各成分の添加順序は、特に制限されないが、安全性の観点から、水を添加した後、酸またはその塩を加え、十分に混ぜ合わせた後に、スズ塩を添加し、十分に溶解した後に必要な薬品を順次添加する。   The order of addition of each component when constructing a plating bath is not particularly limited, but from the viewpoint of safety, after adding water, add acid or its salt, mix thoroughly, and then add tin salt Then, after fully dissolving, add necessary chemicals sequentially.

本発明における被めっき物である電子部品としては、特に限定されないが、例えば、抵抗器(レジスター)、コンデンサ(キャパシター)、インダクター(インダクタートランス)、サーミスタ、バリスタ、可変抵抗器、可変コンディンサー等の受動部品や、水晶振動子、LCフィルター、セラミックフィルター、遅延線、SAWフィルター等の機能部品、スイッチ、コネクター、リレーヒューズ、光接続部品等の接続部品が挙げられる。特にコンデンサ、インダクタ、サーミスタおよびバリスタは、その部品中にセラミック部を有し、強酸性のめっき液を用いることができないことから、本発明の中性めっき浴を用いてめっきすることが好ましい。   The electronic component that is the object to be plated in the present invention is not particularly limited. For example, a resistor (resistor), a capacitor (capacitor), an inductor (inductor transformer), a thermistor, a varistor, a variable resistor, a variable condenser, etc. Passive parts, functional parts such as crystal resonators, LC filters, ceramic filters, delay lines, and SAW filters, and connection parts such as switches, connectors, relay fuses, and optical connection parts. In particular, capacitors, inductors, thermistors and varistors have a ceramic part in their parts and cannot use a strongly acidic plating solution. Therefore, plating using the neutral plating bath of the present invention is preferable.

めっき方法
本発明のめっき液を用いてバレルめっきを行う方法について説明する。前述のように、通常バレルめっきの際には、バレルに、被めっき物である電子部品とダミーボールを入れ、めっき液に浸漬した状態でバレルを回転させながら通電を行うが、本発明のバレルめっき方法は、ダミーボールを入れずに被めっき物のみをバレルに入れて行う場合も含む。バレルめっき方法としては、水平型または傾斜型回転バレル式、揺動バレル式、または振動バレル式などの任意の装置を用いることができる。バレルめっきの際のめっき液の温度は、例えば、10〜50℃、好ましくは20〜40℃で行うことができる。また、陰極電流密度は、例えば、0.01〜10A/dm、好ましくは、0.05〜5A/dm、さらに好ましくは0.1〜0.5A/dmの範囲で適宜選択される。めっき処理の間、めっき浴は無撹拌でも良く、また例えばスターラー等による撹拌、ポンプによる液流動などの方法を選択することも可能である。
Plating Method A method for performing barrel plating using the plating solution of the present invention will be described. As described above, in normal barrel plating, an electronic component and a dummy ball, which are objects to be plated, are placed in a barrel and energized while rotating the barrel while immersed in a plating solution. The plating method includes a case where only the object to be plated is put in a barrel without inserting a dummy ball. As the barrel plating method, any apparatus such as a horizontal or inclined rotating barrel type, a swinging barrel type, or a vibrating barrel type can be used. The temperature of the plating solution during barrel plating can be, for example, 10 to 50 ° C., preferably 20 to 40 ° C. The cathode current density is appropriately selected within the range of, for example, 0.01 to 10 A / dm 2 , preferably 0.05 to 5 A / dm 2 , and more preferably 0.1 to 0.5 A / dm 2. . During the plating process, the plating bath may be unstirred, and it is also possible to select a method such as stirring with a stirrer or the like, or liquid flow with a pump.

また本発明のめっき液を用いて高速回転めっきを行う場合には、例えばフロースループレーターなどを用いて、10〜50℃、陰極電流密度0.01〜10A/dmなどの条件下、被めっき物である小型電子部品を高速回転させながらめっきを行うことができる。 In addition, when performing high-speed rotation plating using the plating solution of the present invention, for example, using a flow looper or the like, the conditions are 10 to 50 ° C., cathode current density 0.01 to 10 A / dm 2 and the like. Plating can be performed while rotating a small electronic component, which is an object, at high speed.

実施例1
下記の組成でスズめっき液を建浴した。
(A)メタンスルホン酸第一スズ:39g/L(スズイオンとして:15g/L)
(B)メタンスルホン酸ナトリウム:100g/L
(C)グルコン酸ナトリウム:145g/L
(D)アデカポリエーテルEDP−450(分子量:450):2g/L
(E)水酸化ナトリウム:めっき液のpHが6になる量
(F)エリソルビン酸ナトリウム:2g/L
(G)水:残部
Example 1
A tin plating solution was erected with the following composition.
(A) stannous methanesulfonate: 39 g / L (as tin ion: 15 g / L)
(B) Sodium methanesulfonate: 100 g / L
(C) Sodium gluconate: 145 g / L
(D) Adeka polyether EDP-450 (molecular weight: 450): 2 g / L
(E) Sodium hydroxide: Amount that the pH of the plating solution is 6 (F) Sodium erythorbate: 2 g / L
(G) Water: remaining

アデカポリエーテルEDP−450の構造

Figure 2018076570
Structure of Adeka Polyether EDP-450
Figure 2018076570

建浴したスズめっき液2Lを用い下記条件で、ニッケルめっきをしたチップ抵抗器に対しバレルスズめっきを行い、各種評価を行った。結果を表1に示す。   Barrel tin plating was performed on a chip resistor plated with nickel under the following conditions using 2 L of a tin plating solution that had been built, and various evaluations were performed. The results are shown in Table 1.

バレルめっき条件1
バレル:山本ミニバレル(容量:約140mL)
めっき対象物:チップ抵抗器 5g
ダミーボール:スチールボール、直径0.71〜0.85mm、60g
電流密度:0.2A/dm
めっき時間:50分
めっき液温度:35℃
回転速度:6rpm
Barrel plating condition 1
Barrel: Yamamoto mini-barrel (capacity: about 140mL)
Plating object: Chip resistor 5g
Dummy ball: Steel ball, diameter 0.71-0.85mm, 60g
Current density: 0.2 A / dm 2
Plating time: 50 minutes Plating solution temperature: 35 ° C
Rotation speed: 6rpm

(はんだぬれ性試験)
実施例および比較例のめっき液をそれぞれ2L準備し、浴温35℃、0.2A/dmにて、50分間電気スズめっきし、ニッケルめっきしたチップ抵抗器外部電極上に5μmのスズめっき被膜を堆積した。得られた各スズめっき被膜に対し耐湿試験処理(PCT処理(温度105℃、湿度100%、4時間))を行い、耐湿試験前後のめっき被膜のはんだぬれ性について、TARUTIN社製のMulti Solderability Tester SWET−2100を用いたソルダーペースト平衡法によりゼロクロスタイム(「Z.C.T」)を測定し評価を行った。測定条件は以下のとおりである。
(Solder wettability test)
2 L each of the plating solutions of Examples and Comparative Examples were prepared, electrotin-plated for 50 minutes at a bath temperature of 35 ° C. and 0.2 A / dm 2 , and a 5 μm tin-plated film on the nickel-plated chip resistor external electrode Deposited. A moisture resistance test treatment (PCT treatment (temperature: 105 ° C., humidity: 100%, 4 hours)) is performed on each of the tin plating films obtained, and the solderability of the plating film before and after the moisture resistance test is determined by Multi Solderability Tester manufactured by Tarutin. The zero cross time (“ZC.T”) was measured and evaluated by the solder paste equilibrium method using SWET-2100. The measurement conditions are as follows.

ゼロクロスタイム測定条件
・はんだペースト:Sn:Ag:Cu=95.75:3.5:0.75
・試験温度:245℃
・浸漬深さ:0.15mm
・試験速度:2mm/秒
・保持時間:8秒
Zero cross time measurement conditions-Solder paste: Sn: Ag: Cu = 95.75: 3.5: 0.75
Test temperature: 245 ° C
・ Immersion depth: 0.15 mm
・ Test speed: 2 mm / second ・ Retention time: 8 seconds

PCT処理前後でそれぞれはんだ濡れ性を測定し、表1に示した。   The solder wettability was measured before and after the PCT treatment and is shown in Table 1.

カップリング率(全チップ重量に対する固着チップの重量比率)および凝集率(全ダミーボール重量に対する固着ダミーボールの重量比率)を計算し、同様に表1に示した。   Coupling ratio (weight ratio of fixed chip to total chip weight) and agglomeration ratio (weight ratio of fixed dummy ball to total dummy ball weight) were calculated and are also shown in Table 1.

めっき外観およびめっきの粒子サイズ(グレインサイズ)
建浴しためっき液を用いてハルセルテストを行い、得られためっき皮膜の外観を肉眼で観察し、またSEM(2000倍)にてめっきの粒子サイズを測定した。
Plating appearance and plating particle size (grain size)
A hull cell test was performed using the plating solution that had been erected, the appearance of the obtained plating film was observed with the naked eye, and the particle size of the plating was measured with SEM (2000 times).

比較例1
実施例1の(D)アデカポリエーテルEDP−450の代わりにラウリルジメチルアミノ酢酸ベタイン(アンヒトール(Amphitol)20BS、花王株式会社製)を2g/L用いた他は、実施例1と同様の組成でスズめっき液を建浴した。得られためっき液は起泡性の高いものであり、バレルめっきには適さないものであった。
Comparative Example 1
The composition was the same as in Example 1 except that 2 g / L of lauryldimethylaminoacetic acid betaine (Amphitol 20BS, manufactured by Kao Corporation) was used instead of (D) adecapolyether EDP-450 in Example 1. A tin plating solution was erected. The obtained plating solution had a high foaming property and was not suitable for barrel plating.

比較例2−4
実施例1の(D)アデカポリエーテルEDP−450の代わりに、第四級アンモニウム塩ポリマー(パピオゲン(Papiogen)P−113(比較例2)およびセンカフィックス(SenkaFix)401(比較例3))並びに第四級アンモニウム塩(エレタット(Eretat)M−65(比較例4))をそれぞれ2g/L用いた他は、実施例1と同様の組成でスズめっき液を建浴した。比較例4で得られためっき液は起泡性の高いものであり、バレルめっきには適さないものであった。比較例2、および比較例3で得られためっき液について、それぞれ実施例1と同様の操作を行った。比較例2で得られためっき液は、ハルセルテストで得られためっき皮膜の外観は白色で良好なものであったが、バレルめっき試験ではカップリング率が81.3%と高いものであった。比較例3で得られためっき液は、ハルセルテストで得られためっき皮膜の外観は灰黒色で好ましくないものであった。
Comparative Example 2-4
Quaternary ammonium salt polymer (Papiogen P-113 (Comparative Example 2) and SenkaFix 401 (Comparative Example 3)) instead of (D) adecapolyether EDP-450 of Example 1 and A tin plating solution was erected with the same composition as in Example 1 except that 2 g / L each of quaternary ammonium salt (Eretat M-65 (Comparative Example 4)) was used. The plating solution obtained in Comparative Example 4 had a high foaming property and was not suitable for barrel plating. About the plating solution obtained by the comparative example 2 and the comparative example 3, operation similar to Example 1 was performed, respectively. In the plating solution obtained in Comparative Example 2, the appearance of the plating film obtained by the Hull Cell test was white and good, but in the barrel plating test, the coupling rate was as high as 81.3%. . In the plating solution obtained in Comparative Example 3, the appearance of the plating film obtained by the Hull Cell test was grayish black and was not preferable.

Figure 2018076570
Figure 2018076570

実施例2
バレルめっき条件1を以下のバレルめっき条件2に変更した他は、実施例1と同様の試験を行い、カップリング率および凝集率を測定した。結果は、チップのカップリング率0.1%、ダミーボールの凝集率0%であった。また、めっき液の泡立ちは少なかった。
バレルめっき条件2
バレル:山本ミニバレル(容量:約140mL)
めっき対象物:チップ抵抗器 5g
ダミーボール:スチールボール、直径0.71〜0.85mm、60g
電流密度:0.2A/dm
めっき時間:50分
めっき液温度:35℃
回転速度:12rpm
Example 2
The same test as in Example 1 was performed except that the barrel plating condition 1 was changed to the following barrel plating condition 2, and the coupling rate and the aggregation rate were measured. The results were a chip coupling rate of 0.1% and dummy ball agglomeration rate of 0%. Moreover, there was little foaming of a plating solution.
Barrel plating condition 2
Barrel: Yamamoto mini-barrel (capacity: about 140mL)
Plating object: Chip resistor 5g
Dummy ball: Steel ball, diameter 0.71-0.85mm, 60g
Current density: 0.2 A / dm 2
Plating time: 50 minutes Plating solution temperature: 35 ° C
Rotation speed: 12rpm

Claims (5)

(A)第一スズイオン、(B)酸またはその塩、(C)錯化剤および(D)ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンを含有し、pHが4〜8の範囲であるスズめっき液を用いて電子部品にバレルめっきまたは高速回転めっきを行う工程を含む、電子部品のバレルめっきまたは高速回転めっき方法。   A tin plating solution containing (A) stannous ion, (B) acid or salt thereof, (C) complexing agent and (D) diamine having a polyoxyalkylene chain and having a pH in the range of 4 to 8 is used. A method of barrel plating or high-speed rotary plating of electronic parts, including a step of barrel plating or high-speed rotary plating of electronic parts. 電流密度0.05〜0.5A/dmでバレルめっきを行う、請求項1に記載の方法。 The method according to claim 1, wherein barrel plating is performed at a current density of 0.05 to 0.5 A / dm 2 . 電子部品がコンデンサ、インダクタ、サーミスタおよびバリスタから選択される、請求項1または2に記載の方法。   The method according to claim 1 or 2, wherein the electronic component is selected from a capacitor, an inductor, a thermistor and a varistor. (A)第一スズイオン、(B)酸またはその塩、(C)錯化剤および(D)ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンを含有し、pHが4〜8の範囲である、バレルめっきまたは高速回転めっき用中性スズめっき液。   Barrel plating or high speed containing (A) stannous ion, (B) acid or salt thereof, (C) complexing agent and (D) diamine having polyoxyalkylene chain and having a pH in the range of 4-8. Neutral tin plating solution for rotary plating. ポリオキシアルキレン鎖を有するジアミンの分子量が200〜1100である、請求項4に記載のバレルめっきまたは高速回転めっき用中性スズめっき液。   The neutral tin plating solution for barrel plating or high-speed rotation plating according to claim 4, wherein the diamine having a polyoxyalkylene chain has a molecular weight of 200 to 1100.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019198357A1 (en) 2018-04-12 2019-10-17 東レ株式会社 Sheet-shaped article and method for producing same

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109338420A (en) * 2018-12-14 2019-02-15 江苏艾森半导体材料股份有限公司 A kind of neutral electrotinning electrolyte of environmental protection
JP2022059731A (en) * 2020-10-02 2022-04-14 メルテックス株式会社 Tin plating solution for barrel plating
CN113930812B (en) * 2021-11-15 2023-10-31 广东羚光新材料股份有限公司 Tin plating liquid and tin plating method for chip electronic component
CN114351232A (en) * 2022-01-14 2022-04-15 张家港扬子江冷轧板有限公司 Circulation system and circulation method for electrolytic tinning pre-electroplating rinsing water

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5282954A (en) * 1991-12-30 1994-02-01 Atotech Usa, Inc. Alkoxylated diamine surfactants in high-speed tin plating
JP4249292B2 (en) * 1998-07-10 2009-04-02 株式会社大和化成研究所 Tin and tin alloy plating bath
JP3910028B2 (en) * 2001-09-13 2007-04-25 株式会社村田製作所 Electrode formation method for chip-type ceramic electronic components
JP3858241B2 (en) 2002-04-09 2006-12-13 石原薬品株式会社 Barrel plating method using neutral tin plating bath
JP4441726B2 (en) * 2003-01-24 2010-03-31 石原薬品株式会社 Method for producing tin or tin alloy aliphatic sulfonic acid plating bath
JP2005060822A (en) * 2003-08-08 2005-03-10 Rohm & Haas Electronic Materials Llc Electroplating for composite substrate
JP4812365B2 (en) * 2005-08-19 2011-11-09 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. Tin electroplating solution and tin electroplating method
JP5337352B2 (en) * 2007-04-24 2013-11-06 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. Tin or tin alloy electroplating solution
JP5583894B2 (en) 2008-06-12 2014-09-03 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. Electrotin plating solution and electrotin plating method
JP5622360B2 (en) * 2009-01-16 2014-11-12 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. Electrotin plating solution and electrotin plating method
US20150122661A1 (en) * 2013-11-05 2015-05-07 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Plating bath and method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019198357A1 (en) 2018-04-12 2019-10-17 東レ株式会社 Sheet-shaped article and method for producing same

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