JP2018054992A - 照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】最小線幅の増大を抑制しつつ基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減できる照明光学系を提供すること。【解決手段】本発明は、投影露光装置において原版9光を照明するための照明光学系10に関する。照明光学系10は、第1波長P1の光と該第1波長よりも長波長である第2波長P2の光とが混在する光を射出する光源1と、光源1からの光を光入射面で受け、光射出面側に2次光源を生成するオプティカルインテグレータ7と、2次光源の光強度分布に応じて、第1波長P1の光に対して第2波長P2の光を相対的に減光する減光手段61と、を有することを特徴とする。【選択図】図2
Description
本発明は、照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法に関する。
投影露光装置(以下、露光装置という)はマスクに形成されているパターンを基板上に転写する装置であって、照明光学系を介して被照射面であるマスク(原版)に光を照明し、投影光学系を介して当該マスクのパターンの像を基板上に投影する。照明光学系では、マスクの各点に対して所定の角度分布で光を入射させるために、マスクのパターンに応じて決定された所定形状および所定の大きさの光強度分布で照明光学系の瞳面に配置されたオプティカルインテグレータを照明する。オプティカルインテグレータは、入射面で光を受け、当該オプティカルインテグレータの射出面側において前述の光源分布に対応する光源分布を有する2次光源を生成する。
ところが、2次光源の光強度分布が不均一な場合、マスクの各点に入射する光のNAがばらつくこととなる。これにより、基板上に均一な線幅のパターンの形成が困難になる。例えば、2次光源の光強度が直交する2軸方向で異なる場合は、マスクのパターンが水平方向に線状のパターンの場合と垂直方向に線状のパターンの場合とで、異なる線幅のパターンが基板上に形成されてしまう。このような、マスクのパターンに応じた線幅のばらつきによって、最終製品の歩留まりが低下することとなる。
特許文献1には、線幅のばらつき低減を図る目的で、2次光源の光強度均一化するような透過率分布を有するフィルタをオプティカルインテグレータよりも光源側に配置することが記載されている。具体的には、光強度が強くなりやすい2次光源の第1領域において光強度が弱い第2領域と同等の強度となるように、第1領域に入射する光を減光させる透過率分布を有するフィルタを配置することが記載されている。
特許文献1に記載の技術によれば基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減できるが、最小線幅が大きくなるほうに光強度を調整する技術である。近年要求される更なる微細化によって最小線幅の低減も要求されていることに鑑み、本発明は、最小線幅の増大を抑制しつつ基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減できる照明光学系及び露光装置を提供することを目的とする。
本発明は、投影露光装置において原版を照明するための照明光学系であって、第1波長の光と該第1波長よりも長波長である第2波長の光とが混在する光を射出する光源と、前記光源からの光を光入射面で受け、光射出面側に2次光源を生成するオプティカルインテグレータと、前記2次光源の光強度分布に応じて、前記第1波長の光に対して前記第2波長の光を相対的に減光する減光手段と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、最小線幅の増大を抑制しつつ基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減できる。
[露光装置の構成]
図1は第1〜第3実施形態に共通の露光装置100の構成を示す図である。露光装置100は、被照射面であるマスク(原版)9に光を照明する照明光学系10と、マスク9と光学的に共役な位置に配置された基板12にマスク9に形成されているパターンの像を投影する投影光学系11とを有する。
図1は第1〜第3実施形態に共通の露光装置100の構成を示す図である。露光装置100は、被照射面であるマスク(原版)9に光を照明する照明光学系10と、マスク9と光学的に共役な位置に配置された基板12にマスク9に形成されているパターンの像を投影する投影光学系11とを有する。
投影光学系11は、ミラー32、34、36、34、32の順に光を反射する反射光学系であり、マスク9のパターンの像を等倍のまま基板12に投影する。投影光学系11は反射光学系であることにより、光源1からの光の色収差が結像光学系に比べて小さくなる光学系である。基板12は、移動可能なステージ38に支持されている。
[第1実施形態]
図2は、第1実施形態の照明光学系10の構成を示す図である。図2において、投影光学系11は簡略化して図示している。
図2は、第1実施形態の照明光学系10の構成を示す図である。図2において、投影光学系11は簡略化して図示している。
光源1は、広帯域の光(複数波長の光が混在する光)を射出する光源である。本実施形態では、光源1は水銀ランプであり、3つのピーク波長P1、P2、P3の輝線が混在する光を射出する。波長P1、P2、P3の輝度比は2:1:1とする。例えば、輝線として、i線(P1=365nm)、g線(P2=405nm)、h線(P3=436nm)等の紫外光を含む。光源1は集光ミラー2の第1焦点3の付近に発光部を有し、集光ミラー2は光源1から射出された光を第2焦点4に集光する。
コンデンサレンズ5は第1焦点4に集光された光を平行光に整形する。当該整形された光は、後述のフィルタ61を透過してフライアイレンズ7の入射面7aに入射する。フライアイレンズ7はオプティカルインテグレータの一種であり、複数の微小なレンズ(複数の光学素子)で構成されている。フィルタ61はフライアイレンズ7の近傍に配置されている。なお、コンデンサレンズ5からマスク9までの光路において、光の断面が所定の形状および大きさの光となるように光源1からの光を整形する光学系(不図示)が配置されている。
フライアイレンズ7は、入射面(光入射面)7aに入射した光から射出面(光射出面)7b側に2次光源を形成する。入射した光が有する光強度分布は、2次光源の光強度分布として反映される。フライアイレンズ7から射出された光は複数のコンデンサレンズ8を透過して、マスク9に重畳的に照明される。なお、本明細書において、縦横マトリクス状に配列した微小レンズが複数集合した1枚のレンズ、又は、このようなレンズと同等の機能を有するように一方向に延伸した微小レンズが複数集合したレンチキュラーレンズを微小レンズの延伸方向(母線方向)が直交するように光軸方向に複数重ねて配置したレンズ群をフライアイレンズという。 計測部13はステージ38上に配置されている。計測部13は前述の2次光源の形状やその光強度を計測可能なセンサであって、例えばCCDセンサが用いられる。
図3は2次光源の光強度分布を示す図である。照明光学系10の組み立て公差等が要因で、2次光源の光強度が不均一になる。図3(a)は光強度をグレートーンで示した図であり、色の濃い部分が色の薄い部分よりも光強度が大きいことを示している。図3(b)は2次光源のX断面における光強度の分布であり、図3(c)は2次光源のY断面における光強度の分布である。図3(b)(c)は、一方向(Y方向)の光強度が外周に向かうにつれて低下する場合を示している。
このような2次光源における光強度分布に起因して、フィルタ61を使用しない場合は、マスク9のパターンの主方向に応じて投影像の解像度が異なってくる。これにより、現像後のパターンの線幅が異なってくる。例えば、図4(a)に示すX方向が主な方向のパターンA(第1方向が主な方向のパターン)は、Y方向が主な方向のパターンBとに比べて解像度が低下する(図4(b)参照)。
2次光源の光のうち、パターンAの解像度に主に寄与する光は図3(c)に示す不均一な強度分布を有するY方向の光であるのに対し、パターンBの解像度に主に寄与する光は図3(b)に示す均一な強度分布を有するX方向の光だからである。本実施形態では、フィルタ61を用いて、パターンAの解像度がパターンBの解像度に一致させる(パターンBの解像度がパターンBの解像度に近づける)。
(フィルタ61について)
フィルタ61は、2次光源の光強度分布に応じて、第1波長の光に対して当該第1波長よりも長波長である第2波長の光を相対的に減光する減光手段である。
フィルタ61は、2次光源の光強度分布に応じて、第1波長の光に対して当該第1波長よりも長波長である第2波長の光を相対的に減光する減光手段である。
図5はフィルタ61の構成を示す図である。フィルタ61は、分光特性がそれぞれ異なる3種類の領域62、63、66を有する。領域62、63の大きさは、フライアイレンズ7の単位領域である1つの微小レンズ7cの整数倍の大きさに対応している。図5では領域62を透過した光が1つの微小レンズ7c(光学素子の1倍)に入射する場合を示している。
領域62、63は、入射した光の特性を変化させる波長フィルタの領域である。波長フィルタが貼り付けられていても良いし、波長フィルタとして機能する材料が蒸着されていても良いし、波長フィルタとして機能するように凹凸加工が施されていても良い。入射した光の特性を変化させる機能は、射出光を入射光の重心波長よりも短波長側にシフトさせる機能を有するのであれば、所定の波長以外の光線を一定の割合で減光させる機能(図6参照)でもよいし、所定の波長の混在比を変化させる機能でもよい。
所定の波長の混在比を変化させる機能を有する場合を例に説明する。波長P1の光(第1波長の光)の透過率をT1、波長P2の光(第2波長の光)の透過率をT2、波長P3の光の透過率をT3とした場合に、一番光強度が低い位置に対応する領域62では、T1:T2:T3=1:0:0なる分光特性を有する。
すなわち、波長P2の光及び波長P3の光の透過率を実質ゼロとすることで、波長P1の光に対して、波長P1よりも長波長の波長P2の光及び波長P3の光を減光させる。同様に、やや光強度が低い位置に対応する領域63では、T1:T2:T3=1:0.5:0なる分光特性を有する。その他の領域66では、T1:T2:T3=1:1:1なる分光特性を有する。
すなわち、領域62(光強度が低い領域に対応する部分)のほうが領域63、66(光強度が高い領域に対応する部分)よりも波長P2の光を減光する割合が大きく、領域62の方が領域66よりも波長P3の光を減光する割合が大きい。これらによって、図3において光強度が低い部分に対応する領域62を透過した光の重心波長を領域63、66を透過した光に比べて短波長側にシフトさせることができる。2次光源の光強度が低くなる領域に対応する領域62ほど、波長P1、P2、P3の光による重心波長を短波長側にシフトすることにより、解像度が波長λに比例することを利用して、解像度を向上できる。
よって、基板上に図4のパターンAを形成した場合の線幅を小さくすることができ、パターンBの線幅に近づけることができる。このように、2次光源の光強度に応じて、第1波長の光に対して長波長である第2波長光を相対的に減光させることにより、最小線幅の増大を抑制しつつ基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減することができる。
なお、フィルタ61を領域62、63、66に分けて、3種類の分光特性を呈する例を説明したが、分光特性の種類の数はこれに限られない。また、領域62、63の設定位置も2次光源の光強度分布に応じて適宜変更しても良い。さらに、領域62、63、66における分光特性に関し、透過率比は上述の例に限られない。例えば、領域62、領域62、領域66における分光特性が、それぞれ順に、T1:T2:T3=1:0.5:0.8、T1:T2:T3=1:0.8:1、T1:T2:T3=1:1:1でもよい。この場合であっても、フィルタ61は、波長P1の光に対して波長P2の光や波長P3の光を減光している。
(波長フィルタの設計方法について)
次に、フィルタ61の設計方法について図7のフローチャートを用いて説明する。S1〜S3は、露光装置100が有する不図示の制御部で実行してもよいし、装置外に設けられた演算装置を介して実行してもよい。
次に、フィルタ61の設計方法について図7のフローチャートを用いて説明する。S1〜S3は、露光装置100が有する不図示の制御部で実行してもよいし、装置外に設けられた演算装置を介して実行してもよい。
S1では、解像度に関する情報をマスク9のパターンの主方向ごとに算出する。当該解像度に関する情報は、(1)露光および現像により基板12上に形成された凹凸パターンの凸部と凹部の高低差(2)計測部13を用いて撮像した、投影光の繰り返しパターンの画像の明暗差から算出される。
S2では、フィルタ61の各領域における重心波長を決定する。低解像度となるパターンと高解像度になるパターンとを比較し、低解像度となるパターンが高解像度となるパターンの解像度に近づくような重心波長を決定する。重心波長の決定は、例えば、解像度=K1×λ/NA(レイリーの式)に基づいて行う。ここで、λは重心波長、NAは投影光学系の開口下図、K1はレジストプロセスや2次光源などで決定される変数である。解像度を向上させる(最小解像度をさらに小さくする)ため、重心波長が短波長側にシフトするように決定される。
最後に、S3で決定した重心波長を実現する波長フィルタの分光特性を決定する。
[第2実施形態]
第2実施形態の照明光学系は、フィルタ61の代わりに後述のフィルタ71(図9に図示)を使用すること以外は、図2に示す照明光学系10と同じ構成を有する。そのため、フィルタ71以外の詳細な説明は省略する。
第2実施形態の照明光学系は、フィルタ61の代わりに後述のフィルタ71(図9に図示)を使用すること以外は、図2に示す照明光学系10と同じ構成を有する。そのため、フィルタ71以外の詳細な説明は省略する。
図8(a)に示すように、マスク9のパターンが1つ形成される被処理領域A内の位置A1〜A5のそれぞれの位置の解像度に寄与する2次光源の光強度分布が異なる場合に有利な実施形態である。図8(a)において、位置A3では全方向に均一な光強度分布であり、位置A2と位置A4では位置A3よりもややY方向に光強度分布が不均一であり、位置A1と位置A5ではさらにY方向に光強度が不均一な場合を示している。
これにより、図8(b)に示すように、同じパターンでも位置A1〜A5で解像度が異なる場合がある。これにより、幅が不均一な1本の線状パターンが形成されてしまうこととなる場合に、フィルタ71を使用する。
図9(a)はフィルタ71の構成を示す図である。フィルタ71は、フィルタ61の領域62に対応する領域72が、図9(b)の拡大図に示すように構成されている。図9(b)では、領域72が、互いに分光特性の異なる5つの領域で構成されている様子を示している。当該5つの領域を端から順にX方向に向かって領域73、領域74、領域75、領域74、領域73とした場合、領域73は領域62と同じ分光特性を有し、領域74は領域63と同じ分光特性を有し、領域75は領域66と同じ分光特性を有する。
第1実施形態と同様、フィルタ71は、局所的にフライアイレンズ7に入射する光の重心波長を短波長側にシフトさせることができる。これにより、図10に示すように被処理領域A内の位置A1〜A5に応じた解像度のばらつきを低減させることができる。このように、2次光源の光強度分布に応じて波長P1の光に対して、波長P1よりも長波長の波長P2の光及び波長P3の光を減光させるフィルタ71を用いることで、最小線幅の増大を抑制しつつ基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減できる。
[第3実施形態]
第3実施形態の照明光学系300について説明する。図11は第3実施形態の照明光学系20の構成を示す図である。投影光学系11は簡略化して図示している。
第3実施形態の照明光学系300について説明する。図11は第3実施形態の照明光学系20の構成を示す図である。投影光学系11は簡略化して図示している。
照明光学系10の構成に加え、さらにフィルタ61に対して光源側に配置された減光フィルタ64を有する。減光フィルタ(補正手段)64は、フィルタ61を配置することによって生じる、2次光源の各位置での光強度のばらつきが低減するように光強度分布を補正する目的で配置されたフィルタである。
図12(a)はフィルタ61を、図12(b)は減光フィルタ64を示す図である。減光フィルタ64は、波長P1,P2,P3の光の透過率比を変えないまま波長P1,P2,P3の光を一定の割合で減光する減光フィルタ64が配置された領域40、41と、波長P1,P2,P3の光を減光しない領域42とを有する。領域40は領域66に、領域41は領域63に、領域42は領域62に、それぞれ対応する位置にある。
フィルタ61の分光特性は第1実施形態と同様である。すなわち、波長フィルタ62は、波長P1の透過率をT1、波長P2の透過率をT2、波長P3の光の透過率をT3とした場合に、T1:T2:T3=1:0:0である。波長フィルタ63の分光特性は、T1:T2:T3=1:0.5:0である。領域66の分光特性は、T1:T2:T3=1:1:1である。
フィルタ61を透過してフライアイレンズ7の各点に入射する光の光強度Iは、波長フィルタ23の分光特性と光源1の輝度比の積算和で表される。すなわち、I=P1×T1+P2×T2+P3×T3で表される。これによれば、波長フィルタ62に対応する位置の光強度I1は2、波長フィルタ63に対応する位置の光強度I2は2.5、領域66に対応する位置の光強度I3は4である。
そこで、減光フィルタ64はフライアイレンズ7の各位置に入射する光の光強度I1〜I3が一致するように入射光を所定の割合で減光する。領域40、41、42は、射出面7bにおいて光強度I1〜I3のうち光強度が低くなる領域に対応する領域ほど高い透過率を有するように構成されている。例えば領域40は透過率0.5、領域41は透過率0.8、領域42はフィルタ無し(すなわち透過率1)とする。
減光フィルタ64を配置することにより、第1実施形態と同様の効果の効果に加え、フライアイレンズ7に入射する各位置での光強度のばらつきが低減することができる。光強度にばらつきがあるとレジストに所定のエネルギーを照射すための走査速度のばらつきが生じるところ、本実施形態によれば、マスク9のパターンの主方向によるスループットのばらつきを低減することができる。
[その他の実施形態]
光源1の種類は、水銀ランプに限らず、複数のピーク波長を含む光を射出する光源であればよい。フライアイレンズ7のかわりに、オプティカルロッド(オプティカルインテグレータ)を用いてマスク9に2次光源からの光を照明しても良い。フィルタ61、71、減光フィルタ64等は、照明光学系10,20の瞳の位置ならどこに配置されても良い。
光源1の種類は、水銀ランプに限らず、複数のピーク波長を含む光を射出する光源であればよい。フライアイレンズ7のかわりに、オプティカルロッド(オプティカルインテグレータ)を用いてマスク9に2次光源からの光を照明しても良い。フィルタ61、71、減光フィルタ64等は、照明光学系10,20の瞳の位置ならどこに配置されても良い。
露光装置100は、例えば、固定したマスク9に対して基板12をステップアンドリピート方式で駆動させながら露光することにより、基板上にレジストの潜像パターンを形成するステッパであってもよい。
[物品の製造方法]
露光装置100を用いた物品の製造方法は、露光装置を用いて基板12上に硬化物のパターンを形成する工程と、当該パターンの形成された基板を処理する工程とを含む。当該基板の処理工程において、基板のエッチング又はイオン注入等が行われた後、レジストマスクは除去される。処理工程はさらに、他の周知の処理工程(現像、酸化、成膜、蒸着、平坦化、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含んでもよい。
露光装置100を用いた物品の製造方法は、露光装置を用いて基板12上に硬化物のパターンを形成する工程と、当該パターンの形成された基板を処理する工程とを含む。当該基板の処理工程において、基板のエッチング又はイオン注入等が行われた後、レジストマスクは除去される。処理工程はさらに、他の周知の処理工程(現像、酸化、成膜、蒸着、平坦化、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含んでもよい。
物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
硬化物のパターンは、上記物品の少なくとも一部の構成部材として、そのまま用いられるか、或いは、レジストマスクとして一時的に用いられる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
1 光源
7 オプティカルインテグレータ
9 マスク(原版)
10 照明光学系
61 波長フィルタ(減光手段)
P1 第1波長
P2 第2波長
100 露光装置
7 オプティカルインテグレータ
9 マスク(原版)
10 照明光学系
61 波長フィルタ(減光手段)
P1 第1波長
P2 第2波長
100 露光装置
Claims (8)
- 投影露光装置において原版を照明するための照明光学系であって、
第1波長の光と該第1波長よりも長波長である第2波長の光とが混在する光を射出する光源と、
前記光源からの光を光入射面で受け、光射出面側に2次光源を生成するオプティカルインテグレータと、
前記2次光源の光強度分布に応じて、前記第1波長の光に対して前記第2波長の光を相対的に減光する減光手段と、を有することを特徴とする照明光学系。 - 前記減光手段が前記第1波長の光に対して前記第2波長の光を減光する割合は、前記2次光源の光強度分布における光強度が低い領域に対応する部分のほうが、前記2次光源の光強度分布における光強度が高い部分に対応する部分よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の照明光学系。
- 前記オプティカルインテグレータは複数の光学素子を含むフライアイレンズであり、
前記減光手段が前記第1波長の光に対して前記第2波長の光を相対的に減光する単位領域は、前記フライアイレンズの1つの前記光学素子の整数倍に対応することを特徴とする請求項1又は2に記載の照明光学系。 - 前記オプティカルインテグレータは複数の光学素子を含むフライアイレンズであり、
前記減光手段が前記第1波長の光に対して前記第2波長の光を相対的に減光する単位領域は、前記フライアイレンズの1つの前記光学素子を複数の領域に分割した領域に対応することを特徴とする請求項1又は2に記載の照明光学系。 - 前記減光手段は、分光特性の重心波長がそれぞれ異なる複数の波長フィルタを有することを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の照明光学系。
- 前記減光手段は、前記2次光源の光強度分布の光強度のばらつきを補正する、補正手段を有することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の照明光学系。
- 請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の照明光学系と
前記照明光学系で照明された前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、を有することを特徴とする露光装置。 - 物品の製造方法であって、
請求項7に記載の露光装置を用いて前記基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程の後に前記基板を処理する工程とを有することを特徴とする物品の製造方法。
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