JP2018036319A - Apparatus for printing optical waveguide and method for manufacturing optical waveguide - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光インターコネクション等に使用する光導波路を印刷により製造する装置および光導波路の製造方法に関する。 The present invention relates to an apparatus for manufacturing an optical waveguide used for optical interconnection or the like by printing and a method for manufacturing the optical waveguide.
近年、光通信技術の進展により、大容量の情報を高速に伝送できる通信システムとして電気通信に比べ、光通信の優位性が実証されてきた。 In recent years, with the advancement of optical communication technology, the superiority of optical communication has been demonstrated as a communication system capable of transmitting a large amount of information at high speed as compared with telecommunication.
光信号の伝送媒体としては、導波路が重要な構成要素となってきており、この導波路には石英を主とした材料が使用されている。 As an optical signal transmission medium, a waveguide has become an important component, and a material mainly made of quartz is used for the waveguide.
しかし、この石英を材料として用いた場合、フォトリソグラフィー等の半導体プロセスに用いられる高額な設備や装置を以ってコア層およびクラッド層を作成する必要があり、かつ作成される導波路も小面積で製造コストが高く曲げ等の外力に脆性があるという問題がある。 However, when this quartz is used as a material, it is necessary to create a core layer and a clad layer with expensive equipment and equipment used in semiconductor processes such as photolithography, and the waveguides to be created have a small area. However, there is a problem that the manufacturing cost is high and the external force such as bending is brittle.
そこで、近年開発が進められている柔軟性や靭性を備えた高分子光導波路が期待されている。 Therefore, a polymer optical waveguide having flexibility and toughness, which has been developed in recent years, is expected.
この高分子光導波路の製造方法は、ドライエッチングを用いた方法や、任意のパターンを露光及び現像して形成する方法が一般的である。 The polymer optical waveguide manufacturing method is generally a method using dry etching or a method of forming an arbitrary pattern by exposure and development.
例えばドライエッチングを用いた方法においては、まず基板上にアンダークラッド及びコアを順次形成後、コア上に部分的にシリコン含有レジストを形成する。 For example, in a method using dry etching, first, an underclad and a core are sequentially formed on a substrate, and then a silicon-containing resist is partially formed on the core.
次に反応性イオンをシリコン含有レジスト及びコアに照射し、シリコン含有レジストから露出しているコアをエッチング後、シリコン含有レジストを除去して、凸形状のコアを形成し、凸形状のコア及びアンダークラッド上にトップクラッドを形成する。 Next, the silicon-containing resist and the core are irradiated with reactive ions, the core exposed from the silicon-containing resist is etched, the silicon-containing resist is removed, and a convex core is formed. A top clad is formed on the clad.
また、パターン露光及び現像を用いた方法においては、基板上にアンダークラッド及びコア材を順次形成し、フォトマスクを介して紫外線をコアに照射し、コア材を選択的に硬化させる。次に、硬化されない部分のコアを現像により除去し、凸形状のコアを形成後、凸形状のコアおよびアンダークラッド上にトップクラッドを形成する。 In the method using pattern exposure and development, an underclad and a core material are sequentially formed on a substrate, and the core material is selectively cured by irradiating the core with ultraviolet rays through a photomask. Next, the uncured portion of the core is removed by development to form a convex core, and then a top clad is formed on the convex core and the undercladding.
この他にも、ダイシングソーにより、アンダークラッドおよびコアを順次積層後に機械加工により不要部を除去する方法があるが、この方法ではコア端部にミラーを作り込めず、ミラー作成を別工程にする事で製造工程が複雑になり、やはり製造コストが高くつくという問題点は解消されない。 In addition to this, there is a method of removing unnecessary portions by machining after sequentially laminating the underclad and the core with a dicing saw, but this method cannot make a mirror at the end of the core, and the mirror creation is a separate process. This complicates the manufacturing process, and the problem of high manufacturing costs cannot be solved.
そこで、樹脂型による複製で、光導波路コアとなる凹溝をクラッド基板の表面に形成し、この凹溝内にコア材料(透明樹脂)を流し込む。そして、このコア材料が硬化若しくは硬化前に、凹溝からはみ出した余分なコア材料をゴムヘラやスクレイパー等によって掻きとる方法がある(下記特許文献1〜3)。 Therefore, a concave groove to be an optical waveguide core is formed on the surface of the clad substrate by duplication using a resin mold, and a core material (transparent resin) is poured into the concave groove. And there is a method of scraping off the excess core material protruding from the concave groove with a rubber spatula, scraper or the like before the core material is cured or cured (Patent Documents 1 to 3 below).
これらの複製法によれば、簡単な設備によって光導波路を製造することができ、非常にローコストな光導波路を作製できるという利点がある。 According to these replication methods, the optical waveguide can be manufactured with simple equipment, and there is an advantage that an extremely low-cost optical waveguide can be manufactured.
しかし、コア材料が硬化若しくは硬化以前にコア材料を除去する場合、不要な部分を除去出来ず過剰に残ってしまう事や、コア材料まで余剰に掻き取る等によりコア内に光を閉じ込めることができない等、歩留まりの低下につながる。 However, when the core material is hardened or removed before hardening, unnecessary parts cannot be removed and it remains excessively, or light cannot be trapped in the core due to excessive scraping of the core material, etc. Etc., leading to a decrease in yield.
また、これらの手法では高精度の金型の作成や、金型全面に均一に塗工および圧力をかける工程等があることから、大面積での作成が難しいという問題があった。 In addition, these methods have a problem in that it is difficult to produce a large area because there is a process for producing a highly accurate mold and a process of applying coating and pressure uniformly over the entire mold.
以上の問題を鑑みて、本発明は、余分なコア材料を掻き取る必要がなく、そのため歩留まりが低下することなく、コア材料とクラッド材料の密着性が高く、容易に大面積化も可能な光導波路印刷装置および光導波路の製造方法を提供することを課題とする。 In view of the above problems, the present invention eliminates the need to scrape off the extra core material, and therefore, the optical core material and the clad material have high adhesion without reducing the yield, and can easily increase the area. It is an object of the present invention to provide a waveguide printing apparatus and an optical waveguide manufacturing method.
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、
コアとアンダークラッド及びトップクラッドからなる光導波路を製造する光導波路印刷装置であって、
コアが充填される凹部を有する印刷版と、印刷版からコアを取り出して転写するブランケットと、ブランケット上にアンダークラッドを塗布するコート機構Aと、転写したコアとアンダークラッドの上にトップクラッドを塗布するコート機構Bと、印刷板及び被印刷体の固定用定盤とを少なくとも備え、
前記ブランケットは回転可能かつ移動可能な機構を有することを特徴とする光導波路印刷装置である。
In order to solve the above problems, one embodiment of the present invention provides:
An optical waveguide printing apparatus for manufacturing an optical waveguide composed of a core, an underclad and a top clad,
A printing plate having a recess filled with a core, a blanket for removing the core from the printing plate and transferring it, a coating mechanism A for applying an underclad on the blanket, and a top clad on the transferred core and underclad A coating mechanism B, and a printing plate and a fixing platen for fixing the printing medium,
The blanket is an optical waveguide printing apparatus having a rotatable and movable mechanism.
この態様によれば、印刷板の凹部に充填されたコア材料がブランケットに転写されるので、コア材料を掻き取る必要が無く、歩留まりの低下が発生しない。さらにコア材料とクラッド材料の密着性が高い光導波路が得られる印刷装置が提供できる。 According to this aspect, since the core material filled in the concave portion of the printing plate is transferred to the blanket, there is no need to scrape the core material and the yield does not decrease. Furthermore, it is possible to provide a printing apparatus capable of obtaining an optical waveguide with high adhesion between the core material and the clad material.
また、印刷版とブランケットのサイズを大きくすることで、大面積での作製も可能である。 Moreover, it is possible to produce a large area by increasing the size of the printing plate and the blanket.
また、本発明の別の一態様は、
前記ブランケットとしてシリコーンゴムを用いる事を特徴とした光導波路印刷装置である。
Another embodiment of the present invention is as follows.
In the optical waveguide printing apparatus, silicone rubber is used as the blanket.
また、本発明の別の一態様は、
コアとアンダークラッド及びトップクラッドからなる光導波路の製造方法であって、
印刷板の凹部にコアを充填し、ブランケットが該印刷板表面に接触して回転しながら移動することにより該コアをブランケット表面に転写した後、ブランケット表面にアンダークラッドを塗布し、被印刷体上にて該ブランケットを回転しながら移動させることでコア及びアンダークラッドからなる印刷物を被印刷体上に転写し、さらに該印刷物にトップクラッドを塗布することにより光導波路を得ることを特徴とする光導波路の製造方法である。
Another embodiment of the present invention is as follows.
A method of manufacturing an optical waveguide comprising a core, an underclad and a top clad,
The core is filled in the concave portion of the printing plate, and the blanket moves while rotating in contact with the surface of the printing plate. After the core is transferred to the surface of the blanket, undercladding is applied to the surface of the blanket, An optical waveguide obtained by transferring a printed material comprising a core and an underclad onto a substrate to be printed by moving the blanket while rotating, and further applying a top clad to the printed material. It is a manufacturing method.
この態様によれば、印刷板の凹部に充填されたコアがブランケットに転写されるので、
コア材料を掻き取る必要が無く、歩留まりの低下が発生しない。またコア材料とクラッド材料の密着性が高い光導波路の製造方法が提供できる。
According to this aspect, since the core filled in the concave portion of the printing plate is transferred to the blanket,
There is no need to scrape the core material and no yield reduction occurs. Further, it is possible to provide a method for manufacturing an optical waveguide having high adhesion between the core material and the clad material.
さらに、本発明の別の一態様は、
前記ブランケット表面にアンダークラッドを塗布する方法として、ダイコート法、ロールコート法、グラビア印刷法、オフセット印刷法、グラビアオフセット印刷法、リバースグラビア法、スクリーン印刷法、インキジェット法のいずれかを用いる事を特徴とする光導波路の製造方法である。
Furthermore, another aspect of the present invention provides:
As a method of applying the under clad to the blanket surface, a die coating method, a roll coating method, a gravure printing method, an offset printing method, a gravure offset printing method, a reverse gravure method, a screen printing method, or an ink jet method may be used. It is the manufacturing method of the optical waveguide characterized.
さらに、本発明の別の一態様は、
前記コア及びアンダークラッドからなる印刷物にトップクラッドを塗布する方法として、ダイコート法、ロールコート法、グラビア印刷法、オフセット印刷法、グラビアオフセット印刷法、リバースグラビア法、スクリーン印刷法、インキジェット法のいずれかを用いる事を特徴とする光導波路の製造方法である。
Furthermore, another aspect of the present invention provides:
As a method of applying the top clad to the printed material comprising the core and the under clad, any of a die coating method, a roll coating method, a gravure printing method, an offset printing method, a gravure offset printing method, a reverse gravure method, a screen printing method, and an ink jet method. This is a method of manufacturing an optical waveguide characterized by using the above.
ブランケット上にコア及びアンダークラッドを保持した際に、コア及びアンダークラッドを硬化させるための処理をしてもよい。硬化処理としては加熱、送風、紫外線照射などが挙げられ、コア材料及びアンダークラッド材料の性状により適切に選択される。 When the core and the underclad are held on the blanket, a treatment for curing the core and the underclad may be performed. Examples of the curing process include heating, blowing, and ultraviolet irradiation, and the curing process is appropriately selected depending on the properties of the core material and the underclad material.
トップクラッド塗布後にトップクラッドを硬化させるための処理をしてもよい。硬化処理としては加熱、送風、紫外線照射などが挙げられ、トップクラッド材料の性状により適切に選択される。 You may perform the process for hardening a top clad after top clad application. Examples of the curing process include heating, blowing, and ultraviolet irradiation, and the curing process is appropriately selected depending on the properties of the top clad material.
以上説明したように、本発明によれば、ブランケットを用いてコアを転写するので余分なコアが生じないためコア材料を掻き取る必要が無く、歩留まりの低下が発生しない。またコア材料とクラッド材料の密着性が高い光導波路を提供できる。印刷版とブランケットのサイズを大きくすることで、大面積での作製も可能である。 As described above, according to the present invention, since the core is transferred using the blanket, no extra core is generated, so there is no need to scrape the core material and the yield does not decrease. In addition, an optical waveguide having high adhesion between the core material and the clad material can be provided. By increasing the size of the printing plate and blanket, it is possible to produce a large area.
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited only to the following embodiment.
(印刷装置の構成)
図1において、印刷装置100は、ブランケット105と、印刷版102とを備えている。ブランケット105は、回転可能なブランケット胴104の表面に固定されている。
ブランケット胴104は、回転や上下移動が可能なように台車(図示せず)に支持されており、台車は、印刷版固定用定盤101と被印刷体固定用定盤107を相互に移動可能に支持されている。このようにブランケットは、ブランケット胴と台車とに支持されていることにより、回転及び移動が可能な機構を有している。台車には、アンダークラッド材料を塗布するためのコート機構Aが備えられているが、本実施形態ではコート機構の一例としてダイコート106が設置されている。
(Configuration of printing device)
In FIG. 1, the
The
印刷版102は、印刷版固定用定盤101の上面に固定され、ブランケット105の印刷面にコア材料を転写可能な位置に配置されている。また被印刷体108は、被印刷体固定用定盤107の上面に固定され、被印刷体108にブランケット105の印刷面からコア材料を転写可能に配置されている。被印刷体固定用定盤107の上方には、トップクラッド材料を塗布するためのコート機構Bが備えられているが、本実施形態ではコート機構の一例としてダイコート110が被印刷体固定用定盤107上を移動可能に設置してある。
The printing plate 102 is fixed to the upper surface of the printing plate fixing
ブランケット105は、その表面でパターン上のコアの授受を行うことにより転写印刷を行う。ブランケット105の表面すなわち印刷面はゴム層からなる。このゴム層として用いられるゴム材料としては、ブランケットとして公知の各種の材料を用いることができる。これらのゴム材料は、コア材料の種類に対応して選択される。表面エネルギーの低いシリコーンゴムなどが好適である。
The
ゴム層単独でブランケット105とすることも可能であるが、ゴム層はベース基材の上に設けてもよい。なお、ゴム材料からなるゴム層は、ベース基材上でゴム材料を硬化させることも、フィルム上のゴム材料をベース基材と貼りあわせることも可能である。
Although the rubber layer alone can be used as the
ベース基材としては、印刷時にブランケット胴104に取り付けられることから、可撓性のあるフィルム又は金属薄板であれば種類は問わないが、コスト及び寸法安定性からポリエチレンテレフタレート(PET)などのポリエステル系フィルム、あるいはポリイミドフィルムが好適である。また、ベース基材とシリコーンゴム層の間には、必要に応じてプライマー層や接着層が設けられる。また、ベース基材の下には必要に応じてクッション層が設けられる。クッション層としてはスポンジ状の材料を用いることができる。
As a base material, since it is attached to the
ブランケット105は、その幅方向の両端部を不図示の取付器具によって巻き締めることによって、略円筒形のブランケット胴104に固定される。
The
印刷版102は、配線に対応する溝を銅板、ニッケル版などの金属版、あるいはガラス版に形成し、その表面にクロムめっきやカーボンめっきによる耐擦性皮膜を形成してなる。この印刷版102の凹部に対して、例えばドクターブレード103を用いて一定の速度でコア材料109aを充填していく。
The printing plate 102 is formed by forming a groove corresponding to the wiring in a metal plate such as a copper plate or a nickel plate, or a glass plate, and forming a rub-resistant film by chromium plating or carbon plating on the surface thereof. The recesses of the printing plate 102 are filled with the
ブランケット胴104近傍に、ブランケット105上へアンダークラッド材料を塗布することができるダイコート106が設置してある。また、被印刷体固定用定盤107の上方に、被印刷体108上にトップクラッド材料を塗布することができるダイコート110が設置してある。
In the vicinity of the
なお、本実施形態ではアンダークラッド材料及びトップクラッド材料のコート方法をダイコート法としたが、ロールコート法、グラビア印刷法、オフセット印刷法、グラビアオフセット印刷法、リバースグラビア法、スクリーン印刷法、インキジェット法を用いる事もできる。それぞれのコート方法に即したコート機構がブランケット近傍に設置される。 In this embodiment, the coating method of the under cladding material and the top cladding material is a die coating method, but a roll coating method, a gravure printing method, an offset printing method, a gravure offset printing method, a reverse gravure method, a screen printing method, an ink jet method. The law can also be used. A coating mechanism suitable for each coating method is installed near the blanket.
本実施形態における被印刷体108は、被印刷体固定用定盤107の上面に固定されている。被印刷体108は、例えば、ソーダ石灰ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、無アルカリアルミノ硼珪酸ガラスなどのガラス板、あるいはポリエチレンテレフタレート(PET)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリカーボネート(PC)などからなるプラスチック板、プラスチックフィルムが用いられる。被印刷体108は、例えば、厚さ125μmのPET製のフィルムとすることができる。
The
なお被印刷体108としては他の材料、例えば電子基板に使われているガラス繊維とエポキシ系樹脂からなるシート(プリプレグ)を用いることができ、また他の樹脂材料、紙、不織布を用いても良い。被印刷体108はシート状の材料に限られず、中空又は中実のいずれでも良く、また任意の平面又は曲面を印刷面とすることができる。
The printed
また被印刷体108としては、ソーダ石灰ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、無アルカリアルミノ硼珪酸ガラスなどのガラス板、あるいはポリエチレンテレフタレート(PET)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリカーボネート(PC)などからなるプラスチック板、プラスチックフィルムなどを用いてもよい。また被印刷体上に光導波路を形成後、被印刷体から光導波路を剥離してもよい。
Further, as the
また、印刷装置100は、印刷装置100の各部を制御するために、制御部(図示せず)を備えることができる。ブランケット胴104、ブランケット胴が支持された台車、印刷版固定用定盤101、被印刷体固定用定盤107のための送り機構は、制御部に電気的に接続されている。制御部は周知のコンピュータであってよく、データバスによって相互接続されたCPU、ROM、RAM、入出力ポート、記憶装置、表示装置及び入出力装置等を含むものである。
In addition, the
制御部はオペレータの操作入力、各種センサ類からの入力、及びROMに格納された制御プログラムに従って、ドクターブレード103を用いた印刷版102へのコア材料充填、ブランケット胴104の送り回転及び移動、ブランケット胴が支持された台車の移動、印刷版固定用定盤101、被印刷体固定用定盤107のための送り機構の動作、並びに被印刷体108上のコア材料、アンダークラッド材料、トップクラッド材料に対する熱硬化処理、光焼成処理などの動作及びブランケット105に対する乾燥の動作を連繋して制御することが可能に構成されている。
The control unit fills the printing plate 102 with the core material using the
(印刷方法)
次に、以上のとおり構成された印刷装置100を用いた印刷方法について説明する。
(Printing method)
Next, a printing method using the
図1及び図2に示すように、印刷版102には、ドクターブレード103により、印刷版102の凹部にコア材料109aを導き、表面から溢れ出た余分なコア材料を取り去ることでコア109が充填される。ドクターブレード103によりコアを充填していく速度は、例えば、150mm/sである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
次に、図3に示すように、ブランケット胴104が図中矢印A方向に回転しながら転がり、印刷版102に充填されたコア109に連続的に接触することによって、ブランケット105の印刷面にはコア109が転写される。ブランケット105への転写速度は、例えば、50mm/sで行うことができる。
コア109が溶剤を含む場合、ブランケット105の印刷面が、コア109内の溶剤を吸収可能な吸収性を有するため、ブランケット105の印刷面に形成されたコア109の濡れ広がりが抑制される。
Next, as shown in FIG. 3, the
When the core 109 contains a solvent, the printing surface of the
ブランケット上にコアを転写した後に、不図示のコア材料硬化機構によってコアを硬化させてもよい。硬化機構としては加熱機構、送風機構、紫外線照射機構などが挙げられ、コア材料の性状により適切に選択される。 After transferring the core onto the blanket, the core may be cured by a core material curing mechanism (not shown). Examples of the curing mechanism include a heating mechanism, a blower mechanism, and an ultraviolet irradiation mechanism, which are appropriately selected depending on the properties of the core material.
その後、図4に示すようにブランケット105の表面をダイコート106によってアンダークラッド111でコートする。このときコア109を全面コートする。
Thereafter, as shown in FIG. 4, the surface of the
アンダークラッド111をコートした後に、不図示のアンダークラッド材料硬化機構によってアンダークラッドを硬化させてもよい。硬化機構としては加熱機構、送風機構、紫外線照射機構などが挙げられ、アンダークラッド材料の性状により適切に選択される。 After the under clad 111 is coated, the under clad may be cured by an unillustrated under clad material curing mechanism. Examples of the curing mechanism include a heating mechanism, a blower mechanism, and an ultraviolet irradiation mechanism, which are appropriately selected depending on the properties of the underclad material.
次に、図5に示すようにブランケット胴104が図中矢印A方向に回転しながら転がり、ブランケット104上に形成されたコア109とアンダークラッド111は、被印刷体108の印刷面に転写され、コア109がアンダークラッド111に埋め込まれた印刷物112が作成できる。被印刷体108への転写速度は、例えば、200mm/sで行うことができる。
Next, as shown in FIG. 5, the
転写されずにブランケット104の印刷面に残ったコア109及びアンダークラッド111は、例えば、不図示のクリーニングローラーで除去される。なお、本実施例では転写の際にブランケット胴104を移動させたが、ブランケット胴104と印刷版固定用定盤101との相対位置、あるいはブランケット胴104と被印刷体固定用定盤107との相対位置の変化を実現できる限り、印刷版固定用定盤101、被印刷体固定用定盤107を移動させても良く、ブランケット胴104、印刷版固定用定盤101、および被印刷体固定用定盤107の3つをそれぞれ移動させても良い。
The
次に、図6に示すように、アンダークラッドの印刷物112と対向する面にダイコート110によってトップクラッド113でコートする。
Next, as shown in FIG. 6, the surface opposite to the underclad printed
その後、被印刷体108上に転写されたコア109及びアンダークラッド111、トップクラッド113が硬化され、図7に示される光導波路114が形成される。
Thereafter, the
この硬化処理は、例えば、焼成、加熱、自然乾燥、紫外線硬化、冷却(熱可塑性材料を含む導電性インキを用いる場合)など、使用する導電性インキの種類及び成分に応じた各種の手段によって実行することができる。加熱による場合には、例えば、赤外線ヒータを用いることができる。 This curing process is performed by various means depending on the type and components of the conductive ink used, such as baking, heating, natural drying, ultraviolet curing, and cooling (when using conductive ink containing a thermoplastic material). can do. In the case of heating, for example, an infrared heater can be used.
このようにして、光導波路114が得られる。尚、ブランケット105の膨潤量が所定の基準値に達すると、印刷待機時にブランケット105に吸収された溶剤が乾燥させられる機能を印刷装置に備えても良い。
In this way, the
ブランケット105の印刷面の材質、使用するコア109の種類及びコア109内の溶剤の種類、アンダークラッド111をブランケット105上に塗布する方法、アンダークラッド111の種類、トップクラッド113を印刷物112上に塗布する方法、トップクラッド材料113の種類は、上記印刷装置100におけるもの以外の各種のものを選択することができる。
The material of the printing surface of the
ブランケット105は、円筒形のブランケット胴104に固定して使用したが、使用の際のブランケットの形状は円筒形以外の曲面や平面であっても良い。被印刷体108はシート状のほか樹脂成形品などのように、印刷面が曲面であるものであっても良い。
The
以上で述べた本発明の実施形態による印刷装置を用いて、光導波路を作成した。 An optical waveguide was created using the printing apparatus according to the embodiment of the present invention described above.
(評価)
本発明の印刷装置により作成した光導波路114に対し、JIS−C6823に基づくカットバック法により、マルチモード光ファイバ損失試験を行った。光損失は0.08dB/cmとやや高い結果が出た。また、クロストーク測定を行った結果は35dBと良好な結果を得ることができた。
(Evaluation)
A multimode optical fiber loss test was performed on the
(その他の実施形態)
本発明は実施形態に示された態様のみに限らず、特許請求の範囲によって規定される本発明の思想に包含されるあらゆる変形例や応用例、均等物が本発明に含まれる。従って本発明は、限定的に解釈されるべきではなく、本発明の思想の範囲内に帰属する他の任意の技術にも適用することが可能である。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the modes shown in the embodiments, and includes all modifications, applications, and equivalents included in the concept of the present invention defined by the claims. Therefore, the present invention should not be construed as being limited, and can be applied to any other technique belonging to the scope of the idea of the present invention.
例えば、上記実施形態では、平板の印刷版を用いて転写を行っていたが、これに限られず、シリンダー形状の印刷版を用いて転写を行ってもよい。 For example, in the above embodiment, the transfer is performed using a flat plate, but the transfer is not limited to this, and the transfer may be performed using a cylinder-shaped printing plate.
100 印刷装置
101 印刷版固定用定盤
102 印刷版
103 ドクターブレード
104 ブランケット胴
105 ブランケット
106 ダイコート(ブランケット上にアンダークラッド材料をコートする機構A)
107 被印刷体固定用定盤
108 被印刷体
109 コア
109a コア材料
110 ダイコート(被印刷体固定用定盤上にトップクラッド材料をコートする機構B)
111 アンダークラッド
112 コアをアンダークラッドに埋め込んだ印刷物
113 トップクラッド
114 光導波路
DESCRIPTION OF
107 Substrate for fixing printed
111 Under clad 112 Printed
Claims (5)
コアが充填される凹部を有する印刷版と、印刷版からコアを取り出して被印刷体に転写するブランケットと、ブランケット上にアンダークラッドを塗布するコート機構Aと、転写したコア及びアンダークラッドの上にトップクラッドを塗布するコート機構Bと、印刷板および被印刷体の固定用定盤とを少なくとも備え、
前記ブランケットは回転可能かつ移動可能な機構を有することを特徴とする光導波路印刷装置。 An optical waveguide printing apparatus for manufacturing an optical waveguide composed of a core, an underclad and a top clad,
A printing plate having a recess filled with a core, a blanket for taking out the core from the printing plate and transferring it to a printing medium, a coating mechanism A for applying an underclad on the blanket, and on the transferred core and underclad At least a coating mechanism B for applying the top clad, and a platen for fixing the printing plate and the printing medium;
The optical waveguide printing apparatus, wherein the blanket has a rotatable and movable mechanism.
印刷板の凹部にコアを充填し、ブランケットが該印刷板表面に接触して回転しながら移動することにより該コアをブランケット表面に転写した後、ブランケット表面にアンダークラッドを塗布し、被印刷体上にて該ブランケットを回転しながら移動させることでコア及びアンダークラッドからなる印刷物を被印刷体上に転写し、さらに該印刷物にトップクラッドを塗布することにより光導波路を得ることを特徴とする光導波路の製造方法。 A method of manufacturing an optical waveguide comprising a core, an underclad and a top clad,
The core is filled in the concave portion of the printing plate, and the blanket moves while rotating in contact with the surface of the printing plate. After the core is transferred to the surface of the blanket, undercladding is applied to the surface of the blanket, An optical waveguide obtained by transferring a printed material comprising a core and an underclad onto a substrate to be printed by moving the blanket while rotating, and further applying a top clad to the printed material. Manufacturing method.
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