JP2018018637A - Planar heating sheet and roll body of planar heating sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、発熱性能に優れ、透明性が高い面状発熱シートに関する。また、本発明は、該面状発熱シートのロール体に関する。 The present invention relates to a sheet heating sheet having excellent heat generation performance and high transparency. The present invention also relates to a roll body of the sheet heating sheet.
従来から、面状発熱シートに関する技術が多数開発されている（例えば、特許文献１）。面状発熱シートは、例えば、床暖房、屋根融雪装置等の住宅設備、家電、電子機器、光学機器、自動車、工業用機器、農業用機器、医療機器、美容機器、研究用分析装置等において広く利用されている。 Conventionally, many techniques related to a planar heat generating sheet have been developed (for example, Patent Document 1). Sheet heating sheets are widely used in, for example, residential equipment such as floor heating and roof snow melting equipment, home appliances, electronic equipment, optical equipment, automobiles, industrial equipment, agricultural equipment, medical equipment, beauty equipment, analytical equipment for research, etc. It's being used.
面状発熱シートには、優れた発熱性能に加え、使用される部位の環境に応じて様々な性能が求められている。例えば、電子機器、光学機器等に用いられる場合には光透過性が必要とされることがあり、また、住宅設備、自動車等においてガラス部分又は外部から見える部分に用いられる場合、意匠性の観点から透明性が必要とされることがある。 In addition to excellent heat generation performance, various performances are required for the sheet heat generation sheet depending on the environment of the part to be used. For example, when used in electronic equipment, optical equipment, etc., light transparency may be required, and when used in a glass part or a part that can be seen from the outside in residential equipment, automobiles, etc., from the viewpoint of design Therefore, transparency may be required.
しかしながら、面状発熱シートは、通常、発熱性能を発揮するために導電性の金属薄膜を有しているため、金属光沢を持ち光透過性又は透明性が不充分であった。特許文献２には、銀からなり微細網目構造を有する透明導電膜が記載されているが、この透明導電膜では高い導電性と光透過性とを両立するために特殊な微細網目構造を形成しなければならないため、成膜工程が複雑であった。また、成膜工程が複雑であるため、特許文献２に記載された透明導電膜は大面積で使用するのには適していなかった。 However, since the sheet-like heat generating sheet usually has a conductive metal thin film in order to exhibit heat generation performance, it has a metallic luster and insufficient light transmission or transparency. Patent Document 2 describes a transparent conductive film made of silver and having a fine network structure. In this transparent conductive film, a special fine network structure is formed in order to achieve both high conductivity and light transmittance. Therefore, the film forming process is complicated. Further, since the film forming process is complicated, the transparent conductive film described in Patent Document 2 is not suitable for use in a large area.
本発明は、発熱性能に優れ、透明性が高い面状発熱シートを提供することを目的とする。また、本発明は、該面状発熱シートのロール体を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a sheet heating sheet having excellent heat generation performance and high transparency. Another object of the present invention is to provide a roll body of the sheet heating sheet.
本発明は、基体と、前記基体の上に形成された導電金属薄膜とを有する面状発熱シートであって、前記導電金属薄膜は、銀を含有する厚さ５ｎｍ以上、１００ｎｍ以下の薄膜である面状発熱シートである。
以下、本発明を詳述する。
The present invention is a planar heating sheet having a base and a conductive metal thin film formed on the base, wherein the conductive metal thin film is a thin film containing silver and having a thickness of 5 nm to 100 nm. It is a sheet heating sheet.
The present invention is described in detail below.
本発明者らは、基体と、上記基体の上に形成された導電金属薄膜とを有する面状発熱シートにおいて、導電金属薄膜を、銀を含有し特定範囲の厚みを有する薄い薄膜とすることにより、優れた発熱性能と高い透明性とを両立できることを見出し、本発明を完成させるに至った。 In the sheet heating sheet having the base and the conductive metal thin film formed on the base, the inventors have made the conductive metal thin film a thin thin film containing silver and having a specific thickness. The inventors have found that both excellent heat generation performance and high transparency can be achieved, and have completed the present invention.
本発明の面状発熱シートは、基体と、上記基体の上に形成された導電金属薄膜とを有する。
上記基体は特に限定されず、一般的に面状発熱シートに用いられる基体を用いることができ、具体的には例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等のポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、エチレン−酢酸ビニル樹脂、エチレン−アクリル酸エステル樹脂、エチレン−メタクリル酸エステル樹脂、エチレン−アクリル酸樹脂、ポリエステル樹脂等の樹脂からなる樹脂シート又は発泡シートが挙げられる。なかでも、エチレン−酢酸ビニル樹脂、エチレン−メチルアクリレート樹脂、エチレン−エチルアクリレート樹脂が好ましい。
The planar heating sheet of the present invention has a base and a conductive metal thin film formed on the base.
The substrate is not particularly limited, and a substrate generally used for a planar heating sheet can be used. Specifically, for example, polyolefin resins such as polyethylene resin and polypropylene resin, urethane resins, ethylene-vinyl acetate resins, Examples thereof include resin sheets or foamed sheets made of resins such as ethylene-acrylic acid ester resins, ethylene-methacrylic acid ester resins, ethylene-acrylic acid resins, and polyester resins. Of these, ethylene-vinyl acetate resin, ethylene-methyl acrylate resin, and ethylene-ethyl acrylate resin are preferable.
上記基体は、ＪＩＳ Ｋ７１２７（１９９９）に準拠する破断伸び率の好ましい下限が０．１％、好ましい上限が５０％である。上記基体のＪＩＳ Ｋ７１２７（１９９９）に準拠する破断伸び率が０．１％以上であれば、面状発熱シートの全体としての柔軟性が向上し、曲げたり延伸したりしても上記導電金属薄膜に亀裂、破断等が生じにくくなるため、曲げたり延伸したりしても面状発熱シートが発熱性能を維持することができる。上記基体のＪＩＳ Ｋ７１２７（１９９９）に準拠する破断伸び率が５０％以下であれば、面状発熱シートが充分な強度を有することができる。上記破断伸び率のより好ましい下限は１％、より好ましい上限は４０％、更に好ましい下限は１０％、更に好ましい上限は３０％である。
なお、ＪＩＳ Ｋ７１２７（１９９９）に準拠する破断伸び率は、ＪＩＳ Ｋ７１２７（１９９９）に準拠して面状発熱シートの破断伸び率を測定することで、実質的に基体の破断伸び率を求めることができる。
The above-mentioned substrate has a preferred lower limit of elongation at break according to JIS K7127 (1999) of 0.1% and a preferred upper limit of 50%. When the elongation at break according to JIS K7127 (1999) of the substrate is 0.1% or more, the flexibility of the sheet heating sheet as a whole is improved, and the conductive metal thin film can be bent or stretched. Therefore, even if the sheet is bent or stretched, the sheet heating sheet can maintain the heating performance. If the elongation at break according to JIS K7127 (1999) of the substrate is 50% or less, the sheet heating sheet can have sufficient strength. The more preferable lower limit of the elongation at break is 1%, the more preferable upper limit is 40%, the still more preferable lower limit is 10%, and the more preferable upper limit is 30%.
In addition, the breaking elongation rate based on JIS K7127 (1999) can calculate the breaking elongation rate of a base | substrate substantially by measuring the breaking elongation rate of a planar heating sheet | seat based on JIS K7127 (1999). it can.
上記基体の厚みは特に限定されないが、好ましい下限は１０μｍ、好ましい上限は１ｍｍである。上記基体の厚みが１０μｍ以上であれば、面状発熱シートが充分な強度を有することができる。上記基体の厚みが１ｍｍ以下であれば、上記基体及び面状発熱シートの取り扱い性が良好となる。 Although the thickness of the said base | substrate is not specifically limited, A preferable minimum is 10 micrometers and a preferable upper limit is 1 mm. If the thickness of the substrate is 10 μm or more, the sheet heating sheet can have sufficient strength. When the thickness of the substrate is 1 mm or less, the handling properties of the substrate and the sheet heating sheet are good.
上記導電金属薄膜は、銀を含有する厚さ５ｎｍ以上、１００ｎｍ以下の薄膜である。
上記導電金属薄膜を、銀を含有し上記範囲の厚みを有する薄い薄膜とすることにより、例えば従来のような特殊な微細網目構造等を形成しなくても、高い透明性を得ることができる。また、銀は比抵抗が小さい材料であるため、通常、銀を含有する薄膜は、抵抗値が小さい。即ち、発熱性能が悪い。これに対して、本発明の面状発熱シートにおいては、銀を含有する薄膜の厚みを上記範囲に調整することにより、銀を含有していても抵抗値を大きく上昇させ、発熱性能を著しく向上させることができる。
The conductive metal thin film is a thin film containing silver and having a thickness of 5 nm to 100 nm.
By making the conductive metal thin film a thin thin film containing silver and having a thickness in the above range, high transparency can be obtained without forming a special fine network structure or the like as in the prior art. Further, since silver is a material having a small specific resistance, a thin film containing silver usually has a small resistance value. That is, the heat generation performance is poor. On the other hand, in the sheet heating sheet of the present invention, by adjusting the thickness of the thin film containing silver to the above range, the resistance value is greatly increased even if silver is contained, and the heat generation performance is remarkably improved. Can be made.
上記導電金属薄膜は、銀を含有していれば、銀のみを含有していてもよいし、銀と他の材料とを含む銀合金を含有していてもよい。なかでも、上記導電金属薄膜の発熱性能に優れていることから、銀を主成分として含有することが好ましい。また、上記導電金属薄膜の耐食性が向上することから、銀合金が好ましい。
上記銀合金に含まれる他の材料は特に限定されず、例えば、パラジウム、ニッケル、銅等が挙げられる。なかでも、パラジウム、銅が好ましい。上記銀合金として、具体的には例えば、銀−パラジウム、及び、銀−パラジウム−銅が好ましい。
As long as the said conductive metal thin film contains silver, it may contain only silver, and may contain the silver alloy containing silver and another material. Especially, since the heat generating performance of the said conductive metal thin film is excellent, it is preferable to contain silver as a main component. Moreover, since the corrosion resistance of the said conductive metal thin film improves, a silver alloy is preferable.
The other material contained in the said silver alloy is not specifically limited, For example, palladium, nickel, copper etc. are mentioned. Of these, palladium and copper are preferable. Specific examples of the silver alloy include silver-palladium and silver-palladium-copper.
上記導電金属薄膜における銀の含有量は特に限定されず、主成分であればよいが、好ましい下限は９５重量％である。上記銀の含有量が９５重量％以上であれば、面状発熱シートが優れた発熱性能と高い透明性とを有することができる。上記銀の含有量のより好ましい下限は９８重量％であり、更に好ましい下限は９９重量％である。
上記銀の含有量の上限は特に限定されず、１００重量％であってもよい。
なお、エネルギー分散型Ｘ線分析措置（ＥＤＳ）付きの透過型電子顕微鏡を用いて、導電金属薄膜の表面について深さ方向に元素マッピングを行い、得られた導電金属薄膜中の金属組成及び分布から、導電金属薄膜中の銀の含有量を求めることができる。
The silver content in the conductive metal thin film is not particularly limited and may be a main component, but a preferable lower limit is 95% by weight. When the silver content is 95% by weight or more, the planar heat generating sheet can have excellent heat generation performance and high transparency. A more preferred lower limit of the silver content is 98% by weight, and a more preferred lower limit is 99% by weight.
The upper limit of the silver content is not particularly limited, and may be 100% by weight.
In addition, using a transmission electron microscope with an energy dispersive X-ray analysis measure (EDS), element mapping is performed in the depth direction on the surface of the conductive metal thin film. From the metal composition and distribution in the obtained conductive metal thin film The silver content in the conductive metal thin film can be determined.
上記導電金属薄膜は、厚みの下限が５ｎｍである。上記導電金属薄膜の厚みが５ｎｍ以上であれば、上記導電金属薄膜に電圧及び電流を充分に加えれば、充分な発熱量が得られる。上記導電金属薄膜の厚みの好ましい下限は１０ｎｍ、より好ましい下限は２０ｎｍである。
上記導電金属薄膜は、厚みの上限が１００ｎｍである。上記導電金属薄膜の厚みが１００ｎｍ以下であれば、上記導電金属薄膜の抵抗値が大きく上昇して発熱性能が著しく向上し、透明性も高くなる。発熱のために面状発熱シートに流す電流をより小さくできることから、上記導電金属薄膜の厚みの好ましい上限は５０ｎｍ、より好ましい上限は４０ｎｍである。
なお、面状発熱シートの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察し、観察像における導電金属薄膜の厚みを２０ヶ所測定し、その２０ヶ所の厚みを平均することにより、導電金属薄膜の厚みを求めることができる。
The conductive metal thin film has a thickness lower limit of 5 nm. If the thickness of the conductive metal thin film is 5 nm or more, a sufficient amount of heat can be obtained by sufficiently applying voltage and current to the conductive metal thin film. A preferable lower limit of the thickness of the conductive metal thin film is 10 nm, and a more preferable lower limit is 20 nm.
The upper limit of the thickness of the conductive metal thin film is 100 nm. When the thickness of the conductive metal thin film is 100 nm or less, the resistance value of the conductive metal thin film is greatly increased, the heat generation performance is remarkably improved, and the transparency is also increased. Since the electric current which flows into a planar heat generating sheet for heat_generation | fever can be made smaller, the preferable upper limit of the thickness of the said conductive metal thin film is 50 nm, and a more preferable upper limit is 40 nm.
In addition, by observing the cross section of the sheet heating sheet with a scanning electron microscope (SEM), measuring the thickness of the conductive metal thin film in the observed image at 20 locations, and averaging the thickness at the 20 locations, The thickness can be determined.
上記導電金属薄膜は、スパッタリングにより形成されていることが好ましい。
上記導電金属薄膜を、スパッタリングにより形成された、銀を含有し上記範囲の厚みを有する薄い薄膜とすることにより、面状発熱シートを曲げたり延伸したりしたときの上記導電金属薄膜の亀裂、破断等を防ぐことができる。これにより、面状発熱シートを曲げたり延伸したりしたときの発熱性能の損失を防ぐことができる。
The conductive metal thin film is preferably formed by sputtering.
By forming the conductive metal thin film into a thin film containing silver and having a thickness in the above range formed by sputtering, the conductive metal thin film is cracked or broken when the sheet heating sheet is bent or stretched. Etc. can be prevented. Thereby, the loss of the heat generation performance when the planar heat generating sheet is bent or stretched can be prevented.
上記導電金属薄膜がスパッタリングにより形成されていることは、例えば、下記の方法により確認することができる。
即ち、表面に幅７５０ｍｍ以上の導電金属薄膜が形成されている測定サンプルを用意し、「原子間力顕微鏡によるファインセラミック薄膜の表面粗さ測定方法（ＪＩＳ Ｒ １６８３：２００７）」に準拠して、幅方向に等間隔で１０点の測定箇所を設定して導電金属薄膜の表面粗さＲａを測定する。得られた表面粗さＲａの測定値がいずれも０．１ｎｍ以下である場合、導電金属薄膜がスパッタリングにより形成されていると判断する。
Whether the conductive metal thin film is formed by sputtering can be confirmed, for example, by the following method.
That is, a measurement sample in which a conductive metal thin film having a width of 750 mm or more is formed on the surface is prepared in accordance with “Method for measuring surface roughness of fine ceramic thin film by atomic force microscope (JIS R 1683: 2007)”. Ten measurement points are set at equal intervals in the width direction, and the surface roughness Ra of the conductive metal thin film is measured. When all the measured values of the surface roughness Ra are 0.1 nm or less, it is determined that the conductive metal thin film is formed by sputtering.
上記スパッタリングの様式は特に限定されず、ＤＣスパッタであってもよく、ＲＦスパッタであってもよく、ＤＣスパッタとＲＦスパッタとの重畳スパッタであってもよい。
上記スパッタリングに使用するスパッタ装置は特に限定されず、例えば、バッチ式のスパッタ装置、ロールｔｏロール方式のスパッタ装置等が挙げられる。
上記スパッタリングにおいては、通常、アノードとターゲットとの間に５００〜１０００Ｖの直流電圧が印加される。
The mode of sputtering is not particularly limited, and may be DC sputtering, RF sputtering, or superimposed sputtering of DC sputtering and RF sputtering.
The sputtering apparatus used for the sputtering is not particularly limited, and examples thereof include a batch type sputtering apparatus and a roll-to-roll type sputtering apparatus.
In the above sputtering, a DC voltage of 500 to 1000 V is usually applied between the anode and the target.
上記スパッタリングにおける気体雰囲気は特に限定されず、例えば、アルゴンガス雰囲気、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気等が挙げられる。 The gas atmosphere in the said sputtering is not specifically limited, For example, argon gas atmosphere, the mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, etc. are mentioned.
本発明の面状発熱シートの用途は特に限定されず、例えば、床暖房、屋根融雪装置等の住宅設備、家電、電子機器、光学機器、自動車、工業用機器、農業用機器、医療機器、美容機器、研究用分析装置等において広く利用される。
本発明の面状発熱シートは、透明性が高いため、例えば、光透過性が必要とされる電子機器、光学機器等に用いられることが好ましく、また、住宅設備、自動車等において透明性が必要とされるガラス部分又は外部から見える部分に用いられることも好ましい。より具体的な用途として、例えば、住宅の窓内の面状発熱シート、車両に使用される窓内の面状発熱シート等が挙げられる。透明性の指標は特に限定されず、例えば、可視光線透過率が挙げられる。本発明の面状発熱シートの可視光線透過率の好ましい下限は５０％、好ましい上限は９９％であり、より好ましい下限は８０％、より好ましい上限は９５％である。
なお、面状発熱シートの可視光線透過率は、「ＪＩＳ Ｋ ７３７５：２００８ プラスチック−全光線透過率及び全光線反射率の求め方」に準拠して求めることができる。
The use of the sheet heating sheet of the present invention is not particularly limited. For example, housing equipment such as floor heating, roof snow melting device, home appliances, electronic equipment, optical equipment, automobiles, industrial equipment, agricultural equipment, medical equipment, beauty Widely used in equipment, analytical equipment for research, etc.
Since the sheet heating sheet of the present invention has high transparency, it is preferably used, for example, in electronic equipment, optical equipment, etc. that require light transmission, and also needs transparency in housing equipment, automobiles, etc. It is also preferable to be used for a glass portion or a portion visible from the outside. More specific applications include, for example, a sheet heating sheet in a house window, a sheet heating sheet in a window used in a vehicle, and the like. The transparency index is not particularly limited, and examples thereof include visible light transmittance. The preferable lower limit of the visible light transmittance of the planar heating sheet of the present invention is 50%, the preferable upper limit is 99%, the more preferable lower limit is 80%, and the more preferable upper limit is 95%.
The visible light transmittance of the sheet heating sheet can be determined in accordance with “JIS K 7375: 2008 Plastic—How to determine total light transmittance and total light reflectance”.
本発明の面状発熱シートは、上記導電金属薄膜を形成するときに例えば従来のような特殊な微細網目構造等を形成する必要がないこと、及び、下記の理由により、大面積で使用するのにも適している。
通常、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等の比抵抗が大きい材料からなる薄膜は、発熱性能には優れるが、面積が大きくなると面内で発熱温度が不均一になるという問題がある。即ち、電極が設置された周辺部分の発熱温度は高く、電極から遠い中央部分の発熱温度は低くなる傾向にある。これに対して、本発明の面状発熱シートにおいては、比抵抗が小さい材料である銀を用いているため、面積が大きくなっても面内での発熱温度のばらつきを抑えることができる。従って、本発明の面状発熱シートは、大面積で使用するのにも適している。
The sheet heating sheet of the present invention is used in a large area for the following reasons, for example, because it is not necessary to form a special fine mesh structure or the like when forming the conductive metal thin film. Also suitable for.
Usually, a thin film made of a material having a large specific resistance such as stainless steel (SUS) is excellent in heat generation performance, but there is a problem that the heat generation temperature becomes non-uniform in a plane as the area increases. That is, the heat generation temperature in the peripheral portion where the electrode is installed tends to be high, and the heat generation temperature in the central portion far from the electrode tends to be low. On the other hand, in the planar heat generating sheet of the present invention, since silver, which is a material having a small specific resistance, is used, variation in heat generation temperature within the surface can be suppressed even if the area is increased. Therefore, the sheet heating sheet of the present invention is suitable for use in a large area.
本発明の面状発熱シートは、大面積で使用するのにも適しているため、ロール体として製造され、用いられてもよい。
本発明の面状発熱シートを巻いたロール体であって、本発明の面状発熱シートのロール回転方向の長さが１ｍ以上である面状発熱シートのロール体もまた、本発明の１つである。本発明の面状発熱シートのロール回転方向の長さが１ｍ以上であって、切断等されることなくそのまま用いられたとしても、面状発熱シートは均一な発熱温度で発熱することができる。本発明の面状発熱シートのロール回転方向の長さは２０ｍ以上であることが好ましく、１００ｍ以上であることがより好ましい。
本発明の面状発熱シートのロール回転方向の長さの上限は特に限定されないが、工業的に用いられるロール体においては通常５００００ｍ以下程度である。
Since the sheet heating sheet of the present invention is suitable for use in a large area, it may be manufactured and used as a roll body.
A roll body in which the sheet heating sheet of the present invention is wound and the sheet heating sheet of the present invention has a length in the roll rotation direction of 1 m or more is also one of the present inventions. It is. Even if the sheet heating sheet of the present invention has a length of 1 m or more in the roll rotation direction and is used as it is without being cut or the like, the sheet heating sheet can generate heat at a uniform heating temperature. The length of the sheet heating sheet of the present invention in the roll rotation direction is preferably 20 m or more, and more preferably 100 m or more.
The upper limit of the length in the roll rotation direction of the sheet heating sheet of the present invention is not particularly limited, but is usually about 50000 m or less in a roll body used industrially.
本発明の面状発熱シートのロール体は、本発明の面状発熱シートの幅が１ｍ以上であることが好ましい。本発明の面状発熱シートの幅が１ｍ以上であって、切断等されることなくそのまま用いられたとしても、面状発熱シートは均一な発熱温度で発熱することができる。本発明の面状発熱シートの幅は１．２ｍ以上であることが好ましく、１．５ｍ以上であることがより好ましい。
本発明の面状発熱シートの幅の上限は特に限定されないが、工業的に用いられるロール体においては通常３ｍ以下程度である。
In the roll body of the sheet heating sheet of the present invention, the width of the sheet heating sheet of the present invention is preferably 1 m or more. Even if the width of the sheet heating sheet of the present invention is 1 m or more and used without being cut, the sheet heating sheet can generate heat at a uniform heating temperature. The width of the sheet heating sheet of the present invention is preferably 1.2 m or more, and more preferably 1.5 m or more.
Although the upper limit of the width | variety of the planar heat generating sheet | seat of this invention is not specifically limited, In the roll body used industrially, it is about 3 m or less normally.
本発明によれば、発熱性能に優れ、透明性が高い面状発熱シートを提供することができる。また、本発明によれば、該面状発熱シートのロール体を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a planar heat generating sheet having excellent heat generation performance and high transparency. Moreover, according to this invention, the roll body of this planar heating sheet can be provided.
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
（実施例１）
基体として厚み５０μｍ、幅１２５０ｍｍ、長さ３００ｍ、破断伸び率２％のポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）（東レ社製）を使用した。スパッタ装置のターゲット電極に、スパッタリングターゲットとして銀製ターゲット（田中貴金属社製）を取り付け、アルゴンガス雰囲気下で基体の搬送速度を０．５ｍ／分としてスパッタリングを行った。これにより得られた、基体の表面に導電金属薄膜が形成されているシートを、長さ１０ｃｍ、幅１０ｃｍのサイズに切り取って面状発熱シートを得た。
得られた面状発熱シートの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察し、観察像における導電金属薄膜の厚みを２０か所測定し、その２０ヶ所の厚みを平均することにより、導電金属薄膜の厚みを求めたところ、１００ｎｍであった。
Example 1
A polyethylene terephthalate resin (PET) (manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 50 μm, a width of 1250 mm, a length of 300 m, and a breaking elongation of 2% was used as the substrate. A silver target (manufactured by Tanaka Kikinzoku Co., Ltd.) was attached as a sputtering target to the target electrode of the sputtering apparatus, and sputtering was performed at a substrate conveyance speed of 0.5 m / min in an argon gas atmosphere. The sheet with the conductive metal thin film formed on the surface of the substrate thus obtained was cut into a size of 10 cm in length and 10 cm in width to obtain a sheet heating sheet.
By observing the cross section of the obtained sheet heating sheet with a scanning electron microscope (SEM), measuring the thickness of the conductive metal thin film in the observed image at 20 locations, and averaging the thickness at the 20 locations, the conductive metal When the thickness of the thin film was determined, it was 100 nm.
（実施例２）
スパッタリング条件を１ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを５０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Example 2)
A planar heating sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sputtering condition was changed to 1 m / min and the thickness of the conductive metal thin film was 50 nm.
（実施例３）
スパッタリング条件を５ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを１０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Example 3)
A planar heating sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sputtering condition was changed to 5 m / min and the thickness of the conductive metal thin film was 10 nm.
（実施例４）
スパッタリングターゲットとして銀−パラジウム−銅製ターゲット（田中貴金属社製）を用いたこと、スパッタリング条件を１ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを５０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
Example 4
Example 1 except that a silver-palladium-copper target (manufactured by Tanaka Kikinzoku Co., Ltd.) was used as the sputtering target, the thickness of the conductive metal thin film was changed to 50 nm by changing the sputtering conditions to 1 m / min, A sheet heating sheet was obtained.
（比較例１）
スパッタリング条件を５０ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを１ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Comparative Example 1)
A planar heating sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sputtering condition was changed to 50 m / min and the thickness of the conductive metal thin film was set to 1 nm.
（比較例２）
スパッタリング条件を０．２５ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを２００ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Comparative Example 2)
A planar heating sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sputtering condition was changed to 0.25 m / min and the thickness of the conductive metal thin film was 200 nm.
（比較例３）
スパッタリングターゲットとして銅製ターゲットを用いたこと、スパッタリング条件を１ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを５０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Comparative Example 3)
A planar heating sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that a copper target was used as the sputtering target and the thickness of the conductive metal thin film was changed to 50 nm by changing the sputtering condition to 1 m / min.
＜評価１＞
実施例１〜４、比較例１〜３で得られた面状発熱シートについて以下の評価を行った。結果を表１に示した。
<Evaluation 1>
The following evaluation was performed about the sheet-like exothermic sheet obtained in Examples 1-4 and Comparative Examples 1-3. The results are shown in Table 1.
（１）透明性（可視光線透過率）
「ＪＩＳ Ｋ ７３７５：２００８ プラスチック−全光線透過率及び全光線反射率の求め方」に準拠し、分光光度計（日立ハイテク社製「Ｕ−４１００」）を用いて、面状発熱シートの分光透過率を測定した。得られた分光透過率から算出した可視光線透過率を、全光線透過率とした。
(1) Transparency (visible light transmittance)
In accordance with “JIS K 7375: 2008 Plastic—How to Obtain Total Light Transmittance and Total Light Reflectance”, using a spectrophotometer (“U-4100” manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), spectral transmission of a sheet-like heat generating sheet The rate was measured. The visible light transmittance calculated from the obtained spectral transmittance was defined as the total light transmittance.
（２）発熱温度（中央）
面状発熱シートの幅方向の両端に、両辺の長さと同じ長さを有する電極を取り付け、電圧１２Ｖを１０分間印加した。電圧を印加した直後の面状発熱シートの中央部分の発熱温度を、接触式表面温度計を用いて５か所測定し、その５ヶ所の発熱温度の平均値を求めることにより、面状発熱シートの中央部分の発熱温度を測定した。
(2) Heat generation temperature (center)
Electrodes having the same length as both sides were attached to both ends in the width direction of the sheet heating sheet, and a voltage of 12 V was applied for 10 minutes. By measuring the heat generation temperature at the center of the sheet heating sheet immediately after the voltage is applied using a contact surface thermometer at five locations, and calculating the average value of the five heating temperatures, the sheet heating sheet is obtained. The exothermic temperature of the central part of was measured.
（実施例５〜７）
切り取った面状発熱シートのサイズを長さ１ｍ、幅１ｍに変更したこと以外は実施例１〜３と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Examples 5-7)
A sheet heating sheet was obtained in the same manner as in Examples 1 to 3 except that the size of the cut sheet heating sheet was changed to a length of 1 m and a width of 1 m.
（実施例８）
切り取った面状発熱シートのサイズを長さ５ｍ、幅１ｍに変更したこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Example 8)
A sheet heating sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the size of the cut sheet heating sheet was changed to a length of 5 m and a width of 1 m.
（比較例４）
スパッタリングターゲットとしてステンレス（ＳＵＳ）製ターゲット（三井金属鉱山社製）を用いたこと、スパッタリング条件を１．５ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを５０ｎｍとしたこと、切り取った面状発熱シートのサイズを長さ１ｍ、幅１ｍに変更したこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Comparative Example 4)
Use of a stainless steel (SUS) target (made by Mitsui Mining Co., Ltd.) as the sputtering target, change of the sputtering conditions to 1.5 m / min, and the thickness of the conductive metal thin film to 50 nm, a cut sheet heating sheet A sheet-like exothermic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the size was changed to 1 m in length and 1 m in width.
（参考例１）
スパッタリングターゲットとしてステンレス（ＳＵＳ）製ターゲット（三井金属鉱山社製）を用いたこと、スパッタリング条件を１．５ｍ／分に変更して導電金属薄膜の厚みを５０ｎｍとしたこと、切り取った面状発熱シートのサイズを長さ３０ｃｍ、幅３０ｃｍに変更したこと以外は実施例１と同様にして、面状発熱シートを得た。
(Reference Example 1)
Use of a stainless steel (SUS) target (made by Mitsui Mining Co., Ltd.) as the sputtering target, change of the sputtering conditions to 1.5 m / min, and the thickness of the conductive metal thin film to 50 nm, a cut sheet heating sheet A sheet-like exothermic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the size was changed to 30 cm in length and 30 cm in width.
＜評価２＞
実施例５〜８、比較例４、参考例１で得られた面状発熱シートについて以下の評価を行った。結果を表２に示した。
<Evaluation 2>
The following evaluation was performed about the sheet-like exothermic sheet obtained in Examples 5 to 8, Comparative Example 4, and Reference Example 1. The results are shown in Table 2.
（１）透明性（可視光線透過率）
「ＪＩＳ Ｋ ７３７５：２００８ プラスチック−全光線透過率及び全光線反射率の求め方」に準拠し、分光光度計（日立ハイテク社製「Ｕ−４１００」）を用いて、面状発熱シートの分光透過率を測定した。得られた分光透過率から算出した可視光線透過率を、全光線透過率とした。
(1) Transparency (visible light transmittance)
In accordance with “JIS K 7375: 2008 Plastic—How to Obtain Total Light Transmittance and Total Light Reflectance”, using a spectrophotometer (“U-4100” manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), spectral transmission of a sheet-like heat generating sheet The rate was measured. The visible light transmittance calculated from the obtained spectral transmittance was defined as the total light transmittance.
（２）発熱温度（中央）
面状発熱シートの幅方向の両端（実施例８においては長さ（５ｍ）方向の両端）に、両辺の長さと同じ長さを有する電極を取り付け、電圧１２Ｖを１０分間印加した。電圧を印加した直後の面状発熱シートの中央部分の発熱温度を、接触式表面温度計を用いて５か所測定し、その５ヶ所の発熱温度の平均値を求めることにより、面状発熱シートの中央部分の発熱温度を測定した。
(2) Heat generation temperature (center)
Electrodes having the same length as both sides were attached to both ends in the width direction of the sheet heating sheet (both ends in the length (5 m) direction in Example 8), and a voltage of 12 V was applied for 10 minutes. By measuring the heat generation temperature at the center of the sheet heating sheet immediately after the voltage is applied using a contact surface thermometer at five locations, and calculating the average value of the five heating temperatures, the sheet heating sheet is obtained. The exothermic temperature of the central part of was measured.
（３）発熱温度（周辺）
面状発熱シートの幅方向の両端（実施例８においては長さ（５ｍ）方向の両端）に、両辺の長さと同じ長さを有する電極を取り付け、電圧１２Ｖを１０分間印加した。電圧を印加した直後の面状発熱シートの電極周辺の発熱温度を、接触式表面温度計を用いて５か所測定し、その５ヶ所の発熱温度の平均値を求めることにより、面状発熱シートの周辺部分の発熱温度を測定した。
(3) Heat generation temperature (periphery)
Electrodes having the same length as both sides were attached to both ends in the width direction of the sheet heating sheet (both ends in the length (5 m) direction in Example 8), and a voltage of 12 V was applied for 10 minutes. By measuring the heat generation temperature around the electrodes of the sheet heating sheet immediately after the voltage is applied using a contact surface thermometer, and calculating the average value of the five heating temperatures, the sheet heating sheet is obtained. The exothermic temperature of the peripheral part of was measured.
本発明によれば、発熱性能に優れ、透明性が高い面状発熱シートを提供することができる。また、本発明によれば、該面状発熱シートのロール体を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a planar heat generating sheet having excellent heat generation performance and high transparency. Moreover, according to this invention, the roll body of this planar heating sheet can be provided.
Claims (3)
前記導電金属薄膜は、銀を含有する厚さ５ｎｍ以上、１００ｎｍ以下の薄膜である
ことを特徴とする面状発熱シート。 A sheet heating sheet having a base and a conductive metal thin film formed on the base,
The sheet-like heat generating sheet, wherein the conductive metal thin film is a thin film containing silver and having a thickness of 5 nm to 100 nm.
前記面状発熱シートのロール回転方向の長さが１ｍ以上である
ことを特徴とする面状発熱シートのロール体。 A roll body around which the sheet heating sheet according to claim 1 is wound,
The roll of sheet heating sheet, wherein the sheet heating sheet has a length in the roll rotation direction of 1 m or more.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016146651A JP2018018637A (en) | 2016-07-26 | 2016-07-26 | Planar heating sheet and roll body of planar heating sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016146651A JP2018018637A (en) | 2016-07-26 | 2016-07-26 | Planar heating sheet and roll body of planar heating sheet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018018637A true JP2018018637A (en) | 2018-02-01 |
Family
ID=61081903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016146651A Pending JP2018018637A (en) | 2016-07-26 | 2016-07-26 | Planar heating sheet and roll body of planar heating sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2018018637A (en) |
-
2016
- 2016-07-26 JP JP2016146651A patent/JP2018018637A/en active Pending
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