JP2018014471A - ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10と、前記基板10上の第1の領域T1に形成された第1の半導体層11と、前記第1の半導体層上に形成され、それぞれ、アノード電極及びカソード電極のいずれかに対応する第1の電極13及び第2の電極12と、前記基板10上の第2の領域T2に形成されたパッド電極22と、前記第1の電極13と前記パッド電極22とを接続する引き出し配線30と、を備えるダイオードであって、前記第1の領域T1と前記第2の領域T2とは、互いを絶縁分離する分離領域TMを介して少なくとも一部が隣接し、前記第2の電極12及び前記パッド電極22は、少なくとも一部が前記分離領域TMを介して対向するように配設され、前記第2の電極12及び前記パッド電極22それぞれの前記分離領域TMを介して対向する領域の端部の下方は、絶縁された領域TM1、TM2である。
【選択図】図3
Description
以下、図1〜図3を参照して、第1の実施形態に係るSBDの構成の一例について説明する。
次に、図4〜図6を参照して、本実施形態に係るSBDの動作について説明する。
図5B:dx=−10μm
図5C:dx=+10μm
図5D:dx=+20μm
次に、本実施形態に係るSBDの製造方法について説明する。
次に、第2の実施形態に係るSBDについて説明する。図8は、第2の実施形態に係るSBDの構成の一例を示す断面図である。
次に、第3の実施形態に係るSBDについて説明する。図9は、第3の実施形態に係るSBDの構成の一例を示す図である。
次に、図10、図11を参照して、第4の実施形態に係るSBDについて説明する。図10は、第4の実施形態に係るSBDの構成の一例を示す図である。
次に、図12、図13を参照して、第5の実施形態に係るSBDについて説明する。図12は、第5の実施形態に係るSBDの構成の一例を示す図である。
本発明は、上記実施形態に限らず、種々に変形態様が考えられる。
11 第1の半導体層
12 カソード電極
13 アノード電極
21 第2の半導体層
22 パッド電極
30 引き出し配線
T1 第1の領域
T2 第2の領域
TM 分離領域
Claims (13)
- 絶縁性または半絶縁性の基板と、
前記基板上の第1の領域に形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に形成され、それぞれ、アノード電極及びカソード電極のいずれかに対応する第1の電極及び第2の電極と、
前記基板上の第2の領域に形成されたパッド電極と、
前記第1の電極と前記パッド電極とを接続する引き出し配線と、
を備えるダイオードであって、
前記第1の領域と前記第2の領域とは、互いを絶縁分離する分離領域を介して少なくとも一部が隣接し、
前記第2の電極及び前記パッド電極は、少なくとも一部が前記分離領域を介して対向するように配設され、
前記第2の電極及び前記パッド電極それぞれの前記分離領域を介して対向する領域の端部の下方は、絶縁された領域である
ダイオード。 - 前記パッド電極は、前記第2の領域に形成された第2の半導体層上に形成され、
前記第2の電極及び前記パッド電極それぞれの前記分離領域を介して対向する領域の端部は、前記第1及び第2の半導体層の導電領域よりも前記分離領域側に突き出す突出部を有する
請求項1に記載のダイオード。 - 前記第2の電極及び前記パッド電極それぞれの前記突出部は、前記第1及び第2の半導体層それぞれの前記分離領域側の側面を覆う
請求項2に記載のダイオード。 - 前記第1及び第2の半導体層それぞれの前記分離領域側の側面は、テーパ形状又は階段形状を呈する
請求項3に記載のダイオード。 - 前記第1及び第2の半導体層は、それぞれ、前記分離領域側の側面領域が絶縁化され、
前記パッド電極及び前記第2の電極それぞれの前記突出部は、前記第1及び第2の半導体層それぞれの当該絶縁化された側面領域上に形成された
請求項2に記載のダイオード。 - 前記第2の電極は、平面視で前記第1の電極の周囲を囲繞するように形成され、前記引き出し配線は、前記第2の電極の少なくとも一部を跨いで前記第1の電極と前記パッド電極とを接続する
請求項1乃至5いずれか一項に記載のダイオード。 - 前記引き出し配線は、エアブリッジ配線である
請求項6に記載のダイオード。 - 前記第1の電極は、前記第1の半導体層上に複数に分割して形成され、
前記パッド電極は、複数の前記引き出し配線を介して、複数の前記第1の電極と接続された
請求項6又は7に記載のダイオード。 - 前記第1及び第2の半導体層は、窒化ガリウム層を含む
請求項2乃至8いずれか一項に記載のダイオード。 - 前記第1の半導体層は、ドナー濃度の高いアクセス層と、前記アクセス層上に形成されたドナー濃度の低い活性層とを含み、
前記第1の電極は、前記活性層上にショットキー接触するように形成されたアノード電極であり、
前記第2の電極は、前記アクセス層上にオーミック接触するように形成されたカソード電極である
請求項1乃至9いずれか一項に記載のダイオード。 - 前記基板は、サファイア基板、半絶縁性GaN基板、半絶縁性SiC基板、高抵抗シリコン基板の少なくともいずれかである
請求項1乃至10いずれか一項に記載のダイオード。 - 前記第1及び第2の半導体層は、前記分離領域上に、絶縁化された半導体層を有する
請求項1乃至11いずれか一項に記載のダイオード。 - 前記第2の電極は、前記分離領域上に、前記第1の半導体層から離間して配設したダミー電極を有する
請求項1乃至12いずれか一項に記載のダイオード。
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