JP2018008277A - レーザー加工装置及びレーザー加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1では、切断対象物に対し切断方向前方斜めから照射するよう配されるレーザーヘッド及び、切断対象物に対して垂直に且つレーザー光の照射部に高圧水を照射するよう配されるウォータジェットヘッドを有する複合切断装置が記載されている。そして、レーザー光によって溶融した溶融物を、ウォータジェットヘッドから噴射される高圧水により、その噴射方向に吹き飛ばす構成が開示されている。
また、特許文献2に記載される構成では、ウォータジェットを間欠的に溶融部に噴射させる構成であるものの、レーザー光の照射位置にウォータジェットを噴射させるものであり、溶融物を適切に排除するための加工条件については考慮されておらず、レーザー光の減衰により加工対象物の排除効率の低下を招く虞がある。また、ガウジングを行う場合には、排除した溶融物が加工面及びその周囲に堆積し、適切に排除・回収することが困難となる虞がある。
そこで、本発明は、レーザー光照射による溶融物の排除効率を向上し得ると共に、当該溶融物を適切に回収し得るレーザー加工装置及びレーザー加工方法を提供する。
また、本発明のレーザー加工方法は、レーザー光を用いて被加工物を溶融加工するレーザー加工方法であって、前記被加工物の表面に、液体供給ノズルより噴射される液体により流動性の液膜を形成する液膜形成工程と、前記流動性の液膜が形成された状態で、前記被加工物の加工対象箇所にレーザー光を照射し、前記加工対象箇所であるレーザー光照射部を溶融する溶融工程と、前記レーザー光照射部と所定の距離離間する位置に前記液体供給ノズルより液体を噴射し溶融物を除去する除去工程と、を有することを特徴とする。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
また、本明細書において、加工対象物の表面に形成される「液膜」とは、液体供給ノズルより噴射される液体により形成され、常に流動状態にあるものをいう。また、本明細書において、液体供給ノズルより加工対象物へと噴射される液体の供給位置とは、上述の各種加工が施される前の加工対象物の表面上における位置であり、同様に、レーザー光照射部とは、レーザーヘッドより射出するレーザー光の加工対象物の表面上における位置を指す。なお、上述の穴あけ、切断、及び/又はガウジング(溝形成)加工等を総称して溶融加工と称する場合もある。
以下、図面を用いて本発明の実施例について説明する。
また、図示しない他の制御部又はレーザー制御部23は、内部バス30を介して記憶部25へアクセスし、記憶部25にテーブル形式にて格納される加工対象物2の厚さ毎に対応するレーザー加工装置1の移動速度或いは加工対象物2の厚さと移動速度の相関関係を規定する関数若しくはグラフを読み出す。読み出された加工対象物2の厚さ毎に対応するレーザー加工装置1の移動速度は、内部バス30及び出力I/F28を介して、図示しない3軸ロボットへ出力される。
図4は、比較的厚い液膜が形成されている状態でレーザー光を照射した際に生じる現象を段階的に示す断面模式図である。図4の上図では、加工対象物2の表面上に、厚い液膜6aが存在する状態で、レーザーヘッド3aよりレーザー光3を加工対象物2へ照射した状態を示している。ここで、図4では、厚い液膜6aは流動性を有しておらず、単に加工対象物2の表面上に水を張った状態を想定している。図4の下図に示すように、厚い液膜6aはレーザー光3を減衰させる効果があり、また、加工対象物2上のレーザー光照射部2aを冷却する効果が大きい。そのため、レーザー光照射部2aの溶融は生じず、穴が形成されることはない。仮に、レーザー光3の出力を高出力化すれば、ある程度の溶融効率を実現できるものの、比較的低出力のレーザー発振器3b(図1)を用いて溶融効率の低減を回避するためには、薄い液膜を維持することが必要となる。
これに対し、図1に示す本実施例に係るレーザー加工装置1では、レーザー加工装置1を構成する液体供給ノズル4aより薄い液膜6b中の蒸発した領域へ、常に新たな液体4が供給されることから、加工対象物2の表面上に薄い液膜6bが形成され続ける。すなわち、本実施例では、加工対象物2の表面上に常に流動性の液膜6(薄い液膜6b)が維持され、比較的低出力のレーザー発振器3b(図1)を用いて溶融効率の低減を回避することが可能となる。
まず、上述したように図示しない3次元移動機構としての、例えば3軸ロボットにより、レーザー加工装置1が被加工物である加工対象物2の上方に位置付けられる。このときレーザー加工装置1を構成する液体供給ノズル4aは、レーザーヘッド3aより射出されるレーザー光3の光軸とは異なる軸方向に沿って配される。そして図3に示したように、制御部5が、ポンプ4eを稼働すると共に、所望の開度に圧力調整弁4dを制御することで、給水タンク4bに貯留される液体4がホース4cを通流し液体供給ノズル4aへ送られる。このとき、制御部5を構成する圧力調整弁開度制御部21は、予め記憶部25に格納される液体供給ノズル4aより噴射する液体4の流量設定値に対応するよう圧力調整弁4dの開度を制御し、比較的小さい圧力に調整された液体4(低圧水)が、被加工物である加工対象物2の表面へ噴射され、加工対象物2の表面上に液膜6を形成する(液膜形成工程)。
次に、制御部5を構成するレーザー制御部23は、内部バス30を介して記憶部25へアクセスし、記憶部25に格納されるレーザー光3の出力設定値を読み出し、出力指令値として、内部バス30及び出力I/F28を介してレーザー発振器3bへ出力する。これにより、レーザー発振器3bから発せられたレーザー光3は、光ファイバ3cを介してレーザーヘッド3aへ伝搬され、レーザーヘッド3aより被加工物である加工対象物2の表面(穴あけ加工の対象箇所)へ照射される。加工対象物2の表面上におけるレーザー光3のスポット径に対応する領域であるレーザー光照射部2aは、図6に示すように、レーザー光3により加熱され、加工対象物2の内部領域を含め溶融物2cとなる。また、液膜6のうち、レーザー光照射部2a、及び溶融までに至らない程度の温度まで加熱されるレーザー光照射部2aの近傍2bの上に存在する領域は、矢印にて示すように蒸発する。なお、図6に示すように、液体供給ノズル4aから噴射される液体4の加工対象物2の表面上における位置は、レーザー光照射部2aに対し所定の距離離間している。
次に、図8の下図に示すように、レーザー光照射部2a、及びレーザー光照射部2aの近傍2b上の流動性の液膜6を形成する液体4の一部が、レーザー光3による加熱、及び、レーザー光照射部2aとレーザー光照射部2aの近傍2bからの伝熱により蒸発する。この時、白抜き矢印にて示すように、液体4が気化する際の気化圧力7が放射状に発生し、溶融物2cの元あった位置2dから溶融物2cが剥離又は離脱するよう作用する。すなわち、気化圧力7は溶融物2cを排除する働きを補助する。なお、一般的に気相中において、レーザー光3のみを金属材料に照射する場合、レーザー光照射部表面が蒸発温度以上に加熱されると金属材料表面において蒸発が生じ、その反力でレーザー光照射部表面に窪みが生じることが知られている。本実施例に係る排除工程においては、金属材料と比較して、より蒸発しやすい液体4をレーザー光照射部2a上に介在させることで、液体4の蒸発を積極的に発生させ、その気化圧力7により溶融物2cの排除を補助又は促進する。
また、加工対象物2の表面上にレーザー光3を照射することで、溶融物2cが形成される際の化学的な反応により発生するガスも、溶融物2cの排除を補助する。具体的には、上述の溶融工程で示したように、流動性の液膜6(例えば水等)から酸素を積極的に取り込むことで、溶融物2cの酸化反応が促進される。酸素を奪われた液膜6側には水素が発生する。発生した水素の溶融物2cへの溶け込み及び/又は、発生した水素がレーザー光3で加熱されることによる爆発により、溶融物2cの排除が補助又は促進される。
しかし、図11の下図に示すように、加工対象物2の表面上に存在する流動性の液膜6により、高温状態を保った状態で排除された溶融物2gは急冷・固化される。この結果、排除された溶融物2gは急冷・固化された溶融物2hとなり、加工対象物2への固着を防ぐことが可能となる。
急冷・固化された溶融物2hは、生じた都度その場で回収しても良く、また、ある程度の量を発生させ、流動性の液膜6の下流側に堆積させた後、まとめて回収しても良い。
まず、ホース4cに設置される圧力調整弁4dを開放し、圧力がほとんどかかっていない状態(0.5MPa以下)の低流量の水(低圧水)を、ノズル径約1.0mmの液体供給ノズル4aよりSUS304のブロックの表面上に噴射し、SUS304のブロックの表面上に流動性の液膜6(薄い水膜)を形成し続けた状態にする。この状態で、SUS304のブロックの表面上において液体供給ノズル4aより噴射される水の供給位置から所定の距離だけ離間する位置に、レーザーヘッド3aより約6.0kWの出力のレーザー光3を照射すると、上述したように、加工対象物2であるSUS304のブロックに穴が形成される。
一方、圧力調整弁4dを絞ることで、液体供給ノズル4aより噴射される水に圧力を印加し、比較的高流量の水(高圧水)を噴射しながらレーザー光3を照射すると、流量(水供給量)を高くするに従って、得られる穴の深さが低下する傾向が示された。具体的には、上述したレーザーの単位出力当たりの液体供給量を2倍、3倍、5倍と増加させた条件で加工を実施すると、得られる穴の深さはそれぞれ、0.7倍、0.5倍、0.3倍の値となり、低下することが確認された。
より具体的には、本実施例に係るレーザー加工装置1及びそれを用いたレーザー加工方法では、加工対象物2の表面上に流動性の液膜6を形成し続けた状態で、加工対象物2の加工対象箇所にレーザー光3を照射する構成を備える。そのため、流動性の液膜6による溶融物の排除効果と冷却効果が好適に組み合わされることにより、溶融物2cの元あった位置2dから溶融物2cを排除し、且つ、排除された溶融物2gの加工対象物2への固着を防止し、急冷・固化された溶融物2hとして回収することが可能となる。すなわち、溶融物の適切な回収を達成することができる。
以上のように、液体供給ノズル4aより噴射される液体4の供給位置8と、レーザー光照射部2aの位置とが所定の距離(例えば、数mm)離間するよう、液体供給ノズル4a及びレーザーヘッド3aを配することで、液体4の持つ、溶融を阻害する効果を低下させつつ、溶融物を排除する効果を維持することが可能となり、その結果、溶融物の排除効率の高いレーザー加工が実現できる。
しかし、例えば、3.0MPa程度の、比較的高い圧力を印加した液体4を、液体供給ノズル4aより加工対象物2の表面上へ断続的に噴射すると、低流量の液体4を液体供給ノズル4aより加工対象物2の表面上へ連続的に噴射する場合と比較して、単位時間あたりの液体4の流量を維持しつつ、溶融物2cと衝突する際の局所的な運動量(運動エネルギー)を増加させることが可能となる。すなわち、流動性の液膜6を形成する液体4の持つ溶融を阻害する効果を維持しつつ、且つ、溶融物2cを排除する効果を増加させることが可能となる。
X=(A×d)/(60×f) ・・・(1)
図17、レーザー加工装置を用いたレーザー加工方法により得られるレーザーの単位出力に対する断続噴射1回あたりの流量と穴深さとの関係を示す図である。図17では、液体供給ノズル4aより断続的に噴射する液体4として水を用いた。図17において、横軸に流動性の液膜6を形成する断続的に噴射される水の断続噴射1回あたりの流量(水供給量:L/回)をレーザーの出力(kW)で除した値(L/(回×kW))を、縦軸に得られた穴の深さ(mm)を取りプロットした。図17において、供給する液体は約1.0MPa程度の圧力を印加した条件としており、上述した液体4の断続的な供給条件を変化させることで、レーザーの単位出力に対する断続噴射1回あたりの流量L/(回×kW)が約300〜350×10-6L/(回×kW)以下となるような条件範囲で実験を行った。図17に示すように、レーザーの単位出力に対する断続噴射1回あたりの流量L/(回×kW)の値を小さくするほど、得られる穴の深さは深くなっており、すなわち、断続的な噴射の周期を大きくし、且つ、液体4が噴射されている時間の割合を短くするほど、溶融物2cの排除効率が増加する。具体的には、断続的な噴射の周期は単位時間(1秒間)あたり20回以上とし、液体4が噴射されていない時間帯に対する液体4が噴射されている時間帯の割合を1.0以下とすることが望ましい。
ここで、図16に示すレーザー加工装置1においては、レーザー加工装置1を構成する制御部5は、上述の実施例1において図3に示した構成に、更に、モータ制御部を備えると共に、記憶部25は予めスリット数毎にスリットを有する円板10の回転速度を紐付けて格納している。モータ制御部は、内部バス30を介して記憶部25へアクセスし、記憶部25に格納されるスリット数に対応するスリットを有する円板10の回転速度を読み出しモータ15へ回転速度指令値を、内部バス30及び出力I/F28を介してモータ15へ出力する。
また、本実施例によれば、液体供給ノズル4aより液体4を加工対象物2の表面上へ断続的に供給することにより、流動性の液膜6を形成する液体4の持つ溶融を阻害する効果を維持或は低下させつつ、溶融物2cを排除する効果を維持或は増加させることが可能となり、その結果、溶融物2cの排除効率の高いレーザー加工が実現できる。
これに対し、本実施例に係るレーザー加工装置1においては、流動性の液膜及び流動性の液膜を形成する液体がレーザー光の照射により気化する際の気化圧力により、溶融物を元あった位置から排除するものであり、後述するガス噴射用ノズルより噴射されるガスは、レーザーヘッドの保護及び酸化反応による加工対象の溶融の促進に供される。
まず、液体供給ノズル4aから加工対象物2の表面上に液体4を噴射し、加工対象物2の表面上に流動性の液膜6を形成する(液膜形成工程)。その後、液体供給ノズル4aから噴射される液体4の加工対象物2の表面上における位置から所定の距離離間する位置に、レーザーヘッド3aよりレーザー光3を照射する。この時、ガス噴射用ノズル11aよりレーザー光照射部2aへ圧縮空気又は圧縮酸素等のガス11を噴射する(溶融工程)。ガス噴射用ノズル11aよりレーザー光照射部2aへ噴射される圧縮空気又は圧縮酸素等のガス11は、レーザー光照射部2aにおける酸化反応を促進させ、溶融物2cの領域を拡大するよう作用する。これにより溶融効率を向上させることが可能となる。
図19は、比較例のレーザー加工装置の主要部概略構成図であって、レーザー加工装置の移動方向と逆向きに液体を噴射した場合の概念説明用断面模式図であり、図20は、図19のA−A断面矢視図である。
図22は、レーザー加工装置の移動方向と同じ向きに液体を噴射し、溝を形成する加工を繰り返した場合の模式図であって、レーザー加工装置の主要部の概略構成を示す上面図である。図22では、レーザーヘッド3aは溶融物2cの直上に位置するため、図面の見やすさを考慮し、レーザーヘッド3aの表記を省略している。また、図23は図22のA−A断面矢視図である。上述の図21に示した1本の溝を加工する場合とは異なり、図20及び図23に示すように、既に溝を加工した加工面12側には壁が存在しない。そのため、液体供給ノズル4aから噴射される液体4及び溶融物2cは、溶融物2cの元あった位置2dから加工面12側へ移動しやすくなる。その結果、上述の図19及び図20を用いて説明した理由と同様に、排除された溶融物2g(図23)は冷却工程による急冷・固化が十分に達成されないまま、加工面12、及び、加工面12の周囲12aに付着する。その結果、排除された溶融物2g(図23)は、加工面12及び加工面12の周囲12aへ付着し付着した溶融物2iとなり、固着が生じる。
図26は、レーザー光照射部に対して、液体供給ノズルより液体を同じ位置或いはレーザー加工装置の移動方向側にシフトした場合の比較例の断面模式図である。図26に示すように、液体供給ノズル4aより噴射される液体4と衝突した溶融物2cは、レーザー加工装置1の移動方向13と逆側、すなわち、加工面12側へ排除されやすくなる。その結果、上述の図19及び図20を用いて説明した理由と同様に、排除された溶融物2g(図示せず)は冷却工程による急冷・固化が十分に達成されないまま、加工面12、及び、加工面12の周囲12aに付着する。その結果、排除された溶融物2gは、加工面12及び加工面12の周囲12aへ付着し付着した溶融物2iとなり、固着が生じる。
図28は、レーザー光照射部に対し、液体供給ノズルより液体が供給される位置を、レーザー加工装置の移動方向と逆側にシフトし、溝を形成する加工を繰り返した場合の比較例の模式図であって、レーザー加工装置の主要部の概略構成を示す上面図である。図28では、レーザーヘッド3aは溶融物2cの直上に位置するため、図面の見やすさを考慮し、レーザーヘッド3aの表記を省略している。また、図29は、図28のA−A断面矢視図である。図28及び図29に示すように、既に溝を加工した加工面12側には壁が存在しない。そのため、液体供給ノズル4aから噴射される液体4及び溶融物2cは、溶融物2cの元あった位置2dから加工面12側へ移動しやすくなる。その結果、上述の図22及び図23を用いて説明した理由と同様に、排除された溶融物2g(図29)は冷却工程による急冷・固化が十分に達成されないまま、加工面12、及び、加工面12の周囲12aに付着する。その結果、排除された溶融物2g(図29)は、加工面12及び加工面12の周囲12aへ付着し付着した溶融物2iとなり、固着が生じる。
図32及び図33は、液体供給ノズルの軸方向(液体が噴射される方向)と加工対象物の表面とのなす角(傾斜角)を小さくした場合の断面模式図である。なお、図32及び図33では、レーザー光3と液体供給ノズル4aより噴射される流動性の液膜6を形成する液体4とが、あたかも重なるよう表記しているが、実際には、図中奥行方向において、レーザー光3と液体供給ノズル4aより噴射される流動性の液膜6を形成する液体4とは、相互に所定の距離離間している。図32及び図33に示すように、レーザー加工装置1は、液体供給ノズル4aより流動性の液膜6を形成する液体4が噴射される噴射方向(液体供給ノズル4aの軸方向)と加工対象物2の表面とが、所定の角度θβ1をなすよう配される液体供給ノズル4aを備える。図に示すように角度θβ1(傾斜角)は比較的小さい。
まず、液体供給ノズル4aより噴射される流動性の液膜6を形成する液体4によって、溶融物2cが、溶融物2cが元あった位置2dから排除される。万が一、液体供給ノズル4aより噴射される液体4と衝突した溶融物2cが、レーザー加工装置1の移動方向13と逆側、すなわち、加工面12側へ排除された場合、上述したように、排除された溶融物2gは冷却工程による急冷・固化が十分に達成されないまま、加工面12、及び、加工面12の周囲12aに付着する。その結果、排除された溶融物2g(図示せず)は、加工面12及び加工面12の周囲12aへ付着し付着した溶融物2iとなり、固着が生じる。この場合、付着した溶融物2iを、機械加工用のツール14により削り取ることにより回収する。なお、付着した溶融物2iは、付着した直後は比較的高温状態を維持しているため、容易に削り取ることができる。
また、本実施例によれば、レーザー加工装置1の全体を覆うカバー34により、加工により生ずる急冷・固化された溶融物2h或いは流動性の液膜6を形成する液体4が、カバー34の外部へ飛散することは無く、加工環境の汚染を防止することも可能となる。
2・・・加工対象物
2a・・・レーザー光照射部
2b・・・レーザー光照射部2aの近傍
2c・・・溶融物
2d・・・溶融物2cの元あった位置
2e・・・小さい粒状の溶融物
2f・・・大きな塊状の溶融物
2g・・・排除された溶融物
2h・・・急冷・固化された溶融物
2i・・・付着した溶融物
3・・・レーザー光
3a・・・レーザーヘッド
3b・・・レーザー発振器
3c・・・光ファイバ
3d・・・液面検知センサ
4・・・液体
4a・・・液体供給ノズル
4b・・・給水タンク
4c・・・ホース
4d・・・圧力調整弁
4e・・・ポンプ
4f・・・第1の液体供給ノズル
4g・・・第2の液体供給ノズル
5・・・制御部
6・・・液膜
6a・・・厚い液膜
6b・・・薄い液膜
7・・・気化圧力
8・・・液体4の供給位置
9・・・水飛沫
10・・・スリットを有する円板
11・・・ガス
11a・・・ガス噴射用ノズル
12・・・加工面
12a・・・加工面12の周囲
12b・・・溝の壁面部分
13・・・移動方向
14・・・機械加工用のツール
15・・・モータ
21・・・圧力調整弁開度制御部
22・・・ポンプ制御部
23・・・レーザー制御部
24・・・計測値取得部
25・・・記憶部
26・・・通信I/F
27・・・入力I/F
28・・・出力I/F
29・・・入力部
30・・・内部バス
31・・・レーザーヘッドノズル
32・・・コリメータレンズ
33・・・フォーカシングレンズ
34・・・カバー
35・・・貫通穴
36・・・伸縮機構
37・・・溶融物回収孔
38・・・溶融物回収ホース
Claims (22)
- 少なくとも、レーザー光を被加工物の加工対象箇所に照射しレーザー光照射部を溶融するレーザーヘッドと、前記レーザー光照射部と所定の距離離間する位置に液体を噴射し流動性の液膜を前記被加工物の表面に形成する液体供給ノズルと、を備え、
前記レーザー光照射部の溶融物を前記液体供給ノズルから噴射される液体により除去することを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項1に記載のレーザー加工装置において、
前記レーザーヘッド及び前記液体供給ノズルは、加工時における移動方向において、前記液体供給ノズルが前記レーザーヘッドよりも後方側に配されることを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のレーザー加工装置において、
前記液体を貯留する給水タンクと、前記給水タンクと前記液体供給ノズルを連通するホースに設置される圧力調整弁と、制御部と、を有し、
前記制御部は、前記液体供給ノズルから噴射する液体が所望の流量となるよう前記圧力調整弁を制御することを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項3に記載のレーザー加工装置において、
前記液体供給ノズルより噴射される液体により形成される流動性の液膜は、前記溶融物を前記被加工物から離脱させ得る運動量を有すると共に、離脱後の溶融物を冷却し固化することを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項4に記載のレーザー加工装置において、
前記制御部は、前記被加工物へ連続的に液体を噴射するよう前記液体供給ノズルを制御することを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項4に記載のレーザー加工装置において、
前記制御部は、所定の周期で断続的に前記被加工物へ液体を噴射するよう前記液体供給ノズルを制御することを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項5又は請求項6に記載のレーザー加工装置において、
前記液体供給ノズルは、前記レーザーヘッドから照射されるレーザー光の光軸と異なる軸方向に沿って配されることを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項7に記載のレーザー加工装置において、
前記レーザー光の光軸と異なる軸方向に沿って配される前記液体供給ノズルは、前記レーザー光の光軸に対し平行な軸方向に沿って配されることを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項7に記載のレーザー加工装置において、
前記レーザー光の光軸と異なる軸方向に沿って配される前記液体供給ノズルは、前記レーザー光の光軸に対し所定の角度を有する軸方向に沿って配されることを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項7に記載のレーザー加工装置において、
前記レーザー光照射部へ、圧縮空気又は圧縮酸素を含むガスを噴射し、酸化反応を促進させるガス噴射ノズルを備えることを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項10に記載のレーザー加工装置において、
前記ガス噴射ノズルは、前記レーザー光の光軸又は前記レーザー光の光軸と異なる軸方向に沿って配される前記液体供給ノズルと同軸に配されることを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項7に記載のレーザー加工装置において、
前記レーザー光照射部における液膜が気化することにより生じる気化圧力によって、前記溶融物を前記被加工物から離脱させることを特徴とするレーザー加工装置。 - レーザー光を用いて被加工物を溶融加工するレーザー加工方法であって、
前記被加工物の表面に、液体供給ノズルより噴射される液体により流動性の液膜を形成する液膜形成工程と、
前記流動性の液膜が形成された状態で、前記被加工物の加工対象箇所にレーザー光を照射し、前記加工対象箇所であるレーザー光照射部を溶融する溶融工程と、
前記レーザー光照射部と所定の距離離間する位置に前記液体供給ノズルより液体を噴射し溶融物を除去する除去工程と、を有することを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項13に記載のレーザー加工方法において、
前記溶融工程と前記除去工程は、共に並行して行われることを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項13又は請求項14に記載のレーザー加工方法において、
前記液体供給ノズルより噴射さる液体により形成される流動性の液膜は、前記溶融物を前記被加工物から離脱させ得る運動量を有すると共に、離脱後の溶融物を冷却し固化することを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項15に記載のレーザー加工方法において、
前記液体供給ノズルより噴射される液体は、低流量であり且つレーザー光の光軸と異なる軸方向に沿って前記被加工物へ連続的に噴射されることを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項15に記載のレーザー加工方法において、
前記液体供給ノズルより噴射される液体は、低流量であり且つ所定の周期で断続的に噴射されることを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項17に記載のレーザー加工方法において、
前記液体供給ノズルより所定の周期で断続的に噴射される液体の噴射時間は、前記加工対象箇所であるレーザー光照射部の溶融に影響を与えない範囲に設定されることを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項18に記載のレーザー加工方法において、
前記液体供給ノズルより所定の周期で断続的に噴射される液体は、レーザー光の光軸と異なる軸方向に沿って前記被加工物へ噴射されることを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項16又は請求項17に記載のレーザー加工方法において、
前記溶融工程は、前記レーザー光照射部へガス噴射ノズルより圧縮空気又は圧縮酸素を含むガスを噴射し酸化反応を促進させることを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項20に記載のレーザー加工方法において、
前記レーザー光照射部へ噴射されるガスは、前記レーザー光の光軸又は前記レーザー光の光軸と異なる軸方向に沿って噴射される液体の軸方向と同軸にて噴射されるこことを特徴とするレーザー加工方法。 - 請求項15に記載のレーザー加工方法において、
前記除去工程は、前記レーザー光照射部における液膜が気化することにより生じる気化圧力によって、前記溶融物を前記被加工物から離脱させることを特徴とするレーザー加工方法。
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