JP2018008271A - Droplet injection method and droplet injector - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a discharge part and a method for injecting a droplet of a viscous medium on a substrate, which are improved to be more reliable and effective.SOLUTION: A discharge part (1) for injecting a droplet (22) of a viscous medium on a substrate (23) is disclosed. The discharge part (1) comprises: an injection nozzle (2) having a nozzle space (3) and a nozzle outlet (4); and an impact device (6) for pressing a viscous medium of a certain volume in the nozzle space so that a droplet of the viscous medium is injected from the nozzle space toward a substrate through the nozzle outlet. Further, in the discharge part (1), a sensor arrangement (5) is disposed after the injection nozzle in an injection direction, and the sensor arrangement is configured to detect an injected droplet of the viscous medium passing therethrough.SELECTED DRAWING: Figure 1a

Description

本明細書に開示される発明は、基板上に粘性媒体を噴射することに関する。より正確には、本明細書に開示される発明は、基板上に粘性媒体の液滴を噴射するための排出部と、そのような液滴を噴射するための方法とに関する。   The invention disclosed herein relates to injecting a viscous medium onto a substrate. More precisely, the invention disclosed herein relates to a discharge for ejecting droplets of a viscous medium onto a substrate and a method for ejecting such droplets.

排出部及び方法は、ソルダ・ペースト又は接着剤などの流体の粘性媒体の液滴をプリント配線板(PWB)などの基板上に噴射し、それによって基板上に部品を実装することに先立って基板上に堆積物を形成するための技術分野において知られている。このような排出部は、一般に、ある体積の粘性媒体をその噴射に先立って収容するためのノズル空間と、ノズル空間に連通する噴射ノズルと、粘性媒体を押圧し、ノズル空間から噴射ノズルを通して液滴の形態で噴射するインパクト装置と、媒体をノズル空間に供給するためのフィーダとを備える。   The ejector and method ejects droplets of a viscous medium of fluid, such as solder paste or adhesive, onto a substrate such as a printed wiring board (PWB), thereby prior to mounting the component on the substrate. Known in the art for forming deposits thereon. Such a discharge part generally has a nozzle space for containing a certain volume of viscous medium prior to the injection, an injection nozzle communicating with the nozzle space, and presses the viscous medium, and the liquid passes through the injection nozzle from the nozzle space. An impact device that ejects droplets and a feeder for supplying a medium to the nozzle space are provided.

基板の様々な場所における堆積される粘性媒体の量又は体積は、数滴を互いの上に付与し、それにより大きな堆積物を形成することによって、又は、例えばより大きな又は小さな体積の粘性媒体をノズル空間に供給することにより、噴射される液滴の体積を変えることによって、変えられる。   The amount or volume of the viscous medium that is deposited at various locations on the substrate can be applied by applying a few drops on top of each other, thereby forming a large deposit, or, for example, a larger or smaller volume of viscous medium. By feeding into the nozzle space, it can be changed by changing the volume of the ejected droplets.

生産速度及び信頼性が高いことは、プリント回路板(PCB)組立品などの製造における関心の要因である。生産速度(例えば、スループット時間すなわち、時間当たりの実装部品数(cph)の点から測定可能である)を増加させるために、粘性媒体の付与は「オン・ザ・フライ」で、つまり基板上における粘性媒体が堆積される各場所で止まることなく行われることがある。信頼性、例えば、噴射プロセスの正確度及び再現性などは、例えばPCB組立品などの、最終製品の性能及び質に対するその影響のため、関心の対象である。小さすぎる体積の堆積媒体は、例えば接合不足(dry joint)又は部品の緩みをもたらす場合がある一方で、大きすぎる体積の堆積媒体は、ソルダ・ボールなどによって引き起こされる短絡又は接着剤の汚染による接触不良をもたらす場合がある。   High production speed and reliability are factors of interest in the manufacture of printed circuit board (PCB) assemblies and the like. To increase production rate (eg, measurable in terms of throughput time, ie, number of mounted parts per hour (cph)), the application of viscous media is “on the fly”, ie on the substrate. It can occur without stopping at each location where the viscous medium is deposited. Reliability, such as the accuracy and reproducibility of the injection process, is of interest because of its impact on the performance and quality of the final product, eg, a PCB assembly. Too small a volume of the deposition medium may lead to, for example, a dry joint or part loosening, while an excessively large volume of the deposition medium may cause contact due to short circuit or adhesive contamination caused by solder balls, etc. It may cause defects.

プロセスの信頼性を増加させるため、例えば手動検査又は自動光学検査(AOI)などの光学又は目視検査が、粘性媒体が基板上に噴射された後に行われる。しかしながら、体積の小さなばらつきを検出する能力が比較的限られていることと、そうした検査が時間を消費し複雑であることとは、この技術に関連する欠点である。   To increase process reliability, optical or visual inspection, such as manual inspection or automatic optical inspection (AOI), is performed after the viscous medium has been jetted onto the substrate. However, the relatively limited ability to detect small variations in volume and the time-consuming and complicated nature of such inspections are drawbacks associated with this technique.

このような検査は増加されたプロセスの信頼性を提供し得るが、前述される問題点の少なくともいくつかに対処する排出部と方法とを提供する必要が、依然として存在する。   While such testing can provide increased process reliability, there remains a need to provide a drain and method that addresses at least some of the problems described above.

本明細書で開示される技術の様々な実施形態による排出部の一部分の一例の側断面図。FIG. 9 is a side cross-sectional view of an example of a portion of a drain according to various embodiments of the technology disclosed herein. 本明細書で開示される技術の様々な実施形態による排出部の一部分の一例の側断面図。FIG. 9 is a side cross-sectional view of an example of a portion of a drain according to various embodiments of the technology disclosed herein. 本明細書で開示される技術の様々な実施形態による排出部の一部分の一例の側断面図。FIG. 9 is a side cross-sectional view of an example of a portion of a drain according to various embodiments of the technology disclosed herein. 通過する液滴を検出するために可能な1つのセンサ・アレンジメントの図。FIG. 4 is a diagram of one possible sensor arrangement for detecting a passing droplet. 通過する液滴を検出するために可能な1つのセンサ・アレンジメントの図。FIG. 4 is a diagram of one possible sensor arrangement for detecting a passing droplet. シリコン・チップとセンサ・アレンジメントとを備えるバキューム・ワッシャの透視図。FIG. 3 is a perspective view of a vacuum washer comprising a silicon chip and a sensor arrangement. 本明細書で開示される技術が適用可能な噴射機械及びコンピュータの概要図。1 is a schematic diagram of an injection machine and a computer to which the technology disclosed in this specification can be applied. 噴射プログラムを生成する方法の概要。Overview of how to generate an injection program. 本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、基板上に粘性媒体の液滴を噴射する方法の概要を示すフローチャート。6 is a flowchart illustrating an overview of a method for ejecting droplets of a viscous medium onto a substrate according to an embodiment of the technology disclosed herein. 本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、基板上に粘性媒体の液滴を噴射する方法の概要を示すフローチャート。6 is a flowchart illustrating an overview of a method for ejecting droplets of a viscous medium onto a substrate according to an embodiment of the technology disclosed herein. 本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、基板上に粘性媒体の液滴を噴射する方法の概要を示すフローチャート。6 is a flowchart illustrating an overview of a method for ejecting droplets of a viscous medium onto a substrate according to an embodiment of the technology disclosed herein. 本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、基板上に粘性媒体の液滴を噴射する方法の概要を示すフローチャート。6 is a flowchart illustrating an overview of a method for ejecting droplets of a viscous medium onto a substrate according to an embodiment of the technology disclosed herein.

本発明で開示する技術の目的は、基板上に粘性媒体の液滴を噴射するための、改良され、より信頼できて効果的な、排出部と方法とを提供することである。
本発明で開示する技術の目的及び他の目的は、独立した請求項に定義される特徴を有する排出部及び方法によって成し遂げられる。本発明で開示する技術の様々な実施形態は、従属する請求項に定義される。
It is an object of the technology disclosed in the present invention to provide an improved, more reliable and effective ejector and method for jetting viscous media droplets onto a substrate.
The object of the technology disclosed in the present invention and other objects are achieved by a discharge part and method having the characteristics defined in the independent claims. Various embodiments of the technology disclosed in the present invention are defined in the dependent claims.

そのため、本発明で開示する技術の第1の態様にしたがって、基板上に粘性媒体の液滴を噴射するための排出部が提供される。排出部は、ノズル空間及びノズル出口を有するノズルと、ある体積の粘性媒体がノズル出口を通して押し出されるように、ノズル空間におけるその体積の粘性媒体を押圧するためのインパクト装置とを備える。それによって、粘性媒体の液滴は噴射ノズルから基板に向かって噴射される。その排出部は、また、粘性媒体の噴射液滴の軌道に沿って配置され、基板に向かって噴射されたその粘性媒体の液滴の通過を検出するように構成されている、センサ・アレンジメントを備える。   Therefore, according to the first aspect of the technology disclosed in the present invention, a discharge unit for ejecting droplets of a viscous medium onto a substrate is provided. The discharge unit includes a nozzle having a nozzle space and a nozzle outlet, and an impact device for pressing the volume of the viscous medium in the nozzle space so that the volume of the viscous medium is pushed out through the nozzle outlet. Thereby, droplets of the viscous medium are ejected from the ejection nozzle toward the substrate. The discharge portion is also disposed along the trajectory of the jet of viscous media droplets and is configured to detect the passage of the droplets of viscous media jetted toward the substrate. Prepare.

本発明で開示する技術の第2の態様にしたがって、基板上に粘性媒体の液滴を噴射する方法が提供され、ノズル空間及びノズル出口を備える噴射ノズルが提供される。センサ・アレンジメントは、噴射方向において噴射ノズルの後か、粘性媒体の噴射液滴の軌道に沿って配置される。粘性媒体は、その粘性媒体がノズル空間からノズル出口を通して基板に向けて液滴の形態で噴射されるように、ノズル空間に供給され、押圧される。方法は、センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在を反映するセンサ・パラメータを監視する工程をさらに備える。   According to a second aspect of the technology disclosed in the present invention, a method for ejecting a droplet of a viscous medium on a substrate is provided, and an ejection nozzle including a nozzle space and a nozzle outlet is provided. The sensor arrangement is arranged after the jet nozzle in the jet direction or along the trajectory of the jet droplet of the viscous medium. The viscous medium is supplied and pressed into the nozzle space such that the viscous medium is ejected in the form of droplets from the nozzle space through the nozzle outlet toward the substrate. The method further comprises monitoring sensor parameters that reflect the presence of viscous media in the sensor arrangement.

本研究で開示される技術は、噴射ノズルと噴射された粘性媒体の液滴が堆積される基板との間に液滴センサ・アレンジメントを配置することによる実現に基づいており、噴射プロセスの最中に、噴射特性及び噴射液滴を監視可能である。データは、押圧装置の押圧によって液滴が噴射されたか否かに関してのデータなどを含んで得られてもよい。それによって、失敗した滴は、基板の表面を検査することなく検出されることができる。押圧装置の押圧による液滴の噴射が確認されない場合は、そのデータは、基板に補充の媒体を追加することなどによって堆積体積の補正に使用されることができる。現在のプリント・プロセスの最中に、又は追加の補充プリント・プロセスの最中に、同時又はオン・ザ・フライで補正が行われてもよい。それによって、時間のかかる、下流における堆積物の事後検査の必要を減少させることができる。   The technique disclosed in this study is based on the realization by placing a droplet sensor arrangement between the injection nozzle and the substrate on which the droplets of the injected viscous medium are deposited, during the injection process. Furthermore, it is possible to monitor the ejection characteristics and the ejection droplets. The data may be obtained including data regarding whether or not a droplet is ejected by pressing of the pressing device. Thereby, a failed drop can be detected without inspecting the surface of the substrate. If droplet ejection due to pressing of the pressing device is not confirmed, the data can be used to correct the deposition volume, such as by adding supplemental media to the substrate. Corrections may be made simultaneously or on the fly during the current printing process or during an additional refill printing process. Thereby, the need for time-consuming downstream post-mortem inspection can be reduced.

本発明で開示される技術は、また、堆積される粘性媒体の体積の、比較的徹底したリアルタイム又は瞬間的な監視を提供する点において有利である。とりわけ、基板上の一定の場所に付与される体積は、併せて堆積体積を形成する噴射滴の数をカウントすることによ
って、又は個々の液滴の体積を推定することによって推定されてよい。このように、本研究で開示する技術は、堆積媒体の体積が、下流の何らかの追加の光学検査機器を使用することなく噴射滴1滴分の体積の正確度で推定されることを可能にする。
The technique disclosed in the present invention is also advantageous in providing a relatively thorough real-time or instantaneous monitoring of the volume of the viscous medium being deposited. In particular, the volume imparted at a certain location on the substrate may be estimated by counting the number of ejected droplets that together form a deposition volume, or by estimating the volume of individual droplets. Thus, the technique disclosed in this study allows the volume of the deposition medium to be estimated with the accuracy of the volume of a single drop without using any additional optical inspection equipment downstream. .

本出願の文脈において、用語「粘性媒体」は、ソルダ・ペースト、ソルダ・フラックス、接着剤、導電性接着剤、又は基板上に部品を固定するために使用される任意の他の種類の流体である媒体、導電性インク、抵抗体ペーストなどとして理解されるべきであり、用語「噴射液滴」又は用語「ショット」は、インパクト装置の押圧に応じて噴射ノズルを通して押し出され、基板に向かって動く、ある体積の粘性媒体として理解されるべきであることが留意される。噴射液滴は、また、インパクト装置の押圧によって噴射される液滴の一群を含む。また、用語「堆積物」、つまりある体積の「堆積媒体」は、1つ以上の噴射液滴の結果として基板上の位置に付与される接続量の粘性媒体を指し、用語「基板」は、プリント配線基板(PWD)、プリント回路基板(PCB)、ボール・グリッド・アレイ(BGA)用の基板、チップ・スケール・パッケージ(CSP)、クワッド・フラット・パッケージ(QFP)、ウェーハ、又はフリップチップなどとして解釈されるべきであることが留意される。   In the context of this application, the term “viscous medium” refers to solder paste, solder flux, adhesive, conductive adhesive, or any other type of fluid used to secure components on a substrate. It should be understood as a medium, conductive ink, resistor paste, etc., where the term “jet droplet” or the term “shot” is pushed through the jet nozzle in response to the impact device press and moves towards the substrate It should be noted that this should be understood as a volume of viscous medium. The ejected droplets also include a group of droplets ejected by pressing the impact device. Also, the term “deposit”, or a volume of “deposition medium”, refers to a connected amount of viscous medium applied to a location on a substrate as a result of one or more ejected droplets, and the term “substrate” Printed wiring board (PWD), printed circuit board (PCB), board for ball grid array (BGA), chip scale package (CSP), quad flat package (QFP), wafer, flip chip, etc. It should be noted that it should be interpreted as

「流体濡れ」などの接触分配プロセスと比較して、用語「噴射」は、噴射ノズルから基板上への粘性媒体の液滴の形成及び射出に流体噴射を利用する非接触分配プロセスとして解釈されるべきであることも留意される。   Compared to a contact dispensing process such as “fluid wetting”, the term “jetting” is interpreted as a non-contact dispensing process that utilizes fluid ejection for the formation and ejection of droplets of viscous media from an ejection nozzle onto a substrate. It is also noted that it should.

典型として、排出部はソフトウェア制御される。そのソフトウェアは、どのように粘性媒体を特定の基板に付与するのかについての命令、又は所定の噴射予定若しくは噴射プロセスにしたがう命令を必要とする。これらの命令は「噴射プログラム」と呼ばれる。このように、噴射プログラムは粘性媒体の液滴を基板上に噴射するプロセスを支援し、そのプロセスも、「噴射プロセス」又は「プリント・プロセス」として言及される場合がある。噴射プログラムは、噴射プロセスに先立ってオフラインで行われる前処理工程によって生成されてよい。   Typically, the ejector is software controlled. The software requires instructions on how to apply the viscous medium to a particular substrate, or instructions according to a predetermined spray schedule or process. These instructions are called “injection programs”. Thus, the jetting program supports the process of jetting viscous media droplets onto the substrate, which may also be referred to as a “jetting process” or “printing process”. The injection program may be generated by a pre-processing step that is performed off-line prior to the injection process.

このように、噴射プログラムの生成は、独自の若しくは所定の基板、又は、同一基板の独自の若しくは所定のセットに関する基板データを、生成プログラムにインポートすることと、その基板データを基にして、基板上のどこにその液滴が噴射されるかを定義することとを伴う。言い換えると、粘性媒体は、所定の噴射プログラムにしたがって基板上に噴射されるように配置される。   As described above, the generation of the injection program is performed by importing substrate data relating to an original or predetermined substrate, or an original or predetermined set of the same substrate into the generation program, and based on the substrate data. With defining where the droplets are ejected. In other words, the viscous medium is arranged to be ejected onto the substrate according to a predetermined ejection program.

一例として、コンピュータ・プログラムは基板に関するCADデータなどをインポートし、処理するために使用される。そのCADデータは、例えば接触パッドの位置及び伸長を表すデータと、基板上に実装される個々の部品それぞれの位置、名称及びリード線を表すデータとを備えてよい。このプログラムは、要求される体積、横方向の伸長、及び/又は高さを有する堆積物がそれぞれの部品に提供されるように、基板上のどこに液滴が噴射されるのかを決定することに使用されることができる。これは、1つの液滴の寸法及び体積、どれだけの数の液滴が特定の部品の必要を満たすために十分であるか、及び基板上のどこにそれぞれの液滴が置かれるべきであるかについての知識を要求するプロセスである。   As an example, a computer program is used to import and process CAD data and the like regarding a board. The CAD data may comprise, for example, data representing the position and extension of the contact pad and data representing the position, name and lead of each individual component mounted on the board. This program will determine where the droplets will be ejected on the substrate so that a deposit with the required volume, lateral extension, and / or height is provided for each part. Can be used. This is the size and volume of a single droplet, how many droplets are sufficient to meet the needs of a particular component, and where each droplet should be placed on the substrate It is a process that requires knowledge about.

全部品に対する全液滴の構成がプログラミングされると、粘性媒体の液滴を基板上に噴射するために、噴射ノズルがどのように動かされるのか(例えば、1つ以上の排出部を制御する噴射機械によって)を記述する噴射軌道テンプレートを生成することができる。複数の排出部が同時発生的に、又は連続して動作してもよいことが理解される。したがって、噴射軌道テンプレートは噴射機械、ひいては1つ又は複数の排出部を動作させることに
使用される噴射プログラムに移される。噴射プログラムは、また、要求される堆積物を有した基盤を提供するために、例えば、粘性媒体のノズル空間への供給を制御するため、及びインパクト装置の押圧を制御するための噴射パラメータを備えてもよい。
Once the configuration of all droplets for all parts is programmed, how the spray nozzle is moved to eject the viscous medium droplets onto the substrate (e.g., spray that controls one or more discharges) An injection trajectory template describing the machine) can be generated. It will be appreciated that a plurality of ejectors may operate simultaneously or sequentially. Thus, the injection trajectory template is transferred to an injection program that is used to operate the injection machine and thus one or more discharges. The injection program also comprises injection parameters to provide a base with the required deposits, for example to control the supply of viscous media to the nozzle space and to control the pressure of the impact device. May be.

噴射プログラムを生成する前処理工程は、オペレータによって行われるいくつかの手動の工程を伴ってよい。これは、例えばCADデータをインポートすることと、特定の部品に対してパッド上のどこに液滴が位置付けられるべきかを決定することとを伴ってもよい。しかし、この前処理は、コンピュータなどによって自動的に行われてもよいことが理解される。   The pre-processing step that generates the injection program may involve several manual steps performed by the operator. This may involve, for example, importing CAD data and determining where on the pad a drop should be positioned for a particular part. However, it will be understood that this pre-processing may be performed automatically by a computer or the like.

センサ・アレンジメントは、センサの制御下にある場(例えば、光センサによって制御される電磁場、静電容量センサによって制御される電場、及び磁気抵抗センサ又はホール・センサなどによって制御される磁場など)の外乱を使用するように構成されているセンサ装置を備えてよい。センサ・アレンジメントは、また、エアーナイフ又は既存のガスフロー中に、マイク又は圧力センサを置くことで認識され得る。排出部は、例えば温度センサ又は圧力センサなどの、噴射プロセスの監視と制御とを改良し得るさらなるセンサ・アレンジメント又はセンサ装置を備えてもよいことが理解される。   A sensor arrangement is a field under the control of a sensor (eg, an electromagnetic field controlled by an optical sensor, an electric field controlled by a capacitive sensor, and a magnetic field controlled by a magnetoresistive sensor or Hall sensor, etc.). A sensor device configured to use disturbances may be provided. Sensor arrangements can also be recognized by placing a microphone or pressure sensor in an air knife or existing gas flow. It will be appreciated that the drain may comprise additional sensor arrangements or sensor devices that may improve the monitoring and control of the injection process, such as temperature sensors or pressure sensors, for example.

1つの失敗した、若しくは欠落したショット、又は続いて失敗した複数のショットは、例えば、ノズル・チャンバに対する媒体の補給の不連続性によりその粘性媒体に封入されるエアボイドによって、又は不良排出部によって引き起こされる場合がある。従来の技術において、不良プリント結果(つまり、欠損堆積物又は不適切か不十分な体積の堆積物を有する)を有する基板は、下流における検査工程において又は製品の最終試験の最中など、粘性媒体の堆積の後に検出される場合がある。そのため、不良プリント結果を有するいくつかの基板がエラーの検出前に処理され、したがってそれらの基板の再加工又は廃棄が必要となるという恐れが存在する。   One failed or missing shot, or subsequently failed shots, is caused, for example, by air voids enclosed in the viscous medium due to media replenishment discontinuities to the nozzle chamber, or by faulty ejectors. May be. In the prior art, substrates with poor print results (ie, having missing deposits or improper or insufficient volume deposits) are used in viscous media, such as in downstream inspection processes or during final product testing. May be detected after deposition. As such, there is a risk that some substrates with bad print results are processed before error detection, and therefore they need to be reworked or discarded.

本発明は、このように噴射プロセスの最中にリアルタイムで、又は少なくとも早期に、その噴射プロセスの中断若しくは外乱が検出されることができるように、噴射プロセス又は噴射プログラムの最中に液滴の噴射を監視する可能性を提供することにおいて有利である。それによって、そのプリント結果の潜在的な欠陥は、その基板を処理ラインの下流に進めるのに先立って検出されることができ、それによって基板の生産歩留まりが改良され、不良品発生率が減少し、再加工が減少されることができる。   The present invention thus makes it possible to detect droplets during an injection process or injection program so that an interruption or disturbance of the injection process can be detected in real time or at least early during the injection process. It is advantageous in providing the possibility to monitor the injection. Thereby, potential defects in the printed result can be detected prior to advancing the substrate downstream of the processing line, thereby improving the production yield of the substrate and reducing the defective product rate. Rework can be reduced.

本明細書で開示される技術は、また、例えば手動検査又は自動光学検査(AOI)などの追加の下流における検査工程を省く可能性を提供することにおいて有利である。生産ラインの道具の数及び/又はオペレータの数を減少させることは、生産費用を有利に減少させる。   The techniques disclosed herein are also advantageous in providing the possibility of omitting additional downstream inspection steps such as manual inspection or automatic optical inspection (AOI). Reducing the number of tools and / or operators on the production line advantageously reduces production costs.

噴射滴のプロセス中検出は、基板の表面に対する粘性媒体の付与に先立って、最少付与量(すなわち、堆積物を形成する1つの噴射滴)の検出を可能にする。これは、堆積される粘性媒体の体積のプロセス制御の改良と監視の改良とを可能にする。   In-process detection of spray droplets allows detection of a minimum application amount (ie, one spray droplet forming a deposit) prior to application of a viscous medium to the surface of the substrate. This allows for improved process control and improved monitoring of the volume of the viscous medium being deposited.

本明細書で開示される技術は、また、分離した検査を行うことなく、基板上に粘性媒体の液滴の補充噴射することによって、プリント・エラーを補正する可能性を提供することにおいて有利である。   The techniques disclosed herein are also advantageous in providing the possibility of correcting print errors by replenishing jets of viscous media droplets onto a substrate without separate inspection. is there.

ガスフローは、噴射ノズルの出口を過ぎた後に提供されてよく、そのガスフローの大きさと速度は、そのガスフローを有するノズル出口の領域から粘性媒体を運び出すために十分である。さらに排出部は、ノズル出口から離間されており、かつ噴射方向において見ら
れるノズル出口の後(すなわち、下流)の場所にある壁部(すなわち、バキューム・ワッシャ)を備えてもよい。バキューム・ワッシャとノズル出口との間には、そのノズル出口以降においてガスフローの流路又はガイドとして機能する空間が形成されている。バキューム・ワッシャは、ノズル出口と同心円状の開口部(すなわち、オリフィス)を備え、それによって、噴射液滴にそのオリフィスを介してバキューム・ワッシャを通過させる。好ましくは、バキューム・ワッシャのオリフィスも、ノズル出口に向かいノズル出口を過ぎるガスフローの入口を提供する。
The gas flow may be provided after passing the outlet of the injection nozzle, the magnitude and speed of the gas flow being sufficient to carry the viscous medium out of the area of the nozzle outlet having that gas flow. Further, the outlet may comprise a wall (ie, a vacuum washer) that is spaced from the nozzle outlet and is located after (ie, downstream) the nozzle outlet as seen in the injection direction. Between the vacuum washer and the nozzle outlet, a space functioning as a gas flow path or guide is formed after the nozzle outlet. The vacuum washer has an opening (ie, an orifice) that is concentric with the nozzle outlet, thereby allowing the ejected droplets to pass through the vacuum washer through the orifice. Preferably, the vacuum washer orifice also provides an inlet for gas flow toward the nozzle outlet and past the nozzle outlet.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、検出部はバキューム・ワッシャと一体化されている。吸込口、つまりオリフィスの壁部(風を受ける)に検出部を配置することなどによって、ガスフローは排出部を粘性媒体による汚染から十分清浄に保ち得る。このことは噴射プロセスの信頼性を有利に高め、検出部の表面の塞がりによる噴射プロセスの中断、又は外乱の恐れを減少させることができる。   In accordance with an embodiment of the technology disclosed herein, the detector is integrated with a vacuum washer. The gas flow can keep the discharge part sufficiently clean from contamination by the viscous medium, for example by placing the detection part at the inlet, ie the wall of the orifice (receiving the wind). This advantageously increases the reliability of the injection process and reduces the risk of interruption or disturbance of the injection process due to blockage of the detector surface.

検出部をバキューム・ワッシャなどの排出部の既存部分に一体化することは、排出部生産の観点から有利である場合がある。
本明細書で開示される技術の様々な実施形態にしたがって、検出部は光学検出部を備える。検出部は、噴射液滴の軌道に対して垂直な平面に、及び/又は噴射液滴の軌道に沿って連続的に配置されている複数の光学検出部を、さらに備えてもよい。光学検出部は、光又は他の電磁エネルギーを発する発光素子(LED)などの光源と、その発せられた光を検出する光センサとを備えてよい。
It may be advantageous from the viewpoint of discharge unit production to integrate the detection unit into an existing part of the discharge unit such as a vacuum washer.
In accordance with various embodiments of the technology disclosed herein, the detection unit comprises an optical detection unit. The detection unit may further include a plurality of optical detection units arranged continuously in a plane perpendicular to the trajectory of the ejected droplet and / or along the trajectory of the ejected droplet. The optical detection unit may include a light source such as a light emitting element (LED) that emits light or other electromagnetic energy, and an optical sensor that detects the emitted light.

バキューム・ワッシャのオリフィスの周りなど、噴射液滴の軌道に対して垂直に複数の検出部を配置することは、通過する液滴の検出の信頼性と冗長性を有利に高めることができる。   Arranging a plurality of detectors perpendicular to the trajectory of the ejected droplets, such as around the orifice of the vacuum washer, can advantageously increase the reliability and redundancy of detecting the passing droplets.

さらに、噴射液滴の軌道に沿って複数の連続的な検出部を配置することは、その噴射液滴を、基板に向かうそれらの軌道に沿っていくつもの位置で検出する可能性を提供する。このことは信頼性と冗長性を高め、例えばショットの長さや速度などの他のパラメータの検索を可能にすることができる。   Furthermore, arranging a plurality of successive detectors along the trajectory of the ejected droplets offers the possibility of detecting the ejected droplets at a number of locations along their trajectory towards the substrate. This increases reliability and redundancy, and can enable retrieval of other parameters such as shot length and speed.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、基板の表面の粘性媒体の滴を検出するために、並びに、その滴及び/又は堆積物の形及び/又は幅を測定するために、排出部は基板に向けられるさらなる検出部を備えてよい。このことは、噴射プロセスと潜在的エラーの検出との信頼性及び冗長性を、有利に高めさせる。   In accordance with one embodiment of the technology disclosed herein, to detect drops of viscous media on the surface of a substrate and to measure the shape and / or width of the drops and / or deposits The discharge part may comprise a further detection part directed towards the substrate. This advantageously increases the reliability and redundancy of the injection process and detection of potential errors.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、監視の工程は、センサ・パラメータの1つ以上のセンサ値(SV)を1つ以上の基準センサ値(SVref)と比較することによって、1つ以上の存在値(PV)を計算することを備える。センサ値は、噴射液滴の軌道が交差する、センサの制御下にある場の外乱と遮断とを示し得る。センサ装置から受け取られるセンサ値(SV)を、基準センサ値(SVref)、つまり、しきい値と比較することによって、そのセンサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在又は不在が識別され、存在値(PV)によって表されることができる。   In accordance with one embodiment of the technology disclosed herein, the monitoring step includes comparing one or more sensor values (SV) of the sensor parameter with one or more reference sensor values (SVref). Calculating one or more presence values (PV). The sensor value may indicate a field disturbance and blockage under the control of the sensor where the trajectories of the ejected droplets intersect. By comparing the sensor value (SV) received from the sensor device with a reference sensor value (SVref), ie a threshold value, the presence or absence of a viscous medium in the sensor arrangement is identified and the presence value (PV). Can be represented by:

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、方法は、液滴値(DV)を計算する工程をさらに備える。その計算は、異なる時間に測定された2つ以上の存在値(PV)の間の比較を含む。2つの現在値を互いに比較することによって、センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の液滴を識別することができる。この識別は、例えば2つ以上の存在値の間の差を決定することによって行われ得る。例えば、液滴の通過は、センサ・アレンジメントにおいて粘性媒体の存在を示す第1の存在値、及びセンサ・アレンジメント
において粘性媒体が存在しないことを示す第2の存在値として識別されてよい。そのため、センサ・アレンジメントを通過する液滴を示す液滴値は、存在値の間の差を識別し、解析することによって決定され得る。
In accordance with one embodiment of the technology disclosed herein, the method further comprises calculating a drop value (DV). The calculation includes a comparison between two or more presence values (PV) measured at different times. By comparing the two current values with each other, a viscous medium droplet passing through the sensor arrangement can be identified. This identification can be done, for example, by determining the difference between two or more presence values. For example, the passage of a droplet may be identified as a first presence value indicating the presence of a viscous medium in the sensor arrangement and a second presence value indicating no viscous medium in the sensor arrangement. As such, drop values indicative of drops passing through the sensor arrangement can be determined by identifying and analyzing the difference between the presence values.

本明細書で開示される技術の他の実施形態にしたがって、方法は、センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在を表す基準存在値(PVref)以上である2つ以上の存在値(PV)をカウントすることによって、液滴値(DV)を計算することをさらに備える。それらの2つ以上の存在値(PV)は異なる時間に測定されており、それによってセンサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の液滴を識別する。センサ・アレンジメントを通過する液滴を表す液滴値は、そのため、センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在を表す存在値を識別し、カウントすることによって得られることができる。存在値(PV)の数をカウントすることは、例えばサテライトが主要な液滴から区別されるのを有利に可能にする。   In accordance with another embodiment of the technology disclosed herein, the method counts two or more presence values (PV) that are greater than or equal to a reference presence value (PVref) that represents the presence of a viscous medium in the sensor arrangement. Further comprising calculating a droplet value (DV). Their two or more presence values (PV) are measured at different times, thereby identifying viscous media droplets passing through the sensor arrangement. A drop value that represents a drop that passes through the sensor arrangement can thus be obtained by identifying and counting a presence value that represents the presence of a viscous medium in the sensor arrangement. Counting the number of presence values (PV) advantageously allows, for example, satellites to be distinguished from the main droplet.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、方法は、ノズル空間における粘性媒体の押圧から、センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の液滴の識別までの経過時間を反映する経過時間パラメータ(LTP)を備え、その経過時間パラメータ(LTP)は時間値(TV)を含む。液滴押圧値(IDV)は、時間値(TV)を基準時間値(TVref)と比較することによって計算される。この時間値を基準時間値と比較することによって、検出される液滴が、押圧間隔の押圧から妥当な時間間隔内にセンサ・アレンジメントを通過したかどうかが決定されてよい。長すぎる時間間隔は、液滴が押圧によって噴射されなかったことを示すことができ、そのため、例えば失敗したショットと見なされてよい。時間値を解析することは、液滴の速度が計算されることを有利に可能にすることができる。その速度は、例えば、液滴の移動距離、つまりノズル出口とセンサ装置との間の距離を割ることによって決定されてよい。時間値は、また、連続して噴射される液滴間の相対速度の変化とばらつきとを監視するために使用されてもよい。次第に増加する液滴速度は、例えば噴射プロセスの最中に、対応して減少する時間間隔によって検出されることができる。同様に、次第に減少する速度は、次第に増加する時間間隔によって示されることができる。   In accordance with one embodiment of the technology disclosed herein, the method includes an elapsed time parameter that reflects the elapsed time from the pressing of the viscous medium in the nozzle space to the identification of the viscous medium droplet passing through the sensor arrangement. (LTP), the elapsed time parameter (LTP) includes a time value (TV). The droplet pressure value (IDV) is calculated by comparing the time value (TV) with the reference time value (TVref). By comparing this time value with a reference time value, it may be determined whether the detected droplet has passed the sensor arrangement within a reasonable time interval from the pressing of the pressing interval. A time interval that is too long can indicate that the droplet was not ejected by pressing, and thus may be considered, for example, a failed shot. Analyzing the time value can advantageously allow the velocity of the droplet to be calculated. The speed may be determined, for example, by dividing the distance traveled by the droplet, ie the distance between the nozzle outlet and the sensor device. The time value may also be used to monitor relative velocity changes and variations between successively ejected droplets. Increasing droplet velocity can be detected by correspondingly decreasing time intervals, for example during the jetting process. Similarly, the gradually decreasing rate can be indicated by increasing time intervals.

これに代えて、又はこれに加えて、インパクト装置の押圧による液滴の通過を表す液滴押圧値(IDV)は、センサを通過する粘性媒体の第1及び第2の液滴間の経過時間を反映する液滴間隔時間パラメータ(DTP)の液滴間隔時間値(DIV)を、基準液滴間隔値(DIVref)と比較することによって得られてよい。DIVrefは、例えば前述されるように、インパクト装置による押圧などを制御するための噴射パラメータを備える噴射プログラムから得られることができる。第1及び第2のショット間の経過時間と基準液滴間隔値(DIVref)とを得ることによって、通過する液滴が、期待されるように押圧によって噴射されたかどうかが決定され得る。液滴間隔時間値とそれに対応する基準値との間の差が基準間隔内である場合、例えば、第2の液滴は前記の押圧に応じて噴射されたと結論付けられることができる。   Alternatively or in addition to this, the droplet pressing value (IDV) representing the passage of the droplet due to the pressing of the impact device is the elapsed time between the first and second droplets of the viscous medium passing through the sensor. May be obtained by comparing the droplet interval time value (DIV) of the droplet interval time parameter (DTP) reflecting the reference droplet interval value (DIVref). For example, as described above, DIVref can be obtained from an injection program including injection parameters for controlling pressing by an impact device. By obtaining the elapsed time between the first and second shots and the reference drop interval value (DIVref), it can be determined whether the passing drop has been ejected by pressing as expected. If the difference between the droplet interval time value and the corresponding reference value is within the reference interval, for example, it can be concluded that the second droplet has been ejected in response to the pressing.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、センサ・アレンジメントは、噴射方向に連続的に配置されている2つ以上のセンサ装置を備える。この実施形態にしたがって、液滴速度値(DVV)は、少なくとも第1のセンサ装置からの少なくとも第1の存在値(PV)と、少なくとも第2のセンサ装置からの少なくとも第2の存在値(PV)との間の比較によって計算され、少なくとも第1及び第2の存在値(PV)は、異なる時間に測定される。センサ・アレンジメントの通過の際の液滴の速度を表す液滴速度値は、プリント結果と噴射プロセスとの質の指示尺度として有利に使用されてよい。比較的速い液滴速度は、例えば、基板上でのサテライト及び拡散の点においてプリント結果に影響する場合があり、その一方で、比較的遅い液滴速度は、基板上への押圧にあたって不規則に形
作られた液滴をもたらし、ひいては堆積物を不規則に形作る場合がある。液滴速度もまた、例えば粘性媒体の粘度と密度とに依存する速度によって、その粘性媒体の質の指示尺度として使用されてよい。噴射液滴の速度を監視することによって、プリント結果の質、排出部の性能、及び粘性媒体の質などの瞬間的な監視が成し遂げられ得る。
In accordance with one embodiment of the technology disclosed herein, the sensor arrangement comprises two or more sensor devices arranged sequentially in the injection direction. According to this embodiment, the droplet velocity value (DVV) is at least a first presence value (PV) from at least a first sensor device and at least a second presence value (PV) from at least a second sensor device. ) And at least first and second abundance values (PV) are measured at different times. A drop velocity value representing the drop velocity as it passes through the sensor arrangement may be advantageously used as an indication of the quality of the print result and the firing process. A relatively fast drop velocity can affect the print result, for example, in terms of satellite and diffusion on the substrate, while a relatively slow drop velocity is irregular when pressed onto the substrate. This may result in shaped droplets and thus irregularly shaped deposits. The droplet velocity may also be used as an indicator of the quality of the viscous medium, for example by a velocity that depends on the viscosity and density of the viscous medium. By monitoring the velocity of the ejected droplets, instantaneous monitoring such as print quality, output performance, and viscous media quality can be achieved.

噴射方向に連続的に配置されている2つ以上のセンサ装置を備えるセンサ・アレンジメントを使用することは、液滴長値(DLV)が計算されることを可能にし、その液滴長値は、噴射方向に関する噴射液滴の長さを表す。その計算は、少なくとも第1のセンサ装置からの少なくとも第1の存在値(PV)を、少なくとも第2のセンサ装置からの少なくとも第2の存在値(PV)と比較することを含み、その少ない第1及び第2の存在値(PV)は異なる時間に測定される。   Using a sensor arrangement comprising two or more sensor devices arranged sequentially in the ejection direction allows a droplet length value (DLV) to be calculated, which droplet length value is It represents the length of the ejected droplet with respect to the ejection direction. The calculation includes comparing at least a first presence value (PV) from at least a first sensor device with at least a second presence value (PV) from at least a second sensor device, the less first The first and second abundance values (PV) are measured at different times.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、センサ・アレンジメントは、噴射方向に対して垂直な平面に配置されている2つ以上のセンサをさらに備える。このような配置は、噴射液滴の体積を表す液滴体積値(DVOLV)を決定することに使用されることができる。その計算は、少なくとも第1及び第2のセンサ装置からの2つ以上の存在値(PV)を比較することによって、液滴径値(DDIVA)を計算すること(その2つ以上の存在値は同じ時間に測定される)と、少なくとも第1のセンサ装置からの少なくとも第1の存在値(PV)を少なくとも第2のセンサ装置からの少なくとも第2の存在値(PV)と比較することによって、液滴長値(DLV)を計算すること(その第1及び第2の存在値(PV)は異なる時間に測定される)とを含む。液滴体積値(DVOLV)は、その後、液滴長値(DLV)と液滴径値(DDIAV)とに基づいて決定される。   According to one embodiment of the technology disclosed herein, the sensor arrangement further comprises two or more sensors arranged in a plane perpendicular to the injection direction. Such an arrangement can be used to determine a droplet volume value (DVOLV) that represents the volume of the ejected droplet. The calculation calculates a droplet size value (DDIVA) by comparing at least two presence values (PV) from at least the first and second sensor devices (the two or more presence values are By measuring at least a first presence value (PV) from at least a first sensor device with at least a second presence value (PV) from at least a second sensor device, measured at the same time) Calculating a droplet length value (DLV), whose first and second presence values (PV) are measured at different times. The droplet volume value (DVOLV) is then determined based on the droplet length value (DLV) and the droplet diameter value (DDIAV).

本明細書で開示される技術の実施形態によると、押圧による噴射液滴が確認されていない場合、液滴速度値(DVV)が液滴速度基準値(DVVref)を下回る場合、及び/又は液滴体積値(DVOLV)が液滴体積基準値(DVOLVref)を下回る場合に、基板上への粘性媒体の液滴の補充噴射が行われる。   According to embodiments of the technology disclosed herein, when no ejected droplets are confirmed by pressing, the droplet velocity value (DVV) is below the droplet velocity reference value (DVVref), and / or the liquid When the droplet volume value (DVOLV) is lower than the droplet volume reference value (DVOLVref), replenishment jetting of the droplet of the viscous medium onto the substrate is performed.

補充噴射は、例えば、現在のプリント・プロセスの最中に行われる。このような場合、噴射モジュールが、1つ若しくはいくつもの失敗したショット、又は基準体積を下回っている体積を有する液滴の検出にあたって、1つ又はいくつもの追加のショットを追加することによってプリント・プロセスを制御する噴射プログラムを動的に変更する。このように、追加の続く処理をすることなく、及びオペレータによる介入なく、潜在的エラーが自動的に修復され得る。   Replenishment firing is performed, for example, during the current printing process. In such a case, the firing module may add one or several additional shots in detecting one or several failed shots or drops having a volume below the reference volume. The injection program for controlling the engine is dynamically changed. In this way, potential errors can be automatically repaired without additional subsequent processing and without operator intervention.

これに代えて、又はこれに加えて、噴射モジュールは、失敗したショット及び/又は噴射ショットの体積についてのデータに基づいて、修復噴射プログラムを用意してもよい。修復噴射プログラムは噴射プログラムと類似していても、つまり、基板上の要求される位置に要求される量の粘性媒体を噴射するために、関連する噴射プロセスを制御してもよい。この修復噴射プログラムにおいて、要求される量と位置とは、しかし、失敗したショット又は小さい体積を有するショットを表す受け取ったデータに基づいていてもよい。   Alternatively or in addition, the injection module may provide a repair injection program based on data about failed shots and / or volume of injection shots. The repair injection program may be similar to the injection program, i.e., control the associated injection process to inject the required amount of viscous medium at the required location on the substrate. In this repair spray program, the required amount and position, however, may be based on received data representing failed shots or shots having a small volume.

修復噴射プログラムは、前述で概要を示したように、噴射プログラムの処理と類似のやり方で生成されてよい。その生成は、例えばコンピュータによって自動的に行われるか、オペレータによって行われるいくつかの手動の工程を伴ってもよい。機械は、例えば、検出される失敗したショット又は予想外の体積を有する堆積物の位置及び/又は数を表示しても、オペレータに検出されるエラーのどれが追加噴射によって修復されるべきものかを選択させてもよい。コンピュータは、その後、オペレータからの入力に基づいて、現在の噴射プロセスが終わった後にその排出部によって実行されるか、他の同時発生的に若しくは継時的に動作する排出部によって実行され得る修復噴射プログラムを用意してよい。   The repair injection program may be generated in a manner similar to the processing of the injection program, as outlined above. The generation may be performed automatically by, for example, a computer or may involve several manual steps performed by an operator. Even if the machine displays, for example, the location and / or number of deposits with detected failed shots or unexpected volumes, which of the detected errors should be repaired by additional injections May be selected. The computer can then be performed by the ejector after the current injection process is completed, or by other concurrent or transitive ejectors based on input from the operator An injection program may be prepared.

検出されるエラーを補正することは、噴射技術の頑強性を増加させ、これによって最終製品の質を高めることができる。このことは、また、下流における堆積物の検査及び試験の必要を減少させることができ、かつ、基板の再加工を減少させることができる。   Correcting the detected errors can increase the robustness of the injection technology and thereby improve the quality of the final product. This can also reduce the need for downstream deposit inspection and testing, and can reduce substrate rework.

有利なことに、修復プロセスは、検出されるエラーに応じて排出部の自動又は手動の妥当性確認に先行されてよく、噴射の質は、例えばテストパターンをプリントすること又は基板の表面以外の場所に液滴を噴射することによって確認され得る。   Advantageously, the repair process may be preceded by automatic or manual validation of the ejector depending on the detected error, and the quality of the jet may be other than for example printing a test pattern or the surface of the substrate. This can be confirmed by ejecting droplets on the site.

補充噴射は、例えば、失敗したショットの検出、所定の基準体積範囲外の体積を有する液滴の検出、及び/又は所定の基準速度間隔外の速度を有する液滴の検出に応じて行われてよいことが理解されるだろう。   Refill jets are performed in response to, for example, detecting a failed shot, detecting a droplet having a volume outside a predetermined reference volume range, and / or detecting a droplet having a velocity outside a predetermined reference velocity interval. It will be understood that it is good.

本明細書で開示される技術の実施形態にしたがって、液滴速度値(DVV)が液滴速度基準値(DVVref)以下である場合に、ノズル空間における粘性媒体の押圧の強さが増加され得る。さらに、液滴速度値(DVV)が液滴速度基準値(DVVref)を超える場合に押圧の強さが減少され得る。   In accordance with embodiments of the technology disclosed herein, the pressure strength of the viscous medium in the nozzle space may be increased when the droplet velocity value (DVV) is less than or equal to the droplet velocity reference value (DVVref). . Further, the strength of pressing can be reduced when the droplet velocity value (DVV) exceeds the droplet velocity reference value (DVVref).

噴射液滴の速度は、特に基板上の液滴の体積分布又は拡散の点において、プリント結果の質に影響する場合がある。噴射液滴の速い速度は、例えば、比較的平らで幅の広い堆積物に結び付き得るが、その一方で、より遅い速度は比較的小さい径を有する尖った滴をもたらし得る。その結果として、体積の分布は最終製品の質に影響する場合があり、例えば、ソルダ・ペーストを含む粘性媒体については短絡や接合不足が生じ、粘性媒体(例えば、接着剤を含む)については部品の緩みや導通しないパッドが伴う。   The velocity of the ejected droplets can affect the quality of the printed result, especially in terms of the volume distribution or diffusion of the droplets on the substrate. The high velocity of the ejected droplets can be associated with, for example, a relatively flat and wide deposit, while the slower velocity can result in pointed droplets having a relatively small diameter. As a result, volume distribution can affect the quality of the final product, for example, short circuits and poor bonding occur for viscous media containing solder paste, and parts for viscous media (eg, containing adhesive). Accompanies pads that are not loose or conductive.

本実施形態は、このように噴射プロセスの最中に噴射液滴の速度を調節する可能性を提供し、それによって、例えばPCB組立品などの最終製品が、高い質と性能を有することを可能にすることにおいて有利である。   This embodiment thus provides the possibility to adjust the velocity of the ejected droplets during the ejection process, thereby allowing the final product, eg a PCB assembly, to have high quality and performance Is advantageous.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、液滴体積値(DVOL)が液滴体積基準値(DVOLref)以下である場合に、ノズル空間への粘性媒体の供給速度は増加させられる。同様に、液滴体積基準値(DVOLref)を超える液滴体積値(DVOL)に応じて、供給速度は減少させられてよい。   According to an embodiment of the technology disclosed herein, the supply rate of the viscous medium to the nozzle space is increased when the droplet volume value (DVOL) is less than or equal to the droplet volume reference value (DVOLref). . Similarly, the supply rate may be decreased in response to a droplet volume value (DVOL) that exceeds the droplet volume reference value (DVOLref).

前述されるように、堆積物の有するソルダ・ペーストなどの体積が大きすぎると、短絡を引き起こす場合があり、一方で、接着剤などの体積が大きすぎると導通しないパッドをもたらす場合がある。さらに、ソルダ・ペースト又は接着剤などの体積が小さすぎると、それぞれ接合不足又は部品の緩みをもたらす場合がある。本実施形態は、このように基板上の粘性媒体堆積物の体積を調節する可能性を提供し、それによって、PCB組立品などに改良された質と性能を有せしめることにおいて有利である。   As described above, if the volume of the solder paste or the like of the deposit is too large, a short circuit may be caused. On the other hand, if the volume of the adhesive or the like is too large, a pad that does not conduct may be caused. Furthermore, if the volume of solder paste or adhesive is too small, it may result in insufficient bonding or loose parts, respectively. This embodiment provides the possibility to adjust the volume of the viscous media deposit on the substrate in this way, which is advantageous in having improved quality and performance for PCB assemblies and the like.

本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、方法は、基板に向けられる基板センサ・アレンジメントを提供する工程を備える。基板上の粘性媒体の存在を反映する基板センサ・パラメータ(SSP)は監視され、その基板センサ・パラメータ(SSP)は、基板センサ値(SSV)を含む。方法は、1つ以上の基板存在値(SPV)を計算する工程をさらに備え、その計算は、前記基板センサ・パラメータ(SSP)の1つ以上の基板存在値(SPV)と、1つ以上の基準基板存在値(SPVref)との間の比較を含む。それによって、基板上の粘性媒体の存在が識別される。   In accordance with one embodiment of the technology disclosed herein, the method comprises providing a substrate sensor arrangement directed to the substrate. A substrate sensor parameter (SSP) that reflects the presence of a viscous medium on the substrate is monitored, and the substrate sensor parameter (SSP) includes a substrate sensor value (SSV). The method further comprises calculating one or more substrate presence values (SPV), the calculation including one or more substrate presence values (SPV) of the substrate sensor parameter (SSP) and one or more substrate presence values (SPV). Includes a comparison between the reference substrate presence value (SPVref). Thereby, the presence of a viscous medium on the substrate is identified.

この実施形態は、インパクト装置の押圧による噴射液滴を確認する可能性を有利に提供
し、プリント・エラーの検出にあたって、プリント結果の追加的な補正を結果として可能にする。噴射滴の軌道に沿って配置されているセンサ・アレンジメントと併用して基板センサ・アレンジメントを使用することは、例えば存在、速度、径及び体積の決定を行う点において、噴射液滴の監視及び制御の信頼性と冗長性とを改良することができる。
This embodiment advantageously offers the possibility of confirming the ejected droplets due to the impact device pressing and, as a result, allows for additional correction of the print result in detecting a print error. The use of a substrate sensor arrangement in conjunction with a sensor arrangement arranged along the trajectory of the ejected droplets makes it possible to monitor and control the ejected droplets, for example in terms of determining presence, velocity, diameter and volume. Reliability and redundancy can be improved.

本明細書で開示される技術は、前述で概要を示される方法を行うようにプログラム可能なコンピュータを制御するための、コンピュータ可読命令として具体化されてよい。そのような命令は、それらの命令を記憶するコンピュータ可読媒体を備えるコンピュータ・プログラムの形態で流通してよい。   The techniques disclosed herein may be embodied as computer readable instructions for controlling a programmable computer to perform the method outlined above. Such instructions may be distributed in the form of a computer program comprising a computer readable medium that stores the instructions.

本発明の第1の態様による排出部における、前述に記載の実施形態の任意の特徴は、本発明の第2の態様による方法と組み合わされてもよい。
本発明のさらなる目的、特徴、及び利点は、後述する詳細な開示、図面及び添付の特許請求の範囲を学ぶ際に明白となる。本発明の様々な特徴は、後述する実施形態以外の実施形態を生ずるように組み合わされることができることを、当業者は理解するだろう。
Any features of the embodiments described above in the discharge part according to the first aspect of the invention may be combined with the method according to the second aspect of the invention.
Further objects, features and advantages of the present invention will become apparent upon studying the following detailed disclosure, drawings and appended claims. Those skilled in the art will appreciate that the various features of the present invention can be combined to produce embodiments other than those described below.

追加的な目的と同様に、本発明の前述の特徴及び利点は、後述の本発明の実施形態の例示的であり限定のためではない詳細な記述を通してより理解される。添付の図面において参照される。   The foregoing features and advantages of the present invention, as well as additional objectives, will be better understood through a detailed description of exemplary and non-limiting embodiments of the invention described below. Reference is made to the accompanying drawings.

全ての図は概要であって、必ずしも縮尺通りではなく、一般に本発明を明瞭にするために必要な部分のみを示している。他の部分は省略されているか、単に示唆されている場合がある。   All figures are schematic and are not necessarily to scale, generally showing only the parts necessary to clarify the present invention. Other parts may be omitted or just suggested.

図1aを参照すると、本明細書で開示される技術の一実施形態による排出部の概要図が示される。
排出部1は、本実施形態において圧電アクチュエータ7と、その圧電アクチュエータ7に接続されているプランジャ6とを含んでいるインパクト装置を備える。プランジャ6は、軸方向に可動であるとともに、ブッシング8の孔を通って摺接可能に延びている。カップばね9は、プランジャ6を組立ハウジング10に対し弾性的に釣り合わせるように、かつ、圧電アクチュエータ7に予圧を提供するために提供される。排出制御ユニット(図示せず)は、圧電アクチュエータ7に断続的に駆動電圧を印加し、それによって、ソルダ・パターン・プリント・データにしたがって、その圧電アクチュエータ7の断続的な伸長を引き起こし、したがって組立ハウジングに対するプランジャ6の往復運動を、引き起こす。
Referring to FIG. 1a, a schematic diagram of a drain according to one embodiment of the technology disclosed herein is shown.
The discharge unit 1 includes an impact device including a piezoelectric actuator 7 and a plunger 6 connected to the piezoelectric actuator 7 in the present embodiment. The plunger 6 is movable in the axial direction and extends so as to be slidable through the hole of the bushing 8. A cup spring 9 is provided to elastically balance the plunger 6 with respect to the assembly housing 10 and to provide preload to the piezoelectric actuator 7. A discharge control unit (not shown) applies a drive voltage to the piezoelectric actuator 7 intermittently, thereby causing intermittent extension of the piezoelectric actuator 7 according to the solder pattern print data, and thus assembly. Reciprocating movement of the plunger 6 relative to the housing is caused.

さらに、排出部1は、粘性媒体の液滴22が噴射される基板23に対して動作可能に向けられる、本質的に平板状の噴射ノズル2を備える。噴射ノズル23において、液滴22が基板23に向かって噴射される際に通る、ノズル空間3とノズル出口4とが提供される。ノズル出口4は、ノズル2の一端(下の部分)に位置する。ノズル空間3は、インパクト装置のプランジャ6による押圧にあたって、ノズル空間3を通してノズル出口4の外に押し出される粘性媒体を受け取るように配置される。   Furthermore, the discharge part 1 comprises an essentially flat jet nozzle 2 that is operatively directed against a substrate 23 onto which a viscous medium droplet 22 is jetted. In the ejection nozzle 23, a nozzle space 3 and a nozzle outlet 4 are provided through which the droplet 22 is ejected toward the substrate 23. The nozzle outlet 4 is located at one end (lower part) of the nozzle 2. The nozzle space 3 is arranged to receive a viscous medium pushed out of the nozzle outlet 4 through the nozzle space 3 when being pressed by the plunger 6 of the impact device.

プランジャ6の形態のインパクト装置は、ピストン孔を通って摺接可能であり、軸方向に可動な延びるピストン部分を備え、プランジャ6の前記ピストン部分のインパクト端面11は前記ノズル2の近くに配置される。   The impact device in the form of a plunger 6 is slidable through a piston hole and comprises an extending piston part which is movable in the axial direction, the impact end surface 11 of the piston part of the plunger 6 being arranged near the nozzle 2. The

異なる種類の排出部を使用する本明細書で開示される技術の他の実施形態において、ピストンを備えるプランジャは、前述にしたがって圧電アクチュエータ7に断続的に駆動電圧を印加するように構成されている排出部制御ユニットを必ずしも備えない他の種類のイ
ンパクト装置(例えば、膜又はダイアフラムなど)で置き換えられてもよい。
In another embodiment of the technology disclosed herein that uses different types of discharges, the plunger with the piston is configured to intermittently apply a drive voltage to the piezoelectric actuator 7 in accordance with the foregoing. It may be replaced with another type of impact device (for example, a membrane or a diaphragm) that does not necessarily include the discharge unit control unit.

これらの全てのインパクト装置は、共通して、インパクト装置(例えば、プランジャ、膜又はダイアフラム)の往復運動又は振動運動により圧力インパルスを素早く生成することによって、粘性媒体の液滴を形成して噴射ノズルから基板上に射出するための非接触噴射プロセスを提供するように構成される。   All these impact devices commonly have jet nozzles that form droplets of viscous media by quickly generating pressure impulses by reciprocating or oscillating motion of impact devices (eg, plungers, membranes or diaphragms). Configured to provide a non-contact injection process for injection onto a substrate.

本明細書で開示される技術に関連して使用される1つ以上の排出部のインパクト装置は、約100pLから約30nLの間(例えば、約10nL、又は5〜15nLサイズ範囲内)の堆積物体積を有する個々の液滴を射出するために、約1〜50マイクロ秒の期間の間、初期位置から終止位置(排出部のノズルに必ずしも近くはない)に向かって動いてよい。インパクト装置が圧力インパルスにより噴射ノズルを押圧する速度は、約5m/s及び約50m/sの間であってよい。   One or more drain impact devices used in connection with the techniques disclosed herein are deposits between about 100 pL and about 30 nL (eg, in a size range of about 10 nL, or 5-15 nL). To eject individual droplets having a volume, they may move from an initial position to an end position (not necessarily close to the discharge nozzle) for a period of about 1-50 microseconds. The speed at which the impact device presses the injection nozzle with a pressure impulse may be between about 5 m / s and about 50 m / s.

そのため、本明細書で開示される技術に関連して使用される1つ以上の排出部は、一定のサイズ又はサイズ範囲(例えば、5〜15nL,1〜5nL又は10〜20nL)の堆積物体積を有する液滴を射出するように構成されていてもよい。前述されるように、被加工物上に噴射される個々の液滴それぞれの体積は、約100pL及び約20nLの間であり、個々の液滴それぞれのドット径は約0.1mm及び約1.0mmの間であってよい。   As such, one or more drains used in connection with the technology disclosed herein may have a deposit volume of a certain size or size range (eg, 5-15 nL, 1-5 nL, or 10-20 nL). It may be configured to eject droplets having As described above, the volume of each individual droplet ejected onto the workpiece is between about 100 pL and about 20 nL, and the dot diameter of each individual droplet is about 0.1 mm and about 1.. It may be between 0 mm.

ノズル2の上の表面は、インパクト端面と向かい合うように位置付けられる。プランジャ6の軸運動はノズル2に向かい、圧電アクチュエータ7の断続的な伸長によって引き起こされる前記運動は、ノズル空間に収容される任意の粘性媒体の急な加圧とノズル出口4を通した噴射とを引き起こす。   The upper surface of the nozzle 2 is positioned so as to face the impact end face. The axial movement of the plunger 6 is directed to the nozzle 2, and the movement caused by the intermittent extension of the piezoelectric actuator 7 is the sudden pressurization of any viscous medium contained in the nozzle space and the injection through the nozzle outlet 4. cause.

粘性媒体は、フィーダ12を介して供給容器であるノズル空間3に供給される。フィーダ12はモータ軸13を有する電動モータ(図示せず)を備え、電動モータは、ノズル空間と連通する出口ポートに対して、排出部ハウジング10を通して延びている管状の孔に、部分的に提供される。回転可能なモータ軸の本質的な部分、すなわち、供給スクリュー13は、エラストマーなどからなる管14によって囲まれている。供給スクリュー13は、管状の孔に管14と同軸に配置されている。回転可能な供給スクリュー13のスレッドは、その管の最内面に摺接する。供給制御ユニット(図示せず)によってモータに提供される電子制御信号は、供給スクリュー13を、所望の角度又は所望の回転速度で回転させる。回転可能な供給スクリュー13のスレッドと管の内表面との間に捕えられた粘性媒体は、その後供給スクリュー13の回転運動にしたがって、入口ポートからノズル空間3に移動させられ、それによってノズル空間3に粘性媒体を供給する。   The viscous medium is supplied to the nozzle space 3 as a supply container via the feeder 12. The feeder 12 includes an electric motor (not shown) having a motor shaft 13 that is partially provided in a tubular hole extending through the discharge housing 10 for an outlet port communicating with the nozzle space. Is done. The essential part of the rotatable motor shaft, i.e. the supply screw 13, is surrounded by a tube 14 made of elastomer or the like. The supply screw 13 is disposed coaxially with the tube 14 in a tubular hole. The thread of the rotatable supply screw 13 is in sliding contact with the innermost surface of the tube. An electronic control signal provided to the motor by a supply control unit (not shown) causes the supply screw 13 to rotate at a desired angle or a desired rotational speed. The viscous medium trapped between the thread of the rotatable supply screw 13 and the inner surface of the tube is then moved from the inlet port to the nozzle space 3 according to the rotational movement of the supply screw 13, thereby causing the nozzle space 3 to move. Supply a viscous medium to

センサ・アレンジメント5は、噴射液滴22の軌道が、センサ・アレンジメント5に制御されるセンサ場17と交差するように、噴射液滴22の方向に見られるよう、噴射ノズル2の後に配置される。このように、センサ・アレンジメント5の近傍を通過する液滴22は、粘性媒体の存在が検出され得るように、センサ制御場17の外乱を引き起こし得る。   The sensor arrangement 5 is arranged behind the jet nozzle 2 so that the trajectory of the jet droplet 22 is seen in the direction of the jet droplet 22 so that it intersects the sensor field 17 controlled by the sensor arrangement 5. . In this way, the droplet 22 passing in the vicinity of the sensor arrangement 5 can cause a disturbance of the sensor control field 17 so that the presence of a viscous medium can be detected.

図1bを参照すると、図1aにおいて記載される排出部と類似する排出部1が図示される。図1bでは、その排出部は、噴射方向に見られるようにノズル出口4の下又は後に配置されている壁部、すなわちバキューム・ワッシャ24をさらに備え得る。バキューム・ワッシャ24は、噴射液滴22がそのバキューム・ワッシャによって遮られることなく、又は負の影響を受けることなく通過できる通り穴、すなわちオリフィスを備える。その結果として、その穴はノズル出口4と同心円状である。バキューム・ワッシャ24は、空気流チャンバ16がバキューム・ワッシャ24とノズル出口4との間に形成されるように、
ノズル出口4から離間され、ノズル出口4に向かうガスフローとノズル出口4以降のガスフローを可能にする流路又はガイドとして機能する。
Referring to FIG. 1b, a discharge part 1 similar to the discharge part described in FIG. 1a is illustrated. In FIG. 1b, the discharge may further comprise a wall, ie a vacuum washer 24, which is arranged below or behind the nozzle outlet 4 as seen in the injection direction. The vacuum washer 24 comprises a through-hole or orifice through which the ejected droplet 22 can pass without being blocked or negatively affected by the vacuum washer. As a result, the hole is concentric with the nozzle outlet 4. The vacuum washer 24 is such that the air flow chamber 16 is formed between the vacuum washer 24 and the nozzle outlet 4.
It functions as a flow path or a guide that is separated from the nozzle outlet 4 and enables a gas flow toward the nozzle outlet 4 and a gas flow after the nozzle outlet 4.

図1cは、図1a及び図1bを参照して前記される排出部に類似の、さらなる排出部1を図示する。図1cに示されるように、センサ・アレンジメント5はバキューム・ワッシャ24と一体化されていてよい。   FIG. 1c illustrates a further discharge part 1 similar to the discharge part described above with reference to FIGS. 1a and 1b. As shown in FIG. 1 c, the sensor arrangement 5 may be integrated with a vacuum washer 24.

図2を参照すると、噴射ノズル2、ピストン6及びセンサ・アレンジメント5が、本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって図示される。噴射ノズル2は、インパクト装置による押圧にあたってノズル出口4を通して押し出される、ある体積の粘性媒体を有するノズル空間3を備える。それによって、粘性媒体の噴射液滴22は噴射ノズル2から吐出され、光学センサなどを備えるセンサ・アレンジメントの制御下にある光学場17を通過する。センサ・アレンジメント5の傍を通過する液滴22は、粘性媒体の存在が検出されるように、センサの制御下にある場17の外乱を引き起こし得る。   With reference to FIG. 2, the injection nozzle 2, piston 6 and sensor arrangement 5 are illustrated in accordance with one embodiment of the technology disclosed herein. The injection nozzle 2 includes a nozzle space 3 having a volume of viscous medium that is pushed out through a nozzle outlet 4 when pressed by an impact device. Thereby, the jet droplet 22 of viscous medium is ejected from the jet nozzle 2 and passes through the optical field 17 under the control of a sensor arrangement comprising an optical sensor or the like. A droplet 22 passing by the sensor arrangement 5 can cause a disturbance of the field 17 under the control of the sensor so that the presence of a viscous medium is detected.

図2を参照して記載されるものと類似の配置が図3において示され、第1及び第2のセンサ・アレンジメント5a,5bは、噴射方向に連続的に配置される。そのため、噴射液滴の軌道は、その液滴22の通過にあたって2つ以上の異なる、かつ、時間的に分離されたセンサ信号が生成されることができるように、センサの制御下にある2つの場17a,17bと交差する。基板23上における粘性媒体の検出が可能となるように、基板センサ・アレンジメント5cは基板23に向けられる。   An arrangement similar to that described with reference to FIG. 2 is shown in FIG. 3, where the first and second sensor arrangements 5a, 5b are arranged successively in the injection direction. Thus, the trajectory of the ejected droplets is the two sensors under control of the sensor so that two or more different and temporally separated sensor signals can be generated as the droplet 22 passes. Intersects the fields 17a, 17b. The substrate sensor arrangement 5c is directed to the substrate 23 so that the viscous medium on the substrate 23 can be detected.

しかし、センサ・アレンジメント5は、バキューム・ワッシャ24と一体化される、又は一体化されない、噴射方向に連続的に配置されている複数のセンサ装置を備えてもよいことが理解されるだろう。   However, it will be appreciated that the sensor arrangement 5 may comprise a plurality of sensor devices arranged continuously in the injection direction, which may or may not be integrated with the vacuum washer 24.

次に図4を見ると、バキューム・ワッシャ24は、吸込口15と吸込口15を横切って配置されているセンサ装置5とを有するシリコン・チップ21を備えてよく、センサ5装置は、発光ダイオード(LED)17とその反対側に配置されている光センサ18とを備える。LED17と光センサ18とは、電気接触パッド20を介して周囲へ、及び周囲から電力を移すために、電気配線19に接続される。バキューム・ワッシャ24と一体化されるセンサ・アレンジメントとは、図1〜3を参照して記載される実施形態の何れか1つと組み合わされてもよい。   Referring now to FIG. 4, the vacuum washer 24 may include a silicon chip 21 having a suction port 15 and a sensor device 5 disposed across the suction port 15, the sensor 5 device comprising a light emitting diode. (LED) 17 and an optical sensor 18 disposed on the opposite side thereof. The LED 17 and the optical sensor 18 are connected to electrical wiring 19 to transfer power to and from the surroundings via the electrical contact pads 20. The sensor arrangement integrated with the vacuum washer 24 may be combined with any one of the embodiments described with reference to FIGS.

図5を参照すると、基板57に対し粘性媒体の液滴が提供される噴射機械51が例示されている。ソフトウェア・プログラムは、機械51と通信するコンピュータ53上で動作する。ソフトウェア・プログラムは、PCBなどの基板についての主な製造データを保持するデータベースを有し、その基板のある機械のための機械データが処理される。その基板についての基板データ55は、データベースに、好ましくはCADファイルに含まれるCADデータの形態でインポートされる。そのプログラムは、噴射プロセスを制御する噴射プログラムを生成することに適している。噴射プログラムを備える機械制御ソフトウェアの如何なる同時動作へ干渉することなく、オペレータが噴射プログラム生成を扱って作業できるように、ソフトウェア・プログラムはオフラインで利用できる。ソフトウェア・プログラムは、図5のCD ROM59によって例示されるコンピュータ可読媒体に提供されてもよい。   Referring to FIG. 5, a jet machine 51 in which a droplet of viscous medium is provided to a substrate 57 is illustrated. The software program runs on a computer 53 that communicates with the machine 51. The software program has a database that holds the main manufacturing data for a board, such as a PCB, and machine data for the machine with the board is processed. The board data 55 for that board is imported into the database, preferably in the form of CAD data contained in a CAD file. The program is suitable for generating an injection program that controls the injection process. The software program is available offline so that the operator can handle and work with the injection program generation without interfering with any simultaneous operation of the machine control software with the injection program. The software program may be provided on a computer readable medium exemplified by CD ROM 59 in FIG.

特定の機械又は同じ噴射プログラムを使用する複数の機械用の噴射プログラムは、後述のように生成されてよい。まず、そのソフトウェア・プログラムが読み込まれたコンピュータ53で作業するオペレータが、基板用のCADデータを基にして、その機械に基板上の場所となる部品を、そのソフトウェア・プログラムによって割り当てる。部品について
の部品データ(例えばハウジングについての部品の伸長と、もしあれば、リード線及びそれらの基板上の位置と)は、基板データに含まれる。コンピュータ上に現在の機械の機械インタフェースを開くことによって、オペレータは基板データに基づいて噴射プログラム用のデータを生成する手順を開始することができる。
Injection programs for a particular machine or multiple machines using the same injection program may be generated as described below. First, an operator working on the computer 53 into which the software program is read assigns a part to be a place on the board to the machine by the software program based on the CAD data for the board. Part data for the part (eg, part extension for the housing and leads and their location on the board, if any) is included in the board data. By opening the machine interface of the current machine on the computer, the operator can initiate a procedure for generating data for the spray program based on the substrate data.

図6は、噴射プロセスを制御する噴射プログラムを生成する前処理工程の一例を図示するフローチャートである。第1の工程601において、基板のCADデータは、オフライン前処理のためにソフトウェア・プログラムにインポートされ、次の工程602において、そのCADデータは、例えば組み立てられる個々の部品それぞれの位置及び伸長を記載する組立品データに変換される。次の工程において、要求される堆積物が定義され(602)、それらのそれぞれのパッド又は基板上の位置に割り当てられる。ひとたび要求される堆積物が定義される(603)と、噴射プログラムにデータがコンパイルされ(604)、その噴射プログラムはその噴射プロセスを制御するように実行され得る噴射機械に送られる(605)。噴射プログラムは、例えば1つ又は複数の排出部の移動軌道を制御するためのデータと、インパクト装置の押圧及びノズル空間への粘性媒体の供給を制御する噴射パラメータとを含んでよい。それによって、粘性媒体の液滴の噴射は、要求される堆積物が提供されるように制御され得る。   FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of a pretreatment process for generating an injection program for controlling the injection process. In a first step 601, the substrate CAD data is imported into a software program for offline preprocessing, and in a next step 602, the CAD data describes, for example, the position and extension of each individual part to be assembled. Converted into assembly data. In the next step, the required deposits are defined (602) and assigned to their respective pads or locations on the substrate. Once the required deposit is defined (603), data is compiled into an injection program (604), which is sent to an injection machine that can be executed to control the injection process (605). The injection program may include, for example, data for controlling the movement trajectory of one or a plurality of discharge units, and injection parameters for controlling the pressing of the impact device and the supply of the viscous medium to the nozzle space. Thereby, the ejection of the viscous medium droplets can be controlled to provide the required deposit.

修復噴射プログラム(例えば失敗したショット、及び所定の体積を下回る体積を有する液滴などのプリント・エラー)は、図6を参照して記載される噴射プログラムに類似して生成されてよい。例えば前述で言及されるセンサ・アレンジメントを使用することによるプリント・エラーの検出にあたって、修復噴射プログラムは、検出されたエラーに基づいて要求される堆積物を定義する(603)ことによって生成されてよい。修復噴射プログラムは、その後コンパイルされ(604)、追加噴射によって欠損液滴又は誤った堆積物を補完する噴射機械に送られる(605)。修復噴射プログラムの前処理は、例えば、ソフトウェア・プログラム(オペレータによって行われるいくつかの手動の工程を含む)によって、自動的に行われてよいことが認識される。   A repair firing program (eg, a printing error such as a failed shot and a drop having a volume below a predetermined volume) may be generated similar to the firing program described with reference to FIG. For example, in detecting a print error by using the sensor arrangement referred to above, a repair jet program may be generated by defining 603 the required deposit based on the detected error. . The repair jet program is then compiled (604) and sent to a jet machine that supplements missing droplets or false deposits by additional jets (605). It will be appreciated that preprocessing of the repair jet program may be performed automatically, for example, by a software program (including some manual steps performed by an operator).

図7を参照すると、本明細書で開示される技術の一実施形態にしたがって、基板23上に液滴を噴射する方法の概要が示されている。
本実施形態にしたがって、ノズル空間3とノズル出口4とを備える噴射ノズル2が提供される(102)。噴射方向において、噴射ノズル2の後に、例えば光学センサ装置17,18を備えるセンサ・アレンジメント5が提供される(103)。例えばソルダ・ペーストなどの粘性媒体はノズル空間3に供給され(106)、その粘性媒体がノズル出口4を通して、ノズル空間3から基板23に向かって液滴の形態で噴射されるように、インパクト装置によって押圧される。この方法は、センサ・アレンジメント5における粘性媒体の存在を反映するセンサ・パラメータを監視する工程をさらに備える。
Referring to FIG. 7, an overview of a method for ejecting droplets onto a substrate 23 in accordance with one embodiment of the technology disclosed herein is shown.
In accordance with this embodiment, an injection nozzle 2 comprising a nozzle space 3 and a nozzle outlet 4 is provided (102). In the injection direction, a sensor arrangement 5 comprising, for example, optical sensor devices 17, 18 is provided after the injection nozzle 2 (103). For example, a viscous medium such as solder paste is supplied to the nozzle space 3 (106), and the viscous medium is ejected in the form of droplets from the nozzle space 3 toward the substrate 23 through the nozzle outlet 4. Is pressed by. The method further comprises the step of monitoring sensor parameters reflecting the presence of viscous media in the sensor arrangement 5.

図8において示されるように、監視されるセンサ・パラメータは、そのセンサ装置における粘性媒体の存在を示すセンサ値(SV)を備えてよい。そのため、図7を参照して記載される本方法は、センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在を識別する存在値(PV)を計算する(112)工程を備える。存在値の計算は、センサ・パラメータのセンサ値と基準センサ値(SVref)との間の比較を含んでよい。SVrefは、例えば、センサ値が粘性媒体の存在を表すか否かを示すしきい値であってよい。存在値(PV)は、例えば、「1」が粘性媒体の存在を定義し、「0」が粘性媒体の不在を定義する、バイナリ・インジケータであってよい。   As shown in FIG. 8, the monitored sensor parameter may comprise a sensor value (SV) indicating the presence of a viscous medium in the sensor device. As such, the method described with reference to FIG. 7 comprises calculating (112) a presence value (PV) that identifies the presence of a viscous medium in the sensor arrangement. The calculation of the presence value may include a comparison between the sensor value of the sensor parameter and a reference sensor value (SVref). SVref may be a threshold value indicating whether or not the sensor value represents the presence of a viscous medium, for example. The presence value (PV) may be, for example, a binary indicator where “1” defines the presence of a viscous medium and “0” defines the absence of a viscous medium.

次の工程において、センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の液滴を識別する液滴値(DV)が、例えば異なる時間に測定される2つ以上の存在値(PV)を比較することによって、計算される(114)。この工程は、例えば、同じセンサ装置によって連続的
に登録される2つの存在値を比較することによって、成し遂げられてよい。粘性媒体の存在を表す第1のPVであって、粘性媒体の不在を表す第2のPVが後に続くPVは、例えば液滴がそのセンサ装置を通過していたことを示す場合がある。この計算は、また、識別の信頼性を改良し、その測定値のノイズを減少させるために、いくつもの存在値の比較を含む。
In the next step, a drop value (DV) identifying a drop of viscous medium passing through the sensor arrangement is calculated, for example by comparing two or more presence values (PV) measured at different times. (114). This step may be accomplished, for example, by comparing two presence values registered sequentially by the same sensor device. A first PV representing the presence of a viscous medium, followed by a second PV representing the absence of a viscous medium, may indicate, for example, that a droplet has passed through the sensor device. This calculation also includes a number of comparisons of presence values to improve the reliability of the identification and reduce the noise of the measurement.

また、液滴の通過が、当業者に容易に理解されるいくつもの他の方法で識別されてもよいことが認識される。例えば、液滴値は、センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在を表す基準存在値以上である2つ以上の存在値(PV)をカウントすることによって計算されてもよい(114)。   It will also be appreciated that the passage of droplets may be identified in a number of other ways readily understood by those skilled in the art. For example, the drop value may be calculated by counting two or more presence values (PV) that are greater than or equal to a reference presence value representing the presence of a viscous medium in the sensor arrangement (114).

さらに、通過液滴は噴射液滴、つまり、インパクト装置の押圧によってセンサ・アレンジメントを通過する意図的な液滴として確認されてもよい。これは、経過時間パラメータ(LTP)を監視すること(116)と、液滴押圧値(IDV)を計算すること(118)とによって成し遂げられてよい。経過時間パラメータは、インパクト装置の押圧(108)から、センサ・アレンジメントの傍を通過する液滴の識別(114)までの経過時間を反映し、液滴押圧値は、その経過時間パラメータ(LTP)の時間値(TV)を基準時間値(TVref)と比較することによって計算される(118)。比較的小さい時間値は、例えば、その通過液滴が、新しい押圧によってセンサ・アレンジメントを通過していることを示すことができ、その一方で比較的高い時間値は、その液滴が、その押圧によってセンサ・アレンジメントを通過してはいないことを示すことができる。   Furthermore, the passing droplets may be identified as jetted droplets, i.e. intentional droplets that pass through the sensor arrangement by the impact device pressing. This may be accomplished by monitoring (116) an elapsed time parameter (LTP) and calculating (118) a droplet pressure value (IDV). The elapsed time parameter reflects the elapsed time from the impact device press (108) to the identification (114) of the droplet passing by the sensor arrangement, and the droplet press value is its elapsed time parameter (LTP). Is calculated by comparing the time value (TV) of the current value with the reference time value (TVref) (118). A relatively small time value can indicate, for example, that the passing droplet is passing through the sensor arrangement with a new press, while a relatively high time value indicates that the droplet is being pressed. Can indicate that the sensor arrangement has not been passed.

図9に示されるように、本方法は、噴射方向に連続的に配置されている、2つ以上のセンサ装置間の液滴の通過によって定義される時間間隔によって、液滴速度値(DVV)を計算する(120)工程をさらに備えてよい。計算(120)は、第1のセンサ装置からの第1の存在値(PV)と第2のセンサ装置からの第2の存在値(PV)との間の比較を含み、それによって、液滴が第1及び第2のセンサ装置間の距離を移動することにかかる時間を表す時間間隔を提供する。噴射方向におけるセンサ間の距離を、その時間間隔で割ることによって、平均液滴速度を得ることができる。   As shown in FIG. 9, the method uses a droplet velocity value (DVV) with a time interval defined by the passage of a droplet between two or more sensor devices arranged sequentially in the ejection direction. (120) may be further included. The calculation (120) includes a comparison between a first presence value (PV) from the first sensor device and a second presence value (PV) from the second sensor device, whereby the droplet Provides a time interval representing the time taken to move the distance between the first and second sensor devices. The average droplet velocity can be obtained by dividing the distance between the sensors in the jetting direction by the time interval.

噴射方向に連続的に配置されている2つ以上のセンサ装置を使用することで、液滴速度値(DVV)と液滴長値(DLV)との両方が計算され得る(120,122)。第1のセンサ装置からの第1の存在値(PV)を、第2のセンサ装置からの第2の存在値(PV)と比較することによって得られる液滴速度値(DVV)は、液滴長値(DLV)を決定するために、それらのセンサ装置のどちらか一方からの第3の存在値(PV)と併せて使用され得る。第1の存在値は、例えばその液滴の前端を表すことができ、例えば第1のセンサ装置から得られる第3の存在値は、その液滴の後端を表す。液滴速度値(DVV)を有する液滴の前端及び後端の通過する間の時間間隔に基づいて、その液滴の長さ(つまり、前端と後端との間の距離)が計算されてよい(122)。   By using two or more sensor devices arranged sequentially in the ejection direction, both the droplet velocity value (DVV) and the droplet length value (DLV) can be calculated (120, 122). The droplet velocity value (DVV) obtained by comparing the first presence value (PV) from the first sensor device with the second presence value (PV) from the second sensor device is the drop velocity value (DVV) Can be used in conjunction with a third abundance value (PV) from either one of those sensor devices to determine the long value (DLV). The first presence value can for example represent the leading edge of the drop, for example the third presence value obtained from the first sensor device represents the trailing edge of the drop. Based on the time interval between passage of the leading and trailing edges of a droplet having a droplet velocity value (DVV), the length of the droplet (ie, the distance between the leading and trailing edges) is calculated. Good (122).

センサ・アレンジメントは、噴射方向に対して垂直な平面に配置されている、2つ以上のセンサ装置をさらに備える。噴射方向に対して垂直な平面に配置されている、第1及び第2のセンサ装置からの2つの存在値を比較することで、その液滴の径が、液滴径値(DDIVA)として計算されてよい。液滴体積値(DVOLV)は、その後、液滴径値(DDIAV)と液滴長値(DLV)とに基づいて計算されることができる(126)。   The sensor arrangement further comprises two or more sensor devices arranged in a plane perpendicular to the injection direction. By comparing the two existence values from the first and second sensor devices, which are arranged in a plane perpendicular to the ejection direction, the droplet diameter is calculated as the droplet diameter value (DDIVA). May be. A droplet volume value (DVOLV) can then be calculated based on the droplet diameter value (DDIAV) and the droplet length value (DLV) (126).

基板上への粘性媒体の液滴の補充噴射(128)は、押圧による噴射液滴が確認されていない場合、その噴射液滴が遅すぎる速度を有する場合、又はその噴射液滴が小さすぎる体積を有する場合に、行われてよい。追加噴射(128)は、例えば、分離した補正プロセスにおいて行われるか、噴射プロセスを噴射する最中に動的に行われることができる。   The replenishment jet (128) of a viscous medium droplet onto the substrate is a volume where the jetted droplet is not confirmed by pressing, the jetted droplet has a too slow speed, or the jetted droplet is too small This may be done if The additional injection (128) can be performed, for example, in a separate correction process or dynamically during the injection process.

計算された(120)液滴速度が基準液滴速度値を下回る場合、その粘性媒体の押圧の強さを増加する(130)工程は、その液滴速度を増加するように行われてよい。同様に、押圧の強さを増加する(132)工程は、基準液滴速度値以上である、計算された(120)液滴速度に応じて行われてもよい。押圧の強さの調節(130,132)は、例えば、ピストンに接続される圧電アクチュエータに対する印加電圧を変更することによって成し遂げられてよい。   If the calculated (120) droplet velocity is below the reference droplet velocity value, the step (130) of increasing the pressure strength of the viscous medium may be performed to increase the droplet velocity. Similarly, the step of increasing the pressure intensity (132) may be performed according to a calculated (120) droplet velocity that is greater than or equal to a reference droplet velocity value. The adjustment of the pressure intensity (130, 132) may be achieved, for example, by changing the applied voltage to the piezoelectric actuator connected to the piston.

基準液滴体積値と比較して液滴体積値が小さすぎる、又は大きすぎることに応じて、本方法は、ノズル空間への粘性媒体の供給速度をそれぞれ増加させる(134)又は減少させる(136)工程を備え得る。これは、例えば、供給スクリューを動作させる電動モータの速度を調節することによって行われてよい。   In response to the drop volume value being too small or too large compared to the reference drop volume value, the method increases (134) or decreases (136) the rate of viscous medium delivery to the nozzle space, respectively. ) Step. This may be done, for example, by adjusting the speed of the electric motor that operates the supply screw.

最後に、図10は、基板に向けられる基板センサ・アレンジメントを提供し(105)、基板上の粘性媒体の存在を反映する基板センサ・パラメータ(SSP)を監視し(111)、基板存在値(SPV)を計算する(113)工程をさらに備えている、図7を参照して記載される方法に類似する方法を示す。その計算は、基板センサ・パラメータ(SPV)の基板存在値(SPV)を基準基板存在値(SPVref)と比較すること、及び、それによって基板上の粘性媒体の存在を識別することを含む。   Finally, FIG. 10 provides a substrate sensor arrangement directed to the substrate (105), monitors substrate sensor parameters (SSP) reflecting the presence of viscous media on the substrate (111), and provides substrate presence values ( FIG. 8 illustrates a method similar to the method described with reference to FIG. 7, further comprising the step of calculating (SPV) (113). The calculation includes comparing the substrate presence value (SPV) of the substrate sensor parameter (SPV) with a reference substrate presence value (SPVref) and thereby identifying the presence of a viscous medium on the substrate.

図1〜4を参照して上述される実施形態の任意の1つは、図7〜10を参照して本明細書に記載される方法の実施形態の任意の1つに組み合わせること、及び適用することができる。   Any one of the embodiments described above with reference to FIGS. 1-4 may be combined with and applied to any one of the method embodiments described herein with reference to FIGS. can do.

上述で概要を示したように、図7〜10によって図示される方法は、コンピュータ実行可能な命令として具体化されることができ、該コンピュータ実行可能な命令は、そのような命令を記憶するコンピュータ可読媒体を含んでいるコンピュータ・プログラム製品の形態で流通され、使用される。例として、コンピュータ可読媒体は、コンピュータ記憶媒体と通信媒体とを備えてよい。当業者に知られるように、コンピュータ記憶媒体は、コンピュータ可読命令、データ構造、プログラム・モジュール又は他のデータなどのデータの、記憶媒体用の任意の方法又は技術で実施される、揮発性と不揮発性の両方の取り外し可能及び取り外し不可能媒体を含む。コンピュータ記憶媒体はRAM,ROM,EEPROM、フラッシュ・メモリ又は他のメモリ技術、CD−ROM、デジタル多目的ディスク(DVD)若しくは他の光学ディスク記憶媒体、磁気カセット、磁気テープ、磁気ディスク記憶媒体又は他の磁気記憶装置を含むが、これらに限定されない。さらに、通信媒体は典型的に、搬送波又は他の移送機構などの変調されたデータ信号におけるコンピュータ可読命令、データ構造、プログラム・モジュール又は他のデータを具体化し、任意のデータ配信媒体を含むことが、当業者に知られている。   As outlined above, the method illustrated by FIGS. 7-10 can be embodied as computer-executable instructions that are stored on a computer storing such instructions. It is distributed and used in the form of a computer program product that includes a readable medium. By way of example, a computer readable medium may comprise a computer storage medium and a communication medium. As known to those skilled in the art, computer storage media are volatile and non-volatile, implemented in any method or technique for storage media, such as computer readable instructions, data structures, program modules or other data. Includes both removable and non-removable media. Computer storage media can be RAM, ROM, EEPROM, flash memory or other memory technology, CD-ROM, digital multipurpose disc (DVD) or other optical disc storage media, magnetic cassette, magnetic tape, magnetic disc storage media or other Including but not limited to magnetic storage devices. In addition, communication media typically embodies computer readable instructions, data structures, program modules or other data in a modulated data signal such as a carrier wave or other transport mechanism and includes any data delivery media. Are known to those skilled in the art.

特定の実施形態が記載される一方で、添付の特許請求の範囲に定義される範囲内において、多様な変更と改変とが考えられることを、当業者は理解するだろう。   While specific embodiments have been described, those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications are possible within the scope defined in the appended claims.

Claims (28)

基板(23)上に粘性媒体の液滴(22)を噴射するための排出部(1)であって、
ノズル空間(3)及びノズル出口(4)を備える噴射ノズル(2)と、
前記ノズル空間におけるある体積の前記粘性媒体を押圧し、それによって前記ノズル空間から前記ノズル出口を通して前記基板に向けて粘性媒体を液滴の形態で噴射するインパクト装置(6)と、
噴射方向において前記噴射ノズルの後に配置されているセンサ・アレンジメント(5)とを備え、
前記センサ・アレンジメントは、その近傍を通過する粘性媒体の噴射液滴を検出するように構成されている、排出部。
A discharge part (1) for injecting a droplet (22) of a viscous medium onto a substrate (23),
An injection nozzle (2) comprising a nozzle space (3) and a nozzle outlet (4);
An impact device (6) that presses a volume of the viscous medium in the nozzle space, thereby ejecting the viscous medium from the nozzle space through the nozzle outlet toward the substrate in the form of droplets;
A sensor arrangement (5) arranged after the injection nozzle in the injection direction,
The sensor arrangement is a discharge unit configured to detect jetted droplets of a viscous medium passing in the vicinity thereof.
前記噴射方向において前記噴射ノズルの後に配置されているバキューム・ワッシャ(24)をさらに備え、前記センサ・アレンジメントは前記バキューム・ワッシャと一体化されている、請求項1に記載の排出部。   The discharge part according to claim 1, further comprising a vacuum washer (24) arranged behind the injection nozzle in the injection direction, wherein the sensor arrangement is integrated with the vacuum washer. 前記センサ・アレンジメントは1つの光学センサ装置を備える、請求項1又は2に記載の排出部。   The discharge part according to claim 1 or 2, wherein the sensor arrangement comprises one optical sensor device. 前記センサ・アレンジメントは複数の光学センサ装置を備える、請求項1又は2に記載の排出部。   The discharge unit according to claim 1, wherein the sensor arrangement includes a plurality of optical sensor devices. 前記複数の光学センサ装置は前記噴射液滴の軌道に対して垂直な平面に配置されている、請求項4に記載の排出部。   The discharge unit according to claim 4, wherein the plurality of optical sensor devices are arranged on a plane perpendicular to the trajectory of the ejected droplet. 前記複数の光学センサ装置は前記噴射液滴の軌道に沿って連続的に配置されている、請求項4に記載の排出部。   The discharge unit according to claim 4, wherein the plurality of optical sensor devices are continuously arranged along a trajectory of the ejected droplet. 前記基板に向けられており、前記基板上の粘性媒体の噴射液滴を検出するように構成されている基板センサ(5c)アレンジメントを備える、請求項1〜6の何れか一項に記載の排出部。   Discharge according to any of the preceding claims, comprising a substrate sensor (5c) arrangement directed to the substrate and configured to detect jetted droplets of a viscous medium on the substrate. Department. インパクト装置は圧電アクチュエータ(7)を備える、請求項1〜7の何れか一項に記載の排出部。   Ejector according to any one of the preceding claims, wherein the impact device comprises a piezoelectric actuator (7). 基板上に粘性媒体の液滴を噴射する方法であって、
ノズル空間及びノズル出口を備える噴射ノズルを提供する(102)工程と、
噴射方向において前記噴射ノズルの後にセンサ・アレンジメントを提供する(104)工程と、
前記ノズル空間中に前記粘性媒体を供給する(106)工程と、
前記ノズル空間における前記粘性媒体を押圧し(108)、それによって前記ノズル空間から前記ノズル出口を通して前記基板に向けて粘性媒体を液滴の形態で噴射する工程と、
前記センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在を反映するセンサ・パラメータを監視する(110)工程とを備える、方法。
A method of ejecting droplets of a viscous medium onto a substrate,
Providing an injection nozzle comprising a nozzle space and a nozzle outlet (102);
Providing a sensor arrangement after the injection nozzle in the injection direction (104);
Supplying the viscous medium into the nozzle space (106);
Pressing (108) the viscous medium in the nozzle space, thereby ejecting the viscous medium in the form of droplets from the nozzle space through the nozzle outlet toward the substrate;
Monitoring 110 sensor parameters reflecting the presence of viscous media in the sensor arrangement.
前記監視する工程は、
1つ以上の存在値(PV)を計算し(112)、それによって前記センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の前記存在を識別することを含み、前記計算は、前記センサ・パラメータの1つ以上のセンサ値(SV)と1つ以上の基準センサ値(SVref)との間の
比較を含む、請求項9に記載の方法。
The monitoring step includes
Calculating (112) one or more presence values (PV), thereby identifying the presence of the viscous medium in the sensor arrangement, wherein the calculation includes one or more sensor values of the sensor parameter 10. A method according to claim 9, comprising a comparison between (SV) and one or more reference sensor values (SVref).
液滴値(DV)を計算し(114)、それによって前記センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の液滴を識別する工程をさらに備え、前記計算は、異なる時間に測定される2つ以上の存在値(PV)間の比較を含む、請求項10に記載の方法。   Calculating (114) a droplet value (DV), thereby identifying a droplet of viscous media passing through the sensor arrangement, the calculation comprising two or more occurrences measured at different times 11. A method according to claim 10, comprising a comparison between values (PV). 液滴値(DV)を計算し、それによって前記センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の液滴を識別する工程をさらに備え、前記計算は、前記センサ・アレンジメントにおける粘性媒体の存在を表す基準存在値(PVref)以上である2つ以上の存在値(PV)をカウントすることを含み、前記2つ以上の存在値(PV)は異なる時間に測定される、請求項10に記載の方法。   Calculating a droplet value (DV), thereby identifying a droplet of viscous medium passing through the sensor arrangement, the calculation comprising a reference presence value representative of the presence of the viscous medium in the sensor arrangement 11. The method of claim 10, comprising counting two or more presence values (PV) that are greater than or equal to (PVref), wherein the two or more presence values (PV) are measured at different times. 前記ノズル空間の前記粘性媒体の前記押圧から、前記センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の液滴の前記識別までの経過時間を反映する経過時間パラメータ(LTP)を監視する(116)工程であって、前記経過時間パラメータ(LTP)は時間値(TV)を含む、工程と、
液滴押圧値(IDV)を計算し(118)、それによって前記押圧による液滴の噴射を確認する工程であって、前記計算は、前記時間値(TV)を基準時間値(TVref)と比較することを含む、工程と、をさらに備える、請求項11又は12に記載の方法。
Monitoring (116) an elapsed time parameter (LTP) reflecting an elapsed time from the pressing of the viscous medium in the nozzle space to the identification of the viscous medium droplet passing through the sensor arrangement; The elapsed time parameter (LTP) includes a time value (TV);
Calculating a droplet pressing value (IDV) (118), thereby confirming ejection of the droplet by the pressing, the calculation comparing the time value (TV) with a reference time value (TVref) 13. The method of claim 11 or 12, further comprising:
前記センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の第1の液滴と、前記センサ・アレンジメントを通過する粘性媒体の第2の液滴との間の経過時間を反映する液滴間隔時間パラメータ(DTP)を監視する(116)工程であって、前記液滴間隔時間パラメータ(DTP)は液滴間隔値(DIV)を含む、工程と、
液滴押圧値(IDV)を計算し(118)、それによってインパクト装置の押圧による液滴の噴射を確認する工程であって、前記計算は、前記液滴間隔値(DIV)を基準液滴間隔値(DIVref)と比較することを含む、工程と、をさらに備える、請求項11又は12に記載の方法。
A droplet interval time parameter (DTP) reflecting an elapsed time between a first droplet of the viscous medium passing through the sensor arrangement and a second droplet of the viscous medium passing through the sensor arrangement; Monitoring (116), wherein the droplet interval time parameter (DTP) includes a droplet interval value (DIV);
Calculating a droplet pressing value (IDV) (118), thereby confirming ejection of droplets by pressing of the impact device, wherein the calculation uses the droplet spacing value (DIV) as a reference droplet spacing The method according to claim 11, further comprising comparing with a value (DIVref).
前記センサ・アレンジメントは、前記噴射方向に連続的に配置されている2つ以上のセンサ装置を備え、前記方法は、
液滴速度値(DVV)を計算する(120)工程であって、前記計算は、少なくとも第1のセンサ装置からの少なくとも第1の存在値(PV)と、少なくとも第2のセンサ装置からの少なくとも第2の存在値(PV)との間の比較を含み、前記少なくとも第1の存在値(PV)及び前記少なくとも第2の存在値(PV)は、異なる時間に測定される、工程をさらに備える、請求項13に記載の方法。
The sensor arrangement comprises two or more sensor devices arranged sequentially in the injection direction, the method comprising:
Calculating (120) a droplet velocity value (DVV), the calculation comprising at least a first presence value (PV) from at least a first sensor device and at least from a second sensor device. Including a comparison between a second abundance value (PV), the at least a first abundance value (PV) and the at least a second abundance value (PV) being further measured at different times The method according to claim 13.
前記センサ・アレンジメントは前記噴射方向に連続的に配置されている2つ以上のセンサ装置を備え、前記方法は、
液滴長値(DLV)を計算する(122)工程であって、前記計算は、少なくとも第1のセンサ装置からの少なくとも第1の存在値(PV)と、少なくとも第2のセンサ装置からの少なくとも第2の存在値(PV)との間の比較を含み、前記少ない第1及び第2の存在値(PV)は異なる時間に測定される、工程をさらに備える、請求項13に記載の方法。
The sensor arrangement comprises two or more sensor devices arranged sequentially in the injection direction, the method comprising:
Calculating (122) a droplet length value (DLV), the calculation comprising at least a first presence value (PV) from at least a first sensor device and at least from a second sensor device; The method of claim 13, further comprising a comparison between a second abundance value (PV), wherein the low first and second abundance values (PV) are measured at different times.
前記センサ・アレンジメントは前記噴射方向に対して垂直な平面に配置されている2つ以上のセンサ装置をさらに備え、前記方法は、
液滴径値(DDIAV)を計算する(124)工程であって、前記計算は、少なくとも第1のセンサ装置及び第2のセンサ装置からの2つ以上の存在値(PV)間の比較を含み、前記2つ以上の存在値は同じ時間に測定される、工程と、
液滴長値(DLV)を計算する(122)工程であって、前記計算は、少なくとも第1のセンサ装置からの少なくとも第1の存在値(PV)と、少なくとも第2のセンサ装置からの少なくとも第2の存在値(PV)との間の比較を含み、前記第1の存在値(PV)及び前記第2の存在値(PV)は異なる時間に測定される、工程と、
前記液滴長値(DLV)及び前記液滴径値(DDIAV)に基づいて、液滴体積値(DVOLV)を計算する(126)工程と、をさらに備える、請求項16に記載の方法。
The sensor arrangement further comprises two or more sensor devices arranged in a plane perpendicular to the injection direction, the method comprising:
Calculating (124) a droplet size value (DDIAV), said calculation comprising a comparison between at least two presence values (PV) from at least a first sensor device and a second sensor device; The two or more abundance values are measured at the same time; and
Calculating (122) a droplet length value (DLV), the calculation comprising at least a first presence value (PV) from at least a first sensor device and at least from a second sensor device; Including a comparison between a second presence value (PV), wherein the first presence value (PV) and the second presence value (PV) are measured at different times;
17. The method of claim 16, further comprising calculating (126) a droplet volume value (DVOLV) based on the droplet length value (DLV) and the droplet diameter value (DDIAV).
押圧による噴射液滴が確認されていない場合に、前記基板上への粘性媒体の液滴の補充噴射を行う(128)工程をさらに備える、請求項13に記載の方法。   14. The method of claim 13, further comprising the step of replenishing (128) a droplet of a viscous medium onto the substrate when no ejected droplets due to pressing are identified. 前記液滴速度値(DVV)が液滴速度基準値(DVVref)を下回る場合に、前記基板上への粘性媒体の液滴の補充噴射を行う(128)工程をさらに備える、請求項15に記載の方法。   16. The method of claim 15, further comprising the step of (128) replenishing a droplet of a viscous medium onto the substrate when the droplet velocity value (DVV) is below a droplet velocity reference value (DVVref). the method of. 前記液滴体積値(DVOLV)が液滴体積基準値(DVOLVref)を下回る場合に、前記基板上への粘性媒体の液滴の補充噴射を行う(128)工程をさらに備える、請求項17に記載の方法。   18. The method of claim 17, further comprising performing a replenishment jet of a viscous medium droplet onto the substrate when the droplet volume value (DVOLV) is less than a droplet volume reference value (DVOLVref). the method of. 補充噴射は噴射プロセスの最中に行われる、請求項18〜20の何れか一項に記載の方法。   21. A method according to any one of claims 18 to 20, wherein the refill injection is performed during the injection process. 補充噴射は噴射プロセスの後に行われる、請求項18〜20の何れか一項に記載の方法。   21. A method according to any one of claims 18 to 20, wherein the refill injection is performed after the injection process. 補充噴射が追加の排出部によって行われる、請求項18〜22の何れか一項に記載の方法。   23. A method according to any one of claims 18 to 22, wherein the refill injection is performed by an additional discharge. 液滴速度値(DVV)が液滴速度基準値(DVVref)以下である場合に、前記ノズル空間の前記粘性媒体の前記押圧の強さを増加する(130)工程をさらに備える、請求項15に記載の方法。   16. The method of claim 15, further comprising a step (130) of increasing the pressure intensity of the viscous medium in the nozzle space when a droplet velocity value (DVV) is equal to or less than a droplet velocity reference value (DVVref). The method described. 液滴速度値(DVV)が液滴速度基準値(DVVref)を超える場合に、前記ノズル空間の前記粘性媒体の前記押圧の強さを減少する(132)工程をさらに備える、請求項15に記載の方法。   16. The method of claim 15, further comprising reducing (132) the pressure intensity of the viscous medium in the nozzle space when a droplet velocity value (DVV) exceeds a droplet velocity reference value (DVVref). the method of. 前記液滴体積値(DVOL)が液滴体積基準値(DVOLref)以下である場合に、前記ノズル空間への前記粘性媒体の供給速度を増加する(134)工程をさらに備える、請求項17に記載の方法。   18. The method of claim 17, further comprising increasing a supply speed of the viscous medium to the nozzle space when the droplet volume value (DVOL) is equal to or less than a droplet volume reference value (DVOLref). the method of. 前記液滴体積値(DVOL)が液滴体積基準値(DVOLref)を超える場合に、前記ノズル空間への前記粘性媒体の供給速度を減少する(136)工程をさらに備える、請求項17に記載の方法。   18. The method according to claim 17, further comprising the step of reducing (136) a supply speed of the viscous medium to the nozzle space when the droplet volume value (DVOL) exceeds a droplet volume reference value (DVOLref). Method. 前記基板に向けられる基板センサ・アレンジメントを提供する(105)工程と、
前記基板上の粘性媒体の存在を反映する基板センサ・パラメータ(SSP)を監視する(111)工程であって、前記基板センサ・パラメータ(SSP)は基板センサ値(SSV)を含む、工程と、
1つ以上の基板存在値(SPV)を計算し(113)、それによって前記基板上の粘性媒体の前記存在を識別する工程であって、前記計算は、前記基板センサ・パラメータ(SSP)の1つ以上の基板存在値(SPV)と1つ以上の基準基板存在値(SPVref)
との間の比較を含む、工程と、をさらに備える、請求項9〜27の何れか一項に記載の方法。
Providing a substrate sensor arrangement directed to the substrate (105);
Monitoring (111) a substrate sensor parameter (SSP) reflecting the presence of a viscous medium on the substrate, wherein the substrate sensor parameter (SSP) includes a substrate sensor value (SSV);
One or more substrate presence values (SPV) are calculated (113), thereby identifying the presence of the viscous medium on the substrate, the calculation comprising one of the substrate sensor parameters (SSP). One or more substrate presence values (SPV) and one or more reference substrate presence values (SPVref)
The method according to any one of claims 9 to 27, further comprising the step of:
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