JP2018006501A - Electronic component - Google Patents

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敬 小松
Takashi Komatsu
敬 小松
有子 高城
Yuko Takagi
有子 高城
寛子 ▲高▼▲柳▼
寛子 ▲高▼▲柳▼
Hiroko Takayanagi
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic component which can reduce the occurrence of a crack in a connection portion with a substrate or the like and which can retain good electrical conductivity.SOLUTION: A multilayer ceramic capacitor 1 comprises: a ceramic elemental body 10; an internal electrode 14 provided in the ceramic elemental body; and an external electrode 20 provided on a surface of the ceramic elemental body. The external electrode includes: a first external electrode layer 22 formed by enameling of metal paste; a second external electrode layer 24 formed on the first external electrode layer, and including a metal component and a resin component; and third external electrode layers 26, 28 formed on the second external electrode layer, and made of plated metal. The second external electrode layer includes: flake-like metal particles of 5-20 μm in diameter; and spherical metal particles of 5-100 nm in average particle diameter. In the second external electrode layer, the resin component is a thermosetting resin.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、電子部品、特にセラミック材料を用いた電子部品に関する。   The present invention relates to an electronic component, particularly an electronic component using a ceramic material.

コンデンサやインダクタ等のセラミック材料を用いる電子部品の多くは、セラミック材料からなる素体、素体内部に設けられた内部電極、及び、この内部電極と接続されるように素体表面上に設けられた外部電極を備える構成を有している。このような電子部品に対しては、従来から、素体と外部電極との物性の差に起因して生じる素体のクラック等を抑制するための方法が検討されている。   Many electronic parts using ceramic materials such as capacitors and inductors are provided on the surface of the element body so as to be connected to the element body made of the ceramic material, the internal electrode provided inside the element body, and the internal electrode. The external electrode is provided. For such electronic components, conventionally, methods for suppressing cracks in the element body caused by the difference in physical properties between the element body and the external electrode have been studied.

例えば、特許文献1には、上述した構造を有する電子部品の一例である積層セラミックコンデンサにおいて、外部電極を、素体側から第1〜第3外部電極層を備える3層構造とし、第2外部電極層として樹脂成分を含む層を設けるとともに、各層間の接合強度を所定の範囲内とすることが記載されている。この積層セラミックコンデンサにおいては、外力が第2導体層で吸収されること等によって、素体におけるクラックの発生が生じ難くなる。   For example, in Patent Document 1, in a multilayer ceramic capacitor that is an example of an electronic component having the above-described structure, the external electrode has a three-layer structure including first to third external electrode layers from the element body side, and the second external electrode It describes that a layer containing a resin component is provided as a layer and that the bonding strength between the respective layers is within a predetermined range. In this multilayer ceramic capacitor, the occurrence of cracks in the element body hardly occurs due to the external force absorbed by the second conductor layer and the like.

ところが、本発明者らが検討を行ったところ、電子部品が搭載された基板等に熱衝撃が加わった場合、基板と電子部品とは熱による膨張や収縮の度合いが大きく異なるため、電子部品と基板とのはんだによる接合部に応力が集中してクラックが入り易いことが判明した。そして、このような接合部におけるクラックの発生は、上記特許文献1のような、素体におけるクラック発生が低減された積層セラミックコンデンサを適用した場合であっても、特に車載用途等の厳しい環境下においては、十分に防止できない場合が多かった。   However, as a result of studies by the present inventors, when a thermal shock is applied to a substrate or the like on which an electronic component is mounted, the degree of expansion and contraction due to heat differs greatly between the substrate and the electronic component. It has been found that stress concentrates on the solder joint with the substrate and cracks are likely to occur. And even if such a crack is generated in the joint portion when a multilayer ceramic capacitor with reduced crack generation in the element body, such as the above-mentioned Patent Document 1, is applied, it is particularly in a severe environment such as in-vehicle use. In many cases, it could not be prevented sufficiently.

樹脂成分の比率を相対的に増加させると、第2外部電極層の応力緩和能力が向上するため、熱衝撃におけるクラック発生を抑制することが可能になるが、導電性が低下するため、コンデンサの重要な電気特性の一つであるESR(等価直列抵抗)が悪化する。 When the ratio of the resin component is relatively increased, the stress relaxation capability of the second external electrode layer is improved, so that it is possible to suppress the occurrence of cracks in thermal shock, but the conductivity is reduced. ESR (equivalent series resistance), which is one of important electrical characteristics, deteriorates.

特許文献2には、電子部品の構造として、金属成分が、比表面積0.5〜4m2/gのフレーク状金属粒子と平均粒径0.1〜10μmの塊状金属粒子を組み合わせた外部電極が記載されている。この電子部品においては、上記フレーク状金属粒子と塊状金属粒子の組み合わせにより、高い導電性を確保できるとしている。 Patent Document 2 describes, as an electronic component structure, an external electrode in which a metal component is a combination of flaky metal particles having a specific surface area of 0.5 to 4 m 2 / g and massive metal particles having an average particle size of 0.1 to 10 μm. Has been. In this electronic component, high conductivity can be secured by a combination of the flaky metal particles and the massive metal particles.

しかし、特許文献2に記載の電子部品の構造は、実質的に第1外部電極層を有していないため、特に薄層多層型電子部品の場合には、上記外部電極と内部電極との導電接続が困難となり、電子部品としての電気特性を発現することが難しい。 However, since the structure of the electronic component described in Patent Document 2 does not substantially have the first external electrode layer, in particular, in the case of a thin-layer multilayer electronic component, the electrical conductivity between the external electrode and the internal electrode. Connection becomes difficult, and it is difficult to develop electrical characteristics as an electronic component.

特開平11−219849号公報JP-A-11-219849 特開平10−284342号公報JP-A-10-284342

本発明は、熱衝撃において、基板等との接合部分におけるクラックの発生を低減でき、さらに高い導電接続性を有する、電子部品を提供することを目的とする。 It is an object of the present invention to provide an electronic component that can reduce the occurrence of cracks at a joint portion with a substrate or the like in thermal shock and has higher conductive connectivity.

セラミック素体と、前記セラミック素体の内部に設けられた内部電極と、前記セラミック素体の表面に設けられ、金属ペーストの焼き付けにより形成された第1の外部電極層と、前記第1の外部電極層上に形成されており、金属成分と樹脂成分を含有する第2の外部電極層と、前記第2の外部電極層上に形成されており、メッキ金属から成る第3の外部電極層とを備え、前記第2の外部電極層は、平均直径5〜20μmのフレーク状金属粒子と、平均粒径5〜100nmの球状金属粒子とを含み、前記第2の外部電極層中の前記樹脂成分が、熱硬化性樹脂であることを特徴とする。 A ceramic body, an internal electrode provided inside the ceramic body, a first external electrode layer provided on a surface of the ceramic body and formed by baking a metal paste, and the first external body A second external electrode layer formed on the electrode layer and containing a metal component and a resin component; a third external electrode layer formed on the second external electrode layer and made of a plated metal; The second external electrode layer includes flaky metal particles having an average diameter of 5 to 20 μm and spherical metal particles having an average particle diameter of 5 to 100 nm, and the resin component in the second external electrode layer Is a thermosetting resin.

本発明において、前記第2の外部電極層の断面積における前記フレーク状金属粒子と、前記球状金属粒子との面積比は、50:50〜90:10であることが好ましい。 In the present invention, the area ratio of the flaky metal particles to the spherical metal particles in the cross-sectional area of the second external electrode layer is preferably 50:50 to 90:10.

さらに、前記第2の外部電極層の断面積における前記フレーク状金属粒子及び前記球状金属粒子の面積と前記樹脂成分の面積との面積比が、40:60〜60:40であることが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the area ratio of the area of the flaky metal particles and the spherical metal particles and the area of the resin component in the cross-sectional area of the second external electrode layer is 40:60 to 60:40.

さらに、前記フレーク状金属粒子及び前記球状金属粒子は、Ni、Cu、Pd、Ag、Pt、Auのうち少なくとも一種以上を含むことが好ましい。 Furthermore, the flaky metal particles and the spherical metal particles preferably contain at least one or more of Ni, Cu, Pd, Ag, Pt, and Au.

さらに、熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂であることが好ましい。 Furthermore, the thermosetting resin is preferably an epoxy resin.

本発明において、第1の外部電極層は、たとえば、Ag、Ag−Pd、NiまたはCuを含む導電性ペーストを焼き付けることによって形成することができる。 In the present invention, the first external electrode layer can be formed, for example, by baking a conductive paste containing Ag, Ag—Pd, Ni, or Cu.

第1の外部電極層を形成することによって、内部電極および第2の外部電極層との導電接続性を効果的に確保することができる。   By forming the first external electrode layer, the conductive connectivity between the internal electrode and the second external electrode layer can be effectively ensured.

また、本発明において、上述した第3の外部電極層は、好ましくは、半田が第2の外部電極層中に拡散することを防止する金属からなる下層膜と、半田付け性の良好な金属からなる表層膜とを備える。具体的には、下層膜としてはNiが、また表層膜としてはSnが好ましい。 In the present invention, the third external electrode layer described above is preferably composed of a lower layer film made of a metal that prevents the solder from diffusing into the second external electrode layer, and a metal having good solderability. And a surface layer film. Specifically, Ni is preferable as the lower layer film and Sn is preferable as the surface layer film.

第2外部電極層におけるフレーク状金属粒子の平均直径は、5〜20μmである。平均直径が5μmより小さい場合、膜強度が低くなり、熱衝撃等の応力によってクラックが入りやすくなる。一方、平均直径が20μmより大きい場合、導電性が低くなり、ESRが高くなる。 The average diameter of the flaky metal particles in the second external electrode layer is 5 to 20 μm. When the average diameter is less than 5 μm, the film strength is low, and cracks are likely to occur due to stress such as thermal shock. On the other hand, when the average diameter is larger than 20 μm, the conductivity is low and the ESR is high.

第2外部電極層における球状金属粒子の平均粒径は、5〜100nmである。この微粒子を使用することにより、ESRが著しく改善された。これは、熱硬化樹脂の硬化時、上記微粒子が溶融し、フレーク状金属粒子間を導電接合するためと思われる。平均粒径が5nmより小さい場合、ペーストのチキソ性が高くなり、ディッピング法により膜形成した場合、形状が悪くなる。一方、平均粒径が100nmより大きい場合、導電性が低くなり、ESRが高くなる。 The average particle diameter of the spherical metal particles in the second external electrode layer is 5 to 100 nm. By using these fine particles, ESR was remarkably improved. This seems to be because when the thermosetting resin is cured, the fine particles are melted and conductively joined between the flaky metal particles. When the average particle size is smaller than 5 nm, the thixotropy of the paste is increased, and when the film is formed by the dipping method, the shape is deteriorated. On the other hand, when the average particle size is larger than 100 nm, the conductivity is low and the ESR is high.

第2外部電極層におけるフレーク状金属粒子と球状金属粒子は、Ni、Cu、Pd、Ag、Pt、Auから選ばれる少なくとも一つの金属、またはこれらの合金、またはこれらの金属粒子表面に他の金属が被覆した粒子が使用できる。   The flaky metal particles and the spherical metal particles in the second external electrode layer are at least one metal selected from Ni, Cu, Pd, Ag, Pt, and Au, or an alloy thereof, or another metal on the surface of the metal particles. Particles coated with can be used.

第2外部電極層におけるフレーク状金属粒子と球状金属粒子との面積比は、50:50〜90:10である。フレーク状金属粒子の面積比率が50%より低い場合、導電性が低くなり、ESRが高くなる。一方、フレーク状金属粒子の面積比率が90%より高い場合、ペーストのチキソ性が高くなり、ディッピング法により膜形成した場合、形状が悪くなる。   The area ratio between the flaky metal particles and the spherical metal particles in the second external electrode layer is 50:50 to 90:10. When the area ratio of the flaky metal particles is lower than 50%, the conductivity is low and the ESR is high. On the other hand, when the area ratio of the flaky metal particles is higher than 90%, the thixotropy of the paste is increased, and when the film is formed by the dipping method, the shape is deteriorated.

第2外部電極層における樹脂成分は、熱硬化性樹脂である。熱可塑性樹脂は、耐熱性、密着強度、並びにペースト作成の際に必要な溶剤溶解性を併せ持つ材料がほとんどなかった。   The resin component in the second external electrode layer is a thermosetting resin. The thermoplastic resin has almost no material having both heat resistance, adhesion strength, and solvent solubility necessary for paste preparation.

熱硬化性樹脂としては、たとえば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、レゾール型フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等が用いられるが、特に、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂またはエポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂が好適に用いられ、また、紫外線硬化性樹脂が用いられてもよい。   As the thermosetting resin, for example, epoxy resin, acrylic resin, melamine resin, phenol resin, polyimide resin, resol type phenol resin, unsaturated polyester resin, fluorine resin, silicone resin, etc. are used. A thermosetting resin such as a polyimide resin or an epoxy resin is preferably used, and an ultraviolet curable resin may be used.

フレーク状金属粒子と球状金属粒子の面積と樹脂成分の面積との面積比は、40:60〜60:40である。フレーク状金属粒子と球状金属粒子の面積比率が40%より低い場合、導電性が低くなり、ESRが高くなる。一方、フレーク状金属粒子と球状金属粒子の面積比率が60%より高い場合、相対的に樹脂成分の含有率が低くなるため、外部応力を吸収することができなくなり、例えば熱衝撃においてクラックが発生しやすくなる。 The area ratio between the area of the flaky metal particles and the spherical metal particles and the area of the resin component is 40:60 to 60:40. When the area ratio between the flaky metal particles and the spherical metal particles is lower than 40%, the conductivity becomes low and the ESR becomes high. On the other hand, when the area ratio between the flaky metal particles and the spherical metal particles is higher than 60%, the content of the resin component is relatively low, so that external stress cannot be absorbed, and cracks are generated, for example, in thermal shock. It becomes easy to do.

本発明によれば、回路基板に実装し、基板撓みや熱衝撃によって応力が発生しても、磁器素体にクラックが発生することがなく、さらにESRにも優れ、その結果、高品質かつ長期信頼性の電子部品を提供することができる。 According to the present invention, even if stress is generated by bending or thermal shock when mounted on a circuit board, the ceramic body does not crack, and also has excellent ESR, resulting in high quality and long-term performance. A reliable electronic component can be provided.

電子部品としては、特に限定されないが、積層セラミックコンデンサ、積層セラミックインダクタ、積層セラミックLC部品、多層セラミック基板等が例示される。 Examples of the electronic component include, but are not limited to, a multilayer ceramic capacitor, a multilayer ceramic inductor, a multilayer ceramic LC component, and a multilayer ceramic substrate.

図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサにおける第2の外部電極の断面のSEM写真である。FIG. 2 is an SEM photograph of a cross section of the second external electrode in the multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention.

本実施形態では、電子部品として、積層セラミックコンデンサを例示して説明する。 In the present embodiment, a multilayer ceramic capacitor will be described as an example of an electronic component.

積層セラミックコンデンサ
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層12と内部電極層14とが交互に積層された構成のコンデンサ素体10を有する。このコンデンサ素体10の両側端部には、素体10の内部で交互に配置された内部電極層14と各々導通する一対の外部電極20が形成してある。内部電極層14は、各側端面がコンデンサ素体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極20は、コンデンサ素体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層14の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。
Multilayer Ceramic Capacitor As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 according to an embodiment of the present invention includes a capacitor body 10 having a configuration in which dielectric layers 12 and internal electrode layers 14 are alternately stacked. A pair of external electrodes 20 are formed on both side ends of the capacitor body 10 so as to be electrically connected to the internal electrode layers 14 arranged alternately in the body 10. The internal electrode layers 14 are laminated so that the side end faces are alternately exposed on the surfaces of the two opposite ends of the capacitor body 10. The pair of external electrodes 20 are formed at both ends of the capacitor body 10 and connected to the exposed end surfaces of the alternately arranged internal electrode layers 14 to constitute a capacitor circuit.

コンデンサ素体10の外形や寸法には特に制限はなく、用途に応じて適宜設定することができ、通常、外形はほぼ直方体形状とし、寸法は通常、縦(0.4〜5.6mm)×横(0.2〜5.0mm)×高さ(0.2〜1.9mm)程度とすることができる。 The outer shape and dimensions of the capacitor body 10 are not particularly limited and can be appropriately set depending on the application. Usually, the outer shape is substantially a rectangular parallelepiped shape, and the dimensions are usually vertical (0.4 to 5.6 mm) × It can be about horizontal (0.2-5.0 mm) × height (0.2-1.9 mm).

誘電体層12は、セラミック材料を含む誘電材料から構成される。誘電材料に含まれるセラミック材料としては、コンデンサとしての優れた特性を得るため、高い誘電率を有する材料が好ましい。例えば、チタン酸バリウム(BaTiO3)系材料、鉛複合ペロブスカイト化合物系材料、チタン酸ストロンチウム系(SrTiO3)系材料等が好適である。 The dielectric layer 12 is made of a dielectric material including a ceramic material. The ceramic material contained in the dielectric material is preferably a material having a high dielectric constant in order to obtain excellent characteristics as a capacitor. For example, barium titanate (BaTiO3) -based materials, lead composite perovskite compound-based materials, strontium titanate-based (SrTiO3) -based materials, and the like are suitable.

内部電極14としては、例えばNiやNi合金からなるものが挙げられる。Ni合金としては、95質量%以上のNiと、Mn、Cr、Co、Al等の少なくとも一種を含有するものが好ましい。 Examples of the internal electrode 14 include those made of Ni or Ni alloy. As the Ni alloy, an alloy containing 95% by mass or more of Ni and at least one of Mn, Cr, Co, Al and the like is preferable.

外部電極20は、図1に示されるように、焼付けにより形成された第1外部電極層22、金属成分及び樹脂成分を含む第2外部電極層24、第1めっき層26及び第2めっき層28からなる第3外部電極層を有しており、この順に誘電体素体10から外方に向かって配置されている。 As shown in FIG. 1, the external electrode 20 includes a first external electrode layer 22 formed by baking, a second external electrode layer 24 containing a metal component and a resin component, a first plating layer 26, and a second plating layer 28. The third external electrode layer is formed from the dielectric element body 10 in this order toward the outside.

積層セラミックコンデンサの製造方法
次に、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1の製造方法の一例を説明する。
Method for Manufacturing Multilayer Ceramic Capacitor Next, an example of a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 according to this embodiment will be described.

まず、誘電体層12を構成する誘電材料の原料を準備する。例えば、セラミック材料の原料としては、セラミック材料を構成する各金属元素の酸化物等が挙げられる。この原料を混合した後、800〜1300℃程度で仮焼成する。この仮焼成物を、ジェットミルやボールミル等により所望の粒径となるまで粉砕する。その後、粉砕物にバインダーや可塑剤等を添加して、誘電体層12形成用のペースト(以下、「誘電体ペースト」という)を得る。 First, a raw material of a dielectric material that constitutes the dielectric layer 12 is prepared. For example, examples of the raw material for the ceramic material include oxides of metal elements constituting the ceramic material. After mixing this raw material, it is temporarily fired at about 800-1300 ° C. The temporarily fired product is pulverized by a jet mill, a ball mill or the like until a desired particle size is obtained. Thereafter, a binder, a plasticizer, and the like are added to the pulverized product to obtain a paste for forming the dielectric layer 12 (hereinafter referred to as “dielectric paste”).

誘電体ペースト中の各成分の含有量は、特に限定されるものではなく、たとえば、約10〜約50重量%の溶剤を含むように、誘電体ペーストを調製することができる。 Content of each component in a dielectric paste is not specifically limited, For example, a dielectric paste can be prepared so that about 10 to about 50 weight% of solvent may be included.

誘電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、誘電体、副成分化合物、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されていてもよい。誘電体ペースト中に、これらの添加物を添加する場合には、総含有量を、約10重量%以下にすることが望ましい。 The dielectric paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, subcomponent compounds, glass frit, insulators, and the like, if necessary. When these additives are added to the dielectric paste, the total content is desirably about 10% by weight or less.

本実施形態では、有機ビヒクル中の有機バインダにポリビニルブチラールを用いるので、この場合の可塑剤の含有量は、バインダ100重量部に対して、約25〜約100重量部であることが好ましい。 In this embodiment, since polyvinyl butyral is used for the organic binder in the organic vehicle, the plasticizer content in this case is preferably about 25 to about 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder.

次に、この誘電体ペーストを用いて、ドクターブレード法などにより、キャリアシート上に、好ましくは0.3〜10μm、より好ましくは0.3〜5μm、さらに好ましくは0.3〜2μm程度の厚みで、セラミックグリーンシートを形成する。セラミックグリーンシートは、焼成後に図1に示す誘電体層2となる。 Next, a thickness of about 0.3 to 10 μm, more preferably 0.3 to 5 μm, and even more preferably about 0.3 to 2 μm is formed on the carrier sheet using this dielectric paste by a doctor blade method or the like. Then, a ceramic green sheet is formed. The ceramic green sheet becomes the dielectric layer 2 shown in FIG. 1 after firing.

キャリアシートとしては、たとえばPETフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、シリコーンなどがコーティングしてあるものが好ましい。キャリアシートの厚みは、特に限定されないが、好ましくは5〜100μmである。 As the carrier sheet, for example, a PET film or the like is used, and a film coated with silicone or the like is preferable in order to improve peelability. Although the thickness of a carrier sheet is not specifically limited, Preferably it is 5-100 micrometers.

セラミックグリーンシートは、キャリアシートに形成された後に乾燥される。セラミックグリーンシートの乾燥温度は、好ましくは50〜100℃であり、乾燥時間は、好ましくは1〜20分である。 The ceramic green sheet is dried after being formed on the carrier sheet. The drying temperature of the ceramic green sheet is preferably 50 to 100 ° C., and the drying time is preferably 1 to 20 minutes.

次に、キャリアシート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に、焼成後に図1に示す内部電極層14となる所定パターンの電極層(内部電極パターン)を形成する。 Next, an electrode layer (internal electrode pattern) having a predetermined pattern to be the internal electrode layer 14 shown in FIG. 1 is formed on the surface of the ceramic green sheet formed on the carrier sheet.

内部電極層の厚さは、好ましくは2μm以下、より好ましくは0.3〜1.0μmである。内部電極層の厚さが厚すぎると、積層数を減少せざるをえなくなり取得容量が少なくなり、高容量化しにくくなる。一方、厚みが薄すぎると均一に形成することが困難であり、電極途切れが発生しやすくなる。 The thickness of the internal electrode layer is preferably 2 μm or less, more preferably 0.3 to 1.0 μm. If the thickness of the internal electrode layer is too large, the number of stacked layers must be reduced, and the acquired capacity is reduced, making it difficult to increase the capacity. On the other hand, if the thickness is too thin, it is difficult to form uniformly, and electrode breakage is likely to occur.

内部電極層の厚さは、現状の技術では前記範囲の程度であるが、電極の途切れが生じない範囲で薄い方がより望ましい。 The thickness of the internal electrode layer is in the above range in the current technology, but it is more desirable that the thickness is as small as possible in the range where the electrode is not interrupted.

内部電極層の形成方法は、層を均一に形成できる方法であれば特に限定されないが、本実施形態では、導電性ペーストを用いたスクリーン印刷法が用いられる。 The method for forming the internal electrode layer is not particularly limited as long as the layer can be formed uniformly. In this embodiment, a screen printing method using a conductive paste is used.

内部導電性ペースト中には、上記誘電体ペーストに含まれるセラミック粉体と同じセラミック粉体が共材として含まれていても良い。共材は、焼成過程において導電性粉末の焼結を抑制する作用を奏する。セラミック粉体(共材)は、導電性ペースト中に、導電性粉末100重量部に対して、好ましくは5〜30重量部で含まれる。共材量が少なすぎると、導電性粉末の焼結抑制効果が低下し、内部電極のライン性(連続性)が悪化し、見かけの誘電率が低下する。一方で、共材量が多すぎると、内部電極のライン性が悪化しやすくなり、見かけの誘電率も低下する傾向にある。 In the internal conductive paste, the same ceramic powder as the ceramic powder contained in the dielectric paste may be contained as a co-material. The common material has an effect of suppressing the sintering of the conductive powder in the firing process. The ceramic powder (co-material) is preferably contained in the conductive paste in an amount of 5 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive powder. If the amount of the co-material is too small, the sintering suppressing effect of the conductive powder is lowered, the lineability (continuity) of the internal electrode is deteriorated, and the apparent dielectric constant is lowered. On the other hand, if the amount of the co-material is too large, the lineability of the internal electrode tends to deteriorate and the apparent dielectric constant tends to decrease.

接着性の改善のために、導電性ペーストには、可塑剤が含まれてもよい。可塑剤としては、フタル酸ベンジルブチル(BBP)などのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが例示される。本実施形態では、好ましくは、アジピン酸ジオクチル(DOA)、フタル酸ブチルブチレングリコール(BPBG)、フタル酸ジドデシル(DDP)、フタル酸ジブチル(DBP)、フタル酸ベンジルブチル(BBP)、フタル酸ジオクチル(DOP)、セバシン酸ジブチルなどが用いられる。中でも、フタル酸ジオクチル(DOP)が特に好ましい。可塑剤は、有機ビヒクル中の有機バインダ100重量部に対して、好ましくは25〜150重量部、より好ましくは25〜100重量部で含有される。可塑剤の添加により、そのペーストを用いて形成される内部電極層の接着力は高まり、内部電極層とセラミックグリーンシートとの接着力が向上する。このような効果を得るためには、可塑剤の添加量は、25重量部以上が好ましい。ただし添加量が150重量部を越えると、そのペーストを用いて形成される内部電極層から過剰な可塑剤が滲み出すため好ましくない。 In order to improve adhesion, the conductive paste may contain a plasticizer. Examples of the plasticizer include phthalic acid esters such as benzylbutyl phthalate (BBP), adipic acid, phosphoric acid esters, glycols, and the like. In the present embodiment, preferably, dioctyl adipate (DOA), butyl butylene glycol phthalate (BPBG), didodecyl phthalate (DDP), dibutyl phthalate (DBP), benzyl butyl phthalate (BBP), dioctyl phthalate ( DOP), dibutyl sebacate and the like are used. Of these, dioctyl phthalate (DOP) is particularly preferable. The plasticizer is contained in an amount of preferably 25 to 150 parts by weight, more preferably 25 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the organic binder in the organic vehicle. By adding the plasticizer, the adhesive force of the internal electrode layer formed using the paste is increased, and the adhesive force between the internal electrode layer and the ceramic green sheet is improved. In order to obtain such an effect, the amount of the plasticizer added is preferably 25 parts by weight or more. However, if the addition amount exceeds 150 parts by weight, it is not preferable because excessive plasticizer oozes out from the internal electrode layer formed using the paste.

導電性ペーストは、上記各成分を、ボールミルなどで混練し、スラリー化することにより得ることができる。 The conductive paste can be obtained by kneading the above components with a ball mill or the like to form a slurry.

次に、以上のような、所定パターンの内部電極層が表面に形成されたセラミックグリーンシートを複数積層して、グリーンチップを作製し、脱バインダ工程、焼成工程、必要に応じて行われるアニール工程を経て形成された、焼結体で構成されるコンデンサ素体10が製造される。 Next, a plurality of ceramic green sheets with internal electrode layers of a predetermined pattern formed on the surface as described above are laminated to produce a green chip, and a binder removal process, a firing process, and an annealing process performed as necessary Thus, the capacitor body 10 made of a sintered body is formed.

それから、素体10において内部電極14の端部が露出している2つの端面に、第1の外部電極層22を構成するCu等の金属を焼き付け、当該端面の表面上に第1の外部電極層22を形成する。具体的には、例えば、金属にバインダー等を添加した導電性ペーストを上記端面に塗布した後、800℃程度の温度で焼成することにより、第1の外部電極層22を形成することができる。   Then, a metal such as Cu constituting the first external electrode layer 22 is baked on the two end surfaces of the element body 10 where the end portions of the internal electrodes 14 are exposed, and the first external electrode is formed on the surface of the end surface. Layer 22 is formed. Specifically, for example, the first external electrode layer 22 can be formed by applying a conductive paste in which a binder or the like is added to a metal to the end face and then baking at a temperature of about 800 ° C.

次いで、第1の外部電極層22を覆うように、上述した第2の外部電極層24を形成するための導電材料及びエポキシ樹脂を含む導電性ペースト(導電性樹脂材料)を塗布する。塗布後、150〜250℃程度の加熱を行うことで導電性ペースト中のエポキシ樹脂を硬化させ、これにより第1の外部電極層22の表面上に第2の外部電極層24を形成する。   Next, a conductive paste (conductive resin material) containing the above-described conductive material and epoxy resin for forming the second external electrode layer 24 is applied so as to cover the first external electrode layer 22. After application, the epoxy resin in the conductive paste is cured by heating at about 150 to 250 ° C., thereby forming the second external electrode layer 24 on the surface of the first external electrode layer 22.

さらに、電解めっき等の湿式めっき法により、第2の電極層24を覆うようにNi等からなる第3の電極層26を形成する。そして、第3の電極層26の表面上に、同様にしてSn等からなる第4の電極層28を形成する。こうして、図1に示す構造を有するコンデンサ1が得られる。   Further, a third electrode layer 26 made of Ni or the like is formed so as to cover the second electrode layer 24 by a wet plating method such as electrolytic plating. Then, a fourth electrode layer 28 made of Sn or the like is formed on the surface of the third electrode layer 26 in the same manner. In this way, the capacitor 1 having the structure shown in FIG. 1 is obtained.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。 As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the embodiment mentioned above at all, and can be variously modified within the range which does not deviate from the summary of this invention.

たとえば、上述した実施形態では、本発明に係る積層セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、本発明に係る積層セラミック電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限定されず、多層セラミック基板などにも適用できることは勿論である。 For example, in the above-described embodiment, the multilayer ceramic capacitor is exemplified as the multilayer ceramic electronic component according to the present invention. However, the multilayer ceramic electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and may be applied to a multilayer ceramic substrate or the like. Of course, it can be applied.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。 Hereinafter, although this invention is demonstrated based on a more detailed Example, this invention is not limited to these Examples.

実施例1
まず、チタン酸バリウムからなる誘電体層と、ニッケルからなる内部電極層とが、誘電体層が両外側となるように配置された素体を準備した。次いで、この素体における対向する一対の端面に、Cu、ガラスフリット及び有機バインダーとしてエチルセルロースを含む導電性ペーストを塗布した後、800℃で焼成して、素体の両端面上に第1の外部電極層を形成した。
Example 1
First, an element body was prepared in which a dielectric layer made of barium titanate and an internal electrode layer made of nickel were arranged so that the dielectric layers were on both outer sides. Next, a conductive paste containing Cu, glass frit, and ethyl cellulose as an organic binder is applied to a pair of opposing end faces of the element body, and then fired at 800 ° C. to form first external surfaces on both end faces of the element body. An electrode layer was formed.

次に、第1の外部電極層の表面上に、平均直径10μmのフレーク状Ag粉末58.0重量%、平均粒径20nmの球状Ag粉末16.3重量%、分子量2900のビスフェノールA型エポキシ樹脂(主剤)6.5重量%、ノボラック型フェノール樹脂(硬化剤)1.3重量%、及び、ターピネオール(溶剤)18重量%を含む導電性ペーストを塗布した。次いで、200℃、60分の加熱を行い、導電性ペーストを硬化させて、第1の外部電極層上に第2の外部電極層を形成した。 Next, on the surface of the first external electrode layer, bisphenol A type epoxy resin having a flake Ag powder having an average diameter of 10 μm, 58.0 wt%, a spherical Ag powder having an average particle diameter of 20 nm, 16.3% by weight, and a molecular weight of 2900. A conductive paste containing 6.5% by weight of (main agent), 1.3% by weight of novolac-type phenolic resin (curing agent), and 18% by weight of terpineol (solvent) was applied. Next, heating was performed at 200 ° C. for 60 minutes to cure the conductive paste, thereby forming a second external electrode layer on the first external electrode layer.

その後、第2の外部電極層の表面上に、電解めっき法によりNiめっき層及びSnめっき層を順次形成して、第3の外部電極層を形成させ、素体の両端面に外部電極を備える積層コンデンサ素子を完成させた。
[熱衝撃試験]
Thereafter, a Ni plating layer and a Sn plating layer are sequentially formed on the surface of the second external electrode layer by electrolytic plating to form a third external electrode layer, and external electrodes are provided on both end faces of the element body. A multilayer capacitor element was completed.
[Thermal shock test]

上記コンデンサ素子を、基板上にはんだ付けすることにより固定したサンプルを作製した。このサンプルに対し、−55℃で30分の冷却、及び、125℃で30分の加熱を1つのサイクルとする熱衝撃を3000サイクル行い、かかる試験後に、はんだ付け部分にクラックが生じているか否かを確認した。サンプル50個ずつを試験に用い、そのうちのクラックの発生が見られたサンプルの数を数えた。得られた結果を表1に示す。
[ESR試験]
A sample in which the capacitor element was fixed on the substrate by soldering was prepared. This sample was subjected to 3000 cycles of thermal shock with cooling at −55 ° C. for 30 minutes and heating at 125 ° C. for 30 minutes as one cycle. I confirmed. Fifty samples were used for the test, and the number of samples in which cracks were observed was counted. The obtained results are shown in Table 1.
[ESR test]

インピーダンスアナライザーを使用し、1kHzにおけるESRを測定した。結果を表1に示す。
[第二の外部電極層の膜厚]
An ESR at 1 kHz was measured using an impedance analyzer. The results are shown in Table 1.
[Film thickness of second external electrode layer]

コンデンサ素子を研磨加工し、中央部の第2の外部電極の膜厚を測定した。   The capacitor element was polished, and the thickness of the second external electrode at the center was measured.

(実施例2〜5、比較例1〜4)
第2の外部電極層を形成するための導電性ペーストとして、フレーク状Ag粉末の平均直径、及び球状Ag粉末の平均粒径を表1のように変えたものを用いた以外は、実施例1と同様にしてコンデンサ素子を得た。結果を表1に示す。

Figure 2018006501
(Examples 2-5, Comparative Examples 1-4)
Example 1 except that the conductive paste for forming the second external electrode layer was obtained by changing the average diameter of the flaky Ag powder and the average particle diameter of the spherical Ag powder as shown in Table 1. In the same manner, a capacitor element was obtained. The results are shown in Table 1.
Figure 2018006501

表1の実施例1〜5に示すように、第2の外部電極に使用するAg粉末を、フレーク状では平均直径5〜20μm、球状では平均粒径5〜100nmとした場合、熱衝撃試験においてクラックが発生せず、ESRが低かった。   As shown in Examples 1 to 5 in Table 1, when the Ag powder used for the second external electrode has an average diameter of 5 to 20 μm in the flake shape and an average particle size of 5 to 100 nm in the spherical shape, in the thermal shock test Cracks did not occur and ESR was low.

一方、比較例1では、熱衝撃試験においてクラックが発生した。これは、フレーク状Ag粉の平均直径が3μmと小さいため、膜強度が低くなり、熱衝撃の応力によってクラックが入りやすくなったためと考えられる。   On the other hand, in Comparative Example 1, cracks occurred in the thermal shock test. This is thought to be because the average diameter of the flaky Ag powder was as small as 3 μm, so that the film strength was low, and cracks were easily generated due to thermal shock stress.

また、比較例2では、ESRが高かった。これは、フレーク状Ag粉の平均直径が25μmと大きいので、相対的に比表面積が低くなり、Ag粉同士の接触確率が低くなったためと考えられる。 In Comparative Example 2, ESR was high. This is probably because the average diameter of the flaky Ag powder was as large as 25 μm, so that the specific surface area was relatively low, and the contact probability between Ag powders was low.

また、比較例3では、膜厚が厚かった。これは、球状Ag粉の平均粒径が3nmと小さいため、ペーストのチキソ性が高くなり、ディッピング法による膜形成ではレベリングしづらいため、厚くなったと考えられる。このように膜厚が厚いと、コンデンサ素子の長さが規格を外れる場合があり、歩留り低下につながる。   Moreover, in the comparative example 3, the film thickness was thick. This is probably because the spherical Ag powder has a small average particle size of 3 nm, so that the thixotropy of the paste is high, and it is difficult to level in film formation by the dipping method. When the film thickness is thus large, the length of the capacitor element may deviate from the standard, leading to a decrease in yield.

また、比較例4では、ESRが高かった。これは、球状Ag粉の平均粒径が120nmと大きいので、エポキシ樹脂の硬化温度において、球状Ag粉が溶融しないため、フレーク状金属粒子間の導電接合が低下したためと考えられる。 In Comparative Example 4, ESR was high. This is thought to be because the spherical Ag powder does not melt at the curing temperature of the epoxy resin because the average particle diameter of the spherical Ag powder is as large as 120 nm, so that the conductive bonding between the flaky metal particles is reduced.

(実施例6〜7、比較例5〜6)
第2の外部電極層を形成するための導電性ペーストとして、フレーク状Ag粉末及び球状Ag粉末の添加量を表2のように変えた以外は、実施例1と同様にしてコンデンサ素子を得た。結果を表2に示す。

Figure 2018006501
(Examples 6-7, Comparative Examples 5-6)
As a conductive paste for forming the second external electrode layer, a capacitor element was obtained in the same manner as in Example 1 except that the addition amounts of flaky Ag powder and spherical Ag powder were changed as shown in Table 2. . The results are shown in Table 2.
Figure 2018006501

フレーク状Ag粉末と球状Ag粉末の面積比は、各Ag粉の添加量より計算にて求めた。
表2の実施例1、実施例6〜7に示すように、第2の外部電極に使用するフレーク状Ag粉と球状Ag粉の面積比を50:50〜80:20とした場合、熱衝撃試験においてクラックが発生せず、ESRも低く、さらに膜厚も良好であった。
The area ratio between the flaky Ag powder and the spherical Ag powder was determined by calculation from the added amount of each Ag powder.
As shown in Example 1 and Examples 6 to 7 in Table 2, when the area ratio of the flaky Ag powder and the spherical Ag powder used for the second external electrode is 50:50 to 80:20, thermal shock In the test, no crack was generated, the ESR was low, and the film thickness was also good.

一方、比較例5では、ESRが高かった。これは、フレーク状Ag粉の面積比率が低いので、Ag粉同士の接触確率が低くなったためと考えられる。 On the other hand, in Comparative Example 5, the ESR was high. This is presumably because the contact ratio between the Ag powders was low because the area ratio of the flaky Ag powder was low.

また、比較例6では、膜厚が厚かった。これは、フレーク状Ag粉の面積比率が高いため、ペーストのチキソ性が高くなり、ディッピング法による膜形成ではレベリングしずらいため、厚くなったと考えられる。   Moreover, in the comparative example 6, the film thickness was thick. This is presumably because the area ratio of the flaky Ag powder is high, so that the thixotropy of the paste is high, and it is difficult to level in film formation by the dipping method, so that it becomes thick.

(実施例8〜9、比較例7〜8)
第2の外部電極層を形成するための導電性ペーストとして、フレーク状Ag粉末、球状Ag粉末、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の添加量を表3のように変えた以外は、実施例1と同様にしてコンデンサ素子を得た。結果を表3に示す。

Figure 2018006501
(Examples 8-9, Comparative Examples 7-8)
As the conductive paste for forming the second external electrode layer, the same procedure as in Example 1 was conducted except that the addition amounts of flaky Ag powder, spherical Ag powder, epoxy resin and phenol resin were changed as shown in Table 3. Thus, a capacitor element was obtained. The results are shown in Table 3.
Figure 2018006501

Ag粉末と樹脂成分の面積比は、図2に示す第2の外部電極の断面SEM写真より、画像解析により求めた。
表3の実施例1、実施例8〜9に示すように、第2の外部電極に使用するAg粉と樹脂成分の面積比を42:58〜58:42とした場合、熱衝撃試験においてクラックが発生せず、ESRも低く、さらに膜厚も良好であった。
The area ratio between the Ag powder and the resin component was determined by image analysis from the cross-sectional SEM photograph of the second external electrode shown in FIG.
As shown in Example 1 and Examples 8 to 9 in Table 3, when the area ratio between the Ag powder used for the second external electrode and the resin component was 42:58 to 58:42, cracks occurred in the thermal shock test. , Low ESR, and good film thickness.

一方、比較例7では、ESRが高かった。これは、Ag粉の面積比率が低いので、Ag粉同士の接触確率が低くなったためと考えられる。 On the other hand, in Comparative Example 7, the ESR was high. This is presumably because the contact ratio between Ag powders is low because the area ratio of Ag powders is low.

また、比較例8では、熱衝撃試験においてクラックが発生した。これは、Ag粉の面積比率が高いため、相対的に樹脂成分の含有率が低くなり、外部応力を吸収することができなくなったためと考えられる。   In Comparative Example 8, cracks occurred in the thermal shock test. This is presumably because the content ratio of the resin component was relatively low due to the high area ratio of Ag powder, and external stress could not be absorbed.

本発明は、積層セラミックコンデンサなどの電子部品の外部電極として利用できる。 The present invention can be used as an external electrode of an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.

1… 積層セラミックコンデンサ
10… コンデンサ素体
12… 誘電体層
14… 内部電極層
20… 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer ceramic capacitor 10 ... Capacitor body 12 ... Dielectric layer 14 ... Internal electrode layer 20 ... External electrode

Claims (5)

セラミック素体と、
前記セラミック素体の内部に設けられた内部電極と、
前記セラミック素体の表面に設けられ、金属ペーストの焼き付けにより形成された第1の外部電極層と、
前記第1の外部電極層上に形成されており、金属成分と樹脂成分を含有する第2の外部電極層と、
前記第2の外部電極層上に形成されており、メッキ金属から成る第3の外部電極層とを備え、
前記第2の外部電極層は、平均直径5〜20μmのフレーク状金属粒子と、平均粒径5〜100nmの球状金属粒子とを含み、
前記第2の外部電極層中の前記樹脂成分が、熱硬化性樹脂であることを特徴とする電子部品。
A ceramic body,
An internal electrode provided inside the ceramic body;
A first external electrode layer provided on the surface of the ceramic body and formed by baking a metal paste;
A second external electrode layer formed on the first external electrode layer and containing a metal component and a resin component;
A third external electrode layer made of plated metal, formed on the second external electrode layer;
The second external electrode layer includes flaky metal particles having an average diameter of 5 to 20 μm and spherical metal particles having an average particle diameter of 5 to 100 nm,
The electronic component, wherein the resin component in the second external electrode layer is a thermosetting resin.
前記第2の外部電極層の断面積における前記フレーク状金属粒子と、前記球状金属粒子との面積比が、50:50〜90:10である、請求項1に記載の電子部品。 2. The electronic component according to claim 1, wherein an area ratio of the flaky metal particles and the spherical metal particles in a cross-sectional area of the second external electrode layer is 50:50 to 90:10. 前記第2の外部電極層の断面積における前記フレーク状金属粒子及び前記球状金属粒子の面積と前記樹脂成分の面積との面積比が、40:60〜60:40である、請求項1または2いずれかに記載の電子部品。 The area ratio of the areas of the flaky metal particles and the spherical metal particles and the area of the resin component in the cross-sectional area of the second external electrode layer is 40:60 to 60:40. Electronic component in any one. 前記フレーク状金属粒子及び前記球状金属粒子は、Ni、Cu、Pd、Ag、Pt、Auのうち少なくとも一種以上を含む、請求項1〜3いずれかに記載の電子部品。 The electronic component according to claim 1, wherein the flaky metal particles and the spherical metal particles include at least one of Ni, Cu, Pd, Ag, Pt, and Au. 前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂である、請求項1〜4いずれかに記載の電子部品。 The electronic component according to claim 1, wherein the thermosetting resin is an epoxy resin.
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