JP2018006050A - Time-of-flight mass spectrometer - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the number of times of measuring a calibrant by reducing a height variation caused by a positional difference on a plate caused by a mechanical error in a movement mechanism configured to move a plate holder in two axis directions.SOLUTION: A metallic plate holder 3 is mounted directly on a flat bottom face plate 1a of a specimen chamber. At a lower side of the bottom face plate 1a, a linear guide 21 extending in an (x) axis direction is disposed and on a movable part 21a of the linear guide 21, a linear guide 22 extending in a (y) axis direction is fixed. On a movable part 22a of the linear guide 22, a magnet 23 is fixed, and the plate holder 3 is attracted by a magnetic force of the magnet 23 while interposing the bottom face plate 1a therebetween. When the magnet 23 is moved in a two-dimensional manner via the linear guides 21, 22 by a motor or the like, the plate holder 3 is also moved in a two-dimensional manner while following that movement. The flat bottom face plate 1a regulates a position of the plate holder 3 in a (z) axis direction, thereby suppressing displacement in a height of a specimen on the plate 3 with movements.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は飛行時間型質量分析装置に関し、さらに詳しくは、試料にレーザ光、電子線、イオン線、中性原子線などを照射して該試料中の成分をイオン化するイオン源を備えた飛行時間型質量分析装置に関する。   The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer, and more particularly, a time-of-flight provided with an ion source that ionizes components in the sample by irradiating the sample with a laser beam, an electron beam, an ion beam, a neutral atomic beam, or the like. The present invention relates to a type mass spectrometer.

固体状の試料にレーザ光を照射して該試料中の成分をイオン化する手法として、マトリクス支援レーザ脱離イオン化(MALDI)法がよく知られている。MALDI法によるイオン源を搭載した飛行時間型質量分析装置(以下、慣用に従って「MALDI−TOFMS」と称す)では、一般に、平板状であるサンプルプレート上に保持されている試料に対してパルス的にレーザ光を照射し、該試料に含まれる成分由来のイオンを発生させる。そして、試料の上方に配置した電極により生成した電場によって上記各種イオンに一定の加速エネルギを付与して飛行空間に導入し、それらイオンが一定距離である飛行空間を飛行して検出器に到達するまでの飛行時間をそれぞれ計測する。各イオンの飛行時間はそのイオンの質量電荷比と所定の関係を有する。そこで、この関係を利用して、計測された飛行時間を質量電荷比に換算し、例えば質量電荷比とイオン強度との関係を示すマススペクトルを作成する。   A matrix-assisted laser desorption / ionization (MALDI) method is well known as a technique for irradiating a solid sample with laser light to ionize components in the sample. In a time-of-flight mass spectrometer (hereinafter referred to as “MALDI-TOFMS” in accordance with common practice) equipped with an ion source based on the MALDI method, a sample held on a flat sample plate is generally pulsed. Irradiation with laser light generates ions derived from components contained in the sample. Then, a constant acceleration energy is given to the various ions by an electric field generated by an electrode arranged above the sample and introduced into the flight space, and these ions fly through the flight space of a certain distance and reach the detector. Each flight time is measured. The time of flight of each ion has a predetermined relationship with the mass-to-charge ratio of that ion. Therefore, using this relationship, the measured time of flight is converted into a mass-to-charge ratio, and for example, a mass spectrum indicating the relationship between the mass-to-charge ratio and the ion intensity is created.

一般的なMALDI−TOFMSでは、サンプルプレート上に測定対象である試料をスポッティングするためのウェルと呼ばれる凹部(場合によっては凹部はなく単にスポット位置のみが示されていることもある)が行列状に多数形成されており、各ウェルにそれぞれ液体試料をスポッティングして乾燥させることで試料が形成される。そして、このサンプルプレートをプレートホルダに装着し、該プレートホルダを水平面内で互いに直交する二軸方向に移動させることで目的とするウェル中の試料をレーザ光照射位置に移動させ、該試料に対する質量分析を実施するようにしている(特許文献1等参照)。   In general MALDI-TOFMS, recesses called wells for spotting a sample to be measured on a sample plate (in some cases, there are no recesses and only the spot positions are shown) are arranged in a matrix. Many samples are formed, and a sample is formed by spotting a liquid sample in each well and drying it. Then, the sample plate is mounted on the plate holder, and the sample in the target well is moved to the laser beam irradiation position by moving the plate holder in two axial directions orthogonal to each other in the horizontal plane, and the mass with respect to the sample is Analysis is carried out (see Patent Document 1).

図5は、従来のMALDI−TOFMSにおけるサンプルプレートの移動機構の概略構成図であり、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)は上面図である。ここでは、図5(c)中に示すように、サンプルプレート2がセットされる水平面はx軸−y軸面であり、レーザ光照射により生成されるイオンの飛行方向はz軸方向である。   5A and 5B are schematic configuration diagrams of a sample plate moving mechanism in a conventional MALDI-TOFMS. FIG. 5A is a front view, FIG. 5B is a side view, and FIG. 5C is a top view. Here, as shown in FIG. 5C, the horizontal plane on which the sample plate 2 is set is the x-axis-y-axis plane, and the flight direction of ions generated by laser light irradiation is the z-axis direction.

図5に示すように、試料室の底面板1aの上にはx軸方向に延伸する第1のリニアガイド51が取り付けられ、そのリニアガイド51により直線的に移動自在である可動部51aの上に、y軸方向に延伸する第2のリニアガイド52が固定されている。そして、この第2のリニアガイド52により直線的に移動自在である可動部52aの上にサンプルプレート2を保持可能なプレートホルダ3が固定されている。第1のリニアガイド51の可動部51a及び第2のリニアガイド52の可動部52aはそれぞれ図示しないモータ等の駆動力によって移動され、それによってプレートホルダ3は所定の二次元範囲内の任意の位置に移動可能である。なお、リニアガイド51、52は例えば非特許文献1に開示されているものを利用することができる。   As shown in FIG. 5, a first linear guide 51 extending in the x-axis direction is attached on the bottom plate 1 a of the sample chamber, and on the movable portion 51 a that is linearly movable by the linear guide 51. Further, a second linear guide 52 extending in the y-axis direction is fixed. And the plate holder 3 which can hold | maintain the sample plate 2 is being fixed on the movable part 52a linearly movable by this 2nd linear guide 52. As shown in FIG. The movable portion 51a of the first linear guide 51 and the movable portion 52a of the second linear guide 52 are respectively moved by a driving force such as a motor (not shown), whereby the plate holder 3 is moved to an arbitrary position within a predetermined two-dimensional range. Can be moved to. In addition, the linear guides 51 and 52 can utilize what is disclosed by the nonpatent literature 1, for example.

上述したMALDI−TOFMSではサンプルプレート2上の試料表面がイオンの飛行開始地点となる。そのため、様々な要因によってサンプルプレート2の表面の高さが変わると、飛行距離が微妙に変化してそれが質量電荷比の誤差に繋がる。そこで、目的化合物由来のイオンの質量電荷比を正確に求めるために、理論的な(つまりは正確な)質量電荷比が既知である標準物質を含む標準試料(キャリブラントと呼ばれる)を測定した結果に基づいて、目的試料を測定した結果を校正する、キャリブレーションと呼ばれる処理が一般に行われる。   In the MALDI-TOFMS described above, the sample surface on the sample plate 2 serves as a flight start point of ions. Therefore, if the height of the surface of the sample plate 2 changes due to various factors, the flight distance changes slightly, which leads to an error in the mass to charge ratio. Therefore, in order to accurately determine the mass-to-charge ratio of ions derived from the target compound, the result of measuring a standard sample (called a calibrant) containing a standard substance with a known theoretical (ie accurate) mass-to-charge ratio. In general, a process called calibration is performed to calibrate the result of measurement of the target sample.

1枚のサンプルプレートで厚さの不均一性やそりなどがある場合、1枚のサンプルプレートの面内の位置によっても飛行距離は異なる。このため、サンプルプレート上には、目的試料をスポッティングするサンプルウェルのほかに、キャリブラントをスポッティングするキャリブラントウェルが複数設けられ、或る目的試料の測定結果のキャリブレーションは、該目的試料が形成されているサンプルウェルに最も近いキャリブラントウェルに形成されているキャリブラントを測定した結果を利用して行われる。こうしたキャリブレーションによって、目的試料を測定して得られた試料成分に対する質量電荷比値は真値に近い値に修正される(特許文献2参照)。   When there is a non-uniform thickness or warp in one sample plate, the flight distance varies depending on the position in the plane of one sample plate. For this reason, in addition to the sample well for spotting the target sample, a plurality of calibrant wells for spotting the calibrant are provided on the sample plate, and calibration of the measurement result of a certain target sample is performed by the target sample. The measurement is performed using the measurement result of the calibrant formed in the calibrant well closest to the sample well. By such calibration, the mass-to-charge ratio value with respect to the sample component obtained by measuring the target sample is corrected to a value close to the true value (see Patent Document 2).

キャリブラントウェルが多いとそれだけキャリブラントの測定に要する時間が長くなり測定効率が低下する。そのため、1枚のサンプルプレートにおいて1箇所のキャリブラントウェルに形成されているキャリブラントの測定の結果を利用して、該サンプルプレート内の全ての目的試料に対するキャリブレーションが行えることが望ましい。そのために、サンプルプレートの厚さの均一性の向上や湾曲の防止などが図られている。しかしながら、実際にはサンプルプレート以外の要因でも1枚のサンプルプレート上において試料の高さ、つまりは試料の表面とイオンを引き出し加速するための電極との間の距離がばらつくという問題がある。   If there are many calibrant wells, the time required for calibrant measurement becomes longer and the measurement efficiency decreases. Therefore, it is desirable that calibration can be performed for all target samples in the sample plate using the measurement result of the calibrant formed in one calibrant well in one sample plate. Therefore, improvement of the uniformity of the thickness of the sample plate, prevention of bending, and the like are attempted. However, in fact, factors other than the sample plate have a problem that the height of the sample on one sample plate, that is, the distance between the surface of the sample and the electrode for extracting and accelerating ions varies.

即ち、図5を用いて説明したように、従来のサンプルプレートの移動機構は、試料室の底面板1a上に複数の部材を積み上げた構成である。そのため、各部材の公差が加算され、結果としてサンプルプレート2上の位置によって高さのばらつきが大きくなることがある。   That is, as described with reference to FIG. 5, the conventional sample plate moving mechanism has a configuration in which a plurality of members are stacked on the bottom plate 1a of the sample chamber. For this reason, the tolerances of the respective members are added, and as a result, the height variation may increase depending on the position on the sample plate 2.

図6は、従来のMALDI−TOFMSにおいてサンプルプレート上の一方向(x軸方向)に配列されたサンプルウェルの位置(この位置はサンプル番号#で示される)毎の高さの変位量を実測した結果の一例である。質量精度の観点からはおおよそ±100ppmの変動に抑える必要があるが、この例では、これを大きく逸脱するサンプルウェルが存在することが分かる。このように大きな変位がある場合には、やはりサンプルウェルの近傍に設けたキャリブラントの測定結果に基づいてキャリブレーションを行う必要があり、1枚のサンプルプレート上に複数のキャリブラントを形成することは必須である。   FIG. 6 shows an actual measurement of the height displacement for each position of the sample well arranged in one direction (x-axis direction) on the sample plate (this position is indicated by the sample number #) in the conventional MALDI-TOFMS. It is an example of a result. From the viewpoint of mass accuracy, it is necessary to suppress the fluctuation to approximately ± 100 ppm, but in this example, it can be seen that there are sample wells that greatly deviate from this. When there is such a large displacement, it is necessary to perform calibration based on the measurement result of the calibrant provided in the vicinity of the sample well, and a plurality of calibrants must be formed on one sample plate. Is essential.

特開2015−179017号公報(段落[0003])Japanese Patent Laying-Open No. 2015-179017 (paragraph [0003]) 特開2015−179630号公報(段落[0003]−[0004])JP-A-2015-179630 (paragraphs [0003]-[0004])

「LMガイド」、[online]、THK株式会社、[平成28年4月25日検索]、インターネット<URL: http://www.thk.com/?q=jp/node/6709>"LM Guide", [online], THK Corporation, [Search April 25, 2016], Internet <URL: http://www.thk.com/?q=jp/node/6709>

本発明は上記課題に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、サンプルプレートを互いに直交する二軸方向に移動させることが可能な移動機構に起因する、試料とイオン引き出し・加速用の電極との間の距離のばらつきを軽減することにより、キャリブレーションのためにサンプルプレート上に形成するキャリブラントの数を減らすことができる飛行時間型質量分析装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and the object of the present invention is to extract and accelerate a sample and ions caused by a moving mechanism capable of moving a sample plate in two axial directions perpendicular to each other. It is an object of the present invention to provide a time-of-flight mass spectrometer that can reduce the number of calibrants formed on a sample plate for calibration by reducing variation in the distance between the electrodes.

上記課題を解決するために成された本発明に係る第1の態様の飛行時間型質量分析装置は、試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートの裏面側に配置され、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の互いに直交する二軸方向に可動部を移動可能である直交駆動部と、
c)前記可動部と一体である又は該可動部に取り付けられた、前記ベースプレートを挟んでそのおもて面に載置された金属製の前記試料保持部を引き寄せる磁石と、
を備えることを特徴としている。
The time-of-flight mass spectrometer according to the first aspect of the present invention, which has been made in order to solve the above problems, irradiates a sample held by a sample holding unit with a laser beam or a particle beam to extract ions from the sample. A time-of-flight mass spectrometer that generates and accelerates the generated ions and introduces them into the flight space, and separates and detects the ions according to the mass-to-charge ratio in the flight space,
a) a base plate having a flat front surface;
b) an orthogonal drive unit arranged on the back side of the base plate and capable of moving the movable unit in two mutually perpendicular directions in a plane substantially parallel to the front surface of the base plate;
c) a magnet that is integral with or attached to the movable part, and that pulls the metal sample holder placed on the front surface of the base plate with the base plate in between;
It is characterized by having.

また上記課題を解決するために成された本発明に係る第2の態様の飛行時間型質量分析装置は、試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の一軸方向に押す及び/又は引く第1の駆動部と、
c)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内で前記第1の駆動部により押される及び/又は引かれる方向と直交する方向に押す及び/又は引く第2の駆動部と、
を備えることを特徴としている。
Further, the time-of-flight mass spectrometer according to the second aspect of the present invention, which has been made to solve the above-mentioned problems, irradiates a sample held by a sample holding unit with a laser beam or a particle beam and ions from the sample. A time-of-flight mass spectrometer that accelerates and introduces the generated ions into the flight space and separates and detects the ions according to the mass-to-charge ratio in the flight space,
a) a base plate having a flat front surface;
b) a first drive unit that pushes and / or pulls the side surface of the sample holder placed on the front surface of the base plate in a uniaxial direction in a plane substantially parallel to the front surface of the base plate; ,
c) The side surface of the sample holder placed on the front surface of the base plate is pushed and / or pulled by the first driving unit in a plane substantially parallel to the front surface of the base plate. A second drive that pushes and / or pulls in a direction perpendicular to the direction;
It is characterized by having.

本発明に係る飛行時間型質量分析装置において、試料中の成分をイオン化するイオン化法は、MALDI法のほか、レーザ脱離イオン化法(LDI)、表面支援レーザ脱離イオン化法(SALDI)、二次イオン質量分析法(SIMS)、シリコン上脱離イオン化法(DIOS)、エレクトロスプレイ支援/レーザ脱離イオン化法(ELDI)、高速原子衝撃法(FAB)、などを含む。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, ionization methods for ionizing components in a sample are not only MALDI methods but also laser desorption ionization methods (LDI), surface-assisted laser desorption ionization methods (SALDI), secondary Includes ion mass spectrometry (SIMS), desorption ionization on silicon (DIOS), electrospray support / laser desorption ionization (ELDI), fast atom bombardment (FAB), and the like.

また、本発明に係る飛行時間型質量分析装置において試料保持部は、例えばサンプルプレートを保持するプレートホルダや試料を上に載せる平板状の台である。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, the sample holder is, for example, a plate holder that holds a sample plate or a flat plate-like table on which a sample is placed.

本発明に係る飛行時間型質量分析装置において、ベースプレートはそのおもて面が水平な面、垂直な面、又はそのいずれでもない斜めの面のいずれもよい。例えばベースプレートのおもて面が水平である場合には、試料保持部はその水平であるベースプレート上に直接載置され、該試料保持部はそのベースプレートの上面を摺動(又は滑動)する。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, the base plate may be a horizontal surface, a vertical surface, or an oblique surface that is neither of them. For example, when the front surface of the base plate is horizontal, the sample holder is placed directly on the horizontal base plate, and the sample holder slides (or slides) on the upper surface of the base plate.

ベースプレートのおもて面上に直接載置された試料保持部を移動させるために、第1の態様では、ベースプレートの裏面側に配置された直交駆動部及び磁石を用い、磁石による磁力の作用により非接触で以て試料保持部を二次元的に移動させる。一方、第2の態様では、ベースプレートのおもて面側に配置された第1及び第2なる二つの駆動部により、試料保持部の側面に力を作用させることで該試料保持部を二次元的に移動させる。
第1、第2の態様のいずれにおいても、ベースプレートのおもて面自体が、試料保持部が二軸方向に移動する際のその二軸に直交する方向(ベースプレートの厚さ方向)の位置を規制する一種のガイドとして機能する。そのため、ベースプレートのおもて面の平坦性が高ければ、試料保持部の移動に伴う試料とイオン引き出し・加速用の電極との間の距離の変動は抑えられる。
In order to move the sample holder placed directly on the front surface of the base plate, in the first aspect, the orthogonal drive unit and the magnet arranged on the back side of the base plate are used. The sample holder is moved two-dimensionally without contact. On the other hand, in the second mode, the sample holding part is two-dimensionally operated by applying a force to the side face of the sample holding part by the first and second driving parts arranged on the front surface side of the base plate. Move.
In both the first and second aspects, the front surface of the base plate itself is positioned in the direction perpendicular to the two axes (the thickness direction of the base plate) when the sample holder moves in the biaxial direction. It functions as a kind of guide to regulate. Therefore, if the flatness of the front surface of the base plate is high, fluctuations in the distance between the sample and the ion extraction / acceleration electrode accompanying the movement of the sample holding unit can be suppressed.

なお、本発明に係る飛行時間型質量分析装置において、上記ベースプレートは試料が収容される試料室の底面板とすることができる。真空雰囲気の下でイオン化が行われるイオン化法が用いられる場合には、試料室は密閉可能であって質量分析の際に試料室内は真空排気される。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, the base plate can be a bottom plate of a sample chamber in which a sample is accommodated. When an ionization method in which ionization is performed in a vacuum atmosphere is used, the sample chamber can be sealed and the sample chamber is evacuated during mass analysis.

本発明に係る飛行時間型質量分析装置によれば、試料が担持されるサンプルプレートを二次元的に移動させる移動機構に起因する、1枚のサンプルプレート内でのサンプルプレート表面とイオン引き出し・加速用の電極との間の距離のばらつきを軽減することができる。それにより、例えば1枚のサンプルプレート上に用意するキャリブラントの数を従来に比べて減らすことができ、キャリブラントの測定に要する時間を短縮して測定効率を向上させることができる。また、キャリブラントを多数用意する手間も軽減することができる。   According to the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, the surface of the sample plate and the ion extraction / acceleration in one sample plate caused by the moving mechanism for moving the sample plate carrying the sample two-dimensionally. The variation in the distance between the electrodes for use can be reduced. Thereby, for example, the number of calibrants prepared on one sample plate can be reduced as compared with the conventional case, and the time required for measuring the calibrant can be shortened to improve the measurement efficiency. Moreover, the trouble of preparing a large number of calibrants can be reduced.

本発明の一実施例であるMALDI−TOFMSの概略構成図。The schematic block diagram of MALDI-TOFMS which is one Example of this invention. 本実施例のMALDI−TOFMSにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)は上面図。It is a schematic block diagram of the movement mechanism of the plate holder in MALDI-TOFMS of a present Example, (a) is a front view, (b) is a side view, (c) is a top view. 本発明の他の実施例のMALDI−TOFMSにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)は上面図。It is a schematic block diagram of the moving mechanism of the plate holder in MALDI-TOFMS of the other Example of this invention, (a) is a front view, (b) is a side view, (c) is a top view. 図3に示した移動機構の変形例の概略構成を示す上面図。FIG. 4 is a top view showing a schematic configuration of a modified example of the moving mechanism shown in FIG. 3. 従来のMALDI−TOFMSにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)は上面図。It is a schematic block diagram of the movement mechanism of the plate holder in the conventional MALDI-TOFMS, (a) is a front view, (b) is a side view, (c) is a top view. 従来のMALDI−TOFMSにおいてサンプルプレート上の一方向に配列されたサンプルウェルの位置毎の高さの変位量を実測した結果を示す図。The figure which shows the result of having actually measured the displacement amount of the height for every position of the sample well arranged in one direction on the sample plate in the conventional MALDI-TOFMS.

以下、本発明の一実施例であるMALDI−TOFMSについて、添付図面を参照して説明する。図1は本実施例のMALDI−TOFMSの概略構成図である。図2は本実施例のMALDI−TOFMSにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、図5と同様に、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)は上面図である。   Hereinafter, MALDI-TOFMS which is one Example of this invention is demonstrated with reference to an accompanying drawing. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a MALDI-TOFMS of this embodiment. 2A and 2B are schematic configuration diagrams of a plate holder moving mechanism in the MALDI-TOFMS of the present embodiment. Like FIG. 5, FIG. 2A is a front view, FIG. 2B is a side view, and FIG. is there.

図1に示すように、平板状で金属製であるサンプルプレート2は金属製のプレートホルダ3に装着された状態で試料室1内の底面板1a上に直接載置される。試料室1の下方には、プレートホルダ3を底面板1a上で二次元的に移動させるX−Y移動機構20が配置されている。一方、試料室1の内部と連通して該試料室1の上方に配置される真空チャンバ10内には、下方から上に向かって、引出電極11、加速電極12、反射鏡14、フライトチューブ15、検出器16が配置されている。また、真空チャンバ10に形成された窓10aの外側にはレーザ照射部13が設けられている。   As shown in FIG. 1, a flat plate-shaped metal sample plate 2 is directly placed on a bottom plate 1 a in a sample chamber 1 while being mounted on a metal plate holder 3. Below the sample chamber 1, an XY movement mechanism 20 for moving the plate holder 3 two-dimensionally on the bottom plate 1a is disposed. On the other hand, in the vacuum chamber 10 that communicates with the inside of the sample chamber 1 and is disposed above the sample chamber 1, the extraction electrode 11, the acceleration electrode 12, the reflecting mirror 14, and the flight tube 15 are arranged from the bottom to the top. The detector 16 is arranged. A laser irradiation unit 13 is provided outside the window 10 a formed in the vacuum chamber 10.

測定実行時には、所定のレーザ光照射位置にセットされたサンプルプレート2上の一つの試料に対し、レーザ照射部13から出射して窓10a、反射鏡14を経たパルス状のレーザ光が照射され、それにより、その試料に含まれる成分がイオン化される。レーザ光の照射位置は固定されており、X−Y移動機構20によりプレートホルダ3を適宜移動させることで、サンプルプレート2上の任意の位置の試料に対してレーザ光を照射し測定を行うことができる。   At the time of measurement execution, one sample on the sample plate 2 set at a predetermined laser beam irradiation position is irradiated with a pulsed laser beam emitted from the laser irradiation unit 13 and passed through the window 10a and the reflecting mirror 14, Thereby, the component contained in the sample is ionized. The irradiation position of the laser beam is fixed, and the measurement is performed by irradiating the sample at an arbitrary position on the sample plate 2 by moving the plate holder 3 appropriately by the XY movement mechanism 20. Can do.

サンプルプレート2の上方に配置されている引出電極11及び加速電極12には、図示しない電圧発生部からそれぞれ所定の電圧が印加される。また、プレートホルダ3を介してサンプルプレート2へも所定の電圧が印加される。上述したようにレーザ光が照射されることで試料から発生したイオンは、引出電極11と試料との間に形成されている電場によってその発生位置近傍から上方に引き出され、さらに加速電極12により形成される加速電場によって加速エネルギを付与される。これにより上方向(z軸方向)に飛行を開始したイオンは、フライトチューブ15内に形成された無電場、無磁場の飛行空間中を飛行して検出器16に到達する。飛行空間中では質量電荷比が小さいイオンほど大きな飛行速度を有するため、ほぼ同時に飛行を開始した各種のイオンの中で、質量電荷比が小さなイオンから順に検出器16に到達する。検出器16は入射したイオンの量に応じた検出信号を出力する。   A predetermined voltage is applied to the extraction electrode 11 and the acceleration electrode 12 disposed above the sample plate 2 from a voltage generator (not shown). A predetermined voltage is also applied to the sample plate 2 through the plate holder 3. As described above, ions generated from the sample by irradiation with the laser light are extracted upward from the vicinity of the generation position by the electric field formed between the extraction electrode 11 and the sample, and further formed by the acceleration electrode 12. Acceleration energy is applied by the accelerated electric field. As a result, the ions that have started flying in the upward direction (z-axis direction) fly through the flight space of no electric field and no magnetic field formed in the flight tube 15 and reach the detector 16. Since ions having a smaller mass-to-charge ratio have a higher flight speed in the flight space, the ions having the smaller mass-to-charge ratio reach the detector 16 in order from the various ions that have started flying almost simultaneously. The detector 16 outputs a detection signal corresponding to the amount of incident ions.

なお、本実施例のMALDI−TOFMSはイオンを直線的に飛行させるリニアTOFMSであるが、イオンの飛行軌道を反転させるリフレクトロンを備えたリフレクトロンTOFMS、或いは、イオンを周回軌道に沿って繰り返し飛行させるマルチターンTOFMSなどでもよいことは当然である。   The MALDI-TOFMS of this embodiment is a linear TOFMS that makes ions fly linearly. However, the reflectron TOFMS having a reflectron that reverses the flight trajectory of ions, or the ions repeatedly fly along a circular orbit. Of course, a multi-turn TOFMS may be used.

本実施例のMALDI−TOFMSにおいて、本発明における試料保持部に相当するプレートホルダ3を二次元的に移動させるX−Y移動機構20について詳述する。
上述したようにプレートホルダ3は本発明におけるベースプレートに相当する平坦な底面板1a上に載置されている。この上面板は例えば非磁性ステンレス等の磁力に引き付けられない材料から成る。その上面は高い平坦性を有するのみならず、高い平滑性を有していることが好ましい。そのために、底面板1aの上面は適宜の表面加工又は表面処理がなされているものであってもよい。
In the MALDI-TOFMS of the present embodiment, the XY movement mechanism 20 that moves the plate holder 3 corresponding to the sample holder in the present invention in a two-dimensional manner will be described in detail.
As described above, the plate holder 3 is placed on the flat bottom plate 1a corresponding to the base plate in the present invention. This top plate is made of a material that is not attracted to magnetic force, such as non-magnetic stainless steel. The upper surface preferably has not only high flatness but also high smoothness. Therefore, the upper surface of the bottom plate 1a may be subjected to appropriate surface processing or surface treatment.

図2(a)、(b)に示すように、X−Y移動機構20は、図5に示した従来装置におけるリニアガイド51、52と同様の二つのリニアガイド21、22を、本発明における直交駆動部に相当する要素として含む。即ち、このX−Y移動機構20の筐体(図示せず)の底面板には、x軸方向に延伸する第1のリニアガイド21が固定され、該リニアガイド21の可動部21aの上にはy軸方向に延伸する第2のリニアガイド22が固定されている。第2のリニアガイド22の可動部22aの上には磁石23が固定され、磁石23の上面と底面板1aの下面とはほぼ接触しているか或いは微小な間隙を有している。二つのリニアガイド21、22の可動部21a、22aはそれぞれ図示しないモータ等の駆動力によりx軸方向、y軸方向に移動可能である。これにより、磁石23は底面板1aの下方の略水平面(x軸−y軸面)内で二次元的に任意の位置に移動可能である。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the XY moving mechanism 20 includes two linear guides 21 and 22 similar to the linear guides 51 and 52 in the conventional apparatus shown in FIG. It is included as an element corresponding to the orthogonal drive unit. That is, a first linear guide 21 extending in the x-axis direction is fixed to a bottom plate of a housing (not shown) of the XY moving mechanism 20, and is placed on the movable portion 21 a of the linear guide 21. The second linear guide 22 extending in the y-axis direction is fixed. A magnet 23 is fixed on the movable portion 22a of the second linear guide 22, and the upper surface of the magnet 23 and the lower surface of the bottom plate 1a are almost in contact with each other or have a minute gap. The movable portions 21a and 22a of the two linear guides 21 and 22 can be moved in the x-axis direction and the y-axis direction by a driving force of a motor or the like (not shown). As a result, the magnet 23 can move two-dimensionally to an arbitrary position within a substantially horizontal plane (x-axis-y-axis plane) below the bottom plate 1a.

磁石23の磁力は底面板1aを通してその上方に載置されたプレートホルダ3に及ぶ。プレートホルダ3は磁石23に引き付けられるため、上述したように磁石23が略水平面内で二次元的に任意の位置に移動されるとき、それに追従して底面板1aの上で二次元的に移動する。磁石23が二次元的に移動する際に該磁石23の上面と底面板1aの下面との間隙の大きさが或る程度変化したとしても、磁石23の磁力がプレートホルダ3に及んでいる限り、プレートホルダ3は底面板1aの上を滑動又は摺動する。即ち、底面板1aの上面全体がプレートホルダ3が二次元的に移動する際にその下面のz軸方向の位置を規制するガイドとして機能するため、底面板1aの上面の平坦性が高ければプレートホルダ3の移動に際してのz軸方向の変位は非常に小さい。それにより、レーザ光照射位置における、サンプルプレート2上の試料の高さの変位は従来装置に比べて大幅に抑制されることになる。   The magnetic force of the magnet 23 reaches the plate holder 3 placed above through the bottom plate 1a. Since the plate holder 3 is attracted to the magnet 23, as described above, when the magnet 23 is moved to an arbitrary position two-dimensionally in a substantially horizontal plane, the plate holder 3 moves two-dimensionally on the bottom plate 1a following the movement. To do. Even when the size of the gap between the upper surface of the magnet 23 and the lower surface of the bottom plate 1a changes to some extent when the magnet 23 moves two-dimensionally, as long as the magnetic force of the magnet 23 reaches the plate holder 3. The plate holder 3 slides or slides on the bottom plate 1a. That is, the entire upper surface of the bottom plate 1a functions as a guide for regulating the position of the lower surface in the z-axis direction when the plate holder 3 moves two-dimensionally. When the holder 3 moves, the displacement in the z-axis direction is very small. Thereby, the displacement of the height of the sample on the sample plate 2 at the laser beam irradiation position is greatly suppressed as compared with the conventional apparatus.

なお、上記実施例のMALDI−TOFMSにおいて、磁石23は永久磁石でなく電磁石でもよいことは当然である。また、プレートホルダ3を用いずにサンプルプレート2を直接、磁力により移動させるようにしてもよい。また、サンプルプレート2を保持するプレートホルダ3の代わりに、上に試料を載せるための単なる金属板である試料台を用いてもよい。   In the MALDI-TOFMS of the above embodiment, it is natural that the magnet 23 may be an electromagnet instead of a permanent magnet. Further, the sample plate 2 may be moved directly by magnetic force without using the plate holder 3. Further, instead of the plate holder 3 that holds the sample plate 2, a sample stage that is a simple metal plate for placing a sample thereon may be used.

次に、本発明の他の実施例のMALDI−TOFMSにおけるプレートホルダの移動機構について説明する。図3はこの移動機構の概略構成図であり、図2と同様に、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)は上面図である。図2と同じ構成要素には同じ符号を付している。   Next, a plate holder moving mechanism in MALDI-TOFMS according to another embodiment of the present invention will be described. 3A and 3B are schematic configuration diagrams of the moving mechanism. Like FIG. 2, FIG. 3A is a front view, FIG. 3B is a side view, and FIG. 3C is a top view. The same components as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

上記実施例の移動機構では、磁石を利用して非接触でプレートホルダ3を二次元的に移動させるようにしていたが、本実施例では、プレートホルダ3を挟み込むように配置した二組のアームを利用して底面板1aの上でプレートホルダ3を二次元的に移動させる。即ち、図3に示すようにプレートホルダ3は、y軸方向に延伸する二本のアーム31a、31bで挟み込まれるとともに、x軸方向に延伸する二本のアーム33a、33bで挟み込まれる。二本一組のアーム31a、31bはx軸方向駆動部32により、その間隔を保ったままx軸方向に移動される。一方、他方の二本一組のアーム33a、33bはy軸方向駆動部34により、その間隔を保ったままy軸方向に移動される。例えば、二本一組のアーム31a、31bが図3(a)で左方向に移動するとき、アーム31bがプレートホルダ3の右側面を押すことでプレートホルダ3は底面板1aの上を左方向に滑動する。   In the moving mechanism of the above embodiment, the plate holder 3 is moved in a two-dimensional manner in a non-contact manner using a magnet. However, in this embodiment, two sets of arms arranged so as to sandwich the plate holder 3. Is used to move the plate holder 3 two-dimensionally on the bottom plate 1a. That is, as shown in FIG. 3, the plate holder 3 is sandwiched between the two arms 31a and 31b extending in the y-axis direction and is sandwiched between the two arms 33a and 33b extending in the x-axis direction. The pair of arms 31a and 31b are moved in the x-axis direction by the x-axis direction drive unit 32 while keeping the distance therebetween. On the other hand, the other pair of arms 33a and 33b is moved in the y-axis direction by the y-axis direction drive unit 34 while keeping the distance therebetween. For example, when the pair of arms 31a and 31b move leftward in FIG. 3A, the arm 31b pushes the right side surface of the plate holder 3 so that the plate holder 3 moves leftward on the bottom plate 1a. To slide.

x軸方向駆動部32及びy軸方向駆動部34により二組のアーム31a、31bと33a、33bが独立に移動されることで、プレートホルダ3は底面板1aの上の任意の位置に移動される。上記実施例と同様に、底面板1aの上面全体がプレートホルダ3が二次元的に移動する際にその下面の位置を規制するガイドとして機能するため、底面板1aの上面の平坦性が高ければプレートホルダ3の移動に際してのz軸方向の変位は非常に小さく、サンプルプレート2上の位置の相違による高さの変位も抑えられる。   The two arms 31a, 31b and 33a, 33b are independently moved by the x-axis direction drive unit 32 and the y-axis direction drive unit 34, so that the plate holder 3 is moved to an arbitrary position on the bottom plate 1a. The As in the above embodiment, the entire top surface of the bottom plate 1a functions as a guide for regulating the position of the bottom surface when the plate holder 3 moves two-dimensionally. Therefore, if the flatness of the top surface of the bottom plate 1a is high. The displacement in the z-axis direction during the movement of the plate holder 3 is very small, and the height displacement due to the difference in position on the sample plate 2 can be suppressed.

なお、図3の例では、いずれかのアーム31a、31b、33a、33bがプレートホルダ3の周面を後方から押すことでプレートホルダ3の移動が達成されたが、例えば図4に示すように、プレートホルダ3を挟み込むことで保持するグリップ状のアーム41、43をx軸方向駆動部42及びy軸方向駆動部44によりそれぞれ移動させる構成としてもよい。このように、底面板1aの上に載置されたプレートホルダ3をその周面(側面)から押したり或いは引いたりすることで移動させる機構であれば、上記実施例と同様の効果を奏することは明らかである。   In addition, in the example of FIG. 3, the movement of the plate holder 3 was achieved by one of the arms 31a, 31b, 33a, 33b pushing the peripheral surface of the plate holder 3 from the rear, but for example as shown in FIG. The grip-like arms 41 and 43 held by sandwiching the plate holder 3 may be moved by the x-axis direction drive unit 42 and the y-axis direction drive unit 44, respectively. Thus, if the mechanism is such that the plate holder 3 placed on the bottom plate 1a is moved by pushing or pulling from the peripheral surface (side surface), the same effect as in the above embodiment can be obtained. Is clear.

上記実施例ではいずれも底面板1aは水平に設置されていたが、必ずしも水平でなく斜めになっていても垂直であってもよいことは明らかである。もちろん、上記他の実施例において底面板1aが垂直に設置されている場合には、プレートホルダ3が落ちることがないように、例えばプレートホルダ3と底面板1aとが磁性により引き付け合うようにしておけばよい。   In any of the above embodiments, the bottom plate 1a is installed horizontally. However, it is obvious that the bottom plate 1a is not necessarily horizontal but may be inclined or vertical. Of course, when the bottom plate 1a is installed vertically in the other embodiments, for example, the plate holder 3 and the bottom plate 1a are attracted by magnetism so that the plate holder 3 does not fall. Just keep it.

また、上記実施例は本発明をMALDI−TOFMSに適用したものであるが、サンプルプレート2上に形成された試料や試料台上に置かれた試料に対して、レーザ光のほか、細径に絞ったイオン線、電子線、中性原子線などの種々の粒子線を照射して試料中の成分をイオン化するイオン源を搭載した飛行時間型質量分析装置全般に本発明を適用可能であることは明らかである。こうしたイオン源としては、LDI、SALDI、SIMS、DIOS、ELDI、FABなどを挙げることができる。   Moreover, although the said Example applies this invention to MALDI-TOFMS, with respect to the sample formed on the sample plate 2 or the sample set | placed on the sample stand, besides a laser beam, it is made into a small diameter. The present invention is applicable to all time-of-flight mass spectrometers equipped with an ion source that irradiates various particle beams such as focused ion beams, electron beams, and neutral atomic beams to ionize components in the sample. Is clear. Examples of such ion sources include LDI, SALDI, SIMS, DIOS, ELDI, and FAB.

また、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変形や修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。   Moreover, the said Example is an example of this invention, and it is clear that even if it changes suitably, amends, and is added within the meaning of this invention, it is included by the claim of this application.

1…試料室
1a…底面板
2…サンプルプレート
3…プレートホルダ
10…真空チャンバ
10a…窓
11…引出電極
12…加速電極
13…レーザ照射部
14…反射鏡
15…フライトチューブ
16…検出器
20…X−Y移動機構
21、22…リニアガイド
21a、22a…可動部
23…磁石
31a、31b、33a、33b、41、43…アーム
32、42…x軸方向駆動部
34、44…y軸方向駆動部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sample chamber 1a ... Bottom plate 2 ... Sample plate 3 ... Plate holder 10 ... Vacuum chamber 10a ... Window 11 ... Extraction electrode 12 ... Acceleration electrode 13 ... Laser irradiation part 14 ... Reflector 15 ... Flight tube 16 ... Detector 20 ... XY moving mechanism 21, 22 ... linear guide 21a, 22a ... movable portion 23 ... magnet 31a, 31b, 33a, 33b, 41, 43 ... arm 32, 42 ... x-axis direction drive unit 34, 44 ... y-axis direction drive Part

Claims (3)

試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートの裏面側に配置され、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の互いに直交する二軸方向に可動部を移動可能である直交駆動部と、
c)前記可動部と一体である又は該可動部に取り付けられた、前記ベースプレートを挟んでそのおもて面に載置された金属製の前記試料保持部を引き寄せる磁石と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
The sample held by the sample holder is irradiated with a laser beam or particle beam to generate ions from the sample, the generated ions are accelerated and introduced into the flight space, and the ions are brought into a mass-to-charge ratio in the flight space. A time-of-flight mass spectrometer that detects and separates according to
a) a base plate having a flat front surface;
b) an orthogonal drive unit arranged on the back side of the base plate and capable of moving the movable unit in two mutually perpendicular directions in a plane substantially parallel to the front surface of the base plate;
c) a magnet that is integral with or attached to the movable part, and that pulls the metal sample holder placed on the front surface of the base plate with the base plate in between;
A time-of-flight mass spectrometer.
試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の一軸方向に押す及び/又は引く第1の駆動部と、
c)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内で前記第1の駆動部により押される及び/又は引かれる方向と直交する方向に押す及び/又は引く第2の駆動部と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
The sample held by the sample holder is irradiated with a laser beam or particle beam to generate ions from the sample, the generated ions are accelerated and introduced into the flight space, and the ions are brought into a mass-to-charge ratio in the flight space. A time-of-flight mass spectrometer that detects and separates according to
a) a base plate having a flat front surface;
b) a first drive unit that pushes and / or pulls the side surface of the sample holder placed on the front surface of the base plate in a uniaxial direction in a plane substantially parallel to the front surface of the base plate; ,
c) The side surface of the sample holder placed on the front surface of the base plate is pushed and / or pulled by the first driving unit in a plane substantially parallel to the front surface of the base plate. A second drive that pushes and / or pulls in a direction perpendicular to the direction;
A time-of-flight mass spectrometer.
請求項1又は2に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記ベースプレートは試料が収容される試料室の底面板であることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
The time-of-flight mass spectrometer according to claim 1 or 2,
The time-of-flight mass spectrometer is characterized in that the base plate is a bottom plate of a sample chamber in which a sample is accommodated.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109061609A (en) * 2018-08-01 2018-12-21 歌尔股份有限公司 TOF mould group caliberating device and method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4942752Y1 (en) * 1970-12-25 1974-11-22
JP2007257851A (en) * 2006-03-20 2007-10-04 Shimadzu Corp Mass spectrometer
WO2014147260A1 (en) * 2013-03-22 2014-09-25 Eth Zurich Laser ablation cell
JP2015179630A (en) * 2014-03-19 2015-10-08 株式会社島津製作所 Time-to-flight mass spectroscope
JP2016517523A (en) * 2013-03-15 2016-06-16 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド Laser sampling method for reducing thermal effects

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4942752Y1 (en) * 1970-12-25 1974-11-22
JP2007257851A (en) * 2006-03-20 2007-10-04 Shimadzu Corp Mass spectrometer
JP2016517523A (en) * 2013-03-15 2016-06-16 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド Laser sampling method for reducing thermal effects
WO2014147260A1 (en) * 2013-03-22 2014-09-25 Eth Zurich Laser ablation cell
JP2015179630A (en) * 2014-03-19 2015-10-08 株式会社島津製作所 Time-to-flight mass spectroscope

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109061609A (en) * 2018-08-01 2018-12-21 歌尔股份有限公司 TOF mould group caliberating device and method

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