JP2017227538A - Gas image sensor device and gas image imaging measurement device and gas image imaging measurement system - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、ガス画像センサ装置およびガス画像撮像測定装置およびガス画像撮像測定システムに関する。 The present invention relates to a gas image sensor device, a gas image imaging measurement device, and a gas image imaging measurement system.
赤外光領域の電磁波（以下「赤外光」と言う。）を利用した各種のセンサ装置や測定装置が広く実用化されている。例えば、対象物が放射する赤外光を、赤外光用のレンズにより２次元の受光域を有するサーモパイルセンサの受光域に結像させ、対象物における温度分布を検出するサーモグラフィは広く一般に知られている。
赤外光領域にはまた、ＣＯやＣＯ２、Ｈ２Ｓや水蒸気、エチルアルコールガス等の種々のガスの吸収波長があり、この吸収波長を検知することにより、各種ガスの有無の検出、あるいは測定を行うことが知られている（特許文献１〜３等）。
Various sensor devices and measuring devices using electromagnetic waves in the infrared region (hereinafter referred to as “infrared light”) have been widely put into practical use. For example, thermography for detecting temperature distribution in an object by imaging infrared light emitted from the object on a light receiving area of a thermopile sensor having a two-dimensional light receiving area by a lens for infrared light is widely known. ing.
In the infrared light region, there are absorption wavelengths of various gases such as CO, CO 2 , H 2 S, water vapor, and ethyl alcohol gas. By detecting this absorption wavelength, the presence or absence of various gases can be detected, or It is known to perform measurement (Patent Documents 1 to 3, etc.).
例えば、特許文献１には、ＣＯ２ガスや水分の測定に関する記載があり、特許文献２には、エチレンガスの検出に関する例が記載され、特許文献３には、エチルアルコールの検出により酒気帯び運転の検知に関する記載がある。 For example, Patent Document 1 describes the measurement of CO 2 gas and moisture, Patent Document 2 describes an example related to detection of ethylene gas, and Patent Document 3 describes drunk driving by detecting ethyl alcohol. There is a description about detection.
この発明は、赤外光を利用した新規なガス画像センサ装置の実現を課題とする。 This invention makes it a subject to implement | achieve the novel gas image sensor apparatus using infrared light.
この発明のガス画像センサ装置は、撮像対象となる１種以上のガスの赤外光画像を結像する赤外光結像光学系と、該赤外光結像光学系による赤外光画像を結像され、前記赤外光画像を撮像する赤外光撮像素子と、前記赤外光結像光学系と前記赤外光撮像素子との間に配置され、前記赤外光結像光学系による結像光束を前記赤外光画像用光束と分光画像用光束とに分離する分離手段と、該分離手段により分離された分光画像用光束の結像面に配置された２次元のシャッタアレイと、該シャッタアレイの各シャッタを通過する赤外光を前記シャッタごとに分光する赤外光分光手段と、を有し、前記赤外光分光手段は、前記撮像対象となる１種以上のガスによる赤外光吸収波長を分光波長領域に含む。 A gas image sensor device according to the present invention includes an infrared light imaging optical system that forms an infrared light image of one or more kinds of gases to be imaged, and an infrared light image obtained by the infrared light imaging optical system. An infrared image pickup device that forms an image and picks up the infrared light image, and is disposed between the infrared light image pickup optical system and the infrared light image pickup device. Separating means for separating the imaging light beam into the infrared light image light beam and the spectral image light beam; a two-dimensional shutter array disposed on the imaging surface of the spectral image light beam separated by the separating means; Infrared light spectroscopic means for splitting infrared light passing through each shutter of the shutter array for each shutter, and the infrared light spectroscopic means is configured to emit red light from one or more gases to be imaged. The external light absorption wavelength is included in the spectral wavelength region.
この発明によれば、赤外光を利用した新規なガス画像センサ装置を実現できる。 According to the present invention, a novel gas image sensor device using infrared light can be realized.
具体的な実施の形態を説明するのに先立って、用語等を簡単に説明する。
前述の如く、この明細書において「赤外光」は、赤外光領域の電磁波である。赤外光領域は「可視光の波長領域の上限よりも長波長側の波長領域」であり、一般に、近赤外光、中赤外光、遠赤外光に分類される。近赤外光の波長域は「０．７〜２．５μｍ」、中赤外光の波長領域はその上限が必ずしも一義的には特定されていないが「２．５〜４．６μｍ程度」であり、これより長波長の領域の赤外光が遠赤外光であるとされる。
Prior to describing specific embodiments, terms and the like will be briefly described.
As described above, “infrared light” in this specification is an electromagnetic wave in the infrared light region. The infrared light region is “a wavelength region longer than the upper limit of the wavelength region of visible light”, and is generally classified into near infrared light, mid infrared light, and far infrared light. The wavelength range of near-infrared light is “0.7 to 2.5 μm”, and the upper limit of the wavelength range of mid-infrared light is not necessarily uniquely specified, but “about 2.5 to 4.6 μm” Yes, it is assumed that infrared light in a longer wavelength region is far-infrared light.
赤外光は一般に「赤外線」とも称されるが、この明細書では、赤外線の光学的側面を問題とすることに鑑み「赤外光」と称する。
ガス画像センサ装置では、１種以上のガスを「撮像対象」とする。この撮像対象であるガスは「赤外光結像光学系」により「赤外光画像」として結像される。赤外光結像光学系は、赤外光に対して結像機能を有する光学系であり、結像素子としてレンズ系を含む。このレンズ系としては、例えば、Ｇｅ（ゲルマニウム）やＺｎＳｅ（セルシウム化亜鉛）、ＭｇＦ２（２フッ化マグネシウム）を材料とするレンズを含むものとして構成できる。
これらの材料により形成されるレンズは、上述の中赤外光および遠赤外光の波長領域の赤外光に対してレンズ作用を有するので、以下の説明において「２波長帯透過レンズ」とも呼ぶ。
Infrared light is generally referred to as “infrared light”, but in this specification, it is referred to as “infrared light” in view of the problem of the optical aspect of infrared light.
In the gas image sensor device, one or more kinds of gases are set as “imaging targets”. The gas to be imaged is imaged as an “infrared light image” by the “infrared light imaging optical system”. The infrared light imaging optical system is an optical system having an imaging function with respect to infrared light, and includes a lens system as an imaging element. This lens system can be configured to include a lens made of, for example, Ge (germanium), ZnSe (zincium cerium), or MgF 2 (magnesium difluoride).
A lens formed of these materials has a lens function for infrared light in the above-described mid-infrared light and far-infrared wavelength regions, and is also referred to as a “two-wavelength band transmission lens” in the following description. .
なお、可視光領域から遠赤外光領域までの波長領域の電磁波に対してレンズ作用を持つレンズも知られており（例えば、特許文献１記載の「赤外線および可視光線の何れをも透過させるレンズ」）、このようなレンズも赤外光結像光学系に用い得る。 A lens having a lens action with respect to electromagnetic waves in a wavelength region from the visible light region to the far infrared light region is also known (for example, “a lens that transmits both infrared light and visible light described in Patent Document 1”). "), Such a lens can also be used in an infrared light imaging optical system.
赤外光は目視では不可視であるから、赤外光結像光学系により結像される赤外光画像は目視されない。赤外光画像は、赤外光撮像素子により撮像した出力に画像処理を施して、ディスプレイ上に目視可能な像として表示可能である。
「赤外光撮像素子」としては、周知の「サーモパイル」や「ボロメータ」の素子を２次元的に排列したもの（これらはすでに市販されている。）を用いることができ、サーモパイル等を用いる赤外光撮像素子を用いると、赤外光画像を「温度分布画像」に変換できる。
Since infrared light is invisible visually, an infrared light image formed by the infrared light imaging optical system is not visually observed. The infrared light image can be displayed as an image visible on the display by performing image processing on the output imaged by the infrared light image sensor.
As the “infrared light imaging device”, a well-known “thermopile” or “bolometer” device (two-dimensionally arranged) (these are already commercially available) can be used, and a red using a thermopile or the like. When an external light image sensor is used, an infrared light image can be converted into a “temperature distribution image”.
また、赤外光の持つ連続スペクトルの強度は「黒体輻射に関するヴィーンの法則」に從って温度と共に変化するので、赤外光強度の波長依存性から赤外光の温度を特定でき、所謂「赤外光センサ」を用いて、赤外光画像の温度分布を生成することが従来から知られている。 In addition, since the intensity of the continuous spectrum of infrared light changes with temperature according to the “Vinne's Law for Blackbody Radiation”, the temperature of infrared light can be specified from the wavelength dependence of infrared light intensity, so-called It is conventionally known to generate a temperature distribution of an infrared light image using an “infrared light sensor”.
この発明のガス画像センサ装置では、赤外光結像光学系と赤外光撮像素子との間に「分離手段」が配置され、赤外光結像光学系により結像される結像光束を「赤外光画像用光束」と「分光画像用光束」との２部分に分離する。
分離手段は、赤外光結像光学系により結像される結像光束を「赤外光画像用光束と分光画像用光束」の２部分に分離できるものであれば適宜のものを用いることができる。
例えば「半透鏡」のように、前記結像光束を「所望の強度配分で互いに分離する」ものを用いることもできる。
分離手段は、例えば「分光透過膜を形成したダイクロイックフィルタ」のように、結像光束を、例えば、遠赤外領域と中赤外領域のように「波長領域の異なる赤外光成分」に分離するものを用いるのが好ましい。
In the gas image sensor device of the present invention, a “separation means” is disposed between the infrared light imaging optical system and the infrared light imaging device, and the imaging light beam imaged by the infrared light imaging optical system is The light beam is separated into two parts, “infrared light beam” and “spectral image beam”.
Any separation means may be used as long as it can separate the imaging light beam formed by the infrared light imaging optical system into two parts, “infrared light beam and spectral image light beam”. it can.
For example, like the “semi-transparent mirror”, it is also possible to use one that “separates each other” with the desired intensity distribution.
Separation means separates the imaged light beam into “infrared light components having different wavelength regions” such as the far infrared region and the mid infrared region, for example, “dichroic filter with a spectral transmission film”. It is preferable to use those that do.
分離手段により分離された一方の光束である「赤外光画像用光束」は、赤外光撮像素子上に結像して赤外光画像を形成する。
分離された他方の光束である「分光画像用光束」は、その結像面に合致して配置されたシャッタアレイ上に結像する。
「シャッタアレイ」は、微小なシャッタを２次元的に配列してなり、個々のシャッタを選択的に開閉可能である。分光画像用光束は、シャッタアレイの個々のシャッタを通過すると、赤外光分光手段により分光される。
「赤外光分光手段」は、その分光波長領域に「撮像対象となる１種以上のガスによる赤外光吸収波長」を含む。
「赤外光分光手段」は後述の実施の形態のように、赤外光領域に感度を有する赤外光受光素子アレイと、シャッタアレイの個々を通過した光束を、赤外光受光素子アレイの受光領域に照射するリレー光学系と、赤外光受光素子アレイの受光領域に密接もしくは近接して配置され、該受光領域に入射する赤外光を分光する分光フィルタを有する構成とすることができる。
An “infrared light image light beam”, which is one light beam separated by the separating means, forms an infrared light image by forming an image on the infrared light image sensor.
A “spectral image light beam”, which is the other separated light beam, forms an image on a shutter array arranged in conformity with the image plane.
The “shutter array” is a two-dimensional array of minute shutters, and each shutter can be selectively opened and closed. When the spectral image light flux passes through each shutter of the shutter array, it is split by the infrared light spectroscopic means.
The “infrared light spectroscopic means” includes “infrared light absorption wavelength by one or more gases to be imaged” in the spectral wavelength region.
As in the embodiments described later, the “infrared light spectroscopic means” is a method of combining the infrared light receiving element array having sensitivity in the infrared light region and the light beam that has passed through each of the shutter arrays with the infrared light receiving element array. A relay optical system for irradiating the light receiving region and a spectral filter that is disposed in close proximity to or close to the light receiving region of the infrared light receiving element array and separates infrared light incident on the light receiving region can be provided. .
「赤外光分光手段」はまた、シャッタアレイの各シャッタを通過した赤外光を平行光束化するマイクロレンズアレイと、該マイクロレンズアレイの個々のマイクロレンズにより平行光束化された赤外光を集光させる集光レンズと、該集光レンズにより集光される赤外光の「集光位置」を通過する赤外光の赤外光成分を分光して受光する分光器と、を有する構成とすることもできる。
「赤外光成分の分光」は、例えば、回折格子を用いて「回折により分光」させることもできるし、プリズム等による分散により分光させることもできる。
The “infrared light spectroscopic means” also includes a microlens array that converts infrared light that has passed through each shutter of the shutter array into parallel light fluxes, and infrared light that has been converted into parallel light fluxes by the individual microlenses of the microlens array. A configuration having a condensing lens for condensing, and a spectroscope for spectrally receiving and receiving infrared light components of infrared light passing through a “condensing position” of infrared light collected by the condensing lens It can also be.
“Infrared light component spectroscopy” can be “split by diffraction” using, for example, a diffraction grating, or can be dispersed by dispersion using a prism or the like.
付言すると、この発明のガス画像センサ装置では「１種以上のガス」を撮像対象とするのであるから、撮像対象となるガスは「１種類」である場合も含まれる。特定の１種類のガスを撮像対象とするのであれば、その吸収波長は撮像対象である「特定のガスに固有」である。従って、この場合、上記赤外光成分を分光して受光する分光器が有するべき「分光機能」は、この場合「特定の吸収波長とその近傍の波長領域」のみを他の波長の赤外光成分から分離できればよい。
この発明においては、このような「特定の吸収波長とその近傍の波長領域のみを他の波長の赤外光成分から分離する」ことも「分光」の概念に含める。
「特定の吸収波長とその近傍の波長領域のみを他の波長の赤外光成分から分離」するには、例えば、バンドパスフィルタを用いて上記「特定の吸収波長とその近傍の波長領域の赤外光成分のみ」を透過させ、他の波長領域の赤外光成分を反射させることにより実行することができる。
In addition, since the gas image sensor device of the present invention uses “one or more types of gas” as an imaging target, the case where the imaging target gas is “one type” is also included. If one specific type of gas is to be imaged, the absorption wavelength is “specific to the specific gas” that is the imaged object. Therefore, in this case, the “spectral function” that the spectroscope that receives and splits the infrared light component should have only the “specific absorption wavelength and the wavelength region in the vicinity” in this case. What is necessary is just to be separable from a component.
In the present invention, such “separation of only a specific absorption wavelength and a wavelength region in the vicinity thereof from infrared light components of other wavelengths” is also included in the concept of “spectroscopy”.
In order to “separate only a specific absorption wavelength and a wavelength region in the vicinity thereof from infrared light components of other wavelengths”, for example, using a bandpass filter, This can be performed by transmitting only the “external light component” and reflecting infrared light components in other wavelength regions.
以下、ガス画像センサ装置を用いる「ガス画像撮像測定システム」の実施の１形態を説明する。
以下に説明するガス画像撮像測定システムは「火山ガス監視システム」を想定したものである。
説明図として例示する図１において、（ａ）は「火山ガスを噴出中の火山」の状況を示す可視画像である。火山の火口から「白煙状の火山ガス」が噴出している。
図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す噴出中の火山ガスの「温度分布画像」を可視画像に重畳した画像である。図１（ｃ）は、噴出中の火山ガスに含まれる「水蒸気」、「ＣＯ２（２酸化炭素ガス）」、「Ｈ２Ｓ（硫化水素ガス）」の分布を可視画像に重畳して表示した画像である。
Hereinafter, an embodiment of a “gas image imaging measurement system” using a gas image sensor device will be described.
The gas imaging measurement system described below assumes a “volcanic gas monitoring system”.
In FIG. 1 illustrated as an explanatory diagram, (a) is a visible image showing the situation of “a volcano that is injecting volcanic gas”. “Smoke-like volcanic gas” erupts from the crater of the volcano.
FIG. 1B is an image in which the “temperature distribution image” of the volcanic gas being ejected shown in FIG. FIG. 1C shows the distribution of “water vapor”, “CO 2 (carbon dioxide gas)”, and “H 2 S (hydrogen sulfide gas)” contained in the volcanic gas being ejected superimposed on the visible image. It is an image.
図１（ｂ）において、Ａは２０００℃、Ｂは１０００℃、Ｃは８００℃、Ｄは５００℃、Ｅは３００℃の領域を、それぞれ示している。また、図１（ｃ）において、Ｆは水蒸気、ＧはＨ２Ｓ、ＨがＣＯ２の空間分布状態を示している。 In FIG.1 (b), A has shown the area | region of 2000 degreeC, B is 1000 degreeC, C is 800 degreeC, D is 500 degreeC, E is 300 degreeC, respectively. Further, in FIG. 1 (c), F is the water vapor, G is H 2 S, H indicates the spatial distribution of CO 2.
図１（ｂ）に示す如き「温度分布画像」は、分離手段により分離された赤外光用光束が赤外光撮像素子の２次元の撮像領域に結像する赤外光画像の強度分布を、画像処理により温度分布に変換することにより得られる。
図１（ｂ）に示すのは、温度分布画像を、複数の温度領域に分けて「温度の段階的な変化」を示すように、温度分布画像を画像処理したものである。
The “temperature distribution image” as shown in FIG. 1B shows the intensity distribution of the infrared light image in which the infrared light beam separated by the separating means forms an image in the two-dimensional imaging region of the infrared light image sensor. It is obtained by converting it into a temperature distribution by image processing.
In FIG. 1B, the temperature distribution image is subjected to image processing so that the temperature distribution image is divided into a plurality of temperature regions to indicate “step change in temperature”.
図１（ｃ）に示す如き「ガス種の分布」の画像は、分離手段により分離された分光画像用光束を用いて得られる。
即ち、分光画像用光束を２次元のシャッタアレイ上に結像させ、シャッタアレイの個々のシャッタを画素とし、各画素を通った光束を赤外光分光手段により分光する。
そして、撮像されている火山ガスにおける「撮像対象」であるガス（説明中の例で、水蒸気と、Ｈ２Ｓガス、ＣＯ２ガス）の吸収波長が含まれている画像（吸収波長の赤外光が吸収されているので、暗い画像となる。）を吸収波長ごとに２次元画像化する。この処理も画像処理として行うことができる。
The “gas species distribution” image as shown in FIG. 1C is obtained by using the spectral image light beam separated by the separation means.
That is, the luminous flux for spectral images is imaged on a two-dimensional shutter array, each shutter of the shutter array is used as a pixel, and the luminous flux passing through each pixel is dispersed by an infrared light spectroscopic means.
Then, an image (infrared of the absorption wavelength) containing the absorption wavelength of the gas that is the “imaging target” in the imaged volcanic gas (in the example being described, water vapor, H 2 S gas, CO 2 gas) Since the light is absorbed, it becomes a dark image.) Is two-dimensionally imaged for each absorption wavelength. This processing can also be performed as image processing.
説明中の例において、水蒸気の吸収波長は２．６６μｍ、ＣＯ２ガスの吸収波長は４．２６μｍ、Ｈ２Ｓガスの吸収波長は３．８１μｍである。
從って、これらのガスは何れも「中赤外光の波長領域」に吸収波長を有している。
上に概略を説明した「火山ガス監視システムを想定したガス画像撮像測定システム」の実施の形態例を以下に説明する。
In the example in the description, the absorption wavelength of water vapor is 2.66 μm, the absorption wavelength of CO 2 gas is 4.26 μm, and the absorption wavelength of H 2 S gas is 3.81 μm.
Therefore, each of these gases has an absorption wavelength in the “mid-infrared wavelength region”.
An embodiment of the “gas imaging and measurement system assuming a volcanic gas monitoring system” as outlined above will be described below.
図２は、ガス画像撮像測定システムの実施の１形態の概念図である。
符号１００で示す部分は「ガス画像撮像測定装置」の部分を示す。
ガス画像撮像測定装置１００は、ガス画像センサ装置１０１、画像処理手段１０３、ディスプレイ手段１０５および制御手段１１０を有する。
図中の符号２０１は「可視画像撮像手段」、符号２０３は「可視画像用画像処理手段」を、それぞれ示す。
画像処理手段１０３は、ガス画像センサ装置１０１の出力に対する画像処理を行う。
可視画像撮像手段２０１は、ガス画像撮像測定装置１００の撮像領域（ガス画像センサ装置１０１の撮像領域）の可視画像を撮像し、その撮像出力を可視画像用画像処理手段２０３に入力させる。
可視画像用画像処理手段２０３は、可視画像撮像手段２０１の撮像出力に対する画像処理を行う。
ディスプレイ手段１０５は、画像処理手段１０３の出力や、可視画像用画像処理手段２０３の出力を画像として表示する。即ち、ディスプレイ手段１０５は、画像処理手段１０３と、可視画像用画像処理手段２０３に共用されており、可視画像用画像処理手段２０３との関連で「可視画像用ディスプレイ手段１０５」と言う場合もある。
FIG. 2 is a conceptual diagram of one embodiment of a gas imaging measurement system.
A portion denoted by
The gas image capturing and measuring
The image processing means 103 performs image processing on the output of the gas
The visible
The visible
The
上記ガス画像センサ装置１０１、画像処理手段１０３、可視画像用画像処理手段２０３およびディスプレイ手段１０５は、制御手段１１０の制御を受ける。制御手段１１０は、コンピュータやＣＰＵ等として構成され、種々の制御内容が記憶されており、各種インタフェイス手段により所望の制御内容を外部から指定することもできる。
即ち、図２に示すガス画像撮像測定システムは、ガス画像撮像測定装置１００と、可視画像撮像装置と、を有し、可視画像撮像装置は、可視画像撮像手段２０１と、可視画像用画像処理手段２０３と、可視画像用ディスプレイ手段１０５と、を有する。
可視画像用ディスプレイ手段１０５は、ガス画像撮像測定装置のディスプレイ手段１０５を兼ねている。後述のように、ディスプレイ手段１０５には、ガス画像撮像測定装置１００による「１種以上のガス画像および赤外光画像および表示用可視画像の１以上」が、選択的に、もしくは合成画像として表示される。
なお、図２に示す、画像処理手段１０３と可視画像用画像処理手段２０３とは、図示の如くに別体として構成できることは勿論であるが、これらを「１つの手段として共通化」することもできる。このように共通化した場合を破線で示し、符号１０３０を付する。このように共通化した部分を、以下において「画像処理手段１０３０」と呼ぶ。
The gas
That is, the gas image capturing and measuring system shown in FIG. 2 includes a gas image capturing and measuring
The visible image display means 105 also serves as the display means 105 of the gas image capturing and measuring apparatus. As will be described later, on the display means 105, “one or more of one or more types of gas images, infrared light images, and visible images for display” by the gas image capturing and measuring
It should be noted that the image processing means 103 and the visible image processing means 203 shown in FIG. 2 can be configured as separate bodies as shown in the figure, but they can also be “shared as one means”. it can. Such a common case is indicated by a broken line and denoted by
図３を参照する。
図３は、図２に示したガス画像撮像測定システムのうち、ディスプレイ手段１０５と制御手段１１０の部分を除いた部分の具体的な構成の２例を示している。
図３（ａ）を参照すると、この図において、符号ＯＬは「撮像対象からの可視光成分」を示し、符号ＯＬＩは「撮像対象からの赤外光成分」を示す。
赤外光成分ＯＬＩは、中赤外光成分と遠赤外光成分を含んでいる。
図３（ａ）において符号Ｌ０は「レンズ」を示し、符号１０Ａは「可視画像撮像素子」を示す。レンズＬ０は「可視画像結像光学系」であって、撮像対象（説明中の例では「火山の火口部」）からの可視光成分ＯＬの入射を受けて、可視画像撮像素子１０Ａの受光面上に「撮像対象の可視画像」として結像させる。
可視画像撮像素子１０Ａとしては、ＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等「可視光の波長領域に感度を有する受光素子」を２次元に配列して「エリアセンサ」としたものを用いることができる。勿論、可視画像撮像素子１０Ａは、モノクローム画像対応のものもカラー画像対応のものも用いることができる。
Please refer to FIG.
FIG. 3 shows two examples of specific configurations of the gas image capturing measurement system shown in FIG. 2 excluding the display means 105 and the control means 110.
Referring to FIG. 3A, in this figure, the symbol OL indicates “visible light component from the imaging target”, and the symbol OLI indicates “infrared light component from the imaging target”.
The infrared light component OLI includes a mid-infrared light component and a far-infrared light component.
In FIG. 3A, the symbol L0 indicates “lens”, and the
As the visible
図２に示した可視画像撮像手段２０１は、図３に示す例では、レンズＬ０と可視画像撮像素子１０Ａとを含む。
図３（ａ）において、符号ＬＩは「赤外光結像光学系」である２波長帯透過レンズを示す。２波長帯透過レンズＬＩは、赤外光成分ＯＬＩに含まれる中赤外光成分と遠赤外光成分に対してレンズ作用を有する。赤外光成分ＯＬＩは、２波長帯透過レンズＬＩに入射すると、２波長帯透過レンズＬＩの光学作用を受けて「結像光束」となり、「分離手段」であるダイクロイックフィルタＳＰに入射する。
ダイクロイックフィルタは、入射してくる結像光束を、波長領域の異なる２光束に分離する。即ち、赤外光成分ＯＬＩ中の遠赤外成分（波長：５μｍ以上）は透過させて「赤外光画像用光束」とし、中赤外成分（波長：２μｍ〜５μｍ）は反射させて「分光画像用光束」とする。
The visible
In FIG. 3A, symbol LI indicates a two-wavelength band transmission lens which is an “infrared light imaging optical system”. The two-wavelength band transmission lens LI has a lens effect on the mid-infrared light component and the far-infrared light component contained in the infrared light component OLI. When the infrared light component OLI is incident on the two-wavelength band transmission lens LI, it receives the optical action of the two-wavelength band transmission lens LI, becomes an “imaging light beam”, and enters the dichroic filter SP as a “separation unit”.
The dichroic filter separates an incident imaging light beam into two light beams having different wavelength regions. That is, the far-infrared component (wavelength: 5 μm or more) in the infrared light component OLI is transmitted to form “infrared light beam”, and the mid-infrared component (wavelength: 2 μm to 5 μm) is reflected to form “spectral It is referred to as “light beam for image”.
ダイクロイックフィルタＳＰを透過した赤外光画像用光束は、赤外光撮像素子１０Ｂの受光面上に遠赤外成分による「赤外光画像」として結像し、赤外光撮像素子１０Ｂにより撮像される。赤外光撮像素子１０Ｂは「遠赤外光の波長領域に感度を有する受光素子」を２次元にアレイ配列した撮像素子であり、市販されているものを用いることができる。
從って、赤外光撮像素子１０Ｂにより遠赤外光による「赤外光画像」が撮像される。
The infrared light image light flux that has passed through the dichroic filter SP forms an “infrared light image” of a far infrared component on the light receiving surface of the infrared
As a result, an “infrared light image” of far infrared light is picked up by the infrared
ダイクロイックフィルタＳＰに反射された「分光画像用光束」も、２波長帯透過レンズＬＩのレンズ作用により中赤外光画像として結像するが、その結像面に合致させてシャッタアレイＳＡが配置されている。シャッタアレイＳＡは、２枚のリレーレンズＲＬ１、ＲＬ２により挟まれ、中赤外光画像を結像する光束光線は、リレーレンズＲＬ１によりシャッタアレイＳＡに直交する方向に向かわされ、シャッタアレイＳＡに直交するように入射する。２枚のリレーレンズＲＬ１、ＲＬ２はリレー光学系ＲＬを構成する。
シャッタアレイＳＡは「独立して開閉できる微小なシャッタ」を２次元的に配列してなり、中赤外光画像がシャッタアレイ上に結像している状態で、任意の１つのシャッタを開くと、このシャッタを「画素」とする中赤外光が、シャッタアレイＳＡを通過する。
シャッタアレイＳＡの任意のシャッタを通過した中赤外光は、リレーレンズＲＬ２を透過し、発散しつつ赤外光受光素子アレイ１０ＣＡに投射される。
説明中の例では、ダイクロイックフィルタＳＰにより反射された分光画像用光束は中赤外光であるので、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡとしては、中赤外光の波長領域を含む波長：２〜５μｍ程度の赤外光に対して感度を持つ受光素子のアレイが用いられる。このような赤外光受光素子アレイ１０ＣＡとしても市販の「中赤外光用の受光素子アレイ」を用いることができる。
The “spectral image light beam” reflected by the dichroic filter SP is also imaged as a mid-infrared light image by the lens action of the two-wavelength band transmission lens LI, but the shutter array SA is arranged so as to match the imaging surface. ing. The shutter array SA is sandwiched between two relay lenses RL1 and RL2, and a light beam that forms a mid-infrared light image is directed by the relay lens RL1 in a direction orthogonal to the shutter array SA and orthogonal to the shutter array SA. Incidently enter. The two relay lenses RL1 and RL2 constitute a relay optical system RL.
The shutter array SA is formed by two-dimensionally arranging “small shutters that can be opened and closed independently”, and when any one shutter is opened while a mid-infrared light image is formed on the shutter array. The mid-infrared light having this shutter as a “pixel” passes through the shutter array SA.
The mid-infrared light that has passed through any shutter of the shutter array SA passes through the relay lens RL2, and is projected to the infrared light receiving element array 10CA while being diverged.
In the example in the description, since the spectral image light beam reflected by the dichroic filter SP is mid-infrared light, the infrared light receiving element array 10CA has a wavelength including the wavelength region of mid-infrared light: 2 to 5 μm. An array of light receiving elements having sensitivity to a certain degree of infrared light is used. A commercially available “light receiving element array for mid-infrared light” can also be used as such an infrared light receiving element array 10CA.
なお、図３（ａ）に示す例においては、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡは「エリアセンサ」であり、受光領域は２次元である。
シャッタアレイＳＡの任意のシャッタを通過した光束は発散光束である。リレーレンズＲＬ２は、任意のシャッタを通過した発散光束の「光束中心光線」を、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡの中心部に向かわせる機能を有する。また、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡは、シャッタアレイＳＡの任意のシャッタを通過した光束が、全て受光エリアに入射するように、シャッタアレイＳＡに対する位置関係を設定されている。
図３（ａ）に符号ＳＰＦで示す「分光フィルタ」は、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡの受光面に密接もしくは近接して配置され、上記受光面に入射する赤外光（中赤外光）を分光する。即ち、分光フィルタＳＰＦは「透過波長が図の上下方向に変化するフィルタ」であり、図の上端側での透過波長が２μｍ、下端での透過波長が５μｍとなるように設定されている。
このような分光フィルタとしては、例えば、「VOLTEX OPTICAL COATING Ltd.製の赤外線リニア可変フィルタ」を好適に用いることができる。
In the example shown in FIG. 3A, the infrared light receiving element array 10CA is an “area sensor”, and the light receiving region is two-dimensional.
The light beam that has passed through any shutter of the shutter array SA is a divergent light beam. The relay lens RL2 has a function of directing the “light beam central beam” of the divergent light beam that has passed through an arbitrary shutter toward the center of the infrared light receiving element array 10CA. Further, the infrared light receiving element array 10CA is set in a positional relationship with respect to the shutter array SA so that all the light beams that have passed through any shutter of the shutter array SA enter the light receiving area.
The “spectral filter” indicated by reference sign SPF in FIG. 3A is disposed in close proximity to or close to the light receiving surface of the infrared light receiving element array 10CA, and is incident on the light receiving surface (infrared light). Spectroscopy. That is, the spectral filter SPF is a “filter whose transmission wavelength changes in the vertical direction in the figure”, and is set so that the transmission wavelength at the upper end of the figure is 2 μm and the transmission wavelength at the lower end is 5 μm.
As such a spectral filter, for example, an “infrared linear variable filter manufactured by VOLTEX OPTICAL COATING Ltd.” can be preferably used.
このような分光フィルタＳＰＦを用いると、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡにおける図の上側の受光素子には「波長：２μｍの中赤外光」が入射し、図の下側の受光素子には「波長：５μｍの中赤外光」が入射することになる。
シャッタアレイＳＡにおけるシャッタの個々をパラメータ：ｉ，ｊを用いて「ＳＴｉｊ」のように表すことにする。
パラメータ：ｉは、図の上下方向の位置に対応するパラメータ、パラメータ：ｊは、図面に直交する方向の位置に対応するパラメータである。
そこで、１個のシャッタＳＴｉｊが開いている状態において、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡの受光素子のうち「水蒸気の吸収波長：２．６６μｍ相当の中赤外光を受光する受光素子群（便宜的に「水蒸気検出用受光素子群」と呼ぶ。）」の出力に着目する。
この「水蒸気検出用受光素子群」の出力の高底は「シャッタＳＴｉｊの位置に結像している中赤外光画像」における水蒸気成分の大小に対応する。即ち、水蒸気成分が大きいほど、波長：２．６６μｍ相当の中赤外光は強く吸収されるので上記出力は小さくなり、水蒸気成分が小さいほど上記出力は大きくなる。
When such a spectral filter SPF is used, “wavelength: 2 μm mid-infrared light” is incident on the upper light receiving element of the infrared light receiving element array 10CA, and “lower infrared light receiving element” Wavelength: 5 μm mid-infrared light ”is incident.
Each shutter in the shutter array SA is expressed as “STij” using parameters: i and j.
Parameter: i is a parameter corresponding to a position in the vertical direction of the figure, and parameter: j is a parameter corresponding to a position in a direction orthogonal to the figure.
Therefore, in a state where one shutter STij is open, among the light receiving elements of the infrared light receiving element array 10CA, “a group of light receiving elements that receive mid-infrared light corresponding to an absorption wavelength of water vapor: 2.66 μm (for convenience) Note the output of “water-detection light-receiving element group”).
The high bottom of the output of the “water-detecting light-receiving element group” corresponds to the magnitude of the water vapor component in the “mid-infrared light image formed at the position of the shutter STij”. That is, the larger the water vapor component, the stronger the mid-infrared light corresponding to the wavelength: 2.66 μm is absorbed, so the output becomes smaller, and the smaller the water vapor component, the larger the output.
從って、シャッタアレイＳＡを構成する全てのシャッタについて、水蒸気検出用受光素子群の出力（水蒸気検出用受光素子群を構成する全ての受光素子の出力）を求め、シャッタアレイに対応する「２次元の出力分布」を求めると、この２次元の出力分布は、シャッタアレイＳＡに結像している中赤外光画像における「水蒸気の濃度分布」に対応する。 Accordingly, the output of the water vapor detecting light receiving element group (the output of all the light receiving elements constituting the water vapor detecting light receiving element group) is obtained for all the shutters constituting the shutter array SA, and “2” corresponding to the shutter array is obtained. When the “dimensional output distribution” is obtained, the two-dimensional output distribution corresponds to the “water vapor concentration distribution” in the mid-infrared light image formed on the shutter array SA.
この水蒸気の濃度分布に対応するシャッタアレイＳＡにおける「２次元の出力分布」を、以下、便宜的に「水蒸気出力分布」と呼ぶ。 The “two-dimensional output distribution” in the shutter array SA corresponding to the water vapor concentration distribution is hereinafter referred to as “water vapor output distribution” for convenience.
同様に、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡの受光素子のうち「ＣＯ２ガスの吸収波長：４．２６μｍ相当の中赤外光を受光する受光素子群の出力」のシャッタアレイに対応する「２次元の出力分布」を求めると、この２次元の出力分布はシャッタアレイＳＡに結像している中赤外光画像における「ＣＯ２ガスの濃度分布」に対応する。
このＣＯ２ガスの濃度分布に対応するシャッタアレイＳＡにおける「２次元の出力分布」を、以下、便宜的に「ＣＯ２ガス出力分布」と呼ぶ。
赤外光受光素子アレイ１０ＣＡの受光素子のうち「Ｈ２Ｓガスの吸収波長：３．８１μｍ相当の中赤外光を受光する受光素子群の出力」のシャッタアレイに対応する「２次元の出力分布」を求めると、この２次元の出力分布はシャッタアレイＳＡに結像している中赤外光画像における「Ｈ２Ｓガスの濃度分布」に対応する。
このＨ２Ｓガスの濃度分布に対応するシャッタアレイＳＡにおける「２次元の出力分布」を、以下、便宜的に「Ｈ２Ｓガス出力分布」と呼ぶ。
図３（ａ）において、可視画像撮像素子１０Ａからの出力（便宜上「可視画像データ」と称する。）は、画像処理手段１０３０に入力する。同様に、赤外光撮像素子１０Ｂからの出力（便宜上「赤外光画像データ」と称する。」）、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡの出力（便宜上「中赤外光画像データ」と称する。）も、画像処理手段１０３０に入力する。
Similarly, among the light receiving elements of the infrared light receiving element array 10CA, “two-dimensional corresponding to an output of a light receiving element group that receives mid-infrared light corresponding to an absorption wavelength of CO 2 gas: 4.26 μm”. The two-dimensional output distribution corresponds to the “CO 2 gas concentration distribution” in the mid-infrared light image formed on the shutter array SA.
The “two-dimensional output distribution” in the shutter array SA corresponding to this CO 2 gas concentration distribution is hereinafter referred to as “CO 2 gas output distribution” for convenience.
Among the light receiving elements of the infrared light receiving element array 10CA, “two-dimensional output” corresponding to the shutter array of “output of light receiving element group that receives mid-infrared light corresponding to an absorption wavelength of H 2 S gas: 3.81 μm” When the “distribution” is obtained, this two-dimensional output distribution corresponds to the “concentration distribution of H 2 S gas” in the mid-infrared light image formed on the shutter array SA.
The “two-dimensional output distribution” in the shutter array SA corresponding to this H 2 S gas concentration distribution is hereinafter referred to as “H 2 S gas output distribution” for convenience.
In FIG. 3A, the output from the visible image pickup element 10 </ b> A (referred to as “visible image data” for convenience) is input to the image processing means 1030. Similarly, an output from the infrared
画像処理手段１０３０は、これらの入力データに対し画像処理を行う。
前述の如く、画像処理手段１０３０は、図２に示す画像処理手段１０３と可視画像用画像処理手段２０３とを共通化したものであり、可視画像データに対する画像処理と、赤外光画像データに対する画像処理と、中赤外光画像データに対する画像処理を行うことができる。
「画像処理」は、ノイズの除去や、画像輝度の調整、コントラストの強調、複数画像の重畳、色付け等、公知の種々の処理が可能である。
The image processing means 1030 performs image processing on these input data.
As described above, the image processing means 1030 is the one in which the image processing means 103 and the visible image processing means 203 shown in FIG. 2 are made common, and image processing for visible image data and image processing for infrared light image data. Processing and image processing on mid-infrared light image data can be performed.
As the “image processing”, various known processes such as noise removal, image brightness adjustment, contrast enhancement, multiple image superimposition, and coloring can be performed.
画像処理手段１０３０における画像処理は、上記可視画像データ、赤外光画像データ、中赤外光画像データに対する処理を、同時並列的に行うことも「データごとに別箇」に行うことも可能である。これらの処理の選択や切り替えは、制御手段１１０に予め設定してある設定内容に從って行うことも、また外部入力により行うこともできる。
画像処理手段１０３０は、画像処理を施されて表示可能となったデータをディスプレイ手段１０５（図２参照）に送って画像として表示させる。
画像処理手段１０３０により画像処理された「可視画像データ」を、ディスプレイ手段１０５に表示すれば、可視画像撮像素子１０Ａにより撮像され、画像処理された可視画像が表示される。このようにして、例えば、図１（ａ）に示したような「火山ガスを噴出中の火山」の状況を示す可視画像が表示される。
The image processing in the image processing means 1030 can be performed on the visible image data, infrared light image data, and mid-infrared light image data in parallel or “separately for each data”. is there. The selection and switching of these processes can be performed according to the setting contents set in advance in the
The image processing means 1030 sends data that has been subjected to image processing and can be displayed to the display means 105 (see FIG. 2) to display it as an image.
If the “visible image data” image-processed by the image processing means 1030 is displayed on the display means 105, a visible image captured by the visible
また、赤外光撮像素子１０Ｂでは、遠赤外による「赤外光画像」が撮像されるので、赤外光撮像素子１０Ｂからの赤外光画像データに「ノイズ除去や輝度調整等の画像処理」を施して画像処理手段１０３０から出力させれば、ディスプレイ手段１０５に通常の「赤外線写真」に相当する画像を表示できる。
画像処理として、前述した「温度分布画像に変換する処理」を行い、さらに、温度分布画像を複数の温度領域に分けて「温度の段階的な変化」を示すように画像処理し、その結果を、上述の「可視画像」に重畳させてディスプレイ手段１０５に表示すれば、例えば図１（ｂ）に示す如き画像が得られる。
赤外光受光素子アレイ１０ＣＡからは「中赤外光画像データ」として「水蒸気出力分布」と「ＣＯ２ガス出力分布」と「Ｈ２Ｓガス出力分布」とが得られる。
これらの分布は、シャッタアレイＳＡに結像している中赤外光画像における「これらのガスの濃度分布」に対応するので、これら３種類の出力分布に対して画像処理手段１０３０により画像処理を行う。
画像処理として、例えば、各ガスの出力分布を「色分け」したり、画像濃度を相互に異ならせたりする処理を行い、その結果を上述の「可視画像」に重畳させてディスプレイ手段１０５に表示すれば、例えば図１（ｃ）に示す如き画像が得られる。
Further, since the
As the image processing, the above-described “processing to convert to a temperature distribution image” is performed, and further, the temperature distribution image is divided into a plurality of temperature regions and image processing is performed so as to indicate “temporal change in temperature”. If it is superimposed on the above-mentioned “visible image” and displayed on the display means 105, for example, an image as shown in FIG. 1B is obtained.
From the infrared light receiving element array 10CA, “water vapor output distribution”, “CO 2 gas output distribution” and “H 2 S gas output distribution” are obtained as “middle infrared light image data”.
Since these distributions correspond to “the concentration distributions of these gases” in the mid-infrared light image formed on the shutter array SA, the
As the image processing, for example, a process of “color-coding” the output distribution of each gas or making the image density different from each other is performed, and the result is superimposed on the above-mentioned “visible image” and displayed on the display means 105. For example, an image as shown in FIG.
図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す実施の形態の変形例である。
図３（ａ）に示す例では、赤外光受光素子アレイ１０ＣＡは「２次元の受光領域を持つエリアセンサ」である。一方、分光フィルタＳＰＦは、図の上下方向にのみ分光機能をもち、図面に直交する方向には分光機能を持たない。この点を鑑みると、分光フィルタＳＰＦにより分光された中赤外光を受光する赤外光受光素子アレイは、必ずしもエリアセンサである必要はない。
図３（ｂ）に示す例は、かかる観点に基づくもので、赤外光受光素子アレイとして「赤外光受光素子のライン状のアレイ配列」を有するものを用いている。即ち、この例において赤外光受光素子アレイ１０ＣＬは「赤外光受光素子を図の上下方向にライン状に配列したラインセンサ」である。この場合、分光フィルタＳＰＦも、図面に直交する方向における幅は、赤外光受光素子アレイ１０ＣＬの受光面幅をカバーできる大きさがあればよい。
FIG. 3B is a modification of the embodiment shown in FIG.
In the example shown in FIG. 3A, the infrared light receiving element array 10CA is an “area sensor having a two-dimensional light receiving region”. On the other hand, the spectral filter SPF has a spectral function only in the vertical direction of the drawing and does not have a spectral function in a direction orthogonal to the drawing. In view of this point, the infrared light receiving element array that receives the mid-infrared light separated by the spectral filter SPF is not necessarily an area sensor.
The example shown in FIG. 3B is based on this viewpoint, and an infrared light receiving element array having an “infrared light receiving element line array” is used. That is, in this example, the infrared light receiving element array 10CL is “a line sensor in which infrared light receiving elements are arranged in a line in the vertical direction of the drawing”. In this case, the spectral filter SPF needs only to have a width that can cover the width of the light receiving surface of the infrared light receiving element array 10CL in the direction orthogonal to the drawing.
図３（ｂ）において、符号ＣＹＬはシリンダレンズ等のシリンダ光学系である。シリンダ光学系ＣＹＬは、長手方向に直交する方向にのみ集光機能を有し、長手方向を図の如く上下方向に平行にして、分光フィルタＳＰＦとリレーレンズＲＬ２との間に配備され、リレー光学系側からの光束を赤外光受光素子アレイ１０ＣＬの受光領域に集光させる。
図３（ｂ）には図示を省略されているが、可視画像撮像素子１０Ａからの出力、赤外光撮像素子１０Ｂからの出力、赤外光受光素子アレイ１０ＣＬの出力は、図３（ａ）に示すのと同様に、画像処理手段１０３０に入力して画像処理される。
この例のようにしても、図３（ａ）の例と同様に、可視画像、赤外光画像、中赤外光画像を適宜に画像処理した画像をディスプレイ手段に表示することができる。
In FIG. 3B, reference numeral CYL denotes a cylinder optical system such as a cylinder lens. The cylinder optical system CYL has a condensing function only in a direction orthogonal to the longitudinal direction, and is disposed between the spectral filter SPF and the relay lens RL2 with the longitudinal direction parallel to the vertical direction as shown in the figure. The light beam from the system side is condensed on the light receiving region of the infrared light receiving element array 10CL.
Although not shown in FIG. 3B, the output from the visible
Even in this example, similarly to the example of FIG. 3A, an image obtained by appropriately processing a visible image, an infrared light image, and a mid-infrared light image can be displayed on the display means.
図４は、図２に示したガス画像撮像測定システムのうち、ディスプレイ手段１０５と制御手段１１０の部分を除いた部分の具体的な構成の他の２例を示している。
繁雑を避けるため、混同の恐れがないと思われるものについては、図３におけると同一の符号を付した。
図４に示す２例は、図において「シャッタアレイＳＡよりも右側の部分」が、図３に示した例と異なっている。
図４（ａ）に示す例において、ダイクロイックフィルタＳＰに反射された「分光画像用光束」は２波長帯透過レンズＬＩのレンズ作用により、シャッタアレイＳＡ上に中赤外光画像として結像する。この結像光束の光線は、リレーレンズＲＬ１によりシャッタアレイＳＡに直交する方向に向かわされ、シャッタアレイＳＡに直交するように入射する。
FIG. 4 shows two other examples of specific configurations of the gas image capturing measurement system shown in FIG. 2 excluding the display means 105 and the control means 110.
In order to avoid confusion, the same symbols as in FIG.
The two examples shown in FIG. 4 are different from the example shown in FIG. 3 in “the portion on the right side of the shutter array SA” in the figure.
In the example shown in FIG. 4A, the “spectral image light beam” reflected by the dichroic filter SP is imaged as a mid-infrared light image on the shutter array SA by the lens action of the two-wavelength band transmission lens LI. The light beam of this imaging light beam is directed in a direction orthogonal to the shutter array SA by the relay lens RL1, and is incident so as to be orthogonal to the shutter array SA.
シャッタアレイＳＡの射出側には、マイクロレンズアレイＭＬＡが配置されている。
マイクロレンズアレイＭＬＡは、凸レンズであるマイクロレンズを２次元的に配列した構成であるが、個々のマイクロレンズは、シャッタアレイＳＡにおける個々のシャッタと１：１に対応している。そして、任意のシャッタを通過した中赤外光は、このシャッタに対応するマイクロレンズにより平行光束化される。
任意のシャッタを透過し、このシャッタに対応するマイクロレンズにより平行光束化された中赤外光は集光レンズＬＦに入射し、この集光レンズＬＦの焦点位置に向かって集光される。
A microlens array MLA is disposed on the emission side of the shutter array SA.
The microlens array MLA has a configuration in which microlenses that are convex lenses are two-dimensionally arranged. Each microlens corresponds to each shutter 1: 1 in the shutter array SA. The mid-infrared light that has passed through an arbitrary shutter is converted into a parallel beam by a microlens corresponding to the shutter.
Mid-infrared light that passes through an arbitrary shutter and is converted into a parallel beam by a microlens corresponding to the shutter enters the condenser lens LF, and is condensed toward the focal position of the condenser lens LF.
図４において符号ＳＦは「分光器」を示している。分光器ＳＦは、入射口を上記焦点位置に合致させて配置され、入射光位置に集光して入射する赤外光を「分光して受光する機能」を有している。
説明中の例においては、分光器ＳＦには、中赤外光が入射するので、分光器ＳＦの分光波長領域は、例えば２μｍ〜５μｍ程度である。
このような分光器ＳＦとしては、例えば、浜松ホトニクス社製の「マイクロ分光器（分光は回折により行われる）」を好適に用いることができる。
In FIG. 4, symbol SF indicates “spectrometer”. The spectroscope SF is arranged with the entrance being made to coincide with the focal position, and has a function of “spectrographically receiving and receiving infrared light that is collected and incident on the incident light position”.
In the example in the description, since the mid-infrared light is incident on the spectroscope SF, the spectroscopic wavelength region of the spectroscope SF is, for example, about 2 μm to 5 μm.
As such a spectroscope SF, for example, a “micro spectroscope (spectrum is performed by diffraction)” manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd. can be suitably used.
分光器ＳＦは「中赤外光の分光波長に応じた光強度」を出力する。これらの出力のうちから、水蒸気の吸収波長：２．６６μｍ相当の中赤外光に対応する出力を選択し、この出力をシャッタアレイＳＡの全てのシャッタについて求めれば、前述の「水蒸気出力分布」が得られる。
また、分光器ＳＦの出力のうち、ＣＯ２ガスの吸収波長：４．２６μｍ相当の中赤外光に対応する出力を選択し、この出力をシャッタアレイＳＡの全てのシャッタについて求めれば、前述の「ＣＯ２ガス出力分布」が得られる。
同様に、分光器ＳＦの出力のうち、Ｈ２Ｓガスの吸収波長：３．８１μｍ相当の中赤外光に対応する出力を選択し、この出力をシャッタアレイＳＡの全てのシャッタについて求めれば、前述の「Ｈ２Ｓガス出力分布」が得られる。
可視画像撮像素子１０Ａや赤外光撮像素子１０Ｂの出力に対する画像処理手段１０３０による画像処理は、図３の例と同様である。
從って、分光器ＳＦから得られる各出力分布に対して、図３の場合と同様の画像処理を画像処理手段１０３０で行い、可視画像撮像素子１０Ａの出力に基づいて得られる可視画像に重畳させて、図２に示すディスプレイ手段１０５に表示すれば、図１（ｃ）の如き画像を得ることができる。
また、可視画像撮像素子１０Ａの出力と、赤外光撮像素子１０Ｂの出力とに基づいて、図１（ｂ）の如き画像を表示できることは、図３の実施形態と同様である。
The spectroscope SF outputs “light intensity corresponding to the spectral wavelength of mid-infrared light”. If the output corresponding to the mid-infrared light corresponding to the absorption wavelength of water vapor: 2.66 μm is selected from these outputs, and this output is obtained for all the shutters of the shutter array SA, the above-mentioned “water vapor output distribution”. Is obtained.
If the output corresponding to the mid-infrared light corresponding to the absorption wavelength of CO 2 gas: 4.26 μm is selected from the outputs of the spectroscope SF and this output is obtained for all the shutters of the shutter array SA, the above-mentioned A “CO 2 gas power distribution” is obtained.
Similarly, if the output corresponding to the mid-infrared light corresponding to the absorption wavelength of H 2 S gas: 3.81 μm is selected from the outputs of the spectrometer SF, and this output is obtained for all the shutters of the shutter array SA, The aforementioned “H 2 S gas output distribution” is obtained.
The image processing by the image processing means 1030 for the output of the visible
Therefore, the
Further, the image as shown in FIG. 1B can be displayed based on the output of the visible
分光器ＳＦにおける分光を「回折により行う」場合、分光を行う回折格子は１次元的であるのが簡便でよい。上に例示した「浜松ホトニクス社製のマイクロ分光器」でも、回折格子は１次元的である。このような場合、入射口は、分光方向に直交するスリット状であることが好ましく、スリット幅も狭いことが好ましい。
図４（ｂ）は、このような観点を鑑みたものであって、分光器ＳＦの入射口が、図面の上下方向に長いスリット状である場合に、集光レンズＬＦにより集光される赤外光を、前記入射口のスリットの幅方向（図面に直交する方向）にさらに集光させるシリンダ光学系ＣＹＬ（具体的にはシリンドリカルレンズである。混同の恐れは無いと思われるので、図３におけると同一の符号を付した。）が設けられている。
このようにすると、入射口のスリット幅を狭くしつつ、分光される光量を十分に確保できる。
When the spectrum in the spectroscope SF is “performed by diffraction”, it is convenient that the diffraction grating for performing the spectroscopy is one-dimensional. Even in the “micro spectrometer manufactured by Hamamatsu Photonics” exemplified above, the diffraction grating is one-dimensional. In such a case, the entrance is preferably slit-shaped perpendicular to the spectral direction, and the slit width is also narrow.
FIG. 4B is based on such a viewpoint, and the red light collected by the condenser lens LF when the entrance of the spectroscope SF has a slit shape that is long in the vertical direction of the drawing. Cylinder optical system CYL (specifically, a cylindrical lens) that further collects external light in the width direction of the slit of the entrance (in the direction orthogonal to the drawing). Are provided with the same reference numerals as in FIG.
In this way, it is possible to secure a sufficient amount of light to be split while narrowing the slit width of the entrance.
前述の如く、この発明のガス画像センサ装置では「特定の１種のガス（例えばＣＯ２ガス）のみ」を撮像対象とする場合もある。この場合には、赤外光成分を分光して受光する分光器ＳＦとしては、ＣＯ２ガスの吸収波長：４．２６μｍとその近傍の波長領域のみを透過させるバンドパスフィルタと、このバンドパスフィルタを透過した赤外光成分を受光する「焦電素子」とを含んで構成でき、焦電素子の出力により「ＣＯ２ガス出力分布」を構成できる。このようにして、簡便なＣＯ２ガス用のガス画像センサ装置を実現できる。 As described above, in the gas image sensor device of the present invention, “only one specific type of gas (for example, CO 2 gas)” may be an imaging target. In this case, the spectroscope SF that splits and receives infrared light components includes a band-pass filter that transmits only the absorption wavelength of CO 2 gas: 4.26 μm and its nearby wavelength region, and this band-pass filter. And a “pyroelectric element” that receives the infrared light component that has passed through, and a “CO 2 gas output distribution” can be configured by the output of the pyroelectric element. In this way, a simple gas image sensor device for CO2 gas can be realized.
以上のように、この発明によれば、以下の如き、ガス画像センサ装置およびガス画像撮像測定装置およびガス画像撮像測定システムを実現できる。 As described above, according to the present invention, the following gas image sensor device, gas image imaging measurement device, and gas image imaging measurement system can be realized.
［１］
撮像対象となる１種以上のガスの赤外光画像を結像する赤外光結像光学系（ＬＩ）と、該赤外光結像光学系による赤外光画像を結像され、前記赤外光画像を撮像する赤外光撮像素子（１０Ｂ）と、前記赤外光結像光学系と前記赤外光撮像素子との間に配置され、前記赤外光結像光学系による結像光束を前記赤外光画像用光束と分光画像用光束とに分離する分離手段（ＳＰ）と、該分離手段により分離された分光画像用光束の結像面に配置された２次元のシャッタアレイ（ＳＡ）と、該シャッタアレイの各シャッタを通過する赤外光を前記シャッタごとに分光する赤外光分光手段と、を有し、前記赤外光分光手段は、前記撮像対象となる１種以上のガスによる赤外光吸収波長を分光波長領域に含むガス画像センサ装置（図３）。
[1]
An infrared light imaging optical system (LI) that forms an infrared light image of one or more gases to be imaged, and an infrared light image formed by the infrared light imaging optical system, An infrared light imaging device (10B) for picking up an external light image, and an imaging light beam by the infrared light imaging optical system, which is disposed between the infrared light imaging optical system and the infrared light imaging device. Is separated into the infrared image light beam and the spectral image light beam, and a two-dimensional shutter array (SA) disposed on the image plane of the spectral image light beam separated by the separation means. ) And infrared light spectroscopic means for splitting infrared light passing through each shutter of the shutter array for each shutter, wherein the infrared light spectroscopic means includes at least one kind of the imaging target. A gas image sensor device including an infrared light absorption wavelength by gas in a spectral wavelength region (FIG. 3).
［２］
［１］記載のガス画像センサ装置であって、前記赤外光分光手段は、赤外光領域に感度を有する赤外光受光素子アレイ（１０ＣＡ、１０ＣＬ）と、前記シャッタアレイ（ＳＡ）の個々を通過した光束を、前記赤外光受光素子アレイの受光領域に照射するリレー光学系（ＲＬ）と、前記赤外光受光素子アレイ（１０ＣＡ、１０ＣＬ）の前記受光領域に密接もしくは近接して配置され、前記受光領域に入射する赤外光を分光する分光フィルタ（ＳＰＦ）と、を有するガス画像センサ装置（図３）。
[2]
[1] The gas image sensor device according to [1], wherein the infrared light spectroscopic means includes an infrared light receiving element array (10CA, 10CL) having sensitivity in an infrared light region and each of the shutter array (SA). The light beam that has passed through the relay optical system (RL) that irradiates the light receiving area of the infrared light receiving element array and the light receiving area of the infrared light receiving element array (10CA, 10CL) are arranged in close proximity or close to each other. A gas image sensor device (FIG. 3) having a spectral filter (SPF) that splits infrared light incident on the light receiving region.
［３］
［２］記載のガス画像センサ装置であって、前記赤外光受光素子アレイ（１０ＣＬ）が、赤外光受光素子のライン状のアレイ配列であり、前記分光手段が、前記リレー光学系（ＲＬ）と、前記分光フィルタ（ＳＰＦ）との間に、前記ライン状のアレイ配列の方向に直交する方向にのみ集光機能を持ち、前記リレー光学系側からの光束を前記赤外光受光素子アレイ（１０ＣＬ）の受光領域に集光させるシリンダ光学系（ＣＹＬ）を有するガス画像センサ装置（図３（ｂ））。
[3]
[2] The gas image sensor device according to [2], wherein the infrared light receiving element array (10CL) is a linear array of infrared light receiving elements, and the spectroscopic means includes the relay optical system (RL). ) And the spectral filter (SPF) have a condensing function only in a direction orthogonal to the direction of the linear array arrangement, and the infrared light receiving element array A gas image sensor device (FIG. 3B) having a cylinder optical system (CYL) that focuses light on a light receiving region of (10CL).
［４］
［１］記載のガス画像センサ装置であって、前記赤外光分光手段は、前記シャッタアレイ（ＳＡ）に結像する赤外光を前記シャッタアレイ（ＳＡ）に直交させるリレーレンズ（ＲＬ１）と、前記シャッタアレイの各シャッタを通過した赤外光を平行光束化するマイクロレンズアレイ（ＭＬＡ）と、該マイクロレンズアレイの個々のマイクロレンズにより平行光束化された赤外光を集光させる集光レンズ（ＬＦ）と、該集光レンズにより集光される赤外光の集光位置を通過する赤外光の赤外光成分を分光して受光する分光器（ＳＦ）と、を有するガス画像センサ装置（図４）。
[4]
[1] The gas image sensor device according to [1], wherein the infrared light spectroscopic unit includes a relay lens (RL1) that makes infrared light imaged on the shutter array (SA) orthogonal to the shutter array (SA). , A microlens array (MLA) that converts infrared light that has passed through each shutter of the shutter array into parallel light fluxes, and condensing light that is converted into parallel light flux by the individual microlenses of the microlens array. A gas image having a lens (LF) and a spectroscope (SF) that splits and receives infrared light components of infrared light passing through a condensing position of infrared light collected by the condenser lens. Sensor device (FIG. 4).
［５］
［４］記載のガス画像センサ装置であって、前記分光器（ＳＦ）は、スリット状の入射口を有し、前記集光レンズ（ＬＦ）により集光される赤外光を前記入射口のスリットの幅方向にさらに集光させるシリンダ光学系（ＣＹＬ）を有するガス画像センサ装置（図４（ｂ））。
[5]
[4] The gas image sensor device according to [4], wherein the spectroscope (SF) has a slit-shaped entrance, and infrared light collected by the condenser lens (LF) is emitted from the entrance. A gas image sensor device having a cylinder optical system (CYL) for further condensing light in the width direction of the slit (FIG. 4B).
［６］
［１］ないし［５］の何れか１に記載のガス画像センサ装置であって、前記赤外光撮像素子（１０Ｂ）は、遠赤外光に対する受光機能を有し、前記赤外光分光手段は、中赤外光領域の赤外光に対する分光機能を有するガス画像センサ装置（図３、図４）。
[6]
The gas image sensor device according to any one of [1] to [5], wherein the infrared light imaging device (10B) has a light receiving function for far infrared light, and the infrared light spectroscopic means. Is a gas image sensor device having a spectral function for infrared light in the mid-infrared light region (FIGS. 3 and 4).
［７］
ガス画像センサ装置（１０１）と、前記赤外光撮像素子の出力により、前記遠赤外光画像を生成し、前記赤外光分光手段の出力により、前記撮像対象となる１種以上のガスの画像を生成する画像処理手段（１０３）と、前記ガス画像センサ装置（１０１）および前記画像処理手段（１０３）を制御する制御手段（１１０）と、を有し、前記ガス画像センサ装置が、［１］ないし［６］の何れか１に記載のものであるガス画像撮像測定装置（１００、図２、図３、図４）。
[7]
The far-infrared light image is generated by the output of the gas image sensor device (101) and the infrared light image sensor, and one or more kinds of gases to be imaged are output by the output of the infrared light spectroscopic means. An image processing means (103) for generating an image, and a control means (110) for controlling the gas image sensor device (101) and the image processing means (103), wherein the gas image sensor device comprises: 1] to [6] A gas imaging and measuring apparatus according to any one of [6] (100, FIG. 2, FIG. 3, FIG. 4).
［８］
［７］記載のガス画像撮像測定装置であって、前記画像処理手段（１０３）が、赤外光の画像として温度分布画像を形成する機能を有するガス画像撮像測定装置（図２、図３、図４）。
[8]
[7] The gas imaging and measuring apparatus according to [7], wherein the image processing means (103) has a function of forming a temperature distribution image as an infrared light image (FIGS. 2 and 3). FIG. 4).
［９］
［７］または［８］記載のガス画像撮像測定装置であって、前記制御手段（１１０）による制御を受けて、前記画像処理手段（１０３）による前記赤外光画像と前記１種以上のガスの画像とを、選択的に、もしくは合成画像として表示するディスプレイ手段（１０５）を有するガス画像撮像測定装置（図２、図３、図４）。
[9]
[7] or [8], wherein the infrared image and the at least one gas are controlled by the control means (110) and received by the image processing means (103). A gas image capturing and measuring apparatus (FIGS. 2, 3, and 4) having a display means (105) for selectively displaying the image of FIG.
［１０］
［９］記載のガス画像撮像測定装置（１００）と、可視画像撮像装置と、を有し、前記可視画像撮像装置は、前記ガス画像撮像測定装置の撮像領域の可視画像を結像する可視画像結像光学系（Ｌ０）と、該可視画像結像光学系による可視画像を撮像する可視画像撮像素子（１０Ａ）と、を有する可視画像撮像手段（２０１）と、前記可視画像撮像素子の出力により、表示用可視画像を生成する可視画像用画像処理手段（２０３、１０３０）と、該可視画像用画像処理手段により生成された表示用可視画像を表示する可視画像用ディスプレイ手段（１０５）と、を有し、前記可視画像用ディスプレイ手段は、前記ディスプレイ手段を兼ね、前記ガス画像撮像測定装置による前記１種以上のガス画像および前記赤外光画像および前記表示用可視画像の１以上を、選択的に、もしくは合成画像として表示するものであるガス画像撮像測定システム（図２、図３、図４）。
[10]
[9] The gas image capturing and measuring apparatus (100) according to [9] and a visible image capturing apparatus, wherein the visible image capturing apparatus forms a visible image in an imaging region of the gas image capturing and measuring apparatus. A visible image capturing means (201) having an imaging optical system (L0) and a visible image capturing element (10A) that captures a visible image by the visible image forming optical system, and an output of the visible image capturing element Visible image processing means (203, 1030) for generating a visible image for display, and visible image display means (105) for displaying the visible image for display generated by the visible image processing means. The visible image display means also serves as the display means, and the one or more gas images, the infrared light image, and the display visible image obtained by the gas image capturing and measuring apparatus. 1 or more, selectively or gas imaging measurement system is for displaying a composite image, the (2, 3, 4).
以上、発明の好ましい実施の形態について説明したが、この発明は上述した特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定していない限り、特許請求の範囲に記載された発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
この発明の実施の形態に記載された効果は、発明から生じる好適な効果を列挙したに過ぎず、発明による効果は「実施の形態に記載されたもの」に限定されるものではない。
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and the invention described in the claims unless otherwise specified in the above description. Various modifications and changes are possible within the scope of the above.
The effects described in the embodiments of the present invention are merely a list of suitable effects resulting from the invention, and the effects of the present invention are not limited to those described in the embodiments.
１０１ ガス画像センサ装置
１０３ 画像処理手段
２０１ 可視画像撮像手段
２０３ 可視画像用画像処理手段
１０３０ 画像処理手段
１０５ ディスプレイ手段
ＯＬ 可視光成分
ＯＬＩ 赤外光成分
Ｌ０ 可視画像結像光学系
１０Ａ 可視画像撮像素子
ＬＩ 赤外光結像光学系
１０Ｂ 赤外光撮像素子
ＳＰ 分離手段
ＳＡ シャッタアレイ
ＲＬ リレー光学系
ＳＰＦ 分光フィルタ
１０ＣＡ 赤外光受光素子アレイ
ＭＬＡ マイクロレンズアレイ
ＬＦ 集光レンズ
ＳＦ 分光器
ＣＹＬ シリンダ光学系
101 Gas Image Sensor Device
103 Image processing means
201 Visible image imaging means
203 Image processing means for visible image
1030 Image processing means
105 Display means
OL Visible light component
OLI infrared component
L0 Visible Image Imaging Optical System
10A Visible Image Sensor
LI Infrared light imaging optical system
10B infrared light image sensor
SP separation means
SA shutter array
RL relay optical system
SPF spectral filter
10CA infrared light receiving element array
MLA micro lens array
LF condenser lens
SF spectrometer
CYL cylinder optical system
Claims (10)
前記赤外光結像光学系と前記赤外光撮像素子との間に配置され、前記赤外光結像光学系による結像光束を前記赤外光画像用光束と分光画像用光束とに分離する分離手段と、
該分離手段により分離された分光画像用光束の結像面に配置された２次元のシャッタアレイと、
該シャッタアレイの各シャッタを通過する赤外光を前記シャッタごとに分光する赤外光分光手段と、を有し、
前記赤外光分光手段は、前記撮像対象となる１種以上のガスによる赤外光吸収波長を分光波長領域に含むガス画像センサ装置。 An infrared light imaging optical system that forms an infrared light image of one or more gases to be imaged, an infrared light image formed by the infrared light imaging optical system, and the infrared light image An infrared imaging device for imaging
It is arranged between the infrared light imaging optical system and the infrared light imaging device, and separates the image forming light beam by the infrared light imaging optical system into the infrared light image light beam and the spectral image light beam. Separating means to
A two-dimensional shutter array disposed on the imaging plane of the spectral image light beam separated by the separating means;
Infrared light spectroscopic means for splitting infrared light passing through each shutter of the shutter array for each shutter;
The infrared light spectroscopic means is a gas image sensor device including an infrared light absorption wavelength of one or more gases to be imaged in a spectral wavelength region.
前記赤外光分光手段は、赤外光領域に感度を有する赤外光受光素子アレイと、前記シャッタアレイの個々を通過した光束を、前記赤外光受光素子アレイの受光領域に照射するリレー光学系と、前記赤外光受光素子アレイの前記受光領域に密接もしくは近接して配置され、前記受光領域に入射する赤外光を分光する分光フィルタと、を有するガス画像センサ装置。 The gas image sensor device according to claim 1,
The infrared light spectroscopic means includes an infrared light receiving element array having sensitivity in an infrared light region, and relay optics that irradiates the light receiving region of the infrared light receiving element array with a light beam that has passed through each of the shutter arrays. A gas image sensor device comprising: a system; and a spectral filter that is disposed in close proximity to or in proximity to the light receiving region of the infrared light receiving element array and separates infrared light incident on the light receiving region.
前記赤外光受光素子アレイが、赤外光受光素子のライン状のアレイ配列であり、
前記赤外光分光手段が、前記リレー光学系と、前記分光フィルタとの間に、前記ライン状のアレイ配列の方向に直交する方向にのみ集光機能を持ち、前記リレー光学系側からの光束を前記赤外光受光素子アレイの受光領域に集光させるシリンダ光学系を有するガス画像センサ装置。 The gas image sensor device according to claim 2,
The infrared light receiving element array is a linear array arrangement of infrared light receiving elements,
The infrared light spectroscopic means has a condensing function only in a direction orthogonal to the direction of the linear array arrangement between the relay optical system and the spectral filter, and a light beam from the relay optical system side A gas image sensor device having a cylinder optical system for condensing light in a light receiving region of the infrared light receiving element array.
前記赤外光分光手段は、前記シャッタアレイに結像する赤外光を前記シャッタアレイに直交させるリレーレンズと、前記シャッタアレイの各シャッタを通過した赤外光を平行光束化するマイクロレンズアレイと、該マイクロレンズアレイの個々のマイクロレンズにより平行光束化された赤外光を集光させる集光レンズと、該集光レンズにより集光される赤外光の集光位置を通過する赤外光の赤外光成分を分光して受光する分光器と、を有するガス画像センサ装置。 The gas image sensor device according to claim 1,
The infrared light spectroscopic means includes a relay lens that makes the infrared light focused on the shutter array orthogonal to the shutter array, and a microlens array that converts the infrared light that has passed through each shutter of the shutter array into a parallel light beam. , A condensing lens that condenses infrared light that has been converted into parallel light beams by the individual microlenses of the microlens array, and infrared light that passes through a condensing position of the infrared light collected by the condensing lens A gas image sensor device comprising: a spectroscope for spectrally receiving and receiving infrared light components of
前記分光器は、スリット状の入射口を有し、
前記集光レンズにより集光される赤外光を前記入射口のスリットの幅方向にさらに集光させるシリンダ光学系を有するガス画像センサ装置。 The gas image sensor device according to claim 4,
The spectrometer has a slit-shaped entrance,
The gas image sensor apparatus which has a cylinder optical system which further condenses the infrared light condensed by the said condensing lens in the width direction of the slit of the said entrance.
前記赤外光撮像素子は、遠赤外光に対する受光機能を有し、前記赤外光分光手段は、中赤外光領域の赤外光に対する分光機能を有するガス画像センサ装置。 A gas image sensor device according to any one of claims 1 to 5,
The infrared image pickup device has a light receiving function for far infrared light, and the infrared light spectroscopic means has a spectral function for infrared light in a middle infrared light region.
前記赤外光撮像素子の出力により、前記遠赤外光画像を生成し、前記赤外光分光手段の出力により、前記撮像対象となる１種以上のガスの画像を生成する画像処理手段と、
前記ガス画像センサ装置、前記画像処理手段を制御する制御手段と、を有し、
前記ガス画像センサ装置が、請求項１ないし６の何れか１項に記載のものであるガス画像撮像測定装置。 A gas image sensor device;
Image processing means for generating the far-infrared light image by the output of the infrared light image sensor, and generating an image of one or more gases to be imaged by the output of the infrared light spectroscopic means;
The gas image sensor device, and a control means for controlling the image processing means,
The gas image capturing and measuring apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the gas image sensor apparatus is one.
前記画像処理手段が、赤外光の画像として温度分布画像を形成する機能を有するガス画像撮像測定装置。 The gas image capturing and measuring apparatus according to claim 7,
A gas image capturing and measuring apparatus in which the image processing unit has a function of forming a temperature distribution image as an infrared light image.
前記制御手段による制御を受けて、前記画像処理手段による前記赤外光画像と前記１種以上のガスの画像とを、選択的に、もしくは合成画像として表示するディスプレイ手段を有するガス画像撮像測定装置。 The gas image capturing and measuring apparatus according to claim 7 or 8,
Under the control of the control means, a gas image capturing and measuring apparatus having a display means for selectively displaying the infrared light image and the one or more kinds of gas images by the image processing means as a composite image. .
可視画像撮像装置と、を有し、
前記可視画像撮像装置は、前記ガス画像撮像測定装置の撮像領域の可視画像を結像する可視画像結像光学系と、該可視画像結像光学系による可視画像を撮像する可視画像撮像素子と、を有する可視画像撮像手段と、
前記可視画像撮像素子の出力により、表示用可視画像を生成する可視画像用画像処理手段と、
該可視画像用画像処理手段により生成された表示用可視画像を表示する可視画像用ディスプレイ手段と、を有し、
前記可視画像用ディスプレイ手段は、前記ディスプレイ手段を兼ね、前記ガス画像撮像測定装置による前記１種以上のガス画像および前記赤外光画像および前記表示用可視画像の１以上を、選択的に、もしくは合成画像として表示するものであるガス画像撮像測定システム。 A gas image capturing and measuring apparatus according to claim 9,
A visible image capturing device;
The visible image imaging device includes a visible image imaging optical system that images a visible image of an imaging region of the gas image imaging measurement device, a visible image imaging element that images a visible image by the visible image imaging optical system, A visible image capturing means having:
Visible image processing means for generating a visible image for display by the output of the visible image pickup device;
Visible image display means for displaying the visible image for display generated by the visible image processing means,
The visible image display means also serves as the display means, and selectively selects one or more of the one or more kinds of gas images and the infrared light image and the visible image for display by the gas image capturing and measuring apparatus, or A gas imaging measurement system that is displayed as a composite image.
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|---|---|---|---|---|
| CN113483662A (en) * | 2021-04-29 | 2021-10-08 | 大连耐视科技有限公司 | Visual detection device for improving crystal pulling quality |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6478134A (en) * | 1987-04-24 | 1989-03-23 | Mobay Corp | Remotely measuring gas analyzer |
| JP2001505308A (en) * | 1996-12-03 | 2001-04-17 | グラハム トーマス コンサルタンツ リミテッド | Gas imaging method and apparatus |
| JP2009533700A (en) * | 2006-04-10 | 2009-09-17 | マイクロラボ ピーティーワイ エルティーディー | Imaging device having a plurality of shutter elements |
| JP2010066018A (en) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | National Institute For Materials Science | Image spectrometer |
| JP2015501417A (en) * | 2011-09-30 | 2015-01-15 | ロスアラモス・ナショナル・セキュリティ，エルエルシー | Full frame programmable hyperspectral imager |
-
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6478134A (en) * | 1987-04-24 | 1989-03-23 | Mobay Corp | Remotely measuring gas analyzer |
| JP2001505308A (en) * | 1996-12-03 | 2001-04-17 | グラハム トーマス コンサルタンツ リミテッド | Gas imaging method and apparatus |
| JP2009533700A (en) * | 2006-04-10 | 2009-09-17 | マイクロラボ ピーティーワイ エルティーディー | Imaging device having a plurality of shutter elements |
| JP2010066018A (en) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | National Institute For Materials Science | Image spectrometer |
| JP2015501417A (en) * | 2011-09-30 | 2015-01-15 | ロスアラモス・ナショナル・セキュリティ，エルエルシー | Full frame programmable hyperspectral imager |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113483662A (en) * | 2021-04-29 | 2021-10-08 | 大连耐视科技有限公司 | Visual detection device for improving crystal pulling quality |
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