JP2017218633A - Production method of composite particle - Google Patents

Production method of composite particle Download PDF

Info

Publication number
JP2017218633A
JP2017218633A JP2016114174A JP2016114174A JP2017218633A JP 2017218633 A JP2017218633 A JP 2017218633A JP 2016114174 A JP2016114174 A JP 2016114174A JP 2016114174 A JP2016114174 A JP 2016114174A JP 2017218633 A JP2017218633 A JP 2017218633A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particles
copper
composite
composite particles
producing composite
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016114174A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
重克 大西
Shigekatsu Onishi
重克 大西
中壽賀　章
Akira Nakasuga
章 中壽賀
省二 野里
Seiji Nozato
省二 野里
石居　正裕
Masahiro Ishii
正裕 石居
博司 吉谷
Hiroshi Yoshitani
博司 吉谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP2016114174A priority Critical patent/JP2017218633A/en
Publication of JP2017218633A publication Critical patent/JP2017218633A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production method of composite particles capable of easily producing composite particles of an irregular shape.SOLUTION: A production method of composite particles includes a step for thermally spraying first particles by plasma thermal spraying and a step for colliding the first particles at a molten or semimolten state by thermal spraying with a second particles at a solid state to obtain composite particles. The first particles at a molten or semimolten state are stuck to the second particles at a solid state by colliding with the second particles. The first particles and the second particles are each metal, alloy or ceramic particles, preferably silver or copper particles. Especially preferably, the first particle are copper alloy particles, while the second particles are copper particles.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、電気伝導性（導電性）フィラーや熱伝導性フィラーなどの伝導性フィラーとして用いることができる複合粒子の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing composite particles that can be used as a conductive filler such as an electrically conductive (conductive) filler or a thermally conductive filler.

従来、導電性フィラーや熱伝導性フィラーなどの伝導性フィラーと、バインダー樹脂とを混合してなる伝導性ペーストが、高い導電性や、熱伝導性を有することが知られている。上記伝導性フィラーとしては、銅粒子などの金属粒子が用いられている。   Conventionally, it is known that a conductive paste obtained by mixing a conductive filler such as a conductive filler or a heat conductive filler and a binder resin has high conductivity and heat conductivity. As the conductive filler, metal particles such as copper particles are used.

このような金属粒子の製造方法として、例えば、下記の特許文献１には、直流熱プラズマ装置を用いて原料銅粉を加熱噴射する工程を備えた微粒銅粉の製造方法が開示されている。特許文献１では、得られた微粒銅粉が、球状又は略球状であることが好ましい旨が記載されている。   As a method for producing such metal particles, for example, Patent Document 1 below discloses a method for producing fine copper powder including a step of heating and spraying raw material copper powder using a DC thermal plasma apparatus. Patent Document 1 describes that the obtained fine copper powder is preferably spherical or approximately spherical.

また、下記の特許文献２には、湿式還元法による銅粒子の製造方法が開示されている。特許文献２の製造方法では、粒子表面にコブ状の凹凸を備えた銅粒子が製造されている。また、特許文献２では、得られた銅粒子を用いて形成した導電膜が、従来の略球形の導電粒子を用いた場合と比較して、低電気抵抗であることが記載されている。   Patent Document 2 below discloses a method for producing copper particles by a wet reduction method. In the manufacturing method of Patent Document 2, copper particles having bump-shaped irregularities on the particle surface are manufactured. Patent Document 2 describes that a conductive film formed using the obtained copper particles has a lower electrical resistance than a case where conventional substantially spherical conductive particles are used.

特開２０１６−２８１７６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2006-28176 特許第４６５１５３３号公報Japanese Patent No. 4651533

しかしながら、特許文献１の微粒銅粉の製造方法では、球状及び略球状とは異なる異形の粒子を得ることが困難であった。一方、特許文献２では、湿式法により銅粒子が製造されているため、合金粒子や、セラミックと金属との複合粒子を得ることが困難であった。また、特許文献２では、多くの工程を経て銅粒子を製造しており、容易に銅粒子を得ることができなかった。   However, in the method for producing fine copper powder of Patent Document 1, it has been difficult to obtain irregularly shaped particles different from spherical and substantially spherical shapes. On the other hand, in Patent Document 2, since copper particles are produced by a wet method, it is difficult to obtain alloy particles or composite particles of ceramic and metal. Moreover, in patent document 2, the copper particle was manufactured through many processes, and the copper particle was not able to be obtained easily.

本発明の目的は、異形の複合粒子を容易に得ることを可能とする、複合粒子の製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method for producing composite particles, which makes it possible to easily obtain odd-shaped composite particles.

本発明に係る複合粒子の製造方法は、プラズマ溶射（プラズマ装置を使用して原料粉を加熱噴射する方法）により、第１の粒子を溶射する工程と、溶融状態又は半溶融状態にある前記溶射された第１の粒子を、固体状態にある第２の粒子に衝突させることにより、複合粒子を得る工程と、を備える。   The method for producing composite particles according to the present invention includes a step of spraying the first particles by plasma spraying (a method of heating and spraying raw material powder using a plasma apparatus), and the spraying in a molten state or a semi-molten state. And a step of causing the first particles thus made to collide with the second particles in a solid state to obtain composite particles.

本発明に係る複合粒子の製造方法のある特定の局面では、溶融状態又は半溶融状態にある前記第１の粒子を、固体状態にある前記第２の粒子に衝突させることにより、前記第１の粒子を前記第２の粒子に融着させる。   In a specific aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, the first particles in a molten state or a semi-molten state collide with the second particles in a solid state, thereby causing the first particles to collide with each other. Particles are fused to the second particles.

本発明に係る複合粒子の製造方法の別の特定の局面では、前記第１の粒子及び前記第２の粒子が、それぞれ、金属、合金又はセラミックの粒子である。   In another specific aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, the first particles and the second particles are metal, alloy, or ceramic particles, respectively.

本発明に係る複合粒子の製造方法の他の特定の局面では、前記第１の粒子及び前記第２の粒子が、それぞれ、銀又は銅の粒子である。   In another specific aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, the first particles and the second particles are silver or copper particles, respectively.

本発明に係る複合粒子の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記第１の粒子及び前記第２の粒子が、それぞれ、異なる材料からなる。   In still another specific aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, the first particles and the second particles are made of different materials.

本発明に係る複合粒子の製造方法のさらに他の局面では、前記第２の粒子が、無機酸化物からなる。   In still another aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, the second particles are made of an inorganic oxide.

本発明に係る複合粒子の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記第１の粒子が銅合金粒子（銅と他の金属との合金の粒子）であり、前記第２の粒子が銅粒子である。銅合金粒子は、銅と他の金属との合金の粒子であり、例えば、銅に、コバルト、ニッケル又は銅より卑な材料を添加した合金粒子である。なお、前記第１の粒子及び前記第２の粒子の種類は、限定的に解釈すべきではなく、本願の課題を達成するために適した各種の組み合わせが可能である。   In still another specific aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, the first particles are copper alloy particles (particles of an alloy of copper and another metal), and the second particles are copper particles. It is. The copper alloy particles are particles of an alloy of copper and another metal, for example, alloy particles obtained by adding cobalt, nickel, or a material lower than copper to copper. The types of the first particles and the second particles should not be limitedly interpreted, and various combinations suitable for achieving the object of the present application are possible.

本発明に係る複合粒子の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記第１の粒子の平均粒子径をＤ１とし、前記第２の粒子の平均粒子径をＤ２としたときに、Ｄ１＜Ｄ２の関係にある。   In still another specific aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, when the average particle diameter of the first particles is D1 and the average particle diameter of the second particles is D2, D1 <D2 Are in a relationship.

本発明に係る複合粒子の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記第１の粒子の平均粒子径をＤ１とし、前記第２の粒子の平均粒子径をＤ２としたときに、Ｄ１≧Ｄ２の関係にある。   In still another specific aspect of the method for producing composite particles according to the present invention, when the average particle diameter of the first particles is D1 and the average particle diameter of the second particles is D2, D1 ≧ D2. Are in a relationship.

本発明によれば、異形の複合粒子を容易に得ることを可能とする、複合粒子の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of a composite particle which makes it possible to obtain a complex composite particle easily can be provided.

本発明の一実施形態に係る複合粒子の製造方法で用いられるプラズマ装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the plasma apparatus used with the manufacturing method of the composite particle which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。   Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention.

本発明に係る複合粒子の製造方法では、まず、プラズマ溶射により、第１の粒子を溶射する。次に、溶融状態又は半溶融状態にある溶射された第１の粒子を、固体状態にある第２の粒子に衝突させる。それによって、本発明の複合粒子を得る。   In the method for producing composite particles according to the present invention, first particles are first sprayed by plasma spraying. Next, the sprayed first particles in the molten state or the semi-molten state collide with the second particles in the solid state. Thereby, the composite particle of the present invention is obtained.

本発明に係る複合粒子の製造方法では、上記のように溶融状態又は半溶融状態にある第１の粒子を固体状態にある第２の粒子に衝突させることによって複合粒子が得られるので、異形の複合粒子を容易に得ることができる。なお、本明細書において、異形の複合粒子とは、球状及び略球状以外の形状を有する複合粒子のことをいうものとする。上記略球状とは、完全な球状ではないが、球として認識可能な形状のことをいうものとする。   In the method for producing composite particles according to the present invention, the composite particles are obtained by colliding the first particles in the molten state or the semi-molten state with the second particles in the solid state as described above. Composite particles can be easily obtained. In the present specification, the irregular shaped composite particles refer to composite particles having shapes other than spherical and substantially spherical. The substantially spherical shape means a shape that is not completely spherical but can be recognized as a sphere.

以下、図１を参照しつつ、本発明の一実施形態に係る複合粒子の製造方法について、詳細に説明する。   Hereinafter, the method for producing composite particles according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

（製造方法の詳細）
図１は、本発明の一実施形態に係る複合粒子の製造方法で用いるプラズマ装置の概略構成図である。 (Details of manufacturing method)
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a plasma apparatus used in a method for producing composite particles according to an embodiment of the present invention.

図１に示すように、プラズマ装置１は、粉末供給装置２、粉末供給ノズル６、プラズマトーチ７、チャンバー４及び容器５を備える。   As shown in FIG. 1, the plasma device 1 includes a powder supply device 2, a powder supply nozzle 6, a plasma torch 7, a chamber 4 and a container 5.

本実施形態に係る複合粒子の製造方法では、まず、図示しないガス供給装置を用いてプラズマトーチ７内に作動ガスを供給し、熱プラズマ３を発生させる。   In the composite particle manufacturing method according to this embodiment, first, a working gas is supplied into the plasma torch 7 using a gas supply device (not shown) to generate the thermal plasma 3.

熱プラズマ３を発生させるための作動ガスとしては、特に限定されないが、不活性ガスを用いることが好ましい。不活性ガスを用いる場合、第１の粒子の酸化を抑制し、導電性をより一層高めることができる。不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガス、窒素ガス、又はヘリウムガスなどを用いることができる。なお、作動ガスは、水素を含んでいてもよい。また、これらのガスは、単独で用いてもよく、複数のガスを併用してもよい。好ましくは、窒素とアルゴンの混合ガスを用いることができる。   The working gas for generating the thermal plasma 3 is not particularly limited, but an inert gas is preferably used. When an inert gas is used, the oxidation of the first particles can be suppressed and the conductivity can be further increased. As the inert gas, for example, argon gas, nitrogen gas, or helium gas can be used. Note that the working gas may contain hydrogen. Moreover, these gases may be used independently and may use several gas together. Preferably, a mixed gas of nitrogen and argon can be used.

次に、粉末供給装置２から、粉末供給ノズル６を通して、第１の粒子の原料粉末をプラズマトーチ７内に供給する。それによって、第１の粒子の原料粉末を熱プラズマ３と接触させ、ガス化させる。真空ポンプで減圧された容器中にプラズマトーチ７として作動ガスと粉末が供給されることが望ましい。   Next, the raw material powder of the first particles is supplied from the powder supply device 2 through the powder supply nozzle 6 into the plasma torch 7. Thereby, the raw material powder of the first particles is brought into contact with the thermal plasma 3 and gasified. It is desirable that working gas and powder are supplied as a plasma torch 7 into a container whose pressure has been reduced by a vacuum pump.

第１の粒子の原料粉末としては、特に限定されず、金属粉末、合金粉末又はセラミック粉末などを用いることができる。第１の粒子の原料粉末の平均粒子径は、好ましくは、０．１μｍ以上、より好ましくは０．２μｍ以上、好ましくは３μｍ以下、より好ましくは、１μｍ以下である。第１の粒子の原料粉末の平均粒子径を、上記範囲内とすることで、第１の粒子の原料粉末の噴射性をより一層高めることができる。   The raw material powder for the first particles is not particularly limited, and metal powder, alloy powder, ceramic powder, or the like can be used. The average particle diameter of the raw material powder of the first particles is preferably 0.1 μm or more, more preferably 0.2 μm or more, preferably 3 μm or less, more preferably 1 μm or less. By setting the average particle diameter of the raw material powder of the first particles within the above range, the jetting property of the raw material powder of the first particles can be further enhanced.

なお、本明細書において、平均粒子径とは、平均体積粒子径のことをいい、レーザー回折・散乱式の粒子径分布測定装置により測定することができる。平均体積粒子径は粒子の形状を球形と仮定して装置のソフトウエアで計算される。上記装置としては、例えば、マイクロトラック社製の品番「ＭＴ３３００ＩＩ」を使用することができる。   In this specification, the average particle diameter means an average volume particle diameter, and can be measured by a laser diffraction / scattering particle diameter distribution measuring apparatus. The average volume particle diameter is calculated by the software of the apparatus assuming that the particle shape is spherical. As the above apparatus, for example, a product number “MT3300II” manufactured by Microtrack Co., Ltd. can be used.

第１の粒子の原料粉末の形状は、特に限定されないが、球状であることが好ましく、２０〜５０μｍ程度の粉であることが望ましい。   The shape of the raw material powder of the first particles is not particularly limited, but is preferably spherical and is preferably about 20 to 50 μm.

次に、ガス化させた第１の粒子の原料粉末をチャンバー４内に噴射させ、さらにチャンバー４内で冷却させることにより、第１の粒子を溶融状態又は半溶融状態にする。続いて、溶融状態又は半溶融状態にある第１の粒子を、容器５内に充填されており、固体状態にある第２の粒子８（固体粉末）に衝突させる。この際、容器５内に充填された第２の粒子８は、プラズマトーチ７から噴射されたプラズマガスにより撹拌されるので、容器５内の底部に存在する第２の粒子８も第１の粒子と衝突させることが可能となる。このようにして、第１の粒子と第２の粒子８とを衝突させることにより、異形の複合粒子を得ることができる。   Next, the raw material powder of the gasified first particles is injected into the chamber 4 and further cooled in the chamber 4, thereby bringing the first particles into a molten state or a semi-molten state. Subsequently, the first particles in the molten state or the semi-molten state are filled in the container 5 and collide with the second particles 8 (solid powder) in the solid state. At this time, since the second particles 8 filled in the container 5 are agitated by the plasma gas injected from the plasma torch 7, the second particles 8 present at the bottom in the container 5 are also the first particles. It is possible to collide with. In this way, by causing the first particles and the second particles 8 to collide with each other, odd-shaped composite particles can be obtained.

なお、本発明において、溶融状態又は半溶融状態にある第１の粒子を、固体状態にある第２の粒子に衝突させるに際しては、第１の粒子を第２の粒子に融着させることが好ましい。その場合、第１の粒子と第２の粒子との密着性をより一層高めることができる。   In the present invention, when the first particles in the molten or semi-molten state collide with the second particles in the solid state, it is preferable to fuse the first particles to the second particles. . In that case, the adhesion between the first particles and the second particles can be further enhanced.

本発明においては、第１の粒子と、第２の粒子が、同じ材料により構成されていてもよいし、異なる材料により構成されていてもよい。   In the present invention, the first particles and the second particles may be composed of the same material or may be composed of different materials.

第１及び第２の粒子の組み合わせとしては、第１の粒子が銀粒子であり、第２の粒子が銅粒子であることが好ましい。この場合、銅粉表面にコブ状に銀を付着させることができ、銀コート銅粉として使用することができる。   As a combination of the first and second particles, it is preferable that the first particles are silver particles and the second particles are copper particles. In this case, silver can be attached to the surface of the copper powder in the form of a bump and can be used as a silver-coated copper powder.

他の組み合わせとしては、第１の粒子が、銅に、コバルト、ニッケル又は銅より卑な材料を添加した合金粒子であり、第２の粒子が銅粒子であることが好ましい。この場合、銅粉表面にコブ状に耐酸化性銅粉を付着させることができ、銅合金粉として使用することができる。   As other combinations, it is preferable that the first particles are alloy particles obtained by adding cobalt, nickel, or a material lower than copper to copper, and the second particles are copper particles. In this case, the oxidation-resistant copper powder can be attached to the surface of the copper powder in a bump shape, and can be used as a copper alloy powder.

また、第２の粒子の平均粒子径は、好ましくは、１μｍ以上、より好ましくは２μｍ以上、好ましくは５μｍ以下、より好ましくは、４μｍ以下である。第２の粒子の平均粒子径を、上記範囲内とすることで、印刷に適した粒子が作製できる。   The average particle size of the second particles is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 4 μm or less. By setting the average particle diameter of the second particles within the above range, particles suitable for printing can be produced.

なお、本発明においては、第１の粒子の平均粒子径をＤ１とし、第２の粒子の平均粒子径をＤ２としたときに、Ｄ１＜Ｄ２の関係を満たしていてもよい。その場合、表面にコブ状の凹凸を備えた複合粒子を製造することができる。   In the present invention, when the average particle diameter of the first particles is D1 and the average particle diameter of the second particles is D2, the relationship of D1 <D2 may be satisfied. In that case, composite particles having bumpy irregularities on the surface can be produced.

また、第１の粒子の平均粒子径をＤ１とし、第２の粒子の平均粒子径をＤ２としたときに、Ｄ１≧Ｄ２の関係を満たしていてもよい。その場合、ブドウ状のように多数の粒子が凝集した形状を有する複合粒子を製造することができる。   Further, when the average particle diameter of the first particles is D1 and the average particle diameter of the second particles is D2, the relationship of D1 ≧ D2 may be satisfied. In that case, composite particles having a shape in which a large number of particles are aggregated like a grape can be produced.

このように、本発明の複合粒子の製造方法では、第１の粒子及び第２の粒子の大きさを変更することにより、さまざまな形状の複合粒子を容易に得ることができる。また、本発明に係る複合粒子の製造方法では、第１の粒子を、第２の粒子に衝突させるだけで、複合粒子を得ることができるので、異形の複合粒子を容易に製造することができる。   Thus, in the method for producing composite particles of the present invention, composite particles having various shapes can be easily obtained by changing the sizes of the first particles and the second particles. Further, in the method for producing composite particles according to the present invention, the composite particles can be obtained simply by causing the first particles to collide with the second particles, so that irregular shaped composite particles can be easily produced. .

容器５の材料としては、適宜の金属やセラミックなどにより形成することができる。また、容器５は温度調整のためのマントルヒーターを備えていることが好ましい。その場合、容器５内の温度を第１の材料の（融点−８００℃）以上、（融点−５００℃）以下に調整することが望ましい。容器５内の温度を上記範囲内に調整することで、第２の粒子に第１の粒子がより一層密着しやすくなる。   The material of the container 5 can be formed of an appropriate metal or ceramic. Moreover, it is preferable that the container 5 is equipped with the mantle heater for temperature adjustment. In that case, it is desirable to adjust the temperature in the container 5 to (melting point−800 ° C.) or more and (melting point−500 ° C.) or less of the first material. By adjusting the temperature in the container 5 within the above range, the first particles are more easily adhered to the second particles.

もっとも、本発明においては、容器５を用いなくともよい。もっとも、第２の粒子が微細でエアロゾル状になりやすい場合は、半密閉状態の容器５に第２の粒子を入れ、第２の粒子を高密度にした状態で第１の粒子を溶射させることが好ましい。   However, in the present invention, the container 5 need not be used. However, when the second particles are fine and easily form an aerosol, the second particles are put in a semi-sealed container 5 and the first particles are sprayed in a state where the second particles are dense. Is preferred.

（複合粒子）
本発明の複合粒子は、上記のように、第１の粒子を第２の粒子に衝突させて複合化させることにより得られた粒子であるので、球状又は略球状以外の異形の複合粒子である。例えば、表面にコブ状の凹凸を有する複合粒子や、ブドウ状のように多数の粒子が凝集した形状を有する複合粒子が挙げられる。なお、本発明の複合粒子は、球状又は略球状以外の異形の複合粒子である限り特に限定されず、針状やフレーク状であってもよい。もっとも、フレーク状の粉末を物理加工により形成する場合は、粒度の安定性に欠ける場合があるので、上記本発明の製造方法で製造することが好ましい。 (Composite particles)
Since the composite particle of the present invention is a particle obtained by causing the first particle to collide with the second particle to be combined as described above, it is a composite particle having an irregular shape other than spherical or substantially spherical. . For example, composite particles having bumpy irregularities on the surface and composite particles having a shape in which a large number of particles are aggregated like a grape shape can be mentioned. The composite particles of the present invention are not particularly limited as long as they are spherical or irregular composite particles other than substantially spherical shapes, and may be needle-like or flake-like. However, when the flaky powder is formed by physical processing, the stability of the particle size may be lacking, so that it is preferably produced by the production method of the present invention.

本発明においては、上記複合粒子の平均粒子径が、好ましくは、１μｍ以上、より好ましくは２μｍ以上、好ましくは２０μｍ以下、より好ましくは、１０μｍ以下である。複合粒子の平均粒子径が、上記範囲内にある場合、後述する微細回路配線をより一層容易に形成することが可能となる。   In the present invention, the average particle diameter of the composite particles is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more, preferably 20 μm or less, more preferably 10 μm or less. When the average particle diameter of the composite particles is within the above range, the fine circuit wiring described later can be formed more easily.

本発明の複合粒子は、球状又は略球状以外の異形の複合粒子であるため、例えば、該複合粒子を用いて導電性ペーストを製造し、導体膜を形成したときに、導体膜内において、粒子同士の接触点をより一層増加させることができる。そのため、球状の粒子を用いる場合と比較して、導体膜の導電性をより一層高めることができ、電気抵抗をより一層小さくすることができる。   Since the composite particles of the present invention are spherical or irregularly shaped composite particles other than substantially spherical, for example, when a conductive paste is produced using the composite particles and a conductor film is formed, the particles are formed in the conductor film. The contact points between each other can be further increased. Therefore, compared with the case where spherical particles are used, the conductivity of the conductor film can be further increased, and the electrical resistance can be further reduced.

このように、本発明の複合粒子を用いて製造した導電性ペーストは、導電性に優れるため、プリント配線板の回路形成や、各種電気的接点部における電気的導通手段の確保などの用途に好適に用いることができる。   Thus, since the conductive paste manufactured using the composite particles of the present invention is excellent in conductivity, it is suitable for applications such as circuit formation of printed wiring boards and securing of electrical conduction means in various electrical contact portions. Can be used.

また、上記のように、本発明の複合粒子の製造方法では、異形であるだけでなく、平均粒子径の小さな複合粒子を均一に製造することができるので、従来の粗粒を含むフレーク状粒子では困難であったプリント配線板の微細回路形成にも好適に用いることができる。   In addition, as described above, in the method for producing composite particles of the present invention, not only irregular shapes but also composite particles having a small average particle diameter can be produced uniformly, so that conventional flaky particles containing coarse particles Therefore, it can be suitably used for forming a fine circuit of a printed wiring board, which is difficult.

このように、本発明の製造方法により得られた複合粒子は、球状粒子と比較して、高い導電性を有する導電性ペーストを形成することができ、しかも得られた導電性ペーストを用いてプリント配線板の微細回路形成を行うことができる。   As described above, the composite particles obtained by the production method of the present invention can form a conductive paste having higher conductivity than that of spherical particles, and can be printed using the obtained conductive paste. Fine circuit formation of the wiring board can be performed.

１…プラズマ装置
２…粉末供給装置
３…熱プラズマ
４…チャンバー
５…容器
６…粉末供給ノズル
７…プラズマトーチ
８…第２の粒子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Plasma apparatus 2 ... Powder supply apparatus 3 ... Thermal plasma 4 ... Chamber 5 ... Container 6 ... Powder supply nozzle 7 ... Plasma torch 8 ... Second particle

Claims (9)

プラズマ溶射により、第１の粒子を溶射する工程と、
溶融状態又は半溶融状態にある前記溶射された第１の粒子を、固体状態にある第２の粒子に衝突させることにより、複合粒子を得る工程と、
を備える、複合粒子の製造方法。 Spraying the first particles by plasma spraying;
Obtaining composite particles by colliding the sprayed first particles in a molten or semi-molten state with second particles in a solid state;
A method for producing composite particles. 溶融状態又は半溶融状態にある前記第１の粒子を、固体状態にある前記第２の粒子に衝突させることにより、前記第１の粒子を前記第２の粒子に融着させる、請求項１に記載の複合粒子の製造方法。   The first particle in the molten state or the semi-molten state is caused to collide with the second particle in the solid state, thereby fusing the first particle to the second particle. The manufacturing method of the composite particle of description. 前記第１の粒子及び前記第２の粒子が、それぞれ、金属、合金又はセラミックの粒子である、請求項１又は２に記載の複合粒子の製造方法。   The method for producing composite particles according to claim 1 or 2, wherein the first particles and the second particles are particles of a metal, an alloy, or a ceramic, respectively. 前記第１の粒子及び前記第２の粒子が、それぞれ、銀又は銅の粒子である、請求項３に記載の複合粒子の製造方法。   The method for producing composite particles according to claim 3, wherein the first particles and the second particles are silver or copper particles, respectively. 前記第１の粒子及び前記第２の粒子が、それぞれ、異なる材料からなる、請求項１〜４のいずれか１項に記載の複合粒子の製造方法。   The method for producing composite particles according to claim 1, wherein the first particles and the second particles are made of different materials. 前記第２の粒子が、無機酸化物からなる、請求項１〜５のいずれか１項に記載の複合粒子の製造方法。   The method for producing composite particles according to claim 1, wherein the second particles are made of an inorganic oxide. 前記第１の粒子が銅合金粒子であり、前記第２の粒子が銅粒子である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の複合粒子の製造方法。   The method for producing composite particles according to claim 1, wherein the first particles are copper alloy particles, and the second particles are copper particles. 前記第１の粒子の平均粒子径をＤ１とし、前記第２の粒子の平均粒子径をＤ２としたときに、Ｄ１＜Ｄ２の関係にある、請求項１〜７のいずれか１項に記載の複合粒子の製造方法。   The average particle diameter of the first particles is D1, and the average particle diameter of the second particles is D2, and the relation of D1 <D2 is satisfied. A method for producing composite particles. 前記第１の粒子の平均粒子径をＤ１とし、前記第２の粒子の平均粒子径をＤ２としたときに、Ｄ１≧Ｄ２の関係にある、請求項１〜８のいずれか１項に記載の複合粒子の製造方法。   The average particle diameter of the first particles is D1, and the average particle diameter of the second particles is D2, and the relationship is D1 ≧ D2. A method for producing composite particles.
JP2016114174A 2016-06-08 2016-06-08 Production method of composite particle Pending JP2017218633A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016114174A JP2017218633A (en) 2016-06-08 2016-06-08 Production method of composite particle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016114174A JP2017218633A (en) 2016-06-08 2016-06-08 Production method of composite particle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017218633A true JP2017218633A (en) 2017-12-14

Family

ID=60657277

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016114174A Pending JP2017218633A (en) 2016-06-08 2016-06-08 Production method of composite particle

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017218633A (en)

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS471685B1 (en) * 1966-09-22 1972-01-18
JPS4850937A (en) * 1971-10-26 1973-07-18
JPS496755B1 (en) * 1969-06-18 1974-02-15
JPS63140001A (en) * 1986-09-24 1988-06-11 アルカン・インターナショナル・リミテッド Granular metal composite and its production
WO1989005870A1 (en) * 1987-12-14 1989-06-29 Osprey Metals Limited Spray deposition
JPH0211748A (en) * 1988-06-29 1990-01-16 Chiyoo Komori Spongy titanium formed goods having hydrogen-adsorbing and-desorbing action
JPH03503784A (en) * 1988-01-11 1991-08-22 アライド‐シグナル・インコーポレーテッド Aluminum-based metal matrix composite
JPH03193805A (en) * 1989-12-22 1991-08-23 Sumitomo Metal Ind Ltd Manufacture of metal fine powder
JPH05105918A (en) * 1991-10-17 1993-04-27 Sumitomo Metal Ind Ltd Method and device for producing finely dispersed composite powder
JPH08506382A (en) * 1993-02-06 1996-07-09 オスプリ メタルズ リミテッド Powder manufacturing method
JP4651533B2 (en) * 2005-12-26 2011-03-16 三井金属鉱業株式会社 Method for producing copper particles
WO2014024781A1 (en) * 2012-08-08 2014-02-13 日本発條株式会社 Method for manufacturing porous body, porous body, and structure
JP2016028176A (en) * 2014-02-14 2016-02-25 三井金属鉱業株式会社 Method for manufacturing copper powder

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS471685B1 (en) * 1966-09-22 1972-01-18
JPS496755B1 (en) * 1969-06-18 1974-02-15
JPS4850937A (en) * 1971-10-26 1973-07-18
JPS63140001A (en) * 1986-09-24 1988-06-11 アルカン・インターナショナル・リミテッド Granular metal composite and its production
WO1989005870A1 (en) * 1987-12-14 1989-06-29 Osprey Metals Limited Spray deposition
JPH03503784A (en) * 1988-01-11 1991-08-22 アライド‐シグナル・インコーポレーテッド Aluminum-based metal matrix composite
JPH0211748A (en) * 1988-06-29 1990-01-16 Chiyoo Komori Spongy titanium formed goods having hydrogen-adsorbing and-desorbing action
JPH03193805A (en) * 1989-12-22 1991-08-23 Sumitomo Metal Ind Ltd Manufacture of metal fine powder
JPH05105918A (en) * 1991-10-17 1993-04-27 Sumitomo Metal Ind Ltd Method and device for producing finely dispersed composite powder
JPH08506382A (en) * 1993-02-06 1996-07-09 オスプリ メタルズ リミテッド Powder manufacturing method
US5749938A (en) * 1993-02-06 1998-05-12 Fhe Technology Limited Production of powder
JP4651533B2 (en) * 2005-12-26 2011-03-16 三井金属鉱業株式会社 Method for producing copper particles
WO2014024781A1 (en) * 2012-08-08 2014-02-13 日本発條株式会社 Method for manufacturing porous body, porous body, and structure
JP2016028176A (en) * 2014-02-14 2016-02-25 三井金属鉱業株式会社 Method for manufacturing copper powder

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106041086B (en) Metal material for three-dimensional printing, method of manufacturing the same, and three-dimensional printing method using the same
CN104607823A (en) Manufacturing method of spherical self-fluxing alloy solder
CN104668552B (en) A kind of aluminium powder for 3D printing and preparation method thereof
CN104668807B (en) Spherical low-melting-point brazing filler metal powder manufacturing method
US9598776B2 (en) Photosintering of micron-sized copper particles
JP6211245B2 (en) Conductive material and method for producing the same
JP2019210497A (en) Cu-based alloy powder
CN110114174A (en) Copper powder and its manufacturing method
KR20160121771A (en) Metal material for 3-dimension printing, method for fabricating the same, and method for printing using the same
CN111128435A (en) Electronic paste for mixing two kinds of metal powder with different melting points
JP2016089191A (en) Creating method of metal molded object using metal powder by laser irradiation, formation material for the method, and created structure
JP4888769B2 (en) Copper powder and method for producing the same
CN106255323B (en) A kind of method that 3D printing prepares glass base circuit board
TW201714685A (en) Spherical metal powder and manufacturing method thereof and manufacturing apparatus thereof capable of allowing the fine metal particles to converge into a spherical shape in a relatively long time to achieve the purpose of improving the metal powder roundness
WO2018235213A1 (en) Copper powder for layer molding, and layer molded product thereof
JP2017218633A (en) Production method of composite particle
KR920008674B1 (en) Conductive metal powders and process for preparation thereof and use thereof
CN106141169B (en) A kind of metal powder material and preparation method thereof for 3D printing
CN107891214A (en) A kind of method for the copper surface cladding tungsten copper for increasing material based on electric arc
WO2018155564A1 (en) Method for manufacturing aluminum circuit board
US20200147682A1 (en) Lamination shaping copper powder and laminated and shaped product
JP2007154231A (en) Spherical molybdenum metal particle and method for producing the same
CN113205901A (en) Glass frit, conductive paste and application in preparation of ceramic dielectric filter electrode
KR101308828B1 (en) Method for producing fine metal ball
JP2017155279A (en) Method for producing metal fine particle

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191121

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191217

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20200630