JP2017208738A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device Download PDF

Info

Publication number
JP2017208738A
JP2017208738A JP2016100777A JP2016100777A JP2017208738A JP 2017208738 A JP2017208738 A JP 2017208738A JP 2016100777 A JP2016100777 A JP 2016100777A JP 2016100777 A JP2016100777 A JP 2016100777A JP 2017208738 A JP2017208738 A JP 2017208738A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
terminal
control circuit
semiconductor device
voltage detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016100777A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6665681B2 (en
Inventor
規行 柿本
Noriyuki Kakimoto
規行 柿本
岡村 誠
Makoto Okamura
誠 岡村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2016100777A priority Critical patent/JP6665681B2/en
Publication of JP2017208738A publication Critical patent/JP2017208738A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6665681B2 publication Critical patent/JP6665681B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device which inhibits electrical rupture on a side of a power module mounted with a voltage detection element even when disconnection occurs on wiring for connecting a control circuit and the voltage detection element having high breakdown voltage.SOLUTION: A semiconductor device comprises: a power module including a switching element having a first output terminal being one of two output terminals and applied with a power supply voltage, and having the other second output terminal; and a control circuit board which has a voltage detection part for detecting an output voltage being a potential difference between the first output terminal and the second output terminal, and which is connected to the power module. The power module includes: a voltage detection element provided between the first output terminal and the control circuit board in an inserted manner for detecting the output voltage; and a potential decision element provided between the second output terminal and a midpoint between the voltage detection element and the control circuit board in the inserted manner.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、スイッチング素子のオン電圧に応じた出力電圧を検出するための電圧検出素子を有する半導体装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor device having a voltage detection element for detecting an output voltage corresponding to an ON voltage of a switching element.

特許文献1には、スイッチング素子(IGBT)を駆動するための半導体装置において、スイッチング素子の出力端子の電圧を、高耐圧ダイオードを介して監視する半導体装置が開示されている。この半導体装置では、電圧検出素子としての高耐圧ダイオードのカソードにIGBTの電源電圧に相当する高電圧が印加され、アノードに制御回路側の電源に相当する低電圧が印加される。   Patent Document 1 discloses a semiconductor device for driving a switching element (IGBT) and monitoring a voltage at an output terminal of the switching element via a high voltage diode. In this semiconductor device, a high voltage corresponding to the power supply voltage of the IGBT is applied to the cathode of a high voltage diode as a voltage detection element, and a low voltage corresponding to the power supply on the control circuit side is applied to the anode.

このため、制御回路側の基板に高耐圧ダイオードが実装される形態においては、高耐圧ダイオードのアノード端子近傍では高電圧に耐えうる絶縁距離を確保する必要がある。すなわち、基板のサイズが大きくなってしまう。   For this reason, in the embodiment in which the high voltage diode is mounted on the substrate on the control circuit side, it is necessary to secure an insulation distance that can withstand the high voltage in the vicinity of the anode terminal of the high voltage diode. That is, the size of the substrate becomes large.

特開2013−223212号公報JP2013-223212A

これに対して、高耐圧ダイオードをスイッチング素子に内蔵する、あるいはスイッチング素子を実装する素子モジュールに内蔵する形態を検討することができる。このような形態では基板の絶縁設計が不要になるため基板の小型化を実現できる。   On the other hand, it is possible to consider a mode in which a high voltage diode is incorporated in the switching element or in an element module on which the switching element is mounted. In such a form, it is not necessary to design the insulation of the substrate, so that the substrate can be downsized.

しかしながら、素子モジュールと制御回路側の基板との間で断線が生じた際に、素子モジュールにおける端子に高電圧が印加されるため、素子モジュール側で絶縁破壊が生じる虞がある。   However, when a disconnection occurs between the element module and the substrate on the control circuit side, a high voltage is applied to the terminals of the element module, and there is a possibility that dielectric breakdown may occur on the element module side.

本発明は、上記問題点を鑑みてなされたものであり、スイッチング素子の出力電圧を検出するための電圧検出素子を有する半導体装置において、制御回路と高耐圧の電圧検出素子とを接続する配線に断線が発生した場合においても、電気的な破壊を抑制する半導体装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and in a semiconductor device having a voltage detection element for detecting an output voltage of a switching element, a wiring connecting a control circuit and a high withstand voltage detection element. An object of the present invention is to provide a semiconductor device that suppresses electrical breakdown even when disconnection occurs.

ここに開示される発明は、上記目的を達成するために以下の技術的手段を採用する。なお、特許請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、ひとつの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、発明の技術的範囲を限定するものではない。   The invention disclosed herein employs the following technical means to achieve the above object. Note that the reference numerals in parentheses described in the claims and in this section indicate a corresponding relationship with specific means described in the embodiments described later as one aspect, and limit the technical scope of the invention. Not what you want.

上記目的を達成するために、本発明は、2つの出力端子のうちの一方であり電源電圧が印加される第1出力端子(T1)と、他方の第2出力端子(T2)と、を有するスイッチング素子(10)を備えたパワーモジュール(120)を具備し、第1出力端子と第2出力端子の間の電位差である出力電圧を検出する電圧検出部(211)を備えた制御回路基板(200)がパワーモジュールに接続される半導体装置であって、パワーモジュールは、第1出力端子と制御回路基板の間に挿設され、出力電圧を検出するための電圧検出素子(20,60)と、電圧検出素子と制御回路基板との中点と、第2出力端子との間に挿設された電位確定素子(30,40,50)と、を備える。   In order to achieve the above object, the present invention includes a first output terminal (T1) that is one of two output terminals and to which a power supply voltage is applied, and the other second output terminal (T2). A control circuit board (200) including a power module (120) including a switching element (10) and including a voltage detection unit (211) that detects an output voltage that is a potential difference between the first output terminal and the second output terminal. 200) is a semiconductor device connected to the power module, the power module being inserted between the first output terminal and the control circuit board, and a voltage detection element (20, 60) for detecting the output voltage And a potential determination element (30, 40, 50) inserted between the midpoint of the voltage detection element and the control circuit board and the second output terminal.

これによれば、パワーモジュールと制御回路基板との間であって、電圧検出素子と電圧検出部との間の高圧配線が断線した場合でも、電圧検出素子における制御回路基板側の端子が電気的にフローティングになることなく、電位確定素子を介してスイッチング素子の第2出力端子に接続される。このため、電圧検出素子から延びるパワーモジュール側の端子には、電位確定素子により規定される電位に固定することができ、高電圧に起因する沿面放電などの現象を抑制することができる。   According to this, even when the high voltage wiring between the power module and the control circuit board and between the voltage detection element and the voltage detection unit is disconnected, the terminal on the control circuit board side in the voltage detection element is electrically connected. Without being floated on, it is connected to the second output terminal of the switching element via the potential determination element. For this reason, the terminal on the power module side extending from the voltage detection element can be fixed at a potential defined by the potential determination element, and phenomena such as creeping discharge due to a high voltage can be suppressed.

第1実施形態における半導体装置および制御回路基板の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the semiconductor device and control circuit board in 1st Embodiment. 第2実施形態における半導体装置および制御回路基板の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the semiconductor device in 2nd Embodiment, and a control circuit board. 第3実施形態における半導体装置および制御回路基板の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the semiconductor device in 3rd Embodiment, and a control circuit board. その他の実施形態における半導体装置および制御回路基板の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the semiconductor device and control circuit board in other embodiment. その他の実施形態における半導体装置の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the semiconductor device in other embodiment.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分に、同一符号を付与する。各形態において構成の一部のみを説明している場合は、構成の他の部分については先行して説明した形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組み合せることも可能である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same reference numerals are given to the same or equivalent parts. In the case where only a part of the configuration is described in each embodiment, the other parts of the configuration are the same as those described previously. In addition to the combination of parts specifically described in each embodiment, the embodiments may be partially combined as long as the combination is not particularly troublesome.

(第1実施形態)
最初に、図1を参照して、本実施形態に係る半導体装置の概略構成について説明する。
(First embodiment)
First, a schematic configuration of the semiconductor device according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

この半導体装置は例えば車両に搭載され、入力される制御信号に基づいて負荷の駆動を制御するためのパワースイッチング装置である。図1に示すように、この半導体装置100は、スイッチング素子10を含むパワー素子110が実装されたパワーモジュール120を具備している。パワーモジュール120には、スイッチング素子10のオンオフを制御するための制御回路210が実装された制御回路基板200が各種配線300を介して接続されている。具体的には、スイッチング素子10のオンオフを制御するための制御信号を伝達するゲート配線310と、スイッチング素子10の出力電圧を伝達するための電圧検出配線320と、制御回路210とスイッチング素子10とで基準電位を共通化するための基準電位配線330を介して、パワーモジュール120と制御回路基板200とが互いに接続されている。これら配線300が接続されるパワーモジュール120側の端子をモジュール側の端子と称し、制御回路基板200側の端子を基板側の端子と称することがある。   This semiconductor device is a power switching device that is mounted on a vehicle, for example, and controls driving of a load based on an input control signal. As shown in FIG. 1, the semiconductor device 100 includes a power module 120 on which a power element 110 including a switching element 10 is mounted. A control circuit board 200 on which a control circuit 210 for controlling on / off of the switching element 10 is mounted is connected to the power module 120 via various wirings 300. Specifically, a gate wiring 310 for transmitting a control signal for controlling on / off of the switching element 10, a voltage detection wiring 320 for transmitting an output voltage of the switching element 10, a control circuit 210, the switching element 10, The power module 120 and the control circuit board 200 are connected to each other through a reference potential wiring 330 for sharing the reference potential. A terminal on the power module 120 side to which the wiring 300 is connected may be referred to as a module side terminal, and a terminal on the control circuit board 200 side may be referred to as a board side terminal.

本実施形態におけるパワー素子110は、スイッチング素子10と高耐圧ダイオード20と、抵抗器30とを有している。パワー素子110はひとつのチップとして素子を形成しており、ひとつの制御端子T0と、ふたつの出力端子T1,T2が外部と接続可能に形成されている。   The power element 110 in this embodiment includes a switching element 10, a high voltage diode 20, and a resistor 30. The power element 110 forms an element as one chip, and one control terminal T0 and two output terminals T1 and T2 are formed so as to be connectable to the outside.

スイッチング素子10は、例えば絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)を採用することができる。図1に示すように、IGBTにおけるゲート端子が制御端子T0に相当し、コレクタ端子が出力端子T1に相当し、エミッタ端子が出力端子T2に相当している。特許請求の範囲に記載の第1出力端子は、コレクタ端子たる出力端子T1に相当し、第2出力端子は、エミッタ端子たる出力端子T2に相当する。図示しないが、スイッチング素子10のコレクタ端子T1には負荷に供給する電圧を生じさせる電源電圧VDDが印加される。一方、エミッタ端子T2には制御回路基板200と共通したグランド電位が接続される。なお、言うまでもないが、スイッチング素子10はIGBTに限定されることはなく、例えばMOSFETでも良い。スイッチング素子10がMOSFETの場合には、出力端子T1がドレイン端子に相当し、出力端子T2がソース端子に相当する。   As the switching element 10, for example, an insulated gate bipolar transistor (IGBT) can be adopted. As shown in FIG. 1, the gate terminal in the IGBT corresponds to the control terminal T0, the collector terminal corresponds to the output terminal T1, and the emitter terminal corresponds to the output terminal T2. The first output terminal described in the claims corresponds to the output terminal T1 as a collector terminal, and the second output terminal corresponds to the output terminal T2 as an emitter terminal. Although not shown, a power supply voltage VDD that generates a voltage to be supplied to the load is applied to the collector terminal T1 of the switching element 10. On the other hand, a ground potential common to the control circuit board 200 is connected to the emitter terminal T2. Needless to say, the switching element 10 is not limited to the IGBT, and may be a MOSFET, for example. When the switching element 10 is a MOSFET, the output terminal T1 corresponds to the drain terminal, and the output terminal T2 corresponds to the source terminal.

高耐圧ダイオード20は一般的に知られたダイオード素子である。以降、高耐圧ダイオード20における順電圧をVFと表記する。高耐圧ダイオード20のカソード端子はスイッチング素子10におけるコレクタ端子T1に接続されている。また、高耐圧ダイオード20のアノード端子は制御回路基板200における後述の電圧検出部211に接続されている。高耐圧ダイオード20はIGBTのコレクタ−エミッタ間電圧、すなわちスイッチング素子10の出力電圧を検出するための電圧検出素子である。具体的には、スイッチング素子10がオン状態のとき、高耐圧ダイオード20のアノード側に出力される検出電圧は、スイッチング素子10のオン電圧Vonと、高耐圧ダイオード20の順電圧VFの和である。例えば、スイッチング素子10のコレクタ電流として過電流が流れるとオン電圧が上昇して検出電圧も上昇する。   The high voltage diode 20 is a generally known diode element. Hereinafter, the forward voltage in the high voltage diode 20 is denoted as VF. The cathode terminal of the high voltage diode 20 is connected to the collector terminal T1 of the switching element 10. The anode terminal of the high voltage diode 20 is connected to a voltage detection unit 211 (to be described later) in the control circuit board 200. The high breakdown voltage diode 20 is a voltage detection element for detecting the collector-emitter voltage of the IGBT, that is, the output voltage of the switching element 10. Specifically, when the switching element 10 is in the on state, the detection voltage output to the anode side of the high voltage diode 20 is the sum of the on voltage Von of the switching element 10 and the forward voltage VF of the high voltage diode 20. . For example, when an overcurrent flows as the collector current of the switching element 10, the on-voltage increases and the detection voltage also increases.

抵抗器30は一般的に知られた抵抗器である。以降、抵抗器30の抵抗値をRと表記する。抵抗器30は一端が高耐圧ダイオード20のアノード端子に接続され、他端がスイッチング素子10のエミッタ端子T2に接続されている。すなわち、高耐圧ダイオード20のアノード端子は、抵抗器30を介してグランドに接続されている。なお、高耐圧ダイオード20と抵抗器30との中点が電圧検出部211に接続されている。本実施形態における抵抗器30は特許請求の範囲に記載の電位確定素子に相当する。抵抗器30の抵抗値Rの好適な条件については追って説明する。   Resistor 30 is a commonly known resistor. Hereinafter, the resistance value of the resistor 30 is expressed as R. One end of the resistor 30 is connected to the anode terminal of the high voltage diode 20, and the other end is connected to the emitter terminal T <b> 2 of the switching element 10. That is, the anode terminal of the high voltage diode 20 is connected to the ground via the resistor 30. The midpoint between the high voltage diode 20 and the resistor 30 is connected to the voltage detector 211. The resistor 30 in this embodiment corresponds to the potential determination element described in the claims. A suitable condition for the resistance value R of the resistor 30 will be described later.

本実施形態におけるパワー素子110は、パワーモジュール120内に実装されている。パワーモジュール120は、図1に示すように、外部との接続端子として5つのモジュール側端子を有する。すなわち、制御端子としてのゲート端子T0と、第1出力端子としてのコレクタ端子T1と、第2出力端子としてのエミッタ端子T2と、高耐圧ダイオード20のアノード端子に接続され出力電圧を検出するための検出端子T3と、パワーモジュール120と制御回路基板200の基準電位を同一にするための基準端子T4を有する。ゲート端子T0はゲート配線310によって制御回路基板200と接続されている。検出端子T3は電圧検出配線320によって制御回路基板200と接続されている。基準端子T4は基準電位配線330によって制御回路基板200と接続されている。   The power element 110 in this embodiment is mounted in the power module 120. As shown in FIG. 1, the power module 120 has five module-side terminals as connection terminals with the outside. That is, a gate terminal T0 as a control terminal, a collector terminal T1 as a first output terminal, an emitter terminal T2 as a second output terminal, and an anode terminal of the high breakdown voltage diode 20 are connected to detect the output voltage. The detection terminal T3 has a reference terminal T4 for making the reference potentials of the power module 120 and the control circuit board 200 the same. The gate terminal T0 is connected to the control circuit board 200 by a gate wiring 310. The detection terminal T3 is connected to the control circuit board 200 by a voltage detection wiring 320. The reference terminal T4 is connected to the control circuit board 200 by a reference potential wiring 330.

制御回路基板200は、制御回路210と、ゲート抵抗器220,と電流制限抵抗器230と、ブランキング容量240と、を有している。   The control circuit board 200 includes a control circuit 210, a gate resistor 220, a current limiting resistor 230, and a blanking capacitor 240.

制御回路210は、スイッチング素子10におけるゲート端子T0に対して制御信号たるゲート電圧を出力する。また、制御回路210は電圧検出部211を含み、検出されたスイッチング素子10の出力電圧に基づいてゲート電圧の制御あるいはフェールセーフの制御を行う。本実施形態における制御回路210は特定用途向け集積回路(application specific integrated circuit)として構成され、ひとつのチップとして制御回路基板200に実装されている。制御回路210には電源電圧としてVCCが供給されている。   The control circuit 210 outputs a gate voltage as a control signal to the gate terminal T0 in the switching element 10. The control circuit 210 includes a voltage detection unit 211, and performs gate voltage control or fail-safe control based on the detected output voltage of the switching element 10. The control circuit 210 in the present embodiment is configured as an application specific integrated circuit, and is mounted on the control circuit board 200 as one chip. VCC is supplied to the control circuit 210 as a power supply voltage.

電圧検出部211は、制御回路210に内蔵される機能部であり、電圧検出端子T3に出力される検出電圧、すなわちVon+VFを検出する。例えばスイッチング素子10に過電流が流れるとVonが上昇するため、検出電圧Von+VFも上昇する。制御回路210は、検出電圧が所定の閾値以上となることを条件にフェールセーフ動作を行う等の制御をしている。   The voltage detection unit 211 is a functional unit built in the control circuit 210 and detects a detection voltage output to the voltage detection terminal T3, that is, Von + VF. For example, when an overcurrent flows through the switching element 10, Von increases, so that the detection voltage Von + VF also increases. The control circuit 210 performs control such as performing a fail-safe operation on condition that the detected voltage is equal to or higher than a predetermined threshold.

また、電圧検出部211は、定電流を電圧検出端子T3に出力する機能を有している。スイッチング素子10がオンの際に電流Iが生成され、電圧検出端子T3に供給される。電流Iの電流値は電圧検出部211内で生成された定電圧Vcに基づいて規定される。一方、スイッチング素子10がオフの際や、短絡状態にある場合には、高耐圧ダイオード20がオフするため、電圧検出端子T3には定電圧Vcが出力される。なお、定電圧Vcは制御回路210に供給される電源電圧VCCそのものでも良いし、制御回路210の内部で生成された電圧であっても良い。   The voltage detector 211 has a function of outputting a constant current to the voltage detection terminal T3. When the switching element 10 is turned on, a current I is generated and supplied to the voltage detection terminal T3. The current value of the current I is defined based on the constant voltage Vc generated in the voltage detector 211. On the other hand, when the switching element 10 is turned off or in a short circuit state, the high voltage diode 20 is turned off, so that the constant voltage Vc is output to the voltage detection terminal T3. The constant voltage Vc may be the power supply voltage VCC itself supplied to the control circuit 210, or may be a voltage generated inside the control circuit 210.

ゲート抵抗器220は、制御回路210に含まれる図示しないドライバと、スイッチング素子10のゲート端子T0との間に挿入されている。ゲート抵抗器220は、スイッチング動作時のゲート充放電時間を最適にする目的で挿入される。   The gate resistor 220 is inserted between a driver (not shown) included in the control circuit 210 and the gate terminal T0 of the switching element 10. The gate resistor 220 is inserted for the purpose of optimizing the gate charge / discharge time during the switching operation.

電流制限抵抗器230は、電圧検出端子T3と電圧検出部211との間に挿入されている。電流制限抵抗器230は、スイッチング動作時の過渡電流を抑制する目的で挿入されている。   The current limiting resistor 230 is inserted between the voltage detection terminal T3 and the voltage detection unit 211. The current limiting resistor 230 is inserted for the purpose of suppressing the transient current during the switching operation.

ブランキング容量240は、電流制限抵抗器230と電圧検出部211と結ぶ配線と基準電位(グランド)との間に挿入されるコンデンサである。ブランキング容量240は、スイッチング素子10のターンオン動作時において、IGBTのコレクタ−エミッタ間電圧が、IGBTの短絡判断電圧以下になるまでの間、フェールセーフ動作が行われないようにするために挿入されている。この時間(ブランキング時間)はブランキング容量240の容量値が大きいほど長く設定できる。   The blanking capacitor 240 is a capacitor inserted between a wiring connecting the current limiting resistor 230 and the voltage detection unit 211 and a reference potential (ground). The blanking capacitor 240 is inserted so that the fail-safe operation is not performed until the IGBT collector-emitter voltage becomes equal to or lower than the IGBT short-circuit determination voltage when the switching element 10 is turned on. ing. This time (blanking time) can be set longer as the capacity value of the blanking capacity 240 is larger.

続いて、本実施形態における半導体装置100を採用することによる作用効果について説明する。   Then, the effect by employ | adopting the semiconductor device 100 in this embodiment is demonstrated.

電圧検出配線320が断線したと仮定する。本実施形態における高耐圧ダイオード20のアノード端子は、抵抗器30を介してグランドに接続されている。このため、電圧検出配線320の断線に対して、アノード端子の電圧が出力される電圧検出端子T3は電気的にフローティングになることなく、抵抗器30の抵抗値Rに応じた値に規定することができる。すなわち、抵抗器30は電圧検出端子T3を所定の電位に確定する電位確定素子である。よって、電圧検出端子T3に、電源電圧に起因する高電圧が出力されることを防止でき、電圧検出端子T3周辺における沿面放電の発生等による破壊現象を抑制することができる。   Assume that the voltage detection wiring 320 is disconnected. The anode terminal of the high voltage diode 20 in this embodiment is connected to the ground via the resistor 30. Therefore, with respect to the disconnection of the voltage detection wiring 320, the voltage detection terminal T3 from which the voltage of the anode terminal is output is regulated to a value corresponding to the resistance value R of the resistor 30 without being electrically floating. Can do. That is, the resistor 30 is a potential determination element that determines the voltage detection terminal T3 at a predetermined potential. Therefore, it is possible to prevent a high voltage resulting from the power supply voltage from being output to the voltage detection terminal T3, and it is possible to suppress a breakdown phenomenon due to the occurrence of creeping discharge around the voltage detection terminal T3.

続いて、半導体装置100における抵抗器30の好適な抵抗値Rについて説明する。   Subsequently, a suitable resistance value R of the resistor 30 in the semiconductor device 100 will be described.

抵抗器30の挿入によっても、スイッチング素子10の短絡の検出が可能とされることが望ましい。以下、電圧検出端子T3への高電圧の出力を抑制しつつスイッチング素子10の短絡検出も可能とする抵抗値Rについて説明する。説明において、スイッチング素子10に定格電流(コレクタ電流として最大の電流)が流れた際のコレクタ−エミッタ間電圧をVmaxと示す。Vmaxは定格電流とスイッチング素子10が決まれば一意に定まる値であり、オン電圧の最大値を示す電圧値である。   It is desirable that the short circuit of the switching element 10 can be detected also by the insertion of the resistor 30. Hereinafter, the resistance value R that enables short-circuit detection of the switching element 10 while suppressing the output of a high voltage to the voltage detection terminal T3 will be described. In the description, a collector-emitter voltage when a rated current (maximum current as a collector current) flows through the switching element 10 is denoted as Vmax. Vmax is a value that is uniquely determined when the rated current and the switching element 10 are determined, and is a voltage value that indicates the maximum value of the ON voltage.

スイッチング素子10たるIGBTがオン状態のとき、コレクタ−エミッタ間電圧は0からVmaxの間の値をとる。よって、基準電位となる基準電位端子T4と電圧検出端子T3との電位差Eon、すなわち電圧検出端子T3の電圧は、VF≦Eon≦VF+Vmaxの関係を満たす。   When the IGBT which is the switching element 10 is in the ON state, the collector-emitter voltage takes a value between 0 and Vmax. Therefore, the potential difference Eon between the reference potential terminal T4 serving as the reference potential and the voltage detection terminal T3, that is, the voltage of the voltage detection terminal T3 satisfies the relationship of VF ≦ Eon ≦ VF + Vmax.

一方、IGBTがオフ状態、またはIGBTが短絡状態のときは高耐圧ダイオード20には通電されない。このとき、IGBTが短絡状態であることを判定するために、電圧検出端子T3の電圧Eoffは、少なくともEonの最大値よりも大きな値をとることが出来なければならない。換言すれば、短絡を検出するため閾値は、少なくともEonの最大値よりも大きな電圧値としなければならない。すなわち、Eoff>VF+Vmaxの関係を満たす必要がある。   On the other hand, when the IGBT is off or the IGBT is short-circuited, the high voltage diode 20 is not energized. At this time, in order to determine that the IGBT is in a short circuit state, the voltage Eoff of the voltage detection terminal T3 must be able to take a value that is at least larger than the maximum value of Eon. In other words, in order to detect a short circuit, the threshold value must be at least a voltage value larger than the maximum value of Eon. That is, it is necessary to satisfy the relationship of Eoff> VF + Vmax.

短絡状態では高耐圧ダイオード20が非通電であるため、Eoffは、定電流Iと抵抗値Rを用いて、Eoff=I×Rである。したがって、I×R>VF+Vmaxであり、抵抗値Rは、
R>(VF+Vmax)/I
の関係を満たすことが望ましい。
Since the high voltage diode 20 is not energized in the short-circuit state, Eoff is Eoff = I × R using the constant current I and the resistance value R. Therefore, I × R> VF + Vmax, and the resistance value R is
R> (VF + Vmax) / I
It is desirable to satisfy the relationship.

(第2実施形態)
第1実施形態では、電位確定素子として抵抗器30を採用する例について説明した。これに対して、本実施形態における半導体装置101は、図2に示すように、電位確定素子として抵抗器30に代わってコンデンサ40を採用する。本実施形態における高耐圧ダイオード20のアノード端子は、コンデンサ40を介してグランドに接続されている。このため、電圧検出配線320の断線に対して、アノード端子の電圧が出力される電圧検出端子T3は電気的にフローティングになることなく、コンデンサ40の容量値Cに応じた値に規定することができる。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, the example in which the resistor 30 is employed as the potential determination element has been described. On the other hand, as shown in FIG. 2, the semiconductor device 101 according to the present embodiment employs a capacitor 40 instead of the resistor 30 as a potential determination element. The anode terminal of the high voltage diode 20 in this embodiment is connected to the ground via the capacitor 40. For this reason, with respect to the disconnection of the voltage detection wiring 320, the voltage detection terminal T3 from which the voltage of the anode terminal is output can be regulated to a value corresponding to the capacitance value C of the capacitor 40 without being electrically floating. it can.

半導体装置101におけるコンデンサ40の好適な容量値Cについて説明する。   A suitable capacitance value C of the capacitor 40 in the semiconductor device 101 will be described.

電圧検出配線320が断線したと仮定する。基準電位となる基準電位端子T4と電圧検出端子T3との電位差、すなわち電圧検出端子T3の電圧をEとし、高耐圧ダイオード20のカソード−アノード間容量をCakとする。IGBTのコレクタ−エミッタ間電圧Vに対して、電圧検出端子T3の電圧Eは、E=V×Cak/(C+Cak)となる。電圧Eが、要求されるパワーモジュール120における端子間耐圧Vaを下回ればよく(E<Va)、コレクタ−エミッタ間電圧Vは、スイッチング素子10がオフ時に印加される最大定格電圧Vrを想定すればよいので、容量値Cは、
Cak/(C+Cak)<Va/Vr
の関係を満たすことが望ましい。
Assume that the voltage detection wiring 320 is disconnected. A potential difference between the reference potential terminal T4 and the voltage detection terminal T3 serving as a reference potential, that is, a voltage at the voltage detection terminal T3 is E, and a cathode-anode capacitance of the high voltage diode 20 is Cak. With respect to the collector-emitter voltage V of the IGBT, the voltage E of the voltage detection terminal T3 is E = V × Cak / (C + Cak). The voltage E may be lower than the required terminal breakdown voltage Va in the power module 120 (E <Va), and the collector-emitter voltage V is assumed to be the maximum rated voltage Vr applied when the switching element 10 is turned off. Since the capacitance value C is good,
Cak / (C + Cak) <Va / Vr
It is desirable to satisfy the relationship.

(第3実施形態)
電位確定素子として、抵抗器30やコンデンサ40のほか、クランプ素子を採用することもできる。本実施形態における半導体装置102は、図3に示すように、電位確定素子としてクランプ素子のひとつであるツェナーダイオード50を採用する。ツェナーダイオード50は、そのカソード端子が高耐圧ダイオード20のアノード端子に接続されるようになっている。本実施形態における高耐圧ダイオード20のアノード端子は、クランプ素子であるツェナーダイオード50を介してグランドに接続されている。このため、電圧検出配線320の断線に対して、高耐圧ダイオード20のアノード端子の電圧が出力される電圧検出端子T3は電気的にフローティングになることなく、ツェナーダイオード50の降伏電圧Vzに応じた値に規定することができる。
(Third embodiment)
In addition to the resistor 30 and the capacitor 40, a clamp element can be employed as the potential determination element. As shown in FIG. 3, the semiconductor device 102 according to the present embodiment employs a Zener diode 50 that is one of clamp elements as a potential determination element. The Zener diode 50 has a cathode terminal connected to the anode terminal of the high voltage diode 20. In the present embodiment, the anode terminal of the high voltage diode 20 is connected to the ground via a Zener diode 50 that is a clamp element. For this reason, the voltage detection terminal T3 from which the voltage of the anode terminal of the high-breakdown-voltage diode 20 is output with respect to the disconnection of the voltage detection wiring 320 does not float electrically, and corresponds to the breakdown voltage Vz of the Zener diode 50. Value can be specified.

半導体装置102におけるツェナーダイオード50の好適な降伏電圧Vzについて説明する。   A suitable breakdown voltage Vz of the Zener diode 50 in the semiconductor device 102 will be described.

スイッチング素子10のコレクタ−エミッタ間電圧(出力電圧)を検出するために、降伏電圧Vzは制御回路基板200側の電源電圧VCCよりも大きくなくてはならない。また、電圧検出配線320の断線時には降伏電圧Vzが電圧検出端子T3に出力されることになるから降伏電圧Vzは要求されるパワーモジュール120における端子間耐圧Vaを下回ることが求められる。すなわち、降伏電圧Vzは、
VCC<Vz<Va
の関係を満たすことが望ましい。
In order to detect the collector-emitter voltage (output voltage) of the switching element 10, the breakdown voltage Vz must be larger than the power supply voltage VCC on the control circuit board 200 side. Further, since the breakdown voltage Vz is output to the voltage detection terminal T3 when the voltage detection wiring 320 is disconnected, the breakdown voltage Vz is required to be lower than the required inter-terminal breakdown voltage Va in the power module 120. That is, the breakdown voltage Vz is
VCC <Vz <Va
It is desirable to satisfy the relationship.

(その他の実施形態)
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
(Other embodiments)
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

上記した各実施形態では、電圧検出素子たる高耐圧ダイオード20および電位確定素子30,40,50がパワー素子110の内部に構成される例について説明したが、これら素子はパワー素子110の外部に配置されて、パワー素子とともにパワーモジュール120を構成するようにしても良い。さらには、高耐圧ダイオード20および電位確定素子30,40,50がパワーモジュールの外部に配置されても良い。   In each of the embodiments described above, an example in which the high voltage diode 20 as the voltage detection element and the potential determination elements 30, 40, 50 are configured inside the power element 110 has been described, but these elements are arranged outside the power element 110. The power module 120 may be configured together with the power element. Furthermore, the high voltage diode 20 and the potential determination elements 30, 40, 50 may be disposed outside the power module.

また、半導体装置100,101,102の製造段階において、電位確定素子30,40,50を予め高耐圧ダイオード20のアノード端子に接続していると、スイッチング素子10のリーク電流を測定する際にノイズとなる虞がある。このような場合には、リーク電流検査の際には電位確定素子30,40,50を接続せず、検査後にワイヤーボンディング等の手段で結線しても良い。   Further, in the manufacturing stage of the semiconductor devices 100, 101, 102, if the potential determination elements 30, 40, 50 are connected in advance to the anode terminal of the high voltage diode 20, noise is measured when measuring the leakage current of the switching element 10. There is a risk of becoming. In such a case, the potential determination elements 30, 40 and 50 may not be connected at the time of leak current inspection, and may be connected by means such as wire bonding after the inspection.

また、上記した各実施形態では、電位確定素子30,40,50がパワーモジュール120側にのみ配置される例について説明したが、図4に示すように、制御回路基板200側にも第2の電位確定素子が配置されても良い。図4に示す例では、第2の電位確定素子はツェナーダイオード250であり、電圧検出配線320に繋がる配線にカソード端子が接続され、基準電位配線330に繋がる配線にアノード端子が接続されている。例えば、パワーモジュール120側に配置された電位確定素子であるツェナーダイオード50の降伏電圧を50Vとし、制御回路基板200に配置された第2の電位確定素子であるツェナーダイオード250の降伏電圧を35Vとすれば、モジュール側の沿面は50Vの耐圧設計で良く、基板側の沿面は35Vの耐圧設計で良い。   In each of the above-described embodiments, the example in which the potential determining elements 30, 40, and 50 are arranged only on the power module 120 side has been described. However, as shown in FIG. A potential determination element may be arranged. In the example shown in FIG. 4, the second potential determination element is a Zener diode 250, the cathode terminal is connected to the wiring connected to the voltage detection wiring 320, and the anode terminal is connected to the wiring connected to the reference potential wiring 330. For example, the breakdown voltage of the Zener diode 50 that is a potential determination element disposed on the power module 120 side is 50 V, and the breakdown voltage of the Zener diode 250 that is the second potential determination element disposed on the control circuit board 200 is 35 V. In this case, the creepage on the module side may be 50V withstand voltage design, and the creepage on the substrate side may be with 35V withstand voltage design.

また、上記した各実施形態では、ゲート抵抗器220、電流制限抵抗器230、ブランキング容量240が制御回路基板200に含まれる例について説明したが、ゲート抵抗器220、電流制限抵抗器230、ブランキング容量240はパワーモジュール120側に含まれるように実装されてもよいし、制御回路基板200およびパワーモジュール120の外側に実装されても良い。   In each of the embodiments described above, an example in which the gate resistor 220, the current limiting resistor 230, and the blanking capacitor 240 are included in the control circuit board 200 has been described. However, the gate resistor 220, the current limiting resistor 230, The ranking capacitor 240 may be mounted so as to be included on the power module 120 side, or may be mounted outside the control circuit board 200 and the power module 120.

また、上記した各実施形態では、スイッチング素子10の出力電圧を検出するための電圧検出素子として、高耐圧ダイオード20を採用する例を説明したが、電圧検出素子は高耐圧ダイオード20に限定されない。例えば、図5に示すように、半導体装置103は、高耐圧ダイオード20に代えて、高耐圧コンデンサ60と抵抗器61を有している。高耐圧コンデンサ60は、第1出力端子たるコレクタ端子T1と、電位確定素子たるツェナーダイオード50のカソード端子に接続されている。そして、高耐圧コンデンサ60とツェナーダイオード50との中間点が電圧検出端子T3に接続されるとともに抵抗器61を介してグランドに接続されている。高耐圧コンデンサ60と抵抗器61は微分回路を構成し、スイッチング素子10の出力電圧Vに対してdV/dtを電圧検出端子T3に出力する。   In each of the above-described embodiments, the example in which the high voltage diode 20 is employed as the voltage detection element for detecting the output voltage of the switching element 10 has been described. However, the voltage detection element is not limited to the high voltage diode 20. For example, as illustrated in FIG. 5, the semiconductor device 103 includes a high voltage capacitor 60 and a resistor 61 instead of the high voltage diode 20. The high-voltage capacitor 60 is connected to a collector terminal T1 that is a first output terminal and a cathode terminal of a Zener diode 50 that is a potential determination element. An intermediate point between the high voltage capacitor 60 and the Zener diode 50 is connected to the voltage detection terminal T3 and to the ground via the resistor 61. The high-voltage capacitor 60 and the resistor 61 constitute a differentiation circuit, and output dV / dt to the voltage detection terminal T3 with respect to the output voltage V of the switching element 10.

また、第3実施形態において、クランプ素子の例としてツェナーダイオード50を示したが、これに限定されるものではなく、例えばツェナーダイオードを直列に接続した構成でも良く、降伏電圧が所定の値に設定可能な素子、構造であればいずれも採用できる。   In the third embodiment, the Zener diode 50 is shown as an example of the clamp element. However, the present invention is not limited to this. For example, the Zener diode may be connected in series, and the breakdown voltage is set to a predetermined value. Any possible element and structure can be used.

10…スイッチング素子,20…高耐圧ダイオード(電圧検出素子),30…抵抗器(電位確定素子),100,101,102,103…半導体装置,110…パワー素子,120…パワーモジュール,200…制御回路基板,210…制御回路,211…電圧検出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Switching element, 20 ... High voltage | pressure-resistant diode (voltage detection element), 30 ... Resistor (potential determination element), 100, 101, 102, 103 ... Semiconductor device, 110 ... Power element, 120 ... Power module, 200 ... Control Circuit board 210 ... Control circuit 211 ... Voltage detector

Claims (8)

2つの出力端子のうちの一方であり電源電圧が印加される第1出力端子(T1)と、他方の第2出力端子(T2)と、を有するスイッチング素子(10)を備えたパワーモジュール(120)を具備し、
前記第1出力端子と前記第2出力端子の間の電位差である出力電圧を検出する電圧検出部(211)を備えた制御回路基板(210)が前記パワーモジュールに接続される半導体装置であって、
前記パワーモジュールは、
前記第1出力端子と前記制御回路基板の間に挿設され、前記出力電圧を検出するための電圧検出素子(20,60)と、
前記電圧検出素子と前記制御回路基板との中点と、前記第2出力端子との間に挿設された電位確定素子(30,40,50)と、を備える半導体装置。
A power module (120) including a switching element (10) having a first output terminal (T1) to which a power supply voltage is applied and one of the two output terminals, and the other second output terminal (T2). )
A semiconductor device in which a control circuit board (210) including a voltage detector (211) that detects an output voltage that is a potential difference between the first output terminal and the second output terminal is connected to the power module. ,
The power module is
A voltage detecting element (20, 60) inserted between the first output terminal and the control circuit board for detecting the output voltage;
A semiconductor device comprising: a potential determination element (30, 40, 50) inserted between a midpoint of the voltage detection element and the control circuit board and the second output terminal.
前記電圧検出素子はダイオード(20)であり、前記ダイオードのカソード端子は前記第1出力端子に接続され、アノード端子は前記電圧検出部に接続される請求項1に記載の半導体装置。   2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the voltage detection element is a diode, a cathode terminal of the diode is connected to the first output terminal, and an anode terminal is connected to the voltage detection unit. 前記電位確定素子は抵抗器(30)である請求項1または請求項2に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, wherein the potential determination element is a resistor (30). 前記電圧検出素子は、カソード端子が前記第1出力端子に接続され、アノード端子が前記電圧検出部に接続され、順電圧がVFとされたダイオードであり、
前記抵抗器の抵抗値Rは、前記スイッチング素子におけるオン電圧の最大値Vmaxと、前記制御回路基板から前記アノード端子へ供給される電流値Iを用いて、
R>(VF+Vmax)/I
の関係を満たす請求項3に記載の半導体装置。
The voltage detection element is a diode having a cathode terminal connected to the first output terminal, an anode terminal connected to the voltage detection unit, and a forward voltage of VF.
The resistance value R of the resistor is obtained by using a maximum value Vmax of an on-voltage in the switching element and a current value I supplied from the control circuit board to the anode terminal,
R> (VF + Vmax) / I
The semiconductor device according to claim 3, satisfying the relationship:
前記電位確定素子はコンデンサ(40)である請求項1または請求項2に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, wherein the potential determination element is a capacitor (40). 前記電圧検出素子は、カソード端子が前記第1出力端子に接続され、アノード端子が前記電圧検出部に接続され、カソード−アノード間の静電容量がCakとされたダイオードであり、
前記コンデンサの静電容量Cと、前記スイッチング素子における定格電圧Vrと、前記パワーモジュールにおける端子間耐圧をVaとの間に、
Cak/(C+Cak)<Va/Vr
の関係が成り立つ請求項5に記載の半導体装置。
The voltage detection element is a diode in which a cathode terminal is connected to the first output terminal, an anode terminal is connected to the voltage detection unit, and a capacitance between the cathode and the anode is Cak,
Between the capacitance C of the capacitor, the rated voltage Vr in the switching element, and the terminal breakdown voltage in the power module Va.
Cak / (C + Cak) <Va / Vr
The semiconductor device according to claim 5, wherein:
前記電位確定素子は、降伏電圧Vzを有するクランプ素子(50)である請求項1または請求項2に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, wherein the potential determination element is a clamp element (50) having a breakdown voltage Vz. 前記降伏電圧Vzと、前記制御回路基板において生成され、前記電圧検出素子と前記制御回路基板との中点に供給される定電圧Vcと、前記パワーモジュールにおける端子間耐圧をVaとの間に、
Vc<Vz<Va
の関係が成り立つ請求項7に記載の半導体装置。
Between the breakdown voltage Vz, the constant voltage Vc generated in the control circuit board and supplied to the midpoint of the voltage detection element and the control circuit board, and the terminal breakdown voltage in the power module between Va,
Vc <Vz <Va
The semiconductor device according to claim 7, wherein:
JP2016100777A 2016-05-19 2016-05-19 Semiconductor device Active JP6665681B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016100777A JP6665681B2 (en) 2016-05-19 2016-05-19 Semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016100777A JP6665681B2 (en) 2016-05-19 2016-05-19 Semiconductor device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017208738A true JP2017208738A (en) 2017-11-24
JP6665681B2 JP6665681B2 (en) 2020-03-13

Family

ID=60416723

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016100777A Active JP6665681B2 (en) 2016-05-19 2016-05-19 Semiconductor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6665681B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116990655A (en) * 2023-09-26 2023-11-03 安徽大学 Transistor short circuit detection circuit and method based on drain-source voltage change rate

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09331668A (en) * 1996-01-16 1997-12-22 Cegelec Controls Ltd Device and method for protecting switching device
JP2010245910A (en) * 2009-04-08 2010-10-28 Hitachi Automotive Systems Ltd Electric power conversion apparatus and on-vehicle electric system using the same
JP2014050179A (en) * 2012-08-30 2014-03-17 Denso Corp Semiconductor device
WO2014115272A1 (en) * 2013-01-23 2014-07-31 三菱電機株式会社 Driving device for semiconductor elements, and semiconductor device
JP2015089049A (en) * 2013-10-31 2015-05-07 トヨタ自動車株式会社 Semiconductor device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09331668A (en) * 1996-01-16 1997-12-22 Cegelec Controls Ltd Device and method for protecting switching device
JP2010245910A (en) * 2009-04-08 2010-10-28 Hitachi Automotive Systems Ltd Electric power conversion apparatus and on-vehicle electric system using the same
JP2014050179A (en) * 2012-08-30 2014-03-17 Denso Corp Semiconductor device
WO2014115272A1 (en) * 2013-01-23 2014-07-31 三菱電機株式会社 Driving device for semiconductor elements, and semiconductor device
JP2015089049A (en) * 2013-10-31 2015-05-07 トヨタ自動車株式会社 Semiconductor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116990655A (en) * 2023-09-26 2023-11-03 安徽大学 Transistor short circuit detection circuit and method based on drain-source voltage change rate
CN116990655B (en) * 2023-09-26 2023-12-19 安徽大学 Transistor short circuit detection circuit and method based on drain-source voltage change rate

Also Published As

Publication number Publication date
JP6665681B2 (en) 2020-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6432977B2 (en) Device and method for detecting short circuit or overcurrent condition in power semiconductor switch
JP5979184B2 (en) Semiconductor device and power conversion device
US9059709B2 (en) Gate drive circuit for transistor
CN107924872B (en) Insulated gate semiconductor device
JP2008072848A (en) Semiconductor device
JPWO2010021082A1 (en) Power semiconductor device drive circuit
US8427798B2 (en) Semiconductor integrated circuit device
JP2015080335A (en) Gate drive circuit
KR100436352B1 (en) Power semiconductor device
JP2014187543A (en) Semiconductor device
WO2015064206A1 (en) Semiconductor device
EP3764527B1 (en) Switching device and method for controlling switching device
JP6665681B2 (en) Semiconductor device
US11050358B2 (en) Power module with built-in drive circuit
JP2019017128A (en) State detection circuit of reverse connection protection device
JP2007235859A (en) Driving apparatus for self-arc-extinguishing type semiconductor device
US11115016B2 (en) Electronic circuit with two voltage supply circuits
JP2019030081A (en) Power conversion apparatus and failure diagnosis method
JP2015029397A (en) Semiconductor power conversion device
JP7077649B2 (en) Semiconductor device
CN112583388A (en) Output circuit with voltage withstand mechanism
CN215678634U (en) Semiconductor device desaturation state detection circuit
US20130265684A1 (en) Switching circuit
JP7332444B2 (en) Power supply and relay welding detector
CN113702796A (en) Semiconductor device desaturation state detection circuit

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181019

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190710

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190716

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190905

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200121

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200203

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6665681

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250