JP2017203713A - サンプリング方法およびサンプリングシステム - Google Patents
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Abstract
Description
1.第1の大気圧プラズマ3a中の活性種が有するエネルギー
2.第1のレーザー光4aの照射により生じる熱エネルギー、光子(フォトン)のエネルギーまたは光化学反応
3.第1のレーザー光4aが第1の大気圧プラズマ3a中を通過することにより追加励起された活性種が有するエネルギー
1.第1の大気圧プラズマ3a中の活性種が有するエネルギー
2.第1のレーザー光4aの照射により生じる熱エネルギー、光子(フォトン)のエネルギーまたは光化学反応
3.第1のレーザー光4aが第1の大気圧プラズマ3a中を通過することにより追加励起された活性種が有するエネルギー
4.被対象物Wの表面近傍の空間を通過しながら分析部S方向への空間を通る第2のレーザー光5aが有するエネルギー
2 脱離室
3 第1のプラズマ源
3a 第1の大気圧プラズマ
3b,3c 一対の電極
4 第1のレーザー光源
4a 第1のレーザー光
5 第2のレーザー光源
5a 第2のレーザー光
6 イオン化室
7 第2のプラズマ源
7a 第2の大気圧プラズマ
8 第3のレーザー光源
8a 第3のレーザー光
9 導入管
9a リング状電極
10 第3の大気圧プラズマ
W 被対象物
S 検出部
P 微粒子
G キャリアーガス導入口
I 微粒子イオン
Claims (9)
- 分析に供するサンプルを被対象物から得るためのサンプリング方法において、
前記被対象物の表面に対して、大気圧プラズマを接触させるとともに、前記被対象物に損傷を与えない強度の第1のレーザー光を照射して、前記被対象物の表面からサンプルを脱離させてサンプリングを行うことを特徴とするサンプリング方法。 - 前記被対象物の表面に対して、前記大気圧プラズマを間欠的に照射して接触させることを特徴とする請求項1に記載のサンプリング方法。
- 前記被対象物の表面に対して、前記第1のレーザー光を間欠的に照射することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のサンプリング方法。
- 前記被対象物の表面上において前記第1のレーザー光を走査させながら照射することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のサンプリング方法。
- 前記被対象物の表面近傍の空間を通過しながら分析部方向に向かう第2のレーザー光が照射されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のサンプリング方法。
- 被対象物の表面からサンプリングを行う閉鎖系とされた脱離室を備えたサンプリングシステムであって、
前記脱離室には、大気圧プラズマを生成するための第1のプラズマ源と、前記被対象物を侵襲しない強度の第1のレーザー光を発生させる第1のレーザー光源とが備えられていることを特徴とするサンプリングシステム。 - 前記脱離室の下流側には、前記脱離室においてサンプリングされたサンプルを分析するための分析部が設けられており、
前記脱離室には、内部に載置される被対象物の表面近傍の空間を通過しながら前記分析部方向に向かって照射される第2のレーザー光を発生させる第2のレーザー光源が備えられていることを特徴とする請求項6に記載のサンプリングシステム。 - 前記脱離室と前記分析部との間には、前記サンプルをイオン化させるためのイオン化室が設けられており、
前記イオン化室には、イオン化のための大気圧プラズマを発生させる第2のプラズマ源と、前記サンプルに対して照射される第3のレーザー光を発生させる第3のレーザー光源が備えられていることを特徴とする請求項6または請求項7に記載のサンプリングシステム。 - 前記脱離室と前記イオン化室とは、導入管を介して所定の距離を設けて接続されており、
前記導入管の内部には大気圧プラズマが生成されていることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載のサンプリングシステム。
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DE102018217839A1 (de) | 2017-10-20 | 2019-04-25 | Yazaki Corporation | Kabelbaumschutzeinrichtung und Herstellungsverfahren für den Kabelbaum |
WO2022163143A1 (ja) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | 富士フイルム株式会社 | 分析装置、及び分析方法 |
US11640903B2 (en) | 2021-02-26 | 2023-05-02 | Kioxia Corporation | Analysis apparatus and analysis method |
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WO2006106265A1 (fr) * | 2005-04-05 | 2006-10-12 | Centre National De La Recherche Scientifique | Machine laser d'analyse directe |
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