JP2017203667A - Electrochemical processing apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、金属製の対象物の表面を電解により加工する電解加工装置、特に、放射線に汚染された金属製の対象物の表面を電解により除染する電解加工装置に関する。 The present invention relates to an electrolytic processing apparatus that processes the surface of a metal object by electrolysis, and particularly to an electrolytic processing apparatus that decontaminates the surface of a metal object contaminated by radiation by electrolysis.
従来、放射線によって汚染された金属製の対象物の表面を除染すること等を目的として、電気分解によって対象物を加工する電解加工装置が知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an electrolytic processing apparatus that processes an object by electrolysis is known for the purpose of decontaminating the surface of a metal object contaminated by radiation.
特に、上記電解加工装置においては、金属製の対象物の表面に対して電解液を吐出する吐出口を有しているノズルを備えている電解加工装置が知られている。当該電解加工装置においては、対象物とノズルとの間に電圧を印加しつつ、ノズルの吐出口から吐出させた電解液を対象物の表面に当てる。これにより、電気分解によって、対象物の表面を溶出することができるため、対象物を加工したり対象物の表面を除染したりすることが可能である。このような電解加工装置の一例が、特許文献１および２に開示されている。 In particular, in the above-described electrolytic processing apparatus, an electrolytic processing apparatus having a nozzle having a discharge port for discharging an electrolytic solution to the surface of a metal object is known. In the electrolytic processing apparatus, while applying a voltage between the object and the nozzle, the electrolytic solution discharged from the discharge port of the nozzle is applied to the surface of the object. Thereby, since the surface of an object can be eluted by electrolysis, it is possible to process the object or decontaminate the surface of the object. An example of such an electrolytic processing apparatus is disclosed in Patent Documents 1 and 2.
特許文献１および２に開示されている技術においては、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しいので、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことが難しいという問題が発生する。 In the techniques disclosed in Patent Documents 1 and 2, it is difficult to uniformly guide the electrolytic solution discharged from the nozzle outlet to the target object evenly. In addition, there is a problem that it is difficult to carry out with high efficiency.
特許文献１に開示されている技術においては、ノズルの吐出口が１つの孔からなる。この場合、当該吐出口から吐出された電解液の流れが乱れてしまうので、当該電解液を対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しい。 In the technique disclosed in Patent Document 1, the nozzle outlet comprises a single hole. In this case, since the flow of the electrolytic solution discharged from the discharge port is disturbed, it is difficult to uniformly guide the electrolytic solution to the object without unevenness.
また、特許文献２に開示されている技術においては、ノズルの吐出口が複数の孔からなる。この場合、当該複数の孔の配置が適切に設定されなければ、当該吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しい。 In the technique disclosed in Patent Document 2, the nozzle outlet comprises a plurality of holes. In this case, if the arrangement of the plurality of holes is not set appropriately, it is difficult to uniformly guide the electrolyte discharged from the discharge port to the object uniformly.
例えば、上記複数の孔の間隔が小さ過ぎる場合、ノズルの吐出口から吐出された隣接する電解液流の間の空間の圧力が低下することによって、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が合流したり、当該複数の孔から吐出された電解液が渦を巻いて流れたりする虞がある。この結果、当該吐出口から吐出された電解液の流れが乱れてしまう。一方、上記複数の孔の間隔が大き過ぎる場合、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が離れていることによって、対象物の表面において、電解液が十分に当たらない領域が生じてしまう虞がある。 For example, when the interval between the plurality of holes is too small, the pressure of the space between the adjacent electrolyte flows discharged from the nozzle outlet decreases, so that the electrolyte discharged from each of the plurality of holes. There is a possibility that they may merge together or the electrolyte discharged from the plurality of holes may flow in a vortex. As a result, the flow of the electrolyte discharged from the discharge port is disturbed. On the other hand, when the interval between the plurality of holes is too large, the electrolyte solution discharged from each of the plurality of holes is separated from each other, thereby generating a region where the electrolyte solution does not sufficiently hit the surface of the object. There is a risk of it.
また、電解液の流れの乱れは、いわゆる電磁ピンチ効果によっても生じ得る。この点からも、当該電解液を対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しい。 In addition, the disturbance of the electrolyte flow can be caused by a so-called electromagnetic pinch effect. Also from this point, it is difficult to guide the electrolytic solution uniformly with respect to the object.
本発明は、上記の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことにより、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことを可能とする電解加工装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and its purpose is to process the object by uniformly guiding the electrolyte discharged from the discharge port of the nozzle uniformly with respect to the object. It is another object of the present invention to provide an electrolytic processing apparatus that can accurately and efficiently perform decontamination.
上記の課題を解決するために、本発明の電解加工装置は、金属製の対象物の表面に対して電解液を吐出する吐出口を有しているノズルを備えており、上記吐出口は、正三角形の各頂点の位置関係に対応する位置関係で配置された３つの孔の組である開口部群、または、２組以上の当該開口部群からなり、上記孔の各々の直径をＤとし、上記正三角形の１辺の長さをＬとすると、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足することを特徴としている。
In order to solve the above problems, the electrolytic processing apparatus of the present invention includes a nozzle having a discharge port for discharging an electrolytic solution to the surface of a metal object, and the discharge port includes: It consists of an opening group which is a set of three holes arranged in a positional relationship corresponding to the positional relationship of each vertex of an equilateral triangle, or two or more sets of the opening group, and each hole has a diameter D. If the length of one side of the equilateral triangle is L,
1.6 ≦ L / D ≦ 2.4
It is characterized by satisfying.
上記の構成によれば、複数の孔の間隔が小さ過ぎないので、ノズルの吐出口から吐出された電解液に対して負圧が加わることによって、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が合流したり、当該複数の孔から吐出された電解液が渦を巻いて流れたりする虞を低減することができる。また、上記の構成によれば、複数の孔の間隔が大き過ぎないので、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が離れず、対象物の表面において、電解液が十分に当たらない領域が生じてしまう虞を低減することができる。そして、上記の構成によれば、当該複数の孔を、正三角形の各頂点の位置関係に対応する位置関係またはその組み合わせで配置することにより、各孔から吐出された電解液の流れのバランスをとっている。 According to said structure, since the space | interval of a some hole is not too small, when the negative pressure is added with respect to the electrolyte solution discharged from the discharge port of the nozzle, the electrolyte solution discharged from each of the said several hole It is possible to reduce the possibility that they merge together or the electrolyte discharged from the plurality of holes flows in a vortex. In addition, according to the above configuration, since the interval between the plurality of holes is not too large, the electrolytes discharged from each of the plurality of holes are not separated from each other, and the electrolyte does not sufficiently hit the surface of the object. It is possible to reduce the possibility that a region will be generated. And according to said structure, the said hole is arrange | positioned by the positional relationship corresponding to the positional relationship of each vertex of an equilateral triangle, or its combination, The balance of the flow of the electrolyte solution discharged from each hole is balanced. I'm taking it.
従って、上記の構成によれば、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことにより、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことが可能となる。 Therefore, according to the above configuration, the processing and decontamination of the object can be performed accurately and efficiently by uniformly guiding the electrolyte discharged from the nozzle outlet to the object without unevenness. It becomes possible.
また、上記吐出口は、上記２組以上の開口部群からなり、上記２組以上の開口部群を構成する各孔は、少なくとも２列に千鳥配置されていることが好ましい。 In addition, it is preferable that the discharge port is composed of two or more sets of opening portions, and the holes constituting the two or more sets of opening portions are arranged in a staggered manner in at least two rows.
上記の構成によれば、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行いつつ、孔の数を増やして単位時間当たりの電解液の吐出量を増やすことができる。 According to said structure, the number of holes can be increased and the discharge amount of the electrolyte solution per unit time can be increased, performing processing and decontamination of a target object accurately and efficiently.
また、上記ノズルは、上記ノズルに導入された電解液の、上記吐出口方向への流れを妨げる液受け部材を備えていることが好ましい。 The nozzle preferably includes a liquid receiving member that prevents the electrolyte introduced into the nozzle from flowing in the direction of the discharge port.
ノズルに導入された電解液が導入時の流れの勢いおよび方向を維持したまま複数の孔に導かれると、複数の孔のそれぞれに導かれる電解液の量にばらつきが生じ、電解液の吐出が不安定となる虞がある。上記の構成によれば、液受け部材は、ノズルに導入された電解液の流れを一旦打消し、液溜まりを発生させるため、電解液の吐出を安定化させることができる。 If the electrolytic solution introduced into the nozzle is guided to the plurality of holes while maintaining the momentum and direction of the flow at the time of introduction, the amount of the electrolytic solution guided to each of the plurality of holes varies, and the electrolytic solution is discharged. There is a risk of instability. According to the above configuration, the liquid receiving member once cancels the flow of the electrolytic solution introduced into the nozzle and generates a liquid pool, so that the discharge of the electrolytic solution can be stabilized.
また、上記ノズルは、少なくとも１つの上記孔を通る上記電解液の流れを整える、メッシュまたは多孔板を備えていることが好ましい。 The nozzle preferably includes a mesh or a perforated plate that regulates the flow of the electrolyte solution through at least one of the holes.
上記の構成によれば、メッシュまたは多孔板が孔を通る電解液の流れを整えるので、吐出口からの電解液の吐出を安定化させることができる。 According to said structure, since a mesh or a perforated plate regulates the flow of the electrolyte solution which passes along a hole, discharge of the electrolyte solution from a discharge port can be stabilized.
また、本発明の電解加工装置は、上記吐出口から吐出された電解液の経路を囲むように配置された絶縁部材を備えていることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the electrolytic processing apparatus of this invention is equipped with the insulating member arrange | positioned so that the path | route of the electrolyte solution discharged from the said discharge outlet may be enclosed.
上記の構成によれば、吐出口から吐出された電解液の流れを妨害すること無く、ノズルと対象物とが短絡する虞を低減することができる。 According to said structure, a possibility that a nozzle and a target object short-circuit can be reduced, without disturbing the flow of the electrolyte solution discharged from the discharge outlet.
また、本発明の電解加工装置は、上記吐出口を覆う多孔性の絶縁部材を備えていることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the electrolytic processing apparatus of this invention is equipped with the porous insulating member which covers the said discharge outlet.
上記の構成によれば、多孔性の絶縁部材を介して電解液を対象物に導くことにより、吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことができる。また、多孔性の絶縁部材により、ノズルと対象物とが短絡する虞を低減することができる。 According to said structure, the electrolyte solution discharged from the discharge outlet can be uniformly guide | induced with respect to a target object uniformly by guiding electrolyte solution to a target object via a porous insulating member. Moreover, the possibility that the nozzle and the object are short-circuited can be reduced by the porous insulating member.
本発明によれば、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことにより、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことができるという効果を奏する。 According to the present invention, the electrolyte solution discharged from the discharge port of the nozzle is uniformly guided to the target object without any unevenness, so that the target object can be processed and decontaminated accurately and efficiently. Play.
以下、本発明を実施するための形態について説明する。なお、説明の便宜上、先の説明にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。 Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described. For convenience of explanation, members having the same functions as those explained in the previous explanation are given the same reference numerals and explanation thereof is omitted.
図２は、本発明の実施形態に係る電解加工装置１００の構成を示す図である。電解加工装置１００は、対象物Ｍの表面を電解により溶出させる電解加工装置である。なお、本発明は、除染のための電解加工装置のみならず、対象物の表面を電解により溶出させる電解加工装置全般に適用可能である。 FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the electrolytic processing apparatus 100 according to the embodiment of the present invention. The electrolytic processing apparatus 100 is an electrolytic processing apparatus that elutes the surface of the object M by electrolysis. In addition, this invention is applicable not only to the electrolytic processing apparatus for decontamination but the whole electrolytic processing apparatus which elutes the surface of a target object by electrolysis.
図２に示すように、電解加工装置１００は、対象物Ｍに対して電解加工が行われる本体部１と、電解液Ｎが貯留される貯留部２と、貯留部２の電解液Ｎを本体部１に供給するとともに、本体部１から電解液Ｎを回収する循環経路部３とを備えている。 As shown in FIG. 2, the electrolytic processing apparatus 100 includes a main body 1 where electrolytic processing is performed on an object M, a storage portion 2 in which an electrolytic solution N is stored, and an electrolytic solution N in the storage portion 2 as a main body. A circulation path unit 3 that supplies the electrolytic solution N from the main body unit 1 is provided.
対象物Ｍは、原子力発電所の配管系で使用されたＳＵＳ（Steel Use Stainless）製のパイプなど、放射線で表面およびその近傍が汚染されている金属製の部材である。対象物Ｍは、汚染された表面およびその近傍が除去されることによって、非汚染材料（クリアランス材）となり、再利用または通常の産業廃棄物としての処分などを行うことが可能となる。これにより、放射線により汚染された材料として特別な処分を行う必要のある材料の総量を減少させることが可能である。 The object M is a metal member whose surface and its vicinity are contaminated with radiation, such as a SUS (Steel Use Stainless) pipe used in a piping system of a nuclear power plant. By removing the contaminated surface and its vicinity, the object M becomes a non-contaminated material (clearance material), and can be reused or disposed of as ordinary industrial waste. This can reduce the total amount of material that needs to be specially disposed of as material contaminated by radiation.
また、電解液Ｎは、硝酸ナトリウム（ＮａＮＯ３）の水溶液、塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）の水溶液、または硝酸カリウム（ＫＮＯ３）の水溶液など中性の水溶液であり、約１０ｗｔ％以上約２０ｗｔ％以下の重量パーセント濃度であるのが好ましい。電解加工装置１００においては、電解液Ｎとして中性の水溶液を用いることによって、強アルカリ性や強酸性の水溶液を用いる装置などと比べて、液漏れおよび液の飛散などを綿密に防ぐ必要がない。 The electrolytic solution N is a neutral aqueous solution such as an aqueous solution of sodium nitrate (NaNO 3 ), an aqueous solution of sodium chloride (NaCl), or an aqueous solution of potassium nitrate (KNO 3 ), and has a weight of about 10 wt% or more and about 20 wt% or less. A percent concentration is preferred. In the electrolytic processing apparatus 100, by using a neutral aqueous solution as the electrolytic solution N, it is not necessary to closely prevent liquid leakage and liquid scattering, as compared with an apparatus using a strong alkaline or strong acidic aqueous solution.
本体部１は、電解槽１１と、ノズル１２と、移動機構１３と、直流（ＤＣ）電源１６と、配線１７ａ、１７ｂとを備えている。 The main body 1 includes an electrolytic cell 11, a nozzle 12, a moving mechanism 13, a direct current (DC) power supply 16, and wirings 17a and 17b.
電解槽１１内には、対象物Ｍが配置されているとともに、ノズル１２から吐出され、対象物Ｍから流れ落ちた電解液Ｎが貯留されている。 An object M is disposed in the electrolytic bath 11, and an electrolytic solution N discharged from the nozzle 12 and flowing down from the object M is stored.
ノズル１２は、電解液Ｎを対象物Ｍに対して吐出すると共に電極として機能する。ノズル１２は、ノズル１２の長手方向の一方端部から他方端部まで延び、電解液Ｎが流通する中空部１２ａと、対象物Ｍ側の一方端部に設けられた吐出口１２ｂと、他方端部に設けられた供給口１２ｃとを有している。 The nozzle 12 discharges the electrolytic solution N to the object M and functions as an electrode. The nozzle 12 extends from one end in the longitudinal direction of the nozzle 12 to the other end, a hollow portion 12a through which the electrolyte N flows, a discharge port 12b provided at one end on the object M side, and the other end And a supply port 12c provided in the section.
吐出口１２ｂは、電解液Ｎが対象物Ｍ側に吐出されるように構成されている。供給口１２ｃは循環経路部３に接続されており、供給口１２ｃを介して電解液Ｎが中空部１２ａ内に供給される。また、ノズル１２は、導電性を有しており、後述する直流電源１６の負極側が接続されている。 The discharge port 12b is configured such that the electrolytic solution N is discharged to the object M side. The supply port 12c is connected to the circulation path part 3, and the electrolyte N is supplied into the hollow part 12a via the supply port 12c. The nozzle 12 has conductivity and is connected to the negative electrode side of a DC power supply 16 to be described later.
移動機構１３は、対象物Ｍをノズル１２に対して移動させる機構である。本実施形態では、移動機構１３は、電解槽１１の内部に収容され、対象物Ｍが載置される移動式の台であり、ノズル１２の吐出口１２ｂと対象物Ｍとの相対位置（上記台の水平方向の位置および高さ）を変更可能である。移動機構１３のノズル１２に対する水平方向の位置および高さを変更することで、対象物Ｍのノズル１２に対する水平方向の位置および高さを変更することができる。 The moving mechanism 13 is a mechanism that moves the object M relative to the nozzle 12. In the present embodiment, the moving mechanism 13 is a movable table that is accommodated inside the electrolytic cell 11 and on which the object M is placed, and the relative position between the discharge port 12b of the nozzle 12 and the object M (described above). The horizontal position and height of the table can be changed. By changing the horizontal position and height of the moving mechanism 13 relative to the nozzle 12, the horizontal position and height of the object M relative to the nozzle 12 can be changed.
直流電源１６は、対象物Ｍに直流電流（ＤＣ）を流すための電源である。直流電源１６の負極側とノズル１２とは、配線１７ａにより接続されている。直流電源１６の正極側と導電性の対象物Ｍとは、配線１７ｂにより接続されている。これにより、直流電源１６からの電流は、ノズル１２および対象物Ｍに供給される。なお、直流電源１６は、数１０Ｖ程度の電圧を供給可能であればよい。 The DC power supply 16 is a power supply for causing a direct current (DC) to flow through the object M. The negative electrode side of the DC power supply 16 and the nozzle 12 are connected by a wiring 17a. The positive electrode side of the DC power source 16 and the conductive object M are connected by a wiring 17b. Thereby, the current from the DC power supply 16 is supplied to the nozzle 12 and the object M. The DC power supply 16 only needs to be able to supply a voltage of about several tens of volts.
貯留部２は、電解液Ｎが貯留される容器である。本実施形態において、貯留部２は、電解槽１１より低い位置に設けられる。循環経路部３は、本体部１と貯留部２との間で電解液Ｎを循環させるための管路であり、供給路３１と、回収路３２とを有する。 The storage unit 2 is a container in which the electrolytic solution N is stored. In the present embodiment, the storage unit 2 is provided at a position lower than the electrolytic cell 11. The circulation path part 3 is a pipe line for circulating the electrolyte N between the main body part 1 and the storage part 2, and includes a supply path 31 and a recovery path 32.
供給路３１は、貯留部２からノズル１２へ電解液Ｎを供給する管路である。供給路３１の一端は貯留部２の底部近傍に接続され、他端はノズル１２の供給口１２ｃに接続されている。供給路３１には、電解液Ｎを貯留部２からノズル１２へ向けて流通させるポンプ３１ａ、および供給路３１を流通する電解液Ｎの流量を調整する流量調整弁３１ｂが設けられている。 The supply path 31 is a pipe line that supplies the electrolytic solution N from the storage unit 2 to the nozzle 12. One end of the supply path 31 is connected to the vicinity of the bottom of the storage unit 2, and the other end is connected to the supply port 12 c of the nozzle 12. The supply path 31 is provided with a pump 31 a that distributes the electrolytic solution N from the reservoir 2 toward the nozzle 12, and a flow rate adjustment valve 31 b that adjusts the flow rate of the electrolytic solution N that flows through the supply path 31.
ノズル１２からの電解液Ｎの供給は、貯留部２内の電解液Ｎをポンプ３１ａにより圧送することで行われる。ポンプ３１ａは、電解加工の開始前にユーザが手動で始動させ、電解加工の終了後にユーザが手動で停止させるものであってよい。 Supply of the electrolyte solution N from the nozzle 12 is performed by pumping the electrolyte solution N in the storage part 2 with the pump 31a. The pump 31a may be manually started by the user before the start of electrolytic processing and manually stopped by the user after the completion of electrolytic processing.
回収路３２は、電解槽１１から貯留部２へ電解液Ｎを回収する管路である。回収路３２の一端は電解槽１１の底部近傍に接続され、他端は貯留部２に接続されている。回収路３２には、電解加工により発生した電解液Ｎ中の反応生成物などの異物を除去するためのフィルタ３２ａが設けられている。フィルタ３２ａによる不純物を除去された電解液Ｎは、貯留部２に流入し、供給路３１を経由して、対象物Ｍの電解に再利用される。 The recovery path 32 is a pipe line that recovers the electrolytic solution N from the electrolytic cell 11 to the storage unit 2. One end of the recovery path 32 is connected to the vicinity of the bottom of the electrolytic cell 11, and the other end is connected to the storage unit 2. The recovery path 32 is provided with a filter 32a for removing foreign substances such as reaction products in the electrolytic solution N generated by electrolytic processing. The electrolytic solution N from which impurities are removed by the filter 32 a flows into the storage unit 2 and is reused for electrolysis of the object M via the supply path 31.
電解加工装置１００による除染の原理について、以下に説明する。電解加工装置１００においては、ノズル１２から対象物Ｍに電解液Ｎを供給しながら、直流電源１６により、ノズル１２と対象物Ｍとの間に、電解液Ｎを介して電圧を印加する。これにより、ノズル１２と対象物Ｍとの間に電流経路が形成されて電解加工が行われる。ここで、ノズル１２と対象物Ｍとの間の距離が十分に近接していることによって、ノズル１２と対象物Ｍとの間に大きな電圧（例えば、約１０００Ｖ以上）を印加しなくても、小さな電圧（例えば、約３０Ｖ）で十分に電解加工を行うことが可能である。 The principle of decontamination by the electrolytic processing apparatus 100 will be described below. In the electrolytic processing apparatus 100, a voltage is applied between the nozzle 12 and the target M via the electrolytic solution N by the DC power supply 16 while supplying the electrolytic solution N from the nozzle 12 to the target M. Thereby, a current path is formed between the nozzle 12 and the object M, and electrolytic processing is performed. Here, since the distance between the nozzle 12 and the object M is sufficiently close, even if a large voltage (for example, about 1000 V or more) is not applied between the nozzle 12 and the object M, It is possible to perform the electrolytic processing sufficiently with a small voltage (for example, about 30 V).
この時、直流電源１６の正極側に接続された対象物Ｍでは、電解液Ｎに接する対象物Ｍの表面に存在する鉄（Ｆｅ）がイオン化して２価の鉄イオン（Ｆｅ２＋）となり、電解液Ｎに溶出する。これにより、対象物Ｍの表面およびその近傍に位置する汚染された鉄が除去される。そして、対象物Ｍを所定の深さまで電解し、汚染された鉄を十分に除去することにより、対象物Ｍが非汚染材料（クリアランス材）となる。一方、電解液Ｎ内に溶出したＦｅ２＋は、電解液Ｎ中の水酸化物イオン（ＯＨ−）と反応して、水酸化鉄（ＩＩ）（Ｆｅ（ＯＨ）２）、または、水酸化鉄（ＩＩ）が酸化した水酸化鉄（ＩＩＩ）（Ｆｅ（ＯＨ）３）として、捕集される。 At this time, in the object M connected to the positive electrode side of the DC power supply 16, iron (Fe) existing on the surface of the object M in contact with the electrolytic solution N is ionized to be divalent iron ions (Fe 2+ ), Elutes in electrolyte N. Thereby, the contaminated iron located in the surface of the target object M and its vicinity is removed. The object M becomes a non-contaminated material (clearance material) by electrolyzing the object M to a predetermined depth and sufficiently removing the contaminated iron. On the other hand, Fe 2+ eluted in the electrolytic solution N reacts with hydroxide ions (OH − ) in the electrolytic solution N, and iron hydroxide (II) (Fe (OH) 2 ) or iron hydroxide. (II) is collected as oxidized iron hydroxide (III) (Fe (OH) 3 ).
図１は、ノズル１２が有している吐出口１２ｂの一例である、吐出口１０１の構成を概略的に示す平面図である。吐出口１０１は、３つの孔１０２からなる。３つの孔１０２の各々は、円形の開口形状を有している。 FIG. 1 is a plan view schematically showing a configuration of a discharge port 101, which is an example of a discharge port 12b that the nozzle 12 has. The discharge port 101 includes three holes 102. Each of the three holes 102 has a circular opening shape.
３つの孔１０２は、それぞれ、正三角形１０３の３つの頂点１０４の位置関係（各頂点の位置関係）に対応する位置関係で配置されている。換言すれば、吐出口１０１の平面視において、３つの孔１０２の中心１０５と、正三角形１０３の３つの頂点１０４とが、１対１の対応関係で一致している。つまり、３つの孔１０２の組を開口部群１０６とすると、図１に示す吐出口１０１は、１組の開口部群１０６からなる構成であると言える。 The three holes 102 are arranged in a positional relationship corresponding to the positional relationship between the three vertices 104 of the equilateral triangle 103 (the positional relationship between the vertices). In other words, in the plan view of the discharge port 101, the centers 105 of the three holes 102 and the three vertices 104 of the regular triangle 103 coincide with each other in a one-to-one correspondence. That is, when the set of three holes 102 is an opening group 106, it can be said that the discharge port 101 shown in FIG.
図１において、孔１０２の直径は直径Ｄとしている。また、正三角形１０３の１辺の長さは長さＬとしている。そして、当該直径Ｄと、当該長さＬとは、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足する。なお、具体的には、図１はＬ／Ｄ＝２の例である。
In FIG. 1, the diameter of the hole 102 is a diameter D. The length of one side of the equilateral triangle 103 is set to the length L. And the diameter D and the length L are
1.6 ≦ L / D ≦ 2.4
Satisfied. Specifically, FIG. 1 is an example of L / D = 2.
なお、ノズル１２は、２組以上の開口部群１０６からなる吐出口を有している構成であってもよい。 The nozzle 12 may be configured to have an ejection port composed of two or more sets of opening portions 106.
吐出口１０１は、複数の孔１０２の間隔が小さ過ぎないので、吐出口１０１から吐出された電解液Ｎに対して負圧が加わることによって、各孔１０２から吐出された電解液Ｎ同士が合流したり、複数の孔１０２から吐出された電解液Ｎが渦を巻いて流れたりする虞を低減することができる。また、吐出口１０１は、複数の孔１０２の間隔が大き過ぎないので、各孔１０２から吐出された電解液Ｎ同士が離れず、対象物Ｍの表面において、電解液Ｎが十分に当たらない領域が生じてしまう虞を低減することができる。そして、複数の孔１０２を、正三角形１０３の各頂点１０４の位置関係に対応する位置関係またはその組み合わせで配置することにより、各孔１０２から吐出された電解液Ｎの流れのバランスをとっている。 In the discharge port 101, the interval between the plurality of holes 102 is not too small. Therefore, when the negative pressure is applied to the electrolyte solution N discharged from the discharge port 101, the electrolyte solutions N discharged from the holes 102 are joined together. Or the risk that the electrolyte N discharged from the plurality of holes 102 flows in a vortex can be reduced. Further, in the discharge port 101, since the interval between the plurality of holes 102 is not too large, the electrolyte solutions N discharged from the holes 102 are not separated from each other, and the electrolyte solution N is not sufficiently applied to the surface of the object M. It is possible to reduce the risk of occurrence. Then, by arranging the plurality of holes 102 in a positional relationship corresponding to the positional relationship of each vertex 104 of the equilateral triangle 103 or a combination thereof, the flow of the electrolyte N discharged from each hole 102 is balanced. .
従って、吐出口１０１から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことにより、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行うことが可能となる。 Therefore, the electrolyte solution N discharged from the discharge port 101 is uniformly guided to the object M without unevenness, so that the object M can be processed and decontaminated accurately and efficiently.
図３は、ノズル１２が有している吐出口１２ｂの別の例である、吐出口１１１の構成を概略的に示す平面図である。吐出口１１１は、７つの孔１０２からなる。 FIG. 3 is a plan view schematically showing the configuration of the discharge port 111, which is another example of the discharge port 12b of the nozzle 12. As shown in FIG. The discharge port 111 includes seven holes 102.
７つの孔１０２は、それぞれ、５つの正三角形１０３のそれぞれの３つの頂点１０４の位置関係に対応する位置関係で配置されている。つまり、図３に示す吐出口１１１は、５組の開口部群１０６からなる構成であると言える。 Each of the seven holes 102 is arranged in a positional relationship corresponding to the positional relationship of the three vertices 104 of each of the five regular triangles 103. That is, it can be said that the discharge port 111 shown in FIG. 3 has a configuration including five sets of opening portions 106.
ここで、吐出口１１１において、７つの孔１０２は、２列に千鳥配置されている。具体的には、７つの孔１０２のうち４つが、当該２列のうちの１列である第１列１１２を構成していると共に、７つの孔１０２のうち残りの３つが、当該２列のうちの１列であり第１列１１２と隣接する第２列１１３を構成している。 Here, in the discharge port 111, the seven holes 102 are staggered in two rows. Specifically, four of the seven holes 102 constitute a first row 112 that is one of the two rows, and the remaining three of the seven holes 102 are in the two rows. A second row 113 adjacent to the first row 112 is formed.
第１列１１２を構成する４つの孔１０２の中心１０５を結ぶと、第１直線１１４が形成される。同様に、第２列１１３を構成する３つの孔１０２の中心１０５を結ぶと、第２直線１１５が形成される。 When the centers 105 of the four holes 102 constituting the first row 112 are connected, a first straight line 114 is formed. Similarly, when the centers 105 of the three holes 102 constituting the second row 113 are connected, a second straight line 115 is formed.
そして、第１直線１１４と第２直線１１５とは互いに平行であり、かつ、第１直線１１４と第２直線１１５との間隔Ｙが、上述した孔１０２の直径Ｄの√３倍である。 The first straight line 114 and the second straight line 115 are parallel to each other, and the interval Y between the first straight line 114 and the second straight line 115 is √3 times the diameter D of the hole 102 described above.
これにより、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行いつつ、孔１０２の数を増やして単位時間当たりの電解液Ｎの吐出量を増やすことができる。 Thereby, the number of the holes 102 can be increased and the discharge amount of the electrolytic solution N per unit time can be increased while accurately and efficiently performing the processing and decontamination of the object M.
なお、吐出口１１１は、５組の開口部群１０６からなる構成であるが、２組〜４組のいずれかの開口部群１０６からなる構成であってもよいし、６組以上の開口部群１０６からなる構成であってもよい。 In addition, although the discharge port 111 is a structure which consists of 5 sets of opening part groups 106, the structure which consists of the opening part group 106 of 2-4 sets may be sufficient, and 6 or more sets of opening parts The structure which consists of the group 106 may be sufficient.
図４は、ノズル１２の変形例であるノズル１２´を概略的に示す断面図である。ノズル１２´は、邪魔板（液受け部材）１２１と、多孔板１２２とを備えている。なお、吐出口１２０は、図１に示した吐出口１０１であってもよいし、図３に示した吐出口１１１であってもよいし、吐出口１０１または１１１を本発明の技術思想に基づいて適宜設計変更したものであってもよい。 FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a nozzle 12 ′ which is a modification of the nozzle 12. The nozzle 12 ′ includes a baffle plate (liquid receiving member) 121 and a porous plate 122. The discharge port 120 may be the discharge port 101 shown in FIG. 1, the discharge port 111 shown in FIG. 3, or the discharge port 101 or 111 based on the technical idea of the present invention. The design may be changed as appropriate.
邪魔板１２１は、ノズル１２´に導入された電解液Ｎの、吐出口１２０方向への流れを妨げるものである。邪魔板１２１は、ノズル１２´の筒形状によって規定されたノズル１２´の中空部１２３に設けられている。液導入方向ＩＮに沿ってノズル１２´に電解液Ｎが導入されると、邪魔板１２１は、この電解液Ｎの流れを受け止め、一時的な液溜まりを発生させる。そして、邪魔板１２１によって流れが遮られた電解液Ｎは、邪魔板１２１とノズル１２´の内壁１２４との間を通り、吐出口１２０に向けて流れる。 The baffle plate 121 prevents the electrolyte N introduced into the nozzle 12 ′ from flowing in the direction of the discharge port 120. The baffle plate 121 is provided in the hollow portion 123 of the nozzle 12 ′ defined by the cylindrical shape of the nozzle 12 ′. When the electrolytic solution N is introduced into the nozzle 12 ′ along the liquid introduction direction IN, the baffle plate 121 receives the flow of the electrolytic solution N and generates a temporary liquid pool. Then, the electrolytic solution N whose flow is blocked by the baffle plate 121 passes between the baffle plate 121 and the inner wall 124 of the nozzle 12 ′ and flows toward the discharge port 120.
ノズル１２´に導入された電解液Ｎが導入時の流れの勢いおよび方向を維持したまま複数の孔１０２に導かれると、複数の孔１０２のそれぞれに導かれる電解液Ｎの量にばらつきが生じ、電解液Ｎの吐出が不安定となる虞がある。邪魔板１２１は、ノズル１２´に導入された電解液Ｎの流れを一旦打消し、液溜まりを発生させるため、電解液Ｎの吐出を安定化させることができる。 When the electrolyte N introduced into the nozzle 12 ′ is introduced into the plurality of holes 102 while maintaining the flow momentum and direction at the time of introduction, the amount of the electrolyte N introduced into each of the plurality of holes 102 varies. There is a possibility that the discharge of the electrolytic solution N becomes unstable. Since the baffle plate 121 once cancels the flow of the electrolytic solution N introduced into the nozzle 12 ′ and generates a liquid pool, the discharge of the electrolytic solution N can be stabilized.
また、多孔板１２２は、対応する孔１０２を通る電解液Ｎの流れを整えるものである。多孔板１２２の代わりにメッシュを用いてもよい。図４において、多孔板１２２は、対応する孔１０２に嵌め込まれた部材である。これにより、液吐出方向ＯＵＴに沿った、吐出口１２０からの電解液Ｎの吐出を安定化させることができる。 Further, the perforated plate 122 adjusts the flow of the electrolyte N through the corresponding hole 102. A mesh may be used instead of the porous plate 122. In FIG. 4, the perforated plate 122 is a member fitted in the corresponding hole 102. Thereby, discharge of the electrolyte solution N from the discharge port 120 along the liquid discharge direction OUT can be stabilized.
なお、ノズル１２´は、邪魔板１２１と、多孔板１２２とのいずれか一方のみを備えていてもよい。また、邪魔板１２１は、板状でない別の物質に置き換えられてもよい。 The nozzle 12 ′ may include only one of the baffle plate 121 and the porous plate 122. Further, the baffle plate 121 may be replaced with another material that is not plate-shaped.
さらに、孔１０２を規定する筒部１２５について、ノズル１２´への電解液Ｎの入口側に向けて直径Ｄが大きくなるように、筒部１２５の縁１２６を丸めた（角を取った）構成としてもよく、これにより、孔１０２への電解液Ｎの流入がスムーズとなる。 Further, the cylindrical portion 125 that defines the hole 102 is configured such that the edge 126 of the cylindrical portion 125 is rounded (rounded) so that the diameter D increases toward the inlet side of the electrolyte N to the nozzle 12 ′. As a result, the inflow of the electrolyte N into the hole 102 becomes smooth.
図５は、電解加工装置１００に絶縁部材１３１を設けた例を示す断面図であり、ノズル１２およびその周辺を示している。なお、吐出口１３０は、図１に示した吐出口１０１であってもよいし、図３に示した吐出口１１１であってもよいし、吐出口１０１または１１１を本発明の技術思想に基づいて適宜設計変更したものであってもよい。 FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example in which an insulating member 131 is provided in the electrolytic processing apparatus 100, and shows the nozzle 12 and its periphery. The discharge port 130 may be the discharge port 101 shown in FIG. 1, the discharge port 111 shown in FIG. 3, or the discharge port 101 or 111 based on the technical idea of the present invention. The design may be changed as appropriate.
絶縁部材１３１は、吐出口１３０から吐出された電解液Ｎの経路を囲むように配置されている。図５において、絶縁部材１３１は、ノズル１２の外壁１３２から、ノズル１２の延伸方向に略沿って延びる筒状または管状の部材である。絶縁部材１３１は、例えば絶縁性の樹脂によって構成されている。 The insulating member 131 is disposed so as to surround the path of the electrolytic solution N discharged from the discharge port 130. In FIG. 5, the insulating member 131 is a cylindrical or tubular member extending from the outer wall 132 of the nozzle 12 substantially along the extending direction of the nozzle 12. The insulating member 131 is made of, for example, an insulating resin.
これにより、吐出口１３０から吐出された電解液Ｎの流れを妨害すること無く、ノズル１２と対象物Ｍとが短絡する虞を低減することができる。 Thereby, the possibility that the nozzle 12 and the object M may be short-circuited can be reduced without obstructing the flow of the electrolytic solution N discharged from the discharge port 130.
なお、絶縁部材１３１は、図５において筒状または管状の部材であるが、ノズル１２の延伸方向に略沿って延びる複数の突起であってもよい。 The insulating member 131 is a cylindrical or tubular member in FIG. 5, but may be a plurality of protrusions extending substantially along the extending direction of the nozzle 12.
図６は、電解加工装置１００に多孔性の絶縁部材１４１を設けた例を示す断面図であり、ノズル１２およびその周辺を示している。なお、吐出口１４０は、図１に示した吐出口１０１であってもよいし、図３に示した吐出口１１１であってもよいし、吐出口１０１または１１１を本発明の技術思想に基づいて適宜設計変更したものであってもよい。 FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example in which a porous insulating member 141 is provided in the electrolytic processing apparatus 100, and shows the nozzle 12 and its periphery. The discharge port 140 may be the discharge port 101 shown in FIG. 1, the discharge port 111 shown in FIG. 3, or the discharge port 101 or 111 based on the technical idea of the present invention. The design may be changed as appropriate.
絶縁部材１４１は、吐出口１４０を覆う多孔性の部材である。絶縁部材１４１は、例えば絶縁性の材料によって構成されたスポンジである。多孔性の絶縁部材１４１を介して電解液Ｎを対象物Ｍに導くことにより、吐出口１４０から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことができる。また、多孔性の絶縁部材１４１により、ノズル１２と対象物Ｍとが短絡する虞を低減することができる。 The insulating member 141 is a porous member that covers the discharge port 140. The insulating member 141 is a sponge made of, for example, an insulating material. By introducing the electrolytic solution N to the object M through the porous insulating member 141, the electrolytic solution N discharged from the discharge port 140 can be uniformly guided to the object M without unevenness. Moreover, the possibility that the nozzle 12 and the object M are short-circuited can be reduced by the porous insulating member 141.
さらに、絶縁部材１４１は、吐出口１４０以外の吐出口、すなわち上述した直径Ｄと長さＬとが、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足しない吐出口に適用しても、当該吐出口から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことができるという効果を奏するものである。
Furthermore, the insulating member 141 has a discharge port other than the discharge port 140, that is, the above-described diameter D and length L
1.6 ≦ L / D ≦ 2.4
Even when applied to a discharge port that does not satisfy the above, there is an effect that the electrolyte N discharged from the discharge port can be uniformly guided to the object M without unevenness.
また、図５および図６に示す形態において、ノズル１２はノズル１２´に置き換えられてもよい。 5 and 6, the nozzle 12 may be replaced with a nozzle 12 '.
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope shown in the claims, and embodiments obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Is also included in the technical scope of the present invention.
まず、吐出口がスリットからなる電解加工装置による対象物の溶出の正確性と、吐出口が吐出口１０１（図１参照）である電解加工装置による対象物の溶出の正確性との対比を行った。 First, the accuracy of elution of an object by an electrolytic processing apparatus having a discharge port formed of a slit is compared with the accuracy of elution of an object by an electrolytic processing apparatus having an ejection port 101 (see FIG. 1). It was.
図７は、吐出口がスリット１５１からなる比較例としての電解加工装置１５０の写真であり、対象物Ｍの表面に対して電解液Ｎを吐出する様子を示している。電解加工装置１５０における吐出口以外の構成は、概略的には、電解加工装置１００（図２参照）と同様である。吐出口がスリット１５１からなる場合、図７に示すように、スリット１５１から吐出された電解液Ｎに対して表面張力が加わることによって、電解液Ｎの特に両端部の流れが収縮する。そしてこれにより、スリット１５１の両端付近から吐出された電解液Ｎは、対象物Ｍの表面における電解対象領域の両端の領域１５２に集まってしまう。このため、領域１５２における対象物Ｍの溶出量と、スリット１５１の中央から電解液Ｎが導かれる領域１５３における対象物Ｍの溶出量とに大きな差が出る（図８参照）。さらにこのとき、電解液Ｎの流れが不安定となることに起因して、図８右側の領域１５２に至っては蛇行した軌跡となっている。このため、電解加工装置１５０においては、電解液Ｎを対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことが難しい。結果、対象物Ｍの表面の溶出を正確かつ高効率に行うこと、ひいては、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行うことが難しい。 FIG. 7 is a photograph of an electrolytic processing apparatus 150 as a comparative example in which the discharge port is formed of the slit 151, and shows a state in which the electrolytic solution N is discharged onto the surface of the object M. The configuration other than the discharge port in the electrolytic processing apparatus 150 is generally the same as that of the electrolytic processing apparatus 100 (see FIG. 2). When the discharge port includes the slit 151, as shown in FIG. 7, the surface tension is applied to the electrolyte N discharged from the slit 151, so that the flow of the electrolyte N particularly at both ends contracts. As a result, the electrolyte N discharged from the vicinity of both ends of the slit 151 is collected in the regions 152 at both ends of the electrolysis target region on the surface of the object M. For this reason, there is a large difference between the elution amount of the object M in the region 152 and the elution amount of the object M in the region 153 where the electrolyte N is guided from the center of the slit 151 (see FIG. 8). Further, at this time, due to the unstable flow of the electrolyte N, the region 152 on the right side of FIG. For this reason, in the electrolytic processing apparatus 150, it is difficult to guide the electrolytic solution N uniformly with respect to the object M without unevenness. As a result, it is difficult to accurately and efficiently perform the elution of the surface of the object M, and thus to accurately and efficiently perform the processing and decontamination of the object M.
図９は、吐出口が吐出口１０１である電解加工装置１６０の写真であり、対象物Ｍの表面に対して電解液Ｎを吐出する様子を示している。つまり、電解加工装置１６０の構成は、概略的には、電解加工装置１００（図２参照）と同様である。図９に示すように、電解加工装置１６０においては、ほぼ全ての電解液Ｎが吐出口１０１から鉛直下方に吐出されている。また、図９によれば、吐出口１０１と対象物Ｍとの間に示された電解液Ｎは、その全体に亘って概ね均一な流量となっている。 FIG. 9 is a photograph of the electrolytic processing apparatus 160 whose discharge port is the discharge port 101, and shows a state in which the electrolytic solution N is discharged onto the surface of the object M. That is, the configuration of the electrolytic processing apparatus 160 is generally the same as that of the electrolytic processing apparatus 100 (see FIG. 2). As shown in FIG. 9, in the electrolytic processing apparatus 160, almost all the electrolytic solution N is discharged vertically downward from the discharge port 101. Moreover, according to FIG. 9, the electrolyte solution N shown between the discharge port 101 and the target object M has a substantially uniform flow rate over the whole.
図１０は、図９に示す電解液Ｎの吐出後の、対象物Ｍの表面における溶出の様子を示す写真である。電解加工装置１６０によれば、吐出口１０１から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことができる。従って、電解加工装置１６０による対象物Ｍの表面の溶出は、領域１６１に示すように、領域１６１の全体に亘ってムラ無く均一に行われる。結果、対象物Ｍの表面の溶出を正確かつ高効率に行うこと、ひいては、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行うことができる。 FIG. 10 is a photograph showing a state of elution on the surface of the object M after discharging the electrolytic solution N shown in FIG. According to the electrolytic processing apparatus 160, the electrolytic solution N discharged from the discharge port 101 can be uniformly guided to the object M without unevenness. Therefore, the elution of the surface of the object M by the electrolytic processing apparatus 160 is uniformly performed over the entire area 161 as shown in the area 161. As a result, it is possible to perform the elution of the surface of the object M accurately and with high efficiency, and consequently, to process and decontaminate the object M accurately and with high efficiency.
続いて、上述した直径Ｄおよび長さＬによって規定されるＬ／Ｄの値と、溶出による対象物Ｍの研削幅との関係について検討を行った。 Then, the relationship between the value of L / D prescribed | regulated by the diameter D and length L mentioned above, and the grinding width of the target object M by elution was examined.
電解加工装置１６０において実用的な性能が得られる、吐出口１０１と対象物Ｍとの間隔ｌｇは５０ｍｍ以下、直流電源１６（図２参照）の電圧は２００Ｖ以下であった。ここで、吐出口１０１の替わりに、φ６ｍｍの孔（１つの孔１０２に相当）を１つ有する吐出口を適用した場合、流量１．０リットル／分において、
ｌｇ＝１５ｍｍ、電圧２００Ｖで、対象物Ｍの研削幅８ｍｍ（図１１の研削領域１７０参照）
ｌｇ＝５０ｍｍ、電圧２００Ｖで、対象物Ｍの研削幅４ｍｍ（図１２の研削領域１７１参照）程度になることが確認された。このことから、研削し残しが生じないようなＬ／Ｄの値を確認したところ、１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４とすることが好ましいということを確認することができた。
Practical performance was obtained in the electrolytic processing apparatus 160. The distance lg between the discharge port 101 and the object M was 50 mm or less, and the voltage of the DC power supply 16 (see FIG. 2) was 200 V or less. Here, when a discharge port having one φ6 mm hole (corresponding to one hole 102) is applied instead of the discharge port 101, at a flow rate of 1.0 liter / min,
lg = 15 mm, voltage 200 V, grinding width 8 mm of the object M (see grinding area 170 in FIG. 11)
It was confirmed that lg = 50 mm, voltage 200 V, the grinding width of the object M was about 4 mm (see the grinding region 171 in FIG. 12). From this, it was confirmed that it was preferable to satisfy 1.6 ≦ L / D ≦ 2.4 when the L / D value was checked so that no residue was generated after grinding.
１２ ノズル
１２ｂ、１０１、１１１、１２０、１３０、１４０ 吐出口
１００、１６０ 電解加工装置
１０２ 孔
１０３ 正三角形
１０４ 頂点
１０６ 開口部群
１１２ 第１列
１１３ 第２列
１１４ 第１直線
１１５ 第２直線
１２１ 邪魔板（液受け部材）
１２２ 多孔板
１３１、１４１ 絶縁部材
Ｄ 孔の直径
Ｌ 正三角形の１辺の長さ
Ｙ 第１直線と第２直線との間隔
12 Nozzle 12b, 101, 111, 120, 130, 140 Discharge port 100, 160 Electrolytic processing apparatus 102 Hole 103 Equilateral triangle 104 Apex 106 Opening group 112 First row 113 Second row 114 First straight line 115 Second straight line 121 Plate (liquid receiving member)
122 Perforated plates 131, 141 Insulation member D Diameter L of hole L Length of one side of equilateral triangle Y Distance between first straight line and second straight line
Claims (6)
上記吐出口は、正三角形の各頂点の位置関係に対応する位置関係で配置された３つの孔の組である開口部群、または、２組以上の当該開口部群からなり、
上記孔の各々の直径をＤとし、上記正三角形の１辺の長さをＬとすると、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足することを特徴とする電解加工装置。 It has a nozzle having a discharge port for discharging an electrolyte solution to the surface of a metal object,
The discharge port comprises an opening group that is a set of three holes arranged in a positional relationship corresponding to the positional relationship of each vertex of an equilateral triangle, or two or more sets of the opening group,
If the diameter of each of the holes is D and the length of one side of the equilateral triangle is L,
1.6 ≦ L / D ≦ 2.4
Electrolytic processing apparatus characterized by satisfying
上記２組以上の開口部群を構成する各孔は、少なくとも２列に千鳥配置されていることを特徴とする請求項１に記載の電解加工装置。 The discharge port is composed of two or more sets of opening portions,
2. The electrolytic processing apparatus according to claim 1, wherein the holes constituting the two or more sets of opening portions are arranged in a staggered manner in at least two rows.
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181221 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200218 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200818 |