JP2017175033A - 半導体発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 放熱効率が高い半導体発光装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】LEDパッケージ1は絶縁性の低温焼成セラミックス(LTCC)基板2の第1の面S1上の銅箔配線パターン3に半田層4によって装着される。LTCC基板2には銅製のヒートパイプ5が埋め込まれる。ヒートパイプ5の受熱側端部がLTCC基板2内に埋込まれ、ヒートパイプ5の放熱側端部にはヒートシンク6が装着される。LTCC基板2は3つのLTCCシート21、22、23を積層して低温焼成され、一体化されたものである。【選択図】 図1
Description
本発明は発光ダイオード(LED)素子、レーザダイオード(LD)素子等の半導体発光素子よりなる半導体発光装置及びその製造方法に関する。
LED素子においては、所望の明るさを達成するために投入された電力のうち、光出力として用いられなかった電力は熱となり自身を加熱する。従って、LED素子は自身が発する熱により寿命及び性能が低下するという負の特性を有する。また、LED素子との組合せにより発光色を変化させる目的で使用される蛍光体層も熱による負の特性を有する。このため、LED素子及び蛍光体層の温度を適切な温度以下に抑える熱設計としてヒートシンク等の放熱構造を用いてLED素子及び蛍光体層の熱を空気中に放散させる。特に、前照灯、フォグランプ等の光束を実現するためには、高出力LED素子を用いるので、放熱構造が大型化する。
図7は第1の従来のLED装置を示す断面図である。
図7においては、蛍光体層で被覆されたLED素子よりなるLEDパッケージ101は放熱性かつ絶縁性ヒートダイを含んで構成される。ヒートダイは放熱基板としても作用するプリント配線基板103上に設けられる。プリント配線基板103は熱界面材料(TIM:Thermal Interface Material)層104を介してヒートシンク105に接合され、プリント配線基板103とヒートシンク105との間の熱抵抗を減少させる。
プリント配線基板103は絶縁層1031及び銅箔配線層1032よりなり、銅箔配線層1032の一部はプリント配線基板103のスルーホールに形成されてサーマルビア1033を形成する。尚、LEDパッケージ101のLED素子は電極端子あるいは図示しないボンディングワイヤによってプリント配線基板103の銅箔配線層1032に電気的に接続されている。
このようにして、図7では、LEDパッケージ101において発生した熱はヒートダイから主にプリント配線基板103のサーマルビア1033を介してヒートシンク105に放熱される。
図8は第2の従来のLED装置を示す断面図である。
図8においては、図7のプリント配線基板103の代りに、プリント配線基板203を設けてある。プリント配線基板203は、銅、アルミニウム等よりなる金属コア層2031、金属コア層2031上に設けられた絶縁層2032、及び絶縁層2032上に設けられた銅箔配線層2033よりなる。
このようにして、図8では、LEDパッケージ101において発生した熱はヒートダイから主にプリント配線基板203の金属コア層2031を介してヒートシンク105に放熱される。
図9は従来の電子部品装置を示す縦断面図である(参照:特許文献1の第3図)。
図9においては、電子部品301は絶縁層3021及び配線層3022よりなるプリント配線基板302上に設けられる。プリント配線基板302内には、絶縁性接着剤303aを介してアルミニウムよりなる芯材303及びヒートパイプ304が設けられている。この場合、ヒートパイプ304の受熱側端部は芯材303内に埋込まれ、他方、ヒートパイプ304の放熱側端部には円板状放熱フィン305が設けられている。図9においては、LEDパッケージを電子部品301として用いることができる。
このようにして、図9では、電子部品301たとえばLEDパッケージにおいて発生した熱は主にプリント配線基板302から芯材303及びヒートパイプ304を介して放熱フィン305に放熱される。
しかしながら、図7に示す第1の従来のLED装置においては、サーマルビア1033はプリント配線基板103のスルーホールへのめっきによって形成されるので、サーマルビア1033の厚さに制約があり、従って、熱抵抗を小さくできず、この結果、熱伝達率が小さく、放熱効率が低いという課題がある。
また、図8に示す第2の従来のLED装置においては、絶縁層2032の存在のために熱抵抗が大きく、この結果、やはり、熱伝達率が小さく、放熱効率が低いという課題がある。
さらに、図9に示す従来の電子部品装置においては、芯材303は絶縁性接着剤303aによってプリント配線基板302に接続され、また、ヒートパイプ304と芯材303との間には図示しない絶縁性接着剤及び空気層が存在し、従って、熱抵抗が大きく、この結果、やはり、熱伝導率が小さく、放熱効率が低いという課題がある。
上述の課題を解決するために、本発明に係る半導体発光装置は、第1の半導体発光パッケージと、ガラス成分を含むアルミナセラミックスよりなる低温焼成セラミックス(LTCC:Low Temperature Co−fired Ceramics)基板と、低温焼成セラミックス基板の第1の面上に設けられ、第1の半導体発光パッケージが実装される第1の銅箔配線パターンと、低温焼成セラミックス基板内に受熱側端部が埋め込まれた銅製のヒートパイプとを具備するものである。
また、本発明に係る半導体発光装置の製造方法は、耐熱性下型の中に、ガラス成分を含むアルミナセラミックスよりなる第1のセラミックスシート、銅製のヒートパイプ、ガラス成分を含むアルミナセラミックスよりなる第2のセラミックスシート、第1の銅箔配線パターン及び耐熱性上型を順番に組立てる組立工程と、組立工程後に、耐熱性下型と耐熱性上型とを加圧状態にしてヒートパイプ及び第1の銅箔配線パターンの溶解温度より低い温度で焼成して低温焼成セラミックス基板を形成する低温焼成工程と、低温焼成工程後、耐熱性下型及び耐熱性上型を取り外し、第1の銅箔配線パターン上に第1の半導体発光パッケージを実装する実装工程とを具備するものである。
本発明によれば、低温焼成セラミックス基板と銅箔配線パターン、ヒートパイプとの直接結合により熱抵抗が小さくなるので、熱伝導率を大きくでき、従って、放熱効率を大きくできる。
図1は本発明に係るLED装置の第1の実施の形態を示し、(A)は縦断面図、(B)は裏面図である。
図1において、LEDパッケージ1はLED素子たとえば青色LED素子及びLED素子を被覆した蛍光体層たとえば青色光を黄色光に変換するYAG層より構成され、絶縁性の低温焼成セラミックス(LTCC)基板2の第1の面S1上の銅箔配線パターン3に半田層4によって装着される。
LTCC基板2には銅製のヒートパイプ5が埋め込まれる。この場合、ヒートパイプ5の受熱側端部がLTCC基板2内に埋込まれ同時焼成され、他方、ヒートパイプ5の放熱側端部にはヒートシンク6が装着される。
LTCC基板2は3つのLTCCシート(LTCC基材)21、22、23を積層して低温焼成され、一体化されたものである。この場合、LTCCシート21、22は平板状をなしているが、LTCCシート22は、ヒートパイプ5を埋め込むために、コ字形状をなしている。また、ヒートパイプ5の受熱側端部はLTCCシート22のコ字形状に合わせて平たく加工され、端面封止されている。他方、ヒートパイプ5の放熱側端部は丸形状断面とされている。
LTCC基板2の各LTCCシート21、22、23は、アルミナセラミックスにガラス成分で混合して構成され、これにより、銅箔配線パターン3及び銅製のヒートパイプ5の溶融温度約1300℃より低い900℃程度の焼成温度を実現する。
次に、図1のLED装置の製造方法を図2を参照して説明する。尚、図2の(A)はLTCC基板の焼成前組立工程を示し、図2の(B)はLTCC基板の焼成後組立工程を示す。
始めに、図2の(A)LTCC基板の焼成前組立工程を説明する。1500℃以上の耐熱性を有するアルミナ又は鉄製の下型24及び上型25を準備する。次いで、LTCCシート21、22、ヒートパイプ5、LTCCシート23、銅箔配線パターン3及び上型25を順番に下型24の中へ収める。この場合、銅箔配線パターン3のLTCCシート23側の面には、溶融温度が焼成温度900℃に近い銀ペースト、銀粉、ゲルマニウム等をバインダとして予め付着させておく。また、LTCCシート22とヒートパイプ5とは同時に収められる。
次に、下型24と上型25とを加圧状態にして約900℃でLTCC基板を焼成する。LTCC基板の焼成後、下型24及び上型25を取外してLTCCシート21、22、23が一体焼成されたLTCC基板2が完成する。
次に、図2の(B)LTCC基板の焼成後組立工程を説明する。ヒートパイプ5の放熱側端部の開口から作動液たとえば水及びウィック5aを入れた後、ヒートパイプ5の放熱側端部を封止してヒートパイプ5を完成する。
次に、LEDパッケージ1を銅箔配線パターン3上に半田層4によって実装する。尚、LEDパッケージ1を銅箔配線パターン3に直接ボンディングしてもよい。
最後に、ヒートシンク6をヒートパイプ5の放熱側端部にろう付等で結合する。
尚、銅箔配線パターン3はLTCC基板の焼成後に高温焼付けしてもよい。
図1のLTCC基板2は2つのLTCCシートを積層して低温焼成されたLTCC基板2’とすることもできる。つまり、図1のLTCCシート22を省略し、LTCCシート21、23をより少し小さめのLTCCシート21’、23’によりLTCC基板2’を形成することができる。この場合のLED装置の製造方法を図3を参照して説明する。尚、図3の(A)はLTCC基板の焼成前組立工程を示し、図3の(B)はLTCC基板の焼成後組立工程を示す。
始めに、図3の(A)LTCC基板の焼成前組立工程を説明する。図2の(A)の下型24及び上型25より小さい下型24’及び上型25’を準備する。次いで、LTCCシート21’、ヒートパイプ5、LTCCシート23’、銅箔配線パターン3及び上型25’を順番に下型24’の中へ収める。この場合、銅箔配線パターン3のLTCCシート23’側の面及びヒートパイプ5の受熱側端部には溶融温度が焼成温度900℃に近い銀ペースト、銀粉、ゲルマニウム等をバインダとして予め付着させておく。
次に、下型24’と上型25’とを加圧状態にして約900℃でLTCC基板を焼成する。LTCC基板の焼成後、下型24’及び上型25’を取外してLTCCシート21’、23’が一体焼成されたLTCC基板2’が完成する。
以下、図3の(B)LTCC基板の焼成後組立工程及びそれ以降の工程は図2の(B)の場合と同様である。
図4は本発明に係るLED装置の第2の実施の形態を示し、(A)は縦断面図、(B)は裏面図である。尚、図4のLED装置はLEDバルブとして作用することができる。
図4においては、図1の構成要素に、LEDパッケージ1’、銅箔配線パターン3’、半田層4’及びソケット用鍔7を付加してある。すなわち、LTCC基板2の第2の面S2上の銅箔配線パターン3’に半田層4’によって装着される。また、ソケット用鍔7はLTCC基板2とヒートシンク6との間に配置され、ヒートパイプ5がソケット用鍔7を貫通している。
次に、図4のLED装置の製造方法を図5を参照して説明する。尚、図5の(A)はLTCC基板の焼成前組立工程を示し、図5の(B)はLTCC基板の焼成後組立工程を示す。
始めに、図5の(A)LTCC基板の焼成前組立工程を説明する。1500℃以上を有する耐熱性のアルミナ又は鉄製の下型24及び上型25を準備する。次いで、銅箔配線パターン3’、LTCCシート21、22、ヒートパイプ5、LTCCシート23、銅箔配線パターン3及び上型25を順番に下型24の中へ収める。この場合、銅箔配線パターン3のLTCCシート23側の面及び銅箔配線パターン3’のLTCCシート21側の面には、溶融温度が焼成温度900℃に近い銀ペースト、銀粉、ゲルマニウム等をバインダとして予め付着させておく。また、LTCCシート22とヒートパイプ5とは同時に収められる。
次に、下型24と上型25とを加圧状態にして約900℃でLTCC基板を焼成する。LTCC基板の焼成後、下型24及び上型25を取外してLTCCシート21、22、23が一体焼成されたLTCC基板2が完成する。
次に、図2の(B)LTCC基板の焼成後組立工程を説明する。ヒートパイプ5の放熱側端部の開口から作動液たとえば水及びウィック5aを入れた後、ヒートパイプ5の放熱側端部を封止してヒートパイプ5を完成する。
次に、LEDパッケージ1を銅箔配線パターン3上に半田層4によって実装すると共に、LEDパッケージ1’を銅箔配線パターン3’上に半田層4’によって実装する。尚、LEDパッケージ1、1’を銅箔配線パターン3、3’に直接ボンディングしてもよい。
次に、ヒートパイプ5の放熱側端部をソケット用鍔7に通してLTCC基板2に固定する。
最後に、ヒートシンク6をヒートパイプ5の放熱側端部にろう付等で結合する。
尚、銅箔配線パターン3、3’はLTCC基板の焼成後に高温焼付けしてもよい。
図4のLTCC基板2も2つのLTCCシートを積層して低温焼成されたLTCC基板2’とすることもできる。つまり、図4のLTCCシート22を省略し、LTCCシート21、23をより少し小さめのLTCCシート21’、23’によりLTCC基板2’を形成することができる。この場合のLED装置の製造方法を図6を参照して説明する。尚、図6の(A)はLTCC基板の焼成前組立工程を示し、図6の(B)はLTCC基板の焼成後組立工程を示す。
始めに、図6の(A)LTCC基板の焼成前組立工程を説明する。図6の(A)の下型24及び上型25より小さい下型24’及び上型25’を準備する。次いで、銅箔配線パターン3’、LTCCシート21’、ヒートパイプ5、LTCCシート23’、銅箔配線パターン3及び上型25’を順番に下型24’の中へ収める。この場合、銅箔配線パターン3のLTCCシート23’側の面、銅箔配線パターン3’のLTCCシート21’側の面、及びヒートパイプ5の受熱側端部には、溶融温度が焼成温度900℃に近い銀ペースト、銀粉、ゲルマニウム等をバインダとして予め付着させておく。
次に、下型24’と上型25’とを加圧状態にして約900℃でLTCC基板を焼成する。LTCC焼成後、下型24’及び上型25’を取外してLTCCシート21’、23’が一体焼成されたLTCC基板2’が完成する。
以下、図6の(B)LTCC基板の焼成後組立工程及びそれ以降の工程は図5の(B)の場合と同様である。
尚、上述の実施の形態においては、発光素子としてLED素子を用いたが、本発明はレーザダイオード(LD)素子等の他の発光素子にも適用し得る。
また、本発明は上述の実施の形態の自明の範囲内でのいかなる変更にも適用し得る。
本発明に係る半導体発光装置は、車両用灯具、たとえば前照灯、フォグランプ、昼間走行ランプ(DRL)、及び液晶プロジェクタ等のリフレクタを用いた照明装置に利用できる。
1:LEDパッケージ
2、2’:LTCC基板
21、22、23、21’、23’:LTCCシート
3、3’:銅箔配線パターン
4、4’:半田層
5:ヒートパイプ
6:ヒートシンク
7:ソケット用鍔
S1:第1の面
S2:第2の面
101:LEDパッケージ
103:プリント配線基板
1031:絶縁層
1032:銅箔配線層
1033:サーマルビア
104:熱界面材料(TIM)層
105:ヒートシンク
203:プリント配線基板
2031:金属コア層
2032:絶縁層
2033:銅箔配線層
301:電子部品
302:プリント配線基板
3021:絶縁層
2022:配線層
303:芯材
303a:絶縁性接着剤
304:ヒートパイプ
305:放熱フィン
2、2’:LTCC基板
21、22、23、21’、23’:LTCCシート
3、3’:銅箔配線パターン
4、4’:半田層
5:ヒートパイプ
6:ヒートシンク
7:ソケット用鍔
S1:第1の面
S2:第2の面
101:LEDパッケージ
103:プリント配線基板
1031:絶縁層
1032:銅箔配線層
1033:サーマルビア
104:熱界面材料(TIM)層
105:ヒートシンク
203:プリント配線基板
2031:金属コア層
2032:絶縁層
2033:銅箔配線層
301:電子部品
302:プリント配線基板
3021:絶縁層
2022:配線層
303:芯材
303a:絶縁性接着剤
304:ヒートパイプ
305:放熱フィン
Claims (9)
- 第1の半導体発光パッケージと、
ガラス成分を含むアルミナセラミックスよりなる低温焼成セラミックス基板と、
前記低温焼成セラミックス基板の第1の面上に設けられ、前記第1の半導体発光パッケージが実装される第1の銅箔配線パターンと、
前記低温焼成セラミックス基板内に受熱側端部が埋め込まれた銅製のヒートパイプと
を具備する半導体発光装置。 - さらに、第2の半導体発光パッケージと、
前記低温焼成セラミックス基板の第2の面上に設けられ、前記第2の半導体発光パッケージが実装される第2の銅箔配線パターンと
を具備する請求項1に記載の半導体発光装置。 - さらに、前記ヒートパイプの放熱側端部に設けられたヒートシンクを具備する請求項1又は2に記載の半導体発光装置。
- さらに、前記低温焼成セラミックス基板の前記ヒートパイプ側に設けられたソケット用鍔を具備する請求項2に記載の半導体発光装置。
- 耐熱性下型の中に、ガラス成分を含むアルミナセラミックスよりなる第1のセラミックスシート、銅製のヒートパイプ、ガラス成分を含むアルミナセラミックスよりなる第2のセラミックスシート、第1の銅箔配線パターン及び耐熱性状上型を順番に組立てる組立工程と、
前記組立工程後に、前記耐熱性下型と前記耐熱性上型とを加圧状態にして前記ヒートパイプ及び前記第1の銅箔配線パターンの溶解温度より低い温度で焼成して低温焼成セラミックス基板を形成する低温焼成工程と、
前記低温焼成工程後、前記耐熱性下型及び前記耐熱性上型を取り外し、前記第1の銅箔配線パターン上に第1の半導体発光パッケージを実装する実装工程と
を具備する半導体発光装置の製造方法。 - 前記組立工程は、さらに、前記ヒートパイプを囲むガラス成分を含むアルミナセラミックスよりなる第3のセラミックスシートを前記ヒートパイプと共に前記耐熱性下型に組立てる請求項5に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記組立工程は、前記耐熱性下型の中に、さらに、前記第1のセラミックスシートの前に第2の銅箔配線パターンを組立て、
前記実装工程は前記第2の銅箔配線パターン上に第2の半導体発光パッケージを実装する請求項5に記載の半導体発光装置の製造方法。 - さらに、前記耐熱性下型及び前記耐熱性上型を取り外した後に、前記ヒートパイプの放熱側端部にヒートシンクを設ける工程を具備する請求項5に記載の半導体発光装置の製造方法。
- さらに、前記耐熱性下型及び前記耐熱性上型を取り外した後に、前記低温焼成セラミックス基板の前記ヒートパイプ側にソケット用鍔を設ける工程を具備する請求項7に記載の半導体発光装置の製造方法。
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CN112164675A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-01-01 | 湖南国芯半导体科技有限公司 | 一种功率模块的制造方法及功率模块 |
CN112218486A (zh) * | 2020-09-01 | 2021-01-12 | 西安电子科技大学 | 基于热管及热电制冷器的ltcc集成制冷系统及其制作方法 |
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