JP2017164689A - Application device and application method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、塗布装置および塗布方法に関する。 The present invention relates to a coating apparatus and a coating method.
厚さの均一な塗布膜を形成するための塗布方法として、ダイコーティングが知られている。ダイコーティングでは、走行する長尺の基材(ウェブ)に対し、一定流量で塗布液を供給することで、厚さの均一な塗布膜を形成する。このうちスロットダイ方式では、塗布ヘッドとして、塗布幅に対応するスリットを有するスロットダイと、ウェブを支持、走行させるバックアップロールとを用いる。 Die coating is known as a coating method for forming a coating film having a uniform thickness. In die coating, a coating film having a uniform thickness is formed by supplying a coating liquid at a constant flow rate to a long substrate (web) that travels. Of these, in the slot die method, a slot die having a slit corresponding to the coating width and a backup roll for supporting and running the web are used as the coating head.
スロットダイ方式で均一性を確保するには、まずスロットダイの加工精度が重要であるが、これに加えて、スロットダイとウェブ表面との間隔(コーティングギャップ)を一定に保つこと技術が必要となる。したがって、塗布を開始する際に、バックアップロールとスロットダイとの間隔を高い精度で調整することが一般的に行われている。ところが、作業開始時に、いかに精度良く調整を行っても、塗布実行中にコーティングギャップが変化してしまう場合がある。その要因のひとつが温度変化によるバックアップロールの変形である。バックアップロールは金属製の場合が多く、温度変化により、その体積が膨張・収縮する。このような膨張・収縮はコーティングギャップを変化させ、結果として塗布膜厚の均一性を悪化させる。 In order to ensure uniformity with the slot die method, the processing accuracy of the slot die is important first, but in addition to this, technology is required to maintain a constant gap (coating gap) between the slot die and the web surface. Become. Therefore, it is generally performed to adjust the interval between the backup roll and the slot die with high accuracy when starting the application. However, no matter how accurately the adjustment is performed at the start of the work, the coating gap may change during the execution of the application. One of the factors is the deformation of the backup roll due to temperature changes. The backup roll is often made of metal, and its volume expands and contracts due to temperature changes. Such expansion and contraction changes the coating gap, and as a result, the uniformity of the coating film thickness is deteriorated.
この問題を解決する技術が、例えば特許文献1に示されている。この技術では、基材の厚さ方向の変位を検出し、それに応じてノズルを移動させることにより、基材とノズルの間隔を一定に保っている。また、特許文献2には、バックアップローラの温度を一定に保つ技術が開示されている。特許文献2では、温度制御を実行する方法として、バックアップローラの回転軸に熱媒体を通す方法と、バックアップローラ内部に誘導加熱コイルを設ける方法とが示されている。
A technique for solving this problem is disclosed in
しかしながら、特許文献1の技術は、スロットダイを動かすための機構が大掛かりになるという問題点がある。スロットダイは、安定性が求められる性質上重厚に作製されている。このため、スロットダイの位置をリアルタイムで移動させるには大きな駆動力を必要とする。またスロットダイを可動とすることは、安定性を低下させる点で好ましくない。
However, the technique of
また、特許文献2の技術には、バックアップローラに温度制御部機構を付加するために、装置構成が複雑になるという問題がある。
Further, the technique of
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、厚さの均一性が高い塗布膜が得られる簡素な機構の塗布装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a simple-mechanism coating apparatus capable of obtaining a coating film having high thickness uniformity.
上記の課題を解決するため、本発明の塗布装置は、スロットダイと、バックアップローラと、塗布液供給部と、バックアップローラ状態計測部と、温度制御部とを有する。塗布液供給部はスロットダイに塗布液を供給する。スロットダイはシート状の基材に塗布液を供給する。バックアップローラは、スロットダイとのギャップが所定範囲になるように基材を支持し、基材を走行させる。バックアップローラ状態計測部は、バックアップローラの状態を計測する。この状態とは、例えば寸法であり、例えば温度である。温度制御部は、塗布液供給部の温度を制御する。この制御は、バックアップローラ状態計測部が計測したバックアップローラの計測状態と予め定めた基準状態との差を小さくするように行う。 In order to solve the above problems, the coating apparatus of the present invention includes a slot die, a backup roller, a coating liquid supply unit, a backup roller state measurement unit, and a temperature control unit. The coating liquid supply unit supplies the coating liquid to the slot die. The slot die supplies the coating liquid to the sheet-like substrate. The backup roller supports the base material so that the gap with the slot die falls within a predetermined range, and runs the base material. The backup roller state measuring unit measures the state of the backup roller. This state is, for example, a dimension, for example, temperature. The temperature control unit controls the temperature of the coating liquid supply unit. This control is performed so as to reduce the difference between the measurement state of the backup roller measured by the backup roller state measurement unit and a predetermined reference state.
本発明の効果は、厚さの均一性が高い塗布膜が得られる簡素な機構の塗布装置を提供できることである。 The effect of the present invention is to provide a coating device having a simple mechanism that can provide a coating film with high thickness uniformity.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい限定がされているが、発明の範囲を以下に限定するものではない。なお各図面の同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する場合がある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the preferred embodiments described below are technically preferable for carrying out the present invention, but the scope of the invention is not limited to the following. In addition, the same number is attached | subjected to the same component of each drawing, and description may be abbreviate | omitted.
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態の塗布装置を示すブロック図である。塗布装置は、スロットダイ1と、バックアップローラ2と、塗布液供給部3と、バックアップローラ状態計測部4と、温度制御部5とを有する。
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram illustrating a coating apparatus according to the first embodiment. The coating apparatus includes a
塗布液供給部3はスロットダイ1に塗布液を供給する。
The coating
スロットダイ1はシート状の基材6に塗布液7を供給する。
The slot die 1 supplies the
バックアップローラ2は、スロットダイ1とのギャップが所定範囲になるように基材6を支持し、基材6を走行させる。
The
バックアップローラ状態計測部4は、バックアップローラ2の状態を計測する。この状態とは、例えば寸法であり、例えば温度である。
The backup roller state measuring unit 4 measures the state of the
温度制御部5は、塗布液供給部3の温度を制御する。この制御は、バックアップローラ状態計測部4が計測したバックアップローラ2の計測状態と予め定めた基準状態との差を小さくするように行う。
The
以上の構成とすることにより、バックアップローラの状態を基準状態に近づけて、塗布膜厚の均一性を確保することができる。 With the above configuration, the state of the backup roller can be brought close to the reference state, and the uniformity of the coating film thickness can be ensured.
(第2の実施形態)
図2は、第2の実施形態の塗布装置を示す側面図である。塗布装置は、スロットダイ10と、バックアップローラ20と、塗布液供給部30と、バックアップローラ状態計測部40と、温度制御部50とを有する。
(Second Embodiment)
FIG. 2 is a side view showing the coating apparatus according to the second embodiment. The coating apparatus includes a slot die 10, a
バックアップローラ20は、ウェブ60を支持し、所定方向に走行させる。
The
スロットダイ10は、バックアップローラ20と所定のギャップを持つように配置され、ウェブ60に対し塗布液を供給する。ウェブ60の走行にともなって、ウェブ60上には塗布膜70が形成される。
The
塗布液供給部30は、スロットダイ10に塗布液を供給する。塗布液供給部30は、塗布液を貯蔵する貯蔵タンク31と、塗布液を送液するポンプ32と、スロットダイ10への塗布液の供給を制御するバルブ33とを有する。
The coating
バックアップローラ状態計測部40は、バックアップローラ20の状態を計測する。ここでバックアップローラの状態とは、例えば寸法であり、例えば温度である。
The backup roller
温度制御部50は、フィードバック制御部51と、温度調節器52とを有し、塗布液供給部30がスロットダイ10に供給する塗布液の温度を制御する。その制御は、バックアップローラ状態計測部40が計測したバックアップローラ20の状態が、予め定めた基準状態に近付くように行う。この基準状態とは、スロットダイ10とバックアップローラ20のギャップが適正に調整された状態、すなわち、塗布膜70の膜厚が設計値になる状態のことである。なお、上記の温度制御については後述する。
The
上記の塗布装置で、ウェブ60上に塗布膜70を形成した場合、バックアップローラの状態に依存して、塗布膜70の膜厚均一性が変化する。その例を、図3から図5に示す。図3(a)は、バックアップローラ20が基準状態にあることを示す断面図である。この時は、図3(b)に示すように、塗布膜70の厚さは均一になっている。図4(a)は、バックアップローラ20が収縮した状態を示す断面図である。バックアップローラ20が金属の場合、温度の低下によって体積が収縮するので、このような状態になる。この状態で形成された塗布膜70は、図4(b)に示すように、中央部が設計値より厚くなり、均一性が悪化する。図5(a)は、バックアップローラ20の体積が膨張した状態を示す断面図である。この状態で形成された塗布膜70は、中央部が薄くなり均一性が悪化する。
When the
本実施形態では、このような、バックアップローラの状態をバックアップローラ状態計測部40によって把握する。すなわちバックアップローラ20が基準状態に比べて膨張しているか、あるいは収縮しているか、あるいは所定の許容範囲内にあるかを把握する。ひとつの方法は、直接寸法を計測することである。例えば、図6のように、距離センサ40aをバックアップローラ20の中央と両端に配置することによって、バックアップローラ20の寸法を計測し、膨張状態にあるか収縮状態にあるかといったことを把握できる。当然のことながら、距離センサ40aの数は3つに限られるものではない。また、距離センサ40aを、例えば1つだけ用い、図7のように、バックアップローラ20の幅方向にスキャンしても良い。
In the present embodiment, such a state of the backup roller is grasped by the backup roller
また、金属のような、温度上昇に伴って体積が膨張し、その膨張係数が分かっている場合には、バックアップローラ20の温度を測ることによって、寸法測定と等価な情報を得ることができる。例えば、図8のように、温度センサ40bで、バックアップローラ20の中央部と両端の温度を測定すると、温度から寸法を算出することが可能である。以降の説明は、バックアップローラが金属であると仮定して行う。バックアップローラが金属と逆に、温度が上昇すると収縮し、温度が低下すると膨張する素材の場合は、温度制御を下記の説明と逆にすれば良い。
Further, when the volume expands as the temperature rises, such as metal, and the expansion coefficient is known, information equivalent to the dimension measurement can be obtained by measuring the temperature of the
以上のようにして、バックアップローラ20の状態を把握したら、その情報を用いて、バックアップローラ20を基準状態に近づけるように、温度制御部50が塗布液の温度制御を行う。再び図2を参照する。フィードバック制御部51は、バックアップローラ状態計測部40から、バックアップローラ20の計測状態情報を受け取り、バックアップローラ20の状態を基準状態に近づけるように塗布液の温度を制御する。すなわち、基準状態より膨張あるいは高温にあれば、塗布液の温度を低下させ、逆であれば、温度を上昇させるように制御する。温度調整の実行は、温度調節器52が行う。
When the state of the
こうして温度調整された塗布液は、塗布液供給部30によって、スロットダイ10に送られ、ウェブ60上に塗布される。塗布された塗布液は、バックアップローラ20の温度を基準状態に近づけるように作用する。このため、バックアップローラ20は基準状態に近付くように制御される。
The coating liquid whose temperature has been adjusted in this manner is sent to the slot die 10 by the coating
以上説明したように、本実施形態によれば、バックアップローラの状態をフィードバックして、塗布液の温度を制御し、温度制御された塗布液によって、バックアップローラの状態を基準状態に近づけることができる。このため、塗布膜の膜厚均一性を確保することができる。
(第3の実施形態)
本実施形態では、具体的な温度制御部の構成例と動作について説明する。図9は本実施形態の塗布装置を示すブロック図である。塗布装置は第2の実施形態と同様に、スロットダイ10、バックアップローラ20、塗布液供給部30、バックアップローラ状態計測部40、温度制御部50を有している。温度制御部以外の構成は第2の実施形態と同様なので、説明を省略する。
As described above, according to the present embodiment, the state of the backup roller is fed back, the temperature of the coating liquid is controlled, and the state of the backup roller can be brought close to the reference state by the temperature-controlled coating liquid. . For this reason, the film thickness uniformity of a coating film is securable.
(Third embodiment)
In the present embodiment, a specific configuration example and operation of the temperature control unit will be described. FIG. 9 is a block diagram showing the coating apparatus of this embodiment. Similar to the second embodiment, the coating apparatus includes a
温度制御部50は、フィードバック制御部51と、温度コントローラ52aと、温度調節手段52bと、温度計52cとを有している。温度計52cは、例えば貯蔵タンク31に貯蔵された塗布液の温度を測るように設置することができるが、できる限りバックアップローラ20に近い場所で計測した方が、バックアップローラ20の調整を有効に行うことができる。このため、スロットダイ10の近くに設置しても良い。
The
フィードバック制御部51は、バックアップローラ状態計測部40から計測状態情報を受け取り、バックアップローラ20の状態を基準状態に近づけるように、温度コントローラ52aを制御する。温度コントローラ52aは温度計52cの計測結果に基づいて温度調節手段52bを制御し、温度調節手段52bは塗布液の温度調節を実行する。温度調節は、図9のように貯蔵タンク31に対して行うことができるが、貯蔵タンク31からスロットダイ10に至る塗布液供給部30の別の部分に対して実行しても良い。
The
次に動作について説明する。ここでは、バックアップローラ20は金属で、バックアップローラ状態計測部として距離センサ40aを用いてバックアップローラの寸法を計測するものとする。
Next, the operation will be described. Here, the
図10は、上記の動作を示すフローチャートである。まずスロットダイとバックアップローラのギャップが基準値になるように調整する(S1)。この状態が基準状態であるので、この時に計測したバックアップローラの寸法を基準値として設定する(S2)。次に塗布を実行し、そのときのバックアップローラの寸法を計測する(S3)。ここでバックアップローラの寸法が、基準値から所定の規格内にある場合は(S4_Yes)、塗布液の温度を変更する必要が無いので、塗布完了でなければ(S5_No)、S3に戻り、塗布と寸法の計測を続行する。 FIG. 10 is a flowchart showing the above operation. First, adjustment is made so that the gap between the slot die and the backup roller becomes the reference value (S1). Since this state is the reference state, the dimension of the backup roller measured at this time is set as a reference value (S2). Next, application | coating is performed and the dimension of the backup roller at that time is measured (S3). Here, when the size of the backup roller is within the predetermined standard from the reference value (S4_Yes), there is no need to change the temperature of the coating liquid. Therefore, if the coating is not completed (S5_No), the process returns to S3, Continue measuring dimensions.
一方、バックアップローラの計測寸法が、規格から外れていて(S4_No)、計測値が基準値より大きければ(S6_Yes)、塗布液を所定温度降温させるように制御する(S7)。そして、塗布完了でなければ(S5_No)、S3に戻り、塗布と寸法の計測を続行する。 On the other hand, if the measured size of the backup roller is not within the standard (S4_No) and the measured value is larger than the reference value (S6_Yes), control is performed so that the temperature of the coating liquid is decreased by a predetermined temperature (S7). If the application is not completed (S5_No), the process returns to S3 to continue application and measurement of dimensions.
また、バックアップローラの計測寸法が、規格から外れていて(S4_No)、計測値が基準値より小さければ(S6_No)、塗布液を所定温度昇温させるように制御する(S8)。そして、塗布完了でなければ(S5_No)、S3に戻り、塗布と寸法の計測を続行する。 If the measured size of the backup roller is not within the standard (S4_No) and the measured value is smaller than the reference value (S6_No), control is performed so that the temperature of the coating liquid is increased by a predetermined temperature (S8). If the application is not completed (S5_No), the process returns to S3 to continue application and measurement of dimensions.
以上の動作とすることにより、バックアップローラの寸法を所定範囲に維持し、塗布膜の膜厚均一性を確保することができる。 By performing the above operation, the size of the backup roller can be maintained within a predetermined range, and the coating film thickness uniformity can be ensured.
(第4の実施形態)
前述したように温度に対する体積の変化率(熱膨張率)が分かっている場合には、寸法計測の代わりに、温度計測を用いて、バックアップローラの状態を把握し、塗布膜の膜厚を均一に保つ制御を行うことも可能である。そこで、バックアップローラが、温度上昇にともない体積が膨張する金属である場合を例にとってその動作を説明する。
(Fourth embodiment)
If the volume change rate (thermal expansion coefficient) with respect to the temperature is known as described above, the temperature of the backup roller is grasped using temperature measurement instead of dimension measurement, and the coating film thickness is made uniform. It is also possible to perform control to maintain the above. Therefore, the operation will be described by taking as an example the case where the backup roller is a metal whose volume expands as the temperature rises.
図11は、上記の動作を示すフローチャートである。まずスロットダイとバックアップローラのギャップが基準値になるように調整する(S11)。この状態が基準状態であるので、この時に計測したバックアップローラの温度を基準値として設定する(S12)。次に塗布を実行し、そのときのバックアップローラの温度を計測する(S13)。ここでバックアップローラの温度が、基準値から所定の規格内にある場合は(S14_Yes)、塗布液の温度を変更する必要が無いので、塗布完了でなければ(S15_No)、S13に戻り、塗布と温度の計測を続行する。 FIG. 11 is a flowchart showing the above operation. First, adjustment is made so that the gap between the slot die and the backup roller becomes the reference value (S11). Since this state is the reference state, the temperature of the backup roller measured at this time is set as a reference value (S12). Next, application | coating is performed and the temperature of the backup roller at that time is measured (S13). Here, when the temperature of the backup roller is within a predetermined standard from the reference value (S14_Yes), there is no need to change the temperature of the coating solution. Therefore, if the coating is not completed (S15_No), the process returns to S13 to Continue measuring temperature.
一方、バックアップローラの計測温度が、規格から外れていて(S14_No)、計測値が基準値より大きければ(S16_Yes)、塗布液を所定温度降温させるように制御する(S17)。そして、塗布完了でなければ(S15_No)、S13に戻り、塗布と温度の計測を続行する。 On the other hand, if the measured temperature of the backup roller deviates from the standard (S14_No) and the measured value is larger than the reference value (S16_Yes), control is performed so that the temperature of the coating liquid is lowered by a predetermined temperature (S17). If the application is not completed (S15_No), the process returns to S13 to continue the application and temperature measurement.
また、バックアップローラの計測温度が、規格から外れていて(S14_No)、計測値が基準値より小さければ(S16_No)、塗布液を所定温度昇温させるように制御する(S18)。そして、塗布完了でなければ(S15_No)、S13に戻り、塗布と状態の計測を続行する。 If the measured temperature of the backup roller is not within the standard (S14_No) and the measured value is smaller than the reference value (S16_No), control is performed so as to raise the temperature of the coating liquid by a predetermined temperature (S18). If the application is not completed (S15_No), the process returns to S13 to continue the application and measurement of the state.
以上の動作とすることにより、バックアップローラの寸法を所定範囲に維持し、塗布膜の膜厚均一性を確保することができる。 By performing the above operation, the size of the backup roller can be maintained within a predetermined range, and the coating film thickness uniformity can be ensured.
(第5の実施形態)
第3の実施形態ではバックアップローラの寸法を計測し、それをフィードバックして塗布液の温度を制御したが、バックアップローラ寸法の代わりに、塗布膜厚の出来栄えを計測して、フィードバックすることも可能である。
(Fifth embodiment)
In the third embodiment, the dimensions of the backup roller are measured and the temperature of the coating liquid is controlled by feeding back the measured values. However, instead of the backup roller dimensions, the quality of the coating film can be measured and fed back. It is.
図12は塗布膜の膜厚を測定してフィードバックする塗布装置のブロック図である。塗布装置は、塗布膜70の膜厚を計測する膜厚計測器80を有している。膜厚をフィードバックする以外の構成については、第3の実施形態と同様なので説明を省略する。
FIG. 12 is a block diagram of a coating apparatus that measures and feeds back the thickness of the coating film. The coating apparatus has a film thickness measuring device 80 that measures the film thickness of the
第2の実施形態で説明したように、バックアップローラ20が金属のように温度上昇により体積が膨張する材料であれば、バックアップローラ20の温度が基準値より高いと塗布膜厚は薄くなり、温度が低いと厚くなる。この現象は特にウェブ60の幅方向中央部で顕著である。したがって、塗布膜70の膜厚、特に幅方向中央部を計測して、膜厚が薄い場合はスロットダイ10に供給する塗布液の温度を低くし、膜厚が厚い場合は温度を高くするように制御すればよい。
As described in the second embodiment, when the
図13はこの動作を示すフローチャートである。まずスロットダイとバックアップローラのギャップが基準値になるように調整する(S21)。この状態で、テスト塗布を実行する(S22)。そして、塗布膜の膜厚を測定し基準値であることを確認する(S23)。なお、この段階で膜厚が基準値になっていなければ、膜厚が基準値となるまで、再調整とテスト塗布を繰り返す。次に塗布を実行し、そのときの塗布膜の膜厚を計測する(S24)。ここで膜厚が、基準値から所定の規格内にある場合は(S25_Yes)、塗布液の温度を変更する必要が無いので、塗布完了でなければ(S26_No)、S24に戻り、塗布と膜厚の計測を続行する。 FIG. 13 is a flowchart showing this operation. First, adjustment is made so that the gap between the slot die and the backup roller becomes the reference value (S21). In this state, test coating is executed (S22). And the film thickness of a coating film is measured and it confirms that it is a reference value (S23). If the film thickness does not reach the reference value at this stage, readjustment and test application are repeated until the film thickness reaches the reference value. Next, coating is performed, and the thickness of the coating film at that time is measured (S24). Here, when the film thickness is within the predetermined standard from the reference value (S25_Yes), there is no need to change the temperature of the coating solution. Therefore, if the coating is not completed (S26_No), the process returns to S24, and the coating and the film thickness. Continue measuring.
一方、膜厚が、規格から外れていて(S25_No)、計測値が基準値より大きければ(S27_Yes)、塗布液を所定温度だけ昇温させるように制御する(S28)。そして、塗布完了でなければ(S26_No)、S24に戻り、塗布と寸法の計測を続行する。 On the other hand, if the film thickness deviates from the standard (S25_No) and the measured value is larger than the reference value (S27_Yes), the coating liquid is controlled to be heated by a predetermined temperature (S28). If the application is not completed (S26_No), the process returns to S24 to continue application and measurement of dimensions.
また、バックアップローラの計測寸法が、規格から外れていて(S25_No)、計測値が基準値より小さければ(S27_No)、塗布液を所定温度降温させるように制御する(S29)。そして、塗布完了でなければ(S26_No)、S24に戻り、塗布と寸法の計測を続行する。 If the measured size of the backup roller is out of the standard (S25_No) and the measured value is smaller than the reference value (S27_No), control is performed so that the temperature of the coating liquid is lowered by a predetermined temperature (S29). If the application is not completed (S26_No), the process returns to S24 to continue application and measurement of dimensions.
以上の動作とすることにより、塗布膜の膜厚を所定範囲に維持し、塗布膜の膜厚均一性を確保することができる。 By setting it as the above operation | movement, the film thickness of a coating film can be maintained in the predetermined range, and the film thickness uniformity of a coating film can be ensured.
上述した第1乃至第5の実施形態の処理をコンピュータに実行させるプログラムおよび該プログラムを格納した記録媒体も本発明の範囲に含む。記録媒体としては、例えば、磁気ディスク、磁気テープ、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ、などを用いることができる。 A program for causing a computer to execute the processes of the first to fifth embodiments described above and a recording medium storing the program are also included in the scope of the present invention. As the recording medium, for example, a magnetic disk, a magnetic tape, an optical disk, a magneto-optical disk, a semiconductor memory, or the like can be used.
以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上記実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。 The present invention has been described above using the above-described embodiment as an exemplary example. However, the present invention is not limited to the above embodiment. That is, the present invention can apply various modes that can be understood by those skilled in the art within the scope of the present invention.
1、10 スロットダイ
2、20 バックアップローラ
3、30 塗布液供給部
4、40 バックアップローラ状態計測部
5、50 温度制御部
6 基材
7 塗布液
31 貯蔵タンク
32 ポンプ
33 バルブ
51 フィードバック制御部
52 温度調節器
60 ウェブ
70 塗布膜
80 膜厚計測器
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記スロットダイに塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記基材を支持および走行させるバックアップローラと、
前記バックアップローラの状態を計測するバックアップローラ状態計測部と、
前記バックアップローラ状態計測部の計測した前記バックアップローラの計測状態と予め定めた前記バックアップローラの基準状態との差が小さくなるように前記塗布液供給部の温度を制御する温度調節部と
を有することを特徴とする塗布装置。 A slot die for supplying a coating liquid to a sheet-like substrate;
A coating solution supply unit for supplying a coating solution to the slot die;
A backup roller for supporting and running the substrate;
A backup roller state measuring unit for measuring the state of the backup roller;
A temperature adjusting unit that controls the temperature of the coating liquid supply unit so that a difference between the measured state of the backup roller measured by the backup roller state measuring unit and a predetermined reference state of the backup roller is reduced. An applicator characterized by.
前記スロットダイに塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記基材を支持および走行させるバックアップローラと、
前記スロットダイが前記基材に供給した塗布液の厚さを計測する塗布液厚計測部と、
前記塗布液厚計測部が計測した計測塗布液厚と予め定めた基準塗布液厚との差が小さくなるように前記塗布液供給部の温度を制御する温度調節部と
を有することを特徴とする塗布装置。 A slot die for supplying a coating liquid to a sheet-like substrate;
A coating solution supply unit for supplying a coating solution to the slot die;
A backup roller for supporting and running the substrate;
A coating solution thickness measuring unit that measures the thickness of the coating solution supplied to the substrate by the slot die;
And a temperature adjusting unit that controls the temperature of the coating solution supply unit so that a difference between the measured coating solution thickness measured by the coating solution thickness measuring unit and a predetermined reference coating solution thickness is reduced. Coating device.
前記スロットダイからシート状の基材に塗布液を供給し、
バックアップローラによって前記基材を支持および走行させ、
前記バックアップローラの状態を計測し、
計測した前記バックアップローラの計測状態と予め定めた前記バックアップローラの基準状態との差に基づいて前記塗布液供給部の温度を制御する
ことを特徴とする塗布方法。 Supply the coating liquid to the slot die from the coating liquid supply section that holds and supplies the coating liquid,
Supplying the coating liquid from the slot die to the sheet-like substrate;
Supporting and running the substrate by a backup roller;
Measure the state of the backup roller,
A coating method, wherein the temperature of the coating liquid supply unit is controlled based on a difference between the measured measurement state of the backup roller and a predetermined reference state of the backup roller.
前記スロットダイからシート状の基材に塗布液を供給するステップと、
バックアップローラによって前記基材を支持および走行させるステップと、
前記バックアップローラの状態を計測するステップと、
計測した前記バックアップローラの計測状態と予め定めた前記バックアップローラの基準状態との差に基づいて前記塗布液供給部の温度を制御するステップと
を有することを特徴とする塗布プログラム。 Supplying the coating liquid to the slot die from the coating liquid supply section for holding and supplying the coating liquid;
Supplying a coating liquid from the slot die to a sheet-like substrate;
Supporting and running the substrate by a backup roller;
Measuring the state of the backup roller;
And a step of controlling the temperature of the coating liquid supply unit based on a difference between the measured measurement state of the backup roller and a predetermined reference state of the backup roller.
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