JP2017151290A - Color filter and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter that can effectively block leakage of light from a liquid crystal display that includes thick coloring pixels and thick overcoat layer.SOLUTION: A color filter is manufactured in the steps of: forming alignment marks on a translucent substrate with blue coloring pixels and material of blue coloring pixels; forming subsequently another coloring pixels; forming a first overcoat layer on the coloring pixels; forming a black matrix on the first overcoat layer by using the alignment marks; and forming a second overcoat layer.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、液晶表示装置に用いるカラーフィルタに関する。   The present invention relates to a color filter used in a liquid crystal display device.

液晶表示装置は、一対の透光性基板間に液晶を挟持して構成されている。一方の透光性基板上にはTFT等の駆動回路が形成され(以下、TFT基板と称する)、他方の透光性基板上には、ブラックマトリクス、着色画素等が形成されてカラーフィルタを構成している。   The liquid crystal display device is configured by sandwiching a liquid crystal between a pair of translucent substrates. A driving circuit such as a TFT is formed on one translucent substrate (hereinafter referred to as a TFT substrate), and a black matrix, colored pixels, etc. are formed on the other translucent substrate to constitute a color filter. doing.

着色画素が形成された透光性基板(以下、カラーフィルタと称する)は、一般的に赤・緑・青の三色からなる着色画素が、透光性基板上にストライプ状あるいはトライアングル配列等、適切なパターンで配置されるものである。先ず、透光性基板上に、着色画素を区画して混色を防止するための仕切り堰となるブラックマトリクスを形成する。ブラックマトリクス材料としては金属薄膜あるいは黒色の感光性樹脂組成物を用い、フォトリソグラフィー法によりパターン形成する。   A translucent substrate on which colored pixels are formed (hereinafter referred to as a color filter) is generally formed of three colors of red, green, and blue in a stripe or triangle arrangement on the translucent substrate. It is arranged in an appropriate pattern. First, a black matrix serving as a partition weir for partitioning colored pixels and preventing color mixture is formed on a light-transmitting substrate. As the black matrix material, a metal thin film or a black photosensitive resin composition is used, and a pattern is formed by a photolithography method.

続いて、緑色感光性樹脂組成物を塗布し、これもフォトリソグラフィー法により、例えばストライプ状にパターニングして緑色着色画素を形成する。この工程を、赤、青の感光性樹脂組成物に繰り返して、緑、赤、青の着色画素が配置されたカラーフィルタを得ることができる。   Subsequently, a green photosensitive resin composition is applied, and this is also patterned by, for example, stripes by a photolithography method to form green colored pixels. This process can be repeated for red and blue photosensitive resin compositions to obtain a color filter in which green, red and blue colored pixels are arranged.

ここで、隣接する着色画素同士が会合するブラックマトリクスの上部部分においては、ブラックマトリクス上に着色画素が乗り上げることによりツノ段差と呼ばれる突起による凹凸が生じる。そのブラックマトリクスの上部の着色画素の上に直接に透明導電層による透明電極が形成されると、断線してカラーフィルタ表面の電気抵抗値が上昇する可能性が高い。またこのような部分では応力が集中しやすいために、透明導電層の透明電極形成工程以降での加熱・冷却工程において、透明導電層にクラックが生じることによりパネル品質が低下することが予想される。   Here, in the upper part of the black matrix where adjacent colored pixels meet each other, the colored pixels run on the black matrix, thereby causing irregularities due to protrusions called horn steps. If a transparent electrode made of a transparent conductive layer is formed directly on the colored pixels above the black matrix, there is a high possibility that the electrical resistance value on the surface of the color filter will increase due to disconnection. Moreover, since stress tends to concentrate in such a part, in the heating / cooling process after the transparent electrode forming process of the transparent conductive layer, it is expected that the panel quality is deteriorated due to cracking in the transparent conductive layer. .

そこで、特許文献1の技術では、着色画素上を透明なオーバーコート層で被覆してツノ段差の凹凸を平坦化し、そのオーバーコート層の上に透明導電層を形成していた。   Therefore, in the technique of Patent Document 1, the colored pixels are covered with a transparent overcoat layer to flatten the unevenness of the horn step, and a transparent conductive layer is formed on the overcoat layer.

特開2002−228826号公報JP 2002-228826 A

しかし、このような液晶表示装置をノーマリホワイトモードで使用し、カラーフィルタやTFT基板の画素電極の間に電界を加えて色表示を行う際に、隣接する画素の両方で黒表示を行った場合に画素電極間に発生する横方向電界によって液晶層に光漏れ領域が発生する。   However, when such a liquid crystal display device is used in a normally white mode and color display is performed by applying an electric field between the color filter and the pixel electrode of the TFT substrate, black display is performed on both adjacent pixels. In some cases, a light leakage region is generated in the liquid crystal layer due to a lateral electric field generated between the pixel electrodes.

液晶表示装置を斜めから見た場合に、液晶層の光漏れ領域を通して隣接する色画素が観察されるために視認性が悪化する問題がある。この問題は、液晶層の光漏れ部分をブラックマトリクスで遮蔽することで解決する。しかし、液晶層の下の画素電極の下側のオーバーコート層の下の着色画素の更に下の層にブラックマトリクスが形成されていることが、液晶層とブラックマトリクスの高さの差を大きくする。   When the liquid crystal display device is viewed obliquely, adjacent color pixels are observed through the light leakage region of the liquid crystal layer, and thus there is a problem that visibility is deteriorated. This problem is solved by shielding the light leakage portion of the liquid crystal layer with a black matrix. However, the fact that the black matrix is formed in the layer below the colored pixel below the overcoat layer below the pixel electrode below the liquid crystal layer increases the difference in height between the liquid crystal layer and the black matrix. .

更に、近年は、液晶表示装置でより濃い色を表示するために、着色画素の厚さが増大する傾向にあり、それに伴い着色画素のツノ段差の凹凸も大きくなる傾向にある。そのため、そのツノ段差を被覆して平坦化するオーバーコート層の厚さも増大する傾向にある。   Further, in recent years, in order to display a darker color in a liquid crystal display device, the thickness of the colored pixel tends to increase, and accordingly, the unevenness of the horn step of the colored pixel tends to increase. Therefore, the thickness of the overcoat layer that covers and flattens the horn step also tends to increase.

液晶層とブラックマトリクスの高さの差を生じるオーバーコート層及び着色画素の厚さが厚くなってきているため、液晶層の光漏れ領域を、液晶表示装置を斜めから見た場合に液晶層の光漏れ領域を通して隣接する色画素が観察されて視認性が悪化する問題が大きくなってきている。   Since the thickness of the overcoat layer and the colored pixels that cause a difference in height between the liquid crystal layer and the black matrix has increased, the light leakage region of the liquid crystal layer can be seen when the liquid crystal display device is viewed obliquely. The problem that visibility is deteriorated due to the observation of adjacent color pixels through the light leakage region is increasing.

本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、着色画素の厚さとオーバーコート層の厚さが厚い液晶表示装置の光漏れを効果的に遮蔽できるカラーフィルタを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a color filter capable of effectively shielding light leakage of a liquid crystal display device in which the thickness of a colored pixel and the thickness of an overcoat layer are large. There is.

上記課題を解決するために、本発明は、
透光性基板上に順次に、複数の着色画素から成る着色画素層、第1のオーバーコート層、ブラックマトリクス、第2のオーバーコート層が形成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
In order to solve the above problems, the present invention provides:
A color filter in which a colored pixel layer including a plurality of colored pixels, a first overcoat layer, a black matrix, and a second overcoat layer are sequentially formed on a translucent substrate.

本発明は、この構成により、液晶表示装置の光漏れを効果的に遮蔽できるカラーフィルタが得られる効果がある。   The present invention has an effect that a color filter capable of effectively shielding light leakage of the liquid crystal display device can be obtained by this configuration.

また、本発明は、上記のカラーフィルタであって、前記第2のオーバーコート層の上に透明電極層、スペーサが順次に形成されていることを特徴とするカラーフィルタである。   The present invention is the color filter described above, wherein a transparent electrode layer and a spacer are sequentially formed on the second overcoat layer.

また、本発明は、上記のカラーフィルタであって、前記第2のオーバーコート層の上にスペーサが形成されていることを特徴とするカラーフィルタである。   The present invention is the color filter described above, wherein a spacer is formed on the second overcoat layer.

また、本発明は、カラーフィルタの製造方法であって、透光性基板上に青色着色画素と青色着色画素の材料でアライメントマークを形成する工程と、次に、その他の着色画素を形成する工程と、前記着色画素の上に第1のオーバーコート層を形成する工程と、前記第1のオーバーコート層上に、前記アライメントマークを用いて位置を合わせてブラックマトリクスを形成する工程と、第2のオーバーコート層を形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   The present invention is also a method for manufacturing a color filter, the step of forming an alignment mark with a blue colored pixel and a material of the blue colored pixel on a translucent substrate, and then the step of forming another colored pixel. A step of forming a first overcoat layer on the colored pixels, a step of forming a black matrix on the first overcoat layer using the alignment marks, and a second step. A method for producing a color filter, comprising the step of forming an overcoat layer.

また、本発明は、上記のカラーフィルタの製造方法であって、前記第2のオーバーコート層の上に透明導電層、スペーサを順次形成する工程又は、スペーサを形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   In addition, the present invention is a method for manufacturing the above color filter, which includes a step of sequentially forming a transparent conductive layer and a spacer on the second overcoat layer, or a step of forming a spacer. This is a method for manufacturing a color filter.

本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置の液晶層の高さに近い高い位置にブラックマトリクスを持つカラーフィルタを製造することで、液晶表示装置の光漏れを効果的に遮蔽できるカラーフィルタが得られる効果がある。   According to the color filter of the present invention, a color filter having a black matrix at a high position close to the height of the liquid crystal layer of the liquid crystal display device can be obtained, thereby obtaining a color filter capable of effectively shielding light leakage of the liquid crystal display device. effective.

また、本発明は、透明導電層を形成する下地として、ブラックマトリクスの上に第2のオーバーコート層を形成してブラックマトリクスを透明導電層5に直接に触れないようにすることで、第2のオーバーコート層の上の透明導電層とブラックマトリクスの絶縁性を良くできる効果がある。   Further, the present invention provides a second overcoat layer on the black matrix as a base for forming the transparent conductive layer so that the black matrix does not directly touch the transparent conductive layer 5. This has the effect of improving the insulation between the transparent conductive layer on the overcoat layer and the black matrix.

特に本発明は、ブラックマトリクスを第2のオーバーコート層によって透明導電層5から絶縁する構成を持つので、従来は絶縁性を悪化させるため使用できなかったカーボン濃度が高い遮光性の高いブラックマトリクスを使ってブラックマトリクスの遮光性を高くしたカラーフィルタを構成することができる効果がある。   In particular, the present invention has a structure in which the black matrix is insulated from the transparent conductive layer 5 by the second overcoat layer. Therefore, a black matrix having a high carbon concentration and a high carbon concentration, which could not be used to deteriorate the insulation, is used. There is an effect that it is possible to construct a color filter having a black matrix with a high light shielding property.

本発明の実施形態のカラーフィルタの製造方法を説明する断面図(その1)である。It is sectional drawing (the 1) explaining the manufacturing method of the color filter of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のカラーフィルタの製造方法を説明する断面図(その2)である。It is sectional drawing (the 2) explaining the manufacturing method of the color filter of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のカラーフィルタの製造方法を説明する断面図(その3)である。It is sectional drawing (the 3) explaining the manufacturing method of the color filter of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のカラーフィルタの製造方法を説明する断面図(その4)である。It is sectional drawing (the 4) explaining the manufacturing method of the color filter of embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。
<第1の実施形態>
図3(b)及び図4は、本発明の第1の実施形態に係わるカラーフィルタの断面図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
<First Embodiment>
3B and 4 are sectional views of the color filter according to the first embodiment of the present invention.

図3のカラーフィルタの断面図において、1は透光性基板、2は着色画素であり、透光性基板1上に形成し、所定領域に区画して形成する。着色画素2のうち、青色着色画素を2B、赤色着色画素を2R、緑色着色画素を2Gと区別して符号を付す。   In the cross-sectional view of the color filter shown in FIG. 3, 1 is a translucent substrate, 2 is a colored pixel, which is formed on the translucent substrate 1 and divided into predetermined regions. Of the colored pixels 2, the blue colored pixels are distinguished from 2B, the red colored pixels are differentiated from 2R, and the green colored pixels are distinguished from 2G, and are denoted by reference numerals.

図3において、3は透明な第1のオーバーコート層であり、着色画素2上に形成する。4はこの第1のオーバーコート層3上に形成されたブラックマトリクスであり、着色画素2の色の区画の境界部分を遮光する。5はITO等からなる透明導電層であり、ブラックマトリクス4の上面か、又は、ブラックマトリクス4の上の第2のオーバーコート層6の上に形成する。PSはフォトスペーサであり、透明導電層5の上に形成する。これらによりカラーフィルタを構成する。   In FIG. 3, 3 is a transparent first overcoat layer, which is formed on the colored pixels 2. Reference numeral 4 denotes a black matrix formed on the first overcoat layer 3, which shields the border between the colored sections of the colored pixels 2. A transparent conductive layer 5 made of ITO or the like is formed on the upper surface of the black matrix 4 or on the second overcoat layer 6 on the black matrix 4. PS is a photo spacer and is formed on the transparent conductive layer 5. These constitute a color filter.

この構成のカラーフィルタを製造することで、透明導電層5に近い高さのブラックマトリクス4を持つカラーフィルタが得られる。それにより、液晶表示装置の光漏れを、ブラックマトリクス4の幅を広げずに効果的に遮蔽できるカラーフィルタが得られる効果がある。   By manufacturing a color filter having this configuration, a color filter having a black matrix 4 having a height close to that of the transparent conductive layer 5 can be obtained. Thereby, there is an effect that a color filter capable of effectively shielding light leakage of the liquid crystal display device without widening the width of the black matrix 4 is obtained.

ここで、例えば膜厚が2.5μmの着色画素2上に膜厚1.5μmの第1のオーバーコート層3を形成し、その上に膜厚が1.3μmのブラックマトリクス4を形成する。それにより、膜厚が2.5μmの着色画素2B、2R、2Gの各色画素の端部の重なりにより生じる1μm〜1.5μm程度の凹凸が0.3μm以下まで平坦化される。   Here, for example, a first overcoat layer 3 having a thickness of 1.5 μm is formed on the colored pixel 2 having a thickness of 2.5 μm, and a black matrix 4 having a thickness of 1.3 μm is formed thereon. Thereby, the unevenness of about 1 μm to 1.5 μm caused by the overlapping of the end portions of the color pixels 2B, 2R, and 2G having a film thickness of 2.5 μm is flattened to 0.3 μm or less.

その様に平坦化された第1のオーバーコート層3の上にブラックマトリクス4を形成することで、着色画素2上に直接にブラックマトリクス4を形成する場合に生じるブラックマトリクス4の膜厚のバラツキやブラックマトリクス4の線幅が局所的に細る線幅むらを無くすことができる効果がある。   By forming the black matrix 4 on the first overcoat layer 3 flattened in this manner, the film thickness variation of the black matrix 4 generated when the black matrix 4 is formed directly on the colored pixels 2. Further, there is an effect that it is possible to eliminate the uneven line width in which the line width of the black matrix 4 is locally thin.

透光性基板1の材料は、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダガラスなどの無機ガラス、PET、PES、PCなどのプラスチック基板、又はこれらガラス基板やプラスチッ
ク基板上に、酸化シリコンや酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸窒化シリコンなどの無機薄膜を成膜したものを、使用の目的・用途に応じて使い分けて用いることができる。
The material of the light-transmitting substrate 1 is inorganic glass such as quartz glass, borosilicate glass and soda glass, plastic substrate such as PET, PES, and PC, or silicon oxide, aluminum oxide, nitride on these glass substrate and plastic substrate. A film formed by depositing an inorganic thin film such as silicon or silicon oxynitride can be used depending on the purpose and application of use.

(着色画素2の材料)
着色画素2の材料は、複数色の着色画素2B、2R、2Gから構成し、色としては、赤、緑、青(RGB)の組み合わせあるいはイエロー、マゼンダ、シアン(YMC)の組み合わせが挙げられる。これに加え、明度を上げるために着色画素の一部を透明な画素とすることができる。
(Material for coloring pixel 2)
The material of the colored pixel 2 is composed of a plurality of colored pixels 2B, 2R, and 2G, and examples of the color include a combination of red, green, and blue (RGB) or a combination of yellow, magenta, and cyan (YMC). In addition, some of the colored pixels can be made transparent to increase the brightness.

着色画素2の上には第1のオーバーコート層3を形成し、その第1のオーバーコート層3の上にブラックマトリクス4を形成する。ブラックマトリクス4は、例えば、第1のオーバーコート層3上に黒色の感光性樹脂組成物を塗布、乾燥した後に、フォトマスクを用いて所定のパターンに露光し、現像およびポストベークを行うことで形成する。   A first overcoat layer 3 is formed on the colored pixels 2, and a black matrix 4 is formed on the first overcoat layer 3. The black matrix 4 is obtained by, for example, applying a black photosensitive resin composition on the first overcoat layer 3 and drying it, then exposing to a predetermined pattern using a photomask, and performing development and post-baking. Form.

ブラックマトリクス4及び着色画素2形成用の感光性着色樹脂組成物は、透明樹脂中に、着色剤となる顔料、光開始剤、重合性モノマー等を適切な溶剤により分散させて製造する。   The photosensitive colored resin composition for forming the black matrix 4 and the colored pixels 2 is produced by dispersing a pigment serving as a colorant, a photoinitiator, a polymerizable monomer, and the like in a transparent resin with an appropriate solvent.

本実施形態に用いることができる感光性着色樹脂組成物の原材料の一例を説明する。
(ブラックマトリクス4の遮光材料)
ブラックマトリクス4の遮光材としては、カーボンブラック、酸化チタン、酸窒化チタンなどの金属酸化物や顔料、その他既知の遮光材料を用いることができる。また、遮光層の色調を調整するために、以下に示す補色の着色顔料を必要に応じて混合してもよい。
An example of the raw material of the photosensitive colored resin composition that can be used in this embodiment will be described.
(Black matrix 4 shading material)
As the light shielding material of the black matrix 4, metal oxides such as carbon black, titanium oxide, and titanium oxynitride, pigments, and other known light shielding materials can be used. Moreover, in order to adjust the color tone of the light shielding layer, the following complementary color pigments may be mixed as necessary.

(着色画素2の着色顔料)
青色着色組成物には、例えばC.I.Pigment Blue 15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、80等の青色顔料、好ましくはC.I.Pigment Blue 15:6を用いることができる。また、青色着色組成物には、C.I.PigmentViolet 1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50等の紫色顔料、好ましくはC.I.PigmentViolet 23を添加併用することができる。
(Colored pigment of colored pixel 2)
Examples of the blue coloring composition include C.I. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 80, etc., preferably C.I. I. Pigment Blue 15: 6 can be used. In addition, C.I. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 42, 50 and the like, preferably C.I. I. PigmentViolet 23 can be used in combination.

赤色着色画素もしくは赤色画素を形成するための赤色着色組成物には、例えばC.I.PigmentRed 7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、279等の赤色顔料を用いることができる。赤色着色組成物には、黄色顔料、橙色顔料を添加併用することができる。   Examples of red coloring pixels or red coloring compositions for forming red pixels include C.I. I. PigmentRed 7, 9, 14, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 97, 122, 123, 146, 149, 168, 177 178, 179, 180, 184, 185, 187, 192, 200, 202, 208, 210, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 246, 254, 255, 264 Red pigments such as 272, 279 can be used. A yellow pigment and an orange pigment can be used in combination with the red coloring composition.

黄色顔料としてはC.I.Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、144、146、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等が挙げられる。橙色顔料としてはC.I.PigmentOrange 36、43、51、55、59、61、71、73等が挙げられる。   Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 144, 146, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 1 3,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214, and the like. Examples of orange pigments include C.I. I. Pigment Orange 36, 43, 51, 55, 59, 61, 71, 73 and the like.

緑色着色組成物には、例えばC.I.Pigment Green 7、10、36、37等の緑色顔料を用いることができる。緑色着色組成物には赤色着色組成物と同様の黄色顔料を添加併用することができる。   Examples of the green coloring composition include C.I. I. Green pigments such as Pigment Green 7, 10, 36, and 37 can be used. The green coloring composition can be used in combination with the same yellow pigment as the red coloring composition.

また、上記着色組成物あるいは有機顔料と組み合わせて、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、無機顔料を組み合わせて用いることも可能である。無機顔料としては、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉等が挙げられる。さらに、調色のため、耐熱性を低下させない範囲で染料を含有させることができる。   In combination with the above-described coloring composition or organic pigment, an inorganic pigment can also be used in combination in order to ensure good coatability, sensitivity, developability and the like while balancing saturation and lightness. Inorganic pigments include yellow lead, zinc yellow, red bean (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine, bitumen, chromium oxide green, cobalt green and other metal oxide powders, metal sulfide powders, metal powders, etc. Can be mentioned. Furthermore, for color matching, a dye can be contained in a range that does not lower the heat resistance.

(第1のオーバーコート層3)
第1のオーバーコート層3の材料は、可視光領域の400〜700nmの波長領域において透過率が好ましくは80%以上、より好ましくは95%以上の樹脂を用いる。第1のオーバーコート層3には、例えばアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ポリイミド系樹脂、プロピニル系樹脂等を用いることができる。
(First overcoat layer 3)
As the material of the first overcoat layer 3, a resin having a transmittance of preferably 80% or more, more preferably 95% or more in the wavelength region of 400 to 700 nm in the visible light region is used. For the first overcoat layer 3, for example, an acrylic resin, an epoxy resin, a vinyl ether resin, a polyimide resin, a propynyl resin, or the like can be used.

また、第1のオーバーコート層3の膜厚は、透過光用領域の着色画素2上の平坦性確保および着色画素2の保護が可能な厚さに形成する。例えば膜厚2.5μmの着色画素2を形成した場合は、RGBパターン同士の重なり量にもよるが、1μmから1.5μm程度の着色画素2の凹凸が発生する場合がある。   Further, the first overcoat layer 3 is formed to have a thickness capable of ensuring flatness on the colored pixels 2 in the transmitted light region and protecting the colored pixels 2. For example, when the colored pixel 2 having a film thickness of 2.5 μm is formed, the unevenness of the colored pixel 2 of about 1 μm to 1.5 μm may occur, depending on the amount of overlap between the RGB patterns.

例えば膜厚1.3μmのブラックマトリクス4のパターンを直接に、着色画素2上に形成すると、下地の着色画素2の凹凸具合によってブラックマトリクス4の膜厚がばらつく原因になる。もし下地の着色画素2の高さが局所的に高い部分があると、ブラックマトリクス用の感光性樹脂組成物を塗布した際に、その塗布膜の表面高さの平坦化作用によって、その部分のブラックマトリクス用の感光性樹脂組成物の塗布膜厚が薄くなってしまう。ブラックマトリクス用の感光性樹脂組成物の塗布膜厚が薄いと、現像が進み易くなるため、その部分のブラックマトリクス4のパターンの線幅が局所的に細くなるブラックマトリクス4のパターンの線幅むらの原因になってしまう。   For example, if the pattern of the black matrix 4 having a film thickness of 1.3 μm is formed directly on the colored pixel 2, the film thickness of the black matrix 4 varies due to the unevenness of the underlying colored pixel 2. If there is a portion where the height of the colored pixel 2 as a base is locally high, when the photosensitive resin composition for black matrix is applied, the surface height of the coating film is flattened so that The coating film thickness of the photosensitive resin composition for black matrix will become thin. When the coating film thickness of the photosensitive resin composition for the black matrix is thin, the development proceeds easily, so that the line width of the pattern of the black matrix 4 in that portion becomes locally narrow. It becomes the cause of.

第1のオーバーコート層3の膜厚は、厚いほど表面の平坦性は良くなるが、1μmから1.5μm程度の着色画素2の凹凸がある場合に、膜厚1.5μmの第1のオーバーコート層3を形成することで、第1のオーバーコート層3の表面の凹凸を概ね0.3μm以下まで平坦化することができる。   As the film thickness of the first overcoat layer 3 is increased, the surface flatness is improved. However, when the unevenness of the colored pixel 2 is about 1 μm to 1.5 μm, the first overcoat layer 3 has a film thickness of 1.5 μm. By forming the coat layer 3, the unevenness of the surface of the first overcoat layer 3 can be planarized to approximately 0.3 μm or less.

(ブラックマトリクス4)
この第1のオーバーコート層3の上に、膜厚1.3μmのブラックマトリクス4のパターンを形成する。このブラックマトリクス4により、着色画素2の色の区画の境界部分を遮光する。
(Black Matrix 4)
On the first overcoat layer 3, a pattern of a black matrix 4 having a film thickness of 1.3 μm is formed. The black matrix 4 shields the border between the color sections of the colored pixels 2.

(第2のオーバーコート層6)
このブラックマトリクス4の上に、第2のオーバーコート層6を形成する。この、第2のオーバーコート層6を省略して、ITO等からなる透明導電層5を直接、ブラックマトリクス4の上に形成することもできるが、第2のオーバーコート層6を形成することが望ましい。ブラックマトリクス4の上に、膜厚1.5μmの第2のオーバーコート層6を形成する。この第2のオーバーコート層6によって、その表面の凹凸を概ね0.2μm以下
まで平坦化することができる。
(Second overcoat layer 6)
A second overcoat layer 6 is formed on the black matrix 4. The second overcoat layer 6 can be omitted, and the transparent conductive layer 5 made of ITO or the like can be formed directly on the black matrix 4, but the second overcoat layer 6 can be formed. desirable. A second overcoat layer 6 having a thickness of 1.5 μm is formed on the black matrix 4. The second overcoat layer 6 can flatten the surface irregularities to approximately 0.2 μm or less.

透明導電層5を形成する下地として、ブラックマトリクス4の上に第2のオーバーコート層6を形成することで、ブラックマトリクス4を、下層の第1のオーバーコート層3と上層の第2のオーバーコート層6で挟んで透明導電層5と直接に触れないようにすることができる。それにより、第2のオーバーコート層6の上の透明導電層5とブラックマトリクス4の絶縁性が良くなる効果がある。   By forming a second overcoat layer 6 on the black matrix 4 as a base for forming the transparent conductive layer 5, the black matrix 4 is separated from the lower first overcoat layer 3 and the upper second overcoat layer 3. The transparent conductive layer 5 can be prevented from being directly touched by being sandwiched between the coat layers 6. Thereby, there is an effect that the insulating property between the transparent conductive layer 5 on the second overcoat layer 6 and the black matrix 4 is improved.

そのように、ブラックマトリクス4が、第2のオーバーコート層6により透明導電層5から絶縁されるので、ブラックマトリクス4にカーボン濃度が高い遮光性の高い材料を使えることができ、ブラックマトリクス4の遮光性を高くすることができる効果がある。   As described above, since the black matrix 4 is insulated from the transparent conductive layer 5 by the second overcoat layer 6, a material having a high carbon concentration and a high light shielding property can be used for the black matrix 4. There is an effect that the light shielding property can be increased.

(透明導電層5)
この第2のオーバーコート層6上に、ITO等からなる透明導電層5を形成する。透明導電層5を構成する透明導電材には特に限定はなく、従来のカラーフィルタに用いられている周知の素材、例えばITO(酸化インジウムスズ)が好適に用いられる。
(Transparent conductive layer 5)
A transparent conductive layer 5 made of ITO or the like is formed on the second overcoat layer 6. The transparent conductive material constituting the transparent conductive layer 5 is not particularly limited, and a known material used for a conventional color filter, for example, ITO (indium tin oxide) is preferably used.

(フォトスペーサPS)
透明導電層5の上に形成するフォトスペーサPSを構成する材質としては、熱フロー性を有する感光性ネガ型レジストが好適に用いられる。この感光性ネガ型レジストは、例えばアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、及び重合性モノマーを主成分とするアクリル系感光性樹脂組成物である。より、熱フロー性を富ませる為に、TG(ガラス転移点)の低い樹脂による処方やモノマー量を減らす処方としてもよい。あるいは、熱フロー性を有する感光性ポジ型レジストを用いてもよい。
(Photospacer PS)
As a material constituting the photo spacer PS formed on the transparent conductive layer 5, a photosensitive negative resist having a heat flow property is preferably used. This photosensitive negative resist is, for example, an acrylic photosensitive resin composition mainly composed of an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a polymerizable monomer. In order to further enhance the heat flow property, a prescription with a resin having a low TG (glass transition point) or a prescription for reducing the monomer amount may be used. Alternatively, a photosensitive positive resist having a heat flow property may be used.

(製造方法)
次に、図1〜図3を参照して、本実施形態のカラーフィルタの製造方法について説明する。
(Production method)
Next, with reference to FIGS. 1-3, the manufacturing method of the color filter of this embodiment is demonstrated.

(工程1)
先ず、図1(a)の様な透光性基板1の上に着色画素2を図1(b)の様に形成する。
(Process 1)
First, the colored pixels 2 are formed on the translucent substrate 1 as shown in FIG. 1A as shown in FIG.

着色画素2の形成方法は、スリットコート法やスピンコート法、ロールコート法などの塗布法で着色画素2を形成し、その後フォトリソグラフィー法によりパターニングするか、インクジェット法や、グラビア印刷法、フレキソ印刷法などの方法が使用できる。   The colored pixel 2 is formed by forming the colored pixel 2 by a coating method such as a slit coating method, a spin coating method, or a roll coating method, and then patterning by a photolithography method, an ink jet method, a gravure printing method, or a flexographic printing method. A method such as a method can be used.

しかし、高精細、分光特性の制御性及び再現性等を考慮すれば、以下の様にフォトリソグラフー法で着色画素2を形成することが最も望ましい。   However, considering high definition, controllability and reproducibility of spectral characteristics, it is most desirable to form the colored pixels 2 by the photolithographic method as follows.

すなわち、先ず、図1(a)の様な透光性基板1の上に、透明な樹脂中に顔料、光開始剤、重合性モノマー等と共に適当な溶剤に分散させた青色のネガ型感光性樹脂組成物を塗布、乾燥した後に、青色着色画素のパターンに対応した開口部を有するフォトマスクを用いてパターン露光し、定法の現像及びポストベーク処理を施すことで、図1(b)の様に青色着色画素2Bを形成する。   That is, first, a blue negative photosensitive material dispersed on a translucent substrate 1 as shown in FIG. 1A in a suitable solvent together with a pigment, a photoinitiator, a polymerizable monomer, etc. in a transparent resin. After the resin composition is applied and dried, pattern exposure is performed using a photomask having an opening corresponding to the pattern of the blue colored pixels, and normal development and post-bake treatment are performed, as shown in FIG. The blue colored pixels 2B are formed.

ここで、最初に青色着色画素2Bを形成する事が望ましい。そうすることで、青色着色画素2Bによるアライメントマークが最初に形成される。その青色着色画素2Bの材料によるアライメントマークを、第2色目以降に形成するパターンの位置合わせの基準にする。そうすることで、青色着色画素2Bによるアライメントマークの視認性が良いので、第2色目以降に形成するパターンを露光する露光装置のアライメントカメラで読み取るアライメントマークの認識精度が向上する効果がある。   Here, it is desirable to form the blue colored pixel 2B first. By doing so, the alignment mark by the blue colored pixel 2B is formed first. The alignment mark made of the material of the blue colored pixel 2B is used as a reference for alignment of patterns to be formed after the second color. By doing so, since the visibility of the alignment mark by the blue colored pixel 2B is good, there is an effect of improving the recognition accuracy of the alignment mark read by the alignment camera of the exposure apparatus that exposes the pattern formed after the second color.

以下、同一の手順を繰り返すことにより、図1(c)の様に赤色着色画素2Rを形成し、次に、図1(d)の様に緑色着色画素2Gを形成する。場合によっては透明画素も形成することができる。   Thereafter, by repeating the same procedure, a red colored pixel 2R is formed as shown in FIG. 1C, and then a green colored pixel 2G is formed as shown in FIG. 1D. In some cases, transparent pixels can also be formed.

透光性基板1上への着色画素2の各色の塗布膜厚は、分光透過率などを考慮すると通常はプリベーク後の膜厚で1〜3μm程度である。現像液にはアルカリ性水溶液を用いる。アルカリ性水溶液の例としては、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液、または両者の混合水溶液、もしくはそれらに適当な界面活性剤などを加えたものが挙げられる。現像後、水洗、乾燥して特定色の着色画素2が得られる。   The coating film thickness of each color of the colored pixel 2 on the translucent substrate 1 is usually about 1 to 3 μm after pre-baking considering the spectral transmittance and the like. An alkaline aqueous solution is used as the developer. Examples of the alkaline aqueous solution include a sodium carbonate aqueous solution, a sodium hydrogen carbonate aqueous solution, a mixed aqueous solution of the two, or a mixture obtained by adding an appropriate surfactant to them. After development, washed with water and dried to obtain a colored pixel 2 of a specific color.

こうして、最初に青色着色画素2Bを形成した複数の着色画素2から成る着色画素層では、青色着色画素2Bの端部が他の全ての色の着色画素2の端部よりも最も下側の透光性基板1側に形成される。すなわち、着色画素層において、青色着色画素2Bのパターンの端部が透光性基板1に密着して形成され、他の全ての色の着色画素の端部よりも下側に形成される特徴がある。   In this way, in the colored pixel layer composed of the plurality of colored pixels 2 in which the blue colored pixel 2B is first formed, the end of the blue colored pixel 2B is the lowermost transparent portion than the ends of the colored pixels 2 of all other colors. It is formed on the optical substrate 1 side. That is, in the colored pixel layer, the end of the pattern of the blue colored pixel 2B is formed in close contact with the translucent substrate 1, and is formed below the end of the colored pixels of all other colors. is there.

(工程2)
<第1のオーバーコート層3(第1の平坦化層)の形成>
次に、図1(e)の様に、着色画素2上に、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ポリイミド系樹脂、プロピニル系樹脂等の第1のオーバーコート層3用の透明樹脂を塗布し、90℃で5分間乾燥し、高圧水銀灯の光を照射して露光し、ポストベークして硬化させて第1のオーバーコート層3を形成する。
(Process 2)
<Formation of first overcoat layer 3 (first planarization layer)>
Next, as shown in FIG. 1E, a transparent resin for the first overcoat layer 3 such as an acrylic resin, an epoxy resin, a vinyl ether resin, a polyimide resin, or a propynyl resin is formed on the colored pixel 2. Is applied, dried at 90 ° C. for 5 minutes, irradiated with light from a high-pressure mercury lamp, exposed, post-baked and cured to form the first overcoat layer 3.

(工程3)
<ブラックマトリクス4の形成>
次に、図2(f)の様に、第1のオーバーコート層3の上に、黒色の感光性樹脂組成物を塗布、乾燥した後に、フォトマスクを用いて所定のパターンに露光し、現像およびポストベークを行うことで、ブラックマトリクス4を形成する。
(Process 3)
<Formation of black matrix 4>
Next, as shown in FIG. 2 (f), a black photosensitive resin composition is applied on the first overcoat layer 3, dried, and then exposed to a predetermined pattern using a photomask and developed. And the black matrix 4 is formed by performing post-baking.

ブラックマトリクス4の膜厚は、含有するカーボンブラック量から必要な光学濃度を見積もり所望の膜厚に設定することが望ましく、一般には、およそ1〜2μm程度である。ブラックマトリクス4の形成方法としては、スピンコート法やスリットコート法、スピンレス法などの塗布法を用いて塗布した後に、上記定法のフォトリソグラフィー法を用いてパターニングするか、インクジェット法、印刷法などを用いて直接にパターン形成をすることも可能である。   The film thickness of the black matrix 4 is desirably set to a desired film thickness by estimating the required optical density from the amount of carbon black contained, and is generally about 1 to 2 μm. The black matrix 4 can be formed by applying a coating method such as a spin coating method, a slit coating method, or a spinless method, followed by patterning using the photolithography method as described above, or using an inkjet method or a printing method. It is also possible to form a pattern directly using it.

(工程4)
<第2のオーバーコート層6(平坦化層)の形成>
次に、図2(g)の様に、第1のオーバーコート層3とブラックマトリクス4の上に、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ポリイミド系樹脂、プロピニル系樹脂等の第1のオーバーコート層3用の透明樹脂を塗布し、90℃で5分間乾燥し、高圧水銀灯の光を照射して露光し、ポストベークして硬化させて第2のオーバーコート層6を形成する。
(Process 4)
<Formation of Second Overcoat Layer 6 (Planarization Layer)>
Next, as shown in FIG. 2G, on the first overcoat layer 3 and the black matrix 4, a first resin such as an acrylic resin, an epoxy resin, a vinyl ether resin, a polyimide resin, or a propynyl resin is used. A transparent resin for the overcoat layer 3 is applied, dried at 90 ° C. for 5 minutes, exposed to light from a high-pressure mercury lamp, exposed, post-baked and cured to form the second overcoat layer 6.

(工程5)
<透明導電層5の形成>
次に、図3(a)の様に、第2のオーバーコート層6の上面に、例えばITOからなる透明導電層5を形成する。
(Process 5)
<Formation of transparent conductive layer 5>
Next, as shown in FIG. 3A, the transparent conductive layer 5 made of, for example, ITO is formed on the upper surface of the second overcoat layer 6.

ただし、この工程は、TFT基板側に2つの電極を付け、カラーフィルタ側には透明導電層5を形成しないIPS(In-Plane-Switching)方式の液晶表示装置用のカラーフィルタでは省略する。   However, this step is omitted for a color filter for an IPS (In-Plane-Switching) type liquid crystal display device in which two electrodes are provided on the TFT substrate side and the transparent conductive layer 5 is not formed on the color filter side.

(フォトスペーサPSの形成)
次に、図3(b)の様に、透明導電層5の上に、又は、図4の様に、第2のオーバーコート層6の上に、以下の様にしてフォトスペーサPSを形成する。
(Formation of photo spacer PS)
Next, a photo spacer PS is formed on the transparent conductive layer 5 as shown in FIG. 3B or on the second overcoat layer 6 as shown in FIG. 4 as follows. .

すなわち、透明導電層5の上に、又は、第2のオーバーコート層6の上に、熱フロー性を有する感光性ネガ型レジストを塗布し、減圧乾燥及びプリベーク処理を行うことで、図3(b)又は、図4に示すように、透明導電層5の上面に感光性レジスト材料層を形成する。プリベーク処理の条件は、一例として80℃〜120℃、処理時間は90秒〜240秒とされる。   That is, a photosensitive negative resist having a heat flow property is applied on the transparent conductive layer 5 or the second overcoat layer 6, and dried under reduced pressure and prebaked to obtain FIG. b) Alternatively, as shown in FIG. 4, a photosensitive resist material layer is formed on the upper surface of the transparent conductive layer 5. As an example, the pre-bake treatment conditions are 80 to 120 ° C., and the treatment time is 90 to 240 seconds.

この感光性レジスト材料層に、露光機によりフォトスペーサPSのパターンを露光し、アルカリ現像液によって現像し、未露光部分を除去する。その後、オーブン焼成を行うことにより、図3(b)のようにフォトスペーサPSをカラーフィルタの透明導電層5の上、又は、第2のオーバーコート層6の上に形成する。   The photosensitive resist material layer is exposed to a pattern of a photo spacer PS by an exposure machine, developed with an alkaline developer, and an unexposed portion is removed. Thereafter, oven baking is performed to form the photo spacers PS on the transparent conductive layer 5 of the color filter or the second overcoat layer 6 as shown in FIG.

また、IPS方式の液晶表示装置用のカラーフィルタでは、図4に示すようなフォトスペーサPSを第2のオーバーコート層6の上に形成する。   Further, in a color filter for an IPS liquid crystal display device, a photo spacer PS as shown in FIG. 4 is formed on the second overcoat layer 6.

フォトスペーサPSは、第1のオーバーコート層3上方に形成する事が望ましい。オーブン焼成の条件は、一例として220℃〜240℃、15分〜30分にする。   The photo spacer PS is desirably formed above the first overcoat layer 3. The oven baking conditions are, for example, 220 ° C. to 240 ° C. and 15 minutes to 30 minutes.

1・・・透光性基板
2・・・着色画素
2B・・・(青色)着色画素
2R・・・(赤色)着色画素
2G・・・(緑色)着色画素
3・・・第1のオーバーコート層
4・・・ブラックマトリクス
5・・・透明導電層
6・・・第2のオーバーコート層
PS・・・フォトスペーサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Translucent substrate 2 ... Colored pixel 2B ... (Blue) colored pixel
2R ... (red) colored pixel 2G ... (green) colored pixel 3 ... first overcoat layer 4 ... black matrix 5 ... transparent conductive layer 6 ... second overcoat Layer PS ... Photo spacer

Claims (5)

透光性基板上に順次に、複数の着色画素から成る着色画素層、第1のオーバーコート層、ブラックマトリクス、第2のオーバーコート層が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。   A color filter, wherein a colored pixel layer composed of a plurality of colored pixels, a first overcoat layer, a black matrix, and a second overcoat layer are sequentially formed on a translucent substrate. 前記第2のオーバーコート層の上に透明電極層、スペーサが順次に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ。   The color filter according to claim 1, wherein a transparent electrode layer and a spacer are sequentially formed on the second overcoat layer. 前記第2のオーバーコート層の上にスペーサが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ。   The color filter according to claim 1, wherein a spacer is formed on the second overcoat layer. カラーフィルタの製造方法であって、透光性基板上に青色着色画素と青色着色画素の材料でアライメントマークを形成する工程と、次に、その他の着色画素を形成する工程と、前記着色画素の上に第1のオーバーコート層を形成する工程と、前記第1のオーバーコート層上に、前記アライメントマークを用いて位置を合わせてブラックマトリクスを形成する工程と、第2のオーバーコート層を形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   A method of manufacturing a color filter, the step of forming an alignment mark with a material of a blue colored pixel and a blue colored pixel on a translucent substrate, the step of forming another colored pixel, Forming a first overcoat layer thereon, forming a black matrix on the first overcoat layer by aligning the positions using the alignment marks, and forming a second overcoat layer A process for producing a color filter comprising the step of: 請求項4記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記第2のオーバーコート層の上に透明導電層、スペーサを順次形成する工程又は、スペーサを形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   5. The color filter manufacturing method according to claim 4, comprising a step of sequentially forming a transparent conductive layer and a spacer on the second overcoat layer, or a step of forming a spacer. Manufacturing method.
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