JP2017145493A - Metal powder production apparatus - Google Patents

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裕樹 兼田
Hiroki Kaneda
裕樹 兼田
啓義 大高
Hiroyoshi Otaka
啓義 大高
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a metal powder production apparatus capable of producing a metal powder in which unintentional compositional changes are decreased and particles are sufficiently made spherical.SOLUTION: A metal powder production apparatus 1 (metal powder production apparatus of the present invention) includes: a molten metal supply part 2 for allowing a molten metal Q to flow down; a cylindrical body 3 having an upper part 31 where an angle θ1 formed by an axial line A1 and a vertical line is 0° or more and 20° or less, and a lower part 32 where an angle θ2 formed by an axial line A2 and the vertical line is larger than the angle θ1; a fluid jet part 5 for jetting a gas G (fluid) toward the molten metal Q; and a cooling liquid flow-out part 4 for allowing a cooling liquid S to flow out along an inner circumferential surface of the upper part 31. A vertical flying distance of a droplet Q1 formed by collision of the molten metal Q with the gas G is 1.5 times or more and 20 times or less of an inner diameter d1 of the upper part 31.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、金属粉末製造装置に関するものである。   The present invention relates to a metal powder manufacturing apparatus.

従来、いわゆる水アトマイズ法を用いて金属粉末を製造する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a method for producing metal powder using a so-called water atomization method is known (for example, see Patent Document 1).

特許文献1に記載されている金属粉末の製造方法では、溶融金属粒に対し液体流を吹き付けて噴霧する液体噴霧法として、水アトマイズ法が用いられている。水アトマイズ法では、噴霧後の冷却速度が速いため、溶融金属が表面張力によって球形化する前に固化させることができる。このため、得られた粉末は不規則形状になり易い。   In the method for producing a metal powder described in Patent Document 1, a water atomization method is used as a liquid spraying method in which a liquid flow is sprayed and sprayed on molten metal particles. In the water atomization method, since the cooling rate after spraying is high, the molten metal can be solidified before it is spheroidized by surface tension. For this reason, the obtained powder tends to be irregularly shaped.

このような課題に対し、特許文献1に記載の発明では、形成された粉末を、融点以上に加熱させた領域を通過させ球形化させるという工程を付加することで解決を試みている。融点以上に加熱された領域とは、プラズマ領域や燃焼ガス領域のことである。   In order to solve such a problem, the invention described in Patent Document 1 attempts to solve the problem by adding a step of making the formed powder pass through a region heated to a melting point or more to make it spherical. The region heated above the melting point is a plasma region or a combustion gas region.

特開2001−64703号公報JP 2001-64703 A

しかしながら、特許文献1に記載された方法では、プラズマ領域や燃焼ガス領域を設ける必要があり、装置の大型化や高コスト化が避けられない。また、この方法では、一旦固化した金属粉末を再び溶融するため、意図しない組成変化を招くおそれがある他、例えばアモルファス金属の粉末を製造する場合、意図しない結晶化を招くおそれがある。   However, in the method described in Patent Document 1, it is necessary to provide a plasma region and a combustion gas region, and an increase in size and cost of the apparatus cannot be avoided. Further, in this method, the solidified metal powder is melted again, which may cause an unintended composition change. For example, when an amorphous metal powder is manufactured, unintentional crystallization may occur.

本発明の目的は、意図しない組成変化が少なく、かつ、十分な球形化が図られている金属粉末を製造可能な金属粉末製造装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a metal powder production apparatus capable of producing a metal powder with little unintended composition change and sufficient spheroidization.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の金属粉末製造装置は、溶融金属を流下させる溶融金属供給部と、
前記溶融金属供給部の下方に設置され、軸線と鉛直線とのなす角度が0°以上20°以下である上部と、前記上部の下端に連続して設けられる下部であってその軸線と鉛直線とのなす角度が前記上部の軸線と鉛直線とのなす角度よりも大きくなるように傾けられている下部と、を含む筒状体と、
前記溶融金属供給部から供給される溶融金属に向けて流体を噴射する流体噴射部と、
前記筒状体の前記上部の内周面に沿って冷却液を流出させる冷却液流出部と、
を有し、
前記溶融金属が前記流体と衝突して形成される液滴の鉛直方向に沿った飛行距離が、前記筒状体内において前記上部の内径の1.5倍以上20倍以下の距離であることを特徴とする。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The metal powder production apparatus of the present invention includes a molten metal supply unit that causes the molten metal to flow down,
An upper part installed below the molten metal supply unit and having an angle between an axis and a vertical line of 0 ° or more and 20 ° or less, and a lower part continuously provided at the lower end of the upper part, the axis and the vertical line A cylindrical body including a lower portion that is inclined such that an angle formed between and a vertical line is greater than an angle formed between the upper axis and the vertical line;
A fluid ejection unit that ejects fluid toward the molten metal supplied from the molten metal supply unit;
A coolant outflow portion for allowing the coolant to flow out along the inner peripheral surface of the upper portion of the cylindrical body;
Have
A flight distance along a vertical direction of a droplet formed when the molten metal collides with the fluid is a distance of 1.5 to 20 times the inner diameter of the upper part in the cylindrical body. And

これにより、意図しない組成変化が少なく、かつ、十分な球形化が図られている金属粉末を製造可能な金属粉末製造装置が得られる。   Thereby, the metal powder manufacturing apparatus which can manufacture the metal powder with few unintended composition changes and sufficient spheroidization is obtained.

本発明の金属粉末製造装置では、前記下部の軸線と鉛直線とのなす角度は、前記上部の軸線と鉛直線とのなす角度よりも5°以上90°以下大きいことが好ましい。   In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, the angle formed by the lower axis and the vertical line is preferably 5 ° or more and 90 ° or less larger than the angle formed by the upper axis and the vertical line.

これにより、上部と下部との接続部において冷却液がより滞留し易くなり、上部の内部空間の底面に十分な厚さの冷却液層をより確実に形成することができる。その結果、液滴をより短時間で均一に冷却することができ、液滴の意図しない組成変化をより確実に抑えることができる。   Thereby, the coolant is more likely to stay at the connection portion between the upper portion and the lower portion, and a sufficiently thick coolant layer can be more reliably formed on the bottom surface of the upper internal space. As a result, the droplets can be uniformly cooled in a shorter time, and unintended composition changes of the droplets can be more reliably suppressed.

本発明の金属粉末製造装置では、前記下部の内径は、前記上部の内径よりも小さいことが好ましい。   In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, the inner diameter of the lower part is preferably smaller than the inner diameter of the upper part.

これにより、下部における冷却液の最大流量が上部における冷却液の最大流量よりも小さくなり、上部と下部との接続部において冷却液が貯留され易くなる。このため、筒状体の内部空間の底面において、より十分な厚さの冷却液層を形成することができる。その結果、液滴をより短時間で均一に冷却することができ、液滴の意図しない組成変化をより確実に抑えることができる。   Thereby, the maximum flow rate of the coolant in the lower part becomes smaller than the maximum flow rate of the coolant in the upper part, and the coolant is easily stored in the connection part between the upper part and the lower part. For this reason, a more sufficiently thick coolant layer can be formed on the bottom surface of the internal space of the cylindrical body. As a result, the droplets can be uniformly cooled in a shorter time, and unintended composition changes of the droplets can be more reliably suppressed.

本発明の金属粉末製造装置では、前記冷却液は、前記下部の内部に充填されていることが好ましい。   In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, it is preferable that the cooling liquid is filled in the lower portion.

これにより、液滴が冷却液層に突入した後、継続して冷却液に触れ続ける状態を作り出すことができる。その結果、液滴をより長時間にわたって冷却し続けることができ、液滴において意図しない組成変化が生じるのを抑制することができる。   Thereby, after a droplet plunges into a cooling fluid layer, the state which continues touching a cooling fluid can be created. As a result, the liquid droplet can be continuously cooled for a longer time, and an unintended composition change can be suppressed in the liquid droplet.

本発明の金属粉末製造装置では、前記流体は、不活性ガスであることが好ましい。
これにより、比較的熱容量の小さい流体によって溶融金属を分断することができるので、粉末化を図りつつ、その最中に金属が酸化するのを抑制することができる。その結果、液滴の酸化や著しい変形を抑えつつ、溶融金属を分断することができるので、意図しない組成変化がより少なく抑えられ、かつ、球形化が十分に図られた金属粉末を製造することができる。
In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, the fluid is preferably an inert gas.
Thereby, since a molten metal can be parted with a fluid having a relatively small heat capacity, it is possible to suppress the metal from being oxidized during pulverization. As a result, the molten metal can be divided while suppressing the oxidation and significant deformation of the droplets, so that a metal powder with less unintentional compositional change and sufficient spheroidization can be produced. Can do.

本発明の金属粉末製造装置では、前記上部の内部に設けられ、前記冷却液で構成される冷却液層によって側方および下方が取り囲まれている空間を含むことが好ましい。   In the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, it is preferable that the metal powder manufacturing apparatus includes a space that is provided inside the upper portion and that is surrounded on its sides and below by a coolant layer composed of the coolant.

これにより、上方を除いて気密的に閉じた空間が形成されるので、空間内で蒸気が発生したとしてもその蒸気が上昇するのを抑制することができ、液滴と蒸気とが長時間接触することによって冷却速度が低下したり、上昇気流の発生によって液滴の降下が妨げられたりするのを抑制することができる。   As a result, a space that is hermetically closed except for the top is formed, so that even if steam is generated in the space, it is possible to prevent the steam from rising, and the droplet and the steam are in contact with each other for a long time. By doing so, it is possible to suppress the cooling rate from being lowered or the drop of the liquid droplet from being hindered by the generation of the rising airflow.

本発明の金属粉末製造装置の実施形態を示す模式図(縦断面図)である。It is a schematic diagram (longitudinal sectional view) showing an embodiment of a metal powder production apparatus of the present invention. 本発明の金属粉末製造装置の実施形態を示す模式図(縦断面図)である。It is a schematic diagram (longitudinal sectional view) showing an embodiment of a metal powder production apparatus of the present invention. 図1に示す金属粉末製造装置のうち、流体噴射口近傍を拡大して示す斜視図である。It is a perspective view which expands and shows the fluid injection nozzle vicinity among the metal powder manufacturing apparatuses shown in FIG. 実施例1で製造した金属粉末の走査型電子顕微鏡像である。2 is a scanning electron microscope image of the metal powder produced in Example 1. FIG. 比較例1で製造した金属粉末の走査型電子顕微鏡像である。2 is a scanning electron microscope image of the metal powder produced in Comparative Example 1.

以下、本発明の金属粉末製造装置について、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, the metal powder manufacturing apparatus of this invention is demonstrated in detail based on suitable embodiment shown to an accompanying drawing.

図1および図2は、それぞれ本発明の金属粉末製造装置の実施形態を示す模式図(縦断面図)である。なお、図2では、装置の構成を一部簡略化して図示している。   1 and 2 are schematic views (longitudinal sectional views) showing an embodiment of the metal powder production apparatus of the present invention. In FIG. 2, the configuration of the apparatus is partially simplified.

図1に示す金属粉末製造装置1は、それぞれ溶融金属Qをアトマイズ法により粉末化した後、冷却固化させ、金属粉末Rを得るための装置である。この金属粉末製造装置1は、溶融金属Qを供給する溶融金属供給部2(タンディシュ)と、溶融金属供給部2の下方に設けられた筒状体3(冷却容器)と、筒状体3内に冷却液Sを流出させる冷却液流出部4と、流下する溶融金属Qに向けて気体G(流体)を噴射する流体噴射部5(ノズル)と、を有している。以下、各部の構成について詳述する。   A metal powder production apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus for obtaining a metal powder R by pulverizing a molten metal Q by an atomizing method and then cooling and solidifying it. The metal powder manufacturing apparatus 1 includes a molten metal supply unit 2 (tundish) for supplying a molten metal Q, a cylindrical body 3 (cooling container) provided below the molten metal supply unit 2, The cooling liquid outflow part 4 which flows out the cooling liquid S to the inside, and the fluid injection part 5 (nozzle) which injects the gas G (fluid) toward the molten metal Q which flows down. Hereinafter, the configuration of each part will be described in detail.

図1に示すように、溶融金属供給部2は、有底筒状をなす部分を有している。この溶融金属供給部2内には、製造すべき金属粉末の原材料を溶融した溶融金属Qが一時的に収容される。このような溶融金属供給部2は、例えば、黒鉛や窒化ケイ素等の耐火性材料で構成されている。また、溶融金属供給部2の外周には、溶融金属Qを加熱し保温するための誘導コイル6が設けられている。   As shown in FIG. 1, the molten metal supply unit 2 has a bottomed cylindrical part. In this molten metal supply part 2, the molten metal Q which melt | dissolved the raw material of the metal powder which should be manufactured is accommodated temporarily. Such a molten metal supply unit 2 is made of a refractory material such as graphite or silicon nitride. In addition, an induction coil 6 for heating and keeping the molten metal Q is provided on the outer periphery of the molten metal supply unit 2.

溶融金属Qは、いかなる元素を含んでいてもよく、例えばTiおよびAlの少なくとも一方を含んでいるものも用いることができる。これらの元素は活性が高いため、溶融金属Qがこれらの元素を含む場合、空気との接触が短時間であっても容易に酸化してしまい、微細化することが難しくなる。これに対し、金属粉末製造装置1を用いることにより、このような元素を含む溶融金属Qであっても、容易に粉末化することができ、意図しない組成変化が少なく、かつ、十分な球形化が図られている金属粉末を製造することができる。   The molten metal Q may contain any element, for example, one containing at least one of Ti and Al can be used. Since these elements have high activity, when the molten metal Q contains these elements, it is easily oxidized even if the contact with the air is a short time, and it is difficult to miniaturize. On the other hand, by using the metal powder production apparatus 1, even the molten metal Q containing such an element can be easily pulverized, has little unintended composition change, and is sufficiently spherical. Can be produced.

また、溶融金属供給部2の底部の中央部には、吐出口21が設けられている。この吐出口21からは、溶融金属供給部2内の溶融金属Qが下方に向かって自然落下により吐出される。   A discharge port 21 is provided at the center of the bottom of the molten metal supply unit 2. From this discharge port 21, the molten metal Q in the molten metal supply part 2 is discharged downward by natural fall.

このような溶融金属供給部2の下方には、内部空間30を含む筒状体3が設けられている。   A cylindrical body 3 including an internal space 30 is provided below the molten metal supply unit 2.

筒状体3は、円筒状をなしている。そして、筒状体3の軸線の長さは、内径よりも長くなっている。このため、筒状体3は、鉛直方向に細長い円筒状をなしている。   The cylindrical body 3 has a cylindrical shape. The length of the axis of the cylindrical body 3 is longer than the inner diameter. For this reason, the cylindrical body 3 has a cylindrical shape elongated in the vertical direction.

この筒状体3の内部空間30には、後述するように、流体噴射部5からの気体Gにより溶融金属Qを分断(飛散)させて形成された多数の液滴Q1が供給されるとともに、冷却液流出部4から供給された冷却液Sにより冷却液層S1が形成されている。液滴Q1が冷却液層S1に接触すると、液滴Q1が冷却され、固化に至る。   As will be described later, the inner space 30 of the cylindrical body 3 is supplied with a large number of droplets Q1 formed by dividing (spraying) the molten metal Q with the gas G from the fluid ejecting unit 5; A cooling liquid layer S <b> 1 is formed by the cooling liquid S supplied from the cooling liquid outflow portion 4. When the droplet Q1 comes into contact with the cooling liquid layer S1, the droplet Q1 is cooled and solidified.

なお、筒状体3の軸線に直交する方向で切断したときの内径側の断面形状は、例えば真円、楕円、長円等の円形とされるが、好ましくは真円とされる。   The cross-sectional shape on the inner diameter side when cut in a direction perpendicular to the axis of the cylindrical body 3 is, for example, a circle such as a perfect circle, an ellipse, or an ellipse, but is preferably a perfect circle.

このような筒状体3の上側(上端部付近)には、環状の蓋部材7が設けられている。この蓋部材7上には、蓋部材7の中央部の開口を通じて筒状体3の内部空間30に気体Gを噴射し得るように流体噴射部5が設けられている。   An annular lid member 7 is provided on the upper side (near the upper end) of the cylindrical body 3. On the lid member 7, the fluid ejecting section 5 is provided so that the gas G can be ejected into the internal space 30 of the cylindrical body 3 through the opening at the center of the lid member 7.

また、筒状体3の上端部付近には、その周方向に沿って冷却液流出部4が設けられている。冷却液流出部4は、蓋部材7の周方向に沿ってほぼ等間隔で並設された複数の冷却液流出口41で構成されている。   Further, a coolant outflow portion 4 is provided in the vicinity of the upper end portion of the cylindrical body 3 along the circumferential direction thereof. The coolant outflow portion 4 is composed of a plurality of coolant outlets 41 arranged in parallel at substantially equal intervals along the circumferential direction of the lid member 7.

各冷却液流出口41は、筒状体3の内周面の接線方向に向けて冷却液Sを流出させることにより、冷却液Sを筒状体3の周方向に旋回させることができる。これにより、冷却液Sは筒状体3の内壁面に冷却液層S1を形成する。   Each cooling liquid outlet 41 can turn the cooling liquid S in the circumferential direction of the cylindrical body 3 by causing the cooling liquid S to flow out toward the tangential direction of the inner peripheral surface of the cylindrical body 3. Thereby, the cooling liquid S forms a cooling liquid layer S <b> 1 on the inner wall surface of the cylindrical body 3.

このように各冷却液流出口41を構成することで、筒状体3内での冷却液Sの流れを安定化させることができる。その結果、筒状体3内において十分な厚さの冷却液層S1を形成することができ、液滴Q1を効率よく冷却することができる。   By configuring each cooling liquid outlet 41 in this way, the flow of the cooling liquid S in the cylindrical body 3 can be stabilized. As a result, the coolant layer S1 having a sufficient thickness can be formed in the cylindrical body 3, and the droplet Q1 can be efficiently cooled.

なお、冷却液流出口41から流出する冷却液Sの流出方向は、筒状体3の内周面の接線方向に限定されず、鉛直線と平行な方向(鉛直方向)であってもよく、接線方向と鉛直方向の双方に傾斜した方向であってもよい。また、冷却液流出口41の設置数も、特に限定されず、3個以上であってもよい。   In addition, the outflow direction of the cooling liquid S flowing out from the cooling liquid outlet 41 is not limited to the tangential direction of the inner peripheral surface of the cylindrical body 3, and may be a direction parallel to the vertical line (vertical direction). The direction may be inclined in both the tangential direction and the vertical direction. Further, the number of the coolant outlets 41 installed is not particularly limited, and may be three or more.

また、冷却液Sには、水や油等が用いられ、必要に応じて、還元剤等の添加剤が添加されていてもよい。   Moreover, water, oil, etc. are used for the cooling liquid S, and additives, such as a reducing agent, may be added as needed.

なお、図示しないが、各冷却液流出口41は、冷却液供給管を介して冷却液タンクと接続されており、冷却液供給管の途中にはポンプが設けられている。これにより、ポンプを作動させることで、冷却液タンク内の冷却液Sを冷却液供給管を介して各冷却液流出口41に供給することができ、加圧された冷却液Sを各冷却液流出口41から流出(噴射)させることができる。   Although not shown, each coolant outlet 41 is connected to a coolant tank via a coolant supply pipe, and a pump is provided in the middle of the coolant supply pipe. Thus, by operating the pump, the cooling liquid S in the cooling liquid tank can be supplied to each cooling liquid outlet 41 via the cooling liquid supply pipe, and the pressurized cooling liquid S can be supplied to each cooling liquid. It can flow out (inject) from the outlet 41.

冷却液流出部4の上方には、流体噴射部5(ガスジェットノズル)が設けられている。
流体噴射部5から噴射される流体としては、気体または液体が挙げられる。気体としては、例えば窒素ガス、アルゴンガスのような不活性ガス、アンモニア分解ガスのような還元性ガス、空気等が挙げられる。一方、液体としては、例えば水や水に添加剤を添加したもの等が挙げられる。
A fluid ejecting section 5 (gas jet nozzle) is provided above the coolant outflow section 4.
Examples of the fluid ejected from the fluid ejecting unit 5 include gas and liquid. Examples of the gas include an inert gas such as nitrogen gas and argon gas, a reducing gas such as ammonia decomposition gas, and air. On the other hand, examples of the liquid include water and water added with an additive.

このうち、流体としては、気体を用いるのが好ましく、特に不活性ガスを用いるのがより好ましい。これにより、比較的熱容量の小さい流体によって溶融金属Qを分断することができるので、流体として液体を用いる場合に比べて冷却速度を適度に抑えつつ、粉末化を図ることができるとともに、その最中に金属が酸化するのを抑制することができる。その結果、液滴Q1の酸化や著しい変形を抑えつつ、溶融金属Qを分断することができるので、意図しない組成変化がより少なく抑えられ、かつ、球形化が十分に図られた金属粉末を製造することができる。   Among these, as the fluid, it is preferable to use a gas, and it is particularly preferable to use an inert gas. Thereby, since the molten metal Q can be divided by a fluid having a relatively small heat capacity, it is possible to achieve pulverization while moderately suppressing the cooling rate as compared with the case where a liquid is used as the fluid. It is possible to suppress the metal from being oxidized. As a result, the molten metal Q can be divided while suppressing the oxidation and significant deformation of the droplet Q1, so that a metal powder with less unintentional composition change and sufficient spheroidization is produced. can do.

流体噴射部5は、図1に示すように、前述した溶融金属供給部2の吐出口21と同軸上に設けられた溶湯ノズル51と、溶湯ノズル51の外周に沿って設けられたガス室52と、ガス室52に連通する複数の流体噴射口53と、を備えている。   As shown in FIG. 1, the fluid ejecting unit 5 includes a molten metal nozzle 51 provided coaxially with the discharge port 21 of the molten metal supply unit 2 described above, and a gas chamber 52 provided along the outer periphery of the molten metal nozzle 51. And a plurality of fluid ejection ports 53 communicating with the gas chamber 52.

溶湯ノズル51は、鉛直方向に沿って貫通するように形成された溶湯ノズル孔511を有している。また、溶湯ノズル51は、耐火材で構成されている。   The molten metal nozzle 51 has a molten metal nozzle hole 511 formed so as to penetrate along the vertical direction. Moreover, the molten metal nozzle 51 is comprised with the refractory material.

このような溶湯ノズル51は、前述した溶融金属供給部2の吐出口21から流下した溶融金属Qを一旦受け止め、その後、溶湯ノズル孔511を通じて筒状体3内へ流下させる。溶湯ノズル孔511を通過した溶融金属Qの横断面形状および横断面積は、溶湯ノズル孔511の横断面積および横断面形状に応じたものとなる。   Such a molten metal nozzle 51 temporarily receives the molten metal Q flowing down from the discharge port 21 of the molten metal supply unit 2 described above, and then flows down into the cylindrical body 3 through the molten metal nozzle hole 511. The cross-sectional shape and the cross-sectional area of the molten metal Q that has passed through the molten metal nozzle hole 511 correspond to the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the molten metal nozzle hole 511.

このような溶湯ノズル51の外周側には、その周方向に沿って環状をなすガス室52が設けられている。このガス室52には、外部から図示しないガス供給管を介して、高圧の気体Gが供給されるようになっている。   On the outer peripheral side of such a molten metal nozzle 51, an annular gas chamber 52 is provided along the circumferential direction. The gas chamber 52 is supplied with a high-pressure gas G from outside via a gas supply pipe (not shown).

また、ガス室52の下側には、その周方向に沿って並設された複数の流体噴射口53が設けられている。各流体噴射口53は、前述したガス室52に連通しており、気体Gを噴射するようになっている。   A plurality of fluid ejection ports 53 arranged in parallel along the circumferential direction are provided below the gas chamber 52. Each fluid ejection port 53 communicates with the gas chamber 52 described above, and ejects the gas G.

本実施形態に係る複数の流体噴射口53は、後に詳述するが、溶湯ノズル51の軸線を中心とする同一円周上に設けられている。このような複数の流体噴射口53は、いずれも、これらの下方における溶湯ノズル51の軸線上のほぼ同位置に向けて気体Gを噴射するように形成されている。   The plurality of fluid ejection ports 53 according to the present embodiment are provided on the same circumference with the axis of the molten metal nozzle 51 as the center, as will be described in detail later. Each of the plurality of fluid injection ports 53 is formed so as to inject the gas G toward substantially the same position on the axis of the molten metal nozzle 51 below them.

溶湯ノズル51の溶湯ノズル孔511から流下した溶融金属Qは、複数の気体Gが集中(集束)している位置において、気体Gと衝突し、分断されて複数の液滴Q1となる。複数の液滴Q1は、落下して冷却液層S1に衝突し、さらに分断されて微細化されるとともに冷却固化し、金属粉末R(複数の金属粒子の集合体)が得られる。   The molten metal Q flowing down from the molten metal nozzle hole 511 of the molten metal nozzle 51 collides with the gas G at a position where the plurality of gases G are concentrated (converged) and is divided into a plurality of droplets Q1. The plurality of droplets Q1 fall and collide with the cooling liquid layer S1, and are further divided and refined and cooled and solidified to obtain a metal powder R (an aggregate of a plurality of metal particles).

ここで、本実施形態では、筒状体3が、蓋部材7の下方に位置する上部31と、上部31の下端に連続して設けられた下部32と、を含んでいる。すなわち、上部31と下部32とは接続部33を介して連続しており、これにより全体としては、途中で軸が屈曲した筒状体3が構成されている。したがって、上部31および下部32もそれぞれ円筒状をなしている。なお、本明細書における接続部33とは、上部31と下部32との境界面のことを指す。   Here, in this embodiment, the cylindrical body 3 includes an upper portion 31 located below the lid member 7 and a lower portion 32 provided continuously to the lower end of the upper portion 31. That is, the upper part 31 and the lower part 32 are continuous via the connection part 33, and the cylindrical body 3 by which the axis | shaft bent in the middle is comprised by this as a whole. Therefore, the upper part 31 and the lower part 32 are also cylindrical. In addition, the connection part 33 in this specification points out the boundary surface of the upper part 31 and the lower part 32. FIG.

このうち、上部31は、その軸線A1が、鉛直方向に沿うように構成されている。具体的には、軸線A1と鉛直線VLとのなす角度θ1が0°以上20°以下になるように、上部31が配置されている。なお、図1では、一例として、軸線A1と鉛直線VLとのなす角度が0°である金属粉末製造装置1について図示している。   Of these, the upper portion 31 is configured such that its axis A1 is along the vertical direction. Specifically, the upper portion 31 is arranged so that an angle θ1 formed by the axis A1 and the vertical line VL is 0 ° or more and 20 ° or less. In addition, in FIG. 1, the metal powder manufacturing apparatus 1 whose angle which the axis line A1 and the vertical line VL make is 0 degree is illustrated as an example.

また、図2では、別の例として、軸線A1と鉛直線VLとのなす角度θ1が0°超(ただし20°以下)である金属粉末製造装置1について図示している。すなわち、図2は、角度θ1が異なる以外、図1に示す金属粉末製造装置1と同様である。   Moreover, in FIG. 2, the metal powder manufacturing apparatus 1 whose angle (theta) 1 which axis line A1 and the vertical line VL make is more than 0 degree (however, 20 degrees or less) is shown in figure as another example. That is, FIG. 2 is the same as the metal powder manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1 except that the angle θ1 is different.

なお、本明細書における軸線A1は、円筒状をなす上部31の軸を含む直線のことをいい、鉛直線VLは、重力の方向を示す直線のことをいう。また、以下の説明では、軸線A1と鉛直線VLとのなす角度を「傾斜角度」ともいう。   Note that the axis A1 in this specification refers to a straight line including the axis of the upper portion 31 that forms a cylinder, and the vertical line VL refers to a straight line that indicates the direction of gravity. In the following description, an angle formed between the axis A1 and the vertical line VL is also referred to as an “inclination angle”.

また、下部32は、その軸線A2が、上部31の軸線A1よりも鉛直方向に対してより大きく傾いている。すなわち、下部32の軸線A2と鉛直線VLとのなす角度θ2は、上部31の軸線A1と鉛直線VLとのなす角度θ1よりも大きくなっている。なお、本明細書における軸線A2は、円筒状をなす下部32の軸を含む直線のことをいう。また、以下の説明では、軸線A2と鉛直線VLとのなす角度を「傾斜角度」ともいう。   Further, the axis 32 of the lower portion 32 is more inclined with respect to the vertical direction than the axis A1 of the upper portion 31. That is, the angle θ2 formed between the axis A2 of the lower portion 32 and the vertical line VL is larger than the angle θ1 formed between the axis A1 of the upper portion 31 and the vertical line VL. In addition, the axis line A2 in this specification means the straight line containing the axis | shaft of the lower part 32 which makes | forms cylindrical shape. In the following description, an angle formed between the axis A2 and the vertical line VL is also referred to as an “inclination angle”.

さらに、溶融金属Qが気体Gに衝突して形成された液滴Q1は、筒状体3の内部空間30を飛行し、冷却液層S1に突入することによって冷却固化するが、このとき、本実施形態では、液滴Q1の鉛直方向に沿った飛行距離が、上部31の内径d1の1.5倍以上20倍以下の距離になっている。   Further, the droplet Q1 formed by the collision of the molten metal Q with the gas G flies through the internal space 30 of the cylindrical body 3 and enters the cooling liquid layer S1 to be cooled and solidified. In the embodiment, the flight distance along the vertical direction of the droplet Q1 is 1.5 to 20 times the inner diameter d1 of the upper portion 31.

以上のような上部31および下部32を備える筒状体3が設けられた金属粉末製造装置1によれば、意図しない組成変化が少なく、かつ、十分な球形化が図られている金属粉末Rを製造することができる。   According to the metal powder manufacturing apparatus 1 provided with the cylindrical body 3 having the upper part 31 and the lower part 32 as described above, the metal powder R with little unintended composition change and sufficient spheroidization is obtained. Can be manufactured.

また、上部31の軸線A1と鉛直線VLとのなす角度θ1が前記範囲内であることにより、液滴Q1の飛行距離を前記範囲内にすることができる。これは、軸線A1と鉛直線VLとのなす角度θ1が前記範囲内であれば、軸線A1が鉛直方向と平行に近い状態で上部31が配置されることとなる。このような状態では、液滴Q1の自然落下による飛行方向が、軸線A1と平行になるため、筒状体3の上下方向に沿って十分な飛行距離を確保することができる。換言すれば、筒状体3の内壁のうち、側面には冷却液層S1が形成されているので、その分、水平方向の飛行距離が短くなる。これに対し、筒状体3の上下方向では、鉛直方向に細長い形状を最大限に利用することができるので、十分な飛行距離が確保される。その結果、液滴Q1は、前述した範囲内で規定される十分に長い飛行距離を飛行することとなり、それによって十分に長い飛行時間が確保される。このため、飛行の間に、表面張力による液滴Q1の球形化が進行し、最終的に十分な球形化が図られた金属粉末Rが得られる。   Further, since the angle θ1 formed between the axis A1 of the upper portion 31 and the vertical line VL is within the above range, the flight distance of the droplet Q1 can be within the above range. This means that if the angle θ1 formed by the axis A1 and the vertical line VL is within the above range, the upper part 31 is arranged with the axis A1 being nearly parallel to the vertical direction. In such a state, since the flight direction due to the natural fall of the droplet Q1 is parallel to the axis A1, a sufficient flight distance can be secured along the vertical direction of the cylindrical body 3. In other words, since the coolant layer S1 is formed on the side surface of the inner wall of the cylindrical body 3, the horizontal flight distance is shortened accordingly. On the other hand, since the shape elongated in the vertical direction can be utilized to the maximum in the vertical direction of the cylindrical body 3, a sufficient flight distance is ensured. As a result, the droplet Q1 flies over a sufficiently long flight distance defined within the aforementioned range, thereby ensuring a sufficiently long flight time. For this reason, during the flight, the spheroidization of the droplet Q1 by the surface tension proceeds, and finally the metal powder R that is sufficiently spheroidized is obtained.

なお、軸線A1と鉛直線VLとがなす角度θ1は、0°以上20°以下とされるが、好ましくは0°以上10°以下とされる。軸線A1と鉛直線VLとがなす角度θ1が前記上限値を上回ると、軸線A1が鉛直線VLに対して比較的大きく傾いた状態となる。このため、溶融金属Qが気体Gに衝突して飛散するときの広がり方を考慮すれば、液滴Q1の多くが上部31の内壁のうち、側面に形成された冷却液層S1に突入する確率が高くなるおそれがある。その結果、十分に長い飛行距離を確保することができなくなり、液滴Q1の球形化が不十分になるため、最終的に得られる金属粉末Rの球形化が不十分になるおそれがある。   The angle θ1 formed by the axis A1 and the vertical line VL is 0 ° or more and 20 ° or less, and preferably 0 ° or more and 10 ° or less. When the angle θ1 formed by the axis A1 and the vertical line VL exceeds the upper limit value, the axis A1 is relatively inclined with respect to the vertical line VL. For this reason, when considering how the molten metal Q spreads when it collides with the gas G and scatters, the probability that many of the droplets Q1 enter the cooling liquid layer S1 formed on the side surface of the inner wall of the upper portion 31. May increase. As a result, a sufficiently long flight distance cannot be ensured, and the spheroidization of the droplet Q1 becomes insufficient, so that the spheroidization of the finally obtained metal powder R may be insufficient.

また、下部32の軸線A2と鉛直線VLとのなす角度θ2が上部31の軸線A1と鉛直線VLとのなす角度θ1よりも大きいことにより、上部31と下部32との接続部33において軸線が不連続になる。このため、上部31に供給された冷却液Sは、上部31の内壁に沿って流下した後、上部31と下部32との接続部33において流下速度が低下する。その結果、上部31と下部32との接続部33では冷却液Sが滞留した状態が継続することとなる。このため、筒状体3の内部空間30では、側面に加え底面にも十分な厚さの冷却液層S1が形成されることとなる。したがって、内部空間30に飛散する液滴Q1は、高い確率で十分な体積の冷却液Sに突入することができ、短時間で均一に冷却されるため、液滴Q1の意図しない組成変化が抑えられる。すなわち、例えば酸化量(酸素含有率)等の組成や結晶性のバラツキを最小限に留めることができる。   In addition, since the angle θ2 formed between the axis A2 of the lower portion 32 and the vertical line VL is larger than the angle θ1 formed between the axis A1 of the upper portion 31 and the vertical line VL, the axis line is formed at the connecting portion 33 between the upper portion 31 and the lower portion 32. It becomes discontinuous. For this reason, the cooling liquid S supplied to the upper part 31 flows down along the inner wall of the upper part 31, and then the flow speed decreases at the connection part 33 between the upper part 31 and the lower part 32. As a result, the state in which the coolant S stays at the connecting portion 33 between the upper portion 31 and the lower portion 32 continues. For this reason, in the internal space 30 of the cylindrical body 3, the coolant layer S1 having a sufficient thickness is formed on the bottom surface in addition to the side surface. Therefore, the droplet Q1 scattered in the internal space 30 can enter the coolant S having a sufficient volume with a high probability and is uniformly cooled in a short time, so that an unintended composition change of the droplet Q1 is suppressed. It is done. That is, for example, variations in composition and crystallinity such as the amount of oxidation (oxygen content) can be minimized.

なお、角度θ1とは、軸線A1と鉛直線VLとがなす角度のうち、鋭角側の角度のことを指す。同様に、角度θ2とは、軸線A2と鉛直線VLとがなす角度のうち、鋭角側の角度のことを指す。   Note that the angle θ1 refers to an acute angle among the angles formed by the axis A1 and the vertical line VL. Similarly, the angle θ2 refers to an acute angle among the angles formed by the axis A2 and the vertical line VL.

一方、角度θ2が角度θ1よりも小さい場合には、下部32の軸線A2は、より鉛直方向と平行に近い状態となる。このため、冷却液Sが特に流下し易い状態となってしまい、上部31と下部32との接続部33において冷却液Sが滞留し難くなる。その結果、上部31の底面には十分な厚さの冷却液層S1を形成することができず、冷却速度が低下したり十分に冷却されなかったりするため、液滴Q1において意図しない組成変化が生じるおそれがある。   On the other hand, when the angle θ2 is smaller than the angle θ1, the axis A2 of the lower portion 32 is more nearly parallel to the vertical direction. For this reason, the coolant S is particularly easy to flow down, and the coolant S is difficult to stay at the connection portion 33 between the upper portion 31 and the lower portion 32. As a result, the cooling liquid layer S1 having a sufficient thickness cannot be formed on the bottom surface of the upper portion 31, and the cooling rate is reduced or the cooling is not sufficiently performed. May occur.

さらに、液滴Q1の鉛直方向に沿った飛行距離が前記範囲内であることにより、溶融金属Qが気体Gに衝突して飛散するときの広がり方を考慮すれば、多くの液滴Q1において球形化に必要十分な飛行時間を確保することができる。このため、十分な球形化が図られた金属粉末Rが得られる。   Further, when the flying distance along the vertical direction of the droplet Q1 is within the above-mentioned range, considering how the molten metal Q collides with the gas G and scatters, the droplet Q1 has a spherical shape. It is possible to secure a sufficient flight time necessary for conversion. For this reason, the metal powder R in which sufficient spheroidization was achieved is obtained.

なお、「液滴Q1の鉛直方向に沿った飛行距離」とは、鉛直線VL上において、溶融金属Qと気体Gとの衝突位置と冷却液層S1との間の距離のことをいう。以下、かかる飛行距離を単に「液滴Q1の飛行距離」ともいう。   The “flight distance along the vertical direction of the droplet Q1” refers to the distance between the collision position of the molten metal Q and the gas G and the coolant layer S1 on the vertical line VL. Hereinafter, this flight distance is also simply referred to as “the flight distance of the droplet Q1”.

液滴Q1の飛行距離は、上部31の内径d1の1.5倍以上20倍以下の距離とされるが、好ましくは内径d1の2倍以上15倍以下の距離とされる。液滴Q1の飛行距離が前記下限値を下回ると、内径d1によっては飛行距離が十分ではないため、飛行時間も短くなり、液滴Q1が十分に球形化する前に冷却液層S1に衝突してしまうおそれがある。一方、液滴Q1の飛行距離が前記上限値を上回ると、内径d1によっては飛行距離が長くなり過ぎるため、球形化は十分に進む一方、冷却が不十分になるおそれがある。このため、冷却速度が低下することとなり、液滴Q1において意図しない組成変化、例えば酸化量の増大や非晶質性(アモルファス化度)の悪化を招くおそれがある。   The flight distance of the droplet Q1 is 1.5 to 20 times the inner diameter d1 of the upper portion 31 and preferably 2 to 15 times the inner diameter d1. When the flight distance of the droplet Q1 falls below the lower limit value, the flight distance is not sufficient depending on the inner diameter d1, so the flight time is shortened, and the droplet Q1 collides with the cooling liquid layer S1 before it becomes sufficiently spherical. There is a risk that. On the other hand, if the flight distance of the droplet Q1 exceeds the upper limit value, the flight distance becomes too long depending on the inner diameter d1, so that the spheroidization proceeds sufficiently, but the cooling may be insufficient. For this reason, the cooling rate is lowered, and there is a risk of causing an unintended composition change in the droplet Q1, for example, an increase in the amount of oxidation and a deterioration in amorphousness (amorphization degree).

以上のことから、上記の個別の条件を独立して満たすのみでは効果を得ることはできず、角度θ1が前記範囲内であること、角度θ1および角度θ2が前記関係を満たすこと、および、液滴Q1の飛行距離が前記範囲内であること、の全てを満足することにより、金属粉末製造装置1は、意図しない組成変化が少なく、かつ、十分な球形化が図られている金属粉末Rを製造し得るという効果を奏する。   From the above, it is not possible to obtain an effect only by satisfying the above individual conditions independently, the angle θ1 is within the above range, the angles θ1 and θ2 satisfy the relationship, and the liquid By satisfying all of the fact that the flight distance of the droplet Q1 is within the above range, the metal powder manufacturing apparatus 1 can reduce the unintended composition change and the metal powder R that is sufficiently spheroidized. There is an effect that it can be manufactured.

また、角度θ2は、角度θ1より大きければ、両者の角度差は特に限定されないものの、角度θ2が角度θ1よりも5°以上90°以下大きいのが好ましく、20°以上90°以下大きいのがより好ましく、45°以上90°以下大きいのがさらに好ましく、60°以上90°以下大きいのが特に好ましい。角度θ2と角度θ1との角度差が前記範囲内であれば、上部31や下部32の内径が比較的大きい場合であっても、上部31と下部32との接続部33において冷却液Sがより滞留し易くなり、上部31の内部空間の底面に十分な厚さの冷却液層S1をより確実に形成することができるようになる。このため、内部空間30に飛散する液滴Q1は、より短時間で均一に冷却され、液滴Q1の意図しない組成変化がより確実に抑えられる。   Further, if the angle θ2 is larger than the angle θ1, the angle difference between the two is not particularly limited. However, the angle θ2 is preferably larger than the angle θ1 by 5 ° or more and 90 ° or less, more preferably 20 ° or more and 90 ° or less. It is preferably 45 ° or more and 90 ° or less, more preferably 60 ° or more and 90 ° or less. If the angle difference between the angle θ2 and the angle θ1 is within the above range, the coolant S is more at the connection portion 33 between the upper portion 31 and the lower portion 32 even when the inner diameters of the upper portion 31 and the lower portion 32 are relatively large. It becomes easy to stay, and the coolant layer S1 having a sufficient thickness can be more reliably formed on the bottom surface of the internal space of the upper portion 31. For this reason, the droplet Q1 scattered in the internal space 30 is uniformly cooled in a shorter time, and an unintended composition change of the droplet Q1 is more reliably suppressed.

また、下部32の内径は、上部31の内径より大きくても同じでもよいが、好ましくは上部31の内径より小さいことが好ましい。これにより、下部32における冷却液Sの最大流量は、上部31における冷却液Sの最大流量よりも小さくなり、上部31と下部32との接続部33において冷却液Sが貯留され易くなる。このため、筒状体3の内部空間30では、底面において、より十分な厚さの冷却液層S1が形成されることとなる。このため、内部空間30に飛散する液滴Q1は、より短時間で均一に冷却され、液滴Q1の意図しない組成変化がより確実に抑えられる。   The inner diameter of the lower portion 32 may be larger or the same as the inner diameter of the upper portion 31, but is preferably smaller than the inner diameter of the upper portion 31. Accordingly, the maximum flow rate of the cooling liquid S in the lower portion 32 is smaller than the maximum flow rate of the cooling liquid S in the upper portion 31, and the cooling liquid S is easily stored in the connection portion 33 between the upper portion 31 and the lower portion 32. For this reason, in the internal space 30 of the cylindrical body 3, the coolant layer S1 having a more sufficient thickness is formed on the bottom surface. For this reason, the droplet Q1 scattered in the internal space 30 is uniformly cooled in a shorter time, and an unintended composition change of the droplet Q1 is more reliably suppressed.

なお、下部32の内径が小さ過ぎると、今度は下部32における冷却液Sの最大流量、すなわち排出能力が小さくなり過ぎるため、上部31の内部に冷却液Sが溜まり過ぎるおそれがある。したがって、下部32の内径は、上部31の内径よりも小さいものの、所定の割合に収まっているのが好ましい。具体的には、下部32の内径d2は、上部31の内径d1の0.1倍以上0.9倍以下であるのが好ましく、0.2倍以上0.8倍以下であるのがより好ましく、0.3倍以上0.7倍以下であるのがさらに好ましい。これにより、内部空間30は、液滴Q1が球形化しつつ飛行するのに必要かつ十分な大きさを有するものとなる。   If the inner diameter of the lower portion 32 is too small, the maximum flow rate of the cooling liquid S in the lower portion 32, that is, the discharge capacity becomes too small, and thus the cooling liquid S may be accumulated in the upper portion 31 too much. Therefore, the inner diameter of the lower portion 32 is preferably smaller than the inner diameter of the upper portion 31 but is kept within a predetermined ratio. Specifically, the inner diameter d2 of the lower portion 32 is preferably 0.1 to 0.9 times the inner diameter d1 of the upper portion 31, and more preferably 0.2 to 0.8 times. More preferably, it is 0.3 times or more and 0.7 times or less. As a result, the internal space 30 has a size necessary and sufficient for the droplet Q1 to fly while being spherical.

さらに、下部32には、空気や気体Gが充填されている空間が含まれていてもよいが、冷却液Sによって充填されているのが好ましい。これにより、液滴Q1が冷却液層S1に突入した後、継続して冷却液Sに触れ続ける状態をより確実に作り出すことができる。その結果、液滴Q1をより長時間にわたって冷却し続けることができ、液滴Q1において意図しない組成変化が生じるのを抑制することができる。   Furthermore, the lower portion 32 may include a space filled with air or gas G, but is preferably filled with the coolant S. Thus, it is possible to more reliably create a state in which the droplet Q1 continues to touch the cooling liquid S after entering the cooling liquid layer S1. As a result, the droplet Q1 can be continuously cooled for a longer time, and an unintended composition change can be suppressed in the droplet Q1.

また、図1に示す上部31の内部では、側面(側方)と底面(下方)とにそれぞれ冷却液層S1が形成されている。すなわち、上部31と下部32との接続部33において冷却液Sが滞留した場合、上部31の内部、すなわち内部空間30は、上方を除いて冷却液層S1で囲まれた空間となる。かかる空間は、上方を除いて気密的に閉じた空間であるといえる。   Further, in the upper part 31 shown in FIG. 1, a cooling liquid layer S1 is formed on each of the side surface (side) and the bottom surface (lower). That is, when the coolant S stays at the connection portion 33 between the upper portion 31 and the lower portion 32, the inside of the upper portion 31, that is, the internal space 30, becomes a space surrounded by the coolant layer S1 except for the upper portion. It can be said that this space is an airtightly closed space except for the upper part.

一方、内部空間30の上方からは、気体G(流体)が噴射し続けられている。このため、内部空間30の側方や下方から気体が侵入してくることはなく、内部空間30には、常時、鉛直下方に向かう気体の流れが形成されることとなる。そして、噴射された気体Gは冷却液Sに巻き込まれて下部32側へ排出されるため、内部空間30では気体Gで充填された状態が良好に維持される。その結果、例えば非常に高温の液滴Q1と冷却液Sとが接触して冷却液Sが蒸発し、蒸気(例えば水蒸気等)が発生したとしても、その蒸気が上昇することを抑制することができる。このため、液滴Q1と蒸気とが長時間接触することによって冷却速度が低下したり、上昇気流の発生によって液滴Q1の降下が妨げられたりするのを抑制することができる。   On the other hand, the gas G (fluid) is continuously ejected from above the internal space 30. For this reason, gas does not enter from the side or the lower side of the internal space 30, and a gas flow that is directed vertically downward is always formed in the internal space 30. And since the injected gas G is caught in the cooling liquid S and discharged | emitted to the lower part 32 side, the state filled with the gas G in the internal space 30 is favorably maintained. As a result, even if, for example, the very high temperature droplet Q1 and the cooling liquid S come into contact with each other and the cooling liquid S evaporates and vapor (for example, water vapor or the like) is generated, it is possible to prevent the vapor from rising. it can. For this reason, it can suppress that a cooling rate falls by contact with the droplet Q1 and a vapor | steam for a long time, or the fall of the droplet Q1 is prevented by generation | occurrence | production of an updraft.

特に、角度θ1が前記上限値を上回る(軸線A1が鉛直線VLに対して前記上限値を上回る角度で傾斜している)と、上部31における冷却液Sの流下速度が低下し、内部空間30内の気体が下部32側へ排出される速度が低下するおそれがある。この場合、内部空間30に酸素や蒸気等が滞留し易くなり、金属酸化のような意図しない組成変化を生じるおそれがある。   In particular, when the angle θ1 exceeds the upper limit value (the axis A1 is inclined at an angle exceeding the upper limit value with respect to the vertical line VL), the flow rate of the coolant S in the upper portion 31 decreases, and the internal space 30 There is a possibility that the speed at which the gas inside is discharged to the lower portion 32 side is lowered. In this case, oxygen, steam or the like tends to stay in the internal space 30 and there is a risk of causing an unintended composition change such as metal oxidation.

ここで、図3は、図1に示す金属粉末製造装置1のうち、流体噴射口53近傍を拡大して示す斜視図である。   Here, FIG. 3 is an enlarged perspective view showing the vicinity of the fluid ejection port 53 in the metal powder manufacturing apparatus 1 shown in FIG.

前述したように、本実施形態では、複数の流体噴射口53が、溶湯ノズル51の軸線A3を中心とする同一円周上に設けられている(図3参照)。加えて、複数の流体噴射口53は、その開口面積が互いに異なっていてもよいが、本実施形態では互いに同じになっている。複数の流体噴射口53は、それぞれ同一のガス室52に連通しているため、本実施形態に係る複数の流体噴射口53からは互いに同じ流速および流量で気体Gが噴射される。そして、複数の流体噴射口53からそれぞれ噴射された気体Gは、溶湯ノズル51の軸線A3上に位置する同一の位置に集束している。このため、気体Gは、溶湯ノズル51の軸線A3と同一の軸線を有する円錐状に広がることとなる。   As described above, in the present embodiment, the plurality of fluid ejection ports 53 are provided on the same circumference around the axis A3 of the molten metal nozzle 51 (see FIG. 3). In addition, the plurality of fluid ejection ports 53 may have different opening areas, but are the same in the present embodiment. Since the plurality of fluid ejection ports 53 communicate with the same gas chamber 52, the gas G is ejected from the plurality of fluid ejection ports 53 according to the present embodiment at the same flow velocity and flow rate. The gases G ejected from the plurality of fluid ejection ports 53 are converged at the same position located on the axis A <b> 3 of the molten metal nozzle 51. For this reason, the gas G spreads in a conical shape having the same axis as the axis A3 of the molten metal nozzle 51.

その上で、気体Gの集束位置に溶融金属Qが衝突すると、形成された液滴Q1は、気体Gとともに円錐状に広がる。   Then, when the molten metal Q collides with the converging position of the gas G, the formed droplet Q1 spreads along with the gas G in a conical shape.

一方、前述したように、筒状体3の上部31の軸線A1と鉛直線VLとのなす角度θ1は、比較的小さい角度範囲に収まっている。このため、気体Gとともに円錐状に広がった液滴Q1が自然落下するとき、内部空間30の形状を利用して適度な飛行距離(飛行時間)が確保される。その結果、液滴Q1の多くについて十分な球形化を図ることができる。   On the other hand, as described above, the angle θ1 formed by the axis A1 of the upper portion 31 of the cylindrical body 3 and the vertical line VL is within a relatively small angle range. For this reason, when the droplet Q1 that has spread conically with the gas G naturally falls, an appropriate flight distance (time of flight) is ensured by utilizing the shape of the internal space 30. As a result, sufficient spheroidization can be achieved for many of the droplets Q1.

なお、図1では、円筒状をなす上部31の側壁に下部32が接続されている形態が図示されているが、筒状体3の形態はこれに限定されず、例えば上部31の底部に下部32が接続されている形態であってもよい。
また、流体噴射口53の構成も、図3に示すものに限定されない。
In FIG. 1, a form in which the lower part 32 is connected to the side wall of the upper part 31 having a cylindrical shape is illustrated, but the form of the cylindrical body 3 is not limited to this. For example, the bottom part of the upper part 31 has a lower part. 32 may be connected.
Further, the configuration of the fluid ejection port 53 is not limited to that shown in FIG.

また、下部32の下流側、すなわち上部31とは反対側には、金属粉末Rを冷却液Sとともに排出するための排出管(図示せず)が接続されていてもよい。この排出管は、図示しない回収タンクに接続される。   Further, a discharge pipe (not shown) for discharging the metal powder R together with the cooling liquid S may be connected to the downstream side of the lower portion 32, that is, the side opposite to the upper portion 31. This discharge pipe is connected to a collection tank (not shown).

そして、回収タンクに回収された金属粉末Rと冷却液Sとの混合物は、脱液装置等に供されることにより、金属粉末Rを分離することができる。分離された金属粉末Rは、乾燥装置等で乾燥される。   Then, the mixture of the metal powder R and the cooling liquid S collected in the collection tank can be separated from the metal powder R by being supplied to a liquid removal apparatus or the like. The separated metal powder R is dried by a drying device or the like.

以上説明したような金属粉末製造装置1によれば、意図しない組成変化が少なく、かつ、十分な球形化が図られている金属粉末Rを得ることができる。   According to the metal powder manufacturing apparatus 1 described above, it is possible to obtain a metal powder R that is less likely to change in composition and that is sufficiently spherical.

以上、本発明の金属粉末製造装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。   As mentioned above, although the metal powder manufacturing apparatus of this invention was demonstrated based on embodiment of illustration, this invention is not limited to these.

例えば、本発明の金属粉末製造装置では、前記実施形態に係る各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。   For example, in the metal powder manufacturing apparatus of the present invention, the configuration of each part according to the embodiment can be replaced with any configuration that exhibits the same function, and any configuration can be added. .

次に、本発明の具体的実施例について説明する。
1.金属粉末の製造
(実施例1)
<1>まず、図1に示す金属粉末製造装置を用意した。なお、金属粉末製造装置の構成については表1に示す通りである。また、流体噴射部から噴射する流体には窒素ガスを用い、冷却液流出部から流出させる冷却液には水道水を使用した。
Next, specific examples of the present invention will be described.
1. Production of metal powder (Example 1)
<1> First, a metal powder production apparatus shown in FIG. 1 was prepared. The configuration of the metal powder production apparatus is as shown in Table 1. Moreover, nitrogen gas was used for the fluid ejected from the fluid ejecting section, and tap water was used for the coolant flowing out from the coolant outflow section.

<2>次に、溶融金属供給部に原材料としてSUS316Lのインゴットを投入し、溶解させて溶融金属を作製した。   <2> Next, an ingot of SUS316L was introduced as a raw material into the molten metal supply part and melted to prepare a molten metal.

<3>次に、金属粉末製造装置の作動により、金属粉末を製造した。なお、金属粉末の製造中、筒状体の下部の内部は金属粉末を含む冷却液で充填された状態が維持されていた。すなわち、筒状体の上部の内部では、側方および下方が冷却液層によって囲まれた状態になっていた。   <3> Next, metal powder was manufactured by the operation of the metal powder manufacturing apparatus. During the production of the metal powder, the inside of the lower part of the cylindrical body was maintained in a state filled with the coolant containing the metal powder. That is, in the upper part of the cylindrical body, the side and the lower side are surrounded by the coolant layer.

(実施例2〜12)
金属粉末製造装置の構成を表1に示すように変更した以外は、それぞれ実施例1と同様にして金属粉末を得た。
(Examples 2 to 12)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the configuration of the metal powder production apparatus was changed as shown in Table 1.

(比較例1〜4)
金属粉末製造装置の構成を表1に示すように変更した以外は、それぞれ実施例1と同様にして金属粉末を得た。なお、各比較例では、筒状体の上部の傾斜角度θ1、傾斜角度θ1と傾斜角度θ2との角度差、および、液滴の飛行距離の3要素のうち、少なくとも1要素が所定の条件を満たしていない。
(Comparative Examples 1-4)
A metal powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the configuration of the metal powder production apparatus was changed as shown in Table 1. In each comparative example, at least one of the three elements of the inclination angle θ1 of the upper portion of the cylindrical body, the angle difference between the inclination angle θ1 and the inclination angle θ2, and the flight distance of the droplets satisfies a predetermined condition. not filled.

2.金属粉末の評価
2.1 球形度の評価
各実施例および各比較例で製造した金属粉末に分級処理を施した。
2. 2. Evaluation of metal powder 2.1 Evaluation of sphericity The metal powder produced in each Example and each Comparative Example was classified.

次いで、分級した金属粉末について、レーザー回折式粒度分布測定装置により、質量基準の粒度分布を得た。そして、粒度分布の小径側から累積50%における粒径を平均粒径として求めたところ、各実施例および各比較例のいずれも7.5〜8.5μmの範囲内であった。   Subsequently, about the classified metal powder, the particle size distribution of mass reference | standard was obtained with the laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus. And when the particle diameter in accumulation 50% was calculated | required as an average particle diameter from the small diameter side of a particle size distribution, all of each Example and each comparative example were in the range of 7.5-8.5 micrometers.

次いで、分級した金属粉末について、タップ密度を測定した。なお、金属粉末のタップ密度は、JIS Z 2512(2012)に規定された金属粉のタップ密度測定方法に準拠する方法により測定した。また、タップ密度は、金属粉末の粒子の球形度と相関があるといえるため、タップ密度を評価することによって球形度を間接的に評価することができる。
測定したタップ密度を表1に示す。
Subsequently, the tap density was measured about the classified metal powder. In addition, the tap density of metal powder was measured by the method based on the tap density measurement method of the metal powder prescribed | regulated to JISZ2512 (2012). Moreover, since it can be said that the tap density has a correlation with the sphericity of the particles of the metal powder, the sphericity can be indirectly evaluated by evaluating the tap density.
Table 1 shows the measured tap density.

なお、図4は、実施例1で製造した金属粉末の走査型電子顕微鏡像である。また、図5は、比較例1で製造した金属粉末の走査型電子顕微鏡像である。   FIG. 4 is a scanning electron microscope image of the metal powder produced in Example 1. FIG. 5 is a scanning electron microscope image of the metal powder produced in Comparative Example 1.

このうち、図5から明らかなように、比較例1で製造した金属粉末には、細長い粒子が多数含まれていることが認められる。   Among these, as is clear from FIG. 5, it is recognized that the metal powder produced in Comparative Example 1 contains a large number of elongated particles.

一方、図4から明らかなように、実施例1で製造された金属粉末には、細長い粒子がほとんど認められず、真球に近い形状の粒子が多数を占めていることが認められる。   On the other hand, as is apparent from FIG. 4, the metal powder produced in Example 1 has almost no elongated particles, and it is recognized that many particles having a shape close to a true sphere occupy many.

2.2 酸素濃度の評価
各実施例および各比較例で製造した金属粉末の酸素濃度を、LECO社製酸素・窒素分析装置TC−300/EF−300により測定した。なお、この分析装置は、JIS Z 2613:2006に規定された金属材料の酸素定量方法通則に準拠する方法により測定するものである。
2.2 Evaluation of Oxygen Concentration The oxygen concentration of the metal powder produced in each Example and each Comparative Example was measured with an oxygen / nitrogen analyzer TC-300 / EF-300 manufactured by LECO. In addition, this analyzer measures by the method based on the oxygen determination method general rule of the metal material prescribed | regulated to JISZ2613: 2006.

測定した酸素濃度を表1に示す。なお、表1では、実施例3で製造した金属粉末の酸素濃度を1とし、それ以外の実施例および各比較例で製造した金属粉末の酸素濃度を相対値で示している。   Table 1 shows the measured oxygen concentration. In Table 1, the oxygen concentration of the metal powder produced in Example 3 is set to 1, and the oxygen concentration of the metal powder produced in other examples and comparative examples is shown as a relative value.

Figure 2017145493
Figure 2017145493

表1から明らかなように、各実施例で製造した金属粉末は、いずれも、各比較例で製造した金属粉末に比べてタップ密度が高い、すなわち球形度が高いことが認められた。また、各実施例で製造した金属粉末は、いずれも、各比較例で製造した金属粉末に比べて酸素濃度が低いことが認められた。   As is apparent from Table 1, it was recognized that the metal powder produced in each example had a higher tap density, that is, a higher sphericity than the metal powder produced in each comparative example. Moreover, it was recognized that the metal powder manufactured by each Example has low oxygen concentration compared with the metal powder manufactured by each comparative example.

よって、本発明によれば、意図しない組成変化が少なく、かつ、十分な球形化が図られている金属粉末を製造し得ることが認められた。   Therefore, according to the present invention, it has been recognized that a metal powder with little unintentional composition change and sufficient spheroidization can be produced.

一方、比較例1、2で製造した金属粉末は、タップ密度および酸素濃度の双方において不良であった。この原因として、比較例1、2で使用した金属粉末製造装置では、上部の軸線A1が大きく傾斜しているため、液滴の飛行距離をあまり長く確保することができず、また、筒状体の内部空間に酸素や蒸気等が残留し易くなっていることが挙げられる。   On the other hand, the metal powders produced in Comparative Examples 1 and 2 were poor in both tap density and oxygen concentration. As a cause of this, in the metal powder manufacturing apparatus used in Comparative Examples 1 and 2, since the upper axis A1 is greatly inclined, the flight distance of the droplets cannot be secured so long, and the cylindrical body It is mentioned that oxygen, steam, etc. are likely to remain in the internal space.

また、比較例3で製造した金属粉末は、特に酸素濃度が高い点で不良であった。この原因としては、角度θ2と角度θ1との差がゼロである、すなわち、筒状体の上部の軸線と下部の軸線とが同一であるとともに、上部と下部との間に内径差に伴う段差が生じたため、冷却液の流れが滞ったり内部空間の底面に十分な厚さの冷却液層が形成されず、冷却が遅れるとともに、内部空間に酸素が侵入し易くなっていることが挙げられる。   Further, the metal powder produced in Comparative Example 3 was defective in that the oxygen concentration was particularly high. This is because the difference between the angle θ2 and the angle θ1 is zero, that is, the upper axis and the lower axis of the cylindrical body are the same, and the step caused by the inner diameter difference between the upper and lower parts As a result, the flow of the cooling liquid is stagnant or a sufficiently thick cooling liquid layer is not formed on the bottom surface of the internal space, cooling is delayed, and oxygen easily enters the internal space.

さらに、比較例4で製造した金属粉末も、特に酸素濃度が高い点で不良であった。この原因としては、液滴の飛行距離が長すぎるため、冷却が遅れてしまい、その分、金属の酸化が進行したことが挙げられる。   Furthermore, the metal powder produced in Comparative Example 4 was also defective in that the oxygen concentration was particularly high. This is because the flight distance of the droplets is too long, so that the cooling is delayed and the metal oxidation progresses accordingly.

なお、流体噴射部から噴射する気体をアルゴンガスに変更した以外、各実施例および各比較例と同様にして金属粉末を製造したが、評価結果は上記と同様の傾向を示した。   In addition, except having changed the gas injected from a fluid injection part into argon gas, although metal powder was manufactured like each Example and each comparative example, the evaluation result showed the tendency similar to the above.

1…金属粉末製造装置、2…溶融金属供給部、3…筒状体、4…冷却液流出部、5…流体噴射部、6…誘導コイル、7…蓋部材、21…吐出口、30…内部空間、31…上部、32…下部、33…接続部、41…冷却液流出口、51…溶湯ノズル、52…ガス室、53…流体噴射口、511…溶湯ノズル孔、A1…軸線、A2…軸線、A3…軸線、G…気体、Q…溶融金属、Q1…液滴、R…金属粉末、S…冷却液、S1…冷却液層、VL…鉛直線、d1…内径、d2…内径、θ1…角度、θ2…角度 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal powder manufacturing apparatus, 2 ... Molten metal supply part, 3 ... Cylindrical body, 4 ... Coolant outflow part, 5 ... Fluid injection part, 6 ... Induction coil, 7 ... Cover member, 21 ... Discharge port, 30 ... Internal space 31 ... Upper part, 32 ... Lower part, 33 ... Connection part, 41 ... Cooling liquid outlet, 51 ... Molten metal nozzle, 52 ... Gas chamber, 53 ... Fluid injection port, 511 ... Melt nozzle hole, A1 ... Axis, A2 ... axis, A3 ... axis, G ... gas, Q ... molten metal, Q1 ... droplet, R ... metal powder, S ... cooling liquid, S1 ... cooling liquid layer, VL ... vertical line, d1 ... inner diameter, d2 ... inner diameter, θ1 ... angle, θ2 ... angle

Claims (6)

溶融金属を流下させる溶融金属供給部と、
前記溶融金属供給部の下方に設置され、軸線と鉛直線とのなす角度が0°以上20°以下である上部と、前記上部の下端に連続して設けられる下部であってその軸線と鉛直線とのなす角度が前記上部の軸線と鉛直線とのなす角度よりも大きくなるように傾けられている下部と、を含む筒状体と、
前記溶融金属供給部から供給される溶融金属に向けて流体を噴射する流体噴射部と、
前記筒状体の前記上部の内周面に沿って冷却液を流出させる冷却液流出部と、
を有し、
前記溶融金属が前記流体と衝突して形成される液滴の鉛直方向に沿った飛行距離が、前記筒状体内において前記上部の内径の1.5倍以上20倍以下の距離であることを特徴とする金属粉末製造装置。
A molten metal supply section for flowing down the molten metal;
An upper part installed below the molten metal supply unit and having an angle between an axis and a vertical line of 0 ° or more and 20 ° or less, and a lower part continuously provided at the lower end of the upper part, the axis and the vertical line A cylindrical body including a lower portion that is inclined such that an angle formed between and a vertical line is greater than an angle formed between the upper axis and the vertical line;
A fluid ejection unit that ejects fluid toward the molten metal supplied from the molten metal supply unit;
A coolant outflow portion for allowing the coolant to flow out along the inner peripheral surface of the upper portion of the cylindrical body;
Have
A flight distance along a vertical direction of a droplet formed when the molten metal collides with the fluid is a distance of 1.5 to 20 times the inner diameter of the upper part in the cylindrical body. Metal powder manufacturing equipment.
前記下部の軸線と鉛直線とのなす角度は、前記上部の軸線と鉛直線とのなす角度よりも5°以上90°以下大きい請求項1に記載の金属粉末製造装置。   2. The metal powder manufacturing apparatus according to claim 1, wherein an angle formed between the lower axis and the vertical line is greater than the angle formed between the upper axis and the vertical line by 5 ° or more and 90 ° or less. 前記下部の内径は、前記上部の内径よりも小さい請求項1または2に記載の金属粉末製造装置。   The metal powder manufacturing apparatus according to claim 1, wherein an inner diameter of the lower portion is smaller than an inner diameter of the upper portion. 前記冷却液は、前記下部の内部に充填されている請求項3に記載の金属粉末製造装置。   The metal powder manufacturing apparatus according to claim 3, wherein the cooling liquid is filled in the lower portion. 前記流体は、不活性ガスである請求項1ないし4のいずれか1項に記載の金属粉末製造装置。   The metal powder manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the fluid is an inert gas. 前記上部の内部に設けられ、前記冷却液で構成される冷却液層によって側方および下方が取り囲まれている空間を含む請求項1ないし5のいずれか1項に記載の金属粉末製造装置。   The metal powder manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 5, including a space provided inside the upper part and surrounded by a coolant layer composed of the coolant and laterally and below.
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