JP2017145103A - Processing device and processing method for electronic component - Google Patents
Processing device and processing method for electronic component Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017145103A JP2017145103A JP2016027898A JP2016027898A JP2017145103A JP 2017145103 A JP2017145103 A JP 2017145103A JP 2016027898 A JP2016027898 A JP 2016027898A JP 2016027898 A JP2016027898 A JP 2016027898A JP 2017145103 A JP2017145103 A JP 2017145103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- rear position
- front position
- moves
- conveyed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/52—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
Description
本発明は、電子部品の処理装置及び処理方法に関し、詳しくは、ワークを搬送しながらワークに対して処理を行う電子部品の処理装置に関する。 The present invention relates to an electronic component processing apparatus and processing method, and more particularly to an electronic component processing apparatus that processes a workpiece while conveying the workpiece.
電子部品を製造する装置として、ワークの搬送経路に沿ってステージが往復移動し、ステージがワークを保持しながら一方向に移動する間に、ワークに対して加工等の処理を行う処理装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 As a device that manufactures electronic components, a processing device that performs processing such as processing on a workpiece while the stage moves in one direction while holding the workpiece is known along with the workpiece conveyance path. (For example, refer to Patent Document 1).
このような処理装置において、ステージは、前位置でワークの保持を開始し、ワークを保持しながら移動し、後位置でワークの保持を解除した後、後位置から前位置に移動し、前位置で次のワークの保持を開始する。ステージが移動する時間と、後位置や前位置で停止している時間とを短縮すると、処理効率が向上する。しかしながら、それだけでは、処理効率の向上に限界があり、処理効率をさらに向上するができない。 In such a processing apparatus, the stage starts holding the workpiece at the front position, moves while holding the workpiece, releases the holding of the workpiece at the rear position, moves from the rear position to the front position, and moves to the front position. To start holding the next workpiece. If the time for moving the stage and the time for stopping at the rear position or the front position are shortened, the processing efficiency is improved. However, there is a limit in improving the processing efficiency by itself, and the processing efficiency cannot be further improved.
また、処理装置の設置スペースは、小さくすることが望ましい。 In addition, it is desirable to reduce the installation space for the processing apparatus.
本発明は、かかる実情に鑑み、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる電子部品の処理装置及び処理方法を提供しようとするものである。 In view of such circumstances, the present invention is intended to provide a processing device and a processing method for electronic components that can increase the processing efficiency and reduce the installation space.
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品の処理装置を提供する。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides an electronic component processing apparatus configured as follows.
処理装置は、(a)被搬送物を保持することができ、第1の前位置と第1の後位置との間を往復移動する第1のステージと、(b)前記被搬送物を保持することができ、第2の前位置と第2の後位置との間を往復移動する第2のステージであって、前記第2の前位置は、前記第1のステージが前記第1の前位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の後位置側と隣り合う位置であり、前記第2の後位置は、前記第1のステージが前記第1の後位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の前位置とは反対側と隣り合う位置である、第2のステージと、(c)前記第1のステージを前記第1の後位置から前記第1の前位置に移動させるとともに、前記第2のステージを前記第2の後位置から前記第2の前位置に、前記第1のステージの移動と同期させながら移動させる制御部と、(d)前記制御部によって、前記第1のステージが前記第1の後位置から前記第1の前位置に、前記第2のステージが前記第2の後位置から前記第2の前位置に、同期しながら移動する間に、前記第1のステージが保持している前記被搬送物を、前記第2のステージが保持するように、前記第1のステージから前記第2のステージに相対的に移動させる移送部と、(e)前記第2のステージが前記第2の前位置から前記第2の後位置に移動する間に、前記第2のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理部と、を備える。 The processing apparatus includes: (a) a first stage that can hold a transported object and reciprocates between a first front position and a first rear position; and (b) holds the transported object. A second stage that reciprocates between a second front position and a second rear position, wherein the second front position is determined by the first stage. A position adjacent to the first rear position side of the first stage when in the position, and the second rear position is the position when the first stage is in the first rear position. A second stage that is adjacent to the opposite side of the first stage to the first front position; and (c) the first stage from the first rear position to the first front position. And moving the second stage from the second rear position to the second front position. And (d) the controller causes the first stage to move from the first rear position to the first front position, and the second stage moves to the second position. The first stage is configured so that the second stage holds the transferred object held by the first stage while moving in synchronization from the rear position to the second front position. (E) the second stage while the second stage moves from the second front position to the second rear position; And a processing unit that performs processing on the transported object held by the computer.
上記構成によれば、処理済みの被搬送物の保持を解除した第2のステーが第2の後位置から第2の前位置に移動する間に、第2のステージが次の被搬送物を第1のステージから受け取るようにすることができる。このようにすると、第2のステージは、次の被搬送物を受け取るため第2の後位置に停止している必要がないため、第2のステージが第2の前位置に停止している時間を無くし又は短縮して、処理効率を高めることができる。 According to the above configuration, the second stage moves the second transported object from the second rear position to the second front position while the second stay that has released the processed transported object is released. It can be received from the first stage. In this case, since the second stage does not need to stop at the second rear position in order to receive the next conveyed object, the time during which the second stage is stopped at the second front position. Can be eliminated or shortened to increase processing efficiency.
また、第1のステージが第1の後位置で占めるスペースと、第2のステージが第2の前位置で占めるスペースとが重なり合うように構成して、処理装置の設置スペースを小さくすることができる。 Further, the space occupied by the first stage at the first rear position and the space occupied by the second stage at the second front position overlap each other, so that the installation space for the processing apparatus can be reduced. .
好ましくは、処理装置は、(f)前記第1の前位置の前記第1の後位置とは反対側の取入領域に設けられ、前記被搬送物を、前記取入領域から、前記第1の前位置にいる前記第1のステージに移す取入機構と、(g)前記第2の後位置の前記第2の前位置とは反対側の取出領域に設けられ、前記被搬送物を、前記第2の後位置にいる前記第2のステージから、前記取出領域に移す取出機構と、をさらに備える。 Preferably, the processing apparatus is provided in (f) an intake area on the opposite side of the first rear position from the first rear position, and the object to be conveyed is moved from the intake area to the first An intake mechanism that moves to the first stage at the front position, and (g) the second rear position at a take-out area opposite to the second front position, And a take-out mechanism that moves from the second stage at the second rear position to the take-out area.
この場合、取入領域から取出領域まで被搬送物の搬送方向を一定に保ち、被搬送物の姿勢を安定させ、第1のステージへの被搬送物の取り入れが完了してから第1のステージが移動を開始するまでの時間や、第2のステージが第2の後位置に到着してから被搬送物の取り出しを開始するまでの時間を短縮して、処理効率を高めることができる。 In this case, the first stage after the conveyance direction of the conveyed object is kept constant from the intake area to the extraction area, the posture of the conveyed object is stabilized, and the intake of the conveyed object to the first stage is completed. The processing time can be improved by shortening the time until the movement starts and the time from the arrival of the second stage at the second rear position to the start of the removal of the conveyed object.
好ましくは、前記移送部は、(i)前記第1のステージに設けられ、前記被搬送物が搬送される搬送経路に沿って前記第2のステージ側に移動可能な部分を有する第1の搬送機構と、(ii)前記第2のステージに設けられ、前記被搬送物が搬送される搬送経路に沿って前記第1のステージとは反対側に移動可能な部分を有する第2の搬送機構と、を含む。 Preferably, the transfer unit includes (i) a first transfer unit that is provided on the first stage and has a portion that can move to the second stage side along a transfer path along which the transfer object is transferred. A mechanism, and (ii) a second transport mechanism that is provided on the second stage and has a portion that can move to the opposite side of the first stage along a transport path along which the transported object is transported. ,including.
この場合、第1の搬送機構及び第2の搬送機構は、搬送ローラや搬送チェーンなどで構成し、第1の搬送機構を第1のステージへの被搬送物の取り入れにも用い、第2の搬送機構を第2のステージからの被搬送物の取り出しにも用いることができる。 In this case, the first transport mechanism and the second transport mechanism are configured by transport rollers, a transport chain, and the like, and the first transport mechanism is also used for taking the object to be transported into the first stage. The transport mechanism can also be used to take out the object to be transported from the second stage.
また、本発明は、以下のように構成した電子部品の処理方法を提供する。 The present invention also provides an electronic component processing method configured as follows.
処理方法は、(a)第1のステージが第1の前位置にいるときに、前記第1のステージが被搬送物の保持を開始する取入工程と、(b)前記取入工程の後に、前記第1のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第1の前位置から第1の後位置に移動する第1の搬送工程と、(c)前記第1のステージが前記第1の後位置から前記第1の前位置に移動するとともに、第2のステージが、第2の後位置から第2の前位置に、前記第1のステージの移動と同期しながら移動し、前記第2の後位置は、前記第1のステージが前記第1の後位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の前位置とは反対側と隣り合う位置であり、前記第2の前位置は、前記第1のステージが前記第1の前位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の後位置側と隣り合う位置であり、前記第1のステージが前記第1の後位置から前記第1の前位置に移動するとともに、前記第2のステージが前記第2の後位置から前記第2の前位置に、前記第1のステージの移動と同期しながら移動する間に、前記第1のステージが保持している前記被搬送物を、前記第1のステージ及び前記第2のステージに対して相対的に移動させて、前記被搬送物を前記第1のステージから前記第2のステージに移すとともに、前記第1のステージが前記被搬送物の保持を解除し、前記第2のステージが前記被搬送物の保持を開始する移送工程と、(d)前記移送工程の後に、前記第2のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第2の前位置から前記第2の後位置に移動する第2の搬送工程と、(e)前記第2の搬送工程中に、前記第2のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理工程と、(f)前記第2の搬送工程及び前記処理工程の後に、前記第2の後位置にいる前記第2のステージが前記被搬送物の保持を解除する取出工程と、を備える。前記第2の搬送工程の開始から前記取出工程が完了するまでの間に、前記第2の搬送工程及び前記取出工程を行う前記被搬送物の次の前記被搬送物について、前記取入工程及び前記第1の搬送工程を完了する。 The processing method includes: (a) an intake step in which the first stage starts holding the conveyed object when the first stage is in the first front position; and (b) after the intake step. A first transport step in which the first stage moves from the first front position to the first rear position while holding the transported object; and (c) the first stage. The stage moves from the first rear position to the first front position, and the second stage moves from the second rear position to the second front position in synchronization with the movement of the first stage. The second rear position is a position adjacent to the first stage on the opposite side of the first stage when the first stage is in the first rear position; The second front position is in front of the first stage when the first stage is in the first front position. The first stage moves from the first rear position to the first front position, and the second stage moves from the second rear position. While moving to the second front position in synchronization with the movement of the first stage, the object to be transported held by the first stage is transferred to the first stage and the second stage. The object is moved relative to the stage to move the object to be conveyed from the first stage to the second stage, and the first stage releases the object to be conveyed, and the second And (d) after the transfer step, the second stage holds the object to be transferred while the second stage is in a state of holding the object to be transferred. A second transfer step of moving from a position to the second rear position (E) a processing step for performing processing on the transported object held by the second stage during the second transporting step; and (f) the second transporting step and the processing step. After, the said 2nd stage in a said 2nd rear position is provided with the extraction process which cancels | releases holding | maintenance of the said to-be-conveyed object. Between the start of the second transport process and the completion of the take-out process, the take-in process and the take-in process for the transported object next to the transported object that performs the second transport process and the take-out process. The first transfer process is completed.
上記方法によれば、第2のステージは、第2の後位置から第2の前位置に移動する間に、第1のステージから被搬送物を受け取る。第2のステージは、被搬送物を受け取るため第2の後位置に停止している必要がないため、第2のステージが第2の前位置に停止している時間を無くし又は短縮して、処理効率を高めることができる。 According to the above method, the second stage receives the object to be conveyed from the first stage while moving from the second rear position to the second front position. Since the second stage does not need to be stopped at the second rear position in order to receive the object to be conveyed, the time during which the second stage is stopped at the second front position is eliminated or shortened. Processing efficiency can be increased.
また、第1のステージが第1の後位置で占めるスペースと、第2のステージが第2の前位置で占めるスペースとが重なり合うように構成して、処理装置の設置スペースを小さくすることができる。 Further, the space occupied by the first stage at the first rear position and the space occupied by the second stage at the second front position overlap each other, so that the installation space for the processing apparatus can be reduced. .
好ましくは、前記第2の搬送工程と前記処理工程とを、同時に開始する。 Preferably, the second transport process and the processing process are started simultaneously.
この場合、第2のステージが被搬送物の保持を完了してから、第2のステージに保持されている被搬送物に対する処理を開始するまでの時間を短くして、処理効率を高めることができる。 In this case, it is possible to increase the processing efficiency by shortening the time from when the second stage completes the holding of the transported object until the start of the processing for the transported object held by the second stage. it can.
好ましくは、前記第2の搬送工程と、前記第2の搬送工程を行う前記被搬送物の次の前記被搬送物についての前記取入工程とを、並行して行う。 Preferably, the second transporting step and the taking-in step for the transported object next to the transported object performing the second transporting process are performed in parallel.
この場合、被搬送物を第1のステージに取り入れる周期を短くし、処理効率を高めることができる。 In this case, it is possible to shorten the cycle of taking the conveyed object into the first stage and increase the processing efficiency.
本発明によれば、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。 According to the present invention, the processing efficiency can be increased and the installation space can be reduced.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<実施例1> 実施例1の処理装置10について、図1〜図3を参照しながら説明する。
<Example 1> The
図1は、処理装置10の構成を示す模式図である。図1に示すように、処理装置10はリニアモータ軸11に沿って移動する第1のステージ12及び第2のステージ14と、処理部20と、取入部16と、取出部18と、制御装置10cとを備えている。
FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of the
図3は、処理装置10の動作を示す模式図である。第1のステージ12は、図3(a)及び(b)に示す第1の前位置と、図3(c)に示す第1の後位置との間を往復する。第2のステージ14は、図3(a)に示す第2の前位置と、図3(b)及び(c)に示す第2の後位置との間を往復する。図3(a)に示すように、第2のステージ14の第2の前位置は、第1のステージ12が第1の前位置にいるときに第1のステージ12の第1の後位置側と隣り合う位置である。図3(c)に示すように、第2のステージ14の第2の後位置は、第1のステージ12が第1の後位置にいるときに第1のステージ12の第1の前位置とは反対側と隣り合う位置である。第1のステージ12及び第2のステージ14は、被搬送物2を保持することできる。
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating the operation of the
取入部16は、第1の前位置の第1の後位置とは反対側の取入領域11sに、配置されている。取出部18は、第2の後位置の第2の前位置とは反対側の取出領域11tに、配置されている。
The
第1のステージ12と、第2のステージ14と、取入部16と、取出部18とに、それぞれ、モータにより回転駆動される搬送ローラ12f,14f,16f,18fと、搬送ローラ12f,14f,16f,18fに対向する回転自在な対向ローラ12r,14r,16r,18rとが設けられている。対向ローラ12r,14r,16r,18rは、搬送ローラ12f,14f,16f,18fに向けて弾力的に付勢されている。搬送ローラ12f,14f,16f,18fが図において反時計まわり方向に回転すると、搬送ローラ12f,14f,16f,18fと対向ローラ12r,14r,16r,18rとの間に挟まれた被搬送物2a,2bが、図において右から左に移動する。
The
対向ローラ12r,14r,16r,18rの弾力的な付勢によって被搬送物2a,2bの搬送中の姿勢が安定し、搬送速度の高速化が容易になる。対向ローラ12r,14r,16r,18rがなく、搬送ローラ12f,14f,16f,18fが被搬送物2a,2bを搬送するように構成してもよい。搬送ローラ12f,14f,16f,18fや対向ローラ12r,14r,16r,18rは、適宜箇所に適宜個数を設ければよい。例えば、搬送ローラ12f,14f,16f,18fや対向ローラ12r,14r,16r,18rを適宜箇所に適宜個数設けて、互いに隣り合う搬送ローラ12f,14f,16f,18f間の距離や、互いに隣り合う対向ローラ12r,14r,16r,18r間の距離を、被搬送物2a,2bの搬送方向の長さよりも短くして、被搬送物12を受け渡しできるようにする。
The elastic urging of the opposing
第1のステージ12に設けられる搬送ローラ12fは、第1の搬送機構である。搬送ローラ12fの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物2bが搬送される搬送経路に沿って第2のステージ14側に移動可能な部分である。搬送ローラ12fは、取入部16から第1のステージ12への被搬送物2bの取り入れにも用いることができる。
The
第2のステージ14に設けられる搬送ローラ14fは、第2の搬送機構である。搬送ローラ14fの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物2aが搬送される搬送経路に沿って第1のステージ12とは反対側に移動可能な部分である。搬送ローラ14fは、第2のステージ14から取出部18への被搬送物2aの取り出しにも用いることができる。
The
取入部16に設けられる搬送ローラ16fは、第1の前位置の第1の後位置とは反対側の取入領域11sに設けられ、被搬送物2bを、取入領域11sから、第1の前位置にいる第1のステージ12に移す取入機構である。
The
取出部18に設けられる搬送ローラ18fは、第2の後位置の第2の前位置とは反対側の取出領域11tに設けられ、被搬送物2aを、第2の後位置にいる第2のステージ14から、取出領域11tに移す取出機構である。
The
処理部20は、第2のステージ14が第2の前位置から第2の後位置に移動する間に、第2のステージ14が保持している被搬送物2bに対して処理を行う。例えば、処理部20は、塗布、切断、光照射などの加工や、撮影、計測、検査などの処理を行う。処理部20には、処理部20の行う処理に応じて、塗布装置、切断装置、光照射装置、撮影装置、被搬送物にプローブを接触させる計測装置などを用いる。処理部20は、処理装置10の適宜位置に設ければよい。第1のステージ12が第1の前位置にいるとき第1のステージ12が占める領域を準備領域11aと呼び、第2のステージ14が第2の後位置にいるとき第2のステージ14が占める領域を加工領域11cと呼び、準備領域11aと加工領域11cとの間の領域を受取領域11bと呼ぶことにすると、処理部20は、例えば、受取領域11bと加工領域11cとの間の境界又はその付近に設ける。
The
制御装置10cは、処理装置10が後述する一連の動作を繰り返すように、第1のステージ12の移動と、第2のステージ14の移動と、搬送ローラ12f,14f,16f,18fの回転と、処理部20の処理とを制御する。制御装置10cは、第1のステージ12を第1の後位置から第1の前位置に移動させるとともに、第2のステージ14を第2の後位置から第2の前位置に、第1のステージ12の移動と同期させながら移動させる制御部である。
The
被搬送物2a,2bは、処理部20によって処理されるワークを保持している治具や、処理部20によって処理される被処理部分を有するワーク単体などである。一つの被搬送物が複数個のワークを保持している場合、搬送中にワークが順次、処理されるように、ワークは、搬送方向に1列または2列以上に並ぶように治具に保持される。
The objects to be conveyed 2 a and 2 b are a jig that holds a workpiece to be processed by the
図2に、被搬送物の一例を示す。図2は被搬送物2の平面図である。図2に示すように、被搬送物2は、帯状の治具3に複数個のワーク4が保持されている。ワーク4は、治具3の長手方向に並び、一端が接着等により治具3に固定され、他端が治具3の短手方向の同じ側に突出している。被搬送物2は、搬送ローラ12f,14f,16f,18fと対向ローラ12r,14r,16r,18rの間に治具3が挟まれ、矢印8で示す治具3の長手方向に搬送され、搬送中に、治具3から突出しているワーク4の所定部分5が、順次、処理される。例えば、ディスペンサから塗布材が塗布される。
FIG. 2 shows an example of the conveyed object. FIG. 2 is a plan view of the conveyed
次に、処理装置10の動作について、図3を参照しながら説明する。処理装置10は、制御装置10cに制御されて、以下のように動作する。
Next, the operation of the
まず、図3(a)に示すように、第1のステージ12が第1の前位置にあり、第2のステージ14が第2の前位置にある。第2のステージ12は、後述する取入工程、第1の搬送工程、移送工程を経て、被搬送物2aを保持している。
First, as shown in FIG. 3A, the
次いで、図3(b)に示す状態になる。詳しくは、第1のステージ12が第1の前位置に停止している状態で、取入部16の搬送ローラ16fと第1のステージ12の搬送ローラ12fが回転し、被搬送物2bが取入部16から第1のステージ12に移送され、第1のステージ12は被搬送物2bを保持する。これと並行して(同時であっても、時間が前後してもよい)、第2のステージ14が第2の前位置から第2の後位置に移動し、処理部20は、第2のステージ14に保持され移動する被搬送物2bに対して処理を行う。被搬送物2aに対する処理に応じて、第2のステージ14は、連続送りされ、又はピッチ送りされる。
Next, the state shown in FIG. Specifically, in a state where the
すなわち、(a)第1のステージ12が第1の前位置にいるときに、第1のステージが被搬送物2bの保持を開始する取入工程と、(b−1)後述する移送工程の後に、第2のステージ14が、被搬送物2aを保持している状態のまま、第2の前位置から第2の後位置に移動する第2の搬送工程と、(b−2)第2の搬送工程中に、第2のステージ14が保持している被搬送物2aに対して処理を行う処理工程と、を行う。
That is, (a) when the
第2の搬送工程の開始から遅れて、処理工程を開始してもよいが、第2の搬送工程と処理工程とを、同時に開始すると、第2のステージ14が被搬送物2aの保持を完了してから、第2のステージ14に保持されている被搬送物2aに対する処理を開始するまでの時間を短くして、処理効率を高めることができる。また、被搬送物2aの搬送経路を短くし、処理装置10の設置スペースを小さくすることができる。
Although the processing process may be started after the start of the second transport process, when the second transport process and the processing process are started simultaneously, the
第2の搬送工程と、第2の搬送工程を行う被搬送物2aの次の被搬送物2bについての取入工程とを、並行して行うと、被搬送物2bを第1のステージに取り入れる周期を短くし、処理効率を高めることができる。
When the second transport process and the intake process for the transported
次いで、図3(c)に示す状態になる。すなわち、被搬送物2bを保持している第1のステージ12は、第1の前位置から第1の後位置に移動する。これと並行して(同時であっても、時間が前後してもよい)、第2のステージ14の搬送ローラ14fと取出部18の搬送ローラ18fとが回転し、被搬送物2aが第2のステージ14から取出部18に移送される。
Next, the state shown in FIG. That is, the
すなわち、(a)取入工程の後に、第1のステージ12が、被搬送物2bを保持している状態のまま、第1の前位置から第1の後位置に移動する第1の搬送工程と、(b)第2の搬送工程及び処理工程の後に、第2の後位置にいる第2のステージ14が被搬送物2aの保持を解除する取出工程と、を行う。
That is, (a) the first transport step in which the
次いで、図3(a)に示す状態になる。すなわち、第1のステージ12が第1の後位置から第1の前位置に、第2のステージ14が第2の後位置から第2の前位置に、同期しながら移動する。第1のステージ12と第2のステージ14が移動している間に、第1のステージ12の搬送ローラ12fと、第2のステージ14の搬送ローラ14fが回転し、第1のステージ12が保持していた被搬送物2bが、第2のステージ12から第2のステージ14に移される。このとき、第1のステージ12の移動速度と、第2のステージ14の移動速度と、第1のステージ12の搬送ローラ12fの回転速度と、第2のステージ14の搬送ローラ14fの回転速度とを適切に同期させ、被搬送物2bの搬送方向の位置を一定に保つようにすることが好ましいが、被搬送物2bの位置が搬送方向に多少変動しても構わない。
Next, the state shown in FIG. That is, the
すなわち、第1のステージ12が第1の後位置から第1の前位置に移動するとともに、第2のステージ14が第2の後位置から第2の前位置に、第1のステージ12の移動と同期しながら移動し、第1のステージ12が第1の後位置から第1の前位置に移動するとともに、第2のステージ14が第2の後位置から第2の前位置に、第1のステージ12の移動と同期しながら移動する間に、第1のステージ12が保持している被搬送物2bを、第1のステージ12及び第2のステージ14に対して相対的に移動させて、被搬送物2bを第1のステージ12から第2のステージ14に移すとともに、第1のステージ12が被搬送物2bの保持を解除し、第2のステージ14が被搬送物2bの保持を開始する移送工程を行う。
That is, the
搬送ローラ12f,14fは、第1のステージ12が第1の後位置から第1の前位置に、第2のステージ14が第2の後位置から第2の前位置に、制御部によって同期しながら移動する間に、第1のステージ12が保持している被搬送物2bを、第2のステージ14が保持するように、第1のステージ12から第2のステージ14に相対的に移動させながら保持する移送部である。
The
以下、同じ動作を繰り返す。このとき、第2の搬送工程の開始から取出工程が完了するまでの間に、第2の搬送工程及び取出工程を行う被搬送物2aの次の被搬送物2bについて、取入工程及び第1の搬送工程を完了する。
Thereafter, the same operation is repeated. At this time, during the period from the start of the second transport process to the completion of the take-out process, with respect to the transported
処理装置10は、搬送ローラ12f,14f,16f,18fと対向ローラ12r,14r,16r,18rとの間に挟まれた被搬送物2a,2bを高速で移動させ、精度よく位置決めすることができる。
The
第2のステージ14は、第2の後位置から第2の前位置に移動する間に、第1のステージ12から被搬送物2aを受け取る。第2のステージ14は、被搬送物を受け取るため第2の後位置に停止している必要がないため、第2のステージ14が第2の前位置に停止している時間を無くし又は短縮して、処理装置10の処理効率を高めることができる。
The
また、第1のステージ12が第1の後位置で占めるスペースと、第2のステージ14が第2の前位置で占めるスペースとが重なり合うように構成して、処理装置10の設置スペースを小さくすることができる。
Further, the space occupied by the
なお、第1の前位置が準備領域11aのみに含まれ、第1の後位置と第2の前位置が受取領域11bのみに含まれ、第2の後位置が加工領域11cのみに含まれる場合について説明したが、これに限るものではない。
The first front position is included only in the
例えば、第1の後位置が準備領域11aと受取領域11bの両方に含まれたり、第2の前位置が、受取領域11bと加工領域11cの両方に含まれたりしてもよい。
For example, the first rear position may be included in both the
第1のステージ12と第2のステージ14の大きさや形状が同じであり、第1のステージ12が第1の後位置で占めるスペースと、第2のステージ14が第2の前位置で占めるスペースとが完全に重なり合うようにすると、処理装置10の設置スペースを小さくすることが容易である。
The size and shape of the
第1のステージ12が第1の後位置で占めるスペースと、第2のステージ14が第2の前位置で占めるスペースとが部分的に重なりあってもよい。また、第1のステージ12が第1の後位置で占めるスペースと、第2のステージ14が第2の前位置で占めるスペースとは、大きさや形状が異なってもよい。第1のステージ12と第2のステージ14とは、大きさや形状が同じでも、異なっても構わない。
The space occupied by the
第1の前位置の第1の後位置とは反対側に搬送ローラ16fを設け、第2の後位置の第2の前位置とは反対側に搬送ローラ18fを設けると、取入領域11sから取出領域11tまで被搬送物2a,2bの搬送方向を一定に保ち、被搬送物2a,2bの姿勢を安定させ、第1のステージ12への被搬送物2bの取り入れが完了してから第1のステージ12が移動を開始するまでの時間や、第2のステージ14が第2の後位置に到着してから被搬送物2aの取り出しを開始するまでの時間を短縮して、処理効率を高めることができる。
If the
第1のステージ12と第2のステージ14が被搬送物2a,2bを搬送する方向と交差する方向から、第1のステージ12に被搬送物2bを取り入れたり、第2のステージ14から被搬送物2aを取り出したりすることも可能である。
From the direction where the
リニアモータ軸11を用いると、第1のステージ12と第2のステージ14とを個別に駆動することができ、構成が簡単になり、設置スペースも小さくすることができる。リニアモータ軸11を用いずに、第1のステージ12と第2のステージ14とを駆動することも可能である。
When the
第2の搬送工程と、第2の搬送工程を行う被搬送物2aの次の被搬送物2bについての取入工程とを、並行して行うと、被搬送物2a,2bを処理する周期を短くし、処理効率を高めることができる。
When the second transporting step and the taking-in process for the transported
<実施例2> 図4は、取入機構と、第1の搬送機構及び第2の搬送機構と、取出機構とに、搬送ローラの代わりに搬送チェーンを用いる実施例2の処理装置10aの構成を示す模式図である。実施例2の処理装置10aは、実施例1の処理装置10と略同様に構成されている。以下では、実施例1と同じ構成部分には同じ符号を用い、実施例1との相違点を中心に説明する。
<Example 2> FIG. 4 shows a configuration of a
図4に示すように、第1のステージ12、第2のステージ14、取入部16、取出部18には、搬送チェーン12c,14c,16c,18cが設けられている。搬送チェーン12c,14c,16c,18cは、一対のスプロケットに無端ベルト状のチェーンが係合し、スプロケットの回転に伴って、所定の経路を循環移動する。
As shown in FIG. 4, the
なお、図4では、図1に示した制御装置10cの図示を省略している。
In FIG. 4, illustration of the
第1のステージ12に設けられる搬送チェーン12cは、第1の搬送機構であり、搬送チェーン12cの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物2bが搬送される搬送経路に沿って第2のステージ14側に移動可能な部分である。搬送チェーン12cは、第1のステージ12への被搬送物2bの取り入れにも用いることができる。
The
第2のステージ14に設けられる搬送チェーン14cは、第2の搬送機構であり、搬送チェーン14cの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物2bが搬送される搬送経路に沿って第1のステージ12とは反対側に移動可能な部分である。搬送チェーン14cは、第2のステージ14から取出部18への被搬送物2aの取り出しにも用いることができる。
The
実施例2の処理装置10aは、実施例1の処理装置10と同様に、搬送ローラ12f,14f,16f,18fと対向ローラ12r,14r,16r,18rとの間に挟まれた被搬送物2a,2bを高速で移動させ、精度よく位置決めすることができ、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。
The
なお、搬送ローラと搬送チェーンを組み合わせてもよい。例えば、第1のステージ12と第2のステージ14に搬送ローラを設け、取入部16及び取出部18に搬送チェーンを設けてもよい。
In addition, you may combine a conveyance roller and a conveyance chain. For example, a conveyance roller may be provided in the
<実施例3> 第1のステージ12から第2のステージ14に被搬送物2bを相対的に移動させながら保持する移送部を、第1のステージ12及び第2のステージ14以外に設けた実施例3の処理装置10bについて、図5を参照しながら説明する。
<
図5は、処理装置10bの構成と動作を示す模式図である。図5は、取入機構、取出機構、制御部の図示を省略している。図5に示すように、移送部は、被搬送物2bの搬送経路に進退する当接部材30である。当接部材30は、図5(a)において破線で示すように、第1のステージ12が第1の後位置に位置しているときに、第1のステージ12が吸着保持している被搬送物2bの搬送方向上流側において被搬送物2bと隣り合う当接位置30xと、図5(b)において破線で示すように、被搬送物2bの搬送経路から退避した退避位置30yとの間を移動する。当接部材30は、移送工程中は当接位置30xに配置され、それ以外のときには退避位置30yに配置される。
FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration and operation of the
次に、処理装置10bの動作について説明する。処理装置10bは、実施例1の処理装置10と同じ工程を同じ順序で行う。
Next, the operation of the
図5(a)は、被搬送物2aについて取出工程が終了し、次の被搬送物2bについて第1の搬送工程が終了した状態を示す。
FIG. 5A shows a state where the take-out process has been completed for the transported
次いで、移送工程を行い、図5(b)に示す状態になる。詳しくは、当接部材30が、退避位置30yから当接位置30xに移動した後、第1のステージ12が第1の後位置から第1の前位置に、第2のステージ14が第2の後位置から第2の前位置に、同期しながら移動する。このとき、第1のステージ12が吸着保持している被搬送物2bは、当接部材30に当接して移動が阻止され、移動が阻止されている被搬送物2bの下を、第1のステージ12と第2のステージ14とが移動し、被搬送物2bは、第1のステージ12から第2のステージ14に移される。そして、図5(b)に示すように、第1のステージ12が第1の前位置に、第2のステージ14が第2の前位置にいるとき、被搬送物2bは第2のステージ14が吸着保持している。
Subsequently, a transfer process is performed and it will be in the state shown in FIG.5 (b). Specifically, after the
実施例3の処理装置10bは、実施例1の処理装置10と同様に、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。
As with the
なお、当接部材と、搬送ローラや搬送チェーンを組み合わせてもよい。例えば、第1のステージ12と第2のステージ14に、搬送ローラや搬送チェーンを設けてもよい。また、取入部16及び取出部18に、搬送ローラや搬送チェーンを設けてもよい。
In addition, you may combine a contact member, a conveyance roller, and a conveyance chain. For example, the
<比較例1> 図6は、被搬送物を保持するステージが1台だけである比較例1の処理装置10xの動作を示す模式図である。
<Comparative Example 1> FIG. 6 is a schematic diagram illustrating the operation of the
図6に示すように、比較例1の処理装置10xは、ステージ13が1台である点以外は、実施例1の処理装置10と同様に構成されている。ステージ13は、リニアモータ軸11に沿って、取入部16と隣り合う前位置と、取出部18と隣り合う後位置との間を移動する。ステージ13と、取入部16と、取出部18には、搬送ローラ13f,16f,18fと、対向ローラ13r,16r,18rとが設けられている。
As shown in FIG. 6, the
処理装置10xは、次のように動作する。
The
まず、図6(a)に示すように、ステージ13は前位置にある。
First, as shown in FIG. 6A, the
次いで、図6(b)に示す状態になる。すなわち、ステージ13が前位置に停止している状態で、取入部16の搬送ローラ16fとステージ13の搬送ローラ13fが回転し、被搬送物2が取入部16からステージ13に移送され、被搬送物2はステージ13が保持する。
Next, the state shown in FIG. That is, while the
次いで、図6(c)に示す状態になる。すなわち、被搬送物2を保持しているステージ13は、前位置から後位置に移動し、処理部20は、ステージ2に保持され移動する被搬送物2に対して処理を行う。
Next, the state shown in FIG. That is, the
次いで、図6(d)に示す状態になる。すなわち、ステージ13の搬送ローラ13fと取出部18の搬送ローラ18fとが回転し、被搬送物2がステージ13から取出部18に移送される。
Next, the state shown in FIG. That is, the
次いで、図6(a)に示す状態になる。すなわち、ステージ13が後位置から前位置に移動する。以下、上記動作を繰り返す。
Next, the state shown in FIG. That is, the
1台のステージ13を用いる場合には、被搬送物2が処理される周期は、被搬送物2を受け取り保持するためステージ13が前位置に停止している時間T1と、保持している被搬送物2を加工するためステージ13が前位置から後位置に移動する時間T2と、加工済みの被搬送物2を取出すためステージ13が後位置に停止している時間T3と、ステージ13が後位置から前位置に移動する時間T4の合計(T1+T2+T3+T4)になる。
When one
これに対し、2台のステージ12,14を用いる実施例1〜3において、第2のステージ14は、第2の後位置から第2の前位置に移動する時間を利用して、第1のステージ12から、次の被搬送物2bを受取ることができ、第2の前位置に停止する時間を無くし、又は短縮することができる。そのため、実施例1〜3は、比較例1よりも、被搬送物が処理される周期を短くすることができる。したがって、実施例1〜3は、比較例1より、処理効率を高めることができる。
On the other hand, in the first to third embodiments using the two
<まとめ> 以上に説明したように、実施例1〜3の処理装置10,10a,10bは、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。
<Summary> As described above, the
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。 The present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented with various modifications.
例えば、制御部は、機械的に構成してもよい。第1のステージや第2のステージが往路と復路で異なる経路を移動しても構わない。 For example, the control unit may be mechanically configured. The first stage and the second stage may move on different paths for the forward path and the return path.
実施例1〜3は、被搬送物2a,2bを高速で移動させ、精度よく位置決めすることができるようにするために、第1のステージ12から第2のステージ14に相対的に移動させながら保持する移送部(搬送ローラ)を例に説明したが、被搬送物2a,2bを保持せずに移送する移送部であってもよい。その場合は被搬送物2aを第2のステージ14で保持した後、処理部20に至るまでの間にワーク4の所定部分5を撮像装置等(不図示)で位置認識し、演算結果に応じて第2のステージ14を移動させれば、同様に精度よく位置決めすることができる。
In the first to third embodiments, the transported
2,2a,2b 被搬送物
10,10a,10,b10x 処理装置
10c 制御装置(制御部)
11s 取入領域
11t 取出領域
12 第1のステージ
12c 搬送チェーン(移送部、第1の搬送機構)
12f 搬送ローラ(移送部、第1の搬送機構)
14 第2のステージ
14c 搬送チェーン(移送部、第2の搬送機構)
14f 搬送ローラ(移送部、第2の搬送機構)
20 処理部
30 当接部材(移送部)
2, 2a, 2b Conveyed
11s take-in
12f Conveying roller (transfer section, first conveying mechanism)
14
14f Conveying roller (transfer section, second conveying mechanism)
20
Claims (6)
前記被搬送物を保持することができ、第2の前位置と第2の後位置との間を往復移動する第2のステージであって、前記第2の前位置は、前記第1のステージが前記第1の前位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の後位置側と隣り合う位置であり、前記第2の後位置は、前記第1のステージが前記第1の後位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の前位置とは反対側と隣り合う位置である、第2のステージと、
前記第1のステージを前記第1の後位置から前記第1の前位置に移動させるとともに、前記第2のステージを前記第2の後位置から前記第2の前位置に、前記第1のステージの移動と同期させながら移動させる制御部と、
前記制御部によって、前記第1のステージが前記第1の後位置から前記第1の前位置に、前記第2のステージが前記第2の後位置から前記第2の前位置に、同期しながら移動する間に、前記第1のステージが保持している前記被搬送物を、前記第2のステージが保持するように、前記第1のステージから前記第2のステージに相対的に移動させる移送部と、
前記第2のステージが前記第2の前位置から前記第2の後位置に移動する間に、前記第2のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理部と、
を備えたことを特徴とする電子部品の処理装置。 A first stage capable of holding a conveyed object and reciprocating between a first front position and a first rear position;
A second stage capable of holding the object to be conveyed and reciprocating between a second front position and a second rear position, wherein the second front position is the first stage; Is a position adjacent to the first rear position side of the first stage when the first stage is at the first front position, and the second rear position is the first stage after the first stage. A second stage that is adjacent to the opposite side of the first stage when the first stage is in position;
Moving the first stage from the first rear position to the first front position, and moving the second stage from the second rear position to the second front position; A control unit that moves in synchronization with the movement of
The control unit synchronizes the first stage from the first rear position to the first front position, and the second stage from the second rear position to the second front position. Transfer that moves the object being held by the first stage relatively from the first stage to the second stage so that the second stage holds the object while moving. And
A processing unit that performs processing on the transported object held by the second stage while the second stage moves from the second front position to the second rear position;
An electronic component processing apparatus comprising:
前記第2の後位置の前記第2の前位置とは反対側の取出領域に設けられ、前記被搬送物を、前記第2の後位置にいる前記第2のステージから、前記取出領域に移す取出機構と、
をさらに備えたことを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の処理装置。 The first stage which is provided in an intake area on the opposite side of the first front position from the first rear position, and which moves the object to be conveyed from the intake area to the first front position. An intake mechanism to be transferred to,
The second rear position is provided in a take-out area opposite to the second front position, and the object to be conveyed is moved from the second stage in the second rear position to the take-out area. Take-out mechanism;
The electronic component processing apparatus according to claim 1, further comprising:
前記第1のステージに設けられ、前記被搬送物が搬送される搬送経路に沿って前記第2のステージ側に移動可能な部分を有する第1の搬送機構と、
前記第2のステージに設けられ、前記被搬送物が搬送される搬送経路に沿って前記第1のステージとは反対側に移動可能な部分を有する第2の搬送機構と、
を含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子部品の処理装置。 The transfer unit is
A first transport mechanism provided on the first stage and having a portion movable toward the second stage along a transport path along which the transported object is transported;
A second transport mechanism provided on the second stage and having a portion movable to the opposite side of the first stage along a transport path along which the transported object is transported;
The processing apparatus for an electronic component according to claim 1, wherein the electronic component processing apparatus includes:
前記取入工程の後に、前記第1のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第1の前位置から第1の後位置に移動する第1の搬送工程と、
前記第1のステージが前記第1の後位置から前記第1の前位置に移動するとともに、第2のステージが第2の後位置から第2の前位置に、前記第1のステージの移動と同期しながら移動し、前記第2の後位置は、前記第1のステージが前記第1の後位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の前位置とは反対側と隣り合う位置であり、前記第2の前位置は、前記第1のステージが前記第1の前位置にいるときに前記第1のステージの前記第1の後位置側と隣り合う位置であり、
前記第1のステージが前記第1の後位置から前記第1の前位置に移動するとともに、前記第2のステージが前記第2の後位置から前記第2の前位置に、前記第1のステージの移動と同期しながら移動する間に、前記第1のステージが保持している前記被搬送物を、前記第1のステージ及び前記第2のステージに対して相対的に移動させて、前記被搬送物を前記第1のステージから前記第2のステージに移すとともに、前記第1のステージが前記被搬送物の保持を解除し、前記第2のステージが前記被搬送物の保持を開始する移送工程と、
前記移送工程の後に、前記第2のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第2の前位置から前記第2の後位置に移動する第2の搬送工程と、
前記第2の搬送工程中に、前記第2のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理工程と、
前記第2の搬送工程及び前記処理工程の後に、前記第2の後位置にいる前記第2のステージが前記被搬送物の保持を解除する取出工程と、
を備え、
前記第2の搬送工程の開始から前記取出工程が完了するまでの間に、前記第2の搬送工程及び前記取出工程を行う前記被搬送物の次の前記被搬送物について、前記取入工程及び前記第1の搬送工程を完了することを特徴とする、電子部品の処理方法。 An intake step in which, when the first stage is at the first front position, the first stage starts holding the conveyed object; and
A first transport step in which the first stage moves from the first front position to the first rear position while the first stage is holding the transported object after the intake step;
The first stage moves from the first rear position to the first front position, and the second stage moves from the second rear position to the second front position. The second rear position moves in synchronization, and the second rear position is adjacent to the opposite side of the first stage from the first front position when the first stage is in the first rear position. And the second front position is a position adjacent to the first rear position side of the first stage when the first stage is in the first front position.
The first stage moves from the first rear position to the first front position, and the second stage moves from the second rear position to the second front position. While moving in synchronization with the movement of the first stage, the object to be conveyed held by the first stage is moved relative to the first stage and the second stage to move the object to be conveyed. Transfer that moves the transported object from the first stage to the second stage, the first stage releases the hold of the transported object, and the second stage starts to hold the transported object Process,
A second transfer step in which the second stage moves from the second front position to the second rear position while the second stage holds the transferred object after the transfer step;
A processing step of performing processing on the transported object held by the second stage during the second transporting step;
After the second conveying step and the processing step, the second stage at the second rear position releases the held object, and
With
Between the start of the second transport process and the completion of the take-out process, the take-in process and the take-in process for the transported object next to the transported object that performs the second transport process and the take-out process. A method for processing an electronic component, wherein the first conveying step is completed.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016027898A JP6354770B2 (en) | 2016-02-17 | 2016-02-17 | Electronic component processing apparatus and processing method |
CN201710080810.6A CN107089497B (en) | 2016-02-17 | 2017-02-15 | The processing unit and processing method of electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016027898A JP6354770B2 (en) | 2016-02-17 | 2016-02-17 | Electronic component processing apparatus and processing method |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018111472A Division JP6516116B2 (en) | 2018-06-11 | 2018-06-11 | Electronic component processing apparatus and processing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017145103A true JP2017145103A (en) | 2017-08-24 |
JP6354770B2 JP6354770B2 (en) | 2018-07-11 |
Family
ID=59646144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016027898A Active JP6354770B2 (en) | 2016-02-17 | 2016-02-17 | Electronic component processing apparatus and processing method |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6354770B2 (en) |
CN (1) | CN107089497B (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7450579B2 (en) | 2021-04-05 | 2024-03-15 | 三菱電機株式会社 | Semiconductor test equipment and semiconductor device manufacturing method |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02200564A (en) * | 1989-01-27 | 1990-08-08 | Onoda Autoclaved Light Weight Concrete Co Ltd | Conveyor for heavy cargo |
JPH0966304A (en) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Nkk Corp | Support mechanism of billet for continuous rolling |
JPH09323818A (en) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Taisei Corp | Material transfer method and transfer device |
JP2006123684A (en) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Honda Motor Co Ltd | Automobile body moving and placing method, and moving and placing device |
WO2007074798A1 (en) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of conveying substrate to substrate processing device |
JP2009139221A (en) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Yokogawa Electric Corp | Auto handler |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4362698B2 (en) * | 2003-09-22 | 2009-11-11 | 株式会社村田製作所 | Hoop material presser mechanism and parts assembly device |
US20120225204A1 (en) * | 2011-03-01 | 2012-09-06 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and Process for Atomic Layer Deposition |
JP2011233938A (en) * | 2011-08-22 | 2011-11-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Vacuum processing apparatus and substrate transfer method using the same |
AT512338B1 (en) * | 2011-12-23 | 2020-07-15 | Tgw Logistics Group Gmbh | PICKING STATION AND METHOD FOR PICKING ITEMS |
CN104157596A (en) * | 2014-08-08 | 2014-11-19 | 熊丹 | Substrate processing control equipment and control method |
CN204369134U (en) * | 2015-01-06 | 2015-06-03 | 武汉华权节能墙体设备科技研究有限公司 | A kind of energy-conserving plate material cyclic delivery system |
CN204702204U (en) * | 2015-02-05 | 2015-10-14 | 广东金昇智能数控有限公司 | The AOI station of the automatic pcb board up and down of the parallel conveying of two-wire |
-
2016
- 2016-02-17 JP JP2016027898A patent/JP6354770B2/en active Active
-
2017
- 2017-02-15 CN CN201710080810.6A patent/CN107089497B/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02200564A (en) * | 1989-01-27 | 1990-08-08 | Onoda Autoclaved Light Weight Concrete Co Ltd | Conveyor for heavy cargo |
JPH0966304A (en) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Nkk Corp | Support mechanism of billet for continuous rolling |
JPH09323818A (en) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Taisei Corp | Material transfer method and transfer device |
JP2006123684A (en) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Honda Motor Co Ltd | Automobile body moving and placing method, and moving and placing device |
US20090013524A1 (en) * | 2004-10-28 | 2009-01-15 | Taro Kodo | Automotive body transfer method and transfer system |
WO2007074798A1 (en) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of conveying substrate to substrate processing device |
JP2009139221A (en) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Yokogawa Electric Corp | Auto handler |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7450579B2 (en) | 2021-04-05 | 2024-03-15 | 三菱電機株式会社 | Semiconductor test equipment and semiconductor device manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107089497A (en) | 2017-08-25 |
CN107089497B (en) | 2019-07-05 |
JP6354770B2 (en) | 2018-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6365705B2 (en) | Substrate cutting apparatus and substrate transfer method in substrate cutting apparatus | |
US9904259B2 (en) | Plate member reversing system and reversing/transfer method thereof | |
US9783372B2 (en) | Flipping apparatus, system and method for processing articles | |
WO2015025412A1 (en) | Slide fastener manufacturing device and slide fastener manufacturing method | |
JP6041927B2 (en) | Surface treatment equipment | |
JP6728197B2 (en) | Reversing device, article processing system and method | |
JP6354770B2 (en) | Electronic component processing apparatus and processing method | |
KR20180068858A (en) | Container transporting apparatus | |
JP6516116B2 (en) | Electronic component processing apparatus and processing method | |
JP2004121990A (en) | Work conveyance and storage device and method | |
JP2009234672A (en) | Transport device | |
JP2017109820A (en) | Article processing device | |
KR101535136B1 (en) | Panel cutting device and method of transferring panel in the same | |
JP2004203551A5 (en) | ||
JP2012246079A (en) | Article carrying device | |
JP6689714B2 (en) | Container processing equipment | |
JP5840403B2 (en) | Environmental test equipment | |
JP2006080483A (en) | Electronic component process handling equipment, process handling method and process handling program | |
JP2017071008A (en) | Conveyance device | |
JP5019534B2 (en) | Electronic component process processing apparatus, process processing method, and process processing program | |
KR101479974B1 (en) | Panel cutting device and method of transferring panel in the same | |
KR101394333B1 (en) | Panel cutting device and method of transferring panel in the same | |
KR101490208B1 (en) | Panel cutting device and method of transferring panel in the same | |
KR101760353B1 (en) | Panel cutting device and method of transferring panel in the same | |
JPH0475908A (en) | Transportation and supply device for articles |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180515 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180528 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6354770 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |